JP5572081B2 - Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device - Google Patents

Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device Download PDF

Info

Publication number
JP5572081B2
JP5572081B2 JP2010286744A JP2010286744A JP5572081B2 JP 5572081 B2 JP5572081 B2 JP 5572081B2 JP 2010286744 A JP2010286744 A JP 2010286744A JP 2010286744 A JP2010286744 A JP 2010286744A JP 5572081 B2 JP5572081 B2 JP 5572081B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic electroluminescent
layer
electroluminescent element
electron
hole injection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010286744A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012134071A (en
Inventor
祐 佐藤
Original Assignee
ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド filed Critical ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド
Priority to JP2010286744A priority Critical patent/JP5572081B2/en
Publication of JP2012134071A publication Critical patent/JP2012134071A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5572081B2 publication Critical patent/JP5572081B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

本発明は、有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic electroluminescent element and an organic electroluminescent element.

有機電界発光素子は、面発光が可能であることから、次世代のディスプレイ、照明デバイス、バックライトとして期待されている。有機電界発光素子を用いたディスプレイに文字乃至画像の発光パターンを表示するためには、電極若しくは有機電界発光素子を表示パターン状に加工して発光させる方法、又は電極をマトリックス状に加工して駆動回路を用いて発光表示させる方法が用いられている。前者の方法と後者の方法とは、有機電界発光素子の使用目的、製造コストなどに応じて使い分けられるが、例えば、前者では、特定のパターンしか表示できないものの、パターニングに伴う高度な微細加工技術、並びに複雑な配線及び駆動回路が不要であり、低コストで発光性の広告、固定表示装置などを作製することができる。   Organic electroluminescent elements are expected as next-generation displays, lighting devices, and backlights because they can emit surface light. In order to display a light emission pattern of characters or images on a display using an organic electroluminescence device, the electrode or the organic electroluminescence device is processed into a display pattern to emit light, or the electrode is processed into a matrix and driven. A method of displaying light emission using a circuit is used. The former method and the latter method can be properly used according to the purpose of use of the organic electroluminescence device, the manufacturing cost, etc., for example, the former method can display only a specific pattern, but advanced fine processing technology associated with patterning, In addition, complicated wirings and driving circuits are unnecessary, and a luminescent advertisement, a fixed display device, and the like can be manufactured at low cost.

有機電界発光素子を表示パターン状に加工する方法としては、有機電界発光素子に電磁波を照射(以下、「露光」乃至「光照射」ともいう)することで、部分的に駆動電圧(以下、「発光開始電圧」ともいう)を上昇させ、発光輝度を低下させる方法がいくつか提案されている。
例えば、紫外線を発光材料からなる発光層に照射し、該照射部分を非発光領域とする有機電界発光素子のパターン化方法が提案されている(特許文献1参照)。
また、アリールアミンを含有する少なくとも一層のホール輸送層及び電子輸送性発光層を有する積層型有機電界発光素子を製造する方法において、ホール輸送層を電磁波照射により特性を変化させて、有機電界発光素子の発光部の明るさを部分的に、かつ任意に調整することが提案されている(特許文献2参照)。
As a method of processing an organic electroluminescent element into a display pattern, an organic electroluminescent element is irradiated with electromagnetic waves (hereinafter also referred to as “exposure” to “light irradiation”), thereby partially driving voltage (hereinafter, “ Several methods have been proposed for increasing the light emission luminance by increasing the light emission start voltage).
For example, a method for patterning an organic electroluminescent element has been proposed in which a light-emitting layer made of a light-emitting material is irradiated with ultraviolet light and the irradiated portion is a non-light-emitting region (see Patent Document 1).
Further, in a method for producing a laminated organic electroluminescent device having at least one hole transport layer containing an arylamine and an electron transporting light emitting layer, the characteristics of the hole transport layer are changed by electromagnetic wave irradiation, and the organic electroluminescent device It has been proposed to adjust the brightness of the light emitting part partially and arbitrarily (see Patent Document 2).

これらの提案では、発光効率がよく、かつ簡便にパターン化ができ、かつ発光部の明るさを部分的に任意に調整できる有機電界発光素子を製造することができる。   With these proposals, it is possible to manufacture an organic electroluminescent element that has high luminous efficiency, can be easily patterned, and can partially adjust the brightness of the light emitting part.

しかしながら、パターン形成に用いられる有機電界発光素子は、一度に大量生産され、必要に応じてパターンを露光して使用することが想定されるのに対し、これらの提案では、正孔注入層を形成した後に電磁波照射を行い、残りの層を形成する必要があり、このようにそれぞれの有機電界発光素子を製造の途中で電磁波照射する場合には、製造効率が低下するという問題があった。
また、前述のように一度に大量生産された有機電界発光素子に対してパターンを形成する場合には、有機電界発光素子の電磁波に対する感受性を更に高めて、露光時間を減少させることが、製造コストを下げ、商品価値を高めることになるが、これらの提案では、このような場合にパターン形成を容易にする有機電界発光素子の製造については、記載も示唆もされていない。
However, organic electroluminescence devices used for pattern formation are mass-produced at once, and it is assumed that patterns are exposed and used as needed. In these proposals, a hole injection layer is formed. After that, it is necessary to irradiate electromagnetic waves to form the remaining layers. Thus, in the case of irradiating each organic electroluminescent element in the course of production, there is a problem that the production efficiency is lowered.
In addition, as described above, when a pattern is formed on an organic electroluminescent device that is mass-produced at one time, it is possible to further increase the sensitivity of the organic electroluminescent device to electromagnetic waves and reduce the exposure time. However, these proposals do not describe or suggest the production of an organic electroluminescent device that facilitates pattern formation in such a case.

更に、露光により駆動電圧が上昇する有機電界発光素子では、正孔注入層の材料が重要であることがわかっており、前記提案で使用されているアリールアミン骨格を有する材料を正孔注入層に用いた場合には、電磁波照射で駆動電圧を容易に上昇させることができ、その部分に流れる電流を減らすことができるが、有機電界発光素子の正孔注入層の材料として一般的に知られる銅フタロシアニン(CuPc)乃至イリジウム錯体を正孔注入層に用いた有機電界発光素子では、電磁波照射を行ってもほとんど駆動電圧が上昇せず、パターン形成に用いる有機電界発光素子としては、使用することができないという問題があった。   Furthermore, it has been found that the material of the hole injection layer is important in the organic electroluminescence device whose driving voltage is increased by exposure, and the material having the arylamine skeleton used in the above proposal is used for the hole injection layer. When used, the driving voltage can be easily increased by electromagnetic wave irradiation, and the current flowing through the portion can be reduced. However, copper generally known as a material for a hole injection layer of an organic electroluminescence device can be used. In an organic electroluminescent device using phthalocyanine (CuPc) or iridium complex in the hole injection layer, the drive voltage hardly increases even when electromagnetic wave irradiation is performed, and it can be used as an organic electroluminescent device used for pattern formation. There was a problem that I could not.

一方、有機電界発光素子の製造においては、有機電界発光素子を構成する電極(例えば、ITO膜)の表面処理として、酸素プラズマ処理やUV−オゾン処理を行うことが一般的であり、これらの処理によって電極上の有機物を分解洗浄し、電極上の有機膜におけるHOMO準位との障壁をなくして駆動電圧を下げられることが知られている。また、酸素ガスを用いた電極の表面処理では、必ずしも十分な耐久性をもつ素子が得られないという問題があり、前記問題を解決するため、窒素ガス、アルゴンガス等の酸素を含まないガスを用いた表面処理の方法が提案されている。
例えば、20eV〜100eVのエネルギー範囲にある不活性ガスにより正イオンを、ITO膜に照射して表面改質を行うことが提案されている(特許文献3参照)。
また、陽極と陰極の間に、有機発光体を含有する有機発光層が設けられている有機電界発光素子において、前記陽極の表面部中に、窒素、イオウ、セレン、テルル、リン及びハロゲン元素より選ばれた少なくとも1種の元素をプラズマ化して前記陽極の表面を処理することが提案されている(特許文献4参照)。
On the other hand, in the manufacture of an organic electroluminescent element, it is common to perform oxygen plasma treatment or UV-ozone treatment as a surface treatment of electrodes (for example, ITO film) constituting the organic electroluminescent element. It is known that the driving voltage can be lowered by decomposing and cleaning the organic matter on the electrode and eliminating the barrier to the HOMO level in the organic film on the electrode. In addition, the electrode surface treatment using oxygen gas has a problem that an element having sufficient durability cannot always be obtained, and in order to solve the problem, a gas containing no oxygen such as nitrogen gas or argon gas is used. The surface treatment method used has been proposed.
For example, it has been proposed to perform surface modification by irradiating an ITO film with positive ions with an inert gas in an energy range of 20 eV to 100 eV (see Patent Document 3).
Further, in the organic electroluminescent device in which an organic light emitting layer containing an organic light emitter is provided between the anode and the cathode, the surface portion of the anode is made of nitrogen, sulfur, selenium, tellurium, phosphorus and halogen elements. It has been proposed to process the surface of the anode by converting at least one selected element into plasma (see Patent Document 4).

しかしながら、これらの提案においては、有機電界発光素子の耐久性を向上させるという課題の解決手段として、特定のガスを用いて表面処理を行うものであり、特定のガスを用いて陽極を表面処理することによって、有機電界発光素子の電磁波に対する感受性を上昇させ、より短時間の電磁波照射でコントラストをつけることが可能であることについては、記載も示唆もされていない。   However, in these proposals, as a means for solving the problem of improving the durability of the organic electroluminescence device, surface treatment is performed using a specific gas, and the anode is surface-treated using a specific gas. Thus, there is no description or suggestion that the sensitivity of the organic electroluminescence device to electromagnetic waves can be increased and contrast can be obtained by irradiation with electromagnetic waves in a shorter time.

したがって、より容易に発光パターンを形成でき、より効率的にコントラストをつけることができる有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子としては、未だ満足できるものが得られておらず、しかも、アリールアミン骨格を有する化合物以外の正孔注入層材料は、パターン形成に用いる有機電界発光素子の正孔注入層材料として使用できないのというのが現状である。   Therefore, as a method for manufacturing an organic electroluminescent device and an organic electroluminescent device capable of forming a light emitting pattern more easily and providing a more efficient contrast, an organic electroluminescent device has not yet been satisfactory. At present, hole injection layer materials other than compounds having an amine skeleton cannot be used as hole injection layer materials for organic electroluminescence devices used for pattern formation.

特許第2793373号公報Japanese Patent No. 2793373 特許第3599077号公報Japanese Patent No. 3599077 特開2000−133064号公報JP 2000-133304 A 特開2000−348868号公報JP 2000-348868 A

本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、容易にコントラストをつけることができ、かつ製造コストを下げることができると同時に、パターン化に用いる有機電界発光素子として正孔注入層にアリールアミン骨格を有する化合物以外の材料をも適用することが可能であり、材料選択の幅を広げることができる有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and achieve the following objects. That is, the present invention can easily contrast and reduce the manufacturing cost, and at the same time, a material other than a compound having an arylamine skeleton in the hole injection layer as an organic electroluminescence device used for patterning. The present invention is also applicable to a method for manufacturing an organic electroluminescent element and an organic electroluminescent element capable of expanding the range of material selection.

本発明者は、前記目的を達成するため、鋭意検討を行った結果、(1)正孔注入層の材料によって電磁波照射に対する感光性に違いがあること、及び(2)陽極を酸素ガスを用いて表面処理した場合に比べて、窒素ガス又は希ガスを用いて表面処理した場合には、電磁波露光による駆動電圧の上昇が顕著になることの知見を得た。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that (1) there is a difference in photosensitivity to electromagnetic wave irradiation depending on the material of the hole injection layer, and (2) oxygen gas is used for the anode. As compared with the case where the surface treatment was performed, the knowledge that the increase in the driving voltage due to the electromagnetic wave exposure becomes remarkable when the surface treatment was performed using nitrogen gas or a rare gas.

