JP6385450B2 - 気泡噴出チップ、局所アブレーション装置及び局所アブレーション方法、並びにインジェクション装置及びインジェクション方法 - Google Patents
気泡噴出チップ、局所アブレーション装置及び局所アブレーション方法、並びにインジェクション装置及びインジェクション方法 Download PDFInfo
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Description
前記気泡噴出部が、
導電材料で形成された電極、
絶縁性の感光性樹脂で形成され、前記電極を挟むように設けられ、且つ前記電極の先端より延伸した延伸部を含む絶縁部、及び
前記絶縁部の延伸部及び前記電極の先端との間に形成された空隙を含む、
気泡噴出チップ。
(2)前記延伸部が、テーパー状である上記(1)に記載の気泡噴出チップ。
(3)前記感光性樹脂が、ネガティブ型フォトレジストである上記(1)又は(2)に記載の気泡噴出チップ。
(4)前記気泡噴出部が2以上形成されている上記(1)〜(3)の何れか一に記載の気泡噴出チップ。
(5)前記絶縁部にアシスト流路が形成されている上記(1)〜(4)の何れか一に記載の気泡噴出チップ。
(6)前記電極に接続する通電部を含む上記(1)〜(5)の何れか一に記載の気泡噴出チップ。
(7)前記気泡噴出部の電極とで電極対を構成する対向電極が、前記基板上に形成されている上記(1)〜(6)の何れか一に記載の気泡噴出チップ。
(8)前記気泡噴出部の空隙側に、インジェクション物質を含む溶液を流す流路が形成されている上記(1)〜(7)の何れか一に記載の気泡噴出チップ。
(9)上記(1)〜(8)の何れか一に記載の気泡噴出チップを含む局所アブレーション装置。
(10)上記(1)〜(8)の何れか一に記載された気泡噴出チップを含むインジェクション装置。
(11)上記(9)に記載の局所アブレーション装置の電極と対向電極が導通するように溶液を注入し、
前記局所アブレーション装置の電極と対向電極とで構成される電極対に高周波電気パルスを印加することで、気泡噴出部の先端から気泡を放出させ、
該気泡で加工対象物を加工する局所アブレーション方法。
(12)上記(10)に記載のインジェクション装置の電極と対向電極が導通するように溶液を注入し、
インジェクション物質を含む溶液を気泡噴出部の前に流し、
前記インジェクション装置の電極と対向電極とで構成される電極対に高周波電気パルスを印加することで、前記インジェクション物質を含む溶液が吸着した気泡を放出させ、
気泡で加工対象物を局所アブレーションしながら、加工対象物にインジェクション物質を導入するインジェクション方法。
(2)単一の加工対象物の複数個所を、同時に局所アブレーション又は局所インジェクションを行う場合、複数個所に対して、同じ大きさの気泡を噴出することができる。また、単一の気泡噴出チップ1上の気泡噴出部の気泡噴出口の大きさを変えることもでき、加工対象物の複数個所に対して、異なる大きさの気泡を噴出することもできる。
(3)従来の芯材と絶縁材料を加熱して引き切る製造方法と違い、フォトリソグラフィ技術を用いて気泡噴出チップを形成することから量産化が可能である。
(4)気泡噴出部の気泡噴出口側にインジェクション物質を含む溶液を流す流路を形成することで、インジェクション物質を含む溶液が界面に吸着した気泡を加工対象物に連続的に噴出しやすくなり、加工対象物を切削するとともに、気泡を覆う溶液に含まれるインジェクション物質を加工対象物にインジェクションすることができる。
(1)基板2を、アセトン・エタノール・超純水等を用いて洗浄する。
(2)通電部4を形成する材料をスパッタリングにより基板2上に積層する。
(3)フォトレジスト8を塗布し、最終的に通電部4を形成する部分にフォトレジスト8が残るように、マスクを用いて露光・現像する。
(4)ウェットエッチング等の方法により、通電部4を形成する部分以外の材料を除去する。
(5)フォトレジスト8を除去することで、通電部4を形成する。
以下の製造工程については、電極31を形成する部分はA−A’断面図、延伸部32を含む絶縁部33(図面上の符号は33のみ記載)を形成する部分は、B−B’断面図として示す。なお、A−A’断面図、B−B’断面図の位置については、上記(5)の図面に図示した(図3−2及び図3−3の左側)。
(6)延伸部32を含む絶縁部33を形成する材料をスピンコートにより積層する。
(7)延伸部32を含む絶縁部33が残るような形状に設計したフォトマスクを用いて露光する。なお、外部電源への接続を容易にするため、基板2の端部部分の絶縁部33を除去し、通電部4が露出するような形状のフォトマスクを用いることが望ましい。
(8)現像後、延伸部32を含む絶縁部33を形成する部分以外の材料を除去する。
(9)通電部4の上に、電気メッキにより電極31を成長させる。
(10)絶縁層37を形成する。
〔気泡噴出チップ1の作製〕
(1)ガラス基板をアセトン・エタノール・超純水の順に100kHzで5分間ずつ超音波洗浄機により有機洗浄し、120℃で30分間ベイクした。
(2)ガラス基板を常温まで冷却した後にガラス基板上にスパッタリング装置((株)真空デバイスMSP−30T)を用いて、Auをプラズマ電流値(80mA)、1分間成膜した。
(3)ガラス基板上にOFPR−800 LB (200CP)を2000rpmで30秒間、及び4000rpmで2秒間スピンコートし,オーブン内で90℃で30分間プリベイクした。次いで、エマルジョンマスクを用いて露光後、NMD−3を用いて現像した。現像後は、超純水を用いてリンスをし、スピンドライヤー等で水分を飛ばし乾燥させた。
(4)パターニングされたOFPR以外の領域にAuエッチャント(AURUM−302、関東化学(株)を浸漬させてAuをエッチングし、超純水でリンスした。
(5)ガラス基板をアセトンにつけて残りのOFPR膜を除去して、Au電極部のパターニングを完成した。
(6)ガラス基板にSU−8をスピンコートし、ホットプレート上で95℃で50分間、プリベイクした。
(7)エマルジョンマスクを用いて露光後、ホットプレートの上で95℃で5分間、ポストエクスポージャベイクを行った。
(8)PGMEA(2−Methoxy−1−methylethyl acetate; CAS Number:142300−82−1)を用いて現像した。現像後は、超純水を用いてリンスし、スピンドライヤー等で水分をとばし乾燥させSU−8のパターニング作業を完了した。
(9)Auパターニング部に電極を接続し、SU−8のパターニングに沿ってNiめっきをSU−8パターンの高さ(100μm)まで成長させて、気泡噴出チップ1を作製した。
(10)ポリジメチルシロキサン(PDMS)をOHPフィルムの上において1000rpmで20秒スピンコートし、オーブンにて90℃で15分間ベイクして、厚さ100μm程度のシート状として用意した。このPDMSシートを、作製した気泡噴出チップ1の上面に被せ、接着剤(SuperXセメダイン(株))を用いて接着した。
〔気泡噴出チップ1の作製〕
上記実施例1の(7)の工程のエマルジョンマスクの形状を変え、気泡噴出部を複数形成した気泡噴出チップ1を作製した。図11(1)は実施例2で作製した気泡噴出チップ1の写真で、図11(2)は気泡噴出部付近を拡大した写真である。気泡噴出口35の大きさは、約50μmであった。
〔局所アブレーション装置及びインジェクション装置の作製及び気泡噴出実験〕
医療用電気メス(ConMed社製、Hyfrecator2000)のメスに換え、実施例1で作製した気泡噴出チップ1を組み込み、更に、無誘導抵抗及びDIOポートを電気出力手段に組み込み、局所アブレーション装置及びインジェクション装置を作製した。
上記実施例1の(7)の工程のエマルジョンマスクの形状を変えることで、流路7を含む気泡噴出チップ1を作製した。図13(1)は実施例4で作製した気泡噴出チップ1の写真で、図13(2)は気泡噴出部付近を拡大した写真である。気泡噴出口35の大きさは約50μm、電極31の高さは25μm、流路7の高さは50μm及び幅は100μmであった。
<実施例5>
実施例1で作製した気泡噴出チップ1に換え、実施例4で作製した気泡噴出チップ1を用いた以外は、実施例3と同様の装置を用いて局所アブレーション装置及びインジェクション装置を作製し、気泡噴出実験を行った。
Claims (12)
- 基板、該基板上に形成された気泡噴出部を含み、
前記気泡噴出部が、
導電材料で形成された電極、
絶縁性の感光性樹脂で形成され、前記電極を挟むように設けられ、且つ前記電極の先端より延伸した延伸部を含む絶縁部、及び
前記絶縁部の延伸部及び前記電極の先端との間に形成された空隙を含み、
前記延伸部の先端には気泡噴出口が形成され、
前記絶縁部は、電極を挟む部分から前記気泡噴出口まで連続して形成されている、
気泡噴出チップ。 - 前記延伸部が、テーパー状である請求項1に記載の気泡噴出チップ。
- 前記感光性樹脂が、ネガティブ型フォトレジストである請求項1又は2に記載の気泡噴出チップ。
- 前記気泡噴出部が2以上形成されている請求項1〜3の何れか一項に記載の気泡噴出チップ。
- 前記絶縁部にアシスト流路が形成されている請求項1〜4の何れか一項に記載の気泡噴出チップ。
- 前記電極に接続する通電部を含む請求項1〜5の何れか一項に記載の気泡噴出チップ。
- 前記気泡噴出部の電極とで電極対を構成する対向電極が、前記基板上に形成されている請求項1〜6の何れか一項に記載の気泡噴出チップ。
- 前記気泡噴出部の空隙側に、インジェクション物質を含む溶液を流す流路が形成されている請求項1〜7の何れか一項に記載の気泡噴出チップ。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載の気泡噴出チップを含む局所アブレーション装置。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載された気泡噴出チップを含むインジェクション装置。
- 請求項9に記載の局所アブレーション装置の電極と対向電極が導通するように溶液を注入し、
前記局所アブレーション装置の電極と対向電極とで構成される電極対に高周波電気パルスを印加することで、気泡噴出部の先端から気泡を放出させ、
該気泡で加工対象物を加工する局所アブレーション方法。 - 請求項10に記載のインジェクション装置の電極と対向電極が導通するように溶液を注入し、
インジェクション物質を含む溶液を気泡噴出部の前に流し、
前記インジェクション装置の電極と対向電極とで構成される電極対に高周波電気パルスを印加することで、前記インジェクション物質を含む溶液が吸着した気泡を放出させ、
気泡で加工対象物を局所アブレーションしながら、加工対象物にインジェクション物質を導入するインジェクション方法。
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