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Description
本発明は、スピンドル部を有する表示パネルを自動検査する検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection apparatus for automatically inspecting a display panel having a spindle portion.
従来より、製造工程中に生じる異物混入等による欠陥を自動で検査する技術が一般によく知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a technique for automatically inspecting defects due to contamination of foreign matters that occur during a manufacturing process is generally well known.
特許文献1では、光照射装置より出射される帯状光を被検査体の表面に照射し、表面層からの反射光量をラインセンサによって検出する技術が開示されている。このものでは、被検査体を一定速度で回転させながら反射光量を検出しており、被検査体の表面に凹凸や異物付着等の欠陥がある場合における反射散乱光を検知して表面層欠陥を検出するようにしている。
特許文献2では、車両用計器の表面側に取り付けられる表示パネルの印刷状態を検査する技術が開示されている。このものでは、表示パネルの基板の表面及び裏面から光源を用いて光を照射しつつ、表示パネルを基板表面が上を向くように搬送しながら上方からカメラで撮影し、その撮影された画像を基に表示パネルの印刷状態を検査するようにしている。
In
また、位相限定相関法に関する技術として、非特許文献1の技術が開示されている。
Moreover, the technique of a
特許文献1,2に開示されたような技術では、被検査体の表面や裏面に光を照射しつつ、被検査体からの反射光量や被検査体表面濃度をカメラの撮像結果から抽出しており、欠陥がある場合には、その抽出結果が正常状態と異なるため、その欠陥を検出することができるものである。
In technologies such as those disclosed in
ところで、自動車のメーター文字盤(表示パネル)や時計の文字盤等において、落ち着いた輝きや高級感を演出することを目的として、その表面に細かい同心円状の溝が形成された紋様装飾(以下、スピンドル部ともいう)が設けられる場合がある。スピンドル部は、円形の溝部、すなわち曲線状のエッジ部分を有するため、そのエッジ部分での光の反射を加味して欠陥の検出を行うための画像処理や画像解析が複雑になるという問題がある。 By the way, for the purpose of producing a calm shine and luxury in the dial face (display panel) of a car or the face of a clock, a pattern decoration (hereinafter referred to as a fine concentric groove) is formed on its surface. In some cases, a spindle portion is also provided. Since the spindle portion has a circular groove portion, that is, a curved edge portion, there is a problem that image processing and image analysis for detecting defects taking into account reflection of light at the edge portion become complicated. .
上記の点に鑑み、本発明は、スピンドル部を有する表示パネルの検査において、複雑な解析を要せず、欠陥の有無の判定を容易にすることを目的とする。 In view of the above points, an object of the present invention is to facilitate the determination of the presence or absence of a defect without requiring a complicated analysis in the inspection of a display panel having a spindle portion.
本発明に係る検査装置は、撮像画像を変換部により極座標変換して、その変換した画像に基づいて、濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施するものとした。 The inspection apparatus according to the present invention performs polar coordinate conversion of a captured image by a conversion unit, detects a density pattern based on the converted image, and performs determination based on the detected density pattern.
すなわち、本発明の第1態様では、表面に複数の同心円状の溝が形成された第1の溝部を有する被検査物を検査する検査装置において、前記被検査物の表面に光を照射する光源と、前記被検査物に対し、該被検査物の表面に沿う方向に相対移動しながら前記光源で照射された前記被検査物の表面を撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された前記第1の溝部の中心座標を検出し、かつ、該第1の溝部を複数の直線状の溝からなる第2の溝部に極座標変換する変換部と、前記第2の溝部の最暗部から隣接する最暗部まで濃度の変化又は最明部から隣接する最明部までの濃度の変化である濃度パターンを少なくとも1つ検知し、その濃度パターンに基づいて欠陥の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする。 That is, according to the first aspect of the present invention, in the inspection apparatus that inspects the inspection object having the first groove portion in which a plurality of concentric grooves are formed on the surface, the light source that irradiates the surface of the inspection object with light. An imaging unit that images the surface of the inspection object irradiated by the light source while moving relative to the inspection object in a direction along the surface of the inspection object, and the image captured by the imaging unit A conversion unit that detects the center coordinates of the first groove and converts the first groove into a second groove formed of a plurality of linear grooves, and is adjacent to the darkest part of the second groove A determination unit that detects at least one density pattern that is a change in density from the darkest part or a change in density from the brightest part to the adjacent brightest part, and determines whether there is a defect based on the density pattern; It is characterized by being.
