JP6258110B2 - Environmental test apparatus and temperature / humidity control method - Google Patents

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Description

本発明は、環境試験装置に関するものである。本発明の環境試験装置は、特に薬品等の安定性を試験する用途に適するものである。また本発明は、所定の空間を所望の温度及び湿度の設定環境に維持する温湿度制御方法に関するものである。   The present invention relates to an environmental test apparatus. The environmental test apparatus of the present invention is particularly suitable for use in testing the stability of chemicals and the like. The present invention also relates to a temperature and humidity control method for maintaining a predetermined space in a setting environment of a desired temperature and humidity.

製品や素材等の性能や耐久性を試験する装置として、特許文献1の様な環境試験装置が知られている。環境試験装置は、試験対象の供試体(被試験物)が載置される試験室を備え、試験室内の温度や湿度を所望の試験環境に調整するものである。
また特許文献2には、水蒸気分圧を利用して試験室内の湿度を調節する環境試験装置が開示されている。
As an apparatus for testing the performance and durability of products, materials, etc., an environmental test apparatus as disclosed in Patent Document 1 is known. The environmental test apparatus includes a test chamber in which a specimen to be tested (test object) is placed, and adjusts the temperature and humidity in the test chamber to a desired test environment.
Patent Document 2 discloses an environmental test apparatus that adjusts the humidity in the test chamber using water vapor partial pressure.

図5は、従来の代表的な環境試験装置を概念的に表したものである。
従来技術の環境試験装置100の基本構成は、図5に示すように断熱壁2によって覆われた断熱槽3を有している。そして当該断熱槽3の一部に試験室5が形成されている。試験室5は、被試験物18を設置する空間である。
環境試験装置100は、さらに加湿装置6、冷却装置7、加熱ヒータ(加熱装置)8、及び送風機10を備えている。
環境試験装置100には、試験室5と環状に連通する空気流路15があり、当該空気流路15に加湿装置6と、冷却装置7と、加熱ヒータ(加熱装置)8、及び送風機10が設けられている。冷却装置7は、冷凍機11を有している。
また空気流路15の空気吹き出し部16の近傍に、温度センサー12と湿度センサー13が設けられている。環境試験装置100では、前記した空気流路15とその内部の部材によって空気調和部17が構成されている。
従来技術の環境試験装置100では、温度センサー12及び湿度センサー13の検出値が、設定環境の温度及び湿度に近づく様に空気調和部17内の機器が制御され、試験室5内に所望の温度・湿度環境を作ることができる。
FIG. 5 conceptually shows a conventional representative environmental test apparatus.
The basic configuration of the environmental testing apparatus 100 of the prior art has a heat insulating tank 3 covered with a heat insulating wall 2 as shown in FIG. A test chamber 5 is formed in a part of the heat insulating tank 3. The test chamber 5 is a space in which the device under test 18 is installed.
The environmental test apparatus 100 further includes a humidifying device 6, a cooling device 7, a heater (heating device) 8, and a blower 10.
The environmental test apparatus 100 has an air flow path 15 that communicates with the test chamber 5 in an annular shape. A humidifier 6, a cooling apparatus 7, a heater (heating apparatus) 8, and a blower 10 are provided in the air flow path 15. Is provided. The cooling device 7 has a refrigerator 11.
A temperature sensor 12 and a humidity sensor 13 are provided in the vicinity of the air blowing portion 16 of the air flow path 15. In the environmental test apparatus 100, the air conditioning part 17 is comprised by the above-mentioned air flow path 15 and the member inside it.
In the environmental testing apparatus 100 of the prior art, the devices in the air conditioning unit 17 are controlled so that the detected values of the temperature sensor 12 and the humidity sensor 13 approach the temperature and humidity of the set environment, and a desired temperature is set in the test chamber 5.・ We can make humidity environment.

特開2014−20777号公報JP 2014-20777 A 特許第2928151号公報Japanese Patent No. 2928151 特開平8−136441号公報JP-A-8-136441

環境試験の一つとして、特許文献3に紹介された様な安定性試験と称される試験がある。安定性試験は、医薬品を対象として実施されることが多い試験である。
医薬品を対象とする安定性試験は、摂氏25度、湿度60パーセントという様な一定の環境に医薬品を長時間さらし、その変化を確認する試験である。
医薬品を対象とする安定性試験は、常温に近い環境で行う試験であり、試験環境を作ること自体は難しいことではない。
As one of the environmental tests, there is a test called a stability test as introduced in Patent Document 3. The stability test is a test that is often performed on pharmaceutical products.
The stability test for pharmaceutical products is a test in which the pharmaceutical products are exposed to a certain environment such as 25 degrees Celsius and 60 percent humidity for a long time to confirm the change.
The stability test for pharmaceutical products is a test performed in an environment close to room temperature, and it is not difficult to create the test environment itself.

しかしながらこの試験は、試験対象が医薬品であるため、極めて厳格に実施されるべき試験であり、実際の試験環境が定められた環境から外れていることは許されない。   However, this test is a test that should be performed very strictly because the test object is a pharmaceutical product, and the actual test environment is not allowed to deviate from the specified environment.

しかしながら、従来技術の環境試験装置100は、試験室5内であって空気調和部17の吹き出し部16の近傍に温度センサー12と湿度センサー13が設けられており、温度センサー12と湿度センサー13で検知された値が設定環境の温度及び湿度と一致する様に空気調和部17内の機器が制御されていた。
従来技術の環境試験装置100では、温度センサー12の位置が、実際に被試験物18が設置されている位置から離れており、温度センサー12の検出値が、被試験物18の周囲の温度を正確に反映しているとは言いがたい。
現実問題として、吹き出し部16近傍の温度は、被試験物18の周囲の温度とは異なる。
However, the environmental test apparatus 100 of the prior art is provided with the temperature sensor 12 and the humidity sensor 13 in the vicinity of the blowing portion 16 of the air conditioning unit 17 in the test chamber 5. The equipment in the air conditioning unit 17 was controlled so that the detected value coincided with the temperature and humidity of the set environment.
In the prior art environmental test apparatus 100, the position of the temperature sensor 12 is far from the position where the device under test 18 is actually installed, and the detected value of the temperature sensor 12 indicates the temperature around the device under test 18. It is hard to say that it is accurately reflected.
As a practical matter, the temperature in the vicinity of the blowing portion 16 is different from the temperature around the device under test 18.

また湿度センサー13の検出値が、被試験物18の周囲の湿度(相対湿度)を正確に反映しているとも言いがたい。即ち相対湿度は、温度によって変化する。より具体的には、相対湿度は、特定の気温における飽和水蒸気量に対する実際の水蒸気量の割合である。一方、飽和水蒸気量は気温に依存し、気温が上昇すると飽和水蒸気量が上昇し、相対湿度は低下する。そのため温度センサー12の検知温度が不正確である場合は、相対湿度の値も不正確なものとなってしまう。   Further, it cannot be said that the detected value of the humidity sensor 13 accurately reflects the humidity around the DUT 18 (relative humidity). That is, the relative humidity varies with temperature. More specifically, the relative humidity is the ratio of the actual water vapor amount to the saturated water vapor amount at a specific temperature. On the other hand, the amount of saturated water vapor depends on the temperature, and when the temperature rises, the amount of saturated water vapor increases and the relative humidity decreases. Therefore, when the temperature detected by the temperature sensor 12 is inaccurate, the relative humidity value is also inaccurate.

この様に従来技術の環境試験装置は、空気調和部17の吹き出し部16の温度と湿度をフィードバックして試験室5内の温度及び湿度を制御をしている。
そのため実際に被試験物18を設置している試験室5内の温度や湿度は、試験室5の周囲の環境からの熱影響や、試験室5内に設置した被試験物18の熱容量の大小によって吹き出し部16の温度等とは異なったものになってしまう。
また特に被試験物18や測定機器等の付属品が発熱する場合や、被試験物18や測定機器等の付属品が冷却源となる場合には、被試験物18を設置している試験室5内の温度等が、吹き出し部16の温度等とは異なったものになってしまう。
As described above, the conventional environmental testing apparatus controls the temperature and humidity in the test chamber 5 by feeding back the temperature and humidity of the blowing unit 16 of the air conditioning unit 17.
Therefore, the temperature and humidity in the test chamber 5 where the device under test 18 is actually installed are affected by the thermal influence from the environment around the test chamber 5 and the heat capacity of the device under test 18 installed in the test chamber 5. As a result, the temperature of the blowing portion 16 becomes different.
In particular, when the test object 18 or an accessory such as a measuring instrument generates heat, or when the accessory such as the test object 18 or the measuring instrument serves as a cooling source, the test room in which the test object 18 is installed. 5 or the like will be different from the temperature of the blowing portion 16 or the like.

一方、前記した様に、安定性試験は極めて厳格に実施されるべき試験であり、実際の試験環境が定められた環境から外れていることは許されない。
そのため従来技術の環境試験装置100を使用して安定性試験を実施する場合には、オフセットした設定値を環境試験装置100に入力して試験を行っていた。
具体的に説明すると、被試験物18の周囲の実際の温度等と、温度センサー12や湿度センサー13等が設けられている部位の温度等の偏差を予め実験によって測定し、この偏差を打ち消す温度等を設定値として環境試験装置100に入力する。
例えば、設定値が摂氏25度である場合における被試験物18の周囲の実際の温度が摂氏23度であったならば、その偏差たる+2度を加えた値を設定値として環境試験装置100に入力する。より具体的に、摂氏27度を設定値として環境試験装置100に入力する。その結果、被試験物18の周囲の実際の温度が、所望の温度たる摂氏25度となる。
湿度についても同様であり、オフセットした設定値を環境試験装置100に入力して試験を行っていた。
なお安定性試験を行う場合を例に説明したが、安定性試験に限らず、発熱する物を被試験物とする場合にも、オフセットした設定値を環境試験装置100に入力して試験を行っていた。
On the other hand, as described above, the stability test is a test that should be performed very strictly, and the actual test environment is not allowed to deviate from the specified environment.
Therefore, when the stability test is performed using the environmental test apparatus 100 of the prior art, the offset setting value is input to the environmental test apparatus 100 and the test is performed.
More specifically, a deviation between the actual temperature around the DUT 18 and the temperature of the part where the temperature sensor 12, the humidity sensor 13 and the like are provided is measured in advance, and the temperature at which this deviation is canceled out. Are input to the environmental test apparatus 100 as set values.
For example, if the actual temperature around the DUT 18 is 23 degrees Celsius when the set value is 25 degrees Celsius, the value obtained by adding +2 degrees that is the deviation is set to the environmental test apparatus 100 as the set value. input. More specifically, 27 degrees Celsius is input to the environmental test apparatus 100 as a set value. As a result, the actual temperature around the device under test 18 is 25 degrees Celsius, which is the desired temperature.
The same applies to the humidity, and the offset setting value was input to the environmental test apparatus 100 for testing.
The case where the stability test is performed has been described as an example. However, the present invention is not limited to the stability test, and the test is performed by inputting the offset set value to the environmental test apparatus 100 when the object to be heated is the object to be tested. It was.

しかしながらこの方策は設定が面倒であり、且つデータ管理上の不具合もある。
即ち前記した偏差は、常に一定とは言えず、外気温度や、収容する被試験物の種類、被試験物の量、被試験物の熱容量、被試験物や付属品が発熱するか否か、被試験物や付属品が吸熱するか否か等によって変わる。そのため試験のたびに偏差を測定する予備実験を行う必要があり、煩雑である。
However, this measure is troublesome to set and has a problem in data management.
That is, the deviation described above is not always constant, the outside air temperature, the type of test object to be accommodated, the amount of the test object, the heat capacity of the test object, whether the test object and accessories generate heat, It depends on whether the DUT or accessories absorb heat. Therefore, it is necessary to conduct a preliminary experiment for measuring the deviation for each test, which is complicated.

また医薬品メーカは、厚生労働省から、安定性試験の結果報告書の提出を求められる場合があり、この報告書には、偏差の管理状況についても記述しなければならない。そのため従来技術の環境試験装置100は、データ管理についても面倒であり、試験結果を監査する者にとっても分かりづらい。   In addition, pharmaceutical manufacturers may be required to submit a report on the results of stability testing from the Ministry of Health, Labor and Welfare, and this report must also describe the status of deviation management. For this reason, the conventional environmental test apparatus 100 is troublesome in terms of data management, and is difficult for a person who audits the test results.

ここで温度センサー12や湿度センサー13を被試験物18の近傍に設置すれば、センサー12,13によって被試験物18の周囲の環境を正確に把握することができ、上記した問題は解決する。
しかしながら、湿度センサー13として多用される乾湿球式湿度センサーは、ある程度の通風環境下に設置する必要があり、無風に近い位置に置くことは望ましくない。即ち乾湿球式湿度センサーは、被試験物18の近傍の様な風の少ない場所に置くと正確な湿度を検知しがたく、吹き出し部16近傍の様な通風環境下に設置する必要がある。
また乾湿球式湿度センサーは、水を使用するので、被試験物18の近くには置きにくいという問題がある。
Here, if the temperature sensor 12 and the humidity sensor 13 are installed in the vicinity of the device under test 18, the environment around the device under test 18 can be accurately grasped by the sensors 12 and 13, and the above-described problems are solved.
However, the wet and dry bulb type humidity sensor that is frequently used as the humidity sensor 13 needs to be installed in a certain amount of ventilation environment, and it is not desirable to place it in a position close to no wind. That is, the dry / wet bulb type humidity sensor is difficult to detect the exact humidity when placed in a place with a small amount of wind such as the vicinity of the DUT 18 and needs to be installed in a ventilation environment such as the vicinity of the blowing section 16.
In addition, since the wet and dry bulb type humidity sensor uses water, there is a problem that it is difficult to place it near the DUT 18.

そこで本発明は従来技術の上記した問題点に注目し、環境試験装置に設定された設定値がそのまま試験室の温度及び湿度となる環境試験装置を開発することを課題とするものである。また同様の目的を達成する温湿度制御方法を開発することを課題とするものである。   Accordingly, the present invention focuses on the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to develop an environmental test apparatus in which the set values set in the environmental test apparatus are directly used as the temperature and humidity of the test room. Another object of the present invention is to develop a temperature and humidity control method that achieves the same object.

上記した課題を解決するための請求項1に記載の発明は、被試験物を設置する試験室と、温度及び湿度を調整する機器を内蔵し前記機器で調整された空気を試験室に導入する空気調和部とを有し、空気調和部内の機器を制御することによって試験室内の環境を所望の設定環境に維持する環境試験装置において、試験室と環状に連通する空気流路があり、空気流路とその内部の部材によって前記空気調和部が構成されており、試験室と空気流路は、空気流路の空気吹き出し口で連通し、空気吹き出し口の近傍にあって空気調和部で調整された直後の空気の温度を検知する調整済温度検知手段と、試験室内にあって調整済温度検知手段よりも空気吹き出し口から遠く、被試験物が設置される領域の試験室内の温度であって試験室内の温度の中心温度を示す場所であると特定された位置の温度を検知する室内温度検知手段を有し、設定環境の温度と室内温度検知手段の検知温度から空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算し、調整済温度検知手段の検知温度が前記目標温度に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする環境試験装置である。 The invention described in claim 1 for solving the above-described problem is that a test chamber in which a DUT is installed and a device for adjusting temperature and humidity are incorporated, and air adjusted by the device is introduced into the test chamber. In an environmental test apparatus that has an air conditioning unit and maintains the environment in the test chamber in a desired setting environment by controlling equipment in the air conditioning unit, there is an air flow path that communicates with the test chamber in an annular shape, The air conditioning unit is configured by a path and members therein, and the test chamber and the air flow path communicate with each other through the air flow outlet of the air flow path and are adjusted by the air conditioning unit in the vicinity of the air blowout port. and adjusted the temperature detection means for detecting a temperature of air immediately after, away from the air outlet than the adjusted temperature detecting means in the test chamber, a temperature of the test chamber region DUT is placed Center temperature of test chamber temperature Has a room temperature detecting means for detecting the temperature of the positions specified as the location indicated and calculates the target temperature of the air after the adjustment in the air conditioning unit from the detection temperature of the temperature and the indoor temperature detector setting environment In addition, the environmental testing apparatus is characterized in that the air conditioning unit is controlled so that the detected temperature of the adjusted temperature detecting means approaches the target temperature.

請求項2に記載の発明は、試験室と空気流路は、空気流路の空気導入部で連通するものであり、前記特定された位置が前記空気導入部の近傍の位置であることを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置である。 The invention according to claim 2 is characterized in that the test chamber and the air flow path communicate with each other at the air introduction part of the air flow path, and the specified position is a position in the vicinity of the air introduction part. The environmental test apparatus according to claim 1 .

請求項3に記載の発明は、空気調和部は送風機を有し、空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算する際に、送風機の送風量あるいは送風循環量を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の環境試験装置である。 According to a third aspect of the invention, the air conditioning unit has a blower, when calculating the air of the target temperature after adjusted air conditioning unit, and wherein Rukoto with air volume or an air convection rate of the blower The environmental test apparatus according to claim 1 or 2 .

請求項4に記載の発明は、試験室内の温度の中心温度を示す場所は予備実験により特定された位置であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の環境試験装置である。 In the invention, the environment test apparatus according to any one of claims 1 to 3 places characterized by position der Rukoto identified by preliminary experiments showing a central temperature of the temperature of the test chamber according to claim 4 is there.

請求項5に記載の発明は、気吹き出し口の近傍にあって空気調和部で調整された直後の空気の相対湿度を検知する湿度検知手段を有し、湿度検知手段から空気調和部で調整された直後の空気の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度の少なくともいずれかからなる実水蒸気関連値を演算し、設定環境における空気の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度の少なくともいずれかからなる設定水蒸気関連値に、前記実水蒸気関連値が近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の環境試験装置である。 The invention of claim 5 has a humidity detecting means for detecting the relative humidity of the air immediately after it is adjusted by the air conditioning unit In the vicinity of the air outlet, the air conditioner unit from humidity detection means Calculates the actual water vapor-related value consisting of at least one of the water vapor amount, water vapor partial pressure, and absolute humidity immediately after adjustment, and consists of air water vapor amount, water vapor partial pressure, and absolute humidity in the set environment. The environmental test apparatus according to any one of claims 1 to 4 , wherein the device of the air conditioning unit is controlled so that the actual water vapor related value approaches a set water vapor related value.

「所定の値に近づく様に空気調和部の機器を制御する」とは、「所定の値に一致する様に空気調和部の機器を制御する」場合を含む概念である。
本発明の環境試験装置では、室内温度検知手段を有し、当該室内温度検知手段は試験室内にあって被試験物に近い位置の温度を検知する。そして設定環境の温度と室内温度検知手段の検知温度から空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算する。
本発明によると、空気調和部で調整後の空気の温度は、設定環境の温度から外れる場合があるが、試験室内の温度については、設定環境の温度により近づく。
例えば室内温度検知手段の検知温度が設定環境の温度よりも低い場合は、空気調和部から設定環境の温度よりも高い温度の空気が吐出される様に目標温度が演算される場合がある。逆に室内温度検知手段の検知温度が設定環境の温度よりも高い場合は、空気調和部から設定環境の温度よりも低い温度の空気が吐出される様に目標温度が演算される場合がある。
本発明の環境試験装置では、被試験物の周囲の実際の温度に基づいて空気調和部の機器が制御され、現実の試験室内の温度を設定値に一致させることができる。
“Controlling the device of the air conditioning unit so as to approach the predetermined value” is a concept including the case of “controlling the device of the air conditioning unit so as to coincide with the predetermined value”.
The environmental test apparatus of the present invention has a room temperature detecting means, and the room temperature detecting means detects the temperature at a position close to the object under test in the test room. And the target temperature of the air after adjustment in the air conditioning part is calculated from the temperature of the set environment and the detected temperature of the room temperature detecting means.
According to the present invention, the temperature of the air adjusted by the air conditioning unit may deviate from the temperature of the set environment, but the temperature in the test chamber approaches the temperature of the set environment.
For example, when the temperature detected by the indoor temperature detection means is lower than the temperature of the set environment, the target temperature may be calculated so that air having a temperature higher than the temperature of the set environment is discharged from the air conditioning unit. On the other hand, when the temperature detected by the room temperature detecting means is higher than the temperature of the set environment, the target temperature may be calculated so that air having a temperature lower than the temperature of the set environment is discharged from the air conditioning unit.
In the environmental test apparatus of the present invention, the device of the air conditioning unit is controlled based on the actual temperature around the object to be tested, and the actual temperature in the test chamber can be matched with the set value.

請求項6に記載の発明は、空気調和部で調整された空気又は試験室内の湿度を検知する湿度検知手段を有し、湿度検知手段から知られる現実の水蒸気量に関係する実水蒸気関連値が所定の値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の環境試験装置である。   The invention according to claim 6 has humidity detection means for detecting the air adjusted by the air conditioning unit or the humidity in the test chamber, and the actual water vapor related value related to the actual water vapor amount known from the humidity detection means. 6. The environmental test apparatus according to claim 1, wherein the air conditioner device is controlled so as to approach a predetermined value.

上記した「湿度」は、相対湿度と絶対湿度の双方を含む概念である。「湿度検知手段から知られる」とは直接検知される場合と、演算を介して知られる場合の双方を含む。
本発明の環境試験装置では、空気調和部で調整された空気又は試験室内の湿度を検知する湿度検知手段を有している。そのため本発明では、現実の水蒸気量に関係する実水蒸気関連値を知ることができる。実水蒸気関連値とは、例えば水蒸気分圧である。
ここで水蒸気分圧は、気温に依存しない。そのため実水蒸気関連値を所定の値に近づく様に空気調和部の機器を制御すれば、現実の湿度を所望の値に合致させることができる。
The above-mentioned “humidity” is a concept including both relative humidity and absolute humidity. “Known from humidity detecting means” includes both cases where it is directly detected and cases where it is known through computation.
In the environmental test apparatus of this invention, it has the humidity detection means which detects the humidity adjusted in the air conditioning part, or the humidity in a test chamber. Therefore, in this invention, the actual water vapor related value related to the actual water vapor amount can be known. The actual water vapor related value is, for example, water vapor partial pressure.
Here, the water vapor partial pressure does not depend on the temperature. Therefore, by controlling the equipment of the air conditioning unit so that the actual water vapor related value approaches a predetermined value, the actual humidity can be matched with a desired value.

請求項7に記載の発明は、前記所定の値は、設定環境における水蒸気量に関係する設定水蒸気関連値であり、実水蒸気関連値が、設定水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項6に記載の環境試験装置である。   In the invention according to claim 7, the predetermined value is a set water vapor related value related to the amount of water vapor in the set environment, and the device of the air conditioner is set so that the actual water vapor related value approaches the set water vapor related value. The environmental test apparatus according to claim 6, wherein the environmental test apparatus is controlled.

本発明の環境試験装置では、実水蒸気関連値が、設定水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御する。そのため現実の湿度を設定された値に合致させることができる。   In the environmental test apparatus of this invention, the apparatus of an air conditioning part is controlled so that an actual water vapor related value may approach the setting water vapor related value. Therefore, the actual humidity can be matched with the set value.

請求項8に記載の発明は、前記所定の値は、設定環境における湿度を現実の温度条件下で維持するために要する水蒸気量に関係する必要水蒸気関連値であり、実水蒸気関連値が、必要水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項6に記載の環境試験装置である。   In the invention according to claim 8, the predetermined value is a necessary water vapor related value related to the amount of water vapor required to maintain the humidity in the set environment under an actual temperature condition, and the actual water vapor related value is required. The environmental test apparatus according to claim 6, wherein the device of the air conditioning unit is controlled so as to approach a water vapor related value.

本発明の環境試験装置では、実水蒸気関連値が、必要水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御する。そのため現実の湿度を設定された値に合致させることができる。   In the environmental test apparatus of this invention, the apparatus of an air conditioning part is controlled so that an actual water vapor related value may approach a required water vapor related value. Therefore, the actual humidity can be matched with the set value.

請求項9に記載の発明は、湿度検知手段は相対湿度を検知するものであり、湿度検知手段の近傍における温度を検知する補助温度検知手段を有し、補助温度検知手段が調整済温度検知手段を兼ねることを特徴とする請求項乃至8のいずれかに記載の環境試験装置である。 According to the ninth aspect of the present invention, the humidity detecting means detects relative humidity, and has an auxiliary temperature detecting means for detecting a temperature in the vicinity of the humidity detecting means, and the auxiliary temperature detecting means is the adjusted temperature detecting means. The environmental test apparatus according to any one of claims 5 to 8, wherein the environmental test apparatus is also used.

本発明の環境試験装置は、湿度検知手段と補助温度検知手段を有しているので、絶対湿度や飽和水蒸気圧を知ることができる。また補助温度検知手段が調整済温度検知手段を兼ねるので部品点数が少なくて足る。   Since the environmental test apparatus of the present invention has the humidity detection means and the auxiliary temperature detection means, it can know the absolute humidity and the saturated water vapor pressure. Further, since the auxiliary temperature detection means also serves as the adjusted temperature detection means, the number of parts is sufficient.

空気調和部は空気導入部と空気吹き出し部を有し、空気導入部と空気吹き出し部が試験室に開口するものであり、空気吹き出し部の近傍に湿度検知手段と、補助温度検知手段とが設けられていることが望ましい。   The air conditioner has an air introduction part and an air blowing part, and the air introduction part and the air blowing part are opened in the test chamber, and a humidity detecting means and an auxiliary temperature detecting means are provided in the vicinity of the air blowing part. It is desirable that

本構成によると、空気調和部で調整された直後の空気の湿度を検知することができる。   According to this configuration, it is possible to detect the humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioning unit.

請求項10に記載の発明は、乾湿球式湿度センサーを有し、当該乾湿球式湿度センサーが湿度検知手段と調整済温度検知手段を兼ねることを特徴とする請求項乃至9のいずれかに記載の環境試験装置である。 The invention of claim 10 has a psychrometer humidity sensor, to any one of claims 5 to 9 the psychrometer humidity sensor is characterized in that also serves as a regulated temperature sensing means and humidity detection means It is an environmental test apparatus of description.

乾湿球式湿度センサーは、温度センサーを備えているから、調整済温度検知手段を兼ねることができる。
乾湿球式湿度センサーを採用する場合には、空気調和部の空気吹き出し部の近傍、又は空気導入部の近傍に乾湿球式湿度センサーを設置することが望ましい。
Since the dry / wet bulb type humidity sensor includes a temperature sensor, it can also serve as an adjusted temperature detecting means.
In the case of adopting the wet and dry bulb type humidity sensor, it is desirable to install the dry and wet bulb type humidity sensor in the vicinity of the air blowing part of the air conditioning part or in the vicinity of the air introducing part.

実水蒸気関連値は、現実の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度のいずれかであり、設定水蒸気関連値は、設定環境における水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度のいずれかを採用することができる(請求項11)。   The actual water vapor related value is one of the actual water vapor amount, water vapor partial pressure, or absolute humidity, and the set water vapor related value can employ any of the water vapor amount, water vapor partial pressure, or absolute humidity in the set environment. (Claim 11).

また方法に関する発明は、温度及び湿度を調整する機器を備えた空気調和部を動作させ、空気調和部の空気吹き出し口に繋がり被試験物が設置される所定の空間を所望の温度及び湿度の設定環境に維持する温湿度制御方法において、空気吹き出し口の近傍で空気調和部で調整された直後の空気の温度と湿度を検知し、空気調和部で調整された直後の空気の温度と湿度から空気調和部で調整された直後の空気の現実の水蒸気量に関係する実水蒸気関連値を演算し、実水蒸気関連値が設定環境における水蒸気量に関係する設定水蒸気関連値に近づく様に空気調和部を動作させ、被試験物が設置される領域の温度であって試験室内の温度の中心温度を示す場所であると特定された位置の温度を検知し、設定環境の温度と前記特定された位置の温度の差を利用して被試験物が設置される領域の温度を設定温度に維持するために必要な熱量又は冷熱量を演算して空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算し、空気調和部で調整された直後の空気の温度が前記目標温度に近づく様に前記空気調和部を制御することを特徴とする温湿度制御方法である(請求項12)。 In addition, the invention relating to the method operates an air conditioning unit equipped with a device for adjusting temperature and humidity, and sets a predetermined temperature and humidity in a predetermined space connected to the air outlet of the air conditioning unit and in which a test object is installed. In the temperature and humidity control method to maintain the environment, the temperature and humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioner in the vicinity of the air outlet are detected, and the air is detected from the temperature and humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioner. The actual water vapor related value related to the actual water vapor amount of the air immediately after being adjusted by the harmony unit is calculated, and the air conditioner unit is adjusted so that the actual water vapor related value approaches the set water vapor related value related to the water vapor amount in the setting environment. Operating, detecting the temperature of the area where the DUT is installed and indicating the center temperature of the temperature in the test room, and detecting the temperature of the set environment and the specified position. of temperature Calculate the heat or cold energy required to maintain the temperature of the area where the DUT is installed at the set temperature using the The temperature and humidity control method is characterized in that the air conditioning unit is controlled so that the temperature of the air immediately after being adjusted in step 1 approaches the target temperature (claim 12).

