JP6233340B2 - Stocker and article supporting method - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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Description
この発明はストッカ及び物品の支持方法に関する。 The present invention relates to a stocker and a method for supporting an article .
特許文献1(JP2003-128209A)は、物品の底部に設けられた複数個の凹部に、複数個のピンを係合させて位置決めすることを示している。特許文献2(JPH039-221203A)は、大中小3種類の物品の4隅を位置決め部材により位置決めし、大きな物品には背が高い位置決め部材を、小さな物品には背が低い位置決め部材を用いることを示している。しかしながら支持装置の幅が狭い場合、ピンによる位置決めも、物品の4隅による位置決めも難しい。 Patent Document 1 (JP2003-128209A) shows that a plurality of pins are engaged and positioned in a plurality of recesses provided at the bottom of an article. Patent Document 2 (JPH039-221203A) uses positioning members to position the four corners of three types of large, medium, and small items, and uses tall positioning members for large items and short positioning members for small items. Show. However, when the width of the support device is narrow, positioning by the pins and positioning by the four corners of the article are difficult.
この発明の課題は、ストッカの支持装置及び棚の各々で、簡単な構造で、底部の大きさが異なる2種類の物品を、大きな方の物品の底部よりも左右方向の幅が狭い支持部により、位置決めかつ支持できるようにすることにある。 The problem of the present invention is that each of the stocker support device and the shelf has two types of articles having a simple structure and different bottom sizes by a support part having a narrower width in the left-right direction than the bottom part of the larger article. It is to enable positioning and support.
この発明は、底部に位置決め用の第1の凹部を有する第1の物品と、底部に位置決め用の第2の凹部を有し、かつ底部が第1の物品の底部が占める範囲に収まる第2の物品とを、同じ向きに共に支持するための支持装置と棚とを備えるストッカであって、
前記ストッカは、少なくとも一対の棚受を有する棚と、支持装置を昇降させる移動体を備え、
各物品の奥行き方向を前後方向、幅方向を左右方向として、
前記支持装置は、第1の物品の底部よりも左右方向の幅が狭く、かつ前後方向の中間で、第2の物品の奥行きよりも広い長さに渡って、上面が前後方向の両外側よりも低くされた背が低い部分が設けられている支持部と、
前記支持部の前記背が低い部分の前後方向の両外側に設けられ、かつ第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持する第1の位置決め部材と、
前記支持部に設けられ、かつ第1の位置決め部材により前後方向両端が位置決めされた第1の物品の、左右方向への移動を規制する移動規制部材と、
前記支持部の前記背が低い部分に設けられ、かつ第2の物品の底部を位置決めすると共に支持する第2の位置決め部材、とを備え、
前記少なくとも一対の棚受は、第2の物品の底部の幅よりも狭く前記支持部の幅よりも広い間隔を置いて設けられ、かつ前記少なくとも一対の棚受は各々、前後方向に沿って第1の物品の奥行きよりも長く、さらに、第1の物品の底部の前後方向両端をガイドすることにより位置決めする前後一対の位置決めガイドと、第2の物品の底部を位置決めする位置決め手段とを備え、
前記移動体が前記支持装置を昇降させることにより、第1の物品及び第2の物品を支持装置と前記一対の棚受との間で移載し、かつ第1の物品を移載する際に、前記第1の位置決め部材と前記前後一対の位置決めガイドが、第1の物品の前後両端に沿って左右方向に並ぶように構成されている。
According to the present invention, a first article having a first concave portion for positioning at the bottom and a second concave portion for positioning at the bottom, and the bottom is within a range occupied by the bottom of the first article. A stocker comprising a support device and a shelf for supporting the articles together in the same direction ,
The stocker includes a shelf having at least a pair of shelf holders, and a moving body for raising and lowering the support device,
The depth direction of each article is the front-rear direction and the width direction is the left-right direction.