本態様によると、変換部によって直線状の溝からなる第2の溝部に極座標変換された画像に基づいて濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施することにより、エッジ部分における複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。 According to this aspect, the density pattern is detected based on the image that has been polar-coordinate-converted into the second groove part formed by the linear groove by the conversion part, and the determination based on the detected density pattern is performed. The presence or absence of a defect can be easily determined without performing complicated image processing.
本発明の第2態様では、第1態様記載の検査装置において、前記判定部は、前記検知した濃度パターンと、隣接する部位から検知された濃度パターンまたは正常状態における濃度パターンとの比較結果に基づいて欠陥の有無を判定することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the inspection apparatus according to the first aspect, the determination unit is based on a comparison result between the detected density pattern and a density pattern detected from an adjacent site or a density pattern in a normal state. And determining the presence or absence of defects.
本態様によると、隣接する複数の部位から検知された濃度パターンまたは正常状態の濃度パターンとの照合に基づいて検査する。すなわち、本態様は濃度パターン同士の比較を用いた判定のため、例えば、検知された濃度パターンの変化を解析して欠陥の有無を判定する手法等と比較して、判定部における処理を軽くすることができる。これにより、検査時間を短縮することができる。 According to this aspect, the inspection is performed based on collation with a density pattern detected from a plurality of adjacent sites or a density pattern in a normal state. That is, since this mode is a determination using comparison between density patterns, for example, the processing in the determination unit is lightened compared to a method for determining the presence / absence of a defect by analyzing a change in the detected density pattern. be able to. Thereby, inspection time can be shortened.
本発明の第3態様では、第1態様記載の検査装置において、前記濃度パターンの濃度の最大値が所定の第1の閾値以上であるか否か、及び前記濃度パターンの濃度の最小値が第1の閾値よりも低い第2の閾値以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を判定することを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the inspection apparatus according to the first aspect, whether or not the maximum density value of the density pattern is greater than or equal to a predetermined first threshold value and the minimum density value of the density pattern is a first value. It is characterized in that the presence or absence of a defect is determined based on at least one of whether or not it is equal to or lower than a second threshold value that is lower than the first threshold value.
本態様によると、第1及び第2の閾値と濃度パターンの濃度の最大値及び/又は最小値との比較に基づいて欠陥の有無を判定する。すなわち、欠陥の有無の判定を、濃度の最大値及び/又は最小値と、所定の閾値との比較という単純な比較処理で実現することができるため、判定部における処理をさらに軽くすることができる。また、この閾値による判定を複数個の濃度パターンからなる濃度パターン列に適用することにより、シミ等の濃度変化の小さな欠陥においても、容易に検知することができる。 According to this aspect, the presence or absence of a defect is determined based on a comparison between the first and second threshold values and the maximum value and / or minimum value of the density of the density pattern. That is, the determination of the presence / absence of a defect can be realized by a simple comparison process of comparing the maximum value and / or minimum value of the density with a predetermined threshold value, so that the process in the determination unit can be further reduced. . In addition, by applying the determination based on the threshold value to a density pattern row composed of a plurality of density patterns, it is possible to easily detect even a defect having a small density change such as a stain.
本発明によれば、極座標変換後の濃度パターンに基づいて欠陥の有無の判定をするため、エッジ部分における複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。 According to the present invention, since the presence / absence of a defect is determined based on the density pattern after the polar coordinate conversion, the presence / absence of a defect can be easily determined without performing complicated image processing at the edge portion.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用範囲あるいはその用途を制限することを意図するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following description of the preferred embodiments is merely exemplary in nature and is not intended to limit the invention, its scope of application, or its application.
