JP6381230B2 - 銅−ダイヤモンド複合材及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明を適用する銅−ダイヤモンド複合材を作製した。縦3.5cm、横7cm、高さ6.5cmの略直方体で天面が開口したアクリル樹脂製めっき槽の内壁の底面に、ステンレス製で、厚さ0.3mmの陰極板を敷いた。めっき槽に、0.85M硫酸銅五水和物と0.55M硫酸とからなる硫酸銅めっき液100mLを注ぎ入れてめっき浴を調製した。めっき液の温度を、室温(25℃)とした。
平均粒径195μmのダイヤモンド粒子(Changsha Xinye社製、製品名SXD 70 70/80)を、FE−SEMを用いて観察し、図3(b)に示す画像を得た。この画像により、ダイヤモンド粒子が凡そ揃った略切頂八面体形状を有するものであること、及び粒径が凡そ揃っていることを目視にて確認した。このダイヤモンド粒子を硫酸銅めっき液に加えて、2.1464gのダイヤモンド粒子を含有しためっき液としたこと、及び電流を58.5時間通じたこと以外は、実施例1と同様に操作した。それによりダイヤモンド粒子を53vol%含有し、275μm厚の実施例2の銅−ダイヤモンド複合材を作製した。
平均粒径230μmのダイヤモンド粒子(Changsha Xinye社製、製品名SXD 70 60/70)を、FE−SEMを用いて観察し、図3(c)に示す画像を得て、実施例2と同様に粒径及び形状を目視にて確認した。このダイヤモンド粒子を硫酸銅めっき液に加えて、2.5317gのダイヤモンド粒子を含有しためっき液としたこと、及び電流を69時間通じたこと以外は、実施例1と同様に操作した。それによりダイヤモンド粒子を61vol%含有し、335μm厚の実施例3の銅−ダイヤモンド複合材を作製した。
本発明を適用外の銅−ダイヤモンド複合材を作製した。図5に比較例に用いた平均粒径10μmのダイヤモンド粒子のFE−SEM画像を示す。平均粒径10μmのダイヤモンド粒子は、いずれの粒子も多角形を組み合わせた多面体でなく、また粒子径も不揃いであった。このダイヤモンド粒子を硫酸銅めっき液に加えて、0.1101gのダイヤモンド粒子を含有しためっき液としたこと、及び電流を3時間通じたこと以外は、実施例1と同様に操作した。それによりダイヤモンド粒子を24vol%含有し、34μm厚の比較例の銅−ダイヤモンド複合材を作製した。
電気めっきによって、銅マトリクスのみを陰極板に析出させた。実施例1と異なる点は、ダイヤモンド粒子を含んでいない点のみである。参考例の銅マトリクスの厚さは91μmであった。
JIS R 1611に記載されたフラッシュ法に準拠し、キセノンフラッシュ熱特性評価装置(ブルカー・エイエックスエス株式会社製、製品名LFA 447 Nanoflash)を用いて、陰極板から剥離した銅−ダイヤモンド複合材の熱拡散率を測定した。熱伝導率を、λ=α×c×ρに従って求めた。ただし、λ:銅−ダイヤモンド複合材の熱伝導率(W/mK)、α:銅−ダイヤモンド複合材の熱拡散率(m2/s)、c:銅−ダイヤモンド複合材の比熱容量(J/kg・K)、ρ:銅−ダイヤモンド複合材のかさ密度(kg/m3)である。なお、銅−ダイヤモンド複合材の比熱容量cは、銅の比熱容量CCuを0.386kJ/kg・K、ダイヤモンドの比熱容量Cdを0.53kJ/kg・Kとし(公益社団法人日本化学会、「化学便覧基礎編II」、丸善株式会社、平成3年2月28日、改訂3版、p.239)、数式2に従って算出された値であり、銅−ダイヤモンド複合材のかさ密度ρは、数式3に従って算出された値である。数式2及び3中、VCuは銅−ダイヤモンド複合材における銅の体積分率であり、Vdは銅−ダイヤモンド複合材におけるダイヤモンドの体積分率である。
実施例1〜3、比較例及び参考例の表面を観察したFE−SEM画像を、夫々図7(a)〜(e)に示す。同図(a)〜(c)に示す実施例1〜3の銅−ダイヤモンド複合材中のダイヤモンド粒子2は、いずれも凡そ最密構造を形成して均等に積み重なっている。一方、同図(d)に示す比較例の銅−ダイヤモンド複合材に含まれるダイヤモンド粒子は、均等に積み重なっておらず、偏って存在している。その結果、実施例1〜3の銅−ダイヤモンド複合材は、比較例の銅−ダイヤモンド複合材のように銅マトリクスとの濡れ性に乏しいダイヤモンド粒子が偏在していないので、全体として均一な強度を有している。
X線回折装置(株式会社島津製作所製、製品名XRD−6000)を用い、X線波長λ:1.54056nm、管電圧:30kV、管電流:20mA、走査範囲(2θ):20〜100deg、サンプリング間隔:0.02deg、走査速度:4deg/分、発散スリット・散乱スリット:1.00deg、受光スリット:0.3mmとして銅−ダイヤモンド複合材のX線回折パターンを得た。
Claims (10)
- ダイヤモンド粒子の少なくとも一部が、立方最密及び/又は六方最密に積み重ねられて銅からなるマトリクスに担持されており、前記ダイヤモンド粒子の形状が、三角形、四角形、五角形、六角形、八角形、及び/又は十角形の多角形を組み合わせた六面体、八面体、十二面体、及び/又は二十面体の多面体であることを特徴とする銅−ダイヤモンド複合材。
- 前記六面体が前記三角形の8面と前記八角形の6面とを組み合わせた切頂六面体であり、
前記八面体が前記六角形の8面と前記四角形の6面とを組み合わせた切頂八面体、前記三角形の8面と前記四角形の6面とを組み合わせた立方八面体、及び/又は前記四角形の12面と前記六角形の8面と前記八角形の6面とを組み合わせた斜方切頂立方八面体であり、
前記十二面体が正十二面体、及び/又は前記三角形の20面と前記十角形の8面とを組み合わせた切頂十二面体であり、
前記二十面体が正二十面体、及び/又は前記五角形の12面と前記六角形の20面とを組み合わせた切頂二十面体である
ことを特徴とする請求項1に記載の銅−ダイヤモンド複合材。 - 前記ダイヤモンド粒子の平均粒径が、少なくとも45μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の銅−ダイヤモンド複合材。
- 前記ダイヤモンド粒子が、少なくとも30vol%含まれていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の銅−ダイヤモンド複合材。
- 前記ダイヤモンド粒子と前記銅マトリクスとの少なくとも一部が、密着していることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の銅−ダイヤモンド複合材。
- 三角形、四角形、五角形、六角形、八角形、及び/又は十角形の多角形を組み合わせた六面体、八面体、十二面体、及び/又は二十面体の多面体形状を有するダイヤモンド粒子を含有するめっき液に、陰極板と前記陰極板の上方に配置された陽極板とが水平に対向して浸かっており、前記めっき液の撹拌を行って前記ダイヤモンド粒子を分散させ、
前記撹拌を止め、沈降する前記ダイヤモンド粒子の少なくとも一部を立方最密及び/又は六方最密に堆積させつつ、前記陰極板と前記陽極板との間に電流を通じて、前記陰極板上に銅からなるマトリクスと前記ダイヤモンド粒子とを共析させることを特徴とする銅−ダイヤモンド複合材の製造方法。 - 前記電流を通じる際及び/又はその直前に、前記めっき液及び/又は前記陰極板に振動を付与することを特徴とする請求項6に記載の銅−ダイヤモンド複合材の製造方法。
- 前記六面体が前記三角形の8面と前記八角形の6面とを組み合わせた切頂六面体であり、
前記八面体が前記六角形の8面と前記四角形の6面とを組み合わせた切頂八面体、前記三角形の8面と前記四角形の6面とを組み合わせた立方八面体、及び/又は前記四角形の12面と前記六角形の8面と前記八角形の6面とを組み合わせた斜方切頂立方八面体であり、
前記十二面体が正十二面体、及び/又は前記三角形の20面と前記十角形の8面とを組み合わせた切頂十二面体であり、
前記二十面体が正二十面体、及び/又は前記五角形の12面と前記六角形の20面とを組み合わせた切頂二十面体である
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の銅−ダイヤモンド複合材の製造方法。 - 前記めっき液が硫酸銅と硫酸とからなるものであることを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載の銅−ダイヤモンド複合材の製造方法。
- 前記陰極板における前記電流の密度が、最大で20A/dm2であることを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載の銅−ダイヤモンド複合材の製造方法。
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