JP6335609B2 - スポットサイズ変換素子および半導体装置 - Google Patents
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Description
<構成>
図1、図2および図3は、本実施の形態1におけるスポットサイズ変換素子(以下、SS変換素子とも記載)の構成を示す概略図である。図1は、SS変換素子の平面図である。図2は、図1に点線で示した線分A1A2における断面図である。また、図3(a),(b),(c),(d)のそれぞれは、図1に点線で示した線分B1B2,C1C2,D1D2,E1E2における断面図である。
次に、本実施の形態1のスポットサイズ変換素子の製造方法について説明する。第1コア111は、図3(a)で示すように、半導体部をエッチングにより第1コア111の下部までハイメサ形状に加工した後、第1コア111を第1クラッド112で囲んだ構造をしたハイメサ導波路である。例えば、基板101はn型InPである。第1コア111は、InP基板上にエピ成長させたInGaAsP等の4元エピタキシャル成長層である。第1クラッド112はエピタキシャル成長させたp型InP層である。基板101上に第1コア111をエピタキシャル成長させた後、公知の露光技術とドライエッチング技術を用いてハイメサ形状を作成する。その後、第1クラッド112をエピタキシャル成長させる。
次に、本実施の形態のスポットサイズ変換素子の特性のシミュレーション結果について説明する。
本実施の形態1におけるスポットサイズ変換素子は、下部クラッドとしての基板101と、入射光が入射する入射端側から先端に向けて幅が小さくなる先端部113を備える第1コア111と、第1コア111の先端部113と、先端部113を基板101との間で囲む第1クラッド112と、を備えるスポットサイズ変換光導波路と、第1コア111の先端部113の先端および第1クラッド112の終端と接し、第1コア111の入射端における幅よりも幅の広い第2コア121と、第2コア121を基板101との間で囲む第2クラッド122と、を備える拡大スポット光導波路と、第2コア121の終端および第2クラッド122の終端と接するスラブ導波路を備える窓領域130と、を備える。
<構成>
図12および図13は、本実施の形態2におけるSS変換素子の構成を示す概略図である。図12は、SS変換素子の平面図である。図13(a),(b)は、図12に点線で示した線分A1A2,B1B2における断面図である。
図14は、本実施の形態2におけるSS変換素子の光ファイバ結合効率と反射戻り光率を、前述のBPMシミュレーションにより計算した結果である。また、図14に、実施の形態1におけるSS変換素子の光ファイバ結合効率と反射戻り光率も併せて示す。図14の横軸は、窓領域130の長さL3である。縦軸は光ファイバ結合効率と反射戻り光率をともにdB単位で示した。図14から、実施の形態1、2において、結合効率にほとんど差がないことがわかる。一方、反射戻り光率は、本実施の形態2の方が0.2dBから0.7dB程度低減され、改善されていることがわかる。また、後述するように結合効率と反射戻り光率はトレードオフの関係があるため、本実施の形態2では、素子構造を調整することにより、反射戻り光率を実施の形態1と同程度とし、結合効率を実施形態1よりも改善することも可能である。
本実施の形態2におけるスポットサイズ変換素子において、光伝搬方向に対して第2コア121の厚みが一定であり、光伝搬方向に向けて第2コア121の幅が小さくなり、第2コア121の終端における幅W4は、第1コア111の最大幅W1よりも大きい。
図16は、本実施の形態3における半導体装置の平面図である。本実施の形態における半導体装置は、半導体光素子200と、接続部300と、実施の形態1のSS変換素子とを集積した素子である。以下では、実施の形態1と同じ点については説明を省略する。
本実施の形態における半導体装置は、実施の形態1におけるスポットサイズ変換素子と、光の変調を行う半導体光素子200と、半導体光素子200とスポットサイズ変換素子を接続する接続部300と、を備え、半導体光素子200は、コア層201を備え、接続部300は、前端が半導体光素子200のコア層201と接した第1接続コア210と、前端が第1接続コア210の後端と接し、後端が第1コア111の入射端と接した第2接続コア220と、を備え、半導体光素子200のコア層201は、両側が半導体で埋め込まれないハイメサリッジ構造の導波路コアであり、第1接続コア210は、両側が半導体で埋め込まれないハイメサリッジ構造の導波路コアであり、第2接続コア220は、埋め込み型の導波路コアであり、第1接続コア210は、光伝搬方向に向けて幅が大きくなり、第2接続コア220は、光伝搬方向に向けて幅が小さくなる。
Claims (3)
- 下部クラッドとしての基板と、
入射光が入射する入射端側から先端に向けて幅が小さくなる先端部を備える第1コアと、
前記第1コアの前記先端部と、当該先端部を前記基板との間で囲む第1クラッドと、を備えるスポットサイズ変換光導波路と、
前記第1コアの前記先端部の先端および前記第1クラッドの終端と接し、当該第1コアの前記入射端における幅よりも幅の広い第2コアと、当該第2コアを前記基板との間で囲む第2クラッドと、を備える拡大スポット光導波路と、
前記第2コアの終端および前記第2クラッドの終端と接するスラブ導波路を備える窓領域と、
を備え、
光伝搬方向に対して前記第2コアの厚みが一定であり、
光伝搬方向に向けて前記第2コアの幅がその始端から終端にかけて連続的に小さくなり、
前記第2コアの終端における幅は、前記第1コアの最大幅よりも大きい、
スポットサイズ変換素子。 - 前記第1クラッドと前記第2コアの屈折率が等しい、
請求項1に記載のスポットサイズ変換素子。 - スポットサイズ変換素子と、
光の変調を行う半導体光素子と、
前記半導体光素子と前記スポットサイズ変換素子を接続する接続部と、
を備え、
前記スポットサイズ変換素子は、下部クラッドとしての基板と、
入射光が入射する入射端側から先端に向けて幅が小さくなる先端部を備える第1コアと、
前記第1コアの前記先端部と、当該先端部を前記基板との間で囲む第1クラッドと、を備えるスポットサイズ変換光導波路と、
前記第1コアの前記先端部の先端および前記第1クラッドの終端と接し、当該第1コアの前記入射端における幅よりも幅の広い第2コアと、当該第2コアを前記基板との間で囲む第2クラッドと、を備える拡大スポット光導波路と、
前記第2コアの終端および前記第2クラッドの終端と接するスラブ導波路を備える窓領域と、
を備え、
前記半導体光素子は、コア層を備え、
前記接続部は、前端が前記半導体光素子の前記コア層と接した第1接続コアと、
前端が当該第1接続コアの後端と接し、後端が前記第1コアの前記入射端と接した第2接続コアと、
を備え、
前記半導体光素子の前記コア層は、両側が半導体で埋め込まれないハイメサリッジ構造の導波路コアであり、
前記第1接続コアは、両側が半導体で埋め込まれないハイメサリッジ構造の導波路コアであり、
前記第2接続コアは、埋め込み型の導波路コアであり、
前記第1接続コアは、光伝搬方向に向けて幅が大きくなり、
前記第2接続コアは、光伝搬方向に向けて幅が小さくなる、
半導体装置。
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