JP6254688B2 - 橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 - Google Patents
橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6254688B2 JP6254688B2 JP2016515753A JP2016515753A JP6254688B2 JP 6254688 B2 JP6254688 B2 JP 6254688B2 JP 2016515753 A JP2016515753 A JP 2016515753A JP 2016515753 A JP2016515753 A JP 2016515753A JP 6254688 B2 JP6254688 B2 JP 6254688B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- lens
- optical device
- layer
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/008—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
Claims (43)
- 光学構造(12)と、
この光学構造(12)を支持構造(16)に接続する少なくとも2つの橋渡し部材(14;14a〜14p)と、
前記光学構造を偏位させる静電駆動器(182a;182b)と
を備え、
前記静電駆動器(182a;182b)は、カンチレバー電極(174a;174b)と、このカンチレバー電極から電気的に絶縁され少なくとも部分的に前記カンチレバー電極に対向する固定電極(176a;176b)とを有し、
前記カンチレバー電極(174a;174b)は、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)のうちの少なくとも1つの橋渡し部材の少なくとも1つの部分(166a;166b)上または部分内に配置され、前記少なくとも1つの橋渡し部材(14;14a〜14p)の面から、その橋渡し部材の前記部分(166a;166b)で、前記固定電極(176a;176b)の方向に少なくとも部分的に偏位しており、前記カンチレバー電極(174a;174b)と前記固定電極(176a;176b)との間に電界(186)が印加されたときに、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)を変形させる
光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、前記カンチレバー電極(174a;174b)と前記固定電極(176a;176b)との間に配置されたスペーサ(128)を備える光学装置。
- 請求項1または2に記載の光学装置において、前記スペーサ(128)は、前記カンチレバー電極(174a;174b)および/または前記固定電極(176a;176b)上に少なくとも部分的に配置された絶縁層を有する光学装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の光学装置において、前記カンチレバー電極(174a;174b)と前記固定電極(176a;176b)との間の距離は、駆動装置の非偏位状態で前記支持構造(16)に近接した位置から開始して、前記光学構造(12)の方向に増加する光学装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の光学装置において、前記カンチレバー電極(174a;174b)は、少なくとも部分的に前記橋渡し部材(14;14a〜14p)に埋め込まれている光学装置。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の光学装置において、前記固定電極(176a;176b)は、前記カンチレバー電極(174a;174b)が電界(186)の印加なしに支持される部分を有する光学装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の光学装置において、前記固定電極(176a;176b)が取り付けられる電極キャリア(168)を備える光学装置。
- 請求項7に記載の光学装置において、前記電極キャリア(168)は、平面形状を有する光学装置。
- 請求項7または8に記載の光学装置において、前記電極キャリア(168)は、接着剤(134a;134b)により前記支持構造(16)に取り付けられている光学装置。
- 請求項9に記載の光学装置において、前記電極キャリア(168)および/または前記支持構造(16)は、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)と前記電極キャリアおよび/または前記接着剤(134a; 134b)の導入位置との間の接続区域を形成する周辺構造(148a;148b;152a;152b)を有する光学装置。
- 請求項9または11に記載の光学装置において、前記電極キャリア(168)は、第2電極(176a;176b)が第1電極(172a;172b)に対向し、前記支持構造(16)と前記電極キャリア(124)との間に少なくとも1つの接触点が形成されるよう、前記支持構造(16)に配置され、これら2つの電極(172a;172b;176a;176b)間の接触点には、前記接着剤(134a;134b)と前記スペーサ(128)のみが配置されている光学装置。
- 請求項1から11のいずれか1項に記載の光学装置において、前記カンチレバー電極(174a;174b)および/または前記固定電極(176a;176b)の形状は、これらの電極(174a;174b;176a;176b)間に印加される電圧と前記光学構造(12)に結果として生じた偏位との間に、線形の比率を有するよう構成されている光学装置。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の装置において、前記少なくとも2つの橋渡し部材(14;14a〜14p)は、ポリマー材料により形成され、互いに異なって偏位可能な第1層(34a;34b)と第2層(36a;36b)とを有する光学装置。
- 請求項13に記載の光学装置において、前記第1層(34a,34b)と前記第2層(36a,36b)とは異なる熱膨張係数を有する光学装置。
- 請求項13または14に記載の光学装置において、前記第1層(34a;34b)は、前記光学構造(12)から前記支持部材(12)に延び、前記第2層(36a;36b)は、前記第1層(34a;34b)を部分的または完全に覆っている光学装置。
- 請求項15に記載の光学装置において、前記第1層(34a;34b)を覆う前記第2層(36a;36b)は、前記光学構造(12)および/または前記支持構造(16)から離れて配置されている光学構造。
- 請求項13から16のいずれか1項に記載の光学装置において、前記第1層(34a;34b)および/または前記第2層(36a;36b)は、一定または変化のある厚みを有する光学装置。
- 請求項17に記載の光学装置において、前記第1層(34a;34b)および/または前記第2層(36a;36b)の厚さは、長さ方向の少なくとも一部において連続的に変化している光学構造。
- 請求項13から18のいずれか1項に記載の光学装置において、前記少なくとも2つの橋渡し部材(14;14a〜14p)は、前記第1層(34a;34b)および前記第2層(36a;36b)と異なって偏位可能な追加層(37a;37b)を有する光学装置。
- 請求項13から19のいずれか1項に記載の光学装置において、前記光学構造(12)は、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の前記第1層(34a;34b)と同じ材料で形成された層(34c)を有する光学装置。
- 請求項20記載の光学装置において、前記光学構造(12)は追加層(36c)を有し、前記光学構造(12)の前記追加層(36c)と前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の第2層(36a;36b)とは同じ材料により形成されている光学装置。
- 請求項20または21に記載の光学装置において、前記光学構造(12)の前記層(34c)と前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の前記第1層(34a,34b)、および/または前記光学構造(12)の前記追加層(36c)と前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の前記第2層(36a,36b)とが、一体とされている光学装置。
- 請求項1に記載の光学装置において、前記少なくとも2つの橋渡し部材(14;14a〜14p)は、ポリマー材料により形成され、前記支持構造(16)の材料の熱膨張率よりも大きい熱膨張率を有する層を含む光学装置。
- 請求項23に記載の装置において、前記層は、一定または連続的もしくは不連続に変化する厚みを有する装置。
- 請求項24に記載の装置において、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)および前記光学構造(12)は一体とされている装置。
- 請求項22から25のいずれか1項に記載の光学装置において、前記光学構造(12)は第1層(34c)を有し、前記第1層(34c)と前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の前記層とは同一の材料により形成されている光学装置。
- 請求項26に記載の光学装置において、前記光学構造(12)は、前記第1層(34c)上に第2層(36c)を有する光学装置。
- 請求項1から27のいずれか1項に記載の光学装置において、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の長手方向中央線(38)が、前記光学構造(12)の光軸(28)と交差しているか、または前記光学構造(12)の光軸(28)を通過している光学装置。
- 請求項1から28のいずれか1項に記載の光学装置において、前記支持構造(16)は、橋渡し部材材料の部分(62)を含む光学装置。
- 請求項1から29のいずれか1項に記載の光学装置において、前記光学構造(12)は、1つまたは複数の光学素子(12,142,144,146)を有する光学装置。
- 請求項1から30のいずれか1項に記載の光学装置において、前記光学構造(12)は、透明、反射または吸収領域を有する光学装置。
- 請求項30に記載の光学装置において、前記光学素子(142,144,146)は、レンズ、非球面体、自由形状領域、回折構造、鏡、プリズム、または同一または非同一のセルが設けられたレンズアレイを有し、前記同一または非同一のセルはそれぞれ、レンズ、非球面体、自由形状領域、回折構造、鏡、プリズム、またはこれらの組合せとして構成されている光学装置。
- 請求項1から32のいずれか1項に記載の光学装置において、少なくとも1つの追加光学構造(75,79,188)を備え、この追加光学構造(75,79,188)は、その光軸が前記光学構造(12)の光軸(28)と実質的に一致するよう前記光学構造(12)に対して配置されている光学装置。
- 請求項1から33のいずれか1項に記載の光学装置において、前記追加支持構造(16b)が前記支持構造(16a)に接着されている光学装置。
- 請求項1から34のいずれか1項に記載の光学装置において、前記少なくとも1つの追加光学構造(75,79,188)は、追加構造(74,81)を介して、前記支持構造(16)または前記光学構造(12)に配置されている光学装置。
- 請求項35に記載の光学装置において、前記追加構造(74,81)は、接着剤(78)により、前記追加光学構造(12)に配置されている光学装置。
- 請求項33から36のいずれか1項に記載の光学装置において、前記追加光学構造(79,188)は、ガラス層(86)と、前記ガラス層(86)に取り付けられた少なくとも1つの光学素子(79a)とを有する光学装置。
- 請求項1から37のいずれか1項に記載の光学装置において、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)と前記支持構造(16)との間に配された硬化処理可能な接着剤(102)を備え、前記接着剤(102a;102b)は、その硬化処理後において、前記光学構造(12)を前記参照平面(18)に対して所定の向きとする光学装置。
- 少なくとも2つの橋渡し部材(14;14a〜14p)を有する光学構造(12)と静電駆動器(132)とを備え、前記橋渡し部材のそれぞれが前記光学構造(12)を支持構造(16)に接続する構成の光学装置を製造する方法であって、
前記光学構造(12)が参照平面(18)に対して移動できるように前記橋渡し部材(14;14a〜14p)を形成する工程と、
前記橋渡し部材(14;14a〜14p)のうちの少なくとも1つの橋渡し部材の少なくとも1つの部分(166a;166b)上または内にカンチレバー(174a;174b)を配置する工程と、
少なくとも部分的に前記カンチレバー電極(174a;174b)に対向し、前記カンチレバー電極から電気的に絶縁されるように、固定電極(176a;176b)を配置する工程と、
前記カンチレバー電極(174a;174b)と前記固定電極(176a;176b)との間への電界(186)の印加が、前記橋渡し部材(14;14a〜14p)の変形および前記光学構造(12)の移動を生じさせるように、前記カンチレバー電極(174a;174b)を、前記少なくとも1つの橋渡し部材(14;14a〜14p)の面から、その橋渡し部材の前記部分(166a;166b)で、前記固定電極(176a;176b)の方向に少なくとも部分的に偏位させる工程と
を含む光学装置の製造方法。
- 請求項39記載の光学装置の製造方法において、
前記固定電極(176a;176b)を配置する工程は、
電極キャリア(168)を配置する工程と、
前記カンチレバー電極(174a;174b)または前記固定電極(176a;176b)にスペーサ(128)を配置する工程と、
前記固定電極(176a;176b)が少なくとも部分的に前記カンチレバー電極(174a;174b)に対向するように前記電極キャリア(168)を配置する工程と、
接着剤(134a;134b)により、前記カンチレバー電極(174a;174b)と前記固定電極(176a;176b)との間に前記スペーサ(128)と前記接着剤(134a;134b)だけが配置されるように、前記電極キャリア(168)を固定する工程と、
を含む
光学装置の製造方法。 - 請求項39または40に記載の光学装置の製造方法において、
前記橋渡し部材(14;14a〜14p)と前記支持部材(16)との間に硬化性樹脂(102)を配置する工程と、
前記参照面(18)に対して前記光学構造を所定の方向に向けて前記接着剤(102)を硬化させる工程と
を含む光学装置の製造方法。 - 請求項41に記載の光学装置の製造方法において、前記接着剤(102)を硬化させる工程は、前記参照面(18)に対する前記光学構造(12)の所望の傾斜または所望の距離にしたがって、硬化温度または硬化時間を調整する工程を含む光学装置の製造方法。
- 請求項42に記載の光学装置の製造方法において、前記接着剤(122)は紫外線硬化接着剤を含む光学装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013209829.4 | 2013-05-27 | ||
DE102013209829.4A DE102013209829B4 (de) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | Optische Struktur mit daran angeordneten Stegen und Verfahren zur Herstellung derselben |
PCT/EP2014/060726 WO2014191327A1 (de) | 2013-05-27 | 2014-05-23 | Optische struktur mit daran angeordneten stegen und verfahren zur herstellung derselben |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016520875A JP2016520875A (ja) | 2016-07-14 |
JP6254688B2 true JP6254688B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=50877250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016515753A Expired - Fee Related JP6254688B2 (ja) | 2013-05-27 | 2014-05-23 | 橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10429607B2 (ja) |
EP (1) | EP3004961B1 (ja) |
JP (1) | JP6254688B2 (ja) |
KR (1) | KR101798125B1 (ja) |
CN (1) | CN105556372B (ja) |
DE (1) | DE102013209829B4 (ja) |
ES (1) | ES2731243T3 (ja) |
WO (1) | WO2014191327A1 (ja) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113472989A (zh) | 2012-11-28 | 2021-10-01 | 核心光电有限公司 | 多孔径成像系统以及通过多孔径成像系统获取图像的方法 |
CN109040553B (zh) | 2013-06-13 | 2021-04-13 | 核心光电有限公司 | 双孔径变焦数字摄影机 |
CN108388005A (zh) | 2013-07-04 | 2018-08-10 | 核心光电有限公司 | 小型长焦透镜套件 |
CN109120823B (zh) | 2013-08-01 | 2020-07-14 | 核心光电有限公司 | 具有自动聚焦的纤薄多孔径成像系统及其使用方法 |
US9392188B2 (en) | 2014-08-10 | 2016-07-12 | Corephotonics Ltd. | Zoom dual-aperture camera with folded lens |
CN112327463B (zh) | 2015-01-03 | 2022-10-14 | 核心光电有限公司 | 微型长焦镜头模块和使用该镜头模块的相机 |
WO2016156996A1 (en) | 2015-04-02 | 2016-10-06 | Corephotonics Ltd. | Dual voice coil motor structure in a dual-optical module camera |
ES2907810T3 (es) | 2015-04-16 | 2022-04-26 | Corephotonics Ltd | Enfoque automático y estabilización de imagen óptica en una cámara compacta de plegado |
EP3304161B1 (en) | 2015-05-28 | 2021-02-17 | Corephotonics Ltd. | Bi-directional stiffness for optical image stabilization in a digital camera |
KR102263924B1 (ko) | 2015-08-13 | 2021-06-11 | 코어포토닉스 리미티드 | 비디오 지원 및 스위칭/비스위칭 동적 제어 기능이 있는 듀얼-애퍼처 줌 카메라 |
DE102015215833A1 (de) | 2015-08-19 | 2017-02-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Multiaperturabbildungsvorrichtung mit Optiksubstrat |
EP3335077B1 (en) | 2015-09-06 | 2019-08-14 | Corephotonics Ltd. | Auto focus and optical image stabilization with roll compensation in a compact folded camera |
KR102187146B1 (ko) | 2015-12-29 | 2020-12-07 | 코어포토닉스 리미티드 | 자동 조정가능 텔레 시야(fov)를 갖는 듀얼-애퍼처 줌 디지털 카메라 |
CN111965919B (zh) | 2016-05-30 | 2022-02-08 | 核心光电有限公司 | 旋转滚珠引导音圈电动机 |
KR102521406B1 (ko) | 2016-06-19 | 2023-04-12 | 코어포토닉스 리미티드 | 듀얼 애퍼처 카메라 시스템에서의 프레임 동기화 |
JP6926625B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2021-08-25 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータ、光偏向器及び画像投影装置 |
US10706518B2 (en) | 2016-07-07 | 2020-07-07 | Corephotonics Ltd. | Dual camera system with improved video smooth transition by image blending |
WO2018007981A1 (en) | 2016-07-07 | 2018-01-11 | Corephotonics Ltd. | Linear ball guided voice coil motor for folded optic |
US11531209B2 (en) | 2016-12-28 | 2022-12-20 | Corephotonics Ltd. | Folded camera structure with an extended light-folding-element scanning range |
KR102164655B1 (ko) | 2017-01-12 | 2020-10-13 | 코어포토닉스 리미티드 | 컴팩트 폴디드 카메라 |
IL290630B2 (en) | 2017-02-23 | 2023-10-01 | Corephotonics Ltd | Lens designs for a folded camera |
CN114137790A (zh) | 2017-03-15 | 2022-03-04 | 核心光电有限公司 | 具有全景扫瞄范围的系统、移动电子装置及其方法 |
US11390017B2 (en) * | 2017-06-21 | 2022-07-19 | Essilor International | Method of manufacturing optical article and optical shaping apparatus |
US10904512B2 (en) | 2017-09-06 | 2021-01-26 | Corephotonics Ltd. | Combined stereoscopic and phase detection depth mapping in a dual aperture camera |
US10951834B2 (en) | 2017-10-03 | 2021-03-16 | Corephotonics Ltd. | Synthetically enlarged camera aperture |
KR102261024B1 (ko) | 2017-11-23 | 2021-06-04 | 코어포토닉스 리미티드 | 컴팩트 폴디드 카메라 구조 |
KR102091369B1 (ko) | 2018-02-05 | 2020-05-18 | 코어포토닉스 리미티드 | 폴디드 카메라에 대한 감소된 높이 페널티 |
CN113467031B (zh) | 2018-02-12 | 2023-07-14 | 核心光电有限公司 | 具有光学图像稳定化的折叠摄像机、数字摄像机及方法 |
US10694168B2 (en) | 2018-04-22 | 2020-06-23 | Corephotonics Ltd. | System and method for mitigating or preventing eye damage from structured light IR/NIR projector systems |
CN111936908B (zh) | 2018-04-23 | 2021-12-21 | 核心光电有限公司 | 具有扩展的两个自由度旋转范围的光路折叠元件 |
WO2020031005A1 (en) | 2018-08-04 | 2020-02-13 | Corephotonics Ltd. | Switchable continuous display information system above camera |
WO2020039302A1 (en) | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Corephotonics Ltd. | Two-state zoom folded camera |
CN111919057B (zh) | 2019-01-07 | 2021-08-31 | 核心光电有限公司 | 具有滑动接头的旋转机构 |
WO2020183312A1 (en) | 2019-03-09 | 2020-09-17 | Corephotonics Ltd. | System and method for dynamic stereoscopic calibration |
KR102365748B1 (ko) | 2019-07-31 | 2022-02-23 | 코어포토닉스 리미티드 | 카메라 패닝 또는 모션에서 배경 블러링을 생성하는 시스템 및 방법 |
US11659135B2 (en) | 2019-10-30 | 2023-05-23 | Corephotonics Ltd. | Slow or fast motion video using depth information |
CN112825321B (zh) * | 2019-11-21 | 2022-03-22 | 中芯集成电路(宁波)有限公司 | 一种成像模组的制造方法 |
US11949976B2 (en) | 2019-12-09 | 2024-04-02 | Corephotonics Ltd. | Systems and methods for obtaining a smart panoramic image |
CN114641983A (zh) | 2019-12-09 | 2022-06-17 | 核心光电有限公司 | 用于获得智能全景图像的系统及方法 |
WO2021165764A1 (en) | 2020-02-22 | 2021-08-26 | Corephotonics Ltd. | Split screen feature for macro photography |
WO2021220080A1 (en) | 2020-04-26 | 2021-11-04 | Corephotonics Ltd. | Temperature control for hall bar sensor correction |
KR102495627B1 (ko) | 2020-05-17 | 2023-02-06 | 코어포토닉스 리미티드 | 전체 시야 레퍼런스 이미지 존재 하의 이미지 스티칭 |
KR20240001277A (ko) | 2020-05-30 | 2024-01-03 | 코어포토닉스 리미티드 | 슈퍼 매크로 이미지를 얻기 위한 시스템 및 방법 |
US11637977B2 (en) | 2020-07-15 | 2023-04-25 | Corephotonics Ltd. | Image sensors and sensing methods to obtain time-of-flight and phase detection information |
EP4202521A1 (en) | 2020-07-15 | 2023-06-28 | Corephotonics Ltd. | Point of view aberrations correction in a scanning folded camera |
EP4065934A4 (en) | 2020-07-31 | 2023-07-26 | Corephotonics Ltd. | LARGE STROKE LINEAR POSITION DETECTION HALL EFFECT SENSOR MAGNET GEOMETRY |
KR102480820B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-12-22 | 코어포토닉스 리미티드 | 스캐닝 폴디드 카메라의 광학 이미지 안정화 |
WO2022259154A2 (en) | 2021-06-08 | 2022-12-15 | Corephotonics Ltd. | Systems and cameras for tilting a focal plane of a super-macro image |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH099649A (ja) * | 1995-06-14 | 1997-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置 |
US5969465A (en) * | 1997-04-01 | 1999-10-19 | Xros, Inc. | Adjusting operating characteristics of micromachined torsional oscillators |
US6661637B2 (en) * | 1998-03-10 | 2003-12-09 | Mcintosh Robert B. | Apparatus and method to angularly position micro-optical elements |
AU2001262065A1 (en) * | 2000-05-26 | 2001-12-03 | Chaker Khalfaoui | A stiction-free electrostatically driven microstructure device |
JP2002075156A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-15 | Nec Corp | マイクロスイッチおよびその製造方法 |
JP3898438B2 (ja) * | 2000-11-22 | 2007-03-28 | 株式会社リコー | レンズのあおり装置 |
JP2002162506A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Canon Inc | 光学素子、光学装置および撮影装置 |
JP2002342960A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-11-29 | Fujitsu Ltd | 光ディスク装置の焦点位置制御機構 |
DE50112140D1 (de) * | 2001-07-26 | 2007-04-12 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanisches bauelement |
US6718764B1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-04-13 | Zyvex Corporation | System and method for microstructure positioning using metal yielding |
US20050162806A1 (en) * | 2004-01-22 | 2005-07-28 | Zyvex Corporation | Thermal plastic deformation of RF MEMS devices |
WO2006073111A1 (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-13 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | ミラー装置、ミラーアレイ、光スイッチ、ミラー装置の製造方法及びミラー基板の製造方法 |
US7218439B2 (en) * | 2005-09-16 | 2007-05-15 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for adjusting the resonant frequency of an oscillating device |
JP4872453B2 (ja) * | 2006-05-20 | 2012-02-08 | 株式会社ニコン | マイクロアクチュエータ、光学デバイス及び表示装置 |
JP5229899B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2013-07-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
JP5084841B2 (ja) * | 2006-12-12 | 2012-11-28 | エヌエックスピー ビー ヴィ | 被制御の電極オフ状態位置を有するmemsデバイス |
JP5056428B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2012-10-24 | ソニー株式会社 | デジタルカメラ |
EP2287647A4 (en) | 2008-06-17 | 2012-07-11 | Konica Minolta Opto Inc | LENS CONTROL DEVICE AND CAMERA UNIT |
CN101515065B (zh) * | 2009-02-26 | 2011-05-04 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于杠杆放大原理的静电驱动mems变形镜 |
JP5163587B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2013-03-13 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | アクチュエータ、駆動装置、および撮像装置 |
JP2011039446A (ja) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Olympus Corp | レンズユニット及びその製造方法 |
WO2011062209A1 (ja) | 2009-11-19 | 2011-05-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 光学部材、光学ユニット、および撮像ユニット |
DE102009055080B4 (de) | 2009-12-21 | 2019-11-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Struktur, Abformwerkzeug |
DE102009055083B4 (de) | 2009-12-21 | 2013-12-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optischer Schichtstapel und Verfahren zu dessen Herstellung |
EP2664058B1 (de) * | 2011-01-14 | 2017-05-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches bauelement |
WO2012155276A1 (en) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Optotune Ag | Positioning device |
CN102981272A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-03-20 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大行程结构的静电驱动mems变形镜 |
-
2013
- 2013-05-27 DE DE102013209829.4A patent/DE102013209829B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-05-23 JP JP2016515753A patent/JP6254688B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-05-23 EP EP14727450.0A patent/EP3004961B1/de active Active
- 2014-05-23 CN CN201480030206.7A patent/CN105556372B/zh active Active
- 2014-05-23 WO PCT/EP2014/060726 patent/WO2014191327A1/de active Application Filing
- 2014-05-23 ES ES14727450T patent/ES2731243T3/es active Active
- 2014-05-23 KR KR1020157033723A patent/KR101798125B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-25 US US14/952,558 patent/US10429607B2/en active Active
-
2019
- 2019-08-22 US US16/547,967 patent/US11009673B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160154202A1 (en) | 2016-06-02 |
EP3004961B1 (de) | 2019-03-27 |
KR20160016801A (ko) | 2016-02-15 |
US10429607B2 (en) | 2019-10-01 |
US11009673B2 (en) | 2021-05-18 |
DE102013209829B4 (de) | 2016-04-28 |
EP3004961A1 (de) | 2016-04-13 |
KR101798125B1 (ko) | 2017-11-16 |
ES2731243T3 (es) | 2019-11-14 |
US20190377153A1 (en) | 2019-12-12 |
WO2014191327A1 (de) | 2014-12-04 |
DE102013209829A1 (de) | 2014-11-27 |
CN105556372B (zh) | 2018-09-25 |
CN105556372A (zh) | 2016-05-04 |
JP2016520875A (ja) | 2016-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6254688B2 (ja) | 橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 | |
JP6571744B2 (ja) | 光学装置およびその製造方法ならびにレンズを偏位させる方法 | |
JP6280210B2 (ja) | 橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 | |
JP6267235B2 (ja) | 橋渡し部材を備える光学構造およびその製造方法 | |
US8570637B2 (en) | Micromechanical element | |
US20240184100A1 (en) | Thermal expansion compensation in tunable lenses | |
WO2015114515A1 (en) | Deformable lens structure for adaptive optics devices |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161122 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6254688 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |