JP6251485B2 - 光学検査用窓を有する光学検査用ベース - Google Patents
光学検査用窓を有する光学検査用ベース Download PDFInfo
- Publication number
- JP6251485B2 JP6251485B2 JP2013054072A JP2013054072A JP6251485B2 JP 6251485 B2 JP6251485 B2 JP 6251485B2 JP 2013054072 A JP2013054072 A JP 2013054072A JP 2013054072 A JP2013054072 A JP 2013054072A JP 6251485 B2 JP6251485 B2 JP 6251485B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical inspection
- glass
- molding
- synthetic resin
- resin material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 127
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 113
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 76
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 67
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 67
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 66
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 64
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 56
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 54
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 54
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 claims description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 4
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- -1 methacryloxy Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012742 biochemical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003733 fiber-reinforced composite Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 1
- 238000004554 molding of glass Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920013636 polyphenyl ether polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
Images
Description
本発明は、例えば光学検査を必要とする検査物を導電性と気密性を保つことの出来る状態で光学検査する場合に使用される光学検査用窓を有する光学検査用ベースに関する。
光学検査を必要とする検査物を光学検査する場合には光源体と光学検査ユニットとの間に透過性窓を有する光学検査用ベースが必要となる。この光学検査用ベースの主構造としては例えばガラス又は無機質結晶体の透過面を除く表面に合成樹脂材を接合して両者を一体化するものが通常適用される。この場合、ガラス等と合成樹脂材とが完全に一体化すること及びその接合部が平坦であることが要求される。
ガラス又は無機質結晶体と合成樹脂材とを一体的に接合する手段としては従来より各種の公知手段が開示されているが、この手段としては接合部に接着剤１５を用いるもの（図８に示す）や接合部に粗面１６を形成するもの（図９に示す）ものがあり、これに関連する先行技術としては例えば「特許文献１」乃至「特許文献１０」が挙げられる。
「特許文献１」の「特開２００２−７９６１１号」は「ガラスと樹脂の一体構造体及びその製造方法」を示すものであり、ウレタン系接着剤をガラスに塗布して樹脂材と接合する一般的の接着剤使用の技術が開示されているものであるが、その一体化の接合強度や平坦性については特に開示しているものではなく、本発明とは相異する。なお、この方法で使用されている接着剤はカーボンファイバーを入れた樹脂材には適用されず、従ってこの点においても本発明と相異する。
また、「特許文献２」の「特開２０１０−６４３９７号」の「金属と樹脂の複合体及び製造方法」はミクロンオーダの粗度を有する粗面を形成して接合強度を増加させる技術が開示されているが、この接合技術では一体化強度の問題や平坦性の問題が解決されず本発明とは大きく相異するものである。また、この方法は金属に対しては適用されるが、ガラス又は無機質結晶体に対しては適用が無理であり、この点においても本発明と相異する。
また、「特許文献３」の「特開２００７−１０８０９１号」は、顕微鏡観察に使われるウエルスライドに関するものであり、板状の樹脂基材と接着剤を使いガラスプレートを張り合わせたものに過ぎないものである。また、基材としても石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、シクロオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂等からなるものであり、シランカップリング剤は使用していないものであり、この構造では導電性、耐熱性、ガス機密性、長期耐久性を必要とする構造材料の用途には適さないものである。本発明は例えば、ガラスプレートに合成樹脂の熱可塑性又は熱硬化性を利用したインサート成形法で合成樹脂材とガラス又は無機質結晶体との化学的な結合を形成し、両部材の線膨張特性を同じにして導電性、耐久性、耐薬品性、ガス気密性、液体気密性、長期耐久性を持つ構造材料であり「特許文献３」はこれと相違するものである。
