JP6311188B2 - Squid顕微鏡 - Google Patents
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Description
ところが、SQUIDセンサ素子を真空容器の外に近づけ過ぎると、室温(=試料が置かれている温度)の影響を受けやすくなるため、SQUIDセンサ素子を極低温に維持するのには不都合となる。
従って、観測が必要な空間分解能に応じて操作者がSQUIDセンサ素子の位置を調節できることが望ましい。
しかし、上記従来のSQUID顕微鏡では、操作者がSQUIDセンサ素子の位置を調節できないか、又は、操作者がSQUIDセンサ素子の位置を調節できても、そのための構成が複雑である問題点があった。
そこで、本発明の目的は、操作者がSQUIDセンサ素子の位置を調節でき且つそのための構成が簡単であるSQUID顕微鏡を提供することにある。
上記第1の観点によるSQUID顕微鏡(100)では、操作者がディプスマイクロメータ(8)のシンブルを反時計方向に回し、ディプスマイクロメータ(8)のスピンドル(8a)およびシャフト(9)で弾性保持部材(7)を押していない状態にすると、弾性保持部材(7)の弾性によってSQUIDセンサ素子(1)が真空容器(5)の外に対して最も遠い位置に保持される。そして、操作者がディプスマイクロメータ(8)のシンブルを時計方向に回し、ディプスマイクロメータ(8)のスピンドル(8a)およびシャフト(9)で弾性保持部材(7)を押すと、SQUIDセンサ素子(1)が真空容器(5)の外に対して近づいた位置に移動する。かくして、操作者がSQUIDセンサ素子(1)の位置を調節できる。
ディプスマイクロメータ(8)のスピンドル(8a)の移動をそのままSQUIDセンサ素子(1)に伝える機構であるため、構成が簡単になる。
例えばサファイアロッドの側面に導電ペーストを用いて銀箔や金極細線を貼り付けて配線パターンとする場合、温度変化による応力緩和によって銀箔や金極細線が外れるといった問題点がある。
これに対して、上記第2の観点によるSQUID顕微鏡(100)では、サファイアロッド(2a)の第1端面および側面に非磁性合金の薄膜を例えば蒸着により形成して配線パターン(10)としているので、上記のような問題点がない。また、導電ペースト(11)によりサファイアロッド(2a)の第1端面にSQUIDセンサ素子(1)を実装できるので、SQUIDセンサ素子(1)の実装作業が容易になる利点もある。
上記第3の観点によるSQUID顕微鏡(100)では、柔軟性のある熱伝導用銅線(4)を介して銅ロッド(2b)を冷却するので、操作者がSQUIDセンサ素子(1)の位置を調節する時に銅ロッド(2b)が同時に移動しても支障なくSQUIDセンサ素子(1)を冷却することが出来る。
図1は、実施例1に係るSQUID顕微鏡100を示す断面図である。
このSQUID顕微鏡100において、SQUIDチップ(=SQUIDセンサ素子)1は、上部分が円柱形状で下端部分(=第1端部分)が円錐台形状のサファイアロッド2aの下端面(=第1端面)に実装されている。
フレクシャー機構7は、クライオスタット3の内槽3bの下面に固定されている。
支柱7aはプレート7bを支持し、そのプレート7bはバネ支持柱7cを支持し、そのバネ支持柱7cは板バネ7dを支持している。
エポキシ樹脂製の中継ピン7eは、ボルト形状をしており、プレート7bの貫通孔を貫通して、板バネ7dの上面に載っている。
リミッタ7fは、中継ピン7eの頭部であり、プレート7bの貫通孔よりも径が大きくなっている。エポキシ樹脂製のシャフト9を介して中継ピン7eに押下力が加えられると、板バネ7dを撓ませて中継ピン7eが下がる。リミッタ7fがプレート7bに当たるまで下がると、それよりは下げられなくなる。
シャフト9の上端部は、クライオスタット3の外槽3cの天壁を貫通して上方へ延び、ディプスマイクロメータ8のスピンドル8aの先端面に当接している。
外槽3cの底壁下面には、検出部真空容器5が取り付けられている。
銅ロッド2bは、外槽3c内から検出部真空容器5内へと外槽3cの底壁を貫通している。
熱伝導用銅線4は、その下端部(=第1端部)が外槽3c内にあり、その上端部(=第2端部)が内槽3b内にあるように、その中間部の一部が内槽3bの底壁に埋め込まれ、内槽3bの底壁を貫通している。そして、熱伝導用銅線4の下端部は、銅ロッド2bに接続されている。
なお、熱伝導用銅線4は、1本でもよいが、冷却性能を上げるため複数本(例えば4本)にするのが好ましい。
サファイア窓6は、その位置を上下方向および水平方向に微調整できるように、サファイア窓位置調整機構6aにより支持されている。
高抵抗配線14の下端(=第1端)は高周波フィルタ13の第2端に半田接続され、高抵抗配線14の上端(=第2端)は外槽3cの天壁上面に設置された信号コネクタ15に半田接続されている。高抵抗配線14は、熱伝導を抑制するために、高抵抗線になっている。
ガイド21は、シャフト9が上下移動しうるが横には位置ずれしないように、外槽3cの天壁から突出したシャフト部分を囲んでいる。
なお、冷媒ポート3eは、内槽3bの中心線に対称な2カ所に設置されている。この配置により、液体ヘリウム3aの注入時の内槽3bの応力歪みを抑制することが出来る。
(1)ディプスマイクロメータ8のシンブルを反時計方向に回し、スピンドル8aがシャフト9を押していない状態にしておく。
(2)冷媒ポート3eから液体ヘリウム3aを内槽3bに允填する。
(3)サファイア窓位置調整機構6aによりサファイア窓6とSQUIDチップ1の距離を例えば500μm程度に調整する。
(4)ヘリウムガスの蒸発量をフローメータで監視しながら、ディプスマイクロメータ8のシンブルを時計方向に回し、スピンドル8aでシャフト9を押し下げる。シャフト9が中継ピン7eを押し下げ、中継ピン7eが支持部材2を押し下げるので、SQUIDチップ1がサファイア窓6に近づく。SQUIDチップ1がサファイア窓6に接触すると、熱侵入が贈加するので、ヘリウムガスの蒸発量が急増する。
(5)ヘリウムガスの蒸発量が急増するのを確認したら、ディプスマイクロメータ8の目盛りを読みながらシンブルを反時計方向に回し、所望距離だけSQUIDチップ1をサファイア窓6から遠ざける。これにより、SQUIDチップ1と試料S間の距離を例えば100μm〜200μmに微調整する。
(6)SQUIDチップ1による磁気計測を行いながら、XYZステージ30で試料Sを水平面内で走査する。
(a)操作者がディプスマイクロメータ8のシンブルを回すことにより、SQUIDチップ1の位置を容易に且つ高精度に調節できる。
なお、SQUID顕微鏡100を用いた実験が終了した後、液体ヘリウム3aの補充を止めると、SQUID顕微鏡100の内部温度が室温まで上昇する。そのため、実験終了時のSQUIDチップ1とサファイア窓6の距離(=100μm〜200μm)のまま放置していると、温度上昇に伴う銅ロッド2bの伸びによって、SQUIDチップ1(=サファイアロッド2aの先端)がサファイア窓6を突き破ってしまう危険性がある。そこで、実験終了時には、必ずSQUIDチップ1の位置をサファイア窓6から例えば1mm程度離すように調節しておく必要がある。そして、次の実験を始めるときに液体ヘリウム3aを補充しSQUID顕微鏡100の内部温度が極低温まで下降したら、SQUIDチップ1とサファイア窓6の距離を100μm〜200μmに再び調節し直す必要がある。このように、SQUIDチップ1の位置をたびたび調節する必要があるので、この調節の作業を容易に行えることは装置としては非常に重要である。
(b)ディプスマイクロメータ8のスピンドル8aの移動をそのままSQUIDチップ1に伝える機構であるため、構成が簡単である。
(c)エポキシ樹脂製のシャフト9を内槽3bの貫通孔3dに通すことで、シャフト9を介した熱侵入を防止できる.
(d)サファイアロッド2aの第1端面および側面に薄膜を形成して配線パターン10としているので、機械的な耐久性を向上できる。
(e)サファイアロッド2aの第1端面の配線パターン10上に導電ペースト11を介してSQUIDチップ1を載せるだけでSQUIDチップの実装が済むので、SQUIDチップ1の実装作業が容易になる。
(f)柔軟性のある熱伝導用銅線4を介して銅ロッド2bを冷却するので、操作者がSQUIDチップ1の位置を調節する時に銅ロッド2bが同時に移動しても支障なくSQUIDチップ1を冷却することが出来る。
(g)SQUIDチップ1がサファイア窓6に軽く接触した位置で中継ピン7eのリミッタ7fがプレート7bに当たるようにリミッタ7fの位置を決めておくことにより、操作者がSQUIDチップ1を下げ過ぎてしまうことを防止できる。
2 支持部材
2a サファイアロッド
2b 銅ロッド
3 クライオスタット
3a 液体ヘリウム
3b 内槽
3c 外槽
4 熱伝導用銅線
5 検出部真空容器
6 サファイア窓
6a サファイア窓位置調整機構
7 フレクシャー機構
8 ディプスマイクロメータ
9 シャフト
10 配線パターン
11 導電ペースト
100 SQUID顕微鏡
Claims (3)
- SQUIDセンサ素子(1)と、SQUIDセンサ素子(1)を支持するための支持部材(2)と、SQUIDセンサ素子(1)を冷却するための冷却装置(3a,3b,4)と、SQUIDセンサ素子(1)や支持部材(2)を真空断熱するための真空容器(3c,4)とを具備し、SQUIDセンサ素子(1)に対向する位置の真空容器(5)部分に設けた磁気検出部(6)の近傍の真空容器(5)外に置かれた試料の磁気をSQUIDセンサ素子(1)で検出するSQUID顕微鏡であって、SQUIDセンサ素子(1)を真空容器(5)の外に近づけたり遠ざけたりする方向に支持部材(2)が動きうるように弾性的に支持部材(2)を保持する弾性保持部材(7)と、SQUIDセンサ素子(1)を挟んで磁気検出部(6)と反対側の真空容器(3c)外に且つSQUIDセンサ素子(1)を真空容器(5)の外に近づけたり遠ざけたりする方向にスピンドル(8a)が移動する姿勢で設置したディプスマイクロメータ(8)と、ディプスマイクロメータ(8)のスピンドル(8a)の移動を弾性保持部材(7)を介して支持部材(2)に伝えるためのシャフト(9)とを設けたことを特徴とするSQUID顕微鏡(100)。
- 請求項1に記載のSQUID顕微鏡(100)において、支持部材(2)は、サファイアロッド(2a)および銅ロッド(2b)からなり、サファイアロッド(2a)の第1端面および側面に配線パターン(10)として非磁性合金の薄膜が形成され、その配線パターン(10)とSQUIDセンサ素子(1)を接続する導電ペースト(11)によりサファイアロッド(2a)の第1端面にSQUIDセンサ素子(1)が実装されており、サファイアロッド(2a)の第2端面と銅ロッド(2b)の第1端面とが結合され、銅ロッド(2b)の第2端部が弾性保持部材(7)に保持されていることを特徴とするSQUID顕微鏡(100)。
- 請求項2に記載のSQUID顕微鏡(100)において、冷却装置(3a,3b,4)は、液体ヘリウム(3a)と、液体ヘリウム(3a)を貯留する液体ヘリウム槽(3b)と、銅ロッド(2b)に第1端部が接続され且つ液体ヘリウム(3a)に第2端部が浸漬された熱伝導用銅線(4)とからなることを特徴とするSQUID顕微鏡(100)。
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