JP6285358B2 - クリーンルームのための気流の検測方法と検測システム - Google Patents
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- クリーンルーム内にサンプルガス流を形成するために、前記クリーンルーム内の環境ガスの温度と差がある温度を有するサンプルガスを放出するステップであって、前記サンプルガスの密度は環境ガスの密度に相当する、放出するステップと、
前記サンプルガス流の赤外線サーモグラフィ画像を取得するステップと、を含む、
クリーンルームのための気流測定方法。 - クリーンルーム内の気流に従いサンプルガス流を形成するために、前記サンプルガスを放出するステップと、
赤外線によって前記サンプルガス流を測定し、赤外線放射エネルギー分布画像を取得するステップと、
前記赤外線放射エネルギー分布画像を前記赤外線サーモグラフィ画像に変換するステップと、
前記赤外線サーモグラフィ画像における空間と時間の変化関係によってクリーンルーム内の気流分布特性を計算するステップと、を含む請求項1に記載のクリーンルームのための気流測定方法。 - 前記赤外線による測定は連続的に行われる、請求項2に記載のクリーンルームのための気流測定方法。
- 前記赤外線サーモグラフィ画像を表示するステップをさらに含む、請求項2又は3に記載のクリーンルームのための気流測定方法。
- 前記気流分布特性は、測定区域内の風速、三次元流れ方向、及び渦流の中の少なくとも一つを含む、請求項2から4のいずれか1項に記載のクリーンルームのための気流測定方法。
- 測定区域内の風速を計算するには、単位時間内のサンプルガスの移動距離を測定区域内の風速とし、三次元流れ方向を計算するには、単位時間内のサンプルガスと基準位置との相対位置変化を測定区域内の三次元流れ方向とする、請求項5に記載のクリーンルームのための気流測定方法。
- クリーンルーム内にサンプルガス流を形成するために、環境ガスとの温度差があるサンプルガスを放出するように構成された、サンプルガス供給器と、
赤外線によって前記サンプルガス流を測定し、赤外線放射エネルギー分布画像を取得し、更に前記赤外線放射エネルギー分布画像を赤外線サーモグラフィ画像に変換するように構成された、サーモグラフィ装置と、
前記サンプルガスの温度変化によって前記赤外線サーモグラフィ画像を校正するように構成された、温度変化校正ユニットと、
を備えるクリーンルームのための気流測定システム。 - 前記サンプルガスは、液体窒素、ドライアイス、又は水蒸気から取得される、請求項7に記載のクリーンルームのための気流測定システム。
- 前記赤外線サーモグラフィ画像に基づいてクリーンルーム内の気流分布特性を計算する解析装置をさらに備える、請求項7又は8に記載のクリーンルームのための気流測定システム。
- 前記サーモグラフィ装置は連続的に赤外線によって測定を行う、請求項9に記載のクリーンルームのための気流測定システム。
- 前記サーモグラフィ装置は前記赤外線サーモグラフィ画像を表示する、請求項9又は10に記載のクリーンルームのための気流測定システム。
- 前記サーモグラフィ装置は、
赤外線によって前記サンプルガス流を検測し、赤外線放射エネルギー分布画像を取得する赤外線検測器と、
前記赤外線放射エネルギー分布画像をスキャンして電気信号を取得する感光ユニットと、
取得された電気信号を赤外線サーモグラフィ画像に変換するビデオコンバーターと、を備える、請求項9から11のいずれか1項に記載のクリーンルームのための気流測定システム。 - 前記気流分布特性は、測定区域内の風速、三次元流れ方向、及び渦流の中の少なくとも一つを含む、請求項9から12のいずれか1項に記載のクリーンルームのための気流測定システム。
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