また、「特許文献４」の「特開２０１０−３２４８７号」は、微量な検体を生化学的解折に使うためのウエルスライドであるが、このものは光学検査用の光透過の窓を有していないものであり本発明とは別の技術である。
また、「特許文献５」の「特開２００９−８０１１９号」は、生物学的又は生化学的サンプルの樹脂容器に関するものであり、導電性、耐熱性、長期耐久性を必要とする構造材料でなく、試料の解折、分析等の容器としてインサート成形法を含む樹脂の射出成形でも製造される消耗材料であり本発明と異なる。
また、「特許文献６」の「特開２００９−１０６７８４号」は、血液試料採取用容器についてで、導電性、耐久性、長期耐久性を必要とする構造材料でなく、試料の解折、分析等の容器としてインサート成形法を含む樹脂の射出成形でも製造される消耗材料であり本発明と異なる。
また、「特許文献７」の「特開２０１０−２１４５８９号」はガラス繊維のように、分散させることが容易な繊維を開示しているが、カーボン繊維については、開示できていない。通常カーボン繊維１０％から２０％を樹脂に均一に分散させる技術はかなり困難である。本発明は、炭素繊維と合成樹脂の複合完成品を６００℃乃至１０００℃で焼成処理して生成したものを使用することにより、合成樹脂材の線膨張係数をガラス又は無機質結晶体の線膨張係数と同じにし、かつ導電性、耐熱性、耐薬品性、ガス気密性、液体気密性、長期耐久性を有するものとした技術を開示するものであり、特許文献７に記載の技術は本発明と異なる。
また、「特許文献８」の「特開２００５−１７２６６６号」は、基材と基材の間の接合についての性能を強く規定する必要のない光分析器についてであり、本発明のように導電性、耐熱性、耐薬品性、ガス気密性、液体気密性、長期耐久性を発現するものとは大きく異なるものである。
また、「特許文献９」の「特開２００４−２６９８７８号」は、繊維強化複合材料に関してであり、積層により異なる基材をプレス成形により接合構造を得る方式であり、本発明とは異なる。
また、「特許文献１０」の「特開２００７−１１２０４１号」は、酸素濃度が０．０５乃至５Ｗｔ％であり、本発明と技術的内容が異なるものである。
前記のように光学検査用の検査物を検査する場合に使用される光学検査用ベースとしてはガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材とが完全に一体化されて気密性を有すること及びガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材の接合部が平坦であることが必要である。
しかし、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材を用いて、例えば図１に示すような光学検査用ベースの成形を行う場合、成形用合成樹脂材への長繊維のカーボン繊維の混合分散が困難であることからも、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材の接合部においてガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材の一体化が不充分であり、極めて脆弱な状態となる問題点があり、この解決が要請されていた。
本発明は、この要請に鑑みて発明されたものであり、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材が一体化されて気密性を有することが出来る光学検査用窓を有する光学検査用ベースを提供することを目的とする。又、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材の接合部が平坦であることが出来る光学検査用窓を有する光学検査用ベースを提供することを目的とする。
本発明は、ガラス又は無機質結晶体と炭素繊維を含有した合成樹脂材とで構成される複合材料をインサート成形で一体結合してなる光学検査用窓を有する光学検査用ベースであり、合成樹脂材の線膨張係数をガラス又は無機質結晶体の線膨張係数と同じにし、かつ導電性、耐熱性、耐薬品性、ガス気密性、液体気密性、長期耐久性を有する、ガラス又は無機質結晶体と合成樹脂との一体の成形品を確立する技術である。
前記目的を達成するための本発明は、光学検査用窓を構成するガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材とを一体化して形成される光学検査用ベースであって、前記成形用合成樹脂材は、炭素繊維強化プラスチックを不活性雰囲気中で６００〜１０００℃で焼成処理して得た回収炭素繊維を含有し、前記ガラス又は無機質結晶体と前記成形用合成樹脂材間の前記ガラス又は無機質結晶体の表面には、官能基としてメタクリロキシを有するシランカップリング剤による層を有することを特徴とする光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
また、上記光学検査用窓を有する光学検査用ベースにおいて、前記回収炭素繊維は、炭素繊維強化プラスチック原料もしくは成形品を焼成処理し、マトリックスを除去して得たことを特徴とする光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
また、上記光学検査用窓を有する光学検査用ベースにおいて、前記成形用合成樹脂材は、前記回収炭素繊維を５〜２０％含有することを特徴とする光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
また、上記光学検査用窓を有する光学検査用ベースにおいて、前記成形用合成樹脂材は、ガラス繊維又は／及び前記回収炭素繊維以外のカーボン素繊維を含有することを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
また、上記光学検査用窓を有する光学検査用ベースにおいて、前記回収炭素繊維の長さが３０〜６００μｍであり、前記回収炭素繊維のアスペクト比（回収炭素繊維長さ／回収炭素繊維直径）が４〜１００であることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
