JP6426797B2

JP6426797B2 - Adsorption stage, pasting device, and pasting method

Info

Publication number: JP6426797B2
Application number: JP2017137605A
Authority: JP
Inventors: 絵美松井; 林　航之介; 航之介林; 隆宏金井
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2017-07-14
Filing date: 2017-07-14
Publication date: 2018-11-21
Anticipated expiration: 2033-09-25
Also published as: JP2017195411A

Description

本発明の実施形態は、吸着ステージ、貼合装置、および貼合方法に関する。 Embodiments of the present invention relate to a suction stage, a bonding apparatus, and a bonding method.

ウェーハなどの基板を吸着する吸着ステージがある。
この様な吸着ステージは、例えば、半導体装置の製造における基板の貼合工程において用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
基板の貼合工程においては、２枚の基板の貼り合わせ面同士を貼り合わせて１枚の基板を形成している。
例えば、いわゆるＳＯＩ（Silicon on Insulator）ウェーハの製造や、陽極接合法を用いてガラス基板とシリコン基板との接合を行う場合などにおいて、２枚の基板の貼り合わせ面同士を貼り合わせて１枚の基板を形成している。 There is a suction stage for suctioning a substrate such as a wafer.
Such a suction stage is used, for example, in a process of bonding a substrate in the manufacture of a semiconductor device (see, for example, Patent Document 1).
In the bonding step of the substrates, the bonding surfaces of the two substrates are bonded to each other to form one substrate.
For example, in the case of manufacturing a so-called SOI (Silicon on Insulator) wafer, or in the case of bonding a glass substrate and a silicon substrate by using an anodic bonding method, one bonded surface of two substrates is bonded to one another. The substrate is formed.

この様な技術によれば、基板間に接着剤などを介在させることなく基板同士を貼り合わせることができる。そのため、貼り合わせ後の処理（例えば、プラズマ処理、熱処理、化学処理など）におけるプロセス条件の多様化を図ることができる。また、ｐｎ接合や絶縁膜の埋め込みなども容易とすることができる。
しかしながら、任意の形状となるように基板を吸着ステージに吸着させるのは困難であった。 According to such a technique, the substrates can be bonded to each other without interposing an adhesive or the like between the substrates. Therefore, diversification of process conditions in processing after bonding (for example, plasma processing, heat treatment, chemical processing, and the like) can be achieved. In addition, burying of a pn junction or an insulating film can be facilitated.
However, it was difficult to adsorb the substrate to the adsorption stage so as to have an arbitrary shape.

特開昭６１−１４５８３９号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-145839

本発明が解決しようとする課題は、任意の形状となるように基板を吸着させることができる吸着ステージ、貼合装置、および貼合方法を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a suction stage, a bonding apparatus, and a bonding method which can suction a substrate so as to have an arbitrary shape.

実施形態に係る吸着ステージは、第１の載置部と、第２の載置部と、を備えた吸着ステージであって、
前記第１の載置部は、
第１の本体部の一方の端面の外縁側に設けられ、環状を呈する第１の壁部と、
前記第１の本体部の前記第１の壁部が設けられる側とは反対側の端面の外縁側に設けられ、環状を呈する第２の壁部と、
前記第１の本体部を厚み方向に貫通する孔部と、
を有し、
前記第２の載置部は、
前記第１の本体部に対峙する第２の本体部と、
前記第２の本体部から突出し、前記孔部に挿入されて前記第１の本体部の一方の端面から突出する支持部と、
を有し、前記支持部の頂面の位置が可変である。
The suction stage according to the embodiment is a suction stage including a first placement unit and a second placement unit, and
The first placement unit is
A first wall provided on an outer edge side of one end face of the first main body and exhibiting an annular shape;
A second wall portion provided on an outer edge side of an end surface of the first body portion opposite to the side on which the first wall portion is provided, and exhibiting an annular shape;
A hole penetrating the first main body in the thickness direction;
Have
The second placement unit is
A second main body facing the first main body;
A support which protrudes from the second main body, is inserted into the hole, and protrudes from one end face of the first main body ;
And the position of the top surface of the support portion is variable .

本発明の実施形態によれば、任意の形状となるように基板を吸着させることができる吸着ステージ、貼合装置、および貼合方法が提供される。 According to an embodiment of the present invention, a suction stage, a bonding apparatus, and a bonding method are provided that can suction a substrate so as to have an arbitrary shape.

本実施の形態に係る吸着ステージ１２および貼合装置１００を例示するための模式図である。It is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 12 and the bonding apparatus 100 which concern on this Embodiment. 吸着ステージ１２を例示するための模式図である。FIG. 2 is a schematic view for illustrating a suction stage 12; 第１の載置部１２ａを例示するための模式平面図である。It is a model top view for illustrating the 1st mounting part 12a. 第２の載置部１２ｂを例示するための模式平面図である。It is a model top view for illustrating the 2nd mounting part 12b. 他の実施形態に係る吸着ステージ２２を例示するための模式図である。It is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 22 which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係る吸着ステージ３２を例示するための模式図である。It is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 32 which concerns on other embodiment. （ａ）、（ｂ）は、他の実施形態に係る吸着ステージ４２を例示するための模式図である。(A), (b) is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 42 which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係る吸着ステージ５２を例示するための模式図である。It is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 52 which concerns on other embodiment. 第１の載置部５２ａを例示するための模式平面図である。It is a model top view for illustrating the 1st mounting part 52a. 他の実施形態に係る吸着ステージ６２を例示するための模式図である。It is a schematic diagram for illustrating the adsorption | suction stage 62 which concerns on other embodiment.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、以下の図２、図５、図６、図７、図８、図１０においては、煩雑となるのを避けるために、孔部１２ａ４と支持部１２ｂ２の一部を省略している。
図１は、本実施の形態に係る吸着ステージ１２および貼合装置１００を例示するための模式図である。
図２は、吸着ステージ１２を例示するための模式図である。
図３は、第１の載置部１２ａを例示するための模式平面図である。
図４は、第２の載置部１２ｂを例示するための模式平面図である。 Hereinafter, embodiments will be illustrated with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals and the detailed description will be appropriately omitted.
In the following FIGS. 2, 5, 6, 7, 8 and 10, the hole 12a4 and a part of the support 12b2 are omitted to avoid complication.
FIG. 1 is a schematic view for illustrating a suction stage 12 and a bonding apparatus 100 according to the present embodiment.
FIG. 2 is a schematic view for illustrating the suction stage 12.
FIG. 3 is a schematic plan view for illustrating the first placement portion 12a.
FIG. 4 is a schematic plan view for illustrating the second placement unit 12 b.

図１に示すように、貼合装置１００には、処理容器１１、吸着ステージ１２、基板支持部１３、押圧部１４、排気部１５、および制御部１６が設けられている。
処理容器１１は、箱状を呈し、気密構造となっている。
処理容器１１の側壁には、基板Ｗ１（第１の基板の一例に相当する）や基板Ｗ２（第２の基板の一例に相当する）などの搬入搬出を行うための開口部１１ａが設けられている。また、開口部１１ａを気密に開閉可能な開閉扉１１ｂが設けられている。 As shown in FIG. 1, the bonding apparatus 100 is provided with a processing container 11, a suction stage 12, a substrate support unit 13, a pressing unit 14, an exhaust unit 15, and a control unit 16.
The processing container 11 has a box shape and has an airtight structure.
The side wall of the processing container 11 is provided with an opening 11a for carrying in and out the substrate W1 (corresponding to an example of a first substrate) or the substrate W2 (corresponding to an example of a second substrate). There is. In addition, an open / close door 11b capable of airtightly opening and closing the opening 11a is provided.

吸着ステージ１２は、台座１７を介して処理容器１１の内部の底面に設けられている。なお、台座１７は、必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜設けるようにすることができる。
図２〜図４に示すように、吸着ステージ１２には第１の載置部１２ａおよび第２の載置部１２ｂが設けられている。第１の載置部１２ａは、第２の載置部１２ｂの上に着脱自在に設けられていてもよいし、固定されていてもよい。 The suction stage 12 is provided on the bottom of the inside of the processing container 11 via a pedestal 17. The pedestal 17 is not necessarily required, and can be provided as needed.
As shown in FIGS. 2 to 4, the suction stage 12 is provided with a first placement unit 12 a and a second placement unit 12 b. The first placement unit 12a may be detachably provided on the second placement unit 12b or may be fixed.