The support device has a width in the left-right direction narrower than the bottom of the first article and a length wider than the depth of the second article in the middle in the front-rear direction, and the upper surface from both outer sides in the front-rear direction. A support part provided with a lower part which is also lowered,
Positioning and supporting both ends in the front-rear direction of the first article by guiding both ends in the front-rear direction of the bottom part of the first article provided on both outer sides in the front-rear direction of the lower portion of the support part A first positioning member that
A movement restricting member for restricting movement in the left-right direction of the first article provided at the support portion and positioned at both ends in the front-rear direction by the first positioning member;
A second positioning member provided at the lower portion of the support portion and positioning and supporting the bottom of the second article ,
The at least one pair of shelf supports is provided with an interval narrower than a width of the bottom portion of the second article and wider than a width of the support portion, and each of the at least one pair of shelf supports is provided along the front-rear direction. A pair of front and rear positioning guides that are longer than the depth of the first article and positioned by guiding both front and rear direction ends of the bottom of the first article, and positioning means that positions the bottom of the second article,
When the moving body moves the support device up and down, the first article and the second article are transferred between the support apparatus and the pair of shelf supports, and the first article is transferred. The first positioning member and the pair of front and rear positioning guides are arranged in the left-right direction along both front and rear ends of the first article .
またこの発明の物品の支持方法は、底部に位置決め用の第1の凹部を有する第1の物品と、底部に位置決め用の第2の凹部を有し、かつ底部が第1の物品の底部が占める範囲に収まる第2の物品とを、支持装置とストッカの棚とにより、同じ向きに共に支持する方法であって、
前記ストッカは、少なくとも一対の棚受を有する棚と、支持装置を昇降させる移動体を備え、
各物品の奥行き方向を前後方向、幅方向を左右方向として、
前記支持装置は、第1の物品の底部よりも左右方向の幅が狭い支持部を備え、かつ支持部には、前後方向の中間で、第2の物品の奥行きよりも広い長さに渡って、上面が前後方向の両外側よりも低くされた背が低い部分が設けられ、
前記少なくとも一対の棚受は、第2の物品の底部の幅よりも狭く前記支持部の幅よりも広い間隔を置いて設けられ、かつ前記少なくとも一対の棚受は各々、前後方向に沿って第1の物品の奥行きよりも長く、さらに、第1の物品の底部の前後方向両端をガイドすることにより位置決めする前後一対の位置決めガイドと、第2の物品の底部を位置決めする位置決め手段とを備え、
前記移動体は、前記支持装置を昇降させることにより、第1の物品及び第2の物品を支持装置と前記一対の棚受との間で移載し、
前記支持部の前記背が低い部分の前後方向の両外側に設けられている第1の位置決め部材により、第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持するステップと、
前記支持部に設けられた移動規制部材により、第1の位置決め部材により前後方向両端が位置決めされた第1の物品の、左右方向への移動を規制するステップと、
前記支持部の前記背が低い部分に設けられた第2の位置決め部材により、第2の物品の底部を位置決めすると共に支持するステップと、
前記前後一対の位置決めガイドにより、第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持するステップと、
前記位置決め手段により、第2の物品の底部を位置決めするステップ、
とを行い、
第1の物品を移載する際に、前記第1の位置決め部材と前記前後一対の位置決めガイドが、第1の物品の前後両端に沿って左右方向に並ぶようにする。
The article supporting method according to the present invention includes a first article having a first concave portion for positioning at the bottom, a second concave portion for positioning at the bottom, and the bottom of the first article being the bottom of the first article. A method of supporting a second article within an occupied range together in the same direction by a support device and a shelf of a stocker ,
The stocker includes a shelf having at least a pair of shelf holders, and a moving body for raising and lowering the support device,
The depth direction of each article is the front-rear direction and the width direction is the left-right direction.
The support device includes a support portion that is narrower in the left-right direction than the bottom portion of the first article, and the support portion has a length wider than the depth of the second article in the middle in the front-rear direction. , A lower portion is provided with the upper surface being lower than both outer sides in the front-rear direction,
The at least one pair of shelf supports is provided with an interval narrower than a width of the bottom portion of the second article and wider than a width of the support portion, and each of the at least one pair of shelf supports is provided along the front-rear direction. A pair of front and rear positioning guides that are longer than the depth of the first article and positioned by guiding both front and rear direction ends of the bottom of the first article, and positioning means that positions the bottom of the second article,
The movable body moves the support device up and down to transfer the first article and the second article between the support device and the pair of shelf supports,
By guiding both ends in the front-rear direction of the bottom of the first article with the first positioning members provided on both outer sides in the front-rear direction of the lower portion of the support part, the front and rear of the first article Positioning and supporting both ends in the direction;
A step of restricting movement in the left-right direction of the first article whose both ends in the front-rear direction are positioned by the first positioning member by the movement-regulating member provided in the support part;
Positioning and supporting the bottom of the second article by a second positioning member provided in the lower portion of the support ;
Positioning and supporting the front and rear ends of the first article by guiding the front and rear ends of the bottom of the first article by the pair of front and rear positioning guides;
Positioning the bottom of the second article by the positioning means;
And
When the first article is transferred, the first positioning member and the pair of front and rear positioning guides are arranged in the left-right direction along both front and rear ends of the first article.
この発明では、第1の位置決め部材により、物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持し、支持部に設けられた移動規制部材により第1の物品の左右動を規制する。このため第1の物品の底部よりも左右方向の幅が狭い支持部でも、第1の物品と第2の物品を共に位置決めかつ支持でき、しかも支持装置の構造が簡単である。 In this invention, the first positioning member positions and supports both ends of the article in the front-rear direction, and the movement restricting member provided on the support part restricts the left-right movement of the article. For this reason, both the first article and the second article can be positioned and supported even by a support part having a narrower width in the left-right direction than the bottom part of the first article, and the structure of the support device is simple.
特に第2の位置決め部材は背が低い部分にあって、第1の物品の底部と干渉せず、第1の位置決め部材は背が低い部分の前後方向の両外側にあって、第2の物品の底部と干渉しない。また第1の位置決め部材と移動規制部材を高くしなくても、第2の位置決め部材と第1の物品との干渉を回避できる。なお第2の位置決め部材は、後述の複数個の突起の他に、第2の物品の前後方向の両端を位置決めしかつ支持する部材と、第2の物品の底部の凹部に係合する突起との組み合わせ等でも良い。 In particular, the second positioning member is in a short part and does not interfere with the bottom of the first article, and the first positioning member is on both outer sides in the front-rear direction of the low part, and the second article Does not interfere with the bottom of the. Further, interference between the second positioning member and the first article can be avoided without increasing the first positioning member and the movement restricting member. The second positioning member includes, in addition to a plurality of projections described later, a member that positions and supports both ends in the front-rear direction of the second article, and a projection that engages with a recess at the bottom of the second article. A combination of these may be used.
好ましくは、前記移動規制部材は、前記背が低い部分の前後方向の少なくとも一方の外側に設けられ、第1の物品の底部の第1の凹部に係合することにより、第1の物品の左右方向位置を位置決めする第3の位置決め部材であり、前記一対の棚受は各々、第1の物品の左右方向の両端部をガイドすることにより位置決めする第2の位置決めガイドを備えている。このようにすると、第3の位置決め部材は第2の物品の底部と干渉せず、かつ第1の物品の底部の第1の凹部と係合して、第1の物品の左右方向位置を位置決めできる。 Preferably, the movement restricting member is provided on at least one outer side in the front-rear direction of the short portion, and engages with a first recess in a bottom portion of the first article, whereby the left and right sides of the first article are Ri third positioning member der for positioning the direction position, the pair of Shelf bracket are each provided with a second positioning guide for positioning by guiding both end portions of the left and right direction of the first article. In this case, the third positioning member does not interfere with the bottom of the second article and engages with the first recess of the bottom of the first article, thereby positioning the position of the first article in the left-right direction. it can.
好ましくは、第2の物品は第2の凹部を複数個有し、第2の位置決め部材は、第2の物品の底部の第2の凹部と係合し、かつ前記背が低い部分に設けられ、第1の物品の底部とは干渉しない高さの複数個の突起であり、前記位置決め手段は、第2の物品の底部の孔と係合して第2の物品を位置決めする複数個の突起である。複数個の凹部は例えば3個のV溝であり、複数個の突起は例えば3本のピンである。このようにすると、複数個の突起により正確に第2の物品を位置決めかつ支持できる。また複数個の突起の高さを選ぶことにより、第1の物品との干渉を回避できる。 Preferably, the second article has a plurality of second recesses, and the second positioning member engages with the second recess at the bottom of the second article and is provided in the lower portion. height plurality of protrusions der that does not interfere with the bottom portion of the first article is, the positioning means includes a plurality of positioning the second article engages the bottom of the hole of the second article It is a protrusion. The plurality of recesses are, for example, three V-grooves, and the plurality of protrusions are, for example, three pins. In this way, the second article can be accurately positioned and supported by the plurality of protrusions. Moreover, interference with the first article can be avoided by selecting the height of the plurality of protrusions.
