JP6108060B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus.

液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インク滴をノズル開口から吐出するヘッド本体と、インクが貯留されたインクカートリッジ(液体貯留部材)からのインクをヘッド本体に供給する共通の流路部材とを具備するものが提案されている。   A typical example of a liquid ejecting head that ejects droplets is an ink jet recording head that ejects ink droplets. As the ink jet recording head, for example, a head main body that ejects ink droplets from nozzle openings and a common flow path member that supplies ink from an ink cartridge (liquid storage member) in which ink is stored to the head main body are provided. What it comprises is proposed.

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、ヘッド本体や流路部材(ヘッドケース)などの複数の部材にインクが流通する流路がそれぞれ設けられており、各部材を接続することで、各流路は連通し、一つの液体流路が形成される(例えば、特許文献1参照)。このように、複数の部材から一つの液体流路を形成する場合、各部材間にはシールが設けられる。例えば、ヘッドケース側の流路の開口縁部に、ヘッド本体側に突出した度当部を設け、その度当部をヘッド本体側に度当てすることで液体流路をシールしている。そして、この度当部の外周全体を接着剤で囲むように設けて接着することで、シールをより確実なものとしている。   In such an ink jet recording head, a flow path through which ink circulates is provided in a plurality of members such as a head main body and a flow path member (head case). By connecting each member, each flow path is One liquid channel is formed in communication (see, for example, Patent Document 1). Thus, when forming one liquid channel from a plurality of members, a seal is provided between each member. For example, a contact portion that protrudes toward the head main body side is provided at the opening edge of the flow path on the head case side, and the liquid flow passage is sealed by applying the contact portion to the head main body side each time. And the seal | sticker is made more reliable by providing and adhering so that the outer periphery of the contact part may be enclosed with an adhesive agent this time.

特開平11−300987号公報JP-A-11-300987

しかしながら、一つの液体流路に対して、その開口縁部を囲む度当部及び接着剤が必要となる。このため、液体流路の数が増えれば、それに比例して度当部や接着剤に要するスペースが増大し、ヘッドが大型化してしまう。   However, a contact portion and an adhesive are required for one liquid flow path when surrounding the opening edge portion. For this reason, if the number of the liquid flow paths increases, the space required for the contact portion and the adhesive increases in proportion thereto, and the head becomes large.

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、液体流路のシールを確実なものとするとともに小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can reliably seal a liquid flow path and can be downsized.

上記課題を解決する本発明の態様は、複数の第1流路が設けられた第1流路部材と複数の第2流路が設けられた第2流路部材とが接着剤で接合され、各第1流路と各第2流路とが連通した複数の液体流路を有する流路部材と、前記液体流路から供給された液体を吐出するヘッド本体とを備え、前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、他方側に突出して当接する度当部が設けられ、前記接着剤は、複数の前記液体流路のそれぞれに環状に設けられ、隣り合う前記液体流路のそれぞれに設けられた前記接着剤は、互いに連続し、前記度当部は、環状の前記接着剤の外側に設けられ、かつ、隣り合う前記液体流路の間において設けられていないことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、各液体流路は、接着剤及び度当部によりシールされるとともに、隣り合う液体流路間においては、それらの液体流路に共通した接着剤によりシールされる。このような構成によれば、液体流路の間に度当部を設ける必要がないので、液体流路同士がより近接して配置された流路部材を得ることができる。これにより、流路部材の平面方向(第1流路部材及び第2流路部材の積層方向とは直交する方向)における大きさが小型化した液体噴射ヘッドが提供される。
ここで、前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、前記第1流路又は前記第2流路の開口縁部に溝部が設けられ、前記接着剤は、前記溝部内又は前記溝部よりも前記度当部側に設けられていることが好ましい。これによれば、液体流路を介してヘッド本体に接着剤の一部が進入することを防止することができ、吐出不良や目詰まりなどを防止することができる。さらに、度当部近傍のみならず溝部まで接着剤を塗布することが可能である。これにより、第1流路部材及び第2流路部材との接着、及び液体流路のシールをより確実なものとすることができる。
また、前記液体流路には、前記接着剤よりも前記ヘッド本体側に該液体流路を横断するフィルターが設けられていることが好ましい。これによれば、万が一、接着剤の一部が剥離し、液体とともに下流側に流通しても、フィルターで捕捉することができる。
また、前記度当部は、環状に形成されていることが好ましい。これによれば、全ての液体流路に対してより確実にシールをすることができるとともに、接着剤が度当部よりも外側にはみ出すことを防止することができる。
また、前記ヘッド本体は、液体が貯留されるマニホールド、該マニホールド内の圧力変化を吸収するコンプライアンス部、及び該コンプライアンス部に対向して設けられたコンプライアンス空間を有し、前記流路部材には、前記コンプライアンス空間に連通するとともに大気に連通した大気開放路が設けられ、前記大気開放路は、その一部が隣り合う液体流路の間に設けられた前記接着剤により画成されていることが好ましい。これによれば、コンプライアンス部がマニホールドの圧力変化に伴って良好に変形することができる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体流路のシールを確実なものとするとともに小型化することができる液体噴射装置を実現できる。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、複数の第1流路が設けられた第1流路部材と複数の第2流路が設けられた第2流路部材とが接着剤で接合され、各第1流路と各第2流路とが連通した複数の液体流路を有する流路部材と、前記液体流路から供給された液体を吐出するヘッド本体とを備え、前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、他方側に突出して当接する度当部が設けられ、前記接着剤は、前記度当部よりも前記第1流路及び前記第2流路側において前記第1流路及び前記第2流路の開口縁部に環状に設けられるとともに、隣り合う他の前記接着剤に連続していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、各液体流路は、接着剤及び度当部によりシールされるとともに、隣り合う液体流路間においては、それらの液体流路に共通した接着剤によりシールされる。このような構成によれば、液体流路の間に度当部を設ける必要がないので、液体流路同士がより近接して配置された流路部材を得ることができる。これにより、流路部材の平面方向(第1流路部材及び第2流路部材の積層方向とは直交する方向)における大きさが小型化した液体噴射ヘッドが提供される。
In an aspect of the present invention that solves the above problem, a first flow path member provided with a plurality of first flow paths and a second flow path member provided with a plurality of second flow paths are joined with an adhesive, A flow path member having a plurality of liquid flow paths in which the first flow paths and the second flow paths communicate with each other; and a head main body that discharges the liquid supplied from the liquid flow path. At least one of the member and the second flow path member is provided with a contact portion that protrudes and contacts the other side, and the adhesive is provided annularly in each of the plurality of liquid flow paths, and adjacent to each other. The adhesive provided in each of the liquid flow paths is continuous with each other, and the contact portion is provided outside the annular adhesive and is not provided between the adjacent liquid flow paths. The liquid ejecting head is characterized by the above.
In such an aspect, each liquid flow path is sealed with an adhesive and a fitting portion, and between adjacent liquid flow paths is sealed with an adhesive common to the liquid flow paths. According to such a configuration, there is no need to provide a contact portion between the liquid channels, so that a channel member in which the liquid channels are arranged closer to each other can be obtained. Accordingly, a liquid ejecting head having a reduced size in the planar direction of the flow path member (a direction orthogonal to the stacking direction of the first flow path member and the second flow path member) is provided.
Here, at least one of the first flow path member or the second flow path member is provided with a groove at an opening edge of the first flow path or the second flow path, and the adhesive It is preferable that it is provided closer to the contact portion than the inner portion or the groove portion. According to this, it is possible to prevent a part of the adhesive from entering the head main body through the liquid flow path, and it is possible to prevent discharge failure and clogging. Furthermore, it is possible to apply the adhesive not only in the vicinity of the contact portion but also in the groove portion. Thereby, adhesion with the 1st channel member and the 2nd channel member, and a seal of a liquid channel can be made more reliable.
The liquid channel is preferably provided with a filter that crosses the liquid channel closer to the head body than the adhesive. According to this, even if a part of the adhesive peels off and flows downstream with the liquid, it can be captured by the filter.
Further, it is preferable that the contact portion is formed in an annular shape. According to this, it can seal more reliably with respect to all the liquid flow paths, and it can prevent that an adhesive protrudes outside an applicator part.
The head main body has a manifold for storing liquid, a compliance portion for absorbing a pressure change in the manifold, and a compliance space provided to face the compliance portion. An atmosphere opening path that communicates with the compliance space and communicates with the atmosphere is provided, and the atmosphere opening path is defined by the adhesive provided in part between adjacent liquid channels. preferable. According to this, the compliance part can be favorably deformed with the pressure change of the manifold.
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can ensure the sealing of the liquid flow path and can be downsized.
Another aspect of the present invention that solves the above problem is that a first flow path member provided with a plurality of first flow paths and a second flow path member provided with a plurality of second flow paths are joined by an adhesive. A flow path member having a plurality of liquid flow paths in which the first flow paths and the second flow paths communicate with each other, and a head body that discharges the liquid supplied from the liquid flow path, At least one of the flow path member or the second flow path member is provided with a contact portion that protrudes and abuts on the other side, and the adhesive includes the first flow path and the second flow passage more than the contact portion. The liquid jet head is characterized in that, on the flow channel side, the first flow channel and the second flow channel are annularly provided at the opening edge portions and are continuous with the other adjacent adhesives.
In such an aspect, each liquid flow path is sealed with an adhesive and a fitting portion, and between adjacent liquid flow paths is sealed with an adhesive common to the liquid flow paths. According to such a configuration, there is no need to provide a contact portion between the liquid channels, so that a channel member in which the liquid channels are arranged closer to each other can be obtained. Accordingly, a liquid ejecting head having a reduced size in the planar direction of the flow path member (a direction orthogonal to the stacking direction of the first flow path member and the second flow path member) is provided.

