JP6340911B2 - Organic electroluminescent device and method for producing organic electroluminescent device - Google Patents
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Description
本発明は有機電界発光素子および有機電界発光素子の製造方法に関し、特にはパターニングされた発光領域を有する有機電界発光素子およびその製造方法に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method for manufacturing the organic electroluminescent device, and more particularly to an organic electroluminescent device having a patterned light emitting region and a method for manufacturing the same.
有機材料のエレクトロルミネッセンス(electroluminescence:以下ELと記す)を利用した有機電界発光素子(いわゆる有機EL素子)は、2枚の電極間に有機材料を用いて構成された発光機能層を挟持した構成であり、発光機能層で生じた発光光は電極を透過して外部に取り出される。このため、2枚の電極のうちの少なくとも一方は透明電極として構成される。透明電極は、一般的に、酸化インジウムスズ(SnO2−In2O3:Indium Tin Oxide:ITO)等の酸化物半導体系の材料を用いて構成されている。 An organic electroluminescence element (so-called organic EL element) using electroluminescence (hereinafter referred to as EL) of an organic material has a structure in which a light emitting functional layer composed of an organic material is sandwiched between two electrodes. The emitted light generated in the light emitting functional layer passes through the electrode and is extracted outside. For this reason, at least one of the two electrodes is configured as a transparent electrode. The transparent electrode is generally configured using an oxide semiconductor material such as indium tin oxide (SnO 2 -In 2 O 3 : Indium Tin Oxide: ITO).
以上のような有機電界発光素子は、様々な形態によってパターニングされた発光領域を有しており、例えばエネルギー線の部分的な照射によって発光機能層にダメージを与えて非照射領域とした構成が知られている。このような構成の有機電界発光素子の製造方法としては、例えば、ITO付きガラス基板上に発光機能層を形成し、この上部に対向電極を形成した後、ガラス基板側から紫外線を照射する方法が提案されている(下記特許文献1参照)。また透明基材上に第1電極を介して有機材料帯を形成し、第2電極を成膜し、保護膜を形成した後に、紫外線または電子線を照射する方法が提案されている(下記特許文献2参照)。 The organic electroluminescence device as described above has a light emitting region patterned in various forms. For example, a configuration in which a light emitting functional layer is damaged by partial irradiation of energy rays to form a non-irradiation region is known. It has been. As a method for producing an organic electroluminescent element having such a configuration, for example, a method of forming a light emitting functional layer on a glass substrate with ITO, forming a counter electrode on top of this, and irradiating ultraviolet rays from the glass substrate side is available. It has been proposed (see Patent Document 1 below). Further, a method has been proposed in which an organic material band is formed on a transparent substrate via a first electrode, a second electrode is formed, a protective film is formed, and then ultraviolet rays or electron beams are irradiated (the following patents) Reference 2).
しかしながら、上述した製造方法のうち、パターニングのためのエネルギー線として電子線を用いる方法は、電子線を照射する雰囲気を真空状態とする必要があるため、製造コストが増大する。 However, among the manufacturing methods described above, the method using an electron beam as an energy beam for patterning requires that the atmosphere irradiated with the electron beam be in a vacuum state, which increases the manufacturing cost.
これに対して、パターニングのためのエネルギー線として紫外線を用いる方法は、大気中においての処理が可能である。ところが、紫外線は金属に対する吸収が大きい。このため、光取り出し側の透明電極として金属透明電極を用いた場合には、金属透明電極においての紫外線の吸収が大きく、金属透明電極が形成された透明基板側からの紫外線照射によって上述したパターニングを行うためには、紫外線の照射時間が長くなる。これにより、生産効率が低下するだけではなく、樹脂材料で構成された透明基板が変色して取り出し光の色純度が低下したり、非発光時に紫外線の照射パターンが視認されると言った問題が発生する。 On the other hand, a method using ultraviolet rays as an energy beam for patterning can be processed in the atmosphere. However, ultraviolet rays are highly absorbed by metals. Therefore, when a metal transparent electrode is used as the transparent electrode on the light extraction side, the absorption of ultraviolet rays in the metal transparent electrode is large, and the patterning described above is performed by ultraviolet irradiation from the transparent substrate side on which the metal transparent electrode is formed. In order to carry out, the irradiation time of ultraviolet rays becomes long. As a result, not only the production efficiency is lowered, but also the transparent substrate made of a resin material is discolored so that the color purity of the extracted light is lowered, or the ultraviolet irradiation pattern is visually recognized when the light is not emitted. Occur.
そこで本発明は、光取り出し側に金属透明電極を用いた構成において、透明基板を変色させることなく効率良く発光領域がパターン形成された有機電界発光素子、およびその製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescent element in which a light emitting region is efficiently formed without changing the color of a transparent substrate in a configuration using a metal transparent electrode on the light extraction side, and a method for manufacturing the same. To do.
このような目的を達成するための本発明の有機電界発光素子は、透明基板と、前記透明基板の一主面側に設けられた金属透明電極と、発光層を含む複数の層を有し、前記金属透明電極を介して前記透明基板の一主面側に設けられた発光機能層と、前記発光機能層を介して前記透明基板の一主面側に設けられた対向電極とを備え、前記発光機能層を構成する何れか一層が、吸収係数k、屈折率n、および膜厚Zとした場合に(k/n)×Z≧5となる紫外線吸収層であって、紫外線の照射による変質部を有し、前記変質部に対応して非発光領域がパターン形成されている。 An organic electroluminescent element of the present invention for achieving such an object has a transparent substrate, a metal transparent electrode provided on one main surface side of the transparent substrate, and a plurality of layers including a light emitting layer, A light emitting functional layer provided on one main surface side of the transparent substrate via the metal transparent electrode, and a counter electrode provided on one main surface side of the transparent substrate via the light emitting functional layer, Any one layer constituting the light emitting functional layer is an ultraviolet absorbing layer satisfying (k / n) × Z ≧ 5 when the absorption coefficient k, the refractive index n, and the film thickness Z are set, and the alteration due to ultraviolet irradiation And a non-light emitting region is patterned corresponding to the altered portion.
また本発明の有機電界発光素子の製造方法は、上述した有機電界発光素子の製造方法であり、前記発光機能層を形成する工程では、前記発光機能層を構成する何れか一層を、吸収係数k、屈折率n、および膜厚Zとした場合に(k/n)×Z≧5となる紫外線吸収層として形成し、前記非発光領域をパターン形成する工程では、前記透明基板側から前記金属透明電極を介して紫外線を照射することにより前記紫外線吸収層に変質部を形成する。 The method for producing an organic electroluminescent element of the present invention is the above-described method for producing an organic electroluminescent element, and in the step of forming the light emitting functional layer, any one of the light emitting functional layers is made to have an absorption coefficient k. In the step of forming an ultraviolet absorbing layer satisfying (k / n) × Z ≧ 5 when the refractive index is n and the film thickness is Z, and the non-light-emitting region is patterned, the metal transparent An altered portion is formed in the ultraviolet absorbing layer by irradiating ultraviolet rays through the electrode.
このような構成の有機電界発光素子では、発光機能層を構成する何れか一層を紫外線吸収層としたことにより、この紫外線吸収層に形成された変質部は、発光機能層内において集中的な紫外線の吸収によって形成されたものとなる。このため、紫外線の吸収が高い金属透明電極を介して紫外線を照射した場合であっても、効率の良い変質部の形成が行われる。 In the organic electroluminescence device having such a configuration, since any one of the layers constituting the light emitting functional layer is an ultraviolet absorbing layer, the altered portion formed in the ultraviolet absorbing layer is concentrated in the light emitting functional layer. It is formed by absorption. For this reason, even if it is a case where an ultraviolet-ray is irradiated through a metal transparent electrode with high absorption of an ultraviolet-ray, efficient formation of an altered part is performed.
以上説明したように、本発明の有機電界発光素子およびその製造方法によれば、紫外線の吸収が高い金属透明電極を介して紫外線を照射した場合であっても、効率的に変質部を形成することができるため、金属透明電極を用いた有機電界発光素子において透明基板を変色させることなく効率良く発光領域をパターン形成することが可能になる。 As described above, according to the organic electroluminescent element and the method for manufacturing the same of the present invention, even if the ultraviolet ray is irradiated through the metal transparent electrode having high ultraviolet absorption, the altered portion is efficiently formed. Therefore, it is possible to efficiently pattern the light emitting region without changing the color of the transparent substrate in the organic electroluminescent element using the metal transparent electrode.
以下、本発明の実施形態を、有機電界発光素子、有機電界発光素子の製造方法の順に、図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail in the order of an organic electroluminescent element and a method for producing an organic electroluminescent element based on the drawings.
≪有機電界発光素子≫
図1は、実施形態の有機電界発光素子1の構成を示す断面模式図である。また図2は、実施形態の有機電界発光素子1の構成を示す概略平面図であり、図1を光取り出し面10a側から見た図である。
≪Organic electroluminescent element≫
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the organic electroluminescent element 1 of the embodiment. FIG. 2 is a schematic plan view showing the configuration of the organic electroluminescent element 1 of the embodiment, and is a view of FIG. 1 viewed from the
これらの図に示す有機電界発光素子1は、透明基板11の一主面上に設けられており、透明基板11側から順に、金属透明電極13、発光機能層15、および対向電極17が積層されている。発光機能層15は、少なくとも発光層15cを含む複数層で構成されている。このような有機電界発光素子1において、金属透明電極13と対向電極17とで発光機能層15が挟持された部分が有機電界発光素子1における素子領域aであり、この素子領域aにパターニングされた発光領域Aが設けられている。
The organic electroluminescent element 1 shown in these drawings is provided on one main surface of a
そして特に本実施形態の有機電界発光素子1においては、発光機能層15の何れか一層が紫外線吸収層21として構成されているところが特徴的である。この紫外線吸収層21は、紫外線の照射による変質部bを有しており、有機電界発光素子1においてこの変質部bに対応する領域が、非発光領域Bとしてパターン形成されている。
In particular, in the organic electroluminescent element 1 of the present embodiment, one of the light emitting
以上のような有機電界発光素子1は、少なくとも透明基板11の他主面を光取り出し面10aとして発光光hが取り出されるボトムエミッション型として構成されている。またここでの図示は省略したが、有機電界発光素子1は、対向電極17側から封止材で封止され、さらに透明基板11との間に発光機能層15および封止材を挟持する状態で保護部材が設けられていても良い。
The organic electroluminescent element 1 as described above is configured as a bottom emission type in which the emitted light h is extracted with at least the other main surface of the
以下、この有機電界発光素子1を構成する各構成要素の詳細を説明する。 Hereinafter, the detail of each component which comprises this organic electroluminescent element 1 is demonstrated.
