JP6293537B2 - 検査システム、及び異常検出方法 - Google Patents
検査システム、及び異常検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6293537B2 JP6293537B2 JP2014056319A JP2014056319A JP6293537B2 JP 6293537 B2 JP6293537 B2 JP 6293537B2 JP 2014056319 A JP2014056319 A JP 2014056319A JP 2014056319 A JP2014056319 A JP 2014056319A JP 6293537 B2 JP6293537 B2 JP 6293537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- abnormality
- natural frequency
- unit
- installation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 126
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 title claims description 96
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 82
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 73
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 38
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 29
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 102100029860 Suppressor of tumorigenicity 20 protein Human genes 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 102100035353 Cyclin-dependent kinase 2-associated protein 1 Human genes 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M7/00—Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Testing Of Balance (AREA)
Description
以下に、本願出願の当初の特許請求範囲に記載された発明を付記する。
[1]
被検査物が設置される設置部と、
前記被検査物の振動に対応する信号を出力する振動検出部と、
前記検出部の出力結果に基づいて被検査物の異常の有無を判断し、かつ、前記設置部に対する前記被検査物の設置時の前記振動検出部の出力結果をフーリエ変換して前記設置部の構成要素の各々の固有振動数の振動パワーを示す振動情報を形成し、前記振動情報に基づいて前記検査装置の異常の有無を判断する判断部と、
前記検出部の出力信号を前記判断部に伝達する伝達部と
を具備することを特徴とする検査装置。
[2]
前記判断部は、前記振動情報の前記振動パワーと予め設定される閾値を比較し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値以上であると、前記振動検出部と前記伝達部に異常がないと判断し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値未満であると前記振動検出部または前記伝達部に異常があると判断する
ことを特徴とする[1]に記載の検査装置。
[3]
前記判断部は、前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれに基づいて、前記構成要素の各々の異常の有無を判断する
ことを特徴とする[1]に記載の検査装置。
[4]
前記判断部は、前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれが、前記構成要素の各々に対して予め設定される許容範囲内であれば正常であると判断し、前記許容範囲外でれば異常があると判断する
ことを特徴とする[3]に記載の検査装置。
[5]
前記判断部は、前記設置部の構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれ量に基づいて、異常の種類を判断する
ことを特徴とする[1]に記載の検査装置。
[6]
被検査物が設置される設置部と、前記被検査物の振動に対応する信号を出力する振動検出部と、前記検出部の出力結果に基づいて被検査物の異常の有無を判断する判断部と、前記検出部の出力信号を前記判断部に伝達する伝達部を具備する検査装置の異常を検出する異常検出方法であって、
前記設置部に対する前記被検査物の設置時の前記振動検出部の出力結果をフーリエ変換して、前記設置部の構成要素の各々の固有振動数の振動パワーを示す振動情報を形成し、
前記振動情報に基づいて、前記検査装置の異常の有無を判断する
ことを特徴とする異常検出方法。
[7]
前記振動情報の前記振動パワーと予め設定される閾値を比較し、
前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値以上であると、前記振動検出部と前記伝達部に異常がないと判断し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値未満であると前記振動検出部または前記伝達部に異常があると判断する
ことを特徴とする[6]に記載の異常検出方法。
[8]
前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれに基づいて、前記構成要素の各々の異常の有無を判断する
ことを特徴とする[6]に記載の異常検出方法。
[9]
前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれが、前記構成要素の各々に対して予め設定される許容範囲内であれば正常であると判断し、前記許容範囲外でれば異常があると判断する
ことを特徴とする[8]に記載の異常検出方法。
[10]
前記設置部の構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれ量に基づいて、異常の種類を判断する
ことを特徴とする[6]に記載の異常検出方法。
Claims (10)
- 設置面及び固定装置を有し、前記設置面に載置された被検査物を前記固定装置で前記設置面に固定することにより前記被検査物が設置される設置部と、
前記被検査物の振動に対応する信号を出力する振動検出部と、
前記振動検出部の出力結果に基づいて前記被検査物の異常の有無を判断し、かつ、前記設置面に前記被検査物を載置したときの振動に対応する前記振動検出部の出力結果または前記固定装置が動作したときの振動に対応する前記振動検出部の出力結果をフーリエ変換して前記設置部の構成要素の各々の固有振動数の振動パワーを示す振動情報を形成し、前記振動情報に基づいて検査システム自体の異常の有無を判断する判断部と、
前記振動検出部の出力信号を前記判断部に伝達する伝達部と
を具備することを特徴とする検査システム。 - 前記判断部は、前記振動情報の前記振動パワーと予め設定される閾値を比較し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値以上であると、前記振動検出部と前記伝達部に異常がないと判断し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値未満であると前記振動検出部または前記伝達部に異常があると判断する
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記判断部は、前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれに基づいて、前記構成要素の各々の異常の有無を判断する
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記判断部は、前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれが、前記構成要素の各々に対して予め設定される許容範囲内であれば正常であると判断し、前記許容範囲外でれば異常があると判断する
ことを特徴とする請求項3に記載の検査システム。 - 前記判断部は、前記設置部の構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれ量に基づいて、異常の種類を判断する
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 設置面及び固定装置を有し、前記設置面に載置された被検査物を前記固定装置で前記設置面に固定することにより前記被検査物が設置される設置部と、前記被検査物の振動に対応する信号を出力する振動検出部と、前記振動検出部の出力結果に基づいて前記被検査物の異常の有無を判断する判断部と、前記振動検出部の出力信号を前記判断部に伝達する伝達部を具備する検査システムの異常を検出する異常検出方法であって、
前記設置面に前記被検査物を載置したときの振動に対応する前記振動検出部の出力結果または前記固定装置が動作したときの振動に対応する前記振動検出部の出力結果をフーリエ変換して、前記設置部の構成要素の各々の固有振動数の振動パワーを示す振動情報を形成し、
前記振動情報に基づいて、前記検査システムの異常の有無を判断する
ことを特徴とする異常検出方法。 - 前記振動情報の前記振動パワーと予め設定される閾値を比較し、
前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値以上であると、前記振動検出部と前記伝達部に異常がないと判断し、前記振動情報の前記振動パワーが前記閾値未満であると前記振動検出部または前記伝達部に異常があると判断する
ことを特徴とする請求項6に記載の異常検出方法。 - 前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれに基づいて、前記構成要素の各々の異常の有無を判断する
ことを特徴とする請求項6に記載の異常検出方法。 - 前記設置部の前記構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれが、前記構成要素の各々に対して予め設定される許容範囲内であれば正常であると判断し、前記許容範囲外でれば異常があると判断する
ことを特徴とする請求項8に記載の異常検出方法。 - 前記設置部の構成要素において、各々の基準正常状態での固有振動数に対する前記振動情報が示す固有振動数のずれ量に基づいて、異常の種類を判断する
ことを特徴とする請求項6に記載の異常検出方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014056319A JP6293537B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 検査システム、及び異常検出方法 |
CN201510093160.XA CN104931128B (zh) | 2014-03-19 | 2015-03-02 | 检查装置以及异常检测方法 |
US14/638,332 US9702754B2 (en) | 2014-03-19 | 2015-03-04 | Inspection apparatus, and abnormality detection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014056319A JP6293537B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 検査システム、及び異常検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015179005A JP2015179005A (ja) | 2015-10-08 |
JP6293537B2 true JP6293537B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=54118402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014056319A Active JP6293537B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 検査システム、及び異常検出方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9702754B2 (ja) |
JP (1) | JP6293537B2 (ja) |
CN (1) | CN104931128B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7012646B2 (ja) | 2016-01-29 | 2022-01-28 | エスアールアイ インターナショナル | コンパクトな変速比無限大変速機 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6496298B2 (ja) | 2016-11-28 | 2019-04-03 | ファナック株式会社 | 振動機能及び振動検出機能を備えた可搬式操作盤 |
EP3561790B1 (en) * | 2016-12-22 | 2021-08-18 | Alps Alpine Co., Ltd. | Sensor node and vibration monitoring system |
JP6766689B2 (ja) * | 2017-02-28 | 2020-10-14 | ブラザー工業株式会社 | 移設検知装置、移設検知システム及び移設検知方法 |
JP7134652B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-09-12 | 曙ブレーキ工業株式会社 | 異常検知方法および異常検知装置 |
JP7093225B2 (ja) * | 2018-05-21 | 2022-06-29 | Juki株式会社 | 縫い目検査装置 |
CO2018009118A1 (es) * | 2018-08-29 | 2020-04-01 | Univ Ean | Equipo para el análisis del espectro de vibración en materiales |
JP7319606B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-08-02 | 株式会社東芝 | 検査装置、検査システム、検査方法、プログラム、及び記憶媒体 |
JP7454921B2 (ja) * | 2019-07-11 | 2024-03-25 | Juki株式会社 | 縫い目検査装置、縫い目検査方法、及びコンピュータプログラム |
CN113192225B (zh) * | 2021-04-29 | 2022-09-30 | 重庆天智慧启科技有限公司 | 社区安全巡更控制系统 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6126905Y2 (ja) * | 1979-04-02 | 1986-08-12 | ||
JPS55138634A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-29 | Kansai Electric Power Co Inc:The | Fault diagnosis apparatus of apparatus |
JPH03105229A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Hitachi Cable Ltd | 構造物の異常検出装置 |
CA1322282C (en) * | 1989-09-29 | 1993-09-21 | Wing-Cheong Lau | Non-destructive method and apparatus for checking the quality of manufactured wood panels |
JPH06300667A (ja) | 1993-04-19 | 1994-10-28 | Toshiba Corp | 弁棒異常検出方法およびその検出装置 |
JPH0783952A (ja) | 1993-09-17 | 1995-03-31 | Nissan Motor Co Ltd | 加速度検出装置 |
US5696324A (en) * | 1995-05-11 | 1997-12-09 | Iwatsu Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for predicting the life of an object to be measured using longitudinal waves |
US20050049834A1 (en) * | 2001-02-27 | 2005-03-03 | Bottomfield Roger L. | Non-invasive system and method for diagnosing potential malfunctions of semiconductor equipment components |
US6763310B2 (en) * | 2001-05-14 | 2004-07-13 | CENTRE DE RECHERCHE INDUSTRIELLE DU QUéBEC | Modal analysis method and apparatus therefor |
JP2004245633A (ja) | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Honda Motor Co Ltd | 圧入不良検出方法 |
JP2006072659A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 信号識別方法および信号識別装置 |
ATE446499T1 (de) * | 2005-08-26 | 2009-11-15 | Thyssenkrupp Egm Gmbh | Vorrichtung zur durchführung von schwingungsmessungen an einem einen rotor aufweisenden prüfling mit auswuchteinrichtung |
JP4552883B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2010-09-29 | 株式会社デンソー | 振動検出方法 |
US8571829B2 (en) * | 2008-07-11 | 2013-10-29 | University Of Washington Through Its Center For Commercialization | Detecting objects in shipping containers by vibration spectral analysis |
JP2010071933A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Ihi Corp | 回転機械の振動特性計測装置 |
JP2011080894A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Ihi Corp | アンバランス計測装置及び基準加振機及びアンバランス計測方法 |
LT5863B (lt) * | 2010-10-22 | 2012-08-27 | Vilniaus Gedimino technikos universitetas | Tiltų būklės įvertinimo dinaminiu metodu būdas ir įrenginys |
CN102998545B (zh) * | 2011-09-16 | 2015-04-08 | 国网河南省电力公司电力科学研究院 | 一种变压器绕组工作状态的在线监测方法 |
US8942930B2 (en) * | 2012-03-05 | 2015-01-27 | Crystal Instruments Corporation | System and method for generation and control of mechanical vibration |
CN102706443B (zh) * | 2012-06-04 | 2014-08-13 | 广东工业大学 | 一种基于振动信号分析的变压器故障检测装置 |
WO2013183314A1 (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-12 | 日本電気株式会社 | 構造物の分析装置および構造物の分析方法 |
WO2013190727A1 (ja) * | 2012-06-18 | 2013-12-27 | 日本電気株式会社 | 振動検出装置および振動検出方法 |
JP6376980B2 (ja) * | 2015-01-14 | 2018-08-22 | 東芝テック株式会社 | 構造物変状検出装置 |
-
2014
- 2014-03-19 JP JP2014056319A patent/JP6293537B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-02 CN CN201510093160.XA patent/CN104931128B/zh active Active
- 2015-03-04 US US14/638,332 patent/US9702754B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7012646B2 (ja) | 2016-01-29 | 2022-01-28 | エスアールアイ インターナショナル | コンパクトな変速比無限大変速機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015179005A (ja) | 2015-10-08 |
US9702754B2 (en) | 2017-07-11 |
CN104931128B (zh) | 2019-09-20 |
CN104931128A (zh) | 2015-09-23 |
US20150268092A1 (en) | 2015-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6293537B2 (ja) | 検査システム、及び異常検出方法 | |
US10024825B2 (en) | Wafer clamp detection based on vibration or acoustic characteristic analysis | |
SE532501C2 (sv) | Metod och anordning för positionslåsning av mutterdragare för korrigering av oacceptabla resultat vid skruvförbandsåtdragning | |
JP2009249046A (ja) | 用紙搬送装置、用紙搬送異常検知方法 | |
JP5217743B2 (ja) | ボールねじの異常判定方法、並びに異常判定装置およびこれを備えた直動駆動装置 | |
JP2018062241A (ja) | レール検査装置及びレール検査システム | |
JP2007057439A (ja) | プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法 | |
CN102834225A (zh) | 装配设备和装配方法 | |
US10974344B2 (en) | Friction stir spot joining apparatus and friction stir spot joining method | |
CN106932089B (zh) | 一种用于在线检测振动监测装置故障的装置和方法 | |
US10488300B2 (en) | Vibration exciter | |
JP2019128193A (ja) | 締結状態の検査方法 | |
JP5331076B2 (ja) | 浸せき試験用自動測定装置 | |
US20210129320A1 (en) | Method for automatically handling objects | |
KR101740907B1 (ko) | Emat 센서 및 이를 이용한 저유탱크 용접부 결함 검사용 로봇 | |
KR101645312B1 (ko) | 홀센서 테스트 장치 | |
KR101806036B1 (ko) | 가스 터빈 로터의 표면 탐촉 장치 | |
CN112296756A (zh) | 工具安装状态估计系统及机床 | |
JP4130101B2 (ja) | プローバ装置およびプローバ装置を備えた検査装置 | |
JP2008224586A (ja) | 検査装置 | |
JP2000284019A (ja) | Icデバイス検査装置の押圧装置及びこれを有するicデバイスの検査装置 | |
JP2020038143A5 (ja) | ||
CN209879012U (zh) | 用于装钉系统的检测器 | |
KR102159707B1 (ko) | 비파괴 검사용 센서 중심정렬장치 | |
JP2010249738A (ja) | 距離測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170919 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180214 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6293537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |