JP6214631B2 - ファブリー・ペロー干渉計およびその製造方法 - Google Patents
ファブリー・ペロー干渉計およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6214631B2 JP6214631B2 JP2015510850A JP2015510850A JP6214631B2 JP 6214631 B2 JP6214631 B2 JP 6214631B2 JP 2015510850 A JP2015510850 A JP 2015510850A JP 2015510850 A JP2015510850 A JP 2015510850A JP 6214631 B2 JP6214631 B2 JP 6214631B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- actuator
- fabry
- perot interferometer
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 33
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/25—Fabry-Perot in interferometer, e.g. etalon, cavity
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
− アクチュエータを事前に作動させる工程と、
− 第2のミラーを第1のミラーに隣接して配置する工程と、
− ミラーの光学面間の空隙幅分布の第1の測定を行う工程と、
− 決定された空隙幅を得るために、第2のミラーを第1のミラーに対して移動させる工程と、
− 前記移動後に、ミラーの光学面間の空隙幅分布の第2の測定を行う工程と、
− 硬化接着剤により、第2のミラーを少なくとも1つのアクチュエータに直接または間接的に取り付ける工程と、
− 前記硬化後に、ミラーの光学面間の空隙の幅分布の第3の測定を行う工程と、
− 空隙測定の結果を分析し、かつ結果および予め定められた受け入れ基準に基づいて、ファブリー・ペロー干渉計の受け入れについて決定を行う工程と、
を含むことを特徴とする方法にも関する。
Claims (7)
- 互いに平行な位置にある第1のミラー(31)および第2のミラー(61)と、前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間にある少なくとも1つの制御可能なアクチュエータ(34a、34b、34c)と、前記ミラー内にある電極とを備える制御可能なファブリー・ペロー干渉計であって、前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間には間隙(36)があり、前記アクチュエータは前記間隙の幅を制御するように構成され、前記電極は前記間隙の幅の静電容量測定を行うように構成され、前記ファブリー・ペロー干渉計は、前記第2のミラーおよび前記アクチュエータに取り付けられた中間構造体を含み、前記中間構造体は、前記ファブリー・ペロー干渉計のミラーの曲げを減少させるように配置され、前記中間構造体は棒状部材(98a、98b、98c)を備え、前記棒状部材は、前記棒状部材の第1の表面で前記アクチュエータの表面に取り付けられ、かつ前記棒状部材の第2の表面で前記第2のミラーの貫通穴(99a、99b、99c)の縁部にさらに取り付けられることを特徴とする、ファブリー・ペロー干渉計。
- 前記中間構造体は支持板(82、92)を含み、ミラーは前記支持板に取り付けられ、かつ前記支持板は前記アクチュエータに取り付けられることを特徴とする、請求項1に記載のファブリー・ペロー干渉計。
- 前記ファブリー・ペロー干渉計は、前記ミラー(31、61)と前記支持板(82、92)との間に接着剤(84a、84b、94a、94b)として弾性接着剤を備えることを特徴とする、請求項2に記載のファブリー・ペロー干渉計。
- 前記ファブリー・ペロー干渉計は、ちょうど3つのアクチュエータ(34a、34b、34c)を有することを特徴とする、請求項1に記載のファブリー・ペロー干渉計。
- 前記アクチュエータは、圧電式、電歪式もしくは撓電式のアクチュエータであることを特徴とする、請求項1に記載のファブリー・ペロー干渉計。
- 少なくとも1つのアクチュエータが、第1のミラーに直接または間接的に取り付けられ(728)、かつ第2のミラーが、前記少なくとも1つのアクチュエータの対向部分に直接または間接的に取り付けられる(744)、制御可能なファブリー・ペロー干渉計(720)を製造するための方法であって、前記第2のミラーの前記少なくとも1つのアクチュエータへの取り付けは、
− 前記第2のミラーを少なくとも1つの中間構造体に取り付けることであって、前記中間構造体は棒状部材を含むことと、
− 前記中間構造体を前記アクチュエータに取り付けることと、
− 前記棒状部材を、前記棒状部材の第1の表面で前記アクチュエータの表面に取り付けることと、前記棒状部材を、前記棒状部材の第2の表面で前記第2のミラーの貫通穴の縁部にさらに取り付けることにより、前記アクチュエータと前記第2のミラーとの取り付けを行うことと、
を含むことを特徴とする、方法。 - 前記中間構造体と前記第2のミラーとの取り付けは、弾性接着剤を用いて行われることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20125495A FI125612B (en) | 2012-05-08 | 2012-05-08 | Fabry-Perot Interferometer |
FI20125495 | 2012-05-08 | ||
PCT/FI2013/050510 WO2013167811A1 (en) | 2012-05-08 | 2013-05-08 | Fabry-perot interferometer and a method for producing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015520868A JP2015520868A (ja) | 2015-07-23 |
JP6214631B2 true JP6214631B2 (ja) | 2017-10-18 |
Family
ID=49550203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015510850A Active JP6214631B2 (ja) | 2012-05-08 | 2013-05-08 | ファブリー・ペロー干渉計およびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9588334B2 (ja) |
EP (1) | EP2847559B1 (ja) |
JP (1) | JP6214631B2 (ja) |
CN (1) | CN104428642B (ja) |
FI (1) | FI125612B (ja) |
WO (1) | WO2013167811A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3161434A4 (en) | 2014-06-27 | 2018-02-28 | Spectral Engines OY | Stabilized spectrometer and a method for stabilizing a spectrometer |
FI127159B (en) * | 2015-03-09 | 2017-12-15 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Mirror plate for Fabry-Perot interferometer and Fabry-Perot interferometer |
US10168214B2 (en) * | 2015-05-15 | 2019-01-01 | Trutag Technologies, Inc. | Method of assembly and manufacturing of piezo actuated Fabry-Perot interferometer |
TWI581004B (zh) * | 2015-11-18 | 2017-05-01 | 財團法人工業技術研究院 | 可調式光學裝置 |
NO20161086A1 (no) * | 2016-06-29 | 2018-01-01 | Tunable As | Modulerbar Fabry-Perot |
CN106707499A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-05-24 | 苏州大学 | 电容反馈型可调谐法布里珀罗滤波器 |
FI128101B (fi) | 2017-07-03 | 2019-09-30 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Mikrosysteemi (MEMS) Fabry–Perot-interferometri, laitteisto ja menetelmä Fabry–Perot-interferometrin valmistamiseksi |
CN109445091B (zh) * | 2018-11-06 | 2021-01-29 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种电压可调谐驱动的干涉滤色器及其制备方法 |
RU2726717C2 (ru) * | 2019-01-10 | 2020-07-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФИАН) | Сканирующий моноблочный интерферометр фабри-перо |
CN114868068B (zh) * | 2019-09-25 | 2023-11-17 | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 | 一种可调光学滤波装置 |
CN110989161B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-04-05 | 华中科技大学鄂州工业技术研究院 | 一种fp腔可调滤波器 |
FI130707B1 (fi) * | 2020-03-31 | 2024-01-31 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Fabry-Perot interferometri jossa on tukielementtejä |
CN113767309A (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-07 | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 | 一种可调光学滤波器件和光谱成像系统 |
WO2022038731A1 (ja) * | 2020-08-20 | 2022-02-24 | 日本電信電話株式会社 | 温度測定装置 |
CN111880257B (zh) * | 2020-09-28 | 2021-05-07 | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 | 一种可调光学滤波器件 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8201222A (nl) * | 1982-03-24 | 1983-10-17 | Philips Nv | Verstembare fabry-perot interferometer en roentgenbeeldweergeefinrichting voorzien van een dergelijke interferometer. |
US5550373A (en) * | 1994-12-30 | 1996-08-27 | Honeywell Inc. | Fabry-Perot micro filter-detector |
US5825490A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Northrop Grumman Corporation | Interferometer comprising translation assemblies for moving a first optical member relative to a second optical member |
JP2000187140A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Toshiba Corp | 画像形成装置における光学装置 |
FR2800364B1 (fr) * | 1999-10-29 | 2002-02-15 | Commissariat Energie Atomique | Microcavite active accordable et procede de fabrication de microcavite active accordable |
JP3858606B2 (ja) | 2001-02-14 | 2006-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルタの製造方法、干渉フィルタ、波長可変干渉フィルタの製造方法及び波長可変干渉フィルタ |
JP3835525B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2006-10-18 | ホーチキ株式会社 | 波長可変フィルタ制御装置 |
US7145143B2 (en) * | 2002-03-18 | 2006-12-05 | Honeywell International Inc. | Tunable sensor |
US7276798B2 (en) * | 2002-05-23 | 2007-10-02 | Honeywell International Inc. | Integral topside vacuum package |
US6822798B2 (en) * | 2002-08-09 | 2004-11-23 | Optron Systems, Inc. | Tunable optical filter |
KR100533535B1 (ko) * | 2003-11-13 | 2005-12-06 | 한국전자통신연구원 | 열구동 파장가변 필터 |
JP4562462B2 (ja) | 2004-08-31 | 2010-10-13 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
US7172299B2 (en) * | 2004-09-08 | 2007-02-06 | Xinetics, Inc. | Integrated wavefront correction module with reduced translation |
US7734131B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-06-08 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
EP2045645A1 (en) * | 2006-07-06 | 2009-04-08 | Nikon Corporation | Micro actuator, optical unit, exposure device, and device manufacturing method |
WO2008006446A1 (de) | 2006-07-08 | 2008-01-17 | Khs Ag | Verfahren sowie vorrichtung zum aufschäumen eines in flaschen oder dergleichen behälter eingebrachten füllgutes |
JP2008061970A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Olympus Corp | 可変分光素子および可変分光装置 |
JP5048992B2 (ja) * | 2006-10-18 | 2012-10-17 | オリンパス株式会社 | 可変分光素子および、それを備えた内視鏡システム |
GB2445956B (en) * | 2007-01-26 | 2009-12-02 | Valtion Teknillinen | A spectrometer and a method for controlling the spectrometer |
JP2011053510A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、および波長可変干渉フィルターの制御方法 |
JP5428805B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光センサー、および光モジュール |
JP2011128185A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Shinano Kenshi Co Ltd | 光走査装置 |
JP5668345B2 (ja) * | 2010-07-13 | 2015-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分光測定器および光機器 |
JP5682165B2 (ja) * | 2010-07-23 | 2015-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光モジュール、及び分析装置 |
JP5845588B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2016-01-20 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置および波長可変干渉フィルターの製造方法 |
-
2012
- 2012-05-08 FI FI20125495A patent/FI125612B/en active IP Right Grant
-
2013
- 2013-05-08 US US14/399,956 patent/US9588334B2/en active Active
- 2013-05-08 EP EP13787582.9A patent/EP2847559B1/en active Active
- 2013-05-08 JP JP2015510850A patent/JP6214631B2/ja active Active
- 2013-05-08 CN CN201380036359.8A patent/CN104428642B/zh active Active
- 2013-05-08 WO PCT/FI2013/050510 patent/WO2013167811A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015520868A (ja) | 2015-07-23 |
FI125612B (en) | 2015-12-15 |
EP2847559B1 (en) | 2023-06-28 |
CN104428642B (zh) | 2017-03-08 |
FI20125495A (fi) | 2013-11-09 |
US9588334B2 (en) | 2017-03-07 |
WO2013167811A1 (en) | 2013-11-14 |
EP2847559A1 (en) | 2015-03-18 |
CN104428642A (zh) | 2015-03-18 |
EP2847559A4 (en) | 2016-01-06 |
US20150124263A1 (en) | 2015-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6214631B2 (ja) | ファブリー・ペロー干渉計およびその製造方法 | |
CN102354047B (zh) | 滤光器及具备该滤光器的光学模块 | |
JP5370246B2 (ja) | 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法 | |
TWI581004B (zh) | 可調式光學裝置 | |
JP6119325B2 (ja) | 干渉フィルター、干渉フィルターの製造方法、光学モジュール、電子機器、及び接合基板 | |
KR102520380B1 (ko) | 리소그래피 노광 장치용 미러 배열체 및 미러 배열체를 포함하는 광학 시스템 | |
US10852232B2 (en) | Modulated fabry-perot | |
TW200408824A (en) | Method for finesse compensation in a Fabry-Perot device and a Fabry-Perot device with high finesse | |
TWI782053B (zh) | 光學裝置 | |
JP2014041236A (ja) | 波長可変フィルタ素子とその製造方法及び波長可変フィルタ | |
EP4375628A1 (en) | Piezoelectric interferometer | |
JP2020056983A (ja) | 光学装置、及び電子機器 | |
CN112424574A (zh) | 光学装置及接合方法 | |
WO2014050035A1 (ja) | ミラーデバイスの製造方法 | |
JP2023011401A (ja) | 干渉フィルター、及び干渉フィルターの製造方法 | |
KR20100016969A (ko) | 갭높이가 보정된 광변조 소자 어레이 및 그 제조방법 | |
CN110799886B (zh) | 光学装置 | |
JP2008205263A (ja) | 圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法 | |
JP2023144980A (ja) | 波長可変干渉フィルター | |
Dell et al. | MEMS-based Fabry-Perot microspectrometers for agriculture | |
US8441706B2 (en) | Optical module, optical control method by optical module, optical switch, and optical switching method | |
JP2004119933A (ja) | 可変波長光源 | |
JP2005205577A (ja) | 櫛歯型アクチュエータおよび光制御素子 | |
JP3129822U (ja) | 光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161122 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170221 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170919 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6214631 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |