JP6292047B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
体基板の一方の主面上に垂直に複数配置された第1導電型カラムと第2導電型カラムが前記一方の主面に平行な方向に交互に配置された並列pn層と、前記並列pn層の上面に配置された第1導電型の第1半導体層と、前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第1ベース領域と、前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第2ベース領域と、前記第1ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第1ソース領域と、前記第1ソース領域に接続された第1ソース電極と、前記第2ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第2ソース領域と、前記第2ベース領域の表面層に配置された第2導電型の第1コンタクト領域と、前記第2ソース領域と前記第1コンタクト領域に接続された第2ソース電極と、前記第1ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第1ベース領域の表面上と、前記第2ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第2ベース領域の表面上にゲート絶縁膜を介して配置されたゲート電極と、前記半導体基板の他方の主面上に配置されたドレイン電極とを備え、前記第1ソース電極と前記第2ソース電極が電気的に接続され、該電気的に接続された前記第1ソース電極および前記第2ソース電極と前記ゲート電極との間には抵抗が電気的に接続されている。
(実施の形態1)
図1〜図4は、本発明の第1の実施の形態を示す。
このソース電極6aは例えば金属電極である。
圧Vdsとは、n+ソース層6を基準にしてn+ドレイン層14に印加される電圧のことである。
(比較例)
図4に示すの点線は、図9の従来の縦型MOSFET600のドレイン電圧Vdsとゲート電圧Vgsの関係を示している。
(実施の形態2)
図5には、本発明の第2の実施の形態を示す。図5(a)は平面図、図5(b)は図5(a)に示すW−W’断面図を示す。
2、12 n-層
3、3a、3b pカラム層
4、4a、4b nカラム層
5、5a、5b、5c pベース層
6 n+ソース層
6a、16 ソース電極
6b ソース端子
7 ゲート絶縁膜
8、17 ゲート電極
17b ゲート端子
11 並列pn層
13 pコンタクト層
14 n+ドレイン層
14a ドレイン電極
14b ドレイン端子
15 MOSチャネル
17b ゲート端子
18 厚い絶縁膜
19 チャネルストッパー領域
20 チャネルストッパー電極
R 抵抗
100 サージ保護素子
100a サージ保護素子領域
200 半導体装置
300 スイッチング素子
300a スイッチング素子領域
400 耐圧構造領域
Claims (12)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の一方の主面上に垂直に複数配置された第1導電型カラムと第2導電型カラムが前記一方の主面に平行な方向に交互に配置された並列pn層と、
前記並列pn層の上面に配置された第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第1ベース領域と、
前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第2ベース領域と、
前記第1ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第1ソース領域と、
前記第1ソース領域に接続された第1ソース電極と、
前記第2ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第2ソース領域と、
前記第2ベース領域の表面層に配置された第2導電型の第1コンタクト領域と、
前記第2ソース領域と前記第1コンタクト領域に接続された第2ソース電極と、
前記第1ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第1ベース領域の表面上と、前記第2ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第2ベース領域の表面上にゲート絶縁膜を介して配置されたゲート電極と、
前記半導体基板の他方の主面上に配置されたドレイン電極と、を備え、
前記第1ソース電極と前記第2ソース電極が電気的に接続され、
該電気的に接続された前記第1ソース電極および前記第2ソース電極と前記ゲート電極との間には抵抗が電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1ベース領域の外側に耐圧構造領域を有し、
前記第2ベース領域は、前記第1ベース領域と前記耐圧構造領域との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体層の不純物濃度は、前記第1導電型カラムの不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板と前記並列pn層間に低濃度第1導電型半導体層が配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の前記一方の主面に垂直に複数配置された第1導電型カラムと第2導電型カラムが前記一方の主面に平行な方向に交互に配置された並列pn層と、
前記並列pn層の上面に配置された第1導電型の第1半導体層と、を備えた半導体装置において、
前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第1ベース領域と、
前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第2ベース領域と、
前記第1ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第1ソース領域と、
前記第1ソース領域に接続された第1ソース電極と、
前記第2ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第2ソース領域と、
前記第2ベース領域の表面層に配置された第2導電型の第1コンタクト領域と、
前記第2ソース領域と前記第1コンタクト領域に接続された第2ソース電極と、を備えたサージ保護素子領域と、
前記第1半導体層の表面層から前記並列pn層の前記第2導電型カラムに接するように配置された第2導電型の第3ベース領域と、
前記第3ベース領域の表面層に配置された第1導電型の第3ソース領域と、
前記第3ベース領域の表面層に配置された第2導電型の第2コンタクト領域と、
前記第3ソース領域と前記第2コンタクト領域に接続された第3ソース電極と、を備えたスイッチング素子領域と、
前記第1ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第1ベース領域の表面上と、前記第2ソース領域と前記第2ベース領域の表面上に第1ゲート絶縁膜を介して配置された第1ゲート電極と、
前記第3ソース領域と前記第1半導体層との間の前記第3ベース領域の表面上に第2ゲート絶縁膜を介して配置された第2ゲート電極と、
前記半導体基板の他方の主面上に配置されたドレイン電極と、を備え、
前記サージ保護素子領域の前記第1ソース電極、および前記第2ソース電極と、前記スイッチング素子領域の前記第3ソース領域とが電気的に接続され、
該電気的に接続された前記第1ソース電極および前記第2ソース電極と前記第1ゲート電極との間には抵抗が電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記スイッチング素子領域と前記サージ保護素子領域の外周に耐圧構造領域を有し、
前記第2ベース領域は、前記サージ保護素子領域の最外に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体層の不純物濃度は、前記第1導電型カラムの不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項5または6に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板と前記並列pn層間に低濃度第1導電型半導体層が配置されていることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記スイッチング素子領域は、前記第半導体基板の前記一方の主面に配置された前記第1半導体層と、前記第1半導体層の表面層に配置された前記第3ベース領域と、を備えた縦型MOSトランジスタであることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記スイッチング素子領域と前記サージ保護素子領域は、前記半導体基板の前記主面上に交互に配置されていることを特徴とする請求項5乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記並列pn層の平面形状がストライプ状であることを特徴とする請求項1または5に記載の半導体装置。
- 前記並列pn層の平面形状が格子状であることを特徴とする請求項1または5に記載の半導体装置。
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