JP6416996B1 - Sealing type for resin sealing equipment - Google Patents

Sealing type for resin sealing equipment Download PDF

Info

Publication number
JP6416996B1
JP6416996B1 JP2017142474A JP2017142474A JP6416996B1 JP 6416996 B1 JP6416996 B1 JP 6416996B1 JP 2017142474 A JP2017142474 A JP 2017142474A JP 2017142474 A JP2017142474 A JP 2017142474A JP 6416996 B1 JP6416996 B1 JP 6416996B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
resin
sealing
film
sealed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017142474A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019024032A (en
Inventor
正明 石井
正明 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Engineering Co Ltd
Original Assignee
Asahi Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Engineering Co Ltd filed Critical Asahi Engineering Co Ltd
Priority to JP2017142474A priority Critical patent/JP6416996B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6416996B1 publication Critical patent/JP6416996B1/en
Publication of JP2019024032A publication Critical patent/JP2019024032A/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

【課題】フィルムを適切に用いて、露出部分を確実に露出させて電子部品を樹脂で封止できる樹脂封止装置用の封止型を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂封止装置用の封止型は、封止対象物の一方から取り付けられる第1型枠と、封止対象物の他方から取り付けられ、第1型枠と対になって組み合わされる第2型枠と、を備え、封止対象物は、電子部品とこれに積層された露出部材とを有し、第1型枠は、封止対象物の周囲に樹脂封止空間の一部を形成する第1凹部を有し、第2型枠は、外部型と中間型とを有し、中間型は、第1凹部と対になる第2凹部を有すると共に、外部型が挿入される挿入孔を有し、中間型は、封止対象物を介して、第1型枠と組み合わされ、外部型は、挿入孔に挿入される凸部を有して、中間型と組み合わされ、第2凹部は、封止対象物の外周に樹脂封止空間の一部を形成し、凸部の表面(凸部表面)は、露出部材の露出表面に略一致する。
【選択図】図9
The present invention provides a sealing mold for a resin sealing device capable of sealing an electronic component with a resin by properly exposing an exposed portion using a film appropriately.
A sealing mold for a resin sealing device of the present invention includes a first mold attached from one of the objects to be sealed and a second mold attached from the other of the objects to be sealed, paired with the first mold. A second formwork to be combined, the sealing object has an electronic component and an exposed member laminated thereon, and the first formwork is resin-sealed around the sealing object A first recess that forms part of the space; the second mold has an outer mold and an intermediate mold; the intermediate mold has a second recess that is paired with the first recess; The intermediate mold is combined with the first mold frame via the sealing object, and the external mold has a convex portion to be inserted into the insertion hole. In combination, the second concave portion forms a part of the resin sealing space on the outer periphery of the object to be sealed, and the surface of the convex portion (the convex portion surface) substantially coincides with the exposed surface of the exposed member.
[Selection] Figure 9

Description

本発明は電子部品が外部を樹脂で封止する樹脂封止装置に用いられ、電子部品の一部を露出させつつ残部を樹脂で封止する樹脂封止装置用の封止型に関する。   The present invention relates to a sealing mold for a resin sealing device that is used in a resin sealing device in which an electronic component seals the outside with resin and seals the remainder with resin while exposing a part of the electronic component.

多くの電子機器、測定機器、電気機器、輸送機器は、電気信号を処理する電子基板を備えている。これらの電子基板には、半導体素子や集積回路などの多くの電子部品が、実装されている。単体の半導体素子であったり、マイクロプロセッサなどの半導体集積素子であったり、高電圧を利用するパワー素子などが、電子部品として電子基板上に実装されている。   Many electronic devices, measuring devices, electrical devices, and transportation devices include an electronic board that processes electrical signals. Many electronic components such as semiconductor elements and integrated circuits are mounted on these electronic substrates. A single semiconductor element, a semiconductor integrated element such as a microprocessor, or a power element using a high voltage is mounted on an electronic substrate as an electronic component.

電子部品を実装した電子基板は、電子機器や測定機器などに格納されて動作を行う。このとき、実装されている電子部品の中には、電子基板でむき出しの状態では好ましくないものもある。耐久性や衝撃等への対応性を高めるために、電子部品が樹脂で封止されることが必要である場合もある。   An electronic board on which electronic components are mounted operates by being stored in an electronic device or a measuring device. At this time, some of the mounted electronic components are not preferable when exposed on the electronic substrate. In some cases, it is necessary that the electronic component is sealed with a resin in order to improve durability and compatibility with impacts.

このように電子基板に実装された電子部品(単数であったり複数であったりする)を、樹脂で封止する樹脂封止装置が、様々な場面で使用されている。通常の樹脂封止装置は、電子基板に実装されている電子部品を、完全に樹脂で封止する。もちろん、電子基板には複数で異なる種類の電子部品が実装されており、これらの一部もしくは全部が樹脂で封止されていることもある。   As described above, a resin sealing device that seals an electronic component (single or plural) mounted on an electronic substrate with a resin is used in various situations. A normal resin sealing device completely seals an electronic component mounted on an electronic substrate with a resin. Of course, a plurality of different types of electronic components are mounted on the electronic substrate, and some or all of them may be sealed with resin.

このとき、全ての電子部品が樹脂で封止されていることもあるが、一部の電子部品が樹脂で封止されることも多い。半導体集積回路やパワー半導体素子などのような大型でかつ外部からの衝撃への対応性をより必要とする電子部品に、樹脂が封止されることが多い。   At this time, all the electronic components may be sealed with resin, but some electronic components are often sealed with resin. Resin is often encapsulated in electronic parts that are large and require more adaptability to external impacts, such as semiconductor integrated circuits and power semiconductor elements.

ここで、このように樹脂で封止される電子部品は、他の電子部品などと共に電子基板に実装される前に、予め樹脂で封止される処理がされることもある。あるいは、他の電子部品などと共に電子基板に実装された後で、当該電子部品についてのみ樹脂で封止されることがある。このようにして、最終的な電子基板においては、必要となる電子部品についてのみ樹脂封止がされた状態となる。   Here, the electronic component sealed with the resin may be preliminarily sealed with the resin before being mounted on the electronic substrate together with other electronic components. Or after mounting on an electronic substrate with other electronic components etc., only about the said electronic components may be sealed with resin. In this manner, the final electronic substrate is in a state where only necessary electronic components are sealed with resin.

通常、樹脂で封止される必要のある電子部品は、表面と裏面の全体が樹脂で封止される。電子部品の保護等を確実に実現するためである。   Normally, the entire front and back surfaces of an electronic component that needs to be sealed with resin are sealed with resin. This is to ensure the protection of electronic components.

一方で、電子部品の表面には、放熱素子(ヒートシンク、放熱板、ヒートパイプなど)やセンサー素子が積層されていることもある。このような場合には、半導体集積回路などである電子部品の上に、放熱素子やセンサー素子が取り付けられている。一例としては、マイクロプロセッサの上に、ヒートシンクが積層されている場合である。このヒートシンクは、フィンを有する構成であることもあるが、フィンの無い平板状のものなどもある。このように、電子部品によっては、放熱部材やセンサー素子を備えていることがある。   On the other hand, a heat radiating element (a heat sink, a heat radiating plate, a heat pipe, etc.) and a sensor element may be laminated on the surface of the electronic component. In such a case, a heat dissipation element and a sensor element are attached on an electronic component such as a semiconductor integrated circuit. As an example, a heat sink is stacked on a microprocessor. This heat sink may be configured to have fins, but there may be a flat plate without fins. As described above, some electronic components may include a heat dissipation member or a sensor element.

このような放熱部材やセンサー素子は、その性質上、樹脂で封止される必要のある電子部品に備わっている場合でも、その表面については、樹脂で封止されないことが必要である。すなわち、電子部品が樹脂で封止される場合に、積層されている放熱部材やセンサー素子の表面については、樹脂で封止されずに露出させておく必要がある。表面が露出されることで、放熱部材やセンサー素子が、その機能を発揮できるからである。もちろん、樹脂で封止されてしまうと、その性質上、放熱部材やセンサー素子は、機能を発揮できなくなってしまう。   Even if such a heat radiating member or sensor element is provided in an electronic component that needs to be sealed with a resin, its surface needs not to be sealed with a resin. That is, when the electronic component is sealed with a resin, it is necessary to expose the surface of the laminated heat dissipation member and sensor element without being sealed with the resin. This is because the heat radiation member and the sensor element can exhibit their functions by exposing the surface. Of course, if sealed with resin, the heat radiating member and the sensor element cannot function due to their properties.

このように、放熱部材やセンサー素子を積層している電子部品において、放熱部材やセンサー素子の表面を露出させつつ、残部を樹脂で覆うように封止する樹脂封止が求められている。   As described above, in an electronic component in which a heat dissipation member and a sensor element are stacked, resin sealing is required to seal the remaining portion with a resin while exposing the surfaces of the heat dissipation member and the sensor element.

樹脂封止装置は、封止対象となる電子部品を封止型に入れて、封止型の内部に樹脂を注入することで、電子部品を樹脂で封止する。このとき、封止型は、上部型枠と外部型枠とを備えており、上部型枠と外部型枠によって電子部品を挟む。挟まれた電子部品の周囲には上部型枠と外部型枠との組み合わせによって空間が生じる。この空間に樹脂が注入されることで、電子部品の周りが樹脂で封止される。   A resin sealing device seals an electronic component with a resin by putting an electronic component to be sealed into a sealing mold and injecting a resin into the sealing mold. At this time, the sealing mold includes an upper mold and an external mold, and the electronic component is sandwiched between the upper mold and the external mold. A space is generated around the sandwiched electronic component by a combination of the upper mold and the external mold. By injecting resin into this space, the periphery of the electronic component is sealed with resin.

しかし、上部型枠と外部型枠との組み合わせによって生じる空間に樹脂が流し込まれると、電子部品の表面と裏面とのすべてが樹脂で封止されてしまう。上述したように、電子部品に放熱部材やセンサー素子が積層されている場合には、これらの表面まで樹脂で封止されてしまう。   However, when the resin is poured into the space generated by the combination of the upper mold and the external mold, the entire front and back surfaces of the electronic component are sealed with the resin. As described above, when heat dissipation members and sensor elements are stacked on the electronic component, these surfaces are sealed with resin.

このため、積層されている放熱部材やセンサー素子の表面を露出させて樹脂で封止するために、種々の技術が提案されている。その一つに、封止枠において、放熱部材やセンサー素子の表面にフィルムを設置して上部型枠と外部型枠で電子部品を挟む工法がある。フィルムが設置されていることで、放熱部材やセンサー素子の表面に樹脂が入り込まない。この結果、封止型の内部空間に樹脂が注入されて封止される場合でも、放熱部材やセンサー素子の表面が露出されて樹脂封止されるようになる。   For this reason, various techniques have been proposed in order to expose the surfaces of the laminated heat dissipation members and sensor elements and seal them with resin. One of them is a method of installing a film on the surface of a heat dissipation member or a sensor element and sandwiching an electronic component between an upper mold and an external mold in a sealing frame. Since the film is installed, the resin does not enter the surface of the heat dissipation member or the sensor element. As a result, even when the resin is injected into the sealed internal space and sealed, the surfaces of the heat dissipation member and the sensor element are exposed and the resin is sealed.

しかしながら、このフィルムを設置する工法では、次のような問題がある。   However, the method of installing this film has the following problems.

フィルムは、上部型枠と電子部品との間、もしくは外部型枠と電子部品との間に設置される。上部型枠と外部型枠とが組み合わさって電子部品と共にフィルムが挟まれて圧力が加わる。すなわち、フィルムは電子部品と型枠とによって挟まれる状態となる。   The film is placed between the upper mold and the electronic component, or between the external mold and the electronic component. The upper formwork and the external formwork are combined, and the film is sandwiched together with the electronic components to apply pressure. That is, the film is sandwiched between the electronic component and the formwork.