好ましくは、前記第1の位置決め部材は、第1の物品の前後方向の両端をガイドするテーパー面と、第1の物品の底部を支持する支持面とを備え、前記テーパー面と前記支持面とは物品の幅方向に沿って拡がり、かつ前記テーパー面と前記支持面との境界が、第1の位置決め部材の端部で、第1の物品の回り止めとして作用するように構成されている。第1の位置決め部材と第3の位置決め部材とにより、第1の物品の前後と左右を位置決めできるが、鉛直な軸回りに第1の物品の向きが変化する可能性がある。そこで第1の位置決め部材を回り止めとして、第1の物品の向きが変化することを防止する。 Preferably, the first positioning member includes a tapered surface that guides both ends of the first article in the front-rear direction, and a support surface that supports a bottom portion of the first article, and the tapered surface and the support surface Is extended along the width direction of the article, and the boundary between the tapered surface and the support surface is configured to act as a detent for the first article at the end of the first positioning member. The first positioning member and the third positioning member can position the front and rear and the left and right of the first article, but the orientation of the first article may change around a vertical axis. Therefore, the first positioning member is used as a detent to prevent the direction of the first article from changing.
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。 In the following, an optimum embodiment for carrying out the present invention will be shown. The scope of the present invention should be determined according to the understanding of those skilled in the art based on the description of the scope of the claims, taking into account the description of the specification and well-known techniques in this field.
図1〜図8に、実施例での物品の支持装置2をハンドとして備える、スカラアーム4を示す。スカラアーム4は、支持装置2により物品を位置決めすると共に支持し、棚受80,81等の移載相手との間で、進退動作と昇降動作とにより物品を移載(受け渡し)する。支持装置2は、スカラアーム4のハンドに限らず、例えばスライドフォークのトッププレートの先端部に設けても、あるいは固定した支持装置として棚等に設けても良い。なお図9,図10は、スカラアーム4が物品を移載する棚受80,81を示す。
FIGS. 1-8 shows the
物品は、450mmウェハー用のFOUP52(第1の物品)と、300mmウェハー用のFOUP62(第2の物品)の2種類であるが、物品の種類自体は任意である。第2の物品は、第1の物品よりもサイズが小さく、かつその底面が第1の物品の底面が占める範囲に収まるものとする。各図において、鎖線はFOUP52,62を示し、FOUP52,62のサイドフランジのように、本発明とは関係がない部分は省略して示す。図1,図7,図9,図10では、支持装置2及び棚受80,81による位置決めを示すため、FOUP52,62の底部の構造を示す。
There are two types of articles, FOUP 52 (first article) for 450 mm wafers and FOUP 62 (second article) for 300 mm wafers, but the type of article itself is arbitrary. It is assumed that the second article is smaller in size than the first article and that the bottom surface thereof is within the range occupied by the bottom surface of the first article. In each figure, the chain line indicates
図1,図2は、450mmウェハー用のFOUP52を支持した状態での、スカラアーム4を示す。支持装置2はプレート6を備え、プレートの前後方向での先端と基部とに背が高い部分8,9があり、中間に背が低い部分10がある。基部の背が高い部分9には軸40があり、軸40は支持装置2を回動させる。この明細書では、支持装置2の軸40側を基端、その反対側の背が高い部分8側を先端とし、先端と基端とを結ぶ方向を前後方向という。また前後方向に対し、水平面内で直角な方向を左右方向という。
