JP6401532B2 - 基板検査プローブ装置、および、基板検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板検査プローブ装置、及び基板検査方法に関する。

近年、表示パネルは、携帯電話、スマートフォン、タブレット等に代表される中小型デジタル製品に搭載される。このような表示パネルは、次の方法によって製造される。まず、いわゆるマザーガラス上に、ＣＦパネル基板及びＴＦＴパネル基板各々の基板を作製する。そして、シール材などを用いてＣＦパネル基板とＴＦＴパネル基板とを貼り合わせた後、ＣＦパネル基板側を分断ホイールによって分断する。その後、マザーガラスを反転させ、ＴＦＴパネル基板側を複数の分断ホイールによって分断する。このような分断によって、貼り合わせた一対の基板を所定のサイズに分断して、表示パネルが作製される。

この表示パネルの分断精度は、分断ホイールのガタツキ、分断ホイールの位置決め精度、ＣＦパネル基板側及びＴＦＴパネル基板側の分断位置ずれ等の要因により、設定値に対して±０.１ｍｍ程度の分断バラつきが生じる。

所定サイズに分断された表示パネルに対して、ＴＦＴ基板表面に形成された端子部に検査ユニットのプローブを接触させて、所定の点灯検査を行う。この点灯検査によって、電極の断線、短絡、点灯状態の確認を行うことにより表示パネルの検査を実施する。

この点灯検査には、端子部とプローブとの高精度な位置合わせが要求される。例えば、ＴＦＴ液晶表示パネルにおいては、位置ずれによりリード端子に対して間違えて電圧をかけると、その電圧印加のタイミングによってはＴＦＴが破壊されることがある。したがってパネルの分断位置精度バラツキの影響によって、表示パネルの外形基準にてパネルを位置決めし、プローブを接触させた場合には、上記の位置ずれによりＴＦＴが破壊されることが頻発していた。

このため、表示パネルの検査においては、多くの場合、オートアライメント機構を有する検査装置が用いられている。オートアライメント機構を有する検査装置は、例えば特許文献１に開示されている。

この検査装置を用いた検査方法によると、まず、液晶表示パネルに設けられているアライメントマークをＣＣＤカメラにて撮像し、その撮像信号を画像処理ユニットで処理して液晶表示パネルのリード端子の位置を特定する。そして、特定されたリード端子の位置データに基づいてプローブピンまたは液晶表示パネルのいずれかを移動させて、端子部とプローブピンとの位置合わせを行う。特許文献１では、端子部に点灯電圧を印加するに先だって、端子部とプローブピンとの位置合わせ状態を、実際にプローブピンを接触させた状態で確実に検出する手段が提案されている。

特許文献１の検査装置による検査方法では、端子部に、ダミー端子を配置し、プローブピンを保持するプローブヘッド側に、上記ダミー端子を介して導通チェック電流を流す各一対の電流プローブピンを設ける。そして、上記電圧プローブピンおよび上記電流プローブピンの全てを上記端子部に接触させた後、上記電流プローブピン間のみに導通チェック電流を流すようになっている。そして、その電流の導通・非導通により、上記電圧プローブピンと上記リード端子との間の位置ずれの有無を検出している。上記電流プローブピン間で電流が導通し位置ずれがない場合、上記電流プローブピンを上記ダミー端子に接触させた状態のまま、上記電圧プローブピンから上記リード端子の各々に点灯電圧を印加するようになっている。

特許文献１の検査方法によれば、端子部とプローブとの高精度な位置合わせ後にダミー端子で導通を確認することにより、最終的な端子部とプローブとの位置合わせ状態を確認した後に点灯検査を実施することが可能となる。それゆえ、位置ずれによりＴＦＴが破壊されることがない。

また、例えば特許文献２には、ディスプレイパネルの点灯検査装置が開示されている。さらに、特許文献３には、基板表面に形成された導体パターンに検査プローブを接触させて、導体パターンの導通検査を行う導通検査装置が開示されている。

特許第４８０３６９２号（２０１１年１０月２６日発行） 特開２００４−１７０２３８号公報（２００４年 ６月１７日公開） 特開平１０−１１５６５３号公報（１９９８年 ５月 ６日公開）

特許文献１の点灯検査方法では、ダミー端子に導通チェック用のプローブを接触させて、導通の有無により端子部とプローブとの相対的な位置関係を確認している。そして、導通が確認された場合、そのまま点灯検査を実施することが可能になる。一方、導通が確認されない場合、端子部とプローブとの相対的な位置関係を再調整する必要がある。

端子部とプローブとの相対的な位置関係を再調整するに際し、まず、液晶表示パネルに設けられているアライメントマークをＣＣＤカメラにて撮像し、その撮像信号を画像処理ユニットにより処理して液晶表示パネルのリード端子の位置を特定する。そして、特定されたリード端子の位置データに基づいてプローブピンまたは液晶表示パネルのいずれかを移動させて、端子部とプローブとの相対的な位置関係を再調整する。この場合、ＣＣＤカメラや端子部とプローブとの相対的な位置関係を調整するために、点灯検査装置にアクチュエータ機構を設ける必要がある。１つの点灯検査装置によって複数枚の液晶表示パネルの点灯検査を実施するような場合、点灯検査装置に複数台のＣＣＤカメラや複数のアクチュエータ機構を設ける必要がある。このため、特許文献１の点灯検査方法では、点灯検査装置の構成が複雑となり、装置の価格が増大するという問題がある。

また、プローブを接触させるリード端子の位置に対する液晶表示パネルの外形精度が低い場合、液晶表示パネルの外形を基準としてリード端子の位置決めを行うと、外形に対するリード端子の相対的な位置がずれてしまう。このため、プローブがリード端子に接触せず、所望の点灯検査を実施できないおそれがある。

さらに、上記の問題は、ＦＰＣ上の端子にプローブを接触させて導通検査を行う場合にも生じる。ＦＰＣのように、フォトリソグラフィ技術によって高精度に端子部が形成されていても、端子部の形成精度に対しＦＰＣの外形打ち抜き精度が低いため、外形基準にてＦＰＣを位置決めしても、ＦＰＣの外形と端子部との間に相対的な位置ずれが発生する。その結果、プローブが所定位置の端子に接触せず、所望の検査を実施することができないおそれがある。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、端子とプローブとの相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要としない検査を実現することが可能な基板検査プローブ装置、および、基板検査方法を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る基板検査プローブ装置は、被検査基板上の検査用の端子部に接触するプローブを有する検査ユニットを備え、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査プローブ装置であって、上記端子部を構成する複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配されたプローブ群を複数備え、上記プローブ群同士は、端子の配列方向にずれて配置されており、上記複数のプローブ群のうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態を確認する接続状態確認部と、各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替部とが設けられていることを特徴としている。

また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る基板検査方法は、検査ユニットに設けられたプローブを被検査基板上の検査用の端子部に接触させ、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査方法であって、上記プローブは、上記端子部を構成する複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配された複数のプローブ群で構成され、上記プローブ群同士が、端子の配列方向にずれて配置されており、
上記複数のプローブ群のうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態を確認する確認工程と、各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替工程と、含み、上記切替工程では、上記確認工程にて所定の電気接続状態が確認されない場合に、上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を切り替えることを特徴としている。

本発明の一態様によれば、端子とプローブとの相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要としない検査を実現することが可能であるという効果を奏する。

本発明の実施形態１に係る基板検査プローブ装置の検査対象である測定用パネルの概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態１に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態１に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す側面図である。 図１に示す測定用パネルにおける検査用端子部の概略構成を示す拡大上面図である。 本発明の実施形態１に係る基板検査プローブ装置におけるプローブの概略構成、及びプローブと検査用端子部との相対的な位置関係を示す上面概略図である。 検査用端子部とプローブとの相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合の、プローブと検査用端子部との相対的な位置関係を示す上面概略図である。 検査用端子部とプローブとの相対的な位置ずれ量が正常値よりも大きい場合の、プローブと検査用端子部との相対的な位置関係を示す上面概略図である。 本発明の実施形態２に係る点灯検査装置の検査対象である検査用モジュールの概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態２に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す上面図である。 本発明の実施形態２に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す側面図である。 図８に示す検査用モジュールにおける外部駆動用のＦＰＣの構成を拡大して示した上面図である。 本発明の実施形態３に係る基板検査プローブ装置におけるプローブＦＰＣの構成を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。 本発明の実施形態３に係る基板検査プローブ装置におけるプローブＦＰＣが検査用端子部に接触した状態を概略的に示す上面図である。 本発明の実施形態５に係る基板検査プローブ装置の測定対象である測定用パネルにおける検査用端子部の概略構成を示す拡大上面図である。 本発明の実施形態５に係る基板検査プローブ装置におけるプローブの概略構成、及びプローブと検査用端子部との相対的な位置関係を示す上面概略図である。 本発明の実施形態５に係る基板検査プローブ装置において、検査用端子部とプローブとの相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合の、プローブと検査用端子部との相対的な位置関係を示す上面概略図である。

