JP6426042B2 - Air pressure adjustment unit for air spring - Google Patents

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Description

本発明は、空気バネ用空気圧調整ユニットに関する。   The present invention relates to an air pressure adjusting unit for an air spring.

従来、振動抑制装置等に用いられる空気バネ内の空気圧を調整するため、空気バネに供給する空気の量を制御する流量制御部が用いられている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, in order to adjust the air pressure in an air spring used for a vibration suppression device or the like, a flow control unit that controls the amount of air supplied to the air spring is used (see, for example, Patent Document 1).

特開２００５−１４７３１８号公報JP, 2005-147318, A

上記特許文献１に記載の技術において、流量制御部は、流れる空気に混入した異物の影響等により、不具合が生じることがある。流量制御部に不具合が生じると、例えば空気バネに供給される空気の量が過剰となり、空気バネの内圧が過剰に高くなるという問題がある。   In the technique described in Patent Document 1 described above, the flow rate control unit may have a problem due to the influence of foreign matter mixed in the flowing air. If a problem occurs in the flow rate control unit, for example, the amount of air supplied to the air spring becomes excessive, and the internal pressure of the air spring becomes excessively high.

そこで本発明は、流量制御部に不具合が生じた場合であっても、空気バネの内圧が過剰に高くなることを抑制することができる空気バネ用空気圧調整ユニットを提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the air pressure adjustment unit for air springs which can suppress that the internal pressure of an air spring becomes high too much, even when a malfunction arises in a flow control part.

上記課題を解決するため、本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットは、空気バネに供給される空気の量を制御する流量制御部と、空気バネと流量制御部との間の空気の流路に設けられ、空気バネに対して供給及び排出される空気の流れを切り替える切替部と、を備える。   In order to solve the above problems, the air pressure adjustment unit for air spring according to the present invention includes a flow control unit that controls an amount of air supplied to the air spring, and an air flow path between the air spring and the flow control unit. And a switching unit that switches the flow of air supplied and discharged to the air spring.

従来、流量制御部によって空気バネに供給される空気の量を制御して空気バネの内圧を適切に保つよう制御しているが、流量制御部に不具合が生じた場合には空気バネの内圧が過剰に高くなる可能性がある。本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットでは、切替部によって、空気バネに対して供給及び排出される空気の流れを切り替えることができる。その結果、空気バネの内圧が過剰に高くなることを抑制することが可能となる。以上より、流量制御部に不具合が生じた場合であっても、空気バネの内圧が過剰に高くなることを抑制することができる。   Conventionally, the flow control unit controls the amount of air supplied to the air spring to control the internal pressure of the air spring to be appropriate. However, if a problem occurs in the flow control unit, the internal pressure of the air spring is It can be too high. In the air pressure adjustment unit for air spring according to the present invention, the switching unit can switch the flow of air supplied to and discharged from the air spring. As a result, it is possible to suppress the internal pressure of the air spring from becoming excessively high. As mentioned above, even if it is a case where a fault arises in a flow control part, it can control that the internal pressure of an air spring becomes high too much.

また、本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットにおいて、流量制御部と切替部との間の空気の流路にフィルタが設けられていてもよい。この場合、例えば空気バネから流量制御部に向かって流れる空気に異物等が混入した場合であっても、当該空気は、フィルタを通り、フィルタによって異物等を除去されてから流量制御部へ流れ込む。よって、当該異物等により流量制御部に不具合が生じることを抑制することができる。   In the air spring air pressure adjusting unit according to the present invention, a filter may be provided in the air flow path between the flow rate control unit and the switching unit. In this case, even if foreign matter or the like is mixed into the air flowing from the air spring toward the flow control unit, for example, the air passes through the filter and is removed by the filter before flowing into the flow control unit. Therefore, it can suppress that a malfunction arises in a flow control part by the said foreign material etc.

また、本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットにおいて、切替部は、三方弁であってもよい。この場合、切替部による空気の流れの切り替えを三方弁で行うので、複数の弁を組み合わせて切替部を構成する場合よりも、空気バネ用空気圧調整ユニットをコンパクトな構成で実現できる。   In the air pressure adjustment unit for air spring according to the present invention, the switching unit may be a three-way valve. In this case, since switching of the flow of air by the switching unit is performed by the three-way valve, the air spring air pressure adjusting unit can be realized with a compact configuration as compared to the case where the switching unit is configured by combining a plurality of valves.

また、本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットにおいて、流量制御部と切替部とは、流路形成ブロックに据え付けられており、流路形成ブロックには、空気が供給又は排出される流れを構成する管路が形成されていてもよい。この場合、流量制御部と切替部とが同じ流路形成ブロックに据え付けられることにより、空気バネ用空気圧調整ユニットを一体的に構成することができる。さらに、流路形成ブロックには、空気が供給又は排出される流れを構成する管路が形成されているので、空気が供給又は排出される複数の流れを一つの流路形成ブロックによりまとめて形成することができる。以上より、空気バネ用空気圧調整ユニットをコンパクトな構成で実現できる。   Further, in the air pressure adjusting unit for air spring according to the present invention, the flow control unit and the switching unit are installed in the flow path forming block, and the flow forming block is configured to flow supplied or discharged with air. A pipeline may be formed. In this case, by installing the flow control unit and the switching unit in the same flow path forming block, the air spring air pressure adjustment unit can be integrally configured. Furthermore, since the flow path forming block is formed with a pipeline forming a flow to be supplied or discharged with air, a plurality of flows to be supplied or discharged from the air are collectively formed by one flow path forming block can do. As described above, the air pressure adjusting unit for air spring can be realized with a compact configuration.

また、本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットにおいて、空気バネ内の圧縮空気の圧力状態に応じて切替部の切り替えを制御する切替制御部を更に備えてもよい。この場合、切替制御部により切替部の切り替えが自動的に行われるので、空気バネの内圧が過剰に高くなることを容易に抑制することができる。   The air spring air pressure adjusting unit according to the present invention may further include a switching control unit that controls switching of the switching unit according to the pressure state of the compressed air in the air spring. In this case, switching of the switching unit is automatically performed by the switching control unit, so that the internal pressure of the air spring can be easily suppressed from becoming excessively high.

本発明によれば、流量制御部に不具合が生じた場合であっても、空気バネの内圧が過剰に高くなることを抑制することができる空気バネ用空気圧調整ユニットを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an air spring air pressure adjusting unit capable of suppressing the internal pressure of the air spring from becoming excessively high even when a problem occurs in the flow rate control unit.

本発明の一実施形態に係る空気バネ用空気圧調整ユニットが適用されるステージ装置を示す概略上面図及び概略側面図である。It is a schematic top view and a schematic side view showing a stage device to which an air pressure adjusting unit for an air spring according to an embodiment of the present invention is applied. 本発明の一実施形態に係る空気バネ用空気圧調整ユニットの概略を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing the outline of the air pressure adjustment unit for air springs concerning one embodiment of the present invention. 図２に示す空気バネ用空気圧調整ユニットの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the air pressure adjustment unit for air springs shown in FIG. 制御部の動作の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of operation | movement of a control part. 空気圧調整ユニットにおける圧縮空気の流れを示す概略模式図である。It is a schematic diagram which shows the flow of the compressed air in an air pressure adjustment unit.

