JP6268460B2

JP6268460B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus

Info

Publication number: JP6268460B2
Application number: JP2013067689A
Authority: JP
Inventors: 英一郎渡邊
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2013-03-27
Publication date: 2018-01-31
Anticipated expiration: 2033-03-27
Also published as: JP2014188905A

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as a liquid.

液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、例えば、インク滴を吐出するヘッド本体と、インクカートリッジ（液体供給手段）からインクをヘッド本体に供給する流路部材とを具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。 A typical example of a liquid ejecting head that ejects liquid is an ink jet recording head that ejects ink droplets. An ink jet recording head has been proposed that includes, for example, a head main body that ejects ink droplets, and a flow path member that supplies ink from an ink cartridge (liquid supply means) to the head main body (for example, Patent Documents). 1).

流路部材には、内部空間が設けられ、その内部空間内に液体流路の一部が形成されている。その内部空間内に形成された液体流路の一部は、樹脂等（弾性膜）で該内部空間と区画されている。樹脂等は、インク（液体）を透過させないが、気体を透過させる性質を有している。このため、内部空間の圧力次第では、内部空間の空気が樹脂等を浸透して液体流路に流入し、インク中に気泡を生じさせる虞がある。逆に、液体流路中のインクに含まれる水分が蒸発して蒸気となり、樹脂等を透過する結果、インクが増粘してしまう虞がある。 The flow path member is provided with an internal space, and a part of the liquid flow path is formed in the internal space. A part of the liquid flow path formed in the internal space is partitioned from the internal space by a resin or the like (elastic film). Resin or the like does not transmit ink (liquid) but has a property of transmitting gas. For this reason, depending on the pressure in the internal space, the air in the internal space may permeate the resin or the like and flow into the liquid flow path, which may cause bubbles in the ink. Conversely, the moisture contained in the ink in the liquid flow path evaporates into vapor, which passes through the resin and the like, and as a result, the ink may thicken.

そこで、流路部材に内部空間を外部に連通させる大気開放路を設けることで、内部空間の圧力を調整している。このような内部空間の調圧により、液体流路中のインクに気泡が混入することや、インク中の水分が蒸発することを抑制している。 Therefore, the pressure in the internal space is adjusted by providing the flow path member with an atmosphere opening path that allows the internal space to communicate with the outside. By adjusting the pressure in the internal space, it is possible to prevent bubbles from being mixed into the ink in the liquid flow path and evaporation of moisture in the ink.

特許文献１に係る流路部材では、大気開放路は、内部空間内に溝を設け、該溝をエラストマ等からなるシール部材で覆うことで形成されている。このシール部材は、大気開放路の気密性を確保するため、シール部材は溝側に押圧されながら固定されている。 In the flow path member according to Patent Document 1, the air release path is formed by providing a groove in the internal space and covering the groove with a seal member made of an elastomer or the like. This seal member is fixed while being pressed against the groove side in order to ensure the airtightness of the air release path.

特開２０１２−１２６０６２号公報JP 2012-126062 A

しかしながら、シール部材を溝側に押圧することにより生じた反力で流路部材を構成する部材が変形するおそれがある。流路部材の変形により、流路部材からヘッド本体が剥離したり、液体流路からインクが漏れるなど、信頼性の問題が生じてしまう。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、流路部材の変形を抑制して信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 However, the member constituting the flow path member may be deformed by a reaction force generated by pressing the seal member toward the groove. Due to the deformation of the flow path member, there is a problem in reliability such that the head body peels from the flow path member or ink leaks from the liquid flow path.
Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that are improved in reliability by suppressing deformation of a flow path member.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路、内部空間、前記内部空間を外部に大気開放させる大気開放路、及び前記内部空間の内面に形成されて前記大気開放路の一部を構成する大気開放溝を有する流路部材と、前記大気開放溝を覆うとともに前記内部空間の内面に熱溶着されたフィルムとを備え、前記流路部材は、少なくとも前記ヘッド本体とは反対側の第１部材と前記ヘッド本体側の第２部材とを備え、前記第１部材と前記第２部材との間には、前記第１部材及び前記第２部材を接合する第１接合部及び前記第１接合部を囲む第２接合部が設けられ、前記内部空間は、前記第１部材及び前記第２部材の間の空間であって前記第１接合部の外側かつ前記第２接合部の内側に形成された空間であり、前記第１接合部は、ボス部と前記ボス部を前記流路部材に接着する接着剤とを備え、前記液体流路の一部は、前記第１部材、前記第２部材及び前記第１接合部に囲まれて形成され、前記接着剤及び前記ボス部により前記内部空間とは区画されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルムは、内部空間に形成された大気開放溝に押圧されて固定されていないので、反力が生じず、該反力が流路部材に影響することがない。これにより、反力が流路部材に掛かることが抑制され、流路部材の変形を抑制することができる。このように、流路部材の変形が抑制されるので信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。ここで、前記フィルムは、前記流路部材の前記内部空間の内面に熱溶着される第１層と、前記第１層に接合されて融点が第１層よりも高い第２層とを有することが好ましい。これによれば、第１層のみを溶融させて内部空間の内面に溶着することができる。
また、前記大気開放溝の深さは、前記フィルムの前記第１層の厚さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１層が溶融して大気開放溝に流入したとしても、大気開放溝が閉塞される虞を低減できる。
また、前記フィルムの前記第２層は、透明であることが好ましい。これによれば、レーザー溶着を用いてフィルムを内部空間の内面に溶着させることができる。
また、前記内部空間の内面の前記フィルムが熱溶着される領域は、第１層と同じ材料から形成されていることが好ましい。これによれば、熱溶着による接合が強固なものとなる。また、当該領域及び第１層は融点が同じであるから、それらを溶融させる量を制御し易くなる。これにより、所望の形状の大気開放路を形成することがより容易となり、内部空間を所望の圧力に設定できる大気開放路を形成することができる。
また、前記大気開放溝は、前記第１部材に設けられていることが好ましい。これによれば、第１部材及び第２部材とで内部空間を形成し、その内部空間内に大気開放溝を設けることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、流路部材の変形が抑制されて信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体を吐出するヘッド本体と、前記ヘッド本体に供給される液体が流通する液体流路、及び該液体流路の一部が配置される内部空間、該内部空間を外部に大気開放させる大気開放路、及び前記内部空間の内面に形成されて前記大気開放路の一部を構成する大気開放溝を有する流路部材と、前記大気開放溝を覆うとともに前記内部空間の内面に熱溶着されたフィルムとを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルムは、内部空間に形成された大気開放溝に押圧されて固定されていないので、反力が生じず、該反力が流路部材に影響することがない。これにより、反力が流路部材に掛かることが抑制され、流路部材の変形を抑制することができる。このように、流路部材の変形が抑制されるので信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。
An aspect of the present invention that solves the above problems includes a head main body that discharges liquid, a liquid channel through which the liquid supplied to the head main body circulates, an internal space, an air opening path that opens the internal space to the outside, And a flow path member having an air release groove formed on the inner surface of the internal space and constituting a part of the air release path, and a film that covers the air release groove and is thermally welded to the inner surface of the internal space. The flow path member includes at least a first member opposite to the head main body and a second member on the head main body side, and the first member and the second member include the first member. A first joint that joins one member and the second member and a second joint that surrounds the first joint are provided, and the internal space is a space between the first member and the second member. Outside the first joint and the second joint The first joint portion includes a boss portion and an adhesive that adheres the boss portion to the flow path member, and a part of the liquid flow path includes the first The liquid ejecting head is formed by being surrounded by a member, the second member, and the first joint portion, and is partitioned from the internal space by the adhesive and the boss portion.
In such an embodiment, the film is not pressed and fixed to the air opening groove formed in the internal space, so that no reaction force is generated and the reaction force does not affect the flow path member. Thereby, reaction force is suppressed from being applied to the flow path member, and deformation of the flow path member can be suppressed. Thus, since the deformation of the flow path member is suppressed, a liquid jet head with improved reliability is provided. Here, the film has a first layer thermally welded to an inner surface of the internal space of the flow path member, and a second layer bonded to the first layer and having a melting point higher than that of the first layer. Is preferred. According to this, only the first layer can be melted and welded to the inner surface of the internal space.
Moreover, it is preferable that the depth of the air release groove is deeper than the thickness of the first layer of the film. According to this, even if the first layer melts and flows into the air release groove, the possibility that the air release groove is blocked can be reduced.
Moreover, it is preferable that the said 2nd layer of the said film is transparent. According to this, a film can be welded to the inner surface of internal space using laser welding.
Moreover, it is preferable that the area | region where the said film of the inner surface of the said interior space is heat-welded is formed from the same material as a 1st layer. According to this, joining by heat welding becomes strong. Moreover, since the said area | region and 1st layer have the same melting | fusing point, it becomes easy to control the quantity which fuse | melts them. Thereby, it becomes easier to form an atmosphere open path having a desired shape, and an atmosphere open path capable of setting the internal space to a desired pressure can be formed.
Moreover, it is preferable that the said air release groove | channel is provided in the said 1st member. According to this, an internal space can be formed by the first member and the second member, and an air release groove can be provided in the internal space.
Furthermore, another aspect of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head described in the above aspect.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus in which the deformation of the flow path member is suppressed and the reliability is improved is provided.
Another aspect of the present invention that solves the above problems is a head main body that discharges liquid, a liquid channel through which the liquid supplied to the head main body flows, and an internal space in which a part of the liquid channel is disposed. An air release path for opening the internal space to the outside; a flow path member having an air release groove formed on the inner surface of the internal space and constituting a part of the air release path; and covering the air release groove And a film thermally welded to the inner surface of the internal space.
In such an embodiment, the film is not pressed and fixed to the air opening groove formed in the internal space, so that no reaction force is generated and the reaction force does not affect the flow path member. Thereby, reaction force is suppressed from being applied to the flow path member, and deformation of the flow path member can be suppressed. Thus, since the deformation of the flow path member is suppressed, a liquid jet head with improved reliability is provided.

ここで、前記フィルムは、前記流路部材の内部空間の内面に熱溶着される第１層と、前記第１層に接合されて融点が第１層よりも高い第２層とを有することが好ましい。これによれば、第１層のみを溶融させて内部空間の内面に溶着することができる。 Here, the film has a first layer thermally welded to the inner surface of the internal space of the flow path member, and a second layer bonded to the first layer and having a melting point higher than that of the first layer. preferable. According to this, only the first layer can be melted and welded to the inner surface of the internal space.

また、前記大気開放溝の深さは、前記フィルムの前記第１層の厚さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１層が溶融して大気開放溝に流入したとしても、大気開放溝が閉塞される虞を低減できる。 Moreover, it is preferable that the depth of the air release groove is deeper than the thickness of the first layer of the film. According to this, even if the first layer melts and flows into the air release groove, the possibility that the air release groove is blocked can be reduced.

また、前記フィルムの前記第２層は、透明であることが好ましい。これによれば、レーザー溶着を用いてフィルムを内部空間の内面に溶着させることができる。 Moreover, it is preferable that the said 2nd layer of the said film is transparent. According to this, a film can be welded to the inner surface of internal space using laser welding.

また、前記内部空間の内面の前記フィルムが熱溶着される領域は、第１層と同じ材料から形成されていることが好ましい。これによれば、熱溶着による接合が強固なものとなる。また、当該領域及び第１層は融点が同じであるから、それらを溶融させる量を制御し易くなる。これにより、所望の形状の大気開放路を形成することがより容易となり、内部空間を所望の圧力に設定できる大気開放路を形成することができる。 Moreover, it is preferable that the area | region where the said film of the inner surface of the said interior space is heat-welded is formed from the same material as a 1st layer. According to this, joining by heat welding becomes strong. Moreover, since the said area | region and 1st layer have the same melting | fusing point, it becomes easy to control the quantity which fuse | melts them. Thereby, it becomes easier to form an atmosphere open path having a desired shape, and an atmosphere open path capable of setting the internal space to a desired pressure can be formed.

また、前記流路部材は、少なくともヘッド本体とは反対側の第１部材とヘッド本体側の第２部材とによって前記内部空間を形成しており、前記大気開放溝は、前記第１部材に設けられていることが好ましい。これによれば、第１部材及び第２部材とで内部空間を形成し、その内部空間内に大気開放溝を設けることができる。 Further, the flow path member forms the internal space by at least a first member on the side opposite to the head body and a second member on the head body side, and the air release groove is provided in the first member. It is preferable that According to this, an internal space can be formed by the first member and the second member, and an air release groove can be provided in the internal space.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、流路部材の変形が抑制されて信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。 Furthermore, another aspect of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head described in the above aspect.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus in which the deformation of the flow path member is suppressed and the reliability is improved is provided.

インクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing an ink jet recording apparatus. 実施形態１に係るヘッドを示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the head according to the first embodiment. 実施形態１に係るヘッド本体の要部を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main part of the head body according to the first embodiment. 実施形態１に係る流路部材の上面図である。3 is a top view of a flow path member according to Embodiment 1. FIG. 流路部材を構成する第１部材の底面図である。It is a bottom view of the 1st member which constitutes a channel member. 流路部材を構成する第２部材の上面図である。It is a top view of the 2nd member which constitutes a channel member. 図４のＡ−Ａ′線断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 4. 第１部材とフィルムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows a 1st member and a film.

〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。 <Embodiment 1>
The present invention will be described in detail based on embodiments. An ink jet recording head is an example of a liquid ejecting head, and is also simply referred to as a head. An ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus.

図１は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略斜視図である。本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体２を備え、装置本体２には一方向に延びるキャリッジ軸３が設けられている。キャリッジ軸３には、軸方向に沿って往復移動可能なキャリッジ４が取り付けられている。キャリッジ４には、ヘッド１及びインクカートリッジ５が搭載されている。 FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an example of an ink jet recording apparatus. The ink jet recording apparatus I according to the present embodiment includes an apparatus main body 2, and the apparatus main body 2 is provided with a carriage shaft 3 extending in one direction. A carriage 4 that can reciprocate along the axial direction is attached to the carriage shaft 3. A head 1 and an ink cartridge 5 are mounted on the carriage 4.

装置本体２には、駆動モーター６及びタイミングベルト７が設けられている。タイミングベルト７は、駆動モーター６とキャリッジ４に取り付けられており、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７によりキャリッジ４に伝達される。この駆動モーター６の駆動により、キャリッジ４はキャリッジ軸３に沿って往復移動する。 The apparatus body 2 is provided with a drive motor 6 and a timing belt 7. The timing belt 7 is attached to the drive motor 6 and the carriage 4, and the driving force of the drive motor 6 is transmitted to the carriage 4 by the timing belt 7. By driving the drive motor 6, the carriage 4 reciprocates along the carriage shaft 3.

一方、装置本体２にはキャリッジ軸３に沿ってプラテン８が設けられている。給紙ローラーなど（図示せず）により給紙された紙等の被記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて、キャリッジ軸３とは直交する方向に搬送されるようになっている。
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ４がキャリッジ軸３に沿って移動されると共にヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。 On the other hand, the apparatus main body 2 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 3. A recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller or the like (not shown), is wound around the platen 8 and conveyed in a direction perpendicular to the carriage shaft 3. Yes.
In such an ink jet recording apparatus I, the carriage 4 is moved along the carriage shaft 3 and ink is ejected by the head 1 to be printed on the recording sheet S.

図２は、本実施形態に係るヘッドを示す分解斜視図である。本実施形態に係るヘッド１は、液体としてインク滴を吐出可能なヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に保持された配線基板３０と、ヘッド本体２０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。 FIG. 2 is an exploded perspective view showing the head according to the present embodiment. The head 1 according to the present embodiment includes a head main body 20 capable of ejecting ink droplets as a liquid, a wiring board 30 held by the head main body 20, and a flow path member 40 that supplies ink to the head main body 20. To do.

まず、図３を参照して、ヘッド本体２０について詳細に説明する。図３は、ヘッド本体の要部を示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態に係るヘッド本体２０は、複数のアクチュエーターユニット２１０と、アクチュエーターユニット２１０を内部に収容可能なケース２５０と、ケース２５０の一方面に接合された流路ユニット２３０と、を具備する。 First, the head body 20 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the main part of the head body.
As shown in FIG. 3, the head body 20 according to this embodiment includes a plurality of actuator units 210, a case 250 that can accommodate the actuator units 210 therein, and a flow path unit 230 that is joined to one surface of the case 250. And.

本実施形態のアクチュエーターユニット２１０は、圧電アクチュエーター形成部材２１２と、固定板２１３とを有する。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電アクチュエーター２１１が幅方向（Ｙ方向）に複数並設されることで形成されている。圧電アクチュエーター形成部材２１２は、その基端部（一端部）が固定端として固定板２１３に接合され、先端部（他端部）が自由端となっている。 The actuator unit 210 of this embodiment includes a piezoelectric actuator forming member 212 and a fixed plate 213. The piezoelectric actuator forming member 212 is formed by arranging a plurality of piezoelectric actuators 211 in the width direction (Y direction). The base end portion (one end portion) of the piezoelectric actuator forming member 212 is joined to the fixed plate 213 as a fixed end, and the tip end portion (the other end portion) is a free end.

圧電アクチュエーター形成部材２１２は、圧電材料２１４と、個別内部電極２１５と、共通内部電極２１６を交互に挟んで積層することで形成されている。個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６は、圧電アクチュエーター２１１の２つの極を構成する内部電極である。個別内部電極２１５は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に独立する個別電極を構成する。共通内部電極２１６は、隣接する圧電アクチュエーター２１１と電気的に共通する共通電極を構成する。 The piezoelectric actuator forming member 212 is formed by stacking piezoelectric materials 214, individual internal electrodes 215, and common internal electrodes 216 alternately. The individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 are internal electrodes that form two poles of the piezoelectric actuator 211. The individual internal electrode 215 constitutes an individual electrode that is electrically independent from the adjacent piezoelectric actuator 211. The common internal electrode 216 constitutes a common electrode that is electrically common to the adjacent piezoelectric actuator 211.

圧電アクチュエーター形成部材２１２には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット２１７が形成されている。複数のスリット２１７で圧電アクチュエーター形成部材２１２の先端部側が櫛歯状に切り分けられ、圧電アクチュエーター２１１の列が形成されている。 The piezoelectric actuator forming member 212 has a plurality of slits 217 formed by, for example, a wire saw. A plurality of slits 217 divide the tip end side of the piezoelectric actuator forming member 212 into a comb-like shape to form a row of piezoelectric actuators 211.

圧電アクチュエーター２１１の固定板２１３に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっている。圧電アクチュエーター２１１を構成する個別内部電極２１５及び共通内部電極２１６間に電圧を印加すると、固定板２１３に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター２１１の先端面が、後述する振動板２３２の島部２４０に接着剤等で固定される。 The region joined to the fixed plate 213 of the piezoelectric actuator 211 is an inactive region that does not contribute to vibration. When a voltage is applied between the individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 constituting the piezoelectric actuator 211, only the region on the tip end side that is not joined to the fixed plate 213 vibrates. And the front end surface of the piezoelectric actuator 211 is fixed to the island part 240 of the diaphragm 232 mentioned later with an adhesive agent.

また、アクチュエーターユニット２１０の各圧電アクチュエーター２１１には、例えばＣＯＦ等の回路基板２２１が接続されている。回路基板２２１には、圧電アクチュエーター２１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２２０が搭載されている。 In addition, a circuit board 221 such as a COF is connected to each piezoelectric actuator 211 of the actuator unit 210. A drive circuit 220 such as a drive IC for driving the piezoelectric actuator 211 is mounted on the circuit board 221.

流路ユニット２３０は、流路形成基板２３１、振動板２３２及びノズルプレート２３３を具備する。
流路形成基板２３１は、シリコン単結晶基板からなり、複数の圧力発生室２３５がその幅方向（Ｙ方向）に並設されている。具体的には、各圧力発生室２３５は、流路形成基板２３１の一方面側の表層部分に形成された複数の隔壁２３４によって画成されている。 The flow path unit 230 includes a flow path forming substrate 231, a vibration plate 232, and a nozzle plate 233.
The flow path forming substrate 231 is made of a silicon single crystal substrate, and a plurality of pressure generating chambers 235 are arranged in parallel in the width direction (Y direction). Specifically, each pressure generating chamber 235 is defined by a plurality of partition walls 234 formed in the surface layer portion on one surface side of the flow path forming substrate 231.

各圧力発生室２３５には、インク供給路２３７を介してマニホールド２３６が連通している。また、流路形成基板２３１の一方面側には振動板２３２が接合され、他方面側にはノズルプレート２３３が接合されている。振動板２３２は、圧力発生室２３５の開口面を封止している。ノズルプレート２３３は、ノズル開口２３８が穿設されており、接着剤や熱溶着フィルムを介して流路形成基板２３１に接着されている。流路形成基板２３１には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通した連通孔２３９が設けられている。ノズルプレート２３３のノズル開口２３８と圧力発生室２３５とは、連通孔２３９を介して連通している。 A manifold 236 communicates with each pressure generation chamber 235 through an ink supply path 237. In addition, a diaphragm 232 is bonded to one side of the flow path forming substrate 231 and a nozzle plate 233 is bonded to the other side. The diaphragm 232 seals the opening surface of the pressure generation chamber 235. The nozzle plate 233 has a nozzle opening 238 formed therein, and is bonded to the flow path forming substrate 231 via an adhesive or a heat welding film. The flow path forming substrate 231 is provided with a communication hole 239 penetrating in the thickness direction (Z direction). The nozzle opening 238 of the nozzle plate 233 and the pressure generation chamber 235 communicate with each other through a communication hole 239.

振動板２３２は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２３２ａと、この弾性膜２３２ａを支持する支持板２３２ｂとから構成されている。振動板２３２は、弾性膜２３２ａ側が流路形成基板２３１に接合されている。 The diaphragm 232 includes, for example, an elastic film 232a made of an elastic member such as a resin film, and a support plate 232b that supports the elastic film 232a. The diaphragm 232 is bonded to the flow path forming substrate 231 on the elastic film 232a side.