〔実施形態１〕
本発明の基板検査プローブ装置は、外形を基準として位置決めされた検査対象基板の端子に対してプローブを接触させて、端子とプローブとの間の導通の有無を確認することによって電気的検査（電極の断線、短絡等の検査）を実施する装置である。

本実施形態では、このような基板検査プローブ装置の一例として、検査対象基板として液晶表示パネルのＴＦＴパネル基板を採用し、電気的検査として液晶表示パネルの点灯検査を行うための装置について説明する。なお、本発明の基板検査プローブ装置の検査対象基板は、液晶表示パネルのＴＦＴパネル基板に限定されず、電極の断線、短絡等の電気的検査が必要な基板であればよい。

図１は、本実施形態に係る基板検査プローブ装置の検査対象である測定用パネルの概略構成を示す上面図である。図２は、本実施形態に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す上面図である。図３は、本実施形態に係る基板検査プローブ装置の概略構成を示す側面図である。

図１に示されるように、測定用パネル２０は、ＣＦパネル基板５とＴＦＴパネル基板６（被検査基板）とが貼り合わされた構成になっている。ＴＦＴパネル基板６の表面には検査用端子部７が設けられている。検査用端子部７は、２つ設けられており、それぞれが、ＴＦＴパネル基板６における隣り合う角部に形成されている。ＴＦＴパネル基板６は、この検査用端子部７が露出した状態で、ＣＦパネル基板５と貼り合わされている。また、測定用パネル２０は、ＣＦパネル基板５とＴＦＴパネル基板６との間に液晶層を備えている。

本実施形態に係る基板検査プローブ装置は、測定用パネル２０の点灯検査を行う点灯検査装置１０であり、測定用パネル２０を搭載する治具部１（位置決め部）と、検査ユニット８とを備えている。検査ユニット８には、ＴＦＴパネル基板６の検査用端子部７に接触するプローブ９が設けられている。点灯検査装置１０は、ＴＦＴパネル基板６の検査用端子部７にプローブ９を接触させて、点灯検査用電圧を印加したときの、測定用パネル２０の表示状態（点灯）を検査するものである。

図２及び図３に示されるように、治具部１は、測定用パネル２０を同時に２枚搭載可能な構成になっている。なお、図２に示された治具部１おける左側部分は、測定用パネル２０が搭載されていない状態を示している。右側部分は、測定用パネル２０が搭載された状態を示している。図２に示された治具部１の右側部分では、測定用パネル２０の検査用端子部７に検査ユニット８のプローブ９が接触している。

治具部１は、ベーク板、ユニレート等のエンジニアリングプラスチック材によって構成されている。治具部１には、測定用パネル２０を位置決めするための複数の基準ピン２、可動部を有する移動ピン３、及び開口部４が設けられている。基準ピン２は、測定用パネル２０における隣接する２辺に同時に当接するように配置されている。そして、移動ピン３は、基準ピン２と対向するように配置されており、対向する基準ピン２に接近または離間するように移動可能になっている。また、開口部４は、治具部１における測定用パネル２０の搭載領域に設けられている。測定用パネル２０が搭載されたとき、開口部４は、測定用パネル２０によって閉塞される。点灯検査装置１０による点灯検査を実施するときには、開口部４の下側からバックライトを点灯させ、光を測定用パネルへ照射する。そして、点灯検査用電圧を印加し測定用パネル２０の表示状態を確認することによって、点灯検査を行う。

以下、点灯検査装置１０を用いた測定用パネル２０の点灯検査方法（基板検査方法）について説明する。測定用パネル２０の点灯検査方法は、測定用パネル２０の外形位置決めを行う位置決め工程と、測定用パネル２０の検査用端子部７にプローブ９を接触させるプローブ接触工程と、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認する確認工程と、検査用端子部７に点灯検査用電圧を印加し測定用パネル２０の点灯検査を行う検査工程と、を含む。

まず、上記位置決め工程では、測定用パネル２０を点灯検査装置１０の治具部１に搭載し、測定用パネル２０の外形位置決めを行う（基板を位置決めする工程）。この外形位置決め工程においては、図２の治具部１の右側部分に示されるように、治具部１において、測定用パネル２０を構成する４辺のうち、隣り合う２つの辺２０Ａ・２０Ｂを基準ピン２によって保持する。そして、２つの辺２０Ａ・２０Ｂが基準ピン２によって保持された状態で、移動ピン３を、その対向する基準ピン２に対し接近するように移動し、測定用パネル２０の２つの辺２０Ｃ・２０Ｄに当接する。このように、測定用パネル２０を基準ピン２に対して外形位置決めをする。

次に、上記プローブ接触工程では、測定用パネル２０の検査用端子部７の上側に配置されている検査ユニット８を降下させる。そして、検査ユニット８のプローブ９と検査用端子部７とを接触させる（プローブを検査用端子部に接触させる工程）。

ここで、測定用パネル２０は、以下のようにして作製される。すなわち、まず、ＣＦパネル基板５及びＴＦＴパネル基板６を各々、いわゆるマザーガラス上に作製する。そして、シール材などを用いてＣＦパネル基板５とＴＦＴパネル基板６とを貼り合わせた後、ＣＦパネル基板５側の部分を分断ホイールによって分断する。その後、マザーガラスを反転させ、ＴＦＴパネル基板６側の部分を複数の分断ホイールを用いて分断する。このような分断によって、貼り合わせた一対の基板（ＣＦパネル基板５及びＴＦＴパネル基板６）を所定のサイズに分断して、測定用パネル２０が作製される。

上記の方法によって作製された測定用パネル２０において、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌは、設定値に対して±０.１ｍｍ程度のバラつきが生じている。このバラつきは、分断ホイールのガタツキ、分断ホイールの位置決め精度、ＣＦパネル基板５側の部分とＴＦＴパネル基板６側の部分との間の分断位置のずれ等の要因によって生じている。

上記距離Ｌのバラつき（±０.１ｍｍ）、測定用パネル２０の外形位置決め時のバラつき、プローブの位置バラつき等によって、上記プローブ接触工程にて、検査ユニット８のプローブ９を外形位置決めした測定用パネル２０の検査用端子部７に下降させたとき、プローブ９が検査用端子部７に接触しない場合が生じてしまう。

そこで、測定用パネル２０の点灯検査方法では、確認工程にて、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認する。

図４は、検査用端子部７の概略構成を示す拡大上面図である。図４に示されるように、２つの検査用端子部７はそれぞれ、点灯検査を行うための複数の点灯用端子７ａ（検査用端子部）と、プローブ９の接触位置を確認するための２つの確認端子７ｂ（位置確認用端子部）とから構成されている。検査用端子部７において、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂは、一列に配列しており、確認端子７ｂの方が点灯用端子７ａよりも外側に配置されている。検査用端子部７が２つ並列して配された状態では、確認端子７ｂは、点灯用端子７ａの両側に配置されている。また、測定用パネル２０には、点灯用端子７ａの両側に配された確認端子７ｂ間の抵抗値（所定の電気接続状態）を計測する抵抗計測部１２（接続状態確認部）が設けられている。

上記プローブ接触工程によって、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂは、プローブ９に接触した状態になっている。上記確認工程では、抵抗計測部１２によって、点灯用端子７ａの両側に配された確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒ（所定の電気接続状態）を計測する（図４参照）。ここで、プローブ９は、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対応付けられて設けられている。それゆえ、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対するプローブ９の接触位置が正しい、すなわち、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれについて、接触するプローブ９が存在する場合、計測値は抵抗値Ｒとなる。それゆえ、点灯用端子７ａの両側に配された確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを計測し計測値を確認することにより、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認することができる。

なお、上記確認工程では、点灯用端子７ａの両側に配置されていた２つの確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを測定することによって、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認していた。しかし、抵抗値Ｒを測定するための２つの確認端子７ｂの配置は、点灯用端子７ａの両側に限定されず、抵抗値Ｒを測定することが可能な配置であればよい。例えば、図４に示された構成において、点灯用端子７ａの一方の側に配置された２つの確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを測定することによっても、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認することが可能である。

上記確認工程にて、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれが無いことが確認されたとき、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施する（検査工程）。

現状の検査用端子部７における点灯用端子７ａの端子幅Ｗは、０.２５ｍｍ程度であり、配列ピッチＰは、０.３ｍｍ程度であることが一般的である。さらに、上述のように、上記距離Ｌのバラつき（±０.１ｍｍ）、測定用パネル２０の外形位置決め時のバラつき、プローブ９の位置バラつき等によって、上記プローブ接触工程にて、外形位置決めした測定用パネル２０の検査用端子部７に検査ユニット８のプローブ９を下降させたとき、プローブ９が検査用端子部７に接触しない場合が生じる。この場合、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれは、端子幅Ｗの１／２以上となることがある。

上記確認工程にて、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれがあると確認された場合、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置を再調整し確認工程にて再度抵抗値Ｒを計測する必要がある。本実施形態に係る点灯検査装置１０は、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置を再調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要としない構成になっている。それゆえ、本実施形態に係る点灯検査装置１０によれば、安価であり、かつ確実な点灯検査を実施することができる。

図５は、点灯検査装置１０のプローブ９の概略構成、及びプローブ９と検査用端子部７との相対的な位置関係を示す上面概略図である。なお、図５は、検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常である場合を示す。ここでいう、正常である場合とは、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌが設定値通りになるように分断できている場合をいう。

図５に示されるように、プローブ９は、複数のプローブ９ａからなるプローブ群Ａと、複数のプローブ９ｃからなるプローブ群Ｃとにより構成されている。プローブ群Ａを構成するプローブ９ａは、検査用端子部７を構成する端子（点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂ）の配列ピッチに対応して配されている。同様に、プローブ群Ｃを構成するプローブ９ｃは、検査用端子部７を構成する端子の配列ピッチに対応して配されている。このように、プローブ９は、検査用端子部７を構成する端子の配列ピッチに対応してプローブ９ａ・９ｃが配されているプローブ群Ａ・Ｃを備えている。

また、検査ユニット８には、検査用端子部７を構成する端子それぞれに対して、切替スイッチ１１（切替部）が設けられている。この切替スイッチ１１は、検査ユニット８とプローブ群Ａ・Ｃとの電気接続を切り替えるものである。すなわち、切替スイッチ１１は、検査ユニット８と電気接続するプローブ群を、プローブ群Ａからプローブ群Ｃへ、またはプローブ群Ｃからプローブ群Ａへ切り替える。それゆえ、プローブ群Ａ・Ｃは、切替スイッチ１１を介して検査ユニット８に接続されている。本実施形態に係る点灯検査方法は、検査用端子部７を構成する端子各端子について検査ユニット８と電気接続するプローブ群を、プローブ群Ａからプローブ群Ｃへ、またはプローブ群Ｃからプローブ群Ａへ切り替える切替工程を含む。

また、プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、検査用端子部７を構成する端子と同一ピッチで配置されている。さらに、プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、同一の端子に接触する範囲で配置位置がずらされている。プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、同一の端子に対して該端子の中央線を挟んで両側に位置していることが好ましい。

図５に示された構成では、例えば、端子幅Ｗは、０.２５ｍｍであり、プローブ９ａとプローブ９ｃとのずれ量は、０.２ｍｍである。それゆえ、図５のように検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常である場合、検査用端子部７を構成する端子は、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ及びプローブ群Ｃに属するプローブ９ｃの両方に接触した状態になっている。

図５に示された構成を備えた本実施形態に係る点灯検査装置１０においては、上記確認工程にて、抵抗計測部１２によって確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを計測するとき、まず、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する（切替工程、確認工程）。

そして、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対するプローブ９ａの接触位置が正しい場合、計測値は抵抗値Ｒを示す。計測値が抵抗値Ｒであることを確認することができれば、プローブ９ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことになる。

確認工程においてプローブ９ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことが確認されたとき、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施する（検査工程）。

また、確認工程において確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを確認できない場合、切替工程にて、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ｃ側に切り替えて抵抗計測部１２による計測値を確認する。

ここで、図５に示された構成では、上述したように、検査用端子部７を構成する端子は、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ及びプローブ群Ｃに属するプローブ９ｃの両方に接触した状態になっている。このため、上記確認工程においては、切替スイッチ１１によって、プローブ９ａからなるプローブ群Ａ側に切り替えても、プローブ９ｃからなるプローブ群Ｃ側に切り替えても、抵抗計測部１２による計測値は抵抗値Ｒを示す。それゆえ、切替スイッチ１１によるプローブ群Ａ側及びプローブ群Ｃ側の電気接続の切り替えを必要とせず、抵抗計測部１２による計測値が抵抗値Ｒであることが確認できれば、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

一方、図５に示された構成と異なり、検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常でない場合（測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌが設定値よりも大きい、あるいは小さくなるように分断できている場合）、検査用端子部７を構成する端子は、プローブ９ａ及びプローブ９ｃの何れかに接触した状態になる。このような場合、切替スイッチ１１によるプローブ群Ａ側及びプローブ群Ｃ側の電気接続の切り替えが必要である。

図６は、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合の、プローブ９と検査用端子部７との相対的な位置関係を示す上面概略図である。ここでいう正常値よりも小さい場合とは、例えば、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌが設定値よりも小さい場合をいう。

上記距離Ｌのバラつき（±０.１ｍｍ）、測定用パネル２０の外形位置決め時のバラつき、プローブの位置バラつき等によって、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合がある。このような場合、上記確認工程にて、抵抗計測部１２によって確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを計測するとき、まず、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する。

図６に示されるように、プローブ９ａの接触位置は、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対応していない。すなわち、複数のプローブ９ａの中には、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂに接触していないプローブ９ａが存在する。このような場合、計測値として抵抗値Ｒを計測することができない。このようにプローブ群Ａ側に電気接続を切り替えた状態で抵抗計測部１２によって確認端子７ｂ間の抵抗値を計測した結果、抵抗値Ｒを確認できない場合、切替スイッチ１１によってプローブ群Ｃ側に電気接続を切り替える。

図６に示されるように、プローブ９ｃの接触位置は、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対応しており、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対するプローブ９ｃの接触位置が正しい。それゆえ、切替スイッチ１１によってプローブ群Ｃ側に電気接続を切り替えることによって、抵抗計測部１２の計測値として抵抗値Ｒを確認することができる。このように抵抗値Ｒを確認できれば、検査ユニット８からプローブ９ｃを介して点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

図７は、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも大きい場合の、プローブ９と検査用端子部７との相対的な位置関係を示す上面概略図である。ここでいう正常値よりも大きい場合とは、例えば、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌが設定値よりも大きい場合をいう。

上記距離Ｌのバラつき（±０.１ｍｍ）、測定用パネル２０の外形位置決め時のバラつき、プローブの位置バラつき等によって、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも大きい場合もある。このような場合、上記確認工程にて、抵抗計測部１２によって確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを計測するとき、まず、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する。

図７に示されるように、プローブ９ａの接触位置は、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対応しており、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対するプローブ９ａの接触位置が正しい。それゆえ、切替スイッチ１１によってプローブ群Ａ側に電気接続を切り替えることによって、抵抗計測部１２の計測値として抵抗値Ｒを確認することができる。このように抵抗値Ｒを確認できれば、検査ユニット８からプローブ９ａを介して点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

このように、本実施形態に係る点灯検査装置１０を用いた点灯検査方法によれば、確認工程において確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを確認できない場合であっても、確認端子７ｂとプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続を切替えて、再度確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを確認する。そして、確認後、検査ユニット８から切り替えたプローブ群を介して点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

また、切替スイッチ１１によりプローブ群を切り替えて、どちらのプローブ群にて点灯検査を実施しているかを確認することによって、プローブ９の相対位置が正常値に対してどの方向にずれているか確認することが可能になる。そして、このずれに関する確認結果を測定用パネル２０の分断工程へフィードバックし、分断位置のずれ方向を適正化することが可能になる。

以上のように、本実施形態に係る点灯検査装置および点灯検査方法によれば、複数のプローブ群Ａ・Ｃのうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態（抵抗値Ｒ）を確認することにより、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。したがって、検査用端子部７を構成する端子とプローブ９との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要とせず、安価であり、かつ確実な検査を実現することが可能になる。

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図８〜図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図８は、本実施形態に係る点灯検査装置１０Ａの検査対象である検査用モジュール３０の概略構成を示す上面図である。図９は、本実施形態に係る点灯検査装置１０Ａの概略構成を示す上面図である。図１０は、本実施形態に係る点灯検査装置１０Ａの概略構成を示す側面図である。図１１は、検査用モジュール３０における外部駆動用のＦＰＣ（フレキシブルプリント回路基板）２２の構成を拡大して示した上面図である。

図８に示されるように、検査用モジュール３０は、測定用パネル２０と、該測定用パネル２０の裏側に貼り合わされたバックライト２５とを備えている。測定用パネル２０の構成は、上記実施形態１と同様であるので説明を省略する。検査用モジュール３０においては、測定用パネル２０のＴＦＴパネル基板６における検査用端子部７が形成された表面には、ＴＦＴパネル基板６を駆動するためのＩＣチップ２１が搭載されている。また、ＴＦＴパネル基板６の上記表面には、外部駆動用のＦＰＣ２２（被検査基板）が接続されている。外部駆動用のＦＰＣ２２は、位置決め用の基準穴２３と、駆動電極２４（検査用の端子部）と、を備えている。