第１の載置部１２ａは、本体部１２ａ１（第１の本体部の一例に相当する）、壁部１２ａ２（第１の壁部の一例に相当する）、壁部１２ａ３（第２の壁部の一例に相当する）、および孔部１２ａ４を有する。
図２などに示したように、第１の載置部１２ａは、別個の要素である本体部１２ａ１、壁部１２ａ２、および壁部１２ａ３が接合されたものとすることができる。
また、第１の載置部１２ａは、本体部１２ａ１、壁部１２ａ２、および壁部１２ａ３が、一体的に成形されたものとすることもできる。
本体部１２ａ１は、平面形状が円形を呈する板状体とすることができる。
なお、平面形状が円形を呈する本体部１２ａ１を例示したが、本体部１２ａ１の平面形状は載置される基板Ｗ１の形状などに応じて適宜変更することができる。例えば、本体部１２ａ１は、平面形状が矩形を呈するものであってもよい。 The first placement unit 12a is a main body 12a1 (corresponding to an example of a first main body), a wall 12a2 (corresponding to an example of a first wall), a wall 12a3 (a second wall) And the hole 12a4.
As shown in FIG. 2 etc., the 1st mounting part 12a shall be what the main-body part 12a1, the wall part 12a2, and the wall part 12a3 which are separate elements were joined.
In addition, the first placement portion 12a may be one in which the main body portion 12a1, the wall portion 12a2, and the wall portion 12a3 are integrally formed.
The main body 12a1 can be a plate-like body having a circular planar shape.
Although the main body portion 12a1 having a circular planar shape is illustrated, the planar shape of the main body portion 12a1 can be appropriately changed according to the shape of the substrate W1 to be mounted, and the like. For example, the main body 12a1 may have a rectangular planar shape.

壁部１２ａ２は、本体部１２ａ１の基板Ｗ１が載置される側の端面１２ａ１ａに設けられている。壁部１２ａ２は、環状を呈し、本体部１２ａ１の外縁を囲んでいる。
壁部１２ａ３は、本体部１２ａ１の端面１２ａ１ａとは反対側の端面１２ａ１ｂに設けられている。壁部１２ａ３は、環状を呈し、本体部１２ａ１の外縁を囲んでいる。
なお、第１の載置部１２ａの載置面は、壁部１２ａ２、および後述する複数の支持部１２ｂ２のそれぞれの頂面を含む面である。 The wall 12a2 is provided on the end face 12a1a of the main body 12a1 on which the substrate W1 is placed. The wall 12a2 has an annular shape and surrounds the outer edge of the main body 12a1.
The wall 12a3 is provided on an end face 12a1b opposite to the end face 12a1a of the main body 12a1. The wall 12a3 has an annular shape and surrounds the outer edge of the main body 12a1.
The mounting surface of the first mounting portion 12a is a surface including the top surfaces of the wall portion 12a2 and a plurality of supporting portions 12b2 described later.

孔部１２ａ４は、本体部１２ａ１を厚み方向に貫通している。孔部１２ａ４は、複数設けられている。隣接する孔部１２ａ４同士の間の寸法は、等しくなっている。すなわち、複数の孔部１２ａ４は、等間隔に設けられている。孔部１２ａ４には後述する支持部１２ｂ２が挿入される。孔部１２ａ４の内壁と、支持部１２ｂ２の側壁との間には、僅かな隙間が設けられている。そのため、支持部１２ｂ２は孔部１２ａ４に沿って移動できるようになっている。また、孔部１２ａ４の内壁と、支持部１２ｂ２の側壁との間の隙間を介して、基板Ｗ１と本体部１２ａ１との間の空間を排気できるようになっている。 The hole 12a4 penetrates the main body 12a1 in the thickness direction. A plurality of holes 12a4 are provided. The dimensions between adjacent holes 12a4 are equal. That is, the plurality of holes 12a4 are provided at equal intervals. A support 12b2 described later is inserted into the hole 12a4. A slight gap is provided between the inner wall of the hole 12a4 and the side wall of the support 12b2. Therefore, the support 12b2 can move along the hole 12a4. Further, the space between the substrate W1 and the main body 12a1 can be exhausted through the gap between the inner wall of the hole 12a4 and the side wall of the support 12b2.

支持部１２ｂ２の間隔、すなわち孔部１２ａ４の間隔を広くしすぎると、基板Ｗ１を吸着した際に基板Ｗ１が局部的に撓むおそれがある。孔部１２ａ４の間隔は、実験やシミュレーションを行うことで適宜設定することができる。
複数の孔部１２ａ４の配置は、例えば、同心円状、千鳥状などとすることができる。 If the distance between the support portions 12 b 2, that is, the distance between the hole portions 12 a 4 is too wide, the substrate W 1 may be locally bent when the substrate W 1 is adsorbed. The distance between the holes 12a4 can be set as appropriate by performing experiments or simulations.
The arrangement of the plurality of holes 12a4 can be, for example, concentric or staggered.

第２の載置部１２ｂは、本体部１２ｂ１（第２の本体部の一例に相当する）、支持部１２ｂ２、および孔部１２ｂ３を有する。
本体部１２ｂ１は、平面形状が円形を呈する板状体とすることができる。
本体部１２ｂ１は、第１の載置部１２ａの本体部１２ａ１と対峙している。
なお、本体部１２ｂ１の平面形状は円形に限定されるわけではない。この場合、本体部１２ｂ１の平面形状は、本体部１２ａ１の平面形状と同じとすることができる。 The second placement unit 12b includes a main body 12b1 (corresponding to an example of a second main body), a support 12b2, and a hole 12b3.
The main body portion 12b1 can be a plate-like body having a circular planar shape.
The main body 12b1 faces the main body 12a1 of the first placement portion 12a.
The planar shape of the main body 12b1 is not limited to a circle. In this case, the planar shape of the main body 12b1 can be the same as the planar shape of the main body 12a1.

支持部１２ｂ２は、柱状を呈し、本体部１２ｂ１の一方の端面側から突出している。
支持部１２ｂ２は、孔部１２ａ４に挿入されている。
なお、本実施の形態における吸着ステージ１２においては、支持部１２ｂ２と孔部１２ａ４の数は同じとなっている。
図２に示すように、支持部１２ｂ２は、円柱状を呈するものとすることができる。なお、支持部１２ｂ２は、角柱状を呈するものであってもよい。ただし、支持部１２ｂ２の断面形状を円形とすれば、孔部１２ａ４の加工を容易とすることができる。
また、支持部１２ｂ２の基板Ｗ１が載置される側の端部は、先端になるに従い断面積が小さくなるようにすることができる。 The support portion 12b2 has a columnar shape and protrudes from one end face side of the main body portion 12b1.
The support 12b2 is inserted into the hole 12a4.
In the suction stage 12 in the present embodiment, the number of support portions 12 b 2 and the number of hole portions 12 a 4 are the same.
As shown in FIG. 2, the support portion 12 b 2 may have a cylindrical shape. The support 12b2 may have a prismatic shape. However, when the cross-sectional shape of the support portion 12b2 is circular, the processing of the hole portion 12a4 can be facilitated.
Further, the end of the support 12b2 on the side on which the substrate W1 is placed can be made to have a smaller cross-sectional area as it becomes the tip.

この様にすれば、基板Ｗ１との接触面積を減らすことができる。その結果、基板Ｗ１の汚れの発生やパーティクルの発生などを抑制することができる。
また、支持部１２ｂ２の頂面の面積を小さくすることができるので、基板Ｗ１の載置面である支持部１２ｂ２の頂面にパーティクルが付着する確率を減らすことができる。そのため、パーティクルによる吸着性性能の低下を抑制することができる。 In this way, the contact area with the substrate W1 can be reduced. As a result, the generation of dirt on the substrate W1, the generation of particles, and the like can be suppressed.
Further, since the area of the top surface of the support portion 12b2 can be reduced, the probability of particles adhering to the top surface of the support portion 12b2, which is the mounting surface of the substrate W1, can be reduced. Therefore, the fall of the adsorptive performance by particles can be suppressed.

複数の支持部１２ｂ２の高さ寸法（本体部１２ｂ１から頂面までの寸法）は、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に応じて適宜変更することができる。
例えば、図２に示す様に、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状を平坦な形状とする場合には、複数の支持部１２ｂ２の高さ寸法を同じにし、且つ、支持部１２ｂ２の端面１２ａ１ａからの突出寸法を壁部１２ａ２の高さ寸法と同じにする。
また、例えば、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状を中央部が基板Ｗ２の方向に突出した形状とする場合には、中央部側に配置される支持部１２ｂ２の高さ寸法を周縁部側に配置される支持部１２ｂ２の高さ寸法より高くする。
The height dimensions (dimensions from the main body portion 12b1 to the top surface) of the plurality of support portions 12b2 can be appropriately changed according to the shape of the substrate W1 at the time of bonding.
For example, as shown in FIG. 2, when making the shape of the substrate W1 at the time of bonding flat, the height dimensions of the plurality of support portions 12b2 are the same, and from the end face 12a1a of the support portions 12b2 Is the same as the height of the wall 12a2.
Further, for example, when the shape of the substrate W1 at the time of bonding is a shape in which the central portion protrudes in the direction of the substrate W2, the height dimension of the support portion 12b2 disposed on the central portion side is on the peripheral portion side. The height dimension is made higher than the height dimension of the support portion 12b2 to be disposed.

この様に、複数の支持部１２ｂ２の本体部１２ｂ１からの突出寸法を異なるものとすることができる。
すなわち、複数の支持部１２ｂ２の高さ寸法を適宜変更することで、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状を任意の形状とすることができる。
そのため、基板Ｗ１が所望の形状でない場合であっても任意の形状に矯正することができるので、基板Ｗ２と歪みなく貼り合わせることができる。 As described above, the projecting dimensions of the plurality of support portions 12b2 from the main body portion 12b1 can be made different.
That is, by appropriately changing the height dimensions of the plurality of support portions 12b2, the shape of the substrate W1 at the time of bonding can be made into an arbitrary shape.
Therefore, even if the substrate W1 does not have a desired shape, it can be corrected to an arbitrary shape, so that it can be bonded to the substrate W2 without distortion.

また、第１の載置部１２ａおよび第２の載置部１２ｂを有する吸着ステージ１２とすることで、基板Ｗ１の形状に対する対応性を向上させることができる。
例えば、基板Ｗ１の形状に応じて、適正な高さ寸法を有し、且つ適正な配置がされた支持部１２ｂ２を有する第２の載置部１２ｂを選定することで、基板Ｗ１の種々の形状に対応することができる。 Further, by adopting the suction stage 12 having the first placement portion 12a and the second placement portion 12b, the adaptability to the shape of the substrate W1 can be improved.
For example, various shapes of the substrate W1 can be obtained by selecting the second placement unit 12b having the support 12b2 having the appropriate height dimension and the proper arrangement according to the shape of the substrate W1. It can correspond to

また、第１の載置部１２ａおよび第２の載置部１２ｂを有する吸着ステージ１２とすることで、メンテナンス性を向上させることができる。
例えば、第１の載置部１２ａに設けられた要素、または第２の載置部１２ｂに設けられた要素のいずれかが破損した場合には、破損した側を交換することで修理を完了させることができる。
また、基板Ｗ１を任意の形状とすることで、基板Ｗ２の貼り合わせの際の接合開始位置を任意の位置とすることができる。例えば、平面視における押圧部の位置に合わせて基板Ｗ２を突出させるように変形することで、基板Ｗ１への押圧力を小さくすることができるので、基板Ｗ１の歪みを小さくすることができる。 In addition, maintenance performance can be improved by using the suction stage 12 having the first placement portion 12a and the second placement portion 12b.
For example, when either the element provided in the first placement unit 12a or the element provided in the second placement unit 12b is broken, the damaged side is replaced to complete the repair. be able to.
Further, by setting the substrate W1 to an arbitrary shape, the bonding start position at the time of bonding the substrates W2 can be set to an arbitrary position. For example, by pressing the substrate W2 so as to project the substrate W2 in accordance with the position of the pressing portion in plan view, the pressing force on the substrate W1 can be reduced, so that the distortion of the substrate W1 can be reduced.

孔部１２ｂ３は、本体部１２ｂ１を厚み方向に貫通している。孔部１２ｂ３の第１の載置部１２ａ側とは反対側の開口には、配管１５ｃを介して排気部１５が接続されている。すなわち、孔部１２ｂ３は、排気用の接続孔とすることができる。 The hole 12b3 penetrates the main body 12b1 in the thickness direction. An exhaust unit 15 is connected to an opening on the opposite side to the first mounting unit 12 a side of the hole 12 b 3 via a pipe 15 c. That is, the hole 12b3 can be a connection hole for exhaust.

基板Ｗ１が吸着ステージ１２に載置された際には、基板Ｗ１の外縁近傍が吸着ステージ１２から突出するようになっている。
この場合、基板Ｗ１の吸着ステージ１２から突出した部分を押し上げる図示しないリフトピンなどを設けることができる。 When the substrate W <b> 1 is placed on the suction stage 12, the vicinity of the outer edge of the substrate W <b> 1 protrudes from the suction stage 12.
In this case, a lift pin (not shown) or the like can be provided to push up a portion of the substrate W1 protruding from the suction stage 12.

図１に示すように、基板支持部１３には、支持爪１３ａ、移動部１３ｂ、および基部１３ｃが設けられている。
支持爪１３ａは、基板Ｗ２の周縁部を支持する。そして、支持爪１３ａに基板Ｗ２を支持させることで、吸着ステージ１２に載置された基板Ｗ１と対峙する所定の位置に基板Ｗ２が支持されるようになっている。 As shown in FIG. 1, the substrate support portion 13 is provided with a support claw 13a, a moving portion 13b, and a base portion 13c.
The support claws 13a support the peripheral portion of the substrate W2. Then, the substrate W2 is supported at a predetermined position facing the substrate W1 mounted on the suction stage 12 by supporting the substrate W2 by the support claws 13a.

移動部１３ｂは、基板Ｗ２を支持する位置と、基板Ｗ２の外方向に退避した位置との間で支持爪１３ａを移動させる。移動部１３ｂは、例えば、サーボモータやパルスモータなどの制御モータを有するものとすることができる。
基部１３ｃは、柱状を呈し、処理容器１１の内部の底面に設けられている。基部１３ｃの端部近傍には、支持爪１３ａ、移動部１３ｂが設けられている。なお、支持爪１３ａ、移動部１３ｂ毎に基部１３ｃが設けられる場合を例示したがこれに限定されるわけではない。例えば、１つの基部１３ｃに複数の支持爪１３ａ、移動部１３ｂが設けられるようにすることもできる。 The moving unit 13 b moves the support claw 13 a between the position supporting the substrate W 2 and the position retracted outward of the substrate W 2. The moving unit 13 b may include, for example, a control motor such as a servomotor or a pulse motor.
The base 13 c has a columnar shape, and is provided on the bottom of the inside of the processing container 11. In the vicinity of the end of the base 13c, a support claw 13a and a moving part 13b are provided. In addition, although the case where the base 13c is provided for every supporting claw 13a and the moving part 13b was illustrated, it is not necessarily limited to this. For example, a plurality of support claws 13a and moving parts 13b can be provided on one base 13c.

また、基板支持部１３の配設数には特に限定はないが、基板Ｗ２の周縁の３箇所以上に均等に割り付けられるようにすることが好ましい。その様にすれば基板Ｗ２の支持状態を安定させることができる。 Further, the number of the substrate support portions 13 is not particularly limited, but it is preferable that the substrate support portions 13 be equally allocated to three or more of the peripheral edge of the substrate W2. By doing so, the support state of the substrate W2 can be stabilized.

押圧部１４には、移動部１４ａ、移動軸１４ｂ、およびパッド１４ｃが設けられている。
押圧部１４は、本体部１２ａ１の端面１２ａ１ａと対峙する位置に設けられている。また、押圧部１４は、支持爪１３ａに支持された基板Ｗ２の略中央部をパッド１４ｃにより押圧することができる位置に設けられている。
押圧部１４は、支持爪１３ａに支持された基板Ｗ２の略中央部をパッド１４ｃで押圧することにより基板Ｗ２を撓ませて、基板Ｗ１の貼り合わせ面の一部と基板Ｗ２の貼り合わせ面の一部とを接触させる。なお、基板Ｗ１、基板Ｗ２の貼り合わせ面とは、互いを対峙させたときに対向する基板Ｗ１、基板Ｗ２のそれぞれの面を指す。 The pressing portion 14 is provided with a moving portion 14 a, a moving shaft 14 b, and a pad 14 c.
The pressing portion 14 is provided at a position facing the end face 12a1a of the main body 12a1. Further, the pressing portion 14 is provided at a position where the substantially central portion of the substrate W2 supported by the support claws 13a can be pressed by the pad 14c.
The pressing unit 14 bends the substrate W2 by pressing the substantially central portion of the substrate W2 supported by the support claws 13a with the pad 14c, and a part of the bonding surface of the substrate W1 and the bonding surface of the substrate W2 Contact with part. Note that the bonding surfaces of the substrate W1 and the substrate W2 indicate the respective surfaces of the substrate W1 and the substrate W2 facing each other when facing each other.

移動部１４ａは、処理容器１１の外部に設けられている。移動部１４ａは、サーボモータやパルスモータなどの制御モータを有するものとすることができる。また、圧力制御された流体により駆動されるもの（例えば、エアシリンダなど）などを有するものとすることもできる。
移動軸１４ｂは、処理容器１１の壁面を貫通するようにして設けられ、一方の端部側が移動部１４ａと接続されている。また、他方の端部側にはパッド１４ｃが取り付けられている。 The moving unit 14 a is provided outside the processing container 11. The moving unit 14a may include a control motor such as a servomotor or a pulse motor. In addition, it may be one that is driven by a pressure-controlled fluid (for example, an air cylinder or the like).
The moving shaft 14 b is provided to penetrate the wall surface of the processing container 11, and one end side is connected to the moving unit 14 a. Further, a pad 14c is attached to the other end side.

パッド１４ｃの先端部分は、略半球状を呈し、その基部は円柱状を呈している。パッド１４ｃは、軟質の弾性体から形成され、押圧時に接触部分を点接触から面接触へと変化させることができるようになっている。そのため、押圧点（接合開始位置）における応力を緩和させることができるので、基板Ｗ２の損傷を抑制することができる。また、ボイドの発生、割れや欠けの発生、擦り傷の発生、スリップなどによる位置ずれの発生などを抑制することもできる。パッド１４ｃは、例えば、シリコンゴムやフッ素ゴムなどの軟質樹脂により形成することができる。この場合、パッド１４ｃをシリコンゴムあるいはフッ素ゴムから形成すれば、基板Ｗ２が汚染されることを抑制することができる。 The tip portion of the pad 14c has a substantially hemispherical shape, and its base has a cylindrical shape. The pad 14c is formed of a soft elastic body so that the contact portion can be changed from point contact to surface contact when pressed. Therefore, since the stress at the pressing point (bonding start position) can be relaxed, damage to the substrate W2 can be suppressed. It is also possible to suppress the occurrence of voids, the occurrence of cracks or chips, the occurrence of scratches, and the occurrence of positional deviation due to slip or the like. The pad 14c can be formed of, for example, a soft resin such as silicone rubber or fluororubber. In this case, if the pad 14c is formed of silicon rubber or fluorine rubber, contamination of the substrate W2 can be suppressed.

なお、押圧部１４は必ずしも必要ではなく、必要に応じて設けるようにすればよい。
例えば、基板Ｗ２を押圧することなく基板Ｗ２の自重により、基板Ｗ１と基板Ｗ２との貼り合わせを行うようにすることもできる。
また、凸状の基板Ｗ１とすることで、基板Ｗ１と基板Ｗ２とを接触させるようにすることもできる。
また、接合開始位置は必ずしも基板Ｗ１の中央である必要はなく、例えば、基板Ｗ１の周端部であってもよい。
また、載置部１２の内部に押圧部１２と同様の押圧部を設け、基板Ｗ１の裏面を基板Ｗ２の方向に向けて押圧することで、基板Ｗ１を凸状に変形させて基板Ｗ１と基板Ｗ２とを接触させるようにすることもできる。 The pressing portion 14 is not necessarily required, and may be provided as necessary.
For example, the substrates W1 and W2 can be bonded to each other by the weight of the substrate W2 without pressing the substrate W2.
Further, by forming the convex substrate W1, the substrate W1 and the substrate W2 can be brought into contact with each other.
The bonding start position does not necessarily have to be at the center of the substrate W1, and may be, for example, the peripheral end of the substrate W1.
In addition, a pressing unit similar to the pressing unit 12 is provided inside the placement unit 12 and the back surface of the substrate W1 is pressed in the direction of the substrate W2, thereby deforming the substrate W1 into a convex shape, and the substrate W1 and the substrate It can also be made to contact W2.

排気部１５には、排気ポンプ１５ａ、制御弁１５ｂ、および配管１５ｃが設けられている。
排気ポンプ１５ａは、例えば、ドライポンプなどとすることができる。
制御弁１５ｂの一端は排気ポンプ１５ａに接続され、制御弁１５ｂの他端は配管１５ｃを介して孔部１２ｂ３に接続されている。 The exhaust unit 15 is provided with an exhaust pump 15a, a control valve 15b, and a pipe 15c.
The exhaust pump 15a can be, for example, a dry pump.
One end of the control valve 15b is connected to the exhaust pump 15a, and the other end of the control valve 15b is connected to the hole 12b3 via the pipe 15c.

制御部１６は、貼合装置１００に設けられた各要素の動作を制御する。
制御部１６は、例えば、以下のような制御を行うことができる。
制御部１６は、制御弁１５ｂを制御して、基板Ｗ１の吸着と吸着の解除とを切り替える。

なお、本明細書における「吸着の解除」は、吸着の停止（排気の停止）のみならず、外気の導入をも含む。
制御部１６は、排気ポンプ１５ａの起動と停止を制御する。
制御部１６は、移動部１３ｂを制御して、支持爪１３ａの位置を制御する。
制御部１６は、移動部１４ａを制御して、パッド１４ｃの位置を制御する。
制御部１６は、開閉扉１１ｂの開閉動作を制御する。 Control part 16 controls operation of each element provided in pasting device 100.
The control unit 16 can perform, for example, the following control.
The control unit 16 controls the control valve 15b to switch between the adsorption of the substrate W1 and the cancellation of the adsorption.

In addition, "cancellation of adsorption" in the present specification includes not only the stop of adsorption (stop of exhaust) but also the introduction of outside air.
The control unit 16 controls the start and stop of the exhaust pump 15a.
The control unit 16 controls the moving unit 13 b to control the position of the support claw 13 a.
The control unit 16 controls the moving unit 14a to control the position of the pad 14c.
The control unit 16 controls the open / close operation of the open / close door 11b.

次に、他の実施形態に係る吸着ステージについて例示をする。
図５は、他の実施形態に係る吸着ステージ２２を例示するための模式図である。
図５に示すように、吸着ステージ２２の構成要素は、前述した吸着ステージ１２の構成要素と同様とすることができる。
ただし、前述した吸着ステージ１２の場合には、孔部１２ａ４の数と支持部１２ｂ２の数が同じとなっていた。つまり、すべての孔部１２ａ４に支持部１２ｂ２が挿入されていた。
これに対して、本実施の形態に係る吸着ステージ２２の場合には、孔部１２ａ４の数が支持部１２ｂ２の数より多くなっている。つまり、支持部１２ｂ２が挿入されていない孔部１２ａ４がある。 Next, an adsorption stage according to another embodiment is illustrated.
FIG. 5 is a schematic view for illustrating a suction stage 22 according to another embodiment.
As shown in FIG. 5, the components of the suction stage 22 can be similar to the components of the suction stage 12 described above.
However, in the case of the suction stage 12 described above, the number of hole portions 12a4 and the number of support portions 12b2 are the same. That is, the support 12b2 is inserted into all the holes 12a4.
On the other hand, in the case of the suction stage 22 according to the present embodiment, the number of hole portions 12a4 is larger than the number of support portions 12b2. That is, there is a hole 12a4 in which the support 12b2 is not inserted.

この様に、基板Ｗ１の厚み寸法や形状などによっては、支持部１２ｂ２の数を間引くこともできる。
支持部１２ｂ２の数を間引くことができれば、コストダウンを図ることができる。また、支持部１２ｂ２が挿入されていない孔部１２ａ４を通気孔として用いることができる。
なお、間引かれる支持部１２ｂ２の数や位置などは、基板Ｗ１の厚み寸法や形状などに応じて適宜変更することができる。 As described above, depending on the thickness dimension and the shape of the substrate W1, the number of support portions 12b2 can be reduced.
If the number of support portions 12b2 can be reduced, cost reduction can be achieved. In addition, the hole 12a4 in which the support 12b2 is not inserted can be used as a through hole.
The number, positions, and the like of the thinned support portions 12b2 can be appropriately changed in accordance with the thickness dimension, the shape, and the like of the substrate W1.

図６は、他の実施形態に係る吸着ステージ３２を例示するための模式図である。
図６に示すように、吸着ステージ３２には、第１の載置部１２ａ、第２の載置部１２ｂ、および、変形部１８が設けられている。
すなわち、吸着ステージ３２は、前述した吸着ステージ１２に変形部１８をさらに設けた場合である。 FIG. 6 is a schematic view for illustrating a suction stage 32 according to another embodiment.
As shown in FIG. 6, the suction stage 32 is provided with a first placement unit 12 a, a second placement unit 12 b, and a deformation unit 18.
That is, in the suction stage 32, the deformation section 18 is further provided on the suction stage 12 described above.

変形部１８は、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に応じて、第２の載置部１２ｂの本体部１２ｂ１の形状を変形させる。
すなわち、前述した吸着ステージ１２の場合には、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に応じて、複数の支持部１２ｂ２の高さ寸法を変更していた。
これに対して、吸着ステージ３２の場合には、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に応じて、第２の載置部１２ｂの本体部１２ｂ１の形状を変形させ、複数の支持部１２ｂ２の頂面の位置を変化させるようにしている。
この様にすれば、複数の支持部１２ｂ２の高さ寸法を一定としても、基板Ｗ１の種々の形状に対応することができる。すなわち、汎用性を向上させることができる。
この場合、第２の載置部１２ｂの本体部１２ｂ１は、加圧されることで変形し、加圧が終われば元の形状に戻ることができ、かつ、貼り合わせに影響しない程度にパーティクルを発生しないものであればよい。例えば、本体部１２ｂ１は、ゴムや樹脂などの可撓性材料から形成されたものや、薄い金属板などであればよい。 The deforming unit 18 deforms the shape of the main body 12b1 of the second placement unit 12b in accordance with the shape of the substrate W1 at the time of bonding.
That is, in the case of the suction stage 12 described above, the height dimensions of the plurality of support portions 12b2 are changed in accordance with the shape of the substrate W1 at the time of bonding.
On the other hand, in the case of the suction stage 32, according to the shape of the substrate W1 at the time of bonding, the shape of the main portion 12b1 of the second placement portion 12b is deformed, and the tops of the plurality of support portions 12b2 I try to change the position of the surface.
In this way, even if the height dimensions of the plurality of support portions 12b2 are constant, various shapes of the substrate W1 can be accommodated. That is, versatility can be improved.
In this case, the main body portion 12b1 of the second placement portion 12b is deformed by being pressurized, and can return to the original shape when the pressurization is finished, and the particles are reduced to such an extent that the bonding is not affected. It does not matter if it does not occur. For example, the main body 12b1 may be made of a flexible material such as rubber or resin, or a thin metal plate.

変形部１８には、駆動部１８ａおよび押圧部１８ｂが設けられている。
駆動部１８ａは、例えば、サーボモータやパルスモータなどの制御モータを有し、押圧部１８ｂの頂面の位置を変化させる。
押圧部１８ｂは、例えば、柱状を呈し、頂面が第２の載置部１２ｂの本体部１２ｂ１に接触している。押圧部１８ｂの頂面側とは反対側の端部は、駆動部１８ａと接続されている。
制御部１６は、駆動部１８ａを制御して複数の支持部１２ｂ２のそれぞれの頂面の位置を制御する。 The deformation portion 18 is provided with a drive portion 18 a and a pressing portion 18 b.
The drive unit 18a includes, for example, a control motor such as a servomotor or a pulse motor, and changes the position of the top surface of the pressing unit 18b.
The pressing portion 18 b has, for example, a columnar shape, and the top surface is in contact with the main portion 12 b 1 of the second placement portion 12 b. The end opposite to the top surface side of the pressing portion 18 b is connected to the driving portion 18 a.
The control unit 16 controls the drive unit 18 a to control the position of the top surface of each of the plurality of support units 12 b 2.

変形部１８の数や配置は、吸着ステージ３２の大きさや基板Ｗ１の形状などに応じて適宜変更することができる。
この場合、図６に示すように、複数の支持部１２ｂ２のそれぞれの下に変形部１８を設けるようにすることができる。この様にすれば、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に対する制御性を向上させることができる。 The number and arrangement of the deformation portions 18 can be appropriately changed according to the size of the suction stage 32, the shape of the substrate W1, and the like.
In this case, as shown in FIG. 6, the deformation portion 18 can be provided under each of the plurality of support portions 12b2. In this way, the controllability of the shape of the substrate W1 at the time of bonding can be improved.

図７（ａ）、（ｂ）は、他の実施形態に係る吸着ステージ４２を例示するための模式図である。
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、吸着ステージ４２には、第１の載置部１２ａ、第２の載置部１２ｂ、および、変形部２８が設けられている。
変形部２８には、エアバッグ２８ａ、ガス供給部２８ｂ、ガス制御部２８ｃ、および配管２８ｄが設けられている。 FIGS. 7A and 7B are schematic views for illustrating a suction stage 42 according to another embodiment.
As shown in FIGS. 7A and 7B, the suction stage 42 is provided with a first placement unit 12a, a second placement unit 12b, and a deformation unit 28.
The deformation portion 28 is provided with an air bag 28a, a gas supply portion 28b, a gas control portion 28c, and a pipe 28d.

エアバッグ２８ａは、袋状を呈し、ゴムや樹脂などの可撓性材料から形成することができる。
ガス供給部２８ｂは、エアバッグ２８ａの内部にガスを供給する。ガスの種類には特に限定がなく、例えば、空気や窒素ガスなどとすることができる。
ガス制御部２８ｃは、エアバッグ２８ａへのガスの供給、エアバッグ２８ａへのガスの供給の停止、エアバッグ２８ａからのガスの排出を制御する。ガス制御部２８ｃは、例えば、三方弁などとすることができる。
配管２８ｄは、ガス供給部２８ｂとガス制御部２８ｃ、およびエアバッグ２８ａとガス制御部２８ｃを接続している。
制御部１６は、ガス制御部２８ｃおよびガス供給部２８ｂを制御して、エアバッグ２８ａの膨張と収縮を制御する。 The airbag 28a has a bag-like shape and can be formed of a flexible material such as rubber or resin.
The gas supply unit 28 b supplies a gas to the inside of the air bag 28 a. There is no limitation in particular in the kind of gas, For example, it can be air, nitrogen gas, etc.
The gas control unit 28c controls the supply of gas to the air bag 28a, the stop of the supply of gas to the air bag 28a, and the discharge of gas from the air bag 28a. The gas control unit 28c can be, for example, a three-way valve or the like.
The pipe 28 d connects the gas supply unit 28 b and the gas control unit 28 c and the air bag 28 a and the gas control unit 28 c.
The control unit 16 controls the gas control unit 28c and the gas supply unit 28b to control the expansion and contraction of the airbag 28a.

エアバッグ２８ａの内部にガスが供給され、エアバッグ２８ａが膨らむと、第２の載置部１２ｂの本体部１２ｂ１がエアバッグ２８ａにより押圧されて変形する。
エアバッグ２８ａが膨らんだ際の形状は、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状に応じたものとなっている。
例えば、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状が凸状の場合には、図７（ａ）に示す様に、エアバッグ２８ａの本体部１２ｂ１との接触面の形状が、凸状の基板Ｗ１の形状と同様となるようになっている。
例えば、貼り合わせの際の基板Ｗ１の形状が平坦な形状の場合には、図７（ｂ）に示す様に、エアバッグ２８ａの本体部１２ｂ１との接触面の形状が、平坦な形状となるようになっている。 When gas is supplied to the inside of the air bag 28 a and the air bag 28 a expands, the main body 12 b 1 of the second placement portion 12 b is pressed by the air bag 28 a and deformed.
The shape when the airbag 28a is inflated corresponds to the shape of the substrate W1 at the time of bonding.
For example, when the shape of the substrate W1 at the time of bonding is convex, as shown in FIG. 7A, the shape of the contact surface with the main body 12b1 of the airbag 28a is the convex shape of the substrate W1. It is supposed to be similar to the shape.
For example, when the shape of the substrate W1 in bonding is flat, as shown in FIG. 7B, the shape of the contact surface of the airbag 28a with the main body 12b1 is flat. It is supposed to be.

すなわち、エアバッグ２８ａが膨らんだ際の形状を適宜選定することで、基板Ｗ１の種々の形状に対応することができる。

また、エアバッグ２８ａの内部に所定の温度に加熱されたガスを供給することもできる。
エアバッグ２８ａの内部に所定の温度に加熱されたガスを供給すれば、貼り合わせの際に基板Ｗ１の温度を制御することができるので、熱歪みの低減を図ることができる。
この場合、ガス供給部２８ｂや配管２８ｄなどに設けられた図示しないヒータにより、エアバッグ２８ａの内部に供給されるガスを加熱することができる。 That is, various shapes of the substrate W1 can be coped with by appropriately selecting the shape when the air bag 28a is inflated.

In addition, a gas heated to a predetermined temperature can be supplied to the inside of the air bag 28a.
If the gas heated to a predetermined temperature is supplied to the inside of the air bag 28a, the temperature of the substrate W1 can be controlled at the time of bonding, so that thermal distortion can be reduced.
In this case, the gas supplied to the inside of the air bag 28a can be heated by a heater (not shown) provided in the gas supply unit 28b, the pipe 28d, and the like.

図８は、他の実施形態に係る吸着ステージ５２を例示するための模式図である。
図９は、第１の載置部５２ａを例示するための模式平面図である。
図８および図９に示すように、吸着ステージ５２には、第１の載置部５２ａおよび第２の載置部５２ｂが設けられている。
第１の載置部５２ａは、本体部１２ａ１、壁部１２ａ２、壁部１２ａ３、孔部１２ａ４、壁部５２ａ２（第３の壁部の一例に相当する）、および壁部５２ａ３（第４の壁部の一例に相当する）を有する。
すなわち、第１の載置部５２ａは、前述した第１の載置部１２ａに、さらに壁部５２ａ２および壁部５２ａ３を設けた場合である。
壁部５２ａ２は、環状を呈し、壁部１２ａ２の内側に設けられている。
壁部５２ａ３は、環状を呈し、壁部１２ａ３の内側に設けられている。 FIG. 8 is a schematic view for illustrating a suction stage 52 according to another embodiment.
FIG. 9 is a schematic plan view for illustrating the first placement portion 52a.
As shown in FIGS. 8 and 9, the suction stage 52 is provided with a first placement portion 52a and a second placement portion 52b.
The first placement unit 52a includes a main body 12a1, a wall 12a2, a wall 12a3, a hole 12a4, a wall 52a2 (corresponding to an example of a third wall), and a wall 52a3 (a fourth wall). Corresponding to an example of a part).
That is, in the first placement portion 52a, the wall portion 52a2 and the wall portion 52a3 are further provided on the first placement portion 12a described above.
The wall 52a2 has an annular shape and is provided inside the wall 12a2.
The wall 52a3 has an annular shape and is provided inside the wall 12a3.

第２の載置部５２ｂは、本体部１２ｂ１、支持部１２ｂ２、孔部１２ｂ３、および孔部５２ｂ３を有する。
すなわち、第２の載置部５２ｂは、前述した第２の載置部１２ｂに、さらに孔部５２ｂ３を設けた場合である。
この場合、孔部１２ｂ３には配管１５ｃを介して制御弁１５ｂが接続されている。制御弁１５ｂには排気ポンプ１５ａが接続されている。
また、孔部５２ｂ３には配管１５ｃ１を介して制御弁１５ｂ１が接続されている。制御弁１５ｂ１には排気ポンプ１５ａが接続されている。
なお、制御弁１５ｂ１は、制御弁１５ｂと同様とすることができる。配管１５ｃは、配管１５ｃ１と同様とすることができる。
なお、本実施の形態に係る吸着ステージ５２の場合には、孔部１２ａ４の数と支持部１２ｂ２の数が同じとなっている。つまり、すべての孔部１２ａ４に支持部１２ｂ２が挿入されている。 The second placement unit 52b includes a main body 12b1, a support 12b2, a hole 12b3, and a hole 52b3.
That is, in the second placement unit 52b, the hole 52b3 is further provided in the second placement unit 12b described above.
In this case, the control valve 15b is connected to the hole 12b3 via the pipe 15c. An exhaust pump 15a is connected to the control valve 15b.
Further, a control valve 15b1 is connected to the hole 52b3 via a pipe 15c1. An exhaust pump 15a is connected to the control valve 15b1.
The control valve 15b1 can be similar to the control valve 15b. The pipe 15c can be similar to the pipe 15c1.
In the case of suction stage 52 according to the present embodiment, the number of holes 12a4 is the same as the number of support portions 12b2. That is, the support 12b2 is inserted into all the holes 12a4.

すなわち、吸着ステージ５２においては、壁部１２ａ２と壁部５２ａ２の間に位置する領域５２ｇ（第１の領域の一例に相当する）と、壁部５２ａ２の内側に位置する領域５２ｈ（第２の領域の一例に相当する）とに区画されている。
そして、基板Ｗ１の外縁側の吸着および中央部側の吸着を別々に制御することができるようになっている。
制御部１６は、制御弁１５ｂ、制御弁１５ｂ１および排気ポンプ１５ａを制御して、領域５２ｇと領域５２ｈにおける基板Ｗ１の吸着と吸着の解除とを制御する。 That is, in the suction stage 52, a region 52g (corresponding to an example of a first region) located between the wall 12a2 and the wall 52a2 and a region 52h (second region located inside the wall 52a2) (Corresponding to one example).
Then, the suction on the outer edge side of the substrate W1 and the suction on the central portion side can be separately controlled.
The control unit 16 controls the control valve 15b, the control valve 15b1, and the exhaust pump 15a to control the adsorption of the substrate W1 in the area 52g and the area 52h and the release of the adsorption.

また、平面視における領域５２ｇの面積と、領域５２ｈの面積とが同じとなっている。平面視における領域５２ｇの面積と、領域５２ｈの面積を同じにすれば、それぞれの領域において発生する単位面積当たりの吸着力を同じにすることができる。
または、領域５２ｇにおける孔部５２ｂ３を介した吸引量と、領域５２ｈにおける孔部１２ｂ３を介した吸引量を同じにすれば、それぞれの領域において発生する単位面積あたりの吸着力を同じにすることができる。すなわち、領域５２ｇと領域５２ｈにおけるそれぞれの吸引量を同じにすればよい。その結果、それぞれの領域において歪みのない吸着を行うことができる。
なお、壁部１２ａ２の内側に壁部５２ａ２を設け、壁部１２ａ３の内側に壁部５２ａ３を設ける場合を例示したが、壁部５２ａ２および壁部５２ａ３のそれぞれの内側にさらに壁部を設けることもできる。 Further, the area of the area 52g in plan view is the same as the area of the area 52h. If the area of the area 52g in plan view and the area of the area 52h are made the same, the adsorption force per unit area generated in each area can be made the same.
Alternatively, if the suction amount through the holes 52b3 in the region 52g and the suction amount through the holes 12b3 in the region 52h are made the same, the adsorption force per unit area generated in each region may be the same. it can. That is, the suction amounts in the area 52g and the area 52h may be made the same. As a result, unstrained adsorption can be performed in each region.
Although the case where the wall 52a2 is provided inside the wall 12a2 and the wall 52a3 is provided inside the wall 12a3 is illustrated, it is also possible to further provide a wall inside the wall 52a2 and the wall 52a3. it can.

ここで、基板Ｗ１には反りなどの変形がある。そのため、単に、基板Ｗ１を吸着させても基板Ｗ１全体を第１の載置部５２ａに密着させるのは困難である。例えば、反りなどの変形がある基板Ｗ１を１回の吸着動作で吸着させると、局所的に第１の載置部５２ａと密着していない部分、すなわち変形している部分が残るおそれがある。変形している部分が残ると、基板Ｗ１と基板Ｗ２の貼り合わせの位置精度が悪くなるおそれがある。 Here, the substrate W1 has deformation such as warpage. Therefore, even if the substrate W1 is simply adsorbed, it is difficult to bring the entire substrate W1 into close contact with the first placement portion 52a. For example, when the substrate W1 having deformation such as warpage is adsorbed by one adsorption operation, there is a possibility that a portion not in close contact with the first placement portion 52a, that is, a deformed portion may remain. If the deformed portion remains, the positional accuracy of the bonding of the substrate W1 and the substrate W2 may be degraded.

本実施の形態に係る吸着ステージ５２とすれば、以下のようにして第１の載置部５２ａに基板Ｗ１を吸着させることができる。
まず、領域５２ｇおよび領域５２ｈのいずれか一方における基板Ｗ１の吸着を行い、領域５２ｇおよび領域５２ｈのいずれか他方における基板Ｗ１の吸着を解除する。
例えば、領域５２ｇおける基板Ｗ１の吸着を行い、領域５２ｈにおける基板Ｗ１の吸着を解除する。
あるいは、領域５２ｈおける基板Ｗ１の吸着を行い、領域５２ｇにおける基板Ｗ１の吸着を解除する。
続いて、前述のものとは逆の動作を行う。
すなわち、吸着を行っていた領域の吸着を解除し、吸着を解除していた領域の吸着を行う。 With the suction stage 52 according to the present embodiment, the substrate W1 can be suctioned to the first placement unit 52a as follows.
First, the substrate W1 is adsorbed in one of the region 52g and the region 52h, and the adsorption of the substrate W1 in one of the region 52g and the region 52h is released.
For example, the suction of the substrate W1 in the region 52g is performed, and the suction of the substrate W1 in the region 52h is released.
Alternatively, the suction of the substrate W1 in the region 52h is performed, and the suction of the substrate W1 in the region 52g is released.
Subsequently, the operation reverse to that described above is performed.
That is, the suction of the area which has been suctioned is released, and the suction of the area which has been suctioned is performed.

この様にすれば、反りなどの変形がある基板Ｗ１であっても、第１の載置部５２ａの載置面の形状に倣わすことができる。すなわち、反りなどの変形がある基板Ｗ１を意図した形状（第１の載置部５２ａの載置面の形状）に矯正することができる。そのため、基板Ｗ１と基板Ｗ２の貼り合わせの位置精度を向上させることができる。
なお、第１の載置部５２ａの載置面は、壁部１２ａ２、壁部５２ａ２、および複数の支持部１２ｂ２のそれぞれの頂面を含む面である。
また、この吸着と吸着の解除を複数回繰り返すこともできる。
この様にすれば、反りなどの変形が大きい基板Ｗ１や厚みの厚い基板Ｗ１であっても、第１の載置部５２ａの載置面の形状に倣わすことができる。
また、吸着と吸着の解除の繰り返し回数は適宜変更することができる。
なお、吸着と解除をそれぞれ１回ずつ交互に行うのではなく、吸着と解除をそれぞれ複数回ずつ交互に行うようにしてもよい。 In this way, even if the substrate W1 has a deformation such as warpage, the shape of the mounting surface of the first mounting portion 52a can be followed. That is, it is possible to correct the substrate W1 having a deformation such as warpage into an intended shape (the shape of the mounting surface of the first mounting portion 52a). Therefore, the positional accuracy of the bonding of the substrate W1 and the substrate W2 can be improved.
The mounting surface of the first mounting unit 52a is a surface including the top surfaces of the wall 12a2, the wall 52a2, and the plurality of supports 12b2.
Also, the suction and release of the suction can be repeated multiple times.
In this way, even the substrate W1 having a large deformation such as warpage or the substrate W1 having a large thickness can be conformed to the shape of the mounting surface of the first mounting portion 52a.
Further, the number of repetitions of suction and release of suction can be changed as appropriate.
Note that suction and release may be alternately performed a plurality of times instead of alternately performing suction and release one time each.

図１０は、他の実施形態に係る吸着ステージ６２を例示するための模式図である。
図１０に示すように、吸着ステージ６２の構成要素は、前述した吸着ステージ５２の構成要素と同様とすることができる。
ただし、前述した吸着ステージ５２の場合には、孔部１２ａ４の数と支持部１２ｂ２の数が同じとなっていた。つまり、すべての孔部１２ａ４に支持部１２ｂ２が挿入されていた。
これに対して、本実施の形態に係る吸着ステージ６２の場合には、孔部１２ａ４の数が支持部１２ｂ２の数より多くなっている。つまり、支持部１２ｂ２が挿入されていない孔部１２ａ４がある。 FIG. 10 is a schematic view for illustrating a suction stage 62 according to another embodiment.
As shown in FIG. 10, the components of the suction stage 62 can be the same as the components of the suction stage 52 described above.
However, in the case of the suction stage 52 described above, the number of hole portions 12a4 and the number of support portions 12b2 are the same. That is, the support 12b2 is inserted into all the holes 12a4.
On the other hand, in the case of the suction stage 62 according to the present embodiment, the number of hole portions 12a4 is larger than the number of support portions 12b2. That is, there is a hole 12a4 in which the support 12b2 is not inserted.

次に、貼合装置１００の作用とともに、吸着ステージ１２、２２、３２、４２、５２、６２の作用および本実施の形態に係る貼合方法について例示をする。
まず、図示しない搬送装置により、基板Ｗ１を開口部１１ａから処理容器１１の内部に搬入する。なお、開閉扉１１ｂは図示しない駆動部により開かれている。
処理容器１１の内部に搬入された基板Ｗ１は、第１の載置部１２ａ、５２ａの上に載置される。 Next, together with the action of the bonding apparatus 100, the action of the suction stages 12, 22, 32, 42, 52, 62 and the bonding method according to the present embodiment will be illustrated.
First, the substrate W1 is carried into the processing container 11 from the opening 11a by a transfer device (not shown). The open / close door 11b is opened by a drive unit (not shown).
The substrate W1 carried into the processing container 11 is placed on the first placement units 12a and 52a.

次に、排気部１５を動作させて、基板Ｗ１を吸着ステージ１２、２２、３２、４２、５２、６２に吸着させる。
なお、吸着ステージ３２の場合には、変形部１８を動作させて、基板Ｗ１の形状が所望の形状となるようにする。
吸着ステージ４２の場合には、変形部２８を動作させて、基板Ｗ１の形状が所望の形状となるようにする。
例えば、基板Ｗ１を支持する複数の支持部１２ｂ２の頂面の位置を変化させて、基板Ｗ１の形状を変化させる。
なお、吸着ステージ４２の場合には、エアバッグ２８ａを膨らませることで基板Ｗ１を支持する複数の支持部１２ｂ２の頂面の位置を変化させる。 Next, the exhaust unit 15 is operated to cause the substrate W1 to be adsorbed to the adsorption stages 12, 22, 32, 42, 52, 62.
In the case of the suction stage 32, the deformation portion 18 is operated so that the shape of the substrate W1 becomes a desired shape.
In the case of the suction stage 42, the deformation unit 28 is operated so that the shape of the substrate W1 becomes a desired shape.
For example, the shape of the substrate W1 is changed by changing the positions of the top surfaces of the plurality of supports 12b2 that support the substrate W1.
In the case of the suction stage 42, the airbag 28a is inflated to change the positions of the top surfaces of the plurality of support portions 12b2 that support the substrate W1.

また、吸着ステージ５２、６２の場合には、前述したようにして基板Ｗ１の吸着と吸着の解除を所定の領域毎に交互に行う。
例えば、吸着ステージ５２に設けられた領域５２ｇにおけるＷ１基板の吸着を行う際には、領域５２ｇに隣接する領域５２ｈにおける基板Ｗ１の吸着を解除する。
また、領域５２ｇおよび領域５２ｈにおける、基板Ｗ１の吸着と基板Ｗ１の吸着の解除とをそれぞれ交互に行う。
また、領域５２ｇおよび領域５２ｈにおける基板Ｗ１の吸着と基板Ｗ１の吸着の解除とをそれぞれ交互に複数回行い、その後、領域５２ｇおよび領域５２ｈにおいて基板Ｗ１を吸着保持する。 Further, in the case of the suction stages 52 and 62, suction and release of the suction of the substrate W1 are alternately performed for each predetermined area as described above.
For example, when the W1 substrate is suctioned in the region 52g provided on the suction stage 52, the suction of the substrate W1 in the region 52h adjacent to the region 52g is released.
Further, the adsorption of the substrate W1 and the release of the adsorption of the substrate W1 in the regions 52g and 52h are alternately performed.
Further, the adsorption of the substrate W1 in the regions 52g and 52h and the release of the adsorption of the substrate W1 are alternately performed a plurality of times, and then the substrate W1 is adsorbed and held in the regions 52g and 52h.

次に、図示しない搬送装置により、基板Ｗ２を開口部１１ａから処理容器１１の内部に搬入する。
そして、基板Ｗ２を支持爪１３ａの上に載置する。
次に、基板Ｗ１と基板Ｗ２とを貼り合わせる。
まず、開閉扉１１ｂが閉じられ処理容器１１が密閉される。
次に、支持爪１３ａに支持された基板Ｗ２の略中央部をパッド１４ｃで押圧することにより基板Ｗ２を撓ませて、基板Ｗ１の貼り合わせ面の一部と基板Ｗ２の貼り合わせ面の一部とを接触させる。 Next, the substrate W2 is carried into the processing container 11 from the opening 11a by a transfer device (not shown).
Then, the substrate W2 is placed on the support claws 13a.
Next, the substrate W1 and the substrate W2 are attached to each other.
First, the open / close door 11 b is closed to seal the processing container 11.
Next, the substrate W2 is bent by pressing the substantially central portion of the substrate W2 supported by the support claws 13a with the pad 14c, and a part of the bonding surface of the substrate W1 and a part of the bonding surface of the substrate W2 And contact.

この際、貼り合わせの進行とともに支持爪１３ａを退避方向に徐々に移動させる。
基板Ｗ１の貼り合わせ面と基板Ｗ２の貼り合わせ面とが接触する部分（貼り合わされた部分）が中央部から周縁部に向けて拡大して行く。
そして、基板Ｗ２の周縁部が支持爪１３ａから外れると基板Ｗ１の貼り合わせ面と基板Ｗ２の貼り合わせ面とが全面において接触することになる。すなわち、基板Ｗ１と基板Ｗ２とが貼り合わされて貼合基板が形成される。
また、貼り合わせ進行時において、基板Ｗ１と基板Ｗ２の全面が貼り合わされるまで基板Ｗ１を吸着ステージ１２、２２、３２、４２、５２、６２に全面吸着してもよい。また、貼り合わせの進行にしたがって、基板Ｗ１の一部（例えば基板Ｗ１の周縁部）の吸着を解除してもよい。 At this time, the support claws 13a are gradually moved in the retraction direction with the progress of bonding.
The portion (the bonded portion) where the bonding surface of the substrate W1 and the bonding surface of the substrate W2 contact each other is expanded from the central portion toward the peripheral portion.
Then, when the peripheral portion of the substrate W2 is released from the support claw 13a, the bonding surface of the substrate W1 and the bonding surface of the substrate W2 come into contact over the entire surface. That is, the substrate W1 and the substrate W2 are bonded to each other to form a bonded substrate.
Further, when the bonding is in progress, the entire surface of the substrate W1 may be adsorbed onto the suction stages 12, 22, 32, 42, 52, 62 until the entire surfaces of the substrate W1 and the substrate W2 are bonded. Further, the adsorption of a part of the substrate W1 (for example, the peripheral portion of the substrate W1) may be released as the bonding proceeds.

次に、パッド１４ｃを上昇させる。
形成された貼合基板は、図示しない搬送装置により処理容器１１の外部に搬出される。以後、必要に応じて前述の手順を繰り返すことで基板Ｗ１と基板Ｗ２の貼り合わせを連続的に行うことができる。 Next, the pad 14c is raised.
The bonded substrate formed is carried out of the processing container 11 by the conveyance apparatus which is not shown in figure. After that, the substrate W1 and the substrate W2 can be continuously bonded by repeating the above-described procedure as necessary.

以上、実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、貼合装置１００や吸着ステージ１２〜６２が備える各要素の形状、寸法、材質、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。 The embodiments have been illustrated above. However, the present invention is not limited to these descriptions.
Those skilled in the art can appropriately add, delete, or change design elements of the above-described embodiment, or can add, omit, or change the process of the components, to which the features of the present invention are also provided. As long as it is included in the scope of the present invention.
For example, the shape, size, material, arrangement, number, and the like of the elements included in the bonding apparatus 100 and the suction stages 12 to 62 are not limited to those illustrated, but can be changed as appropriate.
Moreover, each element with which each embodiment mentioned above is equipped can be combined as much as possible, and what combined these is also included in the scope of the present invention as long as the feature of the present invention is included.

１１処理容器、１２吸着ステージ、１２ａ第１の載置部、１２ａ１本体部、１２ａ２壁部、１２ａ３壁部、１２ａ４孔部、１２ｂ第２の載置部、１２ｂ１本体部、１２ｂ２支持部、１２ｂ３孔部、１３基板支持部、１３ａ支持爪、１３ｂ移動部、１３ｃ基部、１４押圧部、１４ａ移動部、１４ｂ移動軸、１４ｃパッド、１５排気部、１５ａ排気ポンプ、１５ｂ制御弁、１５ｃ配管、１６制御部、１８変形部、１８ａ駆動部、１８ｂ押圧部、２２吸着ステージ、２８変形部、２８ａエアバッグ、２８ｂガス供給部、２８ｃガス制御部、２８ｄ配管、３２吸着ステージ、４２吸着ステージ、５２吸着ステージ、５２ａ第１の載置部、５２ｂ第２の載置部、５２ａ２壁部、５２ａ３壁部、６２吸着ステージ、１００貼合装置、Ｗ１基板、Ｗ２基板 11 processing container, 12 suction stage, 12a first loading section, 12a1 main body section, 12a2 wall section, 12a3 wall section, 12a4 hole section, 12b second loading section, 12b1 main body section, 12b2 support section, 12b3 hole Parts, 13 substrate support parts, 13a support claws, 13b moving parts, 13c bases, 14 pressing parts, 14a moving parts, 14b moving shafts, 14c pads, 15 exhaust parts, 15a exhaust pumps, 15b control valves, 15c pipes, 16 controls 18, 18 deformation unit, 18a drive unit, 18b pressing unit, 22 suction stage, 28 deformation unit, 28a airbag, 28b gas supply unit, 28c gas control unit, 28d piping, 32 suction stage, 42 suction stage, 52 suction stage , 52a first mounting portion, 52b second mounting portion, 52a2 wall portion, 52a3 wall portion, 2 suction stage, 100 bonding apparatus, W1 substrate, W2 substrate

Claims

A suction stage comprising a first placement unit and a second placement unit, the suction stage comprising:
The first placement unit is
A first wall provided on an outer edge side of one end face of the first main body and exhibiting an annular shape;
A second wall portion provided on an outer edge side of an end surface of the first body portion opposite to the side on which the first wall portion is provided, and exhibiting an annular shape;
A hole penetrating the first main body in the thickness direction;
Have
The second placement unit is
A second main body facing the first main body;
A support which protrudes from the second main body, is inserted into the hole, and protrudes from one end face of the first main body;
A suction stage in which the position of the top surface of the support portion is variable.

The first placement unit is
A third wall provided on the inside of the first wall and exhibiting an annular shape;
The adsorption stage according to claim 1, further comprising: a fourth wall provided on an inner side of the second wall and exhibiting an annular shape.

The suction stage according to claim 1 or 2, wherein a gap is provided between the inner wall of the hole and the side wall of the support.

The first placement unit has a plurality of the holes.
The second placement portion includes a plurality of the support portions having different projecting dimensions from the second main body portion,
The adsorption stage according to any one of claims 1 to 3, wherein the number of the plurality of holes is larger than the number of the plurality of supports.

The adsorption | suction stage as described in any one of Claims 1-4 further equipped with the deformation part which deform | transforms the shape of a said 2nd main-body part.

A suction stage comprising a first placement unit and a second placement unit;
A substrate support portion for supporting a second substrate placed opposite to the first substrate placed on the suction stage with a predetermined distance therebetween;
Bonding device provided with
The first placement unit is
A first wall provided on an outer edge side of one end face of the first main body and exhibiting an annular shape;
A second wall portion provided on an outer edge side of an end surface of the first body portion opposite to the side on which the first wall portion is provided, and exhibiting an annular shape;
A hole penetrating the first main body in the thickness direction;
Have
The second placement unit is
A second main body facing the first main body;
A support which protrudes from the second main body and is inserted into the hole;
The bonding apparatus characterized by having.

The adsorption stage according to any one of claims 1 to 5,
A substrate support portion for supporting a second substrate placed opposite to the first substrate placed on the suction stage with a predetermined distance therebetween;
Bonding device equipped with

Allowing a first substrate to be adsorbed to the adsorption stage according to any one of claims 1 to 5 .
Bringing the second substrate into contact with the adsorbed first substrate at a predetermined interval;
Bringing a portion of the bonding surface of the second substrate into contact with a portion of the bonding surface of the first substrate;
Have
In the step of adsorbing the first substrate to an adsorption stage,
The bonding method which changes the position of the top face of the several support part which supports a said 1st board | substrate, and changes the shape of a said 1st board | substrate.

In the step of adsorbing the first substrate to an adsorption stage,
The bonding method according to claim 8, wherein the position of the top surface of the plurality of supports supporting the first substrate is changed by inflating an air bag.