また、上記光学検査用窓を有する光学検査用ベースにおいて、前記ガラス又は無機質結晶体を載置した金型内に前記成形用合成樹脂材を注入し、前記ガラス又は無機質結晶体と前記成形用合成樹脂材とをインサート成形により一体的に形成したことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースである。
本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースによれば、成形用合成樹脂材を用いてガラス又は無機質結晶体との線膨張係数を同じにし、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材とを確実に一体化することが可能となった。又、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材が一体化されてガス気密性及び液体気密性を確保することが出来た。又、導電性、耐熱性、耐薬品性及び長期耐久性を有することが出来た。又、まったくソリ及び変形がない高精度な光学検査用ベースを提供することが出来た。
更に、前記成形用合成樹脂材を構成する炭素繊維の長さを３０乃至６００μｍ、アスペクト比を４乃至１００としたので、炭素繊維の経済的な添加率で、成形用合成樹脂材の熱膨張率を適切に制御することが可能となり、このような炭素繊維を使用することにより、成形用合成樹脂材内での炭素繊維の好適な分散状態を容易に得ることが出来た。
以下、本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの実施の形態を図面を参照して詳述する。本発明はガラス又は無機質結晶体とカーボン繊維を含有した成形用合成樹脂材をインサート成形で一体結合してなる光学検査用窓を有する光学検査用ベースであり、合成樹脂材の線膨張係数をガラス又は無機質結晶体の線膨張係数と同じにし、合成樹脂材とガラス又は無機質結晶体を結合させて、ガス気密性及び液体気密性を持たせ、かつ導電性、耐熱性、耐薬品性、長期耐久性を持たせたガラス又は無機質結晶体と合成樹脂が一体の成形品である。
本発明において、成形用合成樹脂材に含有される炭素繊維は、炭素繊維の表面に官能基を有する炭素繊維を使用する。この官能基は、ガラス又は無機質結晶体に塗布されるシランカップリング剤に親和的な結合を形成する表面官能基であることが望ましい。
又、炭素繊維としては、合成樹脂及びガラス繊維と混練する時に、均一に分散出来るように、炭素繊維が分散性を有する必要がある。
本発明に用いる炭素繊維は、炭素繊維と合成樹脂の複合完成品を６００〜１０００℃で焼成処理して生成した炭素繊維を使用する。特に、本発明に用いる炭素繊維は、特殊用途に用いられる高強度の炭素繊維強化プラスチック（以下、「ＣＦＲＰ」という。）に含まれる炭素繊維を焼成処理して再利用した回収炭素繊維を用いることが出来る。このような処理は炭素繊維の表面に機能性材料をコーティングして高温焼成処理したものでも良い。なお、再生炭素繊維であれば、価格的に経済性に優れた材料として用いることが出来る。
即ち、炭素繊維は、ＣＦＲＰ原料もしくはＣＦＲＰの成形品を不活性雰囲気中で６００℃乃至１０００℃で焼成処理し、マトリックスを除去して得た回収炭素繊維を用いることが出来る。
又、ガラス又は無機質結晶体は、官能基としてメタクリロキシを有するシランカップリング剤による層を界面に有するものからなり、光学検査用ベースは成形用合成樹脂材とガラス又は無機質結晶体とをインサート成形により化学的にも結合させて形成される。
また、成形用合成樹脂材は、混練工程で分散性の付与機能の分極性の発現と繊維の表面に官能基が残存するところの回収炭素繊維を５％乃至２０％含有させ、それに加えてガラス繊維、回収炭素繊維以外の一般の炭素繊維を含有させることにより、成形用合成樹脂材の線膨張係数とガラス又は無機質結晶体の線膨張係数を概略同じにすることにより、成形用合成樹脂材とガラス又は無機質結晶体をインサート成形により一体的に化学的に結合して形成することが出来る。
また、成形用合成樹脂材に含有される炭素繊維の長さが３０乃至６００μｍの範囲にあり、アスペクト比（炭素繊維長さ／炭素繊維直径）が４乃至１００であることが好ましい。炭素繊維の経済的な添加率で成形用合成樹脂材の熱膨張率を適切に制御することが可能となり、このような炭素繊維を使用することにより、成形用合成樹脂材内での炭素繊維の好適な分散状態を容易に得ることが出来るからである。
本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースは、ガラス又は無機質結晶体の光学検査用窓として機能する部位を除き、表面にシランカップリング剤を塗布したガラス又は無機質結晶体を金型内に載置し、回収炭素繊維を含有する成形用合成樹脂材を注入して、ガラス又は無機質結晶体の光学検査用窓として機能する部位を除き、ガラス又は無機質結晶体と回収炭素繊維を含有する成形用合成樹脂材とを一体化して形成する。
成形用合成樹脂材としては熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂を用いることが出来、更に、エンジニアリングプラスチックの活用が出来、ポリカーボネート、ポリフェニルエーテルヒドロキシ基、エポキシ基、ウレタン基、アクリル基などの官能基を含有する合成樹脂も用いることが出来る。また、炭素繊維の他カーボンフレークやカーボン粒子も用いることが出来る。また、実施例で示す検査物以外にも、薄化半導体分野、液状物質、フイルム物質、紙幣を検査物とすることが出来る。
図１（ａ）、（ｂ）は光学検査用窓を有する光学検査用ベースの１つの実施例である、成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１とガラス５又は無機質結晶体で構成される半導体検査用の光学検査用ベースを示す。この成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１には複数の（図示では６３ヶ所）被検査半導体挿入部４が凹設され、被検査半導体挿入部４の中央には光学検査窓３が形成されている。また、図１（ｃ）に示すように成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１の上下方向の中間部にはガラス５又は無機質結晶体が介設され、前記の光学検査窓３を形成している。このガラス５又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材との接合部は気密性を有した状態で一体化されている。また、図１（ａ）に示すように、成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１の連結用孔２が設けられ、図示の実施例では４ヶ所穿孔されている。