本実施形態に係る点灯検査装置１０Ａは、検査用モジュール３０におけるＦＰＣ２２の駆動電極２４に、検査ユニット８のプローブ９を接触させ、点灯検査用電圧を印加し、検査用モジュール３０における測定用パネル２０の点灯状態を検査するものである。点灯検査装置１０Ａは、検査用モジュール３０を搭載する治具部５１を備えている。

図９及び図１０に示されるように、治具部５１は、検査用モジュール３０を同時に２枚搭載可能な構成になっている。なお、図９に示された治具部５１おける左側部分は、検査用モジュール３０が搭載されていない状態を示している。右側部分は、検査用モジュール３０が搭載された状態を示している。

治具部５１は、ベーク板、ユニレート等のエンジニアリングプラスチック材によって構成されている。治具部５１には、コーナー部５２、ＦＰＣ基準ピン５３、及び検査用モジュール３０を位置決めするための掘り込み部５４が設けられている。掘り込み部５４は、治具部５１における検査用モジュール３０のバックライト２５が搭載される領域に設けられている。この掘り込み部５４は、バックライト２５と略同形に形成されている。コーナー部５２は、掘り込み部５４の四隅に形成されている。また、ＦＰＣ基準ピン５３は、検査用モジュール３０が治具部５１に搭載されたとき、基準穴２３と対応する位置に設けられている。

以下、点灯検査装置１０Ａを用いた検査用モジュール３０の点灯検査方法（基板検査方法）について説明する。

検査用モジュール３０の点灯検査方法における位置決め工程では、検査用モジュール３０を点灯検査装置１０Ａの治具部５１に搭載し、測定用パネル２０の外形位置決めを行う（基板を位置決めする工程）。この位置決め工程では、まず、掘り込み部５４に検査用モジュール３０を落とし込むことによって、検査用モジュール３０の概略的な位置決めを行う。次いで、ＦＰＣ２２の位置決め用の基準穴２３をＦＰＣ基準ピン５３の挿入することによって、検査用モジュール３０の位置決めを行う。ＦＰＣ基準ピン５３は、検査用モジュール３０におけるＦＰＣ２２を位置決めするために設けられている。ＦＰＣ基準ピン５３は、ＦＰＣ２２の位置決め用の基準穴２３と同一径、同一ピッチで形成されている。

次に、プローブ接触工程では、検査用モジュール３０におけるＦＰＣ２２の駆動電極２４の上側に配置されている検査ユニット８を降下させ、プローブ９を駆動電極２４に接触させる。なお、検査ユニット８には駆動電極２４に対応するように複数のプローブ９が設けられている。

図１１は、検査用モジュール３０における外部駆動用のＦＰＣ２２の概略構成を示す拡大上面図である。ＦＰＣ２２における駆動電極２４は、フォトリソグラフィ技術によって形成されており、高精度に加工されている。また、基準穴２３は、打ち抜き加工によって形成されている。

図１１に示されるように、駆動電極２４は、点灯検査を行うための点灯用端子２４ａと、プローブ９との接触位置を確認するための確認端子２４ｂと、を備えている。駆動電極２４において、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂは、一列に配列しており、点灯用端子２４ａの両側にそれぞれ、２つの確認端子２４ｂが配置されている。そして、隣接する２つの確認端子２４ｂ間の電気接続は、短絡した状態になっている。なお、図面には示されていないが、点灯検査装置１０Ａには、隣接する２つの確認端子２４ｂ間の短絡（所定の電気接続状態）を確認する短絡確認部が設けられている。

ここで、駆動電極２４は高精度に形成されるのに対して、打ち抜き加工により形成された基準穴２３は、打ち抜き型の加工精度、打ち抜き型の位置決め精度のバラつきが生じる。このバラつきによって、駆動電極２４と基準穴２３との間の距離Ｌは、設定値に対して±０.１ｍｍ程度のバラつきが生じている。さらには、ＦＰＣ基準ピン５３の位置精度、プローブ９の位置のバラつき等によって、上記プローブ接触工程にて、検査ユニット８のプローブ９を下降させたとき、プローブ９が駆動電極２４に接触しない場合が生じてしまう。

そこで、検査用モジュール３０の点灯検査方法では、確認工程にて、プローブ９と駆動電極２４との間の位置ずれの有無を確認する。

プローブ９は、上記図５に示された構成と同様の構成であり、複数のプローブ９ａからなるプローブ群Ａと、複数のプローブ９ｃからなるプローブ群Ｃとにより構成されている。本実施形態では、プローブ群Ａを構成するプローブ９ａは、駆動電極２４を構成する端子（点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂ）の配列ピッチに対応して配されている点が上記図５に示された構成と異なる。同様に、プローブ群Ｃを構成するプローブ９ｃは、駆動電極２４を構成する端子の配列ピッチに対応して配されている。また、検査ユニット８には、駆動電極２４を構成する端子それぞれに対して、切替スイッチ１１（切替部）が設けられている。この切替スイッチ１１は、検査ユニット８とプローブ群Ａ・Ｃとの電気接続を切り替えるものである。

上記プローブ接触工程によって、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂは、プローブ９に接触した状態になっている。上記確認工程では、隣接する２つの確認端子２４ｂ間の短絡（所定の電気接続状態）を確認する。ここで、プローブ９は、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂそれぞれに対応付けられて設けられている。それゆえ、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂそれぞれに対するプローブ９の接触位置が正しい、すなわち、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂそれぞれについて、接触するプローブ９が存在する場合、隣接する２つの確認端子２４ｂ間の短絡が確認される。それゆえ、点灯用端子７ａの両側それぞれに配された隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡を確認することにより、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認することができる。

上記確認工程では、まず、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて、隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡を確認する（切替工程、確認工程）。

そして、点灯用端子２４ａ及び確認端子２４ｂそれぞれに対するプローブ９ａの接触位置が正しい場合、隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡が確認される。隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡を確認することができれば、プローブ９ａと駆動電極２４との間の位置ずれが無いことになる。

確認工程においてプローブ９ａと駆動電極２４との間の位置ずれが無いことが確認されたとき、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、検査用モジュール３０の点灯検査を実施する（検査工程）。

また、確認工程において隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡を確認できない場合、切替工程にて、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ｃ側に切り替えて、隣接する２つの確認端子７ｂ間の短絡（所定の電気接続状態）を確認する。そして、短絡を確認後、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、検査用モジュール３０の点灯検査を実施する。

ここで、本実施形態において、プローブ群Ａを構成するプローブ９ａと、プローブ群Ｃを構成するプローブ９ｃとの間のずれ量は、駆動電極２４を構成する端子の幅、ピッチ、想定される位置ずれ量から設定される。

ただし、プローブ９と駆動電極２４を構成する端子との相対的な位置ずれによって、駆動電極２４における隣接する２つの端子間がプローブ９により短絡しないように、プローブ９における駆動電極２４を構成する端子との接触部分の幅は、駆動電極２４を構成する隣接する端子間の間隔よりも小さいことが好ましい。これによって、ＴＦＴの破壊や、短絡による検査ユニット８のトラブルを防止することが可能になる。

以上のように、本実施形態に係る点灯検査装置１０Ａによれば、高精度に形成された駆動電極２４に対し、抜き打ち加工によって形成された基準穴の寸法やＦＰＣ２２の外形寸法がばらついた場合であっても、確認端子２４ｂとプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続を切替えて、再度隣接する２つの確認端子２４ｂ間の短絡を確認すればよい。そして、確認後、検査ユニット８から切り替えたプローブ群を介して点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

したがって、本実施形態に係る点灯検査装置によれば、検査用端子部７を構成する端子とプローブ９との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要とせず、安価であり、かつ確実な検査を実現することが可能になる。

なお、本実施形態においては、測定用パネル２０に接続された外部接駆動用のＦＰＣ２２を検査対象としていた。しかし、本実施形態は、測定用パネル２０に接続されたＦＰＣ２２に限定されず、様々な用途のＦＰＣについて検査を行う際に適用することが可能である。例えば、インクジェットヘッドや機能素子をＦＰＣ上に実装したＣＯＦ等においても、外部駆動用のＦＰＣ２２の外形基準で位置決め後に駆動電極２４にプローブ９を接触させ、まずは確認端子７ｂ間の短絡を確認して、短絡を確認できたプローブ群を使用して、機能素子の検査を実施することが可能である。

〔実施形態３〕
本発明のさらに他の実施形態について、図１２及び図１３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

本実施形態に係る点灯検査装置は、プローブ部分がＦＰＣ（フレキシブルプリント回路基板）で構成されたプローブＦＰＣ３２である点が上記実施形態１と異なる。図１２は、本実施形態に係る点灯検査装置におけるプローブＦＰＣ３２の構成を示し、図１２の（ａ）は上面図であり、図１２の（ｂ）は側面図である。また、図１３は、本実施形態に係る点灯検査装置におけるプローブＦＰＣ３２が検査用端子部７に接触した状態を概略的に示す上面図である。

図１２及び図１３に示されるように、プローブＦＰＣ３２は、プローブ部３１と、プローブ部３１を構成するプローブに対応する外部引き出し端子３３とを備えている。プローブＦＰＣ３２において、プローブ部３１及び外部引き出し端子３３は、ベース基材３２ａ上に銅箔を圧延し、フォトリソグラフィ技術により高精度にパターニングすることによって形成される。プローブ部３１及び外部引き出し端子３３における必要な部分以外の銅箔上には、カバーフィルム３２ｂが貼り付けられている。また、ベース基材３２ａにおけるプローブ部３１及び外部引き出し端子３３と反対側の裏面には、ベース基材３２ａを補強する補強材３２ｃが貼り付けられている。

また、プローブＦＰＣ３２には、打ち抜き加工により形成された基準穴３４が設けられている。この基準穴３４は、プローブＦＰＣ３２の位置決め用に用いられる。

また、プローブ部３１及び外部引き出し端子３３における露出した銅箔部分には、メッキ法によって、Ｎｉ、Ａｕ等からなる膜が成膜されている。これによって、接続信頼性を向上させている。

図１２に示されるように、プローブ部３１は、複数のプローブ３１ａからなるプローブ群Ａと、複数のプローブ３１ｃからなるプローブ群Ｃとにより構成されている。また、プローブ３１ａ及びプローブ３１ｃにおけるメッキされた銅箔部分には、Ａｕバンプ３１ｂが設けられている。このＡｕバンプ３１ｂの形成方法としては、例えば、Ａｕバンプを転写する方法、ＡｕのボールボンディングによりＡｕバンプを転写する方法等が考えられる。

Ａｕバンプ３１ｂでは、検査用端子部７と接触するときの接触幅が０．０２ｍｍ程度になるように、検査用端子部７との接触部は、Ｒ形状や台形形状になっている。これによって、プローブ部３１と検査用端子部７との相対的な位置ずれが生じた場合であっても、Ａｕバンプ３１ｂによって、検査用端子部７における隣接する２つの端子同士の短絡がなくなる。このため、ＴＦＴの破壊や、短絡による検査ユニット８のトラブルを防止することが可能になる。

ところで、表示パネルの更なる高精細化によって、図１３に示される検査用端子部７の端子幅Ｗは、０．１７ｍｍ程度になり、配列ピッチＰは、０.２ｍｍ程度になる。プローブＦＰＣ３２におけるプローブ３１ａは、検査用端子部７の配列ピッチＰと同一ピッチで配置されている。また、プローブ３１ｃも、検査用端子部７の配列ピッチＰと同一ピッチで配置されている。プローブ３１ａ及びプローブ３１ｃは、検査用端子部７を構成する同一の端子に接触する範囲で、位置がずれて配置されている。

本実施形態に係る点灯検査装置においては、端子幅Ｗは、０．１７ｍｍであり、プローブ３１ａ及びプローブ３１ｃのずれ量は、０．１５ｍｍである。

上記の構成によれば、隣接するプローブ３１ａ及びプローブ３１ｃ同士の距離のうち短い方の距離は、０．０５ｍｍになる。プローブＦＰＣ３２は、上述のように、フォトリソグラフィ技術により高精度にパターニング加工されている。それゆえ、隣接するプローブ３１ａ及びプローブ３１ｃは、互いに隣接する距離が０．０５ｍｍであっても、問題なく加工され得る。

以下、本実施形態に係る点灯検査装置を用いた測定用パネル２０の点灯検査方法（基板検査方法）について説明する。なお、位置決め工程、及びプローブ接触工程は、上記実施形態１と同様であるので、説明を省略する。

確認工程では、まず、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて、抵抗計測部１２によって確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒ（所定の電気接続状態）を計測する（切替工程、確認工程）。

そして、点灯用端子７ａ及び確認端子７ｂそれぞれに対するプローブ３１ａの接触位置が正しい場合、計測値は抵抗値Ｒを示す。計測値が抵抗値Ｒであることを確認することができれば、プローブ３１ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことになる。

確認工程においてプローブ３１ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことが確認されたとき、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施する（検査工程）。

また、確認工程において確認端子７ｂ間の抵抗値Ｒを確認できない場合、切替工程にて、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ｃ側に切り替えて抵抗計測部１２による計測値を確認する。

本実施形態に係る点灯検査装置によれば、検査用端子部７を構成する端子とプローブ部３１との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要とせず、安価であり、かつ確実な検査を実現することが可能になる。

〔実施形態４〕
実施形態１〜３に係る点灯検査装置は、装置の各部（検査ユニット８、切替スイッチ１１、治具部等）の動作を判断制御する判断制御部を備えていてもよい。この判断制御部は、例えば、検査ユニット８及び切替スイッチ１１を制御して、切替スイッチ１１によるプローブ群の切り替え動作、及び切り替えたときのプローブ群と確認端子との導通確認（短絡の確認、抵抗値の確認）動作を行い、導通が確認されたプローブ群を選択する。そして、導通が確認されたプローブ群によって、検査ユニット８から点灯用端子へ点灯検査用電圧を印加して、点灯検査を実施する。このような制御部を備えたことによって、点灯検査の自動化を実現することができる。

なお、上記判断制御部は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。

後者の場合、点灯検査装置１０は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

〔実施形態５〕
本発明の他の実施形態について、図１４〜図１６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

実施形態１の点灯検査装置１０においては、測定用パネル２０に設けられた２つの検査用端子部７にプローブ９を接触させて、測定用パネル２０の表示状態を検査するものであった。各検査用端子部７は、図４に示す通り、点灯検査を行うための６つの点灯用端子７ａ（検査用端子部）と、プローブ９の接触位置を確認するための２つの確認端子７ｂ（位置確認用端子部）とから構成されていた。つまり、実施形態１の点灯検査装置１０は、確認端子７ｂを備えない測定用パネル２０のプローブ９の接触位置を確認出来ないため所望の点灯検査を実施できない。

そこで、本実施形態では、確認端子７ｂの形成されていない測定用パネル２０においても、プローブ９の接触位置を確認し、点灯検査を実施することのできる点灯検査装置および点灯検査方法について説明する。

図１４は、本実施形態の点灯検査装置（基板検査プローブ装置）の検査対象である測定用パネル２０における検査用端子部７の概略構成を示す拡大上面図である。図１４に示されるように、測定パネル２０は、実施形態１（図１，図４参照）と同様、ＴＦＴパネル基板６上に、２つの検査用端子部７を備えている。２つの検査用端子部７はそれぞれ、点灯検査を行うための６つの点灯用端子７ａ（検査用端子部）から構成されている。つまり、図４に示すような確認端子７ｂは設けられていない。

本実施形態の検査用端子部７において、複数の点灯用端子７ａは、一列に配列しており、両端の点灯用端子７ａにおいて、プローブ９の接触位置を確認するものである。

以下、本実施形態に係る点灯検査装置を用いた測定用パネル２０の点灯検査方法（基板検査方法）について説明する。なお、位置決め工程、及びプローブ接触工程は、上記実施形態１とほぼ同様である。本実施形態の点灯検査方法は、確認工程および検査工程が、実施形態１の点灯検査方法と大きく異なる。

具体的には、実施形態１の確認工程では、図４に示すように、一方の検査用端子部７の確認端子７ｂと、他方の検査用端子部７の確認端子７ｂとの間の抵抗値Ｒを、抵抗計測部１２により測定することによって、プローブ９と検査用端子部７との間の位置ずれの有無を確認していた。

これに対し、本実施形態の確認工程では、図１４に示すように、各検査用端子部７の１つの点灯用端子７ａに接触させた２つのプローブ９・９間の抵抗値（所定の電気接続状態）を、抵抗計測部１２により計測する。このとき、計測値が抵抗値Ｒとなれば、プローブ９・９の接触位置が問題ないことを示し、計測値が検出出来なければ、プローブ９・９の接触位置に問題があることを示す。

図１５は、本実施形態の点灯検査装置におけるプローブ９の概略構成、及びプローブ９と検査用端子部７との相対的な位置関係を示す上面概略図である。なお、図１５は、検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常である場合を示す。ここでいう、正常である場合とは、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７（測定パネル２０の端部側の点灯用端子７ａ）までの距離Ｌ（図１４参照）が設定値通りになるように分断できている場合をいう。

図１５に示されるように、プローブ９は、複数のプローブ９ａからなるプローブ群Ａと、複数のプローブ９ｃからなるプローブ群Ｃと、複数のプローブ９ｇ（並設プローブ）からなるプローブ群Ｇとにより構成されている。プローブ群Ａを構成するプローブ９ａは、検査用端子部７を構成する点灯用端子７ａの配列ピッチに対応して配されている。同様に、プローブ群Ｃを構成するプローブ９ｃは、検査用端子部７を構成する点灯用端子７ａの配列ピッチに対応して配されている。このように、プローブ群Ａ・Ｃを構成するプローブ９ａ・９ｃは、点灯用端子７ａの配列ピッチに対応して配されている。

一方、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａには、プローブ９ａ・９ｃとは別にプローブ９ｇが設けられている。プローブ９ｇは、２ピンで構成されており、プローブ９ａ・９ｃに挟み込まれた状態で配置されている。すなわち、図１５の構成では、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａには、１ピンのプローブ９ａ・９ｃと、２ピンのプローブ９ｇとの合計４ピンのプローブが接続された状態となっており、他の点灯用端子７ａには、１ピンのプローブ９ａ・９ｃのみが接続された状態となっている。

図１５のように、検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常である場合、点灯用端子７ａは、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ、プローブ群Ｃに属するプローブ９ｃ、およびプローブ群Ｇに属するプローブ９ｇの全てに接触した状態になっている。

また、検査ユニット８には、検査用端子部７を構成する点灯用端子７ａそれぞれに対して、切替スイッチ１１（切替部）が設けられている。さらに、プローブ９ｇが設けられた外端の点灯用端子７ａに対してのみ、スイッチＳＷ１が設けられている。

この切替スイッチ１１は、検査ユニット８とプローブ群Ａ・Ｃとの電気接続を切り替えるものである。すなわち、切替スイッチ１１は、検査ユニット８と電気接続するプローブ群を、プローブ群Ａからプローブ群Ｃへ、またはプローブ群Ｃからプローブ群Ａへ切り替える。それゆえ、プローブ群Ａ・Ｃは、切替スイッチ１１を介して検査ユニット８に接続されている。本実施形態に係る点灯検査方法は、検査用端子部７を構成する各点灯用端子７ａについて検査ユニット８と電気接続するプローブ群を、プローブ群Ａからプローブ群Ｃへ、またはプローブ群Ｃからプローブ群Ａへ切り替える切替工程を含む。

また、プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、検査用端子部７を構成する点灯用端子７ａと同一ピッチで配置されている。さらに、プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、同一の点灯用端子７ａに接触する範囲で配置位置がずらされている。プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、同一の点灯用端子７ａに対して該点灯用端子７ａの中央線を挟んで両側に位置していることが好ましい。

図１５に示された構成では、例えば、端子幅Ｗ（図１４参照）は、０.２５ｍｍであり、プローブ９ａとプローブ９ｃとのずれ量は、０.２ｍｍである。一方、プローブ９ｇは、プローブ９ａに対して０．０６６ｍｍ離して配置されており、プローブ９ａ・９ｃのずれ量０．２ｍｍに対して２ピンのプローブ９ｇを等間隔で配置した状態となっている。それゆえ、図１５のように検査用端子部７とプローブ９との相対位置が正常である場合、点灯用端子７ａは、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ及びプローブ群Ｃに属するプローブ９ｃの両方に接触した状態になっている。また、外端の点灯用端子７ａは、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ、プローブ群Ｃに属するプローブ９ｃ、およびプローブ群Ｇに属するプローブ９ｇの全てに接触した状態になっている。

２ピン構成のプローブ９ｇは、スイッチＳＷ１を介して抵抗計測部１２を介して切替えスイッチ１１の上流側（検査ユニット８側）に接続されている。

図１５に示された構成を備えた本実施形態に係る点灯検査装置においては、上記確認工程にて、４ピンのプローブ９ａ・９ｃ・９ｇが接続された、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを、抵抗計測部１２によって計測する。このとき、まず、スイッチＳＷ１を導通状態にした後に、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する（切替工程、確認工程）。

そして、点灯用端子７ａに対するプローブ９ａの接触位置が正しい場合、計測値は抵抗値Ｒを示す。計測値が抵抗値Ｒであることを確認することができれば、プローブ９ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことになる。

確認工程においてプローブ９ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことが確認されたとき、スイッチＳＷ１を切り、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施する（検査工程）。

また、確認工程において４ピンのプローブが接続された点灯用端子７ａ間の抵抗値Ｒを確認できない場合、切替工程にて、スイッチＳＷ１を導通状態にした後に、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ｃ側に切り替えて抵抗計測部１２による計測値を確認する。

ここで、図１５に示された構成では、上述したように、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａは、プローブ群Ａに属するプローブ９ａ、プローブ群Ｃに属するプローブ９ｃ、およびプローブ群Ｇに属するプローブ９ｇの全てに接触した状態になっている。このため、上記確認工程においては、スイッチＳＷ１を導通状態とした状態で、切替スイッチ１１によって、プローブ９ａからなるプローブ群Ａ側に切り替えても、プローブ９ｃからなるプローブ群Ｃ側に切り替えても、抵抗計測部１２による計測値は抵抗値Ｒを示す。それゆえ、切替スイッチ１１によるプローブ群Ａ側及びプローブ群Ｃ側の電気接続の切り替えを必要とせず、抵抗計測部１２による計測値が抵抗値Ｒであることが確認できれば、スイッチＳＷ１を切り、検査ユニット８から点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

一方、図１５に示された構成と異なり、検査用端子部７（点灯用端子７ａ）とプローブ９との相対位置が正常でない場合（測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌ（図１４参照）が設定値よりも大きい、あるいは小さくなるように分断できている場合）、点灯用端子７ａは、プローブ９ａ及びプローブ９ｃの何れかに接触した状態になる。それに加え、２ピンのプローブ９ｇの少なくとも一方に接触した状態になる。このような場合、切替スイッチ１１によるプローブ群Ａ側及びプローブ群Ｃ側の電気接続の切り替えが必要である。

図１６は、検査用端子部７とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合の、プローブ９と検査用端子部７との相対的な位置関係を示す上面概略図である。ここでいう正常値よりも小さい場合とは、例えば、測定用パネル２０の端部から検査用端子部７までの距離Ｌ（図１４参照）が設定値よりも小さい場合をいう。

図１６に示された構成を備えた本実施形態に係る点灯検査装置においても、上記確認工程にて、４ピンのプローブ９ａ・９ｃ・９ｇが接続された、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを、抵抗計測部１２によって計測する。このとき、まず、スイッチＳＷ１を導通状態にした後に、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する（切替工程、確認工程）。

そして、点灯用端子７ａに対するプローブ９ａの接触位置が正しい場合、計測値は抵抗値Ｒを示す。計測値が抵抗値Ｒであることを確認することができれば、プローブ９ａと検査用端子部７との間の位置ずれが無いことになる。

しかし、上記距離Ｌのバラつき（±０.１ｍｍ）、測定用パネル２０の外形位置決め時のバラつき、プローブの位置バラつき等によって、図１６に示すように検査用端子部７（点灯用端子７ａ）とプローブ９との相対的な位置ずれ量が正常値よりも小さい場合がある。このような場合、上記確認工程にて、４ピンのプローブ９ａ・９ｃ・９ｇが接続された、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを、抵抗計測部１２によって計測する。このとき、まず、スイッチＳＷ１を導通状態にした後に、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側に切り替えて計測値を確認する（切替工程、確認工程）。

図１６に示されるように、プローブ９ａの接触位置は、各点灯用端子７ａに対応しており、各点灯用端子７ａに対するプローブ９ａの接触位置が正しい。それゆえ、スイッチＳＷ１を導通状態とした状態で、切替スイッチ１１によってプローブ群Ａ側に電気接続を切り替えることによって、抵抗計測部１２の計測値として抵抗値Ｒを確認することができる。このように抵抗値Ｒを確認できれば、スイッチＳＷ１を切り、検査ユニット８からプローブ９ａを介して点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。この場合、抵抗値Ｒが確認されたため、切替スイッチ１１によってプローブ群Ｃ側に電気接続を切り替える必要はない。

これに対し、図１６に示されるように、プローブ９ｃの接触位置は、各点灯用端子７ａに対応していない。すなわち、複数のプローブ９ｃの中には、点灯用端子７ａに接触していないプローブ９ｃが存在する。このような場合、スイッチＳＷ１を導通状態とした状態で、切替スイッチ１１によって、プローブ９ｃからなるプローブ群Ｃ側に切り替えると、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを計測することができない。このようにプローブ群Ｃ側に電気接続を切り替えた状態で、抵抗計測部１２によって各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを計測した結果、抵抗値Ｒを確認できない場合、切替スイッチ１１によってプローブ群Ａ側に電気接続を切り替える。これにより、上述のように、抵抗値Ｒを確認することができるため、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

このように、本実施形態に係る点灯検査方法によれば、確認工程において、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを確認できない場合であっても、点灯用端子７ａとプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。すなわち、位置ずれによって、抵抗計測部１２に接続されるプローブ９が点灯用端子７ａに対応しない場合であっても、点灯用端子７ａとプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。このような場合、スイッチＳＷ１を導通状態とした状態で、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群Ａまたはプローブ群Ｃとの電気接続を切替えて、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを確認する。そして、抵抗値Ｒ確認された後、検査ユニット８から切り替えたプローブ群Ａまたはプローブ群Ｃを介して全ての点灯用端子７ａへ点灯検査用電圧を印加して、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。

したがって、本実施形態の点灯検査装置および点灯検査方法によれば、実施形態１のように確認端子７ｂ（位置確認用端子部）の形成されていない測定用パネル２０においても、プローブ９の接触位置を確認することが可能である。すなわち、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａは、点灯検査用と、プローブ９の接触位置の確認用との２つの機能果たす。これにより、確認端子７ｂを別途設ける必要がないため、点灯検査装置の構成を簡素化することができる。なお、本実施形態では、各検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを確認しているが、抵抗値Ｒを確認する点灯用端子７ａはこれに限定されるものではなく、いずれの点灯用端子７ａであってもよい。

更に、切替スイッチ１１によりプローブ群Ａ・Ｃを切り替えて、どちらのプローブ群にて点灯検査を実施しているかを確認することによって、プローブ９の相対位置が正常値に対してどの方向にずれているか確認することが可能になる。そして、このずれに関する確認結果を測定用パネル２０の分断工程へフィードバックし、分断位置のずれ方向を適正化することが可能になる。

以上のように、本実施形態に係る点灯検査装置および点灯検査方法によれば、複数のプローブ群Ａ・Ｃのうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態（抵抗値Ｒ）を確認することにより、測定用パネル２０の点灯検査を実施することができる。したがって、検査用端子部７を構成する点灯用端子７ａとプローブ９との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要とせず、安価であり、かつ確実な検査を実現することが可能になる。

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、被検査基板（ＴＦＴパネル基板６、ＦＰＣ２２）上の検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）に接触するプローブ９を有する検査ユニット８を備え、上記端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）と上記プローブ９との導通を検査する基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）であって、上記端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）を構成する複数の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）それぞれの配列ピッチＰに対応して配されたプローブ群Ａ・Ｃを複数備え、上記プローブ群Ａ・Ｃ同士は、端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）の配列方向にずれて配置されており、上記複数のプローブ群Ａ・Ｃのうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態を確認する接続状態確認部（抵抗計測部１２）と、各端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）について上記検査ユニット８と電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替部（切替スイッチ１１）とが設けられている。

上記の構成によれば、検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）とプローブ９との接触を確認する確認工程において、プローブ群Ａ・Ｃの一方の電気接続状態が確認できない場合であっても、端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）とプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。上記切替部（切替スイッチ１１）によって、検査ユニット８とプローブ群Ａ・Ｃとの電気接続を他方のプローブ群に切替えて、再度切替えたプローブ群の電気接続状態を確認すればよい。そして、確認後、検査ユニット８から切り替えたプローブ群を介して被検査基板（ＴＦＴパネル基板６、ＦＰＣ２２）の導通検査を実施することができる。

以上のように、上記の構成によれば、端子とプローブ９との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要としない検査を実現することが可能になる。

本発明の態様２に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様１において、上記接続状態確認部は、上記複数の端子（点灯用端子７ａ）のうちの１つの端子内で所定の電気接続状態を確認する構成であってもよい。

上記の構成によれば、接続状態確認部が１つの端子内で電気接続状態を確認するため、基板検査を簡便に実施することができる。

本発明の態様３に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様２において、上記電気接続状態が確認される１つの端子に配された異なるプローブ群Ａ・Ｃのプローブ９ａ・９ｃ間に並設された並設プローブ（プローブ９ｇ）を備える構成であってもよい。

上記の構成によれば、電気接続状態が確認される端子（外端の点灯用端子７ａ）上に、各プローブ群Ａ・Ｃを構成するプローブ９ａ・９ｃに加え、異なるプローブ群Ａ・Ｃを構成するプローブ９ａ・９ｃ間に並設されたプローブ９ｇが設けられる。すなわち、電気接続状態が確認される検査用端子部７の外端の点灯用端子７ａ上に、３種類以上のプローブ９ａ・９ｃ・９ｇが設けられる。言い換えれば、各プローブ群Ａ・Ｃに対応するプローブ９ａ・９ｃと、並設プローブ（プローブ９ｇ）との合計が３以上になる。これにより、いずれかのプローブ群Ａ・Ｃを構成するプローブ９ａ・９ｃがずれて配置され、上記外端の点灯用端子７ａに非接触状態になったとしても、プローブ９ｇは、上記外端の点灯用端子７ａとの接触状態を維持する。したがって、上記外端の点灯用端子７ａと接触したプローブ群Ａのプローブ９ａ（あるいはプローブ群Ｃのプローブ９ｃ）と、並設プローブ（プローブ９ｇ）とを用いて、電気接続状態を確認することができる。

例えば、図１６の構成では、確認工程において、４ピンのプローブ（プローブ９ａ・９ｃ・９ｇ）が接続された点灯用端子７ａの抵抗値Ｒを確認でるように、切替工程にて、スイッチＳＷ１を導通状態とした状態で、切替スイッチ１１によって、検査ユニット８とプローブ群Ｃとの電気接続を、プローブ群Ａに切り替えれば、抵抗計測部１２の計測値として抵抗値Ｒを確認することができる。したがって、確認端子７ｂ（位置確認用端子部）の形成されていない測定用パネル２０においても導通検査を実施することが可能となる。

本発明の態様４に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様２において、上記接続状態確認部は、上記複数の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）のうち２つの端子間の所定の電気接続状態を確認する構成であってもよい。

上記の構成によれば、検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）とプローブ９との接触を確認する確認工程において、上記複数の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）のうち２つの端子（確認端子７ｂ・２４ｂ）間の所定の電気接続状態を確認できない場合であっても、端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）とプローブ９との相対的な位置を調整する必要がない。上記切替部（切替スイッチ１１）によって、検査ユニット８とプローブ群との電気接続をプローブ群Ａ側またはプローブＢ側に切替えて、再度上記２つの端子（確認端子７ｂ・２４ｂ）間の所定の電気接続状態を確認すればよい。そして、確認後、検査ユニット８から切り替えたプローブ群を介して被検査基板（ＴＦＴパネル基板６、ＦＰＣ２２）の導通検査を実施することができる。

本発明の態様５に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様１〜４において、上記切替部（切替スイッチ１１）は、上記接続状態確認部によって所定の電気接続状態が確認されない場合に、上記検査ユニット８と電気接続するプローブ群Ａ・Ｃを切り替える構成であってもよい。

これにより、端子とプローブ９との相対位置を再度調整するに際し、アライメント用のＣＣＤカメラやアクチュエータ機構を必要とせず、安価であり、かつ確実な検査を実現することが可能になる。

本発明の態様６に係る（点灯検査装置１０Ａ）は、上記態様１〜５において、上記プローブ９における上記端子（確認端子２４ｂ）との接触部分の幅は、隣接する上記端子（点灯用端子２４ａ、確認端子２４ｂ）間の間隔よりも小さい構成であってもよい。

上記の構成によれば、プローブ９と端子部（駆動電極２４）を構成する端子（点灯用端子２４ａ、確認端子２４ｂ）との相対的な位置ずれによって、端子部（駆動電極２４）における隣接する２つの端子間がプローブ９により短絡することがなくなる。その結果、上記の構成によれば、ＴＦＴの破壊や、短絡による検査ユニット８のトラブルを防止することが可能になる。

本発明の態様７に係る（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様１から６において、ＦＰＣ３２を備え、上記プローブ（プローブ部３１）は、上記ＦＰＣ３２上の配線パターンとして形成され、該配線パターンには、バンプ（Ａｕバンプ３１ｂ）が形成されている。

上記の構成によれば、端子部がさらに高精細化し、端子の配列ピッチＰがさらに小さくなった被検査基板に対しても、プローブ（プローブ部３１）を端子に接触させて導通検査を行うことが可能になる。

なお、上記「２つの端子間の所定の電気接続状態を確認する接続状態確認部」とは、２つの端子間の導通状態、または短絡状態を確認するものをいう。

例えば、本発明の態様８に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０）は、上記態様１から７において、上記接続状態確認部として、２つの端子間の抵抗を計測する抵抗計測部１２が設けられている構成であってもよい。

また、本発明の態様９に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０Ａ）は、上記態様１から８において、上記接続状態確認部として、２つの端子間の短絡状態を確認する短絡確認部が設けられている構成であってもよい。

また、上記接続状態確認部として、２つの端子間に加える、電流、電圧を調整し、ＬＥＤなどの光源の点灯状態を確認する点灯確認部が設けられる構成であっても、２つの端子間の電気接続状態を確認することが可能である。

本発明の態様１０に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様１から９において、上記プローブ群Ａ、Ｃそれぞれを構成する各プローブ９ａ、９ｃは、検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）を構成する端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）と同一ピッチで配置されており、プローブ９ａとプローブ９ｃとは、同一の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）に接触する範囲で配置位置がずらされている。好ましくは、プローブ９ａ及びプローブ９ｃは、同一の端子に対して該端子の中央線を挟んで両側に位置している。

これにより、一方のプローブ群と検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）との間の位置ずれが比較的大きくても、他方のプローブ群に切り替えることによって、上記接続状態確認部によって所定の電気接続状態が確認することができる。

また、本発明の態様１１に係る基板検査プローブ装置（点灯検査装置１０、１０Ａ）は、上記態様１から１０において、上記端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）は、上記接続状態確認部（抵抗計測部１２）に接続した２つの端子を有する位置確認用端子部（確認端子７ｂ・２４ｂ）を備えている。

本発明の態様１２に係る基板検査方法は、検査ユニット８に設けられたプローブ９を被検査基板（ＴＦＴパネル基板６、ＦＰＣ２２）上の検査用の端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）に接触させ、上記端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）と上記プローブ９との導通を検査する基板検査方法であって、上記プローブ９は、上記端子部（検査用端子部７、駆動電極２４）を構成する複数の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）それぞれの配列ピッチＰに対応して配されたプローブ群Ａ・Ｃで構成され、上記プローブ群Ａ・Ｃ同士が、端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）の配列方向にずれて配置されており、上記複数のプローブ群Ａ・Ｃのうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態を確認する確認工程と、各端子について上記検査ユニット８と電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替工程と、含み、上記切替工程では、上記確認工程にて所定の電気接続状態が確認されない場合に、上記検査ユニット８と電気接続するプローブ群Ａ・Ｃを切り替えることを特徴している。

上記の構成によれば、上記態様１と同様の効果を奏する。

本発明の態様１３に係る基板検査方法は、態様１２において、上記確認工程では、上記複数の端子（点灯用端子７ａ）のうちの１端子内で所定の電気接続状態を確認してもよい。

上記の構成によれば、上記態様２と同様の効果を奏する。

本発明の態様１４に係る基板検査方法は、態様１２において、上記確認工程では、上記複数の端子（点灯用端子７ａ・２４ａ、確認端子７ｂ・２４ｂ）のうち２つの端子（確認端子７ｂ・２４ｂ）間の所定の電気接続状態を確認してもよい。

上記の構成によれば、上記態様４と同様の効果を奏する。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

本発明は、外形基準や、検査用端子に対してプローブを接触させて検査を行う基板検査プローブ装置全般に利用することができる。

１ 治具部
２ 基準ピン
３ 移動ピン
４ 開口部
５ ＣＦパネル基板
６ ＴＦＴパネル基板（被検査基板）
７ 検査用端子部（端子部）
７ａ 点灯用端子
７ｂ 確認端子（位置確認用端子部）
８ 検査ユニット
９、９ａ、９ｃ プローブ
９ｇ プローブ（並設プローブ）
１０、１０Ａ 点灯検査装置（基板検査プローブ装置）
１１ 切替スイッチ
１２ 抵抗計測部（接続状態確認部）
２０ 測定用パネル
２１ ＩＣチップ
２２ ＦＰＣ（被検査基板）
２３ 基準穴
２４ 駆動電極（端子部）
２４ａ 点灯用端子
２４ｂ 確認端子（位置確認用端子部）
２５ バックライト
３０ 検査用モジュール
３１ プローブ部
３１ａ プローブ
３１ｂ Ａｕバンプ（バンプ）
３１ｃ プローブ
３２ プローブＦＰＣ
３２ａ ベース基材
３２ｂ カバーフィルム
３２ｃ 補強材
３３ 外部引き出し端子
３４ 基準穴
５１ 治具部
５２ コーナー部
５３ ＦＰＣ基準ピン
Ａ、Ｃ、Ｇ プローブ群
Ｌ 距離
Ｐ 配列ピッチ
Ｗ 端子幅
ＳＷ１ スイッチ

Claims (8)

1. 検査用の端子部を有し、上記端子部を構成する複数の端子のうち２つの端子間が抵抗部材または短絡部材である第１の接続状態確認部により電気的に接続された被検査基板に対して、上記端子部に接触するプローブを有する検査ユニットを備え、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査プローブ装置であって、
   上記複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配されたプローブ群を複数備え、上記プローブ群同士は、端子の配列方向にずれて配置されており、
   上記複数のプローブ群は、少なくとも第１のプローブ群と、第２のプローブ群とを含み、
   各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替部が設けられており、
   上記第１のプローブ群と第２のプローブ群とのそれぞれに対して、上記第１の接続状態確認部により電気的に接続された２つの端子間の抵抗値を測定し、該測定された抵抗値に基づき電気接続状態を確認し、
   上記第１のプローブ群と第２のプローブ群のうち、いずれか一方のプローブ群においてのみ電気接続状態を検出した場合、上記端子部と上記プローブと間の位置ずれがあると判定することを特徴とする基板検査プローブ装置。
2. 上記第１のプローブ群と第２のプローブ群のうちいずれのプローブ群において電気接続状態を検出したかに基づいて、位置ずれの方向を判定することを特徴とする請求項１に記載の基板検査プローブ装置。
3. 被検査基板上の検査用の端子部に接触するプローブを有する検査ユニットを備え、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査プローブ装置であって、
   上記端子部を構成する複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配されたプローブ群を複数備え、上記プローブ群同士は、端子の配列方向にずれて配置されており、
   上記複数のプローブ群のうち、少なくとも１つのプローブ群の電気接続状態を確認する第２の接続状態確認部と、
   各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替部とが設けられており、
   上記複数の端子のうちの１つの端子に配された異なるプローブ群のプローブ間に並設された並設プローブを備え、
   上記第２の接続状態確認部は、上記少なくとも１つのプローブ群に対して上記並設プローブを介して電気的に接続し、上記並設プローブが配された１つの端子内における上記少なくとも１つのプローブ群の所定の電気接続状態を確認することを特徴とする基板検査プローブ装置。
4. 上記切替部は、上記電気接続状態が確認されない場合に、上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を切り替えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の基板検査プローブ装置。
5. 上記プローブにおける上記端子との接触部分の幅は、隣接する上記端子間の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の基板検査プローブ装置。
6. ＦＰＣを備え、
   上記プローブは、上記ＦＰＣ上の配線パターンとして形成され、該配線パターンには、バンプが形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板検査プローブ装置。
7. 検査ユニットに設けられたプローブを被検査基板上の検査用の端子部に接触させ、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査方法であって、
   上記プローブは、上記端子部を構成する複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配された複数のプローブ群で構成され、上記プローブ群同士が、端子の配列方向にずれて配置されており、上記複数のプローブ群は、少なくとも第１のプローブ群と、第２のプローブ群とを含み、
   上記第１のプローブ群と第２のプローブ群とのそれぞれに対して、上記第１の接続状態確認部により電気的に接続された２つの端子間の電気抵抗値を測定し、該測定された電気抵抗値に基づき電気接続状態を確認する確認工程と、
   各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替工程と、含み、
   上記第１のプローブ群と第２のプローブ群のうち、いずれか一方のプローブ群においてのみ電気接続状態を検出した場合、上記端子部と上記プローブと間の位置ずれがあると判定し、
   上記切替工程では、上記電気接続状態を検出したプローブ群に切り替えることを特徴とする基板検査方法。
8. 検査ユニットに設けられたプローブを被検査基板上の検査用の端子部に接触させ、上記端子部と上記プローブとの導通を検査する基板検査方法であって、
   上記プローブは、上記端子部を構成する複数の端子それぞれの配列ピッチに対応して配された複数のプローブ群で構成され、上記プローブ群同士が、端子の配列方向にずれて配置されており、
   上記複数の端子のうちの１つの端子に配された異なるプローブ群のプローブ間に並設プローブを並設し、少なくとも１つのプローブ群に対して上記並設プローブを介して電気的に接続し、上記並設プローブが配された１つの端子内における上記少なくとも１つのプローブ群の所定の電気接続状態を確認する確認工程と、
   各端子について上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を他のプローブ群に切り替える切替工程と、含み、
   上記切替工程では、上記確認工程にて所定の電気接続状態が確認されない場合に、上記検査ユニットと電気接続するプローブ群を切り替えることを特徴とする基板検査方法。

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