<透明基板11>
透明基板11は、例えばガラス、石英、樹脂基板を挙げることができるが、これらに限定されない。特に好ましい透明基板11は、これを用いて構成される有機電界発光素子にフレキシブル性を与えることが可能な樹脂基板である。
<
Examples of the
樹脂基板としては、支持体としての(1)樹脂基材と、屈折率が1.4〜1.7の範囲内にある1層以上の(2)バリアー層と、によって構成されていることが好ましい。以下、(1)樹脂基材および(2)バリアー層の詳細を説明する。 The resin substrate may be composed of (1) a resin base material as a support and one or more (2) barrier layers having a refractive index in the range of 1.4 to 1.7. preferable. Hereinafter, details of (1) the resin base material and (2) the barrier layer will be described.
(1)樹脂基材
樹脂基材は、従来公知の樹脂フィルム基材を特に制限なく使用できる。本発明で好ましく用いられる樹脂基材は、有機電界発光素子1に必要な耐湿性及び耐気体透過性等のガスバリアー性能を有することが好ましい。また、樹脂基材には可視光に対して透光性を有する材料が用いられる。この場合、その光透過率は、70%以上であることが好ましく、75%以上であることがより好ましく、80%以上であることが更に好ましい。
(1) Resin substrate As the resin substrate, a conventionally known resin film substrate can be used without particular limitation. The resin base material preferably used in the present invention preferably has gas barrier properties such as moisture resistance and gas permeation resistance required for the organic electroluminescent element 1. In addition, a material having translucency with respect to visible light is used for the resin base material. In this case, the light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 75% or more, and further preferably 80% or more.
また、樹脂基材は可撓性を有するのが好ましい。ここでいう「可撓性」とは、φ(直径)50mmロールに巻き付け、一定の張力で巻取る前後で割れ等が生じることの無い基材をいい、より好ましくはφ30mmロールに巻き付け可能な基材をいう。 The resin base material preferably has flexibility. The term “flexibility” as used herein refers to a base material that is wound around a φ (diameter) 50 mm roll and does not crack before and after winding with a constant tension, and more preferably a base that can be wound around a φ30 mm roll. Say the material.
本発明において、樹脂基材は、従来公知の基材であり、例えば、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、ポリアリレート、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン(PS)、ナイロン(Ny)、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホネート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリオレフィン、エポキシ樹脂等の各樹脂フィルムが挙げられ、更に、シクロオレフィン系やセルロースエステル系のものも用いることができる。また、有機無機ハイブリッド構造を有するシルセスキオキサンを基本骨格とした耐熱透明フィルム(製品名Sila−DEC、チッソ株式会社製)、更には前記樹脂材料を二層以上積層して成る樹脂フィルム等を挙げることができる。 In the present invention, the resin base material is a conventionally known base material, for example, an acrylic resin such as acrylic ester, methacrylic ester, polymethyl methacrylate (PMMA), polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate. Phthalate (PEN), polycarbonate (PC), polyarylate, polyvinyl chloride (PVC), polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene (PS), nylon (Ny), aromatic polyamide, polyether ether ketone, polysulfone , Polyether sulfonate, polyimide, polyetherimide, polyolefin, epoxy resin, and other resin films, and cycloolefin-based and cellulose ester-based films can also be used. In addition, a heat-resistant transparent film (product name Sila-DEC, manufactured by Chisso Corporation) having silsesquioxane having an organic-inorganic hybrid structure as a basic skeleton, and a resin film formed by laminating two or more layers of the resin material, etc. Can be mentioned.
コストや入手容易性の観点から、PET、PEN、PC、アクリル樹脂等が好ましく用いられる。 From the viewpoint of cost and availability, PET, PEN, PC, acrylic resin and the like are preferably used.
中でも透明性、耐熱性、取り扱いやすさ、強度及びコストの点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましい。 Among these, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film and a biaxially stretched polyethylene naphthalate film are preferable from the viewpoints of transparency, heat resistance, ease of handling, strength, and cost.
更に熱膨張時の収縮を最大限抑えるため、熱アニール等の処理を行った低熱収処理品が最も好ましい。 Furthermore, in order to suppress the shrinkage at the time of thermal expansion to the maximum, a low heat recovery processed product subjected to a treatment such as thermal annealing is most preferable.
樹脂基材の厚さは10〜500μmが好ましく、より好ましくは20〜250μmであり、さらに好ましくは30〜150μmである。樹脂基材の厚さが10〜500μmの範囲にあることで、安定したガスバリアー性を得られ、また、ロール・トゥ・ロール方式の搬送に適したものになる。 10-500 micrometers is preferable, as for the thickness of a resin base material, More preferably, it is 20-250 micrometers, More preferably, it is 30-150 micrometers. When the thickness of the resin base material is in the range of 10 to 500 μm, a stable gas barrier property can be obtained, and it is suitable for conveyance in a roll-to-roll system.
(2)バリアー層
〈2.1〉特性及び形成方法
バリアー層としては、公知の素材を特に制限なく使用でき、無機物または有機物からなる被膜や、これらの被膜を組み合わせたハイブリッド被膜であっても良い。バリアー層は、JIS−K−7129−1992に準拠した方法で測定された、水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度90±2%RH)が0.01g/(m2・24時間)以下のバリアー性フィルムであることが好ましく、また、JIS−K−7126−1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が1×10-3ml/(m2・24時間・atm)以下、水蒸気透過度が1×10-5g/(m2・24時間)以下の高バリアー性フィルムであることがより好ましい。
(2) Barrier layer <2.1> Properties and formation method As the barrier layer, a known material can be used without any particular limitation, and a coating made of an inorganic or organic material or a hybrid coating combining these coatings may be used. . The barrier layer has a water vapor permeability (25 ± 0.5 ° C., relative humidity 90 ± 2% RH) measured by a method according to JIS-K-7129-1992, 0.01 g / (m 2 · 24 hours. ) The following barrier films are preferable, and the oxygen permeability measured by a method according to JIS-K-7126-1987 is 1 × 10 −3 ml / (m 2 · 24 hours · atm) or less. More preferably, the film has a water barrier permeability of 1 × 10 −5 g / (m 2 · 24 hours) or less.
このようなバリアー層を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であれば良く、例えば、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素等を用いることができる。更に、当該バリアー層の脆弱さを改良するため、これら無機層に、応力緩和層として有機材料からなる有機層を積層する構造としても良い。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させる構成が好ましい。 As a material for forming such a barrier layer, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like may be used. it can. Furthermore, in order to improve the weakness of the barrier layer, an organic layer made of an organic material may be laminated on these inorganic layers as a stress relaxation layer. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination order of an inorganic layer and an organic layer, The structure which laminates | stacks both alternately several times is preferable.
バリアー層の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができるが、特開2004−68143号公報に記載の大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。 The method for forming the barrier layer is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma weight A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.
〈2.2〉無機前駆体化合物による形成方法
また、バリアー層として、樹脂基材上に、少なくとも1層の無機前駆体化合物を含有する塗布液を塗布して塗膜を形成した後、当該塗膜にエキシマランプ等で改質処理を施して無機層を形成する方法であってもよい。
<2.2> Formation Method Using Inorganic Precursor Compound Further, as a barrier layer, a coating liquid containing at least one layer of an inorganic precursor compound is applied on a resin substrate to form a coating film, and then the coating is performed. A method may be used in which an inorganic layer is formed by subjecting the film to a modification treatment with an excimer lamp or the like.
塗布方法としては、従来公知の湿式塗布方式を適用することができ、例えば、ローラーコート法、フローコート法、インクジェット法、スプレーコート法、プリント法、ディップコート法、流延成膜法、バーコート法、グラビア印刷法等が挙げられる。 As a coating method, a conventionally known wet coating method can be applied. For example, a roller coating method, a flow coating method, an ink jet method, a spray coating method, a printing method, a dip coating method, a casting film forming method, a bar coating method. Method, gravure printing method and the like.
塗膜の厚さは、目的に応じて適切に設定され得る。例えば、塗膜の厚さは、乾燥後の層厚が好ましくは0.001〜10μmの範囲内であり、さらに好ましくは0.01〜10μmの範囲内であり、最も好ましくは0.03〜1μmの範囲内となるように設定することが好ましい。 The thickness of the coating film can be appropriately set according to the purpose. For example, the thickness of the coating film is preferably in the range of 0.001 to 10 μm, more preferably in the range of 0.01 to 10 μm, and most preferably 0.03 to 1 μm after drying. It is preferable to set so as to be within the range of.
本発明に用いられる無機前駆体化合物とは、特定の雰囲気下で真空紫外線(エキシマ光)照射によって金属酸化物や金属窒化物や金属酸化窒化物を形成しうる化合物であれば特に限定されないが、本発明において、バリアー層の形成に適する化合物としては、特開平8−112879号公報に記載されているように比較的低温で改質処理され得る化合物が好ましい。 The inorganic precursor compound used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound capable of forming a metal oxide, a metal nitride, or a metal oxynitride by irradiation with vacuum ultraviolet rays (excimer light) under a specific atmosphere. In the present invention, as a compound suitable for forming the barrier layer, a compound that can be modified at a relatively low temperature as described in JP-A-8-112879 is preferable.
具体的には、Si−O−Si結合を有するポリシロキサン(ポリシルセスキオキサンを含む)、Si−N−Si結合を有するポリシラザン、Si−O−Si結合とSi−N−Si結合の両方を含むポリシロキサザン等を挙げることができる。これらは2種以上を混合して使用することができる。また、異なる化合物を逐次積層したり、同時積層したりしても使用可能である。 Specifically, polysiloxane (including polysilsesquioxane) having Si—O—Si bond, polysilazane having Si—N—Si bond, both Si—O—Si bond and Si—N—Si bond And polysiloxazan containing These can be used in combination of two or more. Moreover, it can be used even if different compounds are sequentially laminated or simultaneously laminated.