(検査装置の構成)
図1は実施形態に係る検査装置の概略構成を示し、検査装置1は、車両の運転席前方に設けられる車両用計器(図示せず)の表面側に取り付けられる表示パネル2(図2参照)の製造ラインに設けられ、表示パネル2表面の欠陥の有無を検査するようになっている。
(Configuration of inspection equipment)
FIG. 1 shows a schematic configuration of an inspection apparatus according to the embodiment. The
表示パネル2は、図2に示すように、正面視で車幅方向に延びる樹脂製のプレートであり、車幅方向左側にタコメーターの表示部21が設けられ、車幅方向右側に速度メーターの表示部25が設けられている。タコメーターの表示部21の表面には、その中心部に指針とムーブメントとを連結するための略円形状の連結孔22が形成され、その連結孔22を中心として外側に広がる同心円状の複数の細かい溝からなるスピンドル部23が形成されている。23aは、スピンドル部23の凸部であり、23bは、スピンドル部23の溝部である。同様に、速度メーターの表示部25の表面には、その中心部に指針とムーブメントとを連結するための略円形状の連結孔26が形成され、その連結孔26を中心として外側に広がる同心円状の複数の細かい溝からなるスピンドル部27が形成されている。27aは、スピンドル部27の凸部であり、27bは、スピンドル部27の溝部である。29,29,29は、表示パネル2を車両用計器に取り付けるための取付孔である。車両用計器では、この取付孔29,29,29を介して表示パネル2を取り付けた後、表示パネル2の背面側(車両の前側)からLED等の光を透過させることによって表示部21,25の文字や目盛を夜間等において、点灯表示させるようになっている。なお、本開示において、表示パネル表面の欠陥とは、正常な表示パネル表面と比較して不備がある状態を総称するものであり、例えば、ゴミ等の異物や打痕等による凹凸欠陥や、シミ、汚れ、ムラ等による欠陥を含む概念である。
As shown in FIG. 2, the
図1に戻り、検査装置1は、搬送部11と、搬送部11の表面に対して所定の角度から光を照射するように配設された光源12と、搬送部11の表面を面直方向から撮像するように配設された撮像部13とを備えている。
Returning to FIG. 1, the
搬送部11には、表示パネル2が載せられており、撮像部13と表示パネル2の表面(表示部21,25のスピンドル部23,27)とが対向するようなっている。そして、搬送部11は、表示パネル2をその表面に沿う水平方向(図1の走査方向)に搬送する。
The
光源12は、例えばLED照明装置であり、搬送部11で搬送される表示パネル2の表面に対して所定の角度から光を照射する。光源12からの光の強度や照射角度は撮像部13による撮像が好適に実施可能になるように任意に設定することが可能である。なお、光源12は、LED照明装置に限定されず、他の光源であってもよい。例えば蛍光灯や白熱灯であってもよい。また、光源は照射角度が固定されていても良いし、角度が調整できるようにしてもよい。また、光源は1個に限定されない。例えば、異なる角度から照射する複数の光源であってもよい。
The
撮像部13は、例えばCCD(Charge Coupled Device)ラインセンサカメラであり、搬送部11で搬送される表示パネル2の表面を面直方向から撮像する。撮像部13は、表示パネル2の垂直方向(図1の前後方向)の幅よりも広い撮像領域を有している。搬送部11は、撮像部13によって表示部21,25の水平方向の一端から他端に渡って撮像できるように表示パネル2を搬送する。これにより、撮像部13によって表示部21,25を含む表示パネル2の全面を撮像することができる。なお、撮像部13は、CCDラインセンサカメラに限定されず、他の撮像部(撮像装置)であってもよい。例えば、CMOSラインセンサカメラであってもよく、CCDやCMOSのエリアセンサカメラであってもよい。また、撮像部13は、表示パネル2の表面を面直方向から撮像するものとしたが、これに限定されない。例えば、面直以外の所定の角度から表示パネル2の表面を撮像するようにしてもよい。
The
なお、本実施形態では、搬送部11が撮像部13によって表示部21,25の水平方向の一端から他端に渡って撮像できるように表示パネル2を搬送するものとしたが、これに限定されず、撮像部13が表示パネル2の表面に沿う方向に相対移動しながら光源12で照射された表示パネル2の表面を撮像できるように構成されていればよい。例えば、搬送部11を停止させた状態で、撮像部13を走査方向又はその逆方向(図1で右方向)に移動させながら表示パネル2の表面を撮像してもよいし、搬送部11により表示パネル2を走査方向に搬送させつつ、撮像部13を走査方向と逆方向(図1で右方向)に移動させながら表示パネル2の表面を撮像してもよい。
In the present embodiment, the
撮像部13は、制御盤14に接続されている。この制御盤14は、撮像部13で撮像された画像を取り込み、その画像に基づいて、表示部21,25のスピンドル部23,27の中心座標を検出する中心座標検出部15aと、スピンドル部23,27の画像を極座標変換する極座標変換部15bと、欠陥の有無を判定する判定部16と、後述するマスタ画像等が格納された記憶部17とを備えている。15は変換部であり、中心座標検出部15aと、極座標変換部15bとを含んでいる。
The
そして、検査装置1には、撮像部13で撮像された表示パネルの画像、変換部15による処理の結果、判定部16による判定結果等を表示するモニタ18が設けられている。
