JP6396774B2 - 画像取得装置及び画像取得方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 132
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 105
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 66
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 41
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
x≒5.21mm
と求められ、レンズ7の外端を通過した照明光L0は、レンズ7の光軸A2に対して、
θ=arctan(0.75/5.21)≒8.2度
の角度を持ってサンプルSに照射されることが分かる。つまり、サンプルSに対向して配置されたレンズ7により、焦点位置から外れるように配置された観察面S1には、レンズ中心を通過した光軸A2に対する角度(入射角)が0度の照明光L0を中心に、同心円状に異なる入射角を有する照明光L0が入射する。
Claims (7)
- 観察対象物の観察面における画像を取得する画像取得装置であって、
空間的にコヒーレントな照明光を照射する光源部と、
前記照明光を平行光に変換するコリメートレンズと、
第1の焦点を有し、前記平行光に変換された前記照明光を集光する第1の集光レンズを含む第1の光学系と、
前記第1の光学系の前記第1の焦点の位置を、前記第1の光学系の光軸方向に沿って調整する第1の調整機構と、
第2の焦点を有し、前記観察対象物の前記観察面からの観察光を集光する第2の集光レンズと前記第2の集光レンズからの前記観察光を結像する結像レンズとを含む第2の光学系と、
前記第2の光学系の前記第2の焦点の位置を、前記第2の光学系の光軸方向に沿って調整する第2の調整機構と、
前記結像レンズによって結像された前記観察光を撮像することによって画像データを生成する撮像装置と、
前記画像データを基に前記観察対象物の前記観察面における観察データを生成する画像処理部とを備え、
前記第1の調整機構は、前記第1の焦点の位置が前記観察面から外れるように調整するように構成され、
前記第2の調整機構は、前記第2の焦点の位置が前記観察面に一致するように調整するように構成され、
前記光源部は、複数の波長の異なる単色光を異なるタイミングで出力するように構成され、
前記画像処理部は、それぞれの前記単色光に応じて生成された前記画像データを重ね合わせることにより前記観察データを生成するように構成されている、
画像取得装置。 - 観察対象物の観察面における画像を取得する画像取得装置であって、
空間的にコヒーレントな照明光を照射する光源部と、
前記照明光を平行光に変換するコリメートレンズと、
第1の焦点を有し、前記平行光に変換された前記照明光を集光する第1の集光レンズを含む第1の光学系と、
前記第1の光学系の前記第1の焦点の位置を、前記第1の光学系の光軸方向に沿って調整する第1の調整機構と、
第2の焦点を有し、前記観察対象物の前記観察面からの観察光を集光する第2の集光レンズと前記第2の集光レンズからの前記観察光を結像する結像レンズとを含む第2の光学系と、
前記第2の光学系の前記第2の焦点の位置を、前記第2の光学系の光軸方向に沿って調整する第2の調整機構と、
前記結像レンズによって結像された前記観察光を撮像することによって画像データを生成する撮像装置と、
前記画像データを基に前記観察対象物の前記観察面における観察データを生成する画像処理部とを備え、
前記第1の調整機構は、前記第1の焦点の位置が前記観察面から外れるように調整するように構成され、
前記第2の調整機構は、前記第2の焦点の位置が前記観察面に一致するように調整するように構成され、
前記光源部は、複数の波長の異なる光を含んだ前記照明光を出力するように構成され、
前記画像処理部は、前記照明光に応じて生成された前記画像データを前記観察データとして生成するように構成されている、
画像取得装置。 - 前記第2の光学系は、前記観察光として前記観察対象物を透過した前記照明光を集光可能なように配置されている、
請求項1又は2に記載の画像取得装置。 - 前記第2の光学系は、前記観察光として前記観察対象物によって反射された前記照明光を集光可能なように配置されている、
請求項1又は2に記載の画像取得装置。 - 前記照明光に光路長差を生じさせて参照光として出力する光路長差生成部をさらに備え、
前記撮像装置が前記観察光と前記参照光とを同時に撮像可能に構成されている、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の画像取得装置。 - 観察対象物の観察面における画像を取得する画像取得方法であって、
第1の焦点を有する第1の光学系を用いて、空間的にコヒーレントな平行光である照明光であって複数の波長の異なる単色光を、異なるタイミングで、前記第1の焦点の位置に集光するとともに、前記観察対象物に照射し、
前記第1の光学系の前記第1の焦点の位置を、前記第1の光学系の光軸方向に沿って前記観察面から外れるように調整し、
第2の焦点を有する第2の光学系を用いて、前記観察対象物の前記観察面からの観察光を集光し、
前記第2の光学系の前記第2の焦点の位置を、前記第2の光学系の光軸方向に沿って前記観察面に一致するように調整し、
撮像装置を用いて、前記第2の光学系によって集光された前記観察光を撮像することによって画像データを生成し、
それぞれの前記単色光に応じて生成された前記画像データを重ね合わせることにより前記観察対象物の前記観察面における観察データを生成する、
画像取得方法。 - 観察対象物の観察面における画像を取得する画像取得方法であって、
第1の焦点を有する第1の光学系を用いて、空間的にコヒーレントな平行光である複数の波長の異なる光を含んだ照明光を、前記第1の焦点の位置に集光するとともに、前記観察対象物に照射し、
前記第1の光学系の前記第1の焦点の位置を、前記第1の光学系の光軸方向に沿って前記観察面から外れるように調整し、
第2の焦点を有する第2の光学系を用いて、前記観察対象物の前記観察面からの観察光を集光し、
前記第2の光学系の前記第2の焦点の位置を、前記第2の光学系の光軸方向に沿って前記観察面に一致するように調整し、
撮像装置を用いて、前記第2の光学系によって集光された前記観察光を撮像することによって画像データを生成し、
複数の波長の異なる光を含んだ前記照明光に応じて生成された前記画像データを前記観察対象物の前記観察面における観察データとして生成する、
画像取得方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014243644A JP6396774B2 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014243644A JP6396774B2 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016109702A JP2016109702A (ja) | 2016-06-20 |
JP6396774B2 true JP6396774B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=56123955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014243644A Active JP6396774B2 (ja) | 2014-12-02 | 2014-12-02 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6396774B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0721451B2 (ja) * | 1990-05-22 | 1995-03-08 | 新技術事業団 | 不透明試料の顕微吸収分布測定装置 |
JP2569641Y2 (ja) * | 1992-02-19 | 1998-04-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡照明光学系 |
JP2000056236A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-02-25 | Toray Ind Inc | 焦点合わせ装置および方法並びに光学定数測定装置および顕微鏡 |
EP1145066B1 (de) * | 1998-12-21 | 2005-03-02 | Evotec OAI AG | Positionierung des messvolumens in einem scanning-mikroskopischen verfahren |
US6741338B2 (en) * | 1999-02-10 | 2004-05-25 | Litel Instruments | In-situ source metrology instrument and method of use |
US7202466B2 (en) * | 2003-08-25 | 2007-04-10 | Cadent Ltd. | Apparatus and method for providing high intensity non-coherent light and for speckle reduction |
JP2006349501A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 生体サンプル判別装置 |
JP4994827B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-08-08 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2009222568A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Konica Minolta Sensing Inc | 3次元形状データの生成方法および装置ならびにコンピュータプログラム |
-
2014
- 2014-12-02 JP JP2014243644A patent/JP6396774B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016109702A (ja) | 2016-06-20 |
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