JP2018124070A - Chamber device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、室内の壁面などに固定されている温湿度センサを校正する技術に係り、特に室内と異なる温湿度環境を作り出すことが可能なチャンバ装置に関するものである。 The present invention relates to a technique for calibrating a temperature / humidity sensor fixed to a wall surface of a room, and more particularly to a chamber apparatus capable of creating a temperature / humidity environment different from a room.
建物施設の室内に設置されている温湿度センサについては、施設の目的に応じて例えばホテル室内の居住環境、医薬品製造工場の衛生管理などの重要性により、然るべき計測精度を維持するために、センサの校正を適宜実施する必要がある。例えば特許文献１には、１０℃と１０２℃という、校正前の温度センサの計測値を、１３℃と１０７℃に校正する２点校正の例が開示されている。 The temperature and humidity sensor installed in the room of the building facility is used to maintain the appropriate measurement accuracy depending on the purpose of the facility, for example, the living environment in the hotel room and the hygiene management of the pharmaceutical manufacturing plant. It is necessary to perform the calibration of For example, Patent Document 1 discloses an example of two-point calibration in which measured values of a temperature sensor before calibration, such as 10 ° C. and 102 ° C., are calibrated to 13 ° C. and 107 ° C.
しかしながら、温湿度センサが設置された室内の温湿度環境の変更には時間がかかるため、温湿度センサの多点校正に時間がかかるという課題があった。したがって、室内の壁面などに固定されている温湿度センサの校正を、作業効率の事情などにより短時間で実施しなければならない場合には、その実施時点での室内の温湿度環境のみにおける１点校正にならざるを得ない。１点校正の場合、温湿度センサの本来の計測レンジを考慮した幅のある校正には至らないし、校正の実施時点での室内の温度と相対湿度も、偶然得られている値でしかない。つまり、センサの望ましい校正方法として一般的な多点校正に比べると雑な校正になるので、改善が求められている。 However, since it takes time to change the temperature and humidity environment in the room where the temperature and humidity sensor is installed, there is a problem that it takes time to calibrate the temperature and humidity sensor. Therefore, when the calibration of the temperature / humidity sensor fixed to the wall of the room or the like must be performed in a short time due to work efficiency, etc., only one point in the indoor temperature / humidity environment at the time of the implementation. It must be proofreading. In the case of one-point calibration, the calibration does not reach a wide range considering the original measurement range of the temperature / humidity sensor, and the room temperature and relative humidity at the time of calibration are only values obtained by chance. In other words, as a desirable calibration method for the sensor, it is a coarse calibration as compared with a general multi-point calibration, so an improvement is required.
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、室内の壁面などに固定されている温湿度センサの多点校正の実施容易性を高めることができるチャンバ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a chamber apparatus capable of enhancing the ease of performing multi-point calibration of a temperature and humidity sensor fixed to an indoor wall surface or the like. To do.
本発明のチャンバ装置は、一端が開いた筒の形状で、校正対象の第１の温湿度センサが設置された壁面と前記一端とが接触した状態で前記第１の温湿度センサが内部の空間に収容されるように設置される容器と、前記空間に、制御された温湿度環境を発生させるように構成された温湿度発生部と、前記空間の温度がオペレータによって設定された目標温度と一致し、かつ前記空間の相対湿度がオペレータによって設定された目標相対湿度と一致するように前記温湿度発生部を制御するように構成された温湿度制御演算部と、前記温湿度発生部と前記温湿度制御演算部とによって温湿度制御された空気を前記第１の温湿度センサの方へ送風するように構成されたファンとを備えることを特徴とするものである。
また、本発明のチャンバ装置の１構成例は、前記空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするものである。
The chamber apparatus of the present invention has a cylindrical shape with one end open, and the first temperature / humidity sensor is in an internal space in a state where the wall on which the first temperature / humidity sensor to be calibrated is in contact with the one end. A temperature and humidity generator configured to generate a controlled temperature and humidity environment in the space; a temperature of the space equal to a target temperature set by an operator; And a temperature / humidity control calculation unit configured to control the temperature / humidity generation unit so that the relative humidity of the space matches a target relative humidity set by an operator, the temperature / humidity generation unit, and the temperature And a fan configured to blow air, which is temperature and humidity controlled by a humidity control calculation unit, toward the first temperature and humidity sensor.
Also, one configuration example of the chamber apparatus of the present invention includes a second temperature / humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the space as a controlled temperature and a controlled relative humidity, respectively, and the second And a display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the temperature and humidity sensor, wherein the temperature and humidity control calculation unit includes the target temperature and the controlled value The temperature and humidity generator is controlled so that the temperature matches and the target relative humidity matches the controlled relative humidity.
また、本発明のチャンバ装置の１構成例において、前記容器は、前記第１の温湿度センサを収容する内側の第１の筒部と、この第１の筒部を収容する外側の第２の筒部とからなる二重の筒の形状であり、前記第１の筒部と前記第２の筒部とは、互いの間に、前記ファンによって送風される空気が流れる第１の空間が形成されるように配置され、前記第１の筒部は、この第１の筒部の内部の空間を、前記第１の温湿度センサを収容する第２の空間と前記温湿度発生部の空気取入口に繋がる第３の空間とに分離する断熱材と、前記第１の空間と前記第２の空間とを連通させる第１の通気孔とを備え、前記断熱材は、前記第２の空間と前記第３の空間とを連通させる第２の通気孔を備えることを特徴とするものである。
また、本発明のチャンバ装置の１構成例は、前記第３の空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするものである。
Moreover, in one structural example of the chamber apparatus of the present invention, the container includes an inner first tube portion that houses the first temperature / humidity sensor and an outer second tube that houses the first tube portion. The first cylinder part and the second cylinder part form a first space through which the air blown by the fan flows between the first cylinder part and the second cylinder part. The first tube portion is configured so that the space inside the first tube portion is divided into a second space for housing the first temperature / humidity sensor and an air intake of the temperature / humidity generating portion. A heat insulating material that is separated into a third space connected to the inlet; and a first air hole that communicates the first space with the second space, wherein the heat insulating material includes the second space and the second space. A second ventilation hole that communicates with the third space is provided.
In addition, one configuration example of the chamber apparatus of the present invention includes a second temperature and humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the third space as a controlled temperature and a controlled relative humidity, respectively. A display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the second temperature / humidity sensor, and the temperature / humidity control calculating unit includes the target temperature and The temperature / humidity generating unit is controlled so that the controlled temperature matches and the target relative humidity matches the controlled relative humidity.
また、本発明のチャンバ装置の１構成例は、前記第１の温湿度センサの近傍の温度を計測するように構成された温度センサをさらに備え、前記表示制御部は、前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示すると同時に、前記温度センサによって計測された温度を温度標準値として表示することを特徴とするものである。
また、本発明のチャンバ装置の１構成例において、前記温湿度発生部は、前記温湿度制御演算部から出力される温度制御信号に応じて、空気を加熱または冷却するように構成された加熱・冷却アクチュエータと、前記温湿度制御演算部から出力される湿度制御信号に応じて、空気を加湿または除湿するように構成された加湿・除湿アクチュエータとを備えることを特徴とするものである。
Further, one configuration example of the chamber apparatus of the present invention further includes a temperature sensor configured to measure a temperature in the vicinity of the first temperature and humidity sensor, and the display control unit includes the controlled temperature and the temperature The controlled relative humidity is displayed, and at the same time, the temperature measured by the temperature sensor is displayed as a temperature standard value.
Further, in one configuration example of the chamber apparatus of the present invention, the temperature / humidity generating unit is configured to heat / cool the air according to a temperature control signal output from the temperature / humidity control calculation unit. It comprises a cooling actuator and a humidifying / dehumidifying actuator configured to humidify or dehumidify air in accordance with a humidity control signal output from the temperature / humidity control calculation unit.
本発明によれば、校正対象の第１の温湿度センサを容器内の空間に収容することにより、第１の温湿度センサの周囲空間を小さくすることができ、異なる温湿度環境を作り出すことが容易になるので、第１の温湿度センサの多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。 According to the present invention, by accommodating the first temperature / humidity sensor to be calibrated in the space in the container, the space around the first temperature / humidity sensor can be reduced, and different temperature / humidity environments can be created. Since it becomes easy, the time required for multipoint calibration of the first temperature and humidity sensor can be shortened, and the ease of performing multipoint calibration can be improved.
また、本発明では、容器を二重の筒の形状にすることにより、校正対象の第１の温湿度センサに安定した気流を供給することができる。 Further, in the present invention, a stable airflow can be supplied to the first temperature / humidity sensor to be calibrated by making the container into the shape of a double cylinder.
また、本実施例では、第１の温湿度センサの近傍の温度を計測する温度センサを設けることにより、第１の温湿度センサが収容される空間内の温度分布の監視機能を実現することができる。その結果、オペレータは、所望の目標温度と第１の温湿度センサの近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 Further, in this embodiment, by providing a temperature sensor that measures the temperature in the vicinity of the first temperature / humidity sensor, it is possible to realize a monitoring function of the temperature distribution in the space in which the first temperature / humidity sensor is accommodated. it can. As a result, the operator can recognize whether there is a difference between the desired target temperature and the temperature in the vicinity of the first temperature and humidity sensor.
