JP6360760B2 - Copper-clad laminate and circuit board - Google Patents

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Description

本発明は、銅張積層板(CCL)及びそれを用いた回路基板に関する。   The present invention relates to a copper clad laminate (CCL) and a circuit board using the same.

近年、電子機器の小型化、軽量化、省スペース化の進展に伴い、薄く軽量で、可撓性を有し、屈曲を繰り返しても優れた耐久性を持つフレキシブルプリント配線板(FPC;Flexible Printed Circuits)の需要が増大している。FPCは、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、例えば、HDD、DVD、携帯電話等の電子機器の可動部分の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大しつつある。   In recent years, with the progress of miniaturization, weight reduction, and space saving of electronic devices, a flexible printed wiring board (FPC; Flexible Printed) that is thin, light, flexible, and has excellent durability even when it is repeatedly bent The demand for Circuits is increasing. The FPC can be mounted three-dimensionally and in a high density even in a limited space, so its application is for wiring of movable parts of electronic devices such as HDDs, DVDs and mobile phones, parts for cables and connectors, etc. It is expanding.

FPCは、銅張積層板(CCL)の銅層をエッチングして配線加工することによって製造される。携帯電話やスマートフォンにおいて、連続屈曲や180°折り曲げされるFPCには、銅層の材料として、圧延銅箔が多く用いられている。例えば、特許文献1では、圧延銅箔を用いて作製された銅張積層板の耐屈曲性を耐はぜ折り回数で規定する提案がなされている。また、特許文献2では、光沢度と折り曲げ回数で規定された圧延銅箔を用いた銅張積層板が提案されている。   The FPC is manufactured by etching and wiring a copper layer of a copper clad laminate (CCL). Rolled copper foil is often used as a material of a copper layer for FPCs that are bent continuously or bent 180 ° in mobile phones and smartphones. For example, in patent document 1, the proposal which prescribes | regulates the bending resistance of the copper clad laminated board produced using the rolled copper foil by the number of times of roll-resistance is made | formed. Moreover, in patent document 2, the copper clad laminated board using the rolled copper foil prescribed | regulated by the glossiness and bending frequency is proposed.

銅張積層板に対するフォトリソグラフィ工程や、FPC実装の過程では、銅張積層板に設けられたアライメントマークを基準に接合、切断、露光、エッチング等のさまざまな加工が行われる。これらの工程での加工精度は、FPCを搭載した電子機器の信頼性を維持する上で重要となる。しかし、銅張積層板は、熱膨張係数が異なる銅層と樹脂層とを積層した構造を有するため、銅層と樹脂層との熱膨張係数の差によって、層間に応力が発生する。この応力は、その一部分又は全部が、銅層をエッチングして配線加工した場合に解放されることによって伸縮を生じさせ、配線パターンの寸法を変化させる要因となる。そのため、最終的にFPCの段階で寸法変化が生じてしまい、配線間もしくは配線と端子との接続不良を引き起こす原因となり、回路基板の信頼性や歩留まりを低下させる。従って、回路基板材料としての銅張積層板において、寸法安定性は非常に重要な特性である。しかし、上記特許文献1、2では、銅張積層板の寸法安定性については何ら考慮されていない。   In the process of photolithography for a copper-clad laminate and in the process of mounting an FPC, various processes such as bonding, cutting, exposure, and etching are performed based on alignment marks provided on the copper-clad laminate. The processing accuracy in these steps is important in maintaining the reliability of the electronic device on which the FPC is mounted. However, since the copper-clad laminate has a structure in which copper layers and resin layers having different thermal expansion coefficients are laminated, stress is generated between the layers due to the difference in thermal expansion coefficient between the copper layer and the resin layer. This stress causes expansion or contraction by being released partially or entirely when the copper layer is etched and processed to cause a change in the dimension of the wiring pattern. Therefore, the dimensional change finally occurs at the stage of the FPC, which causes a connection failure between the wirings or between the wirings and the terminals, which lowers the reliability and the yield of the circuit board. Therefore, in a copper clad laminate as a circuit board material, dimensional stability is a very important characteristic. However, in the patent documents 1 and 2 mentioned above, the dimensional stability of the copper clad laminate is not considered at all.

なお、銅張積層板を製造するに際して、圧延銅箔にポリイミド前駆体をキャスティングする方法(キャスト法)を採用することによって、ラミネート製法と比較して、銅張積層板の寸法安定性を改善することができる。しかし、キャスト法によって長尺な銅箔から銅張積層板を製造する際には、コルゲーションと呼ばれる凹凸が発生しやすく、安定的な生産が困難になるという問題があった。   In addition, when manufacturing a copper-clad laminate, the dimensional stability of the copper-clad laminate is improved by adopting a method (casting method) of casting a polyimide precursor on a rolled copper foil as compared with a laminate manufacturing method. be able to. However, when manufacturing a copper-clad laminate from a long copper foil by a casting method, there is a problem that irregularities called "corrugation" are easily generated, and stable production becomes difficult.

特開2014−15674公報(特許請求の範囲など)JP, 2014-15674, A (claim, etc.) 特表2014−11451号公報(特許請求の範囲など)JP-A-2014-11451 (claims etc.)

本発明は、圧延銅箔を材料として使用し、寸法安定性に優れ、かつ、安定して生産が可能な銅張積層板を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a copper-clad laminate which uses rolled copper foil as a material, is excellent in dimensional stability, and can be stably produced.

本発明の銅張積層板は、ポリイミド絶縁層と、該ポリイミド絶縁層の片側の面に積層して設けられた第1の銅箔層とを備えた銅張積層板である。本発明の銅張積層板は、前記ポリイミド絶縁層の熱膨張係数が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内である。また、本発明の銅張積層板において、前記第1の銅箔層は、厚みが13μm以下であり、かつ、厚み(μm)と引張弾性率(GPa)との積が180〜250の範囲内の圧延銅箔からなることを特徴とする。   The copper-clad laminate of the present invention is a copper-clad laminate provided with a polyimide insulating layer and a first copper foil layer laminated on one side of the polyimide insulating layer. In the copper clad laminate of the present invention, the thermal expansion coefficient of the polyimide insulating layer is in the range of 10 ppm / K or more and 30 ppm / K or less. In the copper clad laminate of the present invention, the first copper foil layer has a thickness of 13 μm or less, and the product of the thickness (μm) and the tensile elastic modulus (GPa) is in the range of 180 to 250. It consists of a rolled copper foil.

本発明の銅張積層板は、前記ポリイミド絶縁層が、前記第1の銅箔層に、ポリイミドの前駆体溶液を塗布して乾燥した後、イミド化することによって形成されたものであってもよい。   In the copper-clad laminate of the present invention, the polyimide insulating layer may be formed by applying a precursor solution of a polyimide to the first copper foil layer and drying it, followed by imidization. Good.

本発明の銅張積層板は、更に、前記ポリイミド絶縁層における前記第1の銅箔層とは反対側の面に積層された第2の銅箔層を備えていてもよい。   The copper clad laminate of the present invention may further include a second copper foil layer laminated on the surface of the polyimide insulating layer opposite to the first copper foil layer.

本発明の銅張積層板は、下記の工程(1)〜(7);
(1)長尺な前記銅張積層板を、所定の長さに切断して試験片を準備する工程、
(2)前記銅張積層板の長手方向をMD方向、幅方向をTD方向としたとき、前記試験片において前記MD方向及び前記TD方向と平行な辺を有する仮想の正四角形を想定し、前記仮想の正四角形の中心を含む中心領域と、前記仮想の正四角形における前記TD方向の一辺を共有する2つの角部の1つずつを含む2つのコーナー領域とに、それぞれ、直線状の配列を含む複数のマークを形成する工程、
(3)前記複数のマークの位置を計測し、隣接するマークとマークの間の距離L0を算出する第1の計測工程、
(4)前記試験片の前記銅層の一部分又は全部をエッチングする工程、
(5)エッチング後に、前記複数のマークの位置を計測し、隣接するマークとマークの間の距離L1を算出する第2の計測工程、
(6)前記エッチングの前後で同じ2つのマークについて、前記第1の計測工程で得られた距離L0と、前記第2の計測工程で得られた距離L1との差分L1−L0を算出する工程、及び、
(7)前記差分L1−L0を、前記銅張積層板から形成する回路基板における配線パターンのスケールに換算して累積換算寸法変化量を求め、得られた累積換算寸法変化量を、前記配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する比率で表す工程、
を含む試験方法によって得られる、10mmの回路基板サイズにおける配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する累積換算寸法変化量の比率の、前記試験片における面内のばらつきが±2%以下である。
The copper clad laminate of the present invention comprises the following steps (1) to (7):
(1) A step of preparing a test piece by cutting the long copper-clad laminate into a predetermined length,
(2) Assuming that the longitudinal direction of the copper-clad laminate is the MD direction and the width direction is the TD direction, an imaginary square shape having sides parallel to the MD direction and the TD direction is assumed in the test piece, A linear array is provided in each of a central area including the center of a virtual square and two corner areas including one of two corners sharing one side in the TD direction in the virtual square. Forming a plurality of marks including
(3) A first measurement step of measuring the positions of the plurality of marks and calculating the distance L0 between the adjacent marks,
(4) etching a part or all of the copper layer of the test piece;
(5) A second measurement step of measuring the positions of the plurality of marks after etching and calculating the distance L1 between the adjacent marks,
(6) A step of calculating a difference L1-L0 between the distance L0 obtained in the first measurement step and the distance L1 obtained in the second measurement step for the same two marks before and after the etching ,as well as,
(7) The difference L1-L0 is converted to the scale of the wiring pattern in the circuit board formed from the copper clad laminate to obtain the cumulative converted dimensional change amount, and the obtained cumulative converted dimensional change amount is the wiring pattern Process expressed as a ratio to the sum of the wiring width and wiring spacing
In the test piece of the ratio of the cumulative dimensional change amount to the sum of the wiring width of the wiring pattern and the wiring interval in a circuit board size of 10 mm obtained by the test method including .

本発明の回路基板は、上記いずれかに記載の銅張積層板の銅箔を配線回路加工してなる。   The circuit board of the present invention is obtained by processing the copper foil of the copper-clad laminate described in any one of the above to a wiring circuit.

本発明の銅張積層板は、厚みが13μm以下であり、かつ、厚み(μm)と引張弾性率(GPa)との積が180〜250の範囲内の圧延銅箔からなる第1の銅箔層を有することによって、寸法安定性と生産安定性に優れている。従って、本発明の銅張積層板を回路基板材料として利用することによって、回路基板の信頼性と歩留まりの向上を図ることができる。   The copper-clad laminate of the present invention is a first copper foil having a thickness of 13 μm or less, and a product of a thickness (μm) and a tensile elastic modulus (GPa) in the range of 180 to 250. By having a layer, it is excellent in dimensional stability and production stability. Therefore, by using the copper clad laminate of the present invention as a circuit board material, the reliability and yield of the circuit board can be improved.

