JP6815212B2 - Chamber device - Google Patents
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Description
本発明は、室内の壁面などに固定されている温湿度センサを校正する技術に係り、特に室内と異なる温湿度環境を作り出すことが可能なチャンバ装置に関するものである。 The present invention relates to a technique for calibrating a temperature / humidity sensor fixed to a wall surface or the like in a room, and particularly relates to a chamber device capable of creating a temperature / humidity environment different from that in a room.
建物施設の室内に設置されている温湿度センサについては、施設の目的に応じて例えばホテル室内の居住環境、医薬品製造工場の衛生管理などの重要性により、然るべき計測精度を維持するために、センサの校正を適宜実施する必要がある。例えば特許文献１には、１０℃と１０２℃という、校正前の温度センサの計測値を、１３℃と１０７℃に校正する２点校正の例が開示されている。 Regarding the temperature / humidity sensor installed in the room of the building facility, depending on the purpose of the facility, for example, due to the importance of the living environment in the hotel room, hygiene management of the pharmaceutical manufacturing factory, etc., the sensor is used to maintain the appropriate measurement accuracy. It is necessary to carry out the calibration of. For example, Patent Document 1 discloses an example of two-point calibration in which the measured values of the temperature sensors of 10 ° C. and 102 ° C. before calibration are calibrated to 13 ° C. and 107 ° C.
しかしながら、温湿度センサが設置された室内の温湿度環境の変更には時間がかかるため、温湿度センサの多点校正に時間がかかるという課題があった。したがって、室内の壁面などに固定されている温湿度センサの校正を、作業効率の事情などにより短時間で実施しなければならない場合には、その実施時点での室内の温湿度環境のみにおける１点校正にならざるを得ない。１点校正の場合、温湿度センサの本来の計測レンジを考慮した幅のある校正には至らないし、校正の実施時点での室内の温度と相対湿度も、偶然得られている値でしかない。つまり、センサの望ましい校正方法として一般的な多点校正に比べると雑な校正になるので、改善が求められている。 However, since it takes time to change the temperature / humidity environment in the room where the temperature / humidity sensor is installed, there is a problem that it takes time to calibrate the temperature / humidity sensor at multiple points. Therefore, if it is necessary to calibrate the temperature / humidity sensor fixed to the wall surface of the room in a short time due to work efficiency, etc., one point only in the indoor temperature / humidity environment at the time of the calibration. There is no choice but to calibrate. In the case of one-point calibration, it is not possible to calibrate with a wide range considering the original measurement range of the temperature / humidity sensor, and the temperature and relative humidity in the room at the time of performing the calibration are only accidentally obtained values. That is, as a desirable calibration method for the sensor, the calibration is more complicated than the general multi-point calibration, and improvement is required.
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、室内の壁面などに固定されている温湿度センサの多点校正の実施容易性を高めることができるチャンバ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a chamber device capable of increasing the ease of performing multipoint calibration of a temperature / humidity sensor fixed to a wall surface or the like in a room. To do.
本発明のチャンバ装置は、一端が開いた筒の形状で、校正対象の第１の温湿度センサが設置された壁面と前記一端とが接触した状態で前記第１の温湿度センサが内部の空間に収容されるように設置される容器と、前記空間に、制御された温湿度環境を発生させるように構成された温湿度発生部と、前記空間の温度がオペレータによって設定された目標温度と一致し、かつ前記空間の相対湿度がオペレータによって設定された目標相対湿度と一致するように前記温湿度発生部を制御するように構成された温湿度制御演算部と、前記温湿度発生部と前記温湿度制御演算部とによって温湿度制御された空気を前記第１の温湿度センサの方へ送風するように構成されたファンとを備え、前記容器は、前記第１の温湿度センサを収容する内側の第１の筒部と、この第１の筒部を収容する外側の第２の筒部とからなる二重の筒の形状であり、前記第１の筒部と前記第２の筒部とは、互いの間に、前記ファンによって送風される空気が流れる第１の空間が形成されるように配置され、前記第１の筒部は、この第１の筒部の内部の空間を、前記第１の温湿度センサを収容する第２の空間と前記温湿度発生部の空気取入口に繋がる第３の空間とに分離する断熱材と、前記第１の空間と前記第２の空間とを連通させる第１の通気孔とを備え、前記断熱材は、前記第２の空間と前記第３の空間とを連通させる第２の通気孔を備えることを特徴とするものである。 The chamber device of the present invention has the shape of a cylinder with one end open, and the first temperature / humidity sensor is in the internal space in a state where the wall surface on which the first temperature / humidity sensor to be calibrated is installed is in contact with the one end. A container installed so as to be housed in the space, a temperature / humidity generator configured to generate a controlled temperature / humidity environment in the space, and a target temperature set by the operator for the temperature of the space. In addition, the temperature / humidity control calculation unit configured to control the temperature / humidity generation unit so that the relative humidity of the space matches the target relative humidity set by the operator, the temperature / humidity generation unit, and the temperature The container includes a fan configured to blow air whose temperature and humidity are controlled by a humidity control calculation unit and air toward the first temperature and humidity sensor, and the container is inside to accommodate the first temperature and humidity sensor. It has the shape of a double cylinder composed of a first cylinder portion of the above and an outer second cylinder portion accommodating the first cylinder portion, and the first cylinder portion and the second cylinder portion. Are arranged between each other so as to form a first space through which the air blown by the fan flows, and the first tubular portion covers the space inside the first tubular portion. A heat insulating material that separates a second space that houses the first temperature / humidity sensor and a third space that connects to the air intake of the temperature / humidity generating unit, and the first space and the second space. The heat insulating material is provided with a first vent for communicating with each other, and the heat insulating material is characterized by including a second vent for communicating the second space and the third space .
また、本発明のチャンバ装置の１構成例は、前記第３の空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするものである。 Further , one configuration example of the chamber device of the present invention includes a second temperature / humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the third space as the controlled temperature and the controlled relative humidity, respectively. A display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the second temperature / humidity sensor is further provided, and the temperature / humidity control calculation unit has the target temperature. It is characterized in that the temperature / humidity generating unit is controlled so that the controlled temperature matches and the target relative humidity and the controlled relative humidity match.
また、本発明のチャンバ装置の１構成例は、前記第１の温湿度センサの近傍の温度を計測するように構成された温度センサをさらに備え、前記表示制御部は、前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示すると同時に、前記温度センサによって計測された温度を温度標準値として表示することを特徴とするものである。
また、本発明のチャンバ装置の１構成例において、前記温湿度発生部は、前記温湿度制御演算部から出力される温度制御信号に応じて、空気を加熱または冷却するように構成された加熱・冷却アクチュエータと、前記温湿度制御演算部から出力される湿度制御信号に応じて、空気を加湿または除湿するように構成された加湿・除湿アクチュエータとを備えることを特徴とするものである。
In addition, one configuration example of the chamber device of the present invention further includes a temperature sensor configured to measure a temperature in the vicinity of the first temperature / humidity sensor, and the display control unit includes the controlled temperature and the controlled temperature. At the same time as displaying the controlled relative humidity, the temperature measured by the temperature sensor is displayed as a temperature standard value.
Further, in one configuration example of the chamber device of the present invention, the temperature / humidity generating unit is configured to heat or cool air according to a temperature control signal output from the temperature / humidity control calculation unit. It is characterized by including a cooling actuator and a humidification / dehumidification actuator configured to humidify or dehumidify air according to a humidity control signal output from the temperature / humidity control calculation unit.
本発明によれば、校正対象の第１の温湿度センサを容器内の空間に収容することにより、第１の温湿度センサの周囲空間を小さくすることができ、異なる温湿度環境を作り出すことが容易になるので、第１の温湿度センサの多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。 According to the present invention, by accommodating the first temperature / humidity sensor to be calibrated in the space inside the container, the surrounding space of the first temperature / humidity sensor can be reduced, and different temperature / humidity environments can be created. Since it becomes easy, the time required for the multi-point calibration of the first temperature / humidity sensor can be shortened, and the ease of performing the multi-point calibration can be improved.
また、本発明では、容器を二重の筒の形状にすることにより、校正対象の第１の温湿度センサに安定した気流を供給することができる。 Further, in the present invention, by forming the container into a double cylinder shape, a stable air flow can be supplied to the first temperature / humidity sensor to be calibrated.
また、本実施例では、第１の温湿度センサの近傍の温度を計測する温度センサを設けることにより、第１の温湿度センサが収容される空間内の温度分布の監視機能を実現することができる。その結果、オペレータは、所望の目標温度と第１の温湿度センサの近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 Further, in this embodiment, by providing a temperature sensor that measures the temperature in the vicinity of the first temperature / humidity sensor, it is possible to realize a function of monitoring the temperature distribution in the space in which the first temperature / humidity sensor is housed. it can. As a result, the operator can recognize whether there is a difference between the desired target temperature and the temperature in the vicinity of the first temperature / humidity sensor.
［発明の原理１］
温湿度センサの大きさに比べて、この温湿度センサを使って温湿度を計測しようとする室内空間が大きいことにより、異なる温湿度の状態を作り出して校正を行なうこと（多点校正）に時間がかかり過ぎることが、雑な校正で妥協せざるを得ない理由である。そこで、発明者は、持ち運び可能で、校正対象の温湿度センサを覆うように設置可能なチャンバ装置を用いて、校正対象の温湿度センサの周囲空間を小さくすればよいことに想到した。
[Principle 1 of the invention]
Compared to the size of the temperature / humidity sensor, the indoor space for measuring temperature / humidity using this temperature / humidity sensor is large, so it takes time to create different temperature / humidity conditions and perform calibration (multi-point calibration). The reason why it is necessary to compromise with rough calibration is that it takes too much. Therefore, the inventor has come up with the idea that the space around the temperature / humidity sensor to be calibrated may be reduced by using a chamber device that is portable and can be installed so as to cover the temperature / humidity sensor to be calibrated.
図１は、本発明のチャンバ装置の概要を説明する図である。チャンバ装置１００は、筐体１０１と、筐体１０１内に設けられ、一端が開いた筒の形状で、校正対象の温湿度センサ１０が設置された壁面１１と前記一端とが接触した状態で温湿度センサ１０が内部の空間に収容されるように設置される容器１０２と、容器１０２内の空間の温湿度を計測する温湿度センサ１０５と、容器１０２内の空間に、制御された温湿度環境を発生させる温湿度発生部１０６と、温湿度発生部１０６によって温湿度制御された空気を温湿度センサ１０の方へ送風する循環ファン１０７とを少なくとも備えている。 FIG. 1 is a diagram illustrating an outline of the chamber device of the present invention. The chamber device 100 has a housing 101 and a cylinder having one end opened in the housing 101, and is heated in a state where the wall surface 11 on which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is installed and the one end are in contact with each other. A container 102 installed so that the humidity sensor 10 is housed in the internal space, a temperature / humidity sensor 105 for measuring the temperature / humidity of the space inside the container 102, and a controlled temperature / humidity environment in the space inside the container 102. It is provided with at least a temperature / humidity generating unit 106 for generating the temperature / humidity, and a circulation fan 107 for blowing air whose temperature / humidity is controlled by the temperature / humidity generating unit 106 toward the temperature / humidity sensor 10.
図１のＳＡは温湿度発生部１０６によって温湿度制御され、温湿度センサ１０の方へ供給される空気（給気）、ＲＡは温湿度センサ１０から温湿度発生部１０６の方へと戻る空気（還気）である。
こうして、校正対象の温湿度センサ１０を容器１０２内の空間に収容することにより、温湿度センサ１０の周囲空間を小さくすることができ、異なる温湿度環境を作り出すことが容易になるので、温湿度センサ１０の多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。
SA in FIG. 1 is temperature / humidity controlled by the temperature / humidity generating unit 106, and air supplied to the temperature / humidity sensor 10 (air supply), and RA is air returning from the temperature / humidity sensor 10 to the temperature / humidity generating unit 106. (Returning air).
By accommodating the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated in the space inside the container 102 in this way, the surrounding space of the temperature / humidity sensor 10 can be reduced, and it becomes easy to create different temperature / humidity environments. The time required for multipoint calibration of the sensor 10 can be shortened, and the ease of performing multipoint calibration can be improved.
［発明の原理２］
チャンバ装置１００が、持ち運び可能な大きさや形状である場合、校正対象の温湿度センサ１０の近傍の温湿度と、温湿度センサ１０５の近傍の温湿度とでは、例えば温湿度センサ１０が設置された壁面１１の温度の影響により、無視できないレベルの温度分布（温度差）とこれに伴う相対湿度分布（湿度差）が生じてしまうことがある。
[Principle 2 of the invention]
When the chamber device 100 has a portable size and shape, for example, a temperature / humidity sensor 10 is installed between the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated and the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 105. Due to the influence of the temperature of the wall surface 11, a non-negligible level of temperature distribution (temperature difference) and associated relative humidity distribution (humidity difference) may occur.
例えば図２に示すように、温湿度センサ１０５の計測結果を基に温湿度発生部１０６を制御して、容器１０２内の温湿度センサ１０５の近傍の温湿度を例えば２５［℃］、４４［％］に制御したとしても、壁面１１の温度が例えば３０［℃］の場合、容器１０２内の温湿度センサ１０の近傍の温湿度は、壁面１１の温度の影響を受けて例えば２６［℃］、４１［％］になってしまう。 For example, as shown in FIG. 2, the temperature / humidity generating unit 106 is controlled based on the measurement result of the temperature / humidity sensor 105, and the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 105 in the container 102 is, for example, 25 [° C.], 44 [ %], When the temperature of the wall surface 11 is, for example, 30 [° C.], the temperature and humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 in the container 102 is affected by the temperature of the wall surface 11, for example, 26 [° C.]. , 41 [%].
また、図３に示すように、容器１０２内の温湿度センサ１０５の近傍の温湿度を例えば２５［℃］、４４［％］に制御したとしても、壁面１１の温度が例えば２０［℃］の場合、容器１０２内の温湿度センサ１０の近傍の温湿度は、壁面１１の温度の影響を受けて例えば２３［℃］、５０［％］になってしまう。 Further, as shown in FIG. 3, even if the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 105 in the container 102 is controlled to, for example, 25 [° C.] or 44 [%], the temperature of the wall surface 11 is, for example, 20 [° C.]. In this case, the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 in the container 102 is affected by the temperature of the wall surface 11 and becomes, for example, 23 [° C.] or 50 [%].
図４に示すように、制御用の温湿度センサ１０５をなるべく壁面１１に近付けたとしても少なからぬ温湿度差の影響を受けるし、また制御性能を維持するためには、温湿度センサ１０５を温湿度発生部１０６から遠ざけるのは好ましくない。 As shown in FIG. 4, even if the temperature / humidity sensor 105 for control is brought as close to the wall surface 11 as possible, it is affected by a considerable temperature / humidity difference, and in order to maintain the control performance, the temperature / humidity sensor 105 is heated. It is not preferable to keep it away from the humidity generating part 106.
そこで、発明者は、校正対象の温湿度センサ１０の近傍にも温度センサを追加し、この温度センサにより計測される温度を標準値とすることに想到した。これにより、オペレータは、所望の目標温度と温湿度センサ１０の近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 Therefore, the inventor has come up with the idea of adding a temperature sensor in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated and using the temperature measured by this temperature sensor as a standard value. This allows the operator to recognize whether there is a difference between the desired target temperature and the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10.
［参考例］
以下、本発明の参考例について図面を参照して説明する。図５（Ａ）は本参考例に係るチャンバ装置１００の主要部の構成を示す断面図、図５（Ｂ）はチャンバ装置１００を温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図６はチャンバ装置１００の構成を示すブロック図である。図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６では、校正対象の温湿度センサ１０との関係を分かり易くするため、チャンバ装置１００の容器１０２内の空間１０２０に温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[ Reference example ]
Hereinafter, reference examples of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber device 100 according to this reference example , and FIG. 5B is a front view of the chamber device 100 as viewed from the wall surface side on which the temperature / humidity sensor 10 is installed. FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the chamber device 100. In FIGS. 5 (A), 5 (B), and 6, in order to make it easy to understand the relationship with the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020 in the container 102 of the chamber device 100. I'm drawing in a state.
チャンバ装置１００は、筐体１０１と、容器１０２と、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度発生部１０６内に設けられた加熱・冷却アクチュエータであるペルチェ素子１０８と、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］がオペレータによって設定された目標温度ＳＴ［℃］と一致し、かつ温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］がオペレータによって設定された目標相対湿度ＳＨ［％］と一致するように温湿度発生部１０６を制御する温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０と、例えば液晶パネル等の表示部１１１と、オペレータがチャンバ装置１００に指示を与えるための操作部１１５とを備えている。 The chamber device 100 includes a housing 101, a container 102, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generating unit 106, a circulation fan 107, and a Perche element which is a heating / cooling actuator provided in the temperature / humidity generating unit 106. The controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105 matches the target temperature ST [° C.] set by the operator, and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 is A temperature / humidity control calculation unit 109 that controls the temperature / humidity generation unit 106 so as to match the target relative humidity SH [%] set by the operator, a display control unit 110, a display unit 111 such as a liquid crystal panel, and an operator. Includes an operating unit 115 for giving instructions to the chamber device 100.
容器１０２は、筒状の構造をしており、温湿度制御を行なう上流側の端部が閉端１０３で、下流側の端部が校正対象の温湿度センサ１０を収容できるように開放端１０４となっている。周囲に対して断熱する必要がある場合、容器１０２の材料としては、断熱性の良い樹脂やセラミックを用いることが好ましい。温湿度センサ１０の周囲空間を小容量とし、かつ持ち運び可能なチャンバ装置１００を実現するため、容器１０２のサイズは、筒の径が例えば十数ｃｍ程度、長さが数十ｃｍ程度であることが好ましい。 The container 102 has a tubular structure, the upstream end for controlling temperature and humidity is the closed end 103, and the downstream end is the open end 104 so as to accommodate the temperature and humidity sensor 10 to be calibrated. It has become. When it is necessary to insulate the surroundings, it is preferable to use a resin or ceramic having good heat insulating properties as the material of the container 102. In order to realize a portable chamber device 100 having a small capacity in the surrounding space of the temperature / humidity sensor 10, the size of the container 102 should be, for example, a cylinder having a diameter of about a dozen cm and a length of about several tens of cm. Is preferable.
オペレータは、チャンバ装置１００を使用して温湿度センサ１０の校正を行なう場合、図１に示したように温湿度センサ１０が容器１０２内の空間１０２０に収容された状態になるように、容器１０２の下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。 When the operator calibrates the temperature / humidity sensor 10 using the chamber device 100, the container 102 is in a state where the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020 in the container 102 as shown in FIG. The downstream end of the is pressed against the wall surface 11 of the room where the temperature / humidity sensor 10 is installed.
空間１０２０の気密性を向上させるため、チャンバ装置１００は、容器１０２を壁面１１に押し付ける押圧機構を備えていてもよい。ただし、本発明では、温湿度センサ１０の簡易な校正を想定しているため、空間１０２０の厳密な気密性を確保することは本発明の必須の構成要件ではない。 In order to improve the airtightness of the space 1020, the chamber device 100 may include a pressing mechanism for pressing the container 102 against the wall surface 11. However, since the present invention assumes simple calibration of the temperature / humidity sensor 10, ensuring strict airtightness of the space 1020 is not an essential constituent requirement of the present invention.
温湿度センサ１０５は、容器１０２内の上流側に設けられる。温湿度センサ１０５は、温湿度発生部１０６の近傍に設けられることが望ましい。また、温湿度センサ１０５は、事前に校正されているものとする。 The temperature / humidity sensor 105 is provided on the upstream side in the container 102. It is desirable that the temperature / humidity sensor 105 is provided in the vicinity of the temperature / humidity generating unit 106. Further, it is assumed that the temperature / humidity sensor 105 has been calibrated in advance.
温湿度発生部１０６は、容器１０２内の空間１０２０に、制御された温湿度環境を発生させる。具体的には、温湿度発生部１０６は、容器１０２内の空気の加熱または冷却を行なう加熱・冷却アクチュエータとしてペルチェ素子１０８を備えており、また容器１０２内の空気の加湿または除湿を行なう加湿・除湿アクチュエータとして分流式湿度発生装置（不図示）を備えている。 The temperature / humidity generation unit 106 generates a controlled temperature / humidity environment in the space 1020 in the container 102. Specifically, the temperature / humidity generating unit 106 includes a Peltier element 108 as a heating / cooling actuator that heats or cools the air in the container 102, and also humidifies / dehumidifies the air in the container 102. A split-flow humidity generator (not shown) is provided as a dehumidifying actuator.
周知のとおり、分流式湿度発生装置は、還気ＲＡを除湿器（例えば乾燥剤）により乾燥させ、この乾燥空気を２つの流れに分け、一方の空気を加湿器（例えば超音波加湿器）により加湿し、乾燥空気と加湿した空気とを混合して送り出す装置である。分流式湿度発生装置は、乾燥空気の流量と加湿した空気の流量との比を調整することにより、所望の相対湿度の空気を作り出すことができる。 As is well known, in a split flow type humidity generator, the return air RA is dried by a humidifier (for example, a desiccant), the dry air is divided into two streams, and one air is separated by a humidifier (for example, an ultrasonic humidifier). It is a device that humidifies and mixes dry air and humidified air and sends them out. The split-flow humidity generator can produce air with a desired relative humidity by adjusting the ratio of the flow rate of dry air to the flow rate of humidified air.
オペレータは、上記のようにチャンバ装置１００を設置した後に、操作部１１５を操作して、任意の目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを設定し、温湿度制御演算部１０９に対して温湿度制御の開始を指示する。
図７（Ａ）は温湿度制御演算部１０９の温度制御動作を説明するフローチャート、図７（Ｂ）は温湿度制御演算部１０９の湿度制御動作を説明するフローチャートである。
After installing the chamber device 100 as described above, the operator operates the operation unit 115 to set an arbitrary target temperature ST [° C.] and a target relative humidity SH [%], and the temperature / humidity control calculation unit 109. Is instructed to start temperature / humidity control.
FIG. 7A is a flowchart for explaining the temperature control operation of the temperature / humidity control calculation unit 109, and FIG. 7B is a flowchart for explaining the humidity control operation of the temperature / humidity control calculation unit 109.
温湿度制御演算部１０９は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］を取得し（図７（Ａ）ステップＳ１０）、目標温度ＳＴ［℃］と被制御温度ＰＴ［℃］とが一致するようにＰＩＤ制御演算により操作量を算出する（図７（Ａ）ステップＳ１１）。そして、温湿度制御演算部１０９は、算出した操作量に応じた電流値のペルチェ制御信号（温度制御信号）を温湿度発生部１０６のペルチェ素子１０８に出力する（図７（Ａ）ステップＳ１２）。温湿度制御演算部１０９は、例えばオペレータによって温湿度制御の終了が指示されるまで（図７（Ａ）ステップＳ１３においてＹＥＳ）、ステップＳ１０〜Ｓ１２の処理を制御周期毎に繰り返し実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 acquires the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105 (step S10 in FIG. 7A), and sets the target temperature ST [° C.] and the controlled temperature PT [° C.]. The operation amount is calculated by the PID control calculation so that the two match (FIG. 7 (A) step S11). Then, the temperature / humidity control calculation unit 109 outputs a Peltier control signal (temperature control signal) of the current value corresponding to the calculated operation amount to the Peltier element 108 of the temperature / humidity generation unit 106 (step S12 in FIG. 7A). .. The temperature / humidity control calculation unit 109 repeatedly executes the processes of steps S10 to S12 for each control cycle until, for example, the operator instructs the end of the temperature / humidity control (YES in step S13 of FIG. 7A).
こうして、ペルチェ素子１０８により容器１０２内の空気を目標温度ＳＴに加熱または冷却することができる。なお、加熱・冷却アクチュエータとして、ペルチェ素子以外のものを使用することも可能である。 In this way, the Peltier element 108 can heat or cool the air in the container 102 to the target temperature ST. It is also possible to use an actuator other than the Peltier element as the heating / cooling actuator.
また、温湿度制御演算部１０９は、温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］を取得し（図７（Ｂ）ステップＳ２０）、目標相対湿度ＳＨ［％］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とが一致するようにＰＩＤ制御演算により操作量を算出する（図７（Ｂ）ステップＳ２１）。そして、温湿度制御演算部１０９は、算出した操作量に応じた分流比制御信号（湿度制御信号）を温湿度発生部１０６の流量制御バルブ（不図示）に出力する（図７（Ｂ）ステップＳ２２）。温湿度制御演算部１０９は、例えばオペレータによって温湿度制御の終了が指示されるまで（図７（Ｂ）ステップＳ２３においてＹＥＳ）、ステップＳ２０〜Ｓ２２の処理を制御周期毎に繰り返し実行する。 Further, the temperature / humidity control calculation unit 109 acquires the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 (step S20 in FIG. 7B), and sets the target relative humidity SH [%] and the controlled relative humidity. The operation amount is calculated by the PID control calculation so that the PH [%] matches (step S21 in FIG. 7B). Then, the temperature / humidity control calculation unit 109 outputs a flow distribution ratio control signal (humidity control signal) according to the calculated operation amount to the flow rate control valve (not shown) of the temperature / humidity generation unit 106 (step 7 (B)). S22). The temperature / humidity control calculation unit 109 repeatedly executes the processes of steps S20 to S22 for each control cycle until, for example, the operator instructs the end of the temperature / humidity control (YES in step S23 of FIG. 7B).
こうして、上述した乾燥空気と加湿した空気の両方またはどちらか一方の流量を流量制御バルブによって制御することにより、容器１０２内の空気を目標相対湿度ＳＨに加湿または除湿することができる。なお、加湿・除湿アクチュエータとして、分流式湿度発生装置以外のものを使用することも可能である。 In this way, the air in the container 102 can be humidified or dehumidified to the target relative humidity SH by controlling the flow rates of the dry air and / or the humidified air described above by the flow rate control valve. It is also possible to use a humidification / dehumidification actuator other than the diversion type humidity generator.
循環ファン１０７は、温湿度発生部１０６と温湿度制御演算部１０９とによって温湿度制御された空気（給気ＳＡ）を下流側の温湿度センサ１０の方へ送り出す。本参考例では、温湿度発生部１０６の空気流出口（不図示）から流出した給気ＳＡが容器１０２の内壁近くを流れて下流側へ供給されるようになっている。 The circulation fan 107 sends air (air supply SA) whose temperature and humidity are controlled by the temperature and humidity generation unit 106 and the temperature and humidity control calculation unit 109 toward the temperature and humidity sensor 10 on the downstream side. In this reference example , the air supply SA flowing out from the air outlet (not shown) of the temperature / humidity generating unit 106 flows near the inner wall of the container 102 and is supplied to the downstream side.
一方、還気ＲＡは、給気ＳＡよりも内側を流れ、上流側の温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）から温湿度発生部１０６の内部に戻り、再び温湿度制御されるようになっている。なお、後述の実施例と異なり、容器１０２内が空気を分ける構造になっていないため、給気ＳＡと還気ＲＡが明確に分かれていないことは言うまでもない。 On the other hand, the return air RA flows inside the air supply SA, returns to the inside of the temperature / humidity generation unit 106 from the air intake (not shown) of the temperature / humidity generation unit 106 on the upstream side, and is controlled by temperature / humidity again. It has become. It goes without saying that the supply air SA and the return air RA are not clearly separated because the container 102 does not have a structure for separating air, unlike the embodiment described later.
表示制御部１１０は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得して、この被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させる。 The display control unit 110 acquires the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105, and obtains the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [° C.]. %] Is displayed on the display unit 111.
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本参考例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 and the display control unit 110 can be realized by a computer provided with a CPU (Central Processing Unit), a storage device, and an interface, and a program for controlling these hardware resources. The CPU executes the process described in this reference example according to the program stored in the storage device.
以上のように、本参考例では、校正対象の温湿度センサ１０が設置された室内と異なる温湿度環境を作り出すことが容易になる。オペレータは、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とをそれぞれ任意の値に設定した後に、温湿度制御が概ね整定した状態で、表示部１１１に表示された被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］の値を読み取り、また温湿度センサ１０により計測される温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］とを読み取るようにすればよい。 As described above, in this reference example , it becomes easy to create a temperature / humidity environment different from the room in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is installed. After setting the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%] to arbitrary values, the operator sets the temperature and humidity control to be generally set, and the controlled temperature PT [displayed on the display unit 111 [ If the values of [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] are read, and the temperature measurement value T 10 [° C.] and the relative humidity measurement value H 10 [%] measured by the temperature / humidity sensor 10 are read. Good.
このような作業を目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを変更しながら複数回行なうようにすれば、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］に対する複数点の温度計測値Ｔ10［℃］と、複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］に対する複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］とを得ることができる。 If such work is performed multiple times while changing the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%], the temperature measurement values T at multiple points with respect to the temperature standard value TX [° C.] at multiple points. It is possible to obtain 10 [° C.] and a multi-point relative humidity measurement value H 10 [%] with respect to a multi-point relative humidity standard value HX [%].
そして、オペレータは、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］と複数点の温度計測値Ｔ10［℃］との差異、および複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］と複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］との差異に基づき、温湿度センサ１０の周知の多点校正作業を実施することができる。本参考例では、様々な温湿度環境を作り出すことが容易になるので、温湿度センサ１０の多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。 Then, the operator can measure the difference between the temperature standard value TX [° C.] at multiple points and the temperature measurement value T 10 [° C.] at multiple points, and the relative humidity standard value HX [%] at multiple points and the relative humidity measurement at multiple points. Based on the difference from the value H 10 [%], the well-known multi-point calibration work of the temperature / humidity sensor 10 can be performed. In this reference example , since it becomes easy to create various temperature and humidity environments, the time required for multipoint calibration of the temperature and humidity sensor 10 can be shortened, and the ease of performing multipoint calibration can be improved.
なお、本参考例では、温湿度発生部１０６と循環ファン１０７とを容器１０２の内部に設けているが、これに限るものではなく、容器１０２の外部に設けるようにしてもよい。
温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の機能を備えた装置として、例えばロトロニック社製の小型高精度温湿度校正器ＨＧ２−Ｓがある。このような小型高精度温湿度校正器を利用する場合、容器１０２の閉端１０３側に小型高精度温湿度校正器との接合機構を設け、この接合機構を介して小型高精度温湿度校正器の温湿度発生部１０６と容器１０２内の空間１０２０とが連通状態になるようにすればよい。
In this reference example , the temperature / humidity generating unit 106 and the circulation fan 107 are provided inside the container 102, but the present invention is not limited to this, and the temperature / humidity generating unit 106 and the circulation fan 107 may be provided outside the container 102.
As a device having the functions of the temperature / humidity generating unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109, for example, there is a compact high-precision temperature / humidity calibrator HG2-S manufactured by Rotronic. When such a compact high-precision temperature / humidity calibrator is used, a joining mechanism with the small high-precision temperature / humidity calibrator is provided on the closed end 103 side of the container 102, and the compact high-precision temperature / humidity calibrator is provided through this joining mechanism. The temperature / humidity generating unit 106 and the space 1020 in the container 102 may be in a communicative state.
また、本参考例のチャンバ装置１００は、整定状態通知機能を備えていてもよい。具体的には、温湿度制御演算部１０９内の整定判定部１０９０は、被制御温度ＰＴ［℃］が目標温度ＳＴ［℃］を中心とする所定の温度範囲内である状態が一定時間以上継続し、かつ被制御相対湿度ＰＨ［％］が目標相対湿度ＳＨ［％］を中心とする所定の湿度範囲内である状態が一定時間以上継続したときに、温湿度制御の整定状態と判定し、整定状態であることを表示制御部１１０に通知するようにしてもよい。これにより、表示制御部１１０は、整定状態であることを知らせるメッセージを表示部１１１に表示させて、オペレータに通知する。ただし、整定状態の判定方法は上記の例に限るものではなく、他の方法によって判定してもよい。 Further, the chamber device 100 of this reference example may have a settling state notification function. Specifically, the settling determination unit 1090 in the temperature / humidity control calculation unit 109 continues to be in a state in which the controlled temperature PT [° C.] is within a predetermined temperature range centered on the target temperature ST [° C.] for a certain period of time or longer. However, when the controlled relative humidity PH [%] is within a predetermined humidity range centered on the target relative humidity SH [%] for a certain period of time or longer, it is determined that the temperature / humidity control is set. The display control unit 110 may be notified that it is in the settling state. As a result, the display control unit 110 causes the display unit 111 to display a message notifying that the setting state is in effect, and notifies the operator. However, the method for determining the settling state is not limited to the above example, and may be determined by another method.
また、本参考例のチャンバ装置１００は、経過時間通知機能を備えていてもよい。具体的には、温湿度制御演算部１０９内の時間判定部１０９１は、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したか否かを判定し、所定時間が経過したときに表示制御部１１０に通知するようにしてもよい。これにより、表示制御部１１０は、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したことを知らせるメッセージを表示部１１１に表示させて、オペレータに通知する。 Further, the chamber device 100 of this reference example may have an elapsed time notification function. Specifically, the time determination unit 1091 in the temperature / humidity control calculation unit 109 determines whether or not a predetermined time has elapsed from the start time of the temperature / humidity control, and when the predetermined time elapses, the display control unit 110 is notified. You may want to be notified. As a result, the display control unit 110 causes the display unit 111 to display a message notifying that a predetermined time has elapsed from the start time of the temperature / humidity control, and notifies the operator.
［第１の実施例］
次に、本発明の第１の実施例について説明する。図８（Ａ）は本実施例に係るチャンバ装置１００ａの主要部の構成を示す断面図、図８（Ｂ）はチャンバ装置１００ａを温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図９はチャンバ装置１００ａの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６と同一の構成には同一の符号を付してある。参考例と同様に、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９では、チャンバ装置１００ａの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[ First Example ]
Next, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 8A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber device 100a according to the present embodiment, and FIG. 8B is a front view of the chamber device 100a as viewed from the wall surface side on which the temperature / humidity sensor 10 is installed. FIG. 9 is a block diagram showing the configuration of the chamber device 100a, and the same configurations as those in FIGS. 5 (A), 5 (B), and 6 are designated by the same reference numerals. Similar to the reference example , FIGS. 8 (A), 8 (B), and 9 show a state in which the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a of the chamber device 100a.
本実施例のチャンバ装置１００ａは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０と、表示部１１１と、断熱材１１２と、操作部１１５とを備えている。 The chamber device 100a of this embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, a display control unit 110, and the like. It includes a display unit 111, a heat insulating material 112, and an operation unit 115.
本実施例の容器１０２ａは、外側の筒部１０２１と、この筒部１０２１に収容される内側の筒部１０２２とからなる二重の筒状の構造になっている。外側の筒部１０２１と内側の筒部１０２２とは、互いの間に、循環ファン１０７によって送風される給気ＳＡが流れる流路となる空間１０２３が形成されるように配置されている。 The container 102a of this embodiment has a double tubular structure including an outer tubular portion 1021 and an inner tubular portion 1022 housed in the tubular portion 1021. The outer tubular portion 1021 and the inner tubular portion 1022 are arranged so as to form a space 1023 between them, which serves as a flow path for the supply air SA blown by the circulation fan 107.
筒部１０２１，１０２２の上流側の端部は閉端１０３で、筒部１０２２の下流側の端部が校正対象の温湿度センサ１０を収容できるように開放端１０４となっている。なお、本実施例では、筒部１０２１と筒部１０２２との間の空間１０２３の下流側を開放端としている。参考例と同様に、容器１０２ａの下流側の端部が壁面１１に押し付けられたときに、空間１０２３の下流側の端部は壁面１１によって塞がれることになるが、空間１０２３の下流側の端部を閉端にしておいてもよい。 The upstream end of the tubular portions 1021 and 1022 is the closed end 103, and the downstream end of the tubular portion 1022 is the open end 104 so as to accommodate the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated. In this embodiment, the open end is on the downstream side of the space 1023 between the tubular portion 1021 and the tubular portion 1022. Similar to the reference example , when the downstream end of the container 102a is pressed against the wall surface 11, the downstream end of the space 1023 is blocked by the wall surface 11, but the downstream end of the space 1023 The end may be closed.
筒部１０２２内には、例えば樹脂製の断熱材１１２が設置されている。断熱材１１２は、筒部１０２２内の空間を、校正対象の温湿度センサ１０を収容する下流側の空間１０２０ａと、還気ＲＡが温湿度発生部１０６へと戻る流路となる上流側の空間１０２０ｂとに分離する。空間１０２０ｂは、温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）と連通している。 For example, a resin heat insulating material 112 is installed in the tubular portion 1022. In the heat insulating material 112, the space inside the tubular portion 1022 is a space on the downstream side that accommodates the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, and a space on the upstream side that serves as a flow path for the return air RA to return to the temperature / humidity generating portion 106. Separate into 1020b. The space 1020b communicates with the air intake (not shown) of the temperature / humidity generating unit 106.
筒部１０２２内の下流側の空間１０２０ａと空間１０２３とは、筒部１０２２に形成された通気孔１０２４を介して連通している。循環ファン１０７によって送風される給気ＳＡは、通気孔１０２４を通って空間１０２０ａに流入するようになっている。
一方、空間１０２０ａと空間１０２０ｂとは、断熱材１１２に形成された通気孔１０２５を介して連通している。
The space 1020a and the space 1023 on the downstream side in the tubular portion 1022 communicate with each other through the ventilation holes 1024 formed in the tubular portion 1022. The air supply SA blown by the circulation fan 107 flows into the space 1020a through the ventilation holes 1024.
On the other hand, the space 1020a and the space 1020b communicate with each other through the ventilation holes 1025 formed in the heat insulating material 112.
参考例と同様に、オペレータは、チャンバ装置１００ａを使用して温湿度センサ１０の校正を行なう場合、温湿度センサ１０が容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるように、容器１０２ａの下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。
温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０と表示部１１１の動作は、参考例で説明したとおりである。
Similar to the reference example , when the operator calibrates the temperature / humidity sensor 10 using the chamber device 100a, the operator of the container 102a so that the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a. The downstream end is pressed against the wall surface 11 of the room where the temperature / humidity sensor 10 is installed.
The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generating unit 106, the circulation fan 107, the temperature / humidity control calculation unit 109, the display control unit 110, and the display unit 111 are as described in the reference example .
温湿度発生部１０６と温湿度制御演算部１０９とによって温湿度制御された給気ＳＡは、空間１０２３と通気孔１０２４とを通って空間１０２０ａに流入する。これにより、空間１０２０ａ内に収容されている温湿度センサ１０は、空間１０２０ａに流入した給気ＳＡに曝される状態となる。そして、還気ＲＡは、空間１０２０ａから通気孔１０２５を通って空間１０２０ｂに流入し、温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）から温湿度発生部１０６の内部に戻り、再び温湿度制御されるようになっている。
こうして、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０に安定した気流を供給することができる。
The air supply SA whose temperature and humidity are controlled by the temperature and humidity generation unit 106 and the temperature and humidity control calculation unit 109 flows into the space 1020a through the space 1023 and the ventilation hole 1024. As a result, the temperature / humidity sensor 10 housed in the space 1020a is exposed to the air supply SA flowing into the space 1020a. Then, the return air RA flows from the space 1020a through the ventilation hole 1025 into the space 1020b, returns to the inside of the temperature / humidity generation unit 106 from the air intake (not shown) of the temperature / humidity generation unit 106, and controls the temperature / humidity again. It is supposed to be done.
In this way, in this embodiment, a stable air flow can be supplied to the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated.
なお、参考例と同様に、温湿度発生部１０６と循環ファン１０７とを容器１０２ａの外部に設けるようにしてもよい。温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の機能を備えた装置として、参考例で説明した温湿度校正器を利用する場合、容器１０２ａの閉端１０３側に温湿度校正器との接合機構を設け、この接合機構を介して温湿度校正器の温湿度発生部１０６の空気流出口と容器１０２ａの空間１０２３とを連通させ、さらに温湿度発生部１０６の空気取入口と容器１０２ａの空間１０２０ｂとを連通させるようにすればよい。 As in the reference example , the temperature / humidity generating unit 106 and the circulation fan 107 may be provided outside the container 102a. When the temperature / humidity calibrator described in the reference example is used as a device having the functions of the temperature / humidity generator 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109, the temperature / humidity calibrator is located on the closed end 103 side of the container 102a. The air outlet of the temperature / humidity generating part 106 of the temperature / humidity calibrator and the space 1023 of the container 102a are communicated with each other through this joining mechanism, and the air inlet / container of the temperature / humidity generating part 106 is further provided. The space 1020b of 102a may be communicated with the space 1020b.
［第２の実施例］
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図１０（Ａ）は本実施例に係るチャンバ装置１００ｂの主要部の構成を示す断面図、図１０（Ｂ）はチャンバ装置１００ｂを温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図１１はチャンバ装置１００ｂの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９と同一の構成には同一の符号を付してある。参考例および第１の実施例と同様に、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１では、チャンバ装置１００ｂの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[ Second Example ]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 10A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber device 100b according to the present embodiment, and FIG. 10B is a front view of the chamber device 100b as viewed from the wall surface side on which the temperature / humidity sensor 10 is installed. FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of the chamber device 100b, and the configuration is the same as that of FIGS. 5 (A), 5 (B), 6, 8 (A), 8 (B), and 9. It has the same code. Similar to the reference example and the first embodiment , in FIGS. 10 (A), 10 (B), and 11, the temperature / humidity sensor 10 is drawn in the space 1020a in the container 102a of the chamber device 100b. There is.
本実施例のチャンバ装置１００ｂは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０ｂと、表示部１１１と、断熱材１１２と、温湿度センサ１０の近傍の温度を計測する温度センサ１１３と、操作部１１５とを備えている。 The chamber device 100b of this embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, and a display control unit 110b. It includes a display unit 111, a heat insulating material 112, a temperature sensor 113 for measuring the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10, and an operation unit 115.
容器１０２ａの構造は第１の実施例で説明したとおりである。本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布（温湿度センサ１０５が計測する被制御温度ＰＴと温湿度センサ１０の近傍の温度との差）を監視するために、温湿度センサ１０の近傍に温度センサ１１３を追加している。なお、温度センサ１１３は、事前に校正されているものとする。 The structure of the container 102a is as described in the first embodiment . In this embodiment, in order to monitor the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is housed (the difference between the controlled temperature PT measured by the temperature / humidity sensor 105 and the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10). The temperature sensor 113 is added in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10. It is assumed that the temperature sensor 113 has been calibrated in advance.
温度センサ１１３は、温湿度センサ１０の近傍であるほど好ましい。一般に、温湿度センサ１０は、壁面１１に固定されたセンサの本体ユニットがカバーで覆われ、このカバーに形成された隙間から空気が流入するようになっている。そこで、温湿度センサ１０の校正を行なう場合には、カバーを外して本体ユニットを露出させ、この本体ユニットの近傍に温度センサ１１３を設置する。 The temperature sensor 113 is preferably closer to the temperature / humidity sensor 10. Generally, in the temperature / humidity sensor 10, the main body unit of the sensor fixed to the wall surface 11 is covered with a cover, and air flows in through a gap formed in the cover. Therefore, when calibrating the temperature / humidity sensor 10, the cover is removed to expose the main body unit, and the temperature sensor 113 is installed in the vicinity of the main body unit.
このように温度センサ１１３を設置した状態で、オペレータは、温湿度センサ１０がチャンバ装置１００ｂの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるように、容器１０２ａの下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。
温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の動作は、参考例および第１の実施例で説明したとおりである。
With the temperature sensor 113 installed in this way, the operator sets the downstream end of the container 102a so that the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a of the chamber device 100b. It is pressed against the wall surface 11 of the room where the temperature / humidity sensor 10 is installed.
The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109 are as described in the reference example and the first embodiment .
本実施例の表示制御部１１０ｂは、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］と、温度センサ１１３が計測した温度計測値ＴＸ［℃］とを取得して、参考例と同様に被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させると同時に、温度の標準値として温度計測値ＴＸ［℃］を表示部１１１に表示させる。 The display control unit 110b of this embodiment inputs the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105, the controlled relative humidity PH [%], and the temperature measured value TX [° C.] measured by the temperature sensor 113. As in the reference example , the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] are displayed on the display unit 111, and at the same time, the temperature measurement value TX [° C.] is displayed as the standard temperature value. It is displayed on the unit 111.
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０ｂとは、ＣＰＵ、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 and the display control unit 110b can be realized by a computer provided with a CPU, a storage device, and an interface, and a program for controlling these hardware resources. The CPU executes the process described in this embodiment according to the program stored in the storage device.
こうして、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布の監視機能を実現することができる。その結果、オペレータは、所望の目標温度ＳＴと温湿度センサ１０の近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 In this way, in this embodiment, it is possible to realize a function of monitoring the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is housed. As a result, the operator can recognize whether or not there is a difference between the desired target temperature ST and the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10.
［第３の実施例］
次に、本発明の第３の実施例について説明する。校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布が小さい場合には、第２の実施例のような温度の監視機能があればよい。一方、温度分布が大きい場合には、被制御相対湿度ＰＨを、温湿度センサ１０の近傍の相対湿度に補正する必要がある。本実施例は、このような相対湿度の補正を行なう例である。
[ Third Example ]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. When the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is housed is small, a temperature monitoring function as in the second embodiment may be sufficient. On the other hand, when the temperature distribution is large, it is necessary to correct the controlled relative humidity PH to the relative humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10. This embodiment is an example of performing such a correction of relative humidity.
図１２は本実施例のチャンバ装置１００ｃの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１と同一の構成には同一の符号を付してある。参考例および第１、第２の実施例と同様に、図１２では、チャンバ装置１００ｃの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。 FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the chamber device 100c of this embodiment, which is FIG. 5 (A), FIG. 5 (B), FIG. 6, FIG. 8 (A), FIG. 8 (B), FIG. 9, FIG. The same components as those in 10 (A), 10 (B), and 11 are designated by the same reference numerals. Similar to the reference example and the first and second embodiments , FIG. 12 is drawn in a state where the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a of the chamber device 100c.
本実施例のチャンバ装置１００ｃは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０ｃと、表示部１１１と、断熱材１１２と、温度センサ１１３と、センサ校正支援機能部１１４とを備えている。 The chamber device 100c of this embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, and a display control unit 110c. It includes a display unit 111, a heat insulating material 112, a temperature sensor 113, and a sensor calibration support function unit 114.
図１３はセンサ校正支援機能部１１４の構成を示すブロック図である。センサ校正支援機能部１１４は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得する温湿度取得部１１４０と、被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とに基づいて理論露点ｔｄ［℃］を算出する理論露点算出部１１４１と、温度センサ１１３が計測した温度標準値ＴＸ［℃］を取得する温度標準値取得部１１４２と、理論露点ｔｄ［℃］と温度標準値ＴＸ［℃］とに基づいて、温度センサ１１３の位置における相対湿度標準値ＨＸ［％］を算出する相対湿度補正部１１４３と、温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを出力する標準値出力部１１４４とから構成される。 FIG. 13 is a block diagram showing the configuration of the sensor calibration support function unit 114. The sensor calibration support function unit 114 includes a temperature / humidity acquisition unit 1140 that acquires a controlled temperature PT [° C.] and a controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105, and a controlled temperature PT [° C.]. The theoretical dew point calculation unit 1141 that calculates the theoretical dew point td [° C] based on the controlled relative humidity PH [%], and the temperature standard value acquisition unit 1142 that acquires the temperature standard value TX [° C] measured by the temperature sensor 113. And the relative humidity correction unit 1143 that calculates the relative humidity standard value HX [%] at the position of the temperature sensor 113 based on the theoretical dew point td [° C.] and the temperature standard value TX [° C.], and the temperature standard value TX [ ℃] and a standard value output unit 1144 that outputs a relative humidity standard value HX [%].
容器１０２ａと温度センサ１１３については、第１、第２の実施例で説明したとおりである。
図１４は本実施例のセンサ校正支援機能を説明するフローチャートである。参考例で説明したとおり、温湿度制御演算部１０９は、オペレータにより任意に設定された目標温度ＳＴ［℃］と温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］とが一致するように温湿度発生部１０６を制御すると共に、オペレータにより任意に設定された目標相対湿度ＳＨ［％］と温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］とが一致するように温湿度発生部１０６を制御する。
The container 102a and the temperature sensor 113 are as described in the first and second embodiments .
FIG. 14 is a flowchart illustrating the sensor calibration support function of this embodiment. As explained in the reference example , the temperature / humidity control calculation unit 109 heats the target temperature ST [° C.] arbitrarily set by the operator so that the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105 matches. The temperature / humidity generating unit 106 is controlled so that the target relative humidity SH [%] arbitrarily set by the operator and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 match. To control.
センサ校正支援機能部１１４の温湿度取得部１１４０は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得する（図１４ステップＳ１００）。 The temperature / humidity acquisition unit 1140 of the sensor calibration support function unit 114 acquires the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 (step S100 in FIG. 14).
続いて、センサ校正支援機能部１１４の理論露点算出部１１４１は、温湿度取得部１１４０が取得した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とから理論露点ｔｄ［℃］を算出する。理論露点算出部１１４１は、飽和水蒸気圧算出部１１４１ａと、水蒸気圧算出部１１４１ｂと、露点算出部１１４１ｃとから構成される。 Subsequently, the theoretical dew point calculation unit 1141 of the sensor calibration support function unit 114 obtains the theoretical dew point td [° C] from the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] acquired by the temperature / humidity acquisition unit 1140. calculate. The theoretical dew point calculation unit 1141 is composed of a saturated vapor pressure calculation unit 1141a, a vapor pressure calculation unit 1141b, and a dew point calculation unit 1141c.
飽和水蒸気圧算出部１１４１ａは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、被制御温度ＰＴ［℃］における飽和水蒸気圧ｅw［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０１）。 The saturated steam pressure calculation unit 1141a calculates the saturated steam pressure e w [Pa] at the controlled temperature PT [° C.] by the saturated steam pressure formula of SONNTAG (FIG. 14, step S101).
式（１）の飽和蒸気圧式におけるＴ［Ｋ］は湿潤空気の絶対温度で、Ｔ＝ＰＴ＋２７３．１５である。また、式（１）のＡ〜Ｅは定数で、Ａ＝−６０９６．９３８５、Ｂ＝＋２１．２４０９６４２、Ｃ＝−２．７１１１９３×１０-2、Ｄ＝＋１．６７３９５２×１０-5、Ｅ＝＋２．４３３５０２である。 T [K] in the saturated vapor pressure equation of the formula (1) is the absolute temperature of the moist air, and T = PT + 273.15. Further, A to E in the equation (1) are constants, A = -6096.9385, B = + 21.2409642, C = -2.711193 × 10 -2 , D = + 1.673952 × 10 -5 , E =. It is +2.433502.
続いて、水蒸気圧算出部１１４１ｂは、飽和水蒸気圧ｅw［Ｐａ］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とに基づき、水蒸気圧ｅ［Ｐａ］を次式のように算出する（図１４ステップＳ１０２）。 Subsequently, the vapor pressure calculation unit 1141b calculates the vapor pressure e [Pa] based on the saturated vapor pressure e w [Pa] and the controlled relative humidity PH [%] as shown in the following equation (FIG. 14 step S102). ).
そして、露点算出部１１４１ｃは、水蒸気圧ｅ［Ｐａ］とＳＯＮＮＴＡＧ逆関数（ＪＩＳ Ｚ８８０６：２００１）とに基づき、次式により理論露点ｔｄ［℃］を算出する（図１４ステップＳ１０３）。 Then, the dew point calculation unit 1141c calculates the theoretical dew point td [° C.] by the following equation based on the vapor pressure e [Pa] and the SONNTAG inverse function (JIS Z8806: 2001) (FIG. 14, step S103).
露点算出部１１４１ｃは、理論露点ｔｄ［℃］の算出のための判別値ｙを式（３）により算出し、ｙが０以上の場合は式（４）により理論露点ｔｄ［℃］を算出し、ｙが０未満の場合は式（５）により理論露点ｔｄ［℃］を算出する。以上で、理論露点算出部１１４１の処理が終了する。
次に、温度標準値取得部１１４２は、校正済みの温度センサ１１３が計測した温度計測値ＴＸ［℃］を温度標準値として取得する（図１４ステップＳ１０４）。
The dew point calculation unit 1141c calculates the discriminant value y for calculating the theoretical dew point td [° C.] by the equation (3), and when y is 0 or more, calculates the theoretical dew point td [° C.] by the equation (4). If y is less than 0, the theoretical dew point td [° C.] is calculated by the equation (5). This completes the process of the theoretical dew point calculation unit 1141.
Next, the temperature standard value acquisition unit 1142 acquires the temperature measurement value TX [° C.] measured by the calibrated temperature sensor 113 as the temperature standard value (step S104 in FIG. 14).
相対湿度補正部１１４３は、理論露点算出部１１４１が算出した理論露点ｔｄ［℃］と温度標準値取得部１１４２が取得した温度標準値ＴＸ［℃］とから、被制御相対湿度ＰＨ［％］を補正した相対湿度標準値ＨＸ［％］を算出する。相対湿度補正部１１４３は、飽和水蒸気圧算出部１１４３ａ，１１４３ｂと、相対湿度標準値算出部１１４３ｃとから構成される。 The relative humidity correction unit 1143 obtains a controlled relative humidity PH [%] from the theoretical dew point td [° C.] calculated by the theoretical dew point calculation unit 1141 and the temperature standard value TX [° C.] acquired by the temperature standard value acquisition unit 1142. Calculate the corrected relative humidity standard value HX [%]. The relative humidity correction unit 1143 is composed of saturated water vapor pressure calculation units 1143a and 1143b and relative humidity standard value calculation unit 1143c.
飽和水蒸気圧算出部１１４３ａは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、理論露点ｔｄ［℃］における飽和水蒸気圧ｅw＿R［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０５）。 Saturated steam pressure calculating section 1143a is a saturated vapor pressure of Sonntag, calculates the saturated vapor pressure e w _ R in theory dew point td [℃] [Pa] (Fig. 14 step S105).
式（６）の飽和蒸気圧式における絶対温度Ｔ［Ｋ］は、Ｔ＝ｔｄ＋２７３．１５である。定数Ａ〜Ｅは式（１）で説明したとおりである。
一方、飽和水蒸気圧算出部１１４３ｂは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、温度標準値ＴＸ［℃］における飽和水蒸気圧ｅS［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０６）。
The absolute temperature T [K] in the saturated vapor pressure equation of the equation (6) is T = td + 273.15. The constants A to E are as described in the equation (1).
On the other hand, the saturated steam pressure calculation unit 1143b calculates the saturated steam pressure e S [Pa] at the temperature standard value TX [° C.] by the saturated steam pressure formula of SONNTAG (FIG. 14, step S106).
式（７）の飽和蒸気圧式における絶対温度Ｔ［Ｋ］は、Ｔ＝ＴＸ＋２７３．１５である。定数Ａ〜Ｅは式（１）で説明したとおりである。
そして、相対湿度標準値算出部１１４３ｃは、飽和水蒸気圧算出部１１４３ｂが算出した飽和水蒸気圧ｅS［Ｐａ］と飽和水蒸気圧算出部１１４３ａが算出した飽和水蒸気圧ｅw＿R［Ｐａ］との比を、温度センサ１１３の位置における相対湿度（相対湿度標準値）ＨＸ［％］として算出する（図１４ステップＳ１０７）。以上で、相対湿度補正部１１４３の処理が終了する。
The absolute temperature T [K] in the saturated vapor pressure equation of the equation (7) is T = TX + 273.15. The constants A to E are as described in the equation (1).
Then, the relative humidity reference value calculating unit 1143c includes a saturated steam pressure calculation block 1143b is calculated the saturated vapor pressure e S [Pa] and the saturated water vapor pressure saturated steam pressure calculation portion 1143a is calculated e w _ R [Pa] The ratio is calculated as relative humidity (relative humidity standard value) HX [%] at the position of the temperature sensor 113 (step S107 in FIG. 14). This completes the process of the relative humidity correction unit 1143.
標準値出力部１１４４は、温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］の値を表示制御部１１０ｃに出力する（図１４ステップＳ１０８）。
表示制御部１１０ｃは、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させると同時に、標準値出力部１１４４から出力された温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを表示部１１１に表示させる（図１４ステップＳ１０９）。
The standard value output unit 1144 outputs the values of the temperature standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] to the display control unit 110c (step S108 in FIG. 14).
The display control unit 110c causes the display unit 111 to display the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105, and at the same time, the temperature output from the standard value output unit 1144. The standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] are displayed on the display unit 111 (step S109 in FIG. 14).
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０ｃとセンサ校正支援機能部１１４とは、ＣＰＵ、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109, the display control unit 110c, and the sensor calibration support function unit 114 can be realized by a computer having a CPU, a storage device, and an interface, and a program that controls these hardware resources. The CPU executes the process described in this embodiment according to the program stored in the storage device.
次に、温湿度センサ１０の校正手順の１例について説明する。オペレータは、第２の実施例で説明したとおり、温度センサ１１３を校正対象の温湿度センサ１０の近傍に設置した上で、温湿度センサ１０が容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるようにチャンバ装置１００ｃを設置する。 Next, an example of the calibration procedure of the temperature / humidity sensor 10 will be described. As described in the second embodiment , the operator installs the temperature sensor 113 in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, and then the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a. The chamber device 100c is installed as described above.
そして、オペレータは、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とをそれぞれ任意の値に設定する。温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の動作は、上記のとおりである。 Then, the operator sets the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%] to arbitrary values. The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generating unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109 are as described above.
オペレータは、被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とが概ね整定した状態で、センサ校正支援機能部１１４に対して処理の実行を指示する。このとき、オペレータは、温湿度制御の開始から十分な時間が経過したときに整定状態と判断してもよいし、表示部１１１に表示される被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを見て整定状態か否かを判断してもよい。 The operator instructs the sensor calibration support function unit 114 to execute the process in a state where the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] are substantially set. At this time, the operator may determine that the settling state is set when a sufficient time has elapsed from the start of the temperature / humidity control, or the controlled temperature PT [° C.] displayed on the display unit 111 and the controlled relative humidity PH. You may judge whether or not it is in the settling state by looking at [%].
また、オペレータは、参考例で説明した整定判定部１０９０による整定状態通知機能により表示部１１１にメッセージが表示されたときに整定状態と判断してもよいし、参考例で説明した時間判定部１０９１による経過時間通知機能により表示部１１１にメッセージが表示されたときに整定状態と判断してもよい。 The operator may be determined that the settling state when a message on the display unit 111 by the settling state notification function according to the settling judgment section 1090 described in Reference Example is displayed, the time determining unit described in Reference Example 1091 When a message is displayed on the display unit 111 by the elapsed time notification function by, it may be determined that the setting state is set.
また、温湿度制御が整定したと整定判定部１０９０が判定したときに、センサ校正支援機能部１１４が図１４の処理を自動実行するようにしてもよい。
また、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したと時間判定部１０９１が判定したときに、センサ校正支援機能部１１４が図１４の処理を自動実行するようにしてもよい。
Further, when the settling determination unit 1090 determines that the temperature / humidity control has been settled, the sensor calibration support function unit 114 may automatically execute the process shown in FIG.
Further, when the time determination unit 1091 determines that a predetermined time has elapsed from the start time of the temperature / humidity control, the sensor calibration support function unit 114 may automatically execute the process shown in FIG.
オペレータは、センサ校正支援機能部１１４の処理によって表示部１１１に表示される温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを読み取る。
同時に、オペレータは、校正対象の温湿度センサ１０により計測される温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］とを読み取る。
The operator reads the temperature standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] displayed on the display unit 111 by the processing of the sensor calibration support function unit 114.
At the same time, the operator reads the temperature measurement value T 10 [° C.] and the relative humidity measurement value H 10 [%] measured by the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated.
以上のような温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］と温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］の取得を、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを変更しながら複数回行なう。 The acquisition of the temperature standard value TX [° C], the relative humidity standard value HX [%], the temperature measurement value T 10 [° C], and the relative humidity measurement value H 10 [%] as described above is defined as the target temperature ST [° C]. Perform multiple times while changing the target relative humidity SH [%].
こうして、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］に対する複数点の温度計測値Ｔ10［℃］と、複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］に対する複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］とを得ることができる。そして、オペレータは、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］と複数点の温度計測値Ｔ10［℃］との差異、および複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］と複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］との差異に基づき、温湿度センサ１０の周知の多点校正作業を実施することができる。 In this way, the temperature measurement value T 10 [° C.] at multiple points with respect to the temperature standard value TX [° C.] at multiple points and the relative humidity measurement value H 10 [%] at multiple points with respect to the relative humidity standard value HX [%] at multiple points. And can be obtained. Then, the operator can measure the difference between the temperature standard value TX [° C.] at multiple points and the temperature measurement value T 10 [° C.] at multiple points, and the relative humidity standard value HX [%] at multiple points and the relative humidity measurement at multiple points. Based on the difference from the value H 10 [%], the well-known multi-point calibration work of the temperature / humidity sensor 10 can be performed.
［数値例］
実際の校正作業における目標温度ＳＴ［℃］、目標相対湿度ＳＨ［％］、温度標準値ＴＸ［℃］、相対湿度標準値ＨＸ［％］、温度計測値Ｔ10［℃］、および相対湿度計測値Ｈ10［％］の数値例を表１に示す。ここでは、温湿度の組み合わせを３とおり（３点校正）としている。
[Numerical example]
Target temperature ST [° C], target relative humidity SH [%], temperature standard value TX [° C], relative humidity standard value HX [%], temperature measurement value T 10 [° C], and relative humidity measurement in actual calibration work Table 1 shows a numerical example of the value H 10 [%]. Here, there are three combinations of temperature and humidity (three-point calibration).
表１によると、被制御温度ＰＴ［℃］と温度標準値ＴＸ［℃］との間にずれがあり、容器１０２ａ内に温度分布が存在することが分かる。また、温度標準値ＴＸ［℃］と温度計測値Ｔ10［℃］との間、および相対湿度標準値ＨＸ［％］と相対湿度計測値Ｈ10［％］との間にずれがあり、温湿度センサ１０の校正が望ましいことが分かる。 According to Table 1, it can be seen that there is a discrepancy between the controlled temperature PT [° C.] and the temperature standard value TX [° C.], and the temperature distribution exists in the container 102a. In addition, there is a discrepancy between the temperature standard value TX [° C.] and the temperature measurement value T 10 [° C.], and between the relative humidity standard value HX [%] and the relative humidity measurement value H 10 [%]. It can be seen that calibration of the humidity sensor 10 is desirable.
以上のように、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０を収容する空間内の温度分布が大きい場合でも、被制御相対湿度ＰＨ［％］を、温湿度センサ１０の近傍の位置における相対湿度標準値ＨＸ［％］に補正することができるので、温湿度センサ１０の正確な校正を行なうことができる。 As described above, in this embodiment, even when the temperature distribution in the space accommodating the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is large, the controlled relative humidity PH [%] is set relative to the position near the temperature / humidity sensor 10. Since the humidity can be corrected to the standard humidity value HX [%], the temperature / humidity sensor 10 can be accurately calibrated.
本発明は、温湿度センサを校正する技術に適用することができる。 The present invention can be applied to a technique for calibrating a temperature / humidity sensor.
１０…温湿度センサ、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ…チャンバ装置、１０１…筐体、１０２，１０２ａ…容器、１０３…閉端、１０４…開放端、１０５…温湿度センサ、１０６…温湿度発生部、１０７…循環ファン、１０８…ペルチェ素子、１０９…温湿度制御演算部、１１０，１１０ｂ…表示制御部、１１１…表示部、１１２…断熱材、１１３…温度センサ、１１４…センサ校正支援機能部、１１５…操作部、１０２０，１０２０ａ，１０２０ｂ…空間、１０２１，１０２２…筒部、１０２３…空間、１０２４，１０２５…通気孔、１０９０…整定判定部、１０９１…時間判定部、１１４０…温湿度取得部、１１４１…理論露点算出部、１１４１ａ，１１４３ａ，１１４３ｂ…飽和水蒸気圧算出部、１１４１ｂ…水蒸気圧算出部、１１４１ｃ…露点算出部、１１４２…温度標準値取得部、１１４３…相対湿度補正部、１１４３ｃ…相対湿度標準値算出部、１１４４…標準値出力部。 10 ... Temperature / humidity sensor, 100, 100a, 100b, 100c ... Chamber device, 101 ... Housing, 102, 102a ... Container, 103 ... Closed end, 104 ... Open end, 105 ... Temperature / humidity sensor, 106 ... Temperature / humidity generator , 107 ... Circulation fan, 108 ... Perche element, 109 ... Temperature / humidity control calculation unit, 110, 110b ... Display control unit, 111 ... Display unit, 112 ... Insulation material, 113 ... Temperature sensor, 114 ... Sensor calibration support function unit, 115 ... Operation unit, 1020, 1020a, 1020b ... Space, 1021, 1022 ... Cylinder unit, 1023 ... Space, 1024, 1025 ... Vent hole, 1090 ... Settling determination unit, 1091 ... Time determination unit, 1140 ... Temperature / humidity acquisition unit, 1141 ... Theoretical dew point calculation unit, 1141a, 1143a, 1143b ... Saturated water vapor pressure calculation unit, 1141b ... Water vapor pressure calculation unit, 1141c ... Dew point calculation unit, 1142 ... Temperature standard value acquisition unit, 1143 ... Relative humidity correction unit, 1143c ... Relative Humidity standard value calculation unit, 1144 ... Standard value output unit.
Claims (4)
前記空間に、制御された温湿度環境を発生させるように構成された温湿度発生部と、
前記空間の温度がオペレータによって設定された目標温度と一致し、かつ前記空間の相対湿度がオペレータによって設定された目標相対湿度と一致するように前記温湿度発生部を制御するように構成された温湿度制御演算部と、
前記温湿度発生部と前記温湿度制御演算部とによって温湿度制御された空気を前記第１の温湿度センサの方へ送風するように構成されたファンとを備え、
前記容器は、前記第１の温湿度センサを収容する内側の第１の筒部と、この第１の筒部を収容する外側の第２の筒部とからなる二重の筒の形状であり、
前記第１の筒部と前記第２の筒部とは、互いの間に、前記ファンによって送風される空気が流れる第１の空間が形成されるように配置され、
前記第１の筒部は、
この第１の筒部の内部の空間を、前記第１の温湿度センサを収容する第２の空間と前記温湿度発生部の空気取入口に繋がる第３の空間とに分離する断熱材と、
前記第１の空間と前記第２の空間とを連通させる第１の通気孔とを備え、
前記断熱材は、前記第２の空間と前記第３の空間とを連通させる第２の通気孔を備えることを特徴とするチャンバ装置。 It is installed so that the first temperature / humidity sensor is housed in the internal space in the shape of a cylinder with one end open, with the wall surface on which the first temperature / humidity sensor to be calibrated is installed and the one end in contact. With the container to be
A temperature / humidity generator configured to generate a controlled temperature / humidity environment in the space,
A temperature configured to control the temperature / humidity generator so that the temperature of the space matches the target temperature set by the operator and the relative humidity of the space matches the target relative humidity set by the operator. Humidity control calculation unit and
A fan configured to blow air whose temperature and humidity are controlled by the temperature and humidity generating unit and the temperature and humidity control calculation unit to the first temperature and humidity sensor is provided .
The container has the shape of a double cylinder including an inner first cylinder portion accommodating the first temperature / humidity sensor and an outer second cylinder portion accommodating the first cylinder portion. ,
The first tubular portion and the second tubular portion are arranged so as to form a first space between each other so that air blown by the fan flows.
The first tubular portion
A heat insulating material that separates the space inside the first tubular portion into a second space that houses the first temperature / humidity sensor and a third space that connects to the air intake of the temperature / humidity generating portion.
A first vent for communicating the first space and the second space is provided.
The chamber device is characterized in that the heat insulating material includes a second vent that communicates the second space with the third space .
前記第３の空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、
前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、
前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするチャンバ装置。 In the chamber apparatus according to claim 1 ,
A second temperature / humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the third space as the controlled temperature and the controlled relative humidity, respectively.
Further, a display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the second temperature / humidity sensor is provided.
The temperature / humidity control calculation unit is characterized in that the temperature / humidity generation unit is controlled so that the target temperature and the controlled temperature match, and the target relative humidity and the controlled relative humidity match. Chamber device.
前記第１の温湿度センサの近傍の温度を計測するように構成された温度センサをさらに備え、
前記表示制御部は、前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示すると同時に、前記温度センサによって計測された温度を温度標準値として表示することを特徴とするチャンバ装置。 In the chamber apparatus according to claim 2 ,
Further comprising a temperature sensor configured to measure the temperature in the vicinity of the first temperature / humidity sensor.
The display control unit is a chamber device that displays the controlled temperature and the controlled relative humidity, and at the same time, displays the temperature measured by the temperature sensor as a temperature standard value.
前記温湿度発生部は、
前記温湿度制御演算部から出力される温度制御信号に応じて、空気を加熱または冷却するように構成された加熱・冷却アクチュエータと、
前記温湿度制御演算部から出力される湿度制御信号に応じて、空気を加湿または除湿するように構成された加湿・除湿アクチュエータとを備えることを特徴とするチャンバ装置。 In the chamber device according to any one of claims 1 to 3 .
The temperature / humidity generating part is
A heating / cooling actuator configured to heat or cool air according to a temperature control signal output from the temperature / humidity control calculation unit.
A chamber device including a humidifying / dehumidifying actuator configured to humidify or dehumidify air according to a humidity control signal output from the temperature / humidity control calculation unit.
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