［発明の原理１］
温湿度センサの大きさに比べて、この温湿度センサを使って温湿度を計測しようとする室内空間が大きいことにより、異なる温湿度の状態を作り出して校正を行なうこと（多点校正）に時間がかかり過ぎることが、雑な校正で妥協せざるを得ない理由である。そこで、発明者は、持ち運び可能で、校正対象の温湿度センサを覆うように設置可能なチャンバ装置を用いて、校正対象の温湿度センサの周囲空間を小さくすればよいことに想到した。
[Principle of Invention 1]
Compared to the size of the temperature / humidity sensor, it takes time to calibrate by creating different temperature / humidity conditions due to the large indoor space where temperature and humidity are measured using this temperature / humidity sensor (multi-point calibration). Excessive cost is the reason why you have to compromise with a coarse calibration. Therefore, the inventor has come up with the idea that the space around the temperature / humidity sensor to be calibrated may be reduced by using a chamber device that can be carried and can be installed so as to cover the temperature / humidity sensor to be calibrated.
図１は、本発明のチャンバ装置の概要を説明する図である。チャンバ装置１００は、筐体１０１と、筐体１０１内に設けられ、一端が開いた筒の形状で、校正対象の温湿度センサ１０が設置された壁面１１と前記一端とが接触した状態で温湿度センサ１０が内部の空間に収容されるように設置される容器１０２と、容器１０２内の空間の温湿度を計測する温湿度センサ１０５と、容器１０２内の空間に、制御された温湿度環境を発生させる温湿度発生部１０６と、温湿度発生部１０６によって温湿度制御された空気を温湿度センサ１０の方へ送風する循環ファン１０７とを少なくとも備えている。 FIG. 1 is a diagram for explaining the outline of the chamber apparatus of the present invention. The chamber apparatus 100 is provided with a casing 101 and a cylindrical shape with one end opened, and the wall surface 11 on which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is placed in contact with the one end. A container 102 installed so that the humidity sensor 10 is accommodated in an internal space, a temperature / humidity sensor 105 that measures the temperature / humidity of the space in the container 102, and a controlled temperature / humidity environment in the space in the container 102 And a circulation fan 107 that blows air controlled by the temperature and humidity generator 106 toward the temperature and humidity sensor 10.
図１のＳＡは温湿度発生部１０６によって温湿度制御され、温湿度センサ１０の方へ供給される空気（給気）、ＲＡは温湿度センサ１０から温湿度発生部１０６の方へと戻る空気（還気）である。
こうして、校正対象の温湿度センサ１０を容器１０２内の空間に収容することにより、温湿度センサ１０の周囲空間を小さくすることができ、異なる温湿度環境を作り出すことが容易になるので、温湿度センサ１０の多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。
SA in FIG. 1 is temperature / humidity controlled by the temperature / humidity generation unit 106 and is supplied to the temperature / humidity sensor 10 (air supply), and RA is air returning from the temperature / humidity sensor 10 toward the temperature / humidity generation unit 106. (Return).
In this way, by accommodating the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated in the space in the container 102, the space around the temperature / humidity sensor 10 can be reduced, and it becomes easy to create different temperature / humidity environments. The time required for multipoint calibration of the sensor 10 can be shortened, and the ease of performing multipoint calibration can be improved.
［発明の原理２］
チャンバ装置１００が、持ち運び可能な大きさや形状である場合、校正対象の温湿度センサ１０の近傍の温湿度と、温湿度センサ１０５の近傍の温湿度とでは、例えば温湿度センサ１０が設置された壁面１１の温度の影響により、無視できないレベルの温度分布（温度差）とこれに伴う相対湿度分布（湿度差）が生じてしまうことがある。
[Principle of Invention 2]
When the chamber apparatus 100 has a portable size and shape, for example, the temperature / humidity sensor 10 is installed between the temperature / humidity near the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated and the temperature / humidity near the temperature / humidity sensor 105. The influence of the temperature of the wall surface 11 may cause a temperature distribution (temperature difference) at a level that cannot be ignored and a relative humidity distribution (humidity difference) associated therewith.
例えば図２に示すように、温湿度センサ１０５の計測結果を基に温湿度発生部１０６を制御して、容器１０２内の温湿度センサ１０５の近傍の温湿度を例えば２５［℃］、４４［％］に制御したとしても、壁面１１の温度が例えば３０［℃］の場合、容器１０２内の温湿度センサ１０の近傍の温湿度は、壁面１１の温度の影響を受けて例えば２６［℃］、４１［％］になってしまう。 For example, as shown in FIG. 2, the temperature / humidity generating unit 106 is controlled based on the measurement result of the temperature / humidity sensor 105, and the temperature / humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 105 in the container 102 is, for example, 25 [° C.], 44 [ %], If the temperature of the wall surface 11 is, for example, 30 [° C.], the temperature and humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 in the container 102 is influenced by the temperature of the wall surface 11 and is, for example, 26 [° C.]. 41 [%].
また、図３に示すように、容器１０２内の温湿度センサ１０５の近傍の温湿度を例えば２５［℃］、４４［％］に制御したとしても、壁面１１の温度が例えば２０［℃］の場合、容器１０２内の温湿度センサ１０の近傍の温湿度は、壁面１１の温度の影響を受けて例えば２３［℃］、５０［％］になってしまう。 As shown in FIG. 3, even if the temperature and humidity in the vicinity of the temperature and humidity sensor 105 in the container 102 are controlled to, for example, 25 [° C.] and 44 [%], the temperature of the wall surface 11 is 20 [° C.], for example. In this case, the temperature and humidity in the vicinity of the temperature and humidity sensor 10 in the container 102 are affected by the temperature of the wall surface 11 and become, for example, 23 [° C.] and 50 [%].
図４に示すように、制御用の温湿度センサ１０５をなるべく壁面１１に近付けたとしても少なからぬ温湿度差の影響を受けるし、また制御性能を維持するためには、温湿度センサ１０５を温湿度発生部１０６から遠ざけるのは好ましくない。 As shown in FIG. 4, even if the temperature / humidity sensor 105 for control is as close to the wall surface 11 as possible, the temperature / humidity sensor 105 is affected by a considerable temperature / humidity difference. It is not preferable to keep away from the humidity generator 106.
そこで、発明者は、校正対象の温湿度センサ１０の近傍にも温度センサを追加し、この温度センサにより計測される温度を標準値とすることに想到した。これにより、オペレータは、所望の目標温度と温湿度センサ１０の近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 Accordingly, the inventor has conceived that a temperature sensor is also added in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, and the temperature measured by the temperature sensor is set as a standard value. Thereby, the operator can recognize whether there is a difference between the desired target temperature and the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10.
［第１の実施例］
以下、本発明の第１の実施例について図面を参照して説明する。図５（Ａ）は本実施例に係るチャンバ装置１００の主要部の構成を示す断面図、図５（Ｂ）はチャンバ装置１００を温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図６はチャンバ装置１００の構成を示すブロック図である。図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６では、校正対象の温湿度センサ１０との関係を分かり易くするため、チャンバ装置１００の容器１０２内の空間１０２０に温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[First embodiment]
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 5A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber apparatus 100 according to the present embodiment, FIG. 5B is a front view of the chamber apparatus 100 as viewed from the wall surface side where the temperature and humidity sensor 10 is installed, FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the chamber apparatus 100. In FIG. 5A, FIG. 5B, and FIG. 6, the temperature / humidity sensor 10 is accommodated in the space 1020 in the container 102 of the chamber apparatus 100 in order to facilitate understanding of the relationship with the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated. I draw in the state.
チャンバ装置１００は、筐体１０１と、容器１０２と、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度発生部１０６内に設けられた加熱・冷却アクチュエータであるペルチェ素子１０８と、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］がオペレータによって設定された目標温度ＳＴ［℃］と一致し、かつ温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］がオペレータによって設定された目標相対湿度ＳＨ［％］と一致するように温湿度発生部１０６を制御する温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０と、例えば液晶パネル等の表示部１１１と、オペレータがチャンバ装置１００に指示を与えるための操作部１１５とを備えている。 The chamber apparatus 100 includes a housing 101, a container 102, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, and a Peltier element that is a heating / cooling actuator provided in the temperature / humidity generation unit 106. 108, the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105 matches the target temperature ST [° C.] set by the operator, and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 is A temperature / humidity control calculation unit 109 that controls the temperature / humidity generation unit 106 to match the target relative humidity SH [%] set by the operator, a display control unit 110, a display unit 111 such as a liquid crystal panel, and the operator Includes an operation unit 115 for giving an instruction to the chamber apparatus 100.
容器１０２は、筒状の構造をしており、温湿度制御を行なう上流側の端部が閉端１０３で、下流側の端部が校正対象の温湿度センサ１０を収容できるように開放端１０４となっている。周囲に対して断熱する必要がある場合、容器１０２の材料としては、断熱性の良い樹脂やセラミックを用いることが好ましい。温湿度センサ１０の周囲空間を小容量とし、かつ持ち運び可能なチャンバ装置１００を実現するため、容器１０２のサイズは、筒の径が例えば十数ｃｍ程度、長さが数十ｃｍ程度であることが好ましい。 The container 102 has a cylindrical structure, and the upstream end that performs temperature and humidity control is the closed end 103, and the downstream end is the open end 104 so that the temperature and humidity sensor 10 to be calibrated can be accommodated. It has become. When it is necessary to insulate the surroundings, it is preferable to use a resin or ceramic with good heat insulation as the material of the container 102. In order to realize a portable chamber device 100 with a small space around the temperature / humidity sensor 10 and being portable, the size of the container 102 is, for example, a diameter of a cylinder of about several tens of cm and a length of about several tens of cm. Is preferred.
