JP6206075B2

JP6206075B2 - Thermoelectric module

Info

Publication number: JP6206075B2
Application number: JP2013215679A
Authority: JP
Inventors: 尾上　勝彦; 勝彦尾上
Original assignee: Yamaha Corp
Current assignee: Yamaha Corp
Priority date: 2013-10-16
Filing date: 2013-10-16
Publication date: 2017-10-04
Anticipated expiration: 2033-10-16
Also published as: JP2015079839A

Description

本発明は、熱電モジュールに関する。 The present invention relates to a thermoelectric module.

対向する２枚の基板の対向面に配線を形成し、この配線にＰ型半導体素子及びＮ型半導体素子を交互かつ電気的に接続して得られる熱電モジュールは、２枚の基板間に温度差を与えることでゼーベック効果を発現し、電力を発生させることができる。また、熱電モジュールは、Ｐ型半導体素子及びＮ型半導体素子に電流を流すことでペルチェ効果を発現し、一方の基板から他方の基板に熱を移動させることができる。 A thermoelectric module obtained by forming wirings on opposing surfaces of two opposing substrates and alternately and electrically connecting P-type semiconductor elements and N-type semiconductor elements to these wirings is a temperature difference between the two substrates. Gives the Seebeck effect and can generate electric power. In addition, the thermoelectric module can generate a Peltier effect by passing a current through the P-type semiconductor element and the N-type semiconductor element, and can transfer heat from one substrate to the other substrate.

従来の熱電モジュールを図５に示す。図５の熱電モジュール１１は、対向して配設される下基板１２及び上基板１３と、複数のＰ型半導体素子１５ａ及びＮ型半導体素子１５ｂを含む半導体素子１５と、下基板１２及び上基板１３上に形成され、複数の半導体素子１５を電気的に直列接続する複数の配線電極１４とを備えている。また、下基板１２には、直列接続された複数の半導体素子１５を外部の電気回路の端子に電気的接続する一対の電極１６が設けられている。 A conventional thermoelectric module is shown in FIG. The thermoelectric module 11 shown in FIG. 5 includes a lower substrate 12 and an upper substrate 13 which are disposed to face each other, a semiconductor element 15 including a plurality of P-type semiconductor elements 15a and N-type semiconductor elements 15b, and a lower substrate 12 and an upper substrate. 13 and a plurality of wiring electrodes 14 that electrically connect a plurality of semiconductor elements 15 in series. The lower substrate 12 is provided with a pair of electrodes 16 for electrically connecting a plurality of semiconductor elements 15 connected in series to terminals of an external electric circuit.

このような熱電モジュール１１では、下基板１２に設けられた電極１６に外部の電気回路の端子が接続できるように、電極１６が平面視で上基板１３の投影面外に配設されている。このため、熱電モジュール１１において下基板１２を上基板１３よりも大きくする必要があり、熱電モジュール１１の平面視での面積に対する半導体素子１５を配設できる面積（以下、この面積を熱電変換有効面積ということがある）の比率（以下、この比率を熱電変換有効面積率ということがある）が低くなる。このことにより、熱電モジュール１１を用いゼーベック効果によって発電する場合には、熱電モジュール１１の面積当たりの発電効率が低くなり、ペルチェ効果によって吸熱する場合には熱電モジュール１１の面積当たりの吸熱効率が低くなるという不都合を有する。 In such a thermoelectric module 11, the electrode 16 is disposed outside the projection surface of the upper substrate 13 in a plan view so that an external electric circuit terminal can be connected to the electrode 16 provided on the lower substrate 12. For this reason, in the thermoelectric module 11, it is necessary to make the lower substrate 12 larger than the upper substrate 13, and an area in which the semiconductor element 15 can be disposed relative to the area of the thermoelectric module 11 in plan view (hereinafter, this area is referred to as an effective area for thermoelectric conversion). (Hereinafter, this ratio may be referred to as a thermoelectric conversion effective area ratio). Thus, when power is generated by the Seebeck effect using the thermoelectric module 11, the power generation efficiency per area of the thermoelectric module 11 is low, and when heat is absorbed by the Peltier effect, the heat absorption efficiency per area of the thermoelectric module 11 is low. Has the disadvantage of becoming.

また、図６に示すように、下基板２２と上基板２３とを略同一の大きさとした熱電モジュール２１が知られている（特開平６−１５１９８０号公報参照）。このような熱電モジュール２１においては、電極２６を配設した箇所を除いた領域に半導体素子２５及び配線電極２４が配設可能であるため熱電変換有効面積率が高くなる。しかしながら、下基板２２と上基板２３との間において電極２６に外部の電気回路の端子を接続する作業が必要となるため、生産性が低下するおそれがある。 Further, as shown in FIG. 6, a thermoelectric module 21 in which the lower substrate 22 and the upper substrate 23 have substantially the same size is known (see JP-A-6-151980). In such a thermoelectric module 21, since the semiconductor element 25 and the wiring electrode 24 can be disposed in a region excluding the portion where the electrode 26 is disposed, the effective area ratio of thermoelectric conversion is increased. However, since it is necessary to connect an external electric circuit terminal to the electrode 26 between the lower substrate 22 and the upper substrate 23, the productivity may be reduced.

特開平６−１５１９８０号公報JP-A-6-151980

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、半導体素子の配設効率を高めることができ、かつ電極と電気回路の端子との接続が容易な熱電モジュールを提供することを目的とする。 The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and provides a thermoelectric module that can increase the placement efficiency of semiconductor elements and can easily connect electrodes and terminals of an electric circuit. Objective.

本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、本発明に係る熱電モジュールは、対向配設される一対の基板と、前記一対の基板の対向面に形成される複数の配線と、対向する前記複数の配線間に架設され、電気的に直列接続される複数の半導体素子と、
前記半導体素子を外部に電気的接続する一対の電極とを備える熱電モジュールであって、前記一対の電極が、それぞれ前記一対の基板のうちの一方の基板の対向面側に垂設されるポスト電極からなり、それぞれ平面視で他方の基板の投影面内に配設されていることを特徴とする。 The present invention has been made in order to solve the above problems, and a thermoelectric module according to the present invention includes a pair of substrates disposed opposite to each other, and a plurality of wirings formed on the opposed surfaces of the pair of substrates. A plurality of semiconductor elements installed between the plurality of wirings facing each other and electrically connected in series;
A thermoelectric module comprising a pair of electrodes for electrically connecting the semiconductor element to the outside, wherein the pair of electrodes are respectively provided vertically on the opposing surface side of one of the pair of substrates. Each of which is disposed in the projection plane of the other substrate in plan view.

当該熱電モジュールにおいては、一対のポスト電極が前記他方の基板の投影面内に配設されている。つまり、一対の基板の面に無駄なスペースを形成することなく半導体素子の配設数を最大化することができる。従って、当該熱電モジュールは、半導体素子の配設効率を高めることができる。また、当該熱電モジュールは、ポスト電極の側面に電気回路部の端子を接続することができるので、一対の基板に挟まれた空間での端子接続作業が不要となり電気回路の端子と容易に接続することができる。 In the thermoelectric module, a pair of post electrodes is disposed in the projection plane of the other substrate. That is, the number of semiconductor elements can be maximized without forming a useless space on the surfaces of the pair of substrates. Therefore, the thermoelectric module can increase the arrangement efficiency of the semiconductor elements. In addition, since the thermoelectric module can connect the terminals of the electric circuit section to the side surfaces of the post electrodes, it is not necessary to connect the terminals in the space between the pair of substrates, and the thermoelectric module can be easily connected to the terminals of the electric circuit. be able to.

当該熱電モジュールにおいては、前記一対のポスト電極が、前記一対の基板のいずれかの端辺に沿って配設されることが好ましい。これにより、当該熱電モジュールの一方の側面方向から電気回路部の端子を接続することができる。 In the thermoelectric module, it is preferable that the pair of post electrodes is disposed along one edge of the pair of substrates. Thereby, the terminal of an electric circuit part can be connected from the one side surface direction of the said thermoelectric module.

当該熱電モジュールにおいては、前記一対の基板が平面視で略同一の大きさで、かつ前記一対の基板における一方の基板の略全体と他方の基板の略全体とが重畳していることが好ましい。このような構成にすることで、前記一対の基板の平面視での大きさが異なる場合や、平面視で前記一対の基板の一部同士が重畳している場合と比べ、熱電モジュールの平面視での面積が小さくなり、熱電変換有効面積率が高くなる。その結果、当該熱電モジュールの単位面積当たりのゼーベック効果又はペルチェ効果をさらに向上させることができる。 In the thermoelectric module, it is preferable that the pair of substrates have substantially the same size in plan view, and substantially the whole of one substrate and the other substrate of the pair of substrates overlap each other. By adopting such a configuration, the plan view of the thermoelectric module can be compared with the case where the size of the pair of substrates in plan view is different or when the portions of the pair of substrates overlap in plan view. In this case, the effective area ratio of thermoelectric conversion is increased. As a result, the Seebeck effect or Peltier effect per unit area of the thermoelectric module can be further improved.

当該熱電モジュールにおいては、前記ポスト電極が前記他方の基板と離間して配設されていることが好ましい。このようにポスト電極が前記他方の基板と離間していることにより、ポスト電極を介しての一対の基板間の熱伝導性を小さくすることができる。このことにより、当該熱電モジュールのゼーベック効果又はペルチェ効果をさらに向上させることができる。 In the thermoelectric module, it is preferable that the post electrode is disposed apart from the other substrate. As described above, the post electrode is separated from the other substrate, whereby the thermal conductivity between the pair of substrates through the post electrode can be reduced. Thereby, the Seebeck effect or the Peltier effect of the thermoelectric module can be further improved.

当該熱電モジュールにおいては、前記ポスト電極と前記他方の基板との間に断熱材を有していることが好ましい。このように当該熱電モジュールがポスト電極と前記他方の基板との間に断熱材を有することによってもポスト電極を介しての一対の基板間の熱伝導性を小さくすることができる。このことにより、当該熱電モジュールのゼーベック効果又はペルチェ効果をさらに向上させることができる。 In the said thermoelectric module, it is preferable to have a heat insulating material between the said post electrode and said other board | substrate. As described above, the thermal conductivity between the pair of substrates via the post electrode can be reduced also when the thermoelectric module has a heat insulating material between the post electrode and the other substrate. Thereby, the Seebeck effect or the Peltier effect of the thermoelectric module can be further improved.

「一対のポスト電極がそれぞれ平面視で他方の基板の投影面内に配設されている」とは、一対の基板の一方の基板における他方の基板の投影面に含まれる領域にポスト電極が配設されていることを意味する。また、「一対の基板が平面視で略同一の大きさ」とは、一対の基板が平面視で完全に同一の大きさである場合だけでなく、一対の基板の一方の基板の平面視での投影面積が、他方の基板の平面視での投影面積の９０％以上１１０％以下の場合も含む意である。また、「一対の基板における一方の基板の略全体と他方の基板の略全体とが重畳している」とは、平面視での一方の基板全体と、平面視での他方の基板全体とが重なっている場合だけでなく、平面視での一方の基板の面積の９０％以上を占める部分と、平面視での他方の基板の面積の９０％以上を占める部分とが重畳している場合も含む意である。 “A pair of post electrodes is disposed in the projection plane of the other substrate in plan view” means that the post electrodes are arranged in a region of one of the pair of substrates included in the projection plane of the other substrate. It means that it is installed. In addition, the phrase “a pair of substrates is substantially the same size in plan view” not only means that the pair of substrates are completely the same size in plan view, but also a plan view of one of the pair of substrates. Includes a case where the projected area is 90% to 110% of the projected area of the other substrate in plan view. In addition, “the substantially whole of one substrate and the whole of the other substrate in a pair of substrates are overlapped” means that one whole substrate in a plan view and the whole other substrate in a plan view are Not only when they overlap, but also when a portion occupying 90% or more of the area of one substrate in plan view overlaps with a portion occupying 90% or more of the area of the other substrate in plan view It is meant to include.

以上説明したように、本発明に係る熱電モジュールは、熱電モジュールの平面視での面積に対する半導体素子を配設できる面積の比率を高くすることができる。このことにより、熱電モジュールが発現する単位面積当たりのゼーベック効果、又はペルチェ効果を向上させることができる。また、ポスト電極を使用しているので、熱電モジュールの電極と電気回路の端子との接続が容易になる。 As described above, the thermoelectric module according to the present invention can increase the ratio of the area where the semiconductor element can be disposed to the area of the thermoelectric module in plan view. Thereby, the Seebeck effect per unit area which a thermoelectric module expresses, or the Peltier effect can be improved. Further, since the post electrode is used, the connection between the electrode of the thermoelectric module and the terminal of the electric circuit becomes easy.

本発明の実施形態に係る熱電モジュールの模式的平面図（ａ）、模式的側面図（ｂ）、図１（ｂ）のＡ−Ａ線での模式的断面図（ｃ）及び図１（ｂ）のＢ−Ｂ線での模式的断面図（ｄ）1A is a schematic plan view of a thermoelectric module according to an embodiment of the present invention, FIG. 1B is a schematic side view of the thermoelectric module, FIG. ) Is a schematic cross-sectional view taken along line B-B (d) 本発明のその他の実施形態に係る熱電モジュールの模式的平面図Schematic plan view of a thermoelectric module according to another embodiment of the present invention 本発明の実施形態に係る熱電ユニットの模式的側面図The typical side view of the thermoelectric unit which concerns on embodiment of this invention 本発明の実施例における熱電モジュールの最大吸熱量を測定する装置の概略図Schematic of an apparatus for measuring the maximum heat absorption amount of a thermoelectric module in an embodiment of the present invention. 従来の熱電モジュールの模式的平面図（ａ）、模式的側面図（ｂ）Schematic plan view (a) and schematic side view (b) of a conventional thermoelectric module 図５とは異なる従来の熱電モジュールの模式的平面図（ａ）、模式的側面図（ｂ）A schematic plan view (a) and a schematic side view (b) of a conventional thermoelectric module different from FIG.

［熱電モジュール］
以下、適宜図面を参照しつつ本発明の熱電モジュールの実施の形態を詳説する。 [Thermoelectric module]
Hereinafter, embodiments of the thermoelectric module of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

図１の熱電モジュール１は、対向配設される一対の基板である下基板２及び上基板３と、この下基板２及び上基板３の対向面に形成された複数の配線電極４と、対向する複数の配線電極４間に架設され、電気的に直列接続される複数のＰ型半導体素子５ａ及びＮ型半導体素子５ｂ（Ｐ型半導体素子５ａとＮ型半導体素子５ｂとを総称する場合は半導体素子５という）と、これら複数の半導体素子５を外部に電気的接続する一対の電極部６とを備える。電極部６は、膜電極６ａと、下基板２の対向面側に垂設されるポスト電極６ｂとから構成されており、一対のポスト電極６ｂと少なくとも一個の前記半導体素子５とが下基板２のいずれか一つの端辺に沿って配設されている。また、一対のポスト電極６ｂの全体が、平面視で、上基板３の下基板２における投影面内に含まれている。このポスト電極６ｂの全体が投影面内に含まれているとは、ポスト電極６ｂの平面視での投影面積の９９％以上の部分が上基板３の投影面内に含まれていることを意味する。以下、この熱電モジュール１の構造を具体的に説明する。なお、図１（ａ）において、簡略化のために配線電極４は記載していない。 1 includes a lower substrate 2 and an upper substrate 3, which are a pair of substrates disposed opposite to each other, and a plurality of wiring electrodes 4 formed on opposing surfaces of the lower substrate 2 and the upper substrate 3, A plurality of P-type semiconductor elements 5a and N-type semiconductor elements 5b installed between the plurality of wiring electrodes 4 and electrically connected in series (in the case where the P-type semiconductor element 5a and the N-type semiconductor element 5b are collectively referred to as a semiconductor) Element 5) and a pair of electrode portions 6 for electrically connecting the plurality of semiconductor elements 5 to the outside. The electrode portion 6 is composed of a membrane electrode 6a and a post electrode 6b that is suspended from the opposing surface side of the lower substrate 2, and the pair of post electrodes 6b and at least one of the semiconductor elements 5 are formed on the lower substrate 2. It is arrange | positioned along any one edge side. The entire pair of post electrodes 6b is included in the projection plane of the lower substrate 2 of the upper substrate 3 in plan view. That the entire post electrode 6b is included in the projection plane means that 99% or more of the projected area of the post electrode 6b in plan view is included in the projection plane of the upper substrate 3. To do. Hereinafter, the structure of the thermoelectric module 1 will be specifically described. In FIG. 1A, the wiring electrode 4 is not shown for simplification.

下基板２及び上基板３は、板状体であって平面視で略矩形であり、かつ平面視で略同一の大きさである。この略矩形とは、完全な矩形だけでなく、四つの内角がそれぞれ８０度以上１００度以下のものも含む意である。また、平面視で下基板２の略全体と上基板３の略全体とが重畳している。なお、図１（ａ）及び（ｂ）において、見易くするために上基板３の大きさを下基板２よりも若干小さく表している。下基板２及び上基板３は、互いに対向して略平行に配設され、対向する面に配線電極４が付設されている。配線電極４は、図１（ｃ）及び（ｄ）に示すように、長方形状に形成された膜体状の配線である。上基板３に形成される配線電極４及び下基板２に形成される配線電極４は、直方体状に形成され、下基板２及び上基板３間に架設されるＰ型半導体素子５ａ及びＮ型半導体素子５ｂを交互に直列接続する。１つの配線電極４には、Ｐ型半導体素子５ａとＮ型半導体素子５ｂとが１つずつ接続されている。電極部６は、下基板２の上面に付設され、外部の電気回路の端子と接続される。一対の電極部６は、一方にはＰ型半導体素子５ａのみ、他方にはＮ型半導体素子５ｂのみが接続され、熱電モジュール１の端子（プラス極及びマイナス極）を形成している。このように、Ｐ型半導体素子５ａとＮ型半導体素子５ｂとが直列に接続されているので、下基板２及び上基板３間に温度差を与えることでゼーベック効果を発現し、また、一対のポスト電極６ｂ間に電圧を印加することでペルチェ効果を発現できる。 The lower substrate 2 and the upper substrate 3 are plate-like bodies, are substantially rectangular in plan view, and have substantially the same size in plan view. The term “substantially rectangular” is intended to include not only a perfect rectangle but also four inner angles of 80 degrees or more and 100 degrees or less. In addition, substantially the entire lower substrate 2 and substantially the entire upper substrate 3 are overlapped in plan view. In FIGS. 1A and 1B, the size of the upper substrate 3 is shown slightly smaller than the lower substrate 2 for easy viewing. The lower substrate 2 and the upper substrate 3 are disposed substantially parallel to each other, and wiring electrodes 4 are provided on the opposing surfaces. As shown in FIGS. 1C and 1D, the wiring electrode 4 is a film-like wiring formed in a rectangular shape. The wiring electrode 4 formed on the upper substrate 3 and the wiring electrode 4 formed on the lower substrate 2 are formed in a rectangular parallelepiped shape, and a P-type semiconductor element 5 a and an N-type semiconductor that are laid between the lower substrate 2 and the upper substrate 3. The elements 5b are alternately connected in series. One wiring electrode 4 is connected to one P-type semiconductor element 5a and one N-type semiconductor element 5b. The electrode portion 6 is attached to the upper surface of the lower substrate 2 and is connected to a terminal of an external electric circuit. The pair of electrode portions 6 are connected to only the P-type semiconductor element 5a on one side and only the N-type semiconductor element 5b to the other side, and form terminals (plus and minus poles) of the thermoelectric module 1. Thus, since the P-type semiconductor element 5a and the N-type semiconductor element 5b are connected in series, the Seebeck effect is exhibited by giving a temperature difference between the lower substrate 2 and the upper substrate 3, and a pair of A Peltier effect can be expressed by applying a voltage between the post electrodes 6b.

下基板２と上基板３との距離（対向面間距離）は特に限定されず、例えば３００μｍ以上２０００μｍ以下とすることができる。 The distance (distance between opposing surfaces) between the lower substrate 2 and the upper substrate 3 is not particularly limited, and can be, for example, 300 μm or more and 2000 μm or less.

下基板２及び上基板３の材質としては、電気的絶縁性を有するものであれば特に限定されないが、熱伝導率の高いセラミックを用いることが好ましい。このようなセラミックとしては、例えばアルミナ、窒化アルミニウム、炭化珪素等を挙げることができる。 The material of the lower substrate 2 and the upper substrate 3 is not particularly limited as long as it has electrical insulation, but it is preferable to use a ceramic having high thermal conductivity. Examples of such ceramics include alumina, aluminum nitride, silicon carbide and the like.

配線電極４の材質としては、電気伝導性を有するものであれば特に限定されず、例えば白金、アルミニウム、ニッケル、タングステン、鉄、金、銀、銅、パラジウム、クロム、あるいはこれらの合金等を挙げることができるが、安価で電気伝導性に優れる銅が好ましい。また、半田作業をし易くするために、銅製の配線電極の上にはニッケルや金がメッキされることが好ましい。配線電極の厚さとしては、銅とその上に形成されるニッケルや金メッキを含めて５０μｍ程度にすることが好ましい。 The material of the wiring electrode 4 is not particularly limited as long as it has electrical conductivity. Examples thereof include platinum, aluminum, nickel, tungsten, iron, gold, silver, copper, palladium, chromium, and alloys thereof. However, copper that is inexpensive and excellent in electrical conductivity is preferable. In order to facilitate the soldering operation, nickel or gold is preferably plated on the copper wiring electrode. The thickness of the wiring electrode is preferably about 50 μm including copper and nickel or gold plating formed thereon.

Ｐ型半導体素子５ａ及びＮ型半導体素子５ｂは、公知の半導体を用いることができ、例えばＢｉ_２Ｔｅ_３系の半導体素子を用いることができる。 As the P-type semiconductor element 5a and the N-type semiconductor element 5b, a known semiconductor can be used, for example, a Bi ₂ Te ₃ series semiconductor element can be used.

半導体素子５及び配線電極４の個数は、熱電モジュール１に求められる発電電圧や吸熱量に応じて適宜設計することができる。配線電極４は、例えばメッキ法、ダイレクトボンディング法、ロウ付け法等によって形成することができる。また、配線電極４及び半導体素子５の接続は、特に限定されないが、例えば半田付けによって接続することができる。 The number of the semiconductor elements 5 and the wiring electrodes 4 can be appropriately designed according to the generated voltage and the amount of heat absorption required for the thermoelectric module 1. The wiring electrode 4 can be formed by, for example, a plating method, a direct bonding method, a brazing method, or the like. Further, the connection between the wiring electrode 4 and the semiconductor element 5 is not particularly limited, but can be connected by soldering, for example.

電極部６は、前述したように膜電極６ａとポスト電極６ｂとから構成されており、ポスト電極６ｂは、平面視で上基板３の投影面内に配設されている。下基板２は、プラス極側及びマイナス極側の膜電極６ａを１つずつ有する。膜電極６ａにはＰ型半導体素子５ａ又はＮ型半導体素子５ｂのどちらか一方と、ポスト電極６ｂとが接続され、ポスト電極６ｂは下基板２に対して略垂直に直立している。膜電極６ａは、配線電極４と同じ方法で形成することができる。膜電極６ａの材質としては特に限定されないが、配線電極４と同時に形成可能なように配線電極４と同じ材質を用いることが好ましい。 As described above, the electrode portion 6 is composed of the membrane electrode 6a and the post electrode 6b, and the post electrode 6b is disposed in the projection surface of the upper substrate 3 in plan view. The lower substrate 2 has one film electrode 6a on the positive electrode side and one on the negative electrode side. Either the P-type semiconductor element 5 a or the N-type semiconductor element 5 b and the post electrode 6 b are connected to the film electrode 6 a, and the post electrode 6 b stands upright substantially perpendicular to the lower substrate 2. The membrane electrode 6 a can be formed by the same method as the wiring electrode 4. The material of the membrane electrode 6 a is not particularly limited, but it is preferable to use the same material as the wiring electrode 4 so that it can be formed simultaneously with the wiring electrode 4.

ポスト電極６ｂは、外部の電気回路の端子を接続する部位であり、柱状体の電気伝導性を有する部材で形成されている。当該熱電モジュール１は、ポスト電極６ｂの側面に外部の電気回路の端子を接続することができる。端子の接続に際し、ポスト電極６ｂの側面が曲面であるよりは平面である方が接続し易いので、ポスト電極６ｂの平面視での形状は、例えば矩形等の角形状が好ましい。ポスト電極６ｂは、例えば金属製の円柱又は角柱の芯材にニッケルや金等の導電性材料を例えばメッキにより被覆することで形成される。この芯材に用いる金属としては、膜電極６ａと同様のものを用いることができ、電気伝導性及び加工性に優れる銅、ニッケル、又は真鍮が好ましい。また、ポスト電極６ｂは、平面視で膜電極６ａ内に配設されていることが接続強度の面から好ましいが、ポスト電極６ｂの一部が膜電極６ａ外にはみ出して配設されていてもよい。 The post electrode 6b is a part for connecting a terminal of an external electric circuit, and is formed of a columnar member having electric conductivity. The thermoelectric module 1 can connect a terminal of an external electric circuit to the side surface of the post electrode 6b. When connecting the terminals, the side surface of the post electrode 6b is easier to connect than the curved surface. Therefore, the shape of the post electrode 6b in plan view is preferably a square shape such as a rectangle. The post electrode 6b is formed, for example, by coating a metal cylinder or prismatic core with a conductive material such as nickel or gold by plating, for example. As the metal used for the core material, the same material as the membrane electrode 6a can be used, and copper, nickel, or brass excellent in electrical conductivity and workability is preferable. In addition, the post electrode 6b is preferably disposed in the membrane electrode 6a in plan view from the viewpoint of connection strength, but even if a part of the post electrode 6b protrudes outside the membrane electrode 6a. Good.

ポスト電極６ｂは上基板３と離間して配設されている。このようにポスト電極６ｂと上基板３とが離間していることにより、ポスト電極６ｂを介しての上基板３と下基板２との間の熱伝導性を小さくすることができる。このことにより、熱電モジュール１のゼーベック効果又はペルチェ効果が向上する。ポスト電極６ｂと上基板３との離間距離は小さいほうが好ましい。具体的には、前記離間距離の下限としては、１０μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。前記離間距離が前記下限値未満であると、ポスト電極６ｂと上基板３とが接触し、上基板３と下基板２との間の熱伝導性が大きくなるおそれがある。 The post electrode 6b is disposed away from the upper substrate 3. Since the post electrode 6b and the upper substrate 3 are thus separated, the thermal conductivity between the upper substrate 3 and the lower substrate 2 through the post electrode 6b can be reduced. Thereby, the Seebeck effect or the Peltier effect of the thermoelectric module 1 is improved. The distance between the post electrode 6b and the upper substrate 3 is preferably small. Specifically, the lower limit of the separation distance is preferably 10 μm, and more preferably 50 μm. If the separation distance is less than the lower limit value, the post electrode 6b and the upper substrate 3 are in contact with each other, and the thermal conductivity between the upper substrate 3 and the lower substrate 2 may be increased.

下基板２の上面からポスト電極６ｂの上端までの高さは、下基板２の上面から上基板３の下面までの高さ未満である。下基板２の上面からポスト電極６ｂの上端までの高さは大きいほうが好ましい。この高さが大きいほど外部の電気回路の端子の接続が容易になるからである。 The height from the upper surface of the lower substrate 2 to the upper end of the post electrode 6 b is less than the height from the upper surface of the lower substrate 2 to the lower surface of the upper substrate 3. The height from the upper surface of the lower substrate 2 to the upper end of the post electrode 6b is preferably large. This is because the larger the height, the easier the connection of the terminals of the external electric circuit.

一対のポスト電極６ｂは、図１（ａ）に示すように、下基板２の一つの端辺に沿って配設されている。そして、この一対のポスト電極６ｂに挟まれて２個の半導体素子５が配設されている。換言すれば、一対のポスト電極６ｂと２個の半導体素子５とが、下基板２の一つの端辺に沿って配設されている。この一対のポスト電極６ｂの全体と２個の半導体素子５とは、平面視で上基板３の投影面内に含まれている。この一対のポスト電極６ｂは、全ての半導体素子５と共に、図１（ｃ）及び（ｄ）に示す配線電極４によって直列に電気的に接続されている。 The pair of post electrodes 6b are disposed along one end side of the lower substrate 2 as shown in FIG. Two semiconductor elements 5 are disposed between the pair of post electrodes 6b. In other words, the pair of post electrodes 6 b and the two semiconductor elements 5 are disposed along one end side of the lower substrate 2. The entire pair of post electrodes 6b and the two semiconductor elements 5 are included in the projection plane of the upper substrate 3 in plan view. The pair of post electrodes 6b are electrically connected in series with all the semiconductor elements 5 by the wiring electrodes 4 shown in FIGS. 1 (c) and 1 (d).

当該熱電モジュール１においては、下基板２及び上基板３が平面視で略矩形であり、また、一対のポスト電極６ｂ及び半導体素子５が下基板２のいずれか一つの端辺に沿って配設され、かつ上基板３の投影面内に配設され、このポスト電極６ｂの全体が上基板３の投影面内に含まれている。つまり、下基板２の上面に無駄なスペースを形成することなく半導体素子５の配設数を最大化することができる。従って、当該熱電モジュール１は、半導体素子５の配設効率を高めることができる。 In the thermoelectric module 1, the lower substrate 2 and the upper substrate 3 are substantially rectangular in a plan view, and the pair of post electrodes 6 b and the semiconductor element 5 are disposed along one edge of the lower substrate 2. The post electrode 6 b is entirely included in the projection plane of the upper substrate 3. That is, the number of the semiconductor elements 5 can be maximized without forming a useless space on the upper surface of the lower substrate 2. Therefore, the thermoelectric module 1 can increase the arrangement efficiency of the semiconductor elements 5.

また、当該熱電モジュール１は、ポスト電極６ｂを用いているので、ポスト電極６ｂの側面に外部の電気回路の端子を容易に接続することができる。そのため、下基板２と上基板３との間において電極に外部の電気回路の端子を接続する作業が必要ないので生産性に優れる。 Further, since the thermoelectric module 1 uses the post electrode 6b, the terminal of the external electric circuit can be easily connected to the side surface of the post electrode 6b. This eliminates the need to connect an external electric circuit terminal to the electrode between the lower substrate 2 and the upper substrate 3, and thus is excellent in productivity.

また、当該熱電モジュール１は、一対のポスト電極６ｂが下基板２の一つの端辺に沿って配設されている。このことにより、ポスト電極６ｂに接続される外部の電気回路の端子の接続方向を同一にすることができるので、接続が容易になる。 In the thermoelectric module 1, a pair of post electrodes 6 b are disposed along one end side of the lower substrate 2. As a result, the connection direction of the terminals of the external electric circuit connected to the post electrode 6b can be made the same, and the connection is facilitated.

さらに、当該熱電モジュール１は、ポスト電極６ｂの全体が平面視によって上基板３の投影面内に含まれている。このことにより、ポスト電極６ｂを覆っている上基板３がポスト電極６ｂの保護の役目をするので、ポスト電極６ｂの汚染や破損等のおそれが少なくなる。また、ポスト電極６ｂの全体が平面視で上基板３の投影面内に含まれていない場合に比べて熱電モジュール１の平面視での面積が小さくなるので、半導体素子５の配設効率がより高くなる。 Further, in the thermoelectric module 1, the entire post electrode 6b is included in the projection plane of the upper substrate 3 in plan view. As a result, the upper substrate 3 covering the post electrode 6b serves to protect the post electrode 6b, thereby reducing the possibility of contamination or breakage of the post electrode 6b. Further, since the area of the thermoelectric module 1 in plan view is smaller than the case where the entire post electrode 6b is not included in the projection plane of the upper substrate 3 in plan view, the arrangement efficiency of the semiconductor element 5 is further increased. Get higher.

さらに、当該熱電モジュール１は、ポスト電極６ｂに金属を用いているので、ポスト電極６ｂの熱伝導性が大きい。このことにより、外部の電気回路の端子の半田付け時に短時間で加熱されるので、容易に半田付けすることができる。 Furthermore, since the thermoelectric module 1 uses a metal for the post electrode 6b, the thermal conductivity of the post electrode 6b is large. As a result, heating is performed in a short time when soldering the terminals of the external electric circuit, so that soldering can be easily performed.

＜その他の実施形態＞
本発明の熱電モジュール１は、前記実施形態に限定されるものではない。例えば前記実施形態では、上基板３とポスト電極６ｂとの間を空隙としたが、上基板３とポスト電極６ｂとの間に断熱材を有するようにしてもよい。このことにより、上基板３とポスト電極６ｂとの間の熱伝導性が小さくなるので、熱電モジュール１のゼーベック効果又はペルチェ効果が向上する。また、上基板３とポスト電極６ｂとの間に断熱材を有することによりポスト電極６ｂが支持され、ポスト電極６ｂの強度を高めることができる。前記断熱材としては、特に限定されず、例えばアルミナ、窒化ケイ素、ジルコニア等のセラミックやセラミックファイバーモールド等を用いることができる。なお、当該熱電モジュール１では、熱伝導の面から好ましくはないが、上基板３とポスト電極６ｂとが接していてもよい。 <Other embodiments>
The thermoelectric module 1 of the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above-described embodiment, a gap is formed between the upper substrate 3 and the post electrode 6b. However, a heat insulating material may be provided between the upper substrate 3 and the post electrode 6b. As a result, the thermal conductivity between the upper substrate 3 and the post electrode 6b is reduced, so that the Seebeck effect or the Peltier effect of the thermoelectric module 1 is improved. Moreover, the post electrode 6b is supported by having a heat insulating material between the upper substrate 3 and the post electrode 6b, and the strength of the post electrode 6b can be increased. The heat insulating material is not particularly limited, and for example, ceramics such as alumina, silicon nitride, zirconia, ceramic fiber mold, and the like can be used. In the thermoelectric module 1, although not preferable from the viewpoint of heat conduction, the upper substrate 3 and the post electrode 6b may be in contact with each other.

また、前記実施形態においては、ポスト電極６ｂの材質を金属としたが、例えばカーボン樹脂等の導電性樹脂を用いてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the material of the post electrode 6b was made into the metal, you may use conductive resins, such as carbon resin, for example.

また、前記実施形態においては、ポスト電極６ｂの全体が平面視で上基板３の投影面内に含まれていたが、平面視でポスト電極６ｂの一部が上基板３の投影面内に含まれなくてもよい。つまり、平面視でポスト電極６ｂの一部が上基板３の投影面外に突出しており、外部の電気回路の端子をその投影面外に出ているポスト電極６ｂの一部の上面、又は側面に接続するようにしてもよい。 In the embodiment, the entire post electrode 6b is included in the projection plane of the upper substrate 3 in plan view. However, a part of the post electrode 6b is included in the projection plane of the upper substrate 3 in plan view. You don't have to. That is, a part of the post electrode 6b protrudes outside the projection surface of the upper substrate 3 in a plan view, and a part of the upper surface or side surface of the part of the post electrode 6b that protrudes the terminal of the external electric circuit outside the projection surface. You may make it connect to.

また、前記実施形態においては、ポスト電極６ｂを下基板２に対して略垂直に直立するように配設しているが、外部の電気回路の端子を半田付けやワイヤーボンディングによって接続し易いようにポスト電極６ｂを傾けて配設してもよい。 In the above embodiment, the post electrode 6b is arranged so as to stand substantially vertically with respect to the lower substrate 2, but it is easy to connect the terminals of the external electric circuit by soldering or wire bonding. The post electrode 6b may be inclined.

また、前記実施形態においては、下基板及び上基板が平面視で略同一の大きさであるとしたが、例えば図２に示す熱電モジュール３１のように、下基板３２が上基板３３よりも大きくてもよい。この場合でも、ポスト電極３６ｂが上基板３３の投影面内に配設されていることにより、ポスト電極３６ｂが上基板３３の投影面内に配設されていない場合に比べて、熱電モジュール３１の熱電変換有効面積率が高くなる。 In the above embodiment, the lower substrate and the upper substrate have substantially the same size in plan view. For example, the lower substrate 32 is larger than the upper substrate 33 as in the thermoelectric module 31 shown in FIG. May be. Even in this case, the post electrode 36b is disposed in the projection surface of the upper substrate 33, so that the thermoelectric module 31 can be compared with the case where the post electrode 36b is not disposed in the projection surface of the upper substrate 33. Increases the effective area ratio of thermoelectric conversion.

また、前記実施形態においては、一対のポスト電極６ｂを下基板２の一つの端辺に沿って配設しているが、一対のポスト電極６ｂを下基板２の一つの端辺に沿って配設しない熱電モジュールも本発明の意図する範囲内である。 In the above-described embodiment, the pair of post electrodes 6 b are arranged along one end side of the lower substrate 2, but the pair of post electrodes 6 b are arranged along one end side of the lower substrate 2. Non-installed thermoelectric modules are also within the intended scope of the present invention.

また、前記実施形態においては、一対のポスト電極６ｂの両方を下基板２に配設したが、一対のポスト電極６ｂの両方を上基板３に配設してもよいし、また一方のポスト電極６ｂを下基板２に配設し、他方のポスト電極６ｂを上基板３に配設してもよい。 In the above embodiment, both of the pair of post electrodes 6b are disposed on the lower substrate 2, but both of the pair of post electrodes 6b may be disposed on the upper substrate 3, or one of the post electrodes 6b. 6 b may be disposed on the lower substrate 2, and the other post electrode 6 b may be disposed on the upper substrate 3.

また、前記実施形態においては、下基板２及び上基板３を平面視で略矩形としたが、下基板２及び上基板３は、平面視で多角形、円、楕円、半円等の直線又は曲線を組み合わせた任意の形状としてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the lower board | substrate 2 and the upper board | substrate 3 were made into the substantially rectangular shape by planar view, the lower board | substrate 2 and the upper board | substrate 3 are straight lines, such as a polygon, a circle | round | yen, an ellipse, a semicircle, etc. It is good also as the arbitrary shapes which combined the curve.

［熱電ユニット］
次に、適宜図面を参照しつつ本発明の熱電ユニットの実施の形態を詳説する。 [Thermoelectric unit]
Next, an embodiment of the thermoelectric unit of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

図３に示す熱電ユニット７は、図１の熱電モジュール１と、この熱電モジュール１と電気的接続される電気回路部８とを備えている。熱電モジュール１によってペルチェ効果を発現する場合には、電気回路部８には給電回路を有するものが用いられる。また、熱電モジュール１によってゼーベック効果を発現する場合には、電気回路部８には電力を受電する回路を有するものが用いられる。 A thermoelectric unit 7 shown in FIG. 3 includes the thermoelectric module 1 of FIG. 1 and an electric circuit unit 8 electrically connected to the thermoelectric module 1. When the Peltier effect is manifested by the thermoelectric module 1, the electric circuit unit 8 having a power feeding circuit is used. Further, when the Seebeck effect is exhibited by the thermoelectric module 1, the electric circuit unit 8 having a circuit for receiving electric power is used.

電気回路部８の端子９は、熱電モジュール１のポスト電極６ｂの側面に接続される。接続方法としては、半田付けによってリード線を接続してもよいし、ワイヤーボンディングによって金ワイヤーを接続してもよい。このとき端子９には、それぞれの接続方法に適した材料を用いればよい。また、端子９を例えばピン形状にし、例えば端子９と電気回路部８との間に取り付けられたバネによってピンの先端がポスト電極６ｂの側面に付勢され、ポスト電極６ｂと端子９とが電気的接続されるようにしてもよい。 The terminal 9 of the electric circuit unit 8 is connected to the side surface of the post electrode 6 b of the thermoelectric module 1. As a connection method, a lead wire may be connected by soldering, or a gold wire may be connected by wire bonding. At this time, a material suitable for each connection method may be used for the terminal 9. Further, the terminal 9 is formed into a pin shape, for example, and the tip of the pin is biased to the side surface of the post electrode 6b by a spring attached between the terminal 9 and the electric circuit portion 8, for example, so that the post electrode 6b and the terminal 9 are electrically connected. Connection may be made.