ここで、前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、前記第1流路又は前記第2流路の開口縁部に溝部が設けられ、前記接着剤は、前記溝部内又は前記溝部よりも前記度当部側に設けられていることが好ましい。これによれば、液体流路を介してヘッド本体に接着剤の一部が進入することを防止することができ、吐出不良や目詰まりなどを防止することができる。さらに、度当部近傍のみならず溝部まで接着剤を塗布することが可能である。これにより、第1流路部材及び第2流路部材との接着、及び液体流路のシールをより確実なものとすることができる。   Here, at least one of the first flow path member or the second flow path member is provided with a groove at an opening edge of the first flow path or the second flow path, and the adhesive It is preferable that it is provided closer to the contact portion than the inner portion or the groove portion. According to this, it is possible to prevent a part of the adhesive from entering the head main body through the liquid flow path, and it is possible to prevent discharge failure and clogging. Furthermore, it is possible to apply the adhesive not only in the vicinity of the contact portion but also in the groove portion. Thereby, adhesion with the 1st channel member and the 2nd channel member, and a seal of a liquid channel can be made more reliable.

また、前記液体流路には、前記接着剤よりも前記ヘッド本体側に該液体流路を横断するフィルターが設けられていることが好ましい。これによれば、万が一、接着剤の一部が剥離し、液体とともに下流側に流通しても、フィルターで捕捉することができる。   The liquid channel is preferably provided with a filter that crosses the liquid channel closer to the head body than the adhesive. According to this, even if a part of the adhesive peels off and flows downstream with the liquid, it can be captured by the filter.

また、前記度当部は、環状に形成されていることが好ましい。これによれば、全ての液体流路に対してより確実にシールをすることができるとともに、接着剤が度当部よりも外側にはみ出すことを防止することができる。   Further, it is preferable that the contact portion is formed in an annular shape. According to this, it can seal more reliably with respect to all the liquid flow paths, and it can prevent that an adhesive protrudes outside an applicator part.

また、前記ヘッド本体は、液体が貯留されるマニホールド、該マニホールド内の圧力変化を吸収するコンプライアンス部、及び該コンプライアンス部に対向して設けられたコンプライアンス空間を有し、前記流路部材には、前記コンプライアンス空間に連通するとともに大気に連通した大気開放路が設けられ、前記大気開放路は、その一部が隣り合う液体流路の間に設けられた前記接着剤により画成されていることが好ましい。これによれば、コンプライアンス部がマニホールドの圧力変化に伴って良好に変形することができる。   The head main body has a manifold for storing liquid, a compliance portion for absorbing a pressure change in the manifold, and a compliance space provided to face the compliance portion. An atmosphere opening path that communicates with the compliance space and communicates with the atmosphere is provided, and the atmosphere opening path is defined by the adhesive provided in part between adjacent liquid channels. preferable. According to this, the compliance part can be favorably deformed with the pressure change of the manifold.

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体流路のシールを確実なものとするとともに小型化することができる液体噴射装置を実現できる。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can ensure the sealing of the liquid flow path and can be downsized.

本発明の実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a recording head according to an embodiment of the invention. 本発明の実施形態に係るヘッド本体の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the head main body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る流路部材の平面図である。It is a top view of a channel member concerning an embodiment of the present invention. 図3のA−A線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG. 3. 図3のB−B線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG. 3. 本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。1 is a schematic view of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating an ink jet recording head which is an example of a liquid ejecting head according to an embodiment of the invention.

図1に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド10は、液体としてインク滴を吐出可能なヘッド本体20と、ヘッド本体20にインクを供給する流路部材30と、ヘッド本体20と流路部材30との間に保持された配線基板40と、を具備する。   As shown in FIG. 1, the ink jet recording head 10 of the present embodiment includes a head main body 20 that can eject ink droplets as a liquid, a flow path member 30 that supplies ink to the head main body 20, And a wiring board 40 held between the road members 30.

流路部材30は、配線基板40を間に挟んだ状態でケース250に固定される。また、詳細は後述するが、流路部材30には、液体流路(図示せず)が設けられている。該液体流路は、針部35を介してインクカートリッジ(図示せず)のインクが導入され、該インクがケース250に設けられた流路を介してヘッド本体20に供給されるように構成されている。   The flow path member 30 is fixed to the case 250 with the wiring board 40 interposed therebetween. Although details will be described later, the flow path member 30 is provided with a liquid flow path (not shown). The liquid channel is configured such that ink of an ink cartridge (not shown) is introduced via the needle portion 35 and the ink is supplied to the head body 20 via the channel provided in the case 250. ing.

図2を参照して、ヘッド本体20について詳細に説明する。図2は、ヘッド本体の要部を示す断面図である。   The head body 20 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the main part of the head body.

図2に示すように、本実施形態のヘッド本体20は、複数のアクチュエーターユニット210と、アクチュエーターユニット210を内部に収容可能なケース250と、ケース250の一方面に接合された流路ユニット230と、を具備する。   As shown in FIG. 2, the head body 20 of the present embodiment includes a plurality of actuator units 210, a case 250 that can accommodate the actuator units 210 therein, and a flow path unit 230 that is joined to one surface of the case 250. Are provided.

本実施形態のアクチュエーターユニット210は、複数の圧電アクチュエーター211がその幅方向に並設された圧電アクチュエーター形成部材212と、圧電アクチュエーター形成部材212の先端部(一端部)側が自由端となるようにその基端部(他端部)側が固定端として接合される固定板213とを有する。   The actuator unit 210 of the present embodiment includes a piezoelectric actuator forming member 212 in which a plurality of piezoelectric actuators 211 are arranged in parallel in the width direction, and a distal end (one end) side of the piezoelectric actuator forming member 212 is a free end. A base plate (other end) side has a fixed plate 213 joined as a fixed end.

圧電アクチュエーター形成部材212は、圧電材料214と、圧電アクチュエーター211の2つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電アクチュエーター211と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極215と、隣接する圧電アクチュエーター211と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極216とを交互に挟んで積層することにより形成されている。   The piezoelectric actuator forming member 212 is adjacent to the piezoelectric material 214 and the internal electrodes constituting the two poles of the piezoelectric actuator 211, that is, the individual internal electrodes 215 constituting the individual electrodes electrically independent of the adjacent piezoelectric actuator 211. The piezoelectric actuator 211 and the common internal electrode 216 that constitutes a common electrode that is electrically common are alternately stacked and stacked.

この圧電アクチュエーター形成部材212には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット217が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーター211の列が形成されている。   In the piezoelectric actuator forming member 212, a plurality of slits 217 are formed by, for example, a wire saw or the like, and the front end side is cut into a comb-like shape to form a row of piezoelectric actuators 211.

圧電アクチュエーター211の固定板213に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター211を構成する個別内部電極215及び共通内部電極216間に電圧を印加すると、固定板213に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター211の先端面が、後述する振動板232の島部240に接着剤等を介して固定される。   The region joined to the fixed plate 213 of the piezoelectric actuator 211 is an inactive region that does not contribute to vibration. When a voltage is applied between the individual internal electrode 215 and the common internal electrode 216 constituting the piezoelectric actuator 211, the fixed plate Only the region on the tip side that is not joined to 213 vibrates. And the front end surface of the piezoelectric actuator 211 is fixed to the island part 240 of the diaphragm 232 mentioned later via an adhesive agent.

また、各圧電アクチュエーター211には、当該圧電アクチュエーター211を駆動するための駆動IC等の駆動回路220が搭載されたCOF等の回路基板221が接続されている。   Each piezoelectric actuator 211 is connected to a circuit board 221 such as a COF on which a drive circuit 220 such as a drive IC for driving the piezoelectric actuator 211 is mounted.

流路ユニット230は、流路形成基板231、振動板232及びノズルプレート233を具備する。   The flow path unit 230 includes a flow path forming substrate 231, a vibration plate 232, and a nozzle plate 233.

流路形成基板231は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁234によって画成された圧力発生室235がその幅方向(短手方向)に並設されている。   The flow path forming substrate 231 is made of a silicon single crystal substrate, and a pressure generation chamber 235 defined by a plurality of partition walls 234 is arranged in parallel in the width direction (short direction) on the surface layer portion on one surface side. ing.

また、各圧力発生室235の長手方向一端部側には、各圧力発生室235に液体の一例であるインクを供給するためのマニホールド236が液体供給路の一例であるインク供給路237を介して連通されている。また、流路形成基板231の圧力発生室235の開口面側は振動板232で封止され、他方面側にはノズル開口238が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート233が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。ノズルプレート233のノズル開口238と圧力発生室235とは、流路形成基板231を貫通して設けられたノズル開口連通孔239を介して連通している。   A manifold 236 for supplying ink, which is an example of liquid, to each pressure generation chamber 235 is disposed on one end side in the longitudinal direction of each pressure generation chamber 235 via an ink supply path 237, which is an example of a liquid supply path. It is communicated. In addition, the opening surface side of the pressure generation chamber 235 of the flow path forming substrate 231 is sealed with a vibration plate 232, and a nozzle plate 233, which is an example of a nozzle forming member having a nozzle opening 238 formed on the other surface side, is bonded. It is bonded via an agent or a heat welding film. The nozzle opening 238 of the nozzle plate 233 and the pressure generation chamber 235 communicate with each other through a nozzle opening communication hole 239 provided through the flow path forming substrate 231.

振動板232は、弾性膜232aと、支持板232bとの複合板で形成されており、弾性膜232a側が流路形成基板231に接合されている。弾性膜232aは、例えば樹脂フィルム等の弾性部材から形成されている。また、支持板232bは、例えば、ステンレス鋼板(SUS)から形成されている。   The vibration plate 232 is formed of a composite plate of an elastic film 232a and a support plate 232b, and the elastic film 232a side is joined to the flow path forming substrate 231. The elastic film 232a is formed of an elastic member such as a resin film. Further, the support plate 232b is formed of, for example, a stainless steel plate (SUS).

振動板232の各圧力発生室235に対向する領域内には、圧電アクチュエーター211の先端部が当接する島部240が設けられている。すなわち、振動板232の各圧力発生室235の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部241が形成され、この薄肉部241の内側にそれぞれ島部240が設けられている。このような島部240には、上述したアクチュエーターユニット210の圧電アクチュエーター211の先端部が例えば、接着剤等を介して固定される。   In a region facing each pressure generation chamber 235 of the vibration plate 232, an island portion 240 with which the tip of the piezoelectric actuator 211 comes into contact is provided. That is, a thin portion 241 having a thickness thinner than other regions is formed in a region of the diaphragm 232 facing the peripheral portion of each pressure generating chamber 235, and an island portion 240 is provided inside each thin portion 241. Yes. In such an island 240, the tip of the piezoelectric actuator 211 of the actuator unit 210 described above is fixed via an adhesive or the like, for example.

振動板232のマニホールド236に対向する領域には、薄肉部241と同様に、支持板232bがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜232aのみで構成されるコンプライアンス部242が設けられている。なお、このコンプライアンス部242は、マニホールド236内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部242の弾性膜232aが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド236内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。   In a region facing the manifold 236 of the vibration plate 232, similarly to the thin portion 241, a support portion 232b is removed by etching, and a compliance portion 242 configured substantially only by the elastic film 232a is provided. The compliance portion 242 absorbs the pressure change due to the deformation of the elastic film 232a of the compliance portion 242 when a pressure change occurs in the manifold 236, and always keeps the pressure in the manifold 236 constant. Fulfill.

なお、本実施形態では、振動板232を弾性膜232aと支持板232bとで構成し、島部240の周辺部及びコンプライアンス部242を弾性膜232aのみで構成したが、特にこれに限定されない。例えば、振動板として、1枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部を設けることで、島部240及びコンプライアンス部242を形成するようにしてもよい。   In the present embodiment, the diaphragm 232 is constituted by the elastic film 232a and the support plate 232b, and the peripheral part of the island part 240 and the compliance part 242 are constituted only by the elastic film 232a. However, the present invention is not limited to this. For example, the island portion 240 and the compliance portion 242 are formed by using a single plate-like member as the vibration plate and providing a concave thin-wall portion obtained by removing a part of the plate-like member in the thickness direction. It may be.

ケース250は、流路形成基板231の振動板232上に固定されたものであり、振動板232とは反対側に設けられた流路部材30に配線基板40を介して接続されて、図示しないインクカートリッジ等の液体貯留部からインクをマニホールド236に供給するインク導入路251が設けられている。インク導入路251は、後述する流路部材30に設けられた液体流路80に連通している。   The case 250 is fixed on the vibration plate 232 of the flow path forming substrate 231, and is connected to the flow path member 30 provided on the opposite side of the vibration plate 232 via the wiring substrate 40, and is not shown. An ink introduction path 251 for supplying ink from a liquid storage unit such as an ink cartridge to the manifold 236 is provided. The ink introduction path 251 communicates with a liquid flow path 80 provided in the flow path member 30 described later.

ケース250には、厚さ方向に貫通する複数の収容部252が設けられており、各収容部252にアクチュエーターユニット210が位置決めされて固定されている。本実施形態では、アクチュエーターユニット210を8個設け、アクチュエーターユニット210がそれぞれ独立して収容されるように8個の収容部252を設けるようにした。   The case 250 is provided with a plurality of storage portions 252 penetrating in the thickness direction, and the actuator unit 210 is positioned and fixed to each storage portion 252. In the present embodiment, eight actuator units 210 are provided, and eight accommodating portions 252 are provided so that the actuator units 210 are independently accommodated.

また、ケース250には、コンプライアンス部242に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間253が設けられている。このコンプライアンス空間253によってコンプライアンス部242は変形可能に保持される。さらに、ケース250には、コンプライアンス空間253に連通した大気連通路254が形成されている。詳細は後述するが、大気連通路254は流路部材30に設けられた大気開放路に連通している。   Further, the case 250 is provided with a compliance space 253 having a concave shape that opens in a region facing the compliance portion 242. The compliance portion 242 is held by the compliance space 253 so as to be deformable. Further, the case 250 is formed with an air communication path 254 communicating with the compliance space 253. As will be described in detail later, the atmosphere communication path 254 communicates with an atmosphere open path provided in the flow path member 30.

さらに、図1に示すように、ケース250の振動板232に接合された面とは反対側の面には、回路基板221の各配線が接続される導電パッドが設けられた配線基板40が固定されている。ケース250の収容部252は、この配線基板40によって実質的に塞がれている。配線基板40には、ケース250の収容部252に対抗する領域にスリット状の開口部41が形成されている。回路基板221はこの配線基板40の開口部41から収容部252の外側に引き出されて配線基板40のケース250とは反対側の面で配線基板40と電気的に接続されている。   Further, as shown in FIG. 1, the wiring board 40 provided with conductive pads to which each wiring of the circuit board 221 is connected is fixed to the surface of the case 250 opposite to the surface bonded to the diaphragm 232. Has been. The housing part 252 of the case 250 is substantially closed by the wiring board 40. In the wiring substrate 40, a slit-like opening 41 is formed in a region facing the housing portion 252 of the case 250. The circuit board 221 is drawn out of the housing part 252 from the opening 41 of the wiring board 40 and is electrically connected to the wiring board 40 on the surface of the wiring board 40 opposite to the case 250.

また、配線基板40には、流路部材30に設けられた突起部53(図4参照)が挿通される挿通部42が設けられており、挿通部42を挿通した流路部材30の流路とインク導入路251とが連通する。   In addition, the wiring board 40 is provided with an insertion portion 42 through which a protrusion 53 (see FIG. 4) provided in the flow path member 30 is inserted, and the flow path of the flow path member 30 inserted through the insertion portion 42. And the ink introduction path 251 communicate with each other.

このようなヘッド本体20では、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター211及び振動板232の変形によって各圧力発生室235の容積を変化させて所定のノズル開口238からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジから流路部材30に設けられた液体流路80(図4参照)、及びケース250に設けられたインク導入路251を介してマニホールド236にインクが供給される。このマニホールド236からインク供給路237を介して各圧力発生室235にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター211に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター211を収縮させる。これにより、振動板232が圧電アクチュエーター211と共に変形されて圧力発生室235の容積が広げられ、圧力発生室235内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口238に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板221を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター211の電極215、216に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター211が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板232も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室235の容積が収縮して圧力発生室235内の圧力が高まりノズル開口238からインク滴が吐出される。   In such a head main body 20, when ejecting ink droplets, the volume of each pressure generating chamber 235 is changed by deformation of the piezoelectric actuator 211 and the diaphragm 232 so that ink droplets are ejected from predetermined nozzle openings 238. It has become. Specifically, ink is supplied from an ink cartridge (not shown) to the manifold 236 via a liquid flow path 80 (see FIG. 4) provided in the flow path member 30 and an ink introduction path 251 provided in the case 250. . Ink is distributed from the manifold 236 to the pressure generation chambers 235 through the ink supply path 237. Actually, the piezoelectric actuator 211 is contracted by applying a voltage to the piezoelectric actuator 211. As a result, the diaphragm 232 is deformed together with the piezoelectric actuator 211 to expand the volume of the pressure generation chamber 235, and ink is drawn into the pressure generation chamber 235. Then, after the ink is filled up to the nozzle opening 238, the voltage applied to the electrodes 215 and 216 of the piezoelectric actuator 211 is released in accordance with a recording signal supplied via the circuit board 221. As a result, the piezoelectric actuator 211 is extended to return to the original state, and the diaphragm 232 is displaced to return to the original state. As a result, the volume of the pressure generation chamber 235 contracts, the pressure in the pressure generation chamber 235 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 238.

ここで、流路部材30について図3〜図6を参照して詳細に説明する。図3は、本発明の実施形態に係る流路部材を示す平面図であり、図4は、図3のA−A線断面図であり、図5は、図3のB−B線断面図である。なお、図3に関しては、流路部材30を構成する第2流路部材32の図示は省略している。   Here, the flow path member 30 will be described in detail with reference to FIGS. 3 is a plan view showing a flow path member according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. It is. 3, the illustration of the second flow path member 32 constituting the flow path member 30 is omitted.

図示するように流路部材30は、第1流路部材31、第2流路部材32が積層されて構成されたものであり、内部にインクが流れる液体流路80が設けられている。   As shown in the figure, the flow path member 30 is configured by laminating a first flow path member 31 and a second flow path member 32, and a liquid flow path 80 through which ink flows is provided.

具体的には、流路部材30は、ヘッド本体20側に設けられた第1流路部材31と、第1流路部材31のヘッド本体20とは反対側に設けられた第2流路部材32とを具備し、第1流路部材31及び第2流路部材32は積層されている。第1流路部材31及び第2流路部材32は、例えば樹脂材料から形成することができるが、特に材料は樹脂材料に限定されない。   Specifically, the flow path member 30 includes a first flow path member 31 provided on the head main body 20 side and a second flow path member provided on the opposite side of the first flow path member 31 from the head main body 20. 32, and the first flow path member 31 and the second flow path member 32 are laminated. The first flow path member 31 and the second flow path member 32 can be formed from, for example, a resin material, but the material is not particularly limited to the resin material.

第1流路部材31には、積層方向(厚さ方向)に貫通した第1流路50が設けられている。第1流路50は、厚さ方向に直線状に貫通した第1ストレート部51と、第1ストレート部51に連通した第1テーパー部52とから構成されている。第1テーパー部52は、第1流路部材31において第2流路部材32側に開口しており、その開口径は、第1ストレート部51に向かって漸減している。   The first flow path member 31 is provided with a first flow path 50 penetrating in the stacking direction (thickness direction). The first flow path 50 includes a first straight portion 51 that penetrates linearly in the thickness direction, and a first tapered portion 52 that communicates with the first straight portion 51. The first taper portion 52 opens toward the second flow path member 32 in the first flow path member 31, and the diameter of the opening gradually decreases toward the first straight section 51.

また、第1流路部材31のヘッド本体20側には、第1流路部材31の表面から突出した突起部53が形成されている。突起部53の頂面(ヘッド本体20側の面)には、第1ストレート部51が開口している。突起部53は、図1に示した配線基板の挿通部42に挿通され、第1ストレート部51とインク導入路251とが連通するようになっている。   Further, a protrusion 53 protruding from the surface of the first flow path member 31 is formed on the head body 20 side of the first flow path member 31. A first straight portion 51 is opened on the top surface of the protrusion 53 (the surface on the head body 20 side). The protrusion 53 is inserted into the insertion portion 42 of the wiring board shown in FIG. 1 so that the first straight portion 51 and the ink introduction path 251 communicate with each other.

第2流路部材32には、積層方向(厚さ方向)に貫通した第2流路60が設けられている。第2流路60は、厚さ方向に直線状に貫通した第2ストレート部61と、第2ストレート部61に連通した第2テーパー部62とから構成されている。第2テーパー部62は、第2流路部材32において第1流路部材31側に開口しており、その開口径は、第2ストレート部61に向かって漸減している。   The second flow path member 32 is provided with a second flow path 60 penetrating in the stacking direction (thickness direction). The second flow path 60 includes a second straight portion 61 that penetrates linearly in the thickness direction, and a second tapered portion 62 that communicates with the second straight portion 61. The second taper portion 62 opens toward the first flow path member 31 in the second flow path member 32, and the diameter of the opening gradually decreases toward the second straight section 61.

また、第2流路部材32のヘッド本体20とは反対側には、針部35が設けられている。針部35は、第2流路部材32に一体的に形成されており、その内部は中空状に形成され、第2ストレート部61に連通している。針部35は、インクカートリッジ(図示せず)が装着される部位であり、針部35に設けられた開口部(図示せず)を介して、インクカートリッジ内のインクが針部35の内部に導入されるように構成されている。   A needle portion 35 is provided on the opposite side of the second flow path member 32 from the head body 20. The needle portion 35 is formed integrally with the second flow path member 32, and the inside thereof is formed in a hollow shape and communicates with the second straight portion 61. The needle portion 35 is a portion to which an ink cartridge (not shown) is attached, and ink in the ink cartridge is brought into the inside of the needle portion 35 through an opening portion (not shown) provided in the needle portion 35. It is configured to be introduced.

第1流路部材31の第2流路部材32側の表面には、第2流路部材32に向けて突出した度当部54が設けられている。度当部54は、その頂面が第2流路部材32に当接するように形成されている。本実施形態では、度当部54は、図3に示すように、全ての第1テーパー部52の周りを囲むように一体的に形成されている。   On the surface of the first flow path member 31 on the second flow path member 32 side, a contact portion 54 that protrudes toward the second flow path member 32 is provided. The degree contact portion 54 is formed such that its top surface comes into contact with the second flow path member 32. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the stitching portion 54 is integrally formed so as to surround all the first tapered portions 52.

第1流路部材31と第2流路部材32とは、度当部54で当接するとともに、第1流路50の第1テーパー部52と、第2流路60の第2テーパー部62とが互いに対向するように配置されている。   The first flow path member 31 and the second flow path member 32 are in contact with each other at the contact portion 54, and the first taper part 52 of the first flow path 50 and the second taper part 62 of the second flow path 60 Are arranged so as to face each other.

そして、第1流路50の開口縁部55(第1テーパー部52の開口縁部55)と、第2流路60の開口縁部65(第2テーパー部62の開口縁部65)とは、接着剤70で接着されている。   The opening edge 55 of the first flow path 50 (opening edge 55 of the first tapered section 52) and the opening edge 65 of the second flow path 60 (opening edge 65 of the second tapered section 62) are as follows. Are bonded with an adhesive 70.

接着剤70は、度当部54よりも内側、すなわち、度当部54よりも第1流路50及び第2流路60側において、第1流路50及び第2流路60の開口縁部55、開口縁部65に環状に形成されている。   The adhesive 70 is located on the inner side of the contact portion 54, that is, on the first flow channel 50 and the second flow channel 60 side of the contact portion 54, and the opening edges of the first flow channel 50 and the second flow channel 60. 55, the opening edge 65 is formed in an annular shape.

このように、度当部54及びこの度当部54よりも内側に接着剤70を環状に設けることで、第1流路50と第2流路60とは、インクが外部に漏れないように連通され、一つの液体流路80が形成される。すなわち、度当部54及び接着剤70は、液体流路80内のインクが第1流路部材31と第2流路部材32との接合面の隙間から漏れ出すことを防止するシールとして機能している。   In this way, the first flow path 50 and the second flow path 60 communicate with each other so that the ink does not leak to the outside by providing the circular contact portion 54 and the adhesive 70 inside the contact portion 54. As a result, one liquid flow path 80 is formed. That is, the contact portion 54 and the adhesive 70 function as a seal that prevents the ink in the liquid flow path 80 from leaking from the gap between the joint surfaces of the first flow path member 31 and the second flow path member 32. ing.

このように形成された液体流路80には、針部35を介してインクカートリッジからインクが導入される。そして、該インクは、後述するフィルター90を通過した後、ケース250のインク導入路251に供給される。   Ink is introduced from the ink cartridge into the liquid flow path 80 thus formed via the needle portion 35. The ink passes through a filter 90 described later, and is then supplied to the ink introduction path 251 of the case 250.

本実施形態では、第1流路50は、第1流路部材31に8つ形成され、第2流路60は、第2流路部材32に8つ形成されている。これらの第1流路50及び第2流路60がそれぞれ対向して配置され、環状の接着剤70及び度当部54によりシールされ、合計8つの液体流路80が流路部材30に形成されている。   In the present embodiment, eight first flow paths 50 are formed in the first flow path member 31, and eight second flow paths 60 are formed in the second flow path member 32. The first flow path 50 and the second flow path 60 are arranged to face each other and sealed by the annular adhesive 70 and the contact portion 54, and a total of eight liquid flow paths 80 are formed in the flow path member 30. ing.

図5に示すように、各液体流路80は一方向に並設されている。液体流路80ごとに形成された環状の接着剤70は、隣り合う他の接着剤70と連続している。すなわち、隣り合う2つの液体流路80の間においては、度当部54は設けられず、接着剤70が設けられている。上述したように、接着剤70は、第1流路50と第2流路60とが連通した液体流路80のシールとして機能させるために設けられている。したがって、隣り合う2つの液体流路80の間に位置する接着剤70は、双方の液体流路80のシールとして共用されている。   As shown in FIG. 5, the liquid flow paths 80 are arranged in parallel in one direction. The annular adhesive 70 formed for each liquid channel 80 is continuous with other adjacent adhesives 70. That is, the contact portion 54 is not provided between the two adjacent liquid flow paths 80, and the adhesive 70 is provided. As described above, the adhesive 70 is provided to function as a seal for the liquid flow path 80 in which the first flow path 50 and the second flow path 60 communicate with each other. Therefore, the adhesive 70 positioned between two adjacent liquid channels 80 is shared as a seal for both the liquid channels 80.

このように、上述した実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド10では、各液体流路80は、接着剤70及び度当部54によりシールされるとともに、隣り合う液体流路80間においては、それらの液体流路80に共通した接着剤70によりシールされている。このような構成によれば、液体流路80の間に度当部54を設ける必要がないので、液体流路80同士がより近接して配置された流路部材30を得ることができる。これにより、流路部材30の平面方向(第1流路部材31及び第2流路部材32の積層方向とは直交する方向)における大きさが小型化したインクジェット式記録ヘッド10が提供される。   As described above, in the ink jet recording head 10 according to the above-described embodiment, each liquid flow path 80 is sealed by the adhesive 70 and the contact portion 54, and between the adjacent liquid flow paths 80, those liquid flow paths 80 are sealed. Sealed with an adhesive 70 common to the liquid flow path 80. According to such a configuration, it is not necessary to provide the contact portion 54 between the liquid flow paths 80, so that the flow path member 30 in which the liquid flow paths 80 are arranged closer to each other can be obtained. Thereby, the ink jet recording head 10 in which the size in the planar direction of the flow path member 30 (direction orthogonal to the stacking direction of the first flow path member 31 and the second flow path member 32) is reduced is provided.

なお、従来技術においては、液体流路の外側に度当部、その度当部の外側に接着剤を設けて該液体流路のシールをしていた。このような構成によれば、隣り合う液体流路間には、接着剤のみならず度当部も存在することになり、その度当部の分だけ平面方向にスペースを取らなければならない。   In the prior art, the liquid flow path is sealed by providing a contact portion on the outside of the liquid flow path and an adhesive agent on the outside of the contact section each time. According to such a configuration, not only the adhesive but also the contact portion exists between the adjacent liquid flow paths, and a space must be provided in the plane direction by the amount of the contact portion each time.

さらに、本発明においては、隣り合う液体流路80間においては、接着剤70を共用させたので、その分接着剤70の使用量を低減することができ、コスト削減を図ることができる。   Furthermore, in the present invention, since the adhesive 70 is shared between the adjacent liquid flow paths 80, the amount of the adhesive 70 used can be reduced correspondingly, and the cost can be reduced.

ここで、第1流路部材31の開口縁部55には、溝部56が設けられている。溝部56の形状に特に限定はないが、例えば、開口縁部55を囲うような環状の形状であってもよい。また、接着剤70は、この溝部56内部及び該溝部56よりも度当部54側に設けられている。   Here, a groove 56 is provided in the opening edge 55 of the first flow path member 31. The shape of the groove portion 56 is not particularly limited, but may be, for example, an annular shape that surrounds the opening edge portion 55. Further, the adhesive 70 is provided inside the groove portion 56 and closer to the contact portion 54 than the groove portion 56.

これにより、溝部56よりも度当部54側に塗布した接着剤70が硬化する前に液体流路80側にあふれ出したとしても、接着剤70を溝部56内に留めることができる。これにより、液体流路80を介してヘッド本体20に接着剤70の一部が進入することを防止することができ、吐出不良や目詰まりなどを防止することができる。   Thereby, even if the adhesive 70 applied to the contact portion 54 side with respect to the groove portion 56 overflows to the liquid channel 80 side before curing, the adhesive 70 can be retained in the groove portion 56. Thereby, it is possible to prevent a part of the adhesive 70 from entering the head main body 20 through the liquid flow path 80, and it is possible to prevent discharge failure and clogging.

さらに換言すれば、度当部54近傍のみならず溝部56まで接着剤70を塗布することが可能である。すなわち、第1流路部材31と第2流路部材32とを接着する面積を増大させることができる。これにより、第1流路部材31及び第2流路部材32との接着、及び液体流路80のシールをより確実なものとすることができる。   In other words, it is possible to apply the adhesive 70 not only in the vicinity of the fitting portion 54 but also in the groove portion 56. That is, the area where the first flow path member 31 and the second flow path member 32 are bonded can be increased. Thereby, the adhesion between the first flow path member 31 and the second flow path member 32 and the sealing of the liquid flow path 80 can be made more reliable.

また、液体流路80には、液体流路80を横断するフィルター90が配設されている。詳言すると、主として第1テーパー部52及び第2テーパー部62とから画成される空間であるフィルター室91にフィルター90が配置されている。フィルター90の大きさは、第1流路50の第1テーパー部52の開口よりも大きく、フィルター90は、該開口を覆うように第1流路部材31に載置されている。また、フィルター90は、第1流路部材31に熱溶着や接着剤などで接合されている。   Further, the liquid channel 80 is provided with a filter 90 that crosses the liquid channel 80. More specifically, the filter 90 is disposed in the filter chamber 91 which is a space mainly defined by the first tapered portion 52 and the second tapered portion 62. The size of the filter 90 is larger than the opening of the first tapered portion 52 of the first flow path 50, and the filter 90 is placed on the first flow path member 31 so as to cover the opening. The filter 90 is joined to the first flow path member 31 by heat welding or an adhesive.

