JP6240267B2 - Solar cell module - Google Patents

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Description

本発明は、太陽電池モジュールに関する。   The present invention relates to a solar cell module.

最近石油や石炭のような既存エネルギー資源の枯渇が予測されながらこれらを取り替える代替エネルギーに対する関心が高くなり。これにより、太陽エネルギーから電気エネルギーを生産する太陽電池が注目されている。   Recently, there is a growing interest in alternative energy to replace existing energy resources, such as oil and coal, as predicted. Thereby, the solar cell which produces electric energy from solar energy attracts attention.

一般的な太陽電池は、p型とn型のように、互いに異なる導電型(conductive type)によってp−n接合を形成する半導体部、そして互いに異なる導電型の半導体部にそれぞれ接続された電極を備える。   A general solar cell includes a semiconductor part that forms a pn junction with different conductive types, such as p-type and n-type, and electrodes that are respectively connected to semiconductor parts with different conductive types. Prepare.

このような太陽電池に光が入射されれば半導体部で複数の電子―正孔対が生成され、生成された電子―正孔対は電荷である電子と正孔にそれぞれ分離され、電子はn型の半導体部の方向に移動し正孔はp型の半導体部の方向に移動する。移動した電子と正孔はそれぞれn型の半導体部とp型の半導体部に接続された互いに異なる電極によって収集され、この電極を電線で接続することにより電力を得る。   When light is incident on such a solar cell, a plurality of electron-hole pairs are generated in the semiconductor portion, and the generated electron-hole pairs are separated into electrons and holes that are charges, respectively. The holes move in the direction of the p-type semiconductor part, and the holes move in the direction of the p-type semiconductor part. The moved electrons and holes are collected by different electrodes connected to the n-type semiconductor portion and the p-type semiconductor portion, respectively, and electric power is obtained by connecting these electrodes with electric wires.

このような太陽電池は、複数個がインターコネクタによって互に接続されてモジュールに形成することができる。   A plurality of such solar cells can be connected to each other by an interconnector and formed into a module.

本発明の目的は、太陽電池モジュールを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a solar cell module.

本発明の太陽電池モジュールは、第1導電性の不純物がドーピングされた半導体基板と、第1導電性と反対の第2導電性の不純物がドーピングされるエミッタ部と、半導体基板より第1導型の不純物を高濃度にドーピングされる背面電界部と、エミッタ部に接続する第1電極と、背面電界部に接続する第2電極と、複数の太陽電池を互いに直列接続するために、第1電極または第2電極の内、いずれか1つの電極に導電性接着剤を介して接続し、他の1つの電極とは、絶縁層によって絶縁される導電性配線とを含み、いずれか1つの電極と導電性の配線の間に位置する導電性接着剤の厚さは、他の1つの電極と導電性の配線の間に位置する絶縁層の厚さより大きく形成される。   The solar cell module of the present invention includes a semiconductor substrate doped with a first conductive impurity, an emitter portion doped with a second conductive impurity opposite to the first conductivity, and a first conductive type from the semiconductor substrate. In order to connect a plurality of solar cells in series with each other, a back surface electric field portion doped with a high concentration of impurities, a first electrode connected to the emitter portion, a second electrode connected to the back surface electric field portion, Alternatively, the second electrode is connected to any one of the electrodes via a conductive adhesive, and the other one electrode includes a conductive wiring insulated by an insulating layer. The thickness of the conductive adhesive positioned between the conductive wirings is formed larger than the thickness of the insulating layer positioned between the other one electrode and the conductive wiring.

ここで、絶縁層と導電性配線の間は、互いに離隔することができる。   Here, the insulating layer and the conductive wiring can be separated from each other.

さらに、絶縁層と導電性配線との間の離隔された空間には、外部の衝撃から半導体基板を保護する充填材をさらに位置することができる。   Furthermore, a filler that protects the semiconductor substrate from external impacts can be further located in the spaced space between the insulating layer and the conductive wiring.

ここで、絶縁層は、エポキシ、ポリイミドまたはシリコンの内、少なくともいずれか1つを含むことができる。この時、充填材の材質は、絶縁層の材質とは異なることがある。   Here, the insulating layer may include at least one of epoxy, polyimide, or silicon. At this time, the material of the filler may be different from the material of the insulating layer.

一例として、充填材は、EVA(EVA、ethylene vinyl acetate)で有り得る。   As an example, the filler may be EVA (EVA, ethylene vinyl acetate).

さらに、導電性接着剤の材質は、スズ(Sn)を含むことができ、導電性接着剤は、ソルダーペースト(solder paste)、エポキシソルダーペースト(epoxy solder paste)または導電性ペースト(Conductive psate)の内、いずれか1つから形成することができる。   Further, the material of the conductive adhesive may include tin (Sn), and the conductive adhesive may be a solder paste, an epoxy solder paste, or a conductive paste. Any one of them can be formed.

また、第1、第2電極のそれぞれは、導電性接着剤と他の金属材質を含むことができる。   In addition, each of the first and second electrodes may include a conductive adhesive and another metal material.

一例として、第1、第2電極のそれぞれは、チタン(Ti)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ニッケル−バナジウム合金(NiV)、ニッケル、ニッケル−アルミニウム合金(NixAly)、モリブデン(Mo)、スズ(Sn)の内、少なくとも1つの材質が少なくとも1つの層で形成することができる。   As an example, each of the first and second electrodes is made of titanium (Ti), silver (Ag), aluminum (Al), nickel-vanadium alloy (NiV), nickel, nickel-aluminum alloy (NixAly), molybdenum (Mo). Of tin (Sn), at least one material may be formed of at least one layer.

また、導電性配線は、銅(Cu)またはアルミニウム(Al)の内、少なくとも1つの材質を含むコアとコアの表面にコーティングされており、スズ(Sn)を含むコーティング層を含むことができる。   In addition, the conductive wiring is coated on a core including at least one material of copper (Cu) or aluminum (Al) and a surface of the core, and can include a coating layer including tin (Sn).

一例として、コーティング層は、SnPb、SnAgCu、SnBiAg、SnBi、SnまたはSnAgの内、少なくとも1つを含むことができ、コアの厚さは、50μm〜250μmの間であり、コーティング層の厚さは、1μm〜30μmの間で有り得る。   As an example, the coating layer may include at least one of SnPb, SnAgCu, SnBiAg, SnBi, Sn, or SnAg, the thickness of the core is between 50 μm and 250 μm, and the thickness of the coating layer is It can be between 1 μm and 30 μm.

また、導電性接着剤の厚さは、10μm〜100μmの間であり、絶縁層の厚さは1μm〜50μmの間で有り得る。   The thickness of the conductive adhesive may be between 10 μm and 100 μm, and the thickness of the insulating layer may be between 1 μm and 50 μm.

本発明に係る太陽電池モジュールは、いずれか1つの電極と導電性の配線の間に位置する導電性接着剤の厚さを前記他の1つの電極と前記導電性の配線の間に位置する絶縁層の厚さよりも厚く形成して、太陽電池モジュールの短絡を防止し、耐久性をさらに向上させることができる。   In the solar cell module according to the present invention, the thickness of the conductive adhesive located between any one of the electrodes and the conductive wiring is insulated from the other one electrode and the conductive wiring. By forming it thicker than the thickness of the layer, short circuit of the solar cell module can be prevented, and durability can be further improved.

本発明に係る太陽電池モジュールに適用されるストリングを背面から見た形状の一例である。It is an example of the shape which looked at the string applied to the solar cell module which concerns on this invention from the back surface. 図1に適用される太陽電池の一例を示す一部の斜視図である。It is a partial perspective view which shows an example of the solar cell applied to FIG. 図2に示された太陽電池の第2方向(y)の断面を示したものである。FIG. 3 shows a cross section in a second direction (y) of the solar cell shown in FIG. 2. 図1においてCSx1−CSx1ラインに沿った断面図を示すものである。FIG. 1 is a sectional view taken along the line CSx1-CSx1. 図1及び図4において説明した導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)と絶縁層(IL)の厚さ(TIL)について、さらに具体的に説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for more specifically describing the thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) and the thickness (TIL) of the insulating layer (IL) described in FIGS. 1 and 4. 導電性接着剤と絶縁層の平面形状を説明するために、図1においてK1の部分を拡大して示した図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion K1 in FIG. 1 in order to explain the planar shape of the conductive adhesive and the insulating layer. 本発明に係る太陽電池モジュールがラミネート工程によってカプセル化された断面図を示したものである。The solar cell module which concerns on this invention is sectional drawing which was encapsulated by the lamination process. ラミネート工程により絶縁層(IL)と導電性配線との間の離隔された空間に充填材(EVA)が満たされた構造を詳細に示したものである。The structure in which the space between the insulating layer (IL) and the conductive wiring is filled with the filler (EVA) by the laminating process is shown in detail.

以下では、添付した図面を参考にして本発明の実施の形態について本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかし、本発明は、さまざまな形で実現することができ、ここで説明する実施の形態に限定されない。そして図面で本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、明細書全体を通じて類似の部分には同様の符号を付与した。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the embodiments of the present invention. However, the present invention can be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly describe the present invention in the drawings, portions not related to the description are omitted, and similar portions are denoted by similar reference numerals throughout the specification.

図面で複数の層と領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分“上に”あるとする時、これは他の部分“真上に”ある場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も含む。逆にどの部分が他の部分“真上に”あるとするときは、中間に他の部分がないことを意味する。また、どの部分が他の部分の上に“全体的”に形成されているとするときは、他の部分の全体面に形成されているものだけでなく、端の一部には形成されないことを意味する。   In the drawing, the thickness is shown enlarged to clearly show a plurality of layers and regions. When parts such as layers, films, regions, plates, etc. are “on top” of other parts, this includes not only the case of other parts “above”, but also cases where there are other parts in between . Conversely, when any part is “directly above” another part, it means that there is no other part in the middle. In addition, when any part is formed “overall” on another part, it should not be formed not only on the whole surface of the other part but also on a part of the end. Means.

以下において、前面とは、直射光が入射される半導体基板110の一面で有り得、背面とは、直射光が入射されないか、直射光ではなく、反射光が入射することができる半導体基板110の反対面で有り得る。   In the following, the front surface may be one surface of the semiconductor substrate 110 on which direct light is incident, and the back surface is the opposite of the semiconductor substrate 110 on which reflected light is not incident or direct light is not incident. It can be a surface.

図1〜図6は、本発明に係る太陽電池モジュールの一例を説明するための図である。   1-6 is a figure for demonstrating an example of the solar cell module which concerns on this invention.

ここで、図1は、本発明に係る太陽電池モジュールに適用されるストリングを背面から見た形状の一例である。   Here, FIG. 1 is an example of the shape of the string applied to the solar cell module according to the present invention as seen from the back.

図1に示すように、本発明に係る太陽電池モジュールは、複数の太陽電池(C1、C2)、複数の太陽電池(C1、C2)の背面に形成された複数の第1、第2電極(C141、C142)に接続される複数の第1導電性配線(CW1)と、複数の第2導電性配線(CW2)、及び複数の第1、第2導電性配線(CW1、CW2)に接続され、複数の太陽電池(C1、C2)を直列接続するセル間コネクタ(IC)を含む。   As shown in FIG. 1, the solar cell module according to the present invention includes a plurality of solar cells (C1, C2) and a plurality of first and second electrodes formed on the back surfaces of the plurality of solar cells (C1, C2). C141, C142) connected to a plurality of first conductive wirings (CW1), a plurality of second conductive wirings (CW2), and a plurality of first and second conductive wirings (CW1, CW2). And an inter-cell connector (IC) for connecting a plurality of solar cells (C1, C2) in series.

ここで、複数の太陽電池(C1、C2)のそれぞれは、少なくとも半導体基板110と半導体基板110の背面に互いに離隔され、第1方向(x)に長く伸びて形成される複数の第1電極(C141)と、複数の第2電極(C142)を備える。   Here, each of the plurality of solar cells (C1, C2) is separated from at least the semiconductor substrate 110 and the back surface of the semiconductor substrate 110, and is formed to extend long in the first direction (x). C141) and a plurality of second electrodes (C142).

さらに、複数の導電性配線(CW1、CW2)は、複数の太陽電池の内、互いに隣接する2つの太陽電池の内、いずれか1つの太陽電池に備えられた複数の第1電極(C141)と、残りの1つの太陽電池に備えた複数の第2電極(C142)を互いに電気的に直列接続することができる。   Further, the plurality of conductive wirings (CW1, CW2) include a plurality of first electrodes (C141) provided in any one of two solar cells adjacent to each other among the plurality of solar cells. The plurality of second electrodes (C142) included in the remaining one solar cell can be electrically connected in series with each other.

そのために、複数の導電性配線(CW1、CW2)は、第1、第2電極(C141、C142)の長さ方向の第1方向(x)と交差する第2方向(y)に長く伸び、複数の太陽電池のそれぞれに接続することができる。   Therefore, the plurality of conductive wirings (CW1, CW2) extend long in the second direction (y) intersecting the first direction (x) in the length direction of the first and second electrodes (C141, C142), It can be connected to each of a plurality of solar cells.

一例として、複数の導電性配線(CW1、CW2)は、第1導電性配線(CW1)と第2導電性配線(CW2)を含むことができ、図1に示すように、第1導電性配線(CW1)は、各太陽電池に備えられた第1電極(C141)に導電性接着剤(CA)を介して接続され、絶縁性材質の絶縁層(IL)によって第2電極(C142)と絶縁することができる。   As an example, the plurality of conductive wirings (CW1, CW2) may include a first conductive wiring (CW1) and a second conductive wiring (CW2). As shown in FIG. (CW1) is connected to the first electrode (C141) provided in each solar cell via a conductive adhesive (CA) and insulated from the second electrode (C142) by an insulating layer (IL) made of an insulating material. can do.

さらに、第2導電性配線(CW2)は、各太陽電池に備えられた第2電極(C142)に導電性接着剤(CA)を介して接続され、絶縁性材質の絶縁層(IL)によって第1電極(C141)と絶縁することができる。   Further, the second conductive wiring (CW2) is connected to the second electrode (C142) provided in each solar cell via a conductive adhesive (CA), and is formed by an insulating layer (IL) made of an insulating material. It can be insulated from one electrode (C141).

併せて、このような第1、第2導電性配線(CW1、CW2)それぞれは、複数の太陽電池との間に第1方向(x)に長く伸びて配置されるセル間コネクタに接続することができる。これにより、複数の太陽電池は、第2方向(y)に互いに直列接続することができる。   At the same time, each of the first and second conductive wirings (CW1, CW2) is connected to an inter-cell connector arranged to extend in the first direction (x) between the plurality of solar cells. Can do. Thereby, the plurality of solar cells can be connected in series with each other in the second direction (y).

このような複数の第1、第2導電性配線(CW1、CW2)は、断面が円形を有する導電性ワイヤの形態であるか、線幅が厚さより大きいリボンの形を有することができる。   The plurality of first and second conductive wirings (CW1, CW2) may have a shape of a conductive wire having a circular cross section or a ribbon shape having a line width larger than a thickness.

一例として、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)がリボンの形を有する場合、第1、第2導電性配線(210、220)のそれぞれの線幅は、導電性配線の線抵抗を十分に低く維持しながら、製造コストが最小になるように考慮し、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)それぞれの線幅は、0.5mm〜2.5mmの間で形成されることがあり、厚さは0.05mm〜0.5mmの間で形成され得る。   As an example, when the first and second conductive wirings (CW1, CW2) have a ribbon shape, the line width of each of the first and second conductive wirings (210, 220) is the line resistance of the conductive wiring. The first and second conductive wirings (CW1 and CW2) are formed with a line width of 0.5 mm to 2.5 mm in consideration of minimizing the manufacturing cost while maintaining low enough. And the thickness may be formed between 0.05 mm and 0.5 mm.

さらに、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)の総個数を考慮し、太陽電池モジュールの短絡電流が損なわれないようにするために、第1導電性配線(CW1)と第2導電性配線(CW2)との間の間隔は4mm〜6.5mmの間で形成され得る。   Further, in consideration of the total number of the first and second conductive wirings (CW1, CW2), the first conductive wiring (CW1) and the second conductive are not damaged in order not to damage the short circuit current of the solar cell module. The distance between the conductive wiring (CW2) can be formed between 4 mm and 6.5 mm.

さらに、図1では、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)それぞれの個数が3つの場合を一例として示したが、実質的に、このように、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)それぞれが1つの太陽電池に接続される個数は、10個〜20個で有り得る。したがって、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)が1つの太陽電池に接続される総個数 の合は、20個〜40個で有り得る。   Further, FIG. 1 shows an example in which the number of the first and second conductive wirings (CW1, CW2) is three, but the first and second conductive wirings (substantially in this way) CW1, CW2) The number of each connected to one solar cell may be 10-20. Therefore, the total number of the first and second conductive wirings (CW1, CW2) connected to one solar cell may be 20 to 40.

このような本発明に係る太陽電池モジュールにおいて、いずれか1つの電極と導電性配線の間に位置する導電性接着剤(CA)の厚さは、他の1つの電極と導電性の配線の間に位置する絶縁層(IL)の厚さより厚くすることができる。   In such a solar cell module according to the present invention, the thickness of the conductive adhesive (CA) located between any one of the electrodes and the conductive wiring is between the other one electrode and the conductive wiring. It can be made thicker than the thickness of the insulating layer (IL) located at.

このようにすることで、複数の導電性配線(CW1、CW2)の一部、導電性の配線が電気的に接続されるべき電極と接続されない断線を予め予防することができ、太陽電池モジュールの不良をさらに下げることができる。これについてさらに詳細な説明は後述する。   By doing in this way, it is possible to prevent in advance a disconnection in which a part of the plurality of conductive wirings (CW1, CW2), the conductive wiring is not connected to an electrode to be electrically connected, and the solar cell module Defects can be further reduced. This will be described in detail later.

