JP6425642B2 - Flat induction motor - Google Patents

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Description

本発明は、平面誘導モータに関する。   The present invention relates to a planar induction motor.

移動体を異なる２方向に駆動する誘導モータとして、例えば特許文献１に記載の分岐装置が知られている。この分岐装置は、搬送路の分岐部分に積層された２つの１次側鉄心を有している。２つの１次側鉄心は、互いに直交する方向に進行磁界を形成可能となっている。   For example, a branching device described in Patent Document 1 is known as an induction motor that drives a moving body in two different directions. This branching device has two primary core irons stacked at the branching portion of the transport path. The two primary cores can form traveling magnetic fields in directions orthogonal to each other.

特開平３−１２４６２３号公報JP-A-3-124623

特許文献１に記載の分岐装置は、例えば上側の１次側鉄心がＸ方向に進行磁界を形成することにより分岐部分で移動体をＸ方向に移動させ、下側の１次側鉄心がＹ方向に進行磁界を形成することにより分岐部分で移動体をＹ方向に移動させる。このように、２つの１次側鉄心が進行磁界をＸ方向とＹ方向とに切り替えて形成することにより、移動体をＸ方向及びＹ方向の２つの分岐方向に切り替えて移動させることができる。しかしながら、上記の分岐装置は、移動体を２次元方向に自在に移動させることができない。近年では、２次元方向に自在に移動体を移動可能な誘導モータが求められている。   In the branching device described in Patent Document 1, for example, the upper primary core forms a traveling magnetic field in the X direction to move the movable body in the X direction at the branching portion, and the lower primary core in the Y direction The moving body is moved in the Y direction at the branching portion by forming a traveling magnetic field on the Thus, the moving body can be switched and moved in two branch directions, the X direction and the Y direction, by forming the two primary side iron cores by switching the traveling magnetic field in the X direction and the Y direction. However, the above branching apparatus can not freely move the movable body in the two-dimensional direction. In recent years, an induction motor capable of freely moving a movable body in a two-dimensional direction has been required.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することが可能な平面誘導モータを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and it is an object of the present invention to provide a planar induction motor in which a movable body can freely move a moving surface in a two-dimensional direction.

本発明に係る平面誘導モータは、平面状の移動面を有する２次導体と、前記移動面上を移動可能に設けられ、前記２次導体に渦電流を誘起させる進行磁界を前記移動面上の異なる方向に形成可能な複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置された移動体と、を備える。   The planar induction motor according to the present invention comprises a secondary conductor having a planar moving surface, and a traveling magnetic field on the moving surface which is movably provided on the moving surface and induces an eddy current in the secondary conductor. A plurality of primary coil portions that can be formed in different directions are provided on the same plane and spaced apart from each other.

本発明では、複数の１次コイル部により異なる方向に進行磁界を形成することができるため、移動体に対して異なる方向に駆動力を作用させることができる。また、複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置されるため、各１次コイル部により２次導体の異なる箇所に渦電流を誘起させることができる。このため、複数の１次コイル部により同一の期間に進行磁界を形成する場合であっても、渦電流同士の干渉を抑制することができる。これにより、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することができる。   In the present invention, since the traveling magnetic field can be formed in different directions by the plurality of primary coil portions, the driving force can be applied to the moving body in different directions. In addition, since the plurality of primary coil portions are disposed on the same plane at intervals, eddy currents can be induced in different portions of the secondary conductor by the respective primary coil portions. For this reason, even in the case where the traveling magnetic field is formed in the same period by the plurality of primary coil portions, the interference between the eddy currents can be suppressed. Thus, the movable body can freely move the moving surface in the two-dimensional direction.

また、前記複数の１次コイル部には、互いに直交する方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部が含まれている。   The plurality of primary coil portions include two primary coil portions capable of forming the traveling magnetic field in directions orthogonal to each other.

本発明では、２つの１次コイル部により互いに直交する方向に移動体に駆動力を生じさせることができるため、移動体が容易に２次元方向に移動することができる。   In the present invention, since the driving force can be generated in the movable body in directions orthogonal to each other by the two primary coil portions, the movable body can be easily moved in the two-dimensional direction.

また、前記複数の１次コイル部には、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な複数の１次コイル部が含まれている。   The plurality of primary coil portions include a plurality of primary coil portions capable of forming the traveling magnetic field in directions parallel to one another.

本発明では、１つの方向について、複数の１次コイル部によって進行磁界を形成することができるため、移動体に対してより大きな駆動力を作用させることができる。   In the present invention, since a traveling magnetic field can be formed by a plurality of primary coil sections in one direction, a larger driving force can be applied to the moving body.

また、前記複数の１次コイル部のうち少なくとも２つの１次コイル部は、前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置される。   In addition, at least two of the plurality of primary coil units are disposed at positions that are point-symmetrical with respect to a predetermined reference position of the movable body when viewed in a direction perpendicular to the movement surface. Be done.

本発明では、一対の１次コイル部により、移動体に対して基準位置を中心とした回転力を作用させることができる。これにより、移動面に垂直な回転軸を中心として移動体を回転させることができる。   In the present invention, a rotational force centering on the reference position can be exerted on the movable body by the pair of primary coil portions. Thus, the movable body can be rotated about a rotation axis perpendicular to the movement surface.

また、前記基準位置に対して点対称となる位置に配置された前記少なくとも２つの１次コイル部に対して、同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させる回転制御部を更に備える。   Further, the apparatus further comprises a rotation control unit for forming the traveling magnetic field in the directions opposite to each other at the same timing with respect to the at least two primary coil units arranged at positions symmetrical with respect to the reference position. .

本発明では、回転制御部の制御により、移動体に対して並進移動を抑制しつつ、回転移動を行わせることができる。   In the present invention, rotational movement can be performed while suppressing translational movement with respect to the moving body by control of the rotation control unit.

また、異なる方向に前記進行磁界を形成する前記複数の１次コイル部に対して、同一の期間に前記進行磁界を形成させる並進制御部を更に備える。   The apparatus further includes a translation control unit that causes the traveling magnetic field to be formed in the same period with respect to the plurality of primary coil units that form the traveling magnetic field in different directions.

本発明では、並進制御部の制御により、移動体に対して各１次コイル部の進行磁界を形成する方向の合成方向に移動体を並進させることができる。   In the present invention, by control of the translation control unit, it is possible to translate the moving body in a composite direction of the directions in which the traveling magnetic fields of the primary coil portions are formed with respect to the moving body.

また、前記移動面と前記複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように前記移動面上で前記移動体を支持する支持部を更に備える。   Moreover, the support part which supports the said mobile on the said movement surface is further provided so that the space | interval of the said movement surface and the said several primary coil parts may turn into predetermined distance.

本発明では、移動面と複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように支持されるため、移動体を安定して移動させることができる。   In the present invention, since the distance between the moving surface and the plurality of primary coil portions is supported to be a predetermined distance, the moving body can be stably moved.

また、前記移動体は、制振装置に設けられる可動質量部に連結される。   Further, the movable body is coupled to a movable mass portion provided in the damping device.

本発明では、可動質量部に対して２次元方向に駆動力を作用させることができるため、制振装置の特性を向上させることができる。   In the present invention, since the driving force can be applied to the movable mass in a two-dimensional direction, the characteristics of the vibration damping device can be improved.

本発明によれば、移動体が移動面を２次元方向に自在に移動することができる平面誘導モータを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a planar induction motor in which the movable body can freely move the moving surface in the two-dimensional direction.

図１は、本実施形態に係る平面誘導モータの一例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a planar induction motor according to the present embodiment. 図２は、移動体の一例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of a movable body. 図３は、移動体の内部構成を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an internal configuration of the movable body. 図４は、平面誘導モータの動作の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of the operation of the planar induction motor. 図５は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing another configuration example of the movable body. 図６は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing another configuration example of the movable body. 図７は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing another configuration example of the movable body. 図８は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing another configuration example of the movable body. 図９は、移動体の他の動作例を示す平面図である。FIG. 9 is a plan view showing another operation example of the movable body. 図１０は、移動体の他の動作例を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing another operation example of the movable body. 図１１は、移動体の他の動作例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing another operation example of the movable body. 図１２は、移動体の他の動作例を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing another operation example of the movable body. 図１３は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing another configuration example of the movable body. 図１４は、移動体の他の構成例を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing another configuration example of the movable body.

以下、本発明に係る平面誘導モータの実施形態を図面に基づいて説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。   Hereinafter, an embodiment of a planar induction motor according to the present invention will be described based on the drawings. The present invention is not limited by this embodiment. In addition, constituent elements in the following embodiments include those that can be easily replaced by persons skilled in the art or those that are substantially the same.

本実施形態では、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。当該ＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において一の方向をＸ方向と表記し、ＸＹ平面上でＸ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。   In the present embodiment, directions in the drawing will be described using an XYZ coordinate system. In the said XYZ coordinate system, let the plane parallel to a horizontal surface be XY plane. One direction in the XY plane is described as an X direction, and a direction orthogonal to the X direction on the XY plane is described as a Y direction. The direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction. In each of the X direction, the Y direction, and the Z direction, the direction of the arrow in the figure is the + direction, and the direction opposite to the direction of the arrow is the − direction.

図１は、本実施形態に係る平面誘導モータ１００の一例を示す斜視図である。図１に示すように、平面誘導モータ１００は、移動体１０と、２次導体２０と、Ｘガイド部３０と、Ｙガイド部４０と、制御部５０とを備えている。平面誘導モータ１００は、例えば制振装置１０１の可動質量部１０２等、振動する物体に対して駆動力を作用させるものである。   FIG. 1 is a perspective view showing an example of a planar induction motor 100 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the planar induction motor 100 includes a movable body 10, a secondary conductor 20, an X guide portion 30, a Y guide portion 40, and a control portion 50. The planar induction motor 100 applies a driving force to a vibrating object, such as the movable mass unit 102 of the damping device 101, for example.

移動体１０は、筐体１１を有している。筐体１１は、矩形の箱状に形成されており、連結部１０３によって可動質量部１０２に連結されている。筐体１１の底部には、支持部１６が設けられている。支持部１６は、例えばフリーボールベアリング等が用いられる。支持部１６は、筐体１１の下面と移動面２０ａとの間に所定の隙間が形成されるように筐体１１を支持する。また、支持部１６は、移動面２０ａ上をＸ方向及びＹ方向に転動可能である。支持部１６が移動面２０ａ上を転動することにより、移動体１０がＸ方向及びＹ方向に移動可能となっている。   The movable body 10 has a housing 11. The housing 11 is formed in a rectangular box shape, and is connected to the movable mass portion 102 by the connection portion 103. A support 16 is provided at the bottom of the housing 11. For example, a free ball bearing or the like is used as the support portion 16. The support portion 16 supports the housing 11 such that a predetermined gap is formed between the lower surface of the housing 11 and the movement surface 20 a. In addition, the support portion 16 can roll on the moving surface 20 a in the X direction and the Y direction. When the support portion 16 rolls on the moving surface 20 a, the moving body 10 is movable in the X direction and the Y direction.

図２は、移動体１０の一例を示す斜視図である。図３は、移動体１０の内部構成を示す平面図であり、１次コイル部の配置例を示す図である。図２及び図３に示すように、筐体１１は、１次コイル部１２及び１３を収容する。１次コイル部１２及び１次コイル部１３は、例えば同一平面である載置面１１ａにＹ方向に間隔を空けて配置されている。本実施形態では、１次コイル部１２及び１次コイル部１３が１つずつ設けられた場合を例に挙げて説明するが、これに限定するものではない。   FIG. 2 is a perspective view showing an example of the moving body 10. FIG. 3 is a plan view showing an internal configuration of the movable body 10, and is a view showing an arrangement example of the primary coil portion. As shown in FIGS. 2 and 3, the housing 11 accommodates the primary coil portions 12 and 13. The primary coil portion 12 and the primary coil portion 13 are disposed, for example, at intervals in the Y direction on the mounting surface 11 a which is the same plane. In this embodiment, although the case where the primary coil part 12 and the primary coil part 13 are provided 1 each is mentioned as an example and demonstrated, it does not limit to this.

１次コイル部１２は、例えばＸ方向に並んで配置された複数のコイルを有している。１次コイル部１２は、複数のコイルに例えば３相の交流電流を供給することにより、Ｘ方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１２は、＋Ｘ方向及び−Ｘ方向の両方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１２には、３相の交流電流を供給する配線１４が接続されている。なお、複数のコイルに供給する交流電流は、３相に限定するものではなく、多相であれば２相又は４相以上であってもよい。   The primary coil unit 12 has, for example, a plurality of coils arranged side by side in the X direction. The primary coil unit 12 can form a traveling magnetic field in the X direction by supplying, for example, three-phase alternating current to a plurality of coils. The primary coil portion 12 can form traveling magnetic fields in both the + X direction and the −X direction. The primary coil portion 12 is connected to a wire 14 for supplying three-phase alternating current. The alternating current supplied to the plurality of coils is not limited to three phases, and may be two phases or four or more phases as long as it is multiphase.

また、１次コイル部１３は、例えばＹ方向に並んで配置された複数のコイルを有している。１次コイル部１３は、複数のコイルに例えば３相の交流電流を供給することにより、Ｙ方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１３は、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の両方向に進行磁界を形成可能である。１次コイル部１３には、３相の交流電流を供給する配線１５が接続されている。なお、複数のコイルに供給する交流電流は、３相に限定するものではなく、多相であれば２相又は４相以上であってもよい。   Moreover, the primary coil part 13 has the several coil arrange | positioned along with the Y direction, for example. The primary coil unit 13 can form a traveling magnetic field in the Y direction by supplying, for example, three-phase alternating current to a plurality of coils. The primary coil portion 13 can form a traveling magnetic field in both the + Y direction and the −Y direction. The primary coil portion 13 is connected to a wire 15 for supplying three-phase alternating current. The alternating current supplied to the plurality of coils is not limited to three phases, and may be two phases or four or more phases as long as it is multiphase.

なお、１次コイル部１２及び１３は、同数のコイルを有しており、各コイルの巻き数が同一となっている。また、１次コイル部１２及び１３は、例えば複数のコイルに供給する交流電流の周波数が同一となっているが、これに限定するものではなく、互いに異なる周波数であってもよい。   The primary coil sections 12 and 13 have the same number of coils, and the number of turns of each coil is the same. Moreover, although the primary coil parts 12 and 13 have the same frequency of the alternating current supplied to a some coil, for example, it is not limited to this, You may be mutually different frequency.

２次導体２０は、板状に形成され、例えば床面などに固定されている。２次導体２０は、移動体１０を移動させるための移動面２０ａを有している。移動面２０ａは、ＸＹ平面に平行であり、本実施形態では水平面に平行であるが、これに限定するものではなく、移動面２０ａが水平面に対して傾いて配置された構成であってもよい。   The secondary conductor 20 is formed in a plate shape, and is fixed to, for example, a floor surface. The secondary conductor 20 has a moving surface 20 a for moving the moving body 10. The moving surface 20a is parallel to the XY plane, and in the present embodiment, parallel to the horizontal surface, but the invention is not limited to this. The moving surface 20a may be arranged to be inclined with respect to the horizontal surface .

２次導体２０は、Ｚ方向に２層構造となっており、下層側の磁性体部２１と、上層側の非磁性体部２２とを有している。磁性体部２１は、例えば鉄などの磁性体を用いて形成される。磁性体部２１が設けられることにより、１次コイル部１２及び１３で発生する進行磁界が非磁性体部２２を貫通して磁性体部２１の内部を通過するようになっている。非磁性体部２２は、例えばアルミニウムや銅など、磁性体部２１よりも導電性の高い非磁性体を用いて形成される。   The secondary conductor 20 has a two-layer structure in the Z direction, and includes the lower magnetic body portion 21 and the upper nonmagnetic body portion 22. The magnetic body portion 21 is formed using, for example, a magnetic body such as iron. By providing the magnetic body portion 21, a traveling magnetic field generated by the primary coil portions 12 and 13 penetrates the nonmagnetic body portion 22 and passes through the inside of the magnetic body portion 21. The nonmagnetic portion 22 is formed using, for example, a nonmagnetic material having higher conductivity than the magnetic portion 21 such as aluminum or copper.

１次コイル部１２及び１３によって形成される進行磁界が非磁性体部２２をＺ方向に通過することにより、非磁性体部２２には、誘導電流である渦電流が生じる。この渦電流と進行磁界との間の電磁力により、１次コイル部１２及び１３、ひいては移動体１０に対して駆動力が生じることになる。本実施形態では、この駆動力は、進行磁界の進行方向と反対方向に生じる。例えば、１次コイル部１２では、＋Ｘ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が−Ｘ方向に生じ、−Ｘ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が＋Ｘ方向に生じる。また、１次コイル部１３では、＋Ｙ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が−Ｙ方向に生じ、−Ｙ方向に進行磁界が形成される場合には駆動力が＋Ｙ方向に生じる。   As the traveling magnetic field formed by the primary coil portions 12 and 13 passes through the nonmagnetic portion 22 in the Z direction, an eddy current, which is an induced current, is generated in the nonmagnetic portion 22. The electromagnetic force between the eddy current and the traveling magnetic field generates a driving force to the primary coil portions 12 and 13 and hence to the moving body 10. In this embodiment, this driving force is generated in the opposite direction to the traveling direction of the traveling magnetic field. For example, in the primary coil portion 12, the driving force is generated in the -X direction when the traveling magnetic field is formed in the + X direction, and the driving force is generated in the + X direction when the traveling magnetic field is formed in the -X direction. . Further, in the primary coil portion 13, the driving force is generated in the -Y direction when the traveling magnetic field is formed in the + Y direction, and the driving force is generated in the + Y direction when the traveling magnetic field is formed in the -Y direction. .

なお、渦電流は、１次コイル部１２及び１３によって形成される進行磁界に応じてそれぞれ発生する。例えば、１次コイル部１２と１次コイル部１３とが同一の期間に進行磁界を形成する場合、非磁性体部２２には、１次コイル部１２の進行磁界による渦電流と、１次コイル部１３の進行磁界による渦電流とが同一の期間に生じることになる。したがって、上記の１次コイル部１２と１次コイル部１３との間隔は、各進行磁界により発生する渦電流同士の干渉が極力少なくなるように設定されている。   Eddy currents are generated in response to the traveling magnetic fields formed by the primary coil sections 12 and 13, respectively. For example, when the primary coil portion 12 and the primary coil portion 13 form traveling magnetic fields in the same period, in the nonmagnetic portion 22, eddy currents due to the traveling magnetic field of the primary coil portion 12 and the primary coil The eddy current due to the traveling magnetic field of the portion 13 is generated in the same period. Therefore, the distance between the primary coil portion 12 and the primary coil portion 13 is set such that the interference between the eddy currents generated by the traveling magnetic fields is minimized.

また、図１に示すように、Ｘガイド部３０は、移動体１０のＸ方向への移動を案内する。Ｘガイド部３０は、移動体１０のＹ方向の両側に配置された一対のレール３１及び３２を有している。一対のレール３１及び３２は、Ｘ方向に平行に延びている。レール３１には、スライダ３３が設けられている。スライダ３３は、レール３１に沿ってＸ方向に移動可能である。レール３２には、スライダ３４が設けられている。スライダ３４は、レール３２に沿ってＸ方向に移動可能である。   In addition, as shown in FIG. 1, the X guide unit 30 guides the movement of the movable body 10 in the X direction. The X guide portion 30 has a pair of rails 31 and 32 disposed on both sides of the movable body 10 in the Y direction. The pair of rails 31 and 32 extend in parallel to the X direction. A slider 33 is provided on the rail 31. The slider 33 is movable in the X direction along the rail 31. The rail 32 is provided with a slider 34. The slider 34 is movable in the X direction along the rail 32.

Ｙガイド部４０は、移動体１０のＹ方向への移動を案内する。Ｙガイド部４０は、移動体１０のＸ方向の両側に配置された一対のレール４１及び４２を有している。一対のレール４１及び４２は、Ｙ方向に平行に延びている。各レール４１及び４２は、−Ｙ側の端部が上記のスライダ３３に固定されており、＋Ｙ側の端部が上記のスライダ３４に固定されている。このため、スライダ３３及び３４とレール４１及び４２とは一体に形成されており、一体でＸ方向に移動可能となっている。   The Y guide unit 40 guides the movement of the movable body 10 in the Y direction. The Y guide portion 40 has a pair of rails 41 and 42 disposed on both sides of the moving body 10 in the X direction. The pair of rails 41 and 42 extend in parallel to the Y direction. Each rail 41 and 42 has an end on the -Y side fixed to the slider 33 and an end on the + Y side fixed to the slider 34. Therefore, the sliders 33 and 34 and the rails 41 and 42 are integrally formed, and are integrally movable in the X direction.

