JP6413269B2 - Circuit device, detection device, and electronic apparatus - Google Patents

Circuit device, detection device, and electronic apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP6413269B2
JP6413269B2 JP2014056092A JP2014056092A JP6413269B2 JP 6413269 B2 JP6413269 B2 JP 6413269B2 JP 2014056092 A JP2014056092 A JP 2014056092A JP 2014056092 A JP2014056092 A JP 2014056092A JP 6413269 B2 JP6413269 B2 JP 6413269B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
input
period
switch element
signal
node
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014056092A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015179934A (en
Inventor
伝 日向
伝 日向
大西 幸太
幸太 大西
ちひろ 福本
ちひろ 福本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2014056092A priority Critical patent/JP6413269B2/en
Publication of JP2015179934A publication Critical patent/JP2015179934A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6413269B2 publication Critical patent/JP6413269B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Analogue/Digital Conversion (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Description

本発明は、回路装置、検出装置及び電子機等に関する。 The present invention, circuit devices, the detection device and an electronic equipment or the like.

スイッチドキャパシター回路を用いた増幅回路(以下、チョッパーアンプと呼ぶ)において、演算増幅回路のオフセット電圧をキャンセルする手法が知られている。例えば特許文献1には、その図2(A)、図2(B)に示すスイッチドキャパシター動作を行うことで、2入力の差分をオフセットフリーで増幅する手法が記載されている。   In an amplifier circuit using a switched capacitor circuit (hereinafter referred to as a chopper amplifier), a technique for canceling an offset voltage of an operational amplifier circuit is known. For example, Patent Document 1 describes a method of amplifying a difference between two inputs in an offset-free manner by performing a switched capacitor operation shown in FIGS. 2 (A) and 2 (B).

特開2012−44347号公報JP 2012-44347 A

上記の手法によりオフセット電圧をキャンセルできるが、例えば電荷漏れ等の要因により、チョッパーアンプには微小なオフセット電圧が残ってしまう。このような、残存する微小なオフセットまでキャンセルするためには、チョッパーアンプの入力をショートしてオフセットを測定する必要がある。   Although the offset voltage can be canceled by the above method, for example, a minute offset voltage remains in the chopper amplifier due to factors such as charge leakage. In order to cancel such a minute offset that remains, it is necessary to short-circuit the input of the chopper amplifier and measure the offset.

しかしながら、入力をショートするためには、チョッパーアンプの前に入力をショートするためのトランジスターを設ける必要がある。このようなトランジスターを追加すると、寄生容量が新たに追加されるため、例えば容量比で決まるチョッパーアンプのゲインが変動する等の影響がある。   However, in order to short-circuit the input, it is necessary to provide a transistor for short-circuiting the input before the chopper amplifier. When such a transistor is added, a parasitic capacitance is newly added. For example, the gain of the chopper amplifier determined by the capacitance ratio is affected.

本発明の幾つかの態様によれば、新たな素子を加えることなく入力ショートが可能な回路装置、検出装置、電子機器及び回路装置の作動方法等を提供できる。   According to some aspects of the present invention, it is possible to provide a circuit device, a detection device, an electronic device, an operation method of the circuit device, and the like that can perform an input short without adding a new element.

本発明の一態様は、第1の信号が入力される第1の入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1のスイッチ素子と、第2の信号が入力される第2の入力ノードと前記第1のノードとの間に設けられる第2のスイッチ素子と、第1の入力期間において前記第1のノードに入力される信号と第2の入力期間において前記第1のノードに入力される信号との差分に対応する出力信号を出力する差動増幅回路と、前記第1のノードと前記差動増幅回路の第1の入力端子との間に設けられる第1のキャパシターと、を含み、第1の期間では、前記第1の入力期間において、前記第1のスイッチ素子がオンになり、前記第1のスイッチ素子を介して前記第1の信号が前記第1のノードに入力され、前記第2の入力期間において、前記第2のスイッチ素子がオンになり、前記第2のスイッチ素子を介して前記第2の信号が前記第1のノードに入力され、第2の期間では、前記第1の入力期間及び前記第2の入力期間の両方において、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子のうち一方のスイッチ素子がオンになり、前記第1の信号及び第2信号のうち前記一方のスイッチ素子に対応する一方の信号が、前記一方のスイッチ素子を介して前記第1のノードに入力される回路装置に関係する。   According to one embodiment of the present invention, a first switch element provided between a first input node to which a first signal is input and the first node, and a second input to which a second signal is input A second switch element provided between the node and the first node; a signal input to the first node in a first input period; and an input to the first node in a second input period A differential amplifier circuit that outputs an output signal corresponding to a difference between the first node and a first capacitor provided between the first node and a first input terminal of the differential amplifier circuit; In the first period, in the first input period, the first switch element is turned on, and the first signal is input to the first node via the first switch element. , In the second input period, the second switch A child is turned on, and the second signal is input to the first node through the second switch element, and in the second period, the first input period and the second input period In both, one of the first switch element and the second switch element is turned on, and one of the first signal and the second signal corresponding to the one switch element is , And a circuit device that is input to the first node via the one switch element.

本発明の一態様によれば、第1の期間では、第1の入力期間において第1のスイッチ素子がオンになる。一方、第2の期間では、第1の入力期間及び第2の入力期間において第1のスイッチ素子及び第2のスイッチ素子の一方がオンになる。このように、第1のスイッチ素子と第2のスイッチ素子のオン・オフ制御を変えることで、新たな素子を加えることなく入力ショートが可能になる。   According to one embodiment of the present invention, in the first period, the first switch element is turned on in the first input period. On the other hand, in the second period, one of the first switch element and the second switch element is turned on in the first input period and the second input period. Thus, by changing the on / off control of the first switch element and the second switch element, an input short-circuit can be achieved without adding a new element.

また本発明の一態様では、前記第1の期間での前記差動増幅回路の前記出力信号を第1の出力データにA/D変換し、前記第2の期間での前記差動増幅回路の前記出力信号を第2の出力データにA/D変換するA/D変換回路と、前記第2の出力データを記憶する記憶部と、前記第1の出力データを、前記記憶部に記憶された前記第2の出力データに基づいて補正する制御部と、を含んでもよい。   In one embodiment of the present invention, the output signal of the differential amplifier circuit in the first period is A / D converted into first output data, and the differential amplifier circuit in the second period An A / D conversion circuit for A / D converting the output signal into second output data, a storage unit for storing the second output data, and the first output data stored in the storage unit And a controller that corrects based on the second output data.

このように、A/D変換回路と記憶部を設けることで、第2の期間で得られた第2の出力データを一旦記憶できる。そして、第2の期間とは異なる第1の期間で得られた第1の出力データを、記憶部に記憶された第2の出力データを使って補正できる。第2の出力データは、A/D変換回路に入力される信号に含まれたオフセットに対応し、この第2の出力データで補正することでオフセットを補正できる。   Thus, by providing the A / D conversion circuit and the storage unit, the second output data obtained in the second period can be temporarily stored. Then, the first output data obtained in the first period different from the second period can be corrected using the second output data stored in the storage unit. The second output data corresponds to the offset included in the signal input to the A / D conversion circuit, and the offset can be corrected by correcting with the second output data.

また本発明の一態様では、前記差動増幅回路の前記出力信号を所与のゲインで増幅する増幅回路と、前記第1の期間での前記増幅回路の前記出力信号を第1の出力データにA/D変換し、前記第2の期間での前記増幅回路の前記出力信号を第2の出力データにA/D変換するA/D変換回路と、前記第2の出力データを記憶する記憶部と、前記第1の出力データを、前記記憶部に記憶された前記第2の出力データに基づいて補正する制御部と、を含んでもよい。   In one embodiment of the present invention, an amplifier circuit that amplifies the output signal of the differential amplifier circuit with a given gain, and the output signal of the amplifier circuit in the first period is converted into first output data. An A / D conversion circuit that performs A / D conversion and A / D converts the output signal of the amplifier circuit in the second period into second output data, and a storage unit that stores the second output data And a control unit that corrects the first output data based on the second output data stored in the storage unit.

A/D変換回路に入力される信号には、増幅回路のオフセットを含めた系全体のオフセットが含まれる。即ち、第2の期間では系全体のオフセットをA/D変換した第2の出力データが得られ、その第2の出力データで補正することで系全体のオフセットを補正できる。   The signal input to the A / D conversion circuit includes the offset of the entire system including the offset of the amplifier circuit. That is, in the second period, second output data obtained by A / D-converting the offset of the entire system is obtained, and the offset of the entire system can be corrected by correcting with the second output data.

また本発明の一態様では、前記増幅回路は、第1〜第nのゲインを前記所与のゲインとして前記出力信号を増幅し、前記記憶部は、前記第1〜第nのゲインの各ゲインに対応する前記第2の出力データを記憶してもよい。   In one embodiment of the present invention, the amplifier circuit amplifies the output signal using the first to nth gains as the given gain, and the storage unit includes each gain of the first to nth gains. The second output data corresponding to may be stored.

増幅回路のゲインに応じて系全体のオフセットは変わる。本発明の一態様によれば、各ゲイン設定においてオフセットを測定し、その結果を記憶部に記憶できる。これにより、第1の期間において第1の出力データを補正する際、その第1の出力データを得たゲインに対応するオフセットを記憶部から読み出し、オフセットを補正できる。   The offset of the entire system changes according to the gain of the amplifier circuit. According to one aspect of the present invention, it is possible to measure an offset at each gain setting and store the result in the storage unit. Thus, when the first output data is corrected in the first period, the offset corresponding to the gain from which the first output data is obtained can be read from the storage unit, and the offset can be corrected.

また本発明の一態様では、前記第1の入力ノード及び前記第2の入力ノードのうち、前記第2の期間においてオンになる前記一方のスイッチに対応するノードが、所定の電圧にバイアスされてもよい。   In one embodiment of the present invention, of the first input node and the second input node, a node corresponding to the one switch that is turned on in the second period is biased to a predetermined voltage. Also good.

このようにすれば、回路装置に入力される信号のバイアス電圧が定まっていない場合に、そのバイアス電圧を設定できる。また、第2の期間においてオンになるスイッチに対応する入力ノードにバイアス電圧を設定することで、第2の期間において毎回、同一の入力電圧でオフセットを測定できる。   In this way, when the bias voltage of the signal input to the circuit device is not fixed, the bias voltage can be set. Further, by setting a bias voltage at the input node corresponding to the switch that is turned on in the second period, the offset can be measured with the same input voltage every time in the second period.

また本発明の一態様では、前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記差動増幅回路の出力端子との間に設けられる第2のキャパシターを含んでもよい。   In one embodiment of the present invention, a second capacitor provided between the first input terminal of the differential amplifier circuit and the output terminal of the differential amplifier circuit may be included.

また本発明の一態様では、第2のノードと基準電圧のノードとの間に設けられる第3のスイッチ素子と、前記第2のノードと前記差動増幅回路の前記出力端子との間に設けられる第4のスイッチ素子と、前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記差動増幅回路の前記出力端子との間に設けられる第5のスイッチ素子と、を含み、前記第2のキャパシターは、前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記第2のノードとの間に設けられ、前記差動増幅回路の第2の入力端子には前記基準電圧が入力され、前記第1の入力期間では、前記第3のスイッチ素子及び前記第5のスイッチ素子がオンになり、前記第2の入力期間では、前記第4のスイッチ素子がオンになってもよい。   In one embodiment of the present invention, a third switch element provided between a second node and a reference voltage node, and provided between the second node and the output terminal of the differential amplifier circuit are provided. A fourth switch element, and a fifth switch element provided between the first input terminal of the differential amplifier circuit and the output terminal of the differential amplifier circuit, and A capacitor is provided between the first input terminal and the second node of the differential amplifier circuit, the reference voltage is input to a second input terminal of the differential amplifier circuit, and the first In the first input period, the third switch element and the fifth switch element may be turned on, and in the second input period, the fourth switch element may be turned on.

このように、第1の入力期間では第3のスイッチ素子及び第5のスイッチ素子がオンになり、第2の入力期間では第4のスイッチ素子がオンになることで、オフセットフリーの増幅を行うことが可能となる。しかしながら、例えば電荷のリーク等によってオフセットが残存し、測定精度を低下させる原因となる。本発明の一態様によれば、この残存するオフセットをキャンセルすることが可能であり、更に高精度な測定が可能となる。   As described above, the third switch element and the fifth switch element are turned on in the first input period, and the fourth switch element is turned on in the second input period, thereby performing offset-free amplification. It becomes possible. However, offset remains due to, for example, charge leakage, which causes a reduction in measurement accuracy. According to one aspect of the present invention, the remaining offset can be canceled, and measurement with higher accuracy is possible.

本発明の他の態様は、上記のいずれかに記載された回路装置と、センサーと、を含む検出装置に関係する。   Another aspect of the present invention relates to a detection device including any of the circuit devices described above and a sensor.

本発明の更に他の態様は、上記のいずれかに記載された回路装置を含む電子機器に関係する。   Still another embodiment of the present invention relates to an electronic apparatus including the circuit device described above.

本発明の更に他の態様は、第1の信号が入力される第1の入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1のスイッチ素子と、第2の信号が入力される第2の入力ノードと前記第1のノードとの間に設けられる第2のスイッチ素子と、第1の入力期間において前記第1のノードに入力される信号と第2の入力期間において前記第1のノードに入力される信号との差分に対応する出力信号を出力する差動増幅回路と、前記第1のノードと前記差動増幅回路の第1の入力端子との間に設けられる第1のキャパシターと、を含む回路装置の作動方法であって、第1の期間では、前記第1の入力期間において、前記第1のスイッチ素子をオンにして、前記第1のスイッチ素子を介して前記第1の信号を前記第1のノードに入力し、前記第2の入力期間において、前記第2のスイッチ素子をオンにして、前記第2のスイッチ素子を介して前記第2の信号を前記第1のノードに入力し、第2の期間では、前記第1の入力期間及び前記第2の入力期間の両方において、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子のうち一方のスイッチ素子をオンにして、前記第1の信号及び第2信号のうち前記一方のスイッチ素子に対応する一方の信号を、前記一方のスイッチ素子を介して前記第1のノードに入力する回路装置の作動方法に関係する。   According to still another aspect of the present invention, a first switch element provided between a first input node to which a first signal is input and the first node, and a second to which a second signal is input. A second switch element provided between the input node and the first node, a signal input to the first node in the first input period, and the first node in the second input period A differential amplifier circuit that outputs an output signal corresponding to a difference from a signal input to the first input terminal; and a first capacitor provided between the first node and a first input terminal of the differential amplifier circuit; In the first period, in the first input period, the first switch element is turned on and the first switch element is turned on via the first switch element. A signal is input to the first node and the second input period The second switch element is turned on, and the second signal is input to the first node via the second switch element. In the second period, the first input period and In both of the second input periods, one of the first switch element and the second switch element is turned on, and the one switch element of the first signal and the second signal is turned on. Is related to the operation method of the circuit device for inputting one signal corresponding to the above to the first node through the one switch element.

本実施形態の回路装置の比較例。The comparative example of the circuit apparatus of this embodiment. 図2(A)、図2(B)は、本実施形態の回路装置の構成例。2A and 2B are configuration examples of the circuit device of this embodiment. 図3(A)、図3(B)は、本実施形態の回路装置の構成例。3A and 3B are configuration examples of the circuit device of this embodiment. 本実施形態の回路装置の動作タイミングチャート。The operation | movement timing chart of the circuit apparatus of this embodiment. 本実施形態の回路装置の動作タイミングチャートの変形例。The modification of the operation | movement timing chart of the circuit apparatus of this embodiment. 本実施形態の回路装置の第1の詳細な構成例。1 is a first detailed configuration example of a circuit device according to an embodiment; 本実施形態の回路装置の第2の詳細な構成例。The 2nd detailed structural example of the circuit apparatus of this embodiment. 図8(A)、図8(B)は、事前にオフセットを測定しておく場合のフローチャート。FIGS. 8A and 8B are flowcharts in the case where the offset is measured in advance. 事前にオフセットを測定しておく場合のフローチャートの変形例。The modification of the flowchart in the case of measuring offset beforehand. 信号測定時にオフセット測定を行う場合のフローチャート。The flowchart in the case of performing offset measurement at the time of signal measurement. 検出装置及び電子機器の構成例。Configuration examples of a detection device and an electronic device.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The present embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and all the configurations described in the present embodiment are indispensable as means for solving the present invention. Not necessarily.

1.比較例
図1に、本実施形態の回路装置の比較例を示す。この回路装置は、チョッパーアンプ10と、チョッパーアンプ10の正極性の入力ノードNIPと負極性の入力ノードNIMとの間に接続されるスイッチ素子SWSと、回路装置の第1の入力ノードNPAとチョッパーアンプ10の正極性の入力ノードNIPとの間に接続されるスイッチ素子SWDと、を含む。
1. Comparative Example FIG. 1 shows a comparative example of the circuit device of this embodiment. This circuit device includes a chopper amplifier 10, a switch element SWS connected between a positive input node NIP and a negative input node NIM of the chopper amplifier 10, a first input node NPA of the circuit device, and a chopper. And a switch element SWD connected between the positive input node NIP of the amplifier 10.

チョッパーアンプ10は、図2(A)、図2(B)で後述する増幅回路であり、キャパシターC1、C2とスイッチ素子SW1〜SW6と差動増幅回路OP1を含むスイッチドキャパシター回路である。第1の入力期間φ1ではスイッチ素子SW1がオンになり、第2の入力期間φ2ではスイッチ素子SW2がオンになることで、信号VIP(電圧信号)と信号VIM(電圧信号)が入力され、その差分VIP−VIMがゲインC1/C2で増幅される。   The chopper amplifier 10 is an amplifier circuit described later with reference to FIGS. 2A and 2B, and is a switched capacitor circuit including capacitors C1 and C2, switch elements SW1 to SW6, and a differential amplifier circuit OP1. In the first input period φ1, the switch element SW1 is turned on, and in the second input period φ2, the switch element SW2 is turned on, so that the signal VIP (voltage signal) and the signal VIM (voltage signal) are input. The difference VIP-VIM is amplified with a gain C1 / C2.

このチョッパーアンプ10は、差動増幅回路OP1の入力オフセット電圧をキャンセルできるので、基本的にはオフセットフリーの出力電圧が得られる。しかしながら、スイッチ素子SW1〜SW6は例えばMOSトランジスター等で構成されるため僅かながらリーク電流があり、キャパシターC1、C2の電荷が厳密には保存しない。そのため、基本的にはオフセットキャンセルできるものの、微小なオフセット電圧が残る(以下、残存オフセットと呼ぶ)という課題がある。   Since the chopper amplifier 10 can cancel the input offset voltage of the differential amplifier circuit OP1, an offset-free output voltage is basically obtained. However, since the switch elements SW1 to SW6 are composed of, for example, MOS transistors or the like, there is a slight leakage current, and the charges of the capacitors C1 and C2 are not strictly preserved. Therefore, although the offset can be canceled basically, there is a problem that a minute offset voltage remains (hereinafter referred to as a residual offset).

例えば、微小な入力信号を増幅する場合には、残存オフセットが微小であっても、信号に対する比率としては大きなオフセットになる。或いは、後段に高いゲインの増幅回路(例えば図7の増幅回路50)を設けた場合には、残存オフセットが微小であっても後段の増幅回路で高いゲインが掛かり、大きなオフセットとなる。また、後段の増幅回路もオフセットを有するため、そのオフセットも加算されることになる。   For example, when a small input signal is amplified, even if the residual offset is small, the ratio to the signal is a large offset. Alternatively, when a high gain amplifier circuit (for example, the amplifier circuit 50 in FIG. 7) is provided in the subsequent stage, even if the residual offset is very small, a high gain is applied in the subsequent amplifier circuit, resulting in a large offset. Further, since the amplifier circuit in the subsequent stage also has an offset, the offset is also added.

スイッチ素子SWS、SWDは、このようなチョッパーアンプ10の残存オフセットや、後段の回路がもつオフセットをキャンセルするために設けたものである。即ち、通常の差分VIP−VIMを増幅する場合には、スイッチ素子SWDをオンにし、スイッチ素子SWSをオフにする。このとき、出力電圧は残存オフセットを含んでいる。一方、オフセットを測定する場合には、スイッチ素子SWDをオフにし、スイッチ素子SWSをオンにする。チョッパーアンプ10の両方の入力ノードNIP、NIMに信号VIMが入力されるので、チョッパーアンプ10の入力は差分VIM−VIM=0となり、残存オフセットのみが出力される。そして、この残存オフセットを通常の測定値から引くことで、残存オフセットをキャンセルできる。   The switch elements SWS and SWD are provided for canceling such a residual offset of the chopper amplifier 10 and an offset of a subsequent circuit. That is, when a normal difference VIP-VIM is amplified, the switch element SWD is turned on and the switch element SWS is turned off. At this time, the output voltage includes a residual offset. On the other hand, when measuring the offset, the switch element SWD is turned off and the switch element SWS is turned on. Since the signal VIM is input to both input nodes NIP and NIM of the chopper amplifier 10, the input of the chopper amplifier 10 is the difference VIM−VIM = 0, and only the remaining offset is output. Then, the residual offset can be canceled by subtracting the residual offset from the normal measurement value.

しかしながら、このスイッチ素子SWS、SWDを設けることで種々の課題を生じる。例えば、部品点数の増加や、出力電圧の精度低下、簡便性に欠ける等の課題を生じる。   However, providing these switch elements SWS and SWD causes various problems. For example, problems such as an increase in the number of parts, a decrease in the accuracy of the output voltage, and lack of convenience arise.

具体的には、スイッチ素子SWS、SWDはMOSトランジスター等で構成され、そのゲート−ソース間やソース−ドレイン間に寄生容量がある。この寄生容量は、ノードNPAから見たときにキャパシターC1に対して並列に接続されるので、キャパシターC1の容量誤差となる。即ち、ゲインC1/C2の誤差となる。また、MOSトランジスターの寄生容量は電圧依存性があるので、チョッパーアンプ10の入力電圧に応じてゲインC1/C2が変わる。また、寄生容量は、チョッパーアンプ10のAC特性(例えば帰還ループの安定性等)を悪化させる。   Specifically, the switch elements SWS and SWD are composed of MOS transistors or the like, and have parasitic capacitance between the gate and the source or between the source and the drain. Since this parasitic capacitance is connected in parallel to the capacitor C1 when viewed from the node NPA, it becomes a capacitance error of the capacitor C1. That is, an error of gain C1 / C2. Further, since the parasitic capacitance of the MOS transistor has voltage dependence, the gain C1 / C2 changes according to the input voltage of the chopper amplifier 10. Further, the parasitic capacitance deteriorates the AC characteristics (for example, stability of the feedback loop) of the chopper amplifier 10.

或いは、スイッチ素子SWS、SWDを構成するMOSトランジスターにはオン抵抗がある。スイッチドキャパシター回路は、電荷が移動する経路の抵抗値と容量値で、電荷移動の時定数が決まるため、新たにスイッチ素子SWS、SWDを入れたことで時定数が大きくなる。これを解消するには、スイッチ素子のサイズを大きくする必要があり、例えばレイアウト面積の増加等につながる。   Alternatively, the MOS transistors constituting the switch elements SWS and SWD have an on-resistance. In the switched capacitor circuit, the time constant of the charge transfer is determined by the resistance value and the capacitance value of the path through which the charge moves. Therefore, the time constant becomes large by newly inserting the switch elements SWS and SWD. In order to solve this, it is necessary to increase the size of the switch element, which leads to an increase in layout area, for example.

2.回路装置
図2(A)〜図3(B)に、上記の課題を解決できる本実施形態の回路装置の構成例を示す。
2. Circuit Device FIGS. 2A to 3B show a configuration example of the circuit device of this embodiment that can solve the above-described problems.

回路装置は、第1のキャパシターC1と、第2のキャパシターC2と、第1〜第6のスイッチ素子SW1〜SW6と、差動増幅回路OP1と、を含む。なお、回路装置は、例えば各構成要素を半導体基板に集積した集積回路装置であってもよいし、或いは、各構成要素をディスクリートの部品で構成し、回路基板に実装した回路装置であってもよい。   The circuit device includes a first capacitor C1, a second capacitor C2, first to sixth switch elements SW1 to SW6, and a differential amplifier circuit OP1. The circuit device may be, for example, an integrated circuit device in which each component is integrated on a semiconductor substrate, or a circuit device in which each component is configured with discrete components and mounted on the circuit substrate. Good.

第1〜第6のスイッチ素子SW1〜SW6は、例えばMOSトランジスター等で構成され、例えば図6や図7で後述する制御部80によりオン・オフ制御される。各スイッチ素子は、例えばN型トランジスター又は、P型トランジスター又は、それらを組み合わせたトランスファーゲートで構成される。差動増幅回路OP1は、例えば演算増幅回路である。   The first to sixth switch elements SW1 to SW6 are composed of, for example, MOS transistors or the like, and are on / off controlled by, for example, a control unit 80 described later with reference to FIGS. Each switch element is composed of, for example, an N-type transistor, a P-type transistor, or a transfer gate that is a combination thereof. The differential amplifier circuit OP1 is, for example, an operational amplifier circuit.

第1のスイッチ素子SW1は、第1の信号VIP(第1の電圧信号)が入力される第1の入力ノードNIPと第1のノードN1との間に設けられる。第2のスイッチ素子SW2は、第2の信号VIM(第2の電圧信号)が入力される第2の入力ノードNIMと第1のノードN1との間に設けられる。キャパシターC1は、第1のノードN1と差動増幅回路OP1の第1の入力端子(反転入力端子)との間に設けられる。   The first switch element SW1 is provided between the first input node NIP to which the first signal VIP (first voltage signal) is input and the first node N1. The second switch element SW2 is provided between the second input node NIM to which the second signal VIM (second voltage signal) is input and the first node N1. The capacitor C1 is provided between the first node N1 and the first input terminal (inverting input terminal) of the differential amplifier circuit OP1.

第1のノードN1に入力される信号は、第1のスイッチ素子SW1がオンしたときには第1の信号VIPであり、第2のスイッチ素子SW2がオンしたときには第2の信号VIMである。このオン・オフは、第1の入力期間φ1と第2の入力期間φ2で制御される。そして、差動増幅回路OP1は、第1の入力期間φ1において第1のノードN1に入力される信号と第2の入力期間φ2において第1のノードN1に入力される信号との差分に対応する出力信号VO(出力電圧信号)を出力する。   The signal input to the first node N1 is the first signal VIP when the first switch element SW1 is turned on, and the second signal VIM when the second switch element SW2 is turned on. This on / off is controlled by the first input period φ1 and the second input period φ2. The differential amplifier circuit OP1 corresponds to the difference between the signal input to the first node N1 in the first input period φ1 and the signal input to the first node N1 in the second input period φ2. Output signal VO (output voltage signal) is output.

具体的には、第1の期間TQ1(信号測定期間、第1のモード)と第2の期間TQ2(オフセット測定期間、第2のモード)とで第1のスイッチ素子SW1と第2のスイッチ素子SW2のオン・オフ制御が異なっており、それに伴って差動増幅回路OP1の出力信号VOも異なっている。   Specifically, the first switch element SW1 and the second switch element in the first period TQ1 (signal measurement period, first mode) and the second period TQ2 (offset measurement period, second mode). The on / off control of SW2 is different, and the output signal VO of the differential amplifier circuit OP1 is also different accordingly.

即ち、図4(及び図2(A)、図2(B))に示すように、第1の期間TQ1では、第1の入力期間φ1(第1のフェイズ)において、第1のスイッチ素子SW1がオンになり、第2のスイッチ素子SW2がオフになる。一方、第2の入力期間φ2(第2のフェイズ)において、第1のスイッチ素子SW1がオフになり、第2のスイッチ素子SW2がオンになる。この場合、第1のノードN1には、第1の入力期間φ1では第1の信号VIPが入力され、第2の入力期間φ2では第2の信号VIMが入力されるので、差動増幅回路OP1は差分VIP−VIMを増幅した電圧を出力する。   That is, as shown in FIG. 4 (and FIGS. 2A and 2B), in the first period TQ1, the first switch element SW1 in the first input period φ1 (first phase). Is turned on and the second switch element SW2 is turned off. On the other hand, in the second input period φ2 (second phase), the first switch element SW1 is turned off and the second switch element SW2 is turned on. In this case, since the first signal VIP is input to the first node N1 in the first input period φ1 and the second signal VIM is input in the second input period φ2, the differential amplifier circuit OP1 Outputs a voltage obtained by amplifying the difference VIP-VIM.

一方、第2の期間TQ2では、第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2の両方において、第1のスイッチ素子SW1がオンになり、第2のスイッチ素子SW2がオフになる。この場合、第1のノードN1には、第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2の両方で第1の信号VIPが入力されるので、差動増幅回路OP1は差分VIP−VIP=0を増幅した電圧を出力する。これは、入力をショートした場合と同じ結果であり、出力信号VOとして残存オフセットが出力されることになる。   On the other hand, in the second period TQ2, the first switch element SW1 is turned on and the second switch element SW2 is turned off in both the first input period φ1 and the second input period φ2. In this case, since the first signal VIP is input to the first node N1 in both the first input period φ1 and the second input period φ2, the differential amplifier circuit OP1 has the difference VIP−VIP = 0. The amplified voltage is output. This is the same result as when the input is short-circuited, and the residual offset is output as the output signal VO.

このように、本実施形態では第1のスイッチ素子SW1と第2のスイッチ素子SW2のオン・オフ制御のタイミングを変更するだけであり、回路構成を変更する必要がない。即ち、図1の比較例のような入力ショート用のスイッチ素子SWS、SWDを設けることなく、残存オフセットを測定することが可能であり、比較例で説明したような種々の課題を回避しつつ残存オフセットをキャンセルできる。   As described above, in this embodiment, only the on / off control timing of the first switch element SW1 and the second switch element SW2 is changed, and the circuit configuration does not need to be changed. That is, the residual offset can be measured without providing the input short-circuit switch elements SWS and SWD as in the comparative example of FIG. 1, and the residual is avoided while avoiding various problems as described in the comparative example. You can cancel the offset.

なお、第2の期間TQ2での動作は上記に限定されず、第1のスイッチ素子SW1及び第2のスイッチ素子SW2のうち一方のスイッチ素子がオンになればよい。即ち、図5に示すように、第2の期間TQ2では、第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2の両方において、第1のスイッチ素子SW1がオフになり、第2のスイッチ素子SW2がオンになってもよい。この場合、第1のノードN1には第2の信号VIMが入力される。   Note that the operation in the second period TQ2 is not limited to the above, and one of the first switch element SW1 and the second switch element SW2 may be turned on. That is, as shown in FIG. 5, in the second period TQ2, the first switch element SW1 is turned off in both the first input period φ1 and the second input period φ2, and the second switch element SW2 May be turned on. In this case, the second signal VIM is input to the first node N1.

第1の信号VIPでショートする場合と、第2の信号VIMでショートする場合とでは、若干、残存オフセットが異なる場合がある。例えば、トランジスターの寄生容量の電圧依存性等により、残存オフセットが異なる。本実施形態では、いずれか一方の入力でショートしてもよいし、両方のショートでオフセットを測定して例えば平均値等を求めてもよい。   There may be a slight difference in the residual offset between when the first signal VIP is short-circuited and when the second signal VIPM is short-circuited. For example, the residual offset differs depending on the voltage dependency of the parasitic capacitance of the transistor. In the present embodiment, either one of the inputs may be short-circuited, or an offset may be measured using both short-circuits to obtain, for example, an average value.

図1の比較例では、第1の信号VIPでショートする場合には、スイッチ素子SWDに対応するスイッチ素子を第2の信号VIM側にも設ける必要がある。これは、上述した課題を更に悪化させることになる。この点、本実施形態では、タイミング変更だけでショートする入力を切り替えることが可能であり、ショートさせる入力を自在に切り替えることができる。   In the comparative example of FIG. 1, when the first signal VIP is short-circuited, it is necessary to provide a switch element corresponding to the switch element SWD also on the second signal VIM side. This further aggravates the above-mentioned problem. In this respect, in the present embodiment, it is possible to switch the input to be short-circuited only by changing the timing, and it is possible to freely switch the input to be short-circuited.

3.スイッチドキャパシター動作
次に、スイッチドキャパシター動作によるオフセットキャンセルについて説明する。ここでキャンセルするオフセットは差動増幅回路OP1の入力オフセットである。比較例でも説明したように、以下のオフセットキャンセルを行った後に残ったオフセットが残存オフセットである。
3. Switched Capacitor Operation Next, offset cancellation by the switched capacitor operation will be described. The offset to be canceled here is the input offset of the differential amplifier circuit OP1. As described in the comparative example, the offset remaining after performing the following offset cancellation is the remaining offset.

図2(A)に示すように、第2のキャパシターC2は、差動増幅回路OP1の第1の入力端子(反転入力端子)と差動増幅回路OP1の出力端子との間に設けられる。具体的には、差動増幅回路OP1の第1の入力端子と第2のノードN2との間に接続される。   As shown in FIG. 2A, the second capacitor C2 is provided between the first input terminal (inverting input terminal) of the differential amplifier circuit OP1 and the output terminal of the differential amplifier circuit OP1. Specifically, the differential amplifier circuit OP1 is connected between the first input terminal and the second node N2.

第3のスイッチ素子SW3は、第2のノードN2と基準電圧VREFのノードとの間に接続される。第4のスイッチ素子SW4は、第2のノードN2と差動増幅回路OP1の出力端子(ノードNO)との間に接続される。第5のスイッチ素子SW5は、差動増幅回路OP1の第1の入力端子と差動増幅回路OP1の出力端子との間に接続される。第6のスイッチ素子SW6は、差動増幅回路OP1の出力端子と出力ノードNQとの間に接続される。   The third switch element SW3 is connected between the second node N2 and the node of the reference voltage VREF. The fourth switch element SW4 is connected between the second node N2 and the output terminal (node NO) of the differential amplifier circuit OP1. The fifth switch element SW5 is connected between the first input terminal of the differential amplifier circuit OP1 and the output terminal of the differential amplifier circuit OP1. The sixth switch element SW6 is connected between the output terminal of the differential amplifier circuit OP1 and the output node NQ.

差動増幅回路OP1の第2の入力端子(非反転入力端子)には基準電圧VREFが入力される。基準電圧VREFは、例えば図6や図7に示す基準電圧出力回路30から供給される。   The reference voltage VREF is input to the second input terminal (non-inverting input terminal) of the differential amplifier circuit OP1. The reference voltage VREF is supplied from, for example, the reference voltage output circuit 30 shown in FIGS.

以下、第1の期間TQ1を例にとって動作を説明する。なお、図4(及び図5)ではスイッチ素子のオン・オフ信号をハイアクティブで示す。即ち、信号がハイレベルのときにスイッチ素子がオンになることを示す。   Hereinafter, the operation will be described by taking the first period TQ1 as an example. In FIG. 4 (and FIG. 5), the ON / OFF signal of the switch element is shown as high active. That is, the switch element is turned on when the signal is at a high level.

差動増幅回路OP1の第1の入力端子の電圧は、バーチャルショートによりVREF+ΔVoffとなる。ΔVoffは、差動増幅回路OP1の入力オフセット電圧である。図2(A)と図4に示すように、第1の入力期間φ1では、スイッチ素子SW1、SW3、SW5がオンになり、スイッチ素子SW2、SW4、SW6がオフになる。このとき、キャパシターC1、C2に蓄積される電荷Q1、Q2は下式(1)である。
Q1=C1・(VIP−(VREF+ΔVoff))
Q2=C2・((VREF+ΔVoff)−VREF) (1)
The voltage of the first input terminal of the differential amplifier circuit OP1 becomes VREF + ΔVoff due to a virtual short circuit. ΔVoff is an input offset voltage of the differential amplifier circuit OP1. As shown in FIGS. 2A and 4, in the first input period φ1, the switch elements SW1, SW3, and SW5 are turned on, and the switch elements SW2, SW4, and SW6 are turned off. At this time, the charges Q1 and Q2 accumulated in the capacitors C1 and C2 are expressed by the following equation (1).
Q1 = C1 · (VIP− (VREF + ΔVoff))
Q2 = C2 · ((VREF + ΔVoff) −VREF) (1)

一方、図2(B)と図4に示すように、第2の入力期間φ2では、スイッチ素子SW1、SW3、SW5がオフになり、スイッチ素子SW2、SW4、SW6がオンになる。このとき、キャパシターC1、C2に蓄積される電荷Q1’、Q2’は下式(2)である。
Q1’=C1・(VIM−(VREF+ΔVoff))
Q2’=C2・((VREF+ΔVoff)−VO) (2)
On the other hand, as shown in FIG. 2B and FIG. 4, in the second input period φ2, the switch elements SW1, SW3, and SW5 are turned off, and the switch elements SW2, SW4, and SW6 are turned on. At this time, the charges Q1 ′ and Q2 ′ accumulated in the capacitors C1 and C2 are expressed by the following equation (2).
Q1 ′ = C1 · (VIM− (VREF + ΔVoff))
Q2 ′ = C2 · ((VREF + ΔVoff) −VO) (2)

電荷の保存により、Q1+Q2=Q1’+Q2’となるので、上式(1)、(2)より、出力信号VQ=VOは下式(3)となる。
VQ=VO=−(C1/C2)・(VIP−VIM)+VREF (3)
Since the charge is stored, Q1 + Q2 = Q1 ′ + Q2 ′. Therefore, the output signal VQ = VO is expressed by the following equation (3) from the above equations (1) and (2).
VQ = VO =-(C1 / C2). (VIP-VIM) + VREF (3)

上式(3)から分かるように、出力信号VQには差動増幅回路OP1の入力オフセット電圧ΔVoffが現れないので、オフセットフリーの増幅を実現できる。このオフセットキャンセルを行っても更に残存するオフセットをΔVzとすると、上式(3)は下式(4)となる。
VQ=VO=−(C1/C2)・(VIP−VIM)+VREF+ΔVz (4)
As can be seen from the above equation (3), since the input offset voltage ΔVoff of the differential amplifier circuit OP1 does not appear in the output signal VQ, it is possible to realize offset-free amplification. If the offset that remains even after this offset cancellation is ΔVz, the above equation (3) becomes the following equation (4).
VQ = VO =-(C1 / C2). (VIP-VIM) + VREF + .DELTA.Vz (4)

第2の期間TQ2においても、上述したオフセットキャンセルは同様に働く。第1の入力期間φ1でも第2の入力期間φ2でも信号VIPを入力するので、上式(4)において、VIM=VIPとしたのと同じである。即ち、出力信号VQは下式(5)となる。
VQ=VREF+ΔVz (5)
In the second period TQ2, the above-described offset cancellation works similarly. Since the signal VIP is input in both the first input period φ1 and the second input period φ2, it is the same as that in the above equation (4) where VIP = VIP. That is, the output signal VQ is expressed by the following equation (5).
VQ = VREF + ΔVz (5)

上式(5)より、第2の期間TQ2では残存オフセットΔVzのみが出力されるので、その残存オフセットΔVzを上式(4)から減算することで、残存オフセットΔVzをキャンセルできる。   From the above equation (5), only the remaining offset ΔVz is output in the second period TQ2, so that the remaining offset ΔVz can be canceled by subtracting the remaining offset ΔVz from the above equation (4).

なお、図4(及び図5)には、各期間の長さを一例として記載しているが、各期間の長さはこれに限定されない。ここで、出力確定時間とは、出力信号VQが必要な精度で真の値に漸近したと見なせる時間であり、スイッチドキャパシター回路の時定数によって決まるものである。   In addition, although the length of each period is described as an example in FIG. 4 (and FIG. 5), the length of each period is not limited to this. Here, the output confirmation time is a time during which the output signal VQ can be regarded as asymptotic to a true value with a required accuracy, and is determined by the time constant of the switched capacitor circuit.

また、図4(及び図5)では、第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2を、第1の期間TQ1において2周期、第2の期間TQ2において2周期繰り返しているが、繰り返し回数はこれに限定されない。例えば、第1の入力期間φ1は通常の電圧測定期間なので、測定に必要な時間だけ第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2を繰り返せばよい。また、第2の入力期間φ2はオフセット測定期間であり、例えば図6や図7で後述するように後段でA/D変換を行う場合には、そのA/D変換に必要な時間だけ第1の入力期間φ1及び第2の入力期間φ2を繰り返せばよい。   In FIG. 4 (and FIG. 5), the first input period φ1 and the second input period φ2 are repeated for two periods in the first period TQ1 and two periods in the second period TQ2. Is not limited to this. For example, since the first input period φ1 is a normal voltage measurement period, the first input period φ1 and the second input period φ2 may be repeated for a time required for measurement. The second input period φ2 is an offset measurement period. For example, when A / D conversion is performed at a later stage as will be described later with reference to FIGS. 6 and 7, the first input period φ2 is the first time required for the A / D conversion. The input period φ1 and the second input period φ2 may be repeated.

また、図4(及び図5)では、第1の期間TQ1が第2の期間TQ2の前にあるが、第1の期間TQ1が第2の期間TQ2の後であってもよい。また、第1の期間TQ1と第2の期間TQ2が連続する必要はなく、間が空いてもよい。各出力期間での測定結果は、例えば図6や図7に示す記憶部40に記憶しておき、その記憶した値を使ってオフセットを補正すればよいので、測定の前後関係やタイミングは変更可能である。   In FIG. 4 (and FIG. 5), the first period TQ1 is before the second period TQ2, but the first period TQ1 may be after the second period TQ2. In addition, the first period TQ1 and the second period TQ2 do not need to be continuous, and may be separated. The measurement results in each output period are stored in, for example, the storage unit 40 shown in FIGS. 6 and 7, and the offset can be corrected using the stored values, so that the measurement relationship and timing can be changed. It is.

4.第1の詳細な構成例
次に、後段で更にA/D変換を行う場合の構成及び動作を説明する。図6に、本実施形態の回路装置の第1の詳細な構成例を示す。
4). First Detailed Configuration Example Next, a configuration and operation in a case where A / D conversion is further performed in the subsequent stage will be described. FIG. 6 shows a first detailed configuration example of the circuit device of the present embodiment.

回路装置は、チョッパーアンプ10と、A/D変換回路20と、基準電圧出力回路30と、記憶部40と、制御部80と、を含む。   The circuit device includes a chopper amplifier 10, an A / D conversion circuit 20, a reference voltage output circuit 30, a storage unit 40, and a control unit 80.

チョッパーアンプ10は、スイッチドキャパシター回路を用いた増幅回路であり、図2(A)〜図5で説明した増幅回路に対応する。A/D変換回路20は、第1の期間TQ1でのチョッパーアンプ10の出力信号VQを第1の出力データにA/D変換し、第2の期間TQ2でのチョッパーアンプ10の出力信号VQを第2の出力データにA/D変換する。そして、記憶部40が第1の出力データと第2の出力データを記憶し、制御部80が、その記憶された第1の出力データと第2の出力データを読み出し、第1の出力データを第2の出力データで補正する。   The chopper amplifier 10 is an amplifier circuit using a switched capacitor circuit, and corresponds to the amplifier circuit described with reference to FIGS. The A / D conversion circuit 20 A / D converts the output signal VQ of the chopper amplifier 10 in the first period TQ1 into first output data, and the output signal VQ of the chopper amplifier 10 in the second period TQ2 A / D conversion into second output data. Then, the storage unit 40 stores the first output data and the second output data, the control unit 80 reads the stored first output data and second output data, and the first output data is stored. Correction is performed with the second output data.

具体的には、A/D変換回路20は、基準電圧VREFを基準としてA/D変換を行う。即ち、VQ−VREFをA/D変換する。第1の期間TQ1では、上式(4)より下式(6)を第1の出力データに変換する。第2の期間TQ2では、上式(5)より下式(7)を第2の出力データに変換する。なお、A/D変換回路20は、図4や図5に示す出力確定時間において出力信号VQをサンプリングする。
VQ−VREF=−(C1/C2)・(VIP−VIM)+ΔVz (6)
VQ−VREF=ΔVz (7)
Specifically, the A / D conversion circuit 20 performs A / D conversion with reference to the reference voltage VREF. That is, VQ-VREF is A / D converted. In the first period TQ1, the following expression (6) is converted into the first output data from the above expression (4). In the second period TQ2, the following expression (7) is converted into the second output data from the above expression (5). The A / D conversion circuit 20 samples the output signal VQ during the output confirmation time shown in FIGS.
VQ−VREF = − (C1 / C2) · (VIP−VIM) + ΔVz (6)
VQ−VREF = ΔVz (7)

制御部80は、第1の出力データから第2の出力データを減算することで、第1の出力データを補正する。即ち、上式(6)、(7)より、残存オフセットΔVzをキャンセルした出力データを得ることができる。   The control unit 80 corrects the first output data by subtracting the second output data from the first output data. That is, output data in which the remaining offset ΔVz is canceled can be obtained from the above equations (6) and (7).

以上のように、A/D変換回路20と記憶部40を設けることで、異なる出力期間で測定した信号と残存オフセットをデータとして一旦記憶しておき、そのデータを使って残存オフセットを補正できる。また、入力信号が微小な場合には残存オフセットが小さい場合であっても誤差となるが、本実施形態では、その小さな残存オフセットまでキャンセルできるので、高精度な電圧測定が可能となる。   As described above, by providing the A / D conversion circuit 20 and the storage unit 40, signals and residual offsets measured in different output periods can be temporarily stored as data, and the residual offset can be corrected using the data. In addition, when the input signal is very small, an error occurs even if the residual offset is small. However, in this embodiment, even the small residual offset can be canceled, so that highly accurate voltage measurement is possible.

なお、上記では記憶部40が第1の出力データと第2の記憶データを記憶することとしたが、これに限定されず、記憶部40が第2の記憶データのみ記憶してもよい。例えば、事前に残存オフセットを測定して第2の出力データとして記憶しておき、信号測定時には、制御部80が、A/D変換回路20からの第1の出力データをリアルタイムに補正してもよい。   In the above description, the storage unit 40 stores the first output data and the second storage data. However, the present invention is not limited to this, and the storage unit 40 may store only the second storage data. For example, the residual offset is measured in advance and stored as second output data, and the control unit 80 corrects the first output data from the A / D conversion circuit 20 in real time during signal measurement. Good.

5.第2の詳細な構成例
図7に、本実施形態の回路装置の第2の詳細な構成例を示す。
5. Second Detailed Configuration Example FIG. 7 shows a second detailed configuration example of the circuit device of the present embodiment.

回路装置は、チョッパーアンプ10と、A/D変換回路20と、基準電圧出力回路30と、記憶部40と、増幅回路50(プログラマブルゲインアンプ)と、バイアス出力回路60と、制御部80と、を含む。なお、既に上述した構成要素と同一の構成要素については同一の符号を付し、適宜説明を省略する。   The circuit device includes a chopper amplifier 10, an A / D conversion circuit 20, a reference voltage output circuit 30, a storage unit 40, an amplification circuit 50 (programmable gain amplifier), a bias output circuit 60, a control unit 80, including. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the component same as the component already mentioned above, and description is abbreviate | omitted suitably.

増幅回路50は、チョッパーアンプ10の出力信号VQを所与のゲインで増幅し、その増幅後の信号を出力信号VGQ(出力電圧信号)として出力する。具体的には、増幅回路50はプログラマブルゲインアンプであり、差動増幅回路OP2(演算増幅器)と、入力抵抗R1と、抵抗値を可変に設定できる帰還抵抗R2と、を含む。増幅回路50のゲインはR2/R1なので、帰還抵抗R2の抵抗値を変えることで、ゲインR2/R1を可変にできる。   The amplifier circuit 50 amplifies the output signal VQ of the chopper amplifier 10 with a given gain, and outputs the amplified signal as an output signal VGQ (output voltage signal). Specifically, the amplifier circuit 50 is a programmable gain amplifier, and includes a differential amplifier circuit OP2 (operational amplifier), an input resistor R1, and a feedback resistor R2 whose resistance value can be variably set. Since the gain of the amplifier circuit 50 is R2 / R1, the gain R2 / R1 can be made variable by changing the resistance value of the feedback resistor R2.

A/D変換回路20は、第1の期間TQ1での増幅回路50の出力信号VGQを第1の出力データにA/D変換し、第2の期間TQ2での増幅回路50の出力信号VGQを第2の出力データにA/D変換する。そして、記憶部40が第1の出力データと第2の出力データを記憶し、制御部80が、その記憶された第1の出力データと第2の出力データを読み出し、第1の出力データを第2の出力データで補正する。   The A / D conversion circuit 20 A / D converts the output signal VGQ of the amplifier circuit 50 in the first period TQ1 into first output data, and the output signal VGQ of the amplifier circuit 50 in the second period TQ2 A / D conversion into second output data. Then, the storage unit 40 stores the first output data and the second output data, the control unit 80 reads the stored first output data and second output data, and the first output data is stored. Correction is performed with the second output data.

具体的には、増幅回路50は基準電圧VREFを基準として増幅を行うので、出力信号VGQは下式(8)となる。ΔVgは増幅回路50のオフセット電圧である。
VGQ=−(R2/R1)・(VQ−VREF)+VREF+ΔVg (8)
Specifically, since the amplifier circuit 50 performs amplification based on the reference voltage VREF, the output signal VGQ is expressed by the following equation (8). ΔVg is an offset voltage of the amplifier circuit 50.
VGQ =-(R2 / R1). (VQ-VREF) + VREF + .DELTA.Vg (8)

VQ’=−(C1/C2)・(VIP−VIM)とすると、上式(6)〜(8)より、第1の期間TQ1では下式(9)がA/D変換されて第1の出力データが得られ、第2の期間TQ2では下式(10)がA/D変換されて第2の出力データが得られる。
VGQ−VREF=−(R2/R1)・(VQ’+ΔVz)+ΔVg (9)
VGQ−VREF=−(R2/R1)・ΔVz+ΔVg (10)
Assuming that VQ ′ = − (C1 / C2) · (VIP−VIM), from the above equations (6) to (8), the following equation (9) is A / D converted in the first period TQ1, and the first Output data is obtained, and in the second period TQ2, the following expression (10) is A / D converted to obtain second output data.
VGQ−VREF = − (R2 / R1) · (VQ ′ + ΔVz) + ΔVg (9)
VGQ−VREF = − (R2 / R1) · ΔVz + ΔVg (10)

上式(10)は、回路装置の系全体としてのオフセット電圧である。制御部80は、この系全体のオフセットを上式(9)から減算する補正を行うことで、系全体のオフセットをキャンセルした信号−(R2/R1)・VQ’のデータを得る。   The above equation (10) is the offset voltage of the entire circuit device system. The control unit 80 performs correction for subtracting the offset of the entire system from the above equation (9), thereby obtaining data of the signal − (R2 / R1) · VQ ′ in which the offset of the entire system is canceled.

以上のように、チョッパーアンプ10の後段に更に増幅回路50が設けられる場合であっても、第2の期間TQ2において後段の増幅回路50を含めた系のオフセット測定を行い、その系全体のオフセットをキャンセルできる。また、上式(10)から分かるように、チョッパーアンプ10の残存オフセットΔVzは後段の増幅回路50でゲイン倍されるため、A/D変換回路20の入力としては大きな誤差となる可能性がある。この点、本実施形態では、そのゲイン倍された残存オフセットをキャンセルできるので、後段の構成に依らず高精度な電圧測定が可能である。   As described above, even when the amplifier circuit 50 is further provided in the subsequent stage of the chopper amplifier 10, the offset measurement of the system including the subsequent amplifier circuit 50 is performed in the second period TQ2, and the offset of the entire system is measured. Can be canceled. Further, as can be seen from the above equation (10), the residual offset ΔVz of the chopper amplifier 10 is multiplied by the gain in the subsequent amplification circuit 50, which may cause a large error as an input to the A / D conversion circuit 20. . In this regard, in the present embodiment, since the residual offset multiplied by the gain can be canceled, high-accuracy voltage measurement is possible regardless of the subsequent configuration.

次に、バイアス出力回路60について説明する。バイアス出力回路60は、チョッパーアンプ10の第1の入力ノードNIPを所定の電圧(バイアス電圧VB)に設定する。   Next, the bias output circuit 60 will be described. The bias output circuit 60 sets the first input node NIP of the chopper amplifier 10 to a predetermined voltage (bias voltage VB).

具体的には、バイアス電圧VBを設定するノードは、第1のスイッチ素子SW1と第2のスイッチ素子SW2のうち第2の期間TQ2においてオンになる一方のスイッチに対応する入力ノードである。図7は、第2の期間TQ2において第1のスイッチ素子SW1がオンになる場合の構成例である。第2の期間TQ2において第2のスイッチ素子SW2がオンになる場合には、バイアス出力回路60は、第2の入力ノードNIMをバイアス電圧VBに設定する。   Specifically, the node for setting the bias voltage VB is an input node corresponding to one of the first switch element SW1 and the second switch element SW2 that is turned on in the second period TQ2. FIG. 7 is a configuration example in the case where the first switch element SW1 is turned on in the second period TQ2. When the second switch element SW2 is turned on in the second period TQ2, the bias output circuit 60 sets the second input node NIM to the bias voltage VB.

チョッパーアンプ10の前段には、種々の回路を接続できるが、その前段の出力がバイアスされていない場合がある。この点、本実施形態によれば、バイアス出力回路60が入力ノードにバイアス電圧VBを供給することで、基準の定まった入力信号をチョッパーアンプ10に供給できる。また、入力ショートを行う側の入力ノードをバイアス電圧VBに設定することで、入力ショート時にバイアス電圧VBが入力されることになり、いつも同じ電圧条件でオフセットを測定することが可能となる。   Various circuits can be connected to the front stage of the chopper amplifier 10, but the output of the front stage may not be biased. In this regard, according to the present embodiment, the bias output circuit 60 supplies the bias voltage VB to the input node, so that an input signal with a reference can be supplied to the chopper amplifier 10. Further, by setting the input node on the side that performs the input short circuit to the bias voltage VB, the bias voltage VB is input when the input is short-circuited, and the offset can always be measured under the same voltage condition.

次に、図7の回路装置の動作を説明する。図8(A)〜図9に、事前にオフセットを測定しておく場合のフローチャートを示す。   Next, the operation of the circuit device of FIG. 7 will be described. FIGS. 8A to 9 show flowcharts in the case where the offset is measured in advance.

図8(A)には、オフセット測定時のフローチャートを示す。まず、増幅回路50のゲインと基準電圧VREFを設定する(ステップS1)。次に、その設定した条件でオフセットを測定し(ステップS2)、その測定結果を第2のデータとして記憶部40に記憶する(ステップS3)。全ての設定で測定が終わっている場合には処理を終了し、終わっていない場合にはステップS1に戻り、次の設定でオフセット測定を行う(ステップS4)。   FIG. 8A shows a flowchart at the time of offset measurement. First, the gain of the amplifier circuit 50 and the reference voltage VREF are set (step S1). Next, the offset is measured under the set conditions (step S2), and the measurement result is stored in the storage unit 40 as second data (step S3). If the measurement has been completed for all settings, the process ends. If not, the process returns to step S1, and the offset measurement is performed with the next setting (step S4).

例えば、増幅回路50が、第1〜第nのゲインを所与のゲインとして出力信号VQを増幅するとする。この場合、第1〜第nのゲインの各ゲインに対応する第2の出力データが得られる。上式(10)から分かるように、ゲインに応じてオフセットの値は変化する。記憶部40は、この各ゲインに対応した第2の出力データを記憶する。   For example, it is assumed that the amplifier circuit 50 amplifies the output signal VQ using the first to nth gains as given gains. In this case, second output data corresponding to each of the first to nth gains is obtained. As can be seen from the above equation (10), the offset value changes according to the gain. The storage unit 40 stores second output data corresponding to each gain.

図8(B)には、オフセット補正時のフローチャートを示す。まず、増幅回路50のゲインと基準電圧VREFを所望の条件に設定する(ステップS11)。次に、その条件で入力信号を測定する(ステップS12)。次に、制御部80が、入力信号の測定値からオフセットの測定値を減算し、オフセットを補正する(ステップS13)。   FIG. 8B shows a flowchart at the time of offset correction. First, the gain of the amplifier circuit 50 and the reference voltage VREF are set to desired conditions (step S11). Next, the input signal is measured under the conditions (step S12). Next, the control unit 80 subtracts the offset measurement value from the input signal measurement value to correct the offset (step S13).

図9には、オフセット測定時のフローチャートの変形例を示す。この変形例では、信号VIPをショートした第1のオフセット測定(ステップS22)と、信号VIMをショートした第2のオフセット測定(ステップS23)とを行う。記憶部40には、それぞれのオフセット測定結果を記憶しておく。オフセットを補正する際には、第1のオフセット測定の結果又は第2のオフセット測定の結果を選択して用いてもよい。或いは、第1のオフセット測定の結果と第2のオフセット測定の結果の平均値で、入力信号の測定値を補正してもよい。或いは、第1のオフセット測定の結果と第2のオフセット測定の結果に重み係数を乗算して加算した値で、入力信号の測定値を補正してもよい。   FIG. 9 shows a modification of the flowchart at the time of offset measurement. In this modification, the first offset measurement (step S22) in which the signal VIP is short-circuited and the second offset measurement (step S23) in which the signal VIP is short-circuited are performed. The storage unit 40 stores each offset measurement result. When correcting the offset, the result of the first offset measurement or the result of the second offset measurement may be selected and used. Or you may correct | amend the measured value of an input signal with the average value of the result of a 1st offset measurement, and the result of a 2nd offset measurement. Alternatively, the measurement value of the input signal may be corrected by a value obtained by multiplying the result of the first offset measurement and the result of the second offset measurement by multiplying by a weighting factor.

以上によれば、予め全ての設定条件でオフセットを測定しておき、信号測定時には、その信号測定に用いた条件のオフセットを記憶部40から読み出し、オフセットを補正することができる。信号測定時にオフセット測定が不要なため、信号測定を高速化できる。   According to the above, offsets are measured in advance under all setting conditions, and when measuring signals, the offsets of the conditions used for the signal measurement can be read from the storage unit 40 and the offsets can be corrected. Since no offset measurement is required during signal measurement, signal measurement can be speeded up.

図10に、信号測定時にオフセット測定を行う場合のフローチャートを示す。まず、増幅回路50のゲインと基準電圧VREFを設定する(ステップS31)。次に、その設定した条件でオフセットを測定し、その測定結果を第2のデータとして記憶部40に記憶する(ステップS32)。次に、入力信号を測定する(ステップS33)。次に、制御部80が、入力信号の測定値からオフセットの測定値を減算し、オフセットを補正する(ステップS34)。   FIG. 10 shows a flowchart in the case of performing offset measurement at the time of signal measurement. First, the gain of the amplifier circuit 50 and the reference voltage VREF are set (step S31). Next, the offset is measured under the set conditions, and the measurement result is stored in the storage unit 40 as second data (step S32). Next, the input signal is measured (step S33). Next, the control unit 80 subtracts the offset measurement value from the input signal measurement value to correct the offset (step S34).

このように、信号測定時にオフセット測定を行ってオフセットを補正することも可能である。信号測定に近いタイミングでオフセット測定を行うので、例えば電源電圧の変動等の経時的な変動を受けにくくなり、精度の高いオフセットキャンセルが可能である。   As described above, it is also possible to correct the offset by performing offset measurement at the time of signal measurement. Since the offset measurement is performed at a timing close to the signal measurement, for example, it is difficult to receive a change with time such as a change in the power supply voltage, and a highly accurate offset cancellation is possible.

6.検出装置、電子機器
図11に、本実施形態の回路装置を適用できる検出装置及び電子機器の構成例を示す。なお、以下では電子機器がセンサーを含む場合を例に説明するが、電子機器はセンサーを含まなくてもよい。
6). FIG. 11 shows a configuration example of a detection device and an electronic device to which the circuit device of this embodiment can be applied. In the following, a case where the electronic device includes a sensor will be described as an example, but the electronic device may not include the sensor.

電子機器は、検出装置400と、処理部310と、メモリー320と、操作部330と、通信部340と、を含む。検出装置400は、回路装置300と、センサー350と、を含む。   The electronic apparatus includes a detection device 400, a processing unit 310, a memory 320, an operation unit 330, and a communication unit 340. The detection device 400 includes a circuit device 300 and a sensor 350.

検出装置400は、例えば回路装置300及びセンサー350をモジュール化したものである。回路装置300は、センサー350の出力信号を増幅してA/D変換し、測定データを出力する。処理部310は、例えばCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサーで構成される。処理部310は、メモリー320に記憶されたプログラム等を実行することで各部の制御や測定データの処理を行う。メモリー320は、例えばRAMやROMであり、例えば処理部310のワーキングメモリーとして用いられ、或いは処理部310が実行するプログラムを記憶する。操作部330は、ユーザーが電子機器を操作するためのインターフェースであり、例えばタッチパネルやボタン等で構成される。通信部340は、電子機器が外部とデータや制御情報を送受信するためのインターフェースであり、例えばLANやUSB、赤外線通信、Bluetooth(登録商標)等のインターフェースである。   The detection device 400 is, for example, a circuit device 300 and a sensor 350 that are modularized. The circuit device 300 amplifies the output signal of the sensor 350, performs A / D conversion, and outputs measurement data. The processing unit 310 includes a processor such as a CPU (Central Processing Unit). The processing unit 310 controls each unit and processes measurement data by executing a program stored in the memory 320. The memory 320 is, for example, a RAM or a ROM, and is used as a working memory of the processing unit 310 or stores a program executed by the processing unit 310, for example. The operation unit 330 is an interface for the user to operate the electronic device, and includes, for example, a touch panel and buttons. The communication unit 340 is an interface for the electronic device to transmit / receive data and control information to / from the outside, and is an interface such as LAN, USB, infrared communication, Bluetooth (registered trademark), or the like.

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。またチョッパーアンプや回路装置、検出装置、電子機器等の構成・動作も、本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。   Although the present embodiment has been described in detail as described above, it will be easily understood by those skilled in the art that many modifications can be made without departing from the novel matters and effects of the present invention. Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention. For example, a term described at least once together with a different term having a broader meaning or the same meaning in the specification or the drawings can be replaced with the different term in any part of the specification or the drawings. All combinations of the present embodiment and the modified examples are also included in the scope of the present invention. Further, the configurations and operations of chopper amplifiers, circuit devices, detection devices, electronic devices, and the like are not limited to those described in this embodiment, and various modifications can be made.

10 チョッパーアンプ、20 A/D変換回路、30 基準電圧出力回路、
40 記憶部、50 増幅回路、60 バイアス出力回路、80 制御部、
300 回路装置、310 処理部、320 メモリー、330 操作部、
340 通信部、350 センサー、400 検出装置、
C1 第1のキャパシター、C2 第2のキャパシター、
N1 第1のノード、N2 第2のノード、
NIM 第2の入力ノード、NIP 第1の入力ノード、NQ 出力ノード、
OP1,OP2 差動増幅回路、SW1〜SW6 第1〜第6のスイッチ素子、
SWD,SWS スイッチ素子、TQ1 第1の期間、TQ2 第2の期間、
VB バイアス電圧、VIM 第2の信号、VIP 第1の信号、
VO,VQ 出力信号、VREF 基準電圧、
φ1 第1の入力期間、φ2 第2の入力期間
10 chopper amplifier, 20 A / D conversion circuit, 30 reference voltage output circuit,
40 storage units, 50 amplifier circuits, 60 bias output circuits, 80 control units,
300 circuit device, 310 processing unit, 320 memory, 330 operation unit,
340 communication unit, 350 sensor, 400 detection device,
C1 first capacitor, C2 second capacitor,
N1 first node, N2 second node,
NIM second input node, NIP first input node, NQ output node,
OP1, OP2 differential amplifier circuit, SW1 to SW6, first to sixth switch elements,
SWD, SWS switch element, TQ1 first period, TQ2 second period,
VB bias voltage, VIM second signal, VIP first signal,
VO, VQ output signal, VREF reference voltage,
φ1 first input period, φ2 second input period

Claims (8)

第1の信号が入力される第1の入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1のスイッチ素子と、
第2の信号が入力される第2の入力ノードと前記第1のノードとの間に設けられる第2のスイッチ素子と、
第1の入力期間において前記第1のノードに入力される信号と第2の入力期間において前記第1のノードに入力される信号との差分に対応する出力信号を出力する差動増幅回路と、
前記第1のノードと前記差動増幅回路の第1の入力端子との間に設けられる第1のキャパシターと、
バイアス出力回路と、
を含み、
第1の期間では、
前記第1の入力期間において、前記第1のスイッチ素子がオンになり、前記第1のスイッチ素子を介して前記第1の信号が前記第1のノードに入力され、
前記第2の入力期間において、前記第2のスイッチ素子がオンになり、前記第2のスイッチ素子を介して前記第2の信号が前記第1のノードに入力され、
第2の期間では、
前記第1の入力期間及び前記第2の入力期間の両方において、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子のうち一方のスイッチ素子がオンになり、前記第1の信号及び第2信号のうち前記一方のスイッチ素子に対応する一方の信号が、前記一方のスイッチ素子を介して前記第1のノードに入力され
前記バイアス出力回路は、
前記第1の入力ノード及び前記第2の入力ノードのうち、前記一方のスイッチに対応するノードに対して、前記一方の信号のバイアスとなるバイアス電圧を出力することを特徴とする回路装置。
A first switch element provided between a first input node to which a first signal is input and the first node;
A second switch element provided between a second input node to which a second signal is input and the first node;
A differential amplifier circuit that outputs an output signal corresponding to a difference between a signal input to the first node in a first input period and a signal input to the first node in a second input period;
A first capacitor provided between the first node and a first input terminal of the differential amplifier circuit;
A bias output circuit;
Including
In the first period,
In the first input period, the first switch element is turned on, and the first signal is input to the first node via the first switch element,
In the second input period, the second switch element is turned on, and the second signal is input to the first node via the second switch element,
In the second period,
In both the first input period and the second input period, one of the first switch element and the second switch element is turned on, and the first signal and the second signal are turned on. One signal corresponding to the one switch element is input to the first node through the one switch element ,
The bias output circuit includes:
A circuit device that outputs a bias voltage that serves as a bias of the one signal to a node corresponding to the one of the first input node and the second input node .
請求項1において、
前記第1の期間での前記差動増幅回路の前記出力信号を第1の出力データにA/D変換し、前記第2の期間での前記差動増幅回路の前記出力信号を第2の出力データにA/D変換するA/D変換回路と、
前記第2の出力データを記憶する記憶部と、
前記第1の出力データを、前記記憶部に記憶された前記第2の出力データに基づいて補正する制御部と、
を含むことを特徴とする回路装置。
In claim 1,
The output signal of the differential amplifier circuit in the first period is A / D converted into first output data, and the output signal of the differential amplifier circuit in the second period is a second output. An A / D conversion circuit for A / D converting the data;
A storage unit for storing the second output data;
A control unit that corrects the first output data based on the second output data stored in the storage unit;
A circuit device comprising:
請求項1において、
前記差動増幅回路の前記出力信号を所与のゲインで増幅する増幅回路と、
前記第1の期間での前記増幅回路の前記出力信号を第1の出力データにA/D変換し、前記第2の期間での前記増幅回路の前記出力信号を第2の出力データにA/D変換するA/D変換回路と、
前記第2の出力データを記憶する記憶部と、
前記第1の出力データを、前記記憶部に記憶された前記第2の出力データに基づいて補正する制御部と、
を含むことを特徴とする回路装置。
In claim 1,
An amplifier circuit for amplifying the output signal of the differential amplifier circuit with a given gain;
The output signal of the amplifier circuit in the first period is A / D converted into first output data, and the output signal of the amplifier circuit in the second period is converted into A / D as second output data. An A / D conversion circuit for D conversion;
A storage unit for storing the second output data;
A control unit that corrects the first output data based on the second output data stored in the storage unit;
A circuit device comprising:
請求項3において、
前記増幅回路は、
第1〜第nのゲインを前記所与のゲインとして前記出力信号を増幅し、
前記記憶部は、
前記第1〜第nのゲインの各ゲインに対応する前記第2の出力データを記憶することを特徴とする回路装置。
In claim 3,
The amplifier circuit is
Amplifying the output signal with the first to nth gains as the given gains;
The storage unit
2. The circuit device according to claim 1, wherein the second output data corresponding to each of the first to nth gains is stored.
請求項1乃至のいずれかにおいて、
前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記差動増幅回路の出力端子との間に設けられる第2のキャパシターを含むことを特徴とする回路装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
A circuit device comprising: a second capacitor provided between the first input terminal of the differential amplifier circuit and an output terminal of the differential amplifier circuit.
請求項において、
第2のノードと基準電圧のノードとの間に設けられる第3のスイッチ素子と、
前記第2のノードと前記差動増幅回路の前記出力端子との間に設けられる第4のスイッチ素子と、
前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記差動増幅回路の前記出力端子との間に設けられる第5のスイッチ素子と、
を含み、
前記第2のキャパシターは、前記差動増幅回路の前記第1の入力端子と前記第2のノードとの間に設けられ、
前記差動増幅回路の第2の入力端子には前記基準電圧が入力され、
前記第1の入力期間では、前記第3のスイッチ素子及び前記第5のスイッチ素子がオンになり、前記第2の入力期間では、前記第4のスイッチ素子がオンになることを特徴とする回路装置。
In claim 5 ,
A third switch element provided between the second node and the node of the reference voltage;
A fourth switch element provided between the second node and the output terminal of the differential amplifier circuit;
A fifth switch element provided between the first input terminal of the differential amplifier circuit and the output terminal of the differential amplifier circuit;
Including
The second capacitor is provided between the first input terminal of the differential amplifier circuit and the second node,
The reference voltage is input to a second input terminal of the differential amplifier circuit;
In the first input period, the third switch element and the fifth switch element are turned on, and in the second input period, the fourth switch element is turned on. apparatus.
請求項1乃至のいずれかに記載された回路装置と、
センサーと、
を含むことを特徴とする検出装置。
A circuit device according to any one of claims 1 to 6 ;
A sensor,
A detection device comprising:
請求項1乃至のいずれかに記載された回路装置を含むことを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the circuit apparatus according to any one of claims 1 to 6.
JP2014056092A 2014-03-19 2014-03-19 Circuit device, detection device, and electronic apparatus Active JP6413269B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014056092A JP6413269B2 (en) 2014-03-19 2014-03-19 Circuit device, detection device, and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014056092A JP6413269B2 (en) 2014-03-19 2014-03-19 Circuit device, detection device, and electronic apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015179934A JP2015179934A (en) 2015-10-08
JP6413269B2 true JP6413269B2 (en) 2018-10-31

Family

ID=54263717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014056092A Active JP6413269B2 (en) 2014-03-19 2014-03-19 Circuit device, detection device, and electronic apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6413269B2 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5920865A (en) * 1982-07-27 1984-02-02 Yokogawa Hokushin Electric Corp Current measuring apparatus
JP3379388B2 (en) * 1997-06-09 2003-02-24 株式会社豊田中央研究所 Capacitance detection circuit
SG104277A1 (en) * 2001-09-24 2004-06-21 Inst Of Microelectronics Circuit for measuring changes in capacitor gap using a switched capacitor technique
JP2012044347A (en) * 2010-08-17 2012-03-01 Seiko Epson Corp Integrated circuit device and electronic apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015179934A (en) 2015-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9385673B2 (en) Amplifier with offset compensation
CN107076786B (en) High current sensing scheme using drain-source voltage
TWI524074B (en) Offset compensation circuit and method thereof
JP5827759B2 (en) Amplifier circuit and amplifier circuit IC chip
US20150236662A1 (en) Apparatus and methods for improving common mode rejection ratio
CN109073478B (en) Transducer measurement
JP6413269B2 (en) Circuit device, detection device, and electronic apparatus
JP5371505B2 (en) Temperature compensation circuit and acceleration or angular velocity sensor
JP2018191169A (en) Switched capacitor amplifier circuit, voltage amplification method and infrared sensor device
JP2018025427A (en) Temperature measurement circuit
JP5440521B2 (en) Sensitivity temperature compensation circuit
JP2016163332A (en) Comparator circuit and sensor device
JP4642364B2 (en) Temperature detection circuit, temperature detection device, and photoelectric conversion device
US9590604B1 (en) Current comparator
JP2016090379A (en) measuring device
JP6357182B2 (en) Sensor device
JP6791648B2 (en) A / D converter circuit and electronic equipment
JP2009058290A (en) Charge amplifier, charge amplifier device, and bias current compensation method
US20240097632A1 (en) Integrated circuit and semiconductor device
JP2015190833A (en) Circuit arrangement, temperature detector, electronic device, and temperature detection method
JP2015122635A (en) Amplification circuit
TWI790857B (en) Differential capacitor device and differential capacitor calibration method
US8981816B2 (en) Multi-input voltage-to-frequency conversion circuit
JP6314598B2 (en) Circuit device, temperature detection device, electronic device, and temperature detection method
JP2004320553A (en) Compensating circuit

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20160617

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20160627

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161226

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180130

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180326

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20180326

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20180326

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180904

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180917

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6413269

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150