<金属透明電極13>
金属透明電極13は、発光機能層15に対する陽極または陰極として設けられるものである。尚、金属透明電極13でいう透明とは、波長550nmでの光透過率が50%以上であることをいう。また、金属透明電極13において主成分とは、金属透明電極13中の含有量が98質量%以上であることをいう。
<Metal
The metal
この金属透明電極13に含まれる金属は、導電性の高い金属であれば特に制限されず、例えば銀、銅、金、白金族、チタン、クロム等でが例示される。金属透明電極13には、これらの金属が1種のみ含まれてもよく、2種以上含まれてもよい。導電性が高いとの観点から、金属透明電極13は、銀を主成分として構成され、銀または銀を主成分とする合金で構成されていることが好ましい。
The metal contained in the metal
金属透明電極13を構成する銀(Ag)を主成分とする合金としては、例えば、銀マグネシウム(AgMg)、銀銅(AgCu)、銀パラジウム(AgPd)、銀パラジウム銅(AgPdCu)、銀インジウム(AgIn)等が挙げられる。
Examples of the alloy mainly composed of silver (Ag) constituting the metal
以上のような金属透明電極13は、銀または銀を主成分とした合金の層が、必要に応じて複数の層に分けて積層された構成であっても良い。
The metal
さらに、この金属透明電極13は、膜厚が5〜20nmの範囲内にあることが好ましい。膜厚が20nmより薄い場合には、層の吸収成分または反射成分が少なく、金属透明電極13の透過率が大きくなる。また、膜厚が5nmより厚い場合には、層の導電性を十分に確保することができる。
Further, the metal
以上のような金属透明電極13の成膜方法としては、塗布法、インクジェット法、コーティング法、ディップ法等のウェットプロセスを用いる方法や、蒸着法(抵抗加熱、EB法など)、スパッタ法、CVD法等のドライプロセスを用いる方法等が挙げられる。中でも、蒸着法が好ましく適用される。
As a method for forming the metal
また、金属透明電極13は、下地層上に成膜することにより、金属透明電極13成膜後の高温アニール処理等がなくても十分に導電性を有することを特徴とするが、必要に応じて、成膜後に高温アニール処理等を行ったものであっても良い。
In addition, the metal
尚、このように極薄膜として設けられた金属透明電極13には、その低抵抗化を図ることを目的として、透明基板11側からの発光光hの取り出しの妨げにならない位置に、補助電極を接続させても良い。このような補助電極を形成する材料は、金、白金、銀、銅、アルミニウム等の抵抗が低い金属が好ましい。
The metal
また、金属透明電極13には、外部電源との接続を図るための取り出し電極を設けても良い。取り出し電極の材料は特に限定されるものではなく、公知の電極材料を好適に使用できるが、例えば、3層構造からなるMAM電極(Mo/Al・Nd合金/Mo)等の金属膜を用いることができる。
Further, the metal
また金属透明電極13は、ここでの図示を省略した下地層を介して透明基板11上に設けられていることが好ましい。この場合、下地層としては、例えば、窒素原子を含んだ化合物を用いて構成された層が用いられる。
Moreover, it is preferable that the metal
下地層は、金属透明電極13の透明基板11側に設けられる層である。下地層を構成する材料としては、特に限定されるものではなく、例えば銀または銀を主成分とする合金からなる金属透明電極13の成膜に際し、銀の凝集を抑制できるものであれば良く、例えば、窒素原子を含んだ含窒素化合物等が挙げられる。
The foundation layer is a layer provided on the
下地層が、低屈折率材料(屈折率1.7未満)からなる場合、その膜厚の上限としては、50nm未満である必要があり、30nm未満であることが好ましく、10nm未満であることがさらに好ましく、5nm未満であることが特に好ましい。膜厚を50nm未満とすることにより、光学的ロスを最小限に抑えられる。一方、膜厚の下限としては、0.05nm以上が必要であり、0.1nm以上であることが好ましく、0.3nm以上であることが特に好ましい。膜厚を0.05nm以上とすることにより、下地層の成膜を均一とし、その効果(銀の凝集抑制)を均一とすることができる。 When the underlayer is made of a low refractive index material (refractive index less than 1.7), the upper limit of the film thickness needs to be less than 50 nm, preferably less than 30 nm, and preferably less than 10 nm. More preferably, it is particularly preferably less than 5 nm. By making the film thickness less than 50 nm, optical loss can be minimized. On the other hand, the lower limit of the film thickness is required to be 0.05 nm or more, preferably 0.1 nm or more, and particularly preferably 0.3 nm or more. By setting the film thickness to 0.05 nm or more, the underlayer can be uniformly formed, and the effect (inhibition of silver aggregation) can be made uniform.
下地層が、高屈折率材料(屈折率1.7以上)からなる場合、その膜厚の上限としては特に制限はなく、膜厚の下限としては上記低屈折率材料からなる場合と同様である。 When the underlayer is made of a high refractive index material (refractive index of 1.7 or more), the upper limit of the film thickness is not particularly limited, and the lower limit of the film thickness is the same as that of the low refractive index material. .
ただし、単なる下地層として用いる場合であれば、この下地層は均一な成膜が得られる必要膜厚で形成されれば十分である。 However, if the base layer is used as a simple base layer, it is sufficient that the base layer is formed with a required film thickness that allows uniform film formation.
下地層を構成する窒素原子を含んだ化合物としては、分子内に窒素原子を含んでいる化合物であれば特に限定されないが、窒素原子をヘテロ原子とした複素環を有する化合物であることが好ましい。窒素原子をヘテロ原子とした複素環としては、アジリジン、アジリン、アゼチジン、アゼト、アゾリジン、アゾール、アジナン、ピリジン、アゼパン、アゼピン、イミダゾール、ピラゾール、オキサゾール、チアゾール、イミダゾリン、ピラジン、モルホリン、チアジン、インドール、イソインドール、ベンゾイミダゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キノキサリン、シンノリン、プテリジン、アクリジン、カルバゾール、ベンゾ−C−シンノリン、ポルフィリン、クロリン、コリン等が挙げられる。 The compound containing a nitrogen atom constituting the underlayer is not particularly limited as long as it is a compound containing a nitrogen atom in the molecule, but is preferably a compound having a heterocycle having a nitrogen atom as a heteroatom. Examples of the heterocycle having a nitrogen atom as a hetero atom include aziridine, azirine, azetidine, azeto, azolidine, azole, azinane, pyridine, azepan, azepine, imidazole, pyrazole, oxazole, thiazole, imidazoline, pyrazine, morpholine, thiazine, indole, Examples include isoindole, benzimidazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinoxaline, cinnoline, pteridine, acridine, carbazole, benzo-C-cinnoline, porphyrin, chlorin, choline and the like.
下地層の成膜方法としては、塗布法、インクジェット法、ディップ法などのウェットプロセスを用いる方法や、蒸着法(抵抗加熱、EB法など)、スパッタ法、CVD法等のドライプロセスを用いる方法等が挙げられる。中でも、蒸着法が好ましく適用される。 As a method for forming the underlayer, a method using a wet process such as a coating method, an ink jet method, a dip method, a method using a dry process such as a vapor deposition method (resistance heating, EB method, etc.), a sputtering method, a CVD method, etc. Is mentioned. Among these, the vapor deposition method is preferably applied.
<発光機能層15>
発光機能層15は、少なくとも有機材料で構成された発光層を含む層である。このよう発光機能層15の全体的な層構造が限定されることはなく、一般的な層構造であって良い。発光機能層15の一例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されない。
<Light emitting
The light emitting
(i)正孔注入輸送層/発光層/電子注入輸送層
(ii)正孔注入輸送層/第1発光層/第2発光層/電子注入輸送層
(iii)正孔注入輸送層/第1発光層/中間層/第2発光層/電子注入輸送層
(iv)正孔注入輸送層/発光層/正孔阻止層/電子注入輸送層
(v)正孔注入輸送層/電子阻止層/発光層/正孔阻止層/電子注入輸送層
(vi)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層
(vii)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層
(viii)正孔注入層/正孔輸送層/電子阻止層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層
(I) Hole injection transport layer / light emitting layer / electron injection transport layer (ii) Hole injection transport layer / first light emitting layer / second light emitting layer / electron injection transport layer (iii) Hole injection transport layer / first Light emitting layer / intermediate layer / second light emitting layer / electron injecting and transporting layer (iv) Hole injecting and transporting layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron injecting and transporting layer (v) Hole injecting and transporting layer / electron blocking layer / light emission Layer / hole blocking layer / electron injection transport layer (vi) hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer (vii) hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / Hole blocking layer / electron transport layer / electron injection layer (viii) Hole injection layer / hole transport layer / electron blocking layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / electron injection layer
尚、上記(ii)および(iii)の構成において、第1発光層および第2発光層は、各波長領域の発光光を発生させる各色発光層であってよい。また上記(iii)の構成において、第1発光層と第2発光層との間に配置された中間層は、非発光性であって良く、正孔阻止層、電子阻止層として機能しても良い。 In the configurations of (ii) and (iii) above, the first light emitting layer and the second light emitting layer may be each color light emitting layer that generates emitted light in each wavelength region. In the configuration (iii), the intermediate layer disposed between the first light emitting layer and the second light emitting layer may be non-light emitting, and may function as a hole blocking layer and an electron blocking layer. good.
図1において、発光機能層15は、金属透明電極13および対向電極17のうち陽極として用いられる電極側から順に[正孔注入層15a/正孔輸送層15b/発光層15c/電子輸送層15d/電子注入層15e]を積層した構成として例示した。以下、各層の詳細を説明する。
In FIG. 1, the light-emitting
(1)発光層15c
本発明に用いられる発光層15cには、発光材料としてリン光発光化合物が含有されていることが好ましい。尚、発光材料として、蛍光材料が使用されても良いし、リン光発光化合物と蛍光材料とを併用しても良い。
(1)
The
発光層15cは、陰極側から注入された電子と、陽極側から注入された正孔とが再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層15cの層内であっても発光層15cと隣接する層との界面であっても良い。
The
このような発光層15cとしては、含まれる発光材料が発光要件を満たしていれば、その構成には特に制限はない。また、同一の発光スペクトルや発光極大波長を有する層が複数層あっても良い。この場合、各発光層15c間には、非発光性の中間層(図示略)を有していることが好ましい。
Such a
発光層15cの膜厚の総和は1〜100nmの範囲内にあることが好ましく、より低い駆動電圧を得ることができることから1〜40nmの範囲内であることがより好ましい。
The total thickness of the
尚、発光層15cの膜厚の総和とは、発光層15c間に非発光性の中間層が存在する場合には、当該中間層も含む膜厚である。但し、複数の発光層ユニットを、中間コネクター部を介し積層する、いわゆるタンデム型素子の場合には、ここでいう発光層15cとは各発光ユニット内の発光層部分を指す。
In addition, the sum total of the film thickness of the
複数層を積層した構成の発光層15cの場合、個々の発光層の膜厚としては、1〜50nmの範囲内に調整することが好ましく、更に、1〜20nmの範囲内に調整することがより好ましい。積層された複数の発光層が、青、緑、赤のそれぞれの発光色に対応する場合、青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はない。
In the case of the
以上のような発光層15cは、公知の発光材料やホスト化合物を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法、インクジェット法等の公知の薄膜形成方法により成膜して形成することができる。
The
また、発光層15cは、複数の発光材料を混合しても良い。
The
発光層15cの構成として、ホスト化合物(発光ホスト等ともいう)、発光材料(発光ドーパントともいう)を含有し、発光材料より発光させることが好ましい。
As a structure of the
本発明に適用可能な発光ドーパントとしては、例えば、国際公開第2005/076380号、国際公開第2010/032663号、国際公開第第2008/140115号、国際公開第2007/052431号、国際公開第2011/134013号、国際公開第2011/157339号、国際公開第2010/086089号、国際公開第2009/113646号、国際公開第2012/020327号、国際公開第2011/051404号、国際公開第2011/004639号、国際公開第2011/073149号、特開2012−069737号公報、特開2009−114086号公報、特開2003−81988号公報、特開2002−302671号公報、特開2002−363552号公報等に記載の化合物を挙げることができる。 Examples of the light-emitting dopant applicable to the present invention include International Publication No. WO 2005/076380, International Publication No. 2010/032663, International Publication No. 2008/140115, International Publication No. 2007/052431, International Publication No. 2011. No. 134013, International Publication No. 2011/157339, International Publication No. 2010/086089, International Publication No. 2009/113646, International Publication No. 2012/020327, International Publication No. 2011/051404, International Publication No. 2011/004639. No., WO 2011/073149, JP 2012-069737, JP 2009-114086, JP 2003-81988, JP 2002-302671, JP 2002-363552, etc. Compounds described in It can be mentioned.