図２（ａ）は図１に示す成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１とガラス５又は無機質結晶体で構成される半導体検査用の光学検査用ベースを射出成形するための金型の上型と下型を示す断面図で、成形用平面部位用金型６と成形用背面部位用金型７を示している。また、成形用合成樹脂導入孔８が形成されている。尚、図２（ｂ）は図１（ｃ）と同様な図面であり、半導体検査用の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの全体構造を示す断面図である。
図３（ａ）は、ガラス５又は無機質結晶体の成形用合成樹脂材からなる樹脂枠１との接合部、即ち、ガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材間のガラス又は無機質結晶体の表面に塗布されたシランカップリング剤９を示し、図３（ｂ）は図３（ａ）のｂ部位の拡大模式図である。
図４（ａ）はシランカップリング剤を塗布していないガラス又は無機質結晶体の組成及びその表面の化学的状況を示したものであり、図４（ｂ）は図４（ａ）の表面にシランカップリング剤を塗布した状態におけるシランカップリング剤処理表面における化学的状況を示したものである。
図５は、光学検査用の検査物として半導体１２を採用した場合の本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの適用実施例を示す部分断面図である。光学検査ユニット用筐体１２内に光学検査ユニット１０が設置され、光学検査ユニット用筐体１２上部に半導体１２が収納された光学検査用ベースが設置されている。
図６は、光学検査用の検査物としてＤＮＡ検査液１３を採用した場合の本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの適用実施例を示す部分断面図である。
図７は、光学検査用の検査物としてロール間を走るフィルム１４を用いた場合の光学検査用ベースの実施例を示すものである。このような光学検査用ベースでは、紙幣がガラス５又は無機質結晶体の上面を通過して光学検査される。
本発明の光学検査用窓を有する光学検査用ベースは前記の実施例の他に各種の検査物に適用されることは勿論である。また、本発明は、以上の説明の内容に限定されるものではなく同一技術的範疇のものが適用されることは勿論である。
本発明による合成樹脂材とガラス又は無機質結晶体との結合技術により、圧力容器、防爆装置等への応用展開も可能であり、ガラス又は無機質結晶体と一体化した成形品は広範囲な温度範囲（−２０乃至１５０）で長期にわたり（７から１０年）まったくソリ、変形なく高精度な光学特性を有するガラス樹脂一体の構造部材として、産業上、装置設計開発の分野への利用が出来、その利用範囲は極めて広い。また、検査物としては実施例に記載の他に薄化半導体分野や液状物質やフィルム物質にも適用され、その利用分野は極めて広い。
１ 成形用合成樹脂材からなる樹脂枠
２ 連結用孔
３ 光学検査窓
４ 被検査半導体挿入部
５ ガラス又は無機質結晶体
６ 成形用平面部位用金型
７ 成形用背面部位用金型
８ 成形用合成樹脂導入孔の位置
９ ガラス又は無機質結晶体の成形用合成樹脂材との接合部に塗布されているシランカップリング剤
１０ 光学検査ユニット
１１ 光学検査ユニット用筐体
１２ 半導体
１３ ＤＮＡ検査液
１４ フィルム
１５ 接着剤
１６ 粗面
２ 連結用孔
３ 光学検査窓
４ 被検査半導体挿入部
５ ガラス又は無機質結晶体
６ 成形用平面部位用金型
７ 成形用背面部位用金型
８ 成形用合成樹脂導入孔の位置
９ ガラス又は無機質結晶体の成形用合成樹脂材との接合部に塗布されているシランカップリング剤
１０ 光学検査ユニット
１１ 光学検査ユニット用筐体
１２ 半導体
１３ ＤＮＡ検査液
１４ フィルム
１５ 接着剤
１６ 粗面
Claims (6)
- 光学検査用窓を構成するガラス又は無機質結晶体と成形用合成樹脂材とを一体化して形成される光学検査用ベースの製造方法であって、前記成形用合成樹脂材は、炭素繊維強化プラスチックを不活性雰囲気中で６００〜１０００℃で焼成処理して得た回収炭素繊維を含有し、前記ガラス又は無機質結晶体と前記成形用合成樹脂材間の前記ガラス又は無機質結晶体の表面には、官能基としてメタクリロキシを有するシランカップリング剤による層を有することを特徴とする光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
- 前記回収炭素繊維は、炭素繊維強化プラスチック原料もしくは成形品を焼成処理し、マトリックスを除去して得ることを特徴とする請求項１に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
- 前記成形用合成樹脂材は、前記回収炭素繊維を５〜２０％含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
- 前記成形用合成樹脂材は、ガラス繊維又は／及び前記回収炭素繊維以外のカーボン素繊維を含有することを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
- 前記回収炭素繊維の長さが３０〜６００μｍであり、前記回収炭素繊維のアスペクト比（回収炭素繊維長さ／回収炭素繊維直径）が４〜１００であることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
- 前記ガラス又は無機質結晶体を載置した金型内に前記成形用合成樹脂材を注入し、前記ガラス又は無機質結晶体と前記成形用合成樹脂材とをインサート成形により一体的に形成することを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の光学検査用窓を有する光学検査用ベースの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013054072A JP6251485B2 (ja) | 2012-03-01 | 2013-02-28 | 光学検査用窓を有する光学検査用ベース |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012045007 | 2012-03-01 | ||