このとき、電子部品の厚みが大きくなると、挟まれるフィルムの折れ曲がりの大きさが大きくなり、加わる圧力と合わせて、フィルムに大きな負荷がかかる。また、複数の電子部品をまとめて樹脂封止するので、1枚のフィルムが複数の電子部品に設置される。このとき、電子部品の厚みや実装角度の細かなばらつきによって、フィルムには、場所によって加わる負荷が異なることも生じる。   At this time, when the thickness of the electronic component is increased, the size of the bent film is increased, and a large load is applied to the film together with the applied pressure. In addition, since a plurality of electronic components are collectively sealed with resin, one film is installed on the plurality of electronic components. At this time, the load applied to the film may vary depending on the location due to fine variations in the thickness and mounting angle of the electronic components.

このような強い負荷や場所によって異なる負荷が加わることで、樹脂封止処理中に、フィルムが破れてしまうことがありえる。フィルムが破れてしまえば、放熱部材やセンサー素子の表面に樹脂が付着してしまうことにもなる。あるいは、樹脂内部にフィルムが残ってしまうなどの問題もある。   When such a strong load or a different load is applied depending on the location, the film may be torn during the resin sealing process. If the film is torn, the resin will adhere to the surfaces of the heat dissipation member and the sensor element. Alternatively, there is a problem that a film remains inside the resin.

このように、フィルムを電子部品と型枠で挟む構成では、種々の問題があった。このような問題に対応するために、外部型枠を2つの部材に分けてフィルムを挟む技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   As described above, there are various problems in the configuration in which the film is sandwiched between the electronic component and the mold. In order to cope with such a problem, a technique has been proposed in which an external formwork is divided into two members and a film is sandwiched (see, for example, Patent Document 1).

特開2004−330697号公報JP 2004-330697 A

特許文献1は、樹脂成形型に、相対向して設けられた下型1A及び上型2Aと、下型1A・上型2A間に昇降自在に設けられ開口4を有する中間型3と、開口4を取り囲むようにして上型2Aに設けられたクランプ部9と、上型2A・中間型3間に張設されたフィルム10とを備える。上型2Aを下降させて、型締め完了前にクランプ部9がフィルム10を挟んだ状態で上型2Aの凸部5がフィルム10を押動し、更に上型2Aを下降させてクランプ部9がフィルム10を固定した状態で凸部5がフィルム10を押動して伸長させ、フィルム10を介してチップ12が押圧された状態で型締めを完了する。これにより、クランプ部9の内側においてフィルム10のしわ15やたるみ16を防止し、仮に発生してもこれを解消する樹脂封止用型を開示する。   Patent Document 1 discloses that a lower mold 1A and an upper mold 2A provided opposite to each other in a resin mold, an intermediate mold 3 provided with an opening 4 between the lower mold 1A and the upper mold 2A, and having an opening 4; 4 is provided with a clamp portion 9 provided on the upper die 2A so as to surround the upper die 2 and a film 10 stretched between the upper die 2A and the intermediate die 3. The upper mold 2A is lowered, and the convex part 5 of the upper mold 2A pushes the film 10 with the clamp part 9 sandwiching the film 10 before the clamping is completed, and the upper mold 2A is further lowered to clamp the part 9 While the film 10 is fixed, the convex portion 5 pushes and extends the film 10, and the mold clamping is completed in a state where the chip 12 is pressed through the film 10. Thus, a resin sealing mold is disclosed in which wrinkles 15 and sagging 16 of the film 10 are prevented inside the clamp portion 9 and are eliminated even if they occur.

特許文献1は、上部型枠、外部型枠の2つの型枠で電子部品とフィルムを挟む従来の構成と異なり、上部型、外部型、中間型の3つの構成を有する。電子部品に積層されている放熱部材の上にフィルムが設置されるが、このフィルムは、中間型と上部型とによって挟まれる。すなわち、フィルムは中間型と上部型によってクランプされて圧力が加わる。   Patent Document 1 has three configurations of an upper mold, an external mold, and an intermediate mold, unlike a conventional configuration in which an electronic component and a film are sandwiched between two molds of an upper mold and an external mold. A film is placed on the heat dissipation member laminated on the electronic component, and this film is sandwiched between the intermediate mold and the upper mold. That is, the film is clamped by the middle mold and the upper mold to apply pressure.

この構成により、フィルムは、電子部品の厚みによって折れ曲がることがなくなり、厚みにより問題を解消することができる。   With this configuration, the film is not bent by the thickness of the electronic component, and the problem can be solved by the thickness.

しかしながら、特許文献1には次のような問題がある。   However, Patent Document 1 has the following problems.

(問題1)放熱部材などの樹脂封止から露出させたい露出領域の幅よりも、設置されるフィルムの幅が極めて大きい。このため、フィルム使用量が多くなり、コストが高くなる。   (Problem 1) The width of the film to be installed is extremely larger than the width of the exposed region to be exposed from the resin sealing such as the heat radiating member. For this reason, the amount of film used increases and the cost increases.

(問題2)問題1のように、設置されるフィルムの幅が大きく、幅方向の両端が、クランプされる上部型と中間型とによって強く引っ張られる。結果として、フィルムに強い負荷が掛かり、フィルム破損などの問題が生じうる。   (Problem 2) As in Problem 1, the width of the film to be installed is large, and both ends in the width direction are strongly pulled by the upper mold and the intermediate mold to be clamped. As a result, a strong load is applied to the film, and problems such as film breakage may occur.

(問題3)樹脂硬化が終わった後で、フィルムを電子部品から取り外す際に、樹脂面の全てがフィルムで覆われている。このため、フィルムの無い電子部品が実装されている実装基板に部材を押し当てて圧力を付与する必要がある。このため、実装基板の損傷が生じうる問題がある。   (Problem 3) When the film is removed from the electronic component after the resin is cured, the entire resin surface is covered with the film. For this reason, it is necessary to apply a pressure by pressing a member against a mounting substrate on which an electronic component without a film is mounted. For this reason, there is a problem that the mounting substrate may be damaged.

特許文献1は、このような問題を有している。   Patent document 1 has such a problem.

本発明は、上記課題に鑑み、フィルムを適切に用いて、露出部分を確実に露出させて電子部品を樹脂で封止できる樹脂封止装置用の封止型を、提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a sealing mold for a resin sealing device that can properly expose an exposed portion and seal an electronic component with a resin by appropriately using a film. .

上記課題に鑑み、本発明の樹脂封止装置用の封止型は、封止対象物の一方から取り付けられる第1型枠と、
封止対象物の他方から取り付けられ、第1型枠と対になって組み合わされる第2型枠と、を備え、
封止対象物は、電子部品とこれに積層された露出部材とを有し、
第1型枠は、封止対象物の周囲に樹脂封止空間の一部を形成する第1凹部を有し、
第2型枠は、外部型と中間型とを有し、
中間型は、第1凹部と対になる第2凹部を有すると共に、外部型が挿入される挿入孔を有し、
中間型は、封止対象物を介して、第1型枠と組み合わされ、
外部型は、挿入孔に挿入される凸部を有して、中間型と組み合わされ、
第2凹部は、封止対象物の外周に樹脂封止空間の一部を形成し、
凸部の表面(凸部表面)は、露出部材の露出表面に略一致し、
フィルムが、外部型と中間型との間に挟まれて設置され、
フィルムの幅は、露出表面の幅よりも若干量の分大きい幅であり、
フィルムは凸部と挿入孔との間にクランプされ、
中間型が封止対象物を介して、第1型枠と組み合わされる時、凸部表面と露出表面との間にフィルムが設置された状態となり、フィルムは凸部によって露出表面と対向して接触する。
In view of the above problems, the sealing mold for the resin sealing device of the present invention is a first mold attached from one of the objects to be sealed;
A second mold that is attached from the other of the objects to be sealed and combined with the first mold in a pair;
The sealing object has an electronic component and an exposed member laminated thereon,
The first mold has a first recess that forms part of the resin sealing space around the object to be sealed,
The second mold has an external mold and an intermediate mold,
The intermediate mold has a second recess paired with the first recess and an insertion hole into which the external mold is inserted.
The intermediate mold is combined with the first mold frame via the sealing object,
The external mold has a convex portion that is inserted into the insertion hole, and is combined with the intermediate mold,
A 2nd recessed part forms a part of resin sealing space in the outer periphery of the sealing target object,
The surface of the convex part (convex part surface) substantially coincides with the exposed surface of the exposed member ,
The film is placed between the outer mold and the intermediate mold,
The width of the film is a width that is slightly larger than the width of the exposed surface,
The film is clamped between the convex part and the insertion hole,
When the intermediate mold is combined with the first mold frame via the object to be sealed, the film is placed between the convex surface and the exposed surface, and the film contacts the exposed surface by the convex portion. you.

本発明の樹脂封止装置用の封止型は、電子部品に積層されている放熱部材やセンサー素子などの表面を確実に露出させた上で、樹脂封止できる。また、露出させるために設置されるフィルムに過重な負荷や偏った負荷がかからずに、フィルムの損傷が生じにくい。同様に、フィルムの変形などが生じないことで、樹脂封止空間において、フィルム内部に樹脂が侵入して、露出領域に樹脂が付着してしまうことが防止できる。   The sealing mold for the resin sealing device of the present invention can be resin-sealed after reliably exposing the surfaces of the heat radiating member and the sensor element laminated on the electronic component. Further, the film installed for exposure is not subjected to an excessive load or a biased load, and the film is hardly damaged. Similarly, since the deformation of the film does not occur, it is possible to prevent the resin from entering the film and adhering to the exposed region in the resin sealing space.

また、フィルム使用量を低減でき、樹脂封止に係る材料コスト、工程コストを低減できる。   Moreover, the amount of film used can be reduced, and the material cost and process cost concerning resin sealing can be reduced.

また、樹脂封止後にフィルムを離形させる場合において、実装基板に余分な負荷をかけることが無く、実装基板や電子部品の変形や損傷などを防止できる。   Further, when the film is released after resin sealing, an excessive load is not applied to the mounting substrate, and deformation and damage of the mounting substrate and electronic components can be prevented.

露出面を必要とする電子部品の側面図である。It is a side view of the electronic component which requires an exposed surface. 複数の電子部品が実装された実装基板の正面図である。It is a front view of the mounting board | substrate with which the some electronic component was mounted. 樹脂封止された後の電子部品の側面図である。It is a side view of the electronic component after resin-sealing. 従来技術その1における樹脂封止装置用の封止枠の側面図である。It is a side view of the sealing frame for resin sealing devices in prior art 1. 従来技術その2の封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type of the prior art 2. 従来技術その2における実装基板にフィルムが設置された状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state by which the film was installed in the mounting board | substrate in the prior art 2. 従来技術その2で樹脂封止が終わった後の電子部品の様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the mode of the electronic component after resin sealing is complete | finished by the prior art 2. 本発明の実施の形態1における封止対象物を示す側面図である。It is a side view which shows the sealing target object in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における第1型枠の正面図である。It is a front view of the 1st formwork in Embodiment 1 of the present invention. この樹脂封止された後の状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state after this resin sealing. 、樹脂封止された後の状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state after resin-sealing. 本発明の実施の形態1におけるフィルムを取り外す状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which removes the film in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2における封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における押し出し部材の挿入されている状態の封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type in the state where the extrusion member in Embodiment 2 of the present invention is inserted. 本発明の実施の形態2における押さえ部材によって封止対象物を押さえ固定できる封止枠の側面図である。It is a side view of the sealing frame which can hold down and fix a sealing target object with the pressing member in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における第1型枠が外部型と中間型を備える構成の封止型の側面図である。It is a side view of the sealing type | mold of the structure in which the 1st formwork in Embodiment 2 of this invention is equipped with an external type | mold and an intermediate type | mold. 本発明の実施の形態3における樹脂封止装置の模式図である。It is a schematic diagram of the resin sealing apparatus in Embodiment 3 of this invention.

