JP6423633B2 - Polyimide film for graphite sheet and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、電気伝導体又は熱伝導体として放熱材、均熱材として利用される柔軟性及び耐屈曲性を有するグラファイトシートの製造に使用されるポリイミドフィルム並びにその製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide film used for the production of a graphite sheet having flexibility and bending resistance, which is used as a heat radiating material, a soaking material as an electric conductor or a heat conductor, and a method for producing the same.

ポリイミドフィルムは、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、電気絶縁性及び機械強度等において優れた特性を有することが知られており、電線の電気絶縁材料、断熱材、フレキシブルプリント配線基板(FPC)のベースフィルム、ICのテープオートメイティッドボンディング(TAB)用のキャリアテープフィルム、及びICのリードフレーム固定用テープ等に広く利用されている。   Polyimide film is known to have excellent properties in heat resistance, cold resistance, chemical resistance, electrical insulation, mechanical strength, and the like. Electrical insulation material for wire, heat insulating material, flexible printed circuit board (FPC) It is widely used as a base film, a carrier tape film for IC automated tape bonding (TAB), an IC lead frame fixing tape, and the like.

ポリイミドフィルムが、これらの用途に用いられる際、重要な実用特性はフィルムの滑り性(易滑性)である。様々なフィルム加工工程において、フィルム支持体(例えば、ロール)とフィルムの易滑性、またフィルム同士の易滑性が確保されることにより、各工程における操作性、取り扱い性を向上させ、更にはフィルム上にシワ等の不良個所の発生が回避できる。   When a polyimide film is used in these applications, an important practical property is the slipperiness (slidability) of the film. In various film processing steps, the film support (for example, roll) and the slipperiness of the film and the slipperiness between the films are ensured, thereby improving the operability and handleability in each step. Generation of defects such as wrinkles on the film can be avoided.

従来のポリイミドフィルムにおける易滑化技術では、不活性無機化合物(例えば、アルカリ土類金属のオルトリン酸塩、第2リン酸カルシウム無水物、ピロリン酸カルシウム、シリカ、タルク)をポリアミック酸に添加する方法(特許文献1参照)が知られている。   In the conventional smoothing technology for polyimide films, an inert inorganic compound (for example, alkaline earth metal orthophosphate, dibasic calcium phosphate anhydride, calcium pyrophosphate, silica, talc) is added to polyamic acid (patent document) 1) is known.

また、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で2400℃以上の温度で熱処理し、必要に応じて圧延して得られるグラファイトシートでは、高温熱処理することによって均一発泡状態をつくり出し、これを圧延処理することで柔軟性と弾性とを有する可撓性のグラファイトシートが得られることが知られている(特許文献2及び3参照)。グラファイトシートは、銅やアルミニウム等の金属シートよりも高い熱伝導率を有するため、電子機器の放熱部材として、近年注目されている。   In addition, a graphite sheet obtained by heat-treating a polyimide film in an inert gas at a temperature of 2400 ° C. or higher and rolling it as necessary creates a uniform foamed state by heat-treating at a high temperature. It is known that a flexible graphite sheet having flexibility and elasticity can be obtained (see Patent Documents 2 and 3). In recent years, graphite sheets have attracted attention as heat dissipation members for electronic devices because they have higher thermal conductivity than metal sheets such as copper and aluminum.

ポリイミド等の高分子化合物をグラファイト化するために無機質や有機質のフィラーを添加するのが好ましいことが知られている(特許文献3及び特許文献4参照)。フィラーの役割は熱処理後のフィルムを均一発泡の状態にすることにある。即ち、添加されたフィラーは、加熱中にガスを発生し、このガスが発生した後の空洞が通り道となってフィルム内部から分解ガスの穏やかな通過を助ける。フィラーは、こうして均一発泡状態をつくり出すのに役立つ。   It is known that it is preferable to add an inorganic or organic filler to graphitize a polymer compound such as polyimide (see Patent Document 3 and Patent Document 4). The role of the filler is to make the film after heat treatment into a uniform foamed state. That is, the added filler generates a gas during heating, and the cavity after the generation of the gas becomes a passage to help the gentle passage of the decomposition gas from the inside of the film. The filler thus serves to create a uniform foamed state.

この発泡の程度をコントロールする方法として、グラファイト化時の昇温速度を制御する方法が知られている(特許文献5参照)。
しかしながら、グラファイト化時の昇温速度の制御だけではフィルムの発泡の程度が十分でない場合があり、得られたグラファイトシートの熱伝導性、柔軟性、耐屈曲性が、電子機器の放熱部材として十分ではない場合があった。
As a method of controlling the degree of foaming, a method of controlling the temperature rising rate during graphitization is known (see Patent Document 5).
However, the degree of foaming of the film may not be sufficient only by controlling the heating rate during graphitization, and the thermal conductivity, flexibility, and bending resistance of the obtained graphite sheet are sufficient as a heat radiating member for electronic devices. There was no case.

特開昭62−68852号公報JP-A-62-68852 特開平3−75211号公報JP-A-3-75211 特開平4−21508号公報JP-A-4-21508 特開平8−267647号公報JP-A-8-267647 特開2008−024571号公報JP 2008-024571 A

本発明は、上記現状に鑑み、熱処理によるグラファイト化時のフィルムの発泡が良好であり、グラファイト化されたシートが優れた熱伝導性、柔軟性及び耐屈曲性を有する、無機粒子の量、分散が適切に制御されたポリイミドフィルムを提供することを目的とする。   In view of the above situation, the present invention has good foaming of the film at the time of graphitization by heat treatment, and the graphitized sheet has excellent thermal conductivity, flexibility and bending resistance, amount of inorganic particles, dispersion An object of the present invention is to provide a polyimide film that is appropriately controlled.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、線膨張係数が20ppm/℃以下で、パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを原料に含んで製造され、無機粒子が分散されているポリイミドフィルムが、2000℃以上の温度で熱処理してグラファイト化する際の発泡が良好であり、当該熱処理により得られるグラファイトシートが熱伝導性、柔軟性及び耐屈曲性に優れることを見出し、この知見に基づいてさらに研究を進め、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have a linear expansion coefficient of 20 ppm / ° C. or less, paraphenylenediamine or paraphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, and pyromellitic acid. A polyimide produced by containing, as a raw material, one or more acid anhydrides selected from the group consisting of dianhydrides and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydrides, and inorganic particles dispersed therein The film has good foaming when it is graphitized by heat treatment at a temperature of 2000 ° C. or higher, and it is found that the graphite sheet obtained by the heat treatment is excellent in thermal conductivity, flexibility and bending resistance. Based on this, the present invention has been completed.