また、振動板２３２の各圧力発生室２３５に対向する領域内には、島部２４０が設けられている。島部２４０は、圧電アクチュエーター２１１の先端部が当接する領域である。具体的には、振動板２３２は、薄肉部２４１と島部２４０とを有している。薄肉部２４１は、振動板２３２のうち、各圧力発生室２３５の周縁部に対向する領域であり、その他の領域よりも厚さが薄くなっている。薄肉部２４１は実質的には弾性膜２３２ａのみで構成されている。また、島部２４０は、薄肉部２４１の内側に設けられており、島部２４０の上面に圧電アクチュエーター２１１の先端部が接着剤等で固定されている。 In addition, an island 240 is provided in a region of the diaphragm 232 facing each pressure generating chamber 235. The island part 240 is an area where the tip of the piezoelectric actuator 211 comes into contact. Specifically, the diaphragm 232 has a thin portion 241 and an island portion 240. The thin portion 241 is a region of the diaphragm 232 that faces the peripheral edge of each pressure generating chamber 235 and is thinner than the other regions. The thin part 241 is substantially constituted only by the elastic film 232a. The island part 240 is provided inside the thin part 241, and the tip of the piezoelectric actuator 211 is fixed to the upper surface of the island part 240 with an adhesive or the like.

さらに、振動板２３２のうちマニホールド２３６に対向する領域は、コンプライアンス部２４２となっている。コンプライアンス部２４２は、薄肉部２４１と同様に、実質的に弾性膜２３２ａのみで構成されている。なお、薄肉部２４１やコンプライアンス部２４２は、支持板２３２ｂをエッチングにより除去することで形成されている。 Further, a region of the diaphragm 232 that faces the manifold 236 is a compliance portion 242. Similar to the thin-walled portion 241, the compliance portion 242 is substantially composed only of the elastic film 232a. The thin portion 241 and the compliance portion 242 are formed by removing the support plate 232b by etching.

コンプライアンス部２４２は、マニホールド２３６内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２４２（弾性膜２３２ａ）が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。 When the pressure change occurs in the manifold 236, the compliance part 242 absorbs the pressure change by the deformation of the compliance part 242 (elastic film 232a), and plays a role of constantly maintaining the pressure in the manifold 236. .

なお、本実施形態では、弾性膜２３２ａと支持板２３２ｂとで振動板２３２を構成し、薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２を弾性膜２３２ａのみで構成したが、特にこれに限定されない。例えば、振動板として、１枚の板状部材を用い、板状部材の厚さ方向の一部を除去することで凹形状の薄肉部２４１及びコンプライアンス部２４２、並びにこれらよりも相対的に厚い島部２４０を形成してもよい。 In this embodiment, the elastic membrane 232a and the support plate 232b constitute the diaphragm 232, and the thin portion 241 and the compliance portion 242 are constituted only by the elastic membrane 232a. However, the present invention is not limited to this. For example, a single plate-like member is used as the vibration plate, and a part of the plate-like member in the thickness direction is removed, so that the concave thin portion 241 and the compliance portion 242 and islands that are relatively thicker than these are formed. The portion 240 may be formed.

ケース２５０は、流路形成基板２３１の振動板２３２上に固定されている。また、ケース２５０の振動板２３２とは反対側には、配線基板３０が接合され、該配線基板３０上に流路部材４０が接合される。ケース２５０には、インク導入路２５１が設けられている。インク導入路２５１は、流路部材４０に接続されている。インク導入路２５１には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０（図２参照）を経由してインクが供給される。 The case 250 is fixed on the vibration plate 232 of the flow path forming substrate 231. Further, the wiring board 30 is bonded to the side of the case 250 opposite to the diaphragm 232, and the flow path member 40 is bonded to the wiring board 30. The case 250 is provided with an ink introduction path 251. The ink introduction path 251 is connected to the flow path member 40. Ink is supplied to the ink introduction path 251 from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) via the flow path member 40 (see FIG. 2).

また、ケース２５０には、厚さ方向に貫通する複数の収容部２５２が設けられており、各収容部２５２にアクチュエーターユニット２１０が固定されている。本実施形態に係るヘッド１は、４個のアクチュエーターユニット２１０を有し、アクチュエーターユニット２１０がそれぞれ独立して収容されるように４個の収容部２５２を有している。 In addition, the case 250 is provided with a plurality of accommodating portions 252 penetrating in the thickness direction, and the actuator unit 210 is fixed to each accommodating portion 252. The head 1 according to the present embodiment has four actuator units 210, and has four accommodating portions 252 so that the actuator units 210 are independently accommodated.

さらに、ケース２５０には、コンプライアンス部２４２に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間２５３が設けられている。このコンプライアンス空間２５３によってコンプライアンス部２４２は変形可能となる。 Further, the case 250 is provided with a compliance space 253 having a concave shape that opens in a region facing the compliance portion 242. The compliance portion 242 can be deformed by the compliance space 253.

図２に示すように、ケース２５０の上面（流路ユニット２３０側とは反対の面）には、配線基板３０が固定されている。配線基板３０は、回路基板２２１の各配線が接続される導電パッド３３が設けられている。ケース２５０の収容部２５２は、配線基板３０によって実質的に塞がれている。配線基板３０には、ケース２５０の収容部２５２に対抗する領域にスリット状の開口部３１が形成されている。回路基板２２１は開口部３１から収容部２５２の外側に引き出され、配線基板３０の導電パッド３３と電気的に接続されている。 As shown in FIG. 2, the wiring substrate 30 is fixed to the upper surface of the case 250 (the surface opposite to the flow path unit 230 side). The wiring board 30 is provided with conductive pads 33 to which each wiring of the circuit board 221 is connected. The housing part 252 of the case 250 is substantially closed by the wiring board 30. In the wiring board 30, a slit-shaped opening 31 is formed in a region facing the housing portion 252 of the case 250. The circuit board 221 is drawn from the opening 31 to the outside of the housing part 252 and is electrically connected to the conductive pads 33 of the wiring board 30.

また、配線基板３０には、流路部材４０の液体流路が挿通する挿通部３２が設けられている。挿通部３２を挿通した流路部材４０のインク流路５０（接続部７３）がインク導入路２５１に連通する。 Further, the wiring board 30 is provided with an insertion portion 32 through which the liquid channel of the channel member 40 is inserted. The ink flow path 50 (connection portion 73) of the flow path member 40 inserted through the insertion section 32 communicates with the ink introduction path 251.

上述したヘッド本体２０は、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター２１１及び振動板２３２の変形によって各圧力発生室２３５の容積を変化させ、所定のノズル開口２３８からインク滴を吐出させる。 When ejecting ink droplets, the head main body 20 described above changes the volume of each pressure generating chamber 235 by deformation of the piezoelectric actuator 211 and the vibration plate 232, and ejects ink droplets from a predetermined nozzle opening 238.

具体的には、インクカートリッジ５（図１参照）から流路部材４０を経由し、インク導入路２５１を介してマニホールド２３６にインクが供給されると、インク供給路２３７を介して各圧力発生室２３５にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター２１１に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター２１１を収縮させる。これにより、振動板２３２が圧電アクチュエーター２１１と共に変形され、圧力発生室２３５の容積が広げられ、圧力発生室２３５内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口２３８に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板２２１を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター２１１の個別内部電極２１５、共通内部電極２１６に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター２１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板２３２も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室２３５の容積が収縮して圧力発生室２３５内の圧力が高まりノズル開口２３８からインク滴が吐出される。 Specifically, when ink is supplied from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) to the manifold 236 via the flow path member 40 and the ink introduction path 251, each pressure generating chamber is connected via the ink supply path 237. Ink is distributed to 235. Actually, the piezoelectric actuator 211 is contracted by applying a voltage to the piezoelectric actuator 211. Accordingly, the vibration plate 232 is deformed together with the piezoelectric actuator 211, the volume of the pressure generation chamber 235 is expanded, and ink is drawn into the pressure generation chamber 235. After the ink is filled up to the nozzle opening 238, the voltage applied to the individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 of the piezoelectric actuator 211 is released according to the recording signal supplied via the circuit board 221. To do. As a result, the piezoelectric actuator 211 is extended to return to the original state, and the diaphragm 232 is displaced to return to the original state. As a result, the volume of the pressure generation chamber 235 contracts, the pressure in the pressure generation chamber 235 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 238.

