JP6261444B2 - チップ回収装置 - Google Patents

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Description

本発明は、チップ回収装置に関するものである。
従来、ガラス基板を、該ガラス基板上に貼り付けられた生体組織の切片と一緒に小さなチップに分割し、一部のチップを回収することによって、切片内の特定の細胞を含む断片を採取する技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。特許文献1では、ダイシングシートのような粘着性および伸展性を有するシート上でガラス基板を賽の目に切断し、シートを伸展することによって隣接するチップ同士を離間させ、チップのシートとの接着面を針で突いてシートから剥離および落下させることによって、シートからチップを1つずつ回収している。シートから落下したチップは、シートの下方に予め配置された容器内に回収される。
一方、透明な物体の観察において、透明な物体の観察面に対して斜め方向から光を照射する斜方照明が使用されている(例えば、特許文献2〜5参照。)。
国際公開第2011/149009号 特開平7−280530号公報 特開2010−281772号公報 特開2007−286048号公報 特許第2867247号公報
特許文献1の個々のチップは、透明であり、かつ、微小であるため、容器内のチップを肉眼で確認することが難しい。したがって、シート上のチップ配列を観察し、採取したチップがシート上に存在しないことを確認することで、チップが容器内に回収されたことを確認している。しかしながら、単に特許文献2から5のような照明方法を使用しただけでは、特定のチップの跡を一目で見つけることが難しいという問題がある。さらに、チップがシートから剥がれずにシート上に残っている場合に、この回収し損なったチップを見つけることが難しいために見逃してしまう可能性があるという問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができるチップ回収装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、透光性を有し隙間を空けて規則的に2次元配列した複数の矩形のチップからなるチップ配列から特定のチップを回収するチップ回収装置であって、前記チップ配列をその一方の面上に支持するシートを所定の平面上に保持する保持部と、該保持部に保持された前記所定の平面上の前記シートに対して斜めに照明光を照射する照明部と、前記保持部に保持された前記シート上の前記チップ配列を観察する観察部とを備え、前記照明部は、前記チップの少なくとも隣接する2辺の側面へ前記照明光が照射される照射方向から、かつ、前記2辺の側面から前記チップ内へ前記照明光が入射して他の2辺の側面から出射する照射角度で、前記照明光を照射するチップ回収装置を提供する。
本発明によれば、チップ配列内から所望のチップを回収した後に、続いて、照明部から照明光が照射されたチップ配列を観察部によって観察する。シート上のチップ配列に対して斜めに照射された照明光は、隣接する2辺の側面から個々のチップ内に入射し、チップの両端面で反射しながらチップ内を進み、他の隣接する2辺の側面から出射することにより、他の隣接する2辺の側面が明るく光る。したがって、観察部によって観察される画像において、個々のチップの隣接する2辺に対応する2本1組の明るい直線(以下、「発光ライン」ともいう。)の規則的な配列が観察される。
ここで、所望のチップがシートから回収されている場合には、回収されたチップが貼り付いていた位置にだけ発光ラインが存在しないので、ユーザは、回収したチップの跡を容易に見つけることができる。回収し損なって未だチップがシート上に残っている場合には、配置や角度等が周囲と異なる発光ラインが1組だけ存在し、かつ、回収し損なったチップがどのような角度でシート上に残っていたとしても、隣接する2辺のうち少なくとも一方には明瞭な発光ラインが発生する。したがって、ユーザは、シート上の回収し損なったチップに容易に気付くことができる。このように、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができる。
上記発明においては、前記チップ配列が、互いに直交する2軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、前記照明部が、前記2軸方向に対して45°方向から単一の前記照明光を照射してもよい。
このようにすることで、単一の照明光を使用して2本1組の発光ラインを発生させることができる。
また、上記発明においては、前記チップ配列が、互いに直交する2軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、前記照明部が、前記2軸方向から2つの前記照明光を照射してもよい。
このようにすることで、隣接する2辺の側面に対して別々の照明光が照射されるので、2本1組の発光ラインの各々の明るさを互いに独立に調整することができる。
また、上記発明においては、前記照明部が、前記照明光として単色光を照射してもよい。
このようにすることで、発光ラインの視認性を向上することができる。
また、上記発明においては、前記照明部が、LEDを備えていてもよい。
このようにすることで、LEDの光は、チップや観察部等に対して熱の影響をほとんど与えない。したがって、チップに対して近い位置から照明光を照射することができる。
本発明によれば、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態に係るチップ回収装置の全体構成図である。 図1の細胞分取装置に使用される、チップ配列が形成されたシートを示す平面図である。 シートのステージへの載置方法を説明する図である。 チップに対する照明光の(a)照射方向および(b)照射角度を説明する図である。 図1のチップ回収装置の変形例の全体構成図である。 図1のチップ回収装置によって取得された、照明光が(a)照射されていないときと(b)照射されているときの、チップ配列の画像である。 図1のチップ回収装置によって取得された、照明光が(a)照射されていないときと(b)照射されているときの、チップ配列のもう1つの画像である。 図1のチップ回収装置によって取得された、照明光が(a)照射されていないときと(b)照射されているときの、チップ配列のもう1つの画像である。 図1のチップ回収装置によって取得された、照明光が(a)照射されていないときと(b)照射されているときの、チップ配列のもう1つの画像である。
以下に、本発明の一実施形態に係るチップ回収装置1について図面を参照して説明する。
本実施形態に係るチップ回収装置1は、生体組織の切片Aから、所望の細胞を含む断片A’を回収する細胞分取装置であって、図1に示されるように、シート2を略水平に保持するステージ(保持部)3と、該ステージ3の上方に配置された打ち抜き部4および照明部5と、ステージ3の下方に配置された観察部6とを備えている。
図2は、シート2と、該シート2上に形成されたチップ配列7とを示している。
シート2は、粘着剤が塗布された粘着面を有し、該粘着面上にチップ配列7が形成されている。チップ配列7は、多数の微小な略正方形のチップ8からなり、チップ8は、その辺に平行な行方向および列方向に、互いに隙間を空けて2次元的に規則的に整列している。各チップ8は、互いに対向するおもて面8aおよび裏面8bを有し、裏面8bにおいてシート2の粘着面に粘着している。各チップ8の辺寸法は、例えば、0.5mm程度である。各チップ8は、無色または有色の透明な材料、例えばガラスや樹脂からなり、後述する照明光L1を透過させる透光性を有している。また、シート2も、照明光L1を透過させる透光性を有している。
各チップ8のおもて面8aには、切片Aの一部A’が貼り付けられている。このようなチップ配列7は、一例として、次のような方法で作成される。まず、カバーガラスのような1枚の基板を伸展性を有するシート2の粘着面上に貼り、基板をシート2上で格子状に切断して基板に切れ目を形成する。次に、この基板上に切片Aを貼り付け、シート2を表面方向に伸展させる。これにより、基板が切れ目に沿って複数のチップ8に分割され、このときに基板上の切片Aも基板の切れ目に沿って複数の断片A’に分割される。この後、チップ8間の隙間を維持するために、シート2はグリップリング12によって伸展状態に保持される。グリップリング12は、外リング12aと、該外リング12aの内周面に嵌合する内リング12bとを有し、外リング12aの内周面と内リング12bの外周面との間にシート2を挟んで把持することによって、シート2が伸展状態に固定されるようになっている。
ステージ3は、略水平に配置される矩形の載置面(所定の平面)3aを上側に有している。載置面3aの略中央部分には、鉛直方向に貫通する窓3bが形成されている。シート2は、図3に示されるように、窓3bにチップ配列7が位置するように、また、チップ配列7が形成されている粘着面が下側を向くように、載置面3a上に載置される。これにより、ステージ3の下側から観察部6によってチップ配列7を観察することができる。
打ち抜き部4は、針41と、針先41aを下側に向けて針41を保持するとともに、水平方向および鉛直方向に移動可能なホルダ42とを備えている。ホルダ42の水平方向の移動によって、載置面3a上のチップ8に対して針先41aを水平方向に位置合わせできるようになっている。また、ホルダ42の鉛直方向の下降によって、チップ8の裏面8bを針先41aで突き、当該チップ8をシート2から剥離および落下させることができるようになっている。
照明部5は、照明光L1を発する光源(図示略)を備え、載置面3aの窓3bへ向かって斜め上方から照明光L1を出射する。光源は、キセノンランプ、水銀ランプ、白熱灯、蛍光灯、LEDまたはレーザである。これらのうち、LEDの光は照射対象物を発熱させ難く、また、LEDの寸法および照明範囲が好適であるため、LEDが特に好ましい。照明光L1は、窓3bに位置するシート2およびチップ配列7に直接照射されてもよく、ファイバ、プリズム、ミラー、絞り、レンズ等の光学素子からなる任意の照明光学系(図示略)を介して照射されてもよい。照明光学系は、光源の発熱や寸法等の設計条件に応じて構成される。
照明光L1の色は、白色であってもよいが、単色であることがより好ましい。後述するように観察部6によるチップ配列7の観察には白色光L2が用いられるので、照明光L1が単色光である方が、観察部6によって取得される画像において照明光L1を視認し易くなり、発光ラインB(後述)の視認性を向上することができる。また、切片Aが色素によって染色されている場合には、照明光L1の視認性を確保するために、照明光L1の色は、切片Aの染色の色とは異なることが好ましい。例えば、切片AがHE染色されている場合には、照明光L1の色は、赤、青または緑が好ましい。
ここで、照明部5による、照明光L1のチップ配列7への照射方法について、図4(a),(b)を用いて詳細に説明する。図4(a)は、照明光L1の照射方向を説明するためのチップ8の正面図であり、図4(b)は、照明光L1の照射角度を説明するためのチップ8の側面図である。以下の説明において、互いに直交する水平方向の2方向をX方向およびY方向とし、鉛直方向をZ方向とする直交座標系を用いる。特に、ステージ3の載置面3aの横方向をX方向、縦方向をY方向とする。
照明部5は、ステージ3の斜め上方に配置され、図4(a)に示されるように、X−Y平面において45°の方向から、照明光L1を窓3bに照射する。図3に示されるように、チップ配列7の行方向Rおよび列方向Cがステージ3の縦方向および横方向にそれぞれ略平行となるようにシート2が載置面3a上に載置されている場合、照明光L1は、個々のチップ8の隣接する2辺の側面8c,8dに照射される。
ここで、照明光L1の光軸を含むZ平面において載置面3aと照明光L1の光軸とが成す照射角度θは、図4(b)に示されるように、照明光L1がチップ8内へ側面8c,8dから入射し、かつ、チップ8のおもて面8aおよび裏面8bにおいて照明光L1の少なくとも一部が反射されるような角度に設定されている。これにより、側面8c,8dからチップ8内に入射した照明光L1は、おもて面8aおよび裏面8bでの反射を繰り返しながらチップ8内を略対角線方向に進み、他の隣接する2辺の側面8e,8fから出射する。また、裏面8bからチップ8内に入射した照明光L1の一部も、同様に、おもて面8aおよび裏面8bでの反射を繰り返しながらチップ8内を略対角線方向に進み、2側面8e,8fから出射する。なお、図1のように斜め上方から照射される照明光L1はシート2を透過するが、このときに照射光L1の照射角度は変化しない。
照明光L1が出射する2側面8e,8fは光り、図4(a)に示されるようにZ方向にチップ配列7を見たときに、側面8e,8fに対応する隣接する2辺に照明光L1の明るい線(発光ライン)Bが現れる。このような照射角度θは、空気の屈折率とチップ8の屈折率とを用い、いわゆるスネルの法則から算出することができる。
観察部6は、窓3bの位置のチップ配列7を図示しない撮像素子によって撮影し、取得した画像を図示しない表示部に送るようになっている。観察部6は、チップ8を回収するための回収容器10と一緒に可動台11に保持されており、該可動台11を水平方向に移動させることによって、観察部6および回収容器10を択一的に窓3bの真下に配置可能になっている。
符号9は、観察部6に設けられた照明器である。照明器9は、例えば、環状に配列された複数のLEDを備え、チップ配列7に対して白色光L2を均一に照射するようになっている。観察部6は、シート2およびチップ8を通過した照明光L1が直接当たらない位置に配置される。照明光L1が観察部6に直接当たる場合、撮像素子に強い照明光L1が入射し、ハレーションやスミア等の乱れが画像に生じる可能性がある。
次に、このように構成されたチップ回収装置1の作用について説明する。
本実施形態に係るチップ回収装置1を使用してシート2上のチップ配列7から所望の断片A’が付着しているチップ8を回収するためには、まず、図3に示される状態にシート2をステージ3の載置面3a上に載置する。載置面3a上のシート2の位置を安定させるために、図示しないクリップ等を用いてシート2の端部を載置面3aに固定してもよい。
次に、観察部6によってチップ配列7を観察し、ホルダ42を水平方向に移動させることによって所望のチップ8の真上に針41を配置する。次に、観察部6に代えて回収容器10を窓3bの真下に配置し、続いて、ホルダ42を下降させることによって所望のチップ8の裏面8bを針先41aで突き、当該チップ8bをシート2から剥離および落下させる。これにより、所望のチップ8が回収容器10内に回収される。
回収容器10内に回収されたチップ8は、微小かつ透明であるため、肉眼で確認することは難しい。また、所望のチップ8がシート2上に残っている場合にも、肉眼でシート2上の所望のチップ8の有無を確認することは難しく、また、観察部6によって取得された画像でもチップ8を確認することも難しい。なぜならば、観察部6は、画像において被写体の陰影が生じない落射照明を用いており、さらに、白色光L2は、透明なチップ8の表面でほとんど反射されずにチップ8を通り抜けてしまうからである。
そこで、本実施形態においては、再度、観察部6を窓3bの真下に配置し、照明部5を点灯させて上述の照明方法で照明光L1をチップ配列7へ照射する。これにより、個々のチップ8の隣接する2辺に対応する位置に略L字状の発光ラインBが発生し、規則的に配列する多数の発光ラインBが観察部6によって観察される。観察部6によって取得される画像において発光ラインBをより明瞭に視認することができるように、観察部6の白色光L2を消灯してもよい。
所望のチップ8がシート2から完全に剥離して落下している場合、当該チップ8が貼り付いていた箇所においては発光ラインBが欠けているので、ユーザは、当該チップ8の跡を容易に見付けることができる。
一方、もし、所望のチップ8がシート2から完全に剥離せずにシート2上に残っている場合、所望のチップ8は、規則的に配列している多数のチップ8の中で1つだけ配置が不規則であったり、向きや傾きが異なっていたりする。このときに、所望のチップ8がどのような向きや傾きでシート2上に残っていたとしても、その4側面のうち少なくとも1つには照明光L1が入射し、少なくとも1本の発光ラインBが発生する。すなわち、規則的に配列する多数の発光ラインBの中で、向きや強度が異なる発光ラインBが1本だけまたは1組だけ存在する。したがって、ユーザは、未だシート2上に残っている回収し損なった所望のチップ8に容易に気付くことができる。
このように、本実施形態によれば、ユーザは、回収したはずの所望のチップ8がシート2上に残っていないかどうかを容易にかつ確実に確認し、これに基づいて所望のチップ8が回収容器10内に回収されたか否かを確実に確認することができるという利点がある。
なお、本実施形態においては、チップ8の隣接する2側面の各々への照明光L1の照射量が等しくなるように、X−Y平面において45°の方向から照明光L1を照射することとしたが、照明光L1の照射方向はこれに限定されるものではなく、チップ8の隣接する2辺の両方に交差する方向からであれば、他の方向から照明光L1を照射してもよい。
また、本実施形態においては、1つのみの照明部5を用いることとしたが、照明部5の数はこれに限定されるものではない。例えば、2つの照明部5を用い、チップ8の隣接する2辺の側面8c,8dに対して、X方向およびY方向に照明光L1をそれぞれ照射してもよい。このようにしても、図4(a)と同じ発光ラインBが得られる。
また、チップ8の4側面8c,8d,8c,8d全てにおいて発光ラインBが得られるようにしてもよい。例えば、2つの照明部5を用い、X−Y平面において45°方向および225°方向のそれぞれからチップ8の4側面8c,8d,8c,8dに対して照明光L1を照射してもよい。
さらに、2つ以上の照明部5を使用する場合には、各照明部5が出射する照明光L1の色を互いに異ならせてもよい。シート2に残っている回収し損なったチップ8の向きや角度に応じて、チップ8に入射する各照明光L1の量、すなわち2つの色の比率が異なり、その結果、発光ラインBの色にも変化が生じる。したがって、シート2上の回収し損なったチップ8をより容易に発見することができる。
また、照明部5は、照明光L1を点滅させてもよい。このようにすることで、発光ラインBの視認性をさらに向上することができる。
また、本実施形態においては、照明部5および観察部6が、ステージ3に対して互いに反対側に配置されていることとしたが、これに代えて、図5に示されるように、ステージ3に対して同一側に配置されていてもよい。
この場合、照明部5は、観察部6の視野の外側に配置される。あるいは、照明部5として、観察部6に設けられた照明器9を使用してもよい。例えば、照明器9が、適切な照射角度θで光を出射するLEDを備え、通常観察時と、打ち抜き後のチップ8の確認時とで、点灯させるLEDを切り替え可能に構成されていてもよい。
また、本実施形態においては、照明部5と観察部6とが同期して作動してもよい。例えば、観察部6は、照明部5が照明光L1を出射するのと同時に静止画像を取得するようになっていてもよい。さらに、照明部5からの照明光L1の出射が、ユーザの操作によって行われるようになっていてもよい。
このようにすることで、チップ配列7に照明光L1が照射されているときと、照射されていないときとの画像を取得し、取得された2つの画像を比較することによって、発光ラインBをより正確に評価することができる。
また、取得された画像に対して、適宜画像処理を施してもよい。例えば、取得された2つの画像の差分画像を生成してもよい。差分画像は、照明光L1が照射されているときに取得された画像から発光ラインBを抽出した画像となるので、発光ラインBをさらに明瞭に視認することができる。また、差分画像内の発光ラインBの配列パターンに基づいてチップ8が欠けている領域やチップ8の配列が不規則である領域を自動判定してもよい。
次に、上述したチップ回収装置1の実施例について、図6から図9を参照して以下に説明する。
本実施例においては、シート2として、厚さ0.13mmから0.17mmであり、透明な塩化ビニル製のダイシングシート(UE−111AJ、日東電工社製)を使用した。シートは直径40mmのグリップリングによって伸展状態に保持した。チップ8として、0.42mm角の正方形のガラス基板を使用した。切片Aとして、厚さ20μmのラットの肝臓の組織切片を使用した。
照明部5として、緑色光を出射するLED(HLV−24GR−1220−3W、CCS社製)と、赤色光を出射するLED(HLV−24RD−1220、CCS社製)とを使用し、これらLEDの電源としてコントローラ(PJ−1505−3CA、CCS社製)を使用した。照明光L1である緑色光および赤色光は、シートに対して斜め上方から30°の照射角度で照射した。ただし、緑色光および赤色光の照射方向は、X方向およびY方向にそれぞれ平行な方向とし、チップの隣接する2辺の側面のうち一方に緑色光を照射し、他方に赤色光を照射した。なお、本実施例において、明瞭な発光ラインBが観察された照射角度θは、15°から70°であった。
観察部6として、デジタル顕微鏡(Dino−Lite AD413T、AnMo Electronics社製)を使用した。このデジタル顕微鏡は、対物レンズと、該対物レンズによって集光された光を撮影する1/4インチのCMOS撮像素子と、対物レンズの先端部を取り囲むように環状に配列された8個の白色LEDとを備え、白色LEDからの白色光が樹脂製の拡散板によって散乱されるようになっている。
図6(a),(b)は、本実施例のチップ回収装置によって得られたチップ配列の画像の一例である。図6(a)は、白色光のみが照射されている状態、図6(b)は白色光と一緒に照明光も照射されている状態である。図6(b)において、照明光の照射方向は、左から右へ、また、下から上へ向かう方向である。また、図6(a),(b)において、3つの白矢印は、回収されたチップの跡を示している。図6(a)において、チップの輪郭は不鮮明であり、また、チップの跡も視認し難い。一方、図6(b)においては、個々のチップの2辺(同図において右側および上側の辺)が明るく光っているため、個々のチップも明瞭に視認することができ、チップの跡も明瞭に確認することができる。
図7から図9は、本実施例のチップ回収装置によって得られたチップ配列の画像の他の例である。図7から図9において、(a)は白色光のみが照射されている状態、(b)は白色光と一緒に照明光も照射されている状態を示している。
図7(a),(b)は、3つのチップの跡(白矢印参照。)を観察したものである。図7(a)よりも図7(b)の方が、個々のチップを明瞭に視認することができ、チップの跡も明瞭に確認することができる。
図8(a),(b)は、針で突かれたもののシート上に残っている1つのチップ(白矢印参照。)を観察したものである。図8(a)よりも図8(b)の方が、この回収し損なったチップを明瞭に観察することができる。特に、図8(b)において、回収し損なったチップの上側の側面が非常に明るく光っている。このように、チップがシートに対して回転したり傾いたりすると、当該チップに対する照明光の照射方向および照射角度も変化するため、発光ラインの太さおよび明るさに明らかな変化が生じることが分かる。
図9(a),(b)は、他のチップ上に重なったチップ(白矢印参照。)を観察したものである。このような場合も、図9(a)よりも図9(b)の方が、当該チップを明瞭に視認することができ、当該チップを容易に発見することができる。
1 チップ回収装置
2 シート
3 ステージ(保持部)
3a 載置面(所定の平面)
3b 窓
4 打ち抜き部
41 針
41a 針先
42 ホルダ
5 照明部
6 観察部
7 チップ配列
8 チップ
8a おもて面(端面)
8b 裏面(端面)
8c,8d,8e,8f 側面
9 照明器
10 回収容器
11 可動台
12 グリップリング
12a 外リング
12b 内リング
L1 照明光
L2 白色光
A 切片
A’ 断片
B 発光ライン

Claims (5)

  1. 透光性を有し隙間を空けて規則的に2次元配列した複数の矩形のチップからなるチップ配列から特定のチップを回収するチップ回収装置であって、
    前記チップ配列をその一方の面上に支持するシートを所定の平面上に保持する保持部と、
    該保持部に保持された前記所定の平面上の前記シートに対して斜めに照明光を照射する照明部と、
    前記保持部に保持された前記シート上の前記チップ配列を観察する観察部とを備え、
    前記照明部は、前記チップの少なくとも隣接する2辺の側面へ前記照明光が照射される照射方向から、かつ、前記2辺の側面から前記チップ内へ前記照明光が入射して他の2辺の側面から出射する照射角度で、前記照明光を照射するチップ回収装置。
  2. 前記チップ配列が、互いに直交する2軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、
    前記照明部が、前記2軸方向に対して45°方向から単一の前記照明光を照射する請求項1に記載のチップ回収装置。
  3. 前記チップ配列が、互いに直交する2軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、
    前記照明部が、前記2軸方向から2つの前記照明光を照射する請求項1に記載のチップ回収装置。
  4. 前記照明部が、前記照明光として単色光を照射する請求項1から請求項3のいずれかに記載のチップ回収装置。
  5. 前記照明部が、LEDを備える請求項1から請求項4のいずれかに記載のチップ回収装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3302177A1 (de) * 1982-02-16 1983-08-25 Diffracto Ltd., Windsor, Ontario Verfahren und einrichtung zur automatischen handhabung oder bearbeitung oder zum automatischen zusammenbau von gegenstaenden
JPS61284648A (ja) * 1985-06-12 1986-12-15 Mitsubishi Rayon Co Ltd 欠陥検出方法
JPH10123429A (ja) * 1996-10-23 1998-05-15 Bunshi Bio Photonics Kenkyusho:Kk スライドガラスおよびカバーガラス
JP2001305072A (ja) * 2000-04-25 2001-10-31 Advantest Corp 基板の欠陥検出方法及び装置
JP5286885B2 (ja) * 2008-03-31 2013-09-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 観察装置およびレーザー加工装置
WO2011149009A1 (ja) * 2010-05-28 2011-12-01 オリンパス株式会社 細胞分取装置、細胞分取システムおよび細胞分取方法
WO2014065101A1 (ja) * 2012-10-24 2014-05-01 オリンパス株式会社 基板回収装置

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