フィルター90は、インクに含まれる異物や気泡などを除去するものである。フィルター90は特に限定されないが、例えば、線状の金属を綾畳みにしたものや、SUSからなる平板状部材に多数の孔を設けたものや、不織布などを挙げることができる。   The filter 90 removes foreign matters and bubbles contained in the ink. The filter 90 is not particularly limited, and examples thereof include a linear metal twill, a flat plate member made of SUS provided with a large number of holes, and a non-woven fabric.

本実施形態では、フィルター90は、接着剤70よりもヘッド本体20側に設けられている。すなわち、液体流路80において接着剤70よりも下流側にフィルター90が配置されている。これにより、万が一、接着剤70の一部が剥離し、インクとともに下流側に流通しても、フィルター90で捕捉することができる。すなわち、これにより、液体流路80を介してヘッド本体20に接着剤70の一部が進入することをより確実に防止することができ、吐出不良や目詰まりなどをより確実に防止することができる。   In the present embodiment, the filter 90 is provided closer to the head body 20 than the adhesive 70. That is, the filter 90 is disposed downstream of the adhesive 70 in the liquid channel 80. As a result, even if a part of the adhesive 70 is peeled off and flows downstream along with the ink, it can be captured by the filter 90. That is, this can more reliably prevent a part of the adhesive 70 from entering the head main body 20 via the liquid flow path 80, and can more reliably prevent ejection failure and clogging. it can.

さらに、上述したように度当部54は、全ての液体流路80について外側を囲むように形成した。これにより、全ての液体流路80に対してより確実にシールをすることができるとともに、接着剤70が度当部54よりも外側にはみ出すことを防止することができる。   Further, as described above, the contact portion 54 is formed so as to surround the outside of all the liquid flow paths 80. As a result, all the liquid channels 80 can be more reliably sealed, and the adhesive 70 can be prevented from protruding beyond the contact portion 54.

また、図5に示すように、流路部材30には、大気開放路58が設けられている。大気開放路58は、その一部が接着剤70により画成されている。具体的には、第1流路部材31には厚さ方向に貫通した第1開放路57が設けられ、第2流路部材32には厚さ方向に貫通した第2開放路67が設けられている。これらの第1開放路57及び第2開放路67とは対向するように配置され、第1開放路57及び第2開放路67の開口縁部を接着剤70が接着している。すなわち、接着剤70には、第1開放路57及び第2開放路67に対向する領域に空間71が形成されている。このような第1開放路57、第2開放路及び空間71から大気開放路58が形成されている。   As shown in FIG. 5, the flow path member 30 is provided with an air release path 58. A part of the atmosphere opening path 58 is defined by an adhesive 70. Specifically, the first flow path member 31 is provided with a first open path 57 penetrating in the thickness direction, and the second flow path member 32 is provided with a second open path 67 penetrating in the thickness direction. ing. The first open path 57 and the second open path 67 are disposed so as to face each other, and the adhesive 70 is bonded to the opening edges of the first open path 57 and the second open path 67. That is, a space 71 is formed in the adhesive 70 in a region facing the first open path 57 and the second open path 67. An air release path 58 is formed from the first open path 57, the second open path, and the space 71.

大気開放路58のヘッド本体20側の開口(図5の下側の開口)は、図2に示した大気連通路254を介してコンプライアンス空間253に連通している。また、大気開放路58の針部35側の開口(図5の上側の開口)は、大気に連通している。このような大気開放路58を構成することで、コンプライアンス空間253を大気開放することができる。これによりコンプライアンス部242がマニホールド236の圧力変化に伴って良好に変形することができる。また、大気開放路58は、接着剤70によりシールされて構成されているので、コンプライアンス空間253からの空気(流体)が第1流路部材31及び第2流路部材32との接合面から漏れ出すことを防止することができる。   The opening on the head main body 20 side of the atmosphere opening path 58 (the opening on the lower side in FIG. 5) communicates with the compliance space 253 via the atmosphere communication path 254 shown in FIG. Further, the opening on the side of the needle portion 35 of the atmosphere opening path 58 (the opening on the upper side in FIG. 5) communicates with the atmosphere. By configuring such an air release path 58, the compliance space 253 can be opened to the atmosphere. Thereby, the compliance part 242 can be favorably deformed with the pressure change of the manifold 236. Further, since the atmosphere opening path 58 is configured to be sealed by the adhesive 70, air (fluid) from the compliance space 253 leaks from the joint surface between the first flow path member 31 and the second flow path member 32. Can be prevented.

なお、上述した実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド10では、8つある液体流路80の全てについて、隣り合う液体流路80の間にある接着剤70を共用したが、このような態様に限定されない。すなわち、少なくとも2つの隣り合う液体流路80の間において、接着剤70を連続させた態様であってもよい。   In the ink jet recording head 10 according to the above-described embodiment, the adhesive 70 between the adjacent liquid channels 80 is shared for all of the eight liquid channels 80, but is limited to such an aspect. Not. In other words, the adhesive 70 may be continuous between at least two adjacent liquid channels 80.

また、度当部54は、第1流路部材31に設けたが、このような態様に限定されない。例えば、度当部54を第2流路部材32側に設けてもよいし、第1流路部材31及び第2流路部材32の双方に設けてもよい。さらに、度当部54は、接着剤70の外側において、その周囲を囲うように円環状に設けたが、このような態様に限定されない。例えば、度当部54は、円環状ではなく、非連続であってもよい。この場合においても、少なくとも接着剤70が液体流路80のシールとして機能するので、液体流路80から液体が漏れ出す虞はない。   Moreover, although the allowance part 54 was provided in the 1st flow path member 31, it is not limited to such an aspect. For example, the contact portion 54 may be provided on the second flow path member 32 side, or may be provided on both the first flow path member 31 and the second flow path member 32. Furthermore, the contact portion 54 is provided in an annular shape on the outside of the adhesive 70 so as to surround the periphery thereof, but is not limited to such a mode. For example, the stitching portion 54 may be discontinuous instead of an annular shape. Even in this case, since at least the adhesive 70 functions as a seal for the liquid channel 80, there is no possibility that the liquid leaks from the liquid channel 80.

液体流路80も上述した形態に限定されない。例えば、第1流路50及び第2流路60を何れもストレート状に形成し、これらを連通させて液体流路80としてもよい。この場合、接着剤70は、それらの第1流路50及び第2流路60の開口縁部に環状に設ければよい。   The liquid flow path 80 is not limited to the above-described form. For example, the first flow path 50 and the second flow path 60 may both be formed in a straight shape and communicated to form the liquid flow path 80. In this case, the adhesive 70 may be provided in an annular shape at the opening edges of the first flow path 50 and the second flow path 60.

さらに、圧力発生室235に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料214と電極215、216とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター211を用いて説明したが、圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを添付する等の方法により形成される圧膜型などの撓み振動型の圧電アクチュエーターを用いることができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。   Further, as the pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber 235, the longitudinal vibration type piezoelectric actuator 211 that alternately laminates the piezoelectric material 214 and the electrodes 215 and 216 and expands and contracts in the axial direction has been described. The pressure generating means is not particularly limited to this, for example, a thin film type in which electrodes and a piezoelectric material are formed by film formation and lithography and a pressure film type formed by a method such as attaching a green sheet. A flexural vibration type piezoelectric actuator can be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, a so-called electrostatic actuator that discharges liquid droplets from the nozzle openings by deforming the diaphragm by electrostatic force can be used.

また、インクジェット式記録ヘッド10は、インクジェット式記録装置に搭載される。図6は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。   The ink jet recording head 10 is mounted on an ink jet recording apparatus. FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus.

図6に示すインクジェット式記録装置Iは、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動可能に設けられたキャリッジ3を有している。キャリッジ3には、インクジェット式記録ヘッド10が取り付けられ、該インクジェット式記録ヘッド10には、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を貯留するカートリッジ2が着脱可能に設けられている。   An ink jet recording apparatus I shown in FIG. 6 has a carriage 3 provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. An ink jet recording head 10 is attached to the carriage 3, and the ink jet recording head 10 is detachably provided with a cartridge 2 for storing a black ink composition and a color ink composition, for example.

そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド10を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 through a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the ink jet recording head 10 is mounted is moved along the carriage shaft 5. . On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S that is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

また、上述したインクジェット式記録装置Iでは、インクジェット式記録ヘッド10がキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド10が固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。   In the ink jet recording apparatus I described above, the ink jet recording head 10 is mounted on the carriage 3 and moved in the main scanning direction. However, the present invention is not particularly limited thereto. The present invention can also be applied to a so-called line type recording apparatus in which printing is performed simply by moving a recording sheet S such as paper in the sub-scanning direction.

さらに、上述した例では、ヘッド本体20及びこれに固定された流路部材30を具備するインクジェット式記録ヘッド10について説明したが、ヘッド本体20とは別に流路部材30が設けられたインクジェット式記録装置にも本発明は適用することができる。具体的には、インクが貯留された貯留手段が、キャリッジ3に搭載されずに、装置本体4に固定され、貯留手段を設置する場所に流路部材30が設けられ、当該流路部材30とキャリッジ3に搭載されたヘッド本体20とをチューブ状の供給管で接続する構成のインクジェット式記録装置であってもよい。   Furthermore, in the above-described example, the ink jet recording head 10 including the head main body 20 and the flow path member 30 fixed to the head main body 20 has been described. However, the ink jet recording in which the flow path member 30 is provided separately from the head main body 20. The present invention can also be applied to an apparatus. Specifically, the storage means in which ink is stored is not mounted on the carriage 3 but is fixed to the apparatus body 4, and a flow path member 30 is provided at a place where the storage means is installed. An ink jet recording apparatus having a configuration in which the head body 20 mounted on the carriage 3 is connected by a tube-like supply pipe may be used.

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。   In the above embodiment, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head, and an ink jet recording apparatus has been described as an example of a liquid ejecting apparatus. The present invention is intended for the entire apparatus, and can of course be applied to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bio-organic matter ejection head used for biochip production, and the like, and can also be applied to a liquid ejection apparatus provided with such a liquid ejection head.

また、本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に搭載される流路部材に限定されず、その他のデバイスに搭載される流路部材についても適用可能である。   The present invention is not limited to the flow path member mounted on the liquid ejecting head and the liquid ejecting apparatus, and can be applied to the flow path member mounted on other devices.

I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 10 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 20 ヘッド本体、 30 流路部材、 31 第1流路部材、 32 第2流路部材、 50 第1流路、 54 度当部、 55、65 開口縁部、 56 溝部、 58 大気開放路、 60 第2流路、 70 接着剤、 80 液体流路、 90 フィルター、 235 圧力発生室、 236 マニホールド、 238 ノズル開口、 242 コンプライアンス部、 253 コンプライアンス空間、 254 大気連通路   I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 10 ink jet recording head (liquid ejecting head), 20 head body, 30 flow path member, 31 first flow path member, 32 second flow path member, 50 first flow path , 54 degree contact part, 55, 65 opening edge part, 56 groove part, 58 atmosphere release path, 60 second flow path, 70 adhesive, 80 liquid flow path, 90 filter, 235 pressure generating chamber, 236 manifold, 238 nozzle opening , 242 Compliance Department, 253 Compliance Space, 254 Air Communication Path

Claims (6)

複数の第1流路が設けられた第1流路部材と複数の第2流路が設けられた第2流路部材とが接着剤で接合され、各第1流路と各第2流路とが連通した複数の液体流路を有する流路部材と、
前記液体流路から供給された液体を吐出するヘッド本体とを備え、
前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、他方側に突出して当接する度当部が設けられ、
前記接着剤は、複数の前記液体流路のそれぞれに環状に設けられ、
隣り合う前記液体流路のそれぞれに設けられた前記接着剤は、互いに連続し、
前記度当部は、環状の前記接着剤の外側に設けられ、かつ、隣り合う前記液体流路の間において設けられていない
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A first flow path member provided with a plurality of first flow paths and a second flow path member provided with a plurality of second flow paths are joined with an adhesive, and each first flow path and each second flow path. A flow path member having a plurality of liquid flow paths communicating with each other;
A head main body for discharging the liquid supplied from the liquid flow path,
At least one of the first flow path member or the second flow path member is provided with a contact portion that protrudes and contacts the other side,
The adhesive is provided annularly in each of the plurality of liquid flow paths,
The adhesive provided in each of the adjacent liquid flow paths is continuous with each other,
The liquid ejecting head, wherein the contact portion is provided outside the annular adhesive and is not provided between the adjacent liquid flow paths .
請求項1に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第1流路部材又は前記第2流路部材の少なくとも一方には、前記第1流路又は前記第2流路の開口縁部に溝部が設けられ、
前記接着剤は、前記溝部内又は前記溝部よりも前記度当部側に設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 1,
At least one of the first flow path member or the second flow path member is provided with a groove at an opening edge of the first flow path or the second flow path.
The liquid ejecting head, wherein the adhesive is provided in the groove portion or closer to the contact portion than the groove portion.
請求項1又は請求項2に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体流路には、前記接着剤よりも前記ヘッド本体側に該液体流路を横断するフィルターが設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 1 or 2,
The liquid jet head is characterized in that the liquid channel is provided with a filter that crosses the liquid channel closer to the head body than the adhesive.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記度当部は、環状に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 3,
The contact portion is formed in an annular shape.
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ヘッド本体は、液体が貯留されるマニホールド、該マニホールド内の圧力変化を吸収するコンプライアンス部、及び該コンプライアンス部に対向して設けられたコンプライアンス空間を有し、
前記流路部材には、前記コンプライアンス空間に連通するとともに大気に連通した大気開放路が設けられ、
前記大気開放路は、その一部が隣り合う液体流路の間に設けられた前記接着剤により画成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 4,
The head main body has a manifold that stores liquid, a compliance portion that absorbs a pressure change in the manifold, and a compliance space that is provided to face the compliance portion.
The flow path member is provided with an atmosphere open path communicating with the compliance space and communicating with the atmosphere.
A part of the air release path is defined by the adhesive provided between adjacent liquid flow paths.
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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