JP6407635B2 - 電磁波の偏光方位計測方法及び装置 - Google Patents
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Description
従来のテラヘルツ波の偏光計測方法としては、ワイヤーグリッド偏光子を回転させる方法や、 テラヘルツ波の電場ベクトルを計測できる光伝導アンテナを用いる方法や、直交させて配置した電極による変調を計測する方法や、電気光学結晶の結晶方位依存性を用いる方法が挙げられる。
ここでは、計測対象の電磁波としてテラヘルツ波を挙げるが、可視光などにも同様に適用可能である。
本発明の電磁波の偏光方位計測装置は、少なくとも1つの電磁波出力部と、光学異方性を有する結晶と、ポンプ光光学系と、プローブ光光学系と、検出光学系と、演算装置とを備える。
ビームスプリッター(BS)としては、例えば、ビームサンプラー(Thorlabs、BSF−10B)が使用でき、45°にレーザー光を入射した場合、s偏光は約10%、p偏光は約0%となる。高強度のテラヘルツ波を発生させるために、透過光はテラヘルツ波を発生させるためのポンプ光に、反射光はプローブ光として用いる。なお、この素子は表面と裏面が平行でなく、裏面にはARコーティングが施されているため、裏面からの反射を取り除ける利点がある。
図示の例では、ビームスプリッター(BS)を透過したポンプ光は、レンズ(L1)、光学チョッパー、レンズ(L2)、光学遅延ステージ、レンズ(L3)、結晶((110)ZnTe)、パラボリックミラー(PM)、シリコン基板(Si)を介して、光学異方性結晶((111)ZnTe)に導かれている。
光学チョッパーとしては、例えば、Chopper(Newport、3501)が使用でき、ポンプ光の光路に挿入して回転させることで、発生するテラヘルツ波を周期的に遮断し、変調計測が行える。本実施例では7スロットのホイールを使用し、テラヘルツ波の繰り返し周波数の約1kHzに対応させて、光学チョッパーによる変調周波数はその半分の約500Hzとした。
そこで、光学チョッパーの代わりに、電気光学変調器や音響光学変調器など、電気信号で屈折率を変調する変調装置を用いて、計測の高速化を図ってもよい。
なお、電気光学変調器は、偏光状態を電気的に変化させることができるので、非常に高速な計測を行うことが可能であり、これを用いた計測方法には、反射計測であるエリプソメトリーや、透過計測のポラリメトリーに活用されている(非特許文献6〜9)。
光学遅延ステージ(Delay Stage)としては、例えば、直角プリズムミラー(Thorlabs、MRA25−P01)を2つ用いたコーナーキューブミラーをステッピングモーター(駿河精器、KXG06030−F)上にマウントし、ドライバ(駿河精器、DS102)で制御したものが使用できる。
各レンズ(L1〜3)としては、例えば、平凸レンズ(Thorlabs、N−BK7)が使用できる。
テラヘルツ波を放出する機構としては、光整流法の代わりに、差周波発生法を利用してもよいし、光伝導アンテナや半導体レーザーを用いてもよい。
なお、結晶((110)ZnTe)の結晶面は、(110)に限らず、(111)などの他の面でもよく、使用する結晶も、ZnTeに限らず、非線形光学結晶や電気光学結晶として公知のGaPなど、光学異方性を有する結晶が使用可能である。
パラボリックミラー(PM)としては、例えば、Parabolic Mirror(Edmund、#47-108または#47-107)が使用できる。
図示の例では、ビームスプリッター(BS)を透過したプローブ光は、レンズ(L4)、グラントムソン方解石偏光子(GT)、1/4波長板(QWP1)、パラボリックミラー(PM)の穴を介して、光学異方性結晶((111)ZnTe)に導かれている。
グラントムソン方解石偏光子(GT)としては、例えば、Glan Thomson Prism(Thorlabs、TH10M)が使用でき、波長350nm〜2.3μmで消光比100,000:1である。
図示の例では、プローブ光は、光学異方性結晶((111)ZnTe)、レンズ(L5)、1/4 波長板(QWP2)、電気光学変調器 (EOM)、レンズ(L6)、ウォラストンプリズム(WP)を介して、バランス検出器(Balanced Detector)に導かれている。
結晶((110)ZnTe)と同様に、回転ホルダーに取り付けられ、厚さ1mmであり、結晶面は、(111)に限らず他の面でもよく、使用する結晶も、ZnTeに限らず他の光学異方性を有する結晶が使用可能である。
電気光学変調器 (EOM)としては、例えば、Electro-Optic Modulator(Thorlabs、EO-AM-NR-C1)が使用でき、その使用可能波長は600〜900nmである。
なお、電気光学変調器の代わりに、音響光学変調器など、電気信号で屈折率を変調する変調装置を用いてもよい。
ウォラストンプリズム(WP)としては、例えば、Wollaston Prism(Thorlabs、WP10)が使用でき、消光比は100,000:1である。
なお、ウォラストンプリズム(WP)の代わりに、偏光ビームスプリッターや、円偏光板を利用したビームスプリッタ―や、偏光子や円偏光板を用いてもよい。
なお、バランス検出器(Balanced Detector)の代わりに、光検出器を用いてもよい。すなわち、バランスさせない状態で計測してもよい。
X、Y、Z軸は、実験室座標系であり、プローブ光Epの伝搬方向がZ軸と平行である。プローブ光のはじめの偏光状態は右回りまたは左回り円偏光状態である。プローブ光はパラボリックミラー(PM)の穴を透過した後、(111) 面が切り出された光学異方性結晶((111)ZnTe)に入射する。
φは、光学異方性結晶((111)ZnTe)の[2  ̄1  ̄1]方位とX軸のなす角であり、θが、求めたいテラヘルツ電場ベクトルETとX軸のなす角度である。
光学異方性結晶((111)ZnTe)を透過した後のプローブ光は、速軸または遅軸がY軸と平行に配置された1/4波長板(QWP2) を透過し、その後、速軸または遅軸がX軸に対して45°傾けられた電気光学変調器(EOM)を透過し、最終的には、ウォラストンプリズム(WP)によって、X、Y軸方向に振動する2つの直線偏光に分離され、その強度差ΔIをバランス検出器によって検出し出力する。
ファンクションジェネレーター(Function Generator)(Keithley、3390)は、電気光学変調器(EOM)に印加するための正弦波電場を出力する装置であり、例えば、Vppを18V、繰り返し周波数を40kHzとし、これに同期した方形波を出力しマスタークロックとして用いる。
高電圧増幅器(HV Amp.)(Thorlabs、HVA200)は、入力電圧を20倍に増幅して、電気光学変調器(EOM)へ導く装置である。
分周器(PS1)は、ファンクションジェネレーターから出力される繰り返し周波数40kHzの方形波を40分の1にし、3つに分けた信号のうちの1つを計測トリガとして用いる。
フェイズロックループ(PLL1)は、分周器(PS1)から出力される繰り返し周波数1kHzの方形波を310逓倍し、これにより生成された方形波をA/Dクロックとして用いる。フェイズロックループ(PLL2)で、繰り返し周波数1kHzの方形波を6逓倍し、6kHzの方形波を生成して、チョッパーを6kHzの変調周波数で駆動させる。なお、各周波数はファンクションジェネレータを用いて作成してもよい。
1/4波長板(QWP2)を取り外し1/4波長板(QWP1)を回転させることで、バランス検出器からの出力電圧を0にし、また、1/4波長板(QWP2)を入れ回転させ、再びバランス検出器からの出力を0にする。次いで、ファンクションジェネレーターからVpp18V、周波数40kHzの正弦波を出力し、高電圧増幅器(HV Amp.)に入力する。高電圧増幅器(HV Amp.)からの出力を電気光学変調器(EOM)に入力すると、信号が40kHzで振動するため、この振動成分が0になるように1/4波長板(QWP1)及び1/4波長板(QWP2)の角度を調節する。信号に直流成分が残った場合は、ウォラストンプリズム(WP)の角度を調節する。
バランス検出器での検出信号処理は、A/D変換した差分信号の値をFFT(Fast Foulier Transform) し、34または46kHz、及び、74または86kHz成分の振幅及び位相を測ることで、テラヘルツ電場ベクトルを決定する。
電磁波の偏光方位(テラヘルツ電場ベクトルETとX軸のなす角度θ)の算出方法は以下の通りである。
プローブ光の初期偏光状態は右回り円偏光であるとする。すなわち、PIに位置し、そのStokesベクトルSIは下式で表せる。
図5(a)は、テラヘルツ電場を印加していないとき、図5(b)は、テラヘルツ電場を印加しているが、チョッパーを回転させていないとき、図5(c)は、テラヘルツ電場を印加し、チョッパーを変調周波数ωCで回転させたときを示す。図5(a)における矢印及び図5(b)(c)において2段になっている矢印のうちの下段の矢印(点線)は、理論的には存在しない光学素子不完全性から生じるスペクトルを表し、他の矢印(実線)はテラヘルツ電場を印加した際に現れるスペクトルである。
図6は、実験例による差分信号ΔI(t)のスペクトルを表したグラフである。
電磁波発生源は、一体型モードロックチタンサファイアレーザー(米国スペクトラフィジックスインコーポレイテッド、MaiTaiN1SWT‐FE)、電気光学変調器(EOM)は、Thorlab Inc.製Part No. EO‐AM‐NR‐C1、光学チョッパーは、NewPort製Optical Chopper Model:3501を使用した。電気光学変調器(EOM)による変調角周波数をωM/(2π)=40kHz、光学チョッパーによる変調角周波数をωC/(2π)=6kHzとし、電気光学変調器(EOM)に正弦波電圧振幅180Vを印加した(変調深さmf=2.13に相当)。
バランス検出器からの出力ΔIを、サンプリング周波数310kHz、サンプル数310点で測定した。すなわち、周波数分解能は1kHzであり、計測時間は310/310kHz=1msec.の高速度である。
グラフには、310点列のΔIを離散フーリエ変換したときのパワースペクトル密度(PSD) を片対数プロットした。
光学チョッパーによる変調角周波数がωC/(2π)=6kHzであるので、テラヘルツ電場の印加時(ET≠0)に、光学チョッパーの変調角周波数をωCとしたとすると、ωMの側帯波としてωM±nωC、2ωMの側帯波として2ωM±nωCが生じることになる前出の理論式に一致した。
電磁波発生源は、一体型モードロックチタンサファイアレーザー(米国スペクトラフィジックスインコーポレイテッド、MaiTaiN1SWT‐FE)、電気光学変調器(EOM)は、Thorlab Inc.製Part No. EO‐AM‐NR‐C1、光学チョッパーは、NewPort製Optical Chopper Model:3501を使用した。電気光学変調器(EOM)による変調角周波数をωM/(2π)=40kHz、光学チョッパーによる変調角周波数をωC/(2π)=4kHzとし、電気光学変調器(EOM)に正弦波電圧振幅180Vを印加した(変調深さmf=2.13に相当)。
グラフの横軸は、電磁波発生用の結晶((110)ZnTe)の角度を表す。結晶((110)ZnTe)を回転させると、異なる直線偏光のテラヘルツ波が放射される。図7(a)は、計測電場ベクトルのx成分(Ex)であり、図7(b)は、y成分(Ey)である。
なお、本発明では、φの不定性を消去することはできないので、次の方法で補正した。
すなわち、グラフの横軸が0のときにΔA=Angle2(本発明方法で得られる電場ベクトルの方位=θ‐3φ)‐Angle1(先行発明方法で得られる電場ベクトルの方位=θ)=‐3φを計算する。次いで、本発明方法で計測された全ての電場ベクトルの方位角からΔAを引く。そして、電気光学変調器(EOM)の信号強度を定数倍し、両者のグラフが重なるように合わせる。
電磁波発生源は、一体型モードロックチタンサファイアレーザー(米国スペクトラフィジックスインコーポレイテッド、MaiTaiN1SWT‐FE)、電気光学変調器(EOM)は、Thorlab Inc.製Part No. EO‐AM‐NR‐C1、光学チョッパーは、NewPort製Optical Chopper Model:3501を使用した。電気光学変調器(EOM)による変調角周波数をωM/(2π)=40kHz、光学チョッパーによる変調角周波数をωC/(2π)=6kHzとし、電気光学変調器(EOM)に正弦波電圧振幅180Vを印加した(変調深さmf=2.13に相当)。
ベクトル電場は、直線偏光のテラヘルツ波が幅50μm, ピッチ125μmのワイヤーグリッド構造を透過することによって作成した。
各時刻の計測値は、テラヘルツ電場を発生させるレーザー光の光路に、ボイスコイルモーターを用いた遅延ステージを配置し、これを高速スキャンすることで計測した。
各時刻での計測時間は1msec.の高速度であり、全計測時間は100 msec.で100点を測定したところ、図示の通り、経時変化を観測できた。
Claims (7)
- 電磁波を出力する少なくとも1つの電磁波出力部と、
光学異方性を有する結晶と、
電磁波出力部から出力されたポンプ光を、屈折率を変調する変調装置を介して周波数fで変調して電磁波を発生させるポンプ光光学系と、
電磁波出力部から出力されたプローブ光を、ポンプ光光学系による前記光学異方性結晶へのポンプ光照射と同期させて、前記光学異方性結晶に入射するプローブ光光学系と、
前記光学異方性結晶を透過したプローブ光を、電気信号で屈折率を変調する変調装置を介して周波数Fで変調し、次いで、直交2成分の偏光に分離し、その直交2成分の偏光の強度差を検出する検出光学系と、
検出光学系で検出された信号のF±f振動成分及び2F±f振動成分から、電磁波の偏光方位を算出する演算装置と、を備える
ことを特徴とする電磁波の偏光方位計測装置。 - ポンプ光光学系における変調装置が、電気信号で屈折率を変調する変調装置である
請求項1に記載の電磁波の偏光方位計測装置。 - ポンプ光光学系における変調装置が、光学チョッパーである
請求項1に記載の電磁波の偏光方位計測装置。 - ポンプ光光学系における電気信号で屈折率を変調する変調装置と、検出光学系における電気信号で屈折率を変調する変調装置が、電気光学変調器または音響光学変調器である
請求項1または2に記載の電磁波の偏光方位計測装置。 - ポンプ光光学系に、ポンプ光を入出力する試料を配置する試料設置部を設けると共に、
演算装置に、予め取得し記録した電磁波の偏光方位と試料の物性との対応関係を用いて、前記試料を配置した場合の電磁波の偏光方位から、前記試料の物性を求める物性測定部を設けた
請求項1ないし4のいずれかに記載の電磁波の偏光方位計測装置。 - 電磁波出力部によってポンプ光を出力し、
ポンプ光を、屈折率を変調する変調装置を介して周波数fで変調し、
周波数fで変調したポンプ光を用いて電磁波を発生させる一方、
電磁波出力部によってプローブ光を出力し、
プローブ光を、前記光学異方性結晶へのポンプ光照射と同期させて、前記光学異方性結晶に入射し、
前記光学異方性結晶を透過したプローブ光を、電気信号で屈折率を変調する変調装置を介して周波数Fで変調し、
周波数Fで変調したプローブ光を、直交2成分の偏光に分離し、その直交2成分の偏光の強度差を検出し、
検出された信号のF±f振動成分及び2F±f振動成分から電磁波の偏光方位を算出する
ことを特徴とする電磁波の偏光方位計測方法。 - ポンプ光の光路の途中で、ポンプ光を試料に入出力させ、
予め取得し記録した電磁波の偏光方位と試料の物性との対応関係を用いて、前記試料を配置した場合の電磁波の偏光方位から、前記試料の物性を求める
請求項6に記載の電磁波の偏光方位計測方法。
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