また、ホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報、米国特許公開第2003/0175553号明細書、米国特許公開第2006/0280965号明細書、米国特許公開第2005/0112407号明細書、米国特許公開第2009/0017330号明細書、米国特許公開第2009/0030202号明細書、米国特許公開第2005/238919号明細書、国際公開第2001/039234号、国際公開第2009/021126号、国際公開第2008/056746号、国際公開第2004/093207号、国際公開第2005/089025号、国際公開第2007/063796号、国際公開第2007/063754号、国際公開第2004/107822号、国際公開第2005/030900号、国際公開第2006/114966号、国際公開第2009/086028号、国際公開第2009/003898号、国際公開第2012/023947号、特開2008−074939号公報、特開2007−254297号公報、EP第2034538号明細書等に記載されている化合物を挙げることができる。 Examples of the host compound include JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837, US 2003/0175553, US 2006 No. 0280965, U.S. Patent Publication No. 2005/0112407, U.S. Patent Publication No. 2009/0017330, U.S. Patent Publication No. 2009/0030202, U.S. Patent Publication No. 2005/238919, International Publication No. 2001/039234, International Publication No. 2009/021126, International Publication No. 2008/056746, International Publication No. 2004/093207, International Publication No. 2005/089025, International Publication No. 2007/063796, International Publication No. 2007/063754, International Publication No. 2004/107822, International Publication No. 2005/030900, International Publication No. 2006/114966, International Publication No. 2009/086028, International Publication No. 2009/003898, International Publication No. 2012 No. 023947, JP 2008-074939 A, JP 2007-254297 A, EP 2034538, and the like.
(2)正孔注入層15aと電子注入層15e
注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と発光層15cの間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に、その詳細が記載されており、正孔注入層15aと電子注入層15eとがある。
(2)
The injection layer is a layer provided between the electrode and the
注入層は、必要に応じて設けることができる構成層である。正孔注入層15aであれば、陽極と発光層15cまたは正孔輸送層15bの間、電子注入層15eであれば陰極と発光層15cまたは電子輸送層15dとの間に存在させても良い。
An injection | pouring layer is a structure layer which can be provided as needed. The
正孔注入層15eは、特開平9−45479号公報、同9−260062号公報、同8−288069号公報等にもその詳細が記載されており、具体例として、銅フタロシアニンに代表されるフタロシアニン層、酸化バナジウムに代表される酸化物層、アモルファスカーボン層、ポリアニリン(エメラルディン)やポリチオフェン等の導電性高分子を用いた高分子層等が挙げられる。また、特表2003−519432号公報に記載される材料を使用することも好ましい。
The details of the
電子注入層15eは、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属層、フッ化カリウムに代表されるアルカリ金属ハライド層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物層、酸化モリブデンに代表される酸化物層等が挙げられる。本発明においては、電子注入層15eはごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は1nm〜10μmの範囲が好ましい。
Details of the
(3)正孔輸送層15b
正孔輸送層15bは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層15a、電子阻止層も正孔輸送層15bに含まれる。正孔輸送層15bは単層または複数層設けることができる。
(3)
The
正孔輸送材料としては、正孔の注入または輸送、電子の障壁性のいずれかの特性を有するものであり、有機物、無機物のいずれであっても良い。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、また、導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。 The hole transport material has any of the characteristics of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples thereof include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.
正孔輸送材料としては、上記のものを使用することができるが、更に、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。 As the hole transport material, those described above can be used, and it is further preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound.
芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、例えば、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(略称:TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、さらには米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(略称:NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(略称:MTDATA)等が挙げられる。 Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include, for example, N, N, N ′, N′-tetraphenyl-4,4′-diaminophenyl; N, N′-diphenyl-N, N '-Bis (3-methylphenyl)-[1,1'-biphenyl] -4,4'-diamine (abbreviation: TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1 , 1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di -P-tolylaminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-dipheni -N, N'-di (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis ( N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 ′-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and further in US Pat. No. 5,061,569 Those having two fused aromatic rings described in the molecule, for example, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: NPD) 4,4 ′, 4 ″ -tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino, wherein three triphenylamine units described in JP-A-4-308688 are linked in a starburst type ] Triphenylamine (abbreviation: MTDATA) and the like.
さらにこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。また、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することができる。 Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.
また、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.,Applied Physics Letters,80(2002),p.139に記載されているようないわゆる、p型正孔輸送材料を用いることもできる。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。 JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. , Applied Physics Letters, 80 (2002), p. A so-called p-type hole transport material as described in 139 can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.
正孔輸送層15bは、上記正孔輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。正孔輸送層15bの膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層15bは、上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であっても良い。
The
また、正孔輸送層15bの材料に不純物をドープして輸送性を高くすることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開2000−196140号公報、同2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。
In addition, the transport property can be increased by doping impurities into the material of the
(4)電子輸送層15d
電子輸送層15dは、電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層15e、正孔阻止層(図示略)も電子輸送層15dに含まれる。電子輸送層15dは単層構造または複数層の積層構造として設けることができる。
(4)
The
単層構造の電子輸送層15d、及び、積層構造の電子輸送層15dにおいて、発光層15cに隣接する層部分を構成する電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層15cに伝達する機能を有していれば良い。このような材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができる。例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン、アントロン誘導体及びオキサジアゾール誘導体等が挙げられる。さらに、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送層15dの材料として用いることができる。さらにこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。
In the
また、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(略称:Alq3)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(略称:Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、GaまたはPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送層15dの材料として用いることができる。
In addition, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (abbreviation: Alq3), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) ) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (abbreviation: Znq), and the central metals of these metal complexes A metal complex replaced with In, Mg, Cu, Ca, Sn, Ga, or Pb can also be used as the material of the
その他、メタルフリー若しくはメタルフタロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送層15dの材料として好ましく用いることができる。また、発光層15cの材料としても例示されるジスチリルピラジン誘導体も電子輸送層15dの材料として用いることができるし、正孔注入層15a、正孔輸送層15bと同様にn型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送層15dの材料として用いることができる。
In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with alkyl groups or sulfonic acid groups can be preferably used as the material for the
電子輸送層15dは、上記材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。電子輸送層15dの膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層15dは上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であっても良い。
The
また、電子輸送層15dに不純物をドープし、輸送性を高くすることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、同10−270172号公報、特開2000−196140号公報、同2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。さらに電子輸送層15dには、カリウムやカリウム化合物などを含有させることが好ましい。カリウム化合物としては、例えば、フッ化カリウム等を用いることができる。このように電子輸送層15dのn性を高くすると、より低消費電力の素子を作製することができる。
In addition, the
また電子輸送層15dの材料(電子輸送性化合物)として、上述した下地層を構成する材料と同様のものを用いても良い。これは、電子注入層15eを兼ねた電子輸送層15dであっても同様であり、上述した下地層を構成する材料と同様のものを用いても良い。
Further, as the material (electron transporting compound) of the
(5)阻止層
阻止層としては正孔阻止層及び電子阻止層が挙げられ、発光機能層15として、上記各機能層の他に、更に設けられていても良い。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。
(5) Blocking layer Examples of the blocking layer include a hole blocking layer and an electron blocking layer, and the light emitting
正孔阻止層とは、広い意味では、電子輸送層15dの機能を有する。正孔阻止層は、電子を輸送する機能を有しつつ正孔を輸送する能力が著しく小さい正孔阻止材料からなり、電子を輸送しつつ正孔を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、前記電子輸送層15dの構成を必要に応じて、正孔阻止層として用いることができる。正孔阻止層は、発光層15cに隣接して設けられていることが好ましい。
In a broad sense, the hole blocking layer has the function of the
一方、電子阻止層とは、広い意味では、正孔輸送層15bの機能を有する。電子阻止層は、正孔を輸送する機能を有しつつ電子を輸送する能力が著しく小さい材料からなり、正孔を輸送しつつ電子を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、前記正孔輸送層15bの構成を必要に応じて電子阻止層として用いることができる。本発明において、正孔阻止層の膜厚としては、好ましくは3〜100nmの範囲内であり、さらに好ましくは5〜30nmの範囲内である。
On the other hand, the electron blocking layer has the function of the
<紫外線吸収層21>
紫外線吸収層21は、発光機能層15を構成する層のうちの何れか一層で構成されている。ここでの紫外線吸収層21とは、吸収係数k、屈折率n、および膜厚Zとした場合に(k/n)×Z≧5となる層である。この値は、以下のように、膜厚Zの層に対する波長λの光の吸収度合の指標となる値である。
<Ultraviolet absorbing
The
すなわち、膜厚Zの層に対する波長λの光の透過率は、入射光強度をI0、透過光強度I1、光の角振動数ω、吸収係数k、屈折率n、光速度cとすると、I1/I0=exp(−2ωk/c・Z)=exp(−4πk/λ/n・Z)で表される。したがって、k/n・Zの値が大きいほど、膜厚Zの層(紫外線吸収層21)における波長λの光(紫外線)の透過率が低下して吸収率が上昇することになる。 That is, the transmittance of light having a wavelength λ with respect to a layer having a film thickness Z is I1 when the incident light intensity is I0, the transmitted light intensity I1, the angular frequency ω of light, the absorption coefficient k, the refractive index n, and the light velocity c. / I0 = exp (−2ωk / c · Z) = exp (−4πk / λ / n · Z). Therefore, the larger the value of k / n · Z, the lower the transmittance of light (ultraviolet light) of wavelength λ in the layer with the film thickness Z (ultraviolet absorbing layer 21), and the absorptance increases.
以上のような紫外線吸収層21は、発光機能層15を構成する何れかの一層であり、単独で(k/n)×Z≧5となり得る層であれば何れの層であっても良い。このような紫外線吸収層21は、発光機能層15を構成する層のうち、吸収係数kが高い材料を用いて構成される層であれば、膜厚Zを大きい値にする必要がないため、素子の薄型化および発光特性を確保する点から好ましく、例えば正孔輸送層15bが適用される。
The
正孔輸送層15bを構成する正孔輸送材料として先に例示した化合物は、他の層を構成する化合物よりも吸収係数kが大きいものが多いため、膜厚Zの選択範囲が広く、単独の一層で紫外線吸収層21を構成することが可能である。
Many of the compounds exemplified above as the hole transport material constituting the
<変質部b>
変質部bは、紫外線吸収層21に設けられた領域であり、紫外線の照射によって紫外線吸収層21の一部を変質させた領域であることとする。この変質部bは、有機電界発光素子1における発光領域Aを反転させた領域に対応して設けられている。
<Denatured part b>
The altered portion b is a region provided in the
また有機電界発光素子1には、紫外線吸収層21の変質部bに対応して非発光領域Bがパターン形成されている。この非発光領域Bは、発光領域Aを反転させた領域となっている。
In the organic electroluminescent element 1, a non-light emitting region B is formed in a pattern corresponding to the altered portion b of the
<対向電極17>
対向電極17は、金属透明電極13との間に発光機能層15を挟持する状態で設けられ、金属透明電極13が陽極である場合には陰極として用いられ、金属透明電極13が陰極である場合には陽極として用いられる。この対向電極17は、金属、合金、有機または無機の導電性化合物、及びこれらの混合物のなかから、仕事関数を考慮して適宜に選択された導電性材料を用いて構成される。具体的には、金、アルミニウム、銀、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属、インジウムドープ酸化スズ(ITO)、ZnO、TiO2、SnO2等の酸化物半導体等が挙げられる。
<
The
尚、この有機電界発光素子1が、透明基板11側からのみ発光光hを取り出す構成であれば、上述した導電性材料の中から発光光hの反射特性が良好な材料を選択して対向電極17を構成することが好ましい。一方、この有機電界発光素子1が、対向電極17側からも発光光hを取り出す、両面発光型であれば、上述した導電性材料のうち光透過性の良好な導電性材料を選択して対向電極17を構成すれば良い。
If the organic electroluminescent element 1 is configured to extract the emitted light h only from the
以上のような対向電極17は、選択された導電性材料を蒸着法やスパッタリング法等により成膜される。
The
<封止材>
ここでの図示を省略した封止材は、対向電極17側から有機電界発光素子1を覆うものであって、光透過性を有していてもいなくても良い。ただし、この有機電界発光素子1が、対向電極17側からも発光光hを取り出すものである場合、封止材としては、光透過性を有する透明封止材が用いられる。このような封止材は、板状(フィルム状)の封止部材であって接着剤によって透明基板11側に固定されるものであっても良く、封止膜であっても良い。
<Encapsulant>
The sealing material not shown here covers the organic electroluminescent element 1 from the
以上のような封止材は、有機電界発光素子1における金属透明電極13および対向電極17の端子部分を露出させると共に、少なくとも発光機能層15を覆う状態で設けられている。また封止材に電極を設け、有機電界発光素子1の金属透明電極13および対向電極17の端子部分と、この電極とを導通させるように構成されていても良い。
The sealing material as described above is provided in a state in which the terminal portions of the metal
板状(フィルム状)の封止材を構成する材料としては、例えば、ガラス板、ポリマー板/フィルム、金属板/フィルム等が挙げられる。ガラス板としては、特に、ソーダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、石英等を挙げることができる。また、ポリマー板としては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルファイド、ポリサルフォン等を挙げることができる。金属板としては、ステンレス、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、亜鉛、クロム、チタン、モリブテン、シリコン、ゲルマニウム及びタンタルからなる群から選ばれる一種以上の金属または合金からなるものが挙げられる。 Examples of the material constituting the plate-like (film-like) sealing material include a glass plate, a polymer plate / film, and a metal plate / film. Examples of the glass plate include soda lime glass, barium / strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, and quartz. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide, and polysulfone. Examples of the metal plate include those made of one or more metals or alloys selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, aluminum, magnesium, nickel, zinc, chromium, titanium, molybdenum, silicon, germanium, and tantalum.
なかでも、素子を薄膜化できるということから、封止材としてポリマー基板や金属基板を薄型のフィルム状にしたものを好ましく使用することができる。 In particular, since the element can be thinned, a thin film-like polymer substrate or metal substrate can be preferably used as the sealing material.
更には、フィルム状としたポリマー基板は、JIS K 7126−1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が1×10−3ml/(m2・24h・atm)以下、JIS K 7129−1992に準拠した方法で測定された水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度(90±2)%RH)が、1×10-3g/(m2・24h)以下のものであることが好ましい。 Further, the polymer substrate in the form of a film has an oxygen permeability measured by a method according to JIS K 7126-1987 of 1 × 10 −3 ml / (m 2 · 24 h · atm) or less, and conforms to JIS K 7129-1992. The water vapor permeability (25 ± 0.5 ° C., relative humidity (90 ± 2)% RH) measured by a compliant method is 1 × 10 −3 g / (m 2 · 24 h) or less. preferable.
また、以上のような基板材料は、凹板状に加工して封止材として用いても良い。この場合、上述した基板部材に対して、サンドブラスト加工、化学エッチング加工等の加工が施され、凹状が形成される。 Further, the above substrate material may be processed into a concave plate shape and used as a sealing material. In this case, the substrate member described above is subjected to processing such as sandblasting and chemical etching to form a concave shape.
また、板状の封止材を透明基板11側に固定するための接着剤としては、封止材と透明基板11との間に挟持された有機電界発光素子1を封止するためのシール剤として用いられる。このような接着剤は、具体的には、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステル等の湿気硬化型等の接着剤を挙げることができる。
Further, as an adhesive for fixing the plate-shaped sealing material to the
また、このような接着剤としては、エポキシ系等の熱及び化学硬化型(二液混合)を挙げることができる。また、ホットメルト型のポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィンを挙げることができる。また、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を挙げることができる。 Moreover, as such an adhesive agent, the heat | fever and chemical curing types (two-component mixing), such as an epoxy type, can be mentioned. Moreover, hot-melt type polyamide, polyester, and polyolefin can be mentioned. Moreover, a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive can be mentioned.
尚、有機電界発光素子1を構成する有機材料は、熱処理により劣化する場合がある。このため、接着剤は、室温から80℃までに接着硬化できるものが好ましい。また、接着剤中に乾燥剤を分散させておいても良い。 In addition, the organic material which comprises the organic electroluminescent element 1 may deteriorate with heat processing. For this reason, an adhesive that can be adhesively cured from room temperature to 80 ° C. is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive.
封止材と透明基板11との接着部分への接着剤の塗布は、市販のディスペンサーを使っても良いし、スクリーン印刷のように印刷しても良い。
Application | coating of the adhesive agent to the adhesion part of a sealing material and the
また、板状の封止材と透明基板11と接着剤との間に隙間が形成される場合、この間隙には、気相及び液相では、窒素、アルゴン等の不活性気体やフッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することが好ましい。また、真空とすることも可能である。また、内部に吸湿性化合物を封入することもできる。
In addition, when a gap is formed between the plate-shaped sealing material, the
吸湿性化合物としては、例えば、金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、ヨウ化バリウム、ヨウ化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば、過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等が挙げられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物及び過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。 Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (for example, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide) and sulfates (for example, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate). Etc.), metal halides (eg calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide etc.), perchloric acids (eg perchloric acid) Barium, magnesium perchlorate, and the like), and anhydrous salts are preferably used in sulfates, metal halides, and perchloric acids.
一方、封止材として封止膜を用いる場合、有機電界発光素子1における発光機能層15を完全に覆い、かつ有機電界発光素子1における金属透明電極13および対向電極17の端子部分を露出させる状態で、透明基板11上に封止膜が設けられる。
On the other hand, when the sealing film is used as the sealing material, the light emitting
このような封止膜は、無機材料や有機材料を用いて構成される。特に、水分や酸素等、有機電界発光素子1における発光機能層15の劣化をもたらす物質の浸入を抑制する機能を有する材料で構成されることとする。このような材料として、例えば、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素等の無機材料が用いられる。更に、封止膜の脆弱性を改良するために、これら無機材料からなる膜とともに、有機材料からなる膜を用いて積層構造としても良い。
Such a sealing film is configured using an inorganic material or an organic material. In particular, it is made of a material having a function of suppressing intrusion of a substance that causes deterioration of the light emitting
これらの膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができる。 The method for forming these films is not particularly limited. For example, vacuum deposition method, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma A polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.
<その他>
以上の他、有機電界発光素子1は、透明基板11との間に封止材を挟んで保護部材を設けても良い。この保護部材は、有機電界発光素子1を機械的に保護するためのものであり、特に封止材が封止膜である場合には、有機電界発光素子1に対する機械的な保護が十分ではないため、このような保護部材を設けることが好ましい。
<Others>
In addition to the above, the organic electroluminescent element 1 may be provided with a protective member with a sealing material interposed between the
以上のような保護部材は、ガラス板、ポリマー板、これよりも薄型のポリマーフィルム、金属板、これよりも薄型の金属フィルム、またはポリマー材料膜や金属材料膜が適用される。このうち特に、軽量かつ薄膜化ということからポリマーフィルムを用いることが好ましい。 A glass plate, a polymer plate, a thinner polymer film, a metal plate, a thinner metal film, a polymer material film or a metal material film is applied to the protective member as described above. Among these, it is particularly preferable to use a polymer film because it is light and thin.
また有機電界発光素子1は、発光機能層15において発生させた発光光hを、効率良く取り出すための光取り出し層を、必要に応じて必要部分に設けたものであっても良い。
Moreover, the organic electroluminescent element 1 may be provided with a light extraction layer for efficiently extracting the emitted light h generated in the light emitting
≪有機電界発光素子の製造方法≫
図3および図4は、上述した有機電界発光素子の製造方法を説明するための断面工程図である。以下、これらの図に基づいて図1に示した有機電界発光素子1を例に取り、本発明の有機電界発光素子の製造方法を説明する。
≪Method for manufacturing organic electroluminescent element≫
3 and 4 are cross-sectional process diagrams for explaining the method of manufacturing the organic electroluminescent element described above. Hereinafter, based on these drawings, the organic electroluminescence device 1 shown in FIG. 1 is taken as an example, and the method for producing the organic electroluminescence device of the present invention will be described.
<積層工程>
先ず、図3に示すように、透明基板11上に金属透明電極13、発光機能層15、および対向電極17をこの順に形成する。ただし、金属透明電極13の形成前には、前処理として、ここでの図示を省略した下地層を形成しても良い。
<Lamination process>
First, as shown in FIG. 3, the metal
下地層の形成においては、例えば、窒素原子を含んだ含窒素化合物からなる下地層を、1μm以下、好ましくは10〜100nmの範囲内の層厚になるように蒸着法等の薄膜形成方法により形成する。 In the formation of the underlayer, for example, the underlayer made of a nitrogen-containing compound containing nitrogen atoms is formed by a thin film forming method such as a vapor deposition method so as to have a layer thickness of 1 μm or less, preferably 10 to 100 nm. To do.
その後、銀、または銀を主成分とする合金からなる金属透明電極13を、好ましくは5〜20nmの層厚の範囲内で、蒸着法等の薄膜形成方法により下地層上に形成する。この際、必要に応じて例えばマスクを用いた成膜を行うことにより、透明基板11の周縁に端子部分を引き出した形状に金属透明電極13を形成する。
Thereafter, the metal
次に、金属透明電極13上に、正孔注入層15a、正孔輸送層15b、発光層15c、電子輸送層15d、および電子注入層15eを、この順に積層成膜して発光機能層15を形成する。この際、発光機能層15を構成する何れかの一層が紫外線吸収層21となるように、各層の材料および膜厚を設定する。
Next, the
例えば図示した例においては、正孔輸送層15bについて、これを構成する正孔輸送材料の吸収係数kおよび屈折率nを考慮して、(k/n)×Z≧5となるように膜厚Zを設定し、この正孔輸送層15bを紫外線吸収層21として形成する。これに対して、正孔輸送層15b以外の層は、それぞれの吸収係数kおよび屈折率nを考慮して、(k/n)×Z<5となるように各膜厚Zを設定する。
For example, in the illustrated example, the film thickness of the
これらの発光機能層15を構成する各層の形成に蒸着法を適用する場合、その蒸着条件は使用する化合物の種類等により異なるが、おおむね、ボート加熱温度として50〜450℃の範囲内、真空度として1×10-6〜1×10-2Paの範囲内、蒸着速度として0.01〜50nm/秒の範囲内、樹脂基板の温度として−50〜300℃の範囲内、層厚として0.1〜5μmの範囲内で、各条件を適宜選択して形成することが好ましい。この際、必要に応じて例えばマスクを用いた成膜を行うことにより、金属透明電極13の端子部分を露出させる形状に発光機能層15を構成する各層を形成する。
When a vapor deposition method is applied to the formation of each layer constituting these light emitting
以上のようにして発光機能層15を形成した後、発光機能層15の上部に、蒸着法やスパッタ法などの適宜の薄膜形成方法によって対向電極17を形成する。この際、必要に応じて例えばマスクを用いた成膜を行うことにより、発光機能層15によって金属透明電極13との間の絶縁状態を保ちつつ、透明基板11の周縁に端子部分を引き出した形状に対向電極17を形成する。
After the light emitting
以上により、金属透明電極13と対向電極17とで発光機能層15を挟持した素子領域aを形成し、素子領域aから金属透明電極13および対向電極17の端子を引き出した素子構造体10を形成する。
Thus, the element region a in which the light emitting
尚、上述した下地層、金属透明電極13〜対向電極17の形成は、各層を成膜した後に、成膜された各層を所定形状にパターニングするようにしても良い。また金属透明電極13の形成前後には、必要に応じて補助電極のパターン形成を行っても良い。
In addition, formation of the base layer and the metal
また以上の積層工程は、1回の真空引きで一貫して下地層、金属透明電極13〜対向電極17までを形成する手順が好ましいが、途中で真空雰囲気から透明基板11を取り出して異なる形成法を施しても構わない。その際、作業を乾燥不活性ガス雰囲気下で行う等の配慮が必要となる。
In addition, the above-described lamination process is preferably a procedure in which the underlayer and the metal
<封止工程>
上記積層工程の後には、対向電極17側からの封止を行う。ここでは、金属透明電極13および対向電極17の端子部分を露出させた状態で、透明基板11との間に金属透明電極13〜対向電極17の積層体を覆うように封止材を設ける。
<Sealing process>
After the lamination step, sealing from the
<パターン形成工程>
図4に示すように、上述した積層工程と封止工程との間、または封止工程の後に、紫外線照射によるパターン形成工程を行う。ここでは、素子構造体10の透明基板11側からの紫外線UVの照射により、発光機能層15に設けた紫外線吸収層21を部分的に変質させ、紫外線吸収層21に変質部bを形成し、変質部bに対応する領域を非発光領域Bとする。
<Pattern formation process>
As shown in FIG. 4, the pattern formation process by ultraviolet irradiation is performed between the laminating process and the sealing process described above or after the sealing process. Here, the
尚、このパターン形成工程は、積層工程の後であれば、封止工程の前に行っても良いが、封止工程の後に行うようにすることで、大気中での紫外線照射が可能となるため、工程の簡略化及び製造コストの低減を図ることができる観点から好ましい。 The pattern forming step may be performed before the sealing step as long as it is after the laminating step. However, by performing the pattern forming step after the sealing step, ultraviolet irradiation in the atmosphere becomes possible. Therefore, it is preferable from the viewpoint of simplifying the process and reducing the manufacturing cost.
このパターン形成工程では、素子領域a内に発光領域Aを設定し、この発光領域Aを反転させた領域に対して、選択的に紫外線UVを照射する。この際、図示したように、発光領域Aを覆う遮光マスク23を介して紫外線UVを一括照射するか、または照射領域内を塗りつぶすようにスポット形状の紫外線UVを描画照射する。
In this pattern formation step, a light emitting region A is set in the element region a, and ultraviolet light UV is selectively irradiated to a region obtained by inverting the light emitting region A. At this time, as shown in the figure, ultraviolet rays UV are collectively irradiated through the
紫外線UVの照射条件としては、紫外線吸収層21における紫外線UVの照射部分が十分に変質した変質部bとなり、素子領域aにおいてこの変質部bに対応する部分が非発光領域Bとなり、それ以外の部分が発光領域Aとなるのに十分な照射量で行われることとする。具体的な一例としては、非発光領域Bの輝度が、発光領域Aの輝度に対して1/100程度になる照射量で行われる。またこのような紫外線UVの照射は、紫外線UVの照射によって透明基板11が変色しない範囲で行われる。
As the irradiation conditions of the ultraviolet rays UV, the irradiated portion of the
以上のような紫外線の照射条件は、紫外線吸収層21における紫外線UVの吸収率を考慮し、紫外線の光量および波長によって調整される。
The ultraviolet irradiation conditions as described above are adjusted by the light amount and wavelength of the ultraviolet rays in consideration of the absorption rate of the ultraviolet rays UV in the
パターン形成工程において照射される紫外線UVは、波長がX線よりも長く、可視光の最短波長よりも短い電磁波をいい、具体的には波長領域が、1〜400nmの範囲内である。パターン形成工程においては、紫外線UVの他、可視光または赤外線が含まれていても良い。 The ultraviolet ray UV irradiated in the pattern forming step refers to an electromagnetic wave having a wavelength longer than that of X-rays and shorter than the shortest wavelength of visible light. Specifically, the wavelength region is in the range of 1 to 400 nm. In the pattern forming step, visible light or infrared light may be included in addition to ultraviolet UV.
紫外線UVの発生手段及び照射手段としては、従来公知の照射装置等を用いて光を発生させて、所定の領域に照射することができる方法であれば、特に限定されない。 There are no particular limitations on the means for generating and irradiating ultraviolet light UV as long as it is a method capable of generating light using a conventionally known irradiation apparatus or the like and irradiating a predetermined region.
本発明に適用可能な光源としては、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水素(重水素)ランプ、希ガス(キセノン、アルゴン、ヘリウム、ネオンなど)放電ランプ、窒素レーザー、エキシマレーザー(XeCl、XeF、KrF、KrClなど)、水素レーザー、ハロゲンレーザー等が挙げられる。 As a light source applicable to the present invention, a high pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a hydrogen (deuterium) lamp, a rare gas (xenon, argon, helium, neon, etc.) discharge lamp, a nitrogen laser, an excimer laser (XeCl, XeF, KrF, KrCl, etc.), hydrogen laser, halogen laser and the like.
以上のようなパターン形成工程により、図1および図2に示したように、所望の発光領域Aがパターン形成された有機電界発光素子1を製造することができる。 Through the pattern forming process as described above, as shown in FIGS. 1 and 2, the organic electroluminescent element 1 in which a desired light emitting region A is patterned can be manufactured.
このようにして得られた有機電界発光素子1の駆動においては、金属透明電極13および対向電極17のうち、陽極側(ここでは金属透明電極13)を+の極性とし、陰極側(ここでは対向電極17)を−の極性として、電圧2〜40V程度を印加すると発光が観測できる。また、交流電圧を印加しても良い。尚、印加する交流の波形は任意で良い。
In driving the organic electroluminescent element 1 obtained in this way, the anode side (here, the metal transparent electrode 13) of the metal
試料101〜試料110のボトムエミッション型の各有機電界発光素子を作製した。先ず、試料101〜試料110の作製における積層工程〜封止工程までを説明する。下記表1には、発光機能層を構成する各層の物性値として、吸収係数k、屈折率n、膜厚Z、これから算出される(k/n)×Zの値、および透過率T(%)を示した。 The bottom emission type organic electroluminescent elements of Sample 101 to Sample 110 were produced. First, a stacking process to a sealing process in manufacturing Samples 101 to 110 will be described. In Table 1 below, as physical properties of each layer constituting the light emitting functional layer, an absorption coefficient k, a refractive index n, a film thickness Z, a value calculated from this (k / n) × Z, and a transmittance T (% )showed that.
<試料101の作製>
(樹脂基材の準備)
樹脂基材として、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、厚さ:125μm、幅:350mm、Tg:110℃)を準備した。
<Preparation of Sample 101>
(Preparation of resin base material)
A biaxially stretched polyethylene terephthalate film (PET film, thickness: 125 μm, width: 350 mm, Tg: 110 ° C.) was prepared as a resin substrate.
(バリアー層の形成)
上記樹脂基材の一主面上に、特開2012−599号公報の実施例1に記載のバリアーフィルム試料1と同様にしてバリアー層を形成し、樹脂基材上にバリアー層を設けた透明基板を作製した。
(Formation of barrier layer)
A transparent layer in which a barrier layer is formed on one main surface of the resin substrate in the same manner as the barrier film sample 1 described in Example 1 of JP2012-599A, and the barrier layer is provided on the resin substrate. A substrate was produced.
(下地層の形成)
透明基板を真空蒸着装置内に移し、バリアー層上に、下記含窒素化合物N−1を25nmの厚さで蒸着して下地層を形成した。
(Formation of underlayer)
The transparent substrate was transferred into a vacuum deposition apparatus, and the following nitrogen-containing compound N-1 was deposited on the barrier layer with a thickness of 25 nm to form a base layer.
(金属透明電極の形成)
次いで、マスクを介して銀を10nmの厚さで蒸着し、金属透明電極を形成した。この金属透明電極は、有機電界発光素子の陽極として形成した。
(Formation of metal transparent electrode)
Subsequently, silver was vapor-deposited with the thickness of 10 nm through the mask, and the metal transparent electrode was formed. This metal transparent electrode was formed as the anode of the organic electroluminescent element.
(発光機能層の形成)
次いで、真空蒸着装置内に装備されている蒸着用るつぼの各々に、正孔注入材料として下記化合物L−1を、正孔輸送材料として下記化合物M−1を、緑色発光層のホスト化合物として下記化合物H−1を、緑色発光層のドーパントとして下記化合物GD−1を、電子輸送材料として下記化合物E−1を、電子注入材料としてフッ化リチウム(LiF)を、各層の成膜に最適の量を充填した。蒸着用るつぼとしては、モリブデン製またはタングステン製抵抗加熱用材料で作製されたものを用いた。
(Formation of light emitting functional layer)
Next, in each of the vapor deposition crucibles equipped in the vacuum vapor deposition apparatus, the following compound L-1 as a hole injection material, the following compound M-1 as a hole transport material, and the following as a host compound of a green light emitting layer: Compound H-1 as the dopant for the green light emitting layer, the following compound GD-1, the following compound E-1 as the electron transporting material, lithium fluoride (LiF) as the electron injecting material, and the optimum amounts for forming each layer Filled. As the evaporation crucible, one made of a resistance heating material made of molybdenum or tungsten was used.
次いで、真空蒸着装置内の真空度として4×10-4Paまで減圧した後、化合物L−1の入った蒸着用るつぼを通電及び加熱して、化合物L−1を蒸着速度0.1nm/秒で透明金属電極上に蒸着した。これにより、吸収係数k=0.22、屈折率n=2.28、膜厚Z=10nmの正孔注入層を設けた。 Subsequently, after reducing the pressure in the vacuum deposition apparatus to 4 × 10 −4 Pa, the deposition crucible containing the compound L-1 was energized and heated to deposit the compound L-1 at a deposition rate of 0.1 nm / second. On a transparent metal electrode. Thus, a hole injection layer having an absorption coefficient k = 0.22, a refractive index n = 2.28, and a film thickness Z = 10 nm was provided.
次いで、化合物M−1の入った上記蒸着用るつぼを通電及び加熱して、化合物M−1を蒸着速度0.1nm/秒で正孔注入層上に蒸着した。これにより、吸収係数k=0.40、屈折率n=2.00、膜厚Z=10nmの正孔輸送層を設けた。 Subsequently, the said crucible for vapor deposition containing the compound M-1 was electrically supplied and heated, and the compound M-1 was vapor-deposited on the positive hole injection layer with the vapor deposition rate of 0.1 nm / sec. Thus, a hole transport layer having an absorption coefficient k = 0.40, a refractive index n = 2.00, and a film thickness Z = 10 nm was provided.
次いで、化合物GD−1及び化合物H−1を、化合物GD−1が5%の濃度になるように蒸着速度0.1nm/秒で共蒸着した。これにより、吸収係数k=0.125、屈折率n=1.79、膜厚Z=30nmの緑色発光を呈する発光層を形成した。 Next, Compound GD-1 and Compound H-1 were co-deposited at a deposition rate of 0.1 nm / second so that Compound GD-1 had a concentration of 5%. Thus, a light emitting layer exhibiting green light emission having an absorption coefficient k = 0.125, a refractive index n = 1.79, and a film thickness Z = 30 nm was formed.
次いで、化合物E−1を蒸着速度0.1nm/秒で発光層上に蒸着した。これにより、吸収係数k=0.036、屈折率n=2.03、膜厚Z=30nmの電子輸送層を形成した。 Next, Compound E-1 was deposited on the light emitting layer at a deposition rate of 0.1 nm / second. Thus, an electron transport layer having an absorption coefficient k = 0.036, a refractive index n = 2.03, and a film thickness Z = 30 nm was formed.
さらに、LiFの入った前記蒸着用るつぼに通電して加熱し、LiFを蒸着速度0.05nm/秒で電子輸送層上に蒸着した。これにより、吸収係数k=0.00、屈折率n=1.40、膜厚Z=1nmの電子注入層を設けた。 Further, the deposition crucible containing LiF was energized and heated to deposit LiF on the electron transport layer at a deposition rate of 0.05 nm / second. Thus, an electron injection layer having an absorption coefficient k = 0.00, a refractive index n = 1.40, and a film thickness Z = 1 nm was provided.
以上のようにして、(k/n)×Z<5の各層のみで構成された発光機能層を形成した。 As described above, a light emitting functional layer composed only of each layer of (k / n) × Z <5 was formed.
(対向電極の形成)
その後、アルミニウムを電子注入層上に蒸着し、層厚110nmの対向電極を陰極として形成した。
(Formation of counter electrode)
Thereafter, aluminum was deposited on the electron injection layer to form a counter electrode having a layer thickness of 110 nm as a cathode.
(封止工程)
透明基板における対向電極までの形成面側を厚さ300μmのエポキシ樹脂で覆って封止材とし、更に厚さ12μmのアルミニウム箔で覆って保護膜とした後、エポキシ樹脂を硬化させた。ここまでの操作は全て、透明基板を大気雰囲気に接触させることなく、窒素雰囲気下のグローブボックス(純度99.999%以上の高純度窒素ガスの雰囲気下)内で行った。以上により、素子構造体を形成した。
(Sealing process)
The surface of the transparent substrate up to the counter electrode was covered with an epoxy resin having a thickness of 300 μm to form a sealing material, and further covered with an aluminum foil having a thickness of 12 μm to form a protective film, and then the epoxy resin was cured. All the operations so far were performed in a glove box (in an atmosphere of high-purity nitrogen gas having a purity of 99.999% or more) in a nitrogen atmosphere without bringing the transparent substrate into contact with the air atmosphere. Thus, an element structure was formed.
<試料102〜試料107の作製>
上述した試料101の素子構造体までの形成において、正孔輸送材料を下記化合物M−2に変更した。これにより、下記表1に示すように、吸収係数k=0.49、屈折率n=1.88、膜厚Z=20nm〜330nmの各値を有する正孔輸送層を、試料102〜試料107のそれぞれにおいて形成した。形成された各正孔輸送層は、物性値(k/n)×Z≧5の紫外線吸収層となる。これ以外は、試料101の作製と同様の手順で試料102〜試料107の作製を行った。
<Preparation of Sample 102 to Sample 107>
In the formation of the element structure of the sample 101 described above, the hole transport material was changed to the following compound M-2. As a result, as shown in Table 1 below, the hole transport layers having the absorption coefficient k = 0.49, the refractive index n = 1.88, and the film thickness Z = 20 nm to 330 nm are converted into samples 102 to 107, respectively. Formed in each of the. Each of the formed hole transport layers becomes an ultraviolet absorption layer having physical properties (k / n) × Z ≧ 5. Except for this, Sample 102 to Sample 107 were prepared in the same procedure as Sample 101.
<試料108の作製>
上述した試料101の作製において、正孔注入層の膜厚をZ=55nmに変更したことで、物性値(k/n)×Z≧5の紫外線吸収層となる正孔注入層を形成した。これ以外は、試料101の作製と同様の手順で試料108の作製を行った。
<Preparation of Sample 108>
In the preparation of the sample 101 described above, the hole injection layer serving as an ultraviolet absorption layer having a physical property value (k / n) × Z ≧ 5 was formed by changing the film thickness of the hole injection layer to Z = 55 nm. Except for this, the sample 108 was manufactured in the same procedure as the sample 101.
<試料109の作製>
上述した試料101の作製において、発光層の膜厚をZ=75nmに変更したことで、物性値(k/n)×Z≧5の紫外線吸収層となる発光層を形成した。これ以外は、試料101の作製と同様の手順で試料109の作製を行った。
<Preparation of Sample 109>
In the preparation of the sample 101 described above, the light emitting layer serving as the ultraviolet absorption layer having the physical property value (k / n) × Z ≧ 5 was formed by changing the film thickness of the light emitting layer to Z = 75 nm. Except for this, the sample 109 was manufactured in the same procedure as the sample 101.
<試料110の作製>
上述した試料101の作製において、電子輸送材料を下記化合物E−2に変更した。これにより、下記表1に示すように、吸収係数k=0.089、屈折率n=1.65、膜厚Z=95nmの電子輸送層を形成した。形成された電子輸送層は、物性値(k/n)×Z≧5の紫外線吸収層となる。これ以外は、試料101の作製と同様の手順で試料110の作製を行った。
<Preparation of Sample 110>
In the preparation of the sample 101 described above, the electron transport material was changed to the following compound E-2. As a result, as shown in Table 1 below, an electron transport layer having an absorption coefficient k = 0.089, a refractive index n = 1.65, and a film thickness Z = 95 nm was formed. The formed electron transport layer is an ultraviolet absorption layer having physical properties (k / n) × Z ≧ 5. Except for this, the sample 110 was manufactured in the same procedure as the sample 101.
尚、上記表1には、各層の紫外線透過率も合わせて示した。 In Table 1, the ultraviolet transmittance of each layer is also shown.
<試料101〜試料110に対するパターン形成工程>
以上のようにして作製した上記試料101〜110の各素子構造体に対して、透明基板における発光機能層他を設けた面とは反対側の面、すなわち図1に示す光取り出し面10a側に、紫外線吸収フィルター(五鈴精工硝子株式会社製)を用いたマスクを配置して減圧密着させた。この紫外線吸収フィルターは、320nm以下の波長成分の光透過率が50%以下のものである。また、この紫外線吸収フィルターを用いたマスクには、発光領域に対応する開口部が設けられており、この開口部から光取り出し面10aに紫外線UVが照射される構成となっている。
<Pattern formation process for sample 101 to sample 110>
With respect to each of the element structures of the samples 101 to 110 manufactured as described above, the surface opposite to the surface provided with the light emitting functional layer and the like in the transparent substrate, that is, the
次いで、UVテスター(岩崎電気株式会社製、SUV−W151:100mW/cm2)を用いて、透明基板11の光取り出し面10a側から紫外線を照射し、紫外線の照射部を非発光領域Bとし、それ以外を発光領域Aとしてパターン形成した各有機電界発光素子を作製した。
Next, using a UV tester (Iwasaki Electric Co., Ltd., SUV-W151: 100 mW / cm 2 ), ultraviolet light is irradiated from the
<(1)輝度比の評価>
以上のようなパターン形成工程における紫外線UVの照射を5時間行なった各有機電界発光素子について、紫外線を非照射とした発光領域Aの輝度が500cd/cm2となる電流で定電流駆動させ、紫外線照射部(非発光領域B)の輝度を測定した。非発光領域Bの輝度の測定結果を、発光領域Aの輝度を100とした相対値として算出し、下記表2に示した。
<(1) Evaluation of luminance ratio>
Each organic electroluminescent element that has been irradiated with ultraviolet rays UV for 5 hours in the pattern forming process as described above is driven at a constant current with a current at which the luminance of the light-emitting region A that is not irradiated with ultraviolet rays is 500 cd / cm 2. The luminance of the irradiated part (non-light emitting area B) was measured. The measurement result of the luminance of the non-light emitting region B was calculated as a relative value with the luminance of the light emitting region A as 100, and is shown in Table 2 below.
<(2)照射時間の評価>
上述した輝度比の評価に引き続き、さらに紫外線UVの照射を続行し、非発光領域Bの輝度が発光領域Aの輝度の1/100になるまでの照射時間を調べ、下記表2に示した。
<(2) Evaluation of irradiation time>
Following the above-described evaluation of the luminance ratio, the irradiation with the ultraviolet ray UV was further continued, and the irradiation time until the luminance of the non-light emitting region B became 1/100 of the luminance of the light emitting region A was examined.
<(3)色度差の評価>
上述した照射時間の評価を行った各有機電界発光素子について、非発光時における発光領域Aと非発光領域Bの色度を測定した。各色度の測定には自動測色計(コニカミノルタ社製、CM−2600D)を用いた。測定した結果は、色度差(Δb)として下記表2に示した。
<(3) Evaluation of chromaticity difference>
About each organic electroluminescent element which evaluated the irradiation time mentioned above, the chromaticity of the light emission area | region A and the non-light emission area | region B at the time of non-light emission was measured. An automatic colorimeter (Konica Minolta, CM-2600D) was used to measure each chromaticity. The measured results are shown in Table 2 below as chromaticity difference (Δb).
<(4)駆動電圧の評価>
上述した照射時間の評価を行った各有機電界発光素子について、−20℃の環境下で発光領域Aの輝度が1000cd/cm2となる駆動電圧を測定した。測定結果は下記表2に示した。
<(4) Evaluation of drive voltage>
About each organic electroluminescent element which evaluated irradiation time mentioned above, the drive voltage from which the brightness | luminance of the light emission area | region A was set to 1000 cd / cm < 2 > was measured in -20 degreeC environment. The measurement results are shown in Table 2 below.
尚、以上の評価における輝度の測定は、分光放射輝度計CS−2000(コニカミノルタ社製)を用いて測定した。 In addition, the measurement of the brightness | luminance in the above evaluation was measured using the spectral radiance meter CS-2000 (made by Konica Minolta).
<評価結果>
上記表2に示すように、試料102〜試料110の有機電界発光素子、すなわち発光機能層を構成する何れかの一層が物性値(k/n)×Z≧5の紫外線吸収層である本発明構成の有機電界発光素子は、試料101の有機電界発光素子と比較して、(1)輝度比が小さく、(2)照射時間が短いことから、紫外線の照射によって効率的に輝度を低下させて発光領域Aと非発光領域Bとをパターン形成できることが確認された。また(3)色度差(Δb)も小さく、紫外線照射による透明基板(樹脂基材)の劣化による変色も小さく抑えられることが確認された。
<Evaluation results>
As shown in Table 2 above, the organic electroluminescent elements of Samples 102 to 110, that is, any one of the layers constituting the light emitting functional layer is an ultraviolet absorbing layer having a physical property value (k / n) × Z ≧ 5. Compared with the organic electroluminescent element of the sample 101, the organic electroluminescent element having the configuration has (1) a small luminance ratio and (2) a short irradiation time. It was confirmed that the light-emitting area A and the non-light-emitting area B can be patterned. It was also confirmed that (3) the chromaticity difference (Δb) was small, and the discoloration due to the deterioration of the transparent substrate (resin base material) due to ultraviolet irradiation could be suppressed to a small level.
また物性値(k/n)×Zの値が大きいほど、(1)輝度比が小さく、(2)照射時間が短く、(3)色度差(Δb)が小さい傾向が見られたことから、物性値(k/n)×Zの値が大きいほど効率的に発光領域Aと非発光領域Bとをパターン形成できることが確認された。さらに(4)駆動電圧を見ると、試料102〜試料110の本発明構成の有機電界発光素子は、一般的に駆動電圧が上がる低温環境下でも駆動電圧5V以下での駆動が可能であることが確認された。そして物性値(k/n)×Z≦85であれば、駆動電圧を4V未満に抑えることができるため、物性値は5≦(k/n)×Z≦85が好ましいと言える。 In addition, as the value of physical property value (k / n) × Z was larger, (1) the luminance ratio was smaller, (2) the irradiation time was shorter, and (3) the chromaticity difference (Δb) tended to be smaller. It was confirmed that the larger the physical property value (k / n) × Z, the more efficiently the light emitting area A and the non-light emitting area B can be patterned. Further, when looking at the drive voltage (4), the organic electroluminescent elements of the present invention configuration of Samples 102 to 110 can be driven at a drive voltage of 5 V or less even in a low temperature environment where the drive voltage generally increases. confirmed. If the physical property value (k / n) × Z ≦ 85, the drive voltage can be suppressed to less than 4 V, and thus it can be said that the physical property value is preferably 5 ≦ (k / n) × Z ≦ 85.
また試料102〜試料107の評価結果に見られるように、吸収係数kが大きい材料で構成される正孔輸送層を紫外線吸収層とすることにより、膜厚Zの調整によって物性値(k/n)×Zを広い範囲で任意に設定できる。 Further, as can be seen from the evaluation results of the samples 102 to 107, the physical property value (k / n) can be obtained by adjusting the film thickness Z by using a hole transport layer made of a material having a large absorption coefficient k as an ultraviolet absorption layer. ) × Z can be arbitrarily set within a wide range.
1…有機電界発光素子、11…透明基板、13…金属透明電極、15…発光機能層、15a…正孔注入層、15b…正孔輸送層(紫外線吸収層)、15c…発光層、15d…電子輸送層、15e…電子注入層、17…対向電極(光反射性電極)、21…紫外線吸収層、23…マスク、A…発光領域、B…非発光領域、b…変質部、uv…紫外線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Organic electroluminescent element, 11 ... Transparent substrate, 13 ... Metal transparent electrode, 15 ... Light emission functional layer, 15a ... Hole injection layer, 15b ... Hole transport layer (ultraviolet absorption layer), 15c ... Light emitting layer, 15d ... Electron transport layer, 15e ... Electron injection layer, 17 ... Counter electrode (light reflective electrode), 21 ... UV absorbing layer, 23 ... Mask, A ... Light emitting region, B ... Non-light emitting region, b ... Altered portion, uv ... Ultraviolet light
Claims (8)
前記透明基板の一主面側に設けられた金属透明電極と、
発光層を含む複数の層を有し、前記金属透明電極を介して前記透明基板の一主面側に設けられた発光機能層と、
前記発光機能層を介して前記透明基板の一主面側に設けられた対向電極とを備え、
前記発光機能層は、前記発光層を含む複数の層のうちの何れか一層のみを紫外線吸収層とし、
前記紫外線吸収層は、吸収係数k、屈折率n、および膜厚Z[nm]とした場合に(k/n)×Z≧5となる層であって、前記紫外線吸収層のみが紫外線の照射による変質部を有し、
前記変質部に対応して非発光領域がパターン形成された
有機電界発光素子。 A transparent substrate;
A metal transparent electrode provided on one main surface side of the transparent substrate;
A plurality of layers including a light emitting layer, and a light emitting functional layer provided on one main surface side of the transparent substrate via the metal transparent electrode;
A counter electrode provided on one main surface side of the transparent substrate through the light emitting functional layer,
The light emitting functional layer is an ultraviolet absorbing layer only one of a plurality of layers including the light emitting layer,
The ultraviolet absorbing layer, the absorption coefficient k, the refractive index n, and when the film thickness was set to Z [nm] a layer serving as a (k / n) × Z ≧ 5, irradiation only the ultraviolet absorbing layer of ultraviolet It has an altered part due to
An organic electroluminescence device in which a non-light emitting region is patterned corresponding to the altered portion.
請求項1記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the metal transparent electrode contains silver as a main component.
請求項1または2記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the counter electrode is a light reflective electrode.
請求項1〜3の何れかに記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the transparent substrate is made of a resin material.
請求項1〜4の何れかに記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the ultraviolet absorbing layer is a hole transport layer.
請求項1〜5の何れかに記載の有機電界発光素子。 The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein (k / n) × Z ≦ 85.
紫外線の照射によって前記発光機能層を部分的に変質させた非発光領域をパターン形成する工程とを有し、
前記発光機能層を形成する工程では、前記発光機能層を構成する何れか一層のみを、吸収係数k、屈折率n、および膜厚Z[nm]とした場合に(k/n)×Z≧5となる紫外線吸収層として形成し、
前記非発光領域をパターン形成する工程では、前記透明基板側から前記金属透明電極を介して紫外線を照射することにより前記紫外線吸収層のみに変質部を形成する
有機電界発光素子の製造方法。 Laminating a metal transparent electrode, a light emitting functional layer having a plurality of layers including a light emitting layer, and a counter electrode in this order on a transparent substrate;
A step of patterning a non-light-emitting region in which the light-emitting functional layer is partially altered by irradiation with ultraviolet rays,
In the step of forming the light emitting functional layer, when only one layer constituting the light emitting functional layer has an absorption coefficient k, a refractive index n, and a film thickness Z [nm] , (k / n) × Z ≧ Formed as an ultraviolet absorbing layer to be 5,
In the step of patterning the non-light-emitting region, a method for producing an organic electroluminescence device, wherein an altered portion is formed only in the ultraviolet absorbing layer by irradiating ultraviolet rays from the transparent substrate side through the metal transparent electrode.
請求項7記載の有機電界発光素子の製造方法。 The method of manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 7, wherein the irradiation with ultraviolet light is performed through a mask that opens the non-light-emitting region.
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