本発明は以下の発明に関する。
[1]パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを原料に含んで製造され、無機粒子が分散されているポリイミドフィルムであって、該ポリイミドフィルムを2000℃以上の温度で熱処理してグラファイトシートを製造することを特徴とする線膨張係数が20ppm/℃以下のポリイミドフィルム。
[2]無機粒子が、フィルム樹脂1重量当たり0.03〜1.00重量%の割合で含有されていることを特徴とする前記[1]に記載のポリイミドフィルム。
[3]無機粒子の平均粒子径が、0.1〜2.0μmであることを特徴とする前記[1]又は[2]に記載のポリイミドフィルム。
[4]粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が、全無機粒子に対して80体積%以上の割合を占めることを特徴とする前記[1]〜[3]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[5]無機粒子が、リン酸水素カルシウムを主成分とすることを特徴とする前記[1]〜[4]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[6]パラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルのモル比が40/60〜10/90であることを特徴とする前記[1]〜[5]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[7]ピロメリット酸二無水物と3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のモル比が80/20〜60/40であることを特徴とする前記[1]〜[5]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
[8]パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを、極性有機溶媒中で反応させてポリアミック酸を製造し、前記ポリアミック酸を加熱してフィルムに成形する際に、平均粒子径が0.1〜2.0μmであり、かつ粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占める粒度分布を有する無機粒子を、前記極性有機溶媒と同一の極性有機溶媒に分散させたスラリーを、前記ポリアミック酸溶液に前記無機粒子が樹脂1重量当たり0.03〜1.00重量%の割合となるようにポリアミック酸に添加することを特徴とする前記[1]〜[7]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムの製造方法。
[9]前記[1]〜[7]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成して得られることを特徴とするグラファイトシート。
[10]前記[1]〜[7]のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成することを特徴とするグラファイトシートの製造方法。
The present invention relates to the following inventions.
[1] selected from the group consisting of paraphenylenediamine or paraphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride A polyimide film produced by containing one or more acid anhydrides as raw materials and having inorganic particles dispersed therein, wherein the polyimide film is heat-treated at a temperature of 2000 ° C. or more to produce a graphite sheet. A polyimide film having a linear expansion coefficient of 20 ppm / ° C. or less.
[2] The polyimide film as described in [1] above, wherein the inorganic particles are contained in a ratio of 0.03 to 1.00% by weight per 1 weight of the film resin.
[3] The polyimide film as described in [1] or [2], wherein the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 to 2.0 μm.
[4] In any one of the above [1] to [3], the inorganic particles having a particle size of 0.5 to 2.5 μm occupy a ratio of 80% by volume or more based on the total inorganic particles. The polyimide film as described.
[5] The polyimide film according to any one of [1] to [4], wherein the inorganic particles contain calcium hydrogen phosphate as a main component.
[6] The polyimide film as described in any one of [1] to [5], wherein the molar ratio of paraphenylenediamine to 4,4′-diaminodiphenyl ether is 40/60 to 10/90. .
[7] The above-mentioned [1], wherein the molar ratio of pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 80/20 to 60/40. The polyimide film according to any one of [5].
[8] Selected from the group consisting of paraphenylenediamine or paraphenylenediamine and 4,4′-diaminodiphenyl ether, pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride When the polyamic acid is produced by reacting with one or more acid anhydrides in a polar organic solvent, and the polyamic acid is heated to form a film, the average particle size is 0.1 to 2.0 μm. And a slurry in which inorganic particles having a particle size distribution in which inorganic particles having a particle diameter of 0.5 to 2.5 μm account for 80% by volume or more in all particles are dispersed in the same polar organic solvent as the polar organic solvent. The polyamic acid solution is characterized in that the inorganic particles are added to the polyamic acid in a ratio of 0.03 to 1.00% by weight per 1 weight of the resin. ] The manufacturing method of the polyimide film of any one of [7].
[9] A graphite sheet obtained by firing the polyimide film according to any one of [1] to [7].
[10] A method for producing a graphite sheet, comprising firing the polyimide film according to any one of [1] to [7].

本発明のポリイミドフィルムは、熱処理によるグラファイト化時の発泡が良好であり、本発明のポリイミドフィルムを熱処理して製造されたグラファイトシートは、優れた熱伝導性、柔軟性及び耐屈曲性を有する。   The polyimide film of the present invention has good foaming during graphitization by heat treatment, and the graphite sheet produced by heat-treating the polyimide film of the present invention has excellent thermal conductivity, flexibility and bending resistance.

以下、本発明をさらに詳しく説明する。
本発明のポリイミドフィルムは、線膨張係数が20ppm/℃以下であり、パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを原料に含んで製造され、無機粒子が分散されているポリイミドフィルムであって、該ポリイミドフィルムを2000℃以上の温度で熱処理してグラファイトシートを製造することを特徴とする。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The polyimide film of the present invention has a linear expansion coefficient of 20 ppm / ° C. or less, paraphenylenediamine or paraphenylenediamine and 4,4′-diaminodiphenyl ether, pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4. A polyimide film produced by using one or more acid anhydrides selected from the group consisting of '-biphenyltetracarboxylic dianhydride as a raw material and having inorganic particles dispersed therein, the polyimide film being at least 2000 ° C A graphite sheet is produced by heat treatment at a temperature of

[ポリアミック酸]
本発明のポリイミドフィルムを得るに際しては、まず、芳香族ジアミン成分及び芳香族酸無水物成分を有機溶媒中で重合させることにより、ポリアミック酸溶液(以下、ポリアミド酸溶液ともいう)を得る。以下、ポリアミック酸溶液について説明する。
[Polyamic acid]
In obtaining the polyimide film of the present invention, first, an aromatic diamine component and an aromatic acid anhydride component are polymerized in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution (hereinafter also referred to as a polyamic acid solution). Hereinafter, the polyamic acid solution will be described.

本発明において、ポリアミック酸溶液は、原料の芳香族ジアミン成分と芳香族酸二無水物成分、又はこの両者を主成分とする化学物質を有機溶媒中で重合させることによって得ることができる。
芳香族ジアミン成分としては、パラフェニレンジアミンを必須成分として含み、その他の芳香族ジアミン成分として4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含むことが好ましい。
芳香族無水物成分としては、ピロメリット酸二無水物及び/又は3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が好ましい。
In the present invention, the polyamic acid solution can be obtained by polymerizing a raw material aromatic diamine component and aromatic dianhydride component, or a chemical substance mainly composed of both in an organic solvent.
As an aromatic diamine component, it is preferable that paraphenylene diamine is included as an essential component, and 4,4'- diaminodiphenyl ether is included as another aromatic diamine component.
As the aromatic anhydride component, pyromellitic dianhydride and / or 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferable.

本発明において、フィルムの原料として使用されるパラフェニレンジアミンと4−4'−ジアミノジフェニルエーテルのモル比は、40/60〜10/90であることが好ましく、30/70〜15/85であることがより好ましい。   In the present invention, the molar ratio of paraphenylenediamine and 4-4′-diaminodiphenyl ether used as a film raw material is preferably 40/60 to 10/90, and preferably 30/70 to 15/85. Is more preferable.

本発明において、フィルムの原料として使用されるピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のモル比は、80/20〜60/40であることが好ましく、75/25〜65/35であることがより好ましい。   In the present invention, the molar ratio of pyromellitic dianhydride used as a film raw material to 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 80/20 to 60/40. Is more preferable, and 75/25 to 65/35 is more preferable.

本発明においては、パラフェニレンジアミン及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル以外に、本発明の効果を妨げない範囲で少量の他のジアミン1種又は2種以上を添加してもよい。また、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外に、本発明の効果を妨げない範囲で少量の他の酸二無水物1種又は2種以上を添加してもよい。具体的な他のジアミン及び酸二無水物としては以下のものが挙げられるが、これらに限定されない。   In the present invention, in addition to paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether, a small amount of one or more other diamines may be added as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, in addition to pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, a small amount of other acid dianhydrides 1 or 2 as long as the effects of the present invention are not hindered. More than seeds may be added. Specific examples of other diamines and acid dianhydrides include, but are not limited to:

前記他のジアミンとしては、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、4,4'−ジアミノジフェニルプロパン、3,4'−ジアミノジフェニルプロパン、3,3'−ジアミノジフェニルプロパン、4,4'−ジアミノジフェニルメタン、3,4'−ジアミノジフェニルメタン、3,3'−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、4,4'−ジアミノジフェニルサルファイド、3,4'−ジアミノジフェニルサルファイド、3,3'−ジアミノジフェニルサルファイド、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、2,6−ジアミノピリジン、ビス−(4−アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3'−ジクロロベンジジン、ビス−(4−アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、ビス−(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル、3,4'−ジメチル−3',4−ジアミノビフェニル−3,3'−ジメトキシベンチジン、2,4−ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス(2−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス−(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、1,3−ジアミノアダマンタン、3,3'−ジアミノ−1,1'−ジアミノアダマンタン、3,3'−ジアミノメチル−1,1'−ジアダマンタン、ビス(p−アミノシクロヘキシル)メタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4'−ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,2−ビス(3−アミノプロポキシ)エタン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、3−メトキシヘキサエチレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、5−メチルノナメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,12−ジアミノオクタデカン、2,5−ジアミノ−1,3,4−オキサジアゾール、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N−(3−アミノフェニル)−4−アミノベンズアミド、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエート等が挙げられる。   Examples of the other diamine include 3,3′-diaminodiphenyl ether, metaphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, and 4,4 ′. -Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4 , 4'-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 2,6-diaminopyridine, bis- (4-aminophenyl) diethylsilane, 3,3'-dichloro Benzidine, bis- (4-aminophen E) ethylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) phenylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) -N-phenylamine, bis- (4-aminophenyl) -N-methylamine, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,4′-dimethyl-3 ′, 4-diaminobiphenyl-3,3′-dimethoxybenzidine, 2,4- Bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, p-bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis- ( 1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 1,3-diaminoadamantane, 3,3′-diamino-1,1′- Aminoadamantane, 3,3′-diaminomethyl-1,1′-diadamantane, bis (p-aminocyclohexyl) methane, hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylenediamine, 3- Methylheptamethylenediamine, 4,4′-dimethylheptamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 1,2-bis (3-aminopropoxy) ethane, 2,2-dimethylpropylenediamine, 3-methoxyhexaethylenediamine, 2 , 5-dimethylhexamethylenediamine, 2,5-dimethylheptamethylenediamine, 5-methylnonamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, 1,12-diaminooctadecane, 2,5-diamino-1,3,4- Oxadiazo , 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, N-(3- aminophenyl) -4-aminobenzamide, 4-aminophenyl-3-aminobenzoate, and the like.

前記他の酸二無水物としては、2,3',3,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,5,6−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3',4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。   Examples of the other acid dianhydrides include 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3, 6,7-naphthalenedicarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4 5-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-decahydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl- 1,2,5,6-hexahydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloro-1,4, 5,8-Naphthalenetetracarbo Acid dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,8,9,10-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 2 , 2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ) Ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride Benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and the like.

また、本発明において、ポリアミック酸溶液の形成に使用される有機溶媒の具体例としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン等のピロリドン系溶媒、フェノール、o−,m−,或いはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール等のフェノール系溶媒は、又ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性極性溶媒等が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができ、さらには、キシレン、トルエン等の芳香族炭化水素と組み合わせて使用することができる。   In the present invention, specific examples of the organic solvent used for forming the polyamic acid solution include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide and the like. Formamide solvents, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, Examples of phenolic solvents such as m- or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, and catechol include aprotic polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ-butyrolactone. These can be used singly or in combination of two or more, and further can be used in combination with aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene.

ポリアミック酸溶液の重合方法は公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば、
(1)先に芳香族ジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後芳香族酸無水物成分を芳香族ジアミン成分全量と当量になるよう加えて重合する方法。
(2)先に芳香族酸無水物成分全量を溶媒中に入れ、その後芳香族ジアミン成分を芳香族酸無水物成分と当量になるよう加えて重合する方法。
(3)一方の芳香族ジアミン化合物を溶媒中に入れた後、反応成分に対して芳香族酸無水物化合物が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の芳香族ジアミン化合物を添加し、続いてもう一方の芳香族酸無水物化合物を全芳香族ジアミン成分と全芳香族酸無水物成分とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法。
(4)芳香族酸無水物化合物を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方の芳香族ジアミン化合物が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の芳香族酸無水物化合物を添加し、続いてもう一方の芳香族ジアミン化合物を全芳香族ジアミン成分と全芳香族酸無水物成分とがほぼ当量になるよう添加して重合する方法。
(5)溶媒中で一方の芳香族ジアミン成分と芳香族酸無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミック酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方の芳香族ジアミン成分と芳香族酸無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させポリアミック酸溶液(B)を調整する。こうして得られた各ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。この時ポリアミック酸溶液(A)を調整するに際し芳香族ジアミン成分が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)では芳香族酸無水物成分を過剰に、またポリアミック酸溶液(A)で芳香族酸無水物成分が過剰の場合、ポリアミック酸溶液(B)では芳香族ジアミン成分を過剰にし、ポリアミック酸溶液(A)と(B)を混ぜ合わせこれら反応に使用される全芳香族ジアミン成分と全芳香族酸無水物成分とがほぼ当量になるよう調整する方法、等が挙げられる。
なお、重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。
The polymerization method of the polyamic acid solution may be performed by any known method, for example,
(1) A method in which the total amount of the aromatic diamine component is first put in a solvent, and then the aromatic acid anhydride component is added so as to be equivalent to the total amount of the aromatic diamine component for polymerization.
(2) A method in which the total amount of the aromatic acid anhydride component is first put in a solvent, and then the aromatic diamine component is added so as to be equivalent to the aromatic acid anhydride component for polymerization.
(3) After putting one aromatic diamine compound in a solvent, after mixing for the time required for reaction in the ratio from which an aromatic acid anhydride compound becomes 95-105 mol% with respect to the reaction component, the other A method in which an aromatic diamine compound is added and then the other aromatic acid anhydride compound is added and polymerized so that the total aromatic diamine component and the total aromatic acid anhydride component are approximately equivalent.
(4) After putting the aromatic acid anhydride compound in the solvent, after mixing for the time required for the reaction at a ratio of 95 to 105 mol% of one aromatic diamine compound with respect to the reaction component, A method of polymerizing by adding an aromatic acid anhydride compound and then adding the other aromatic diamine compound so that the total aromatic diamine component and the total aromatic acid anhydride component are approximately equivalent.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one aromatic diamine component and an aromatic acid anhydride component in a solvent so that either one becomes excessive, and the other aromatic diamine component in another solvent. The polyamic acid solution (B) is prepared by reacting either the diamine component or the aromatic acid anhydride component so as to be excessive. A method in which the polyamic acid solutions (A) and (B) thus obtained are mixed to complete the polymerization. At this time, when adjusting the polyamic acid solution (A), if the aromatic diamine component is excessive, the polyamic acid solution (B) has excessive aromatic acid anhydride component, and the polyamic acid solution (A) has aromatic acid anhydride. When the component is excessive, in the polyamic acid solution (B), the aromatic diamine component is excessive, and the polyamic acid solutions (A) and (B) are mixed and the wholly aromatic diamine component and wholly aromatic used in these reactions. The method of adjusting so that an acid anhydride component may become substantially equivalent, etc. are mentioned.
The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.

本発明においてポリアミド酸を構成する芳香族酸無水物成分と芳香族ジアミン成分とは、それぞれのモル数が大略等しくなる割合で重合されるが、その一方が10モル%、好ましくは5モル%の範囲内で他方に対して過剰に配合されてもよい。   In the present invention, the aromatic acid anhydride component and the aromatic diamine component constituting the polyamic acid are polymerized at a ratio in which the respective mole numbers are approximately equal, one of which is 10 mol%, preferably 5 mol%. You may mix | blend excessively with respect to the other within the range.

