JP6209817B2 - 面発光レーザ、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
(面発光レーザ)
本実施の形態における面発光レーザについて図1及び図2に基づき説明する。図1は、本実施の形態における面発光レーザの断面図であり、図2は、後述する面発光レーザのメサの上面図である。本実施の形態における面発光レーザは、GaAs基板110の上に、バッファ層111、下部半導体DBR(Distributed Bragg Reflector)112、下部スペーサ層113、活性層114、上部スペーサ層115、電流狭窄層116、上部半導体DBR117、コンタクト層118が積層形成されている。このように形成された下部スペーサ層113の一部、活性層114、上部スペーサ層115、電流狭窄層116、上部半導体DBR117及びコンタクト層118には、ドライエッチング等によりメサ120が形成されており、メサ120の側面等には保護膜131が形成されている。上部電極141は、保護膜131の上に形成されており、メサ120の上面においてコンタクト層118と接触している。
次に、本実施の形態における面発光レーザの製造方法について図4及び図5に基づき説明する。
次に、本実施の形態における面発光レーザアレイについて説明する。本実施の形態における面発光レーザアレイは、上述した面発光レーザが2次元的に複数形成されているものである。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における面発光レーザを用いた画像形成装置としてのレーザプリンタ1000である。
カップリングレンズ1111は、光源ユニット1100から射出された光を平行光に整形する。
次に、第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態は、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ2000である。
次に、第4の実施の形態について説明する。最初に、本実施の形態における面発光レーザアレイについて、図10及び図11に基づき説明する。本実施の形態における面発光レーザアレイ300は、第1の面発光レーザ311と第2の面発光レーザ321を各々複数有している。尚、図10は、本実施の形態における面発光レーザアレイの上面図であり、図11(a)は、第1の面発光レーザ311の上面図であり、図11(b)は、第2の面発光レーザ321の上面図である。
110 基板
111 バッファ層
112 下部半導体DBR
113 下部スペーサ層
114 活性層
115 上部スペーサ層
116 電流狭窄層
116a 選択酸化領域
116b 電流狭窄領域
117 上部半導体DBR
118 コンタクト層
120 メサ
131 保護膜
132 誘電体膜
141 上部電極
142 下部電極
150 微細周期構造部
151 平板部
200 面発光レーザアレイ
1000 レーザプリンタ(画像形成装置)
1010 光走査装置
2000 カラープリンタ(画像形成装置)
Claims (14)
- 基板面に対し垂直方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
前記レーザ光が出射される出射面には微細周期構造部が形成されており、
前記微細周期構造部は、誘電体により形成された複数の平板部が所定の周期で形成されており、
前記平板部における面が、前記基板面に対し略垂直となるように形成されており、
前記微細周期構造部は、第1の偏光方向の光に対しては光学的な厚さが前記光の波長の1/4の偶数倍となり、
前記第1の偏光方向に直交する第2の偏光方向の光に対しては光学的な厚さが前記光の波長の1/4の奇数倍となるものであって、
前記第1の偏光方向が前記微細周期構造部の複数の平板部における面に対し垂直となる方向であり、前記第2の偏光方向が前記微細周期構造部の複数の平板部における面に対し平行となる方向であることを特徴とする面発光レーザ。 - 前記複数の平板部が配列されている方向は、前記基板面に対し略平行であることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ。
- 前記微細周期構造部においては、第1の偏光方向の光よりも、前記第1の偏光方向に直交する第2の偏光方向の光の反射率が低くなるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の面発光レーザ。
- 前記所定の周期は、前記光の波長の1/2以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の面発光レーザ。
- 前記平板部の配列方向における前記平板部の幅は、前記光の波長の1/4以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の面発光レーザ。
- 請求項1から5のいずれかに記載の面発光レーザを複数有していることを特徴とする面発光レーザアレイ。
- 前記平板部が第1の方向に配列されている第1の面発光レーザと、
前記平板部が第2の方向に配列されている第2の面発光レーザと、
を有し、前記第1の方向と前記第2の方向とは直交していることを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザアレイ。 - 複数の前記第1の面発光レーザにより第1の面発光レーザ群が形成されており、
複数の前記第2の面発光レーザにより第2の面発光レーザ群が形成されていることを特徴とする請求項7に記載の面発光レーザアレイ。 - 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1から5のいずれかに記載の面発光レーザ、または、請求項6に記載の面発光レーザアレイを有する光源と、
前記光源からの光を偏向する光偏向部と、
前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、
を有することを特徴とする光走査装置。 - 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項7または8に記載の面発光レーザアレイを有する光源と、
前記光源からの光を偏光面の角度によって光路を分離する偏光分離素子と、
前記偏光分離素子により分離された光を偏向する光偏向部と、
前記光偏向部により偏光された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、
を有することを特徴とする光走査装置。 - 前記面発光レーザアレイにおいて、前記第1の面発光レーザと前記第2の面発光レーザとを交互に発光させることを特徴とする請求項10に記載の光走査装置。
- 像担持体と、
前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する請求項9に記載の光走査装置と、
を有することを特徴とする画像形成装置。 - 前記像担持体は複数であって、前記画像情報は、多色のカラー情報であることを特徴とする請求項12に記載の画像形成装置。
- 少なくとも2つの像担持体と、
少なくとも2つの像担持体に対して画像情報が含まれる光を走査する請求項10または11に記載の光走査装置を少なくとも1つ有することを特徴とする画像形成装置。
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