| JP2012045007 | 2012-03-01 | ||
| JP2013054072A JP6251485B2 (ja) | 2012-03-01 | 2013-02-28 | 光学検査用窓を有する光学検査用ベース |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013210369A JP2013210369A (ja) | 2013-10-10 |
| JP2013210369A5 JP2013210369A5 (ja) | 2014-09-04 |
| JP6251485B2 true JP6251485B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=49528310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013054072A Active JP6251485B2 (ja) | 2012-03-01 | 2013-02-28 | 光学検査用窓を有する光学検査用ベース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6251485B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018076502A (ja) * | 2016-11-02 | 2018-05-17 | 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 | 炭素繊維強化プラスチックの製造方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998055231A1 (en) * | 1997-06-02 | 1998-12-10 | Aurora Biosciences Corporation | Low background multi-well plates for fluorescence measurements of biological and biochemical samples |
| CA2448905C (en) * | 2001-06-12 | 2010-09-07 | Pelikan Technologies, Inc. | Blood sampling apparatus and method |
| JP2003128799A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-05-08 | Toray Ind Inc | 熱可塑性樹脂組成物用炭素繊維およびそれを用いた熱可塑性樹脂組成物 |
| JP4543696B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2010-09-15 | 東レ株式会社 | 繊維強化複合材料およびその製造方法並びに一体化成形品 |
| JP2005172666A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Hitachi Chem Co Ltd | マイクロチップ |
| JP4425848B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2010-03-03 | 東洋ガラス株式会社 | 顕微鏡観察用ウエルスライド |
| JP2007112041A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Daicel Chem Ind Ltd | 炭素長繊維強化樹脂成形品及びその製造方法 |
| JP2010214589A (ja) * | 2007-07-12 | 2010-09-30 | Agc Matex Co Ltd | ガラス一体樹脂成形品及びその成形法 |
| JP2010032487A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-02-12 | Olympus Corp | 解析用容器及び生化学的解析方法 |
| JP2011162767A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-08-25 | Toray Ind Inc | 炭素繊維強化ポリフェニレンスルフィド樹脂組成物、ならびにそれを用いた成形材料および成形品 |
-
2013
- 2013-02-28 JP JP2013054072A patent/JP6251485B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2013210369A (ja) | 2013-10-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1416303B1 (en) | Method for manufacturing functional substrates comprising columnar micro-pillars | |
| Jain et al. | Gel-based optical waveguides with live cell encapsulation and integrated microfluidics | |
| KR101313359B1 (ko) | 수지 복합 성형체의 제조방법 | |
| Ren et al. | A simple and reliable PDMS and SU-8 irreversible bonding method and its application on a microfluidic-MEA device for neuroscience research | |
| CN105334553B (zh) | 基于pdms‑磁性纳米粒子复合薄膜的磁控微透镜阵列制造方法 | |
| TW201627669A (zh) | 液體試樣檢查套組用膜載體、液體試樣檢查套組及液體試樣檢查套組之製作方法 | |
| US9885692B2 (en) | Method for producing a chromatography-enrichment column | |