The
(表示パネルの検査)
次に、検査装置1で表示パネル2を検査する際の検査フローを図3のフローチャートに基づいて詳細に説明する。初期状態において、表示パネル2の左端は、撮像部13の真下よりも右側に位置するものとする。
(Inspection of display panel)
Next, the inspection flow when inspecting the
まず、ステップS1において、表示パネル2が搬送部11によって走査方向に搬送され、その間、撮像部13が表示パネル2を撮像する。撮像部13が撮像した画像は、変換部15の中心座標検出部15aに取り込まれる。例えば、表示パネル2を走査方向に複数箇所で分断し、その分断領域毎に順次撮像画像が取り込まれる。なお、撮像部13からの画像の取り込みは、領域毎に限定されず、リアルタイムで取り込みを行ってもよいし、全領域の撮像が終了した後に一括で取り込んでもよい。
First, in step S <b> 1, the
次に、ステップS2において、画像の転送を受けた中心座標検出部15aでは、位相限定相関法に基づいて、各スピンドル部23,27の中心座標を認識する。具体的には、位相限定相関法による演算によって、記憶部17に記憶された基準となる表示パネルの画像(以下、マスタ画像ともいう)のスピンドル部の中心座標と、撮像された表示パネル2のスピンドル部23,27の中心座標とのずれ量が検出可能であり、そのずれ量に基づいて表示パネル2のスピンドル部23,27の中心座標を認識する。従来の中心座標の認識方法として、少なくとも3点以上の特徴点、例えば3点の取付孔29,29,29の位置関係を用いて中心座標を認識する方法も考えられるが、この方法ではすべての特徴点が撮像されるまで待つ必要が生じる。これに対し、位相限定相関法ではスピンドル部23の部分的な画像が撮像されればズレ量の検出が可能であるため、中心座標の認識までの時間を短縮できる利点がある。
Next, in step S2, the center coordinate
ステップS3において、極座標変換部15bでは、図4(a)に示すように、中心座標検出部15aで検出されたスピンドル部23の中心座標に基づいて、スピンドル部23の画像を、複数の直線状の凸部33a(図4(c)参照)と複数の直線状の溝33b(図4(c)参照)とからなるポーラ画像(以下、ストライプ部33ともいう)に極座標変換する。このとき、ストライプ部33のY方向の長さについて、スピンドル部23の外周側(図4(a)において右側)と、スピンドル部23の内周側(図4(a)において左側)との長さとを同一にするために、スピンドル部23の内周側に生じた空隙部分(図4(a)の右図参照)の内挿処理を行う。内挿処理は、例えば、極座標における同じθ座標の最近傍の画素の値を用いて補間する。図4(b)は、極座標変換により生成されたストライプ部33の一例を示す図であり、図4(c)は図4(b)の領域AR1の拡大図である。同様にして、極座標変換部15bは、スピンドル部27についての極座標変換を行い、ストライプ部37を生成する。なお、内挿処理方法は、この方法に限定されず、他の方法であってもよい。例えば、隣接する複数のθ座標の画素の値に基づいて内挿処理を実施してもよい。
In step S3, the polar coordinate
ステップS4において、判定部16は、ストライプ部33の隣接する少なくとも2つの溝33b,33b間において、X方向の濃度変化である濃度パターン(以下、単に濃度パターンともいう)を少なくとも1つ抽出し、その抽出された濃度パターンに基づいてスピンドル部23表面の欠陥の有無を判定する。判定部16による判定は、種々の方法があるが、ここでは判定方法の一例として(1)局所領域を用いた判定と、(2)閾値を用いた判定とについて詳細に説明する。
In step S4, the
(1)局所領域を用いた判定
局所領域を用いた判定では、判定部16は、ストライプ部33の画像から2つの溝33b,33bを含む局所領域AR2(例えば、50×50画素)の画像を切り出し、この局所領域AR2の画像内から検知した少なくとも1つ以上の濃度パターンを照合する(図4(c)参照)。具体的には、一方の溝33bの最暗部から隣接する溝33bの最暗部までの濃度の変化である濃度パターン(以下、単に濃度パターンともいう)を検知し、その検知した濃度パターンを照合する。このとき、例えば、記憶部17にあらかじめ正常な表示パネルにおける濃度パターン(図3では基準パターンと記載)を記憶させ、この正常な濃度パターンと上記の検知した濃度パターンとを照合するようにしてもよいし、例えば、局所領域AR2内から複数の濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターン同士を比較することによって互いに照合するようにしてもよい。
(1) Determination Using Local Area In determination using a local area, the
図5は、局所領域を用いた判定における濃度パターンをプロットした図面であり、図5(a)は欠陥のない局所領域における一方の溝33bの最暗部から隣接する溝33bの最暗部までの濃度パターンであり、図5(b)は欠陥(例えば、異物)を有する局所領域における一方の溝33bの最暗部から隣接する溝33bの最暗部までの濃度パターンの例を示している。ここで、図5では、局所領域AR2内から4本の濃度パターンを検知し、それらを重ねて表示した例を示している。すなわち、局所領域AR2のY方向において異なる4ヶ所においてX方向の濃度変化(濃度パターン)を検知し、それらを重ねて表示している。
