JP6353913B2 - コンパクトな両側レチクル検査システム - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2014年4月24日に出願された米国出願第61/983,753号に関連し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (15)
- レチクルを第1位置で支持するレチクルサポートと、
前記第1位置における前記レチクルの第1表面を照明する照明源と、
前記レチクルが前記第1位置にある時に前記レチクルの前記照明された第1表面から光を受ける第1センサと、を備え、
前記レチクルサポートは、さらに前記レチクルを第2位置で支持し、
前記照明源は、さらに前記第2位置における前記レチクルの第2表面を照明し、
前記レチクルが前記第2位置にある時に前記レチクルの前記照明された第2表面から光を受ける第2センサと、を備え、
前記レチクルの前記第1表面、前記照明源及び前記第1センサを含む前記レチクルの第1表面側容積部が、前記レチクルの前記第2表面、前記照明源及び前記第2センサを含む前記レチクルの第2表面側容積部と重なるように構成されている、検査システム。 - 前記レチクルの前記第1および第2表面の汚染物質を判断するプロセッサをさらに備える、請求項1に記載の検査システム。
- 前記プロセッサは、さらに前記第1および第2位置の間の前記レチクルサポートの搬送を制御する、請求項2に記載の検査システム。
- 前記第1および第2センサは、前記レチクルの前記第1および第2表面を結像する検査カメラを含む、請求項1に記載の検査システム。
- 前記レチクルの前記第1表面は前記レチクルのガラス裏側面を含み、前記レチクルの前記第2表面は前記レチクルの前側に取り付けられたペリクルを含む、請求項1に記載の検査システム。
- 前記照明源、前記第1センサ、および前記第2センサは、前記検査システムが前記レチクルを検査することを可能にするためのリソグラフィシステムに組み込まれる、請求項1に記載の検査システム。
- レチクルを第1位置に位置決めすることと、
前記第1位置における前記レチクルの第1表面を照明源により照明することと、
前記レチクルが前記第1位置にある時に前記レチクルの前記照明された第1表面から第1センサにより光を受けることと、
前記レチクルを前記第1位置から第2位置まで搬送することと、
前記第2位置における前記レチクルの第2表面を前記照明源により照明することと、
前記レチクルが前記第2位置にある時に前記レチクルの前記照明された第2表面から第2センサにより光を受けることと、を含み、
前記レチクルの前記第1表面、前記照明源及び前記第1センサを含む前記レチクルの第1表面側容積部が、前記レチクルの前記第2表面、前記照明源及び前記第2センサを含む前記レチクルの第2表面側容積部と重なるように構成されている、
方法。 - 前記照明された第1および第2表面から光を受けることは、前記レチクルの前記第1および第2表面を結像することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記レチクルの前記第1および第2表面の汚染物質を判断することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記レチクルの前記第1表面は前記レチクルのガラス裏側面を含み、前記レチクルの前記第2表面は前記レチクルの前側に取り付けられたペリクルを含む、請求項7に記載の方法。
- レチクルを第1位置で支持するレチクルサポートと、
前記第1位置における前記レチクルの第1表面を照明する照明源と、
前記レチクルが前記第1位置にある時に前記レチクルの前記照明された第1表面から光を受ける第1センサと、を備え、
前記レチクルサポートは、さらに前記レチクルを第2位置で支持し、
前記照明源は、さらに前記第2位置における前記レチクルの第2表面を照明し、
前記レチクルが前記第2位置にある時に前記レチクルの前記照明された第2表面から光を受ける第2センサと、を含む、検査システムと、
光ビームを供給する第2照明源と、
パターン形成された光ビームを前記レチクルから基板上に投影する投影システムと、を備え、
前記レチクルの前記第1表面、前記照明源及び前記第1センサを含む前記レチクルの第1表面側容積部が、前記レチクルの前記第2表面、前記照明源及び前記第2センサを含む前記レチクルの第2表面側容積部と重なるように構成されている、
リソグラフィシステム。 - 前記レチクルの前記第1および第2表面の汚染物質を判断するプロセッサをさらに備える、請求項11に記載のリソグラフィシステム。
- 前記プロセッサは、さらに前記第1および第2位置の間の前記レチクルサポートの搬送を制御する、請求項12に記載のリソグラフィシステム。
- 前記第1および第2センサは、前記レチクルの前記第1および第2表面を結像する検査カメラを含む、請求項11に記載のリソグラフィシステム。
- 前記レチクルの前記第1表面は前記レチクルのガラス裏側面を含み、前記レチクルの前記第2表面は前記レチクルの前側に取り付けられたペリクルを含む、請求項11に記載のリソグラフィシステム。
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