以下、添付図面を参照しながら本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットの実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   Hereinafter, an embodiment of an air pressure adjusting unit for an air spring according to the present invention will be described with reference to the attached drawings. In the following description, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals and redundant description will be omitted.

本実施形態に係る空気バネ用空気圧調整ユニット（以下、「空気圧調整ユニット」ともいう）は、例えば半導体を露光するための半導体露光装置に使用されるステージ装置に適用される。図１は、本発明の一実施形態に係る空気バネ用空気圧調整ユニットが適用されるステージ装置を示す概略上面図及び概略側面図である。図１の（ａ）は、ステージ装置の概略上面図を示し、図１の（ｂ）は、ステージ装置の概略側面図を示している。   The air pressure adjustment unit for air spring (hereinafter also referred to as “air pressure adjustment unit”) according to the present embodiment is applied to, for example, a stage apparatus used for a semiconductor exposure apparatus for exposing a semiconductor. FIG. 1 is a schematic top view and a schematic side view showing a stage apparatus to which an air pressure adjusting unit for an air spring according to an embodiment of the present invention is applied. FIG. 1A shows a schematic top view of the stage apparatus, and FIG. 1B shows a schematic side view of the stage apparatus.

図１の（ａ）及び（ｂ）に示すように、ステージ装置２０は、プレートＸＹステージ２１と、プレートＸＹステージ２１を支持する精密ステージ２２と、精密ステージ２２を支持する複数（本実施形態では、４本）の空気バネ２とを有している。プレートＸＹステージ２１は、板状を呈し、精密ステージ２２上においてＸ方向及びＹ方向に水平移動可能である。   As shown in (a) and (b) of FIG. 1, the stage device 20 includes a plate XY stage 21, a precision stage 22 supporting the plate XY stage 21, and a plurality of precision stages 22 supporting the precision stage 22 (in this embodiment) , 4) air springs 2. The plate XY stage 21 has a plate shape, and can horizontally move in the X direction and the Y direction on the precision stage 22.

空気バネ２には、本実施形態に係る空気圧調整ユニット１を介してエアコンプレッサ４が接続されている。空気バネ２には、エアコンプレッサ４から圧縮空気が供給される。空気バネ２への圧縮空気の供給量、及び、空気バネ２からの圧縮空気の排出量は、空気圧調整ユニット１によって調整される。空気圧調整ユニット１によって空気バネ２内の空気圧が調整されることにより、プレートＸＹステージ２１の水平移動によって重心がずれて精密ステージ２２が傾くことが抑制される。   An air compressor 4 is connected to the air spring 2 via the air pressure adjustment unit 1 according to the present embodiment. Compressed air is supplied to the air spring 2 from the air compressor 4. The amount of compressed air supplied to the air spring 2 and the amount of compressed air discharged from the air spring 2 are adjusted by the air pressure adjustment unit 1. By adjusting the air pressure in the air spring 2 by the air pressure adjusting unit 1, it is possible to prevent the center of gravity from being shifted by the horizontal movement of the plate XY stage 21 and tilting the precision stage 22.

次に、図２及び図３を参照して、空気圧調整ユニット１を詳細に説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る空気圧調整ユニット１の概略を示す分解斜視図である。図３は、図２に示す空気圧調整ユニット１の概略構成図である。   Next, the air pressure adjusting unit 1 will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is an exploded perspective view showing an outline of the air pressure adjusting unit 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic block diagram of the air pressure adjusting unit 1 shown in FIG.

図２及び図３に示すように、空気圧調整ユニット１は、マニホールド７と、流量制御部３と、切替部５と、制御部４０と、フィルタ１１，１３とを備えている。空気圧調整ユニット１は、マニホールド７に対して流量制御部３と切替部５とが据え付けられることによって構成されている。マニホールド７は、例えば一体形成された金属製のブロックである。マニホールド７は、流量制御部３が取り付けられる取付部７ａと、切替部５が取り付けられる取付部７ｂとを有している。すなわち、流量制御部３及び切替部５は、マニホールド７における各取付部７ａ，７ｂに対応する位置でマニホールド７に設置されている。以下、マニホールド７、流量制御部３、切替部５、制御部４０、及びフィルタ１１，１３について詳細に説明する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the air pressure adjusting unit 1 includes a manifold 7, a flow rate control unit 3, a switching unit 5, a control unit 40, and filters 11 and 13. The air pressure adjusting unit 1 is configured by installing the flow control unit 3 and the switching unit 5 with respect to the manifold 7. The manifold 7 is, for example, a metal block integrally formed. The manifold 7 has an attaching portion 7 a to which the flow rate control unit 3 is attached, and an attaching portion 7 b to which the switching portion 5 is attached. That is, the flow rate control unit 3 and the switching unit 5 are installed in the manifold 7 at positions corresponding to the attachment portions 7 a and 7 b of the manifold 7. Hereinafter, the manifold 7, the flow control unit 3, the switching unit 5, the control unit 40, and the filters 11 and 13 will be described in detail.

マニホールド７は、エアコンプレッサ４からの圧縮空気が供給される流れ、又は、空気バネ２からの圧縮空気が排出される流れを構成する管路が形成された流路形成ブロックである。すなわち、マニホールド７には、圧縮空気の流れを構成する開口部及び管路等が形成されている。具体的には、マニホールド７には、供給口１２、流入口１８、第一排気口１４、第二排気口１６、連通孔３１，３２，３３，３４，３５，３６、及び管路１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ等が形成されている。   The manifold 7 is a flow path forming block in which a flow path to which compressed air from the air compressor 4 is supplied or a flow path to which compressed air from the air spring 2 is discharged is formed. That is, the manifold 7 is formed with an opening, a conduit, and the like that constitute the flow of compressed air. Specifically, the manifold 7 includes the supply port 12, the inlet 18, the first exhaust port 14, the second exhaust port 16, the communication holes 31, 32, 33, 34, 35, 36, and the pipes 10a and 10b. , 10c, 10d, 10e, etc. are formed.

供給口１２は、エアコンプレッサ４からの圧縮空気を空気圧調整ユニット１内に供給するためにマニホールド７に開口された開口部である。供給口１２には、エアコンプレッサ４が接続されている。流入口１８は、マニホールド７内を流れた圧縮空気をマニホールド７から空気バネ２内へ流入させるためにマニホールド７に開口された開口部である。流入口１８には、空気バネ２が接続されている。第一排気口１４及び第二排気口１６は、空気バネ２内の圧縮空気を空気圧調整ユニット１外へ排出するためにマニホールド７に開口された開口部である。   The supply port 12 is an opening opened in the manifold 7 to supply the compressed air from the air compressor 4 into the air pressure adjusting unit 1. An air compressor 4 is connected to the supply port 12. The inlet 18 is an opening that is opened to the manifold 7 to allow the compressed air that has flowed in the manifold 7 to flow from the manifold 7 into the air spring 2. An air spring 2 is connected to the inlet 18. The first exhaust port 14 and the second exhaust port 16 are openings opened to the manifold 7 in order to exhaust the compressed air in the air spring 2 out of the air pressure adjusting unit 1.

連通孔３１〜３３は、マニホールド７における流量制御部３の取付部７ａの位置に形成されている。連通孔３１〜３３は、マニホールド７内を流れる圧縮空気を流量制御部３内に流通させるためにマニホールド７に開口された開口部である。連通孔３４〜３６は、マニホールド７における切替部５の取付部７ｂの位置に形成されている。連通孔３４〜３６は、マニホールド７内を流れる圧縮空気を切替部５内に流通させるためにマニホールド７に開口された開口部である。   The communication holes 31 to 33 are formed at the position of the mounting portion 7 a of the flow control unit 3 in the manifold 7. The communication holes 31 to 33 are openings opened in the manifold 7 in order to circulate the compressed air flowing in the manifold 7 into the flow rate control unit 3. The communication holes 34 to 36 are formed at the position of the mounting portion 7 b of the switching portion 5 in the manifold 7. The communication holes 34 to 36 are openings opened in the manifold 7 in order to cause the compressed air flowing in the manifold 7 to flow in the switching unit 5.

管路１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅは、マニホールド７内を流れる圧縮空気の流れを構成する管路である。管路１０ａの一端は、供給口１２と連通されている。管路１０ａの他端は、流量制御部３内に形成された管路３ａと、連通孔３１を介して連通されている。すなわち、管路１０ａは、連通孔３１を介し、供給口１２と流量制御部３内の管路３ａとを連通している。これにより、管路１０ａは、供給口１２と流量制御部３内の管路３ａとの間における圧縮空気の流れを形成する。   The pipelines 10 a, 10 b, 10 c, 10 d and 10 e are pipelines that constitute the flow of compressed air flowing in the manifold 7. One end of the conduit 10 a is in communication with the supply port 12. The other end of the conduit 10 a is in communication with the conduit 3 a formed in the flow control unit 3 via the communication hole 31. That is, the pipe line 10 a communicates the supply port 12 with the pipe line 3 a in the flow rate control unit 3 via the communication hole 31. Thus, the pipe line 10 a forms a flow of compressed air between the supply port 12 and the pipe line 3 a in the flow rate control unit 3.

管路１０ｂの一端は、流量制御部３内に形成された各管路３ａ，３ｂと、連通孔３２を介して連通されている。管路１０ｂの他端は、切替部５内に形成された管路５ａと、連通孔３４を介して連通されている。すなわち、管路１０ｂは、連通孔３２，３４を介し、流量制御部３内の各管路３ａ，３ｂと、切替部５内の管路５ａとを連通している。これにより、管路１０ｂは、流量制御部３内の各管路３ａ，３ｂと切替部５内の管路５ａとの間における圧縮空気の流れを形成する。   One end of the conduit 10 b is in communication with each of the conduits 3 a and 3 b formed in the flow rate control unit 3 via the communication hole 32. The other end of the conduit 10 b is in communication with the conduit 5 a formed in the switching unit 5 via the communication hole 34. That is, the conduits 10 b communicate the conduits 3 a and 3 b in the flow rate control unit 3 with the conduits 5 a in the switching unit 5 via the communication holes 32 and 34. Thus, the pipeline 10 b forms a flow of compressed air between the pipelines 3 a and 3 b in the flow rate control unit 3 and the pipeline 5 a in the switching unit 5.

管路１０ｃの一端は、切替部５内に形成された各管路５ａ，５ｂと、連通孔３５を介して連通されている。管路１０ｃの他端は、流入口１８と連通されている。すなわち、管路１０ｃは、連通孔３５を介し、切替部５内の各管路５ａ，５ｂと、流入口１８とを連通している。これにより、管路１０ｃは、切替部５内の各管路５ａ，５ｂと流入口１８との間における圧縮空気の流れを形成する。   One end of the conduit 10 c is in communication with each of the conduits 5 a and 5 b formed in the switching unit 5 via the communication hole 35. The other end of the conduit 10 c is in communication with the inlet 18. That is, the conduits 10 c communicate the conduits 5 a and 5 b in the switching unit 5 with the inflow port 18 through the communication holes 35. Thus, the pipelines 10 c form a flow of compressed air between the pipelines 5 a and 5 b in the switching unit 5 and the inflow port 18.

管路１０ｄの一端は、流量制御部３内に形成された管路３ｂと、連通孔３３を介して連通されている。管路１０ｄの他端は、第一排気口１４と連通されている。すなわち、管路１０ｃは、連通孔３３を介し、流量制御部３内の管路３ｂと、第一排気口１４とを連通している。これにより、管路１０ｄは、流量制御部３内の管路３ｂと第一排気口１４との間における圧縮空気の流れを形成する。   One end of the conduit 10 d is in communication with the conduit 3 b formed in the flow control unit 3 via the communication hole 33. The other end of the conduit 10 d is in communication with the first exhaust port 14. That is, the conduit 10 c communicates the conduit 3 b in the flow rate control unit 3 with the first exhaust port 14 via the communication hole 33. Thus, the pipe line 10 d forms a flow of compressed air between the pipe line 3 b in the flow rate control unit 3 and the first exhaust port 14.

管路１０ｅの一端は、切替部５内に形成された管路５ｂと、連通孔３６を介して連通されている。管路１０ｅの他端は、第二排気口１６と連通されている。すなわち、管路１０ｅは、連通孔３６を介し、切替部５内の管路５ｂと、第二排気口１６とを連通している。これにより、管路１０ｅは、切替部５内の管路５ｂと第二排気口１６との間における圧縮空気の流れを形成する。   One end of the conduit 10 e is in communication with the conduit 5 b formed in the switching unit 5 via the communication hole 36. The other end of the conduit 10 e is in communication with the second exhaust port 16. That is, the pipe line 10 e communicates the pipe line 5 b in the switching unit 5 with the second exhaust port 16 through the communication hole 36. Thus, the conduit 10 e forms a flow of compressed air between the conduit 5 b in the switching unit 5 and the second exhaust port 16.

流量制御部３は、入力された電気信号に応じて、高精度及び高応答にエアコンプレッサ４から空気バネ２に供給される圧縮空気の量を制御する。流量制御部３は、例えば空気バネ２に設けられた圧力センサ（不図示）によって検出された空気バネ２内の空気圧の状態を示す信号が入力されると、当該信号が示す空気圧の状態が精密ステージ２２を水平に保つのに適切な状態となるように、空気バネ２に供給される圧縮空気の量を制御する。   The flow rate control unit 3 controls the amount of compressed air supplied from the air compressor 4 to the air spring 2 with high accuracy and high response according to the input electric signal. For example, when a signal indicating the state of the air pressure in the air spring 2 detected by a pressure sensor (not shown) provided on the air spring 2 is input, the flow rate control unit 3 determines the state of the air pressure indicated by the signal The amount of compressed air supplied to the air spring 2 is controlled so as to be in an appropriate state to keep the stage 22 horizontal.

具体的に、流量制御部３は、空気バネ２内の空気圧が精密ステージ２２を水平に保つのに適切な値よりも少ない場合には、エアコンプレッサ４からの圧縮空気を空気バネ２に供給し、空気バネ２内の空気圧が精密ステージ２２を水平に保つのに適切な値よりも多い場合には、空気バネ２から圧縮空気を排出する。   Specifically, the flow control unit 3 supplies compressed air from the air compressor 4 to the air spring 2 when the air pressure in the air spring 2 is smaller than an appropriate value for keeping the precision stage 22 horizontal. If the air pressure in the air spring 2 is more than a value appropriate to keep the precision stage 22 horizontal, the compressed air is discharged from the air spring 2.

また、流量制御部３は、例えば精密ステージ２２に設けられた振動センサ（不図示）によって検出された精密ステージ２２の振動状態を示す信号が入力されると、当該信号が示す精密ステージ２２の振動を打ち消す圧力変動が空気バネ２内に生じるように、空気バネ２に供給される圧縮空気の量を制御してもよい。流量制御部３は、例えばスプール型又はノズルフラッパ型のサーボ弁である。なお、流量制御部３としてスプール型のサーボ弁を用いた場合には、大容量で空気を流すことができる。また、流量制御部３としてノズルフラッパ型のサーボ弁を用いた場合には、応答性を速くすることができる。流量制御部３は、精密ステージ２２の水平度が保たれるように、エアコンプレッサ４からの圧縮空気の供給量及び空気バネ２内の圧縮空気の排出量を連続的に監視して制御する。流量制御部３の内部には、管路３ａ，３ｂが形成されている。管路３ａ，３ｂは、流量制御部３内を流れる圧縮空気の流れを形成する。   In addition, when a signal indicating the vibration state of the precision stage 22 detected by a vibration sensor (not shown) provided on the precision stage 22 is input, for example, the flow control unit 3 vibrates the precision stage 22 indicated by the signal. The amount of compressed air supplied to the air spring 2 may be controlled such that a pressure fluctuation is generated in the air spring 2 that cancels out. The flow rate control unit 3 is, for example, a spool type or nozzle flapper type servo valve. When a spool type servo valve is used as the flow rate control unit 3, air can be flowed with a large volume. Further, when the nozzle flapper type servo valve is used as the flow rate control unit 3, the response can be made faster. The flow rate control unit 3 continuously monitors and controls the supply amount of compressed air from the air compressor 4 and the discharge amount of compressed air in the air spring 2 so that the levelness of the precision stage 22 is maintained. Inside the flow rate control unit 3, pipelines 3a and 3b are formed. The pipelines 3 a and 3 b form a flow of compressed air flowing in the flow rate control unit 3.

切替部５は、エアコンプレッサ４から空気バネ２へ供給される空気の流れにおける空気バネ２と流量制御部３との間（すなわち、空気バネ２と流量制御部３との間の空気の流路）に配置されている。つまり、切替部５は、エアコンプレッサ４から空気バネ２へ空気が流れる方向で、流量制御部３よりも下流側に配置されている。切替部５の内部には、管路５ａ，５ｂが形成されている。管路５ａ，５ｂは、切替部５内を流れる圧縮空気の流れを形成する。   The switching unit 5 is provided between the air spring 2 and the flow control unit 3 in the flow of air supplied from the air compressor 4 to the air spring 2 (that is, a flow path of air between the air spring 2 and the flow control unit 3) ) Is placed. That is, the switching unit 5 is disposed downstream of the flow control unit 3 in the direction in which the air flows from the air compressor 4 to the air spring 2. The pipelines 5 a and 5 b are formed inside the switching unit 5. The pipelines 5 a and 5 b form a flow of compressed air flowing in the switching unit 5.

切替部５は、空気バネ２に対して供給及び排出される圧縮空気の流れを切り替える。切替部５は、例えば三方弁等の電磁弁とそのバルブ開閉を行うアクチュエータとを含んで構成される。切替部５のアクチュエータは、制御部４０によって制御されている。制御部４０によって切替部５のアクチュエータが制御されることにより、アクチュエータは切替部５の管路５ａ，５ｂの開閉状態を変化させる。   The switching unit 5 switches the flow of the compressed air supplied and discharged to the air spring 2. The switching unit 5 includes, for example, an electromagnetic valve such as a three-way valve and an actuator for opening and closing the valve. The actuator of the switching unit 5 is controlled by the control unit 40. The control unit 40 controls the actuator of the switching unit 5 so that the actuator changes the open / close state of the conduits 5 a and 5 b of the switching unit 5.

切替部５の管路５ａが開状態とされ、切替部５の管路５ｂが閉状態とされると、管路５ａ内を圧縮空気が流通可能となり、管路５ｂ内を圧縮空気が流通不可能となる。切替部５の管路５ａが閉状態とされ、切替部５の管路５ｂが開状態とされると、管路５ａ内を圧縮空気が流通不可能となり、管路５ｂ内を圧縮空気が流通可能となる。これにより、切替部５は、切替部５を経由する圧縮空気の流れを、管路５ａを流通し且つ管路５ｂを流通しない流れと、管路５ａを流通せず管路５ｂを流通する流れとに切り替える。   When the pipe line 5a of the switching unit 5 is opened and the pipe line 5b of the switching unit 5 is closed, compressed air can flow in the pipe line 5a and compressed air does not flow in the pipe line 5b. It becomes possible. When the pipeline 5a of the switching unit 5 is closed and the pipeline 5b of the switching unit 5 is open, compressed air can not flow in the pipeline 5a and compressed air can flow in the pipeline 5b. It becomes possible. Thereby, the switching unit 5 passes the flow of the compressed air passing through the switching unit 5 through the pipe 5a and the pipe 5b, and does not flow through the pipe 5a but flows through the pipe 5b. Switch to and.

制御部４０は、流量制御部３が正常に作動しているか否かに応じて、切替部５の切り替えを制御する切替制御部である。制御部４０は、例えば空気バネ２内の圧縮空気の圧力状態に応じて、流量制御部３が正常に作動しているか否かを判定し、その判定結果に従い切替部５の切り替えを制御する。制御部４０は、空気バネ２内の空気圧が精密ステージ２２を水平に保つのに適切な値となるよう適切に流量制御部３によって調整されている場合には、流量制御部３が正常に作動していると判定する。   The control unit 40 is a switching control unit that controls switching of the switching unit 5 in accordance with whether or not the flow rate control unit 3 is operating normally. The control unit 40 determines whether the flow rate control unit 3 is operating normally according to, for example, the pressure state of the compressed air in the air spring 2 and controls switching of the switching unit 5 according to the determination result. The control unit 40 properly operates the flow control unit 3 when the air flow control unit 3 properly adjusts the air pressure in the air spring 2 to an appropriate value to keep the precision stage 22 horizontal. It is determined that

一方、制御部４０は、例えば所定時間を経過しても空気バネ２内の空気圧が精密ステージ２２を水平に保つのに適切な値にならない場合、例えば空気バネ２に供給される圧縮空気の量が過剰となっている場合には、流量制御部３に不具合が生じていると判定する。制御部４０は、判定結果に基づき、切替部５のアクチュエータを制御する。なお、制御部４０の制御方法の詳細は後述する。   On the other hand, when the air pressure in the air spring 2 does not have an appropriate value to keep the precision stage 22 horizontal, for example, even after a predetermined time has passed, the control unit 40 measures, for example, the amount of compressed air supplied to the air spring 2 If the flow rate controller 3 is excessive, it is determined that the flow rate control unit 3 has a problem. The control unit 40 controls the actuator of the switching unit 5 based on the determination result. The details of the control method of the control unit 40 will be described later.

制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、及び、ＲＡＭ（Random AccessMemory）等を備えており、ＲＯＭに記載されているプログラム等をＲＡＭにロードし、ＣＰＵで実行することで各種の制御を行う。   The control unit 40 includes a central processing unit (CPU), a read only memory (ROM), a random access memory (RAM), and the like, loads a program or the like described in the ROM into the RAM, and executes the program by the CPU. Perform various controls.

フィルタ１１，１３は、流量制御部３に混入する可能性のある異物を除去するフィルタである。フィルタ１１は、エアコンプレッサ４から空気バネ２へ圧縮空気が供給される方向で、少なくとも流量制御部３よりも上流側に設けられている。フィルタ１１は、例えば管路１０ａと管路３ａとの間の連通孔３１の位置に設けられている。フィルタ１１は、エアコンプレッサ４側から流量制御部３へ流入する圧縮空気内の異物を取り除く。   The filters 11 and 13 are filters for removing foreign matter which may be mixed in the flow rate control unit 3. The filter 11 is provided at least on the upstream side of the flow control unit 3 in the direction in which the compressed air is supplied from the air compressor 4 to the air spring 2. The filter 11 is provided, for example, at the position of the communication hole 31 between the conduit 10 a and the conduit 3 a. The filter 11 removes foreign matter in the compressed air flowing into the flow rate control unit 3 from the air compressor 4 side.

フィルタ１３は、空気バネ２から第一排気口１４へ圧縮空気が排出される方向で、少なくとも流量制御部３よりも上流側に設けられている。フィルタ１３は、例えば管路１０ｂと管路５ａとの間の連通孔３４の位置に設けられている。フィルタ１３は、切替部５側から流量制御部３へ流入する圧縮空気内の異物を取り除く。   The filter 13 is provided at least on the upstream side of the flow control unit 3 in the direction in which the compressed air is discharged from the air spring 2 to the first exhaust port 14. The filter 13 is provided, for example, at the position of the communication hole 34 between the conduit 10 b and the conduit 5 a. The filter 13 removes foreign matter in the compressed air flowing into the flow rate control unit 3 from the switching unit 5 side.

次に、図３を参照し、以上の構成により空気圧調整ユニット１内に形成される圧縮空気の流れについて詳細に説明する。   Next, with reference to FIG. 3, the flow of the compressed air formed in the air pressure adjusting unit 1 by the above configuration will be described in detail.

マニホールド７、流量制御部３、及び切替部５が以上のように構成されることにより、空気圧調整ユニット１には、供給口１２、管路１０ａ、連通孔３１、管路３ａ、連通孔３２、管路１０ｂ、連通孔３４、管路５ａ、連通孔３５、管路１０ｃ、及び流入口１８によって構成される圧縮空気の供給流路Ｌ３が形成されている。供給流路Ｌ３は、圧縮空気が、供給口１２、管路１０ａ、連通孔３１、管路３ａ、連通孔３２、管路１０ｂ、連通孔３４、管路５ａ、連通孔３５、管路１０ｃ、及び流入口１８を、この並び順で流れることで形成されている。切替部５の内部に形成された管路５ａは、供給流路Ｌ３の一部を構成している。切替部５は、供給流路Ｌ３上に設けられており、具体的には、空気バネ２と流量制御部３との間の供給流路Ｌ３に設けられている。   By configuring the manifold 7, the flow rate control unit 3, and the switching unit 5 as described above, the air pressure adjustment unit 1 includes the supply port 12, the conduit 10 a, the communication hole 31, the conduit 3 a, the communication hole 32, A compressed air supply flow path L3 constituted by the pipe line 10b, the communication hole 34, the pipe line 5a, the communication hole 35, the pipe line 10c, and the inflow port 18 is formed. In the supply flow path L3, compressed air is supplied from the supply port 12, the pipe 10a, the communication hole 31, the pipe 3a, the communication hole 32, the pipe 10b, the communication hole 34, the pipe 5a, the communication hole 35, the pipe 10c, And the inflow port 18 by flowing in this order. The conduit 5a formed inside the switching unit 5 constitutes a part of the supply flow passage L3. The switching unit 5 is provided on the supply flow passage L3. Specifically, the switching unit 5 is provided on the supply flow passage L3 between the air spring 2 and the flow rate control unit 3.

供給流路Ｌ３は、エアコンプレッサ４からの圧縮空気が流量制御部３及び切替部５を通って空気バネ２に供給される流れを形成する流路である。供給流路Ｌ３において、圧縮空気は、エアコンプレッサ４と空気バネ２との間を流れ、且つ、その途中で流量制御部３及び切替部５を経由する。エアコンプレッサ４と流量制御部３との間の供給流路Ｌ３には、上述のフィルタ１１が位置している。すなわち上述のフィルタ１１は、供給流路Ｌ３における流量制御部３よりも上流側に位置している。   The supply flow path L3 is a flow path which forms a flow in which the compressed air from the air compressor 4 is supplied to the air spring 2 through the flow rate control unit 3 and the switching unit 5. In the supply flow path L3, the compressed air flows between the air compressor 4 and the air spring 2 and passes through the flow rate control unit 3 and the switching unit 5 along the way. The above-described filter 11 is located in the supply flow path L3 between the air compressor 4 and the flow rate control unit 3. That is, the above-described filter 11 is located upstream of the flow control unit 3 in the supply flow path L3.

また、空気圧調整ユニット１には、流入口１８、管路１０ｃ、連通孔３５、管路５ａ、連通孔３４、管路１０ｂ、連通孔３２、管路３ｂ、連通孔３３、管路１０ｄ、及び第一排気口１４によって構成される第一排気流路Ｌ１が形成されている。第一排気流路Ｌ１は、圧縮空気が、流入口１８、管路１０ｃ、連通孔３５、管路５ａ、連通孔３４、管路１０ｂ、連通孔３２、管路３ｂ、連通孔３３、管路１０ｄ、及び第一排気口１４を、この並び順で流れることによって形成されている。切替部５の内部に形成された管路５ａは、第一排気流路Ｌ１の一部を構成している。切替部５は、第一排気流路Ｌ１上に設けられており、具体的には、空気バネ２と流量制御部３との間の第一排気流路Ｌ１に設けられている。   In the air pressure adjusting unit 1, the inlet 18, the conduit 10c, the communication hole 35, the conduit 5a, the communication hole 34, the conduit 10b, the communication hole 32, the conduit 3b, the communication hole 33, the conduit 10d, and A first exhaust flow path L1 configured by the first exhaust port 14 is formed. In the first exhaust flow path L1, compressed air is introduced into the inlet 18, the conduit 10c, the communication hole 35, the conduit 5a, the communication hole 34, the conduit 10b, the communication hole 32, the conduit 3b, the communication hole 33, the conduit 10 d and the first exhaust port 14 are formed by flowing in this order. The pipe line 5a formed inside the switching unit 5 constitutes a part of the first exhaust flow path L1. The switching unit 5 is provided on the first exhaust flow path L1, and specifically, is provided in the first exhaust flow path L1 between the air spring 2 and the flow rate control unit 3.

第一排気流路Ｌ１は、空気バネ２からの圧縮空気が、切替部５及び流量制御部３を通って空気圧調整ユニット１外へ排出される流れを形成する流路である。第一排気流路Ｌ１において、圧縮空気は、空気バネ２と第一排気口１４との間を流れ、その途中で切替部５及び流量制御部３を経由する。切替部５と流量制御部３との間の第一排気流路Ｌ１には、上述のフィルタ１３が設けられている。すなわち上述のフィルタ１３は、第一排気流路Ｌ１における流量制御部３よりも上流側に位置している。   The first exhaust flow path L1 is a flow path that forms a flow in which the compressed air from the air spring 2 is discharged to the outside of the air pressure adjustment unit 1 through the switching unit 5 and the flow rate control unit 3. In the first exhaust flow path L1, compressed air flows between the air spring 2 and the first exhaust port 14 and passes through the switching unit 5 and the flow rate control unit 3 in the middle thereof. The above-described filter 13 is provided in the first exhaust flow path L1 between the switching unit 5 and the flow rate control unit 3. That is, the above-described filter 13 is located upstream of the flow control unit 3 in the first exhaust flow passage L1.

また、空気圧調整ユニット１には、流入口１８、管路１０ｃ、連通孔３５、管路５ｂ、連通孔３６、管路１０ｅ、及び第二排気口１６によって構成される第二排気流路Ｌ２が形成されている。第二排気流路Ｌ２は、圧縮空気が、流入口１８、管路１０ｃ、連通孔３５、管路５ｂ、連通孔３６、管路１０ｅ、及び第二排気口１６を、この並び順で流れることによって形成されている。切替部５の内部に形成された管路５ｂは、第二排気流路Ｌ２の一部を構成している。切替部５は、第二排気流路Ｌ２上に設けられている。   Further, in the air pressure adjusting unit 1, there is a second exhaust flow path L 2 constituted by the inlet 18, the pipe 10 c, the communication hole 35, the pipe 5 b, the communication hole 36, the pipe 10 e and the second exhaust port 16. It is formed. In the second exhaust flow path L2, compressed air flows through the inlet 18, the pipe 10c, the communication hole 35, the pipe 5b, the communication hole 36, the pipe 10e, and the second exhaust port 16 in this order. It is formed by The conduit 5b formed inside the switching unit 5 constitutes a part of the second exhaust flow passage L2. The switching unit 5 is provided on the second exhaust flow path L2.

第二排気流路Ｌ２は、空気バネ２からの圧縮空気が、切替部５を通り且つ流量制御部３を通らずに空気圧調整ユニット１外へ排出される流れを形成する流路である。第二排気流路Ｌ２において、圧縮空気は、空気バネ２と第二排気口１６との間を流れ、その途中で切替部５を経由し且つ流量制御部３は経由しない。つまり第二排気流路Ｌ２は、供給流路Ｌ３における少なくとも流量制御部３より下流側の位置から空気バネ２内の圧縮空気が空気圧調整ユニット１外へ排出される流れを形成する流路である。   The second exhaust flow path L2 is a flow path that forms a flow in which the compressed air from the air spring 2 is discharged to the outside of the air pressure adjustment unit 1 through the switching unit 5 and not through the flow rate control unit 3. In the second exhaust flow path L2, the compressed air flows between the air spring 2 and the second exhaust port 16, and in the middle thereof passes through the switching unit 5 and not through the flow control unit 3. That is, the second exhaust flow path L2 is a flow path forming a flow of discharging the compressed air in the air spring 2 to the outside of the air pressure adjustment unit 1 from the position downstream of at least the flow control unit 3 in the supply flow path L3. .

次に、上記のように構成された空気圧調整ユニット１における制御部４０の制御方法の一例及び当該制御部４０の制御によって切り替えられる圧縮空気の流れについて、図４及び図５を参照して説明する。図４は、制御部４０の動作の一例を示すフローチャートである。図５は、空気圧調整ユニット１における圧縮空気の流れを示す概略模式図である。図５の（ａ）は、流量制御部３が正常に作動している場合を示し、図５の流量制御部３の作動に不具合が生じている場合を示す。   Next, an example of a control method of the control unit 40 in the air pressure adjusting unit 1 configured as described above and the flow of compressed air switched by the control of the control unit 40 will be described with reference to FIGS. 4 and 5. . FIG. 4 is a flowchart showing an example of the operation of the control unit 40. FIG. 5 is a schematic view showing the flow of compressed air in the air pressure adjustment unit 1. (A) of FIG. 5 shows the case where the flow control part 3 is working normally, and shows the case where the malfunction of the flow control part 3 of FIG. 5 has arisen.

図４に示すように、空気圧調整ユニット１において、制御部４０によって流量制御部３が正常に作動していると判定されている場合には、制御部４０は正常モードとしての制御を行う（Ｓ１）。具体的には、制御部４０によって切替部５のアクチュエータが制御され、切替部５の管路５ａ（図３参照）が開状態とされると共に、切替部５の管路５ｂ（図３参照）が閉状態とされる。切替部５の管路５ａが開状態とされることにより、管路５ａ内を圧縮空気が流通可能となり、図５の（ａ）に示すように、供給流路Ｌ３及び第一排気流路Ｌ１が形成される。そして、流量制御部３は、供給流路Ｌ３における圧縮空気の供給量及び第一排気流路Ｌ１における圧縮空気の排出量を制御する。このようにして、正常モードにおいては流量制御部３によって空気バネ２内の圧縮空気の供給及び排出が適切に行われる。この際、切替部５の管路５ｂが閉状態とされることにより、第二排気流路Ｌ２は遮断される。   As shown in FIG. 4, in the air pressure adjusting unit 1, when the control unit 40 determines that the flow rate control unit 3 is operating normally, the control unit 40 performs control as a normal mode (S1). ). Specifically, the actuator of the switching unit 5 is controlled by the control unit 40, and the conduit 5a (see FIG. 3) of the switching unit 5 is opened, and the conduit 5b of the switching unit 5 (see FIG. 3) Is closed. By opening the pipe line 5a of the switching unit 5, compressed air can flow in the pipe line 5a, and as shown in (a) of FIG. 5, the supply flow path L3 and the first exhaust flow path L1. Is formed. Then, the flow rate control unit 3 controls the supply amount of the compressed air in the supply flow passage L3 and the discharge amount of the compressed air in the first exhaust flow passage L1. Thus, in the normal mode, the flow control unit 3 appropriately supplies and discharges the compressed air in the air spring 2. At this time, the pipe line 5b of the switching unit 5 is closed, thereby shutting off the second exhaust passage L2.

続いて、制御部４０は、流量制御部３に不具合が生じているか否かを判定する（Ｓ２）。例えば、制御部４０は、所定時間を経過しても空気バネ２内の空気圧が過剰になっている場合には流量制御部３に不具合が生じていると判定する。制御部４０は、流量制御部３に不具合が生じていないと判定すると（Ｓ２；ＮＯ）、Ｓ１に戻り正常モードとしての制御を続行する。   Subsequently, the control unit 40 determines whether or not there is a problem in the flow rate control unit 3 (S2). For example, when the air pressure in the air spring 2 is excessive even after the predetermined time has elapsed, the control unit 40 determines that the flow control unit 3 has a problem. If the controller 40 determines that the flow rate controller 3 does not have a problem (S2; NO), it returns to S1 and continues the control as the normal mode.

制御部４０は、流量制御部３に不具合が生じていると判定すると（Ｓ２；Ｙｅｓ）、異常モードとしての制御を行う（Ｓ３）。具体的には、制御部４０によって切替部５のアクチュエータが制御され、切替部５の管路５ｂ（図３参照）が開状態とされると共に、切替部５の管路５ａ（図３参照）が閉状態とされる。切替部５の管路５ｂが開状態とされることにより、管路５ｂ内を圧縮空気が流通可能となり、図５の（ｂ）に示すように、第二排気流路Ｌ２が形成される。空気バネ２内の圧縮空気は、第二排気流路Ｌ２を流れることにより、流量制御部３を経由することなく第二排気口１６から排出される。これにより、流量制御部３に不具合が生じている場合でも第二排気流路Ｌ２によって空気バネ２内の圧縮空気が適切に排出される。この際、切替部５の管路５ａが閉状態とされることにより、供給流路Ｌ３及び第一排気流路Ｌ１は遮断される。この場合、流量制御部３から空気バネ２内へは空気が供給されない。   When the control unit 40 determines that the flow control unit 3 has a problem (S2; Yes), the control unit 40 performs control as an abnormal mode (S3). Specifically, the actuator of the switching unit 5 is controlled by the control unit 40, and the conduit 5b (see FIG. 3) of the switching unit 5 is opened, and the conduit 5a of the switching unit 5 (see FIG. 3) Is closed. By opening the pipe line 5b of the switching unit 5, compressed air can flow in the pipe line 5b, and as shown in (b) of FIG. 5, the second exhaust flow path L2 is formed. The compressed air in the air spring 2 is discharged from the second exhaust port 16 without flowing through the flow rate control unit 3 by flowing through the second exhaust flow path L2. Thereby, even when the flow control unit 3 has a problem, the compressed air in the air spring 2 is appropriately discharged by the second exhaust flow path L2. At this time, the supply passage L3 and the first exhaust passage L1 are shut off by closing the conduit 5a of the switching unit 5. In this case, air is not supplied from the flow control unit 3 into the air spring 2.

続いて、制御部４０は、作業者に流量制御部３に不具合が生じていることを知らせるため、異常発生を報知する（Ｓ４）。異常発生の報知方法は、作業者に流量制御部３の異常発生を報知できれば何れの方法であってもよい。異常発生の報知方法としては、例えばランプ点灯、ＬＥＤ点灯、及び液晶表示等の視覚を通じて報知する方法、又は、ブザー及び音声等の聴覚を通じて報知する方法等が挙げられる。以上のようにして、制御部４０による動作が終了する。   Subsequently, in order to notify the operator that the flow control unit 3 has a problem, the control unit 40 notifies an abnormality occurrence (S4). The notification method of abnormality generation may be any method as long as the operator can be notified of the abnormality generation of the flow rate control unit 3. As a method of informing the occurrence of an abnormality, for example, a method of informing through eyes such as lamp lighting, LED lighting, liquid crystal display or the like, or a method of informing through hearing of buzzer and voice etc. can be mentioned. As described above, the operation of the control unit 40 ends.

次に、本実施形態に係る空気圧調整ユニット１の作用及び効果を説明する。   Next, the operation and effects of the air pressure adjustment unit 1 according to the present embodiment will be described.

従来、振動抑制装置等に使用される空気バネ内の空気圧を調整するため、流量制御部が用いられている。しかしながら、流量制御部に不具合が生じた場合には、例えば空気バネに供給される空気の量が過剰となり、空気バネの内圧が過剰に高くなるという問題があった。   Conventionally, a flow control unit is used to adjust the air pressure in an air spring used for a vibration suppression device or the like. However, if a problem occurs in the flow rate control unit, for example, the amount of air supplied to the air spring becomes excessive, and the internal pressure of the air spring becomes excessively high.

この問題に対し、本実施形態に係る空気圧調整ユニット１によれば、切替部５によって、空気の流れを切り替える結果、空気バネの内圧が過剰に高くなることを抑制することができる。すなわち、空気バネ２から排出される空気の流れを、流量制御部３を通って空気が排出される第一排気流路Ｌ１と、供給流路Ｌ３における少なくとも流量制御部３よりも下流側から空気が排出される第二排気流路Ｌ２とに切り替えることができる。これにより、流量制御部３に不具合が生じて例えば空気バネ２に空気が過剰に供給された場合等に、第二排気流路Ｌ２によって流量制御部３を経由することなく空気バネ２から適切に排出させることができ、その結果、空気バネ２の内圧が過剰に高くなることを抑制することが可能となる。以上より、流量制御部３に不具合が生じた場合であっても、空気バネ２の内圧が過剰に高くなることを抑制することができる。   With respect to this problem, according to the air pressure adjustment unit 1 according to the present embodiment, as the air flow is switched by the switching unit 5, it is possible to suppress the internal pressure of the air spring from becoming excessively high. That is, the flow of air discharged from the air spring 2 is transmitted from the flow control unit 3 to the first exhaust flow passage L1 through which the air is discharged, and from the downstream side of at least the flow control unit 3 in the supply flow passage L3. Can be switched to the second exhaust flow path L2 to be discharged. As a result, if a problem occurs in the flow control unit 3 and, for example, air is excessively supplied to the air spring 2, the second exhaust flow path L2 appropriately passes the air spring 2 without passing through the flow control unit 3. As a result, the internal pressure of the air spring 2 can be suppressed from becoming excessively high. As described above, even when a problem occurs in the flow rate control unit 3, it is possible to suppress the internal pressure of the air spring 2 from becoming excessively high.

また、空気圧調整ユニット１では、流量制御部３と切替部５との間の第一排気流路Ｌ１にフィルタ１３が設けられている。これにより、例えば空気バネ２から流量制御部３に向かって流れる空気に異物等が混入した場合であっても、当該空気は、フィルタ１３を通り、フィルタ１３によって異物等を除去されてから流量制御部３へ流れ込む。よって、当該異物等により流量制御部３に不具合が生じることを抑制することができる。   Further, in the air pressure adjusting unit 1, the filter 13 is provided in the first exhaust flow path L <b> 1 between the flow rate control unit 3 and the switching unit 5. Thereby, for example, even when foreign matter or the like is mixed in the air flowing from the air spring 2 toward the flow rate control unit 3, the air passes through the filter 13 and the foreign matter or the like is removed by the filter 13 before the flow rate control Flow into section 3. Therefore, it can suppress that a malfunction arises in the flow control part 3 by the said foreign material etc.

また、空気圧調整ユニット１において、切替部５は、三方弁である。すなわち、第一排気流路Ｌ１と第二排気流路Ｌ２との切り替えを三方弁により行うので、複数の弁を組み合わせて切替部を構成して当該切り替えを行う場合よりも、空気圧調整ユニット１をコンパクトな構成で実現できる。   Further, in the air pressure adjusting unit 1, the switching unit 5 is a three-way valve. That is, since switching between the first exhaust flow path L1 and the second exhaust flow path L2 is performed by the three-way valve, the air pressure adjusting unit 1 is configured more than in the case where the switching unit is configured by combining a plurality of valves. It can be realized with a compact configuration.

また、空気圧調整ユニット１では、流量制御部３と切替部５とが同じマニホールド７に据え付けられることにより、空気圧調整ユニット１を一体的に構成することができる。さらに、マニホールド７には、圧縮空気が供給又は排出される流れを構成する管路１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅが形成されているので、圧縮空気が供給又は排出される複数の流れを一つのマニホールド７によりまとめて構成することができる。以上より、空気圧調整ユニット１をコンパクトな構成で実現できる。   Further, in the air pressure adjusting unit 1, the air flow adjusting unit 1 can be integrally configured by installing the flow control unit 3 and the switching unit 5 in the same manifold 7. Further, since the conduits 10a, 10b, 10c, 10d, and 10e that constitute flows to which compressed air is supplied or discharged are formed in the manifold 7, a plurality of flows to which the compressed air is supplied or discharged is The two manifolds 7 can be configured together. As described above, the air pressure adjusting unit 1 can be realized in a compact configuration.

また、空気圧調整ユニット１では、制御部４０により切替部５の切り替えが自動的に行われるので、空気バネ２の内圧が過剰に高くなることを容易に抑制することができる。   Further, in the air pressure adjusting unit 1, since the switching of the switching unit 5 is automatically performed by the control unit 40, the internal pressure of the air spring 2 can be easily suppressed from becoming excessively high.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他に適用してもよい。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, You may deform | transform in the range which does not change the summary described to each claim, or may apply to others.

例えば、上記実施形態では、導体露光装置に使用されるステージ装置に使用される空気バネ用空気圧調整ユニットについて説明したが、これに限られない。本発明に係る空気バネ用空気圧調整ユニットは、例えば車両のアクティブサスペンション、又は走査型電子顕微鏡等に使用される空気バネの空気圧調整のために用いられてもよい。   For example, in the above embodiment, although the air spring air pressure adjusting unit used in the stage apparatus used in the conductor exposure apparatus has been described, the invention is not limited thereto. The air pressure adjusting unit for air spring according to the present invention may be used, for example, for adjusting the air pressure of an air spring used for an active suspension of a vehicle or a scanning electron microscope.

上記実施形態では、制御部４０によって切替部５の切り替えが制御されるとしたが、これに限られず、例えば作業者によって手動で切替部５が切り替えられてもよい。   Although switching of the switching unit 5 is controlled by the control unit 40 in the above embodiment, the present invention is not limited thereto. For example, the switching unit 5 may be switched manually by an operator.

切替部５は、三方弁に限られず、例えば二方弁を複数組み合わせることにより構成してもよい。   The switching unit 5 is not limited to a three-way valve, and may be configured by combining a plurality of two-way valves, for example.

供給流路Ｌ３、第一排気流路Ｌ１、及び第二排気流路Ｌ２は、マニホールド７の開口部及び管路により構成されていなくてもよく、マニホールド７とは別の部材等で構成されていてもよい。例えば、供給流路Ｌ３、第一排気流路Ｌ１、及び第二排気流路Ｌ２は、パイプ等によって構成されていてもよい。   The supply flow path L3, the first exhaust flow path L1, and the second exhaust flow path L2 may not be configured by the opening portion and the pipe path of the manifold 7, and may be configured by a member or the like different from the manifold 7. May be For example, the supply flow path L3, the first exhaust flow path L1, and the second exhaust flow path L2 may be configured by a pipe or the like.

１…空気圧調整ユニット、３…流量制御部、５…切替部、７…マニホールド、１３…フィルタ、４０…制御部、Ｌ１…第一排気流路、Ｌ２…第二排気流路、Ｌ３…供給流路。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Air pressure adjustment unit, 3 ... Flow control part, 5 ... Switching part, 7 ... Manifold, 13 ... Filter, 40 ... Control part, L1 ... 1st exhaust flow path, L2 ... 2nd exhaust flow path, L3 ... Supply flow Road.

Claims (5)

空気バネに供給される空気の量を制御する流量制御部と、
前記空気バネと前記流量制御部との間の空気の流路に設けられ、前記空気バネに対して供給及び排出される空気の流れを切り替える切替部と、を備え、
前記切替部は、前記流量制御部を流通する流れによって空気バネからの空気を排出する第一流路、及び、前記流量制御部を流通しない流れによって空気バネからの空気を排出する第二流路のうちの一方を開状態とし他方を閉状態として空気の流れを切り替える空気バネ用空気圧調整ユニット。 A flow control unit that controls the amount of air supplied to the air spring;
Wherein provided on the air flow path between the air spring and the flow control unit, and a switching unit for switching the flow of air to be supplied and discharged to the air spring,
The switching unit has a first flow path for discharging air from an air spring by a flow flowing through the flow rate control unit, and a second flow path for discharging air from an air spring by a flow not flowing through the flow rate control unit. switching the flow of air in a closed state and the other to an open state one Ru air spring air pressure adjustment unit out. 前記流量制御部と前記切替部との間の空気の流路にフィルタが設けられている、請求項１に記載の空気バネ用空気圧調整ユニット。 Air filter in the flow path of are provided, the air spring pressure adjustment unit according to claim 1 between the flow rate control unit and the switching unit. 前記切替部は、三方弁である、請求項１又は２に記載の空気バネ用空気圧調整ユニット。   The air pressure adjusting unit for an air spring according to claim 1, wherein the switching unit is a three-way valve. 前記流量制御部と前記切替部とは、流路形成ブロックに据え付けられており、
前記流路形成ブロックには、空気が供給又は排出される流れを構成する管路が形成されている、請求項１〜３の何れか一項に記載の空気バネ用空気圧調整ユニット。 The flow rate control unit and the switching unit are installed in a flow path forming block,
The flow path forming block is formed conduit constituting the flow air is supplied or discharged, the air spring pressure adjustment unit according to any one of claims 1 to 3. 前記空気バネ内の圧縮空気の圧力状態に応じて前記切替部の切り替えを制御する切替制御部を更に備える、請求項１〜４の何れか一項に記載の空気バネ用空気圧調整ユニット。
The air pressure adjustment unit for air spring according to any one of claims 1 to 4, further comprising a switching control unit that controls switching of the switching unit according to a pressure state of compressed air in the air spring.
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