FIG. 5 is a diagram in which the density pattern in the determination using the local region is plotted, and FIG. 5A shows the density from the darkest part of one
図5(a)では、4本の濃度パターンがほぼ重なっているのに対し、図5(b)では、1本の濃度パターンが他の濃度パターンと大きく異なっており、欠陥があることがわかる(図5(b)の領域P参照)。このように、局所領域内における濃度パターンの照合に基づいて検査する。なお、相互のパターンがどの程度ずれた場合に欠陥と判定するかどうかは任意に設定することが可能である。 In FIG. 5 (a), the four density patterns almost overlap, whereas in FIG. 5 (b), one density pattern is significantly different from the other density patterns, indicating that there is a defect. (See region P in FIG. 5B). In this way, the inspection is performed based on the density pattern matching in the local region. Note that it is possible to arbitrarily set whether or not to determine a defect when the mutual patterns are shifted.
また、基準パターンと比較して、濃度がQ%(Qは実数)ずれた場合に欠陥と判断する等の方法であってもよい。このように、濃度パターン同士の比較を用いた判定のため、例えば、検知された濃度パターンの変化を解析して欠陥の有無を判定する手段等と比較して、判定部における処理を軽くすることができるため、検査時間を短縮することができる。また、局所領域内から複数のパターンを検知し、その検知した濃度パターン同士を比較する方法であれば、基準パターンと比較する方法よりも、判定部における処理をさらに軽くすることができる。 Further, it may be a method of determining a defect when the density is shifted by Q% (Q is a real number) as compared with the reference pattern. In this way, for the determination using comparison between density patterns, for example, the processing in the determination unit is lightened compared with a means for determining the presence / absence of a defect by analyzing a change in the detected density pattern. Therefore, the inspection time can be shortened. Further, if the method detects a plurality of patterns from within the local region and compares the detected density patterns with each other, the process in the determination unit can be further reduced as compared with the method of comparing with the reference pattern.
なお、検知対象は、上記のY方向において異なる複数箇所に限定されず、X方向において異なる複数の場所において濃度変化を検知してもよい。具体的には、例えば、局所領域AR2とX方向に隣接する局所領域を設け、Y方向の同一又は隣接位置について、X方向の濃度変化(濃度パターン)を複数の局所領域にわたって検知し、それらを重ねて表示するようにしてもよい。 Note that the detection target is not limited to a plurality of different locations in the Y direction, and density changes may be detected at a plurality of different locations in the X direction. Specifically, for example, a local region adjacent to the local region AR2 in the X direction is provided, and a change in density (density pattern) in the X direction is detected over a plurality of local regions at the same or adjacent positions in the Y direction. It may be displayed in a superimposed manner.
(2)閾値を用いた判定
閾値を用いた判定では、判定部16は、ストライプ部33の画像から複数の溝33bを含む領域AR3(例えば、30×200画素)の画像を切り出し、この領域AR3内の画像について一定の濃度変化の繰り返しからなる濃度パターン列を照合する(図4(c)参照)。具体的には、例えば、濃度の高い側の閾値SU及び濃度の低い側の閾値SLを定めて、これらの閾値SU,SLに基づいて欠陥の有無を判定する。欠陥と判定する基準については、任意に設定することができる。例えば、溝33b,33b毎に溝部分の濃度の最小値が閾値SL以上であること、及び凸部33a,33a毎に凸部分の濃度の最大値が閾値SU以下であることの少なくとも一方である状態が一定期間以上継続(例えば、3回以上継続)したときに、欠陥と判定するようにする方法等が考えられる。
(2) Determination Using Threshold In determination using a threshold, the
図6は、閾値を用いた判定における濃度パターン列をプロットした図面であり、図6(a)は欠陥のない領域AR3における濃度パターン列であり、図6(b)は欠陥(例えば、シミ)を有する領域AR3における濃度パターン列の例を示している。ここで、図6では、領域AR3内の連続した濃度パターン列を表示した例を示している。 FIG. 6 is a drawing in which a density pattern sequence in determination using a threshold value is plotted, FIG. 6A is a density pattern sequence in a defect-free area AR3, and FIG. 6B is a defect (for example, a stain). The example of the density | concentration pattern row | line in area | region AR3 which has is shown. Here, FIG. 6 shows an example in which continuous density pattern rows in the area AR3 are displayed.
図6(a)では、全領域にわたって溝33b,33b毎に溝部分の濃度が閾値SL未満であり、かつ、凸部33a,33a毎に凸部分の濃度が閾値SUを超えている。一方で、図6(b)では、溝33b,33b毎に溝部分の濃度が閾値SL未満になっている一方、凸部33a,33a毎で見ると、中間部分(シミがある部分)において、溝部分の濃度が閾値SU以下である状態が4回続いており、欠陥があることがわかる。このように、所定の閾値を設け、その閾値に基づいて欠陥の有無を判定することにより、シミ等の濃度変化の小さな欠陥についても容易に検知することができる。なお、図6では、判定部16は、複数の溝33bを含む領域の濃度パターン列について欠陥の有無を検出するものとしたが、1つ以上の溝33bと1つ以上の凸部33aとが含まれる領域においても、濃度パターンのうちの溝33bの濃度が閾値SU以上であるか否か、及び凸部33aの濃度が閾値SL以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を検出することができる。
In FIG. 6A, the density of the groove part is lower than the threshold value SL for each of the
判定部16による判定の結果は、ステップS5においてモニタ18に表示され、検査は終了となる。
The result of determination by the
以上のように、本実施形態によると、変換部による極座標変換した画像に基づいて、濃度パターンを検知し、その検知した濃度パターンに基づく判定を実施することにより、複雑な画像処理をすることなく、容易に欠陥の有無を判定することができる。さらに、本開示に係る検査装置では、基準パターンとの比較や他の濃度パターンとの相互比較に基づく判定を行うため、欠陥部分と、エッジの反射とのすみわけをするための光源の照射光量の微調整や、カメラの感度等の調整等をする必要がない。すなわち、検査装置の複雑かつ細かな設定が不要であり、表示パネルの検査が容易である。 As described above, according to the present embodiment, the density pattern is detected based on the image subjected to the polar coordinate conversion by the conversion unit, and the determination based on the detected density pattern is performed, so that complicated image processing is not performed. The presence or absence of defects can be easily determined. Furthermore, in the inspection apparatus according to the present disclosure, in order to make a determination based on comparison with the reference pattern and mutual comparison with other density patterns, the amount of light emitted from the light source for dividing the defective portion and the reflection of the edge There is no need to fine tune the camera or adjust the camera sensitivity. That is, a complicated and fine setting of the inspection apparatus is unnecessary, and the display panel can be easily inspected.
なお、上述の実施形態では、検知する濃度パターンは、一方の溝33bの最暗部から隣接する溝33bの最暗部までの濃度の変化であるものとしたが、これに限定されない。具体的には、周期的な濃度変化が得られるパターンであれば他のパターンであってもよい。例えば、濃度パターンとして、一方の凸部33aの最明部から隣接する凸部33aの最明部までの濃度の変化を適用してもよい。また、濃度パターンとして、一方の溝33bの最暗部から所定の距離だけ離れた位置にある溝33bの最暗部までの濃度の変化又は一方の凸部33aの最明部から所定の距離だけ離れた位置にある凸部33aの最明部を1つの濃度パターンとしてもよい。このときの所定の距離は、例えば、一方の溝33bの最暗部から2個以上離れた位置にある溝部33bの最暗部までの距離又は一方の凸部33aの最明部から2個以上離れた位置にある凸部33aの最明部までの距離である。また、最暗部や最明部以外の部分を基準として周期的な濃度変化が得られるような濃度パターンを用いてもかまわない。
In the above embodiment, the detected density pattern is a change in density from the darkest part of one
また、判定部16による判定は、(1)局所領域を用いた判定や、(2)閾値を用いた判定に限定されず、濃度パターンから欠陥が発見できる方法であればよく、他の判定方法であってもよい。
Further, the determination by the
また、中心座標検出部15a、極座標変換部15b、判定部16での処理において、表示パネル2の画像を図2の境界X1で表示部21を含む画像G1と、表示部25を含む画像G2とに分割し、それぞれの画像を用いた並列処理を実行してもよい。これにより、処理時間を短縮することができる。
Further, in the processing in the center coordinate
本発明は、表面に複数の同心円状の溝が形成された被検査物の検査を容易化することができるため、例えば、スピンドル部を有する自動車のメーター用の表示パネル等の検査において極めて有用である。 The present invention can facilitate inspection of an inspection object having a plurality of concentric grooves formed on the surface, and thus is extremely useful in inspection of a display panel for an automobile meter having a spindle portion, for example. is there.
1 検査装置
2 表示パネル(被検査物)
11 搬送部
12 光源
13 撮像部
15 変換部
16 判定部
23,27 スピンドル部(第1の溝部)
1
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記被検査物の表面に光を照射する光源と、
前記被検査物に対し、該被検査物の表面に沿う方向に相対移動しながら前記光源で照射された前記被検査物の表面を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された前記第1の溝部の中心座標を検出し、かつ、該第1の溝部を複数の直線状の溝からなる第2の溝部に極座標変換する変換部と、
前記第2の溝部の最暗部から隣接する最暗部までの濃度の変化又は最明部から隣接する最明部までの濃度の変化である濃度パターンを少なくとも1つ検知し、その検知した濃度パターンと基準値との比較に基づいて欠陥の有無を判定する判定部とを備えている
ことを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus for inspecting an object to be inspected having a first groove portion in which a plurality of concentric grooves are formed on a surface,
A light source for irradiating light on the surface of the inspection object;
An imaging unit that images the surface of the inspection object irradiated by the light source while moving relative to the inspection object in a direction along the surface of the inspection object;
A conversion unit that detects a center coordinate of the first groove imaged by the imaging unit, and converts the first groove part into a second groove part including a plurality of linear grooves;
Detecting at least one density pattern which is a change in density from the darkest part of the second groove to the adjacent darkest part or a density change from the brightest part to the adjacent brightest part ; An inspection apparatus comprising: a determination unit that determines the presence or absence of a defect based on a comparison with a reference value .
前記判定部は、前記検知した濃度パターンと、前記基準値としての隣接する部位から検知された濃度パターンまたは前記基準値としての正常状態における濃度パターンとの比較結果に基づいて欠陥の有無を判定する
ことを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1,
The determination unit determines the presence / absence of a defect based on a comparison result between the detected density pattern and a density pattern detected from an adjacent part as the reference value or a density pattern in a normal state as the reference value. Inspection apparatus characterized by that.
前記判定部は、前記濃度パターンの濃度の最大値が前記基準値としての所定の第1の閾値以上であるか否か、及び前記濃度パターンの濃度の最小値が前記基準値としての第1の閾値よりも低い第2の閾値以下であるか否かの少なくとも一方に基づいて欠陥の有無を判定する
ことを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1,
The determination unit determines whether the maximum density value of the density pattern is equal to or greater than a predetermined first threshold value as the reference value , and the minimum density value of the density pattern is a first value as the reference value. An inspection apparatus that determines the presence or absence of a defect based on at least one of whether or not a second threshold value is lower than a threshold value.
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