本発明の一実施の形態に係る銅張積層板の寸法安定性を評価する評価方法に用いる銅張積層板と試験片の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the copper clad laminated board used for the evaluation method which evaluates the dimensional stability of the copper clad laminated board which concerns on one embodiment of this invention, and a test piece. 試験片におけるマーク位置を説明する図面である。It is drawing explaining the mark position in a test piece. 試験片の中心領域の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the central area of a specimen. 試験片のコーナー領域の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the corner area of a specimen. 孔と孔との間隔の寸法変化量について説明する図面である。It is drawing explaining the dimensional variation of the space | interval of a hole and a hole. 実施例、比較例における評価サンプルの説明に供する図面である。It is drawing used for description of the evaluation sample in an Example and a comparative example. 実施例、比較例における評価サンプルの調製の説明に供する図面である。It is drawing used for description of preparation of the evaluation sample in an Example and a comparative example. 実施例におけるFPCサイズと配線位置ずれ率を示すグラフである。It is a graph which shows FPC size and wiring misregistration rate in an Example. 比較例におけるFPCサイズと配線位置ずれ率を示すグラフである。It is a graph which shows FPC size and wiring misregistration rate in a comparative example.

次に、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate.

<銅張積層板>
本実施の形態の銅張積層板は、ポリイミド絶縁層と銅箔層とから構成される。銅箔層はポリイミド絶縁層の片面又は両面に設けられている。つまり、本実施の形態の銅張積層板は、片面銅張積層板(片面CCL)でもよいし、両面銅張積層板(両面CCL)でもよい。片面CCLの場合、ポリイミド絶縁層の片面に積層された銅箔層を、本発明における「第1の銅箔層」とする。両面CCLの場合、ポリイミド絶縁層の片面に積層された銅箔層を、本発明における「第1の銅箔層」とし、ポリイミド絶縁層において、第1の銅箔層が積層された面とは反対側の面に積層された銅箔層を、本発明における「第2の銅箔層」とする。本実施の形態の銅張積層板は、銅箔をエッチングするなどして配線回路加工して銅配線を形成し、FPCとして使用される。
<Copper-clad laminates>
The copper clad laminate of the present embodiment is composed of a polyimide insulating layer and a copper foil layer. The copper foil layer is provided on one side or both sides of the polyimide insulating layer. That is, the copper-clad laminate of this embodiment may be a single-sided copper-clad laminate (single-sided CCL) or a double-sided copper-clad laminate (double-sided CCL). In the case of single-sided CCL, the copper foil layer laminated on one side of the polyimide insulating layer is referred to as "first copper foil layer" in the present invention. In the case of double-sided CCL, the copper foil layer laminated on one side of the polyimide insulating layer is referred to as the “first copper foil layer” in the present invention, and in the polyimide insulating layer, the side on which the first copper foil layer is laminated Let the copper foil layer laminated | stacked on the surface on the opposite side be a "2nd copper foil layer" in this invention. The copper-clad laminate of this embodiment is used as an FPC by forming a copper wiring by processing a wiring circuit by etching a copper foil or the like.

<第1の銅箔層>
本実施の形態の銅張積層板において、第1の銅箔層に使用される銅箔(以下、「第1の銅箔」と記すことがある)は、圧延銅箔からなる。第1の銅箔として圧延銅箔を用いることによって、後述するように、厚みと引張弾性率との積を考慮することにより、優れた寸法安定性と高屈曲性を両立可能な銅張積層板を安定的に製造することができる。また、本実施の形態の銅張積層板においては、第1の銅箔として、短辺(幅)に対する長辺(長さ)の比率(長辺/短辺)が600以上である長尺な銅箔を使用する。
<First copper foil layer>
In the copper clad laminate of the present embodiment, the copper foil used in the first copper foil layer (hereinafter sometimes referred to as “first copper foil”) is made of rolled copper foil. A copper-clad laminate capable of achieving both excellent dimensional stability and high flexibility by considering the product of thickness and tensile modulus as described later by using rolled copper foil as the first copper foil Can be manufactured stably. Moreover, in the copper clad laminate of this embodiment, a long copper foil having a ratio (long side / short side) of long side (length) to short side (width) of 600 or more as the first copper foil. Use copper foil.

第1の銅箔の厚みは13μm以下であり、好ましくは6〜12μmの範囲内がよい。第1の銅箔の厚みが13μmを超えると、銅張積層板(又はFPC)を折り曲げた際の銅箔(又は銅配線)に加わる曲げ応力が大きくなることにより耐折り曲げ性が低下することとなる。また、生産安定性及びハンドリング性の観点から、第1の銅箔の厚みの下限値は6μmとすることが好ましい。   The thickness of the first copper foil is 13 μm or less, preferably in the range of 6 to 12 μm. When the thickness of the first copper foil exceeds 13 μm, the bending resistance applied to the copper foil (or copper wiring) when bending the copper-clad laminate (or FPC) becomes large, and thus the bending resistance decreases. Become. Moreover, it is preferable that the lower limit of the thickness of a 1st copper foil shall be 6 micrometers from a viewpoint of production stability and handling property.

また、第1の銅箔の引張弾性率は、例えば、10〜35GPaの範囲内であることが好ましく、15〜25GPaの範囲内がより好ましい。本実施の形態で第1の銅箔として使用する圧延銅箔は、熱処理によってアニールされると、柔軟性が高くなる。従って、第1の銅箔の引張弾性率が上記下限値に満たないと、長尺な第1の銅箔からキャスト法によって銅張積層板を製造する際、第1の銅箔上にポリイミド絶縁層を形成する工程において、加熱によって第1の銅箔自体の剛性が低下してしまう。その結果、銅張積層板に凹凸(コルゲーション)が発生するという問題が生じる。なお、ラミネート法によって銅張積層板を製造する場合、上記コルゲーションの問題は生じ難いが、十分な寸法安定性が得られない。
一方、引張弾性率が上記上限値を超えるとFPCを折り曲げた際に銅配線により大きな曲げ応力が加わることとなり、その耐折り曲げ性が低下する。なお、圧延銅箔は、前述したキャスト法によって銅箔上にポリイミド絶縁層を形成する際の熱処理条件や、ポリイミド絶縁層を形成した後の銅箔のアニール処理などにより、その引張弾性率が変化する傾向がある。従って、本実施の形態では、最終的に得られた銅張積層板において、第1の銅箔の引張弾性率が上記範囲内にあればよい。
The tensile modulus of elasticity of the first copper foil is, for example, preferably in the range of 10 to 35 GPa, and more preferably in the range of 15 to 25 GPa. The rolled copper foil used as the first copper foil in the present embodiment has high flexibility when annealed by heat treatment. Therefore, when the tensile modulus of elasticity of the first copper foil is less than the above lower limit value, when producing a copper clad laminate from the long first copper foil by the casting method, polyimide insulation on the first copper foil is carried out. In the step of forming the layer, the rigidity of the first copper foil itself is reduced by heating. As a result, there arises a problem that corrugation occurs in the copper clad laminate. In addition, when manufacturing a copper clad laminated board by a lamination method, although the problem of the said corrugation hardly arises, sufficient dimensional stability is not acquired.
On the other hand, when the tensile elastic modulus exceeds the above upper limit value, a large bending stress is applied to the copper wiring when the FPC is bent, and the bending resistance thereof is reduced. The tensile modulus of elasticity of the rolled copper foil changes due to heat treatment conditions for forming a polyimide insulating layer on the copper foil by the above-described casting method, annealing treatment of the copper foil after forming the polyimide insulating layer, and the like. There is a tendency to Therefore, in the present embodiment, in the copper clad laminate finally obtained, the tensile modulus of the first copper foil may be in the above range.

また、第1の銅箔は、その厚み(μm)と引張弾性率(GPa)との積が、180〜250の範囲内であり、210〜240の範囲内であることが好ましい。第1の銅箔の厚みと引張弾性率との積が180未満では、長尺な第1の銅箔を用いてキャスト法によって銅張積層板を製造する際にコルゲーションが発生しやすくなって生産安定性が低下し、250を超えると、耐折り曲げ性が低下する。本実施の形態においては、第1の銅箔の厚みと引張弾性率との積を上記範囲内に規定することによって、第1の銅箔のハンドリング性と剛性のバランスをとり、生産安定性と耐折り曲げ性との両立を図ることができる。   The product of the thickness (μm) of the first copper foil and the tensile elastic modulus (GPa) is in the range of 180 to 250, and preferably in the range of 210 to 240. If the product of the thickness of the first copper foil and the tensile elastic modulus is less than 180, corrugation tends to occur when the copper clad laminate is produced by a casting method using the long first copper foil, which is a production process. The stability decreases, and when it exceeds 250, the bending resistance decreases. In the present embodiment, by defining the product of the thickness of the first copper foil and the tensile elastic modulus in the above range, the handling property and the rigidity of the first copper foil are balanced, and the production stability and Compatibility with bending resistance can be achieved.

第1の銅箔は、上記特性を充足するものであれば特に限定されるものではなく、市販されている圧延銅箔を用いることができる。第1の銅箔として好適な市販品として、例えば、JX日鉱日石金属株式会社製のHA−V2箔を挙げることができる。   The first copper foil is not particularly limited as long as it satisfies the above characteristics, and a rolled copper foil commercially available can be used. As a commercial item suitable as a 1st copper foil, HA-V2 foil made from JX Nippon Oil Nippon Metal Co., Ltd. can be mentioned, for example.

<第2の銅箔層>
第2の銅箔層は、ポリイミド絶縁層における第1の銅箔層とは反対側の面に積層されている。第2の銅箔層に使用される銅箔(第2の銅箔)としては、特に限定されるものではなく、例えば、圧延銅箔でも電解銅箔でもよい。また、第2の銅箔として、市販されている銅箔を用いることもできる。なお、第2の銅箔として、第1の銅箔と同じものを使用してもよい。
<Second copper foil layer>
The second copper foil layer is laminated on the surface of the polyimide insulating layer opposite to the first copper foil layer. It does not specifically limit as copper foil (2nd copper foil) used for a 2nd copper foil layer, For example, a rolled copper foil or an electrolytic copper foil may be sufficient. Moreover, the copper foil marketed can also be used as a 2nd copper foil. In addition, you may use the same thing as 1st copper foil as 2nd copper foil.