重合反応は、有機溶媒中で撹拌・混合しながら行うことが好ましい。重合温度は、特に限定されないが、通常は、反応溶液の内温0〜80℃で行なわれる。重合時間は、特に限定されないが、10分〜30時間連続して行うことが好ましい。重合反応は、必要により重合反応を分割したり、温度を上下させてもよい。両反応体の添加順序には特に制限はないが、芳香族ジアミン成分の溶液中に芳香族酸無水物を添加することが好ましい。重合反応中に真空脱泡することは、良質なポリアミド酸の有機溶媒溶液を製造するのに有効な方法である。また、重合反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加することによって、重合反応の制御を行ってもよい。前記末端封止剤は、特に限定されず、公知のものを使用することができる。   The polymerization reaction is preferably performed with stirring and mixing in an organic solvent. The polymerization temperature is not particularly limited, but is usually carried out at an internal temperature of the reaction solution of 0 to 80 ° C. The polymerization time is not particularly limited, but it is preferably performed continuously for 10 minutes to 30 hours. In the polymerization reaction, the polymerization reaction may be divided or the temperature may be increased or decreased as necessary. Although there is no restriction | limiting in particular in the addition order of both reactants, It is preferable to add an aromatic acid anhydride in the solution of an aromatic diamine component. Vacuum defoaming during the polymerization reaction is an effective method for producing a high-quality polyamic acid organic solvent solution. Further, the polymerization reaction may be controlled by adding a small amount of an end-capping agent to the aromatic diamine before the polymerization reaction. The end-capping agent is not particularly limited, and a known one can be used.

こうして得られるポリアミック酸溶液は、固形分を通常5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%を含有する。また、その粘度は、ブルックフィールド粘度計による測定値であり、特に限定されないが、通常10〜2000Pa・sであり、安定した送液のために、好ましくは100〜1000Pa・sである。尚、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。   The polyamic acid solution thus obtained contains a solid content of usually 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight. The viscosity is a value measured with a Brookfield viscometer and is not particularly limited, but is usually 10 to 2000 Pa · s, and preferably 100 to 1000 Pa · s for stable liquid feeding. In addition, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

[無機粒子]
本発明のポリイミドフィルムに分散される無機粒子は、本発明のポリイミドフィルム製造工程で接触する全ての化学物質に対して不溶であることが好ましい。
[Inorganic particles]
The inorganic particles dispersed in the polyimide film of the present invention are preferably insoluble in all chemical substances that are contacted in the polyimide film manufacturing process of the present invention.

本発明において使用可能な無機粒子としては、SiO(シリカ)、TiO(チタニア)、CaHPO(リン酸水素カルシウム)、Ca(ピロリン酸カルシウム)等を好適に挙げることができる。中でもCaHPOは、ポリイミドフィルム内部から昇華するときに発生するガスにより良好な膨れが生じ、熱伝導性に優れた良好なグラファイトシートが得られるため、CaHPOを主成分とすることが特に好ましい。 As inorganic particles that can be used in the present invention, SiO 2 (silica), TiO 2 (titania), CaHPO 4 (calcium hydrogen phosphate), Ca 2 P 2 O 7 (calcium pyrophosphate) and the like can be preferably exemplified. . Among them CaHPO 4 is caused good swelling by gas generated when the sublimed from within a polyimide film, for good graphite sheet having excellent thermal conductivity is obtained, it is particularly preferable that the main component CaHPO 4.

ポリイミドフィルム中の無機粒子の含有量は、フィルム樹脂1重量当たり0.03〜1.0重量%の割合が好ましく、0.1〜0.8重量%の割合がより好ましい。0.03重量%以下であると、ポリイミドフィルムを焼成して得られるグラファイトシートの機械的強度や熱伝導性が低くなるため好ましくない。また、逆に1.0重量%以上であると、グラファイト化時の発泡の均一性が低下するため好ましくない。   The content of the inorganic particles in the polyimide film is preferably 0.03 to 1.0% by weight, more preferably 0.1 to 0.8% by weight per 1 weight of the film resin. If it is 0.03% by weight or less, the mechanical strength and thermal conductivity of the graphite sheet obtained by firing the polyimide film are undesirably low. On the other hand, if it is 1.0% by weight or more, the uniformity of foaming during graphitization is lowered, which is not preferable.

無機粒子の平均粒子径は、グラファイト化時の発泡がより均一になる点から、好ましくは0.1〜2.0μmであり、より好ましくは0.5〜1.5μmであり、さらに好ましくは0.8〜1.2μmである。   The average particle diameter of the inorganic particles is preferably from 0.1 to 2.0 μm, more preferably from 0.5 to 1.5 μm, and even more preferably from the viewpoint that foaming during graphitization becomes more uniform. .8 to 1.2 μm.

無機粒子の粒度分布については、狭い分布であること、つまり類似の大きさの粒子が全粒子に占める割合が高い方が良く、具体的には粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が全無機粒子に対して80体積%以上の割合を占めることが好ましい。この範囲を下回り0.5μm以下の粒子の占める割合が高くなると、グラファイトシートの機械的強度が弱く、熱伝導性も低くなるため好ましくない。また、無機粒子送液の際には5μmカットフィルターや20μmカットフィルターにより粗粒を除去することが可能であるが、6.0μmを超える大きさの無機粒子の占める割合が高くなると、フィルターの目詰まりを頻発させてしまい工程安定性を損ねる上、無機粒子の粗大凝集が生じやすくなるため好ましくない。そのため、無機粒子としては、全粒子径が6.0μm以下の範囲内にあることが好ましい。前記平均粒子径、粒子径及び粒度分布は、後述の実施例のようにして、堀場製作所のレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置LA−910を用いて測定した値である。   As for the particle size distribution of the inorganic particles, it is better that the particle size distribution is narrow, that is, the proportion of particles having similar sizes in all particles is high. Specifically, inorganic particles having a particle size of 0.5 to 2.5 μm are used. It is preferable to occupy a ratio of 80% by volume or more with respect to all inorganic particles. If the proportion of particles smaller than this range and 0.5 μm or less is increased, the mechanical strength of the graphite sheet is weak and the thermal conductivity is lowered, which is not preferable. In addition, it is possible to remove coarse particles with a 5 μm cut filter or a 20 μm cut filter when feeding inorganic particles, but if the proportion of inorganic particles with a size exceeding 6.0 μm increases, the filter eyes This is not preferable because clogging frequently occurs and process stability is deteriorated and coarse aggregation of inorganic particles is likely to occur. Therefore, the inorganic particles preferably have a total particle size in the range of 6.0 μm or less. The average particle size, particle size, and particle size distribution are values measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus LA-910 manufactured by Horiba, Ltd. as in the examples described later.

無機粒子は、N,N−ジメチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、N−メチルピロリドン等の極性溶媒に均一に分散させたスラリーとして使用することが、該粒子の凝集を防止できるため好ましい。このスラリーは、粒子径が非常に小さいため、沈降速度が遅く安定している。また、たとえ沈降しても再攪拌することで容易に再分散可能である。尚、無機粒子スラリーは、常法を用いて得ることができる。   The inorganic particles can be used as a slurry uniformly dispersed in a polar solvent such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, N-methylpyrrolidone, etc., thereby preventing aggregation of the particles. Therefore, it is preferable. Since this slurry has a very small particle size, the sedimentation rate is low and stable. Even if it settles, it can be easily redispersed by re-stirring. The inorganic particle slurry can be obtained using a conventional method.

