JP6367666B2 - 酸素センサ - Google Patents
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Description
硝酸セリウム六水和物とオキシ硝酸ジルコニル二水和物を、モル比が9:1となるよう量り取った後、蒸留水を加え、硝酸セリウムとオキシ硝酸ジルコニルの合計の濃度を0.1mol/Lとした。次に、沈殿物が充分生成するまでアンモニア水を撹拌しながら加えた後、吸引濾過して沈殿物を回収した。さらに、濾物に対する質量比が11/75となるようにカーボンパウダーを加えた後、混練機ハイブリッドミキサーHM−500(キーエンス社製)を用いて2分間撹拌してカーボンを均一に分散させた。次に、70℃で12時間乾燥させた後、900℃で4時間で焼成した。さらに、めのう乳鉢で粉砕し、セリウム−ジルコニウム系複合酸化物粒子を得た。セリウム−ジルコニウム系複合酸化物粒子は、走査型電子顕微鏡で観察したところ、平均粒径が約100nmであった。
スクリーン印刷法を用いて、白金ペーストTR−7091T(田中貴金属社製)をアルミナ基板上に印刷した後、200℃/hで1400℃まで昇温し、2時間保持して焼成し、白金の櫛型電極を形成した。次に、アルミナ基板の櫛型電極が形成されていない側に、櫛型電極と同様の手順で、白金製の自己加熱することが可能なヒータを設置した。
絶縁膜及び触媒膜を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして、酸素センサを得た。
酸素センサの酸化物半導体膜が形成されている部分を、ガス雰囲気を置換することが可能なガスセンサ試料室内に挿入した後、ガスが漏れないように封止した。次に、ヒータに電圧を印加して自己加熱することにより600℃まで昇温し、酸素の濃度が100%、30%、10%及び3%、可燃性の燃焼ガスの濃度が0%のガス雰囲気における酸化物半導体膜の電気抵抗を測定した。さらに、酸素の濃度が約1ppm、可燃性の燃焼ガスの濃度が0%のガス雰囲気における酸化物半導体膜の電気抵抗を測定した。ここで、試料室にリークがあり、大気中の酸素が試料室内に微量混入すると、酸素の濃度が約1ppmである場合、酸素センサにより検出される酸素の濃度が大きく変動する。このため、酸素の濃度の正確さを担保するために、黄燐発光式酸素濃度計TOAIIs(大陽日酸社製)を用いて、ガス雰囲気における酸素の濃度を測定した。
Oo ×→Vo ・・+1/2O2+2e’
で表される機構がガス雰囲気における酸素分圧に依存するためである。このような性質から、セリウム−ジルコニウム系複合酸化物は、酸素分圧を検出することができる。
Oo ×+H2→Vo ・・+H2O+2e’
で表されるように、水素が格子酸素と反応するためである。
11 基板
12 櫛型電極
13 酸化物半導体膜
14 絶縁膜
15 触媒膜
Claims (4)
- 基板上に、電極、酸化物半導体膜、絶縁膜及び触媒膜が順次積層されており、
前記触媒膜は、貴金属粒子が担持されている金属酸化物粒子を含み、
前記金属酸化物は、酸化セリウム、セリウム−ジルコニウム系複合酸化物又はセリウム−イットリウム複合酸化物であることを特徴とする酸素センサ。 - 前記貴金属は、白金、金及びパラジウムからなる群より選択される一種以上であることを特徴とする請求項1に記載の酸素センサ。
- 前記貴金属粒子は、平均粒径が1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸素センサ。
- 前記触媒膜は、前記貴金属粒子の含有量が1質量%以上40質量%以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の酸素センサ。
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