<ポリイミド絶縁層>
本実施の形態の銅張積層板において、反りの発生や寸法安定性の低下を防止するために、ポリイミド絶縁層全体として、熱膨張係数(CTE)が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内であることが重要である。ポリイミド絶縁層の熱膨張係数(CTE)は、10ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内が好ましい。熱膨張係数(CTE)が10ppm/K未満であるか、又は30ppm/Kを超えると、銅張積層板に反りが発生したり、寸法安定性が低下したりする。また、本実施の形態の銅張積層板において、銅の熱膨張係数(CTE)に対してポリイミド絶縁層の熱膨張係数(CTE)が、±5ppm/K以下の範囲内がより好ましく、±2ppm/K以下の範囲内が最も好ましい。
<Polyimide insulating layer>
In the copper clad laminate of the present embodiment, the thermal expansion coefficient (CTE) of the entire polyimide insulating layer is in the range of 10 ppm / K to 30 ppm / K in order to prevent the occurrence of warpage and the decrease in dimensional stability. It is important to be. The thermal expansion coefficient (CTE) of the polyimide insulating layer is preferably in the range of 10 ppm / K to 25 ppm / K. If the coefficient of thermal expansion (CTE) is less than 10 ppm / K, or more than 30 ppm / K, warpage may occur in the copper-clad laminate or dimensional stability may be reduced. Further, in the copper clad laminate according to the present embodiment, the thermal expansion coefficient (CTE) of the polyimide insulating layer is more preferably ± 5 ppm / K or less relative to the thermal expansion coefficient (CTE) of copper, ± 2 ppm Most preferable is within the range of / K or less.

本実施の形態の銅張積層板において、ポリイミド絶縁層の厚みは、銅箔層の厚みや剛性などに応じて、所定の範囲内の厚みに設定することができる。ポリイミド絶縁層の厚みは、例えば8〜50μmの範囲内にあることが好ましく、11〜26μmの範囲内にあることがより好ましい。ポリイミド絶縁層の厚みが上記下限値に満たないと、電気絶縁性が担保出来ないことや、ハンドリング性の低下により製造工程にて取扱いが困難になるなどの問題が生じることがある。一方、ポリイミド絶縁層の厚みが上記上限値を超えるとFPCを折り曲げた際に銅配線により曲げ応力が加わることとなり、その耐折り曲げ性を低下させてしまうことがある。   In the copper clad laminate of the present embodiment, the thickness of the polyimide insulating layer can be set to a thickness within a predetermined range according to the thickness, rigidity and the like of the copper foil layer. The thickness of the polyimide insulating layer is, for example, preferably in the range of 8 to 50 μm, and more preferably in the range of 11 to 26 μm. If the thickness of the polyimide insulating layer is less than the above lower limit, problems such as the inability to ensure electrical insulation and the difficulty in handling in the manufacturing process due to a decrease in handling may occur. On the other hand, when the thickness of the polyimide insulating layer exceeds the above upper limit value, bending stress may be applied by the copper wiring when the FPC is bent, and the bending resistance may be reduced.

また、ポリイミド絶縁層の引張弾性率は3.0〜10.0GPaの範囲内であることが好ましく、4.5〜8.0GPaの範囲内であるのがよい。ポリイミド絶縁層の引張弾性率が3.0GPaに満たないとポリイミド自体の強度が低下することによって、銅張積層板を回路基板へ加工する際にフィルムの裂けなどのハンドリング上の問題が生じることがある。反対に、ポリイミド絶縁層の引張弾性率が10.0GPaを超えると、銅張積層板の折り曲げに対する剛性が上昇する結果、銅張積層板を折り曲げた際に銅配線に加わる曲げ応力が上昇し、耐折り曲げ性が低下してしまう。   Moreover, it is preferable that the tensile elasticity modulus of a polyimide insulating layer exists in the range of 3.0-10.0 GPa, and it is good for it to exist in the range of 4.5-8.0 GPa. When the tensile modulus of the polyimide insulating layer is less than 3.0 GPa, the strength of the polyimide itself is reduced, which may cause handling problems such as tearing of the film when processing the copper-clad laminate into a circuit board. is there. On the contrary, when the tensile elastic modulus of the polyimide insulating layer exceeds 10.0 GPa, the rigidity against bending of the copper-clad laminate increases, so that the bending stress applied to the copper wiring when bending the copper-clad laminate increases. The bending resistance is reduced.

ポリイミド絶縁層としては、市販のポリイミドフィルムをそのまま使用することも可能であるが、その厚さや物性のコントロールのしやすさから、ポリアミド酸溶液を銅箔上に直接塗布した後、熱処理により乾燥、硬化する所謂キャスト法によって形成されたものが好ましい。また、ポリイミド絶縁層は、単層のみから形成されるものでもよいが、ポリイミド絶縁層と第1の銅箔層との接着性等を考慮すると複数層からなるものが好ましい。ポリイミド絶縁層を複数層とする場合、異なる構成成分からなるポリアミド酸溶液の上に他のポリアミド酸溶液を順次塗布して形成することができる。ポリイミド絶縁層が複数層からなる場合、同一の構成のポリイミド前駆体樹脂を2回以上使用してもよい。   Although a commercially available polyimide film can be used as it is as the polyimide insulating layer, a polyamic acid solution is directly coated on a copper foil, and dried by heat treatment, because of easy control of thickness and physical properties. What is formed by the so-called cast method of curing is preferred. The polyimide insulating layer may be formed of only a single layer, but in consideration of the adhesion between the polyimide insulating layer and the first copper foil layer, a plurality of layers are preferable. When a polyimide insulating layer is made into multiple layers, another polyamic acid solution can be sequentially apply | coated and formed on the polyamic acid solution which consists of a different structural component. When a polyimide insulating layer consists of multiple layers, you may use the polyimide precursor resin of the same structure twice or more.

ポリイミド絶縁層は複数層とすることが好ましいが、その具体例としては、ポリイミド絶縁層を、低熱膨張性ポリイミド層と、高熱膨張性ポリイミド層と、を含む積層構造とすることが好ましい。ここで、低熱膨張性ポリイミド層は、熱膨張係数が35×10−6/K未満、好ましくは1×10−6〜30×10−6/Kの範囲内、特に好ましくは3×10−6〜25×10−6/Kの範囲内のポリイミド層をいう。また、高熱膨張性ポリイミド層は、熱膨張係数が35×10−6/K以上、好ましくは35×10−6〜80×10−6/Kの範囲内、特に好ましくは35×10−6〜70×10−6/Kの範囲内のポリイミド層をいう。ポリイミド層は、使用する原料の組合せ、厚み、乾燥・硬化条件を適宜変更することで所望の熱膨張係数を有するポリイミド層とすることができる。 Preferably, the polyimide insulating layer has a plurality of layers, but as a specific example, the polyimide insulating layer preferably has a laminated structure including a low thermal expansion polyimide layer and a high thermal expansion polyimide layer. Here, the low thermal expansion polyimide layer has a thermal expansion coefficient of less than 35 × 10 −6 / K, preferably 1 × 10 −6 to 30 × 10 −6 / K, particularly preferably 3 × 10 −6. Polyimide layer in the range of -25 x 10 -6 / K. Further, the high thermal expansion polyimide layer has a thermal expansion coefficient of 35 × 10 −6 / K or more, preferably 35 × 10 −6 to 80 × 10 −6 / K, particularly preferably 35 × 10 −6 to It refers to a polyimide layer in the range of 70 × 10 −6 / K. The polyimide layer can be made into a polyimide layer having a desired thermal expansion coefficient by appropriately changing the combination of the raw materials used, the thickness, and the drying and curing conditions.

上記ポリイミド絶縁層を与えるポリアミド酸溶液は、公知のジアミンと酸無水物とを溶媒の存在下で重合して製造することができる。   The polyamic acid solution giving the polyimide insulating layer can be produced by polymerizing a known diamine and an acid anhydride in the presence of a solvent.

ポリイミドの原料として用いられるジアミンとしては、例えば、4,6-ジメチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジメチル-p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノメシチレン、4,4'-メチレンジ-o-トルイジン、4,4'-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4'-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、2,4-トルエンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジアミノジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノジフェニルエタン、3,3'-ジアミノジフェニルエタン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、ベンジジン、3,3'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメトキシベンジジン、4,4'-ジアミノ-p-テルフェニル、3,3'-ジアミノ-p-テルフェニル、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、3,7-ジアミノジベンゾフラン、1,5-ジアミノフルオレン、ジベンゾ-p-ジオキシン-2,7-ジアミン、4,4'-ジアミノベンジルなどが挙げられる。   Examples of diamine used as a raw material of polyimide include 4,6-dimethyl-m-phenylenediamine, 2,5-dimethyl-p-phenylenediamine, 2,4-diaminomesitylene, 4,4'-methylenedi-o- Toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 2,4-toluenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 4,4 ' -Diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 2-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl Sulfone, 4,4'-diami Diphenyl ether, 3,3-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, benzidine, 3,3'-Diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 4,4'-diamino-p-terphenyl, 3,3'-diamino- p-terphenyl, bis (p-aminocyclohexyl) methane, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-methyl-δ-aminopentyl) benzene, p-bis (2-) Methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis (1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis (β-amino- t-Butyl) toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m- Silylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2,2'-dimethyl-4, 4'-diaminobiphenyl, 3,7-diaminodibenzofuran, 1,5-diaminofluorene, dibenzo-p-dioxin-2,7-diamine, 4,4'-diaminobenzyl and the like.

また、ポリイミドの原料として用いられる酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,4,5-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,6-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3'',4,4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3'',4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-5,6,11,12-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,7,8-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,9,10-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。   Moreover, as an acid anhydride used as a raw material of a polyimide, for example, pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,2', 3,3 ' -Benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3 ', 4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, naphthalene-1,2,5 4,5-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl -1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7- Hexahydronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic acid dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene-1, 4,5,8-Tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro Phthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4 2,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3, 3 '', 4,4 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 '', 3,3 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ' ', 4' '-p-terphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2, 2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, 2, 2- bis (3,4- dicarboxyphenyl) ) -Propane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3.4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, Bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxylate) Phenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, perylene-2,3 , 8,9-tetracarboxylic acid dianhydride, perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic acid dianhydride, perylene-4,5,10,11-tetracarboxylic acid dianhydride, perylene-5, 6,11,12-tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1,2,7,8-tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1,2,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1 2,9,10-tetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrrolidine -2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, thiophene-, 3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid dianhydride, 2,3,6,7 -Naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride etc And the like.

上記ジアミン及び酸無水物は、それぞれ1種のみを使用してもよく2種以上を併用することもできる。また、重合に使用される溶媒は、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリジノン、2-ブタノン、ジグライム、キシレン等が挙げられ、1種又は2種以上併用して使用することもできる。   The diamine and the acid anhydride may be used alone or in combination of two or more. Further, examples of the solvent used for the polymerization include dimethylacetamide, N-methyl pyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene and the like, and one or more kinds can be used in combination.

熱膨張係数35×10−6/K未満の低熱膨張性ポリイミド層を形成するには、原料の酸無水物成分としてピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を、ジアミン成分としては、2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、2-メトキシ-4,4’-ジアミノベンズアニリドを用いることがよく、特に好ましくは、ピロメリット酸二無水物及び2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニルを原料各成分の主成分とするものがよい。 In order to form a low thermal expansion polyimide layer having a thermal expansion coefficient of less than 35 × 10 −6 / K, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid as an acid anhydride component of the raw material Acid dianhydride is preferably used as the diamine component, preferably 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl or 2-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, and particularly preferably pyromellitic. It is preferable that acid dianhydride and 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl be the main components of the starting materials.

また、熱膨張係数35×10−6/K以上の高熱膨張性ポリイミド層を形成するには、原料の酸無水物成分としてピロメリット酸二無水物、3,3',4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を、ジアミン成分としては、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼンを用いることがよく、特に好ましくはピロメリット酸二無水物及び2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを原料各成分の主成分とするものがよい。なお、このようにして得られる高熱膨張性ポリイミド層の好ましいガラス転移温度は、300〜400℃の範囲内である。 Moreover, in order to form a high thermal expansion polyimide layer having a thermal expansion coefficient of 35 × 10 −6 / K or more, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl as an acid anhydride component of the raw material Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl sulfone tetracarboxylic acid dianhydride, and as a diamine component, It is preferable to use 2,2'-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4'-diaminodiphenylether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, particularly preferably pyromellitic It is preferable that acid dianhydride and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane be the main components of the starting materials. In addition, the preferable glass transition temperature of the high thermal expansion polyimide layer obtained by doing in this way exists in the range of 300-400 degreeC.

また、ポリイミド絶縁層を低熱膨張性ポリイミド層と高熱膨張性ポリイミド層との積層構造とした場合、好ましくは、低熱膨張性のポリイミド層と高熱膨張性のポリイミド層との厚み比(低熱膨張性ポリイミド層/高熱膨張性のポリイミド層)が1.5〜6.0の範囲内であることがよい。この比の値が、1.5に満たないとポリイミド絶縁層全体に対する低熱膨張性ポリイミド層が薄くなるため、銅箔をエッチングした際の寸法変化率が大きくなりやすく、6.0を超えると高熱膨張性ポリイミド層が薄くなるため、ポリイミド絶縁層と銅箔との接着信頼性が低下しやすくなる。   When the polyimide insulating layer has a laminated structure of a low thermal expansion polyimide layer and a high thermal expansion polyimide layer, preferably, the thickness ratio of the low thermal expansion polyimide layer to the high thermal expansion polyimide layer (low thermal expansion polyimide The layer / high thermal expansion polyimide layer) should be in the range of 1.5 to 6.0. If the value of this ratio is less than 1.5, the low thermal expansion polyimide layer with respect to the entire polyimide insulating layer becomes thin, so the dimensional change rate when etching the copper foil tends to be large, and when it exceeds 6.0, high thermal conductivity Since the intumescent polyimide layer becomes thin, the adhesion reliability between the polyimide insulating layer and the copper foil tends to be reduced.

本実施の形態の銅張積層板は、下記の評価方法によって得られる、10mmの回路基板サイズ(FPCサイズ)における配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する累積換算寸法変化量の比率の、試験片における面内のばらつきが、±2%以下である。このばらつきの値が±2%を超える場合には、銅張積層板から加工されたFPCにおいて、配線間もしくは配線と端子との接続不良を引き起こす原因となり、回路基板の信頼性や歩留まりを低下させる要因となる。ここで、図1〜図7を参照しながら、本実施の形態において使用される銅張積層板の寸法安定性の評価方法について説明する。この評価方法は、以下の工程(1)〜(7)を備えている。   The copper-clad laminate of this embodiment has the ratio of the amount of change in cumulative dimensional change to the sum of the wiring width of the wiring pattern and the wiring spacing in a circuit board size (FPC size) of 10 mm, obtained by the following evaluation method. The in-plane variation in the test piece is ± 2% or less. When the value of this variation exceeds ± 2%, in the FPC processed from the copper-clad laminate, it causes the connection failure between the wires or between the wires and the terminals, which lowers the reliability and the yield of the circuit board. It becomes a factor. Here, with reference to FIGS. 1-7, the evaluation method of the dimensional stability of the copper clad laminated board used in this Embodiment is demonstrated. This evaluation method comprises the following steps (1) to (7).

(1)試験片を準備する工程:
本工程では、図1に例示するように、長尺な銅張積層板100を、所定の長さに切断することによって試験片10を準備する。なお、以下の説明では、長尺な銅張積層板100の長手方向をMD方向、幅方向をTD方向と定義する(試験片10についても同様である)。試験片10は、正方形に近い形状となるように、銅張積層板100の幅(TD方向の長さ)と切断間隔(MD方向の長さ)がほぼ等しくなるようにすることが好ましい。銅張積層板100は、図示は省略するが絶縁樹脂層と、この絶縁樹脂層の片側又は両側に積層された銅層とを有する。
(1) Process of preparing a test piece:
In this step, as illustrated in FIG. 1, the test strip 10 is prepared by cutting the long copper-clad laminate 100 into a predetermined length. In the following description, the longitudinal direction of the long copper-clad laminate 100 is defined as the MD direction, and the width direction is defined as the TD direction (the same applies to the test piece 10). It is preferable that the width (length in the TD direction) of the copper-clad laminate 100 and the cutting interval (length in the MD direction) be substantially equal so that the test piece 10 has a shape close to a square. The copper-clad laminate 100 has an insulating resin layer (not shown) and a copper layer laminated on one side or both sides of the insulating resin layer.

本評価方法の対象となる銅張積層板100は、任意の方法で調製したものを使用できる。例えば、銅張積層板100は、樹脂フィルムを用意し、これに金属をスパッタリングしてシード層を形成した後、メッキによって銅層を形成することによって調製したものでもよい。また、銅張積層板100は、樹脂フィルムと銅箔とを熱圧着などの方法でラミネートすることによって調製したものでもよい。さらに、銅張積層板100は、銅箔の上に樹脂溶液を塗布して絶縁樹脂層を形成することによって調製したものでもよい。   What was prepared by arbitrary methods can be used for the copper clad laminated board 100 used as the object of this evaluation method. For example, the copper clad laminate 100 may be prepared by preparing a resin film, sputtering a metal thereon to form a seed layer, and then forming a copper layer by plating. The copper-clad laminate 100 may be prepared by laminating a resin film and a copper foil by a method such as thermocompression bonding. Furthermore, the copper clad laminate 100 may be prepared by applying a resin solution on copper foil to form an insulating resin layer.

(2)試験片に複数のマークを形成する工程:
本工程では、図2に示すように、まず試験片10において、MD方向及びTD方向と平行な辺を有する仮想の正四角形20を想定する。この仮想の正四角形20の一辺の長さは、銅張積層板100の幅(TD方向の長さ)に応じた長さとすることができる。また、仮想の正四角形20の面積は、多数個採りの場合にFPCに加工する範囲の限界まで評価対象に含めるため、FPCに加工する範囲をカバーできる面積に設定することが好ましい。従って、正四角形20の一辺の長さは、試験片10におけるTD方向の長さ(銅張積層板100の幅)の60〜90%の範囲内とすることが好ましく、70〜80%の範囲内とすることがより好ましい。例えば、銅張積層板100の幅(TD方向の長さ)が250mmである場合には、仮想の正四角形20の一辺の長さは、150〜225mmの範囲内に設定することが好ましく、175〜200mmの範囲内に設定することがより好ましい。
(2) Step of forming a plurality of marks on a test piece:
In this process, as shown in FIG. 2, first, on the test piece 10, a virtual square 20 having sides parallel to the MD direction and the TD direction is assumed. The length of one side of the virtual square 20 can be set to a length according to the width (length in the TD direction) of the copper-clad laminate 100. Moreover, in order to include the area of the virtual square 20 in the evaluation target up to the limit of the range processed into the FPC in the case of picking a large number of pieces, it is preferable to set the area to cover the range processed into the FPC. Therefore, the length of one side of the square 20 is preferably in the range of 60 to 90% of the length in the TD direction (the width of the copper clad laminate 100) in the test piece 10, and in the range of 70 to 80%. It is more preferable to set it inside. For example, when the width (length in the TD direction) of the copper-clad laminate 100 is 250 mm, the length of one side of the virtual square 20 is preferably set within the range of 150 to 225 mm, 175 It is more preferable to set in -200 mm.

次に、図2〜図4に示すように、仮想の正四角形20の中心20aを含む中心領域21と、正四角形20におけるTD方向の一辺を共有する2つの角部20bの1つずつを含む2つのコーナー領域23a,23bとに、それぞれ、直線状の配列を含む複数のマークを形成する。マークは、例えば試験片10を貫通する丸い孔30である。複数の孔30は、等間隔に形成することが好ましい。なお、マークとしての孔30は、例えば三角形、長方形などの多角形状でもよい。また、マークは、その位置を識別可能であれば、貫通孔に限らず、例えば試験片10に溝、切り込みなどを形成したものであってもよいし、インクなどを利用して印刷した模様であってもよい。   Next, as shown in FIGS. 2 to 4, it includes a central region 21 including the center 20 a of the virtual square 20 and one of two corner portions 20 b sharing one side in the TD direction in the square 20. A plurality of marks including a linear arrangement are formed in the two corner areas 23a and 23b, respectively. The mark is, for example, a round hole 30 penetrating the test piece 10. The plurality of holes 30 are preferably formed at equal intervals. The hole 30 as a mark may be, for example, a polygonal shape such as a triangle or a rectangle. Further, the mark is not limited to the through hole, but may be, for example, a groove, a cut or the like formed on the test piece 10 as long as the position can be identified. It may be.

<中心領域>
仮想の正四角形20の中心20aは、試験片10の伸縮を測定するための座標の基準になることから、本評価方法では、当該中心20aを含む中心領域21を測定対象とする。中心領域21においては、直線状の配列を含む限り、複数の孔30を形成する位置は任意であり、例えばT字形、L字形などに配列してもよいが、仮想の正四角形20の中心20aから、MD方向及びTD方向に均等に配列できる十字型が好ましい。すなわち、図3に示すように、複数の孔30を、仮想の正四角形20の中心20aを通る十字形に沿ってMD方向及びTD方向に形成することが好ましく、十字型の交差部分が、仮想の正四角形20の中心20aに重なるように配置することがより好ましい。この場合、中心20aに重なる孔30は、MD方向及びTD方向の両方向の配列を構成する孔30として重複してカウントされる。
<Central region>
Since the center 20a of the virtual square 20 serves as a reference of coordinates for measuring the expansion and contraction of the test piece 10, in this evaluation method, the central region 21 including the center 20a is to be measured. In central region 21, as long as it includes a linear arrangement, the positions for forming the plurality of holes 30 are arbitrary, and may be arranged in, for example, a T shape or an L shape. From the above, it is preferable to use a cruciform that can be uniformly arranged in the MD direction and the TD direction. That is, as shown in FIG. 3, it is preferable to form the plurality of holes 30 in the MD direction and the TD direction along the cross shape passing through the center 20 a of the virtual square 20, and the crosses of the cross shape are virtual It is more preferable to arrange so that it may overlap with the center 20a of the square 20 of. In this case, the holes 30 overlapping the center 20a are counted as duplicates as the holes 30 constituting the arrangement in both the MD direction and the TD direction.

また、中心領域21では、試験片10の面内での寸法変化のばらつきを含めた寸法安定性を正確に評価できるようにするため、正四角形20における中心20aからMD方向及びTD方向に、それぞれ、正四角形20の1辺の長さに対して、少なくとも12.5%以上、好ましくは12.5〜32.5%の範囲内、より好ましくは12.5〜25%の範囲内に亘って孔30を形成することがよい。   Further, in the central region 21, in order to be able to accurately evaluate dimensional stability including variation in dimensional change in the plane of the test piece 10, the center 20a of the square 20 from the center 20a to the MD and TD directions, respectively. And at least 12.5% or more, preferably in the range of 12.5 to 32.5%, more preferably in the range of 12.5 to 25% with respect to the length of one side of the square 20. The holes 30 may be formed.

<コーナー領域>
正四角形20におけるTD方向の一辺を共有する2つの角部20bの周囲は、図1に示すような長尺な銅張積層板100において、最も伸縮しやすく、寸法変化が大きくなりやすい領域である。そのため、本評価方法では、正四角形20におけるTD方向の一辺を共有する2つの角部20bの1つずつを含む2つのコーナー領域23a,23bの両方を測定対象とする。
<Corner area>
The circumference of the two corner portions 20b sharing one side in the TD direction in the square 20 is a region that is most likely to expand and contract in the long copper-clad laminate 100 as shown in FIG. . Therefore, in this evaluation method, both of the two corner areas 23a and 23b including one each of the two corner portions 20b sharing one side in the TD direction in the square 20 are to be measured.

コーナー領域23a,23bにおいては、直線状の配列を含む限り、孔30を形成する位置は任意であるが、例えば図4に示すように、複数の孔30を、仮想の正四角形20の角部20bを挟む2つの辺に沿ってMD方向及びTD方向にL字形に形成することが好ましい。この場合、角部20bに重なる孔30は、MD方向及びTD方向の両方向の配列を構成する孔30として重複してカウントされる。なお、図4は、片方のコーナー領域23bのみを示しているが、他方のコーナー領域23aについても同様である。   In the corner areas 23a and 23b, the positions for forming the holes 30 are arbitrary as long as they include a linear arrangement, but for example, as shown in FIG. It is preferable to form in an L shape in the MD direction and the TD direction along two sides sandwiching 20b. In this case, the holes 30 overlapping the corner portion 20b are counted in duplicate as the holes 30 constituting the arrangement in both the MD direction and the TD direction. Although FIG. 4 shows only one corner area 23b, the same applies to the other corner area 23a.

2つのコーナー領域23a,23bでは、試験片10の面内での寸法変化のばらつきを含めた寸法安定性を正確に評価できるようにするため、正四角形20におけるTD方向の一辺の両端(つまり、正四角形20の角部20b)からMD方向の中央側へ、それぞれ、MD方向の一辺の長さに対して、少なくとも12.5%以上、好ましくは12.5〜32.5%の範囲内、より好ましくは12.5〜25%の範囲内に亘って孔30を形成することがよい。   In the two corner areas 23a and 23b, both ends of one side in the TD direction of the square 20 (that is, in order to be able to accurately evaluate the dimensional stability including the dimensional change variation in the plane of the test piece 10). From the corner 20 b of the square 20 to the center side in the MD direction, at least 12.5% or more, preferably in the range of 12.5 to 32.5% with respect to the length of one side in the MD direction More preferably, the holes 30 are formed in the range of 12.5 to 25%.

また、2つのコーナー領域23a,23bでは、試験片10の面内での寸法変化のばらつきを含めた寸法安定性を正確に評価できるようにするため、正四角形20におけるTD方向の一辺の両端(つまり、正四角形20の角部20b)からTD方向の中央側へ、それぞれ、TD方向の一辺の長さに対して、少なくとも12.5%以上、好ましくは12.5〜32.5%の範囲内、より好ましくは12.5〜25%の範囲内に亘って孔30を形成することがよい。   Further, in the two corner areas 23a and 23b, both ends of one side in the TD direction in the square 20 can be evaluated in order to be able to accurately evaluate the dimensional stability including the dimensional change variation in the plane of the test piece 10 That is, from the corner 20b of the square 20 to the center side in the TD direction, the range is at least 12.5% or more, preferably 12.5 to 32.5% with respect to the length of one side in the TD direction. It is preferable to form the holes 30 within the range, more preferably in the range of 12.5 to 25%.

また、試験片10の面内を網羅し、部位毎の寸法変化を正確に把握できるようにするために、中心領域21において直線状に配列された両端の孔30間の配列範囲と、コーナー領域23a,23bにおいて同方向に直線状に配列された両端の孔30間の配列範囲とが、重なるようにしてもよい。
具体的には、少なくとも、中心領域21内でMD方向に配列される複数の孔30の両端の位置と、2つのコーナー領域23a,23b内でそれぞれMD方向に配列される複数の孔30の中で最も内側(角部20bから遠い側)の孔30の位置とが、TD方向に平行移動させたときにオーバーラップするように配置してもよい。
同様に、少なくとも、中心領域21内でTD方向に配列される複数の孔30の中で最もコーナー領域23a,23bに近接した孔30の位置と、2つのコーナー領域23a,23b内でTD方向にそれぞれ配列される複数の孔30の中で最も内側(角部20bから遠い側)の孔30の位置とが、MD方向に平行移動させたときにオーバーラップするように配置してもよい。
以上のような配置を考慮すると、中心領域21では、複数の孔30を十字形に配列することが最も合理的であり、また、2つのコーナー領域23a,23bでは、複数の孔30をL字形に配列することが最も合理的である。
In addition, in order to cover the surface of the test piece 10 so that the dimensional change of each part can be accurately grasped, the arrangement range between the holes 30 at both ends linearly arranged in the central region 21 and the corner region The arrangement range between the holes 30 at both ends linearly arranged in the same direction in 23 a and 23 b may overlap.
Specifically, at least positions of both ends of the plurality of holes 30 arranged in the MD direction in the central region 21 and in the plurality of holes 30 arranged in the MD direction in the two corner regions 23a and 23b, respectively. The positions of the holes 30 on the innermost side (the side far from the corner 20b) may be arranged to overlap when translated in the TD direction.
Similarly, at least the positions of the holes 30 closest to the corner areas 23a and 23b among the plurality of holes 30 arranged in the TD direction in the central area 21 and in the TD direction in the two corner areas 23a and 23b The positions of the innermost (farthest from the corner 20b) holes 30 among the plurality of holes 30 arranged may be arranged to overlap when translated in the MD direction.
In view of the above arrangement, it is most rational to arrange the plurality of holes 30 in a cruciform manner in the central region 21 and, in the two corner regions 23a and 23b, the plurality of holes 30 in an L shape. It is most reasonable to arrange in

試験片10の仮想の正四角形20において、孔30を形成する範囲は、孔30の大きさ、孔30の数、孔30と孔30との間隔の長さによって調節することができる。   In the imaginary square 20 of the test piece 10, the range in which the holes 30 are formed can be adjusted by the size of the holes 30, the number of the holes 30, and the distance between the holes 30 and 30.

孔30の大きさは、寸法変化の検出精度を高くするため、孔30と孔30との間隔の長さの20%以下の範囲内とすることが好ましい。   The size of the hole 30 is preferably in the range of 20% or less of the distance between the hole 30 and the hole 30 in order to increase the detection accuracy of the dimensional change.

上記中心領域21と2つのコーナー領域23a,23bに形成する複数の孔30は、試験片10の面内での寸法変化のばらつきを含めた寸法安定性を正確に評価できるようにするため、MD方向及びTD方向のそれぞれにおいて、少なくとも11個以上の直線状の配列を含むことが好ましく、20個以上の直線状の配列を含むことがより好ましい。ここで、孔30の数をn個とすると、後の工程(3)、工程(5)で計測の対象となる隣り合う孔30と孔30との間隔の数はn−1箇所となる。隣り合う孔30と孔30との間隔は、例えば、孔30の数が10個である場合には9箇所となり、孔30の数が21個である場合には20箇所となる。この場合、MD方向及びTD方向において、孔30の数は同じであることが好ましい。   The plurality of holes 30 formed in the central region 21 and the two corner regions 23a and 23b can be evaluated in order to accurately evaluate dimensional stability including variation in dimensional change in the plane of the test piece 10 In each of the direction and the TD direction, it is preferable to include at least 11 or more linear arrays, and more preferably include 20 or more linear arrays. Here, when the number of holes 30 is n, the number of intervals between the adjacent holes 30 and the holes 30 to be measured in the subsequent steps (3) and (5) is n-1. For example, the distance between the adjacent holes 30 and the holes 30 is nine when the number of the holes 30 is ten, and is twenty when the number of the holes 30 is twenty. In this case, the number of holes 30 is preferably the same in the MD direction and the TD direction.

孔30と孔30との間の距離は、寸法変化の検出精度を高くするため、2mm以上の範囲内とすることが好ましい。   The distance between the hole 30 and the hole 30 is preferably in the range of 2 mm or more in order to increase the detection accuracy of the dimensional change.

(3)第1の計測工程:
本工程では、複数の孔30の位置を測定する。そして、各孔30の位置の測定結果から、隣接する孔30と孔30の間の距離L0を算出する。例えば孔30の数が21個であれば、隣接する孔30と孔30の間の20か所の間隔について距離L0を求める。ここで、隣接する孔30と孔30の間の距離L0は、図5に示すように、ある孔30の中心30aから、隣接する孔30の中心30aまでの距離を意味する。
(3) First measurement step:
In this process, the positions of the plurality of holes 30 are measured. Then, from the measurement results of the positions of the respective holes 30, the distance L0 between the adjacent holes 30 and the holes 30 is calculated. For example, if the number of holes 30 is 21, the distance L0 is determined for 20 intervals between the adjacent holes 30 and the holes 30. Here, the distance L0 between the adjacent holes 30 and the holes 30 means the distance from the center 30a of a certain hole 30 to the center 30a of the adjacent hole 30, as shown in FIG.

孔30の位置の計測は、特に限定されるものではなく、例えば、試験片10の画像を元に孔30の位置を検出する方法によって実施できる。   The measurement of the position of the hole 30 is not particularly limited, and can be performed, for example, by a method of detecting the position of the hole 30 based on the image of the test piece 10.

本工程の孔30の位置の計測は、上記工程(2)に引き続いて実施してもよいが、計測前に、試験片10のコンディションを調整する工程を設けることが好ましい。試験片10のコンディション調整の一例として、調湿処理を挙げることができる。調湿処理は、一定の環境に一定時間(例えば23℃、50RH%の環境で24時間)、試験片10を静置することにより行うことができる。   Although the measurement of the position of the hole 30 in this step may be performed subsequently to the above step (2), it is preferable to provide a step of adjusting the condition of the test piece 10 before measurement. As an example of condition adjustment of the test piece 10, humidity control processing can be mentioned. The humidity control process can be performed by leaving the test piece 10 stationary for a fixed time (for example, 24 hours in an environment of 23 ° C., 50 RH%) in a fixed environment.

(4)エッチング工程:
本工程では、試験片10の銅層の一部分又は全部をエッチングする。現実に即した寸法安定性を評価するため、エッチングの内容は、銅張積層板100から形成するFPCの配線パターンに準じて行うことが好ましい。試験片10が両面銅張積層板から調製したものである場合は、両側の銅層をエッチングしてもよい。なお、実際のFPCの加工において、熱処理を伴う場合は、エッチング後に、試験片10を任意の温度で加熱する処理を行ってもよい。
(4) Etching process:
In this step, part or all of the copper layer of the test piece 10 is etched. In order to evaluate the dimensional stability in line with the reality, it is preferable to perform the contents of etching in accordance with the wiring pattern of the FPC formed from the copper clad laminate 100. When the test piece 10 is prepared from a double-sided copper-clad laminate, copper layers on both sides may be etched. When heat treatment is involved in the actual processing of the FPC, the test piece 10 may be heated at an arbitrary temperature after the etching.

(5)第2の計測工程:
本工程は、上記(4)のエッチング後に、再度、複数の孔30の位置を測定する工程である。そして、各孔30の位置の測定結果から、隣接する孔30と孔30の間の距離L1を算出する。本工程における孔30の位置の計測は、上記工程(3)と同様の方法で行うことができる。隣接する孔30と孔30の間の距離L1は、図5に示すように、ある孔30の中心30aから、隣接する孔30の中心30aまでの距離を意味する。
(5) Second measurement process:
This step is a step of measuring the positions of the plurality of holes 30 again after the etching of the above (4). Then, from the measurement result of the position of each hole 30, the distance L1 between the adjacent hole 30 and the hole 30 is calculated. The measurement of the position of the hole 30 in this process can be performed by the same method as the process (3). The distance L1 between the adjacent holes 30 and the holes 30 means the distance from the center 30a of a certain hole 30 to the center 30a of the adjacent hole 30, as shown in FIG.

本工程の孔30の位置の計測は、上記工程(4)に引き続いて実施してもよいが、上記工程(3)と同様に、試験片10のコンディションを調整する工程を設けることが好ましい。特に、上記工程(3)でコンディション調整を行った場合は、本工程でも、計測前に、同様の条件でコンディション調整を実施することが好ましい。   Although the measurement of the position of the hole 30 in this step may be performed subsequently to the above step (4), it is preferable to provide a step of adjusting the condition of the test piece 10 as in the above step (3). In particular, when the condition adjustment is performed in the step (3), it is preferable to perform the condition adjustment under the same condition before measurement also in this step.

(6)寸法変化量を算出する工程:
本工程では、図5に示すように、エッチングの前後で同じ2つの孔30の間隔について、第1の計測工程で得られた距離L0と、第2の計測工程で得られた距離L1との差分L1−L0を算出する。そして、同一の直線状に配列された孔30と孔30との間隔の2箇所以上、好ましくは10箇所以上、より好ましくは全てについて、同様に差分L1−L0を算出する。この差分L1−L0を「寸法変化量Δ」とする。
(6) Process of calculating dimensional change:
In this step, as shown in FIG. 5, for the same distance between the two holes 30 before and after etching, the distance L0 obtained in the first measurement step and the distance L1 obtained in the second measurement step The difference L1-L0 is calculated. Then, differences L1-L0 are similarly calculated for two or more, preferably ten or more, and more preferably all of the intervals between the holes 30 and the holes 30 arranged in the same linear shape. This difference L1-L0 is referred to as "dimension change amount Δ".

(7)配線スケールに換算する工程:
本工程では、工程(6)で得られた寸法変化量Δを、銅張積層板100から形成するFPCにおける配線パターンのスケールに換算し、得られた換算値を、配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する比率で表す。本工程によって、試験に供した銅張積層板100を実際にFPCに加工した場合に、FPCの配線パターンに対し、銅張積層板100の寸法変化が与える影響をわかりやすく表現できる。
(7) Process of converting to wiring scale:
In this step, the amount of dimensional change Δ obtained in step (6) is converted to the scale of the wiring pattern in the FPC formed from the copper clad laminate 100, and the obtained conversion value is the wiring width and wiring of the wiring pattern. Expressed as a ratio to the sum of intervals. By this process, when the copper-clad laminate 100 subjected to the test is actually processed into an FPC, the influence of the dimensional change of the copper-clad laminate 100 on the wiring pattern of the FPC can be expressed in an easy-to-understand manner.

本工程では、まず、寸法変化量Δを、銅張積層板100から形成する予定のFPCにおけるL/Sの配線パターンにおける配線幅/配線間隔のスケールに換算し、換算した寸法変化量を累積して累積換算寸法変化量を求める。例えばエッチング前の2つの孔30の間の距離L0がXmmであり、形成予定のFPCにおける配線パターンにおける配線幅と配線間隔が、それぞれ、距離L0の1/Yである場合、次式に基づき、寸法変化量Δを2×(1/Y)のスケールにダウンサイジングしたときの値に換算し、2×(1/Y)のスケールの累積換算寸法変化量を求める。   In this process, first, the dimensional change amount Δ is converted to the scale of the wiring width / wiring interval in the L / S wiring pattern of the FPC to be formed from the copper clad laminate 100, and the converted dimensional change amount is accumulated. To determine the cumulative converted dimensional change. For example, when the distance L0 between the two holes 30 before etching is X mm, and the wiring width and wiring spacing in the wiring pattern of the FPC to be formed are 1 / Y of the distance L0, respectively, The dimensional change amount Δ is converted to a value when downsizing to a 2 × (1 / Y) scale, and the cumulative converted dimensional change amount of the 2 × (1 / Y) scale is obtained.

累積換算寸法変化量=[Σi=1 i(2×Δ/Y)] Cumulative converted dimensional change amount = [Σ i = 1 i (2 × Δ i / Y)]

次に、累積換算寸法変化量から、次式に基づき、配線の位置ずれ比率を求める。この配線の位置ずれ比率は、累積換算寸法変化量を、形成予定のL/Sの配線パターンにおける配線幅(Lmm)と配線間隔(Smm)との和に対する比率で表したものである。
配線の位置ずれ比率(%)=
{[Σi=1 i(2×Δ/Y)]/[L+S]}×100
Next, the positional deviation ratio of the wiring is obtained from the cumulative converted dimensional change amount based on the following equation. The positional displacement ratio of the wiring represents the cumulative reduced dimensional change amount as a ratio to the sum of the wiring width (L mm) and the wiring interval (S mm) in the wiring pattern of L / S scheduled to be formed.
Wiring misalignment ratio (%) =
{[Σ i = 1 i (2 × Δ i / Y)] / [L + S]} × 100

以上のようにして算出したFPCにおけるMD方向及びTD方向の配線の位置ずれ比率をグラフ上にプロットすることによって、FPCサイズに応じた近似直線が得られる。ここで、「FPCサイズ」とは、FPCにおいて形成された複数の配線の中で最も離れた両端の配線間の距離を意味する。グラフの傾きの大小は、配線の位置ずれの大小を意味し、グラフの傾きのばらつきの大小は、配線の位置ずれの面内ばらつきの大小を意味する。   By plotting the positional deviation ratio of the wiring in the MD direction and the TD direction in the FPC calculated as described above on a graph, an approximate straight line according to the FPC size can be obtained. Here, “FPC size” means the distance between the farthest ends of the plurality of wires formed in the FPC. The magnitude of the inclination of the graph means the magnitude of positional deviation of the wiring, and the magnitude of the variation of the inclination of the graph means the magnitude of in-plane dispersion of the positional displacement of the wiring.

本工程によって、試験に供した銅張積層板100を実際に回路に加工した場合に、FPCの配線パターンに対し、銅張積層板100の寸法変化が与える影響をわかりやすく表現できる。また、近似直線のグラフを作成することによって、FPCサイズに応じて、被試験体である銅張積層板100から作成される配線の位置ずれの大きさや面内のばらつきを可視化して表現できる。   By this process, when the copper-clad laminate 100 subjected to the test is actually processed into a circuit, the influence of the dimensional change of the copper-clad laminate 100 on the wiring pattern of the FPC can be expressed in an easy-to-understand manner. Further, by creating a graph of the approximate straight line, it is possible to visualize and express the size of displacement of the wiring formed from the copper-clad laminate 100 as the test object and the in-plane variation according to the size of the FPC.

なお、上記工程(6)において得られた寸法変化量Δを累積した後、累積寸法変化量を銅張積層板100から形成する予定のFPCにおけるL/Sの配線パターンにおける配線幅/配線間隔のスケールに換算し、累積換算寸法変化量を求めることもできる。例えば、それぞれの間隔における寸法変化量Δを累積し、累積寸法変化量Σを得る。この累積寸法変化量Σは、次の式によって算出することができる。   In addition, after accumulating the dimensional variation Δ obtained in the step (6), the cumulative dimensional variation is formed of the copper clad laminate 100 from the wiring width / wiring interval in the L / S wiring pattern in the FPC It is also possible to convert it into a scale and find the cumulative converted dimensional change amount. For example, the dimensional change amount Δ at each interval is accumulated to obtain the cumulative dimensional change amount Σ. The accumulated dimensional change amount Σ can be calculated by the following equation.

Σ=Δ+Δ+Δ+・・・+Δi=Σi=1 iΔ Σ = Δ 1 + Δ 2 + Δ 3 +... + Δ i = Σ i = 1 i Δ i

上記式において、記号Σi=1 iは、1からiまでの総和を表す。また、寸法変化量Δは、エッチング後における第n番目の孔30と第n−1番目の孔30との距離L1から、エッチング前における第n番目の孔30と第n−1番目の孔30との距離L0を差し引いた値を表す(ここで、nは2以上の整数である)。Δは、第1番目の間隔の長さ(隣り合う2つの孔30間の距離)の寸法変化量であり、Δは、第i番目(iは正の整数を意味する)の間隔の長さの寸法変化量である。 In the above equation, the symbol i i = 1 i represents the sum from 1 to i. Further, the dimensional variation Δ is determined from the distance L1 between the nth hole 30 and the n−1th hole 30 after etching to the nth hole 30 and the n−1th hole 30 before etching. And a value obtained by subtracting the distance L0 with (wherein n is an integer of 2 or more). Δ 1 is the dimensional change of the first interval length (the distance between two adjacent holes 30), and Δ i is the i-th (i means positive integer) interval It is a dimensional change amount of length.

累積寸法変化量Σは、銅張積層板100のMD方向、TD方向のいずれか片方、好ましくは両方について求めることができる。累積寸法変化量Σの大小によって、銅張積層板100のMD方向、TD方向の寸法安定性を評価できる。また、累積寸法変化量Σの実測値に基づき、スケールアップした近似直線が得られる。   The cumulative dimensional change amount Σ can be obtained for either one or preferably both of the MD direction and the TD direction of the copper-clad laminate 100. The dimensional stability of the copper clad laminate 100 in the MD direction and the TD direction can be evaluated by the magnitude of the cumulative dimensional change amount 変 化. In addition, the scaled-up approximate straight line is obtained based on the actual measurement value of the cumulative dimensional change amount Σ.

以上のように、本評価方法によれば、工程(1)〜(7)によって、銅張積層板100の寸法変化を、面内でのばらつきを含めて高精度に評価することが可能になる。また、銅張積層板100から多数個採りを行う場合であっても、FPCへの加工領域毎に、個別に寸法安定性を評価することが可能になる。   As described above, according to the present evaluation method, the dimensional change of the copper-clad laminate 100 can be evaluated with high accuracy including in-plane variations by the steps (1) to (7). . In addition, even in the case where many pieces are taken out of the copper-clad laminate 100, it is possible to evaluate the dimensional stability individually for each processing region to the FPC.

<銅張積層板の製造>
本実施の形態の銅張積層板は、例えば、第1の銅箔の表面にポリイミド前駆体樹脂溶液(ポリアミド酸溶液ともいう。)を塗工し、次いで、乾燥、硬化させる熱処理工程を経て製造することができる。熱処理工程における熱処理は、塗工されたポリアミド酸溶液を160℃未満の温度でポリアミド酸中の溶媒を乾燥除去した後、更に、150℃から400℃の温度範囲で段階的に昇温し、硬化させることで行なわれる。このようにして得られた片面銅張積層板を両面銅張積層板とするには、前記片面銅張積層板と、これとは別に準備した銅箔(第2の銅箔)とを300〜400℃にて熱圧着する方法が挙げられる。
<Manufacturing of copper clad laminates>
The copper-clad laminate of this embodiment is manufactured, for example, by applying a polyimide precursor resin solution (also referred to as a polyamic acid solution) on the surface of the first copper foil, and then drying and curing it. can do. In the heat treatment step, the solvent in the polyamic acid is removed by drying at a temperature of less than 160 ° C., and then the temperature is raised stepwise in the temperature range of 150 ° C. to 400 ° C. It is done by In order to make the single-sided copper-clad laminate thus obtained into a double-sided copper-clad laminate, the single-sided copper-clad laminate and the copper foil (second copper foil) separately prepared therefrom are used The method of thermocompression-bonding at 400 degreeC is mentioned.

<FPC>
本実施の形態の銅張積層板は、主にFPC材料として有用である。すなわち、本実施の形態の銅張積層板の銅箔を常法によってパターン状に加工して配線層を形成することによって、本発明の一実施の形態であるFPCを製造できる。
<FPC>
The copper-clad laminate of this embodiment is mainly useful as an FPC material. That is, the FPC according to an embodiment of the present invention can be manufactured by processing the copper foil of the copper-clad laminate of the present embodiment into a pattern by an ordinary method to form a wiring layer.

(合成例1)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、N,N−ジメチルアセトアミドを入れ、この反応容器に2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)を投入して容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、ピロメリット酸二無水物(PMDA)をモノマーの投入総量が12wt%となるように投入した。その後、3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸aの樹脂溶液を得た。ポリアミド酸aから形成された厚み25μmのポリイミドフィルムの熱膨張係数(CTE)は、55×10−6/Kであった。
Synthesis Example 1
In a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, N, N-dimethylacetamide is placed, and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) is placed in this reaction vessel. The solution was charged and dissolved in the vessel with stirring. Next, pyromellitic dianhydride (PMDA) was charged such that the total amount of charged monomers was 12 wt%. Then, stirring was continued for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a resin solution of polyamic acid a. The thermal expansion coefficient (CTE) of a 25 μm-thick polyimide film formed of polyamic acid a was 55 × 10 −6 / K.

(合成例2)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、N,N−ジメチルアセトアミドを入れ、この反応容器に2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル(m-TB)を投入して容器中で攪拌しながら溶解させた。次に、3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)およびピロメリット酸二無水物(PMDA)をモノマーの投入総量が15wt%、各酸無水物のモル比率(BPDA:PMDA)が20:80となるように投入した。その後、3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸bの樹脂溶液を得た。ポリアミド酸bから形成された厚み25μmのポリイミドフィルムの熱膨張係数(CTE)は、22×10−6/Kであった。
(Composition example 2)
N, N-Dimethylacetamide is placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, and 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB) is placed in this reaction vessel. Then, it was dissolved in the vessel with stirring. Next, 15 wt% of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) in the total amount of monomers charged, the molar ratio of each acid anhydride ( BPDA: PMDA was introduced to be 20:80. Then, stirring was continued for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a resin solution of polyamic acid b. The thermal expansion coefficient (CTE) of a 25 μm-thick polyimide film formed of polyamic acid b was 22 × 10 −6 / K.

(実施例)
<フレキシブル銅張積層板の製造>
長尺の銅箔(例えば、JX日鉱日石金属株式会社製 GHY5−93F−HA−V2箔)の表面に、合成例1で調製したポリイミド前駆体であるポリアミド酸aの樹脂溶液(ポリアミド酸溶液ともいう)を塗工・乾燥させた。次いで、合成例2、合成例1でそれぞれ調製したポリアミド酸b、ポリアミド酸aの樹脂溶液を順次同様に塗工・乾燥させた後に硬化させる熱処理工程を経て、25μm厚みのポリイミド層を形成させた。熱処理工程における熱処理は、塗工されたポリアミド酸溶液を160℃未満の温度でポリアミド酸中の溶媒を乾燥除去した後、更に、150℃から400℃の温度範囲で段階的に昇温し、硬化させることで行なった。この過程で、片面銅張積層板にコルゲーションの発生は観察されなかった。このようにして得られた片面銅張積層板と、これとは別に準備した銅箔とを300〜400℃にて熱圧着することによって、両面銅張積層板を作製した。
(Example)
<Manufacture of flexible copper clad laminates>
Resin solution (polyamic acid solution of polyamic acid a which is a polyimide precursor prepared in Synthesis Example 1 on the surface of a long copper foil (for example, GHY 5-93F-HA-V2 foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd.) It was applied and dried. Subsequently, a resin solution of polyamic acid b and polyamic acid a prepared in Synthesis Example 2 and Synthesis Example 1 was sequentially applied and dried in the same manner, and then cured, to form a 25 μm thick polyimide layer. . In the heat treatment step, the solvent in the polyamic acid is removed by drying at a temperature of less than 160 ° C., and then the temperature is raised stepwise in the temperature range of 150 ° C. to 400 ° C. It was done by During this process, no occurrence of corrugation was observed in the single-sided copper clad laminate. A double-sided copper-clad laminate was produced by thermocompressing the thus-obtained single-sided copper-clad laminate and a separately prepared copper foil at 300 to 400 ° C.

得られた両面銅張積層板から、評価用サンプルの材料として、銅張積層板1(端幅;250mm)を準備した。
銅張積層板1:
長尺状、実施例の方法で製造した両面銅張積層板、絶縁層の厚さ;25μm、絶縁層のCTE;17ppm/K、第1の銅箔層;JX日鉱日石金属株式会社製GHY5−93F−HA−V2箔、第1の銅箔層の厚さ;12μm、第1の銅箔層のCTE;17ppm、第1の銅箔層の引張弾性率18GPa、第1の銅箔層の厚さと引張弾性率との積;216。
From the obtained double-sided copper-clad laminate, a copper-clad laminate 1 (end width: 250 mm) was prepared as a material for a sample for evaluation.
Copper-clad laminate 1:
Long, double-sided copper clad laminate manufactured by the method of the embodiment, thickness of insulating layer: 25 μm, CTE of insulating layer; 17 ppm / K, first copper foil layer; GHY 5 manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd. -93F-HA-V2 foil, thickness of first copper foil layer: 12 μm, CTE of first copper foil layer; 17 ppm, tensile modulus of elasticity of first copper foil layer 18 GPa, of first copper foil layer Product of thickness and tensile modulus; 216.

(比較例)
評価用サンプルの材料として、銅張積層板2(端幅;250mm)を準備した。
銅張積層板2:
長尺状、汎用ラミネート材、絶縁層の厚さ;25μm、銅箔層;JX日鉱日石金属株式会社製BHY−82F−HA箔、銅箔層の厚さ;12μm、ラミネート法によりポリイミドフィルム(カネカ社製、商品名;ピクシオ)の両面に銅箔を熱圧着したもの。銅箔層の引張弾性率14GPa、銅箔層の厚さと引張弾性率との積;168。
(Comparative example)
A copper-clad laminate 2 (end width: 250 mm) was prepared as a material of an evaluation sample.
Copper clad laminate 2:
Long, general-purpose laminate material, thickness of insulating layer: 25 μm, copper foil layer; BHY-82F-HA foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd., thickness of copper foil layer; 12 μm, polyimide film by lamination method A copper foil made by thermocompression bonding on both sides of Kaneka Corporation (trade name; Pixio). Tensile modulus of elasticity 14 GPa of the copper foil layer, product of thickness of copper foil layer and tensile modulus; 168.

<評価用サンプルの調製>
上記の銅張積層板1又は2をMD方向に長さ250mmに切断し、MD:250mm×TD:250mmとした。図6に示したとおり、切断後の銅張積層板におけるMD:200mm×TD:200mmの範囲に仮想の正四角形を想定した。この仮想の正四角形のTD方向の一辺を共有する2つの角部を1つずつ含む左右2つのコーナー領域(Left及びRight)並びに仮想の正四角形の中心を含む中央領域(Center)のそれぞれにおいて、MD及びTD方向に2.5mm間隔で連続して21個の孔あけ加工を行って、評価用サンプルを調製した。なお、孔あけ加工は、0.105mm径のドリルを用いた。
<Preparation of evaluation sample>
The above copper-clad laminate 1 or 2 was cut into a length of 250 mm in the MD direction to make MD: 250 mm × TD: 250 mm. As shown in FIG. 6, an imaginary square shape was assumed in the range of MD: 200 mm × TD: 200 mm in the copper-clad laminate after cutting. In each of two left and right corner areas (Left and Right) including one corner each of two corners sharing one side in the TD direction of this virtual square, and a central area (Center) including the center of the virtual square, A sample for evaluation was prepared by continuously performing 21 holes at 2.5 mm intervals in the MD and TD directions. In addition, the drill of 0.105 mm diameter was used for the drilling process.

<寸法安定性の評価>
非接触CNC画像測定機(Mitutoyo社製、商品名;クイックビジョン QV−X404PIL−C)を使用して、評価用サンプルにおける両面の銅箔層の全部をエッチングして除去した前後における各孔の位置を測定した。測定値からエッチング前後における隣り合う2孔間距離の寸法変化量及び累積寸法変化量を算出した。
<Evaluation of dimensional stability>
The position of each hole before and after etching and removing all of the copper foil layers on both sides of the sample for evaluation using a non-contact CNC image measurement machine (Mitutoyo, trade name; Quick Vision QV-X404 PIL-C) Was measured. From the measured values, the dimensional change amount and the cumulative dimensional change amount of the distance between two adjacent holes before and after etching were calculated.

長尺状の銅張積層板1及び2を準備し、図7に示すように、評価用サンプル1、2を調製した。評価用サンプル1、2のそれぞれについて、Center、Left、及びRightにおけるエッチング前後の各孔の位置を測定した。測定値からエッチング前後における隣り合う2孔間の距離の寸法変化量及びそれらの合計(20ケ所)の累積寸法変化量を算出した。   Long copper-clad laminates 1 and 2 were prepared, and evaluation samples 1 and 2 were prepared as shown in FIG. For each of the evaluation samples 1 and 2, the positions of the holes before and after the etching at Center, Left, and Right were measured. From the measured values, the dimensional change of the distance between two adjacent holes before and after etching and the cumulative dimensional change of their total (20 locations) were calculated.

銅張積層板1における評価結果をもとに、MD方向の累積寸法変化量とばらつきを表1に示し、図8には、FPCサイズと配線位置ずれ率との関係を示した。同様に銅張積層板2における評価結果をもとに、MDの累積寸法変化量と、そのばらつきを表2に示し、図9にはFPCサイズと配線位置ずれ率との関係を示した。なお、表1及び表2並びに図8及び図9では、Left、Center、Rightにおける累積寸法変化率と累積寸法変化量を想定FPCサイズ10mmに換算した累積換算寸法変化量で示しており、Left、Center、Rightの全範囲におけるばらつきも示している。表中の「範囲」の数値は、中央値±上下範囲を意味する。   Based on the evaluation results of the copper-clad laminate 1, Table 1 shows cumulative dimensional change amounts and variations in the MD direction, and FIG. 8 shows the relationship between the FPC size and the wiring misalignment rate. Similarly, based on the evaluation results of the copper-clad laminate 2, the cumulative dimensional change amount of MD and the variation thereof are shown in Table 2, and FIG. 9 shows the relationship between the FPC size and the wiring misalignment rate. In Tables 1 and 2 and FIGS. 8 and 9, the cumulative dimensional change rate and the cumulative dimensional change amount at Left, Center, and Right are shown as a cumulative converted dimensional change amount converted to an assumed FPC size of 10 mm. The variation in the whole range of Center and Right is also shown. The numerical value of "range" in the table means median ± upper and lower range.

Figure 0006360760
Figure 0006360760

Figure 0006360760
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これらの結果より、銅張積層板1及び銅張積層板2を材料として形成した回路配線基板(L/S=0.025mm/0.0025mm)について、配線の位置ずれ率及び試験片の面内での寸法変化率のばらつきが評価できることを確認すると共に、実施例の銅張積層板1における各FPCサイズでの配線位置ずれ率のばらつきが、比較例の銅張積層板2におけるものと比較して、小さいことが確認出来た。   From these results, with respect to the circuit wiring board (L / S = 0.025 mm / 0.0025 mm) formed using the copper-clad laminate 1 and the copper-clad laminate 2 as materials, the positional deviation ratio of the wiring and the in-plane of the test piece It is confirmed that the variation in dimensional change rate at the time of evaluation can be evaluated, and the variation in wiring misalignment rate at each FPC size in the copper clad laminate 1 of the example is compared with that in the copper clad laminate 2 of the comparative example. It was confirmed that it was small.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described in detail for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible.

10…試験片、20…仮想の正四角形、20a…中心、20b…角部、21…中心領域、23a,23b…コーナー領域、30…孔、100…銅張積層板   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Test piece, 20 ... Virtual square, 20a ... Center, 20b ... Corner part, 21 ... Central area, 23a, 23b ... Corner area, 30 ... Hole, 100 ... Copper-clad laminated board

Claims (5)

ポリイミド絶縁層と、該ポリイミド絶縁層の片側の面に積層して設けられた第1の銅箔層とを備えた銅張積層板であって、
前記ポリイミド絶縁層の熱膨張係数が10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内であり、
前記第1の銅箔層は、厚みが13μm以下であり、かつ、厚み(μm)と引張弾性率(GPa)との積が180〜250の範囲内の圧延銅箔からなることを特徴とする銅張積層板。
A copper-clad laminate comprising a polyimide insulation layer and a first copper foil layer laminated on one side of the polyimide insulation layer,
The thermal expansion coefficient of the polyimide insulating layer is in the range of 10 ppm / K to 30 ppm / K,
The first copper foil layer is characterized in that the thickness is 13 μm or less, and the product of the thickness (μm) and the tensile elastic modulus (GPa) is in the range of 180 to 250. Copper clad laminate.
前記ポリイミド絶縁層が、前記第1の銅箔層に、ポリイミドの前駆体溶液を塗布して乾燥した後、イミド化することによって形成されたものである請求項1に記載の銅張積層板。   2. The copper clad laminate according to claim 1, wherein the polyimide insulating layer is formed by applying a precursor solution of polyimide to the first copper foil layer and drying it, followed by imidization. 更に、前記ポリイミド絶縁層における前記第1の銅箔層とは反対側の面に積層された第2の銅箔層を備えている請求項1又は2に記載の銅張積層板。   The copper clad laminate according to claim 1 or 2, further comprising a second copper foil layer laminated on the surface of the polyimide insulating layer opposite to the first copper foil layer. 下記の工程(1)〜(7);
(1)長尺な前記銅張積層板を、所定の長さに切断して試験片を準備する工程、
(2)前記銅張積層板の長手方向をMD方向、幅方向をTD方向としたとき、前記試験片において前記MD方向及び前記TD方向と平行な辺を有する仮想の正四角形を想定し、前記仮想の正四角形の中心を含む中心領域と、前記仮想の正四角形における前記TD方向の一辺を共有する2つの角部の1つずつを含む2つのコーナー領域とに、それぞれ、直線状の配列を含む複数のマークを形成する工程、
(3)前記複数のマークの位置を計測し、隣接するマークとマークの間の距離L0を算出する第1の計測工程、
(4)前記試験片の前記銅層の一部分又は全部をエッチングする工程、
(5)エッチング後に、前記複数のマークの位置を計測し、隣接するマークとマークの間の距離L1を算出する第2の計測工程、
(6)前記エッチングの前後で同じ2つのマークについて、前記第1の計測工程で得られた距離L0と、前記第2の計測工程で得られた距離L1との差分L1−L0を算出する工程、及び、
(7)前記差分L1−L0を、前記銅張積層板から形成する回路基板における配線パターンのスケールに換算して累積換算寸法変化量を求め、得られた累積換算寸法変化量を、前記配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する比率で表す工程、
を含む試験方法によって得られる、10mmの回路基板サイズにおける配線パターンの配線幅と配線間隔との和に対する累積換算寸法変化量の比率の、前記試験片における面内のばらつきが2%以下である請求項1から3のいずれか1項に記載の銅張積層板。
The following steps (1) to (7);
(1) A step of preparing a test piece by cutting the long copper-clad laminate into a predetermined length,
(2) Assuming that the longitudinal direction of the copper-clad laminate is the MD direction and the width direction is the TD direction, an imaginary square shape having sides parallel to the MD direction and the TD direction is assumed in the test piece, A linear array is provided in each of a central area including the center of a virtual square and two corner areas including one of two corners sharing one side in the TD direction in the virtual square. Forming a plurality of marks including
(3) A first measurement step of measuring the positions of the plurality of marks and calculating the distance L0 between the adjacent marks,
(4) etching a part or all of the copper layer of the test piece;
(5) A second measurement step of measuring the positions of the plurality of marks after etching and calculating the distance L1 between the adjacent marks,
(6) A step of calculating a difference L1-L0 between the distance L0 obtained in the first measurement step and the distance L1 obtained in the second measurement step for the same two marks before and after the etching ,as well as,
(7) The difference L1-L0 is converted to the scale of the wiring pattern in the circuit board formed from the copper clad laminate to obtain the cumulative converted dimensional change amount, and the obtained cumulative converted dimensional change amount is the wiring pattern Process expressed as a ratio to the sum of the wiring width and wiring spacing
The in-plane variation in the test piece of the ratio of the cumulative dimensional change amount to the sum of the wiring width of the wiring pattern and the wiring interval in a circuit board size of 10 mm obtained by the test method including The copper clad laminate according to any one of Items 1 to 3.
請求項1から4のいずれか1項に記載の銅張積層板の銅箔を配線回路加工してなる回路基板。   The circuit board formed by carrying out a wiring circuit process of the copper foil of the copper clad laminated board of any one of Claim 1 to 4.
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