本発明において、無機粒子をポリイミドフィルムに分散させる方法としては、特に限定されないが、無機粒子スラリーの沈降・凝集を防止するため、予め重合したポリアミック酸溶液に添加した後、脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得ることが好ましい。また、ポリアミック酸重合前の有機溶媒中に無機粒子スラリーを添加した後、ポリアミック酸重合、脱環化脱溶媒を経てポリイミドフィルムを得てもよい。脱環化脱溶媒前の工程であれば、ポリイミドフィルム製造のいかなる工程においても無機粒子スラリーを添加することが可能である。また、無機粒子スラリーに使用される極性溶媒は、ポリアミック酸の製造に使用される有機溶媒と同一の極性溶媒であることが好ましい。   In the present invention, the method for dispersing the inorganic particles in the polyimide film is not particularly limited. However, in order to prevent sedimentation / aggregation of the inorganic particle slurry, it is added to a prepolymerized polyamic acid solution, followed by decyclization and desolvation. It is preferable to obtain a polyimide film. Moreover, after adding an inorganic particle slurry in the organic solvent before polyamic acid polymerization, you may obtain a polyimide film through polyamic acid polymerization and decyclization desolvation. The inorganic particle slurry can be added in any step of polyimide film production as long as it is a step before decyclization and solvent removal. Moreover, it is preferable that the polar solvent used for an inorganic particle slurry is the same polar solvent as the organic solvent used for manufacture of a polyamic acid.

前記分散は、フィラーを均一に分散させるため、ホモジナイザー、摩砕型ミルを用いて行うことが好ましい。ホモジナイザー、摩砕型ミルは、特に限定されず、従来公知のものを使用することができる。   The dispersion is preferably performed using a homogenizer or a grinding mill in order to disperse the filler uniformly. The homogenizer and the grinding mill are not particularly limited, and conventionally known ones can be used.

本発明において使用される前記ポリアミック酸溶液は、上記無機粒子以外の化合物1種又は2種以上を含んでもよい。無機粒子以外の化合物としては、例えば、炭素、アルミナやチタニアなどの金属酸化物、窒化ホウ素などのホウ素化合物等が挙げられる。   The polyamic acid solution used in the present invention may contain one or more compounds other than the inorganic particles. Examples of compounds other than the inorganic particles include carbon, metal oxides such as alumina and titania, and boron compounds such as boron nitride.

[ポリイミドフィルム]
次に、本発明のポリイミドフィルムの製造方法について説明する。
[Polyimide film]
Next, the manufacturing method of the polyimide film of this invention is demonstrated.

ポリイミドフィルムは、ポリアミック酸溶液を加熱することにより製造されるが、以下に詳細に記載する。
ポリイミドフィルムを製造する方法としては、ポリアミック酸溶液をフィルム状にキャストし熱的に脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得る方法、及びポリアミック酸溶液に環化触媒及び脱水剤を混合し化学的に脱環化させてゲルフィルムを作製し、これを加熱脱溶媒することによりポリイミドフィルムを得る方法が挙げられるが、後者の方が得られるポリイミドフィルムの熱膨張係数を低く抑えることができ、フィルム面方向の配高性が高まるため、良好なグラファイトの熱伝導性や厚みを得られることから好ましい。
The polyimide film is produced by heating a polyamic acid solution, which will be described in detail below.
As a method for producing a polyimide film, a polyamic acid solution is cast into a film and thermally decyclized and desolvated to obtain a polyimide film, and a polyamic acid solution is mixed with a cyclization catalyst and a dehydrating agent to form a chemical film. The method of obtaining a polyimide film by preparing a gel film by decyclizing to a film and heating it to remove the solvent is mentioned, but the latter can reduce the thermal expansion coefficient of the polyimide film obtained, and the film Since the height distribution in the surface direction is increased, it is preferable because good thermal conductivity and thickness of graphite can be obtained.

化学的に脱環化させる方法においては、まず上記ポリアミック酸溶液を調製する。上記ポリアミック酸溶液は、環化触媒(イミド化触媒)、脱水剤及びゲル化遅延剤等を含有することができる。   In the method of chemically decyclizing, first, the polyamic acid solution is prepared. The polyamic acid solution can contain a cyclization catalyst (imidization catalyst), a dehydrating agent, a gelation retarder, and the like.

本発明で使用される環化触媒の具体例としては、トリメチルアミン、トリエチレンジアミン等の脂肪族第3級アミン、ジメチルアニリン等の芳香族第3級アミン、及びイソキノリン、ピリジン、β−ピコリン等の複素環式第3級アミン等が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を併用できる。なかでも複素環式第3級アミンを少なくとも一種以上使用する態様が好ましい。   Specific examples of the cyclization catalyst used in the present invention include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylenediamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and complex such as isoquinoline, pyridine, and β-picoline. Examples thereof include cyclic tertiary amines, and these can be used alone or in combination of two or more. Among these, an embodiment in which at least one heterocyclic tertiary amine is used is preferable.

本発明で使用される脱水剤の具体例としては、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸等の脂肪族カルボン酸無水物、及び無水安息香酸等の芳香族カルボン酸無水物等が挙げられるが、なかでも無水酢酸及び/又は無水安息香酸が好ましい。   Specific examples of the dehydrating agent used in the present invention include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride and butyric anhydride, and aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Of these, acetic anhydride and / or benzoic anhydride are preferred.

ポリアミック酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法としては、環化触媒及び脱水剤を含有せしめたポリアミック酸溶液をスリット付き口金から支持体上に流延してフィルム状に成形し、支持体上でイミド化を一部進行させて自己支持性を有するゲルフィルムとした後、支持体より剥離し、加熱乾燥/イミド化し、熱処理を行う。   As a method for producing a polyimide film from a polyamic acid solution, a polyamic acid solution containing a cyclization catalyst and a dehydrating agent is cast on a support from a base with a slit and formed into a film, and an imide is formed on the support. The gel film is partially advanced to form a gel film having self-supporting properties, and then peeled off from the support, heat-dried / imidized, and subjected to heat treatment.

上記ポリアミック酸溶液は、スリット状口金を通ってフィルム状に成形され、加熱された支持体上に流延され、支持体上で熱閉環反応をし、自己支持性を有するゲルフィルムとなって支持体から剥離される。   The polyamic acid solution is formed into a film shape through a slit-shaped base, cast on a heated support, undergoes a thermal ring-closing reaction on the support, and becomes a gel film having self-supporting properties. It is peeled from the body.

上記支持体とは、金属製の回転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体又は気体の熱媒、及び/又は電気ヒーター等の輻射熱により制御される。   The support is a metal rotating drum or an endless belt, and its temperature is controlled by radiant heat from a liquid or gaseous heat medium and / or an electric heater.

上記ゲルフィルムは、支持体からの受熱及び/又は熱風や電気ヒーター等の熱源からの受熱により、通常30〜200℃、好ましくは40〜150℃に加熱されて閉環反応し、遊離した有機溶媒等の揮発分を乾燥させることにより自己支持性を有するようになり、支持体から剥離される。   The gel film is usually heated to 30 to 200 ° C., preferably 40 to 150 ° C. by receiving heat from the support and / or receiving heat from a heat source such as hot air or an electric heater. It becomes self-supporting by drying the volatile matter of and is peeled from the support.

上記支持体から剥離されたゲルフィルムは、通常回転ロールにより走行速度を規制しながら走行方向に延伸される。延伸は、通常は140℃以下の温度で1.01〜1.90倍、好ましくは1.05〜1.60倍、さらに好ましくは1.10〜1.50倍の倍率で実施される。走行方向に延伸されたゲルフィルムは、テンター装置に導入され、テンタークリップに幅方向両端部を把持されて、テンタークリップと共に走行しながら、幅方法へ延伸される。   The gel film peeled off from the support is usually stretched in the running direction while regulating the running speed with a rotating roll. Stretching is usually carried out at a temperature of 140 ° C. or lower at a magnification of 1.01-1.90 times, preferably 1.05-1.60 times, more preferably 1.10-1.50 times. The gel film stretched in the running direction is introduced into the tenter device, and both ends in the width direction are held by the tenter clip, and stretched in the width method while running with the tenter clip.

上記の乾燥ゾーンで乾燥したフィルムは、通常は、風、赤外ヒーター等で15秒から30分加熱される。次いで、熱風及び/又は電気ヒーター等により、通常250〜500の温度で15秒から30分熱処理を行う。走行方向への延伸倍率と幅方向への延伸倍率を調整しながら、ポリイミドフィルムの厚みは調整される。   The film dried in the above drying zone is usually heated for 15 seconds to 30 minutes with a wind, an infrared heater or the like. Next, heat treatment is usually performed at a temperature of 250 to 500 for 15 seconds to 30 minutes with hot air and / or an electric heater. The thickness of the polyimide film is adjusted while adjusting the draw ratio in the running direction and the draw ratio in the width direction.

本発明で使用されるポリイミドフィルムの厚さは、特に限定されないが、5μm以上200μm以下の範囲であるのが好ましく、10μm以上150μm以下の範囲であるのがより好ましい。   Although the thickness of the polyimide film used by this invention is not specifically limited, It is preferable that it is the range of 5 micrometers or more and 200 micrometers or less, and it is more preferable that it is the range of 10 micrometers or more and 150 micrometers or less.

上述のようにして製造された本発明のポリイミドフィルムの線膨張係数は、通常は約20ppm/℃以下であり、好ましくは約18ppm/℃以下である。尚、線膨張係数は、後述する実施例に記載の方法により測定した値であり、通常は、ポリイミドフィルムの幅方向(TD)と機械搬送方向(MD)の値の平均値である。   The linear expansion coefficient of the polyimide film of the present invention produced as described above is usually about 20 ppm / ° C. or less, preferably about 18 ppm / ° C. or less. In addition, a linear expansion coefficient is the value measured by the method as described in the Example mentioned later, and is an average value of the value of the width direction (TD) of a polyimide film, and a machine conveyance direction (MD) normally.

[グラファイトシート]
本発明のグラファイトシートは、本発明のポリイミドフィルムを焼成してグラファイト化することにより得ることができる。
本発明のグラファイトシートの製造方法について、以下に説明する。
[Graphite sheet]
The graphite sheet of the present invention can be obtained by baking and graphitizing the polyimide film of the present invention.
The manufacturing method of the graphite sheet of this invention is demonstrated below.

本発明のグラファイトシートを得るに際しては、まず、ポリイミドフィルムを所定の寸法に切断し、ポリイミドフィルムのフィルム面を水平又はフィルム面を立ててグラファイト製の保持容器に入れる。   In obtaining the graphite sheet of the present invention, first, the polyimide film is cut into a predetermined size, and the film surface of the polyimide film is horizontal or the film surface is set up in a graphite holding container.

グラファイト化の焼成(以下、本加熱処理ともいう)の温度は、通常は、2000℃以上であり、2400℃以上が好ましく、2600℃以上がより好ましい。最終焼成温度は、2700℃以上が好ましく、2800℃以上がより好ましく、3000℃近辺がさらに好ましい。焼成温度が3500℃より大きいと焼成炉の耐熱劣化が大きく長時間の生産が難しい。最高焼成温度が2000℃未満の場合は、得られたグラファイトシートが硬くて脆くなる傾向がある。焼成時の昇温速度は、特に限定されないが、例えば、1〜10℃/分程度で行われる。焼成には、公知の加熱手段を使用できる。また、焼成時間は、特に限定されない。   The temperature of the graphitization firing (hereinafter also referred to as the main heat treatment) is usually 2000 ° C. or higher, preferably 2400 ° C. or higher, and more preferably 2600 ° C. or higher. The final firing temperature is preferably 2700 ° C. or higher, more preferably 2800 ° C. or higher, and still more preferably around 3000 ° C. When the firing temperature is higher than 3500 ° C., the heat-resistant deterioration of the firing furnace is large and long-time production is difficult. When the maximum firing temperature is less than 2000 ° C., the obtained graphite sheet tends to be hard and brittle. Although the temperature increase rate at the time of baking is not specifically limited, For example, it is performed at about 1-10 degreeC / min. A known heating means can be used for firing. Further, the firing time is not particularly limited.

焼成は、通常、不活性ガス中で行われる。不活性ガスとしては、特に限定されず、ヘリウム、アルゴン、窒素等が挙げられるが、アルゴンを用いるのが好ましい。また、焼成時の圧力は常圧でよい。   Firing is usually performed in an inert gas. The inert gas is not particularly limited, and examples thereof include helium, argon, nitrogen, etc., but it is preferable to use argon. Moreover, the pressure at the time of baking may be a normal pressure.

前記焼成(本加熱処理)の前に、必要に応じて、予備加熱処理を行ってもよい。予備加熱処理の温度は、本加熱処理の温度より低い温度が好ましい。具体的には、900℃以上1500℃以下程度が好ましい。予備加熱処理の昇温速度は、特に限定されないが、例えば、1〜15℃/分程度で行われる。予備加熱処理も、通常、不活性ガス中で行われる。前記不活性ガスとしては、上記と同様のものが使用できる。予備加熱処理の時間は、特に限定されない。   Prior to the firing (main heat treatment), a pre-heat treatment may be performed as necessary. The temperature of the preliminary heat treatment is preferably lower than the temperature of the main heat treatment. Specifically, about 900 ° C. or higher and 1500 ° C. or lower is preferable. The temperature increase rate of the preheating treatment is not particularly limited, but is, for example, about 1 to 15 ° C./min. The preheating treatment is also usually performed in an inert gas. As the inert gas, the same ones as described above can be used. The time for the preheating treatment is not particularly limited.

焼成後のグラファイトシートは、圧延ローラで挟み込んで圧延処理することが好ましい。圧延処理によって焼成後のグラファイトシートの膨れで生じた厚みムラを小さくできる。また、圧延処理によって、焼成後のグラファイトシートの密度を大きくし熱伝導性を高めることができる。   The fired graphite sheet is preferably rolled by being sandwiched between rolling rollers. Thickness unevenness caused by swelling of the graphite sheet after firing can be reduced by rolling treatment. Moreover, the density of the graphite sheet after baking can be enlarged and thermal conductivity can be improved by a rolling process.

上述のようにして製造された本発明のグラファイトシートは、熱拡散係数が大きいため、優れた熱伝導性を有する。熱拡散係数は、後述の実施例に記載の方法により測定した値である。
本発明のグラファイトシートの熱拡散係数は、特に限定されないが、7.0(cm/s)以上が好ましい。
Since the graphite sheet of the present invention produced as described above has a large thermal diffusion coefficient, it has excellent thermal conductivity. The thermal diffusion coefficient is a value measured by the method described in Examples described later.
The thermal diffusion coefficient of the graphite sheet of the present invention is not particularly limited, but is preferably 7.0 (cm 2 / s) or more.

また、本発明のグラファイトシートの破断強度は、通常は10MPa以上であり、好ましくは15MPa以上であり、より好ましくは20MPa以上である。破断強度は、後述の実施例に記載の方法により測定した値である。   Moreover, the breaking strength of the graphite sheet of this invention is 10 MPa or more normally, Preferably it is 15 MPa or more, More preferably, it is 20 MPa or more. The breaking strength is a value measured by the method described in Examples described later.

次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。   EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples at all, and many variations are within the technical idea of the present invention. This is possible by those with ordinary knowledge.

本発明における測定方法について以下に説明する。   The measurement method in the present invention will be described below.

[無機粒子の評価]
堀場製作所のレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置LA−910を用い、極性溶媒に分散させた試料を測定、解析した結果から粒子径範囲、平均粒子径、全粒子に対する粒子径0.5〜2.5μmの粒子の占有率を読み取った。
[Evaluation of inorganic particles]
Using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring apparatus LA-910 manufactured by HORIBA, a sample dispersed in a polar solvent was measured and analyzed. As a result, a particle size range, an average particle size, and a particle size of 0.5 to all particles were measured. The occupancy of 2.5 μm particles was read.

[線膨張係数]
幅5mm×長さ10mmのサイズのサンプルを採取し、島津製作所製TMA−50を使用し、各サンプルを下記条件で加熱した。
1回目昇温:室温→300℃(昇温速度10℃/分)
降温 :300℃→35℃(降温速度5℃/分)
2回目昇温:35℃→220℃(昇温速度10℃/分)
線膨張係数の解析は、2回目昇温での温度範囲50℃〜200℃の条件で行った。
尚、線膨張係数は、ポリイミドフィルムの幅方向(TD)と機械搬送方向(MD)の値の平均値を、平均線膨張係数として求めた。
[Linear expansion coefficient]
Samples having a size of 5 mm wide × 10 mm long were collected, and each sample was heated under the following conditions using TMA-50 manufactured by Shimadzu Corporation.
First temperature increase: room temperature → 300 ° C. (temperature increase rate 10 ° C./min)
Temperature drop: 300 ° C → 35 ° C (temperature drop rate 5 ° C / min)
Second temperature increase: 35 ° C. → 220 ° C. (temperature increase rate 10 ° C./min)
The analysis of the linear expansion coefficient was performed under the temperature range of 50 ° C. to 200 ° C. at the second temperature increase.
In addition, the linear expansion coefficient calculated | required the average value of the value of the width direction (TD) of a polyimide film and a machine conveyance direction (MD) as an average linear expansion coefficient.

[密度]
測定方法:アルキメデス法
測定装置:(株)島津製作所製 電子分析天秤 AUX−120
測定温度:25℃
浸清液:水
[density]
Measuring method: Archimedes method Measuring device: Electronic analysis balance AUX-120 manufactured by Shimadzu Corporation
Measurement temperature: 25 ° C
Dipping liquid: water

[熱拡散係数]
測定方法:キセノンフラッシュ法
測定装置:NETZSCH社製 熱伝導測定装置 LFA447
測定温度:25℃
光源:キセノンフラッシュランプ
IR検出器:InSb検出器(液体窒素冷却)
[Thermal diffusion coefficient]
Measuring method: Xenon flash method Measuring device: Heat conduction measuring device LFA447 manufactured by NETZSCH
Measurement temperature: 25 ° C
Light source: Xenon flash lamp IR detector: InSb detector (liquid nitrogen cooling)

[破断強度]
測定装置:(株)島津製作所製 オートグラフAGS−X
測定温度:25℃
チャック間距離:50mm
引張速度:25mm/分
試験片:幅10mm
[Breaking strength]
Measuring device: Autograph AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation
Measurement temperature: 25 ° C
Distance between chucks: 50mm
Tensile speed: 25 mm / min Test piece: width 10 mm

[ポリイミドフィルム及びグラファイトシートの厚み]
Mitutoyo製ライトマチック(Series318)を使用して測定した。
[Thickness of polyimide film and graphite sheet]
Measurements were made using Mitutoyo lightmatic (Series 318).

[発泡]
100mm四方のグラファイトシートを目視により、以下の評価基準で評価した。
良好(○):発泡が全体的に均一
不良(×):発泡しない、あるいは斑がある
[Foaming]
A 100 mm square graphite sheet was visually evaluated according to the following evaluation criteria.
Good (O): Foaming is not uniform throughout (x): No foaming or spots

[柔軟性]
100mm(縦)×100mm(幅)のグラファイトシートを、縦方向の端部同士あるいは幅方向の端部同士がぴったりと重なるように折り曲げた後、シートの折り目の中央部に100gの荷重を3秒間押圧し、徐荷した後のシートを元の状態に戻し、目視により以下の評価基準で評価した。本発明において柔軟性とは、この評価方法においてシートがほぼ元の状態に戻ることをいう。
良好(○):シートがほぼ元の状態に戻る
不良(×):シートが部分的に変形する
[Flexibility]
A graphite sheet of 100 mm (vertical) × 100 mm (width) was folded so that the ends in the vertical direction or the ends in the width direction were exactly overlapped, and then a load of 100 g was applied to the center of the fold of the sheet for 3 seconds. The sheet after pressing and unloading was returned to its original state and visually evaluated according to the following evaluation criteria. In the present invention, flexibility means that the sheet returns almost to its original state in this evaluation method.
Good (O): The sheet returns almost to its original state (X): The sheet is partially deformed

[ポリアミック酸合成例]
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/3,3’,4、4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(分子量294.22)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.24)/パラフェニレンジアミン(分子量108.14)を、モル比で65/35/80/20の割合で用意し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)中20重量%溶液にして重合し、3500poiseのポリアミド酸溶液を得た。
[Examples of polyamic acid synthesis]
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (molecular weight 294.22) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.24) / Paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) is prepared in a molar ratio of 65/35/80/20, polymerized in a 20% by weight solution in DMAc (N, N-dimethylacetamide), and a 3500 poise polyamide An acid solution was obtained.

[実施例1]
無機粒子全粒子の粒子径が0.01μm以上6.0μm以下に収まっており、平均粒子径0.87μm、粒子径0.5〜2.5μmの粒子が全粒子中81.5体積%のリン酸水素カルシウムのN,N−ジメチルアセトアミドスラリーを合成例で得たポリアミック酸溶液に該溶液樹脂1重量当たり0.15重量%添加し、十分攪拌、分散させた。このポリアミック酸溶液に、無水酢酸(分子量102.09)とβ−ピコリンからなる転化剤を、ポリアミック酸に対し、それぞれ2.0モル当量の割合での混合、攪拌した。得られた混合物を、口金より回転する65℃のステンレス製ドラム上にキャストし、自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて250℃×30秒、400℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ50μmのポリイミドフィルムを得た。
[Example 1]
The total particle size of the inorganic particles is 0.01 μm or more and 6.0 μm or less, and the average particle size is 0.87 μm, and the particle size is 0.5 to 2.5 μm. 0.15 wt% of N, N-dimethylacetamide slurry of calcium hydrogen oxyhydrate per weight of the solution resin was added to the polyamic acid solution obtained in the synthesis example and sufficiently stirred and dispersed. The polyamic acid solution was mixed and stirred with a conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and β-picoline at a ratio of 2.0 molar equivalents with respect to the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum at 65 ° C. rotating from a die to obtain a gel film having self-supporting properties. This gel film was peeled off from the drum, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 250 ° C. for 30 seconds, 400 ° C. for 30 seconds, and 550 ° C. for 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 50 μm.

以上のように得られたポリイミドフィルムを幅250mm×600mmの寸法に切断し、グラファイト製の円筒形の有低保持容器にフィルム面を立てて入れた。続いてアルゴンガス中で3℃/分で1000℃まで昇温させて1時間保持し、更に2800℃まで3℃/分で昇温させて1時間保持してポリイミドフィルムを焼成し、グラファイト化を行った。得られたグラファイトシートを2つの圧延ロール間に挟み込み、圧延処理を行って圧延し、厚さ25μmのグラファイトシートを作製した。   The polyimide film obtained as described above was cut into a size of 250 mm × 600 mm in width, and the film surface was placed upright in a cylindrical cylindrical low and high holding container. Subsequently, the temperature was raised to 1000 ° C. at 3 ° C./min in argon gas and held for 1 hour, further heated to 2800 ° C. at 3 ° C./min and held for 1 hour to baked the polyimide film, and graphitized. went. The obtained graphite sheet was sandwiched between two rolling rolls, rolled by rolling, and a graphite sheet having a thickness of 25 μm was produced.

[実施例2、3]
ドラムの回転速度と、加熱炉におけるゲルフィルムの搬送速度(製膜速度)、すなわち各加熱温度における加熱時間を、得られるポリイミドフィルムの厚みが25μm、75μmとなるように調整した以外は実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムを実施例1と同様にして焼成し、グラファイトシートを得た。実施例1と同様にして圧延処理を行ってそれぞれの厚みのグラファイトシートを作製した。
[Examples 2 and 3]
Example 1 except that the rotation speed of the drum and the conveyance speed (film formation speed) of the gel film in the heating furnace, that is, the heating time at each heating temperature, were adjusted so that the thickness of the resulting polyimide film was 25 μm and 75 μm. In the same manner, a polyimide film was obtained. The obtained polyimide film was baked in the same manner as in Example 1 to obtain a graphite sheet. A rolling process was performed in the same manner as in Example 1 to prepare graphite sheets having respective thicknesses.

[比較例1]
ポリアミック酸溶液に添加する該溶液樹脂1重量当たりのリン酸水素カルシウム添加量を0.02重量%としたこと以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルム得た。得られたポリイミドフィルムを実施例1と同様にして焼成し、グラファイトシートを得た。実施例1と同様にして圧延処理を行って、厚みが25μmのグラファイトシートを作製した。
[Comparative Example 1]
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of calcium hydrogen phosphate added per 1 weight of the solution resin added to the polyamic acid solution was 0.02% by weight. The obtained polyimide film was baked in the same manner as in Example 1 to obtain a graphite sheet. A rolling process was performed in the same manner as in Example 1 to produce a graphite sheet having a thickness of 25 μm.

実施例1〜3と比較例1で得られたポリイミドフィルムの特性を表1に、ポリイミドフィルムを焼成、圧延後のグラファイトシートの厚み、密度、熱拡散係数、破断強度及び柔軟性、ポリイミドフィルムをグラファイト化時の発泡性を表2に示した。熱拡散係数はシート面方向の熱拡散係数である。   The characteristics of the polyimide films obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 are shown in Table 1. The polyimide film is fired, the thickness, density, thermal diffusion coefficient, breaking strength and flexibility of the graphite sheet after rolling, the polyimide film Table 2 shows the foamability during graphitization. The thermal diffusion coefficient is a thermal diffusion coefficient in the sheet surface direction.

比較例1の結果から明らかな通り、無機粒子がフィルム樹脂1重量あたり0.03重量%以上含まれていないポリイミドフィルムは、グラファイト化時のフィルムの発泡性が悪く、該ポリイミドフィルムから得られたグラファイトシートは、破断強度が弱く、熱拡散係数も低いことがわかった。一方、実施例1〜3の結果から明らかな通り、無機粒子がフィルム樹脂1重量あたり0.03重量%以上含まれているポリイミドフィルムは、グラファイト化時のフィルムの発泡性が良好であり、該ポリイミドフィルムから得られたグラファイトシートは、破断強度が強く、また、優れた熱伝導性、柔軟性、及び耐屈曲性を有した。   As is clear from the results of Comparative Example 1, a polyimide film containing no inorganic particles in an amount of 0.03% by weight or more per 1 weight of the film resin was obtained from the polyimide film because the foamability of the film during graphitization was poor. The graphite sheet was found to have a low breaking strength and a low thermal diffusion coefficient. On the other hand, as is clear from the results of Examples 1 to 3, the polyimide film containing inorganic particles in an amount of 0.03% by weight or more per 1 weight of the film resin has good foamability of the film during graphitization. The graphite sheet obtained from the polyimide film had a high breaking strength and had excellent thermal conductivity, flexibility, and bending resistance.

本発明のポリイミドフィルムは、熱処理によるグラファイト化時の発泡性が良好であり、該ポリイミドフィルムを熱処理して製造されたグラファイトシートは、優れた熱伝導性、柔軟性及び耐屈曲性を有するため、電子機器の放熱部材として好適である。   The polyimide film of the present invention has good foamability when graphitized by heat treatment, and the graphite sheet produced by heat-treating the polyimide film has excellent thermal conductivity, flexibility and bending resistance. It is suitable as a heat dissipation member for electronic equipment.

Claims (7)

パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを原料に含んで製造され、無機粒子が分散されているポリイミドフィルムであって、無機粒子の平均粒子径が0.1〜2.0μmであり、無機粒子がフィルム樹脂1重量当たり0.03〜1.00重量%の割合で含有され、粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が全無機粒子に対して80体積%以上の割合を占め、該ポリイミドフィルムを2000℃以上の温度で熱処理してグラファイトシートを製造することを特徴とする線膨張係数が20ppm/℃以下のポリイミドフィルム。 One or more selected from the group consisting of paraphenylenediamine or paraphenylenediamine and 4,4′-diaminodiphenyl ether, pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride A polyimide film produced by containing an acid anhydride as a raw material and having inorganic particles dispersed therein, wherein the inorganic particles have an average particle diameter of 0.1 to 2.0 μm, and the inorganic particles per weight of the film resin. 0.03 to 1.00% by weight of inorganic particles having a particle size of 0.5 to 2.5 μm account for 80% by volume or more of the total inorganic particles, and the polyimide film is 2,000 ° C. or more. A polyimide film having a linear expansion coefficient of 20 ppm / ° C. or less, wherein a graphite sheet is produced by heat treatment at a temperature of 5 ° C. 無機粒子が、リン酸水素カルシウムを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載のポリイミドフィルム。 The polyimide film according to claim 1, wherein the inorganic particles contain calcium hydrogen phosphate as a main component. パラフェニレンジアミンと4,4'−ジアミノジフェニルエーテルのモル比が40/60〜10/90であることを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルム。 Polyimide film according to claim 1 or 2 molar ratio of paraphenylene diamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether is characterized by a 40/60 to 10/90. ピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のモル比が80/20〜60/40であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。 Pyromellitic dianhydride and 3,3 ', claim 1-3, wherein the molar ratio of 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride is 80 / 20-60 / 40 Item 1. The polyimide film according to item 1. パラフェニレンジアミンもしくはパラフェニレンジアミンと4,4’−ジアミノジフェニルエーテルと、ピロメリット酸二無水物及び3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1以上の酸無水物とを、極性有機溶媒中で反応させてポリアミック酸を製造し、前記ポリアミック酸を加熱してフィルムに成形する際に、平均粒子径が0.1〜2.0μmであり、かつ粒子径0.5〜2.5μmの無機粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占める粒度分布を有する無機粒子を、前記極性有機溶媒と同一の極性有機溶媒に分散させたスラリーを、前記ポリアミック酸溶液に前記無機粒子が樹脂1重量当たり0.03〜1.00重量%の割合となるようにポリアミック酸に添加することを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムの製造方法。 One or more selected from the group consisting of paraphenylenediamine or paraphenylenediamine and 4,4′-diaminodiphenyl ether, pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride When an acid anhydride is reacted in a polar organic solvent to produce a polyamic acid, and the polyamic acid is heated to form a film, the average particle size is 0.1 to 2.0 μm, and the particles A slurry in which inorganic particles having a particle size distribution in which inorganic particles having a diameter of 0.5 to 2.5 μm account for 80% by volume or more in all particles is dispersed in the same polar organic solvent as the polar organic solvent is used. claim, wherein the inorganic particles in an acid solution is added to the polyamic acid so that the proportion of 0.03 to 1.00 wt% per resin 1 weight 1-4 The process for producing a polyimide film as described in any one. 請求項1〜のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成して得られることを特徴とするグラファイトシート。 A graphite sheet obtained by firing the polyimide film according to any one of claims 1 to 4 . 請求項1〜のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムを焼成することを特徴とするグラファイトシートの製造方法。 A method for producing a graphite sheet, comprising firing the polyimide film according to any one of claims 1 to 4 .
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