本発明の第1の発明に係る樹脂封止装置用の封止型は、封止対象物の一方から取り付けられる第1型枠と、
封止対象物の他方から取り付けられ、第1型枠と対になって組み合わされる第2型枠と、を備え、
封止対象物は、電子部品とこれに積層された露出部材とを有し、
第1型枠は、封止対象物の周囲に樹脂封止空間の一部を形成する第1凹部を有し、
第2型枠は、外部型と中間型とを有し、
中間型は、第1凹部と対になる第2凹部を有すると共に、外部型が挿入される挿入孔を有し、
中間型は、封止対象物を介して、第1型枠と組み合わされ、
外部型は、挿入孔に挿入される凸部を有して、中間型と組み合わされ、
第2凹部は、封止対象物の外周に樹脂封止空間の一部を形成し、
凸部の表面(凸部表面)は、露出部材の露出表面に略一致する。
The sealing mold for the resin sealing device according to the first invention of the present invention is a first mold frame attached from one of the objects to be sealed;
A second mold that is attached from the other of the objects to be sealed and combined with the first mold in a pair;
The sealing object has an electronic component and an exposed member laminated thereon,
The first mold has a first recess that forms part of the resin sealing space around the object to be sealed,
The second mold has an external mold and an intermediate mold,
The intermediate mold has a second recess paired with the first recess and an insertion hole into which the external mold is inserted.
The intermediate mold is combined with the first mold frame via the sealing object,
The external mold has a convex portion that is inserted into the insertion hole, and is combined with the intermediate mold,
A 2nd recessed part forms a part of resin sealing space in the outer periphery of the sealing target object,
The surface of the convex part (convex part surface) substantially coincides with the exposed surface of the exposed member.

この構成により、露出表面を確実に露出させるとともに、フィルムの破損による不具合なども防止できる。また、フィルムの使用量も低減できるので、部材コストや製造コストを下げることができる。   With this configuration, the exposed surface can be reliably exposed, and problems due to film damage can be prevented. Moreover, since the usage-amount of a film can also be reduced, member cost and manufacturing cost can be reduced.

本発明の第2の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第1の発明に加えて、凸部表面と露出表面の間に、フィルムが設置可能である。   In the sealing mold for a resin sealing device according to the second invention of the present invention, in addition to the first invention, a film can be installed between the convex surface and the exposed surface.

この構成により、フィルムに加わる負荷やストレスを軽減できる。また、折れ曲がりなどの偏ったストレスも軽減できる。   With this configuration, the load and stress applied to the film can be reduced. Also, uneven stress such as bending can be reduced.

本発明の第3の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第2の発明に加えて、フィルムは、凸部表面と露出表面とによって挟まれる。   In the sealing mold for a resin sealing device according to the third aspect of the present invention, in addition to the second aspect, the film is sandwiched between the convex surface and the exposed surface.

この構成により、フィルムへの偏ったストレスを低減できる。また、露出させるべき露出表面への樹脂の入り込みを確実に防止できる。   This configuration can reduce uneven stress on the film. Further, the resin can be reliably prevented from entering the exposed surface to be exposed.

本発明の第4の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第2または第3の発明に加えて、フィルムの幅は、露出表面の幅と略同一もしくは若干量の分大きい幅である。   In the sealing type for a resin sealing device according to the fourth invention of the present invention, in addition to the second or third invention, the width of the film is substantially the same as the width of the exposed surface or a width that is slightly larger than the exposed surface. It is.

この構成により、フィルムの使用量を低減できる。   With this configuration, the amount of film used can be reduced.

本発明の第5の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第4の発明に加えて、若干量は、露出表面の両端のそれぞれで1mm以下である。   In the sealing mold for a resin sealing device according to the fifth aspect of the present invention, in addition to the fourth aspect, the amount is slightly less than 1 mm at both ends of the exposed surface.

この構成により、フィルムの設置を確実にしつつも、フィルムの使用量を低減できる。   With this configuration, the amount of film used can be reduced while ensuring the installation of the film.

本発明の第6の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第1から第5のいずれかの発明に加えて、樹脂封止空間に樹脂を注入する樹脂注入口を更に備える。   The sealing mold for a resin sealing device according to the sixth aspect of the present invention further includes a resin inlet for injecting resin into the resin sealing space in addition to any of the first to fifth aspects of the invention.

この構成により、樹脂封止空間に樹脂を容易に注入できる。   With this configuration, the resin can be easily injected into the resin sealing space.

本発明の第7の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第2から第6のいずれかの発明に加えて、外部型は、フィルムを露出表面に押し当てる吹き出し空気を通す、空気孔を備える。   In the sealing mold for the resin sealing device according to the seventh invention of the present invention, in addition to any of the second to sixth inventions, the external mold passes the blowing air that presses the film against the exposed surface. Air holes are provided.

この構成により、フィルムの露出表面への密着度を高めて、樹脂の入り込みを防止できる。   With this configuration, it is possible to increase the degree of adhesion to the exposed surface of the film and prevent the resin from entering.

本発明の第8の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第7の発明に加えて、空気孔は、封止対象物を樹脂封止空間から取り出すことを補助する、吸引空気を送ることが可能である。   In the sealing type for a resin sealing device according to the eighth aspect of the present invention, in addition to the seventh aspect, the air hole assists in taking out the object to be sealed from the resin sealing space. Can be sent.

この構成により、フィルムの取り外しも確実にできる。   With this configuration, the film can be reliably removed.

本発明の第9の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第7の発明に加えて、空気孔は、封止対象物を封止空間から取り出す押し出し部材を挿入可能である。   In the sealing type for a resin sealing device according to the ninth aspect of the present invention, in addition to the seventh aspect, the air hole can be inserted with an extrusion member that takes out the object to be sealed from the sealing space.

この構成により、樹脂封止空間から取り出しやすい。   With this configuration, it is easy to take out from the resin sealing space.

本発明の第10の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第1から第9のいずれかの発明に加えて、第1型枠は、樹脂封止空間にある封止対象物を押さえる押さえ部材を挿入可能な押さえ部材挿入部を、備える。   In the sealing mold for a resin sealing device according to the tenth invention of the present invention, in addition to any of the first to ninth inventions, the first mold frame is a sealing object in the resin sealing space. A pressing member insertion portion capable of inserting a pressing member that holds the pressing member.

この構成により、樹脂封止空間での封止対象物の姿勢を維持しつつ、フィルムとの密着度を上げることができる。   With this configuration, the degree of adhesion with the film can be increased while maintaining the posture of the object to be sealed in the resin sealing space.

本発明の第11の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第1から第10のいずれかの発明に加えて、第1型枠および第2型枠のそれぞれは、封止対象物の上下のいずれかに配置され、いずれが上側であってもよい。   In the sealing mold for a resin sealing device according to the eleventh invention of the present invention, in addition to any of the first to tenth inventions, each of the first mold frame and the second mold frame is a sealing object. It may be arranged either above or below the object, and either may be the upper side.

この構成により、封止対象物の状態にフレキシブルに合わせることができる。   With this configuration, it is possible to flexibly match the state of the object to be sealed.

本発明の第12の発明に係る樹脂封止装置用の封止型では、第1から第11のいずれかの発明に加えて、第1型枠も、外部型および中間型を有する。   In the sealing mold for a resin sealing apparatus according to the twelfth aspect of the present invention, in addition to any of the first to eleventh aspects, the first mold also has an external mold and an intermediate mold.

この構成により、両面実装の封止対象物についても対応できる。   With this configuration, it is possible to cope with a sealing object mounted on both sides.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(発明者による分析)
まず、従来技術およびその問題点等について、発明者による分析を説明する。
(Analysis by the inventor)
First, the analysis by the inventor will be described for the prior art and its problems.

(露出面を必要とする電子部品)
図1は、露出面を必要とする電子部品の側面図である。電子部品100には、放熱部材やセンサー素子などの表面を樹脂封止において露出する必要のある露出部材101が積層されている。露出部材101は、図1のように一つの素子でもよいし複数の素子からなっていてもよい。電子部品100が樹脂で封止される際には、この露出部材101の露出表面103が露出される必要がある。電子部品100は、電子基板102に実装されている。実装基板102は、リードフレームや樹脂基板などである。
(Electronic components that require exposed surfaces)
FIG. 1 is a side view of an electronic component that requires an exposed surface. The electronic component 100 is laminated with an exposed member 101 that needs to expose the surface of a heat radiating member, a sensor element, or the like during resin sealing. The exposed member 101 may be a single element as shown in FIG. 1 or a plurality of elements. When the electronic component 100 is sealed with resin, the exposed surface 103 of the exposed member 101 needs to be exposed. The electronic component 100 is mounted on the electronic substrate 102. The mounting substrate 102 is a lead frame, a resin substrate, or the like.

図2は、複数の電子部品が実装された実装基板の正面図である。複数の電子部品100は、実装基板102上に、実装されている。この実装基板102に複数の電子部品100が実装されている状態で、この電子部品100のそれぞれを、同時あるいは順次に樹脂封止することが行われる。このとき、上述したように、露出部材101の露出表面103が樹脂で覆われずに、樹脂からは露出した状態で封止されることが必要である。   FIG. 2 is a front view of a mounting board on which a plurality of electronic components are mounted. The plurality of electronic components 100 are mounted on the mounting substrate 102. In a state where a plurality of electronic components 100 are mounted on the mounting substrate 102, each of the electronic components 100 is resin-sealed simultaneously or sequentially. At this time, as described above, the exposed surface 103 of the exposed member 101 is not covered with the resin and needs to be sealed in a state of being exposed from the resin.

図3は、樹脂封止された後の電子部品の側面図である。図1、図2のような状態の電子部品100に樹脂層200が覆っている状態である。すなわち、電子部品100の周囲が、樹脂層200で封止されている状態である。このとき、電子部品100の周囲は樹脂層200で覆われているが、露出部材101の露出表面103は、樹脂層200がなく、露出した状態となっている。   FIG. 3 is a side view of the electronic component after resin sealing. In this state, the resin layer 200 covers the electronic component 100 in the state shown in FIGS. That is, the periphery of the electronic component 100 is sealed with the resin layer 200. At this time, the periphery of the electronic component 100 is covered with the resin layer 200, but the exposed surface 103 of the exposed member 101 is exposed without the resin layer 200.

このように露出部材101の露出表面103が露出して残りが樹脂層200で封止されることで、樹脂封止による耐久性向上と露出部材101の機能発揮とを実現することができる。   As described above, the exposed surface 103 of the exposed member 101 is exposed and the remaining portion is sealed with the resin layer 200, so that it is possible to realize the durability improvement by the resin sealing and the function of the exposed member 101.

(従来技術その1:フィルムの使用)
従来技術で説明した、フィルムを使用して露出部材101の露出表面103を露出させて樹脂封止する従来技術その1を、図4を用いて説明する。図4は、従来技術その1における樹脂封止装置用の封止枠の側面図である。封止枠300は、従来技術その1の構成であり、内部が分かるように、必要な内部構造を可視状態にして図4が示されている。
(Prior art 1: Use of film)
The prior art 1 described in the prior art, in which the exposed surface 103 of the exposed member 101 is exposed using a film and resin-sealed, will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a side view of a sealing frame for a resin sealing device according to the first prior art. The sealing frame 300 has the structure of the first prior art, and FIG. 4 is shown with the necessary internal structure visible so that the inside can be seen.

封止枠300は、第1型枠301と第2型枠302とを備える。第1型枠301と第2型枠302のそれぞれは、電子部品100を挟み込む領域に凹部を有する。第1型枠301と第2型枠302とが組み合わさって電子部品100を挟み込むと、この凹部同士も組み合わさって、封止空間310が形成される。電子部品100は、積層している露出部材101と共に、その表面および裏面が樹脂で封止されるように、封止空間310内部に存在する状態となる。   The sealing frame 300 includes a first mold 301 and a second mold 302. Each of the first mold 301 and the second mold 302 has a recess in a region where the electronic component 100 is sandwiched. When the first mold 301 and the second mold 302 are combined to sandwich the electronic component 100, the recesses are also combined to form the sealing space 310. The electronic component 100 is in the sealed space 310 so that the front and back surfaces of the electronic component 100 are sealed with resin together with the exposed member 101 that is laminated.

このとき、フィルム330は、封止空間310内部に設置された状態であり、露出部材101の露出表面103に密着して設置される。この設置状態により、第1型枠301と第2型枠302とが組み合わさると、フィルム330は、電子部品100(露出部材101)と第1型枠301とによって挟まれて圧力がかけられる状態となる(クランプ状態となる)。   At this time, the film 330 is in a state of being installed inside the sealing space 310 and is installed in close contact with the exposed surface 103 of the exposed member 101. When the first mold 301 and the second mold 302 are combined in this installed state, the film 330 is sandwiched between the electronic component 100 (exposed member 101) and the first mold 301 and pressure is applied. (Becomes clamped).

封止空間310に樹脂が注入される。注入された樹脂310は、第1型枠301と第2型枠302との組み合わせの圧力によりその封止形状が形成されて硬化する。硬化した後で、第1型枠301と第2型枠302とが取り外されると、封止空間310が樹脂によって封止された状態として、電子部品100が取り出される。電子部品の取り出しの際、あるいはその後でフィルム330が取り外されると、露出部材101の露出表面103には、樹脂が存在しない状態となる。   Resin is injected into the sealing space 310. The injected resin 310 is cured by forming a sealing shape by the pressure of the combination of the first mold 301 and the second mold 302. After the curing, when the first mold 301 and the second mold 302 are removed, the electronic component 100 is taken out with the sealing space 310 sealed with resin. When the electronic component is taken out or thereafter, when the film 330 is removed, the exposed surface 103 of the exposed member 101 is in a state where no resin exists.

しかしながら、フィルム330は、電子部品100(と露出部材101)と、第1型枠301とによって挟まれて圧力が加わった状態となる。フィルム330は、引っ張られる。この状態で封止空間310に樹脂が注入されて内部圧力が高まると、フィルム330には、図4の丸印で囲んだ部分などを中心に強い負荷が加わる。電子部品100と露出部材101との高さが高いことで、フィルム330の折れ曲がり量が大きくなるからである。また、電子部品100と露出部材101とは、その厚み、形状、角部の角度などにばらつきがあり、フィルム330が引っ張られた状態では、図4の露出部材101との角部との接触部分において、フィルム330に強い負荷が加わってしまう。   However, the film 330 is sandwiched between the electronic component 100 (and the exposed member 101) and the first mold 301 and is under pressure. The film 330 is pulled. In this state, when resin is injected into the sealing space 310 and the internal pressure is increased, a strong load is applied to the film 330 centering on a portion surrounded by a circle in FIG. This is because the amount of bending of the film 330 increases due to the high height of the electronic component 100 and the exposed member 101. Further, the electronic component 100 and the exposed member 101 vary in thickness, shape, corner angle, and the like, and when the film 330 is pulled, a contact portion with the corner of the exposed member 101 in FIG. In this case, a strong load is applied to the film 330.

また、樹脂を注入する前においては、フィルム330は第1型枠301の凹部に張り付いている状態であるが、フィルム330が第1型枠301の角部において、十分に密着せず隙間が生じることがある。ここで、樹脂が注入されると、樹脂は第1型枠の内部形状に沿ってフィルム330表面に接触しながら流動する。樹脂が流動している最中に、フィルム330と樹脂が接触している部分は、伸びることが無い。   Further, before the resin is injected, the film 330 is stuck to the recess of the first mold 301, but the film 330 is not sufficiently adhered at the corner of the first mold 301 and there is no gap. May occur. Here, when the resin is injected, the resin flows while contacting the surface of the film 330 along the internal shape of the first mold. While the resin is flowing, the portion where the film 330 and the resin are in contact does not stretch.

このような状態で樹脂の注入が完了する直前には、樹脂は、フィルム330の内側にほぼ充填しているが、フィルム330の屈曲部(第1型枠301の角部に対応する部分)と第1型枠301の角部が密着していないと、第1型枠301の角部には、樹脂が充填しきれていない状態となりうる。   Immediately before the injection of the resin is completed in this state, the resin is almost filled inside the film 330, but the bent portion of the film 330 (the portion corresponding to the corner of the first mold 301) and If the corners of the first mold 301 are not in close contact, the corners of the first mold 301 can be in a state where the resin is not completely filled.

樹脂の注入が完了した後で、樹脂の圧力によりフィルム330を伸ばしながら、第1型枠301の角部への樹脂の充填が行われる。しかしながら、フィルム3300に密着した部分の樹脂は均一には膨張しないので、フィルム330の屈曲部に部分的に負荷が掛かり、フィルム330の屈曲部の伸長の限界を超えた箇所で、フィルム330の破れとなってしまう。   After the injection of the resin is completed, the corners of the first mold 301 are filled with the resin while the film 330 is stretched by the pressure of the resin. However, since the resin in the portion that is in close contact with the film 3300 does not expand uniformly, a load is partially applied to the bent portion of the film 330, and the film 330 is torn at a location that exceeds the extension limit of the bent portion of the film 330. End up.

特に、電子部品100や露出部材101の形状や厚みなどは、様々であり、封止型300でこれらに対応しようとすると、フィルム330には、電子部品100のそれぞれによって異なる折れ曲がり量が発生したり、負荷が発生したりする。このような折れ曲がりや負荷によって、フィルムが破損する問題がある。これは、厚み、形状、角度、その他の違いやばらつきのある電子部品100でフィルム330を挟むことが原因であり、従来技術その1では、フィルム330を用いた露出部材101の露出表面103を露出させつつ樹脂封止を完全に行うことが難しかった。   In particular, there are various shapes and thicknesses of the electronic component 100 and the exposed member 101, and when the sealing mold 300 tries to cope with these, the film 330 may have different bending amounts depending on each of the electronic components 100. , Load may occur. There is a problem that the film is damaged by such bending and load. This is because the film 330 is sandwiched between the electronic components 100 having different thicknesses, shapes, angles, and other differences and variations. In the first prior art, the exposed surface 103 of the exposed member 101 using the film 330 is exposed. However, it was difficult to completely seal the resin.

フィルム330が破損すれば、封止空間310に注入された樹脂が露出表面103に進入して付着することもあり得るし、露出表面103の角部に、樹脂がバリとして残ることもあり得る。もちろん、フィルム330を離形させることも難しくなり、樹脂封止された電子部品100の品質問題にもつながってしまう。   If the film 330 is damaged, the resin injected into the sealing space 310 may enter and adhere to the exposed surface 103, and the resin may remain as burrs at the corners of the exposed surface 103. Of course, it is difficult to release the film 330, which leads to a quality problem of the resin-sealed electronic component 100.

(従来技術その2:特許文献1などの従来技術)
従来技術その2として、上述した特許文献1などの技術がある。この従来技術その2は、第1型枠を2つに分解して、フィルムをこれで挟む構成としている。図5は、従来技術その2の封止型の側面図である。従来技術その2の封止型320は、第1型枠301が上部型303と中間型304とに分離されている。この分離された上部型303と中間型304との間に、フィルム330が設置される形態である。
(Prior Art 2: Conventional Technology such as Patent Document 1)
As the second prior art, there is a technique such as Patent Document 1 described above. In this second prior art, the first mold is disassembled into two and the film is sandwiched between them. FIG. 5 is a side view of a sealing type of the second prior art. In the sealing mold 320 of the second prior art, the first mold 301 is separated into an upper mold 303 and an intermediate mold 304. A film 330 is installed between the separated upper mold 303 and intermediate mold 304.

上部型303と中間型304とによって形成される封止空間310の上部では、電子部品100と積層される露出部材101とが含まれる。このとき、上部型303が露出部材101の露出表面103と対向する。フィルム330は、上部型303と中間型304との間に挟まれてクランプされる。このクランプの中で、上部型303と露出表面103とが対向するので、この対向の中でフィルム330は、露出表面103に密着する。   The upper portion of the sealing space 310 formed by the upper mold 303 and the intermediate mold 304 includes the exposed member 101 laminated with the electronic component 100. At this time, the upper mold 303 faces the exposed surface 103 of the exposed member 101. The film 330 is clamped by being sandwiched between the upper mold 303 and the intermediate mold 304. Since the upper mold 303 and the exposed surface 103 face each other in the clamp, the film 330 is in close contact with the exposed surface 103 in this facing.

フィルム330は、露出表面103と密着しつつも、その全体としては、上部型303と中間型304とにクランプされる。このため、図4に示す従来技術その1に比較して、電子部品100などの厚み、形状、角度などに依存してクランプされることが低減される。このため、従来技術その1の問題については低減できている。   The film 330 is clamped to the upper mold 303 and the intermediate mold 304 as a whole while in close contact with the exposed surface 103. For this reason, compared with the prior art 1 shown in FIG. 4, it is reduced that it is clamped depending on the thickness, shape, angle, etc. of the electronic component 100 or the like. For this reason, the problem of the prior art 1 can be reduced.

しかしながら、図5で示される通り、フィルム330の幅は、露出部材101の露出表面103の幅よりも非常に大きい。これは、図2のように、実装基板102に複数の電子部品100が並んでおり、この一列の電子部品100をまとめて樹脂封止する際には、一列の電子部品100に1枚のフィルム330が設置される。この際のフィルムの列と直交する方向がフィルム330の幅であるが、この幅が、露出させるべき露出表面103の幅よりも非常に大きい。   However, as shown in FIG. 5, the width of the film 330 is much larger than the width of the exposed surface 103 of the exposed member 101. As shown in FIG. 2, a plurality of electronic components 100 are arranged on the mounting substrate 102, and when the one row of electronic components 100 are collectively sealed with resin, one film is formed on one row of electronic components 100. 330 is installed. The direction orthogonal to the film rows at this time is the width of the film 330, which is much larger than the width of the exposed surface 103 to be exposed.

図6は、この幅が広い状態を示している。図6は、従来技術その2における実装基板にフィルムが設置された状態を示す模式図である。   FIG. 6 shows this wide state. FIG. 6 is a schematic diagram showing a state in which a film is installed on the mounting substrate in the second prior art.

このように、フィルム330の幅が大きいことで、フィルム330の使用量が大きくなり、材料コストや製造コストが増加する問題がある。これが従来技術その2の問題点の一つ目である。   Thus, since the width | variety of the film 330 is large, the usage-amount of the film 330 becomes large, and there exists a problem which material cost and manufacturing cost increase. This is the first problem of the second prior art.

また、図5の矢印に示される幅においてフィルム330が存在しているので、フィルム330は、露出すべき露出表面103の幅よりも大きく広がって、上部型303と中間型304とにクランプされる。このクランプによって、幅方向にフィルム330が引っ張られて、負荷が加わってしまう。幅があるために、引っ張られる圧力が強く掛かるからである。   Further, since the film 330 exists in the width indicated by the arrow in FIG. 5, the film 330 spreads larger than the width of the exposed surface 103 to be exposed and is clamped to the upper mold 303 and the intermediate mold 304. . By this clamp, the film 330 is pulled in the width direction, and a load is applied. This is because the pulling pressure is strongly applied due to the width.

電子部品100の厚みなどによる問題を回避していながら、やはり、フィルム330に強いあるいは偏った負荷がかかることでの問題を、従来技術その2は、解消できていない問題がある。   While avoiding the problems due to the thickness of the electronic component 100 and the like, the conventional technique No. 2 still has a problem that the problem caused by applying a strong or biased load to the film 330 cannot be solved.

また、封止型320が取り除かれた後では、図7のように、フィルム330が残って樹脂封止がなされた状態となる。図7は、従来技術その2で樹脂封止が終わった後の電子部品の様子を示す模式図である。樹脂層200によって電子部品100が封止され、フィルム330が残った状態である。このフィルム330を取り除く(離形させる)ために、押し出し部材350が圧力を付与する。このとき、図5のようにフィルム330は、封止空間310全体に渡っているので、樹脂層200の幅全域に渡って、フィルム330が覆っている状態となる。   Further, after the sealing mold 320 is removed, as shown in FIG. 7, the film 330 remains and the resin sealing is performed. FIG. 7 is a schematic diagram showing a state of the electronic component after the resin sealing is finished in the second prior art. The electronic component 100 is sealed by the resin layer 200 and the film 330 remains. In order to remove (release) the film 330, the pushing member 350 applies pressure. At this time, as shown in FIG. 5, since the film 330 extends over the entire sealing space 310, the film 330 covers the entire width of the resin layer 200.

このため、フィルム330を樹脂層200から離形させるには、フィルム330のいない実装基板102に、押し出し部材350をあてがう必要がある。図7に示される通りである。この状態で押し出し部材350をもって実装基板102に圧力が加わると、実装基板102が曲がったり折れたりなどの損傷が生じたりする可能性がある。これを防止するために、フィルム330の離形性を高めると、図5のように封止型320で封止して樹脂を注入するときに、フィルム330と露出表面103に樹脂が入りやすくなる懸念もある。こうなると、露出させるべき露出表面103に樹脂が付着することの問題も生じる。   For this reason, in order to release the film 330 from the resin layer 200, it is necessary to apply the extrusion member 350 to the mounting substrate 102 without the film 330. As shown in FIG. If pressure is applied to the mounting substrate 102 with the pushing member 350 in this state, the mounting substrate 102 may be damaged such as bending or bending. In order to prevent this, if the releasability of the film 330 is increased, the resin can easily enter the film 330 and the exposed surface 103 when the resin is injected by sealing with the sealing mold 320 as shown in FIG. There are also concerns. In this case, there also arises a problem that the resin adheres to the exposed surface 103 to be exposed.

このように、フィルム330の幅が露出させるべき露出表面103の幅よりも極めて大きいことを起因とする問題点が、従来技術その2においても存在する。   As described above, there is also a problem in the prior art 2 due to the fact that the width of the film 330 is extremely larger than the width of the exposed surface 103 to be exposed.

発明者は、これらの分析の結果、本発明に至ったものである。   The inventor has arrived at the present invention as a result of these analyses.

(実施の形態1) (Embodiment 1)

(全体概要)
図8、図9を用いて、実施の形態1の樹脂封止装置用の封止型(以下、必要に応じて「封止型」と略す)の全体概要について説明する。図8は、本発明の実施の形態1における封止対象物を示す側面図である。図9は、本発明の実施の形態1における封止型の側面図である。封止型1を側面から見た状態を示している。図9は、内部構造や封止型1の要素同士の関係が分かるように、内部の断面状態を含めて示している。
(Overview)
The overall outline of the sealing mold for the resin sealing apparatus of the first embodiment (hereinafter, abbreviated as “sealing mold” as necessary) will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a side view showing the object to be sealed in Embodiment 1 of the present invention. FIG. 9 is a side view of the sealing mold according to the first embodiment of the present invention. The state which looked at the sealing type | mold 1 from the side surface is shown. FIG. 9 shows an internal cross-sectional state so that the internal structure and the relationship between the elements of the sealing mold 1 can be understood.

封止型1は、実装基板102に実装された電子部品100とこれに積層される露出部材101を合わせて樹脂で封止する際に用いられる。このとき、露出部材101の外周および電子部品100は、樹脂で封止されるが、露出部材101の露出表面103は、樹脂が付着せずに露出された状態で樹脂封止されることが必要である。電子部品100、露出部材101(および実装基板102の一部)が、樹脂封止装置によって樹脂封止される封止対象物となる。   The sealing mold 1 is used when the electronic component 100 mounted on the mounting substrate 102 and the exposed member 101 laminated thereon are combined and sealed with resin. At this time, the outer periphery of the exposed member 101 and the electronic component 100 are sealed with resin, but the exposed surface 103 of the exposed member 101 needs to be resin-sealed in a state where the resin is exposed without being attached. It is. The electronic component 100 and the exposed member 101 (and a part of the mounting substrate 102) are sealed objects that are resin-sealed by the resin-sealing device.

封止型1は、第1型枠2、第2型枠3とを、備える。第1型枠2は、封止対象物の一方から取り付けられる。図9では、封止対象物である電子部品100の実装されていない実装基板102側に取り付けられている。もちろん、逆でもよい。   The sealing mold 1 includes a first mold 2 and a second mold 3. The first mold 2 is attached from one of the objects to be sealed. In FIG. 9, the electronic component 100 which is a sealing object is attached to the mounting substrate 102 side where it is not mounted. Of course, the reverse is also possible.

第2型枠3は、第1型枠2の他方から封止対象物に取り付けられる。図9では、封止対象物である電子部品100側から取り付けられている。第1型枠2と第2型枠3とが対向するようにして、封止対象物を挟むことで、封止対象物を樹脂で封止できる。   The second mold 3 is attached to the object to be sealed from the other side of the first mold 2. In FIG. 9, it is attached from the electronic component 100 side which is a sealing object. The sealing object can be sealed with resin by sandwiching the sealing object such that the first mold 2 and the second mold 3 face each other.

第1型枠2は、封止対象物の周囲に樹脂封止空間11の一部を形成する第1凹部21を有する。図9は側面図であるので、図9では、第1凹部21が封止対象物の下方で凹んでいる状態として示されている。実際には、図10のように、第1型枠2の中央部付近が凹んだ状態であり、樹脂封止空間11を形成できるように、外周のある凹みとなっている。
図10は、本発明の実施の形態1における第1型枠の正面図である。
The first mold 2 has a first recess 21 that forms part of the resin sealing space 11 around the object to be sealed. Since FIG. 9 is a side view, in FIG. 9, the first recess 21 is shown as being recessed below the object to be sealed. Actually, as shown in FIG. 10, the vicinity of the central portion of the first mold 2 is indented, so that the resin-encapsulated space 11 can be formed.
FIG. 10 is a front view of the first mold according to Embodiment 1 of the present invention.

第2型枠3は、外部型5と中間型4とを有する。側面図である図9では、外部型5が上側で下側に中間型4が配置されている状態が示されている。第2型枠3は、外部型5と中間型4とによって構成される。   The second mold 3 has an external mold 5 and an intermediate mold 4. In FIG. 9 which is a side view, a state in which the outer die 5 is on the upper side and the intermediate die 4 is arranged on the lower side is shown. The second mold 3 is composed of an external mold 5 and an intermediate mold 4.

中間型4は、第1凹部21と対になる第2凹部41を有すると共に、外部型の一部が挿入される挿入孔42を有する。図9では、第2凹部41が第1凹部21と対になって、封止対象物の両側のそれぞれに凹部が形成される。この両側のそれぞれの凹部(第1凹部21と第2凹部41)が合わさることで、樹脂封止空間11が形成される。   The intermediate mold 4 has a second recess 41 that is paired with the first recess 21 and an insertion hole 42 into which a part of the external mold is inserted. In FIG. 9, the 2nd recessed part 41 makes a pair with the 1st recessed part 21, and a recessed part is formed in each of the both sides of a sealing target object. The resin-encapsulated space 11 is formed by combining the concave portions (the first concave portion 21 and the second concave portion 41) on both sides.

中間型4は、封止対象物を介して(挟んで)第1型枠2と組み合わされる。この組み合わせによって、上述のように第1凹部21と第2凹部41とによる樹脂封止空間11が形成される。   The intermediate mold 4 is combined with the first mold frame 2 via (sealing) a sealing object. By this combination, the resin sealed space 11 is formed by the first recess 21 and the second recess 41 as described above.

外部型5は、挿入孔42に挿入される凸部51を備える。中間型4と外部型5が組み合わされると、この凸部51が挿入孔42に挿入される。凸部51は、挿入孔42を通じて、樹脂封止空間11へ近づき、樹脂封止空間11の一部の外周を形成する。   The external mold 5 includes a convex portion 51 that is inserted into the insertion hole 42. When the intermediate mold 4 and the external mold 5 are combined, the convex portion 51 is inserted into the insertion hole 42. The convex portion 51 approaches the resin sealing space 11 through the insertion hole 42 and forms a part of the outer periphery of the resin sealing space 11.

すべてが組み合わされると、図9の側面図のように、第1凹部21、第2凹部41が樹脂封止空間11を形成しつつ、樹脂封止空間11の一部の外周を、凸部51が形成する。これらに囲まれる内部空間が樹脂封止空間11であり、ここに樹脂が流し込まれると、封止対象物である電子部品100、露出部材101および実装基板102の一部が樹脂で封止される。   When all are combined, as shown in the side view of FIG. 9, the first concave portion 21 and the second concave portion 41 form the resin sealing space 11, while the outer periphery of a part of the resin sealing space 11 is formed as the convex portion 51. Form. The internal space surrounded by these is the resin sealing space 11, and when the resin is poured therein, the electronic component 100, the exposed member 101, and the mounting substrate 102, which are objects to be sealed, are sealed with the resin. .

ここで、凸部51の表面(凸部表面)は、露出部材101の露出表面103に略一致する。略一致することによって、フィルム330とあいまって、露出部材101の露出表面103が露出した状態となる。露出表面103とは、露出部材101において、樹脂で封止されずに露出させるべき表面である。   Here, the surface (convex surface) of the convex portion 51 substantially coincides with the exposed surface 103 of the exposed member 101. By substantially matching, the exposed surface 103 of the exposed member 101 is exposed together with the film 330. The exposed surface 103 is a surface to be exposed in the exposed member 101 without being sealed with resin.

フィルム330は、外部型5と中間型4との間に挟まれて設置される。図9では、この設置状態が示されている。フィルム330が、このような設置状態であることで、凸部51の表面と露出表面103との間にフィルム330が設置された状態となる。   The film 330 is placed between the external mold 5 and the intermediate mold 4. FIG. 9 shows this installation state. Since the film 330 is in such an installation state, the film 330 is installed between the surface of the convex portion 51 and the exposed surface 103.

樹脂封止空間11に樹脂が注入された後でも、露出表面103がフィルム330で覆われている状態なので、露出表面103には樹脂が付着しない。最終的な樹脂の硬化が終わって第1型枠2と第2型枠3とが取り外されると、フィルム330によっておおわれていた露出表面103は樹脂が付着せずに、樹脂封止空間11に対応する部分だけが樹脂封止された状態となる。   Even after the resin is injected into the resin sealing space 11, since the exposed surface 103 is covered with the film 330, the resin does not adhere to the exposed surface 103. When the first mold 2 and the second mold 3 are removed after the final resin is cured, the exposed surface 103 covered with the film 330 does not adhere to the resin and corresponds to the resin sealing space 11. Only the portion to be sealed is in a resin-sealed state.

図11は、この樹脂封止された後の状態を示す側面図である。図12は、樹脂封止された後の状態を示す正面図である。このように樹脂封止されてフィルム330が取り除かれると、露出表面103に樹脂が付着しない状態となって、封止対象物が樹脂で封止される。露出表面103が露出されていることで、露出部材101の機能が発揮できる状態が実現される。   FIG. 11 is a side view showing a state after the resin sealing. FIG. 12 is a front view showing a state after resin sealing. When the resin 330 is thus sealed and the film 330 is removed, the resin is not attached to the exposed surface 103, and the object to be sealed is sealed with the resin. Since the exposed surface 103 is exposed, a state in which the function of the exposed member 101 can be realized.

ここで、フィルム330は、図9のように外部型5と中間型4との間に挟まれた状態である。フィルム330は、外部型5の凸部51によって露出表面103と対向して接触する。このとき、凸部51は、上述の通り、露出表面103と略一致する。略一致とは、凸部51の形状、面積が、露出表面103の形状・面積と略一致することである。   Here, the film 330 is sandwiched between the external mold 5 and the intermediate mold 4 as shown in FIG. The film 330 is in contact with the exposed surface 103 by the convex portion 51 of the external mold 5. At this time, the convex portion 51 substantially coincides with the exposed surface 103 as described above. “Substantially coincident” means that the shape and area of the convex portion 51 substantially coincide with the shape and area of the exposed surface 103.

この略一致のため、露出表面103を覆う必要のあるフィルム330の量は、従来技術その2よりも少なくて済む。結果として、部材コストや製造コストを低減できる。   Because of this approximate match, the amount of film 330 that needs to cover the exposed surface 103 may be less than in prior art part 2. As a result, member costs and manufacturing costs can be reduced.

また、フィルム330は、露出表面103に対して凸部51の幅だけが接触する。そのうえで、外部型5と中間型4とにはさまれてクランプされる。従来技術その1やその2と異なり、幅が広すぎて幅方向に引っ張られることが軽減する。このため、クランプされても、フィルム330に加わるストレスが小さくなる。結果として、フィルム330の破損や損傷などが生じにくくなる。   Further, the film 330 is in contact with the exposed surface 103 only by the width of the convex portion 51. After that, it is clamped between the outer die 5 and the intermediate die 4. Unlike the prior arts 1 and 2, it is reduced that the width is too wide and is pulled in the width direction. For this reason, even if it clamps, the stress added to the film 330 becomes small. As a result, the film 330 is hardly damaged or damaged.

また、図13のように、第1型枠2と第2型枠3とが取り外されてからフィルム330が取り外される際には、フィルム330は、従来技術その2と異なり樹脂層200の全てを覆っている状態ではない。露出表面103とその周辺を覆う程度である。図13は、本発明の実施の形態1におけるフィルムを取り外す状態を示す模式図である。   Further, as shown in FIG. 13, when the film 330 is removed after the first mold 2 and the second mold 3 are removed, the film 330 is different from the prior art 2 in that all of the resin layer 200 is removed. It is not covered. It only covers the exposed surface 103 and its periphery. FIG. 13 is a schematic diagram showing a state in which the film according to Embodiment 1 of the present invention is removed.

このため、樹脂層200の表面には、フィルム330が存在していない領域が残る。図7で説明した従来技術その2では、フィルム330を取り外すために、押し出し部材350を、実装基板102に押し当てなければならなかった。しかしながら、図13に示されるように、実施の形態1の封止型1の場合であれば、フィルム330が存在しない樹脂層200の表面が残っているので、この領域に押し出し部材400を押し当てればよい。この結果、フィルム330を外す際に、実装基板102に不要なストレスを与えることが無くて済む。   For this reason, a region where the film 330 does not exist remains on the surface of the resin layer 200. In the second prior art described with reference to FIG. 7, the extruding member 350 has to be pressed against the mounting substrate 102 in order to remove the film 330. However, as shown in FIG. 13, in the case of the sealing mold 1 of the first embodiment, the surface of the resin layer 200 where the film 330 does not exist remains, so that the pushing member 400 can be pressed against this region. That's fine. As a result, unnecessary stress is not applied to the mounting substrate 102 when the film 330 is removed.

このように、実施の形態1の封止型1は、従来技術その1、その2などで分析された問題点や不足点を解消して、露出部材101の露出表面103を確実に露出させて、封止対象物を樹脂封止することができる。   As described above, the sealing mold 1 according to the first embodiment eliminates the problems and deficiencies analyzed in the prior arts 1 and 2 and reliably exposes the exposed surface 103 of the exposed member 101. The sealing object can be resin-sealed.

次に、各部の詳細などについて説明する。   Next, details of each part will be described.

(第1型枠2)
第1型枠2は、封止型1の一方側を構成する。第1型枠2は、上述した通り、第1凹部21を有し、この第1凹部21が第2凹部41と組み合わさって、樹脂封止空間11を形成できる。
(First formwork 2)
The first mold 2 constitutes one side of the sealing mold 1. As described above, the first mold 2 has the first recess 21, and the first recess 21 can be combined with the second recess 41 to form the resin-encapsulated space 11.

第1型枠2は、金属、合金、セラミックス、樹脂、木質など種々の素材で形成されればよい。耐久性と強度が十分に実現できる素材であればよい。また、第1型枠2は、第2型枠3と共に使用されるので、第2型枠3との組み合わせができる形状、大きさである。   The first mold 2 may be formed of various materials such as metal, alloy, ceramics, resin, and wood. Any material can be used as long as durability and strength can be sufficiently realized. Further, since the first mold 2 is used together with the second mold 3, the first mold 2 has a shape and size that can be combined with the second mold 3.

(第2型枠3)
第2型枠3は、第1型枠とセットで用いられる。第2型枠3も第1型枠2と同様の素材で形成されればよい。また、その形状および大きさも、第1型枠2との組み合わせに対応していればよい。
(Second formwork 3)
The second mold 3 is used as a set with the first mold. The second mold 3 may be formed of the same material as the first mold 2. Moreover, the shape and size should just also respond | correspond to the combination with the 1st mold frame 2. FIG.

第2型枠3は、外部型5と中間型4との組み合わせを有する。この2つの要素が組み合わされることで、フィルム330を、少ない折れ曲がりでクランプできる。少ない折れ曲がりでクランプできることで、フィルム330への負荷を軽減できる。   The second mold 3 has a combination of the external mold 5 and the intermediate mold 4. By combining these two elements, the film 330 can be clamped with few bends. Since it can clamp with few bends, the load on the film 330 can be reduced.

また、外部型5と中間型4との組み合わせは、凸部51と挿入孔42とによる。このとき、挿入孔42と凸部51との大きさが、露出部材101の露出させるべき露出表面103に相当する。この結果、露出表面103と凸部51とによって挟まれるフィルム330は、露出表面103に相当する範囲でクランプされる。この結果、フィルム330に対する負荷が軽減される。また、上述したように、フィルム330の必要量が低減する。   Further, the combination of the external mold 5 and the intermediate mold 4 depends on the convex portion 51 and the insertion hole 42. At this time, the size of the insertion hole 42 and the convex portion 51 corresponds to the exposed surface 103 of the exposed member 101 to be exposed. As a result, the film 330 sandwiched between the exposed surface 103 and the convex portion 51 is clamped in a range corresponding to the exposed surface 103. As a result, the load on the film 330 is reduced. Further, as described above, the required amount of the film 330 is reduced.

(フィルム330)
フィルム330は、図9に示されるように、外部型5と中間型4とによって挟まれて設置される。このとき、凸部51表面と露出表面103との間に、フィルム330が設置される。すなわち、フィルム330は、凸部51表面と露出表面103との間で挟まれてクランプされる。
(Film 330)
As shown in FIG. 9, the film 330 is placed between the external mold 5 and the intermediate mold 4. At this time, the film 330 is placed between the surface of the convex portion 51 and the exposed surface 103. That is, the film 330 is sandwiched and clamped between the surface of the convex portion 51 and the exposed surface 103.

ここで、凸部51と露出表面103とは、略同一であるので、フィルム330は、露出表面103の面積に合わせた範囲でクランプされる。このため、フィルム330の必要量が少なくて済む。また、クランプによる負荷も低減される。   Here, since the convex portion 51 and the exposed surface 103 are substantially the same, the film 330 is clamped in a range that matches the area of the exposed surface 103. For this reason, the required amount of the film 330 is small. Also, the load due to the clamp is reduced.

外部型5と中間型4との間に設置されるフィルム330の幅は、露出表103の幅と略同一もしくは若干量の大きい幅である。図9などでは、若干量大きい幅として示されている。この程度の幅であることで、フィルム330の使用量が少なくできる。また、フィルム330は、凸部51表面と露出表面103とによって挟まれるので、フィルム330の幅は、この程度で十分である。   The width of the film 330 installed between the external mold 5 and the intermediate mold 4 is substantially the same as the width of the exposure table 103 or a width that is slightly larger. In FIG. 9 and the like, it is shown as a slightly larger width. By using this width, the amount of film 330 used can be reduced. Further, since the film 330 is sandwiched between the surface of the convex portion 51 and the exposed surface 103, this width is sufficient for the film 330.

また、フィルム330が、凸部51と露出表面103とで挟まれることで、フィルム330の折れ曲がり部分が少なくなり、フィルム330に余分なストレスが加わるのを低減できる。   Further, since the film 330 is sandwiched between the convex portion 51 and the exposed surface 103, the bent portion of the film 330 is reduced, and it is possible to reduce the extra stress applied to the film 330.

ここで、若干量は、露出表面103の両端のそれぞれで1mm以下であることが好ましい。1mm以下であることで、十分なクランプができつつも、不要なフィルム330の使用量を抑えることができるからである。また、折れ曲がりや両端からの引き張り圧力を軽減できるからである。   Here, the amount is preferably 1 mm or less at each of both ends of the exposed surface 103. It is because the usage-amount of the unnecessary film 330 can be suppressed, although sufficient clamping can be performed because it is 1 mm or less. Moreover, it is because bending pressure and tension pressure from both ends can be reduced.

これらの軽減によって、フィルム330が破損したり浮いたりすることを防止でき、露出表面103への樹脂の付着を確実に防止できる。   By these reductions, the film 330 can be prevented from being broken or floated, and the adhesion of the resin to the exposed surface 103 can be reliably prevented.

以上のように実施の形態1における封止型1は、従来技術その1、その2の問題点を解決できる。結果として、コストを低減しつつ、製造精度を高めて、露出部材101の露出表面103を確実に露出して封止対象物を樹脂封止できる。   As described above, the sealing mold 1 according to the first embodiment can solve the problems of the conventional techniques 1 and 2. As a result, the manufacturing accuracy can be improved while reducing the cost, and the exposed surface 103 of the exposed member 101 can be reliably exposed to seal the sealing object.

(実施の形態2) (Embodiment 2)

次に、実施の形態2について説明する。
(樹脂注入口)
図14は、本発明の実施の形態2における封止型の側面図である。図14に示される封止型1は、樹脂封止空間11に樹脂を注入する樹脂注入口12を更に備える。樹脂注入口12を介して、外部から樹脂が注入される。樹脂の注入によって、樹脂封止空間11内部が樹脂で充填される。充填された樹脂が硬化することで、樹脂封止が完了する。
Next, a second embodiment will be described.
(Resin inlet)
FIG. 14 is a side view of a sealing mold according to the second embodiment of the present invention. The sealing mold 1 shown in FIG. 14 further includes a resin injection port 12 for injecting resin into the resin sealing space 11. Resin is injected from the outside through the resin injection port 12. By injecting the resin, the inside of the resin sealing space 11 is filled with the resin. Resin sealing is completed when the filled resin is cured.

図14では、第1型枠2および第2型枠3のいずれにも樹脂注入口12が示されている。樹脂封止空間11内部に樹脂を充填できる構造であれば、樹脂注入口12は、第1型枠2もしくは第2型枠3のいずれかに設けられることでもよい。   In FIG. 14, the resin injection port 12 is shown in both the first mold 2 and the second mold 3. As long as the resin sealing space 11 can be filled with resin, the resin injection port 12 may be provided in either the first mold 2 or the second mold 3.

樹脂注入口12は、外部から樹脂を注入できるように外部と連通する。このとき、樹脂が充填された後で、樹脂封止空間11が密封されるように、樹脂注入口12が閉鎖される構造であってもよい。   The resin injection port 12 communicates with the outside so that the resin can be injected from the outside. At this time, the resin injection port 12 may be closed so that the resin sealing space 11 is sealed after the resin is filled.

樹脂注入口12は、単数でもよいし、複数でもよい。例えば、第1型枠2に複数の樹脂注入口12が設けられる構造でもよい。また、第2型枠3に設けられる場合には、外部型5、中間型4のいずれに設けられてもよい。外部型5と中間型4との合わせ目に、樹脂注入口12が設けられてもよい。   The resin injection port 12 may be single or plural. For example, a structure in which a plurality of resin injection ports 12 are provided in the first mold 2 may be used. Further, when provided in the second mold 3, it may be provided in either the external mold 5 or the intermediate mold 4. A resin injection port 12 may be provided at the joint of the external mold 5 and the intermediate mold 4.

(吸引空気によるフィルムの固定)
図15は、本発明の実施の形態2における封止型の側面図である。図15に示される封止型1では、外部型5が、空気孔13を備える。空気孔13は、外部型5の外部と内部とに連通しており、フィルム330が設置される部分に重なっている。空気孔13は、吹き出し空気を通すことができる。吹き出し空気は、フィルム330を露出表面103に押し付ける。
(Fixing the film with suction air)
FIG. 15 is a side view of the sealing mold according to the second embodiment of the present invention. In the sealing mold 1 shown in FIG. 15, the external mold 5 includes air holes 13. The air hole 13 communicates with the outside and the inside of the external mold 5 and overlaps a portion where the film 330 is installed. The air holes 13 can pass the blown air. The blown air presses the film 330 against the exposed surface 103.

この押し付けによって、フィルム330は、確実に露出表面103に接触して、露出表面103に樹脂が入り込むことを防止できる。結果として、露出表面103を確実に露出させた状態で樹脂封止を行える。   By this pressing, the film 330 can reliably contact the exposed surface 103 and prevent the resin from entering the exposed surface 103. As a result, resin sealing can be performed with the exposed surface 103 being reliably exposed.

空気孔13は、外部の空気発生装置と接続されており、この空気発生装置で発生された吹き出し空気をフィルム330に吹き付ける。空気孔13の数は単数でも複数でもよい。   The air holes 13 are connected to an external air generator, and blown air generated by the air generator is blown onto the film 330. The number of air holes 13 may be singular or plural.

(空気孔による吸引空気)
空気孔13は、吹き出し空気だけでなく、吸引空気を送ることもできる。吸引空気が送られることで、フィルム330は、外部型5に引き寄せられる。外部型5に引き寄せられることで、フィルム330は、露出部材101の露出表面103から外れやすくなる。
(Suction air through air holes)
The air holes 13 can send not only blown air but also suction air. By sending suction air, the film 330 is drawn to the external mold 5. The film 330 is easily detached from the exposed surface 103 of the exposed member 101 by being attracted to the external mold 5.

第1型枠2および第2型枠3が取り外される際には、フィルム330も取り外されることが必要である。樹脂封止が終了しているからである。このとき、外部型5の外側から吸引空気でフィルム330が外部型5に引き寄せられることで、フィルム330は、露出表面103から取り外しがしやすくなる。すなわち、フィルム330の取り外しの補助ができる。   When the first mold 2 and the second mold 3 are removed, the film 330 needs to be removed. This is because the resin sealing is completed. At this time, the film 330 can be easily detached from the exposed surface 103 because the film 330 is attracted to the external mold 5 by suction air from the outside of the external mold 5. That is, removal of the film 330 can be assisted.

(押し出し部材の挿入)
図16は、本発明の実施の形態2における押し出し部材の挿入されている状態の封止型の側面図である。封止型1の外部型5は、上述の通り、空気孔13を備える。
(Insert extruded member)
FIG. 16 is a side view of a sealing mold in a state where an extrusion member is inserted according to the second embodiment of the present invention. The external mold 5 of the sealing mold 1 includes the air holes 13 as described above.

この空気孔13は、封止対象物を樹脂封止空間11から取り出す押し出し部材14を挿入可能である。図16は、この押し出し部材14が挿入されている状態を示している。なお、図の見易さのために、空気孔13の一方のみに押し出し部材14が挿入されているが、両方に押し出し部材14が挿入されてもよい。   This air hole 13 can be inserted with an extruding member 14 for taking out the object to be sealed from the resin sealing space 11. FIG. 16 shows a state where the pushing member 14 is inserted. In addition, although the extruding member 14 is inserted into only one of the air holes 13 for easy viewing of the drawing, the extruding member 14 may be inserted into both.

押し出し部材14は、空気孔13に挿入されて、露出部材101に到達できる。露出部材101に到達できると、押し出し部材14は、露出部材101を含めて封止対象物を押すことができる。押すことで、樹脂封止空間11から封止後の封止対象物が取り外されやすくなる。   The pushing member 14 can be inserted into the air hole 13 and reach the exposed member 101. When the exposed member 101 can be reached, the pushing member 14 can push the object to be sealed including the exposed member 101. By pushing, the sealed object after sealing is easily removed from the resin sealing space 11.

(押さえ部材)
図17は、本発明の実施の形態2における押さえ部材によって封止対象物を押さえ固定できる封止枠の側面図である。
(Presser member)
FIG. 17 is a side view of a sealing frame that can hold and fix an object to be sealed by a pressing member according to Embodiment 2 of the present invention.

第1型枠2は、樹脂封止空間11にある封止対象物を押さえる押さえ部材16を挿入可能な押さえ部材挿入孔15を備えることも好適である。図17では、第1型枠2の下側から上に向けて押さえ部材16を挿入可能なように、押さえ部材挿入孔15が設けられている。   It is also preferable that the first mold frame 2 includes a pressing member insertion hole 15 into which a pressing member 16 that presses the object to be sealed in the resin sealing space 11 can be inserted. In FIG. 17, a pressing member insertion hole 15 is provided so that the pressing member 16 can be inserted upward from the lower side of the first mold 2.

押さえ部材16は、押さえ部材挿入孔15に挿入されて封止対象物を押さえる。このとき、樹脂封止空間11に樹脂が注入される前であれば、図17の左側の押さえ部材16のように、実装基板102の裏側を押さえる。すなわち、封止対象物を直接押さえる。   The pressing member 16 is inserted into the pressing member insertion hole 15 and presses the object to be sealed. At this time, if the resin is not injected into the resin sealing space 11, the back side of the mounting substrate 102 is pressed like the pressing member 16 on the left side of FIG. That is, the object to be sealed is pressed directly.

逆に、樹脂が注入された後であれば、図17の右側に挿入されている押さえ部材16のように、樹脂が注入された後の樹脂の表面から押さえる。   Conversely, after the resin is injected, the resin is pressed from the surface of the resin after the resin is injected, like the pressing member 16 inserted on the right side of FIG.

いずれの場合でも、樹脂封止空間の封止対象物の固定を強化でき、樹脂封止時の実装基板102の変形などを防止でき、樹脂封止の封止強度や密度を上げることもできる。   In any case, it is possible to strengthen the fixation of the object to be sealed in the resin sealing space, to prevent deformation of the mounting substrate 102 at the time of resin sealing, and to increase the sealing strength and density of the resin sealing.

(第1型枠)
第1型枠2も、第2型枠3と同様に、外部型と中間型とによって構成されてもよい。この場合には、第1型枠2も、図9の第2型枠3と同じ構成となる。このような場合には、図18のような上下に電子部品100および露出部材101が実装されている封止対象物に対しても、封止を行うことができる。
(First formwork)
Similarly to the second mold 3, the first mold 2 may be constituted by an external mold and an intermediate mold. In this case, the first mold 2 also has the same configuration as the second mold 3 in FIG. In such a case, it is possible to perform sealing even on an object to be sealed on which the electronic component 100 and the exposed member 101 are mounted vertically as shown in FIG.

図18は、本発明の実施の形態2における第1型枠が外部型と中間型を備える構成の封止型の側面図である。   FIG. 18 is a side view of a sealing mold having a configuration in which the first mold according to the second embodiment of the present invention includes an external mold and an intermediate mold.

図18に示される通り、第1型枠2も外部型25と中間型24とを備える。この構成によって、第1型枠2側に電子部品100や露出部材101が実装されていても、フィルム330を設置でき、フィルム330によっておおわれた露出部材101の露出表面103を露出させつつ、樹脂封止できる。   As shown in FIG. 18, the first mold 2 also includes an external mold 25 and an intermediate mold 24. With this configuration, even if the electronic component 100 and the exposed member 101 are mounted on the first mold 2 side, the film 330 can be installed, and the exposed surface 103 of the exposed member 101 covered with the film 330 is exposed while the resin sealing is performed. You can stop.

第1型枠2を構成する外部型25と中間型24の詳細や機能については、第2型枠3を構成する外部型5および中間型4と同様である。   Details and functions of the external mold 25 and the intermediate mold 24 constituting the first mold 2 are the same as those of the external mold 5 and the intermediate mold 4 constituting the second mold 3.

なお、実施の形態1、2のいずれの場合でも、第1型枠2と第2型枠3との上下関係や左右関係などはいずれでもよい。   In any case of the first and second embodiments, the vertical relationship and the horizontal relationship between the first mold 2 and the second mold 3 may be any.

以上のように、実施の形態2の封止型は、樹脂封止の精度を向上させて、封止時の処理手順のレベルアップを図ることができる。   As described above, the sealing mold of the second embodiment can improve the accuracy of resin sealing and can improve the level of the processing procedure during sealing.

(実施の形態3)
次に、実施の形態3について説明する。図19は、本発明の実施の形態3における樹脂封止装置の模式図である。
(Embodiment 3)
Next, Embodiment 3 will be described. FIG. 19 is a schematic diagram of a resin sealing device according to Embodiment 3 of the present invention.

樹脂封止装置500は、実施の形態1、2で説明された封止型1と、樹脂供給部510と、圧力付与部520と、を備える。封止型1については、実施の形態1、2で説明した通りの構成、機能を有する。図19では、封止型1の一例が図示されているが、この一例に限られるものではなく、また、図の見易さのため、すでに説明した符号の一部については記していない。   The resin sealing device 500 includes the sealing mold 1 described in the first and second embodiments, a resin supply unit 510, and a pressure applying unit 520. The sealing mold 1 has the configuration and functions as described in the first and second embodiments. In FIG. 19, an example of the sealing mold 1 is illustrated. However, the present invention is not limited to this example, and some of the reference numerals already described are not shown for easy viewing of the drawing.

樹脂供給部510は、樹脂注入口12を通じて、樹脂封止空間11に樹脂を供給する。樹脂の供給方法は種々あってよく、樹脂封止空間11に樹脂を充填できる方法で供給されればよい。   The resin supply unit 510 supplies resin to the resin sealing space 11 through the resin injection port 12. There are various methods for supplying the resin, and it is only necessary to supply the resin by a method capable of filling the resin sealing space 11 with the resin.

樹脂供給部510は、封止型1と近接していてもよいし、遠隔していてもよい。樹脂封止装置500の設置場所や構成によって、定められれば良い。   The resin supply unit 510 may be close to the sealing mold 1 or may be remote. What is necessary is just to be decided by the installation place and structure of the resin sealing apparatus 500.

圧力付与部520は、第1型枠2と第2型枠3とを組み合わせる。この組み合わせによって、樹脂封止空間11が形成されると共に、フィルム330によっておおわれた露出表面103に樹脂が入り込まないようにできる。樹脂が入り込まないことで、露出表面103は、最終的に露出された状態で、樹脂層が形成できる。   The pressure applying unit 520 combines the first mold 2 and the second mold 3. By this combination, the resin sealing space 11 is formed and the resin can be prevented from entering the exposed surface 103 covered with the film 330. Since the resin does not enter, the exposed surface 103 can be formed in a state where the exposed surface 103 is finally exposed.

また、図19には図示されていないが、必要に応じて、フィルム330や封止対象物を設置する機構や、時間や温度を計測する種々のセンサーが備わっていることも好適である。必要な要素が更に備わることで、樹脂封止装置500としての機能が更に拡張されるからである。   Although not shown in FIG. 19, it is also preferable that a mechanism for installing the film 330 and the sealing target and various sensors for measuring time and temperature are provided as necessary. It is because the function as the resin sealing device 500 is further expanded by further providing necessary elements.

実施の形態3の樹脂封止装置500は、実施の形態1、2で説明したような効果を有して、従来技術その1、その2の問題を解消できる。   The resin sealing device 500 according to the third embodiment has the effects as described in the first and second embodiments, and can solve the problems of the prior arts 1 and 2.

なお、実施の形態1〜3で説明された樹脂封止装置、樹脂封止システムは、本発明の趣旨を説明する一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲での変形や改造を含む。   The resin sealing device and the resin sealing system described in the first to third embodiments are examples for explaining the gist of the present invention, and include modifications and modifications without departing from the gist of the present invention.

1 封止型
2 第1型枠
21 第1凹部
3 第2型枠
4 中間型
41 第2凹部
42 挿入孔
5 外部型
51 凸部
11 樹脂封止空間
12 樹脂注入口
13 空気孔
14 押し出し部材
15 押さえ部材挿入孔
16 押さえ部材
100 電子部品
101 露出部材
102 実装基板
103 露出表面
200 樹脂層
500 樹脂封止装置
510 樹脂供給部
520 圧力付与部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sealing mold 2 1st mold frame 21 1st recessed part 3 2nd mold frame 4 Intermediate | middle mold 41 2nd recessed part 42 Insertion hole 5 External type | mold 51 Convex part 11 Resin sealing space 12 Resin inlet 13 Air hole 14 Extrusion member 15 Holding member insertion hole 16 Holding member 100 Electronic component 101 Exposed member 102 Mounting substrate 103 Exposed surface 200 Resin layer 500 Resin sealing device 510 Resin supply unit 520 Pressure applying unit

Claims (8)

封止対象物の一方から取り付けられる第1型枠と、
前記封止対象物の他方から取り付けられ、前記第1型枠と対になって組み合わされる第2型枠と、を備え、
前記封止対象物は、電子部品とこれに積層された露出部材とを有し、
前記第1型枠は、前記封止対象物の周囲に樹脂封止空間の一部を形成する第1凹部を有し、
前記第2型枠は、外部型と中間型とを有し、
前記中間型は、前記第1凹部と対になる第2凹部を有すると共に、前記外部型が挿入される挿入孔を有し、
前記中間型は、前記封止対象物を介して、前記第1型枠と組み合わされ、
前記外部型は、前記挿入孔に挿入される凸部を有して、前記中間型と組み合わされ、
前記第2凹部は、前記封止対象物の外周に樹脂封止空間の一部を形成し、
前記凸部の表面(凸部表面)は、前記露出部材の露出表面に略一致し、
フィルムが、前記外部型と前記中間型との間に挟まれて設置され、
前記フィルムの幅は、前記露出表面の幅よりも若干量の分大きい幅であり、
前記フィルムは前記凸部と前記挿入孔との間にクランプされ、
前記中間型が前記封止対象物を介して、前記第1型枠と組み合わされる時、前記凸部表面と前記露出表面との間に前記フィルムが設置された状態となり、前記フィルムは前記凸部によって前記露出表面と対向して接触する、樹脂封止装置用の封止型。
A first formwork attached from one of the objects to be sealed;
A second mold that is attached from the other of the objects to be sealed and combined with the first mold in a pair;
The sealing object has an electronic component and an exposed member laminated thereon,
The first mold has a first recess that forms part of a resin sealing space around the object to be sealed;
The second mold has an external mold and an intermediate mold,
The intermediate mold has a second recess paired with the first recess, and an insertion hole into which the external mold is inserted,
The intermediate mold is combined with the first mold frame through the sealing object,
The external mold has a convex portion inserted into the insertion hole, and is combined with the intermediate mold,
The second recess forms a part of the resin sealing space on the outer periphery of the object to be sealed,
The surface of the convex part (convex part surface) substantially coincides with the exposed surface of the exposed member ,
A film is placed between the external mold and the intermediate mold,
The width of the film is a width that is slightly larger than the width of the exposed surface,
The film is clamped between the convex portion and the insertion hole,
When the intermediate mold is combined with the first mold frame via the sealing object, the film is placed between the convex surface and the exposed surface, and the film is the convex portion wherein contact the exposed surface and opposite to, sealing type resin sealing apparatus by.
前記若干量は、前記露出表面の両端のそれぞれで1mm以下である、請求項記載の樹脂封止装置用の封止型。 The small amount is 1mm or less in each of both ends of the exposed surface, the sealing mold for resin sealing apparatus according to claim 1. 前記樹脂封止空間に樹脂を注入する樹脂注入口を更に備える、請求項1または2記載の樹脂封止装置用の封止型。 Further comprising a resin injection port for injecting a resin into the resin sealing space, according to claim 1 or 2 sealing type resin sealing apparatus according. 前記外部型は、前記フィルムを前記露出表面に押し当てる吹き出し空気を通す、空気孔を備え
前記空気孔は、前記封止対象物を前記樹脂封止空間から取り出すことを補助する、吸引空気を送ることが可能であるとともに前記封止対象物を前記樹脂封止空間から取り出す押し出し部材を挿入可能である、請求項からのいずれか記載の樹脂封止装置用の封止型。
The external mold includes air holes through which blown air that presses the film against the exposed surface is passed ,
The air hole inserts an extruding member that is capable of sending suction air and assists in taking out the sealing object from the resin sealing space and takes out the sealing object from the resin sealing space. can Ru der, sealing type resin sealing apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記第1型枠は、前記樹脂封止空間にある前記封止対象物を押さえる押さえ部材を挿入可能な押さえ部材挿入部を、備える、請求項1からのいずれか記載の樹脂封止装置用の封止型。 The first-type frame, the resin sealing in the space the sealing object can be inserted pressing member for pressing a pressing member insertion portion includes, for resin sealing apparatus according to any one of claims 1 to 4 Sealing type. 前記第1型枠および前記第2型枠のそれぞれは、前記封止対象物の上下のいずれかに配置され、いずれが上側であってもよい、請求項1からのいずれか記載の樹脂封止装置用の封止型。 Each of the said 1st formwork and the said 2nd formwork is arrange | positioned in any one of the upper and lower sides of the said sealing object, and any may be an upper side, The resin sealing in any one of Claim 1 to 5 Sealing type for fastening devices. 前記第1型枠も、前記外部型および前記中間型を有する、請求項1からのいずれか記載の樹脂封止装置用の封止型。 The sealing mold for a resin sealing device according to any one of claims 1 to 6 , wherein the first mold also includes the external mold and the intermediate mold. 請求項1からのいずれか記載の樹脂封止装置用の封止型と、
前記樹脂封止空間に樹脂を供給する樹脂供給部と、
前記第1型枠および前記第2型枠に圧力を付与する圧力付与部と、を備える、樹脂封止装置。
A sealing mold for a resin sealing device according to any one of claims 1 to 7 ,
A resin supply section for supplying resin to the resin sealing space;
A resin sealing device comprising: a pressure applying unit that applies pressure to the first mold and the second mold.
JP2017142474A 2017-07-24 2017-07-24 Sealing type for resin sealing equipment Active JP6416996B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017142474A JP6416996B1 (en) 2017-07-24 2017-07-24 Sealing type for resin sealing equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017142474A JP6416996B1 (en) 2017-07-24 2017-07-24 Sealing type for resin sealing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6416996B1 true JP6416996B1 (en) 2018-10-31
JP2019024032A JP2019024032A (en) 2019-02-14

Family

ID=64017223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017142474A Active JP6416996B1 (en) 2017-07-24 2017-07-24 Sealing type for resin sealing equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6416996B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7226258B2 (en) * 2019-11-12 2023-02-21 株式会社デンソー Semiconductor module manufacturing method

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298302A (en) * 1995-02-27 1996-11-12 Seiko Epson Corp Resin sealed semiconductor device
JPH10223669A (en) * 1997-02-12 1998-08-21 Oki Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for sealing semiconductor device with resin
JPH11274196A (en) * 1998-03-26 1999-10-08 Seiko Epson Corp Manufacture of semiconductor device, molding system and the semiconductor device
JP2000280298A (en) * 1999-04-01 2000-10-10 Nec Corp Resin sealing mold for semiconductor element and resin sealing method of semiconductor device
JP2001267469A (en) * 2000-03-16 2001-09-28 Denso Corp Resin sealing semiconductor device
JP2004003024A (en) * 2003-05-21 2004-01-08 Hitachi Ltd Composite material, heat slinger for semiconductor device using it, and semiconductor device
JP2007125783A (en) * 2005-11-04 2007-05-24 Towa Corp Resin sealing molding apparatus for electronic component
JP2011119638A (en) * 2009-12-01 2011-06-16 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Apparatus for manufacturing electronic component, and method for manufacturing electronic component
JP2013123063A (en) * 2013-01-17 2013-06-20 Apic Yamada Corp Transfer molding mold and transfer molding apparatus using the same
JP2017028040A (en) * 2015-07-21 2017-02-02 トヨタ自動車株式会社 Semiconductor device

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298302A (en) * 1995-02-27 1996-11-12 Seiko Epson Corp Resin sealed semiconductor device
JPH10223669A (en) * 1997-02-12 1998-08-21 Oki Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for sealing semiconductor device with resin
JPH11274196A (en) * 1998-03-26 1999-10-08 Seiko Epson Corp Manufacture of semiconductor device, molding system and the semiconductor device
JP2000280298A (en) * 1999-04-01 2000-10-10 Nec Corp Resin sealing mold for semiconductor element and resin sealing method of semiconductor device
JP2001267469A (en) * 2000-03-16 2001-09-28 Denso Corp Resin sealing semiconductor device
JP2004003024A (en) * 2003-05-21 2004-01-08 Hitachi Ltd Composite material, heat slinger for semiconductor device using it, and semiconductor device
JP2007125783A (en) * 2005-11-04 2007-05-24 Towa Corp Resin sealing molding apparatus for electronic component
JP2011119638A (en) * 2009-12-01 2011-06-16 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Apparatus for manufacturing electronic component, and method for manufacturing electronic component
JP2013123063A (en) * 2013-01-17 2013-06-20 Apic Yamada Corp Transfer molding mold and transfer molding apparatus using the same
JP2017028040A (en) * 2015-07-21 2017-02-02 トヨタ自動車株式会社 Semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019024032A (en) 2019-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100198685B1 (en) Method and apparatus for encapsulating a semiconductor device
US6483039B2 (en) Substrate of semiconductor package
US7037760B2 (en) Fabrication method of semiconductor integrated circuit device
US7595017B2 (en) Method for using a pre-formed film in a transfer molding process for an integrated circuit
US6630374B2 (en) Resin sealing method and resin sealing apparatus
JP6416996B1 (en) Sealing type for resin sealing equipment
US6090237A (en) Apparatus for restraining adhesive overflow in a multilayer substrate assembly during lamination
JP3129660B2 (en) Resin sealing method and resin sealing device for SON package
JP5786918B2 (en) Resin sealing mold, resin sealing device using the same, and resin sealing method
JPH0724273B2 (en) Method of manufacturing module for IC card
JPH07193178A (en) Method and equipment for molding package of integrated circuit
JP5234884B2 (en) Resin sealing mold
JP2003188200A (en) Semiconductor device and its manufacturing method
JP2005085832A (en) Resin molding apparatus
US20160133539A1 (en) Mold package and manufacturing method thereof
JP3226244B2 (en) Resin-sealed semiconductor device
JP2006007506A5 (en)
KR100194361B1 (en) PCB Clamp Device of Package Molding Mold for BGA Semiconductor Package
JP3304513B2 (en) Semiconductor device with heat radiator and method of manufacturing the same
JP3886327B2 (en) Semiconductor device resin sealing method and resin sealing device
JP2009023239A (en) Resin mold die
US7998794B2 (en) Resin molded semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2006066486A (en) Resin sealing mold
IT202100020555A1 (en) PROCEDURE FOR PRODUCING SUBSTRATES FOR SEMICONDUCTOR DEVICES, MATCHING SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
JP3790488B2 (en) Resin sealing mold

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180822

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181002

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181004

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6416996

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150