上述したヘッド本体２０のケース２５０には、配線基板３０を間に挟んだ状態で流路部材４０が固定される。流路部材４０について、図４〜図７を参照して詳細に説明する。図４は流路部材の上面図であり、図５は流路部材を構成する第１部材の底面図であり、図６は流路部材を構成する第２部材の上面図であり、図７は図４のＡ−Ａ′線断面図である。 The flow path member 40 is fixed to the case 250 of the head main body 20 with the wiring board 30 interposed therebetween. The flow path member 40 will be described in detail with reference to FIGS. 4 is a top view of the flow path member, FIG. 5 is a bottom view of the first member constituting the flow path member, and FIG. 6 is a top view of the second member constituting the flow path member. FIG. 5 is a sectional view taken along line AA ′ in FIG. 4.

流路部材４０は、インクが流通するインク流路５０（液体流路）、インク流路５０の一部が配置される内部空間８０、内部空間８０を外部に大気開放させる大気開放路９０、及び大気開放路９０の一部を構成する大気開放溝９５を有する。
本実施形態に係る流路部材４０は、第１部材６０と第２部材７０とが接合されたものである。 The flow path member 40 includes an ink flow path 50 (liquid flow path) through which ink flows, an internal space 80 in which a part of the ink flow path 50 is disposed, an air release path 90 that opens the internal space 80 to the outside, and An air release groove 95 constituting a part of the air release path 90 is provided.
The flow path member 40 according to the present embodiment is obtained by joining the first member 60 and the second member 70.

第１部材６０は、板状に形成された部材であり、第２部材７０が接合される。材料に特に限定はないが、少なくとも、後述するフィルム９６が溶着される領域は樹脂から形成されている。第１部材６０には、上面（第２部材７０とは反対の面）から上方に突出した複数のインク供給針６１が設けられている。 The 1st member 60 is a member formed in plate shape, and the 2nd member 70 is joined. The material is not particularly limited, but at least a region where a film 96 described later is welded is formed from a resin. The first member 60 is provided with a plurality of ink supply needles 61 protruding upward from the upper surface (the surface opposite to the second member 70).

インク供給針６１は、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給されるように構成されている。具体的には、インク供給針６１は円筒状に形成され、第１部材６０を貫通する貫通孔である第１流路５１が頂部に開口している。 The ink supply needle 61 is configured to be supplied with ink from the ink cartridge 5 (see FIG. 1). Specifically, the ink supply needle 61 is formed in a cylindrical shape, and a first flow path 51 that is a through-hole penetrating the first member 60 opens at the top.

第１流路５１は、インク供給針６１の頂部に開口するとともに、第１部材６０の下面（第２部材７０側の面）に開口している。このインク供給針６１に開口した第１流路５１には、インクカートリッジ５（図１参照）からインクが供給される。また、第１部材６０には、第１流路５１の途中にフィルター５６が設けられている。これにより、インク中の異物や気泡がフィルター５６に捕捉され、ヘッド本体２０に到達することが抑制されている。 The first flow path 51 opens at the top of the ink supply needle 61 and opens at the lower surface of the first member 60 (the surface on the second member 70 side). Ink is supplied from the ink cartridge 5 (see FIG. 1) to the first flow path 51 opened to the ink supply needle 61. Further, the first member 60 is provided with a filter 56 in the middle of the first flow path 51. Thereby, foreign matter and bubbles in the ink are captured by the filter 56 and are prevented from reaching the head body 20.

第２部材７０は、板状に形成された部材であり、第１部材６０が接合される。材料に特に限定はないが、樹脂等の材料から形成することができる。
第２部材７０には、上面（第１部材６０側の面）に４個の溝５５が形成されている。また、第２部材７０の下面（ヘッド本体２０側の面）には、下方に突出した接続部７３が４個形成されている。さらに、第２部材７０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第２流路５２が形成されている。 The 2nd member 70 is a member formed in plate shape, and the 1st member 60 is joined. Although there is no limitation in particular in material, it can form from materials, such as resin.
The second member 70 has four grooves 55 formed on the upper surface (the surface on the first member 60 side). Further, four connecting portions 73 projecting downward are formed on the lower surface of the second member 70 (the surface on the head body 20 side). Further, the second member 70 is formed with a second flow path 52 that is a through hole penetrating in the thickness direction.

各第２流路５２は、各溝５５内に開口するとともに、各接続部７３の頂面に開口している。また、第２部材７０に設けられた各接続部７３は、各インク導入路２５１（図２参照）に対向する位置に設けられている。各接続部７３が配線基板３０の挿通部３２を挿通し、各インク導入路２５１に接合することで、各第２流路５２と各インク導入路２５１が連通する。 Each second flow path 52 opens in each groove 55 and opens on the top surface of each connection portion 73. Further, each connection portion 73 provided in the second member 70 is provided at a position facing each ink introduction path 251 (see FIG. 2). Each connection part 73 is inserted through the insertion part 32 of the wiring board 30 and joined to each ink introduction path 251, whereby each second flow path 52 and each ink introduction path 251 communicate with each other.

第１部材６０と第２部材７０とは、第１接合部と第２接合部とで互いに接合されている。ここでいう接合部とは、第１部材６０及び第２部材７０に接合する部分をいう。
第１接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、インク流路５０を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の上面に設けられた溝５５を囲む第１ボス部７１と、第１ボス部７１を第１部材６０に接着する接着剤７５が第１接合部となる。 The 1st member 60 and the 2nd member 70 are mutually joined by the 1st joined part and the 2nd joined part. Here, the joined portion refers to a portion joined to the first member 60 and the second member 70.
The first joint portion is disposed on the joint surfaces of the first member 60 and the second member 70 that face each other, and surrounds the ink flow path 50. In the present embodiment, the first boss portion 71 surrounding the groove 55 provided on the upper surface of the second member 70 and the adhesive 75 that bonds the first boss portion 71 to the first member 60 serve as the first joint portion.

第２接合部は、第１部材６０及び第２部材７０の相対向する接合面に配置され、上述した第１接合部を囲むものである。本実施形態では、第２部材７０の全ての溝５５を囲む第２ボス部７２と、第２ボス部７２を第１部材６０に接着する接着剤７６が第２接合部となる。 A 2nd junction part is arrange | positioned at the mutually opposing joining surface of the 1st member 60 and the 2nd member 70, and surrounds the 1st junction part mentioned above. In the present embodiment, the second boss portion 72 that surrounds all the grooves 55 of the second member 70 and the adhesive 76 that bonds the second boss portion 72 to the first member 60 serve as the second joint portion.