1 and 2 show the
プレート6の左右方向の幅は、FOUP52,62の左右方向の幅よりも狭く、FOUP52,62を棚受80,81が支持できるようにしてある。先端側の背が高い部分8の左右方向中央部に位置決めガイド12があり、基端側の背が高い部分9には左右例えば一対の位置決めガイド16,16がある。位置決めガイド12,16は、左右方向の長さが異なるが、基本的構造は同じで、背が低い部分10側が低くなるように傾斜したテーパー面13,17と、テーパー面13,17の下端から背が低い部分10側へ延びる水平な支持面14,18とを備えている。またテーパー面13,17と支持面14,18との境界上で、かつ位置決めガイド12,16の左右方向外側の端部の点19は、FOUP52の回り止めとなる。
The horizontal width of the
背が高い部分8の左右方向中央部で背が低い部分10寄りに、例えば平面視で長方形状の位置決め突起20があり、位置決め突起20の左右方向の端部には、R部が設けられている。背が低い部分10には、例えば3個のキネマチックカップリングピン22(以下ピン22という)が設けられ、ピン22の高さは支持面14,18の高さよりも低くしてある。背が低い部分10の上面を、背が高い部分8の上面よりもDだけ低い位置に配置し、このため、背が高い部分8,9と背が低い部分10との間には、肉厚差Dが有る。そして背が低い部分10の上面が背が高い部分8の上面よりも低い位置にあるため、位置決めガイド12,16の高さを小さくできる。
For example, a
スカラアーム4は、ベース30に設けた軸36を中心に回動するアーム32と、アーム32の先端側の軸38を中心に回動するアーム34とを備え、アーム34の先端側に前記の軸40を備えている。スカラアーム4は昇降と水平往復運動とが自在な移動体に搭載され、この移動体はFOUP52,62を一時保管するストッカ等に設置されて、棚に沿って往復運動し、アーム42によりスカラアーム4を支持して昇降させる。そしてスカラアーム4の伸縮とベース30の昇降とを組み合わせて、棚受80,81との間でFOUP52,62を移載する。スカラアーム4に代えて、スライドフォークのトッププレートの先端に支持装置2を設けても良い。
The
44は第1の落下防止部材、46は第2の落下防止部材である。落下防止部材44,46は、アーム34から鉛直上向きに直立する支柱48に取り付けられ、高さは固定で、落下防止部材44は支柱48の上端付近に、落下防止部材46はその下部に取り付けられている。第2の落下防止部材46は支柱48への取り付け軸を中心に水平面内で回動自在で、先端には鉛直軸回りに回動するローラ47が取り付けられている。第1の落下防止部材44は450mmウェハー用のFOUP52の落下を防止し、第2の落下防止部材46は300mmウェハー用のFOUP62の落下を防止する。落下防止部材44はFOUP52のドア部58の上端を規制し、落下防止部材46はFOUP62のドア部68の上端を規制する。さらに落下防止部材46は、FOUP52に対して、ローラ47がドア部58に押されることにより後退する。
44 is a first fall prevention member and 46 is a second fall prevention member. The
図1,図2に示すように、450mmウェハー用のFOUP52は底部の4周に沿ってコンベヤ面54が設けられ、側面の下部でコンベヤ面54と交わる面はコンベヤガイド面55とされ、コンベヤ面54とコンベヤガイド面55は特定の位置にある平滑な面である。またFOUP52の底部には、キネマチックカップリング用に3個のV溝(断面が逆V字状の溝)が設けられ、ドア部58側のV溝をV溝56といい、反対側のV溝をV溝57という。支持装置2は、前後のコンベヤガイド面55と置決めガイド12,16とにより、前後方向の位置を位置決めし、コンベヤ面54を支持面14,18で支持する。またドア部58と反対側のV溝57を、位置決め突起20で位置決めすることにより、左右方向の位置決めを行う。位置決め突起20のみでは、FOUP52の鉛直軸回りの向きが変化する可能性があるので、FOUP52の回転を回り止め19により禁止する。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
450mmウェハー用のFOUP52の位置決めを、図1〜図5に示す。図3に示すように、コンベヤガイド面55を位置決めガイド12のテーパー面13によりガイドし、コンベヤ面54を支持面14により支持する。位置決めガイド16でも同様に、コンベヤガイド面55をテーパー面17によりガイドし、コンベヤ面54を支持面18により支持する。これによってFOUP52は前後方向に位置決めされ、鉛直軸回りの回転は回り止め19により防止される。このようにしてFOUP52は水平面内で位置決めされるので、残る運動の自由度は上下運動のみとなる。スカラアーム4の動作、あるいはスカラアーム4を搭載した移動体の動作により、FOUP52に大きな加速度が加わると、FOUP52が落下する可能性がある。そこで第1の落下防止部材44により、FOUP52の高さを規制し、落下を防止する。
The positioning of the
V溝57内の、位置決め突起20を図4,図5に示す。V溝57の長手方向と位置決め突起20の長手方向は平行で、長手方向に沿って位置決め突起20の上部両側端が線接触でV溝57の底部と接触し、左右方向に沿ってFOUP52を位置決めする。なお線接触する線分を支持線分72,73として示す。位置決め突起とV溝57との接触は、線接触に限らず、4点以上の点接触でも良く、4箇所の支持点75で点接触する例を位置決め突起74として図6に示す。
The
300mmウェハー用のFOUP62の位置決めを、図7,図8に示す。背が低い部分10の前後方向の長さは、FOUP62の奥行きよりも長く、背が低い部分10上にFOUP62を支持する。コンベヤ面64を位置決めには用いず、キネマチックカップリング用の3個のV溝66に、3本のピン22をキネマチックカップリングさせて、FOUP62の本来の仕様に従って位置決めする。これが可能なのは、FOUP62はFOUP52よりも小さいため、V溝66の位置にピン22を配置できるためである。またピン22は背が低い部分10上にあるため、FOUP52の底部とは接触しない。さらに位置決め突起20は、FOUP62の底面から外れた位置にある。なおプレート6に肉厚さDを設けるのではなく、位置決めガイド12,16の支持面14,18をピン22の先端よりも高くしても、450mmウェハー用のFOUP52とピン22との干渉を回避できる。ピン22によりFOUP62は水平面内で位置決めされるので、第2の落下防止部材46によりFOUP62の高さを規制し、落下を防止する。
7 and 8 show the positioning of the
図9は、棚受80,81による450mmウェハー用のFOUP52の支持を示す。棚受80,81は各々、前後方向の位置決めガイド82,左右方向の位置決めガイド86,及び前後左右兼用の位置決めガイド90を備え、FOUP52を前後左右に位置決めする。83,91は前後方向に傾斜するテーパー面で、87,92は左右方向に傾斜するテーパー面で、これらはコンベヤガイド面55をガイドする。84,88,93は水平な支持面で、これらはコンベヤ面54を支持する。
FIG. 9 shows the support of the
図10は、棚受80,81による300mmウェハー用のFOUP62の支持を示す。位置決めピン94は、FOUP62のフォークリフトピン用の孔と係合して位置決めする。なお位置決めピン94は、450mmウェハー用のFOUP52でのV溝56に収まり、FOUP52とは接触しない。
FIG. 10 shows the support of the
2 支持装置(スカラアームのハンド)
4 スカラアーム
6 プレート
8,9 背が高い部分
10 背が低い部分
12,16 位置決めガイド(第1の位置決め部材)
13,17 テーパー面
14,18 支持面
19 回り止め
20 位置決め突起(第3の位置決め部材)
22 キネマチックカップリングピン(第2の位置決め部材)
30 ベース
32,34 アーム
36〜40 軸
42 アーム
44,46 落下防止部材
47 ローラ
48 支柱
52 450mmウェハー用のFOUP(第1の物品)
54,64 コンベヤ面
55 コンベヤガイド面
56,66 V溝
58,68 ドア部
60,70 フランジ
62 300mmウェハー用のFOUP(第2の物品)
72,73 支持線分
74 位置決め突起
75 支持点
80,81 棚受
82,86,90 位置決めガイド
83,87,91,92 テーパー面
84,88,93 支持面
94 位置決めピン
D 肉厚差
2 Support device (scalar arm hand)
4
13, 17
22 Kinematic coupling pin (second positioning member)
30
54, 64
72, 73
D Thickness difference
Claims (5)
前記ストッカは、少なくとも一対の棚受を有する棚と、支持装置を昇降させる移動体を備え、
各物品の奥行き方向を前後方向、幅方向を左右方向として、
前記支持装置は、第1の物品の底部よりも左右方向の幅が狭く、かつ前後方向の中間で、第2の物品の奥行きよりも広い長さに渡って、上面が前後方向の両外側よりも低くされた背が低い部分が設けられている支持部と、
前記支持部の前記背が低い部分の前後方向の両外側に設けられ、かつ第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持する第1の位置決め部材と、
前記支持部に設けられ、かつ第1の位置決め部材により前後方向両端が位置決めされた第1の物品の、左右方向への移動を規制する移動規制部材と、
前記支持部の前記背が低い部分に設けられ、かつ第2の物品の底部を位置決めすると共に支持する第2の位置決め部材、とを備え、
前記少なくとも一対の棚受は、第2の物品の底部の幅よりも狭く前記支持部の幅よりも広い間隔を置いて設けられ、かつ前記少なくとも一対の棚受は各々、前後方向に沿って第1の物品の奥行きよりも長く、さらに、第1の物品の底部の前後方向両端をガイドすることにより位置決めする前後一対の位置決めガイドと、第2の物品の底部を位置決めする位置決め手段とを備え、
前記移動体が前記支持装置を昇降させることにより、第1の物品及び第2の物品を支持装置と前記一対の棚受との間で移載し、かつ第1の物品を移載する際に、前記第1の位置決め部材と前記前後一対の位置決めガイドが、第1の物品の前後両端に沿って左右方向に並ぶように構成されていることを特徴とするストッカ。 A first article having a first concave portion for positioning at the bottom, and a second article having a second concave portion for positioning at the bottom, and the bottom portion being within the range occupied by the bottom of the first article. A stocker comprising a support device and a shelf for supporting together in the same direction ,
The stocker includes a shelf having at least a pair of shelf holders, and a moving body for raising and lowering the support device,
The depth direction of each article is the front-rear direction and the width direction is the left-right direction.
The support device has a width in the left-right direction narrower than the bottom of the first article and a length wider than the depth of the second article in the middle in the front-rear direction, and the upper surface from both outer sides in the front-rear direction. A support part provided with a lower part which is also lowered,
Positioning and supporting both ends in the front-rear direction of the first article by guiding both ends in the front-rear direction of the bottom part of the first article provided on both outer sides in the front-rear direction of the lower portion of the support part A first positioning member that
A movement restricting member for restricting movement in the left-right direction of the first article provided at the support portion and positioned at both ends in the front-rear direction by the first positioning member;
A second positioning member provided at the lower portion of the support portion and positioning and supporting the bottom of the second article ,
The at least one pair of shelf supports is provided with an interval narrower than a width of the bottom portion of the second article and wider than a width of the support portion, and each of the at least one pair of shelf supports is provided along the front-rear direction. A pair of front and rear positioning guides that are longer than the depth of the first article and positioned by guiding both front and rear direction ends of the bottom of the first article, and positioning means that positions the bottom of the second article,
When the moving body moves the support device up and down, the first article and the second article are transferred between the support apparatus and the pair of shelf supports, and the first article is transferred. The stocker is configured such that the first positioning member and the pair of front and rear positioning guides are arranged in the left-right direction along both front and rear ends of the first article .
前記一対の棚受は各々、第1の物品の左右方向の両端部をガイドすることにより位置決めする第2の位置決めガイドを備えていることを特徴とする、請求項1のストッカ。 The movement restricting member is provided on at least one outer side in the front-rear direction of the short portion, and engages with a first recess at the bottom of the first article, thereby positioning the first article in the left-right direction. Ri third positioning member der for positioning,
2. The stocker according to claim 1, wherein each of the pair of shelf supports includes a second positioning guide for positioning by guiding both ends in the left-right direction of the first article .
前記位置決め手段は、第2の物品の底部の孔と係合して第2の物品を位置決めする複数個の突起であることを特徴とする、請求項1または2のストッカ。 The second article has a plurality of second recesses, and the second positioning member engages with the second recess at the bottom of the second article and is provided in the lower part of the first article. a plurality of protrusions der height does not interfere with the bottom of the article is,
The stocker according to claim 1 or 2, wherein the positioning means is a plurality of protrusions that engage with a hole in a bottom portion of the second article to position the second article .
前記テーパー面と前記支持面とは物品の左右方向に沿って拡がり、かつ前記テーパー面と前記支持面との境界が、第1の位置決め部材の端部で、第1の物品の回り止めとして作用するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのストッカ。 The first positioning member includes a tapered surface that guides both ends in the front-rear direction of the first article, and a support surface that supports the bottom of the first article,
The tapered surface and the support surface extend along the left-right direction of the article, and the boundary between the tapered surface and the support surface acts as a detent for the first article at the end of the first positioning member. The stocker according to any one of claims 1 to 3, wherein the stocker is configured to do so.
前記ストッカは、少なくとも一対の棚受を有する棚と、支持装置を昇降させる移動体を備え、
各物品の奥行き方向を前後方向、幅方向を左右方向として、
前記支持装置は、第1の物品の底部よりも左右方向の幅が狭い支持部を備え、かつ支持部には、前後方向の中間で、第2の物品の奥行きよりも広い長さに渡って、上面が前後方向の両外側よりも低くされた背が低い部分が設けられ、
前記少なくとも一対の棚受は、第2の物品の底部の幅よりも狭く前記支持部の幅よりも広い間隔を置いて設けられ、かつ前記少なくとも一対の棚受は各々、前後方向に沿って第1の物品の奥行きよりも長く、さらに、第1の物品の底部の前後方向両端をガイドすることにより位置決めする前後一対の位置決めガイドと、第2の物品の底部を位置決めする位置決め手段とを備え、
前記移動体は、前記支持装置を昇降させることにより、第1の物品及び第2の物品を支持装置と前記一対の棚受との間で移載し、
前記支持部の前記背が低い部分の前後方向の両外側に設けられている第1の位置決め部材により、第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持するステップと、
前記支持部に設けられた移動規制部材により、第1の位置決め部材により前後方向両端が位置決めされた第1の物品の、左右方向への移動を規制するステップと、
前記支持部の前記背が低い部分に設けられた第2の位置決め部材により、第2の物品の底部を位置決めすると共に支持するステップと、
前記前後一対の位置決めガイドにより、第1の物品の底部の前後方向の両端をガイドすることにより、第1の物品の前後方向両端を位置決めすると共に支持するステップと、
前記位置決め手段により、第2の物品の底部を位置決めするステップ、
とを行い、
第1の物品を移載する際に、前記第1の位置決め部材と前記前後一対の位置決めガイドが、第1の物品の前後両端に沿って左右方向に並ぶようにする物品の支持方法。 A first article having a first concave portion for positioning at the bottom, and a second article having a second concave portion for positioning at the bottom, and the bottom portion being within the range occupied by the bottom of the first article. The support device and the stocker shelf support both in the same direction,
The stocker includes a shelf having at least a pair of shelf holders, and a moving body for raising and lowering the support device,
The depth direction of each article is the front-rear direction and the width direction is the left-right direction.
The support device includes a support portion that is narrower in the left-right direction than the bottom portion of the first article, and the support portion has a length wider than the depth of the second article in the middle in the front-rear direction. , A lower portion is provided with the upper surface being lower than both outer sides in the front-rear direction,
The at least one pair of shelf supports is provided with an interval narrower than a width of the bottom portion of the second article and wider than a width of the support portion, and each of the at least one pair of shelf supports is provided along the front-rear direction. A pair of front and rear positioning guides that are longer than the depth of the first article and positioned by guiding both front and rear direction ends of the bottom of the first article, and positioning means that positions the bottom of the second article,
The movable body moves the support device up and down to transfer the first article and the second article between the support device and the pair of shelf supports,
By guiding both ends in the front-rear direction of the bottom of the first article with the first positioning members provided on both outer sides in the front-rear direction of the lower portion of the support part, the front and rear of the first article Positioning and supporting both ends in the direction;
A step of restricting movement in the left-right direction of the first article whose both ends in the front-rear direction are positioned by the first positioning member by the movement-regulating member provided in the support part;
Positioning and supporting the bottom of the second article by a second positioning member provided in the lower portion of the support ;
Positioning and supporting the front and rear ends of the first article by guiding the front and rear ends of the bottom of the first article by the pair of front and rear positioning guides;
Positioning the bottom of the second article by the positioning means;
And
A method for supporting an article , wherein when the first article is transferred, the first positioning member and the pair of front and rear positioning guides are arranged in the left-right direction along both front and rear ends of the first article .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015063644A JP6233340B2 (en) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Stocker and article supporting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015063644A JP6233340B2 (en) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Stocker and article supporting method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016183011A JP2016183011A (en) | 2016-10-20 |
JP6233340B2 true JP6233340B2 (en) | 2017-11-22 |
Family
ID=57241646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015063644A Active JP6233340B2 (en) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Stocker and article supporting method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6233340B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6332133B2 (en) * | 2015-05-14 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | Container transfer equipment |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0724279B2 (en) * | 1987-09-08 | 1995-03-15 | 東京エレクトロン東北株式会社 | Wafer transfer device |
US6799932B2 (en) * | 1994-04-28 | 2004-10-05 | Semitool, Inc. | Semiconductor wafer processing apparatus |
JPH0992708A (en) * | 1995-09-27 | 1997-04-04 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Stopper for wafer carrier |
JP3662372B2 (en) * | 1996-11-07 | 2005-06-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | Carrier mounting table |
JP3871508B2 (en) * | 2000-11-15 | 2007-01-24 | 株式会社荏原製作所 | Power supply device for substrate transfer container |
JP4474922B2 (en) * | 2004-01-07 | 2010-06-09 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Load port device |
JP4591335B2 (en) * | 2005-12-08 | 2010-12-01 | ムラテックオートメーション株式会社 | Device for preventing displacement of substrate storage container on shelf in stocker |
JP4275184B2 (en) * | 2007-04-02 | 2009-06-10 | 株式会社日立国際電気 | Substrate processing apparatus, load port, semiconductor device manufacturing method, and storage container transport method |
WO2014141563A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | 株式会社日立国際電気 | Substrate processing device, semiconductor device manufacturing method, substrate storage unit conveyance method and program |
US9142437B2 (en) * | 2013-04-10 | 2015-09-22 | Globalfoundries Inc. | System for separately handling different size FOUPs |
JP6052209B2 (en) * | 2014-03-11 | 2016-12-27 | 株式会社ダイフク | Container transfer equipment |
-
2015
- 2015-03-26 JP JP2015063644A patent/JP6233340B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016183011A (en) | 2016-10-20 |
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