本発明の環境試験装置及び温湿度制御方法によると、所望の空間を、設定通りの温度及び湿度とすることができる。   According to the environmental test apparatus and temperature / humidity control method of the present invention, a desired space can be set to a set temperature and humidity.

本発明の実施形態の環境試験装置を概念的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented notionally the environmental test apparatus of embodiment of this invention. 本発明の実施形態の環境試験装置の温度制御のブロック図である。It is a block diagram of temperature control of the environmental test apparatus of embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態の環境試験装置の温度制御のブロック図である。It is a block diagram of temperature control of the environmental test apparatus of other embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施形態の環境試験装置の温度制御のブロック図である。It is a block diagram of temperature control of the environmental test apparatus of further another embodiment of this invention. 従来技術における環境試験装置を概念的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented notionally the environmental test apparatus in a prior art.

以下さらに本発明の実施形態について説明する。本実施形態の環境試験装置1の機械的構造は、従来技術と大差ない。即ち図1の様に、環境試験装置1は、断熱壁2によって覆われた断熱槽3を有している。そして当該断熱槽3の一部に試験室5が形成されている。試験室5は、被試験物18を設置する空間である。
環境試験装置1は、さらに加湿装置6、冷却装置7、加熱ヒータ(加熱装置)8、及び送風機10を備えている。
環境試験装置1には、試験室5と連通する空気流路15があり、当該空気流路15に加湿装置6と、冷却装置7と、加熱ヒータ(加熱装置)8、及び送風機10が設けられている。冷却装置は、冷凍機11を有している。
環境試験装置1では、前記した空気流路15とその内部の部材によって空気調和部17が構成されている。
Embodiments of the present invention will be further described below. The mechanical structure of the environmental test apparatus 1 of the present embodiment is not much different from the conventional technology. That is, as shown in FIG. 1, the environmental test apparatus 1 has a heat insulating tank 3 covered with a heat insulating wall 2. A test chamber 5 is formed in a part of the heat insulating tank 3. The test chamber 5 is a space in which the device under test 18 is installed.
The environmental test apparatus 1 further includes a humidifying device 6, a cooling device 7, a heater (heating device) 8, and a blower 10.
The environmental test apparatus 1 has an air flow path 15 that communicates with the test chamber 5, and a humidifying device 6, a cooling device 7, a heater (heating device) 8, and a blower 10 are provided in the air flow path 15. ing. The cooling device has a refrigerator 11.
In the environmental test apparatus 1, the air conditioning part 17 is comprised by the above-mentioned air flow path 15 and the member inside it.

また空気流路15の空気吹き出し部16の近傍に、乾湿球式湿度センサー20が設けられている。乾湿球式湿度センサー20は、乾側温度センサー21と、湿側温度センサー22によって構成されている。
本実施形態では、乾側温度センサー21が補助温度検知手段及び調整済温度検知手段としての機能を兼ねている。
乾湿球式湿度センサー20は、空気流路15の空気吹き出し部16の近傍に設けられており、空気調和部17で調整された直後の空気の相対湿度を検知することができる。また乾湿球式湿度センサー20の乾側温度センサー21は、調整済温度検知手段としても機能し、空気調和部17で調整された直後の空気の温度を検知することができる。
A wet and dry bulb type humidity sensor 20 is provided in the vicinity of the air blowing portion 16 of the air flow path 15. The wet and dry bulb type humidity sensor 20 includes a dry side temperature sensor 21 and a wet side temperature sensor 22.
In the present embodiment, the dry-side temperature sensor 21 also functions as auxiliary temperature detection means and adjusted temperature detection means.
The dry / wet bulb type humidity sensor 20 is provided in the vicinity of the air blowing section 16 of the air flow path 15, and can detect the relative humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioning section 17. Further, the dry-side temperature sensor 21 of the dry / wet bulb type humidity sensor 20 also functions as an adjusted temperature detecting means, and can detect the temperature of the air immediately after being adjusted by the air conditioning unit 17.

本実施形態の環境試験装置1は、従来技術の構成に加えて室内温度検知手段23が設けられている。室内温度検知手段23は、公知の温度センサーであり、試験室5内にあって試験室5内の温度を検知する。即ち実際に被試験物18が設置される領域の温度を室内温度検知手段23によって検知することができる。
本実施形態では、室内温度検知手段23は移動可能であり、試験内容に応じて任意の位置に設置することができる。
The environmental test apparatus 1 of the present embodiment is provided with an indoor temperature detection means 23 in addition to the configuration of the prior art. The room temperature detection means 23 is a known temperature sensor and detects the temperature in the test chamber 5 in the test chamber 5. That is, the temperature of the area where the DUT 18 is actually installed can be detected by the room temperature detecting means 23.
In the present embodiment, the indoor temperature detection means 23 is movable and can be installed at an arbitrary position according to the test contents.

常識的に、室内温度検知手段23の設置位置は、空気流路15の空気吹き出し部16及び空気導入部25のいずれからも離れており、被試験物18が設置される場所に近い位置である。相対的に説明すると、室内温度検知手段23の設置位置は、乾湿球式湿度センサー20よりも被試験物18に近く、空気吹き出し部16から遠い位置である。また室内温度検知手段23の設置位置は、乾湿球式湿度センサー20が設置された位置よりも風速が遅い位置でもある。   Commonly, the installation position of the indoor temperature detection means 23 is far from both the air blowing section 16 and the air introduction section 25 of the air flow path 15 and is a position close to the place where the DUT 18 is installed. . If it demonstrates relatively, the installation position of the indoor temperature detection means 23 will be closer to the DUT 18 than the dry / wet bulb type humidity sensor 20 and far from the air blowing portion 16. Moreover, the installation position of the room temperature detection means 23 is also a position where the wind speed is slower than the position where the wet and dry bulb type humidity sensor 20 is installed.

環境試験装置1は、図1の様に制御装置27を有し、制御装置27によって空気調和部17が動作される。制御装置27は、温調器30の機能も有している。また制御装置27には、設定値を入力する設定入力手段26が接続されている。設定入力手段26は、公知のタッチパネル等である。
さらに制御装置27には記録装置31が接続されている。記録装置31は、試験室5内の温度と湿度を記録するものである。
The environmental test apparatus 1 includes a control device 27 as shown in FIG. 1, and the air conditioning unit 17 is operated by the control device 27. The control device 27 also has a function of the temperature controller 30. The control device 27 is connected to setting input means 26 for inputting setting values. The setting input unit 26 is a known touch panel or the like.
Further, a recording device 31 is connected to the control device 27. The recording device 31 records the temperature and humidity in the test chamber 5.

本実施形態の環境試験装置1は、特有の温湿度制御方法によって環境が制御される。以下、説明する。
前記した制御装置27には、前記した乾側温度センサー21と、湿側温度センサー22及び室内温度検知手段23の検出信号が入力される。また制御装置27には、設定入力手段26によって設定温度と設定湿度とが入力される。
The environment test apparatus 1 according to the present embodiment controls the environment by a specific temperature and humidity control method. This will be described below.
The control device 27 receives the dry side temperature sensor 21, detection signals from the wet side temperature sensor 22 and the indoor temperature detection means 23. In addition, the set temperature and the set humidity are input to the control device 27 by the setting input unit 26.

また制御装置27には図示しないCPUが内蔵されており、次の演算が行われる。
(1)実水蒸気関連値の算出
制御装置27では、乾側温度センサー21と、湿側温度センサー22の検知信号が入力され、空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧が演算される。
より具体的には、乾側温度センサー21が検知した空気調和部17から排出された直後の空気の温度から、飽和水蒸気圧が演算される。また乾側温度センサー21又は湿側温度センサー22の検出値と、両者の差から湿度が演算される。
さらに飽和水蒸気圧と湿度の積によって空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧が演算される。
The control device 27 incorporates a CPU (not shown), and performs the following calculation.
(1) Calculation of actual water vapor related value In the control device 27, detection signals of the dry side temperature sensor 21 and the wet side temperature sensor 22 are input, and the water vapor partial pressure of the air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 is calculated. Is done.
More specifically, the saturated water vapor pressure is calculated from the temperature of the air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 detected by the dry side temperature sensor 21. Further, the humidity is calculated from the detected value of the dry side temperature sensor 21 or the wet side temperature sensor 22 and the difference between them.
Furthermore, the water vapor partial pressure of the air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 is calculated by the product of the saturated water vapor pressure and humidity.

(2)設定水蒸気関連値の算出
制御装置27では、設定入力手段で入力された設定温度と設定湿度から、設定環境における水蒸気分圧が演算される。
より具体的には、設定温度における飽和水蒸気圧が演算され、当該飽和水蒸気圧と、設定湿度の積によって設定環境における水蒸気分圧が演算される。
(2) Calculation of set water vapor related value In the control device 27, the water vapor partial pressure in the set environment is calculated from the set temperature and the set humidity input by the setting input means.
More specifically, the saturated water vapor pressure at the set temperature is calculated, and the water vapor partial pressure in the set environment is calculated by the product of the saturated water vapor pressure and the set humidity.

(3)吐き出し適正温度の算出
制御装置27では、設定温度と室内温度検知手段23の検知温度に基づいて必要な熱量又は冷熱量が演算され、空気調和部17で調整後の空気の目標温度(吐き出し適正温度)が算出される。
即ち設定温度と室内温度検知手段23の検知温度の差を利用し、試験室5内の温度を設定温度に維持するために必要な熱量が演算される。そして当該演算値と、送風機10の送風量あるいは送風循環量から、空気調和部17で調整後の空気の目標温度(吐き出し適正温度)を算出する。
吐き出し適正温度は必ずしも設定温度とは一致せず、設定温度よりも高い場合も低い場合もある。
室内温度検知手段23の検知温度が設定環境の温度よりも低い場合は、演算される吐き出し適正温度は設定温度よりも高くなる傾向となる。逆に室内温度検知手段23の検知温度が設定環境の温度よりも高い場合は、吐き出し適正温度は設定温度よりも低くなる傾向がある。
(3) Calculation of appropriate discharge temperature In the control device 27, the necessary heat amount or cold heat amount is calculated based on the set temperature and the detected temperature of the room temperature detecting means 23, and the target air temperature after adjustment by the air conditioning unit 17 ( The appropriate discharge temperature is calculated.
That is, using the difference between the set temperature and the detected temperature of the room temperature detecting means 23, the amount of heat necessary for maintaining the temperature in the test chamber 5 at the set temperature is calculated. Then, the target air temperature (appropriate discharge temperature) after adjustment by the air conditioner 17 is calculated from the calculated value and the air flow rate or the air circulation rate of the blower 10.
The appropriate discharge temperature does not necessarily coincide with the set temperature, and may be higher or lower than the set temperature.
When the detected temperature of the indoor temperature detection means 23 is lower than the temperature of the set environment, the calculated appropriate discharge temperature tends to be higher than the set temperature. On the contrary, when the temperature detected by the room temperature detecting means 23 is higher than the temperature of the set environment, the appropriate discharge temperature tends to be lower than the set temperature.

本実施形態の環境試験装置1では、制御装置27によって、乾側温度センサー(調整済温度検知手段)21の検知温度が、空気調和部17で調整直後の空気の目標温度(吐き出し適正温度)と一致する様に、空気調和部17に対する制御信号が作成される。
より具体的には、乾側温度センサー(調整済温度検知手段)21の検知温度がフィードバックされ、乾側温度センサー21の検知温度が、試験室5内の温度を設定入力手段で入力された設定温度と一致させるのに適切な熱量を持つ目標温度(吐き出し適正温度)となる様に、空気調和部17内の各機器が制御される。
In the environmental test apparatus 1 of the present embodiment, the detected temperature of the dry-side temperature sensor (adjusted temperature detecting means) 21 is controlled by the control device 27 so as to be the target temperature of air immediately after being adjusted by the air conditioning unit 17 (appropriate discharge temperature). A control signal for the air conditioner 17 is created so as to match.
More specifically, the detected temperature of the dry side temperature sensor (adjusted temperature detecting means) 21 is fed back, and the detected temperature of the dry side temperature sensor 21 is set by inputting the temperature in the test chamber 5 by the setting input means. Each device in the air conditioning unit 17 is controlled so as to achieve a target temperature (an appropriate discharge temperature) having an appropriate amount of heat to match the temperature.

さらに具体的に説明すると、本実施形態では、室内温度検知手段23が検知する試験室5内の温度と、乾側温度センサー(調整済温度検知手段)21が検知する調整直後の空気の温度が制御装置27に入力され、PID制御によって空気調和部17で調整後の空気の目標温度(吐き出し適正温度)が演算される。そしてさらにこの演算値を入力し、空気調和部17内の各機器がPID制御される。
この様に本実施形態では、二重のフィードバック制御によって空気調和部17内の各機器が制御される。より詳細には、二重のPID制御によって空気調和部17内の各機器が制御される。
More specifically, in the present embodiment, the temperature in the test chamber 5 detected by the room temperature detection means 23 and the temperature of the air immediately after adjustment detected by the dry temperature sensor (adjusted temperature detection means) 21 are as follows. The target air temperature (appropriate discharge temperature) after being input to the control device 27 and adjusted by the air conditioning unit 17 by PID control is calculated. Further, this calculated value is input, and each device in the air conditioning unit 17 is PID-controlled.
Thus, in this embodiment, each apparatus in the air conditioning part 17 is controlled by double feedback control. More specifically, each device in the air conditioning unit 17 is controlled by double PID control.

また、制御装置27で演算された空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧が、設定環境における水蒸気分圧と一致する様に空気調和部17内の各機器が制御される。即ち加湿する必要がある場合は、加湿装置6の出力を増加させて空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧を上昇させる。除湿する必要がある場合は、加湿装置6の出力を低下させるか、冷凍機11の冷媒蒸発温度を低下させて空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧を降下させる。
水蒸気分圧を一致させる制御についても、公知のPID制御が採用されている。
Moreover, each apparatus in the air conditioning part 17 is controlled so that the water vapor partial pressure of the air immediately after being discharged | emitted from the air conditioning part 17 calculated by the control apparatus 27 corresponds with the water vapor partial pressure in a setting environment. That is, when it is necessary to humidify, the output of the humidifier 6 is increased to increase the water vapor partial pressure immediately after being discharged from the air conditioning unit 17. If it is necessary to dehumidify, the output of the humidifier 6 is reduced or the refrigerant evaporation temperature of the refrigerator 11 is lowered to lower the water vapor partial pressure immediately after being discharged from the air conditioning unit 17.
A well-known PID control is also employed for the control for matching the water vapor partial pressure.

制御装置27における信号の流れ、あるいはソフトウエア上の流れは、図2の通りである。
即ち設定温度の情報と設定湿度の情報が、水蒸気分圧計算部(設定)に送られて設定環境における水蒸気分圧が演算される。設定温度の情報は、前記した設定入力手段26から制御装置27に入力された情報である。設定湿度の情報も同様であり、設定入力手段26から制御装置27に入力された情報である。
The flow of signals in the control device 27 or the flow on software is as shown in FIG.
That is, the information on the set temperature and the information on the set humidity are sent to the water vapor partial pressure calculator (setting) to calculate the water vapor partial pressure in the set environment. The set temperature information is information input from the setting input unit 26 to the control device 27. The same applies to information on the set humidity, which is information input from the setting input means 26 to the control device 27.

また吹き出し部16近傍の乾球温度と、湿球温度が水蒸気分圧計算部(実際)に送られて空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧が演算される。
ここで吹き出し部16近傍の乾球温度は、乾側温度センサー21から制御装置27に入力される情報であり、吹き出し部16近傍の湿球温度は、湿側温度センサー22の検知信号である。
設定環境における水蒸気分圧を示す信号と、空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧を示す信号が、それぞれ加湿装置6を制御するPID制御部と、冷凍機11を制御して除湿量を調節するPID制御部に送られる。そして各PID制御部によって加湿装置6と冷凍機11が制御される。
Further, the water vapor partial pressure immediately after the dry bulb temperature and the wet bulb temperature in the vicinity of the blowing unit 16 are sent to the water vapor partial pressure calculation unit (actual) and discharged from the air conditioning unit 17 is calculated.
Here, the dry bulb temperature in the vicinity of the blowing section 16 is information input from the dry side temperature sensor 21 to the control device 27, and the wet bulb temperature in the vicinity of the blowing section 16 is a detection signal of the wet side temperature sensor 22.
A signal indicating the water vapor partial pressure in the setting environment and a signal indicating the water vapor partial pressure of the air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 control the humidifier 6 and the refrigerator 11 respectively. It is sent to the PID controller that adjusts the amount of dehumidification. The humidifier 6 and the refrigerator 11 are controlled by each PID controller.

また試験室5内の温度と、設定温度と、乾側温度センサー21の検知温度が、カスケード制御部に入力され、吐き出し適正温度が演算される。即ちカスケード制御部は、PID制御を実行し、試験室5内の温度が、設定温度となる為の空気調和部17からの吐き出し適正温度が演算される。
試験室5内の温度は、室内温度検知手段23が検知した検知温度であり、設定温度は、設定入力手段26で入力された値である。また乾側温度センサー21は、調整済温度検知手段としての機能を果たし、空気調和部17で調整された直後の空気の温度を検知してカスケード制御部に送信する。
Further, the temperature in the test chamber 5, the set temperature, and the detected temperature of the dry temperature sensor 21 are input to the cascade control unit, and the appropriate discharge temperature is calculated. That is, the cascade control unit performs PID control, and calculates the appropriate discharge temperature from the air conditioning unit 17 so that the temperature in the test chamber 5 becomes the set temperature.
The temperature in the test chamber 5 is a detected temperature detected by the room temperature detecting means 23, and the set temperature is a value input by the setting input means 26. The dry-side temperature sensor 21 functions as an adjusted temperature detection unit, detects the temperature of the air immediately after being adjusted by the air conditioning unit 17, and transmits it to the cascade control unit.

そしてカスケード制御部の出力信号と、乾側温度センサー21の信号が、それぞれ加熱装置8を制御するPID制御部と、冷凍機11を制御して冷却量を調節するPID制御部に送られる。そして各PID制御部によって加熱装置8と冷凍機11が制御される。   And the output signal of a cascade control part and the signal of the dry side temperature sensor 21 are each sent to the PID control part which controls the heating apparatus 8, and the PID control part which controls the refrigerator 11 and adjusts the cooling amount. And the heating apparatus 8 and the refrigerator 11 are controlled by each PID control part.

本実施形態の環境試験装置1では、試験室5内の実際の温度を室内温度検知手段23で検知し、これに基づいて空気調和部17で調整された直後の空気の温度を二段階にフィードバックして空気調和部17内の各機器を制御し、試験室5内の温度を調節するので、試験室5内の温度が設定温度に一致する。そのため、環境試験装置1では、従来の様に設定温度をオフセットして入力する必要はない。
また本実施形態の環境試験装置1では、空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧を検知し、これをフィードバックして設定環境における水蒸気分圧と一致させる。
水蒸気分圧は、気温に依存しないので、試験室5内の温度が設定温度に一致した際には、試験室5内の湿度も設定値に一致することとなる。
そのため、環境試験装置1では、従来の様に設定湿度をオフセットして入力する必要はない。
In the environmental test apparatus 1 of the present embodiment, the actual temperature in the test chamber 5 is detected by the room temperature detection means 23, and the temperature of the air immediately after being adjusted by the air conditioning unit 17 based on this is fed back in two stages. Then, since each device in the air conditioning unit 17 is controlled and the temperature in the test chamber 5 is adjusted, the temperature in the test chamber 5 matches the set temperature. Therefore, in the environmental test apparatus 1, it is not necessary to input the set temperature with an offset as in the prior art.
Moreover, in the environmental test apparatus 1 of this embodiment, the water vapor partial pressure of the air immediately after discharged | emitted from the air conditioning part 17 is detected, this is fed back, and it is made to correspond with the water vapor partial pressure in a setting environment.
Since the water vapor partial pressure does not depend on the air temperature, when the temperature in the test chamber 5 matches the set temperature, the humidity in the test chamber 5 also matches the set value.
Therefore, it is not necessary for the environmental test apparatus 1 to input the set humidity with an offset as in the prior art.

以上説明した実施形態では、湿度検知手段として乾湿球式湿度センサー20を採用した。乾湿球式湿度センサー20は、乾側温度センサー21を有し、別途の補助温度検知手段や調整済温度検知手段を設ける必要が無いという点で推奨される。
しかしながら本発明は、この構成に限定されるものではなく、他の物理現象を利用した湿度センサーを採用することもできる。例えば吸湿材の電気特性の変化を測定して湿度を求める電気式湿度センサーを利用することもできる。
ただし乾湿球式湿度センサー20以外の湿度センサーを利用する場合は、湿度センサーの近傍に別途の補助温度検知手段等の温度センサーを設ける必要がある。
In the embodiment described above, the wet and dry bulb type humidity sensor 20 is employed as the humidity detecting means. The dry / wet bulb type humidity sensor 20 has a dry temperature sensor 21 and is recommended in that it does not require a separate auxiliary temperature detection means or an adjusted temperature detection means.
However, the present invention is not limited to this configuration, and a humidity sensor using another physical phenomenon can also be employed. For example, an electrical humidity sensor that determines the humidity by measuring a change in the electrical characteristics of the hygroscopic material can also be used.
However, when a humidity sensor other than the wet and dry bulb type humidity sensor 20 is used, it is necessary to provide a temperature sensor such as a separate auxiliary temperature detecting means in the vicinity of the humidity sensor.

例えば電気式湿度センサーを利用する場合の実水蒸気関連値の算出方法は、次の通りとなる。
即ち制御装置27では、電気式湿度センサーと補助温度検知手段の検知信号が入力される。そして補助温度検知手段が検知した空気調和部17から排出された直後の空気の温度から、飽和水蒸気圧が演算される。
そして飽和水蒸気圧と、電気式湿度センサーが検出した湿度の積によって空気調和部17から排出された直後の空気の水蒸気分圧を演算する。
制御装置27における信号の流れ、あるいはソフトウエア上の流れは、図3の通りである。
For example, the calculation method of the actual water vapor related value when using an electric humidity sensor is as follows.
That is, in the control device 27, detection signals from the electric humidity sensor and the auxiliary temperature detection means are input. Then, the saturated water vapor pressure is calculated from the temperature of the air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 detected by the auxiliary temperature detecting means.
And the water vapor partial pressure of the air immediately after discharged | emitted from the air conditioning part 17 is calculated by the product of saturated water vapor pressure and the humidity which the electric humidity sensor detected.
The signal flow or software flow in the control device 27 is as shown in FIG.

また上記した実施形態では、設定水蒸気関連値を算出したが、これに代わって必要水蒸気関連値を算出し、これを設定水蒸気関連値の代わりに使用してもよい。必要水蒸気関連値の算出は次の手順によって行われる。
(4)必要水蒸気関連値の算出
必要水蒸気関連値は、設定環境における湿度を現実の温度条件下で維持するために要する水蒸気分圧である。
制御装置27では、室内温度検知手段23の検知温度と設定湿度から、設定環境における湿度を現実の温度条件下で維持するために要する水蒸気分圧が演算される。
より具体的には、現実の温度における飽和水蒸気圧が演算され、当該飽和水蒸気圧と、設定湿度の積によって現実の温度条件下で設定の湿度とする為の水蒸気分圧を演算する。
In the above-described embodiment, the set water vapor related value is calculated, but instead, the necessary water vapor related value may be calculated and used instead of the set water vapor related value. The required water vapor related value is calculated by the following procedure.
(4) Calculation of required water vapor related value The required water vapor related value is a water vapor partial pressure required to maintain the humidity in the set environment under actual temperature conditions.
In the control device 27, the water vapor partial pressure required to maintain the humidity in the set environment under the actual temperature condition is calculated from the detected temperature of the room temperature detecting means 23 and the set humidity.
More specifically, the saturated water vapor pressure at the actual temperature is calculated, and the water vapor partial pressure for obtaining the set humidity under the actual temperature condition is calculated by the product of the saturated water vapor pressure and the set humidity.

また上記した実施形態では、加熱装置8と冷凍機11の双方をPID制御したが、いずれか一方だけをPID制御し、他方を常時一定の出力で運転してもよい。いずれか一方をPID制御する場合には、加熱装置8だけをPID制御することが望ましい。即ち加熱装置8だけをフィードバック制御することが望ましい。この場合の制御装置27における信号の流れ、あるいはソフトウエア上の流れは、図4の通りである。   In the above-described embodiment, both the heating device 8 and the refrigerator 11 are PID-controlled. However, only one of them may be PID-controlled and the other may be always operated with a constant output. When either one is PID controlled, it is desirable that only the heating device 8 be PID controlled. That is, it is desirable to feedback control only the heating device 8. In this case, the flow of signals in the control device 27 or the flow on the software is as shown in FIG.

また以上説明した実施形態では、実水蒸気関連値等をいずれも演算によって求めたが、入力値に対する水蒸気分圧等の関係を予め記憶しておいてもよい。
また上記した実施形態では、実水蒸気関連値等として水蒸気分圧を利用したが、これに代わって水蒸気量や絶対湿度を利用することも可能である。要するに、湿度に関連し、温度に依存しない物理量を実水蒸気関連値等として採用する。
In the embodiment described above, the actual water vapor related value and the like are all obtained by calculation, but the relationship such as the partial pressure of water vapor to the input value may be stored in advance.
In the embodiment described above, the water vapor partial pressure is used as the actual water vapor related value or the like, but it is also possible to use the water vapor amount or the absolute humidity instead. In short, a physical quantity that is related to humidity and does not depend on temperature is adopted as an actual water vapor-related value.

また上記した実施形態では、吐き出し適正温度を算出し、空気調和部17で調整された直後の空気が吐き出し適正温度となる様に制御した。参考技術として、上記した実施形態に対し、試験室5内の温度が設定温度となる様に空気調和部17から吐出される空気の温度を制御することも考えられる。即ち参考技術として、吐き出し適正温度を演算する過程を経ることなく、直接、試験室5内の温度を空気調和部17にフィードバックすることが考えられる。   Moreover, in above-mentioned embodiment, the discharge appropriate temperature was calculated and it controlled so that the air immediately after adjusting with the air conditioning part 17 became a discharge appropriate temperature. As a reference technique, it is also conceivable to control the temperature of the air discharged from the air conditioning unit 17 so that the temperature in the test chamber 5 becomes the set temperature for the above embodiment. That is, as a reference technique, it is conceivable to feed back the temperature in the test chamber 5 directly to the air conditioner 17 without going through the process of calculating the appropriate discharge temperature.

しかしながら、この参考技術は弊害が大きい。
特に上記した実施形態の様に室内温度検知手段23を移動可能とした場合には弊害がある。即ち上記した実施形態の環境試験装置1は、室内温度検知手段23の位置を試験内容に合わせて変えることができる。
室内温度検知手段23を移動可能とし、且つ直接、試験室5内の温度をフィードバック制御する方策を採用すると、試験室5内の温度がオーバーシュートしたりアンダーシュートしてしまう傾向がある。またハンチングを起こしやすいという問題もある。
この理由は、室内温度検知手段23の設置位置によって室内温度検知手段23の応答時間が変わってしまうからである。
一方、上記した様に、吐き出し適正温度を算出する方策によると、空気調和部17で調整された直後の温度を測定する位置が一定であり、温度応答時間が一定となるので、試験室5内の温度に乱れが少ない。
However, this reference technique is very harmful.
In particular, there is an adverse effect when the indoor temperature detecting means 23 is movable as in the above-described embodiment. That is, the environmental test apparatus 1 according to the above-described embodiment can change the position of the room temperature detecting means 23 according to the test contents.
If a measure is adopted in which the indoor temperature detection means 23 is movable and the temperature in the test chamber 5 is directly feedback controlled, the temperature in the test chamber 5 tends to overshoot or undershoot. There is also a problem that hunting is likely to occur.
The reason for this is that the response time of the indoor temperature detection means 23 varies depending on the installation position of the indoor temperature detection means 23.
On the other hand, as described above, according to the measure for calculating the proper discharge temperature, the position for measuring the temperature immediately after being adjusted by the air conditioning unit 17 is constant, and the temperature response time is constant. There is little disturbance in the temperature.

また公知のPID制御装置には、PIDパラメータを変更できるだけでなく、操作量の上限や下限を設定することができるものも多い。そのため被試験物の量や、発熱の有無による負荷変動があった場合に、上限や下限の設定や、PIDパラメータを変更することにより、空気調和部17内の温度制御とは切り離して問題解決を図ることができる。   Many known PID control devices not only can change PID parameters but also can set an upper limit and a lower limit of an operation amount. Therefore, when there is a load change due to the amount of the DUT or the presence or absence of heat generation, the problem can be solved separately from the temperature control in the air conditioner 17 by changing the upper and lower limits and changing the PID parameter. Can be planned.

本発明の温湿度制御方法は、安定性試験以外の試験を実施する環境試験装置にも適用可能である。さらに本発明の温湿度制御方法は、環境試験装置以外のものにも適用可能である。   The temperature and humidity control method of the present invention can also be applied to an environmental test apparatus that performs tests other than the stability test. Furthermore, the temperature and humidity control method of the present invention can be applied to devices other than the environmental test apparatus.

上記した実施形態の環境試験装置1は、室内温度検知手段23の設置場所を変更することができるが、温度分布を重視する環境試験を行う場合には、予備実験を行って試験室5内の温度分布を測定し、その中心温度を示す位置に室内温度検知手段23を設置する。
なお本発明者らの実験によると、空気導入部25の近傍が、温度分布の中心温度を示す位置である場合が多い。
被被試験物18が発熱または吸熱するものである場合は、被試験物18の近傍に室内温度検知手段23を設置することが望ましい。
The environmental test apparatus 1 according to the above-described embodiment can change the installation location of the indoor temperature detection means 23. However, when performing an environmental test that places importance on the temperature distribution, a preliminary experiment is performed. The temperature distribution is measured, and the room temperature detecting means 23 is installed at a position indicating the center temperature.
According to the experiments by the present inventors, the vicinity of the air introduction part 25 is often a position indicating the center temperature of the temperature distribution.
When the device under test 18 generates or absorbs heat, it is desirable to install the room temperature detecting means 23 in the vicinity of the device under test 18.

次に、本発明の効果を確認するために行った実験について説明する。
(実験1)
本発明の実施形態として、図1に示す構造及び図2に示す制御方法の環境試験装置1を使用した。
設定入力手段26により、設定温度として摂氏25度、設定相対湿度として60パーセントを入力した。
その結果、試験室5内の温度は設定通りの摂氏25度となり、試験室5内の相対湿度は、設定通りの60パーセントとなった。
なお空気調和部17から吐出された直後の空気は、摂氏27度であり、相対湿度は53パーセントであった。
Next, an experiment conducted for confirming the effect of the present invention will be described.
(Experiment 1)
As an embodiment of the present invention, the environment test apparatus 1 of the structure shown in FIG. 1 and the control method shown in FIG. 2 was used.
The setting input means 26 inputs 25 degrees Celsius as the set temperature and 60 percent as the set relative humidity.
As a result, the temperature in the test chamber 5 was 25 degrees Celsius as set, and the relative humidity in the test chamber 5 was 60 percent as set.
The air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 was 27 degrees Celsius and the relative humidity was 53 percent.

これに対して従来技術の環境試験装置100によると、設定温度が摂氏25度であるにも係わらず室内温度は摂氏23度であった。また設定相対湿度は、60パーセントであるにも係わらす試験室5内の相対湿度は68パーセントであった。   On the other hand, according to the environmental test apparatus 100 of the prior art, the room temperature was 23 degrees Celsius although the set temperature was 25 degrees Celsius. The relative humidity in the test chamber 5 was 68% even though the set relative humidity was 60%.

(実験2)
本発明の実施形態として、図1に示す構造及び図2に示す制御方法の環境試験装置1を使用した。そして設定温度と試験室5の各部(10点)の温度分布及び湿度分布を比較した。なお設定温度は、摂氏40度、設定相対湿度は75パーセントであった。
その結果、設定温度と試験室5各部の温度差は、摂氏0.5度未満であった。
設定相対湿度と試験室5各部の相対湿度との湿度差は、2.5パーセント未満であった。
(Experiment 2)
As an embodiment of the present invention, the environment test apparatus 1 of the structure shown in FIG. 1 and the control method shown in FIG. 2 was used. Then, the set temperature and the temperature distribution and humidity distribution of each part (10 points) of the test chamber 5 were compared. The set temperature was 40 degrees Celsius and the set relative humidity was 75 percent.
As a result, the temperature difference between the set temperature and each part of the test chamber 5 was less than 0.5 degrees Celsius.
The humidity difference between the set relative humidity and the relative humidity of each part of the test chamber 5 was less than 2.5%.

これに対して従来技術の環境試験装置100によると、設定温度と試験室5各部の温度との温度差は、最大で摂氏1.8度であった。
設定相対湿度と試験室5各部の相対湿度との湿度差は、最大で6.5パーセントであった。
On the other hand, according to the environmental test apparatus 100 of the prior art, the maximum temperature difference between the set temperature and the temperature of each part of the test chamber 5 was 1.8 degrees Celsius.
The maximum humidity difference between the set relative humidity and the relative humidity of each part of the test chamber 5 was 6.5 percent.

(実験3)
本発明の実施形態として、図1に示す構造及び図2に示す制御方法の環境試験装置1を使用した。設定温度は摂氏15度、設定相対湿度を50パーセントに設定した。
そして試験室5内に3KWの熱負荷(熱源)を設置し、初めに熱負荷を掛けない状態で環境試験装置1を運転し、一定時間が経過して試験室5の環境が安定した後に3KWの熱負荷を起動した。
その結果、熱負荷を掛けない状態における試験室5内の温度は設定通りの摂氏15度となり、試験室5内の相対湿度は、設定通りの50パーセントとなった。
なお空気調和部17から吐出された直後の空気は、摂氏14度であり、相対湿度は50パーセントであった。
3KWの熱負荷を起動した直後は、試験室5内の環境が乱れたが、約10分後には収斂して試験室5内の温度は設定通りの摂氏15度となり、試験室5内の相対湿度は、設定通りの50パーセントとなった。
なお空気調和部17から吐出された直後の空気は、摂氏12度であり、相対湿度は50パーセントであった。
(Experiment 3)
As an embodiment of the present invention, the environment test apparatus 1 of the structure shown in FIG. 1 and the control method shown in FIG. 2 was used. The set temperature was set to 15 degrees Celsius and the set relative humidity was set to 50 percent.
Then, a 3 KW heat load (heat source) is installed in the test chamber 5, and the environmental test apparatus 1 is operated in a state where no heat load is first applied. The heat load was started.
As a result, the temperature in the test chamber 5 when no heat load was applied was 15 degrees Celsius as set, and the relative humidity in the test chamber 5 was 50 percent as set.
The air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 was 14 degrees Celsius, and the relative humidity was 50 percent.
Immediately after starting the 3KW heat load, the environment in the test chamber 5 was disturbed, but after about 10 minutes, the temperature in the test chamber 5 was converged and the temperature in the test chamber 5 became 15 degrees Celsius as set. Humidity was 50 percent as set.
The air immediately after being discharged from the air conditioning unit 17 was 12 degrees Celsius, and the relative humidity was 50 percent.

これに対して従来技術の環境試験装置100によると、熱負荷を掛けない状態における試験室5内の温度は摂氏16度となり、試験室5内の相対湿度は、48パーセントとなった。
即ち試験室5内の温度は、設定温度に対して摂氏1度高くなってしまった。また試験室5内の相対湿度は、設定温度に対して2パーセント低くなってしまった。
また3KWの熱負荷を起動した直後は、試験室5内の環境が乱れた。そして約10分後には収斂したが、試験室5内の温度及び相対湿度と、設定温度等との差はより広がってしまった。即ち試験室5内の温度は摂氏18度となり、試験室5内の相対湿度は46パーセントとなってしまった。
On the other hand, according to the environmental test apparatus 100 of the prior art, the temperature in the test chamber 5 in a state where no heat load was applied was 16 degrees Celsius, and the relative humidity in the test chamber 5 was 48 percent.
That is, the temperature in the test chamber 5 has become 1 degree Celsius higher than the set temperature. Further, the relative humidity in the test chamber 5 was 2% lower than the set temperature.
Immediately after starting the 3 KW heat load, the environment in the test chamber 5 was disturbed. Then, after about 10 minutes, it converged, but the difference between the temperature and relative humidity in the test chamber 5 and the set temperature and the like was further widened. That is, the temperature in the test chamber 5 was 18 degrees Celsius, and the relative humidity in the test chamber 5 was 46 percent.

(実験4)
本発明の実施形態として、図1に示す構造及び図2に示す制御方法の環境試験装置1を使用した。設定環境を摂氏15度、相対湿度50パーセントに設定して環境試験装置1を運転した。運転の最中に、3KWの熱負荷を入り切りした。また運転の最中に、環境試験装置1の扉を開閉した。
またこれに連続して設定環境を摂氏30度、相対湿度80パーセントに切替え、先と同様に運転の最中に、3KWの熱負荷を入り切りした。また運転の最中に、環境試験装置1の扉を開閉した。
(Experiment 4)
As an embodiment of the present invention, the environment test apparatus 1 of the structure shown in FIG. 1 and the control method shown in FIG. 2 was used. The environment test apparatus 1 was operated with the setting environment set to 15 degrees Celsius and 50% relative humidity. During the operation, the heat load of 3 KW was turned on and off. During the operation, the door of the environmental test apparatus 1 was opened and closed.
Continuously, the setting environment was switched to 30 degrees Celsius and 80 percent relative humidity, and the heat load of 3 KW was turned on and off during the operation as before. During the operation, the door of the environmental test apparatus 1 was opened and closed.

その結果、3KW熱負荷を投入した直後や、扉を開閉した直後、設定を変更した直後は、試験室5内の環境が乱れるものの、時間の経過と共に設定環境に収斂した。   As a result, immediately after the 3KW heat load was applied, immediately after the door was opened and closed, and immediately after the setting was changed, the environment in the test chamber 5 was disturbed, but converged to the setting environment as time passed.

以上の各結果から、本発明の環境試験装置1の優位性が理解できる。   From the above results, the superiority of the environmental test apparatus 1 of the present invention can be understood.

1 環境試験装置
2 断熱壁
5 試験室
6 加湿装置
7 冷却装置
8 加熱ヒータ(加熱装置)
10 送風機
11 冷凍機
15 空気流路
16 空気吹き出し部
17 空気調和部
18 被試験物
20 乾湿球式湿度センサー
21 乾側温度センサー
22 湿側温度センサー
23 室内温度検知手段
26 設定入力手段
27 制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Environmental test apparatus 2 Heat insulation wall 5 Test chamber 6 Humidification apparatus 7 Cooling apparatus 8 Heating heater (heating apparatus)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Blower 11 Refrigerator 15 Air flow path 16 Air blowing part 17 Air conditioning part 18 Test object 20 Wet and wet bulb type humidity sensor 21 Dry side temperature sensor 22 Wet side temperature sensor 23 Indoor temperature detection means 26 Setting input means 27 Control device

Claims (12)

被試験物を設置する試験室と、温度及び湿度を調整する機器を内蔵し前記機器で調整された空気を試験室に導入する空気調和部とを有し、空気調和部内の機器を制御することによって試験室内の環境を所望の設定環境に維持する環境試験装置において、
試験室と環状に連通する空気流路があり、空気流路とその内部の部材によって前記空気調和部が構成されており、
試験室と空気流路は、空気流路の空気吹き出し口で連通し、
空気吹き出し口の近傍にあって空気調和部で調整された直後の空気の温度を検知する調整済温度検知手段と、
試験室内にあって調整済温度検知手段よりも空気吹き出し口から遠く、被試験物が設置される領域の試験室内の温度であって試験室内の温度の中心温度を示す場所であると特定された位置の温度を検知する室内温度検知手段を有し、
設定環境の温度と室内温度検知手段の検知温度から空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算し、調整済温度検知手段の検知温度が前記目標温度に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする環境試験装置。
A test chamber in which the DUT is installed and an air conditioning unit that incorporates a device for adjusting temperature and humidity and introduces the air adjusted by the device into the test chamber, and controls the devices in the air conditioning unit In the environmental test apparatus for maintaining the environment in the test chamber in a desired setting environment by
There is an air flow path that communicates with the test chamber in a ring shape, and the air conditioning section is configured by the air flow path and members therein.
The test chamber communicates with the air channel at the air outlet of the air channel.
Adjusted temperature detection means for detecting the temperature of air immediately after being adjusted by the air conditioning unit in the vicinity of the air outlet,
Identified as a location in the test room that is farther from the air outlet than the adjusted temperature sensing means and that is the temperature in the test room in the area where the DUT is installed and that indicates the center temperature of the temperature in the test room It has an indoor temperature detection means for detecting the temperature of the position ,
The target temperature of the air after the adjustment from the detection temperature of the temperature and the indoor temperature detector setting environmental air conditioning unit calculates, adjusted the temperature sensing means sensing the temperature of the air conditioning part as closer to the target temperature equipment An environmental test apparatus characterized by controlling the temperature.
試験室と空気流路は、空気流路の空気導入部で連通するものであり、The test chamber and the air channel communicate with each other at the air introduction part of the air channel,
前記特定された位置が前記空気導入部の近傍の位置であることを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置。The environmental test apparatus according to claim 1, wherein the specified position is a position in the vicinity of the air introduction unit.
空気調和部は送風機を有し、空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算する際に、送風機の送風量あるいは送風循環量を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の環境試験装置。 Air conditioning unit has a blower, the adjusted air conditioning unit when calculating the target temperature of the air, according to claim 1 or 2, characterized in Rukoto with air volume or an air convection rate of the blower Environmental test equipment. 試験室内の温度の中心温度を示す場所は予備実験により特定された位置であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の環境試験装置。 Location indicating the center temperature of the temperature of the test chamber environmental test device according to any one of claims 1 to 3, wherein the position der Rukoto identified by preliminary experiments. 気吹き出し口の近傍にあって空気調和部で調整された直後の空気の相対湿度を検知する湿度検知手段を有し
湿度検知手段から空気調和部で調整された直後の空気の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度の少なくともいずれかからなる実水蒸気関連値を演算し、
設定環境における空気の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度の少なくともいずれかからなる設定水蒸気関連値に、前記実水蒸気関連値が近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の環境試験装置。
In the vicinity of the air outlet has a humidity detecting means for detecting the relative humidity of the air immediately after it is adjusted by the air conditioning unit,
Water vapor content of the air immediately after the humidity detecting means is adjusted by the air conditioning unit, the water vapor partial pressure, the actual water vapor related value of at least one of an absolute humidity is calculated,
Water vapor content of the air in the setting environment, water vapor partial pressure, at least set the water vapor related value consisting of either absolute humidity claims, characterized in that for controlling the device of the as actual steam-related value approaches the air conditioning unit The environmental test apparatus according to any one of 1 to 4 .
空気調和部で調整された空気又は試験室内の湿度を検知する湿度検知手段を有し、湿度検知手段から知られる現実の水蒸気量に関係する実水蒸気関連値が所定の値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の環境試験装置。   Humidity detection means that detects the air adjusted by the air conditioner or the humidity in the test chamber, and the air conditioner so that the actual water vapor related value related to the actual water vapor amount known from the humidity detection means approaches a predetermined value. The environmental test apparatus according to claim 1, wherein the environmental test apparatus controls a part of the equipment. 前記所定の値は、設定環境における水蒸気量に関係する設定水蒸気関連値であり、実水蒸気関連値が、設定水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項6に記載の環境試験装置。   The predetermined value is a set water vapor related value related to the amount of water vapor in a set environment, and the device of the air conditioning unit is controlled so that the actual water vapor related value approaches the set water vapor related value. 6. The environmental test apparatus according to 6. 前記所定の値は、設定環境における湿度を現実の温度条件下で維持するために要する水蒸気量に関係する必要水蒸気関連値であり、実水蒸気関連値が、必要水蒸気関連値に近づく様に空気調和部の機器を制御することを特徴とする請求項6に記載の環境試験装置。   The predetermined value is a required water vapor related value related to the amount of water vapor required to maintain the humidity in the set environment under actual temperature conditions, and the air conditioning is performed so that the actual water vapor related value approaches the required water vapor related value. The environmental test apparatus according to claim 6, wherein a part of the equipment is controlled. 湿度検知手段は相対湿度を検知するものであり、湿度検知手段の近傍における温度を検知する補助温度検知手段を有し、補助温度検知手段が調整済温度検知手段を兼ねることを特徴とする請求項乃至8のいずれかに記載の環境試験装置。 The humidity detection means detects relative humidity, has an auxiliary temperature detection means for detecting a temperature in the vicinity of the humidity detection means, and the auxiliary temperature detection means also serves as an adjusted temperature detection means. The environmental test apparatus according to any one of 5 to 8. 乾湿球式湿度センサーを有し、当該乾湿球式湿度センサーが湿度検知手段と調整済温度検知手段を兼ねることを特徴とする請求項乃至9のいずれかに記載の環境試験装置。 The environmental test apparatus according to any one of claims 5 to 9, further comprising a wet and dry bulb type humidity sensor, wherein the dry and wet bulb type humidity sensor serves as both a humidity detection unit and an adjusted temperature detection unit. 実水蒸気関連値は、現実の水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度のいずれかであり、設定水蒸気関連値は、設定環境における水蒸気量、水蒸気分圧、絶対湿度のいずれかであることを特徴とする請求項乃至10のいずれかに記載の環境試験装置。 The actual water vapor related value is one of the actual water vapor amount, water vapor partial pressure, or absolute humidity, and the set water vapor related value is any of the water vapor amount, water vapor partial pressure, or absolute humidity in the set environment. The environmental test apparatus according to any one of claims 5 to 10. 温度及び湿度を調整する機器を備えた空気調和部を動作させ、空気調和部の空気吹き出し口に繋がり被試験物が設置される所定の空間を所望の温度及び湿度の設定環境に維持する温湿度制御方法において、
空気吹き出し口の近傍で空気調和部で調整された直後の空気の温度と湿度を検知し、
空気調和部で調整された直後の空気の温度と湿度から空気調和部で調整された直後の空気の現実の水蒸気量に関係する実水蒸気関連値を演算し、実水蒸気関連値が設定環境における水蒸気量に関係する設定水蒸気関連値に近づく様に空気調和部を動作させ、
被試験物が設置される領域の温度であって試験室内の温度の中心温度を示す場所であると特定された位置の温度を検知し、
設定環境の温度と前記特定された位置の温度の差を利用して被試験物が設置される領域の温度を設定温度に維持するために必要な熱量又は冷熱量を演算して空気調和部で調整後の空気の目標温度を演算し、空気調和部で調整された直後の空気の温度が前記目標温度に近づく様に前記空気調和部を制御することを特徴とする温湿度制御方法。
Temperature and humidity that operates the air conditioning unit equipped with equipment that adjusts temperature and humidity, and maintains the predetermined space where the DUT is installed and connected to the air outlet of the air conditioning unit in the desired temperature and humidity setting environment In the control method,
Detect the temperature and humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioning unit in the vicinity of the air outlet,
The actual water vapor related value related to the actual water vapor amount of the air immediately after being adjusted by the air conditioner is calculated from the temperature and humidity of the air immediately after being adjusted by the air conditioner. Operate the air conditioning unit to approach the set water vapor related value related to the volume,
Detect the temperature of the area where the DUT is located, and the location specified as the place that shows the center temperature of the temperature in the test chamber ,
Using the difference between the temperature of the set environment and the temperature of the specified position, the air conditioning unit calculates the amount of heat or cold necessary to maintain the temperature of the area where the DUT is installed at the set temperature. A temperature / humidity control method for calculating a target temperature of air after adjustment and controlling the air conditioner so that the temperature of the air immediately after being adjusted by the air conditioner approaches the target temperature.
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