JP6319151B2 - Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device - Google Patents
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Description
本発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor device and a method for manufacturing the semiconductor device.
半導体装置の耐圧性向上を目的として、縦型ＭＯＳＦＥＴに保護素子としてのＰＮ接合ダイオードを併設する技術が知られている。この場合、ＰＮ接合ダイオードを保護素子として機能させるため、縦型ＭＯＳＦＥＴのＮ−ドリフト層よりも薄いＮ−層を有するＰＮ接合ダイオードを形成することが好ましい。特許文献１には、保護ダイオードを形成する電極間に挟まれたＮ−層を薄くするため、Ｎ−層の一部を除去した後、除去した部分にＰ型層を再成長により形成する技術が開示されている。 For the purpose of improving the breakdown voltage of a semiconductor device, a technique is known in which a vertical MOSFET is provided with a PN junction diode as a protection element. In this case, in order for the PN junction diode to function as a protection element, it is preferable to form a PN junction diode having an N − layer thinner than the N − drift layer of the vertical MOSFET. In Patent Document 1, in order to thin the N − layer sandwiched between the electrodes forming the protection diode, after removing a part of the N − layer, a P-type layer is formed by regrowth in the removed portion. Is disclosed.
しかし、半導体として窒化物半導体を用いる場合、特許文献１に記載の技術においては、再成長界面に意図しないＮ型キャリアが発生することにより、ＰＮ接合ダイオードの耐圧が低下するという課題を発明者らが見出した。そのほか、従来の半導体装置においては、その小型化や、省資源化、製造の容易化、製造の精確さ、作業性の向上等が望まれていた。 However, when a nitride semiconductor is used as a semiconductor, the technique disclosed in Patent Document 1 has a problem that the withstand voltage of the PN junction diode is reduced due to the generation of unintended N-type carriers at the regrowth interface. Found. In addition, the conventional semiconductor device has been desired to be downsized, save resources, facilitate manufacturing, improve manufacturing accuracy, and improve workability.
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することができる。
本発明の第１の形態は、
第１導電型の第１窒化物半導体層と、前記第１導電型の第２窒化物半導体層と、第２導電型の第３窒化物半導体層と、前記第１導電型の第４窒化物半導体層と、がこの順に積層された積層体と、
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する第１の電極と、を有し、
前記第３窒化物半導体層と、前記第４窒化物半導体層とを貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチが形成され、
前記トレンチに絶縁膜を介して設けられたゲート電極を備える、
縦型ＭＯＳトランジスタと、
前記第１の電極と、
前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する前記第２導電型のオーミック電極と、を有する、
保護素子と、を備える、半導体装置であって、
前記第１導電型の不純物濃度は、前記第１窒化物半導体層に比べて前記第２窒化物半導体層のほうが低く、
前記第１窒化物半導体層は、前記第２窒化物半導体層へ突出する凸部を備え、
前記積層体の積層方向から見たときに、前記凸部の上面は、前記第２導電型のオーミック電極と少なくとも一部が重なる位置に配されており、
前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、半導体装置である。
本発明の第２の形態は、
半導体装置の製造方法であって、
第１導電型の第１窒化物半導体層の面に突出する凸部を形成する工程と、
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記凸部を備える面に、前記第１窒化物半導体層よりも不純物濃度が小さい前記第１導電型の第２窒化物半導体層と、第２導電型の第３窒化物半導体層と、をこの順に積層する工程と、
前記第３窒化物半導体層を貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチを形成する工程と、
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、第１の電極を形成する工程と、
積層方向において、前記凸部の上面と少なくとも一部が重なる位置であって、前記第３窒化物半導体層の面であり、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第２導電型のオーミック電極を形成する工程と、
前記トレンチに絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第１導電型の第４窒化物半導体層を形成する工程と、
前記第４窒化物半導体層にソース電極を形成する工程と、
を有し、
前記第４窒化物半導体層は、前記積層方向において、前記凸部の上面と重ならない位置に配されており、
前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、
前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層までの窒化物半導体層と前記ゲート電極と前記第１の電極と前記ソース電極とから形成される縦型ＭＯＳトランジスタと、前記第１窒化物半導体層から前記第３窒化物半導体層までの窒化物半導体層と前記第１電極と前記第２導電型のオーミック電極から形成されるＰＮ接合ダイオードである保護素子と、を備える半導体装置の製造方法である。また、本発明は以下の形態として実現することもできる。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms.
The first aspect of the present invention is:
The first conductivity type first nitride semiconductor layer, the first conductivity type second nitride semiconductor layer, the second conductivity type third nitride semiconductor layer, and the first conductivity type fourth nitride. A stacked body in which semiconductor layers are stacked in this order;
A first electrode in contact with a surface of the first nitride semiconductor layer opposite to a surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
A trench penetrating the third nitride semiconductor layer and the fourth nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer is formed;
A gate electrode provided in the trench via an insulating film;
A vertical MOS transistor;
The first electrode;
An ohmic electrode of the second conductivity type that is in contact with the surface of the third nitride semiconductor layer that is opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
A semiconductor device comprising a protection element,
The impurity concentration of the first conductivity type is lower in the second nitride semiconductor layer than in the first nitride semiconductor layer,
The first nitride semiconductor layer includes a protrusion protruding to the second nitride semiconductor layer,
When viewed from the stacking direction of the stacked body, the top surface of the convex portion is disposed at a position at least partially overlapping the second conductivity type ohmic electrode,
In the semiconductor device, the thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion where the bottom surface of the trench is in contact is larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion where the top surface of the convex portion is in contact.
The second aspect of the present invention is:
A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
Forming a protrusion protruding on the surface of the first conductivity type first nitride semiconductor layer;
A second nitride semiconductor layer of the first conductivity type having a lower impurity concentration than the first nitride semiconductor layer on a surface of the first nitride semiconductor layer, the surface having the convex portion; Laminating a conductive third nitride semiconductor layer in this order;
Forming a trench penetrating the third nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer;
Forming a first electrode on a surface of the first nitride semiconductor layer opposite to a surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
In the stacking direction, at least a part of the upper surface of the convex portion overlaps the surface of the third nitride semiconductor layer, on the surface opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer, Forming the second conductivity type ohmic electrode;
Forming a gate electrode in the trench via an insulating film;
Forming the first conductivity type fourth nitride semiconductor layer on the surface of the third nitride semiconductor layer opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
Forming a source electrode on the fourth nitride semiconductor layer;
Have
The fourth nitride semiconductor layer is arranged in a position not overlapping the upper surface of the convex portion in the stacking direction;
The thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the bottom surface of the trench is in contact is greater than the thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the top surface of the convex portion is in contact,
A vertical MOS transistor formed of a nitride semiconductor layer from the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer, the gate electrode, the first electrode, and the source electrode; and the first nitride A semiconductor device comprising: a nitride semiconductor layer from a nitride semiconductor layer to the third nitride semiconductor layer; a protective element that is a PN junction diode formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode; Is the method. The present invention can also be realized as the following forms.
（１）本発明の一形態によれば、半導体装置が提供される。この半導体装置は、第１導電型の第１窒化物半導体層と、前記第１導電型の第２窒化物半導体層と、第２導電型の第３窒化物半導体層と、前記第１導電型の第４窒化物半導体層と、がこの順に積層された積層体と、前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する第１の電極と、を有し、前記第３窒化物半導体層と、前記第４窒化物半導体層とを貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチが形成された、縦型ＭＯＳトランジスタと、前記第１の電極と、前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する前記第２導電型のオーミック電極と、を有する、保護素子と、を備える、半導体装置であって；前記第１導電型の不純物濃度は、前記第１窒化物半導体層に比べて前記第２窒化物半導体層のほうが低く、前記第１窒化物半導体層は、前記第２窒化物半導体層へ突出する凸部を備え、前記積層体の積層方向から見たときに、前記凸部の上面は、前記第２導電型のオーミック電極と少なくとも一部が重なる位置に配されており、前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい。この形態の半導体装置によれば、第１窒化物半導体層は、前記第２窒化物半導体層へ突出する凸部を備え、トレンチの底面における第２窒化物半導体層の厚みは、凸部の上面における第２窒化物半導体層の厚みよりも大きいため、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (1) According to one aspect of the present invention, a semiconductor device is provided. The semiconductor device includes a first conductivity type first nitride semiconductor layer, the first conductivity type second nitride semiconductor layer, a second conductivity type third nitride semiconductor layer, and the first conductivity type. The fourth nitride semiconductor layer are stacked in this order, and the surface of the first nitride semiconductor layer is in contact with the surface opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer. A vertical MOS transistor having a first electrode and having a trench penetrating the third nitride semiconductor layer and the fourth nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer And the first electrode, and the second conductivity type ohmic electrode in contact with the surface of the third nitride semiconductor layer opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer, A semiconductor device comprising: a protection element; wherein the impurity concentration of the first conductivity type is: The second nitride semiconductor layer is lower than the first nitride semiconductor layer, and the first nitride semiconductor layer includes a protrusion protruding to the second nitride semiconductor layer, When viewed from the direction, the top surface of the convex portion is disposed at a position at least partially overlapping the second conductivity type ohmic electrode, and the second nitride semiconductor layer in a portion where the bottom surface of the trench contacts Is thicker than the thickness of the second nitride semiconductor layer at the portion where the upper surface of the convex portion is in contact. According to the semiconductor device of this aspect, the first nitride semiconductor layer includes the convex portion protruding to the second nitride semiconductor layer, and the thickness of the second nitride semiconductor layer on the bottom surface of the trench is the upper surface of the convex portion. Since the thickness is larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer in FIG.