本発明は、本発明者による前記知見に基づくものであり、前記課題を解決するための手段としては以下の通りである。即ち、
<1> 窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガス雰囲気下で陽極を表面処理する表面処理工程と、
前記表面処理された陽極上に少なくとも正孔注入層と発光層とを含む有機電界発光素子を作製する有機電界発光素子作製工程と、
有機電界発光素子の発光面の少なくとも一部に電磁波を照射して前記発光面の輝度を変化させる電磁波照射工程と、
を含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法である。
<2> 表面処理が、プラズマ処理である前記<1>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<3> 表面処理が、紫外線照射処理である前記<1>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<4> 正孔注入層が、アリールアミン骨格を有する化合物を含む前記<1>から<3>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<5> 正孔注入層が、電子受容性化合物を含み、
前記電子受容性化合物の含有量が、前記正孔注入層の厚み方向に分布を有する前記<1>から<4>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<6> 前記正孔注入層が単層構造であり、かつ厚み方向に前記電子受容性化合物を含む部分と含まない部分とを有する前記<1>から<4>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<7> 電子受容性化合物を含む部分が、少なくとも正孔注入層の陽極に接する前記<6>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<8> 電子受容性化合物を含む部分の平均厚みが、20nm以下である前記<6>から<7>のいずれかに記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<9> 前記正孔注入層が多層構造であり、かつ厚み方向に前記電子受容性化合物を含む層と含まない層とを積層してなる前記<1>から<4>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<10> 電子受容性化合物を含む層が、少なくとも正孔注入層の陽極に接する前記<9>に記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<11> 電子受容性化合物を含む層の平均厚みが、20nm以下である前記<9>から<10>のいずれかに記載の有機電界発光素子の製造方法である。
<12> 前記<1>から<11>のいずれかに記載の有機電界発光素子の製造方法により製造されることを特徴とする有機電界発光素子である。
<13> 発光面上に電磁波照射工程で照射した波長の電磁波を吸収する層を更に有する前記<12>に記載の有機電界発光素子である。
This invention is based on the said knowledge by this inventor, and as a means for solving the said subject, it is as follows. That is,
<1> a surface treatment step of surface-treating the anode in a gas atmosphere containing at least one of nitrogen gas and rare gas;
An organic electroluminescence device producing step of producing an organic electroluminescence device comprising at least a hole injection layer and a light emitting layer on the surface-treated anode;
An electromagnetic wave irradiation step of changing the luminance of the light emitting surface by irradiating at least a part of the light emitting surface of the organic electroluminescent element;
It is the manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by including.
<2> The method for producing an organic electroluminescent element according to <1>, wherein the surface treatment is a plasma treatment.
<3> The method for producing an organic electroluminescent element according to <1>, wherein the surface treatment is an ultraviolet irradiation treatment.
<4> The method according to <1> to <3>, wherein the hole injection layer contains a compound having an arylamine skeleton.
<5> The hole injection layer contains an electron-accepting compound,
It is a manufacturing method of the organic electroluminescent element as described in said <1> to <4> in which content of the said electron-accepting compound has distribution in the thickness direction of the said positive hole injection layer.
<6> The organic electroluminescent element according to <1> to <4>, wherein the hole injection layer has a single layer structure, and includes a portion including the electron-accepting compound and a portion not including the electron-accepting compound in a thickness direction. It is a manufacturing method.
<7> The method for producing an organic electroluminescent element according to <6>, wherein the portion containing the electron-accepting compound is in contact with at least the anode of the hole injection layer.
<8> The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of <6> to <7>, wherein the average thickness of the portion containing the electron-accepting compound is 20 nm or less.
<9> The organic electroluminescence according to <1> to <4>, wherein the hole injection layer has a multilayer structure, and a layer including the electron-accepting compound and a layer not including the electron-accepting compound are stacked in a thickness direction. It is a manufacturing method of an element.
<10> The method for producing an organic electroluminescent element according to <9>, wherein the layer containing the electron-accepting compound is in contact with at least the anode of the hole injection layer.
<11> The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of <9> to <10>, wherein the average thickness of the layer containing the electron-accepting compound is 20 nm or less.
<12> An organic electroluminescence device produced by the method for producing an organic electroluminescence device according to any one of <1> to <11>.
<13> The organic electroluminescence device according to <12>, further including a layer that absorbs an electromagnetic wave having a wavelength irradiated in the electromagnetic wave irradiation step on the light emitting surface.

本発明によれば、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、容易にコントラストをつけることができ、かつ製造コストを下げることができると同時に、パターン化に用いる有機電界発光素子として正孔注入層にアリールアミン骨格を有する化合物以外の材料をも適用することが可能であり、材料選択の幅を広げることができる有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子を提供することができる。   According to the present invention, the conventional problems can be solved, the object can be achieved, contrast can be easily provided, and the manufacturing cost can be reduced. Provided is a method for manufacturing an organic electroluminescent device and a method for manufacturing an organic electroluminescent device that can apply materials other than a compound having an arylamine skeleton to the hole injection layer as a light emitting device, and can broaden the selection of materials. can do.

図1は、本発明の実施例1における電磁波照射前後の電圧−輝度特性を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing voltage-luminance characteristics before and after electromagnetic wave irradiation in Example 1 of the present invention. 図2は、本発明の実施例5における電磁波照射前後の電圧−輝度特性を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing voltage-luminance characteristics before and after electromagnetic wave irradiation in Example 5 of the present invention.

(有機電界発光素子の製造方法)
本発明の有機電界発光素子の製造方法は、少なくとも、表面処理工程と、有機電界発光素子作製工程と、電磁波照射工程とを含んでなり、必要に応じて、その他の工程を含む。
(Method for manufacturing organic electroluminescent device)
The manufacturing method of the organic electroluminescent element of the present invention includes at least a surface treatment process, an organic electroluminescent element production process, and an electromagnetic wave irradiation process, and includes other processes as necessary.

前記有機電界発光素子は、一対の電極、即ち陽極と陰極と、両電極の間に発光層と正孔注入層とを含む有機層を有し、目的に応じてその他の層を有していてもよい。
前記有機層は、少なくとも発光層と正孔注入層とを有し、更に必要に応じて、正孔輸送層、電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層、電子注入層などを有していてもよい。
The organic electroluminescent element has a pair of electrodes, that is, an anode and a cathode, and an organic layer including a light emitting layer and a hole injection layer between both electrodes, and has other layers depending on the purpose. Also good.
The organic layer includes at least a light emitting layer and a hole injection layer, and further includes a hole transport layer, an electron transport layer, a hole block layer, an electron block layer, an electron injection layer, and the like as necessary. May be.

前記有機電界発光素子は、前記陽極上に正孔注入層を設けた積層構成を有する。該積層構成と発光層との間に前記正孔輸送層を有することが好ましく、前記陰極と前記発光層との間に前記電子輸送層を有することが好ましい。また、前記電子輸送層と前記陰極との間に前記電子注入層を設けてもよい。更に、前記発光層と前記正孔輸送層との間に正孔輸送性中間層(電子ブロック層)を設けてもよく、前記発光層と前記電子輸送層との間に電子輸送性中間層(正孔ブロック層)を設けてもよい。各有機層は複数の二次層に分かれていてもよい。   The organic electroluminescent element has a laminated structure in which a hole injection layer is provided on the anode. The hole transport layer is preferably provided between the stacked structure and the light emitting layer, and the electron transport layer is preferably provided between the cathode and the light emitting layer. The electron injection layer may be provided between the electron transport layer and the cathode. Further, a hole transporting intermediate layer (electron blocking layer) may be provided between the light emitting layer and the hole transporting layer, and an electron transporting intermediate layer (between the light emitting layer and the electron transporting layer ( A hole blocking layer) may be provided. Each organic layer may be divided into a plurality of secondary layers.

前記発光層を含む各有機層は、公知の方法に従って形成することができるが、例えば、蒸着法、スパッタ法等の乾式製膜法、湿式塗布方式、転写法、印刷法、インクジェット方式などにより好適に形成することができる。   Each organic layer including the light emitting layer can be formed according to a known method, and is suitable for, for example, a dry film forming method such as a vapor deposition method and a sputtering method, a wet coating method, a transfer method, a printing method, an ink jet method, and the like. Can be formed.

<表面処理工程>
前記表面処理工程は、窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガス雰囲気下で陽極を表面処理する工程である。前記表面処理を行なわない有機電界発光素子は耐久性に劣ることは公知であり、表面処理は、有機電界発光素子の耐久性を向上させる目的で行われる。本発明では、窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガス雰囲気下で表面処理を行う本工程を含むことにより、後述する電磁波露光による駆動電圧の上昇が顕著になるという効果が得られる。
<Surface treatment process>
The surface treatment step is a step of surface-treating the anode in a gas atmosphere containing at least one of nitrogen gas and rare gas. It is known that an organic electroluminescent element not subjected to the surface treatment is inferior in durability, and the surface treatment is performed for the purpose of improving the durability of the organic electroluminescent element. In this invention, the effect that the drive voltage rises by the electromagnetic wave exposure mentioned later becomes remarkable by including this process which performs surface treatment in the gas atmosphere containing at least any one of nitrogen gas and a noble gas is acquired.

−陽極−
前記陽極を構成する材料としては、例えば、アンチモンやフッ素などをドープした酸化錫(ATO、FTO)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の導電性金属酸化物;金、銀、クロム、ニッケル等の金属;これらの金属と導電性金属酸化物との混合物又は積層物;ヨウ化銅、硫化銅等の無機導電性物質;ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロール等の有機導電性材料、これらと導電性金属酸化物との積層物などが挙げられる。これらの中でも、導電性金属酸化物が好ましく、生産性、高導電性、透明性等の観点から、ITOが特に好ましい。
-Anode-
Examples of the material constituting the anode include tin oxide doped with antimony and fluorine (ATO, FTO), tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), and indium zinc oxide (IZO). Conductive metal oxides; metals such as gold, silver, chromium and nickel; mixtures or laminates of these metals and conductive metal oxides; inorganic conductive materials such as copper iodide and copper sulfide; polyaniline, polythiophene, Examples thereof include organic conductive materials such as polypyrrole, and laminates of these and conductive metal oxides. Among these, a conductive metal oxide is preferable, and ITO is particularly preferable from the viewpoints of productivity, high conductivity, transparency, and the like.

前記陽極の形成方法については、特に制限はなく、公知の方法に従って行うことができ、例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式;真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式;CVD、プラズマCVD法等の化学的方式などが挙げられる。これらの中から、前記陽極を構成する材料との適性を考慮し、適宜選択した方法に従って前記基板上に形成することができ、例えば、陽極の材料としてITOを選択する場合には、直流又は高周波スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法などによって形成することができる。なお、後述する陰極の材料として金属などを選択する場合には、その1種又は2種以上を同時又は順次にスパッタ法などによって形成することができる。   The method for forming the anode is not particularly limited and can be performed according to a known method, for example, a wet method such as a printing method or a coating method; a physical method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an ion plating method. Chemical methods such as CVD and plasma CVD may be used. Of these, it can be formed on the substrate according to a method selected appropriately in consideration of suitability with the material constituting the anode. For example, when selecting ITO as the material of the anode, direct current or high frequency It can be formed by sputtering, vacuum deposition, ion plating, or the like. In addition, when selecting a metal etc. as a cathode material mentioned later, the 1 type (s) or 2 or more types can be formed by the sputtering method etc. simultaneously or sequentially.

なお、前記陽極を形成する際にパターニングを行う場合は、フォトリソグラフィー等による化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザー等による物理的エッチングによって行ってもよい。また、マスクを重ねて真空蒸、スパッタなどによって行ってもよいし、リフトオフ法乃至印刷法によって行ってもよい。   When patterning is performed when forming the anode, it may be performed by chemical etching using photolithography or the like, or by physical etching using a laser or the like. Further, the masks may be overlapped by vacuum steaming, sputtering, or the like, or by a lift-off method or a printing method.

−窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガス−
前記のようにして形成された陽極に対して、前記窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガスを用いて表面処理を行う。前記窒素ガス乃至希ガスを処理ガスとして表面処理を行なうことで、全く同じ素子構成でも電磁波露光による電圧上昇が顕著となり、短時間で露光できる素子とすることができる。
-Gas containing at least one of nitrogen gas and rare gas-
Surface treatment is performed on the anode formed as described above using a gas containing at least one of the nitrogen gas and the rare gas. By performing the surface treatment using the nitrogen gas or the rare gas as a processing gas, a voltage increase due to electromagnetic wave exposure becomes remarkable even with the completely same element configuration, and an element that can be exposed in a short time can be obtained.

前記希ガスには、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン、ウンウンオクチウムが含まれるが、これらの中でも、アルゴンが低コストである点で好ましい。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記窒素ガス及び希ガスは、酸素などのその他のガスと混合して使用してもよいが、その場合の窒素ガス乃至希ガスの含有量としては、10質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましく、40質量%以上が特に好ましい。前記含有量が、10質量%未満であると、露光時の電圧上昇を顕著にする効果が得られないことがある。
The rare gas includes helium, neon, argon, krypton, xenon, radon, and ununoctium. Among these, argon is preferable because of its low cost. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
The nitrogen gas and the rare gas may be used by mixing with other gas such as oxygen. In this case, the content of the nitrogen gas or the rare gas is preferably 10% by mass or more, and more preferably 20% by mass or more. Is more preferable, and 40% by mass or more is particularly preferable. If the content is less than 10% by mass, the effect of conspicuous voltage increase during exposure may not be obtained.

−表面処理−
前記表面処理としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、プラズマ処理、イオンビームスパッタリング等の各種スパッタリング、紫外線照射処理、ラジカルビーム処理など、公知の表面処理方法を挙げられる。これらの中でも、短時間で処理でき、さまざまなガス雰囲気下で行なうことができる点で、プラズマ処理及び紫外線照射処理が好ましい。
-Surface treatment-
The surface treatment is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a known surface treatment method such as plasma treatment, various sputtering such as ion beam sputtering, ultraviolet irradiation treatment, radical beam treatment or the like may be used. Can be mentioned. Among these, plasma treatment and ultraviolet irradiation treatment are preferable because they can be processed in a short time and can be performed in various gas atmospheres.

前記プラズマ処理としては、前記窒素ガス又は前記希ガスをプラズマ化して基板表面を処理できれば装置、条件などは適宜選択できるが、プラズマ化したガスによって電極表面の凹凸が大きくならない条件で行なうことが必要である。電極表面の凹凸が処理前に比較して大きくなるような条件は好ましくなく、有機電界発光素子にした際に電極間のショートが発生しやすくなる可能性がある。   The plasma treatment can be appropriately selected as long as the substrate surface can be treated by converting the nitrogen gas or the rare gas into a plasma, but it is necessary to perform the treatment under conditions where the unevenness of the electrode surface is not increased by the plasma gas. It is. The condition that the unevenness of the electrode surface becomes larger than that before the treatment is not preferable, and there is a possibility that a short circuit between the electrodes is likely to occur when an organic electroluminescent element is formed.

前記紫外線処理としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、紫外線の波長としては、10nm〜400nmが好ましい。紫外線の具体的な光源としては、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水素(重水素)ランプ、希ガス(例えば、キセノン、アルゴン、ヘリウム、ネオン等)放電ランプ、窒素レーザー、エキシマレーザー(例えば、XeCl、XeF、KrF、KrCl等)、水素レーザー、ハロゲンレーザー、各種可視−赤外レーザーの高調波などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said ultraviolet treatment, Although it can select suitably according to the objective, As a wavelength of an ultraviolet-ray, 10 nm-400 nm are preferable. Specific examples of the ultraviolet light source include, for example, a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a hydrogen (deuterium) lamp, a rare gas (eg, xenon, argon, helium, neon) discharge lamp, a nitrogen laser, and an excimer laser (eg, , XeCl, XeF, KrF, KrCl, etc.), hydrogen laser, halogen laser, harmonics of various visible-infrared lasers, and the like.

<有機電界発光素子作製工程>
前記有機電界発光素子作製工程は、前記表面処理工程により表面処理された陽極の表面に正孔注入層と発光層とを形成する工程であり、該工程により陽極と正孔注入層と発光層とからなる積層構成が形成される。
前記有機電界発光素子作製工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、大気に暴露させると、酸素が吸着する可能性があるため、前記ガスによる表面処理の後、大気に暴露せずに上記の各層を形成することが好ましい。
<Organic electroluminescence device manufacturing process>
The organic electroluminescence device preparation step is a step of forming a hole injection layer and a light emitting layer on the surface of the anode surface-treated in the surface treatment step, and the step of forming the anode, the hole injection layer, and the light emitting layer. Is formed.
The organic electroluminescence device production process is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, when exposed to the atmosphere, oxygen may be adsorbed. It is preferable to form each of the above layers without exposure to the atmosphere.

<<正孔注入層>>
前記正孔注入層は、陽極又は陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。前記正孔注入層は、単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
前記正孔注入材料としては、低分子化合物であってもよく、高分子化合物であってもよく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ピロール誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、フタロシアニン系化合物、ポルフィリン系化合物、チオフェン誘導体、有機シラン誘導体、カーボンなどが挙げられる。これらの中でも、アリールアミン骨格を有する材料を正孔注入層に用いた有機電界発光素子で電磁波露光により駆動電圧が上昇しやすくなる点で、アリールアミン誘導体が好ましい。
これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
<< Hole Injection Layer >>
The hole injection layer is a layer having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. The hole injection layer may have a single layer structure or a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.
The hole injection material may be a low molecular compound or a high molecular compound, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, a pyrrole derivative, a carbazole derivative, a triazole derivative, or an oxazole derivative. , Oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic Group tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, phthalocyanine compounds, porphyrin compounds, thiophene derivatives, organosilane derivatives, carbon, etc. . Among these, arylamine derivatives are preferred in that the drive voltage is likely to increase due to electromagnetic wave exposure in an organic electroluminescent device using a material having an arylamine skeleton for the hole injection layer.
These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

前記正孔注入層の形成方法としては、特に制限はなく、公知の方法を用いることができるが、例えば、蒸着法、スパッタ法等の乾式製膜法、湿式塗布方式、転写法、印刷法、インクジェット方式などにより好適に形成することができる。   The method for forming the hole injection layer is not particularly limited, and a known method can be used.For example, a vapor deposition method, a dry film forming method such as a sputtering method, a wet coating method, a transfer method, a printing method, It can be suitably formed by an inkjet method or the like.

本発明に用いることができる正孔注入材料の具体例として、以下の化合物を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
Specific examples of the hole injection material that can be used in the present invention include, but are not limited to, the following compounds.

前記正孔注入層は、pドープされていてもよく、具体的には電子受容性化合物を含有する。
前記pドープされた正孔注入層は、正孔注入材料と、電子受容性化合物を共蒸着することで形成することができる。
The hole injection layer may be p-doped, and specifically contains an electron accepting compound.
The p-doped hole injection layer can be formed by co-evaporation of a hole injection material and an electron accepting compound.

前記電子受容性化合物としては、電子受容性で有機化合物を酸化する性質を有すれば、無機化合物でもよく、有機化合物でもよい。
前記無機化合物としては、例えば、塩化第二鉄、塩化アルミニウム、塩化ガリウム、塩化インジウム、五塩化アンチモン等のハロゲン化金属;五酸化バナジウム、三酸化モリブデン等の金属酸化物などが挙げられる。
前記有機化合物としては、例えば、置換基としてニトロ基、ハロゲン、シアノ基、トリフルオロメチル基等を有する化合物;キノン系化合物、酸無水物系化合物、フラーレンなどが挙げられる。
これらの電子受容性化合物は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
The electron-accepting compound may be an inorganic compound or an organic compound as long as it has an electron-accepting property and oxidizes an organic compound.
Examples of the inorganic compound include metal halides such as ferric chloride, aluminum chloride, gallium chloride, indium chloride, and antimony pentachloride; metal oxides such as vanadium pentoxide and molybdenum trioxide.
Examples of the organic compound include compounds having a nitro group, a halogen, a cyano group, a trifluoromethyl group or the like as a substituent; quinone compounds, acid anhydride compounds, fullerenes, and the like.
These electron accepting compounds may be used alone or in combination of two or more.

前記電子受容性化合物の含有量としては、材料の種類によって異なり、一義的には決定できないが、正孔注入層材料に対して、0.01質量%〜50質量%が好ましく、0.05質量%〜20質量%がより好ましく、0.1質量%〜10質量%が特に好ましい。
前記含有量が、前記好ましい範囲内であると、正孔注入層内のキャリヤ数が増加するために正孔注入性、輸送性が改善する。一方、前記含有量が50質量%を超えると、逆にキャリヤ数が減少したりして結果的に正孔注入性、輸送性が低下する可能性があり、好ましくない。
The content of the electron-accepting compound varies depending on the type of material and cannot be uniquely determined, but is preferably 0.01% by mass to 50% by mass with respect to the hole injection layer material, and 0.05% by mass. % To 20% by mass is more preferable, and 0.1% to 10% by mass is particularly preferable.
When the content is within the preferable range, the number of carriers in the hole injection layer is increased, so that the hole injection property and the transport property are improved. On the other hand, if the content exceeds 50% by mass, the number of carriers may be decreased, resulting in a decrease in hole injection property and transport property, which is not preferable.

前記正孔注入層が前記電子受容性化合物を含む場合において、前記電子受容性化合物が前記正孔注入層の全域にドープされていると、電磁波露光しても駆動電圧が上昇しない素子となってしまうため、前記正孔注入層の厚み方向の一部に電子受容性化合物を含む、つまり、前記電子受容性化合物の含有量が、前記正孔注入層の厚み方向に分布を有することが好ましい。
前記含有量の分布としては、例えば、前記正孔注入層が単層であり、前記層の厚み方向で前記電子受容性化合物を含む部分と含まない部分とを有してもよいし、前記正孔注入層が多層積層してなり、前記電子受容性化合物を含む層と含まない層とを有してもよい。
In the case where the hole injection layer contains the electron accepting compound, if the electron accepting compound is doped in the entire region of the hole injecting layer, the device does not increase the driving voltage even when exposed to electromagnetic waves. Therefore, it is preferable that an electron accepting compound is included in a part of the thickness direction of the hole injection layer, that is, the content of the electron accepting compound has a distribution in the thickness direction of the hole injection layer.
As the distribution of the content, for example, the hole injection layer may be a single layer, and may include a portion including the electron-accepting compound and a portion not including in the thickness direction of the layer. The hole injection layer may be a multi-layer stack, and may include a layer containing the electron accepting compound and a layer not containing the electron accepting compound.

前記正孔注入層における前記電子受容性化合物を含む中の部分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、少なくとも正孔注入層の陽極に接することが好ましい。陽極の近傍に前記電子受容性化合物を含有させることで、素子面内に意図しない輝度ムラが発生することを抑制でき、かつ電磁波露光が可能な素子とすることができる。   There is no restriction | limiting in particular as a part in the said hole injection layer containing the said electron-accepting compound, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable to contact | connect at least the anode of a hole injection layer. By including the electron-accepting compound in the vicinity of the anode, it is possible to suppress the occurrence of unintended luminance unevenness in the element surface and to be an element capable of electromagnetic wave exposure.

前記正孔注入層における前記電子受容性化合物を含む部分の平均厚みとしては、前記正孔注入層の全域に亘らない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20nm以下が好ましい。前記平均厚みが、20nmを超えると、電磁波露光による駆動電圧の上昇が生じ難くなる。   The average thickness of the portion containing the electron-accepting compound in the hole injection layer is not particularly limited as long as it does not cover the entire area of the hole injection layer, and can be appropriately selected according to the purpose. 20 nm or less is preferable. When the average thickness exceeds 20 nm, the drive voltage is hardly increased due to electromagnetic wave exposure.

<<発光層>>
前記発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、又は正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、及び電子輸送層のいずれかから電子を受け取り、正孔と電子の再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。
前記発光層は、発光材料を含む。該発光層は発光材料のみで構成されていてもよいし、ホスト材料と発光材料の混合層でもよい(後者の場合、発光材料を「発光性ドーパント」もしくは「ドーパント」と称する場合がある)。
更に、前記発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいてもよい。
<< Light emitting layer >>
The light emitting layer receives holes from an anode, a hole injection layer, or a hole transport layer when an electric field is applied, and receives electrons from any one of a cathode, an electron injection layer, and an electron transport layer. It is a layer having a function of providing a recombination field to emit light.
The light emitting layer includes a light emitting material. The light emitting layer may be composed only of a light emitting material, or may be a mixed layer of a host material and a light emitting material (in the latter case, the light emitting material may be referred to as a “light emitting dopant” or “dopant”).
Furthermore, the light emitting layer may contain a material that does not have charge transporting properties and does not emit light.

前記発光層の平均厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2nm〜500nmが好ましく、外部量子効率の観点から、3nm〜200nmがより好ましく、5nm〜100nmが特に好ましい。
また、前記発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。
There is no restriction | limiting in particular as average thickness of the said light emitting layer, Although it can select suitably according to the objective, 2 nm-500 nm are preferable, 3 nm-200 nm are more preferable from a viewpoint of external quantum efficiency, and 5 nm-100 nm are preferable. Particularly preferred.
Moreover, the said light emitting layer may be 1 layer, or may be two or more layers, and each layer may light-emit with a different luminescent color.

−発光材料−
前記発光材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、蛍光発光材料であってもよいし、燐光発光材料であってもよい。また、これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記発光性ドーパントは、ホスト化合物との間で、イオン化ポテンシャルの差(ΔIp)と電子親和力の差(ΔEa)が、1.2eV>ΔIp>0.2eV、及び/又は1.2eV>ΔEa>0.2eVの関係を満たすドーパントであることが、駆動耐久性の観点で好ましい。
前記発光層中の発光性ドーパントの含有量は、発光層中に一般的に発光層を形成する全化合物質量に対して、0.1質量%〜50質量%が好ましく、耐久性、外部量子効率の観点から1質量%〜50質量%がより好ましく、2質量%〜40質量%が特に好ましい。
-Luminescent material-
There is no restriction | limiting in particular as said luminescent material, According to the objective, it can select suitably, A fluorescent luminescent material may be sufficient and a phosphorescent luminescent material may be sufficient. Moreover, these may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
The light emitting dopant has an ionization potential difference (ΔIp) and an electron affinity difference (ΔEa) of 1.2 eV>ΔIp> 0.2 eV and / or 1.2 eV>ΔEa> 0 with the host compound. A dopant satisfying the relationship of .2 eV is preferable from the viewpoint of driving durability.
The content of the light-emitting dopant in the light-emitting layer is preferably 0.1% by mass to 50% by mass with respect to the total compound mass generally forming the light-emitting layer in the light-emitting layer, and has durability and external quantum efficiency. From the viewpoint of 1% by mass to 50% by mass, more preferably 2% by mass to 40% by mass.

−−燐光発光材料−−
前記燐光発光材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、遷移金属原子又はランタノイド原子を含む錯体、などが挙げられる。
前記遷移金属原子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、金、銀、銅、白金などが挙げられる。これらの中でも、レニウム、イリジウム、白金が好ましく、イリジウム、白金が特に好ましい。
--Phosphorescent material--
There is no restriction | limiting in particular as said phosphorescence-emitting material, According to the objective, it can select suitably, The complex containing a transition metal atom or a lanthanoid atom, etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said transition metal atom, According to the objective, it can select suitably, For example, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, gold | metal | money, silver, copper, platinum etc. are mentioned. Among these, rhenium, iridium, and platinum are preferable, and iridium and platinum are particularly preferable.

前記錯体の配位子としては、例えば、G.Wilkinson等著,Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press社1987年発行、H.Yersin著,「Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds」 Springer−Verlag社1987年発行、山本明夫著「有機金属化学−基礎と応用−」裳華房社1982年発行等に記載の配位子などが挙げられる。   Examples of the ligand of the complex include G.I. Wilkinson et al., Comprehensive Coordination Chemistry, Pergamon Press, 1987, H.C. Examples include ligands described in Yersin's "Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds" published by Springer-Verlag 1987, Akio Yamamoto "Organic Metal Chemistry-Fundamentals and Applications-" .

前記錯体は、化合物中に遷移金属原子を1つ有してもよいし、2つ以上有するいわゆる複核錯体であってもよい。なお、異種の金属原子を同時に含有していてもよい。   The complex may have one transition metal atom in the compound or may be a so-called binuclear complex having two or more. Different metal atoms may be contained at the same time.

前記燐光発光材料としては、例えば、米国特許第6303238号明細書、米国特許第6097147号明細書、WO00/57676号パンフレット、WO00/70655号パンフレット、WO01/08230号パンフレット、WO01/39234号パンフレット、WO01/41512号パンフレット、WO02/02714号パンフレット、WO02/15645号パンフレット、WO02/44189号パンフレット、WO05/19373号パンフレット、WO2004/108857号パンフレット、WO2005/042444号パンフレット、WO2005/042550号パンフレット、特開2001−247859号公報、特開2002−302671号公報、特開2002−117978号公報、特開2003−133074号公報、特開2002−235076号公報、特開2003−123982号公報、特開2002−170684号公報、EP1211257号明細書、特開2002−226495号公報、特開2002−234894号公報、特開2001−247859号公報、特開2001−298470号公報、特開2002−173674号公報、特開2002−203678号公報、特開2002−203679号公報、特開2004−357791号公報、特開2006−93542号公報、特開2006−261623号公報、特開2006−256999号公報、特開2007−19462号公報、特開2007−84635号公報、特開2007−96259号公報等に記載の燐光発光化合物などが挙げられる。
これらの中でも、Ir錯体、Pt錯体、Cu錯体、Re錯体、W錯体、Rh錯体、Ru錯体、Pd錯体、Os錯体、Eu錯体、Tb錯体、Gd錯体、Dy錯体、Ce錯体が好ましく、Ir錯体、Pt錯体、Re錯体がより好ましく、金属−炭素結合、金属−窒素結合、金属−酸素結合、金属−硫黄結合の少なくとも一つの配位様式を含むIr錯体、Pt錯体、Re錯体が更に好ましく、発光効率、駆動耐久性、色度等の観点から、3座以上の多座配位子を含むIr錯体、Pt錯体、Re錯体が特に好ましい。
Examples of the phosphorescent material include, for example, US Pat. No. 6,303,238, US Pat. No. 6,097,147, WO00 / 57676, WO00 / 70655, WO01 / 08230, WO01 / 39234, WO01. / 41512 pamphlet, WO02 / 02714 pamphlet, WO02 / 15645 pamphlet, WO02 / 44189 pamphlet, WO05 / 19373 pamphlet, WO2004 / 108857 pamphlet, WO2005 / 042444 pamphlet, WO2005 / 042550 pamphlet, JP2001. JP-A No. 247859, JP-A No. 2002-302671, JP-A No. 2002-117978, and JP-A No. 2003. JP 133074, JP 2002-235076, JP 2003-123982, JP 2002-170684, EP 12111257, JP 2002-226495, JP 2002-234894, special JP-A-2001-247859, JP-A-2001-298470, JP-A-2002-173675, JP-A-2002-203678, JP-A-2002-203679, JP-A-2004-357791, JP-A-2006 Phosphorescence described in JP-A No. 93542, JP-A 2006-261623, JP-A 2006-256999, JP-A 2007-19462, JP-A 2007-84635, JP-A 2007-96259, and the like. Compound etc. are mentioned.
Among these, Ir complex, Pt complex, Cu complex, Re complex, W complex, Rh complex, Ru complex, Pd complex, Os complex, Eu complex, Tb complex, Gd complex, Dy complex, and Ce complex are preferable, and Ir complex Pt complex and Re complex are more preferable, Ir complex including at least one coordination mode of metal-carbon bond, metal-nitrogen bond, metal-oxygen bond and metal-sulfur bond, Pt complex, and Re complex are more preferable. From the viewpoints of luminous efficiency, driving durability, chromaticity, and the like, Ir complexes, Pt complexes, and Re complexes containing a tridentate or higher polydentate ligand are particularly preferable.

本発明に用いることができる燐光発光材料の具体例として、以下の化合物を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。   Specific examples of the phosphorescent material that can be used in the present invention include, but are not limited to, the following compounds.

−−蛍光発光材料−−
前記蛍光発光材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ベンゾオキサゾール、ベンゾイミダゾール、ベンゾチアゾール、スチリルベンゼン、ポリフェニル、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、ナフタルイミド、クマリン、ピラン、ペリノン、オキサジアゾール、アルダジン、ピラリジン、シクロペンタジエン、ビススチリルアントラセン、キナクリドン、ピロロピリジン、チアジアゾロピリジン、シクロペンタジエン、スチリルアミン、芳香族ジメチリディン化合物、縮合多環芳香族化合物(例えば、アントラセン、フェナントロリン、ピレン、ペリレン、ルブレン、又はペンタセン等)、8−キノリノールの金属錯体;ピロメテン錯体や希土類錯体に代表される各種金属錯体;ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物;有機シラン、これらの誘導体などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
--Fluorescent material--
The fluorescent material is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. For example, benzoxazole, benzimidazole, benzothiazole, styrylbenzene, polyphenyl, diphenylbutadiene, tetraphenylbutadiene, naphthalimide, Coumarin, pyran, perinone, oxadiazole, aldazine, pyralidine, cyclopentadiene, bisstyrylanthracene, quinacridone, pyrrolopyridine, thiadiazolopyridine, cyclopentadiene, styrylamine, aromatic dimethylidin compounds, condensed polycyclic aromatic compounds (for example, , Anthracene, phenanthroline, pyrene, perylene, rubrene, or pentacene), 8-quinolinol metal complexes; various metal complexes typified by pyromethene complexes and rare earth complexes; poly Thiophene, polyphenylene, polymeric compounds such as polyphenylene vinylene; organic silane, and derivatives thereof. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

−ホスト材料−
前記ホスト材料は、電荷輸送材料であることが好ましい。
前記電荷輸送材料としては、正孔輸送性に優れる正孔輸送性ホスト材料、及び電子輸送性に優れる電子輸送性ホスト材料を用いることができる。
-Host material-
The host material is preferably a charge transport material.
As the charge transporting material, a hole transporting host material having excellent hole transporting property and an electron transporting host material having excellent electron transporting property can be used.

−−正孔輸送性ホスト材料−−
前記正孔輸送性ホスト材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ピロール、インドール、カルバゾール、アザインドール、アザカルバゾール、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、ピラゾール、イミダゾール、チオフェン、ポリアリールアルカン、ピラゾリン、ピラゾロン、フェニレンジアミン、アリールアミン、アミノ置換カルコン、スチリルアントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、シラザン、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、ポリシラン系化合物、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、アニリン系共重合体、チオフェンオリゴマー、ポリチオフェン等の導電性高分子オリゴマー、有機シラン、カーボン膜、又はそれらの誘導体、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、インドール誘導体、カルバゾール誘導体、芳香族第三級アミン化合物、チオフェン誘導体が好ましく、分子内にカルバゾール基を有するものがより好ましく、t−ブチル置換カルバゾール基を有する化合物が特に好ましい。
--Hole-transporting host material--
The hole transporting host material is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, pyrrole, indole, carbazole, azaindole, azacarbazole, triazole, oxazole, oxadiazole, pyrazole, Imidazole, thiophene, polyarylalkane, pyrazoline, pyrazolone, phenylenediamine, arylamine, amino-substituted chalcone, styrylanthracene, fluorenone, hydrazone, stilbene, silazane, aromatic tertiary amine compound, styrylamine compound, aromatic dimethylidin compound , Porphyrin compounds, polysilane compounds, poly (N-vinylcarbazole), aniline copolymers, thiophene oligomers, conductive polymer oligomers such as polythiophene, organosilanes Carbon film, or a derivative thereof, and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, indole derivatives, carbazole derivatives, aromatic tertiary amine compounds, and thiophene derivatives are preferable, those having a carbazole group in the molecule are more preferable, and compounds having a t-butyl-substituted carbazole group are particularly preferable.

−−電子輸送性ホスト材料−−
前記電子輸送性ホスト材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ピリジン、ピリミジン、トリアジン、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾ−ル、オキサゾ−ル、オキサジアゾ−ル、フルオレノン、アントラキノジメタン、アントロン、ジフェニルキノン、チオピランジオキシド、カルボジイミド、フルオレニリデンメタン、ジスチリルピラジン、フッ素置換芳香族化合物、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無水物;フタロシアニン又はこれらの誘導体(他の環と縮合環を形成してもよい)、8−キノリノ−ル誘導体の金属錯体、メタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾ−ル、ベンゾチアゾ−ルを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、耐久性の観点から、金属錯体化合物が好ましく、金属に配位する少なくとも1つの窒素原子又は酸素原子又は硫黄原子を有する配位子をもつ金属錯体がより好ましい。
前記金属錯体化合物としては、例えば、特開2002−235076号公報、特開2004−214179号公報、特開2004−221062号公報、特開2004−221065号公報、特開2004−221068号公報、特開2004−327313号公報等に記載の化合物などが挙げられる。
--- Electron transport host material-
The electron transporting host material is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include pyridine, pyrimidine, triazine, imidazole, pyrazole, triazole, oxazole, oxadiazol, and fluorenone. , Anthraquinodimethane, anthrone, diphenylquinone, thiopyran dioxide, carbodiimide, fluorenylidenemethane, distyrylpyrazine, fluorine-substituted aromatic compounds, heterocyclic tetracarboxylic anhydrides such as naphthaleneperylene; phthalocyanines or their derivatives (It may form a condensed ring with other rings), metal complexes of 8-quinolinol derivatives, various metal complexes represented by metal complexes having metal phthalocyanine, benzoxazole and benzothiazol as ligands Etc. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, from the viewpoint of durability, a metal complex compound is preferable, and a metal complex having a ligand having at least one nitrogen atom, oxygen atom, or sulfur atom coordinated to a metal is more preferable.
Examples of the metal complex compound include Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-235076, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-214179, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221106, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221106, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221068, Examples thereof include compounds described in JP-A No. 2004-327313.

本発明に用いることができる正孔輸送性ホスト材料及び電子輸送性ホスト材料としては、以下の化合物、及びこれらの重水素化体を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。   Examples of the hole transporting host material and the electron transporting host material that can be used in the present invention include the following compounds and deuterated compounds thereof, but are not limited thereto.

<電磁波照射工程>
前記電磁波照射工程は、有機電界発光素子の発光面の少なくとも一部に電磁波を照射し、有機電界発光素子の発光面内の輝度を変化させる工程である。
電磁波照射により、露光部の素子特性が変化し、駆動電圧を上昇させることができるため、発光面の輝度を部分的に且つ任意の明るさに変化させることができる。また、前記電磁波照射により露光部と未露光部とで輝度の差、つまりコントラストをつけることができるため、有機電界発光の発光面に対して任意のパターン状に電磁波照射を行うことで、任意の輝度パターンを形成することが可能である。
<Electromagnetic wave irradiation process>
The electromagnetic wave irradiating step is a step of irradiating at least a part of the light emitting surface of the organic electroluminescent element with electromagnetic waves to change the luminance in the light emitting surface of the organic electroluminescent element.
Irradiation with electromagnetic waves changes the element characteristics of the exposed portion and can increase the drive voltage, so that the luminance of the light emitting surface can be partially changed to any brightness. In addition, since the difference in luminance between the exposed part and the unexposed part can be given by the electromagnetic wave irradiation, that is, a contrast can be given, the electromagnetic wave irradiation can be performed in an arbitrary pattern on the light emitting surface of organic electroluminescence. It is possible to form a luminance pattern.

本発明において用いる電磁波としては、真空波長にして10−17〜10m程度の範囲のものであり、γ線、X線、紫外線、可視光線、赤外線などを包含する。これらの中でも、紫外線乃至可視光線が好ましい。
電磁波照射の装置としては、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水素(重水素)ランプ、希ガス(キセノン、アルゴン、ヘリウム、ネオンなど)放電ランプ、窒素レーザー、エキシマレーザー(例えば、XeCl、XeF、KrF、KrClなど)、水素レーザー、ハロゲンレーザー、各種可視−赤外レーザーの高調波などが挙げられる。
The electromagnetic wave used in the present invention has a vacuum wavelength in the range of about 10 −17 to 10 5 m, and includes γ rays, X rays, ultraviolet rays, visible rays, infrared rays, and the like. Among these, ultraviolet rays or visible rays are preferable.
Examples of the electromagnetic wave irradiation apparatus include a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a hydrogen (deuterium) lamp, a rare gas (xenon, argon, helium, neon, etc.) discharge lamp, a nitrogen laser, and an excimer laser (for example, XeCl, XeF). , KrF, KrCl, etc.), hydrogen laser, halogen laser, various harmonics of visible-infrared laser, and the like.

前記有機電界発光素子に対する電磁波照射は、(ィ)全面に対して照射強度を変える場合(例えば、白黒ネガフィルムのような部分的に透過度の異なるフィルターを通して露光したり、微小な光源から発生する光の照射強度を変化させながら走査させるなど)或いは(ロ)マスキングにより部分的に照射する場合などがある。部分露光をする場合には、例えば、シャドウマスクを用いて密着露光したり、あるいは投影露光(レンズで集光した光、又は微小な光源から発生する光を用いて部分的に露光する、これにシャドウマスクを併用するなど)によって実施する。   Electromagnetic wave irradiation to the organic electroluminescence device is (i) when the irradiation intensity is changed over the entire surface (for example, exposure through a filter having partially different transmittance such as a black and white negative film, or generated from a minute light source) For example, scanning may be performed while changing the irradiation intensity of light) or (b) partial irradiation may be performed by masking. In the case of partial exposure, for example, contact exposure using a shadow mask or projection exposure (partial exposure using light condensed by a lens or light generated from a minute light source) This is implemented by using a shadow mask together.

前記電磁波量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1J/cm〜10,000J/cmが好ましく、5J/cm〜1,000J/cmがより好ましい。前記照射時間が、1J/cm未満であると、電圧上昇が不十分となり、露光部分と未露光部分とでコントラストがつけられないことがあり、10,000J/cmを超えると、駆動電圧の上昇にとどまらず、素子全体が劣化してしまうことがある。 Examples of the electromagnetic wave amount is not particularly limited, as appropriate may be selected, 1J / cm 2 ~10,000J / cm 2 are preferred according to the purpose, 5J / cm 2 ~1,000J / cm 2 Gayori preferable. When the irradiation time is less than 1 J / cm 2 , the voltage rise is insufficient, and the exposed portion and the unexposed portion may not be contrasted. When the irradiation time exceeds 10,000 J / cm 2 , the drive voltage In addition to the rise, the entire device may be deteriorated.

<その他の工程>
本発明の有機電界発光素子の製造方法は、その他の工程として、前記正孔注入層上に、目的に応じて選択される、正孔輸送層、正孔輸送性中間層(電子ブロック層)、電子輸送性中間層(正孔ブロック層)、電子輸送層、及び電子注入層の各機能層、並びに陰極を配する工程を更に含んでもよい。
<Other processes>
The method for producing an organic electroluminescent element of the present invention includes, as other steps, a hole transport layer, a hole transport intermediate layer (electron block layer), which are selected according to the purpose, on the hole injection layer, You may further include the process of arrange | positioning each functional layer of an electron transport intermediate | middle layer (hole block layer), an electron carrying layer, and an electron injection layer, and a cathode.

<<正孔輸送層>>
前記正孔輸送層は、前記正孔注入層とともに、陽極又は陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。
前記正孔輸送層としては、単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
前記正孔輸送層の材料及び含有される電子受容性化合物としては、前記正孔注入層と同様のものが挙げられる。
<< Hole Transport Layer >>
The hole transport layer is a layer having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side together with the hole injection layer.
The hole transport layer may have a single layer structure or a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions.
Examples of the material for the hole transport layer and the electron-accepting compound to be contained include the same materials as those for the hole injection layer.