さらに、本発明の一例に係る太陽電池モジュールでは、セル間のコネクタが含まれている場合を一例として示し、これについて説明しているが、セル間のコネクタは省略されることもあり、このようにセル間コネクタが省略された場合には、第1導電性配線(CW1)と第2導電性配線(CW2)が直接接続されるか一体に形成され、複数の太陽電池(C1、C2)を直列接続することもできる。   Furthermore, in the solar cell module according to an example of the present invention, a case where a connector between cells is included is shown as an example, and this is described. However, the connector between cells may be omitted, and thus When the inter-cell connector is omitted, the first conductive wiring (CW1) and the second conductive wiring (CW2) are directly connected or integrally formed, and a plurality of solar cells (C1, C2) are formed. It can also be connected in series.

ここで、複数の太陽電池のそれぞれについて、さらに具体的に説明すると、次の通りである。   Here, each of the plurality of solar cells will be described more specifically as follows.

図2は図1に適用される太陽電池の一例を示す一部斜視図であり、図3は、図2に示された太陽電池の第2方向(y)の断面を示したものである。   2 is a partial perspective view showing an example of the solar cell applied to FIG. 1, and FIG. 3 shows a cross section in the second direction (y) of the solar cell shown in FIG.

図2及び図3に示すように、本発明に係る太陽電池の一例は、反射防止膜130、半導体基板110、トンネル層180、エミッタ部121、背面電界部(172、back surface field、BSF)、真性半導体層150、パッシベーション層190、第1電極(C141)と第2電極(C142)を備えることができる。   As shown in FIGS. 2 and 3, an example of the solar cell according to the present invention includes an antireflection film 130, a semiconductor substrate 110, a tunnel layer 180, an emitter part 121, a back surface field part (172, back surface field, BSF), An intrinsic semiconductor layer 150, a passivation layer 190, a first electrode (C141), and a second electrode (C142) can be provided.

ここで、反射防止膜130、真性半導体層150、トンネル層180とパッシベーション層190は省略されることもあるが、備えた場合、太陽電池の効率がさらに向上されるため、以下では、備えられた場合を一例として説明する。   Here, the antireflection film 130, the intrinsic semiconductor layer 150, the tunnel layer 180, and the passivation layer 190 may be omitted. However, if provided, the efficiency of the solar cell is further improved. The case will be described as an example.

半導体基板110は、第1導電型の不純物を含有する単結晶シリコン、多結晶シリコンのうち、少なくともいずれか1つで形成することができる。一例として、半導体基板110は、単結晶シリコンウエハに形成することができる。   The semiconductor substrate 110 can be formed of at least one of single crystal silicon and polycrystalline silicon containing impurities of the first conductivity type. As an example, the semiconductor substrate 110 can be formed on a single crystal silicon wafer.

ここで、第1導電型は、n型またはp型導電型のいずれか1つで有り得る。   Here, the first conductivity type may be either one of n-type or p-type conductivity.

半導体基板110がp型の導電型を有する場合、ホウ素(B)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)のような3価元素の不純物が半導体基板110にドーピング(doping)される。しかし、半導体基板110がn型の導電型を有する場合、りん(P)、砒素(As)、アンチモン(Sb)などのように5価元素の不純物が半導体基板110にドーピングすることができる。   When the semiconductor substrate 110 has p-type conductivity, impurities of a trivalent element such as boron (B), gallium (Ga), and indium (In) are doped into the semiconductor substrate 110. However, when the semiconductor substrate 110 has n-type conductivity, a pentavalent element impurity such as phosphorus (P), arsenic (As), or antimony (Sb) can be doped into the semiconductor substrate 110.

以下では、このような半導体基板110の第1導電型がn型である場合を例として説明する。   Hereinafter, a case where the first conductivity type of the semiconductor substrate 110 is n-type will be described as an example.

このような半導体基板110の前面に複数の凹凸面を有することができる。これにより、半導体基板110の前面上に位置したエミッタ部121もまた凹凸面を有することができる。   Such a semiconductor substrate 110 can have a plurality of irregular surfaces on the front surface. Thereby, the emitter part 121 located on the front surface of the semiconductor substrate 110 can also have an uneven surface.

このために、半導体基板110の前面から反射される光の量が減少して、半導体基板110の内部に入射される光の量が増加することができる。   Therefore, the amount of light reflected from the front surface of the semiconductor substrate 110 can be reduced, and the amount of light incident on the semiconductor substrate 110 can be increased.

反射防止膜130は、外部から半導体基板110の前面に入射される光の反射を最小化するために、半導体基板110の前面の上に位置し、アルミニウム酸化膜(aluminum oxide:AlOx)、シリコン窒化膜(silicon nitride:SiNx)、シリコン酸化膜(SiOx)とシリコン酸化窒化膜(silicon oxynitride:SiOxNy)の内、少なくとも1つで形成することができる。   The antireflection film 130 is located on the front surface of the semiconductor substrate 110 in order to minimize reflection of light incident on the front surface of the semiconductor substrate 110 from the outside, and is made of aluminum oxide (AlOx), silicon nitride. It can be formed of at least one of a film (silicon nitride: SiNx), a silicon oxide film (SiOx), and a silicon oxynitride (SiOxNy).

トンネル層180は、半導体基板110の背面全体に直接接触して配置され、誘電体材質を含むことができる。したがって、トンネル層180は、図2及び図3に示すように、半導体基板110で生成されるキャリアを通過させることができる。   The tunnel layer 180 is disposed in direct contact with the entire back surface of the semiconductor substrate 110 and may include a dielectric material. Therefore, the tunnel layer 180 can pass carriers generated in the semiconductor substrate 110 as shown in FIGS.

このようなトンネル層180は、半導体基板110で生成されたキャリアを通過させ、半導体基板110の背面のパッシベーションの機能を実行することができる。   The tunnel layer 180 can pass a carrier generated in the semiconductor substrate 110 and perform a passivation function on the back surface of the semiconductor substrate 110.

さらに、トンネル層180は、600℃以上の高温工程にも耐久性が強いSiCxまたはSiOxで形成される誘電体材質で形成することができる。しかし、この他にもシリコン窒化膜(SiNx)、水素化されたシリコン窒化膜(SiNx)、アルミニウム酸化膜(AlOx)、シリコン酸化窒化膜(SiOxNy)または水素化されたSiOxNyで形成が可能であり、このようなトンネル層180の厚さは、0.5nm〜2.5nmの間で形成され得る。   Furthermore, the tunnel layer 180 can be formed of a dielectric material made of SiCx or SiOx that is highly durable even at a high temperature process of 600 ° C. or higher. However, in addition to this, it can be formed of silicon nitride film (SiNx), hydrogenated silicon nitride film (SiNx), aluminum oxide film (AlOx), silicon oxynitride film (SiOxNy), or hydrogenated SiOxNy. The thickness of the tunnel layer 180 can be formed between 0.5 nm and 2.5 nm.

エミッタ部121は、半導体基板110の背面に配置され、一例として、トンネル層180の背面の一部に直接接触して、複数個が第1方向(x)に長く配置され、第1導電型と反対の第2導電型を有する多結晶シリコン材質で形成することができ、エミッタ部121は、トンネル層180を間に置いて、半導体基板110とp−n接合を形成することができる。   The emitter unit 121 is disposed on the back surface of the semiconductor substrate 110, and as an example, the emitter unit 121 is directly in contact with a part of the back surface of the tunnel layer 180, and a plurality of the emitter units 121 are disposed long in the first direction (x). The emitter 121 can be formed of a polycrystalline silicon material having the opposite second conductivity type, and the emitter 121 can form a pn junction with the semiconductor substrate 110 with the tunnel layer 180 interposed therebetween.

各エミッタ部121は、半導体基板110とp−n接合を形成するので、エミッタ部121は、p型の導電型を有することができる。しかし、本発明の一例とは異なり、半導体基板110がp型の導電型を有する場合、エミッタ部121は、n型の導電型を有する。この場合、分離された電子は、複数のエミッタ部121の方向に移動し、分離された正孔は、複数の背面電界部172の方向に移動することができる。   Since each emitter part 121 forms a pn junction with the semiconductor substrate 110, the emitter part 121 can have a p-type conductivity. However, unlike the example of the present invention, when the semiconductor substrate 110 has a p-type conductivity, the emitter portion 121 has an n-type conductivity. In this case, the separated electrons can move in the direction of the plurality of emitter portions 121, and the separated holes can move in the direction of the plurality of back surface electric field portions 172.

複数のエミッタ部121がp型の導電型を有する場合、エミッタ部121には、3価元素の不純物がドーピングされることがあり、逆に複数のエミッタ部121がn型の導電型を有する場合、エミッタ部121には、5価元素の不純物がドーピングされ得る。   When the plurality of emitter parts 121 have p-type conductivity, the emitter part 121 may be doped with impurities of a trivalent element, and conversely, when the plurality of emitter parts 121 have n-type conductivity type. The emitter part 121 may be doped with an impurity of a pentavalent element.

背面電界部172は、半導体基板110の背面に配置され、一例として、トンネル層180の背面の中で、前述した複数のエミッタ部121のそれぞれと離隔された一部の領域に直接接触して、複数個がエミッタ部121と並行する第1方向(x)に長く位置するように形成することができる。   The back surface electric field portion 172 is disposed on the back surface of the semiconductor substrate 110, and as an example, in the back surface of the tunnel layer 180, the back surface electric field portion 172 is in direct contact with a part of the region separated from each of the plurality of emitter portions 121 described above. The plurality can be formed to be long in the first direction (x) parallel to the emitter portion 121.

このような背面電界部172は、第1導電型の不純物が半導体基板110より高濃度にドーピングされる多結晶シリコン材質で形成することができる。したがって、例えば、基板がn型タイプの不純物でドーピングされる場合、複数の背面電界部172は、n+の不純物領域で有り得る。 The back surface field portion 172 may be formed of a polycrystalline silicon material doped with a first conductivity type impurity at a higher concentration than the semiconductor substrate 110. Thus, for example, when the substrate is doped with an n-type impurity, the plurality of back surface field portions 172 can be n + impurity regions.

このような背面電界部172は、半導体基板110と背面電界部172との不純物濃度の差に起因する電位障壁によって、電子の移動方向である背面電界部172の方向にの正孔移動を妨害する一方、背面電界部172の方向にのキャリア(例えば、電子)の移動を容易にすることができる。   The back surface field portion 172 obstructs hole movement in the direction of the back surface field portion 172, which is the direction of electron movement, by a potential barrier caused by a difference in impurity concentration between the semiconductor substrate 110 and the back surface field portion 172. On the other hand, movement of carriers (for example, electrons) in the direction of the back surface electric field portion 172 can be facilitated.

したがって、背面電界部172とその付近又は第1及び第2電極(C141、C142)で電子と正孔の再結合で失われる電荷の量を減少させ、電子の移動を加速化させて、背面電界部172への電子移動量を増加させることができる。   Accordingly, the back surface field 172 and the vicinity thereof or the first and second electrodes (C141, C142) reduce the amount of charge lost due to recombination of electrons and holes, and accelerate the movement of the electrons. The amount of electron movement to the portion 172 can be increased.

ここでの図2及び図3では、エミッタ部と背面電界部がトンネル層の背面に多結晶シリコン材質で形成された場合を一例として説明したが、これと違って、トンネル層が省略された場合、エミッタ部と背面電界部は半導体基板110の背面内に不純物が拡散されてドーピングすることもできる。このような場合、エミッタ部と背面電界部は半導体基板110と同じ単結晶シリコン材質で形成することもできる。   In FIGS. 2 and 3, the case where the emitter portion and the back surface electric field portion are formed of a polycrystalline silicon material on the back surface of the tunnel layer has been described as an example, but unlike this case, the tunnel layer is omitted. The emitter portion and the back surface electric field portion may be doped by diffusing impurities in the back surface of the semiconductor substrate 110. In such a case, the emitter portion and the back surface electric field portion can be formed of the same single crystal silicon material as that of the semiconductor substrate 110.

真性半導体層150は、エミッタ部と背面電界部の間に露出したトンネル層の背面に形成されることができ、このような真性半導体層150は、エミッタ部121と背面電界部172とは異なるように第1導電型の不純物または第2導電型の不純物がドーピングされない真性多結晶シリコン層で形成することができる。   The intrinsic semiconductor layer 150 may be formed on the back surface of the tunnel layer exposed between the emitter portion and the back surface electric field portion. The intrinsic semiconductor layer 150 may be different from the emitter portion 121 and the back surface electric field portion 172. In addition, an intrinsic polycrystalline silicon layer which is not doped with the first conductivity type impurity or the second conductivity type impurity can be formed.

さらに、図2及び図3に示すように、真性半導体層150の両側面のそれぞれは、エミッタ部121の側面と背面電界部172の側面に直接接触する構造を有することができる。   Further, as shown in FIGS. 2 and 3, each of the both side surfaces of the intrinsic semiconductor layer 150 may have a structure in direct contact with the side surface of the emitter portion 121 and the side surface of the back surface electric field portion 172.

パッシベーション層190は、背面電界部172、真性半導体層150とエミッタ部121に形成される多結晶シリコン材質の層の背面に形成されたダングリングボンド(dangling bond)による欠陥を除去し、半導体基板110から生成されたキャリアがダングリングボンド(dangling bond)によって再結合されて消滅することを防止する役割をすることができる。   The passivation layer 190 removes defects due to dangling bonds formed on the back surface of the polycrystalline silicon material layer formed on the back surface electric field portion 172, the intrinsic semiconductor layer 150 and the emitter portion 121, and the semiconductor substrate 110. It is possible to prevent the carriers generated from the recombination due to dangling bonds from disappearing.

このために、パッシベーション層190は、真性半導体層150の背面を完全に覆って、エミッタ部121の背面の内、第1電極(C141)が接続された部分を除外した残りの部分を覆って、背面電界部172の背面の内、第2電極(C142)が接続された部分を除外した残りの部分を覆うように形成することができる。   For this purpose, the passivation layer 190 completely covers the back surface of the intrinsic semiconductor layer 150 and covers the remaining portion of the back surface of the emitter portion 121 except the portion to which the first electrode (C141) is connected, Of the back surface of the back surface electric field part 172, it can form so that the remaining part except the part to which the 2nd electrode (C142) was connected may be covered.

このようなパッシベーション層190は、誘電体層に形成されることができ、例えば、水素化されたシリコン窒化膜(SiNx:H)、水素化されたシリコン酸化膜(SiOx:H)、水素化されたシリコン窒化酸化膜(SiNxOy:H)、水素化されたシリコン酸化窒化膜(SiOxNy:H)、水素化された非晶質シリコン膜(a−Si:H)の内、少なくともいずれか1つで形成することができる。   Such a passivation layer 190 may be formed on a dielectric layer, for example, a hydrogenated silicon nitride film (SiNx: H), a hydrogenated silicon oxide film (SiOx: H), or a hydrogenated silicon nitride film (SiNx: H). At least one of a silicon oxynitride film (SiNxOy: H), a hydrogenated silicon oxynitride film (SiOxNy: H), and a hydrogenated amorphous silicon film (a-Si: H) Can be formed.

第1電極(C141)は、エミッタ部に接続し、第1方向(x)に長く伸びて形成することができる。このような、第1電極(C141)は、エミッタ部121の方向に移動したキャリア、例えば、正孔を収集することができる。   The first electrode (C141) is connected to the emitter portion and can be formed to extend long in the first direction (x). Such a 1st electrode (C141) can collect the carriers which moved in the direction of the emitter part 121, for example, a hole.

第2電極(C142)は、背面電界部に接続し、第1電極(C141)と並行するように第1方向(x)に長く伸びて形成することができる。このような、第2電極(C142)は、背面電界部172の方向に移動したキャリア、例えば、電子を収集することができる。   The second electrode (C142) is connected to the back surface electric field portion and can be formed to extend in the first direction (x) so as to be parallel to the first electrode (C141). Such a second electrode (C142) can collect carriers that have moved in the direction of the back surface field portion 172, for example, electrons.

このような図1に示すように、第1、第2電極(C141、C142)のそれぞれは、第1方向(x)に長く伸びて形成されることができ、第1電極(C141)と第2電極( C142)が第2方向(y)に交互して配置することができる。   As shown in FIG. 1, each of the first and second electrodes (C141, C142) can be formed to extend in the first direction (x), and the first electrode (C141) and the first electrode (C141) Two electrodes (C142) can be alternately arranged in the second direction (y).

さらに、第1電極(C141)の厚さ(TE1)は、第2電極(C142)の厚さ(TE2)と同じであることができ、半導体基板110の背面から第1電極(C141)の背面までの高さ(HE1)は、半導体基板110の背面から第2電極(C142)の背面までの高さ(HE2)と同じであることがある。   Further, the thickness (TE1) of the first electrode (C141) may be the same as the thickness (TE2) of the second electrode (C142), and the back surface of the first electrode (C141) from the back surface of the semiconductor substrate 110. The height (HE1) up to (HE1) may be the same as the height (HE2) from the back surface of the semiconductor substrate 110 to the back surface of the second electrode (C142).

このような複数の第1及び第2電極(C141、C142)は、導電性配線と導電性接着剤(CA)と他の金属材質を含みから形成することができる。一例として、第1、第2電極(C141、C142)のそれぞれは、チタン(Ti)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ニッケル−バナジウム合金(NiV)、ニッケル、ニッケル−アルミニウム合金(NixAly)、モリブデン(Mo)、スズ(Sn)の内、少なくとも1つの材質が少なくとも1つの層で形成することができる。   The plurality of first and second electrodes (C141, C142) can be formed by including conductive wiring, conductive adhesive (CA), and other metal materials. As an example, each of the first and second electrodes (C141, C142) includes titanium (Ti), silver (Ag), aluminum (Al), nickel-vanadium alloy (NiV), nickel, nickel-aluminum alloy (NixAly). In addition, at least one material of molybdenum (Mo) and tin (Sn) can be formed of at least one layer.

このような第1、第2電極(C141、C142)は、スパッタリング(sputtering)方法、電子ビーム蒸着装置(Electron Beam evaporator)、または無電解/電解めっき法の内、いずれか1つを用いて形成することができる。   The first and second electrodes (C141 and C142) are formed by using any one of a sputtering method, an electron beam evaporator, and an electroless / electrolytic plating method. can do.

このような構造で製造された本発明に係る太陽電池において、第1電極(C141)を介して収集された正孔と第2電極(C142)を介して収集された電子は、外部の回路装置を介して外部装置の電力として利用することができる。   In the solar cell according to the present invention manufactured with such a structure, the holes collected through the first electrode (C141) and the electrons collected through the second electrode (C142) are external circuit devices. Can be used as power for an external device.

本発明に係る太陽電池モジュールに適用された太陽電池は、必ず図2及び図3にのみ限定せず、太陽電池に備えられる第1、第2電極(C141、C142)が半導体基板110の背面のみ形成される点を除外して、他の構成要素は、いくらでも変更が可能である。   The solar cell applied to the solar cell module according to the present invention is not necessarily limited to FIGS. 2 and 3, and the first and second electrodes (C 141, C 142) provided in the solar cell are only on the back surface of the semiconductor substrate 110. Except for the point formed, other components can be modified in any number.

例えば、本発明の太陽電池モジュールには、第1電極(C141)の一部とエミッタ部121が半導体基板110の前面に位置し、第1電極(C141)の一部が半導体基板110に形成されたホールを介して半導体基板110の背面に形成された第1電極(C141)の残りの一部と接続されるMWTタイプの太陽電池も適用が可能である。   For example, in the solar cell module of the present invention, a part of the first electrode (C141) and the emitter 121 are located on the front surface of the semiconductor substrate 110, and a part of the first electrode (C141) is formed on the semiconductor substrate 110. An MWT type solar cell connected to the remaining part of the first electrode (C141) formed on the back surface of the semiconductor substrate 110 through the holes is also applicable.

このような太陽電池が、図1のように、導電性配線とセル間のコネクタを使用して、直列接続された断面構造は次の図4と同じである。   As shown in FIG. 1, such a solar cell is connected in series using a conductive wiring and a connector between cells, and the cross-sectional structure is the same as in FIG.

図4は、図1においてCSx1−CSx1ラインに沿った断面図を示すものである。   FIG. 4 is a sectional view taken along the line CSx1-CSx1 in FIG.

図4に示すように、第1太陽電池(C1)と第2太陽電池(C2)を含む複数の太陽電池は、複数個が第2方向(y)に配列することができる。   As shown in FIG. 4, a plurality of solar cells including the first solar cell (C1) and the second solar cell (C2) can be arranged in the second direction (y).

このとき、第1、第2太陽電池(C1、C2)に備えられる複数の第1、第2電極(C141、C142)の長さ方向が第1方向(x)に向くように配置することができる。   At this time, the first and second solar cells (C1, C2) may be arranged such that the length directions of the plurality of first and second electrodes (C141, C142) are directed to the first direction (x). it can.

このように、第1、第2太陽電池(C1、C2)が第2方向(y)に配列された状態で、第1、第2太陽電池(C1、C2)は、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)とセル間コネクタ(IC)により第2方向(y)に長く伸びて直列接続される1つのストリングを形成することができる。   As described above, the first and second solar cells (C1, C2) are arranged in the second direction (y) with the first and second solar cells (C1, C2) arranged in the second direction (y). One string that extends in the second direction (y) and is connected in series can be formed by the conductive wiring (CW1, CW2) and the inter-cell connector (IC).

ここで、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)とセル間コネクタ(IC)は、導電性金属材質で形成され、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)は、各太陽電池の半導体基板110の背面に接続され、太陽電池の直列接続のために、各半導体基板110に接続された第1、第2導電性配線(CW1、CW2)は、セル間コネクタ(IC)に接続することができる。   Here, the first and second conductive wirings (CW1, CW2) and the inter-cell connector (IC) are formed of a conductive metal material, and the first and second conductive wirings (CW1, CW2) The first and second conductive wirings (CW1, CW2) connected to the back surface of the semiconductor substrate 110 of the battery and connected to each semiconductor substrate 110 for series connection of solar cells are connected to the inter-cell connector (IC). Can be connected.

併せて、複数の第1、第2導電性配線(CW1、CW2)は、断面が円形を有する導電性ワイヤの形態であるか、幅が厚さより大きいリボンの形を有することができる。   In addition, the plurality of first and second conductive wirings (CW1, CW2) may be in the form of a conductive wire having a circular cross section, or in the form of a ribbon having a width greater than the thickness.

具体的には、複数の第1導電性配線(CW1)は、複数の太陽電池(C1、C2)のそれぞれに備えられた複数の第1電極(C141)に重畳されて、導電性接着剤(CA)を介して接続され、絶縁性材質の絶縁層(IL)により複数の第2電極(C142)と絶縁することができる。   Specifically, the plurality of first conductive wirings (CW1) are superimposed on the plurality of first electrodes (C141) provided in each of the plurality of solar cells (C1, C2) to form a conductive adhesive ( CA) and can be insulated from the plurality of second electrodes (C142) by an insulating layer (IL) made of an insulating material.

このとき、複数の第1導電性配線(CW1)それぞれは、図1及び図4に示すように、第1、第2太陽電池との間に配置されたセル間のコネクタ方向の半導体基板110の外に突出して配置することができる。   At this time, as shown in FIGS. 1 and 4, each of the plurality of first conductive wirings (CW1) is formed on the semiconductor substrate 110 in the connector direction between the cells arranged between the first and second solar cells. It can be arranged to protrude outward.

併せて、複数の第2導電性配線(CW2)は、複数の太陽電池(C1、C2)のそれぞれに備えられた複数の第2電極(C142)に重畳されて、導電性接着剤(CA)を介して接続され、絶縁性材質の絶縁層(IL)により複数の第1電極(C141)と絶縁することができる。   In addition, the plurality of second conductive wirings (CW2) are superposed on the plurality of second electrodes (C142) provided in each of the plurality of solar cells (C1, C2) to form a conductive adhesive (CA). And the plurality of first electrodes (C141) can be insulated by an insulating layer (IL) made of an insulating material.

このとき、複数の第2導電性配線(CW2)のそれぞれは、図1及び図4に示すように、第1、第2太陽電池との間に配置されたセル間のコネクタの向き側の半導体基板110の外に突出して配置することができる。   At this time, as shown in FIGS. 1 and 4, each of the plurality of second conductive wirings (CW2) is a semiconductor on the side facing the connector between the cells disposed between the first and second solar cells. The substrate 110 can be disposed so as to protrude outside.

ここで、導電性接着剤(CA)は、スズ(Sn)またはスズ(Sn)を含む合金を含む金属材質で形成することができる。併せて、このような導電性接着剤(CA)は、スズ(Sn)またはスズ(Sn)を含む合金を含む、ソルダーペースト(solder paste)、エポキシにスズ(Sn)またはスズ(Sn)を含む合金が含まれたエポキシソルダーペースト(epoxy solder paste)または導電性ペースト(Conductive psate)の内、いずれか1つの形で形成することができる。   Here, the conductive adhesive (CA) can be formed of a metal material including tin (Sn) or an alloy containing tin (Sn). In addition, such conductive adhesives (CA) include tin (Sn) or alloys containing tin (Sn), solder paste, epoxy containing tin (Sn) or tin (Sn). It can be formed in any one of an epoxy solder paste containing an alloy or a conductive paste.

一例として、導電性接着剤(CA)がソルダーペーストの形で適用された場合、ソルダーペーストには、Sn、SnBi、SnIn、SnAgCu、SnPb、SnBiCuCo、SnBiAg、SnPbAgまたはSnAgの内、少なくとも1つの金属材質を含むことができ、導電性接着剤(CA)がエポキシソルダーペーストの形で適用された場合、エポキシ樹脂内にSn、SnBi、SnIn、SnAgCu、SnPb、SnBiCuCo、SnBiAg、SnPbAgまたはSnAgの内、少なくとも1つの金属材質を含みから形成することができる。   For example, when the conductive adhesive (CA) is applied in the form of a solder paste, the solder paste includes at least one of Sn, SnBi, SnIn, SnAgCu, SnPb, SnBiCuCo, SnBiAg, SnPbAg, or SnAg. When the conductive adhesive (CA) is applied in the form of an epoxy solder paste, Sn, SnBi, SnIn, SnAgCu, SnPb, SnBiCuCo, SnBiAg, SnPbAg or SnAg in the epoxy resin, It can be formed from including at least one metallic material.