（２）上記形態の半導体装置において、前記積層方向から見たときに、前記第４窒化物半導体層は、前記凸部の上面と重ならない位置に配されていてもよい。この形態の半導体装置によれば、第４窒化物半導体層から凸部へ電流が流れる前に、保護素子に電流が流れることにより、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (2) In the semiconductor device of the above aspect, the fourth nitride semiconductor layer may be arranged at a position that does not overlap the upper surface of the convex portion when viewed from the stacking direction. According to the semiconductor device of this aspect, the current flows through the protection element before the current flows from the fourth nitride semiconductor layer to the convex portion, so that a reduction in the breakdown voltage of the protection element can be suppressed.
（３）上記形態の半導体装置において、さらに、前記積層方向から見たときに、前記凸部に対して、前記トレンチが配されている側とは反対側に、前記第３窒化物半導体層を貫通し、前記第２窒化物半導体層に達する段差部が形成されており、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記段差部の底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚み以下としてもよい。この形態の半導体装置によれば、段差部と第１の電極との間に電流が流れる前に、保護素子に電流が流れることにより、半導体装置の耐圧破壊を抑制できる。 (3) In the semiconductor device of the above aspect, the third nitride semiconductor layer may be disposed on a side opposite to the side where the trench is disposed with respect to the convex portion when viewed from the stacking direction. A step portion that penetrates and reaches the second nitride semiconductor layer is formed, and the thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion that is in contact with the upper surface of the convex portion is the thickness in the portion that is in contact with the bottom surface of the step portion. It may be less than or equal to the thickness of the second nitride semiconductor layer. According to the semiconductor device of this aspect, the breakdown voltage of the semiconductor device can be suppressed by causing the current to flow through the protective element before the current flows between the stepped portion and the first electrode.
（４）上記形態の半導体装置において、前記段差部の底面と前記凸部との距離は、前記段差部の底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きくてもよい。この形態の半導体装置によれば、第１の電極から凸部を介して段差部に電流が流れる前に、保護素子に電流が流れることにより、半導体装置の耐圧破壊を抑制できる。 (4) In the semiconductor device of the above aspect, the distance between the bottom surface of the stepped portion and the convex portion may be larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer at a portion where the bottom surface of the stepped portion is in contact. According to the semiconductor device of this aspect, the breakdown voltage of the semiconductor device can be suppressed by causing the current to flow through the protective element before the current flows from the first electrode to the stepped portion via the convex portion.
（５）上記形態の半導体装置において、さらに、前記第４窒化物半導体層の面であって、前記第３窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する前記第１導電型のオーミック電極を備えてもよい。この形態の半導体装置によれば、第１導電型のオーミック電極が形成されているため、縦型ＭＯＳトランジスタのオン抵抗を下げることができる。 (5) In the semiconductor device of the above aspect, the first conductivity type ohmic contact is further made on the surface of the fourth nitride semiconductor layer, which is in contact with the surface opposite to the surface in contact with the third nitride semiconductor layer. An electrode may be provided. According to the semiconductor device of this aspect, since the first conductivity type ohmic electrode is formed, the on-resistance of the vertical MOS transistor can be lowered.
（６）上記形態の半導体装置において、さらに、前記第１導電型のオーミック電極と前記第２導電型のオーミック電極とを電気的に接続する第１配線を備え、前記第１配線は、絶縁膜を介して前記段差部の側面を覆っていてもよい。この形態の半導体装置によれば、第１配線を備えることにより、段差部側面で電界が集中することを抑制でき、その結果、半導体装置の耐圧破壊を抑制できる。 (6) In the semiconductor device of the above aspect, the semiconductor device further includes a first wiring that electrically connects the first conductivity type ohmic electrode and the second conductivity type ohmic electrode, and the first wiring includes an insulating film You may cover the side surface of the said level | step-difference part via. According to the semiconductor device of this aspect, by providing the first wiring, it is possible to suppress the concentration of the electric field on the side surface of the step portion, and as a result, it is possible to suppress the breakdown voltage breakdown of the semiconductor device.
（７）上記形態の半導体装置において、前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層は、ガリウムを含む窒化物半導体により形成されていてもよい。この形態の半導体装置によれば、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (7) In the semiconductor device of the above aspect, the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer may be formed of a nitride semiconductor containing gallium. According to this form of the semiconductor device, it is possible to suppress a decrease in the breakdown voltage of the protection element.
（８）上記形態の半導体装置において、前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウムにより形成されていてもよい。この形態の半導体装置によれば、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (8) In the semiconductor device of the above aspect, the first nitride semiconductor layer may be formed of gallium nitride. According to this form of the semiconductor device, it is possible to suppress a decrease in the breakdown voltage of the protection element.
（９）上記形態の半導体装置において、前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウム基板であってもよい。この形態の半導体装置によれば、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (9) In the semiconductor device of the above aspect, the first nitride semiconductor layer may be a gallium nitride substrate. According to this form of the semiconductor device, it is possible to suppress a decrease in the breakdown voltage of the protection element.
（１０）上記形態の半導体装置において、前記凸部の側面は、前記凸部の上面に対して傾斜していてもよい。この形態の半導体装置によれば、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (10) In the semiconductor device of the above aspect, the side surface of the convex portion may be inclined with respect to the upper surface of the convex portion. According to this form of the semiconductor device, it is possible to suppress a decrease in the breakdown voltage of the protection element.
（１１）上記形態の半導体装置において、前記凸部の側面は、ａ面またはｍ面で構成され、前記凸部の上面は、ｃ面で構成されていてもよい。この形態の半導体装置によれば、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (11) In the semiconductor device according to the above aspect, the side surface of the convex portion may be an a-plane or an m-plane, and the upper surface of the convex portion may be a c-plane. According to this form of the semiconductor device, it is possible to suppress a decrease in the breakdown voltage of the protection element.
（１２）本発明の一形態によれば、半導体装置の製造方法が提供される。この半導体装置の製造方法は、第１導電型の第１窒化物半導体層の面に突出する凸部を形成する工程と、前記第１窒化物半導体層の面であって、前記凸部を備える面に、前記第１窒化物半導体層よりも不純物濃度が小さい前記第１導電型の第２窒化物半導体層と、第２導電型の第３窒化物半導体層と、をこの順に積層する工程と、前記第３窒化物半導体層を貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチを形成する工程と、前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、第１の電極を形成する工程と、積層方向において、前記凸部の上面と少なくとも一部が重なる位置であって、前記第３窒化物半導体層の面であり、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第２導電型のオーミック電極を形成する工程と、を有し；前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい。この形態の半導体装置の製造方法によれば、第１電極と第２導電型のオーミック電極から形成される保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (12) According to an aspect of the present invention, a method for manufacturing a semiconductor device is provided. The method for manufacturing a semiconductor device includes a step of forming a protrusion protruding on a surface of a first conductivity type first nitride semiconductor layer, and the surface of the first nitride semiconductor layer, the protrusion being provided. Laminating the first conductivity type second nitride semiconductor layer having a lower impurity concentration than the first nitride semiconductor layer and a second conductivity type third nitride semiconductor layer in this order on the surface; A step of forming a trench penetrating the third nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer; and a surface of the first nitride semiconductor layer in contact with the second nitride semiconductor layer A step of forming the first electrode on a surface opposite to the surface, and a position at least partially overlapping the upper surface of the convex portion in the stacking direction, the surface of the third nitride semiconductor layer The second conductivity type on the surface opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer. Forming an ohmic electrode; and the thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the bottom surface of the trench contacts is greater than the thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the top surface of the convex portion contacts Is also big. According to the method for manufacturing a semiconductor device of this aspect, it is possible to suppress a decrease in breakdown voltage of the protective element formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode.
（１３）上記形態の半導体装置の製造方法において、さらに、前記凸部の上面と前記トレンチの底面との距離が、前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きくてもよい。この形態の半導体装置の製造方法によれば、縦型ＭＯＳトランジスタのドレイン電流は、トレンチ側方とトレンチ下方の第１窒化物半導体層との間を流れるので、縦型ＭＯＳトランジスタの耐圧は、凸部により低下することはない。これにより、保護素子よりも縦型ＭＯＳトランジスタの耐圧が下がることは無いので、縦型ＭＯＳトランジスタが耐圧破壊することを抑制できる。 (13) In the method of manufacturing a semiconductor device according to the above aspect, the distance between the top surface of the convex portion and the bottom surface of the trench is larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer at a portion where the bottom surface of the trench contacts. May be. According to the method of manufacturing a semiconductor device of this aspect, the drain current of the vertical MOS transistor flows between the side of the trench and the first nitride semiconductor layer below the trench. It does not decrease depending on the part. As a result, the breakdown voltage of the vertical MOS transistor does not drop more than that of the protective element, so that the breakdown of the vertical MOS transistor can be suppressed.
（１４）上記形態の半導体装置の製造方法において、前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第１導電型の第４窒化物半導体層を形成する工程を、備え、前記第４窒化物半導体層は、前記積層方向において、前記凸部の上面と重ならない位置に配されていてもよい。この形態の半導体装置の製造方法によれば、縦型ＭＯＳトランジスタのドレイン電流は、第４窒化物半導体層と、トレンチ下方の第１窒化物半導体層との間を流れるので、縦型ＭＯＳトランジスタの耐圧が凸部により低下することはない。保護素子よりも縦型ＭＯＳトランジスタの耐圧が下がることは無いので、縦型ＭＯＳトランジスタが耐圧破壊することを抑制できる。 (14) In the method of manufacturing a semiconductor device according to the above aspect, the surface of the third nitride semiconductor layer, the surface of the first conductivity type on the surface opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer. A step of forming a fourth nitride semiconductor layer, wherein the fourth nitride semiconductor layer may be arranged at a position that does not overlap with an upper surface of the convex portion in the stacking direction. According to the method for manufacturing a semiconductor device of this aspect, the drain current of the vertical MOS transistor flows between the fourth nitride semiconductor layer and the first nitride semiconductor layer below the trench. The breakdown voltage is not lowered by the convex portion. Since the breakdown voltage of the vertical MOS transistor does not drop more than the protection element, it is possible to suppress the breakdown of the vertical MOS transistor.
（１５）上記形態の半導体装置の製造方法において、前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層は、ガリウムを含む窒化物半導体により形成されていてもよい。この形態の半導体装置の製造方法によれば、第１電極と第２導電型のオーミック電極から形成される保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (15) In the method of manufacturing a semiconductor device according to the above aspect, the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer may be formed of a nitride semiconductor containing gallium. According to the method for manufacturing a semiconductor device of this aspect, it is possible to suppress a decrease in breakdown voltage of the protective element formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode.
（１６）上記形態の半導体装置の製造方法において、前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウム基板であってもよい。この形態の半導体装置の製造方法によれば、第１電極と第２導電型のオーミック電極から形成される保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 (16) In the method of manufacturing a semiconductor device according to the above aspect, the first nitride semiconductor layer may be a gallium nitride substrate. According to the method for manufacturing a semiconductor device of this aspect, it is possible to suppress a decrease in breakdown voltage of the protective element formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode.
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。 A plurality of constituent elements of each aspect of the present invention described above are not indispensable, and some or all of the effects described in the present specification are to be solved to solve part or all of the above-described problems. In order to achieve the above, it is possible to appropriately change, delete, replace with another new component, and partially delete the limited contents of some of the plurality of components. In order to solve part or all of the above-described problems or to achieve part or all of the effects described in this specification, technical features included in one embodiment of the present invention described above. A part or all of the technical features included in the other aspects of the present invention described above may be combined to form an independent form of the present invention.
本発明は、半導体装置およびその製造方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、本願発明は、上記形態の半導体装置が組み込まれた電気機器、上記形態の半導体装置を製造する製造装置などの形態で実現することができる。 The present invention can be realized in various forms other than the semiconductor device and the manufacturing method thereof. For example, the present invention can be realized in the form of an electrical apparatus in which the semiconductor device of the above form is incorporated, a manufacturing apparatus for manufacturing the semiconductor device of the above form, and the like.
この形態の半導体装置によれば、第１窒化物半導体層は、前記第２窒化物半導体層へ突出する凸部を備え、トレンチの底面における第２窒化物半導体層の厚みは、凸部の上面における第２窒化物半導体層の厚みよりも大きいため、保護素子の耐圧の低下を抑制できる。また、この形態の半導体装置の製造方法によれば、第１電極と第２導電型のオーミック電極から形成される保護素子の耐圧の低下を抑制できる。 According to the semiconductor device of this aspect, the first nitride semiconductor layer includes the convex portion protruding to the second nitride semiconductor layer, and the thickness of the second nitride semiconductor layer on the bottom surface of the trench is the upper surface of the convex portion. Since the thickness is larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer in FIG. In addition, according to the method for manufacturing a semiconductor device of this embodiment, it is possible to suppress a decrease in breakdown voltage of the protective element formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode.
Ａ．第１実施形態：
Ａ１．半導体装置１０の構成：
図１は、第１実施形態における半導体装置１０の構成を模式的に示す断面図である。半導体装置１０は、縦型ＭＯＳ(Metal-Oxide-Semiconductor）トランジスタ３００と保護素子２００とを備える。縦型ＭＯＳトランジスタ３００は、窒化物半導体を用いて形成されたＧａＮ系の半導体装置である。本実施形態では、縦型ＭＯＳトランジスタ３００は、トレンチゲート型ＭＯＳＦＥＴ(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor）であり、例えば、電力制御に用いられ、パワーデバイスとも呼ばれる。保護素子２００は、ＰＮ接合ダイオードである。本実施形態においては、窒化物半導体として窒化ガリウム（ＧａＮ）を用いる。
A. First embodiment:
A1. Configuration of the semiconductor device 10:
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the
半導体装置１０は、基板１１０と、Ｎ型半導体層１２０と、Ｐ型半導体層１３０と、Ｎ型半導体層１４０と、電極２１０，２３０，２４０，２５０と、配線２７０と、絶縁膜３４０とを備える。半導体装置１０は、ＮＰＮ型の半導体装置であり、Ｎ型半導体層１２０とＰ型半導体層１３０とＮ型半導体層１４０とが順に積層された構造を有する。
The
なお、「基板１１０」は、「半導体層１１０」や「第１導電型の第１窒化物半導体層１１０」とも呼び、「Ｎ型半導体層１２０」は、「第１導電型の第２窒化物半導体層１２０」とも呼び、「Ｐ型半導体層１３０」は、「第２導電型の第３窒化物半導体層１３０」とも呼び、「Ｎ型半導体層１４０」は、「第１導電型の第４窒化物半導体層１４０」とも呼ぶ。また、「半導体基板１１０と、Ｎ型半導体層１２０と、Ｐ型半導体層１３０と、Ｎ型半導体層１４０と、がこの順に積層された構造体」を、「積層体１００」とも呼ぶ。
The “
半導体装置１０のＮ型半導体層１２０、Ｐ型半導体層１３０、およびＮ型半導体層１４０は、有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ：Metal Organic Chemical Vapor Deposition）による結晶成長によって形成された半導体層である。
The N-
図１には、相互に直交するＸＹＺ軸が図示されている。図１のＸＹＺ軸のうち、Ｘ軸は、基板１１０に対してＮ型半導体層１２０が積層する積層方向に沿った軸である。Ｘ軸に沿ったＸ軸方向のうち、＋Ｘ軸方向は、基板１１０からＮ型半導体層１２０に向かう方向であり、−Ｘ軸方向は、＋Ｘ軸方向に対向する方向である。図１のＸＹＺ軸のうち、Ｙ軸およびＺ軸は、Ｘ軸に直交すると共に相互に直交する軸である。Ｙ軸に沿ったＹ軸方向のうち、＋Ｙ軸方向は、図１の紙面左から紙面右に向かう方向であり、−Ｙ軸方向は、＋Ｙ軸方向に対向する方向である。Ｚ軸に沿ったＺ軸方向のうち、＋Ｚ軸方向は、図１の紙面手前から紙面奥に向かう方向であり、−Ｚ軸方向は、＋Ｚ軸方向に対向する方向である。
FIG. 1 shows XYZ axes orthogonal to each other. Of the XYZ axes in FIG. 1, the X axis is an axis along the stacking direction in which the N-
半導体装置１０の基板１１０は、Ｙ軸およびＺ軸によって規定される面方向に沿って広がるＮ型の半導体層であり、本実施形態においては、Ｎ＋型の半導体層である。基板１１０は、主に、ガリウム（Ｇａ）を含む窒化物半導体により形成されている。本実施形態において、基板１１０は、窒化ガリウム（ＧａＮ）から主に形成される。基板１１０は、ゲルマニウム（Ｇｅ）、酸素（Ｏ）、ケイ素（Ｓｉ）などのＮ型不純物をドナーとして含有する。Ｎ型の不純物濃度は、基板１１０に比べてＮ型半導体層１２０のほうが低い。なお、窒化ガリウム（ＧａＮ）から主に形成されるとは、モル分率において、窒化ガリウム（ＧａＮ）を９０％以上含有することを示す。
The
基板１１０は、Ｎ型半導体層１２０へ突出する凸部１１５を備える。凸部１１５の側面（Ｙ軸方向側の面）は、ａ面またはｍ面で構成され、凸部１１５の上面（＋Ｘ軸方向側の面）はｃ面で構成されている。凸部１１５を備えることにより得られる効果は、後に詳述する。なお、基板１１０の代わりに、Ｎ＋型半導体層を設け、電極２１０とＮ＋型半導体層との間に基板を設けてもよい。
The
半導体装置１０のＮ型半導体層１２０は、基板１１０の＋Ｘ軸方向側に積層され、Ｙ軸およびＺ軸によって規定される面方向に沿って広がる半導体層である。Ｎ型半導体層１２０は、主に、ガリウム（Ｇａ）を含む窒化物半導体により形成されている。本実施形態において、Ｎ型半導体層１２０は、主に、窒化ガリウム（ＧａＮ）から形成されている。Ｎ型半導体層１２０は、ケイ素（Ｓｉ）をドナーとして含有する。Ｎ型半導体層１２０は、「ｎ-−ＧａＮ」とも呼ばれる。
The N-
半導体装置１０のＰ型半導体層１３０は、Ｎ型半導体層１２０の＋Ｘ軸方向側に積層され、Ｙ軸およびＺ軸によって規定される面方向に沿って広がる半導体層である。Ｐ型半導体層１３０は、主に、ガリウム（Ｇａ）を含む窒化物半導体により形成されている。本実施形態において、Ｐ型半導体層１３０は、主に、窒化ガリウム（ＧａＮ）から形成されている。Ｐ型半導体層１３０は、マグネシウム（Ｍｇ）をＰ型不純物として含有する。Ｐ型半導体層１３０の不純物濃度は、Ｎ型半導体層１２０の不純物濃度よりも高い。Ｐ型半導体層１３０は、「ｐ−ＧａＮ」とも呼ばれる。
The P-
半導体装置１０のＮ型半導体層１４０は、Ｐ型半導体層１３０の＋Ｘ軸方向側に積層され、Ｙ軸およびＺ軸によって規定される面方向に沿って広がる半導体層である。Ｎ型半導体層１４０は、窒化ガリウム（ＧａＮ）から主に形成されている。Ｎ型半導体層１４０は、ケイ素（Ｓｉ）をＮ型不純物として含有する。Ｎ型半導体層１４０の不純物濃度は、Ｎ型半導体層１２０の不純物濃度よりも高い。Ｎ型半導体層１４０は、「ｎ+−ＧａＮ」とも呼ばれる。基板１１０、Ｎ型半導体層１２０、Ｐ型半導体層１３０、Ｎ型半導体層１４０は、ガリウムを含む窒化物半導体により形成されている。
The N-
半導体装置１０の凹部１８２は、＋Ｘ軸方向側からＰ型半導体層１３０が露出した部位である。凹部１８２は、リセス（recess）とも呼ばれる。
The
半導体装置１０のトレンチ１８４は、ドライエッチングによって形成されている。トレンチ１８４は、Ｎ型半導体層１４０の＋Ｘ軸方向側から、Ｐ型半導体層１３０と、Ｎ型半導体層１４０とを貫通し、Ｎ型半導体層１２０まで達する部位である。本実施形態では、トレンチ１８４は、凹部１８２の＋Ｙ軸方向側に位置する。
The
トレンチ１８４の表面には、積層体１００の＋Ｘ軸方向側に至るまで、絶縁膜３４０が形成されている。本実施形態では、絶縁膜３４０は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）から形成されている。なお、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）に代えて、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ３）を用いてもよい。
An insulating
半導体装置１０の段差部１８６は、ドライエッチングによって形成されている。段差部１８６は、Ｐ型半導体層１３０を貫通し、Ｎ型半導体層１２０に達する部位である。段差部１８６は、半導体素子を分離するために設けられた素子分離領域である。積層体１００の積層方向（Ｘ軸方向）から見たときに、凸部１１５に対してトレンチ１８４が配されている側とは反対側に形成されている。つまり、段差部１８６は、トレンチ１８４の−Ｙ軸方向側に位置する。
The
半導体装置１０の電極２１０は、基板１１０の面であって、Ｎ型半導体層１２０と接する面とは反対側の面と接するドレイン電極である。つまり、電極２１０は、基板１１０の−Ｘ軸方向側に形成されている。電極２１０は、Ｎ型オーミック電極である。本実施形態では、電極２１０は、チタン（Ｔｉ）から形成される層にアルミニウム（Ａｌ）から形成される層を積層した後に焼成することによって形成される。なお、「電極２１０」は、「第１の電極２１０」とも呼ぶ。
The
半導体装置１０の電極２３０は、凹部１８２の内側に露出されたＰ型半導体層１３０に形成されたボディ電極である。電極２３０は、Ｐ型半導体層１３０の面であって、Ｎ型半導体層１２０と接する面とは反対側の面と接するＰ型オーミック電極である。「電極２３０」は、「第２導電型のオーミック電極２３０」とも呼ぶ。本実施形態では、電極２３０は、パラジウム（Ｐｄ）から形成される層を積層した後に焼成することによって形成される。
The
半導体装置１０の電極２４０は、凹部１８２とトレンチ１８４との間におけるＮ型半導体層１４０の上（＋Ｘ軸方向側）に形成されたソース電極である。つまり、電極２４０は、Ｎ型半導体層１４０の面であって、Ｐ型半導体層１３０と接する面とは反対側の面と接するＮ型オーミック電極である。本実施形態では、電極２４０は、チタン（Ｔｉ）から形成される層にアルミニウム（Ａｌ）から形成される層を積層した後に焼成することによって形成される。電極２４０は、オーミック電極であるため、縦型ＭＯＳトランジスタ３００のＯＮ抵抗を下げることができる。
The
半導体装置１０の電極２５０は、トレンチ１８４における絶縁膜３４０上に形成されたゲート電極である。本実施形態では、電極２５０は、アルミニウム（Ａｌ）から形成される。なお、アルミニウム（Ａｌ）に代えて、アルミニウムシリコン（ＡｌＳｉ）、アルミニウムシリコン銅（ＡｌＳｉＣｕ）を用いてもよい。
The
半導体装置１０の配線２７０は、電極２３０と電極２４０とを電気的に接続する配線である。「配線２７０」は、「第１配線２７０」とも呼び、アルミニウム（Ａｌ）から形成される。なお、アルミニウム（Ａｌ）に代えて、アルミニウムシリコン（ＡｌＳｉ）、アルミニウムシリコン銅（ＡｌＳｉＣｕ）を用いてもよい。配線２７０は、絶縁膜３４０を介して段差部１８６の側面（Ｙ軸方向側の面）を覆っている。配線２７０により、段差部１８６の側面において電界が集中することを抑制でき、その結果、半導体装置１０の耐圧破壊を抑制できる。
The
縦型ＭＯＳトランジスタ３００は、積層体１００と、ドレイン電極である電極２１０と、ゲート電極である電極２５０と、ソース電極である電極２４０と、により形成されている。保護素子２００は、積層体１００と、電極２３０と、電極２１０とにより形成されている。保護素子２００は、縦型ＭＯＳトランジスタ３００が耐圧破壊することから保護するために設けられたＰＮ接合ダイオードである。ここで、「耐圧破壊」とは、一度耐圧以上の電圧が印加されると縦型ＭＯＳトランジスタ内部が破壊され、元の電流・電圧特性が得られなくなる状態を示す。
The
図２は、半導体装置１０を＋Ｘ軸方向から見た外観図である。図２におけるＡ−Ａ断面が、図１におけるＡ−Ａ断面に相当する。半導体装置１０は、−Ｙ軸方向側から順に、（ｉ）半導体素子を分離するために用いる素子分離領域と、（ｉｉ）保護素子２００が形成された領域であるＰＮ接合保護ダイオード形成領域と、（ｉｉｉ）縦型ＭＯＳトランジスタ３００が形成されたトランジスタ形成領域とを備える。
FIG. 2 is an external view of the
図３は、Ｎ型半導体層１２０とＰ型半導体層１３０との界面を＋Ｘ軸方向から見た概略図である。図２と同様に、図３におけるＡ−Ａ断面が、図１におけるＡ−Ａ断面に相当する。凸部１１５は、段差部１８６の内周に位置していることがわかる。また、凸部１１５の内周には、複数のトレンチ１８４が配されていることが分かる。
FIG. 3 is a schematic view of the interface between the N-
図４は、半導体装置１０に備えられた複数の電極２５０同士を、配線２８０により電気的に接続した状態において、半導体装置１０を＋Ｘ軸方向から見た外観図である。なお、図４では、理解を容易とするため、凸部１１５の位置を斜線および破線で示している。配線２８０は、隣接する電極２５０同士を直線で結ぶように配されている。配線２８０の下に電極２５０が形成されているが、配線２８０により電極２５０の表面が覆われているため、図４では、電極２５０の位置を破線で示している。配線２８０の一部は、開口部２８５が形成されている。開口部２８５は、電極２４０に接続された配線（不図示）を引き出すための領域である。本実施形態において、配線２８０は、アルミニウム（Ａｌ）により形成されている。なお、アルミニウム（Ａｌ）に代えて、アルミニウムシリコン（ＡｌＳｉ）、アルミニウムシリコン銅（ＡｌＳｉＣｕ）を用いてもよい。
FIG. 4 is an external view of the
図１に示すように、凸部１１５の上面は、積層体１００の積層方向（Ｘ軸方向）から見たときに、電極２３０の少なくとも一部が重なる位置に配されている。また、トレンチ１８４の底面（−Ｘ軸方向側の面）が接する部分におけるＮ型半導体層１２０の厚みｄ２は、凸部１１５の上面（＋Ｘ軸方向側の面）が接する部分におけるＮ型半導体層１２０の厚みｄ５よりも大きい。このため、縦型ＭＯＳトランジスタ３００に保護素子２００の耐圧よりも高いドレイン電圧が印加された場合、電流は、電極２５０から電極２１０へ流れるよりも、電極２３０から電極２１０へ多く流れる。そして、保護素子２００により、電極２３０と電極２１０との間の電圧が、保護素子２００の耐圧値となる。その結果、電極２４０と電極２１０との電圧についても、保護素子２００の耐圧値となり、縦型ＭＯＳトランジスタ３００が耐圧破壊することを防ぐことができる。このようにすることにより、保護素子２００は、縦型ＭＯＳトランジスタ３００を保護することができる。
As shown in FIG. 1, the upper surface of the
次に、本実施形態の作用効果について説明する。保護素子２００は縦型ＭＯＳトランジスタ３００よりも耐圧を低く、かつ、耐圧破壊しないように設計する必要がある。このため、保護素子２００の厚みｄ５を、縦型ＭＯＳトランジスタ３００の厚みｄ２よりも小さくする必要がある。厚みｄ５を厚みｄ２よりも小さくする方法として、Ｎ型半導体層１２０の＋Ｘ軸方向側の一部を除去した後、除去した部分にＰ型半導体層を再成長する方法が考えられる。しかし、この方法を用いた場合、再成長界面に意図しないＮ型キャリアが発生することにより、ＰＮ接合ダイオードの耐圧が低下することが発明者らの検討の結果、明らかとなった。一方、本実施形態の半導体装置１０によれば、凸部１１５を形成することにより厚みｄ５を厚みｄ２よりも小さくしている。凸部１１５を備える基板１１０上にＮ型半導体層１２０が形成されているため、基板１１０とＮ型半導体層１２０との界面に意図しないＮ型キャリアが発生したとしても、Ｎ型層（１１０，１２０）の間にＮ型キャリアが形成されるため、保護素子２００の耐圧の低下を抑制できる。なお、厚みｄ５を厚みｄ２よりも小さくする方法として、Ｐ型のイオン注入を用いる方法も考えられる。しかし、半導体として窒化物半導体を用いる場合、Ｐ型のイオン注入を行うことは困難である。これに対して、本実施形態では、凸部１１５を形成するため、Ｐ型のイオン注入を行うことなく厚みｄ５を厚みｄ２よりも小さくすることができる。
Next, the effect of this embodiment is demonstrated. The
また、積層方向（Ｘ軸方向）から見たときに、Ｎ型半導体層１４０は、凸部１１５の上面と重ならない位置に配されている。このため、縦型ＭＯＳトランジスタのドレイン電流は、Ｎ型半導体層１４０と、トレンチ下方の基板１１０との間を流れるので、縦型ＭＯＳトランジスタ３００の耐圧が凸部１１５により低下することはない。保護素子２００よりも縦型ＭＯＳトランジスタ３００の耐圧が下がることは無いので、縦型ＭＯＳトランジスタ３００の耐圧破壊を抑制することができる。
Further, when viewed from the stacking direction (X-axis direction), the N-
凸部１１５の上面が接する部分におけるＮ型半導体層１２０の厚みｄ５は、段差部１８６の底面（−Ｘ軸方向側の面）が接する部分における厚みｄ４以下である。このため、段差部１８６と電極２１０との間に電流が流れる前に、保護素子２００に電流が流れる。この結果、半導体装置１０の耐圧破壊を抑制できる。
The thickness d5 of the N-
段差部１８６の底面と凸部１１５との距離ｄ３は、段差部１８６の底面（−Ｘ軸方向側の面）が接する部分における厚みｄ４より大きい。このため、段差部１８６と電極２１０との間に段差部１８６を介して電流が流れる前に、保護素子２００に電流が流れる。この結果、半導体装置１０の耐圧破壊を抑制できる。
The distance d3 between the bottom surface of the stepped
凸部１１５の上面とトレンチ１８４の底面との距離ｄ１は、トレンチ１８４の底面が接する部分におけるＮ型半導体層１２０の厚みｄ２よりも大きい。このため、保護素子２００の耐圧以上の電圧が電極２１０と配線２７０との間に印加された場合、電極２１０から凸部１１５を介してトレンチ１８４へ電流が流れる前に、保護素子２００に電流が流れる。この結果、半導体装置１０の耐圧破壊を抑制できる。
A distance d1 between the top surface of the
図５は、本実施形態の半導体装置１０から得られる効果を説明する図である。図５（Ａ）は、本実施形態の等価回路を示す。本実施形態において、保護素子２００と縦型ＭＯＳトランジスタ３００と素子分離領域とが、並列に接続されている。縦型ＭＯＳトランジスタ３００のドレイン電極（電極２１０）・ソース電極（電極２４０）間電圧を電圧Ｖｄｓとし、ゲート電極（電極２５０）・ソース電極（電極２４０）間電圧を電圧Ｖｇｓとし、ドレイン電流を電流Ｉｄとする。
FIG. 5 is a diagram for explaining the effects obtained from the
図５（Ｂ）は、電流・電圧特性を示す。一点鎖線ｌ２は、保護素子２００や素子分離領域を備えず、縦型ＭＯＳトランジスタ３００のみの場合において、ドレイン電極・ソース電極間に電圧Ｖｄｓを印加したときの電流Ｉｄを示す。ゲート電極・ソース電極間電圧Ｖｇｓは０Ｖである。縦型ＭＯＳトランジスタ３００のみの場合、一点鎖線ｌ２におけるＸで示す点において、半導体装置の耐圧破壊が起こる。耐圧破壊は、不可逆反応であり、一度起こってしまうと、リーク電流が大幅に増加し、元の素子特性には戻らず、素子特性は劣化する。
FIG. 5B shows current / voltage characteristics. An alternate long and short dash line l2 indicates the current Id when the voltage Vds is applied between the drain electrode and the source electrode in the case where only the
実線ｌ１は、素子分離領域のみの場合に、電圧Ｖｄｓを印加したときの電流Ｉｄを示す。実線ｌ１におけるＸで示す点において、半導体装置の耐圧破壊が起こる。
A
二点鎖線ｌ３は、保護素子２００のみの場合に、電圧Ｖｄｓを印加したときの電流Ｉｄを示す。二点鎖線ｌ３におけるＯで示す点において、アバランシェ崩壊により電流が急増するため、これ以上の電圧が印加されることが抑制される。つまり、二点鎖線ｌ３で示す結果から、保護素子２００が、定電圧ダイオードとして機能することが分かる。ここで、保護素子２００のＰＮ接合界面は、均一で平坦な面により形成されるため、ＰＮ接合界面に均等な電界が印加される。この結果、アバランシェ崩壊によるＰＮ接合界面へのダメージが入りにくく、半導体装置の耐圧破壊が起きない。つまり、保護素子２００の場合、二点鎖線ｌ３におけるＯで示す点における電圧Ｖｄｓが印加されたとしても、不可逆反応は起きない。なお、Ｏで示す点における電圧Ｖｄｓよりも低い電圧を印加する場合、二点鎖線ｌ３に沿った値の電流が流れ、リーク電流は重畳されない。なお、本実施形態の保護素子２００の接合は、ショットキー接合ではなく、ＰＮ接合である。この理由としては、ショットキー接合に高電圧が印加された場合に金属と半導体との界面が破壊される結果、リーク電流が増加するという不可逆反応が起こる虞があることを挙げることができる。
An alternate long and two
図５（Ｃ）は、本実施形態の半導体装置１０全体に電圧Ｖｄｓを印加したときの電流Ｉｄを示す。なお、図５（Ａ）に示すとおり、保護素子２００と縦型ＭＯＳトランジスタ３００と素子分離領域とは並列に接続されている。
FIG. 5C shows the current Id when the voltage Vds is applied to the
図５（Ｃ）における破線ｌ４で示されるとおり、半導体装置１０は保護素子２００を備えるため、電圧Ｖｄｓは、保護素子２００の特性によって決定される電圧以上になることはない。つまり、素子分離領域に係る電圧及び縦型ＭＯＳトランジスタ３００のドレイン電極・ソース電極間電圧は、素子分離領域や縦型ＭＯＳトランジスタ３００の耐圧破壊が起きる電圧よりも小さい電圧が印加されるのみである。例えば、本実施形態の半導体装置１０の外部から半導体装置１０へ、素子分離領域や縦型ＭＯＳトランジスタ３００の耐圧破壊が起きるほどの高い電圧が印加されたとする。このような場合においても、半導体装置１０は保護素子２００を備えるため、素子分離領域や縦型ＭＯＳトランジスタ３００に係る電圧は、保護素子２００がアバランシェ崩壊する電圧まで抑制される。このため、半導体装置１０の耐圧破壊を抑制できる。
As indicated by a broken line l4 in FIG. 5C, the
図６は、ＴＣＡＤ（Technology CAD）シミュレータにより計算した半導体装置１０の電流密度分布を示す図である。図面右上方には、ゲートトレンチの左半分が表示されている。図６の電流密度分布は、ドレイン電極（電極２１０）・ソース電極（電極２４０）間電圧Ｖｄｓを１２００Ｖとし、ゲート電極（電極２５０）・ソース電極（電極２４０）間電圧Ｖｇｓを０Ｖとしたときの分布を示す。凸部１１５の積層方向（Ｘ軸方向）の厚みは２μｍとし、凸部１１５の幅方向（Ｙ軸方向）の厚みは５μｍとした。凸部１１５を除くＮ型半導体層１２０の厚みｄ６（図１参照）は６μｍとした。段差部１８６の底面が接する部分における厚みｄ４は５μｍとした。
FIG. 6 is a diagram showing a current density distribution of the
図６に示されるとおり、電圧Ｖｄｓを１２００Ｖとした場合、凸部１１５の上面から上方（＋Ｘ軸方向）に向かってインパクトイオン化により電流が流れることが分かる（色の濃い部分）。また、図６に示されるとおり、縦型ＭＯＳトランジスタ３００および素子分離領域において電流密度が低く、インパクトイオン化による電流が流れていないことが分かる（色の薄い部分）。この結果から、半導体装置１０の耐圧破壊が抑制されていることが分かる。
As shown in FIG. 6, when the voltage Vds is 1200 V, it can be seen that a current flows by impact ionization from the upper surface of the
Ａ２．半導体装置１０の製造方法：
図７は、半導体装置１０の製造方法を示す工程図である。まず、工程Ｐ１０５において、基板１１０の面に突出する凸部１１５を形成する。
A2. Manufacturing method of the semiconductor device 10:
FIG. 7 is a process diagram illustrating a method for manufacturing the
図８は、工程Ｐ１０５における半導体装置１０の中間製品を示す断面図である。本実施形態において、工程Ｐ１０５では、まず、製造者は、基板１１０の上にプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置により二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の絶縁膜を形成する。次に、製造者は、リソグラフィ法によりパターニングしたレジストをマスクとしてバッファードフッ酸（ＢＨＦ：Buffered Hydrogen Fluoride）に浸漬することにより、絶縁膜をエッチングする。その後、製造者は、半導体装置１０の中間製品を剥離液に浸漬することによりレジストパターンを除去する。図８（Ａ）は、基板１１０の上に絶縁膜５１０が形成された半導体装置１０の中間製品を示す。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing an intermediate product of the
次に、製造者は、誘導結合方式（ＩＣＰ：Inductively Coupled Plasma）を採用したドライエッチング装置により、基板１１０を約２μｍドライエッチングする。図８（Ｂ）は、ドライエッチングを行った後の半導体装置１０の中間製品を示す。最後に、製造者は、絶縁膜をバッファードフッ酸に浸漬することにより、絶縁膜を除去する。このようにすることにより、基板１１０の面に突出する凸部１１５が形成される。
Next, the manufacturer performs dry etching of the
次に、工程Ｐ１１０（図７）において、基板１１０の上に、Ｎ型半導体層１２０と、Ｐ型半導体層１３０と、Ｎ型半導体層１４０と、をこの順に積層する。本実施形態では、製造者は、基板１１０をＭＯＣＶＤ炉内に導入し、Ｎ型半導体層１２０の成長する温度（例えば、１０５０℃）まで加熱する。ＭＯＣＶＤ炉内は、キャリアガスとしての水素（Ｈ）及びＶ族元素としてのアンモニア（ＮＨ３）雰囲気とする。その後、製造者は、ＩＩＩ族原料としてトリメチルガリウム（ＴＭＧａ）とＮ型不純物としてシラン（ＳｉＨ４）を炉内に導入し、ドナー濃度１×１０１６ｃｍ−３程度のＮ型半導体層１２０を約６μｍ成長させる。ドナー濃度は、１×１０１５ｃｍ−３から１×１０１６ｃｍ−３が好ましく、Ｎ型半導体層１２０の厚みは、５μｍから２０μｍが好ましい。
Next, in step P110 (FIG. 7), the N-
次に、製造者は、ＩＩＩ族原料としてトリメチルガリウム（ＴＭＧａ）とＰ型不純物としてビス（シクロペンタジエニル）マグネシウム（Ｃｐ２Ｍｇ：bis (cyclopentadienyl) magnesium）を炉内に導入し、マグネシウム（Ｍｇ）濃度４×１０１８ｃｍ−３程度のＰ型半導体層１３０を約０．７μｍ成長させる。マグネシウム（Ｍｇ）濃度は、１×１０１８ｃｍ−３以上が好ましく、Ｐ型半導体層１３０の厚みは、０．５μｍから２μｍが好ましい。
Next, the manufacturer introduces trimethylgallium (TMGa) as a Group III raw material and bis (cyclopentadienyl) magnesium (Cp2Mg: bis (cyclopentadienyl) magnesium) as a P-type impurity into the furnace, and the magnesium (Mg) concentration A P-
次に、本実施形態では、製造者は、ＩＩＩ族原料としてトリメチルガリウム（ＴＭＧａ）とＮ型不純物としてシラン（ＳｉＨ４）を炉内に導入し、ドナー濃度１×１０１８ｃｍ−３程度のＮ型半導体層１４０を約０．２μｍ成長させる。
Next, in the present embodiment, the manufacturer introduces trimethylgallium (TMGa) as a group III material and silane (SiH 4 ) as an N-type impurity into the furnace, and N having a donor concentration of about 1 × 10 18 cm −3. The
図９は、上記工程Ｐ１１０により、基板１１０上に半導体層（１２０，１３０，１４０）を形成させた半導体装置１０の中間製品を示す断面図である。ここで、再成長界面は、基板１１０とＮ型半導体層１２０との界面となる。Ｎ型半導体層１２０とＰ型半導体層１３０との界面（ＰＮ接合界面）が再成長界面とする場合、保護素子２００の耐圧が低下する虞があるが、半導体装置１０の再成長界面はＮ型の基板１１０とＮ型半導体層１２０との界面（Ｎ／Ｎ界面）であるため、保護素子２００の耐圧の低下を抑制できる。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing an intermediate product of the
工程Ｐ１１０の後、工程Ｐ２１５（図７）において、半導体装置１０の中間製品にトレンチ１８４と段差部１８６とを形成する。製造者は、まずマスクとなる絶縁膜を積層した後、フォトレジストにてパターニングを行なう。その後、エッチングを行なうことにより、製造者は、トレンチ１８４と段差部１８６とを形成する。
After step P110, in step P215 (FIG. 7), a
図１０は、トレンチ１８４と段差部１８６とを形成させた半導体装置１０の中間製品を示す断面図である。本実施形態において、エッチングとして、ドライエッチングを採用する。なお、ドライエッチングの後に、エッチングによるダメージ層を除去するため、ウェットエッチングを行なってもよい。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating an intermediate product of the
次に、工程Ｐ２２０（図７）において、絶縁膜３４０を形成する。製造者は、まずマスクとなる絶縁膜を積層した後、フォトレジストにてパターニングを行なう。
Next, in the process P220 (FIG. 7), the insulating
図１１は、絶縁膜３４０を形成させた半導体装置１０の中間製品を示す断面図である。工程Ｐ２２０によって、絶縁膜３４０が形成後、パターニングしたレジストをマスクとしてドライエッチングにより一部の絶縁膜３４０が除去されることにより、凹部１８２についても形成される。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing an intermediate product of the
工程Ｐ２４０（図７）において、製造者は、リフトオフ法を用いて電極２３０、２４０、２５０を形成する。
In the process P240 (FIG. 7), the manufacturer forms the
図１２は、電極２３０、２４０、２５０を形成させた半導体装置１０の中間製品を示す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing an intermediate product of the
その後、工程Ｐ２５０（図７）において、製造者は、電極２３０と電極２４０とを電気的に接続する配線２７０を形成する。最後に、製造者は、半導体装置１０の中間製品の−Ｘ側に電極２１０を形成する（工程Ｐ２５５）。これらの工程を経て、図１に示す半導体装置１０が完成する。
Thereafter, in the process P250 (FIG. 7), the manufacturer forms the
Ｂ．第２実施形態：
図１３は、第２実施形態における半導体装置１０Ａの構成を模式的に示す図である。半導体装置１０Ａは、半導体装置１０と比較して、凸部の形状が異なるが、それ以外は同じである。半導体装置１０Ａの凸部１１５Ａの側面（Ｙ軸方向側の面）は、凸部１１５Ａの上面（＋Ｘ軸方向側の面）に対して傾斜している。本実施形態において、半導体装置１０Ａの凸部１１５Ａの側面（Ｙ軸方向側の面）は、テーパー形状である。半導体装置１０Ａの製造方法は、半導体装置１０の製造方法と比較して、凸部１１５Ａを形成する工程（工程Ｐ１０５）において異なるが、それ以外は同じである。
B. Second embodiment:
FIG. 13 is a diagram schematically showing the configuration of the
図１４は、凸部１１５Ａを形成する工程を説明する図である。まず、製造者は、上面に対して側面が傾斜している形状の絶縁膜５１０Ａを形成する。図１４（Ａ）は、基板１１０の上に絶縁膜５１０Ａが形成された半導体装置１０Ａの中間製品を示す。その後、製造者は、異方性ドライエッチング法によって半導体基板１１０をエッチングすることにより、凸部１１５Ａを形成する。図１４（Ｂ）は、凸部１１５Ａが形成された半導体装置１０Ａの中間製品を示す。凸部の側面を凸部の上面に対して傾斜された形状としても、保護素子の耐圧の低下を抑制する効果が得られる。
FIG. 14 is a diagram illustrating a process of forming the
Ｃ．変形例：
この発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
C. Variations:
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in various forms without departing from the gist thereof. For example, the following modifications are possible.
Ｃ１．変形例１：
本実施形態において、凸部１１５はエッチングにより形成したが、本発明はこれに限られない。凸部１１５の形成方法を、再成長を用いる方法としてもよい。
C1. Modification 1:
In the present embodiment, the
図１５は、再成長により凸部１１５Ｂを形成する工程を説明する図である。まず、製造者は、凸部１１５Ｂを形成する部分の基板１１０が露出するように絶縁膜５１０Ｂを形成する。図１５（Ａ）は、絶縁膜５１０Ｂを形成させた半導体装置の中間製品を示す断面図である。次に、製造者は、ＭＯＣＶＤ法によって半導体層１１０を再成長させる。図１５（Ｂ）は、半導体層１１０を再成長させた半導体装置の中間製品を示す断面図である。最後に、製造者は、絶縁膜５１０Ｂを除去することにより、凸部１１５Ｂが形成される。
FIG. 15 is a diagram illustrating a process of forming the
Ｃ２．変形例２：
本実施形態において、積層体１００の積層方向（Ｘ軸方向）において、Ｎ型半導体層１４０は、凸部１１５の上面と重ならない位置に配されている。しかし、本発明はこれに限らない。
C2. Modification 2:
In the present embodiment, in the stacking direction (X-axis direction) of the
図１６は、積層方向（Ｘ軸方向）において、Ｎ型半導体層１４０Ｃは、凸部１１５の上面の一部と重なる位置に配されている半導体装置１０Ｃの構成を模式的に示す断面図である。Ｎ型半導体層１４０Ｃは、凸部１１５の上面の少なくとも一部と重なる位置に配されていてもよい。
FIG. 16 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the
Ｃ３．変形例３：
本実施形態において、凸部１１５Ｄは、段差部１８６の下方（−Ｘ軸方向側）には配置されていない。しかし、本発明はこれに限らない。
C3. Modification 3:
In the present embodiment, the
図１７は、凸部１１５Ｄが段差部１８６の下方においても配置されている半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。凸部１１５Ｄは、段差部１８６の下方に配置されていてもよい。この形態によれば、本実施形態の製造方法と比較して、凸部１１５Ｄの形成が容易となる。
FIG. 17 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the semiconductor device in which the
Ｃ４．変形例４：
本実施形態において、基板とＮ型半導体層との少なくとも一方に含まれるドナーとして、ケイ素（Ｓｉ）を用いているが、本発明はこれに限られない。ドナーとして、ゲルマニウム（Ｇｅ）や、酸素（Ｏ）を用いてもよい。
C4. Modification 4:
In this embodiment, silicon (Si) is used as a donor contained in at least one of the substrate and the N-type semiconductor layer, but the present invention is not limited to this. As the donor, germanium (Ge) or oxygen (O) may be used.
Ｃ５．変形例５：
本実施形態において、Ｐ型半導体層に含まれるアクセプタとして、マグネシウム（Ｍｇ）を用いているが、本発明はこれに限られない。アクセプタとして、亜鉛（Ｚｎ）や、炭素（Ｃ）を用いてもよい。
C5. Modification 5:
In this embodiment, magnesium (Mg) is used as an acceptor included in the P-type semiconductor layer, but the present invention is not limited to this. As the acceptor, zinc (Zn) or carbon (C) may be used.
Ｃ６．変形例６：
本実施形態において、電極２３０は、パラジウム（Ｐｄ）から形成される。しかし、本発明はこれに限られない。電極２３０は、他の材料により形成されていてもよく、複数層の構成であってもよい。例えば、電極２３０は、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）、コバルト（Ｃｏ）等の導電性材料の少なくとも１つを含む電極であってもよく、ニッケル（Ｎｉ）／パラジウム（Ｐｄ）構成や、白金（Ｐｔ）／パラジウム（Ｐｄ）構成（パラジウムが半導体基板側）のような２層構成であってもよい。
C6. Modification 6:
In this embodiment, the
Ｃ７．変形例７：
本実施形態において、ゲート電極である電極２５０は、アルミニウム（Ａｌ）から形成される。しかし、本発明はこれに限られない。電極２５０は、ポリシリコンを用いてもよい。また、電極２５０は、他の材料により形成されていてもよく、複数層の構成であってもよい。例えば、電極２５０は、金（Ａｕ）／ニッケル（Ｎｉ）構成や、アルミニウム（Ａｌ）／チタン（Ｔｉ）構成、アルミニウム（Ａｌ）／窒化チタン（ＴｉＮ）構成（それぞれ、ニッケル、チタン、窒化チタンがゲート絶縁膜側）のような２層構成であってもよいし、窒化チタン（ＴｉＮ）／アルミニウム（Ａｌ）／窒化チタン（ＴｉＮ）構成のような３層構成であってもよい。
C7. Modification 7:
In this embodiment, the
本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and can be realized with various configurations without departing from the spirit thereof. For example, the technical features in the embodiments and the modifications corresponding to the technical features in each embodiment described in the summary section of the invention are to solve some or all of the above-described problems, or In order to achieve part or all of the effects, replacement or combination can be performed as appropriate. Further, if the technical feature is not described as essential in the present specification, it can be deleted as appropriate.
１０…半導体装置
１０Ａ…半導体装置
１０Ｃ…半導体装置
１００…積層体
１１０…基板
１１５…凸部
１１５Ａ…凸部
１１５Ｂ…凸部
１１５Ｄ…凸部
１２０…Ｎ型半導体層
１３０…Ｐ型半導体層
１４０…Ｎ型半導体層
１４０Ｃ…Ｎ型半導体層
１８２…凹部
１８４…トレンチ
１８６…段差部
２００…保護素子
２１０…電極
２３０…電極
２４０…電極
２５０…電極
２７０…配線
２８０…配線
２８５…開口部
３００…縦型ＭＯＳトランジスタ
３４０…絶縁膜
５１０…絶縁膜
５１０Ａ…絶縁膜
５１０Ｂ…絶縁膜
Ｉｄ…電流
Ｖｄｓ…電圧
Ｖｇｓ…電圧
ｄ１…距離
ｄ３…距離
ｌ１…実線
ｌ２…一点鎖線
ｌ３…二点鎖線
ｌ４…破線
DESCRIPTION OF
Claims (15)
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する第１の電極と、を有し、
前記第３窒化物半導体層と、前記第４窒化物半導体層とを貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチが形成され、
前記トレンチに絶縁膜を介して設けられたゲート電極を備える、
縦型ＭＯＳトランジスタと、
前記第１の電極と、
前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する前記第２導電型のオーミック電極と、を有する、
保護素子と、を備える、半導体装置であって、
前記第１導電型の不純物濃度は、前記第１窒化物半導体層に比べて前記第２窒化物半導体層のほうが低く、
前記第１窒化物半導体層は、前記第２窒化物半導体層へ突出する凸部を備え、
前記積層体の積層方向から見たときに、前記凸部の上面は、前記第２導電型のオーミック電極と少なくとも一部が重なる位置に配されており、
前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、半導体装置。 The first conductivity type first nitride semiconductor layer, the first conductivity type second nitride semiconductor layer, the second conductivity type third nitride semiconductor layer, and the first conductivity type fourth nitride. A stacked body in which semiconductor layers are stacked in this order;
A first electrode in contact with a surface of the first nitride semiconductor layer opposite to a surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
A trench penetrating the third nitride semiconductor layer and the fourth nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer is formed;
A gate electrode provided in the trench via an insulating film;
A vertical MOS transistor;
The first electrode;
An ohmic electrode of the second conductivity type that is in contact with the surface of the third nitride semiconductor layer that is opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
A semiconductor device comprising a protection element,
The impurity concentration of the first conductivity type is lower in the second nitride semiconductor layer than in the first nitride semiconductor layer,
The first nitride semiconductor layer includes a protrusion protruding to the second nitride semiconductor layer,
When viewed from the stacking direction of the stacked body, the top surface of the convex portion is disposed at a position at least partially overlapping the second conductivity type ohmic electrode,
The semiconductor device, wherein a thickness of the second nitride semiconductor layer at a portion where the bottom surface of the trench is in contact is larger than a thickness of the second nitride semiconductor layer at a portion where the top surface of the convex portion is in contact.
前記積層方向から見たときに、前記第４窒化物半導体層は、前記凸部の上面と重ならない位置に配されている、半導体装置。 The semiconductor device according to claim 1,
The semiconductor device, wherein when viewed from the stacking direction, the fourth nitride semiconductor layer is disposed at a position that does not overlap an upper surface of the convex portion.
前記積層方向から見たときに、前記凸部に対して、前記トレンチが配されている側とは反対側に、前記第３窒化物半導体層を貫通し、前記第２窒化物半導体層に達する段差部が形成されており、
前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記段差部の底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚み以下である、半導体装置。 The semiconductor device according to claim 1, further comprising:
When viewed from the stacking direction, it penetrates the third nitride semiconductor layer on the side opposite to the side where the trench is disposed with respect to the convex portion, and reaches the second nitride semiconductor layer. A step is formed,
The thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion where the upper surface of the convex portion is in contact is equal to or less than the thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion where the bottom surface of the step portion is in contact.
前記段差部の底面と前記凸部との距離は、前記段差部の底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、半導体装置。 The semiconductor device according to claim 3,
The distance between the bottom surface of the step portion and the convex portion is a semiconductor device that is larger than the thickness of the second nitride semiconductor layer at a portion where the bottom surface of the step portion is in contact.
前記第４窒化物半導体層の面であって、前記第３窒化物半導体層と接する面とは反対側の面と接する前記第１導電型のオーミック電極を備える、半導体装置。 The semiconductor device according to any one of claims 1 to 4, further comprising:
A semiconductor device comprising the first conductivity type ohmic electrode in contact with a surface of the fourth nitride semiconductor layer opposite to a surface in contact with the third nitride semiconductor layer.
前記第１導電型のオーミック電極と前記第２導電型のオーミック電極とを電気的に接続する第１配線を備え、
前記第１配線は、絶縁膜を介して前記段差部の側面を覆っている、半導体装置。 A semiconductor device according to claim 5 that is dependent on claim 3 or claim 4, further comprising:
A first wiring electrically connecting the first conductivity type ohmic electrode and the second conductivity type ohmic electrode;
The semiconductor device, wherein the first wiring covers a side surface of the stepped portion via an insulating film.
前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層は、ガリウムを含む窒化物半導体により形成されている、半導体装置。 A semiconductor device according to any one of claims 1 to 6,
The semiconductor device, wherein the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer are formed of a nitride semiconductor containing gallium.
前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウムにより形成されている、半導体装置。 A semiconductor device according to any one of claims 1 to 7,
The semiconductor device, wherein the first nitride semiconductor layer is made of gallium nitride.
前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウム基板である、半導体装置。 The semiconductor device according to claim 8,
The semiconductor device, wherein the first nitride semiconductor layer is a gallium nitride substrate.
前記凸部の側面は、前記凸部の上面に対して傾斜している、半導体装置。 The semiconductor device according to claim 9,
The semiconductor device, wherein a side surface of the convex portion is inclined with respect to an upper surface of the convex portion.
前記凸部の側面は、ａ面またはｍ面で構成され、前記凸部の上面は、ｃ面で構成されている、半導体装置。 A semiconductor device according to any one of claims 1 to 9,
A semiconductor device, wherein a side surface of the convex portion is formed of an a-plane or an m-plane, and an upper surface of the convex portion is formed of a c-plane.
第１導電型の第１窒化物半導体層の面に突出する凸部を形成する工程と、
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記凸部を備える面に、前記第１窒化物半導体層よりも不純物濃度が小さい前記第１導電型の第２窒化物半導体層と、第２導電型の第３窒化物半導体層と、をこの順に積層する工程と、
前記第３窒化物半導体層を貫通し、前記第２窒化物半導体層に達するトレンチを形成する工程と、
前記第１窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、第１の電極を形成する工程と、
積層方向において、前記凸部の上面と少なくとも一部が重なる位置であって、前記第３窒化物半導体層の面であり、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第２導電型のオーミック電極を形成する工程と、
前記トレンチに絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記第３窒化物半導体層の面であって、前記第２窒化物半導体層と接する面とは反対側の面に、前記第１導電型の第４窒化物半導体層を形成する工程と、
前記第４窒化物半導体層にソース電極を形成する工程と、
を有し、
前記第４窒化物半導体層は、前記積層方向において、前記凸部の上面と重ならない位置に配されており、
前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みは、前記凸部の上面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、
前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層までの窒化物半導体層と前記ゲート電極と前記第１の電極と前記ソース電極とから形成される縦型ＭＯＳトランジスタと、前記第１窒化物半導体層から前記第３窒化物半導体層までの窒化物半導体層と前記第１電極と前記第２導電型のオーミック電極から形成されるＰＮ接合ダイオードである保護素子と、を備える半導体装置の製造方法。 A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
Forming a protrusion protruding on the surface of the first conductivity type first nitride semiconductor layer;
A second nitride semiconductor layer of the first conductivity type having a lower impurity concentration than the first nitride semiconductor layer on a surface of the first nitride semiconductor layer, the surface having the convex portion; Laminating a conductive third nitride semiconductor layer in this order;
Forming a trench penetrating the third nitride semiconductor layer and reaching the second nitride semiconductor layer;
Forming a first electrode on a surface of the first nitride semiconductor layer opposite to a surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
In the stacking direction, at least a part of the upper surface of the convex portion overlaps the surface of the third nitride semiconductor layer, on the surface opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer, Forming the second conductivity type ohmic electrode;
Forming a gate electrode in the trench via an insulating film;
Forming the first conductivity type fourth nitride semiconductor layer on the surface of the third nitride semiconductor layer opposite to the surface in contact with the second nitride semiconductor layer;
Forming a source electrode on the fourth nitride semiconductor layer;
Have
The fourth nitride semiconductor layer is arranged in a position not overlapping the upper surface of the convex portion in the stacking direction;
The thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the bottom surface of the trench is in contact is greater than the thickness of the second nitride semiconductor layer in the portion where the top surface of the convex portion is in contact,
A vertical MOS transistor formed of a nitride semiconductor layer from the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer, the gate electrode, the first electrode, and the source electrode; and the first nitride A semiconductor device comprising: a nitride semiconductor layer from a nitride semiconductor layer to the third nitride semiconductor layer; a protective element that is a PN junction diode formed from the first electrode and the second conductivity type ohmic electrode; Method.
前記凸部の上面と前記トレンチの底面との距離が、前記トレンチの底面が接する部分における前記第２窒化物半導体層の厚みよりも大きい、半導体装置の製造方法。 The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 12, further comprising:
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein a distance between an upper surface of the convex portion and a bottom surface of the trench is larger than a thickness of the second nitride semiconductor layer in a portion where the bottom surface of the trench is in contact.
前記第１窒化物半導体層から前記第４窒化物半導体層は、ガリウムを含む窒化物半導体により形成されている、半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 12 or claim 13 ,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the first nitride semiconductor layer to the fourth nitride semiconductor layer are formed of a nitride semiconductor containing gallium.
前記第１窒化物半導体層は、窒化ガリウム基板である、半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to any one of claims 12 to claims 1 to 4,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the first nitride semiconductor layer is a gallium nitride substrate.
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