<<電子注入層、電子輸送層>>
前記電子注入層、及び電子輸送層は、陰極又は陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。これらの層に用いる電子注入材料及び電子輸送材料としては、低分子化合物であっても高分子化合物であってもよく、具体的には、ピリジン誘導体、キノリン誘導体、ピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、フタラジン誘導体、フェナントロリン誘導体、トリアジン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体及びメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾール乃至ベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、シロールに代表される有機シラン誘導体などが好ましい。
<< Electron injection layer, electron transport layer >>
The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. The electron injecting material and the electron transporting material used for these layers may be low molecular compounds or high molecular compounds. Specifically, pyridine derivatives, quinoline derivatives, pyrimidine derivatives, pyrazine derivatives, phthalazine derivatives. , Phenanthroline derivative, triazine derivative, triazole derivative, oxazole derivative, oxadiazole derivative, imidazole derivative, fluorenone derivative, anthraquinodimethane derivative, anthrone derivative, diphenylquinone derivative, thiopyrandioxide derivative, carbodiimide derivative, fluorenylidenemethane Derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives and metal phthalocyanines, benzoo Sasol to various metal complexes typified benzothiazole by metal complexes having a ligand, an organic silane derivatives typified by silole is preferred.

前記電子注入層及び電子輸送層には、電子供与性ドーパントを含有させることができる。
前記電子注入層及び電子輸送層に導入される電子供与性ドーパントとしては、電子供与性で有機化合物を還元する性質を有していればよく、Li等のアルカリ金属、Mg等のアルカリ土類金属、希土類金属を含む遷移金属、還元性有機化合物などが好適に用いられる。前記金属としては、特に仕事関数が4.2eV以下の金属が好適に使用でき、具体的には、Li、Na、K、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Y、Cs、La、Sm、Gd、及びYbなどが挙げられる。また、還元性有機化合物としては、例えば、含窒素化合物、含硫黄化合物、含リン化合物などが挙げられる。
これらの電子供与性ドーパントは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記電子供与性ドーパントの含有量としては、材料の種類によって異なるが、電子輸送層材料に対して0.1質量%〜99質量%であることが好ましく、1.0質量%〜80質量%であることが更に好ましく、2.0質量%〜70質量%であることが特に好ましい。
The electron injection layer and the electron transport layer may contain an electron donating dopant.
The electron-donating dopant introduced into the electron-injecting layer and the electron-transporting layer is not limited as long as it has an electron-donating property and has a property of reducing an organic compound, such as an alkali metal such as Li or an alkaline earth metal such as Mg. Transition metals including rare earth metals, reducing organic compounds, and the like are preferably used. As the metal, a metal having a work function of 4.2 eV or less can be preferably used. Specifically, Li, Na, K, Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Y, Cs, La, Sm, Examples thereof include Gd and Yb. Examples of the reducing organic compound include nitrogen-containing compounds, sulfur-containing compounds, and phosphorus-containing compounds.
These electron donating dopants may be used alone or in combination of two or more.
The content of the electron donating dopant varies depending on the type of material, but is preferably 0.1% by mass to 99% by mass, and 1.0% by mass to 80% by mass with respect to the electron transport layer material. More preferably, it is particularly preferably 2.0% by mass to 70% by mass.

前記電子注入層、及び前記電子輸送層は、上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。   The electron injection layer and the electron transport layer may have a single layer structure made of one or more of the materials described above, or a multilayer structure made of a plurality of layers having the same composition or different compositions. Good.

<<正孔ブロック層、電子ブロック層>>
前記正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が陰極側に通り抜けることを防止する機能を有する層であり、通常、発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として設けられる。
前記電子ブロック層は、陰極側から発光層に輸送された電子が陽極側に通り抜けることを防止する機能を有する層であり、通常、発光層と陽極側で隣接する有機化合物層として設けられる。
前記正孔ブロック層を構成する化合物としては、例えば、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体などが挙げられる。
前記電子ブロック層を構成する化合物としては、例えば、前述の正孔輸送材料として挙げたものが利用できる。
前記正孔ブロック層及び電子ブロック層の厚さとしては、1nm〜500nmが好ましく、5nm〜200nmがより好ましく、10nm〜100nmが特に好ましい。また正孔ブロック層及び電子ブロック層は、上述した材料の1種又は2種以上からなる単層構造であってもよいし、同一組成又は異種組成の複数層からなる多層構造であってもよい。
<< Hole Block Layer, Electron Block Layer >>
The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side, and is usually provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side. .
The electron blocking layer is a layer having a function of preventing electrons transported from the cathode side to the light emitting layer from passing through to the anode side, and is usually provided as an organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the anode side.
Examples of the compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, and phenanthroline derivatives such as BCP.
As a compound which comprises the said electron block layer, what was mentioned as the above-mentioned hole transport material can be utilized, for example.
The thickness of the hole blocking layer and the electron blocking layer is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm, and particularly preferably 10 nm to 100 nm. In addition, the hole blocking layer and the electron blocking layer may have a single layer structure composed of one or more of the above-described materials, or may have a multilayer structure composed of a plurality of layers having the same composition or different compositions. .

<<電極>>
前記有機電界発光素子は、一対の電極、即ち陽極と陰極とを含む。前記有機電界発光素子の性質上、陽極及び陰極のうち少なくとも一方の電極は透明であることが好ましい。通常、陽極は有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、陰極は有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよい。
前記電極としては、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、有機電界発光素子の用途、目的に応じて公知の電極材料の中から適宜選択することができる。
前記電極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、導電性化合物、又はこれらの混合物等が好適に挙げられる。
<< Electrode >>
The organic electroluminescent element includes a pair of electrodes, that is, an anode and a cathode. In view of the nature of the organic electroluminescence device, at least one of the anode and the cathode is preferably transparent. Usually, the anode only needs to have a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and the cathode only needs to have a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer.
There is no restriction | limiting in particular about the shape, a structure, a magnitude | size, etc. as said electrode, According to the use and objective of an organic electroluminescent element, it can select suitably from well-known electrode materials.
As a material which comprises the said electrode, a metal, an alloy, a metal oxide, a conductive compound, or a mixture thereof etc. are mentioned suitably, for example.

−陽極−
陽極としては、本発明における、前記陽極と同様に形成する。
-Anode-
The anode is formed in the same manner as the anode in the present invention.

−陰極−
前記陰極を構成する材料としては、例えば、アルカリ金属(例えばLi、Na、K、Cs等)、アルカリ土類金属(例えばMg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、ナトリウム−カリウム合金、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。
これらの中でも、電子注入性の点で、アルカリ金属やアルカリ土類金属が好ましく、保存安定性に優れる点で、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。
前記アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01質量%〜10質量%のアルカリ金属又はアルカリ土類金属との合金若しくはこれらの混合物(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。
-Cathode-
Examples of the material constituting the cathode include alkali metals (eg, Li, Na, K, Cs, etc.), alkaline earth metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, sodium-potassium alloys, Examples thereof include lithium-aluminum alloys, magnesium-silver alloys, rare earth metals such as indium and ytterbium. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.
Among these, alkali metals and alkaline earth metals are preferable from the viewpoint of electron injection properties, and materials mainly composed of aluminum are preferable from the viewpoint of excellent storage stability.
The material mainly composed of aluminum is aluminum alone, an alloy of aluminum and 0.01% by mass to 10% by mass of alkali metal or alkaline earth metal, or a mixture thereof (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum). Alloy).

前記陰極の形成方法及び前記陰極を形成する際のパターニングとしては、前記陽極と同様に行うことができる。   The method for forming the cathode and the patterning for forming the cathode can be performed in the same manner as the anode.

<<基板>>
前記有機電界発光素子は、基板上に設けられていることが好ましく、電極と基板とが直接接する形で設けられていてもよいし、中間層を介在する形で設けられていてもよい。
前記基板の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばイットリア安定化ジルコニア(YSZ)、ガラス(無アルカリガラス、ソーダライムガラス等)等の無機材料;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリ(クロロトリフルオロエチレン)等の有機材料などが挙げられる。
<< Board >>
The organic electroluminescent element is preferably provided on a substrate, and may be provided in such a manner that the electrode and the substrate are in direct contact with each other, or may be provided with an intermediate layer interposed therebetween.
The material for the substrate is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, inorganic materials such as yttria-stabilized zirconia (YSZ) and glass (such as alkali-free glass and soda lime glass); polyethylene terephthalate And polyesters such as polybutylene phthalate and polyethylene naphthalate; organic materials such as polystyrene, polycarbonate, polyethersulfone, polyarylate, polyimide, polycycloolefin, norbornene resin, and poly (chlorotrifluoroethylene).

前記基板の形状、構造、大きさなどについては、特に制限はなく、発光素子の用途、目的などに応じて適宜選択することができる。一般的には、前記基板の形状としては、板状であることが好ましい。前記基板の構造としては、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよく、また、単一部材で形成されていてもよいし、2種以上の部材で形成されていてもよい。基板は透明でも不透明でもよく、透明な場合は無色透明でも有色透明でもよい。   There is no restriction | limiting in particular about the shape of the said board | substrate, a structure, a magnitude | size, According to the use of a light emitting element, the objective, etc., it can select suitably. In general, the shape of the substrate is preferably a plate shape. The structure of the substrate may be a single layer structure, a laminated structure, may be formed of a single member, or may be formed of two or more members. Good. The substrate may be transparent or opaque, and if transparent, it may be colorless and transparent or colored and transparent.

前記基板には、その表面又は裏面に透湿防止層(ガスバリア層)を設けることができる。
前記透湿防止層(ガスバリア層)の材料としては、例えば、窒化珪素、酸化珪素等の無機物などが挙げられる。
前記透湿防止層(ガスバリア層)は、例えば、高周波スパッタリング法などにより形成することができる。
The substrate may be provided with a moisture permeation preventing layer (gas barrier layer) on the front surface or the back surface.
Examples of the material of the moisture permeation preventing layer (gas barrier layer) include inorganic substances such as silicon nitride and silicon oxide.
The moisture permeation preventing layer (gas barrier layer) can be formed by, for example, a high frequency sputtering method.

<<保護層>>
有機電界発光素子全体は保護層によって保護されていてもよい。
前記保護層に含まれる材料としては、水分や酸素等の素子劣化を促進するものが素子内に入ることを抑止する機能を有しているものであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属;MgO、SiO、SiO、Al、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe、Y、TiO等の金属酸化物;SiNx、SiNxOy等の金属窒化物;MgF、LiF、AlF、CaF等の金属フッ化物;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイミド、ポリウレア、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジクロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンとジクロロジフルオロエチレンとの共重合体、テトラフルオロエチレンと少なくとも1種のコモノマーとを含むモノマー混合物を共重合させて得られる共重合体、共重合主鎖に環状構造を有する含フッ素共重合体、吸水率1%以上の吸水性物質、吸水率0.1%以下の防湿性物質などが挙げられる。
<< Protective layer >>
The entire organic electroluminescent element may be protected by a protective layer.
The material contained in the protective layer is not particularly limited as long as it has a function of suppressing the entry of elements that promote element deterioration such as moisture and oxygen into the element. For example, metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, Al, Ti, Ni; MgO, SiO, SiO 2 , Al 2 O 3 , GeO, NiO, CaO, BaO, Fe Metal oxides such as 2 O 3 , Y 2 O 3 and TiO 2 ; Metal nitrides such as SiNx and SiNxOy; Metal fluorides such as MgF 2 , LiF, AlF 3 and CaF 2 ; polyethylene, polypropylene, polymethyl methacrylate, Polyimide, polyurea, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polydichlorodifluoroethylene, chlorotrifluoroethylene And a copolymer of dichlorodifluoroethylene, a copolymer obtained by copolymerizing a monomer mixture containing tetrafluoroethylene and at least one comonomer, a fluorine-containing copolymer having a cyclic structure in the copolymer main chain, Examples thereof include a water-absorbing substance having a water absorption rate of 1% or more and a moisture-proof substance having a water absorption rate of 0.1% or less.

前記保護層の形成方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、MBE(分子線エピタキシ)法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法(高周波励起イオンプレーティング法)、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、ガスソースCVD法、コーティング法、印刷法、転写法などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a formation method of the said protective layer, According to the objective, it can select suitably, For example, a vacuum evaporation method, sputtering method, reactive sputtering method, MBE (molecular beam epitaxy) method, cluster ion beam Examples thereof include an ion plating method, a plasma polymerization method (high frequency excitation ion plating method), a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a gas source CVD method, a coating method, a printing method, and a transfer method.

−封止容器−
前記有機電界発光素子は、封止容器を用いて素子全体が封止されていてもよい。更に、前記封止容器と有機電界発光素子の間の空間には、水分吸収剤又は不活性液体を封入してもよい。
前記水分吸収剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、酸化バリウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、五酸化燐、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、塩化銅、フッ化セシウム、フッ化ニオブ、臭化カルシウム、臭化バナジウム、モレキュラーシーブ、ゼオライト、酸化マグネシウムなどが挙げられる。
前記不活性液体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、パラフィン類、流動パラフィン類;パーフルオロアルカン、パーフルオロアミン、パーフルオロエーテル等のフッ素系溶剤;塩素系溶剤、シリコーンオイル類などが挙げられる。
-Sealing container-
The organic electroluminescent element may be entirely sealed using a sealing container. Furthermore, a moisture absorbent or an inert liquid may be sealed in the space between the sealing container and the organic electroluminescent element.
The moisture absorbent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, barium oxide, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, phosphorus pentoxide, Examples thereof include calcium chloride, magnesium chloride, copper chloride, cesium fluoride, niobium fluoride, calcium bromide, vanadium bromide, molecular sieve, zeolite, and magnesium oxide.
The inert liquid is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include paraffins, liquid paraffins; fluorinated solvents such as perfluoroalkane, perfluoroamine, and perfluoroether; chlorine System solvents, silicone oils and the like.

−樹脂封止層−
前記有機電界発光素子は、大気からの酸素や水分による素子性能劣化を樹脂封止層により封止することで抑制することが好ましい。
前記樹脂封止層の樹脂素材としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、ゴム系樹脂、エステル系樹脂などが挙げられる。これらの中でも、水分防止機能の観点から、エポキシ樹脂が特に好ましい。前記エポキシ樹脂の中でも熱硬化型エポキシ樹脂、又は光硬化型エポキシ樹脂が好ましい。
-Resin sealing layer-
The organic electroluminescent element is preferably suppressed by sealing the element performance deterioration due to oxygen or moisture from the atmosphere with a resin sealing layer.
The resin material of the resin sealing layer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, acrylic resin, epoxy resin, fluorine resin, silicone resin, rubber resin, ester resin Etc. Among these, an epoxy resin is particularly preferable from the viewpoint of moisture prevention function. Among the epoxy resins, a thermosetting epoxy resin or a photocurable epoxy resin is preferable.

前記樹脂封止層の作製方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、樹脂溶液を塗布する方法、樹脂シートを圧着又は熱圧着する方法、蒸着、スパッタリング等により乾式重合する方法などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a preparation method of the said resin sealing layer, According to the objective, it can select suitably, For example, the method of apply | coating a resin solution, the method of crimping | bonding or thermocompressing a resin sheet, vapor deposition, sputtering, etc. And a dry polymerization method.

−封止接着剤−
前記有機電界発光素子に用いられる封止接着剤は、端部よりの水分や酸素の侵入を防止する機能を有する。
前記封止接着剤の材料としては、前記樹脂封止層で用いる材料と同じものを用いることができる。これらの中でも、水分防止の点からエポキシ系の接着剤が好ましく、光硬化型接着剤あるいは熱硬化型接着剤が特に好ましい。
前記封止接着剤にフィラーを添加することも好ましい。前記フィラーとしては、例えばSiO、SiO(酸化ケイ素)、SiON(酸窒化ケイ素)、SiN(窒化ケイ素)等の無機材料が好ましい。該フィラーの添加により、封止接着剤の粘度が上昇し、加工適正が向上し、及び耐湿性が向上する。
前記封止接着剤は、乾燥剤を含有してもよい。前記乾燥剤としては、例えば酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、などが挙げられる。前記乾燥剤の添加量は、前記封止接着剤に対し0.01質量%〜20質量%が好ましく、0.05質量%〜15質量%がより好ましい。前記添加量が、0.01質量%未満であると、乾燥剤の添加効果が薄れることになり、20質量%を超えると、封止接着剤中に乾燥剤を均一分散させることが困難になることがある。
本発明においては、前期乾燥剤の入った封止接着剤をディスペンサー等により任意量塗布し、塗布後第2基板を重ねて、硬化させることにより封止することができる。
-Sealing adhesive-
The sealing adhesive used for the organic electroluminescent element has a function of preventing intrusion of moisture and oxygen from the end portion.
As the material of the sealing adhesive, the same material as that used for the resin sealing layer can be used. Among these, an epoxy adhesive is preferable from the viewpoint of moisture prevention, and a photocurable adhesive or a thermosetting adhesive is particularly preferable.
It is also preferable to add a filler to the sealing adhesive. As the filler, for example SiO 2, SiO (silicon oxide), SiON (silicon oxynitride), an inorganic material such as SiN (silicon nitride) are preferred. Addition of the filler increases the viscosity of the sealing adhesive, improves processing suitability, and improves moisture resistance.
The sealing adhesive may contain a desiccant. Examples of the desiccant include barium oxide, calcium oxide, and strontium oxide. The addition amount of the desiccant is preferably 0.01% by mass to 20% by mass and more preferably 0.05% by mass to 15% by mass with respect to the sealing adhesive. When the addition amount is less than 0.01% by mass, the effect of adding the desiccant is diminished, and when it exceeds 20% by mass, it is difficult to uniformly disperse the desiccant in the sealing adhesive. Sometimes.
In the present invention, it is possible to seal by applying an arbitrary amount of a sealing adhesive containing a desiccant in the previous period with a dispenser or the like, and stacking and curing the second substrate after application.

−駆動−
前記有機電界発光素子は、陽極と陰極との間に直流(必要に応じて交流成分を含んでもよい)電圧(通常、2ボルト〜15ボルト)、又は直流電流を印加することにより、発光を得ることができる。
前記有機電界発光素子は、薄膜トランジスタ(TFT)によりアクティブマトリックスへ適用することができる。薄膜トランジスタの活性層としてアモルファスシリコン、高温ポリシリコン、低温ポリシリコン、微結晶シリコン、酸化物半導体、有機半導体、カーボンナノチューブ等を適用することができる。
前記有機電界発光素子は、例えばWO2005/088726号パンフレット、特開2006−165529号公報、米国特許出願公開2008/0237598A1明細書などに記載の薄膜トランジスタを適用することができる。
-Drive-
The organic electroluminescent element emits light by applying a direct current (which may include an alternating current component as necessary) voltage (usually 2 to 15 volts) or a direct current between the anode and the cathode. be able to.
The organic electroluminescence device can be applied to an active matrix by a thin film transistor (TFT). As the active layer of the thin film transistor, amorphous silicon, high temperature polysilicon, low temperature polysilicon, microcrystalline silicon, oxide semiconductor, organic semiconductor, carbon nanotube, or the like can be used.
As the organic electroluminescent element, for example, a thin film transistor described in WO2005 / 088826 pamphlet, JP-A-2006-165529, US Patent Application Publication No. 2008 / 0237598A1, and the like can be applied.

前記有機電界発光素子は、特に制限はなく、種々の公知の工夫により、光取り出し効率を向上させることができる。例えば、基板表面形状を加工する(例えば、微細な凹凸パターンを形成する)こと、基板、ITO層、有機層の屈折率を制御すること、基板、ITO層、有機層の膜厚を制御することなどにより、光の取り出し効率を向上させ、外部量子効率を向上させることが可能である。
前記有機電界発光素子からの光取り出し方式は、トップエミッション方式であってもボトムエミッション方式であってもよい。
The organic electroluminescent element is not particularly limited, and the light extraction efficiency can be improved by various known devices. For example, processing the substrate surface shape (for example, forming a fine concavo-convex pattern), controlling the refractive index of the substrate, ITO layer, organic layer, controlling the film thickness of the substrate, ITO layer, organic layer Thus, the light extraction efficiency can be improved and the external quantum efficiency can be improved.
The light extraction method from the organic electroluminescent element may be a top emission method or a bottom emission method.

前記有機電界発光素子は、共振器構造を有してもよい。例えば、透明基板上に、屈折率の異なる複数の積層膜よりなる多層膜ミラー、透明又は半透明電極、発光層、及び金属電極を重ね合わせて有する。発光層で生じた光は多層膜ミラーと金属電極を反射板としてその間で反射を繰り返し共振する。
別の好ましい態様では、透明基板上に、透明又は半透明電極と金属電極がそれぞれ反射板として機能して、発光層で生じた光はその間で反射を繰り返し共振する。
共振構造を形成するためには、2つの反射板の有効屈折率、反射板間の各層の屈折率と厚みから決定される光路長を所望の共振波長の得るのに最適な値となるよう調整される。第1の態様の場合の計算式は、特開平9−180883号公報に記載されている。第2の態様の場合の計算式は、特開2004−127795号公報に記載されている。
The organic electroluminescent device may have a resonator structure. For example, a multilayer mirror made of a plurality of laminated films having different refractive indexes, a transparent or translucent electrode, a light emitting layer, and a metal electrode are superimposed on a transparent substrate. The light generated in the light emitting layer resonates repeatedly with the multilayer mirror and the metal electrode as a reflection plate.
In another preferred embodiment, a transparent or translucent electrode and a metal electrode each function as a reflecting plate on a transparent substrate, and light generated in the light emitting layer repeats reflection and resonates between them.
In order to form a resonant structure, the optical path length determined from the effective refractive index of the two reflectors and the refractive index and thickness of each layer between the reflectors is adjusted to an optimum value to obtain the desired resonant wavelength. Is done. The calculation formula in the case of the first aspect is described in JP-A-9-180883. The calculation formula in the case of the second aspect is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-127795.

−用途−
前記有機電界発光素子は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、表示素子、ディスプレイ、バックライト、電子写真、照明光源、記録光源、露光光源、読み取り光源、標識、看板、インテリア、光通信等に好適に利用できる。
前記有機ELディスプレイをフルカラータイプのものとする方法としては、例えば「月刊ディスプレイ」、2000年9月号、33〜37ページに記載されているように、色の3原色(青色(B)、緑色(G)、赤色(R))に対応する光をそれぞれ発光する有機電界発光素子を基板上に配置する3色発光法、白色発光用の有機電界発光素子による白色発光をカラーフィルターを通して3原色に分ける白色法、青色発光用の有機電界発光素子による青色発光を蛍光色素層を通して赤色(R)及び緑色(G)に変換する色変換法などが知られている。また、上記方法により得られる異なる発光色の有機電界発光素子を複数組み合わせて用いることにより、所望の発光色の平面型光源を得ることができる。例えば、青色及び黄色の発光素子を組み合わせた白色発光光源、青色、緑色、赤色の発光素子を組み合わせた白色発光光源などが挙げられる。
-Application-
The organic electroluminescent element is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Display element, display, backlight, electrophotography, illumination light source, recording light source, exposure light source, reading light source, sign, signboard It can be suitably used for interior, optical communication, and the like.
As a method for making the organic EL display of a full color type, as described in, for example, “Monthly Display”, September 2000, pages 33 to 37, the three primary colors (blue (B), green (G), red (R)) three-color light emission method in which organic electroluminescent elements that emit light respectively corresponding to red (R) are arranged on a substrate, white light emission by a white light-emitting organic electroluminescent element to three primary colors through a color filter There are known a white method of dividing, a color conversion method of converting blue light emission by an organic electroluminescent element for blue light emission into red (R) and green (G) through a fluorescent dye layer. Moreover, the planar light source of a desired luminescent color can be obtained by using combining the organic electroluminescent element of the different luminescent color obtained by the said method. For example, a white light-emitting light source combining blue and yellow light-emitting elements, a white light-emitting light source combining blue, green, and red light-emitting elements can be used.

(有機電界発光素子)
本発明の有機電界発光素子は、本発明の前記有機電界発光素子の製造方法により製造されてなる。
(Organic electroluminescence device)
The organic electroluminescent element of the present invention is manufactured by the method for manufacturing an organic electroluminescent element of the present invention.

前記有機電界発光素子は、一対の電極、即ち陽極と陰極と、両電極の間に発光層と正孔注入層とを含む有機層を有し、更に必要に応じて、正孔輸送層、電子輸送層、正孔ブロック層、電子ブロック層、電子注入層、などを有していてもよい。   The organic electroluminescence device has a pair of electrodes, that is, an anode and a cathode, and an organic layer including a light emitting layer and a hole injection layer between the electrodes, and further, if necessary, a hole transport layer, an electron You may have a transport layer, a hole block layer, an electron block layer, an electron injection layer, etc.

前記有機電界発光素子は、陽極上に正孔注入層を設けた積層構造を有する。積層構造と発光層との間に正孔輸送層を有することが好ましく、陰極と発光層との間に電子輸送層を有することが好ましい。また、電子輸送層と陰極との間に電子注入層を設けてもよい。更に、発光層と正孔輸送層との間に正孔輸送性中間層(電子ブロック層)を設けてもよく、発光層と電子輸送層との間に電子輸送性中間層(正孔ブロック層)を設けてもよい。各有機層は複数の二次層に分かれていてもよい。   The organic electroluminescent element has a laminated structure in which a hole injection layer is provided on an anode. A hole transport layer is preferably provided between the stacked structure and the light emitting layer, and an electron transport layer is preferably provided between the cathode and the light emitting layer. An electron injection layer may be provided between the electron transport layer and the cathode. Further, a hole transporting intermediate layer (electron blocking layer) may be provided between the light emitting layer and the hole transporting layer, and an electron transporting intermediate layer (hole blocking layer) between the light emitting layer and the electron transporting layer. ) May be provided. Each organic layer may be divided into a plurality of secondary layers.

前記電極、発光層、正孔注入層を含む各有機層としては、本発明の前記有機電界発光素子の製造方法で述べた構成のすべてを適用することができる。
本発明の製造方法は、吸収層設置工程を更に含んでもよい。
As each organic layer including the electrode, the light emitting layer, and the hole injection layer, all of the configurations described in the method for manufacturing the organic electroluminescent element of the present invention can be applied.
The manufacturing method of this invention may further include the absorption layer installation process.

前記電磁波照射工程により露光された有機電界発光素子は、その発光面上に、前記電磁波照射工程で照射した波長の電磁波を吸収する層を有してもよい。
前記電磁波照射工程において露光された有機電界発光素子は、照射された電磁波の波長に対し感受性が上昇するため、前記有機電界発光素子の発光面に外部からの特定の波長を含む光に曝された場合に輝度が低下してしまうことがある。そこで、意図しない露光を防止するため、電磁波照射工程で照射した波長の電磁波を吸収する層を有機電界発光素子の発光面上に設けることが好ましい。
The organic electroluminescent element exposed by the electromagnetic wave irradiation step may have a layer that absorbs the electromagnetic wave having the wavelength irradiated in the electromagnetic wave irradiation step on the light emitting surface.
The organic electroluminescence device exposed in the electromagnetic wave irradiation step is exposed to light including a specific wavelength from the outside on the light emitting surface of the organic electroluminescence device because sensitivity to the wavelength of the irradiated electromagnetic wave increases. In some cases, the luminance may decrease. Therefore, in order to prevent unintended exposure, it is preferable to provide a layer that absorbs the electromagnetic wave having the wavelength irradiated in the electromagnetic wave irradiation step on the light emitting surface of the organic electroluminescent element.

前記電磁波を吸収する層としては、特に制限はなく、吸収する波長に応じて適宜選択することができ、例えば、フィルター、フィルムなどが挙げられる。
前記の層を設置する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、有機電界発光素子全体を包んでもよいし、有機電界発光素子の発光面を覆うように被せてもよい。
There is no restriction | limiting in particular as a layer which absorbs the said electromagnetic wave, According to the wavelength to absorb, it can select suitably, For example, a filter, a film, etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as a method of installing the said layer, According to the objective, it can select suitably, For example, you may wrap the whole organic electroluminescent element, and it covers the light emission surface of an organic electroluminescent element. It may be covered.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。(以下の実施例1〜10及び13〜15を、参考例1〜10及び13〜15に読み替える) Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples. (Replace the following Examples 1-10 and 13-15 with Reference Examples 1-10 and 13-15)

(実施例1)
<有機電界発光素子の作製>
100nm厚のITO付きガラス基板(基板厚み0.7mm、ジオマテック株式会社製スーパーフラットITO)を洗浄して十分に乾燥した後、ITO表面を、EXAM型プラズマクリーニング装置(神港精機株式会社製)を用いて基板の表面処理を行なった。処理ガスには、窒素ガスを用いた。前記表面処理の条件としては、高周波電源の出力を80W、ガス流量を70mL/min、処理時間を60秒間とした。また、処理中の圧力は、100Paとした。次いで、真空蒸着装置(トッキ株式会社製CM470)に基板を投入し、下記構造式で表されるCuPc(銅フタロシアニン)を40nm蒸着した。次いで、α−NPD〔N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン〕を10nm蒸着した。次いで、発光層として12質量%のIr(mppy)3〔トリス[2−(p−トリル)ピリジン]イリジウム(III)〕をドープしたCBP〔4,4'−ビス[9−ジカルバゾリル]−2,2'−ビフェニル〕を30nm、更にAlq3〔トリス(8−ヒドロキシキノリナート)アルミニウム(III)〕を50nm蒸着した。蒸着レートは、いずれも0.2nm/sとした。次いで、LiF(フッ化リチウム)を1nm蒸着し、最後に陰極としてAl(アルミニウム)100nmを蒸着により積層した。LiFの蒸着レートは、0.02nm/sとし、Alの蒸着レートは、1nm/sとした。次に、封止ガラスを、UV硬化接着剤(ナガセケムテックス株式会社製XNR5516Z)を用いて接着し、発光面積が2mm×2mmの有機電界発光素子を得た。なお、蒸着速度及び各層厚みは、水晶振動子を用いて測定した。
Example 1
<Production of organic electroluminescence device>
A glass substrate with ITO of 100 nm thickness (substrate thickness 0.7 mm, Super Flat ITO manufactured by Geomatek Co., Ltd.) was washed and dried sufficiently, and then the ITO surface was replaced with an EXAM type plasma cleaning device (manufactured by Shinko Seiki Co., Ltd.). The substrate was used for surface treatment. Nitrogen gas was used as the processing gas. As the surface treatment conditions, the output of the high-frequency power source was 80 W, the gas flow rate was 70 mL / min, and the treatment time was 60 seconds. The pressure during the treatment was 100 Pa. Next, the substrate was placed in a vacuum deposition apparatus (CM470 manufactured by Tokki Co., Ltd.), and CuPc (copper phthalocyanine) represented by the following structural formula was deposited by 40 nm. Next, α-NPD [N, N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenylbenzidine] was deposited by 10 nm. Next, CBP [4,4′-bis [9-dicarbazolyl] -2 doped with 12% by mass of Ir (mppy) 3 [tris [2- (p-tolyl) pyridine] iridium (III)] as a light emitting layer, 2′-biphenyl] was vapor-deposited to 30 nm, and Alq3 [tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum (III)] was vapor-deposited to 50 nm. The vapor deposition rate was 0.2 nm / s. Next, 1 nm of LiF (lithium fluoride) was vapor-deposited, and finally, 100 nm of Al (aluminum) as a cathode was laminated by vapor deposition. The deposition rate of LiF was 0.02 nm / s, and the deposition rate of Al was 1 nm / s. Next, the sealing glass was adhered using a UV curable adhesive (XNR5516Z manufactured by Nagase ChemteX Corporation) to obtain an organic electroluminescent element having a light emitting area of 2 mm × 2 mm. In addition, the vapor deposition rate and each layer thickness were measured using the quartz oscillator.

最終的に得られた有機電界発光素子の構成は、陽極側から、ITO(100nm)/CuPc(40nm)/NPD(10nm)/12質量%Ir(mppy)3+CBP(30nm)/Alq3(50nm)/LiF(1nm)/Al(100nm)である。以下に、CuPc、NPD、CBP、Ir(mppy)3、Alq3の構造式を示す。
The structure of the organic electroluminescence device finally obtained is as follows: from the anode side, ITO (100 nm) / CuPc (40 nm) / NPD (10 nm) / 12 mass% Ir (mppy) 3 + CBP (30 nm) / Alq3 (50 nm) / LiF (1 nm) / Al (100 nm). The structural formulas of CuPc, NPD, CBP, Ir (mppy) 3, and Alq3 are shown below.

上記で得られた2mm角の発光面全体にキセノン水銀ランプからの電磁波(280mW/cm)を、10分間照射した。 The entire 2 mm square light emitting surface obtained above was irradiated with electromagnetic waves (280 mW / cm 2 ) from a xenon mercury lamp for 10 minutes.

<測定方法>
以下のようにして、得られた有機電界発光素子の輝度及び発光開始電圧について測定した。
<Measurement method>
The luminance and emission start voltage of the obtained organic electroluminescence device were measured as follows.

−有機電界発光素子の輝度の測定−
電磁波照射前後の有機電界発光素子について、ケースレーインスツルメンツ社(Keithley Instruments Inc.)製ソースメジャーユニットSMU−1を用いて、直流電圧を素子に印加し、発光させた。その輝度を株式会社トプコン製SR−3を用いて測定した。電磁波照射による電圧−輝度特性の変化を図1に示す。
また、電磁波照射前後の電圧−輝度特性から10V印加時の輝度を比較した。結果を表1に示す。なお、電磁波照射前後における輝度変化率は、下記式(1)により求めた。
輝度変化率(%)=〔(電磁波未照射の輝度−電磁波照射後の輝度)/電磁波未照射の輝度〕×100 ・・・(1)
-Measurement of luminance of organic electroluminescent element-
About the organic electroluminescent element before and behind electromagnetic wave irradiation, the direct voltage was applied to the element and light-emitted using the source measure unit SMU-1 by Keithley Instruments Inc. (Keithley Instruments Inc.). The brightness was measured using SR-3 manufactured by Topcon Corporation. FIG. 1 shows changes in voltage-luminance characteristics due to electromagnetic wave irradiation.
Moreover, the brightness | luminance at the time of 10V application was compared from the voltage-luminance characteristic before and behind electromagnetic wave irradiation. The results are shown in Table 1. In addition, the luminance change rate before and after electromagnetic wave irradiation was calculated | required by following formula (1).
Brightness change rate (%) = [(luminance not irradiated with electromagnetic wave−luminance after electromagnetic wave irradiation) / luminance not irradiated with electromagnetic wave] × 100 (1)

−駆動電圧の測定−
ケースレーインスツルメンツ社(Keithley Instruments Inc.)製ソースメジャーユニットSMU−1を用いて、直流電流を各素子に流して発光させた。このとき発光を開始するのに必要な電圧を駆動電圧(V)とした。
-Measurement of drive voltage-
Using a source measure unit SMU-1 manufactured by Keithley Instruments Inc., direct current was passed through each element to emit light. At this time, a voltage required to start light emission was defined as a drive voltage (V).

(比較例1)
実施例1において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 1)
In Example 1, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the gas used for electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例2)
実施例1において、正孔注入層の材料をCuPcからIr(mppy)3に変更したこと以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 2)
In Example 1, an organic electroluminescence device was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the material of the hole injection layer was changed from CuPc to Ir (mppy) 3.

(比較例2)
実施例2において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例2と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 2)
In Example 2, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 2 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例3)
実施例1において、正孔注入層の材料をCuPcから下記構造式で表されるm−MTDATA〔4,4’,4’’−ニトリロトリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアニリン]〕に変更した以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 3)
In Example 1, the material of the hole injection layer was changed from CuPc to m-MTDATA [4,4 ′, 4 ″ -nitrilotris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylaniline represented by the following structural formula. ] An organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the above was changed.

(比較例3)
実施例3において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例3と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 3)
In Example 3, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 3 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例4)
実施例1において、正孔注入層の材料をCuPcから下記構造式で表されるDNTPD〔N,N'−ジフェニル−N,N’−ビス−[4−(フェニル−m-トリル−アミノ)−フェニル]−ビフェニル−4,4’−ジアミン〕に変更した以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 4)
In Example 1, the material of the hole injection layer was changed from CuPc to DNTPD [N, N′-diphenyl-N, N′-bis- [4- (phenyl-m-tolyl-amino)-] represented by the following structural formula. An organic electroluminescent device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the compound was changed to [phenyl] -biphenyl-4,4′-diamine].

(比較例4)
実施例4において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例4と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 4)
In Example 4, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 4 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例5)
実施例1において、正孔注入層の材料をCuPcから下記構造式で表される2−TNATA〔4,4’,4’’−トリス[N,N−(2−ナフチル)フェニルアミノ]トリフェニルアミン〕に変更した以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。なお、電磁波照射による電圧−輝度特性の変化を図2に示す。
(Example 5)
In Example 1, the material of the hole injection layer was changed from CuPc to 2-TNATA [4,4 ′, 4 ″ -tris [N, N- (2-naphthyl) phenylamino] triphenyl represented by the following structural formula. An organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the amine was changed to [Amine]. In addition, the change of the voltage-luminance characteristic by electromagnetic wave irradiation is shown in FIG.

(実施例6)
実施例5において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから窒素/酸素混合ガス(体積比率=1/1)に変更した以外は、実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 6)
In Example 5, an organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 5 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to nitrogen / oxygen mixed gas (volume ratio = 1/1). Evaluation was performed.

(実施例7)
実施例5において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスからアルゴンガスに変更した以外は、実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 7)
In Example 5, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 5 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to argon gas.

(実施例8)
実施例5において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスからキセノンガスに変更した以外は、実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 8)
In Example 5, an organic electroluminescent element was prepared and evaluated in the same manner as in Example 5 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to xenon gas.

(比較例5)
実施例5において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 5)
In Example 5, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 5 except that the gas used for electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例9)
実施例7において、電極の表面処理をプラズマ処理から20分間紫外線を照射する紫外線照射処理に変更した以外は、実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。なお、紫外線照射は、有限会社ミズカプランニング製PL−16を用いてガスフロー量1L/min.の条件で行った。
Example 9
In Example 7, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 5 except that the surface treatment of the electrode was changed from the plasma treatment to the ultraviolet irradiation treatment in which ultraviolet rays were irradiated for 20 minutes. In addition, ultraviolet irradiation uses a gas flow amount of 1 L / min. It went on condition of.

(実施例10)
実施例9において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから窒素/酸素混合ガス(体積比率=8/2)に変更した以外は、実施例9と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 10)
In Example 9, an organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 9 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to nitrogen / oxygen mixed gas (volume ratio = 8/2). Evaluation was performed.

(比較例6)
実施例9において、電極の表面処理に用いるガスをアルゴンガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例9と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 6)
In Example 9, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 9 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from argon gas to oxygen gas.

(実施例11)
実施例1において、ITOにCuPcを40nm蒸着させる代わりに、ITOに2−TNATAを35nm、ついで0.3質量%の下記構造式で表される電子受容性化合物(F4TCQN:2,3,5,6−テトラフルオロ−7,7,8,8−テトラシアノキノジメタン)をドープした2−TNATAを5nm蒸着させた以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。なお、電子受容性化合物がドープされた正孔注入層は、正孔注入材料と、電子受容性化合物を共蒸着することで形成した。2−TNATAの蒸着レートを0.5nm/sとし、F4TCNQの蒸着レートを0.0015nm/sとすることで電子受容性化合物の含有量を0.3質量%とした。
(Example 11)
In Example 1, instead of depositing 40 nm of CuPc on ITO, an electron-accepting compound represented by the following structural formula (F4TCQN: 2, 3, 5, An organic electroluminescent device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 5-TNAF doped with 6-tetrafluoro-7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane) was evaporated. went. Note that the hole injection layer doped with the electron accepting compound was formed by co-evaporation of the hole injecting material and the electron accepting compound. The content of the electron-accepting compound was set to 0.3% by mass by setting the deposition rate of 2-TNATA to 0.5 nm / s and the deposition rate of F4TCNQ to 0.0015 nm / s.

(比較例7)
実施例11において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例11と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 7)
In Example 11, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 11 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例12)
実施例11において、ITOに0.3質量%のF4TCQNをドープした2−TNATAを5nm、次いで2−TNATAを35nm蒸着させるように蒸着の順序を変更した以外は、実施例11と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 12)
In Example 11, the organic layer was organically treated in the same manner as in Example 11 except that the deposition order was changed so that 2-TNATA doped with 0.3% by mass of F4TCQN was deposited to 5 nm and then 2-TNATA was deposited to 35 nm. An electroluminescent element was prepared and evaluated.

(比較例8)
実施例12において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例12と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 8)
In Example 12, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 12 except that the gas used for the electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(実施例13)
実施例1において、ITOにCuPcを40nm蒸着させる代わりに、ITOに0.3質量%のF4TCNQをドープした2−TNATAを40nm蒸着させ、電磁波の照射時間を10分から200分に変更した以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Example 13)
In Example 1, instead of depositing 40 nm of CuPc on ITO, 40 nm of 2-TNATA doped with 0.3% by mass of F4TCNQ was deposited on ITO, and the irradiation time of electromagnetic waves was changed from 10 minutes to 200 minutes. An organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 1.

(比較例9)
実施例13において、電極の表面処理に用いるガスを窒素ガスから酸素ガスに変更した以外は、実施例13と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 9)
In Example 13, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 13 except that the gas used for electrode surface treatment was changed from nitrogen gas to oxygen gas.

(比較例10)
実施例1において、電極の表面処理を行わなかった以外は、実施例1と同様にして有機電界発光素子を作製し、評価を行った。
(Comparative Example 10)
In Example 1, an organic electroluminescent element was produced and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the electrode surface treatment was not performed.

(実施例14)
実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製した。得られた素子に紫外線カットフィルター(富士フイルム株式会社製SC−42)を貼り付けて、1ヶ月間明所保管(蛍光灯下、1000ルクスの環境)した。保管前後の10V印加時の輝度を表2に示す。
(Example 14)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 5. An ultraviolet cut filter (SC-42 manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) was attached to the resulting device, and stored for 1 month in a bright place (under fluorescent light, 1000 lux environment). Table 2 shows the luminance when 10 V was applied before and after storage.

(実施例15)
実施例5と同様にして有機電界発光素子を作製した。得られた素子を1ヶ月間明所保管(蛍光灯下、1000ルクスの環境)した。保管前後の10V印加時の輝度を表2に示す。
(Example 15)
An organic electroluminescent element was produced in the same manner as in Example 5. The obtained device was stored in a bright place for 1 month (under a fluorescent lamp, 1000 lux environment). Table 2 shows the luminance when 10 V was applied before and after storage.

実施例1〜15及び比較例1〜10における上述の各種評価の結果を以下の表1及び2に示す。   The results of various evaluations described above in Examples 1 to 15 and Comparative Examples 1 to 10 are shown in Tables 1 and 2 below.

図1から、CuPcを正孔注入層に含む有機電界発光素子において、電磁波照射により素子の駆動電圧が増大したことがわかる。10V印加時の輝度は、電磁波照射を行わなかった素子で450cd/m、10分間の電磁波照射を行った素子で200cd/mであった。また、10分間の電磁波照射により、等電圧駆動での輝度が0.31倍となった。
前記CuPcは、アリールアミン骨格を有する材料を用いた場合に比べ、発光開始電圧が低いことから、有機電界発光素子の正孔注入層材料として有用であるが、電磁波照射に対する感受性が低いため、発光パターンを電磁波で露光するための有機電界発光素子の正孔注入層材料としては、通常使用できないものと考えられてきた。しかし、窒素ガス乃至希ガスを陽極の表面処理ガスとして用いることで、CuPcもそのような有機電界発光素子の正孔注入層材料として十分に使用できることがわかる。
From FIG. 1, it can be seen that in the organic electroluminescent device containing CuPc in the hole injection layer, the driving voltage of the device was increased by the electromagnetic wave irradiation. Brightness in 10V applied, was 200 cd / m 2 at element was electromagnetic radiation at the element not subjected to electromagnetic radiation 450 cd / m 2, 10 minutes. In addition, the luminance under equal voltage driving was increased 0.31 times by electromagnetic wave irradiation for 10 minutes.
The CuPc is useful as a hole injection layer material of an organic electroluminescence device because it has a low emission starting voltage compared to the case where a material having an arylamine skeleton is used. As a hole injection layer material of an organic electroluminescence device for exposing a pattern with an electromagnetic wave, it has been considered that it cannot usually be used. However, it can be seen that by using nitrogen gas or rare gas as the surface treatment gas for the anode, CuPc can be sufficiently used as the hole injection layer material of such an organic electroluminescence device.

図2から、アリールアミン骨格を有する化合物である2−TNATAを正孔注入層に含む有機電界発光素子において、電磁波照射により素子の駆動電圧が増大したことがわかる。その増大率は、CuPcを正孔注入層材料として用いた場合よりも大きく、アリールアミン骨格を有する正孔注入層材料は、電磁波照射の感受性が高いことが分かる。   From FIG. 2, it can be seen that in the organic electroluminescent device containing 2-TNATA, which is a compound having an arylamine skeleton, in the hole injection layer, the driving voltage of the device is increased by irradiation with electromagnetic waves. The increase rate is larger than when CuPc is used as the hole injection layer material, and the hole injection layer material having an arylamine skeleton is highly sensitive to electromagnetic wave irradiation.

表1から分かるように、正孔注入層が同じ材料であれば、陽極の表面処理に窒素ガスや希ガスを用いることで、同じ電磁波照射量でも駆動電圧の上昇を大きくすることができ、すなわち、短時間の電磁波照射で大きなコントラストを得ることが可能な有機電界発光素子を製造することができた。また、正孔注入層にアリールアミン骨格を含むm−MTDATA、DNTPD、2−TNATAを用いることで、より短時間の電磁波照射で駆動電圧を変化させることが可能となり露光によりパターンを描く用途の有機電界発光素子として有利であることが分かった。   As can be seen from Table 1, if the hole injection layer is the same material, the use of nitrogen gas or noble gas for the surface treatment of the anode can increase the driving voltage even with the same electromagnetic wave irradiation amount. Thus, an organic electroluminescence device capable of obtaining a large contrast by irradiation with electromagnetic waves for a short time could be manufactured. In addition, by using m-MTDATA, DNTPD, and 2-TNATA containing an arylamine skeleton in the hole injection layer, it is possible to change the driving voltage with shorter electromagnetic wave irradiation, and the organic pattern is used for drawing a pattern by exposure. It has been found to be advantageous as an electroluminescent device.

また、表1から電子受容性化合物を正孔注入層の全体に含有させた実施例13の素子は駆動電圧を上昇させるために非常に長時間の電磁波照射を要する素子であることがわかる。これに対して実施例11及び12では、部分的に電子受容性化合物を含有させることで有機電界発光素子の低電圧化を実現しつつ(10Vでの輝度が実施例5と比較して高い)、短時間で露光可能な素子となった。   Further, it can be seen from Table 1 that the element of Example 13 in which the electron-accepting compound is contained in the whole hole injection layer is an element that requires electromagnetic wave irradiation for a very long time in order to increase the drive voltage. On the other hand, in Examples 11 and 12, the organic electroluminescent element was reduced in voltage by partially containing an electron-accepting compound (the luminance at 10 V was higher than that in Example 5). Thus, the device can be exposed in a short time.

比較例10から、陽極の表面処理を行なわない場合には、酸素ガスによる表面処理を行った場合に比べ、露光による駆動電圧は上昇し易いが、もともとの素子全体の駆動電圧が高く、電気効率が非常に低い素子となることが分かる。また、表面処理を行なわない有機電界発光素子が素子性能で劣ることは公知であり、露光の有無に関わらず、素子としての性能が非常に低くなる。   From Comparative Example 10, when the surface treatment of the anode is not performed, the drive voltage due to exposure is likely to increase as compared with the case where the surface treatment is performed with oxygen gas, but the drive voltage of the original device as a whole is high and the electric efficiency is high. It turns out that becomes a very low element. In addition, it is known that an organic electroluminescence device not subjected to surface treatment is inferior in device performance, and the performance as a device becomes very low regardless of exposure.

また、表2から分かるように、有機電界発光素子を製造した後にフィルターなどの特定の波長を吸収する層を素子の発光面上に設置することで、意図しない露光を防止することができる。   Further, as can be seen from Table 2, unintentional exposure can be prevented by providing a layer that absorbs a specific wavelength, such as a filter, on the light emitting surface of the element after the organic electroluminescent element is manufactured.

本発明の有機電界発光素子の製造方法により製造された有機電界発光素子は、短時間の電磁波照射でも効果的に照射部分の駆動電圧を上昇させることができるため、容易にコントラストをつけることができ、かつ製造コストを下げることが可能となる。
また、露光有機電界発光素子の正孔注入層にアリールアミン骨格を有する材料以外の材料をも用いることが可能となり、材料選択の幅を広げることができる。特にCuPc及びIr(mppy)3を用いた有機電界発光素子は、アリールアミン骨格を有する材料を用いた有機電界発光素子に比べて、駆動電圧が低いため、発光効率の点で有利である。
The organic electroluminescent device manufactured by the method for manufacturing an organic electroluminescent device of the present invention can increase the driving voltage of the irradiated portion effectively even for a short time of electromagnetic wave irradiation, and thus can easily provide contrast. In addition, the manufacturing cost can be reduced.
In addition, it is possible to use a material other than the material having an arylamine skeleton in the hole injection layer of the exposure organic electroluminescence device, and the range of material selection can be expanded. In particular, an organic electroluminescent element using CuPc and Ir (mppy) 3 is advantageous in terms of luminous efficiency because it has a lower driving voltage than an organic electroluminescent element using a material having an arylamine skeleton.

Claims (8)

窒素ガス及び希ガスの少なくともいずれかを含むガス雰囲気下で陽極を表面処理する表
面処理工程と、
前記表面処理された陽極上に少なくとも正孔注入層と発光層とを含む有機電界発光素子
を作製する有機電界発光素子作製工程と、
前記有機電界発光素子の発光面の少なくとも一部に電磁波を照射して前記発光面の輝度
を変化させる電磁波照射工程と、を含み、
前記正孔注入層が、電子受容性化合物を含み、
前記電子受容性化合物の含有量が、前記正孔注入層の厚み方向に分布を有することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
A surface treatment step of surface-treating the anode in a gas atmosphere containing at least one of nitrogen gas and noble gas;
An organic electroluminescence device producing step of producing an organic electroluminescence device comprising at least a hole injection layer and a light emitting layer on the surface-treated anode;
Look including a electromagnetic wave irradiating step of changing the brightness of the light emitting surface by irradiating an electromagnetic wave to at least a portion of the light emitting surface of the organic light emitting diode,
The hole injection layer contains an electron-accepting compound;
The method for producing an organic electroluminescent element , wherein the content of the electron-accepting compound has a distribution in a thickness direction of the hole injection layer .
表面処理が、プラズマ処理である請求項1に記載の有機電界発光素子の製造方法。   The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the surface treatment is a plasma treatment. 表面処理が、紫外線照射処理である請求項1に記載の有機電界発光素子の製造方法。   The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the surface treatment is an ultraviolet irradiation treatment. 正孔注入層が、アリールアミン骨格を有する化合物を含む請求項1から3のいずれかに
記載の有機電界発光素子の製造方法。
The manufacturing method of the organic electroluminescent element in any one of Claim 1 to 3 with which a positive hole injection layer contains the compound which has an arylamine skeleton.
電子受容性化合物を含む部分が、少なくとも正孔注入層の陽極に接する請求項1から4のいずれかに記載の有機電界発光素子の製造方法。The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1, wherein the portion containing the electron-accepting compound is in contact with at least the anode of the hole injection layer. 電子受容性化合物を含む部分の平均厚みが、20nm以下である請求項1から5のいずThe average thickness of the portion containing the electron-accepting compound is 20 nm or less.
れかに記載の有機電界発光素子の製造方法。The manufacturing method of the organic electroluminescent element in any one of them.
請求項1から6のいずれかに記載の有機電界発光素子の製造方法により製造されることIt is manufactured by the method for manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 1.
を特徴とする有機電界発光素子。An organic electroluminescent element characterized by the above.
発光面上に電磁波照射工程で照射した波長の電磁波を吸収する層を更に有する請求項7The layer which absorbs the electromagnetic wave of the wavelength irradiated by the electromagnetic wave irradiation process on the light emission surface is further provided.
に記載の有機電界発光素子。The organic electroluminescent element of description.
JP2010286744A 2010-12-22 2010-12-22 Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device Active JP5572081B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010286744A JP5572081B2 (en) 2010-12-22 2010-12-22 Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010286744A JP5572081B2 (en) 2010-12-22 2010-12-22 Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012134071A JP2012134071A (en) 2012-07-12
JP5572081B2 true JP5572081B2 (en) 2014-08-13

Family

ID=46649425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010286744A Active JP5572081B2 (en) 2010-12-22 2010-12-22 Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5572081B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6264374B2 (en) * 2013-06-14 2018-01-24 コニカミノルタ株式会社 Method for manufacturing surface-emitting panel with light-emitting pattern
JP6340911B2 (en) * 2014-05-21 2018-06-13 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescent device and method for producing organic electroluminescent device
KR20180054957A (en) 2016-11-14 2018-05-25 삼성디스플레이 주식회사 Light emitting diode

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3599077B2 (en) * 1996-05-15 2004-12-08 ケミプロ化成株式会社 Organic electroluminescence device and method of manufacturing the same
JP2002237215A (en) * 2001-02-08 2002-08-23 Canon Inc Surface modified transparent conductive film, its surface treatment, and charge injection type light emitting device using the same
WO2006025554A1 (en) * 2004-08-31 2006-03-09 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Organic electroluminescent device and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012134071A (en) 2012-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5205584B2 (en) Organic electroluminescence device and display device
JP5441654B2 (en) Organic electroluminescence device
JP4620802B1 (en) Organic electroluminescence device
WO2011021433A1 (en) Organic electroluminescent element
JP2011059621A (en) Light extraction member, organic el element and method for manufacturing the organic el element
JP2010278354A (en) Organic electroluminescent element
JP2007287652A (en) Light-emitting element
JP2010182637A (en) Organic electroluminescent element manufacturing method and organic electroluminescent element
WO2012124642A1 (en) Organic electroluminescent element
JP2010192366A (en) Organic electroluminescence element and method for manufacturing the same
JP5833322B2 (en) Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
WO2010061788A1 (en) Organic field light emitting element
JP2010153820A (en) Organic electroluminescent element
JP5473506B2 (en) Color filter and light emitting display element
JP4855286B2 (en) Method for manufacturing organic electroluminescent device
JP2011171279A (en) Organic electric field light-emitting element
JP5690578B2 (en) Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
JP2010161357A (en) Organic electric field light-emitting element and light-emitting device
JP5670223B2 (en) Organic electroluminescence device
JP5572081B2 (en) Method for manufacturing organic electroluminescent device and organic electroluminescent device
JP2011192829A (en) Organic electroluminescent element
JP2011100944A (en) Organic electroluminescent element
JP5761962B2 (en) Organic electroluminescence device
JP5649327B2 (en) Organic electroluminescence device
JP2010198907A (en) Organic electroluminescent display device

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20121218

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130611

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140204

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140417

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140603

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140627

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5572081

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250