JP6217399B2 - 装置制御システム、装置制御方法、および装置制御プログラム - Google Patents
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Description
図15は、演算処理機71のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。図15で例示するように、演算処理機71は、CPU101、RAM102、記憶装置103、インタフェース104などを備える。これらの各機器は、バスなどによって接続されている。CPU(Central Processing Unit)101は、中央演算処理装置である。CPU101は、1以上のコアを含む。RAM(Random Access Memory)102は、CPU101が実行するプログラム、CPU101が処理するデータなどを一時的に記憶する揮発性メモリである。記憶装置103は、不揮発性記憶装置であり、装置制御プログラムを格納している。記憶装置103として、例えば、ROM(Read Only Memory)、フラッシュメモリなどのソリッド・ステート・ドライブ(SSD)、ハードディスクドライブに駆動されるハードディスクなどを用いることができる。CPU101が装置制御プログラムを実行することによって、装置制御システム100内に、演算処理機71が実現される。または、演算処理機71は、専用の回路などのハードウェアであってもよい。
20 制御対象装置
30 操作器
40 電源
50 出力表示器
60 測定器
70 演算装置
71 演算処理機
72 操作器
73 記録器
74 表示器
75 取得部
76 抽出部
77 生成部
78 算出部
100 装置制御システム
Claims (6)
- 装置の操作因子と入出力因子とに関する応答曲面を用いて、入力因子の組み合わせごとに、操作因子と出力因子差との関係を複数含むデータ群を取得する取得部と、
前記データ群から、前記入力因子の組み合わせと前記操作因子との組み合わせを、前記入力因子の組み合わせが重複しないように複数含むリストを抽出する抽出部と、
前記リストから前記入力因子と前記操作因子との関係を表す近似曲面を生成する生成部と、
前記リストに対応する出力因子差に係る指標と、前記生成部が生成した近似曲面の平滑度と、を算出する算出部と、を備えることを特徴とする装置制御システム。 - 前記出力因子差に係る指標は、前記リストに対応する、出力因子差の総和であることを特徴とする請求項1記載の装置制御システム。
- 前記近似曲面の平滑度は、前記近似曲面の微分像強度の総和であることを特徴とする請求項1または2に記載の装置制御システム。
- 前記入力因子の組み合わせは、最小電流および最大電流であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置制御システム。
- 装置制御システムが、
装置の操作因子と入出力因子とに関する応答曲面を用いて、入力因子の組み合わせごとに、操作因子と出力因子差との関係を複数含むデータ群を取得し、
前記データ群の一部から、前記入力因子の組み合わせと前記操作因子との組み合わせを複数含むリストを抽出し、
前記リストから前記入力因子と前記操作因子との関係を表す近似曲面を生成し、
前記リストに対応する出力因子差に係る指標と、前記近似曲面の平滑度と、を算出する、ことを特徴とする装置制御方法。 - 装置の操作因子と入出力因子とに関する応答曲面を用いて、入力因子の組み合わせごとに、操作因子と出力因子差との関係を複数含むデータ群を取得し、
前記データ群の一部から、前記入力因子の組み合わせと前記操作因子との組み合わせを複数含むリストを抽出し、
前記リストから前記入力因子と前記操作因子との関係を表す近似曲面を生成し、
前記リストに対応する出力因子差に係る指標と、前記近似曲面の平滑度と、を算出する処理を、コンピュータに実行させることを特徴とする装置制御プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014003062A JP6217399B2 (ja) | 2014-01-10 | 2014-01-10 | 装置制御システム、装置制御方法、および装置制御プログラム |
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JP2015132916A JP2015132916A (ja) | 2015-07-23 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6217399B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111417845B (zh) * | 2017-11-24 | 2022-11-25 | 浜松光子学株式会社 | 光检测电路 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116702571B (zh) * | 2023-08-07 | 2023-10-20 | 中国空气动力研究与发展中心计算空气动力研究所 | 基于多重光滑度量因子的数值模拟方法及装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04328234A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における自動輝度/コントラスト調整方式 |
JP2004110470A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Fujitsu Ltd | 最適設計計算装置及びそのプログラム記憶媒体 |
JP2011048768A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Hitachi Ltd | 最適設計装置 |
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CN111417845B (zh) * | 2017-11-24 | 2022-11-25 | 浜松光子学株式会社 | 光检测电路 |
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JP2015132916A (ja) | 2015-07-23 |
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