さらに、導電性接着剤(CA)が導電性ペーストの形で適用された場合、エポキシのような樹脂内にSn、SnBi、Ag、AgInまたはAgCuの内、少なくとも1つの金属材質を含みから形成することができる。   Further, when the conductive adhesive (CA) is applied in the form of a conductive paste, it is formed by including at least one metal material of Sn, SnBi, Ag, AgIn, or AgCu in a resin such as epoxy. be able to.

ここで、絶縁層(IL)は、絶縁性材質であればどのようなものでも構わず、一例として、エポキシ系の樹脂、ポリイミド、ポリエチレン、アクリル系の樹脂やシリコン系の樹脂の内、いずれか1つの絶縁材質が使用されることができる。   Here, the insulating layer (IL) may be any insulating material. For example, any of epoxy resin, polyimide, polyethylene, acrylic resin, and silicon resin may be used. One insulating material can be used.

このように、各太陽電池の背面に接続された複数の第1導電性配線(CW1)及び複数の第2導電性配線(CW2)の内、各半導体基板110の外に突出する部分が図1及び図4に示すように、第1、第2太陽電池(C1、C2)との間に配置されるセル間コネクタ(IC)の背面に接続することができ、これにより、複数の太陽電池(C1、C2)が第2方向(y)に直列接続された1つのストリングに形成することができる。   As described above, portions of the plurality of first conductive wirings (CW1) and the plurality of second conductive wirings (CW2) connected to the back surface of each solar cell protrude outside the semiconductor substrate 110 as shown in FIG. And as shown in FIG. 4, it can connect to the back surface of the inter-cell connector (IC) arrange | positioned between the 1st, 2nd solar cells (C1, C2), thereby, a plurality of solar cells ( C1, C2) can be formed in one string connected in series in the second direction (y).

このような構造を有する太陽電池モジュールは、複数個の太陽電池の内、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)と、第1、第2電極(C141、C142)との間に接続不良が発生した太陽電池がある場合、セル間コネクタ(IC)と、複数の第1、第2導電性配線(CW1、CW2)との間の接続を解除して、その太陽電池だけ、さらに容易に交替 することができる。   The solar cell module having such a structure is connected between the first and second conductive wirings (CW1, CW2) and the first and second electrodes (C141, C142) among the plurality of solar cells. When there is a defective solar battery, the connection between the inter-cell connector (IC) and the plurality of first and second conductive wirings (CW1, CW2) is released, and only the solar battery is further facilitated. Can be replaced.

以下では、前述した導電性接着剤(CA)と絶縁層(IL)の厚さに対しさらに具体的に説明する。   Hereinafter, the thicknesses of the conductive adhesive (CA) and the insulating layer (IL) will be described in more detail.

図5は、図1及び図4で説明した導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)と絶縁層(IL)の厚さ(TIL)に対して、さらに具体的に説明するための図であり、図6は、導電性接着剤と絶縁層の平面形状を説明するために、図1でK1の部分を拡大して示した図である。   FIG. 5 is a diagram for more specifically explaining the thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) and the thickness (TIL) of the insulating layer (IL) described in FIGS. 1 and 4. FIG. 6 is an enlarged view of the portion K1 in FIG. 1 in order to explain the planar shapes of the conductive adhesive and the insulating layer.

本発明に係る太陽電池モジュールにおいて、電極と導電性の配線の間に位置する導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)は、電極と導電性の配線の間に位置する絶縁層(IL)の厚さ(TIL)より大きく形成することができる。   In the solar cell module according to the present invention, the thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) positioned between the electrode and the conductive wiring is the insulating layer (IL) positioned between the electrode and the conductive wiring. ) Thickness (TIL).

さらに、電極(C141、C142)の背面から導電性接着剤(CA)の背面までの高さ(HCA)は、電極(C141、C142)の背面から絶縁層(IL)背面までの高さ(HIL)より大きくなることがある。   Furthermore, the height (HCA) from the back surface of the electrodes (C141, C142) to the back surface of the conductive adhesive (CA) is the height (HIL) from the back surface of the electrodes (C141, C142) to the back surface of the insulating layer (IL). ) May be larger.

したがって、第1、第2電極(C141、C142)の厚さが同じである場合、半導体基板110の背面から電極(C141、C142)の上に位置する導電性接着剤(CA)の背面までの高さ(HCA)は、半導体基板110の背面から電極(C141、C142)の上に位置する絶縁層(IL)の背面までの高さ(HIL)より高くなることができる。   Therefore, when the thicknesses of the first and second electrodes (C141, C142) are the same, from the back surface of the semiconductor substrate 110 to the back surface of the conductive adhesive (CA) located on the electrodes (C141, C142). The height (HCA) can be higher than the height (HIL) from the back surface of the semiconductor substrate 110 to the back surface of the insulating layer (IL) located on the electrodes (C141, C142).

ここで、導電性接着剤(CA)の背面や絶縁層(IL)の背面が図5に示されたように異なり均一でない場合、導電性接着剤(CA)の高さ(HCA)は、電極(C141、C142)の背面から導電性接着剤(CA)の背面までの高さの中で最高の高さであることがあり、絶縁層の高さ(HIL)は、電極(C141、C142)の背面から絶縁層(IL)の背面までの高さの内、最高の高さで有り得る。   Here, when the back surface of the conductive adhesive (CA) and the back surface of the insulating layer (IL) are different as shown in FIG. 5 and are not uniform, the height (HCA) of the conductive adhesive (CA) is the electrode. It may be the highest height from the back surface of (C141, C142) to the back surface of the conductive adhesive (CA), and the height of the insulating layer (HIL) is the electrode (C141, C142). The height from the back surface of the insulating layer (IL) to the back surface of the insulating layer (IL) may be the highest.

一例として、太陽電池で導電性接着剤(CA)は、第1電極(C141)と第1導電性配線(CW1)との間、または第2電極(C142)と第2導電性配線(CW2)との間に位置することができ、絶縁層(IL)は、第1電極(C141)と第2導電性配線(CW2)の間、または第2電極(C142)と第1導電性配線(CW1)との間に位置することができる。   For example, in the solar cell, the conductive adhesive (CA) is used between the first electrode (C141) and the first conductive wiring (CW1), or between the second electrode (C142) and the second conductive wiring (CW2). The insulating layer (IL) may be located between the first electrode (C141) and the second conductive wiring (CW2) or between the second electrode (C142) and the first conductive wiring (CW1). ).

この時、一例として、第1電極(C141)と第1導電性配線(CW1)との間に塗布される導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)は、第2電極(C142)と第1導電性配線(CW1)との間に塗布される絶縁層(IL)の厚さ(TIL)より大きいことがあり、逆に、第2電極(C142)と第2導電性配線(CW2)との間に塗布される導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)は、第1電極(C141)と第2導電性配線(CW2)との間に塗布される絶縁層(IL)の厚さ(TIL)より大きくなることができる。   At this time, as an example, the thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) applied between the first electrode (C141) and the first conductive wiring (CW1) is the same as that of the second electrode (C142). It may be larger than the thickness (TIL) of the insulating layer (IL) applied between the first conductive wiring (CW1) and conversely, the second electrode (C142) and the second conductive wiring (CW2). The thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) applied between the first electrode (C141) and the second conductive wiring (CW2) is between the insulating layer (IL) applied between the first electrode (C141) and the second conductive wiring (CW2). It can be greater than the thickness (TIL).

併せて、図5に示すように、各電極(C141、C142)と、各導電性配線(CW1、CW2)との間の間隔は、導電性接着剤(CA)の厚さ(TCA)と同一であるので、絶縁層(IL)と導電性配線の間には、互いに一定間隔(DP)だけ離隔することができる。   In addition, as shown in FIG. 5, the distance between each electrode (C141, C142) and each conductive wiring (CW1, CW2) is the same as the thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA). Therefore, the insulating layer (IL) and the conductive wiring can be separated from each other by a predetermined distance (DP).

ここで、導電性接着剤(CA)は、図6に示すように、半導体基板110の背面の内、第1、第2電極(C141、C142)が位置しない領域には、位置せず、導電性配線と重畳される電極一部分のみを覆うようにいずれか1つの電極上にのみ位置することができる。   Here, as shown in FIG. 6, the conductive adhesive (CA) is not located in a region where the first and second electrodes (C141, C142) are not located in the back surface of the semiconductor substrate 110, and is not conductive. It can be located only on any one electrode so as to cover only a part of the electrode overlapped with the conductive wiring.

すなわち、導電性接着剤(CA)は、第1導電性配線(CW1)と接続する第1電極(C141)の一部分の上にのみ位置するか、第2導電性配線(CW2)と接続する第2電極(C142)の一部分の上にのみ位置することができる。   That is, the conductive adhesive (CA) is located only on a part of the first electrode (C141) connected to the first conductive wiring (CW1) or connected to the second conductive wiring (CW2). It can be located only on a part of the two electrodes (C142).

しかし、絶縁層(IL)は、第2電極(C142)の内、第1導電性配線(CW1)と交差されて、重畳される一部分の上だけでなく、第2電極(C142)の一部分の周りの半導体基板110背面の上にも位置することができ、併せて、第1電極(C141)の内、第2導電性配線(CW2)と交差されて、重畳される一部分の上だけでなく、第1電極(C141)の一部分の周りの半導体基板110背面の上にも位置することができる。   However, the insulating layer (IL) intersects with the first conductive wiring (CW1) in the second electrode (C142), and not only on a part of the second electrode (C142) that is overlapped. In addition to being located on the back surface of the surrounding semiconductor substrate 110, not only on the part of the first electrode (C 141) that intersects and overlaps the second conductive wiring (CW 2). In addition, the semiconductor substrate 110 may be positioned on the back surface around a portion of the first electrode C141.

ここで、一例として、電極(C141、C142)の上に位置する導電性接着剤(CA)の平均厚さ(TCA)は、電極(C141、C142)の上に位置する絶縁層(IL)の平均厚さ(TIL)の2倍乃至10倍の間の範囲で形成することができる。   Here, as an example, the average thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) located on the electrodes (C141, C142) is equal to that of the insulating layer (IL) located on the electrodes (C141, C142). It can be formed in the range of 2 to 10 times the average thickness (TIL).

ここで、絶縁層(IL)の厚さ(TIL)は、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)と交差する第1、第2電極(C141、C142)の一部分の上に位置する絶縁層(IL)の厚さ(TIL)を意味する。   Here, the thickness (TIL) of the insulating layer (IL) is located on a part of the first and second electrodes (C141, C142) intersecting with the first and second conductive wirings (CW1, CW2). It means the thickness (TIL) of the insulating layer (IL).

一例として、絶縁層(IL)の平均厚さ(TIL)は1μm〜50μmの間に形成されることがあり、導電性接着剤(CA)の平均厚さ(TCA)は、絶縁層(IL)の平均厚さ(TIL)の2倍〜10倍の範囲内で10μm〜100μmの間に形成することができる。   As an example, the average thickness (TIL) of the insulating layer (IL) may be formed between 1 μm and 50 μm, and the average thickness (TCA) of the conductive adhesive (CA) is the insulating layer (IL). It can be formed between 10 μm and 100 μm within the range of 2 to 10 times the average thickness (TIL).

さらに、絶縁層(IL)の面積は、導電性接着剤(CA)の面積より大きく形成することができる。   Furthermore, the area of the insulating layer (IL) can be formed larger than the area of the conductive adhesive (CA).

さらに具体的には、図6に示すように、導電性接着剤(CA)は、第1、第2電極(C141、C142)と第1、第2導電性配線と交差する地点で、第1、第2電極(C141、C142)の上に、第1、第2電極(C141、C142)の長さ方向に沿って位置することができる。   More specifically, as shown in FIG. 6, the conductive adhesive (CA) is formed at the point where the first and second electrodes (C141 and C142) intersect with the first and second conductive wirings. The first and second electrodes (C141 and C142) may be positioned on the second electrodes (C141 and C142) along the length direction.

この時、導電性接着剤(CA)の第1方向(x)への幅(CAx)は、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)の線幅と同じか大きく、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)の各線幅の1.2倍以下で有り得る。   At this time, the width (CAx) of the conductive adhesive (CA) in the first direction (x) is equal to or larger than the line width of the first and second conductive wirings (CW1, CW2). It may be 1.2 times or less of each line width of the two conductive wirings (CW1, CW2).

さらに、導電性接着剤(CA)の第2方向(y)への幅(CAy)は、第1、第2電極(C141、C142)の線幅より狭いか同じであることがある。   Further, the width (CAy) of the conductive adhesive (CA) in the second direction (y) may be narrower or the same as the line width of the first and second electrodes (C141, C142).

しかし、絶縁層(IL)は、第1、第2電極(C141、C142)と第1、第2導電性配線(CW1、CW2)との間の絶縁をさらに確実にするために、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)と交差する第1、第2電極(C141、C142)の一部分の上だけでなく、第1、第2電極(C141、C142)の一部分の周りの半導体基板110背面の上にも位置することができる。   However, the insulating layer (IL) includes the first, second electrodes (C141, C142) and the first, second conductive wires (CW1, CW2) to further ensure insulation between the first, second electrodes (C141, C142). Semiconductor substrate around a portion of the first and second electrodes (C141, C142) as well as on a portion of the first and second electrodes (C141, C142) intersecting the second conductive wiring (CW1, CW2) 110 can also be located on the back.

この時、絶縁層(IL)の第1方向(x)への幅(ILx)は、導電性接着剤(CA)の第1方向(x)への幅(CAx)より大きく、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)それぞれの線幅の3倍より小さいことがある。   At this time, the width (ILx) of the insulating layer (IL) in the first direction (x) is larger than the width (CAx) of the conductive adhesive (CA) in the first direction (x). It may be smaller than three times the line width of each of the two conductive wirings (CW1, CW2).

さらに、絶縁層(IL)の第2方向(y)への幅(ILy)は、第1、第2電極(C141、C142)の線幅より大きく、互いに離隔した2つの第1電極(C141、C142)との間の間隔や、互いに離隔された2つの第2電極(C141、C142)との間の間隔より小さく形成することができる。   Furthermore, the width (ILy) in the second direction (y) of the insulating layer (IL) is larger than the line width of the first and second electrodes (C141, C142), and the two first electrodes (C141, C141, C142) and a distance between two second electrodes (C141, C142) separated from each other.

これにより、太陽電池モジュール内で絶縁が必要な電極(C141、C142)と導電性配線(CW1、CW2)との間の短絡を防止し、太陽電池モジュールの耐久性をさらに向上させることがある。   Thereby, the short circuit between the electrodes (C141, C142) and the conductive wirings (CW1, CW2) that need insulation in the solar cell module may be prevented, and the durability of the solar cell module may be further improved.

この時、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)のそれぞれはコア(CR)とコーティング層(CT)を含むことができる。   At this time, each of the first and second conductive wirings (CW1, CW2) may include a core (CR) and a coating layer (CT).

ここで、コア(CR)は、銅(Cu)またはアルミニウム(Al)の内、少なくとも1つの材質を含む形成されることがあり、コーティング層(CT)は、スズ(Sn)を含んで形成することができる。一例として、コーティング層(CT)は、SnPb、SnAgCu、SnBiAg、SnBi、SnまたはSnAgの内、少なくとも1つを含んで形成することができる。   Here, the core (CR) may be formed including at least one material of copper (Cu) or aluminum (Al), and the coating layer (CT) is formed including tin (Sn). be able to. As an example, the coating layer (CT) may be formed including at least one of SnPb, SnAgCu, SnBiAg, SnBi, Sn, or SnAg.

ここで、コア(CR)の厚さは、50μm〜250μmの間であり、コーティング層(CT)の厚さは、1μm〜30μmの間で有り得る。   Here, the thickness of the core (CR) may be between 50 μm and 250 μm, and the thickness of the coating layer (CT) may be between 1 μm and 30 μm.

このような太陽電池モジュールは、複数の太陽電池をカプセル化するラミネート工程中に、絶縁層(IL)と導電性配線との間の離隔された空間に充填材が満たされ得る。以下では、これに対して、さらに具体的に説明する。   In such a solar cell module, during the laminating process for encapsulating a plurality of solar cells, the space between the insulating layer (IL) and the conductive wiring can be filled with the filler. Hereinafter, this will be described more specifically.

図7は、本発明に係る太陽電池モジュールが、ラミネート工程によってカプセル化された断面図を示したものであり、図8は、ラミネート工程により絶縁層(IL)と導電性配線との間の離隔された空間に充填材(EVA)が満たされた構造を詳細に示したものである。   FIG. 7 shows a cross-sectional view in which the solar cell module according to the present invention is encapsulated by a laminating process, and FIG. 8 shows a separation between the insulating layer (IL) and the conductive wiring by the laminating process. The structure in which the filled space is filled with the filler (EVA) is shown in detail.

図7に示すように、太陽電池は、前面透明基板(FG)と背面シート(BS)との間に配置された状態で、熱と圧力が同時に加わるラミネート工程によって一体化されてカプセル化することができる。   As shown in FIG. 7, the solar cell is integrated and encapsulated by a laminating process in which heat and pressure are simultaneously applied while being arranged between the front transparent substrate (FG) and the back sheet (BS). Can do.

ここで、前面透明基板(FG)は、透過率が高く、破損防止機能に優れた強化ガラスなどで形成することができる。   Here, the front transparent substrate (FG) can be formed of tempered glass having a high transmittance and an excellent breakage prevention function.

背面シート(BS)は、太陽電池の背面において湿気が浸透することを防止して太陽電池を外部環境から保護することができる。このような背面シート(BS)は、水分と酸素の浸透を防止する層、化学的腐食を防止する層のような多層構造を有することができる。   The back sheet (BS) can protect the solar cell from the external environment by preventing moisture from penetrating the back surface of the solar cell. Such a back sheet (BS) may have a multilayer structure such as a layer that prevents penetration of moisture and oxygen and a layer that prevents chemical corrosion.

このような背面シート(BS)は、FP(fluoropolymer)/PE(polyeaster)/FP(fluoropolymer)のような絶縁材質からなる薄いシートで形成されるが、他の絶縁物質からなる絶縁シートで有り得る。   The back sheet (BS) is formed of a thin sheet made of an insulating material such as FP (fluoropolymer) / PE (polyeaster) / FP (fluoropolymer), but may be an insulating sheet made of another insulating material.

このようなラミネート工程は、前面透明基板(FG)と太陽電池との間、及び太陽電池と背面シート(BS)との間にシート状の充填材(EVA)が配置された状態で行われることができる。   Such a lamination process is performed in a state where a sheet-like filler (EVA) is disposed between the front transparent substrate (FG) and the solar cell and between the solar cell and the rear sheet (BS). Can do.

ここで、充填材(EVA)の材質は、絶縁層(IL)の材質とは異なるように形成することができ、水分の浸透による腐食を防止し、太陽電池10を衝撃から保護し、そのために衝撃を吸収することができるエチレンビニルアセテート(EVA、ethylene vinyl acetate)のような物質で形成することができる。   Here, the material of the filler (EVA) can be formed differently from the material of the insulating layer (IL), prevents corrosion due to moisture penetration, and protects the solar cell 10 from impact. It can be formed of a material such as ethylene vinyl acetate (EVA) that can absorb impact.

したがって、前面透明基板(FG)と太陽電池との間、及び太陽電池と背面基板との間に配置されたシート状の充填材(EVA)は、ラミネーション工程中の熱と圧力により溶融されて、図8に示すように、第1、第2電極(C141、C142)との間の空きスペース、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)との間の空きスペース、および絶縁層(IL)と、第1、第2導電性配線(CW1、CW2)との間の離隔された空間に満たすことができる。   Therefore, the sheet-like filler (EVA) disposed between the front transparent substrate (FG) and the solar cell and between the solar cell and the rear substrate is melted by heat and pressure during the lamination process, As shown in FIG. 8, the empty space between the first and second electrodes (C141, C142), the empty space between the first and second conductive wirings (CW1, CW2), and the insulating layer (IL ) And the first and second conductive wirings (CW1, CW2).

これにより、太陽電池モジュールは、耐久性はさらに向上することができる。   Thereby, the durability of the solar cell module can be further improved.

以上、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるものではなく、次の請求の範囲で定義している本発明の基本的な概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態また、本発明の権利範囲に属するものである。   The preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, but the scope of the present invention is not limited to this, and the basic concept of the present invention defined in the following claims is described. Various modifications and improvements made by those skilled in the art are also within the scope of the present invention.

Claims (14)

第1導電性の不純物がドーピングされた半導体基板と、
前記第1導電性と反対の第2導電性の不純物がドーピングされるエミッタ部と、
前記半導体基板より前記第1導電性の不純物を高濃度にドーピングされる背面電界部と、
前記エミッタ部に接続する第1電極と、
前記背面電界部に接続する第2電極と、
それぞれが前記第1、第2電極と交差する方向に長く形成され、前記複数の第1電極と導電性接着剤を介して接続され、前記複数の第2電極と絶縁層によって絶縁される複数の第1導電性配線と、前記複数の第2電極と前記導電性接着剤を介して接続され、前記複数の第1電極と前記絶縁層によって絶縁される複数の第2導電性配線を含み
前記第1導電性配線と前記第1電極との間及び前記第2導電性配線と前記第2電極との間に位置する前記導電性接着剤の厚さは、前記第1導電性配線と前記第2電極との間及び前記第2導電性配線と前記第1電極との間に位置する前記絶縁層の厚さより厚い、太陽電池モジュール。
A semiconductor substrate doped with a first conductive impurity;
An emitter portion doped with an impurity of a second conductivity opposite to the first conductivity;
A back surface field portion doped with the first conductive impurity at a higher concentration than the semiconductor substrate;
A first electrode connected to the emitter section;
A second electrode connected to the back surface field portion;
Each of the plurality of electrodes is formed long in a direction intersecting with the first and second electrodes, connected to the plurality of first electrodes through a conductive adhesive, and insulated from the plurality of second electrodes by an insulating layer. A plurality of second conductive wirings connected to the first conductive wiring, the plurality of second electrodes via the conductive adhesive, and insulated by the plurality of first electrodes and the insulating layer ;
The thickness of the conductive adhesive located between the first conductive wiring and the first electrode and between the second conductive wiring and the second electrode is determined between the first conductive wiring and the first electrode. A solar cell module, which is thicker than a thickness of the insulating layer located between the second electrode and between the second conductive wiring and the first electrode .
前記絶縁層と、前記第1及び第2導電性配線の間は、互いに離隔されている、請求項1に記載の太陽電池モジュール。 The solar cell module according to claim 1 , wherein the insulating layer and the first and second conductive wirings are separated from each other. 前記絶縁層と、前記第1及び第2導電性配線との間の離隔された空間には、外部の衝撃から前記半導体基板を保護する充填材がさらに位置する、請求項2に記載の太陽電池モジュール。 3. The solar cell according to claim 2, wherein a filler that protects the semiconductor substrate from an external impact is further located in a spaced space between the insulating layer and the first and second conductive wirings. module. 前記絶縁層は、エポキシ、ポリイミドまたはシリコンのうちの少なくともいずれか1つを含む、請求項3に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 3, wherein the insulating layer includes at least one of epoxy, polyimide, and silicon. 前記充填材の材質は、前記絶縁層の材質と異なる、請求項4に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 4, wherein a material of the filler is different from a material of the insulating layer. 前記充填材は、EVA(EVA、ethylene vinyl acetate)である、請求項4に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 4, wherein the filler is EVA (EVA, ethylene vinyl acetate). 前記導電性接着剤の材質は、スズ(Sn)を含む、請求項1に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 1, wherein a material of the conductive adhesive includes tin (Sn). 前記導電性接着剤は、ソルダーペースト(solder paste)エポキシソルダーペースト(epoxy solder paste)または導電性ペースト(Conductive psate)の内、いずれか1つで形成される、請求項7に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 7, wherein the conductive adhesive is formed of any one of a solder paste, an epoxy solder paste, and a conductive paste. . 前記第1、第2電極のそれぞれは、前記導電性接着剤と他の金属材質を含む、請求項1に記載の太陽電池モジュール。   2. The solar cell module according to claim 1, wherein each of the first and second electrodes includes the conductive adhesive and another metal material. 前記第1、第2電極のそれぞれは、チタン(Ti)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ニッケル−バナジウム合金(NiV)、ニッケル、ニッケル−アルミニウム合金(NixAly)、モリブデン(Mo)、スズ(Sn)の内、少なくとも1つの材質が少なくとも1つの層で形成される、請求項9に記載の太陽電池モジュール。   Each of the first and second electrodes includes titanium (Ti), silver (Ag), aluminum (Al), nickel-vanadium alloy (NiV), nickel, nickel-aluminum alloy (NixAly), molybdenum (Mo), and tin. The solar cell module according to claim 9, wherein at least one material of (Sn) is formed of at least one layer. 前記第1、第2導電性配線は、
銅(Cu)またはアルミニウム(Al)の内、少なくとも1つの材質を含むコアと、
前記コアの表面にコーティングされており、スズ(Sn)を含むコーティング層を含む、請求項1に記載の太陽電池モジュール。
The first and second conductive wirings are
A core including at least one material of copper (Cu) or aluminum (Al);
The solar cell module according to claim 1, wherein the solar cell module is coated on a surface of the core and includes a coating layer containing tin (Sn).
前記コーティング層は、SnPb、SnAgCu、SnBiAg、SnBi、SnまたはSnAgの内、少なくとも1つを含む、請求項11に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 11, wherein the coating layer includes at least one of SnPb, SnAgCu, SnBiAg, SnBi, Sn, or SnAg. 前記コアの厚さは50μm〜250μmの間であり、前記コーティング層の厚さは1μm〜30μmの間である、請求項11に記載の太陽電池モジュール。   12. The solar cell module according to claim 11, wherein a thickness of the core is between 50 μm and 250 μm, and a thickness of the coating layer is between 1 μm and 30 μm. 前記導電性接着剤の厚さは、10μm〜100μmの間であり、前記絶縁層の厚さは1μm〜50μmの間である、請求項1に記載の太陽電池モジュール。   2. The solar cell module according to claim 1, wherein a thickness of the conductive adhesive is between 10 μm and 100 μm, and a thickness of the insulating layer is between 1 μm and 50 μm.
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