| Lee et al. | Development of a plastic-based microfluidic immunosensor chip for detection of H1N1 influenza | |
| Nguyen et al. | A complete protocol for rapid and low-cost fabrication of polymer microfluidic chips containing three-dimensional microstructures used in point-of-care devices | |
| Shoda et al. | A simple low-temperature glass bonding process with surface activation by oxygen plasma for micro/nanofluidic devices | |
| Trotta et al. | Disposable optical stretcher fabricated by microinjection moulding | |
| Cao et al. | A 3D microfluidic device fabrication method using thermopress bonding with multiple layers of polystyrene film | |
| EP3632563A1 (en) | Chip for sample detection and packaging method thereof | |
| JP6251485B2 (ja) | 光学検査用窓を有する光学検査用ベース | |
| Xu et al. | fabrication of micro-groove on the surface of CFRP to enhance the connection strength of composite part | |
| Wen et al. | Effect of low-temperature plasma surface treatment on bonding properties of single-lap joint of thermosetting composites | |
| Nawrot et al. | Biomaterial embedding process for ceramic–polymer microfluidic sensors | |
| Tony et al. | A preliminary experimental study of polydimethylsiloxane (PDMS)-To-PDMS bonding using oxygen plasma treatment incorporating isopropyl alcohol | |
| JP2013210369A5 (ja) | ||
| Trinh et al. | Bonding strategies for thermoplastics applicable for bioanalysis and diagnostics | |
| Trinh et al. | Pressure-free assembling of poly (methyl methacrylate) microdevices via microwave-assisted solvent bonding and its biomedical applications | |
| Cheon et al. | Intermediate layer-based bonding techniques for polydimethylsiloxane/digital light processing 3D-printed microfluidic devices | |
| Du et al. | Mechanical property and structure of polypropylene/aluminum alloy hybrid prepared via ultrasound-assisted hot-pressing technology | |
| Sandström et al. | Batch fabrication of polymer microfluidic cartridges for QCM sensor packaging by direct bonding | |
| Chen et al. | Self-assembled monolayers of alkanethiols on nickel insert: Characterization of friction and analysis on demolding quality in microinjection molding |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20131011 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131011 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140716 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160212 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170214 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170404 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170531 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171031 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171127 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6251485 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |