JP6202245B2 - 赤外線センサー及び熱電変換素子 - Google Patents
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Description
かかる態様では、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる焦電膜は、焦電係数が大きく、かつ比誘電率が小さいので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、前記熱電変換素子はトランジスタに接続されており、前記熱電変換素子で生じた表面電荷に基づいて前記トランジスタが検出信号を出力することが好ましい。これによれば、トランジスタを介して温度変化を検出することができる。
また、前記トランジスタが電界効果トランジスタであって、前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方が、前記電界効果トランジスタのゲートに接続されることが好ましい。これによれば、熱電変換素子で生じた表面電荷を検出信号として出力する回路を容易に構成することができる。
また、本発明の他の態様は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられ、温度の変化によって表面電荷を生じる焦電膜と、を備え、前記焦電膜は、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、前記焦電膜の厚さが150〜400nmであることを特徴とする熱電変換素子にある。
かかる態様では、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる焦電膜は、焦電係数が大きく、かつ比誘電率が小さいので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
また、上記課題を解決する本発明の他の態様は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられ、温度の変化によって表面電荷を生じる焦電膜と、を有する熱電変換素子を備え、前記焦電膜は、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする赤外線センサーにある。
かかる態様では、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる焦電膜は、焦電係数が大きく、かつ比誘電率が小さいので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
かかる態様では、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる焦電膜は、焦電係数が大きく、かつ比誘電率が小さいので、赤外線センサーの感度を向上させることができる。
図に示すように、赤外線センサー1は、トランジスタ2と、熱電変換素子(焦電素子)3とを備えている。尚、図1で省略されているが、これらをパッケージする窓材やキャップ等の構成は制限されず、公知のものを用いることができる。
一方、焦電素子3は、第1電極7と、第2電極8と、これらの間に挟まれた焦電膜9とを具備する。
[式1]
(Bi1-x,Lax)(Fe1-y,Mny)O3 (1)
まず、図2を用いて、典型的な強誘電体キャパシタ(強誘電体を2つの電極で挟んだ素子)の、温度T0→T1(T1>T0)としたときのP−Eヒステリシスを説明する。図2は、分極量Pを縦軸とし、電界Eを横軸としたグラフであり、実線がT0、破線がT1に対応する。
[式2]
ΔV=ΔQ/C=p×ΔT×d/(ε×A) (2)
(式(2)中、εは比誘電率であり、dは電極間の距離であり、Aは電極面積である。)
この焦電素子3は、環境温度が変化すると、焦電膜9の焦電効果により、第1電極7に電荷が生じることになる。
まず、環境温度が変化すると、焦電膜9の焦電効果により、第1電極7に電荷が生じ、電荷がトランジスタ2のゲート4に流れ、ゲート4に電圧が印加される。ゲート4に電圧が印加されると、このゲート電圧の大きさに応じてソース5及びドレイン6間にチャンネルが形成され、これに応じて相応のドレイン電流が流れる。すなわち、ソースフォロワ回路13により、ゲート4に印加された電圧が電流信号に変換され、電流信号は、出力ノード14から出力される。
これにより、環境温度の変化が電流信号として検出され、赤外線センサーとして機能する。
各々のセンサーセルSは、図1を用いて説明したソースフォロワ回路26と、ソースフォロワ回路26及び低電位側電源ノード27の間に直列に設けられる第1〜第n(nは2以上の整数)の焦電素子PY1〜PYnと、ソースフォロワ回路26の出力ノードに接続される読み出し用トランジスタ(FET)28とを備えている。そして、読み出し用トランジスタ28のソースがソースフォロワ回路26の出力ノードに接続され、ドレインが列線DL0、DL1、DL2・・・・DL319に接続されており、また、ゲートは、行線WL0、WL1、WL2・・・・WL239に接続されている。
[実施例]
<溶液作製>
BLFM前駆体溶液を下記の手順で作製した。まず、酢酸ビスマス、酢酸ランタン、酢酸鉄、及び酢酸マンガンをmol比85:15:97:3で混合し、プロピオン酸を加えた後、ホットプレート上にて140℃で1時間加熱攪拌した後、プロピオン酸で0.3molL−1に調整することでBLFM前駆体溶液を作製した。
6inchシリコン基板の表面に熱酸化により膜厚1170nmの二酸化シリコン膜を形成した。次に、二酸化シリコン膜上にスパッタ法によりジルコニウム膜を作製し、熱酸化することで膜厚400nmの酸化ジルコニウム膜を形成した。次に、スパッタ法にて40nmのチタン膜を作製し、その上にスパッタ法にて130nmの白金を作製することで、第1電極を形成した。
PZT前駆動体溶液を下記の手順で作製した。まず、酢酸鉛、ジルコニウムアセチルアセトナート、チタニウムテトライソプロポキシドをmol比118:52:48で混合し、ブチルセロソルブ及びポリエチレングリコールを加えた後、オイルバス中にて60℃で1時間加熱攪拌することで、PZT前駆体溶液を作製した。
実施例、及び比較例の膜厚を破断面の走査電子顕微鏡(SEM)により観察した。その結果、実施例に係るBLFM膜の厚さは357nmであり、比較例に係るPZT膜の厚さは、1280nmであった。
実施例について、東陽テクニカ社製「FCE−1A」を用い、φ=500μmの電極パターンを使用し、室温で周波数1kHzの三角波を印加して、分極量P(μCcm−2)と電界E(kVcm−1)の関係(P−E曲線)を求めた。その結果、図5に示すP−E曲線が得られた。図5に示すように、実施例に係るBLFMは、強誘電体に典型的なヒステリシスを示した。強誘電体は必然的に焦電性を持つため、この結果より、BLFMは焦電体であることが明らかとなった。
実施例及び比較例の静電容量をヒューレットパッカード社製「4294A」を用い測定した。その結果、実施例の静電容量から比誘電率はεr=163であり、比較例の静電容量から比誘電率はεr=1600であった。このことから、実施例のBLFM膜の比誘電率は、比較例のPZT膜の比誘電率の約1/10であることが明らかとなった。
まず、0〜20V、1kHzの三角波(ユニポーラ)を100回印加することで、分極処理を行った。次に、図6に示す構成の装置を用い、40〜60℃の範囲で温度を変えながら1秒ごとに電流値を測定した。尚、図6に示す構成の装置は以下の通りである。すなわち、焦電素子3の第1電極7は、電流計を介してグランドに接続されている。第2電極8は、19.1MΩの抵抗、100mVの電源を介して、グランドに接続されている。また、焦電素子3と並列して、抵抗が設けられている。本測定では素子のシリコン膜厚が焦電体の膜厚に比べ厚いため、熱に対する応答速度はシリコンの熱容量が支配的であり、焦電体の膜厚の影響は無視することが出来る。
本発明の実施形態に係る熱電変換素子は、良好な焦電特性を示すことから、温度検出器、生体検出器、赤外線検出器、テラヘルツ検出器、熱−電気変換器等にも用いることができる。
Claims (4)
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられ、温度の変化によって表面電荷を生じる焦電膜と、を有する熱電変換素子を備え、
前記焦電膜は、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
前記焦電膜の厚さが150〜400nmであることを特徴とする赤外線センサー。 - 前記熱電変換素子はトランジスタに接続されており、
前記熱電変換素子で生じた表面電荷に基づいて前記トランジスタが検出信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサー。 - 前記トランジスタが電界効果トランジスタであって、
前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方が、前記電界効果トランジスタのゲートに接続されることを特徴とする請求項2に記載の赤外線センサー。 - 第1電極と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられ、温度の変化によって表面電荷を生じる焦電膜と、を備え、
前記焦電膜は、Bi、La、Fe及びMnを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、
前記焦電膜の厚さが150〜400nmであることを特徴とする熱電変換素子。
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