当該熱電ユニット７は、当該熱電モジュール１を備えているので、熱電変換有効面積率が高い。また、ポスト電極６ｂの側面に電気回路部８の端子９が接続されるため、生産性に優れる。 Since the thermoelectric unit 7 includes the thermoelectric module 1, the thermoelectric conversion effective area ratio is high. Further, since the terminal 9 of the electric circuit portion 8 is connected to the side surface of the post electrode 6b, the productivity is excellent.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

［実施例］
図１に示す熱電モジュール１を用い、ポスト電極６ｂに後述する測定方法で用いる外部の電気回路を接続し、下記の条件でペルチェ効果を発現した場合の最大吸熱量と、ゼーベック効果を発現した場合の発電電圧とを測定した。なお、図１（ａ）において、紙面上下方向をＹ軸方向と呼び、このＹ軸に直行する左右方向をＸ軸方向と呼ぶ（後述する図５及び図６において同じ）。また、基板の材料はセラミックであるアルミナを用いた。
（１）下基板２の大きさは、Ｘ方向長さを５ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（２）上基板３の大きさは、Ｘ方向長さを５ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（３）配設した半導体素子５の数を１８個とした。 [Example]
When the thermoelectric module 1 shown in FIG. 1 is used, an external electric circuit used in the measurement method described later is connected to the post electrode 6b, and the maximum heat absorption amount when the Peltier effect is manifested under the following conditions and the Seebeck effect are manifested The generated voltage was measured. In FIG. 1A, the vertical direction of the paper is called the Y-axis direction, and the left-right direction perpendicular to the Y-axis is called the X-axis direction (the same applies to FIGS. 5 and 6 described later). The substrate material was alumina alumina.
(1) The size of the lower substrate 2 was 5 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(2) The size of the upper substrate 3 was 5 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(3) The number of disposed semiconductor elements 5 was 18.

［比較例１］
図５に示す熱電モジュール１１を用い、電極１６に後述する測定方法で用いる外部の電気回路を接続し、下記の条件で、ペルチェ効果を発現した場合の最大吸熱量と、ゼーベック効果を発現した場合の発電電圧とを測定した。つまり、比較例１は、実施例１と異なり、上基板１３の大きさを下基板１２よりも小さくし、電極１６が平面視で上基板１３の投影面外に配設されている。また、ポスト電極を設けずに、一対の膜状の電極１６に後述の測定方法で用いる外部の電気回路に接続した。また、基板の材料はセラミックであるアルミナを用いた。
（１）下基板１２の大きさは、Ｘ方向長さを５ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（２）上基板１３の大きさは、Ｘ方向長さを４ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（３）配設した半導体素子１５の数を１６個とした。 [Comparative Example 1]
When the thermoelectric module 11 shown in FIG. 5 is used, an external electric circuit used in a measurement method described later is connected to the electrode 16, and the maximum heat absorption amount when the Peltier effect is exhibited and the Seebeck effect are exhibited under the following conditions The generated voltage was measured. That is, unlike Example 1, the comparative example 1 is such that the size of the upper substrate 13 is smaller than that of the lower substrate 12, and the electrodes 16 are disposed outside the projection surface of the upper substrate 13 in plan view. Further, without providing a post electrode, the pair of film-like electrodes 16 were connected to an external electric circuit used in a measurement method described later. The substrate material was alumina alumina.
(1) The size of the lower substrate 12 was 5 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(2) The size of the upper substrate 13 was 4 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(3) The number of disposed semiconductor elements 15 is 16.

［比較例２］
図６に示す熱電モジュール２１を用い、電極２６に後述する測定方法で用いる外部の電気回路を接続し、下記の条件で、ペルチェ効果を発現した場合の最大吸熱量と、ゼーベック効果を発現した場合の発電電圧とを測定した。つまり、比較例２は、実施例１と異なり、ポスト電極を設けずに、下基板２２と上基板２３との間の空間において一対の膜状の電極２６に後述の測定方法で用いる外部の電気回路に接続した。また、基板の材料はセラミックであるアルミナを用いた。
（１）下基板２２の大きさは、Ｘ方向長さを５ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（２）上基板２３の大きさは、Ｘ方向長さを５ｍｍとし、Ｙ方向長さを４ｍｍとした。
（３）配設した半導体素子２５の数を１８個とした。 [Comparative Example 2]
When the thermoelectric module 21 shown in FIG. 6 is used, an external electric circuit used in the measurement method described later is connected to the electrode 26, and the maximum heat absorption amount when the Peltier effect is exhibited and the Seebeck effect are exhibited under the following conditions The generated voltage was measured. That is, unlike Example 1, the comparative example 2 does not have a post electrode, and the external electric power used in the measurement method described later for the pair of film-like electrodes 26 in the space between the lower substrate 22 and the upper substrate 23. Connected to the circuit. The substrate material was alumina alumina.
(1) The size of the lower substrate 22 was 5 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(2) The size of the upper substrate 23 was 5 mm in the X direction and 4 mm in the Y direction.
(3) The number of disposed semiconductor elements 25 is 18.

［比較例３］
比較例１の熱電モジュール１の電極１６をポスト電極とし、他の構成は比較例１と同様にした。また、基板の材料はセラミックであるアルミナを用いた。 [Comparative Example 3]
The electrode 16 of the thermoelectric module 1 of Comparative Example 1 was a post electrode, and other configurations were the same as those of Comparative Example 1. The substrate material was alumina alumina.

比較例１の熱電モジュールでの最大吸熱量及び発電電圧を１とした場合の、実施例、比較例２、及び比較例３の熱電モジュールにおける最大吸熱量及び発電電圧の比率を表１に示す。なお、上基板と下基板との距離は、１．２ｍｍ、１．０ｍｍ及び０．８ｍｍの３条件とした。また、端子の取り付けは半田付けで行ったが、比較例３での基板間距離が１．０ｍｍ及び０．８ｍｍの条件では半田付けに手間を要し、実際の製造は不可と判断した。
ここでいう基板間距離とは、一対のセラミックスからなるアルミナ基板が対向する面の間の距離をさす。

Table 1 shows the ratio of the maximum heat absorption amount and the power generation voltage in the thermoelectric modules of Examples, Comparative Example 2 and Comparative Example 3 when the maximum heat absorption amount and the power generation voltage in the thermoelectric module of Comparative Example 1 are set to 1. The distance between the upper substrate and the lower substrate was three conditions of 1.2 mm, 1.0 mm, and 0.8 mm. In addition, although the terminals were attached by soldering, it was determined that actual manufacturing was not possible because the soldering was troublesome when the distance between the substrates in Comparative Example 3 was 1.0 mm and 0.8 mm.
The inter-substrate distance here refers to the distance between the surfaces on which the alumina substrates made of a pair of ceramics face each other.

最大吸熱量の測定方法を、図４を参照して説明する。最大吸熱量を測定する被測定熱電モジュール１０１を２枚の銅板Ｅ１及びＥ２によって挟み、排熱用ヒートシンクＥ３の上に載置された温調用熱電モジュールＥ４の上に載せる。被測定熱電モジュール１０１の上基板に接している銅板Ｅ１にはＴ１（吸熱側温度）測定用熱電対Ｅ５を備え、銅板Ｅ１の上にはヒーターＥ６を載置する。また、被測定熱電モジュール１０１の下基板に接している銅板Ｅ２にはＴ２（放熱側温度）測定用熱電対Ｅ７を備える。このような構成の試験装置において、温調用熱電モジュールＥ４を用いてＴ２測定用熱電対Ｅ７の指示値Ｔ２を２７℃に制御する。そして、ヒーターＥ６に電力を投入して発熱させると共に、Ｔ１測定用熱電対Ｅ５の指示値Ｔ１とＴ２測定用熱電対Ｅ７の指示値Ｔ２とがＴ１＝Ｔ２となるよう被測定熱電モジュール１０１に電流を流す。続いて、ヒーターＥ６の出力を徐々に増加させながら、被測定熱電モジュール１０１に流す電流を増加させ、Ｔ１＝Ｔ２（＝２７℃）を維持するように調節する。そして、被測定熱電モジュール１０１に流す電流を増加させてもＴ１＝Ｔ２とならなくなったときのヒーターＥ６の出力を、被測定熱電モジュール１０１の最大吸熱量とする。 A method for measuring the maximum endotherm will be described with reference to FIG. A thermoelectric module 101 to be measured for measuring the maximum heat absorption amount is sandwiched between two copper plates E1 and E2 and placed on a temperature control thermoelectric module E4 placed on an exhaust heat sink E3. The copper plate E1 in contact with the upper substrate of the thermoelectric module 101 to be measured is provided with a thermocouple E5 for measuring T1 (heat absorption side temperature), and a heater E6 is placed on the copper plate E1. Further, the copper plate E2 in contact with the lower substrate of the thermoelectric module 101 to be measured is provided with a thermocouple E7 for measuring T2 (heat radiation side temperature). In the test apparatus having such a configuration, the indicated value T2 of the T2 measuring thermocouple E7 is controlled to 27 ° C. by using the temperature adjusting thermoelectric module E4. Then, the heater E6 is turned on to generate heat, and the measured thermoelectric module 101 has a current so that the indicated value T1 of the T1 measuring thermocouple E5 and the indicated value T2 of the T2 measuring thermocouple E7 are T1 = T2. Shed. Subsequently, while gradually increasing the output of the heater E6, the current flowing through the thermoelectric module 101 to be measured is increased and adjusted to maintain T1 = T2 (= 27 ° C.). Then, the output of the heater E6 when T1 = T2 does not hold even when the current flowing through the measured thermoelectric module 101 is increased is set as the maximum heat absorption amount of the measured thermoelectric module 101.

また、発電電圧は、各熱電モジュールの電極に電圧計の端子を接続し、上基板温度を２５℃、下基板温度を５０℃としたときの発電電圧を測定した。 The generated voltage was measured by connecting the terminals of a voltmeter to the electrodes of each thermoelectric module and measuring the generated voltage when the upper substrate temperature was 25 ° C. and the lower substrate temperature was 50 ° C.

＜評価＞
実施例の熱電モジュールは、比較例１及び３の熱電モジュールに比べ最大吸熱量比率及び発電電圧比率に優れた。また、実施例の熱電モジュールは、比較例２のように外部の電気回路の端子との接続が困難になることもなく、端子との接続性に優れた。 <Evaluation>
The thermoelectric module of the example was excellent in the maximum heat absorption amount ratio and the generated voltage ratio as compared with the thermoelectric modules of Comparative Examples 1 and 3. Moreover, the thermoelectric module of an Example was excellent in the connection property with a terminal, without becoming difficult to connect with the terminal of an external electric circuit like the comparative example 2. FIG.

本発明の熱電モジュールは、熱電モジュールの平面視での面積に対する半導体素子を配設できる面積の比率を高くすることができ、また電極と電気回路の端子との接続性に優れるので、発電機やクーラーとして好適に用いることができる。 The thermoelectric module of the present invention can increase the ratio of the area where the semiconductor element can be disposed to the area of the thermoelectric module in plan view, and is excellent in the connectivity between the electrode and the terminal of the electric circuit. It can be suitably used as a cooler.

１、３１熱電モジュール
２、３２下基板
３、３３上基板
４配線電極
５、３５半導体素子
５ａ、３５ａＰ型半導体素子
５ｂ、３５ｂＮ型半導体素子
６、３６電極部
６ａ、３６ａ膜電極
６ｂ、３６ｂポスト電極
７熱電ユニット
８電気回路部
９端子
１１、２１熱電モジュール
１２、２２下基板
１３、２３上基板
１４、２４配線電極
１５、２５半導体素子
１５ａ、２５ａＰ型半導体素子
１５ｂ、２５ｂＮ型半導体素子
１６、２６電極 1, 31 Thermoelectric module 2, 32 Lower substrate 3, 33 Upper substrate 4 Wiring electrodes 5, 35 Semiconductor elements 5a, 35a P-type semiconductor elements 5b, 35b N-type semiconductor elements 6, 36 Electrode portions 6a, 36a Film electrodes 6b, 36b Post electrode 7 Thermoelectric unit 8 Electrical circuit section 9 Terminals 11, 21 Thermoelectric modules 12, 22 Lower substrate 13, 23 Upper substrate 14, 24 Wiring electrodes 15, 25 Semiconductor elements 15a, 25a P-type semiconductor elements 15b, 25b N-type semiconductor elements 16, 26 electrodes

Claims

A pair of substrates disposed opposite to each other;
A plurality of wirings formed on opposing surfaces of the pair of substrates;
A plurality of semiconductor elements constructed between the plurality of wirings facing each other and electrically connected in series;
A thermoelectric module comprising a pair of electrodes that electrically connect the semiconductor element to the outside,
It said pair of electrodes consists of post electrodes to be respectively vertically on the surface facing the one substrate of the pair of substrates are disposed in the projection surface of the other substrate, respectively a plan view, the post electrode A lead wire is connected or wire-bonded to the side surface of the thermoelectric module.

The thermoelectric module according to claim 1, wherein the pair of post electrodes are disposed along one edge of the pair of substrates.

3. The pair of substrates according to claim 1 or 2, wherein the pair of substrates have substantially the same size in plan view, and substantially the whole of one substrate and the whole of the other substrate of the pair of substrates overlap each other. Thermoelectric module.

The thermoelectric module according to claim 1, 2 or 3, wherein the post electrode is disposed apart from the other substrate.

The thermoelectric module according to claim 1, wherein the thermoelectric module has a heat insulating material between the post electrode and the other substrate.