第１ボス部７１は、溝５５を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第１ボス部７１の頂面は、第１部材６０に接着剤７５により接着されている。このように第１ボス部７１が第１部材６０に接着されることで、溝５５が第１部材６０に封止され、第３流路５３が形成される。 The first boss portion 71 surrounds the groove 55 and is formed to protrude toward the first member 60 side. The top surface of the first boss portion 71 is bonded to the first member 60 with an adhesive 75. As described above, the first boss portion 71 is bonded to the first member 60, whereby the groove 55 is sealed by the first member 60, and the third flow path 53 is formed.

第３流路５３の両端には、それぞれ第１流路５１と第２流路５２とが連通している。これにより、流路部材４０には、第１流路５１、第３流路５３及び第２流路５２とからなるインク流路５０が形成されている。本実施形態では、４個のインク流路５０が形成されている。 A first channel 51 and a second channel 52 communicate with both ends of the third channel 53, respectively. As a result, the ink flow path 50 including the first flow path 51, the third flow path 53, and the second flow path 52 is formed in the flow path member 40. In the present embodiment, four ink flow paths 50 are formed.

第２ボス部７２は、全ての溝５５（第３流路５３）を囲み、第１部材６０側に突出するように形成されている。第２ボス部７２の頂面は、第１部材６０に接着剤７６により接着されている。このように第２ボス部７２が第１部材６０に接着されることで、流路部材４０に内部空間８０が形成されている。 The second boss portion 72 is formed so as to surround all the grooves 55 (third flow path 53) and protrude toward the first member 60 side. The top surface of the second boss portion 72 is bonded to the first member 60 with an adhesive 76. Thus, the internal space 80 is formed in the flow path member 40 by bonding the second boss portion 72 to the first member 60.

すなわち、内部空間８０は、第１部材６０及び第２部材７０の間に、第１接合部の外側かつ第２接合部の内側に形成された空間である。上述したインク流路５０の一部を構成する第３流路５３は、内部空間８０内に配置されている。なお、第３流路５３は、その周囲が第１ボス部７１及び接着剤７５により囲まれて内部空間８０とは区画されている。すなわち、第１ボス部７１及び接着剤７５は、インクを内部空間８０に漏らさないためのシールとして機能している。 That is, the internal space 80 is a space formed between the first member 60 and the second member 70 outside the first joint and inside the second joint. The third flow path 53 that constitutes a part of the ink flow path 50 described above is disposed in the internal space 80. The third flow path 53 is surrounded by the first boss portion 71 and the adhesive 75 and is partitioned from the internal space 80. That is, the first boss portion 71 and the adhesive 75 function as a seal for preventing ink from leaking into the internal space 80.

また、流路部材４０には、大気開放路９０が形成されている。大気開放路９０は、内部空間８０を外部に大気開放させる流路であり、本実施形態では次のように形成されている。 An air opening path 90 is formed in the flow path member 40. The air release path 90 is a flow path for opening the internal space 80 to the outside, and is formed as follows in this embodiment.

第１部材６０の内部空間８０を構成する内面６２（第２部材７０に対向する面）に大気開放溝９５が形成されている。
大気開放溝９５は、大気開放路９０の一部を構成する溝であり、本実施形態では、細長く蛇行するように形成されている。また、第１部材６０には、厚さ方向に貫通した貫通孔である第１大気開放路９１が形成されている。この第１大気開放路９１は、大気開放溝９５の一端に連通している。 An air release groove 95 is formed on the inner surface 62 (the surface facing the second member 70) constituting the internal space 80 of the first member 60.
The air release groove 95 is a groove that constitutes a part of the air release path 90, and in this embodiment, the air release groove 95 is formed so as to meander in an elongated manner. Further, the first member 60 is formed with a first atmosphere opening path 91 which is a through hole penetrating in the thickness direction. The first atmosphere opening path 91 communicates with one end of the atmosphere opening groove 95.

大気開放溝９５の一部である開口部９３（第１大気開放路９１に連通される一端とは反対側の端部）を除いて、フィルム９６が大気開放溝９５を覆い、内部空間８０の内面６２に熱溶着されている。 Except for the opening 93 which is a part of the air release groove 95 (the end opposite to one end connected to the first air release path 91), the film 96 covers the air release groove 95, It is thermally welded to the inner surface 62.

フィルム９６は、大気開放溝９５を覆い、内部空間８０の内面６２に熱溶着可能な材料であれば特に限定はない。例えば、樹脂材料からフィルム９６を形成することができる。
このようにフィルム９６が大気開放溝９５を覆うことで、大気開放溝９５とフィルム９６とから第２大気開放路９２が形成されている。 The film 96 is not particularly limited as long as it is a material that covers the air opening groove 95 and can be thermally welded to the inner surface 62 of the internal space 80. For example, the film 96 can be formed from a resin material.
Thus, the film 96 covers the air release groove 95, whereby the second air release path 92 is formed from the air release groove 95 and the film 96.

第２大気開放路９２は、第１大気開放路９１及び開口部９３とともに大気開放路９０を構成する。すなわち、流路部材４０には、第１大気開放路９１、第２大気開放路９２及び開口部９３とからなる大気開放路９０が形成されている。このような大気開放路９０により、内部空間８０は、大気開放路９０を介して外部に連通している。 The second atmosphere opening path 92 constitutes the atmosphere opening path 90 together with the first atmosphere opening path 91 and the opening 93. That is, the flow path member 40 is formed with an atmospheric open path 90 including a first atmospheric open path 91, a second atmospheric open path 92, and an opening 93. Due to the atmosphere opening path 90, the internal space 80 communicates with the outside through the atmosphere opening path 90.

このように構成された大気開放路９０は、その一部が細長く蛇行した第２大気開放路９２を有している。第２大気開放路９２をこのような形状とすることで、第２大気開放路９２を流通する空気に対する拡散抵抗を高めることができる。
したがって、第２大気開放路９２の形状を調整して拡散抵抗を適宜設定することで、内部空間８０の圧力を任意に設定することができる。 The atmosphere open path 90 configured in this way has a second atmosphere open path 92 that is partially meandering. By making the 2nd atmosphere open path 92 into such a shape, the diffusion resistance with respect to the air which distribute | circulates the 2nd atmosphere open path 92 can be raised.
Therefore, the pressure of the internal space 80 can be arbitrarily set by adjusting the shape of the second atmosphere opening path 92 and appropriately setting the diffusion resistance.

このように内部空間８０の圧力を大気開放路９０で調整することで、内部空間８０が過度に高圧又は低圧になることを抑制することができる。内部空間８０の空気（大気）が過度に高圧となることを抑制できる結果、該空気が接着剤７５を透過し、第３流路５３内のインクに気泡として混入することを抑制できる。また、内部空間８０の空気（大気）が過度に低圧となることを抑制できる結果、第３流路５３内のインクの水分が蒸発して接着剤７５を透過し、該水分の減少によるインクの増粘を抑制することができる。
このようによって、ヘッド１は、気泡の混入やインクの増粘が抑制されて、インクの吐出品質が向上したものとなる。 Thus, by adjusting the pressure of the internal space 80 with the atmosphere open path 90, it is possible to suppress the internal space 80 from being excessively high pressure or low pressure. As a result of suppressing the air (atmosphere) in the internal space 80 from becoming an excessively high pressure, it is possible to suppress the air from passing through the adhesive 75 and being mixed into the ink in the third flow path 53 as bubbles. In addition, as a result of suppressing the air (atmosphere) in the internal space 80 from being excessively low in pressure, the water in the ink in the third flow path 53 evaporates and permeates the adhesive 75, and the ink due to the decrease in the water Thickening can be suppressed.
In this way, the head 1 is improved in ink ejection quality by suppressing the mixing of bubbles and ink thickening.