オペレータは、チャンバ装置１００を使用して温湿度センサ１０の校正を行なう場合、図１に示したように温湿度センサ１０が容器１０２内の空間１０２０に収容された状態になるように、容器１０２の下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。 When the operator calibrates the temperature / humidity sensor 10 using the chamber apparatus 100, the container 102 is arranged so that the temperature / humidity sensor 10 is accommodated in the space 1020 in the container 102 as shown in FIG. 1. Is pressed against the wall surface 11 in the room where the temperature / humidity sensor 10 is installed.
空間１０２０の気密性を向上させるため、チャンバ装置１００は、容器１０２を壁面１１に押し付ける押圧機構を備えていてもよい。ただし、本発明では、温湿度センサ１０の簡易な校正を想定しているため、空間１０２０の厳密な気密性を確保することは本発明の必須の構成要件ではない。 In order to improve the airtightness of the space 1020, the chamber apparatus 100 may include a pressing mechanism that presses the container 102 against the wall surface 11. However, since simple calibration of the temperature / humidity sensor 10 is assumed in the present invention, ensuring strict airtightness of the space 1020 is not an essential component of the present invention.
温湿度センサ１０５は、容器１０２内の上流側に設けられる。温湿度センサ１０５は、温湿度発生部１０６の近傍に設けられることが望ましい。また、温湿度センサ１０５は、事前に校正されているものとする。 The temperature / humidity sensor 105 is provided on the upstream side in the container 102. The temperature / humidity sensor 105 is desirably provided in the vicinity of the temperature / humidity generating unit 106. The temperature / humidity sensor 105 is calibrated in advance.
温湿度発生部１０６は、容器１０２内の空間１０２０に、制御された温湿度環境を発生させる。具体的には、温湿度発生部１０６は、容器１０２内の空気の加熱または冷却を行なう加熱・冷却アクチュエータとしてペルチェ素子１０８を備えており、また容器１０２内の空気の加湿または除湿を行なう加湿・除湿アクチュエータとして分流式湿度発生装置（不図示）を備えている。 The temperature / humidity generator 106 generates a controlled temperature / humidity environment in the space 1020 in the container 102. Specifically, the temperature / humidity generating unit 106 includes a Peltier element 108 as a heating / cooling actuator that heats or cools the air in the container 102, and also performs humidification / dehumidification to humidify or dehumidify the air in the container 102. A shunt type humidity generator (not shown) is provided as a dehumidifying actuator.
周知のとおり、分流式湿度発生装置は、還気ＲＡを除湿器（例えば乾燥剤）により乾燥させ、この乾燥空気を２つの流れに分け、一方の空気を加湿器（例えば超音波加湿器）により加湿し、乾燥空気と加湿した空気とを混合して送り出す装置である。分流式湿度発生装置は、乾燥空気の流量と加湿した空気の流量との比を調整することにより、所望の相対湿度の空気を作り出すことができる。 As is well known, in the shunt-type humidity generator, the return air RA is dried by a dehumidifier (for example, a desiccant), the dry air is divided into two flows, and one air is divided by a humidifier (for example, an ultrasonic humidifier). It is a device that humidifies, mixes dry air and humidified air, and sends it out. The shunt-type humidity generator can produce air having a desired relative humidity by adjusting the ratio of the flow rate of dry air and the flow rate of humidified air.
オペレータは、上記のようにチャンバ装置１００を設置した後に、操作部１１５を操作して、任意の目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを設定し、温湿度制御演算部１０９に対して温湿度制御の開始を指示する。
図７（Ａ）は温湿度制御演算部１０９の温度制御動作を説明するフローチャート、図７（Ｂ）は温湿度制御演算部１０９の湿度制御動作を説明するフローチャートである。
After installing the chamber apparatus 100 as described above, the operator operates the operation unit 115 to set an arbitrary target temperature ST [° C.] and target relative humidity SH [%], and the temperature and humidity control calculation unit 109. To start temperature / humidity control.
7A is a flowchart for explaining the temperature control operation of the temperature / humidity control calculation unit 109, and FIG. 7B is a flowchart for explaining the humidity control operation of the temperature / humidity control calculation unit 109.
温湿度制御演算部１０９は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］を取得し（図７（Ａ）ステップＳ１０）、目標温度ＳＴ［℃］と被制御温度ＰＴ［℃］とが一致するようにＰＩＤ制御演算により操作量を算出する（図７（Ａ）ステップＳ１１）。そして、温湿度制御演算部１０９は、算出した操作量に応じた電流値のペルチェ制御信号（温度制御信号）を温湿度発生部１０６のペルチェ素子１０８に出力する（図７（Ａ）ステップＳ１２）。温湿度制御演算部１０９は、例えばオペレータによって温湿度制御の終了が指示されるまで（図７（Ａ）ステップＳ１３においてＹＥＳ）、ステップＳ１０〜Ｓ１２の処理を制御周期毎に繰り返し実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 acquires the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature / humidity sensor 105 (FIG. 7A, step S10), and sets the target temperature ST [° C.] and the controlled temperature PT [° C.]. The operation amount is calculated by the PID control calculation so as to match (step S11 in FIG. 7A). The temperature / humidity control calculation unit 109 outputs a Peltier control signal (temperature control signal) having a current value corresponding to the calculated operation amount to the Peltier element 108 of the temperature / humidity generation unit 106 (step S12 in FIG. 7A). . The temperature / humidity control calculation unit 109 repeatedly executes the processes of steps S10 to S12 for each control cycle until, for example, the operator instructs the end of the temperature / humidity control (YES in step S13 in FIG. 7A).
こうして、ペルチェ素子１０８により容器１０２内の空気を目標温度ＳＴに加熱または冷却することができる。なお、加熱・冷却アクチュエータとして、ペルチェ素子以外のものを使用することも可能である。 Thus, the air in the container 102 can be heated or cooled to the target temperature ST by the Peltier element 108. It is possible to use a heating / cooling actuator other than the Peltier element.
また、温湿度制御演算部１０９は、温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］を取得し（図７（Ｂ）ステップＳ２０）、目標相対湿度ＳＨ［％］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とが一致するようにＰＩＤ制御演算により操作量を算出する（図７（Ｂ）ステップＳ２１）。そして、温湿度制御演算部１０９は、算出した操作量に応じた分流比制御信号（湿度制御信号）を温湿度発生部１０６の流量制御バルブ（不図示）に出力する（図７（Ｂ）ステップＳ２２）。温湿度制御演算部１０９は、例えばオペレータによって温湿度制御の終了が指示されるまで（図７（Ｂ）ステップＳ２３においてＹＥＳ）、ステップＳ２０〜Ｓ２２の処理を制御周期毎に繰り返し実行する。 Moreover, the temperature / humidity control calculation unit 109 acquires the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 (step S20 in FIG. 7B), and the target relative humidity SH [%] and the controlled relative humidity. The operation amount is calculated by PID control calculation so that PH [%] matches (step S21 in FIG. 7B). Then, the temperature / humidity control calculation unit 109 outputs a diversion ratio control signal (humidity control signal) corresponding to the calculated operation amount to a flow rate control valve (not shown) of the temperature / humidity generation unit 106 (step (B) in FIG. 7). S22). The temperature / humidity control calculation unit 109 repeatedly executes the processes of steps S20 to S22 for each control cycle until, for example, the operator instructs the end of the temperature / humidity control (YES in step S23 in FIG. 7B).
こうして、上述した乾燥空気と加湿した空気の両方またはどちらか一方の流量を流量制御バルブによって制御することにより、容器１０２内の空気を目標相対湿度ＳＨに加湿または除湿することができる。なお、加湿・除湿アクチュエータとして、分流式湿度発生装置以外のものを使用することも可能である。 In this way, the air in the container 102 can be humidified or dehumidified to the target relative humidity SH by controlling the flow rate of either or both of the dry air and the humidified air described above by the flow rate control valve. In addition, it is also possible to use things other than a shunt-type humidity generator as a humidification / dehumidification actuator.
循環ファン１０７は、温湿度発生部１０６と温湿度制御演算部１０９とによって温湿度制御された空気（給気ＳＡ）を下流側の温湿度センサ１０の方へ送り出す。本実施例では、温湿度発生部１０６の空気流出口（不図示）から流出した給気ＳＡが容器１０２の内壁近くを流れて下流側へ供給されるようになっている。 The circulation fan 107 sends out air (supply air SA), which is temperature / humidity controlled by the temperature / humidity generation unit 106 and the temperature / humidity control calculation unit 109, toward the temperature / humidity sensor 10 on the downstream side. In the present embodiment, the supply air SA that has flowed out from the air outlet (not shown) of the temperature / humidity generator 106 flows near the inner wall of the container 102 and is supplied downstream.
一方、還気ＲＡは、給気ＳＡよりも内側を流れ、上流側の温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）から温湿度発生部１０６の内部に戻り、再び温湿度制御されるようになっている。なお、後述の実施例と異なり、容器１０２内が空気を分ける構造になっていないため、給気ＳＡと還気ＲＡが明確に分かれていないことは言うまでもない。 On the other hand, the return air RA flows inside the supply air SA, returns from the air intake (not shown) of the upstream temperature / humidity generation unit 106 to the inside of the temperature / humidity generation unit 106, and is temperature / humidity controlled again. It has become. Needless to say, the air supply SA and the return air RA are not clearly separated because the inside of the container 102 is not structured to separate air, unlike the embodiments described later.
表示制御部１１０は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得して、この被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させる。 The display control unit 110 acquires the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105, and the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [ %] Is displayed on the display unit 111.
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 and the display control unit 110 can be realized by a computer having a CPU (Central Processing Unit), a storage device, and an interface, and a program for controlling these hardware resources. The CPU executes processing described in this embodiment according to a program stored in the storage device.
以上のように、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０が設置された室内と異なる温湿度環境を作り出すことが容易になる。オペレータは、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とをそれぞれ任意の値に設定した後に、温湿度制御が概ね整定した状態で、表示部１１１に表示された被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］の値を読み取り、また温湿度センサ１０により計測される温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］とを読み取るようにすればよい。 As described above, in this embodiment, it becomes easy to create a temperature and humidity environment different from the room in which the temperature and humidity sensor 10 to be calibrated is installed. The operator sets the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%] to arbitrary values and then sets the controlled temperature PT [ [° C.] and the value of the controlled relative humidity PH [%], and the temperature measurement value T 10 [° C.] and the relative humidity measurement value H 10 [%] measured by the temperature / humidity sensor 10 are read. Good.
このような作業を目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを変更しながら複数回行なうようにすれば、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］に対する複数点の温度計測値Ｔ10［℃］と、複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］に対する複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］とを得ることができる。 If such an operation is performed a plurality of times while changing the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%], the temperature measurement values T at a plurality of points with respect to the temperature standard values TX [° C.] at a plurality of points. 10 [° C.] and a plurality of relative humidity measurement values H 10 [%] with respect to a plurality of relative humidity standard values HX [%] can be obtained.
そして、オペレータは、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］と複数点の温度計測値Ｔ10［℃］との差異、および複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］と複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］との差異に基づき、温湿度センサ１０の周知の多点校正作業を実施することができる。本実施例では、様々な温湿度環境を作り出すことが容易になるので、温湿度センサ１０の多点校正に要する時間を短縮することができ、多点校正の実施容易性を高めることができる。 Then, the operator makes a difference between the temperature standard values TX [° C.] at a plurality of points and the temperature measurement values T 10 [° C.] at a plurality of points, and measures the relative humidity standard values HX [%] at a plurality of points and the relative humidity measurements at a plurality of points. Based on the difference from the value H 10 [%], a well-known multi-point calibration operation of the temperature / humidity sensor 10 can be performed. In this embodiment, since it becomes easy to create various temperature and humidity environments, the time required for multipoint calibration of the temperature and humidity sensor 10 can be shortened, and the ease of implementation of multipoint calibration can be improved.
なお、本実施例では、温湿度発生部１０６と循環ファン１０７とを容器１０２の内部に設けているが、これに限るものではなく、容器１０２の外部に設けるようにしてもよい。
温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の機能を備えた装置として、例えばロトロニック社製の小型高精度温湿度校正器ＨＧ２−Ｓがある。このような小型高精度温湿度校正器を利用する場合、容器１０２の閉端１０３側に小型高精度温湿度校正器との接合機構を設け、この接合機構を介して小型高精度温湿度校正器の温湿度発生部１０６と容器１０２内の空間１０２０とが連通状態になるようにすればよい。
In this embodiment, the temperature / humidity generating unit 106 and the circulation fan 107 are provided inside the container 102, but the present invention is not limited to this, and may be provided outside the container 102.
As a device having the functions of the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109, for example, there is a small high-precision temperature / humidity calibrator HG2-S manufactured by Rotronic. When such a small high-precision temperature / humidity calibrator is used, a joining mechanism with a small high-precision temperature / humidity calibrator is provided on the closed end 103 side of the container 102, and the small high-precision temperature / humidity calibrator is provided via this joining mechanism. The temperature / humidity generator 106 and the space 1020 in the container 102 may be in communication with each other.
また、本実施例のチャンバ装置１００は、整定状態通知機能を備えていてもよい。具体的には、温湿度制御演算部１０９内の整定判定部１０９０は、被制御温度ＰＴ［℃］が目標温度ＳＴ［℃］を中心とする所定の温度範囲内である状態が一定時間以上継続し、かつ被制御相対湿度ＰＨ［％］が目標相対湿度ＳＨ［％］を中心とする所定の湿度範囲内である状態が一定時間以上継続したときに、温湿度制御の整定状態と判定し、整定状態であることを表示制御部１１０に通知するようにしてもよい。これにより、表示制御部１１０は、整定状態であることを知らせるメッセージを表示部１１１に表示させて、オペレータに通知する。ただし、整定状態の判定方法は上記の例に限るものではなく、他の方法によって判定してもよい。 Moreover, the chamber apparatus 100 of a present Example may be provided with the settling state notification function. Specifically, the settling determination unit 1090 in the temperature / humidity control calculation unit 109 continues the state in which the controlled temperature PT [° C.] is within a predetermined temperature range centered on the target temperature ST [° C.] for a predetermined time or more. And when the state in which the controlled relative humidity PH [%] is within a predetermined humidity range centered on the target relative humidity SH [%] continues for a predetermined time or more, it is determined that the temperature and humidity control is in a settling state, You may make it notify the display control part 110 that it is a settling state. As a result, the display control unit 110 displays a message notifying that it is in the settling state on the display unit 111 and notifies the operator. However, the determination method of a settling state is not restricted to said example, You may determine by another method.
また、本実施例のチャンバ装置１００は、経過時間通知機能を備えていてもよい。具体的には、温湿度制御演算部１０９内の時間判定部１０９１は、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したか否かを判定し、所定時間が経過したときに表示制御部１１０に通知するようにしてもよい。これにより、表示制御部１１０は、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したことを知らせるメッセージを表示部１１１に表示させて、オペレータに通知する。 Further, the chamber apparatus 100 of the present embodiment may have an elapsed time notification function. Specifically, the time determination unit 1091 in the temperature / humidity control calculation unit 109 determines whether or not a predetermined time has elapsed since the start of the temperature and humidity control, and when the predetermined time has elapsed, You may make it notify. Thereby, the display control unit 110 displays a message notifying that a predetermined time has elapsed from the start time of the temperature and humidity control on the display unit 111 and notifies the operator.
［第２の実施例］
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図８（Ａ）は本実施例に係るチャンバ装置１００ａの主要部の構成を示す断面図、図８（Ｂ）はチャンバ装置１００ａを温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図９はチャンバ装置１００ａの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６と同一の構成には同一の符号を付してある。第１の実施例と同様に、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９では、チャンバ装置１００ａの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. 8A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber apparatus 100a according to the present embodiment, FIG. 8B is a front view of the chamber apparatus 100a as viewed from the wall surface side where the temperature and humidity sensor 10 is installed, FIG. 9 is a block diagram showing the configuration of the chamber apparatus 100a. The same components as those in FIGS. 5A, 5B, and 6 are given the same reference numerals. As in the first embodiment, FIGS. 8A, 8B, and 9 show the temperature / humidity sensor 10 in the space 1020a in the container 102a of the chamber apparatus 100a.
本実施例のチャンバ装置１００ａは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０と、表示部１１１と、断熱材１１２と、操作部１１５とを備えている。 The chamber apparatus 100a of the present embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, a display control unit 110, A display unit 111, a heat insulating material 112, and an operation unit 115 are provided.
本実施例の容器１０２ａは、外側の筒部１０２１と、この筒部１０２１に収容される内側の筒部１０２２とからなる二重の筒状の構造になっている。外側の筒部１０２１と内側の筒部１０２２とは、互いの間に、循環ファン１０７によって送風される給気ＳＡが流れる流路となる空間１０２３が形成されるように配置されている。 The container 102a of the present embodiment has a double cylindrical structure including an outer cylindrical portion 1021 and an inner cylindrical portion 1022 accommodated in the cylindrical portion 1021. The outer cylinder part 1021 and the inner cylinder part 1022 are arranged so that a space 1023 serving as a flow path through which the supply air SA blown by the circulation fan 107 flows is formed between them.
筒部１０２１，１０２２の上流側の端部は閉端１０３で、筒部１０２２の下流側の端部が校正対象の温湿度センサ１０を収容できるように開放端１０４となっている。なお、本実施例では、筒部１０２１と筒部１０２２との間の空間１０２３の下流側を開放端としている。第１の実施例と同様に、容器１０２ａの下流側の端部が壁面１１に押し付けられたときに、空間１０２３の下流側の端部は壁面１１によって塞がれることになるが、空間１０２３の下流側の端部を閉端にしておいてもよい。 The upstream ends of the tube portions 1021 and 1022 are the closed end 103, and the downstream end portion of the tube portion 1022 is the open end 104 so that the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated can be accommodated. In the present embodiment, the downstream side of the space 1023 between the cylindrical portion 1021 and the cylindrical portion 1022 is an open end. Similar to the first embodiment, when the downstream end of the container 102a is pressed against the wall surface 11, the downstream end of the space 1023 is blocked by the wall surface 11, but the space 1023 The downstream end may be closed.
筒部１０２２内には、例えば樹脂製の断熱材１１２が設置されている。断熱材１１２は、筒部１０２２内の空間を、校正対象の温湿度センサ１０を収容する下流側の空間１０２０ａと、還気ＲＡが温湿度発生部１０６へと戻る流路となる上流側の空間１０２０ｂとに分離する。空間１０２０ｂは、温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）と連通している。 In the cylindrical portion 1022, for example, a heat insulating material 112 made of resin is installed. The heat insulating material 112 includes a space in the cylinder portion 1022, a downstream space 1020 a that houses the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, and an upstream space that serves as a flow path for the return air RA to return to the temperature / humidity generator 106. Separated into 1020b. The space 1020b communicates with an air intake (not shown) of the temperature / humidity generator 106.
筒部１０２２内の下流側の空間１０２０ａと空間１０２３とは、筒部１０２２に形成された通気孔１０２４を介して連通している。循環ファン１０７によって送風される給気ＳＡは、通気孔１０２４を通って空間１０２０ａに流入するようになっている。
一方、空間１０２０ａと空間１０２０ｂとは、断熱材１１２に形成された通気孔１０２５を介して連通している。
The space 1020a and the space 1023 on the downstream side in the tube portion 1022 communicate with each other through a vent hole 1024 formed in the tube portion 1022. The supply air SA blown by the circulation fan 107 flows into the space 1020a through the vent hole 1024.
On the other hand, the space 1020a and the space 1020b communicate with each other through a vent hole 1025 formed in the heat insulating material 112.
第１の実施例と同様に、オペレータは、チャンバ装置１００ａを使用して温湿度センサ１０の校正を行なう場合、温湿度センサ１０が容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるように、容器１０２ａの下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。
温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０と表示部１１１の動作は、第１の実施例で説明したとおりである。
As in the first embodiment, when the operator calibrates the temperature / humidity sensor 10 using the chamber device 100a, the temperature / humidity sensor 10 is accommodated in the space 1020a in the container 102a. The downstream end of the container 102a is pressed against the wall surface 11 in the room where the temperature / humidity sensor 10 is installed.
The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, the temperature / humidity control calculation unit 109, the display control unit 110, and the display unit 111 are as described in the first embodiment.
温湿度発生部１０６と温湿度制御演算部１０９とによって温湿度制御された給気ＳＡは、空間１０２３と通気孔１０２４とを通って空間１０２０ａに流入する。これにより、空間１０２０ａ内に収容されている温湿度センサ１０は、空間１０２０ａに流入した給気ＳＡに曝される状態となる。そして、還気ＲＡは、空間１０２０ａから通気孔１０２５を通って空間１０２０ｂに流入し、温湿度発生部１０６の空気取入口（不図示）から温湿度発生部１０６の内部に戻り、再び温湿度制御されるようになっている。
こうして、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０に安定した気流を供給することができる。
The supply air SA whose temperature and humidity are controlled by the temperature and humidity generation unit 106 and the temperature and humidity control calculation unit 109 flows into the space 1020 a through the space 1023 and the vent hole 1024. Thereby, the temperature / humidity sensor 10 accommodated in the space 1020a is exposed to the supply air SA flowing into the space 1020a. Then, the return air RA flows into the space 1020b from the space 1020a through the vent hole 1025, returns to the inside of the temperature / humidity generation unit 106 from the air intake (not shown) of the temperature / humidity generation unit 106, and is again controlled by the temperature / humidity control. It has come to be.
Thus, in this embodiment, a stable airflow can be supplied to the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated.
なお、第１の実施例と同様に、温湿度発生部１０６と循環ファン１０７とを容器１０２ａの外部に設けるようにしてもよい。温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の機能を備えた装置として、第１の実施例で説明した温湿度校正器を利用する場合、容器１０２ａの閉端１０３側に温湿度校正器との接合機構を設け、この接合機構を介して温湿度校正器の温湿度発生部１０６の空気流出口と容器１０２ａの空間１０２３とを連通させ、さらに温湿度発生部１０６の空気取入口と容器１０２ａの空間１０２０ｂとを連通させるようにすればよい。 As in the first embodiment, the temperature / humidity generator 106 and the circulation fan 107 may be provided outside the container 102a. When the temperature / humidity calibrator described in the first embodiment is used as a device having the functions of the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109, the temperature is set on the closed end 103 side of the container 102a. A joining mechanism with the humidity calibrator is provided, and the air outlet of the temperature / humidity generating unit 106 of the temperature / humidity calibrator communicates with the space 1023 of the container 102a through this joining mechanism. What is necessary is just to make it make an entrance and the space 1020b of the container 102a communicate.
［第３の実施例］
次に、本発明の第３の実施例について説明する。図１０（Ａ）は本実施例に係るチャンバ装置１００ｂの主要部の構成を示す断面図、図１０（Ｂ）はチャンバ装置１００ｂを温湿度センサ１０が設置された壁面側から見た正面図、図１１はチャンバ装置１００ｂの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９と同一の構成には同一の符号を付してある。第１、第２の実施例と同様に、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１では、チャンバ装置１００ｂの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。
[Third embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. 10A is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the chamber apparatus 100b according to the present embodiment, FIG. 10B is a front view of the chamber apparatus 100b as viewed from the wall surface side where the temperature and humidity sensor 10 is installed, FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of the chamber apparatus 100b. The same configuration as that of FIGS. 5A, 5B, 6, 8A, 8B, and 9 is used. The same reference numerals are given. As in the first and second embodiments, in FIGS. 10A, 10B, and 11, the temperature / humidity sensor 10 is drawn in the space 1020a in the container 102a of the chamber apparatus 100b. Yes.
本実施例のチャンバ装置１００ｂは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０ｂと、表示部１１１と、断熱材１１２と、温湿度センサ１０の近傍の温度を計測する温度センサ１１３と、操作部１１５とを備えている。 The chamber apparatus 100b of the present embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, a display control unit 110b, A display unit 111, a heat insulating material 112, a temperature sensor 113 that measures the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10, and an operation unit 115 are provided.
容器１０２ａの構造は第２の実施例で説明したとおりである。本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布（温湿度センサ１０５が計測する被制御温度ＰＴと温湿度センサ１０の近傍の温度との差）を監視するために、温湿度センサ１０の近傍に温度センサ１１３を追加している。なお、温度センサ１１３は、事前に校正されているものとする。 The structure of the container 102a is as described in the second embodiment. In this embodiment, in order to monitor the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is accommodated (the difference between the controlled temperature PT measured by the temperature / humidity sensor 105 and the temperature near the temperature / humidity sensor 10). In addition, a temperature sensor 113 is added in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10. It is assumed that the temperature sensor 113 has been calibrated in advance.
温度センサ１１３は、温湿度センサ１０の近傍であるほど好ましい。一般に、温湿度センサ１０は、壁面１１に固定されたセンサの本体ユニットがカバーで覆われ、このカバーに形成された隙間から空気が流入するようになっている。そこで、温湿度センサ１０の校正を行なう場合には、カバーを外して本体ユニットを露出させ、この本体ユニットの近傍に温度センサ１１３を設置する。 The temperature sensor 113 is preferably near the temperature / humidity sensor 10. In general, the temperature / humidity sensor 10 is configured such that a sensor main body unit fixed to a wall surface 11 is covered with a cover, and air flows from a gap formed in the cover. Therefore, when the temperature / humidity sensor 10 is calibrated, the cover is removed to expose the main unit, and the temperature sensor 113 is installed in the vicinity of the main unit.
このように温度センサ１１３を設置した状態で、オペレータは、温湿度センサ１０がチャンバ装置１００ｂの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるように、容器１０２ａの下流側の端部を、温湿度センサ１０が設置された室内の壁面１１に押し付ける。
温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の動作は、第１、第２の実施例で説明したとおりである。
With the temperature sensor 113 installed in this manner, the operator moves the downstream end of the container 102a so that the temperature / humidity sensor 10 is accommodated in the space 1020a in the container 102a of the chamber apparatus 100b. The temperature / humidity sensor 10 is pressed against the wall surface 11 in the room.
The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109 are as described in the first and second embodiments.
本実施例の表示制御部１１０ｂは、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］と、温度センサ１１３が計測した温度計測値ＴＸ［℃］とを取得して、第１の実施例と同様に被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させると同時に、温度の標準値として温度計測値ＴＸ［℃］を表示部１１１に表示させる。 The display control unit 110b of the present embodiment uses the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature and humidity sensor 105, and the temperature measurement value TX [° C.] measured by the temperature sensor 113. As in the first embodiment, the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] are displayed on the display unit 111, and at the same time, the temperature measurement value TX [° C. is used as the standard temperature value. ] Is displayed on the display unit 111.
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０ｂとは、ＣＰＵ、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109 and the display control unit 110b can be realized by a computer including a CPU, a storage device, and an interface, and a program for controlling these hardware resources. The CPU executes processing described in this embodiment according to a program stored in the storage device.
こうして、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布の監視機能を実現することができる。その結果、オペレータは、所望の目標温度ＳＴと温湿度センサ１０の近傍の温度とに差があるかどうかを認識することができる。 Thus, in this embodiment, it is possible to realize a monitoring function of the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is accommodated. As a result, the operator can recognize whether there is a difference between the desired target temperature ST and the temperature in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10.
［第４の実施例］
次に、本発明の第４の実施例について説明する。校正対象の温湿度センサ１０が収容される空間内の温度分布が小さい場合には、第３の実施例のような温度の監視機能があればよい。一方、温度分布が大きい場合には、被制御相対湿度ＰＨを、温湿度センサ１０の近傍の相対湿度に補正する必要がある。本実施例は、このような相対湿度の補正を行なう例である。
[Fourth embodiment]
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. When the temperature distribution in the space in which the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is accommodated is small, a temperature monitoring function as in the third embodiment is sufficient. On the other hand, when the temperature distribution is large, it is necessary to correct the controlled relative humidity PH to the relative humidity in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10. The present embodiment is an example in which such relative humidity correction is performed.
図１２は本実施例のチャンバ装置１００ｃの構成を示すブロック図であり、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図６、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１と同一の構成には同一の符号を付してある。第１〜第３の実施例と同様に、図１２では、チャンバ装置１００ｃの容器１０２ａ内の空間１０２０ａに温湿度センサ１０を収容した状態で描いている。 FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the chamber apparatus 100c of the present embodiment. FIG. 5 (A), FIG. 5 (B), FIG. 6, FIG. 8 (A), FIG. 8 (B), FIG. 10 (A), FIG. 10 (B), and FIG. 11, the same code | symbol is attached | subjected to the structure. Similar to the first to third embodiments, FIG. 12 illustrates the temperature / humidity sensor 10 accommodated in the space 1020a in the container 102a of the chamber apparatus 100c.
本実施例のチャンバ装置１００ｃは、筐体１０１と、容器１０２ａと、温湿度センサ１０５と、温湿度発生部１０６と、循環ファン１０７と、温湿度制御演算部１０９と、表示制御部１１０ｃと、表示部１１１と、断熱材１１２と、温度センサ１１３と、センサ校正支援機能部１１４とを備えている。 The chamber apparatus 100c of the present embodiment includes a housing 101, a container 102a, a temperature / humidity sensor 105, a temperature / humidity generation unit 106, a circulation fan 107, a temperature / humidity control calculation unit 109, a display control unit 110c, A display unit 111, a heat insulating material 112, a temperature sensor 113, and a sensor calibration support function unit 114 are provided.
図１３はセンサ校正支援機能部１１４の構成を示すブロック図である。センサ校正支援機能部１１４は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得する温湿度取得部１１４０と、被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とに基づいて理論露点ｔｄ［℃］を算出する理論露点算出部１１４１と、温度センサ１１３が計測した温度標準値ＴＸ［℃］を取得する温度標準値取得部１１４２と、理論露点ｔｄ［℃］と温度標準値ＴＸ［℃］とに基づいて、温度センサ１１３の位置における相対湿度標準値ＨＸ［％］を算出する相対湿度補正部１１４３と、温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを出力する標準値出力部１１４４とから構成される。 FIG. 13 is a block diagram showing the configuration of the sensor calibration support function unit 114. The sensor calibration support function unit 114 includes a temperature / humidity acquisition unit 1140 that acquires the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105, and the controlled temperature PT [° C.]. A theoretical dew point calculation unit 1141 that calculates the theoretical dew point td [° C.] based on the controlled relative humidity PH [%], and a temperature standard value acquisition unit 1142 that acquires the temperature standard value TX [° C.] measured by the temperature sensor 113. And a relative humidity correction unit 1143 that calculates the relative humidity standard value HX [%] at the position of the temperature sensor 113 based on the theoretical dew point td [° C.] and the temperature standard value TX [° C.], and the temperature standard value TX [ [° C.] and a relative humidity standard value HX [%].
容器１０２ａと温度センサ１１３については、第２、第３の実施例で説明したとおりである。
図１４は本実施例のセンサ校正支援機能を説明するフローチャートである。第１の実施例で説明したとおり、温湿度制御演算部１０９は、オペレータにより任意に設定された目標温度ＳＴ［℃］と温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］とが一致するように温湿度発生部１０６を制御すると共に、オペレータにより任意に設定された目標相対湿度ＳＨ［％］と温湿度センサ１０５が計測した被制御相対湿度ＰＨ［％］とが一致するように温湿度発生部１０６を制御する。
The container 102a and the temperature sensor 113 are as described in the second and third embodiments.
FIG. 14 is a flowchart for explaining the sensor calibration support function of this embodiment. As described in the first embodiment, the temperature and humidity control calculation unit 109 matches the target temperature ST [° C.] arbitrarily set by the operator with the controlled temperature PT [° C.] measured by the temperature and humidity sensor 105. The temperature / humidity generating unit 106 is controlled as described above, and the target relative humidity SH [%] arbitrarily set by the operator and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 are matched. The generator 106 is controlled.
センサ校正支援機能部１１４の温湿度取得部１１４０は、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを取得する（図１４ステップＳ１００）。 The temperature / humidity acquisition unit 1140 of the sensor calibration support function unit 114 acquires the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 (step S100 in FIG. 14).
続いて、センサ校正支援機能部１１４の理論露点算出部１１４１は、温湿度取得部１１４０が取得した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とから理論露点ｔｄ［℃］を算出する。理論露点算出部１１４１は、飽和水蒸気圧算出部１１４１ａと、水蒸気圧算出部１１４１ｂと、露点算出部１１４１ｃとから構成される。 Subsequently, the theoretical dew point calculation unit 1141 of the sensor calibration support function unit 114 calculates the theoretical dew point td [° C.] from the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] acquired by the temperature and humidity acquisition unit 1140. calculate. The theoretical dew point calculation unit 1141 includes a saturated water vapor pressure calculation unit 1141a, a water vapor pressure calculation unit 1141b, and a dew point calculation unit 1141c.
飽和水蒸気圧算出部１１４１ａは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、被制御温度ＰＴ［℃］における飽和水蒸気圧ｅw［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０１）。 The saturated water vapor pressure calculation unit 1141a calculates the saturated water vapor pressure e w [Pa] at the controlled temperature PT [° C.] using the SONNTAG saturated vapor pressure equation (step S101 in FIG. 14).
式（１）の飽和蒸気圧式におけるＴ［Ｋ］は湿潤空気の絶対温度で、Ｔ＝ＰＴ＋２７３．１５である。また、式（１）のＡ〜Ｅは定数で、Ａ＝−６０９６．９３８５、Ｂ＝＋２１．２４０９６４２、Ｃ＝−２．７１１１９３×１０-2、Ｄ＝＋１．６７３９５２×１０-5、Ｅ＝＋２．４３３５０２である。 T [K] in the saturated vapor pressure equation of equation (1) is the absolute temperature of the humid air, and T = PT + 273.15. In addition, A to E in the formula (1) are constants, and A = −6096.9385, B = + 1219409642, C = −2.711193 × 10 −2 , D = + 1.633952 × 10 −5 , E = +2.443302.
続いて、水蒸気圧算出部１１４１ｂは、飽和水蒸気圧ｅw［Ｐａ］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とに基づき、水蒸気圧ｅ［Ｐａ］を次式のように算出する（図１４ステップＳ１０２）。 Subsequently, the water vapor pressure calculation unit 1141b calculates the water vapor pressure e [Pa] as the following equation based on the saturated water vapor pressure e w [Pa] and the controlled relative humidity PH [%] (step S102 in FIG. 14). ).
そして、露点算出部１１４１ｃは、水蒸気圧ｅ［Ｐａ］とＳＯＮＮＴＡＧ逆関数（ＪＩＳ Ｚ８８０６：２００１）とに基づき、次式により理論露点ｔｄ［℃］を算出する（図１４ステップＳ１０３）。 Then, based on the water vapor pressure e [Pa] and the SONNTAG inverse function (JIS Z8806: 2001), the dew point calculation unit 1141c calculates the theoretical dew point td [° C.] by the following equation (step S103 in FIG. 14).
露点算出部１１４１ｃは、理論露点ｔｄ［℃］の算出のための判別値ｙを式（３）により算出し、ｙが０以上の場合は式（４）により理論露点ｔｄ［℃］を算出し、ｙが０未満の場合は式（５）により理論露点ｔｄ［℃］を算出する。以上で、理論露点算出部１１４１の処理が終了する。
次に、温度標準値取得部１１４２は、校正済みの温度センサ１１３が計測した温度計測値ＴＸ［℃］を温度標準値として取得する（図１４ステップＳ１０４）。
The dew point calculation unit 1141c calculates the discriminant value y for calculating the theoretical dew point td [° C.] by the equation (3), and when y is 0 or more, calculates the theoretical dew point td [° C.] by the equation (4). , Y is less than 0, the theoretical dew point td [° C.] is calculated by equation (5). Above, the process of the theoretical dew point calculation part 1141 is complete | finished.
Next, the temperature standard value acquisition unit 1142 acquires the temperature measurement value TX [° C.] measured by the calibrated temperature sensor 113 as the temperature standard value (step S104 in FIG. 14).
相対湿度補正部１１４３は、理論露点算出部１１４１が算出した理論露点ｔｄ［℃］と温度標準値取得部１１４２が取得した温度標準値ＴＸ［℃］とから、被制御相対湿度ＰＨ［％］を補正した相対湿度標準値ＨＸ［％］を算出する。相対湿度補正部１１４３は、飽和水蒸気圧算出部１１４３ａ，１１４３ｂと、相対湿度標準値算出部１１４３ｃとから構成される。 The relative humidity correction unit 1143 calculates the controlled relative humidity PH [%] from the theoretical dew point td [° C.] calculated by the theoretical dew point calculation unit 1141 and the temperature standard value TX [° C.] acquired by the temperature standard value acquisition unit 1142. The corrected relative humidity standard value HX [%] is calculated. The relative humidity correction unit 1143 includes saturated water vapor pressure calculation units 1143a and 1143b and a relative humidity standard value calculation unit 1143c.
飽和水蒸気圧算出部１１４３ａは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、理論露点ｔｄ［℃］における飽和水蒸気圧ｅw＿R［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０５）。 The saturated water vapor pressure calculation unit 1143a calculates the saturated water vapor pressure e w — R [Pa] at the theoretical dew point td [° C.] using the SONNTAG saturated vapor pressure equation (step S105 in FIG. 14).
式（６）の飽和蒸気圧式における絶対温度Ｔ［Ｋ］は、Ｔ＝ｔｄ＋２７３．１５である。定数Ａ〜Ｅは式（１）で説明したとおりである。
一方、飽和水蒸気圧算出部１１４３ｂは、ＳＯＮＮＴＡＧの飽和蒸気圧式により、温度標準値ＴＸ［℃］における飽和水蒸気圧ｅS［Ｐａ］を算出する（図１４ステップＳ１０６）。
The absolute temperature T [K] in the saturated vapor pressure equation of equation (6) is T = td + 273.15. The constants A to E are as described in the formula (1).
On the other hand, the saturated water vapor pressure calculating unit 1143b calculates the saturated water vapor pressure e S [Pa] at the temperature standard value TX [° C.] using the SONNTAG saturated vapor pressure equation (step S106 in FIG. 14).
式（７）の飽和蒸気圧式における絶対温度Ｔ［Ｋ］は、Ｔ＝ＴＸ＋２７３．１５である。定数Ａ〜Ｅは式（１）で説明したとおりである。
そして、相対湿度標準値算出部１１４３ｃは、飽和水蒸気圧算出部１１４３ｂが算出した飽和水蒸気圧ｅS［Ｐａ］と飽和水蒸気圧算出部１１４３ａが算出した飽和水蒸気圧ｅw＿R［Ｐａ］との比を、温度センサ１１３の位置における相対湿度（相対湿度標準値）ＨＸ［％］として算出する（図１４ステップＳ１０７）。以上で、相対湿度補正部１１４３の処理が終了する。
The absolute temperature T [K] in the saturated vapor pressure equation of Equation (7) is T = TX + 273.15. The constants A to E are as described in the formula (1).
Then, the relative humidity standard value calculation unit 1143c calculates the difference between the saturated water vapor pressure e S [Pa] calculated by the saturated water vapor pressure calculation unit 1143b and the saturated water vapor pressure e w — R [Pa] calculated by the saturated water vapor pressure calculation unit 1143a. The ratio is calculated as relative humidity (relative humidity standard value) HX [%] at the position of the temperature sensor 113 (step S107 in FIG. 14). Above, the process of the relative humidity correction | amendment part 1143 is complete | finished.
標準値出力部１１４４は、温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］の値を表示制御部１１０ｃに出力する（図１４ステップＳ１０８）。
表示制御部１１０ｃは、温湿度センサ１０５が計測した被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを表示部１１１に表示させると同時に、標準値出力部１１４４から出力された温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを表示部１１１に表示させる（図１４ステップＳ１０９）。
The standard value output unit 1144 outputs the temperature standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] to the display control unit 110c (step S108 in FIG. 14).
The display control unit 110c displays the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] measured by the temperature / humidity sensor 105 on the display unit 111, and at the same time, the temperature output from the standard value output unit 1144. The standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] are displayed on the display unit 111 (step S109 in FIG. 14).
温湿度制御演算部１０９と表示制御部１１０ｃとセンサ校正支援機能部１１４とは、ＣＰＵ、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施例で説明する処理を実行する。 The temperature / humidity control calculation unit 109, the display control unit 110c, and the sensor calibration support function unit 114 can be realized by a computer including a CPU, a storage device, and an interface, and a program that controls these hardware resources. The CPU executes processing described in this embodiment according to a program stored in the storage device.
次に、温湿度センサ１０の校正手順の１例について説明する。オペレータは、第３の実施例で説明したとおり、温度センサ１１３を校正対象の温湿度センサ１０の近傍に設置した上で、温湿度センサ１０が容器１０２ａ内の空間１０２０ａに収容された状態になるようにチャンバ装置１００ｃを設置する。 Next, an example of the calibration procedure of the temperature / humidity sensor 10 will be described. As described in the third embodiment, the operator installs the temperature sensor 113 in the vicinity of the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated, and the temperature / humidity sensor 10 is housed in the space 1020a in the container 102a. The chamber apparatus 100c is installed as described above.
そして、オペレータは、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とをそれぞれ任意の値に設定する。温湿度センサ１０５と温湿度発生部１０６と循環ファン１０７と温湿度制御演算部１０９の動作は、上記のとおりである。 Then, the operator sets the target temperature ST [° C.] and the target relative humidity SH [%] to arbitrary values. The operations of the temperature / humidity sensor 105, the temperature / humidity generation unit 106, the circulation fan 107, and the temperature / humidity control calculation unit 109 are as described above.
オペレータは、被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とが概ね整定した状態で、センサ校正支援機能部１１４に対して処理の実行を指示する。このとき、オペレータは、温湿度制御の開始から十分な時間が経過したときに整定状態と判断してもよいし、表示部１１１に表示される被制御温度ＰＴ［℃］と被制御相対湿度ＰＨ［％］とを見て整定状態か否かを判断してもよい。 The operator instructs the sensor calibration support function unit 114 to execute the process in a state where the controlled temperature PT [° C.] and the controlled relative humidity PH [%] are substantially stabilized. At this time, the operator may determine that the settling state has been reached when sufficient time has elapsed since the start of temperature and humidity control, or the controlled temperature PT [° C.] displayed on the display unit 111 and the controlled relative humidity PH. You may judge whether it is a set state by seeing [%].
また、オペレータは、第１の実施例で説明した整定判定部１０９０による整定状態通知機能により表示部１１１にメッセージが表示されたときに整定状態と判断してもよいし、第１の実施例で説明した時間判定部１０９１による経過時間通知機能により表示部１１１にメッセージが表示されたときに整定状態と判断してもよい。 In addition, the operator may determine that the state is set when the message is displayed on the display unit 111 by the settling state notification function by the settling determination unit 1090 described in the first embodiment, or in the first embodiment. The settling state may be determined when a message is displayed on the display unit 111 by the elapsed time notification function by the time determination unit 1091 described above.
また、温湿度制御が整定したと整定判定部１０９０が判定したときに、センサ校正支援機能部１１４が図１４の処理を自動実行するようにしてもよい。
また、温湿度制御の開始時点から所定時間が経過したと時間判定部１０９１が判定したときに、センサ校正支援機能部１１４が図１４の処理を自動実行するようにしてもよい。
Further, when the settling determination unit 1090 determines that the temperature / humidity control has been set, the sensor calibration support function unit 114 may automatically execute the process of FIG.
Further, when the time determination unit 1091 determines that a predetermined time has elapsed from the start of temperature and humidity control, the sensor calibration support function unit 114 may automatically execute the process of FIG.
オペレータは、センサ校正支援機能部１１４の処理によって表示部１１１に表示される温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］とを読み取る。
同時に、オペレータは、校正対象の温湿度センサ１０により計測される温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］とを読み取る。
The operator reads the temperature standard value TX [° C.] and the relative humidity standard value HX [%] displayed on the display unit 111 by the processing of the sensor calibration support function unit 114.
At the same time, the operator reads the temperature measurement value T 10 [° C.] and the relative humidity measurement value H 10 [%] measured by the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated.
以上のような温度標準値ＴＸ［℃］と相対湿度標準値ＨＸ［％］と温度計測値Ｔ10［℃］と相対湿度計測値Ｈ10［％］の取得を、目標温度ＳＴ［℃］と目標相対湿度ＳＨ［％］とを変更しながら複数回行なう。 The acquisition of the temperature standard value TX [° C.], the relative humidity standard value HX [%], the temperature measurement value T 10 [° C.], and the relative humidity measurement value H 10 [%] as described above is obtained as the target temperature ST [° C.]. This is performed a plurality of times while changing the target relative humidity SH [%].
こうして、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］に対する複数点の温度計測値Ｔ10［℃］と、複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］に対する複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］とを得ることができる。そして、オペレータは、複数点の温度標準値ＴＸ［℃］と複数点の温度計測値Ｔ10［℃］との差異、および複数点の相対湿度標準値ＨＸ［％］と複数点の相対湿度計測値Ｈ10［％］との差異に基づき、温湿度センサ１０の周知の多点校正作業を実施することができる。 Thus, a plurality of temperature measurement values T 10 [° C.] with respect to a plurality of temperature standard values TX [° C.] and a plurality of relative humidity measurement values H 10 [%] with respect to a plurality of relative humidity standard values HX [%]. And you can get Then, the operator makes a difference between the temperature standard values TX [° C.] at a plurality of points and the temperature measurement values T 10 [° C.] at a plurality of points, and measures the relative humidity standard values HX [%] at a plurality of points and the relative humidity measurements at a plurality of points. Based on the difference from the value H 10 [%], a well-known multi-point calibration operation of the temperature / humidity sensor 10 can be performed.
［数値例］
実際の校正作業における目標温度ＳＴ［℃］、目標相対湿度ＳＨ［％］、温度標準値ＴＸ［℃］、相対湿度標準値ＨＸ［％］、温度計測値Ｔ10［℃］、および相対湿度計測値Ｈ10［％］の数値例を表１に示す。ここでは、温湿度の組み合わせを３とおり（３点校正）としている。
[Numeric example]
Target temperature ST [° C.], target relative humidity SH [%], temperature standard value TX [° C.], relative humidity standard value HX [%], temperature measurement value T 10 [° C.], and relative humidity measurement in actual calibration work A numerical example of the value H 10 [%] is shown in Table 1. Here, there are three combinations of temperature and humidity (three-point calibration).
表１によると、被制御温度ＰＴ［℃］と温度標準値ＴＸ［℃］との間にずれがあり、容器１０２ａ内に温度分布が存在することが分かる。また、温度標準値ＴＸ［℃］と温度計測値Ｔ10［℃］との間、および相対湿度標準値ＨＸ［％］と相対湿度計測値Ｈ10［％］との間にずれがあり、温湿度センサ１０の校正が望ましいことが分かる。 According to Table 1, it can be seen that there is a difference between the controlled temperature PT [° C.] and the temperature standard value TX [° C.], and a temperature distribution exists in the container 102a. In addition, there is a difference between the temperature standard value TX [° C.] and the temperature measurement value T 10 [° C.] and between the relative humidity standard value HX [%] and the relative humidity measurement value H 10 [%]. It can be seen that calibration of the humidity sensor 10 is desirable.
以上のように、本実施例では、校正対象の温湿度センサ１０を収容する空間内の温度分布が大きい場合でも、被制御相対湿度ＰＨ［％］を、温湿度センサ１０の近傍の位置における相対湿度標準値ＨＸ［％］に補正することができるので、温湿度センサ１０の正確な校正を行なうことができる。 As described above, in this embodiment, even when the temperature distribution in the space that accommodates the temperature / humidity sensor 10 to be calibrated is large, the controlled relative humidity PH [%] is determined relative to the position near the temperature / humidity sensor 10. Since the humidity standard value HX [%] can be corrected, the temperature and humidity sensor 10 can be accurately calibrated.
本発明は、温湿度センサを校正する技術に適用することができる。 The present invention can be applied to a technique for calibrating a temperature / humidity sensor.
１０…温湿度センサ、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ…チャンバ装置、１０１…筐体、１０２，１０２ａ…容器、１０３…閉端、１０４…開放端、１０５…温湿度センサ、１０６…温湿度発生部、１０７…循環ファン、１０８…ペルチェ素子、１０９…温湿度制御演算部、１１０，１１０ｂ…表示制御部、１１１…表示部、１１２…断熱材、１１３…温度センサ、１１４…センサ校正支援機能部、１１５…操作部、１０２０，１０２０ａ，１０２０ｂ…空間、１０２１，１０２２…筒部、１０２３…空間、１０２４，１０２５…通気孔、１０９０…整定判定部、１０９１…時間判定部、１１４０…温湿度取得部、１１４１…理論露点算出部、１１４１ａ，１１４３ａ，１１４３ｂ…飽和水蒸気圧算出部、１１４１ｂ…水蒸気圧算出部、１１４１ｃ…露点算出部、１１４２…温度標準値取得部、１１４３…相対湿度補正部、１１４３ｃ…相対湿度標準値算出部、１１４４…標準値出力部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Temperature / humidity sensor, 100, 100a, 100b, 100c ... Chamber apparatus, 101 ... Case, 102, 102a ... Container, 103 ... Closed end, 104 ... Open end, 105 ... Temperature / humidity sensor, 106 ... Temperature / humidity generating part 107: Circulating fan, 108: Peltier element, 109: Temperature / humidity control calculation unit, 110, 110b ... Display control unit, 111 ... Display unit, 112 ... Insulating material, 113 ... Temperature sensor, 114 ... Sensor calibration support function unit, DESCRIPTION OF SYMBOLS 115 ... Operation part, 1020, 1020a, 1020b ... space, 1021, 1022 ... cylinder part, 1023 ... space, 1024, 1025 ... vent, 1090 ... settling judgment part, 1091 ... time judgment part, 1140 ... temperature and humidity acquisition part, 1141 ... Theoretical dew point calculation unit, 1141a, 1143a, 1143b ... Saturated water vapor pressure calculation unit, 1141b ... Water vapor pressure calculation unit 1141C ... dew point calculation unit, 1142 ... temperature standard value obtaining unit, 1143 ... relative humidity correction unit, 1143C ... relative humidity standard value calculation unit, 1144 ... standard value output unit.
Claims (6)
前記空間に、制御された温湿度環境を発生させるように構成された温湿度発生部と、
前記空間の温度がオペレータによって設定された目標温度と一致し、かつ前記空間の相対湿度がオペレータによって設定された目標相対湿度と一致するように前記温湿度発生部を制御するように構成された温湿度制御演算部と、
前記温湿度発生部と前記温湿度制御演算部とによって温湿度制御された空気を前記第１の温湿度センサの方へ送風するように構成されたファンとを備えることを特徴とするチャンバ装置。 Installed so that the wall of the first temperature / humidity sensor to be calibrated is in contact with the one end and the first temperature / humidity sensor is accommodated in the internal space in the shape of a cylinder with one end open. A container to be made,
A temperature / humidity generator configured to generate a controlled temperature / humidity environment in the space;
A temperature configured to control the temperature and humidity generator so that the temperature of the space matches a target temperature set by an operator and the relative humidity of the space matches a target relative humidity set by an operator. A humidity control calculation unit;
A chamber apparatus comprising: a fan configured to blow air that has been temperature and humidity controlled by the temperature and humidity generation unit and the temperature and humidity control calculation unit toward the first temperature and humidity sensor.
前記空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、
前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、
前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするチャンバ装置。 The chamber apparatus according to claim 1.
A second temperature and humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the space as a controlled temperature and a controlled relative humidity, respectively;
A display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the second temperature and humidity sensor;
The temperature / humidity control calculation unit controls the temperature / humidity generation unit so that the target temperature and the controlled temperature match, and the target relative humidity and the controlled relative humidity match. A chamber device.
前記容器は、前記第１の温湿度センサを収容する内側の第１の筒部と、この第１の筒部を収容する外側の第２の筒部とからなる二重の筒の形状であり、
前記第１の筒部と前記第２の筒部とは、互いの間に、前記ファンによって送風される空気が流れる第１の空間が形成されるように配置され、
前記第１の筒部は、
この第１の筒部の内部の空間を、前記第１の温湿度センサを収容する第２の空間と前記温湿度発生部の空気取入口に繋がる第３の空間とに分離する断熱材と、
前記第１の空間と前記第２の空間とを連通させる第１の通気孔とを備え、
前記断熱材は、前記第２の空間と前記第３の空間とを連通させる第２の通気孔を備えることを特徴とするチャンバ装置。 The chamber apparatus according to claim 1.
The container is in the form of a double cylinder composed of an inner first cylinder part that houses the first temperature / humidity sensor and an outer second cylinder part that accommodates the first cylinder part. ,
The first cylinder part and the second cylinder part are arranged such that a first space through which air blown by the fan flows is formed between each other,
The first tube portion is
A heat insulating material that separates the space inside the first cylindrical portion into a second space that houses the first temperature and humidity sensor and a third space that is connected to the air intake port of the temperature and humidity generator;
A first vent hole that communicates the first space and the second space;
The said heat insulating material is provided with the 2nd ventilation hole which connects the said 2nd space and the said 3rd space, The chamber apparatus characterized by the above-mentioned.
前記第３の空間の温度と相対湿度とをそれぞれ被制御温度と被制御相対湿度として計測するように構成された第２の温湿度センサと、
前記第２の温湿度センサによって計測された前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示するように構成された表示制御部とをさらに備え、
前記温湿度制御演算部は、前記目標温度と前記被制御温度とが一致し、かつ前記目標相対湿度と前記被制御相対湿度とが一致するように前記温湿度発生部を制御することを特徴とするチャンバ装置。 The chamber apparatus according to claim 3, wherein
A second temperature and humidity sensor configured to measure the temperature and relative humidity of the third space as a controlled temperature and a controlled relative humidity, respectively;
A display control unit configured to display the controlled temperature and the controlled relative humidity measured by the second temperature and humidity sensor;
The temperature / humidity control calculation unit controls the temperature / humidity generation unit so that the target temperature and the controlled temperature match, and the target relative humidity and the controlled relative humidity match. A chamber device.
前記第１の温湿度センサの近傍の温度を計測するように構成された温度センサをさらに備え、
前記表示制御部は、前記被制御温度と前記被制御相対湿度とを表示すると同時に、前記温度センサによって計測された温度を温度標準値として表示することを特徴とするチャンバ装置。 The chamber apparatus according to claim 4, wherein
A temperature sensor configured to measure a temperature in the vicinity of the first temperature and humidity sensor;
The chamber apparatus, wherein the display control unit displays the controlled temperature and the controlled relative humidity, and simultaneously displays the temperature measured by the temperature sensor as a temperature standard value.
前記温湿度発生部は、
前記温湿度制御演算部から出力される温度制御信号に応じて、空気を加熱または冷却するように構成された加熱・冷却アクチュエータと、
前記温湿度制御演算部から出力される湿度制御信号に応じて、空気を加湿または除湿するように構成された加湿・除湿アクチュエータとを備えることを特徴とするチャンバ装置。 The chamber apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The temperature and humidity generator is
A heating / cooling actuator configured to heat or cool the air according to a temperature control signal output from the temperature / humidity control calculation unit;
A chamber apparatus comprising: a humidifying / dehumidifying actuator configured to humidify or dehumidify air according to a humidity control signal output from the temperature / humidity control calculation unit.
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