JP6429419B2 - 整合器及び整合方法 - Google Patents
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Description
進行波と反射波とを検出する方向性結合器と、
入力端子と、出力端子と、一端が第1の伝送線路を介して前記入力端子に接続され他端が接地された第1の可変容量コンデンサと、一端が第2の伝送線路を介して前記出力端子に接続され他端が接地された第2の可変容量コンデンサと、一端が前記第1の可変容量コンデンサの前記一端に接続され他端が前記第2の可変容量コンデンサの前記一端に接続されたインダクタンスと、を有する整合回路と、
前記方向性結合器で検出した進行波と反射波とに基づき、前記第1の可変容量コンデンサの容量値と前記第2の可変容量コンデンサの容量値とを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記方向性結合器で検出した進行波と反射波とに基づき、反射係数を算出し、
スミスチャート上で整合点を通過する反射係数の軌跡が描く円に向かうように前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円との交点を演算して予想し、その予想した交点(円周通過予想点)に基づいて前記第1の可変容量コンデンサの容量値の微調の方向を判定し、前記円周通過予想点の虚数部が負のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調し、前記円周通過予想点の虚数部が正のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、
前記算出された反射係数と前記円との間の距離が所定値以内になると、前記算出される反射係数をゼロに近づけるように前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円より外側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、前記円より内側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調する 整合器。
前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更した反射係数の2点から延びる直線と、前記円との交点を算出し、前記円周通過予測点とする 整合器。
前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更した反射係数の3点を通る円と、前記円との交点を算出し、前記円周通過予測点とする 整合器。
前記所定値以内は前記円と同心の前記円よりも大きい円と小さい円との間である 整合器。
前記円に向かうように前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円との交点を演算して予想し、その予想した交点(円周通過予想点)に基づいて前記第1の可変容量コンデンサの容量値の微調の方向を判定し、前記円周通過予想点の虚数部が負のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調し、前記円周通過予想点の虚数部が正のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調するステップと、
前記算出された反射係数と前記円との間の距離が所定値以内になると、前記算出される反射係数をゼロに近づけるように前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円より外側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、前記円より内側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調するステップと、
を備える整合方法。
Claims (5)
- 進行波と反射波とを検出する方向性結合器と、
入力端子と、出力端子と、一端が第1の伝送線路を介して前記入力端子に接続され他端が接地された第1の可変容量コンデンサと、一端が第2の伝送線路を介して前記出力端子に接続され他端が接地された第2の可変容量コンデンサと、一端が前記第1の可変容量コンデンサの前記一端に接続され他端が前記第2の可変容量コンデンサの前記一端に接続されたインダクタンスと、を有する整合回路と、
前記方向性結合器で検出した進行波と反射波とに基づき、前記第1の可変容量コンデンサの容量値と前記第2の可変容量コンデンサの容量値とを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記方向性結合器で検出した進行波と反射波とに基づき、反射係数を算出し、
前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変えた場合にスミスチャート上で整合点を通過する反射係数の軌跡が描く円に向かうように前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円との交点を演算して予想し、その予想した交点(円周通過予想点)に基づいて前記第1の可変容量コンデンサの容量値の微調の方向を判定し、前記円周通過予想点の虚数部が負のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調し、前記円周通過予想点の虚数部が正のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、
前記算出された反射係数と前記円との間の距離が所定値以内になると、前記算出される反射係数をゼロに近づけるように前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円より外側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、前記円より内側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調する整合器。 - 請求項1において、
前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更した反射係数の2点から延びる直線と、
前記円との交点を算出し、前記円周通過予測点とする整合器。 - 請求項1において、
前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更した反射係数の3点を通る円と、前記円との交点を算出し、前記円周通過予測点とする整合器。 - 請求項1において、
前記所定値以内は前記円と同心の前記円よりも大きい円と小さい円との間である整合器。 - 進行波と反射波とを検出する方向性結合器と、 入力端子と、出力端子と、一端が第1の伝送線路を介して前記入力端子に接続され他端が接地された第1の可変容量コンデンサと、一端が第2の伝送線路を介して前記出力端子に接続され他端が接地された第2の可変容量コンデンサと、一端が前記第1の可変容量コンデンサの前記一端に接続され他端が前記第2の可変容量コンデンサの前記一端に接続されたインダクタンスと、を有する整合回路と、 を備える整合器における整合方法であって、
前記第1の伝送線路に応じて、前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変えた場合にスミスチャート上で整合点を通過する反射係数の軌跡が描く円を設定するステップと、 前記方向性結合器で検出した進行波と反射波とに基づき、反射係数を算出するステップと、
前記円に向かうように前記第2の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円との交点を演算して予想し、その予想した交点(円周通過予想点)に基づいて前記第1の可変容量コンデンサの容量値の微調の方向を判定し、前記円周通過予想点の虚数部が負のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調し、前記円周通過予想点の虚数部が正のときは前記第1の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調するステップと、
前記算出された反射係数と前記円との間の距離が所定値以内になると、前記算出される反射係数をゼロに近づけるように前記第1の可変容量コンデンサの容量値を変更し、前記円より外側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が減少するように微調し、前記円より内側に外れたときは前記第2の可変容量コンデンサの容量値が増加するように微調するステップと、
を備える整合方法。
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