そして、このような大気開放路９０は、その一部を内部空間８０に形成した大気開放溝９５をフィルム９６で覆うことにより形成した。このフィルム９６は、内部空間８０の内面６２に熱溶着されている。すなわち、熱溶着後はフィルム９６は、大気開放溝９５側への押圧から解放されて固定される。 Such an air release path 90 was formed by covering the air release groove 95 formed partially in the internal space 80 with a film 96. This film 96 is thermally welded to the inner surface 62 of the internal space 80. That is, after heat welding, the film 96 is released and fixed from the pressure toward the atmosphere opening groove 95 side.

仮に、例えば、大気開放溝９５を覆うシール部材を配置し、このシール部材を第１部材６０と第２部材７０とで挟持させる場合、シール部材を押圧する力が反力として第１部材６０や第２部材７０に作用してしまう。 For example, when a seal member that covers the air release groove 95 is disposed and this seal member is sandwiched between the first member 60 and the second member 70, the force that presses the seal member is the first member 60 or It will act on the second member 70.

一方、本発明では、フィルム９６は押圧されて第１部材６０に固定されていないので、反力が生じず、該反力が第１部材６０や第２部材７０に影響することもない。これにより、反力が流路部材４０に掛かることが抑制され、流路部材４０の変形を抑制することができる。 On the other hand, in the present invention, since the film 96 is pressed and not fixed to the first member 60, no reaction force is generated, and the reaction force does not affect the first member 60 and the second member 70. Thereby, it is suppressed that reaction force is applied to the flow path member 40, and deformation of the flow path member 40 can be suppressed.

このように、本発明によれば、流路部材４０の変形を抑制することができる。これにより、流路部材４０からヘッド本体２０が剥離したり、インク流路５０からインクが漏れるなどのおそれが低減され、信頼性が向上したヘッド１が提供される。 Thus, according to the present invention, deformation of the flow path member 40 can be suppressed. Thereby, the possibility that the head main body 20 peels from the flow path member 40 or the ink leaks from the ink flow path 50 is reduced, and the head 1 with improved reliability is provided.

〈実施形態２〉
本実施形態では、実施形態１に説明した大気開放路９０を構成するフィルム９６の変形例について説明する。 <Embodiment 2>
In the present embodiment, a modified example of the film 96 constituting the atmosphere opening path 90 described in the first embodiment will be described.

図８（ａ）は、大気開放溝が形成された第１部材とフィルムを示す断面図であり、図８（ｂ）は、フィルムが熱溶着された第１部材の断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 FIG. 8A is a cross-sectional view showing the first member and the film in which the air release groove is formed, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the first member to which the film is thermally welded. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図８（ａ）に示すように、本実施形態に係るフィルム９６Ａは、第１層９７と、第１層９７に接合された第２層９８とを備えている。
第１層９７は、内部空間８０となる第１部材６０の内面６２に熱溶着される。第２層９８は、第１層９７の内面６２とは反対側に接合される。また、第２層９８は、第１層９７よりも融点が高い材料からなる。
例えば、第１層９７の材料としてはポリエチレンを用い、第２層９８の材料としてはＰＥＴを用いることができる。 As shown in FIG. 8A, the film 96 A according to this embodiment includes a first layer 97 and a second layer 98 bonded to the first layer 97.
The first layer 97 is thermally welded to the inner surface 62 of the first member 60 that becomes the internal space 80. The second layer 98 is bonded to the side opposite to the inner surface 62 of the first layer 97. The second layer 98 is made of a material having a higher melting point than the first layer 97.
For example, polyethylene can be used as the material of the first layer 97, and PET can be used as the material of the second layer 98.

図８（ｂ）に示すように、フィルム９６Ａが大気開放溝９５を覆い、第１部材６０の内面６２に熱溶着される。熱溶着の方法としては特に限定はないが、レーザー溶着や振動溶着を用いることができる。
熱溶着により、第１部材の内面６２と、フィルム９６Ａの第１層９７とが溶着され、フィルム９６Ａが第１部材６０に固定される。 As shown in FIG. 8B, the film 96 A covers the air release groove 95 and is thermally welded to the inner surface 62 of the first member 60. The method for heat welding is not particularly limited, but laser welding or vibration welding can be used.
By heat welding, the inner surface 62 of the first member and the first layer 97 of the film 96 A are welded, and the film 96 A is fixed to the first member 60.

ここで、フィルム９６Ａの第１層９７の融点は、第２層９８の融点よりも低い。したがって、熱溶着の温度を第１層９７の融点よりも高く、かつ第２層９８の融点より低くすることで、第１層９７のみを溶融させて溶着することができる。これにより、熱溶着により第２層９８が溶融して破れてしまうなどの欠損する虞を低減できる。 Here, the melting point of the first layer 97 of the film 96 A is lower than the melting point of the second layer 98. Therefore, by setting the thermal welding temperature higher than the melting point of the first layer 97 and lower than the melting point of the second layer 98, only the first layer 97 can be melted and welded. Thereby, the possibility that the second layer 98 melts and is broken due to thermal welding can be reduced.

また、第１部材６０全体、又は、少なくとも第１部材６０のフィルム９６Ａが固定される領域６３は、第１層９７と同じ材料から形成されていることが好ましい。これにより、領域６３とフィルム９６Ａとの接合がより強固なものとすることができる。さらに、領域６３及び第１層９７は融点が同じであるから、それらを溶融させる量を制御し易くなる。 The entire first member 60 or at least the region 63 to which the film 96 A of the first member 60 is fixed is preferably formed from the same material as the first layer 97. Thereby, joining of the area | region 63 and the film 96A can be made stronger. Furthermore, since the melting points of the region 63 and the first layer 97 are the same, the amount of melting them can be easily controlled.

したがって、フィルム９６Ａを溶着させたあとの第２大気開放路９２の深さ（断面積）を制御することができる。これにより、内部空間８０内を所望の圧力に調整可能な形状（流路長、断面積）の第２大気開放路９２を形成することができる。 Therefore, it is possible to control the depth (cross-sectional area) of the second atmosphere opening path 92 after the film 96A is welded. Thereby, the 2nd atmospheric open path 92 of the shape (flow path length, cross-sectional area) which can adjust the inside space 80 to a desired pressure can be formed.

第２大気開放路９２の形状を、内部空間８０内を所望の圧力に調整可能な形状（流路長、断面積）にすることができるので、例えば、断面積を極力小さくして拡散抵抗を向上させ、その代わりに流路長を短くすることができる。その結果、図５に示したようにＸＹ平面において第２大気開放路９２が占める面積を小さくすることができるため、流路部材４０を小型化し、さらにはヘッド１も小型化することが可能となる。 Since the shape of the second atmosphere opening path 92 can be adjusted to a shape (flow path length, cross-sectional area) that can be adjusted to a desired pressure in the internal space 80, for example, the cross-sectional area is made as small as possible to reduce the diffusion resistance. The flow path length can be shortened instead. As a result, as shown in FIG. 5, the area occupied by the second atmosphere opening path 92 in the XY plane can be reduced, so that the flow path member 40 can be downsized and the head 1 can also be downsized. Become.

さらに、大気開放溝９５の深さｄ_１は、第１層９７の厚さｄ_２よりも深くすることが好ましい。熱溶着により、第１部材６０のフィルム９６Ａが固定される領域と、第１層９７の溶融する量が同程度である。したがって、第１層９７が溶融して大気開放溝９５に流入したとしても、大気開放溝９５が閉塞される虞を低減できる。 Further, the depth d ₁ of the air release groove 95 is preferably deeper than the thickness d ₂ of the first layer 97. The region where the film 96 A of the first member 60 is fixed by heat welding and the amount by which the first layer 97 is melted are approximately the same. Therefore, even if the first layer 97 melts and flows into the air release groove 95, the possibility of the air release groove 95 being blocked can be reduced.

また、フィルム９６Ａの第２層９８をＰＥＴなどの透明な材料から形成する場合、レーザー溶着によりフィルム９６Ａを熱溶着することができる。すなわち、大気開放溝９５を覆うようにフィルム９６Ａを第１部材６０上に載置した後、第２層９８側から第１部材６０の領域６３にレーザーを照射する。レーザーは、透明な第２層９８を透過し、第１層９７に到達してこれを溶融させ、領域６３に熱溶着させる。
このようにフィルム９６Ａの第２層９８を透明な材料から形成することで、レーザー溶着を用いて第２大気開放路９２を形成することができる。
なお、本実施形態では、フィルム９６Ａは２層構造を有しているが、これに限らず、３層以上の構造を有していてもよい。 When the second layer 98 of the film 96A is formed from a transparent material such as PET, the film 96A can be thermally welded by laser welding. That is, after the film 96A is placed on the first member 60 so as to cover the air release groove 95, the region 63 of the first member 60 is irradiated with laser from the second layer 98 side. The laser passes through the transparent second layer 98, reaches the first layer 97, melts it, and thermally welds it to the region 63.
Thus, by forming the second layer 98 of the film 96A from a transparent material, the second atmosphere opening path 92 can be formed using laser welding.
In the present embodiment, the film 96A has a two-layer structure, but is not limited thereto, and may have a structure of three or more layers.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されない。 <Other embodiments>
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、大気開放溝９５（第２大気開放路９２）は、細長く蛇行している必要はなく内部空間８０を外部に連通させる流路であってもよい。このような形態であっても、流路長や断面積を調整することで内部空間８０を調圧することができる。 For example, the atmosphere release groove 95 (second atmosphere release path 92) does not need to be meandering long and narrow, and may be a flow path that allows the internal space 80 to communicate with the outside. Even in such a configuration, the internal space 80 can be regulated by adjusting the flow path length and the cross-sectional area.

第１接合部及び第２接合部は、何れもボス部と接着剤により構成されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第２部材７０上に第１接合部及び第２接合部としてボス部を形成し、当該ボス部を第１部材６０に熱溶着により接合させてもよい。他にも、第１接合部及び第２接合部として環状のシール部材を用いてもよい。 Although the 1st junction part and the 2nd junction part were each comprised by the boss | hub part and the adhesive agent, it is not limited to such an aspect. For example, a boss part may be formed on the second member 70 as a first joint part and a second joint part, and the boss part may be joined to the first member 60 by thermal welding. In addition, you may use a cyclic | annular sealing member as a 1st junction part and a 2nd junction part.

また、圧力発生室２３５に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、実施形態１に説明したものに限定されない。例えば、液体流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。 Further, the pressure generating means for causing the pressure change in the pressure generating chamber 235 is not limited to the one described in the first embodiment. For example, by disposing a heating element in the liquid flow path and ejecting ink droplets from the nozzle by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or by generating an electrostatic force between the diaphragm and the electrode, For example, a so-called electrostatic actuator that deforms the vibration plate to eject ink droplets from the nozzles can be used.

また、インクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１と共にキャリッジ４にインクカートリッジ５を装着した構成、いわゆるオンキャリッジ型とした。しかしながら、インクカートリッジ５を装置本体２に設け、インクカートリッジ５からチューブを介してヘッド１にインクを供給する構成、いわゆるオフキャリッジ型としてもよい。また、インクカートリッジ５は、装置本体２に設けられている必要はなく装置本体２の外部に配置され、チューブ等を介してヘッド１にインクを供給するようにしてもよい。 Further, the ink jet recording apparatus I is a so-called on-carriage type in which the ink cartridge 5 is mounted on the carriage 4 together with the head 1. However, a configuration in which the ink cartridge 5 is provided in the apparatus main body 2 and ink is supplied from the ink cartridge 5 to the head 1 through a tube, that is, a so-called off-carriage type may be used. Further, the ink cartridge 5 does not need to be provided in the apparatus main body 2 and may be arranged outside the apparatus main body 2 so as to supply ink to the head 1 via a tube or the like.

さらに、本発明は、広く液体噴射装置を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備える液体噴射装置にも適用することができる。 Furthermore, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting apparatuses. For example, the present invention is used for manufacturing recording heads such as various ink jet recording heads used in image recording apparatuses such as printers and color filters such as liquid crystal displays. The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a coloring material ejecting head, an organic EL display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an FED (field emission display), a bioorganic matter ejecting head used for biochip manufacturing, and the like it can.

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１ヘッド（液体噴射ヘッド）、２０ヘッド本体、３０配線基板、４０流路部材、５０インク流路（液体流路）、６０第１部材、７０第２部材、８０内部空間、９０大気開放路、９１第１大気開放路、９２第２大気開放路、９３開口部、９５大気開放溝、９６、９６Ａフィルム、９７第１層、９８第２層、２１０アクチュエーターユニット、２３０流路ユニット、２３３ノズルプレート、２３５圧力発生室、２３８ノズル開口、２５０ケース I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 head (liquid ejecting head), 20 head body, 30 wiring board, 40 flow path member, 50 ink flow path (liquid flow path), 60 first member, 70 second Member, 80 internal space, 90 atmosphere release path, 91 first atmosphere release path, 92 second atmosphere release path, 93 opening, 95 atmosphere release groove, 96, 96A film, 97 first layer, 98 second layer, 210 Actuator unit, 230 Flow path unit, 233 Nozzle plate, 235 Pressure generation chamber, 238 Nozzle opening, 250 Case

Claims

A head body for discharging liquid;
Liquid flow path the liquid supplied to the head main body flows, internal space, the atmosphere open passage to the atmosphere of the internal space to the outside, and a part of the air opening path formed on an inner surface of said internal space A flow path member having an open air groove to constitute;
A film that covers the air release groove and is thermally welded to the inner surface of the internal space;
The flow path member includes at least a first member on a side opposite to the head body and a second member on the head body side,
Between the 1st member and the 2nd member, the 1st joined part which joins the 1st member and the 2nd member, and the 2nd joined part surrounding the 1st joined part are provided,
The internal space is a space between the first member and the second member, and is a space formed outside the first joint and inside the second joint,
The first joint portion includes a boss portion and an adhesive that bonds the boss portion to the flow path member,
Some prior Symbol liquid flow path, the first member is formed is surrounded by the second member and the first joint portion, wherein it is partitioned from the internal space by said adhesive and said boss portion A liquid ejecting head characterized by the above.

The liquid ejecting head according to claim 1,
The film has a first layer thermally welded to an inner surface of the internal space of the flow path member, and a second layer bonded to the first layer and having a melting point higher than that of the first layer. Liquid ejecting head.

The liquid ejecting head according to claim 2,
The depth of the air release groove is deeper than the thickness of the first layer of the film.

In the liquid ejecting head according to claim 2 or 3,
The liquid jet head, wherein the second layer of the film is transparent.

In the liquid jet head according to any one of claims 2 to 4,
The region of the inner surface of the internal space where the film is thermally welded is formed of the same material as the first layer.

In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 5 ,
Before Symbol atmosphere open groove, the liquid jet head, characterized in that provided on the first member.

A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.