レール４１には、スライダ４３が設けられている。スライダ４３は、レール４１に沿ってＹ方向に移動可能である。スライダ４３は、移動体１０の筐体１１のうち＋Ｘ側の側面に連結されている。レール４２には、スライダ４４が設けられている。スライダ４４は、レール４２に沿ってＹ方向に移動可能である。スライダ４４は、移動体１０の筐体１１のうち−Ｘ側の側面に連結されている。したがって、スライダ４３及び４４は、移動体１０と一体でＹ方向に移動可能となっている。   A slider 43 is provided on the rail 41. The slider 43 is movable in the Y direction along the rail 41. The slider 43 is connected to the side surface on the + X side of the casing 11 of the movable body 10. A slider 44 is provided on the rail 42. The slider 44 is movable in the Y direction along the rail 42. The slider 44 is connected to the side surface on the −X side of the casing 11 of the movable body 10. Therefore, the sliders 43 and 44 are movable in the Y direction integrally with the movable body 10.

Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０により、移動体１０は、Ｚ軸回りの回転が抑制された状態で、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれに自在に移動可能となっている。   The movable body 10 is freely movable in each of the X direction and the Y direction in a state where the rotation around the Z axis is suppressed by the X guide portion 30 and the Y guide portion 40.

制御部５０は、平面誘導モータ１００を統括的に制御する。制御部５０は、並進制御部５１と、回転制御部５２とを有している。並進制御部５１は、移動体１０の並進動作を制御する。回転制御部５２は、移動体１０の回転動作を制御する。なお、本実施形態では、回転制御部５２は設けられなくてもよい。   The control unit 50 controls the planar induction motor 100 in an integrated manner. The control unit 50 includes a translation control unit 51 and a rotation control unit 52. The translation control unit 51 controls the translational movement of the moving body 10. The rotation control unit 52 controls the rotation operation of the moving body 10. In the present embodiment, the rotation control unit 52 may not be provided.

次に、上記のように構成された平面誘導モータ１００の並進動作について説明する。以下の並進動作は、制御部５０の並進制御部５１の制御によって行われる。図４は、平面誘導モータ１００の動作の一例を示す図である。図４の図中上側に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば１次コイル部１２が−Ｘ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０に渦電流が生じ、進行磁界と渦電流との間の電磁力により１次コイル部１３には＋Ｘ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ１）が生じる。この駆動力Ｔ１により、移動体１０が＋Ｘ方向に移動する。   Next, the translational movement of the planar induction motor 100 configured as described above will be described. The following translational motion is performed by the control of the translation control unit 51 of the control unit 50. FIG. 4 is a diagram showing an example of the operation of the planar induction motor 100. As shown in FIG. As shown on the upper side in FIG. 4, in the case of the planar induction motor 100, for example, when the primary coil section 12 forms a traveling magnetic field in the -X direction, an eddy current is generated in the secondary conductor 20, and the traveling magnetic field and the eddy current The driving force (arrow T1 in FIG. 4) in the + X direction is generated in the primary coil portion 13 by the electromagnetic force between them. The moving body 10 is moved in the + X direction by the driving force T1.

図４の図中中央に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば１次コイル部１３が＋Ｙ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０に渦電流が生じ、進行磁界と渦電流との間の電磁力により１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ２）が生じる。この駆動力Ｔ２により、移動体１０が−Ｙ方向に移動する。   As shown in the center of FIG. 4, in the case of the planar induction motor 100, for example, when the primary coil portion 13 forms a traveling magnetic field in the + Y direction, an eddy current is generated in the secondary conductor 20, and the traveling magnetic field and the eddy current The driving force (arrow T2 in FIG. 4) in the -Y direction is generated in the primary coil portion 13 by the electromagnetic force between them. The moving body 10 is moved in the -Y direction by the driving force T2.

また、図４の図中下側に示すように、平面誘導モータ１００は、例えば同一の期間に１次コイル部１２が−Ｘ方向の進行磁界を形成し、かつ、１次コイル部１３が＋Ｙ方向の進行磁界を形成した場合、２次導体２０には１次コイル部１２及び１３の各進行磁界に対応する渦電流がそれぞれ生じる。そして、各進行磁界と各渦電流との間の電磁力により、１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ３）が生じ、１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力（図４の矢印Ｔ４）が生じる。この駆動力Ｔ３及びＴ４により、移動体１０が＋Ｘ方向及び−Ｙ方向の合成方向（図４の右下方向）に移動する。   Further, as shown in the lower side of FIG. 4, in the planar induction motor 100, for example, the primary coil portion 12 forms a traveling magnetic field in the -X direction in the same period, and the primary coil portion 13 is + Y. When the traveling magnetic field in the direction is formed, eddy currents corresponding to the traveling magnetic fields of the primary coil portions 12 and 13 are generated in the secondary conductor 20, respectively. Then, a driving force in the + X direction (arrow T3 in FIG. 4) is generated in the primary coil portion 12 by the electromagnetic force between each traveling magnetic field and each eddy current, and the primary coil portion 13 has a −Y direction. A driving force (arrow T4 in FIG. 4) is generated. The moving body 10 is moved in the combined direction of the + X direction and the -Y direction (lower right direction in FIG. 4) by the driving forces T3 and T4.

以上のように、本実施形態に係る平面誘導モータ１００は、１次コイル部１２及び１３により異なる方向に進行磁界を形成することができるため、移動体１０に対して異なる方向に駆動力を作用させることができる。また、１次コイル部１２及び１３が同一平面に間隔を空けて配置されるため、１次コイル部１２及び１３により２次導体２０の異なる箇所に渦電流を誘起させることができる。このため、１次コイル部１２及び１３により同一の期間に進行磁界を形成する場合であっても、渦電流同士の干渉を抑制することができる。これにより、移動体１０が移動面２０ａを２次元方向に自在に移動することができる。   As described above, in the flat induction motor 100 according to the present embodiment, since the traveling magnetic field can be formed in different directions by the primary coil portions 12 and 13, the driving force is applied to the moving body 10 in different directions. It can be done. Further, since the primary coil portions 12 and 13 are disposed on the same plane at intervals, eddy currents can be induced in different portions of the secondary conductor 20 by the primary coil portions 12 and 13. For this reason, even in the case where the traveling coil is formed in the same period by the primary coil portions 12 and 13, the interference between the eddy currents can be suppressed. As a result, the moving body 10 can freely move the moving surface 20 a in the two-dimensional direction.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、移動体１０の内部において、１次コイル部１２と１次コイル部１３とが１つずつ配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、他の構成であってもよい。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above embodiment, the configuration in which one primary coil portion 12 and one primary coil portion 13 are arranged in the inside of the moving body 10 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. , May be other configurations.

図５から図１４は、移動体の他の構成例又は動作例を示す平面図である。例えば図５に示す移動体１０Ａのように、１次コイル部１２及び１３を複数、例えば２つずつ有してもよい。この構成により、１次コイル部１２及び１３が２つずつ設けられるため、１次コイル部１２及び１３が１つずつである構成に比べて、Ｘ方向及びＹ方向における駆動力を大きくすることができる。また、図５に示す移動体１０Ａは、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されている。なお、中心軸ＡＸＡは、筐体１１の重心を通りＺ方向に平行な軸である。このため、移動体１０Ａにおいて重心の偏りが無く、安定した移動が可能となる。   5 to 14 are plan views showing other configuration examples or operation examples of the mobile unit. For example, as in a moving body 10A shown in FIG. 5, a plurality of, for example, two primary coil portions 12 and 13 may be provided. With this configuration, two primary coil portions 12 and 13 are provided, so that the driving force in the X direction and Y direction can be increased compared to a configuration in which one primary coil portion 12 and 13 is provided. it can. Further, in the moving body 10A shown in FIG. 5, the two primary coil portions 12 and the two primary coil portions 13 are arranged at point symmetry with respect to the central axis AXA in the Z direction view. . The central axis AXA is an axis passing through the center of gravity of the housing 11 and parallel to the Z direction. Therefore, there is no deviation of the center of gravity in the moving body 10A, and stable movement is possible.

また、図６に示す移動体１０Ｂのように、１次コイル部１２及び１３を複数、例えば３つずつ有してもよい。この場合、Ｘ方向及びＹ方向における駆動力を更に大きくすることができる。また、図６に示す移動体１０Ｂは、３つの１次コイル部１２と、３つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において筐体１１の中心軸ＡＸＢを基準として点対称とはならない位置に配置されている。なお、中心軸ＡＸＢは、筐体１１の重心を通りＺ方向に平行な軸である。このように、１次コイル部１２及び１３を複数設ける場合、筐体１１の中心軸ＡＸＢを基準とした点対称となる位置に配置しなくてもよい。   Further, as in a moving body 10B shown in FIG. 6, a plurality of, for example, three primary coil portions 12 and 13 may be provided. In this case, the driving force in the X direction and the Y direction can be further increased. Further, in the moving body 10B shown in FIG. 6, the positions where the three primary coil portions 12 and the three primary coil portions 13 do not have point symmetry with respect to the central axis AXB of the housing 11 in the Z direction view Is located in The central axis AXB is an axis passing through the center of gravity of the housing 11 and parallel to the Z direction. Thus, when providing multiple primary coil parts 12 and 13, it is not necessary to arrange in the position used as point symmetry on the basis of central axis AXB of case 11.

また、図７に示す移動体１０Ｃのように、１次コイル部１２の個数と１次コイル部１３の個数とが異なってもよい。移動体１０Ｃは、例えば４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とを有している。この構成のように、１次コイル部１２の個数を１次コイル部１３の個数よりも多くすることにより、Ｙ方向の最大駆動力に比べて、Ｘ方向の最大駆動力を大きくすることができる。なお、１次コイル部１２の個数よりも１次コイル部１３の個数を多くしてもよい。この場合、Ｘ方向の最大駆動力に比べて、Ｙ方向の最大駆動力を大きくすることができる。   Further, as in a moving body 10C shown in FIG. 7, the number of primary coil portions 12 and the number of primary coil portions 13 may be different. The moving body 10C has, for example, four primary coil sections 12 and two primary coil sections 13. As in this configuration, by making the number of primary coil portions 12 larger than the number of primary coil portions 13, the maximum driving force in the X direction can be made larger than the maximum driving force in the Y direction. . The number of primary coil portions 13 may be larger than the number of primary coil portions 12. In this case, the maximum driving force in the Y direction can be made larger than the maximum driving force in the X direction.

また、図７に示す移動体１０Ｃは、４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＣ（筐体１１Ｃの重心を通りＺ方向に平行な軸）を基準として点対称となる位置に配置されているが、これに限定するものではない。例えば、図８に示す移動体１０Ｄのように、４つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＤ（筐体１１Ｄの重心を通りＺ方向に平行な軸）を基準として点対称とはならない位置に配置されている。また、図８に示す移動体１０Ｄは、１次コイル部１２及び１３のうち４つが中心軸ＡＸＤの−Ｘ側に配置され、２つが中心軸ＡＸＤの＋Ｘ側に配置されている。このため、移動体１０Ｄは、−Ｘ側に重心が偏った状態となっている。しかしながら、移動体１０Ｄは、上記実施形態に記載のようなＸガイド部３０及びＹガイド部４０によってＺ軸回りの回転が規制されているため、Ｘ方向及びＹ方向への移動については問題なく行うことができる。このように、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０が設けられることにより、複数の１次コイル部１２及び１３の配置の自由度が高くなる。   Further, in the moving body 10C shown in FIG. 7, the four primary coil portions 12 and the two primary coil portions 13 are parallel to the central axis AXC (through the center of gravity of the housing 11C in the Z direction). Although it arrange | positions in the position which becomes point-symmetrical with respect to an axis | shaft), it does not limit to this. For example, as in the moving body 10D shown in FIG. 8, the four primary coil sections 12 and the two primary coil sections 13 have a central axis AXD in the Z direction (in the Z direction through the center of gravity of the housing 11D It is arranged at a position which is not point symmetrical with respect to a parallel axis). Further, in the moving body 10D shown in FIG. 8, four of the primary coil portions 12 and 13 are disposed on the −X side of the central axis AXD, and two are disposed on the + X side of the central axis AXD. For this reason, the center of gravity of the movable body 10D is biased to the -X side. However, since rotation of the movable body 10D around the Z axis is restricted by the X guide portion 30 and the Y guide portion 40 as described in the above embodiment, movement in the X direction and Y direction is performed without any problem. be able to. Thus, by providing the X guide portion 30 and the Y guide portion 40, the degree of freedom in the arrangement of the plurality of primary coil portions 12 and 13 is increased.

また、上記実施形態では、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０により、移動体１０のＺ軸回りの回転が規制されていたが、これに限定するものではない。例えば、Ｘガイド部３０及びＹガイド部４０を設けない構成とし、移動体１０を支持部１６のみによって支持する構成としてもよい。この場合、移動体１０が移動面２０ａ上でＺ軸回りに回転可能となる。移動体１０を回転させる動作については、制御部５０の回転制御部５２の制御によって行われる。   Moreover, in the said embodiment, although rotation around the Z-axis of the mobile body 10 was controlled by the X guide part 30 and the Y guide part 40, it does not limit to this. For example, the X guide portion 30 and the Y guide portion 40 may not be provided, and the moving body 10 may be supported by only the support portion 16. In this case, the movable body 10 can rotate around the Z axis on the moving surface 20a. The operation of rotating the moving body 10 is performed by the control of the rotation control unit 52 of the control unit 50.

例えば、上記の移動体１０Ａの構成を例に挙げて、移動体１０ＡをＺ軸回りに回転駆動する動作について説明する。移動体１０Ａは、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されている。   For example, the operation of rotationally driving the movable body 10A about the Z-axis will be described by taking the configuration of the movable body 10A as an example. The moving body 10A has two primary coil portions 12 and two primary coil portions 13 arranged at positions symmetrical with respect to the central axis AXA in the Z direction.

このような移動体１０Ａにおいて、回転制御部５２は、図９に示すように、２つの１次コイル部１２のうち、＋Ｘ側の１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力を生じさせ、−Ｘ側の１次コイル部１２には−Ｘ方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１３のうち、＋Ｙ側の１次コイル部１３には＋Ｙ方向の駆動力を生じさせ、−Ｙ側の１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１２及び１３に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＡに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、移動体１０Ａには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ａは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ａに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。   In such a movable body 10A, as shown in FIG. 9, the rotation control unit 52 causes the primary coil portion 12 on the + X side of the two primary coil portions 12 to generate a driving force in the + X direction, The primary coil section 12 on the -X side generates a driving force in the -X direction. Further, of the two primary coil portions 13, a driving force in the + Y direction is generated in the + Y side primary coil portion 13, and a driving force in the -Y direction is generated in the -Y side primary coil portion 13. Let Driving forces are generated at the same timing for the four primary coil sections 12 and 13. In this manner, the rotation control unit 52 drives the two primary coil units 12 and the two primary coil units 13 arranged in a point symmetrical manner with respect to the central axis AXA in directions opposite to each other. Create a force. Thereby, clockwise rotational force centering on central axis AXA can be given to mobile 10A in Z direction view. Due to this rotational force, the movable body 10A rotates in a clockwise direction about the central axis AXA in the Z direction. Further, the rotation control unit 52 generates a driving force at the same timing for the two primary coil units 12 and the two primary coil units 13, thereby suppressing the translational movement with respect to the moving body 10A. Rotational movement can be performed.

また、図１０に示すように、２つの１次コイル部１２のうち、＋Ｘ側の１次コイル部１２には−Ｘ方向の駆動力を生じさせ、−Ｘ側の１次コイル部１２には＋Ｘ方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１３のうち、＋Ｙ側の１次コイル部１３には−Ｙ方向の駆動力を生じさせ、−Ｙ側の１次コイル部１３には＋Ｙ方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１２及び１３に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＡに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、移動体１０Ａには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした反時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ａは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした反時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１２及び２つの１次コイル部１３に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ａに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。   Further, as shown in FIG. 10, of the two primary coil sections 12, a driving force in the -X direction is generated in the + X side primary coil section 12, and in the -X side primary coil section 12. It generates a driving force in the + X direction. Further, of the two primary coil portions 13, a driving force in the -Y direction is generated in the primary coil portion 13 on the + Y side, and a driving force in the + Y direction is generated in the primary coil portion 13 on the -Y side. Let Driving forces are generated at the same timing for the four primary coil sections 12 and 13. In this manner, the rotation control unit 52 drives the two primary coil units 12 and the two primary coil units 13 arranged in a point symmetrical manner with respect to the central axis AXA in directions opposite to each other. Create a force. Thereby, counterclockwise rotational force centering on the central axis AXA in the Z direction can be applied to the movable body 10A. By this rotational force, the movable body 10A rotates in a counterclockwise direction about the central axis AXA in the Z direction. Further, the rotation control unit 52 generates a driving force at the same timing for the two primary coil units 12 and the two primary coil units 13, thereby suppressing the translational movement with respect to the moving body 10A. Rotational movement can be performed.

なお、図９及び図１０に示す例では、２つの１次コイル部１２と、２つの１次コイル部１３とが、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＡを基準として点対称となる位置に配置されているため、Ｚ軸回りの回転力を移動体１０Ａに作用させるが、Ｘ方向及びＹ方向への駆動力が抑制される。これにより、移動体１０ＡがＸ方向及びＹ方向への移動を伴うことなく、Ｚ軸回りの回転動作のみを行うことができる。   In the example shown in FIGS. 9 and 10, the two primary coil sections 12 and the two primary coil sections 13 are disposed at positions symmetrical with respect to the central axis AXA in the Z direction view. Therefore, the rotational force around the Z axis is applied to the movable body 10A, but the driving force in the X direction and the Y direction is suppressed. As a result, it is possible to perform only the rotation operation around the Z axis without the movement of the movable body 10A in the X direction and the Y direction.

また、図９及び図１０では、２つの１次コイル部１２と２つの１次コイル部１３の両方を用いて駆動力を生じさせる場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば２つの１次コイル部１２のみを駆動させる場合でも、また、２つの１次コイル部１３のみを駆動させる場合でも、移動体１０Ａに対してＺ方向視において中心軸ＡＸＡを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。   Moreover, in FIG.9 and FIG.10, although the case where a driving force was produced using both the two primary coil parts 12 and the two primary coil parts 13 was mentioned as an example and demonstrated, in what is limited to this Absent. For example, even when only two primary coil units 12 are driven, and also when only two primary coil units 13 are driven, clockwise rotation around central axis AXA in the Z direction with respect to moving body 10A Torque can be applied.

また、図１１に示す移動体１０Ｅは、２つの１次コイル部１２及び１３に加えて、２つの１次コイル部１７及び１８を有している。１次コイル部１７は、１次コイル部１２に対してＺ軸を中心として反時計回りに４５°傾いた方向に駆動力を生じさせる。また、１次コイル部１８は、１次コイル部１３に対してＺ軸を中心として反時計回りに４５°傾いた方向に駆動力を生じさせる。１次コイル部１７と１次コイル部１８とは、互いに直交する方向に駆動力を生じさせる。１次コイル部１７は、筐体１１Ｅの４つの角部のうち対向する２つの角部に１つずつ配置されている。１次コイル部１８は、筐体１１Ｅの４つの角部のうち、１次コイル部１７が設けられる角部とは異なる２つの角部に、１つずつ配置されている。各１次コイル部１２、１３、１７及び１８は、筐体１１Ｅの重心を通りＺ方向に平行な軸である中心軸ＡＸＥに対して点対称に配置されている。   In addition to the two primary coil sections 12 and 13, the moving body 10E shown in FIG. 11 has two primary coil sections 17 and 18. The primary coil portion 17 generates a driving force in a direction inclined 45 ° counterclockwise with respect to the primary coil portion 12 about the Z axis. Further, the primary coil portion 18 generates a driving force in a direction inclined 45 ° counterclockwise with respect to the primary coil portion 13 about the Z axis. The primary coil portion 17 and the primary coil portion 18 generate driving forces in directions orthogonal to each other. One primary coil portion 17 is disposed at each of two opposing corners of the four corners of the casing 11E. Among the four corner portions of the housing 11E, one primary coil portion 18 is disposed at each of two corner portions different from the corner portion where the primary coil portion 17 is provided. The respective primary coil sections 12, 13, 17 and 18 are arranged point-symmetrically with respect to a central axis AXE which is an axis passing through the center of gravity of the housing 11E and parallel to the Z direction.

図１１に示す移動体１０Ｅにおいて、例えば２つの１次コイル部１７のうち、図中右下の１次コイル部１７には図中左下方向の駆動力を生じさせ、図中左上の１次コイル部１７には図中右上方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１８のうち、図中右上の１次コイル部１８には図中右下方向の駆動力を生じさせ、図中左下の１次コイル部１８には図中左上方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１７及び１８に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。   In the moving body 10E shown in FIG. 11, for example, among the two primary coil portions 17, the primary coil portion 17 at the lower right in the figure generates a driving force in the lower left direction in the figure, and the primary coil at the upper left in the figure The portion 17 generates a driving force in the upper right direction in the drawing. Further, of the two primary coil portions 18, the driving force in the lower right direction is generated in the upper right primary coil portion 18 in the figure, and the upper left direction in the figure is generated in the lower left primary coil portion 18 in the figure. Generate driving force. Driving forces are generated at the same timing for the four primary coil sections 17 and 18.

このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＥに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、図１２に示すように、移動体１０Ｅには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ｅは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした時計回りの方向に回転する。   In this manner, the rotation control unit 52 drives the two primary coil units 17 and the two primary coil units 18 arranged in a point symmetrical manner with respect to the central axis AXE in directions opposite to each other. Create a force. Thereby, as shown in FIG. 12, it is possible to apply a clockwise rotational force about the central axis AXE in the Z-direction view to the movable body 10E. Due to this rotational force, the movable body 10E rotates in a clockwise direction about the central axis AXE in the Z direction.

また、図１１に示す移動体１０Ｅにおいて、例えば２つの１次コイル部１７のうち、図中右下の１次コイル部１７には図中右上方向の駆動力を生じさせ、図中左上の１次コイル部１７には図中左下方向の駆動力を生じさせる。また、２つの１次コイル部１８のうち、図中右上の１次コイル部１８には図中左上方向の駆動力を生じさせ、図中左下の１次コイル部１８には図中右下方向の駆動力を生じさせる。４つの１次コイル部１７及び１８に対しては、同一のタイミングで駆動力を生じさせる。   Further, in the moving body 10E shown in FIG. 11, for example, among the two primary coil portions 17, the primary coil portion 17 at the lower right in the figure generates a driving force in the upper right direction in the figure; The next coil section 17 generates a driving force in the lower left direction in the drawing. Further, of the two primary coil portions 18, the driving force in the upper left direction is generated in the upper right primary coil portion 18 in the figure, and the lower right direction in the figure is generated in the lower left primary coil portion 18 in the figure. Generate driving force. Driving forces are generated at the same timing for the four primary coil sections 17 and 18.

このように、回転制御部５２は、中心軸ＡＸＥに対して点対称となる位置に配置された２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して、互いに反対の方向に駆動力を生じさせる。これにより、図示を省略するが、移動体１０Ｅには、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした反時計回りの回転力を付与することができる。この回転力により、移動体１０Ｅは、Ｚ方向視において中心軸ＡＸＥを中心とした反時計回りの方向に回転する。また、回転制御部５２は、２つの１次コイル部１７及び２つの１次コイル部１８に対して同一のタイミングで駆動力を生じさせることにより、移動体１０Ｅに対して並進移動を抑制しつつ回転移動を行わせることができる。   In this manner, the rotation control unit 52 drives the two primary coil units 17 and the two primary coil units 18 arranged in a point symmetrical manner with respect to the central axis AXE in directions opposite to each other. Create a force. Thereby, although illustration is abbreviate | omitted, counterclockwise rotational force centering on central axis AXE can be provided to the mobile body 10E in Z direction view. By this rotational force, the movable body 10E rotates in a counterclockwise direction about the central axis AXE in the Z direction. Further, the rotation control unit 52 generates a driving force at the same timing for the two primary coil units 17 and the two primary coil units 18, thereby suppressing the translational movement with respect to the moving body 10E. Rotational movement can be performed.

上記の移動体１０Ｅには、１次コイル部１７及び１８に加えて、１次コイル部１２及び１３が設けられている。このため、例えば１次コイル部１７及び１８を回転駆動に用いつつ、１次コイル部１２及び１３をＸ方向及びＹ方向への駆動に用いることができる。これにより、移動体１０Ｅの回転と並進とを同時に行うことができる。   In addition to the primary coil parts 17 and 18, the primary coil parts 12 and 13 are provided in said mobile body 10E. Therefore, for example, while using the primary coil portions 17 and 18 for rotational driving, the primary coil portions 12 and 13 can be used for driving in the X direction and the Y direction. Thereby, rotation and translation of mobile 10E can be performed simultaneously.

また、移動体１０Ｅの回転に用いる１次コイル部１７及び１８を筐体１１Ｅの４つの角部に配置することにより、移動体１０Ｅに効率的に回転力を付与することができる。なお、１次コイル部１２及び１３を移動体１０Ｅの回転に用い、１次コイル部１７及び１８を移動体１０Ｅの並進に用いてもよい。   Further, by arranging the primary coil portions 17 and 18 used for the rotation of the movable body 10E at the four corner portions of the housing 11E, the rotational force can be efficiently applied to the movable body 10E. The primary coil units 12 and 13 may be used to rotate the moving body 10E, and the primary coil units 17 and 18 may be used to translate the moving body 10E.

また、上記実施形態では、複数の１次コイル部が互いに直交する方向に駆動力を生じさせる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば図１３に示す移動体１０Ｆのように、Ｘ方向に駆動力を生じさせる１次コイル部１２と、Ｘ方向とは異なり、かつＸ方向とは直交しない方向に駆動力を生じさせる１次コイル部１９とが設けられた構成であってもよい。この場合、１次コイル部１９の駆動力のうち、Ｘ方向に平行な成分を１次コイル部１２によって打ち消すことにより、Ｙ方向のみの駆動力を合成することができる。このように、複数の１次コイル部が異なる方向にさえ駆動力を生じさせる構成であれば、互いに直交する方向に駆動力を生じさせる構成でなくてもよいため、複数の１次コイル部の配置の自由度が高くなる。   Moreover, although the said embodiment gave and demonstrated the structure which makes a driving force generate | occur | produce a driving force in the direction to which several primary coil parts mutually orthogonally crosse as an example, it does not limit to this. For example, as in the movable body 10F shown in FIG. 13, the primary coil portion 12 that generates a driving force in the X direction and the primary coil that generates a driving force in a direction different from the X direction and not orthogonal to the X direction. The configuration may be such that the unit 19 is provided. In this case, the driving force in the Y direction can be synthesized by canceling out the component parallel to the X direction among the driving forces of the primary coil portion 19 by the primary coil portion 12. As described above, as long as the plurality of primary coil portions are configured to generate the driving force even in different directions, the plurality of primary coil portions may not be configured to generate the driving forces in directions orthogonal to each other. The degree of freedom in placement is increased.

また、上記実施形態では、複数の１次コイル部が同一の駆動力を生じさせる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば図１４に示す移動体１０Ｇのように、Ｘ方向に駆動力を生じさせる１つの１次コイル部１２と、Ｙ方向に駆動力を生じさせる１つの１次コイル部１３Ｇとが異なる駆動力を生じさせる構成であってもよい。この構成により、Ｘ方向の最大駆動力に比べて、Ｙ方向の最大駆動力を大きくすることができる。なお、図１４では、１次コイル部１３Ｇの寸法が１次コイル部１２よりも大きくなっている構成を例に挙げているが、これに限定するものではなく、１次コイル部１２と１次コイル部１３Ｇとを同一の大きさとし、交流電流の周波数を変化させることで駆動力に差をつけてもよい。また、１次コイル部１３Ｇよりも１次コイル部１２の駆動力を大きくすることにより、Ｙ方向の最大駆動力に比べてＸ方向の最大駆動力が大きくなる構成としてもよい。   Moreover, although the said embodiment gave and demonstrated the structure which makes the several primary coil part produce the same driving force as an example, it does not limit to this. For example, as in a moving body 10G shown in FIG. 14, the driving force which is different between one primary coil portion 12 which generates a driving force in the X direction and one primary coil portion 13G which generates a driving force in the Y direction is It may be configured to be generated. With this configuration, the maximum driving force in the Y direction can be made larger than the maximum driving force in the X direction. Although FIG. 14 exemplifies a configuration in which the dimension of the primary coil portion 13G is larger than that of the primary coil portion 12, the present invention is not limited to this, and the primary coil portion 12 and the primary are not limited to this. The driving force may be differentiated by making the coil portion 13G the same size and changing the frequency of the alternating current. Further, by making the driving force of the primary coil portion 12 larger than that of the primary coil portion 13G, the maximum driving force in the X direction may be larger than the maximum driving force in the Y direction.

Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４ 駆動力
ＡＸＡ，ＡＸＢ，ＡＸＣ，ＡＸＤ，ＡＸＥ 中心軸
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ 移動体
１１，１１Ｃ，１１Ｄ，１１Ｅ 筐体
１２，１３，１３Ｇ，１７，１８，１９ １次コイル部
１４，１５ 配線
１６ 支持部
２０ ２次導体
２０ａ 移動面
２１ 磁性体部
２２ 非磁性体部
３０ Ｘガイド部
３１，３２，４１，４２ レール
３３，３４，４３，４４ スライダ
４０ Ｙガイド部
５０ 制御部
５１ 並進制御部
５２ 回転制御部
１００ 平面誘導モータ
１０１ 制振装置
１０２ 可動質量部
１０３ 連結部 T1, T2, T3, T4 driving forces AXA, AXB, AXC, AXD, AX Central axes 10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, mobile bodies 11, 11C, 11D, 11E enclosures 12, 13, 13G, 17, 18, 19 Primary coil portion 14, 15 Wiring 16 Support portion 20 Secondary conductor 20a Moving surface 21 Magnetic body portion 22 Nonmagnetic body portion 30 X guide portions 31, 32, 41, 42 Rails 33, 34, 43, 44 Slider 40 Y guide unit 50 Control unit 51 Translation control unit 52 Rotation control unit 100 Planar induction motor 101 Vibration damping device 102 Movable mass unit 103 Connection unit

Claims (8)

平面状の移動面を有する２次導体と、
前記移動面上を移動可能に設けられ、前記２次導体に渦電流を誘起させる進行磁界を前記移動面上の異なる方向に形成可能な複数の１次コイル部が同一平面に間隔を空けて配置された移動体と、
を備え、
前記移動体は、矩形状であり、
前記複数の１次コイル部は、前記移動体の角部に１つずつ配置された４つの角部側１次コイル部と、前記移動体の前記角部とは異なる位置に配置された４つの非角部側１次コイル部とを有し、
前記４つの角部側１次コイル部は、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部を有し、当該２つの１次コイル部が前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置され、
前記４つの前記角部側１次コイル部と、前記４つの非角部側１次コイル部とは、４５°傾いた方向に駆動力を生じさせ、
前記４つの前記角部側１次コイル部に対して同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させ、前記４つの非角部側１次コイル部に対して同一の期間に前記進行磁界を形成させる制御部を備える
平面誘導モータ。 A secondary conductor having a planar moving surface;
A plurality of primary coil portions are provided movably on the moving surface and capable of forming traveling magnetic fields in different directions on the moving surface, which are capable of forming traveling magnetic fields that induce eddy currents in the secondary conductor. The moving body,
Equipped with
The movable body has a rectangular shape,
The plurality of primary coil units are four corner-side primary coil units disposed one by one at corners of the movable body, and four corner coils disposed at positions different from the corner portions of the movable body. And a non-corner side primary coil portion,
The four corner side primary coil portions have two primary coil portions capable of forming the traveling magnetic field in a direction parallel to each other, and the two primary coil portions are in a direction perpendicular to the moving surface. When viewed, it is arranged at a point symmetrical with respect to a predetermined reference position of the movable body,
The four corner-portion-side primary coil portions and the four non-corner-side primary coil portions generate a driving force in a direction inclined by 45 °,
The traveling magnetic field is formed in the opposite direction at the same timing with respect to the four corner-portion-side primary coil portions, and travels in the same period with respect to the four non-corner-side primary coil portions. A planar induction motor comprising a control unit for forming a magnetic field . 前記複数の１次コイル部には、互いに直交する方向に前記進行磁界を形成可能な２つの１次コイル部が含まれている請求項１に記載の平面誘導モータ。   The planar induction motor according to claim 1, wherein the plurality of primary coil portions include two primary coil portions capable of forming the traveling magnetic field in directions orthogonal to each other. 前記複数の１次コイル部には、互いに平行な方向に前記進行磁界を形成可能な複数の１次コイル部が含まれている請求項１又は請求項２に記載の平面誘導モータ。   The planar induction motor according to claim 1, wherein the plurality of primary coil portions include a plurality of primary coil portions capable of forming the traveling magnetic field in directions parallel to each other. 前記複数の１次コイル部のうち少なくとも２つの１次コイル部は、前記移動面に垂直な方向に見た場合に前記移動体の所定の基準位置に対して点対称となる位置に配置される請求項３に記載の平面誘導モータ。   At least two primary coil units among the plurality of primary coil units are disposed at positions symmetrical with respect to a predetermined reference position of the movable body when viewed in a direction perpendicular to the movement surface. The planar induction motor according to claim 3. 前記基準位置に対して点対称となる位置に配置された前記少なくとも２つの１次コイル部に対して、同一のタイミングで互いに反対の方向に前記進行磁界を形成させる回転制御部を更に備える請求項４に記載の平面誘導モータ。   The apparatus further comprises a rotation control unit that causes the traveling magnetic fields to be formed in opposite directions at the same timing with respect to the at least two primary coil units disposed at point symmetry with respect to the reference position. The planar induction motor as described in 4. 異なる方向に前記進行磁界を形成する前記複数の１次コイル部に対して、同一の期間に前記進行磁界を形成させる並進制御部を更に備える請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の平面誘導モータ。   6. The translation control unit according to claim 1, further comprising: a translation control unit configured to form the traveling magnetic field in the same period with respect to the plurality of primary coil units that form the traveling magnetic field in different directions. Flat induction motor as described. 前記移動面と前記複数の１次コイル部との間隔が所定距離となるように前記移動面上で前記移動体を支持する支持部を更に備える請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の平面誘導モータ。   The support part which supports the said mobile on the said movement surface so that the space | interval of the said movement surface and the said some primary coil part may turn into predetermined distance is further provided in any one of the Claims 1-6. Flat induction motor as described. 前記移動体は、制振装置に設けられる可動質量部に連結される請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の平面誘導モータ。   The planar induction motor according to any one of claims 1 to 7, wherein the movable body is coupled to a movable mass portion provided in a damping device.
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