JP6199775B2 - 端面観察システム - Google Patents

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Description

本発明は、光コネクタの端面状態を観察する端面観察装置を用いた端面観察システムに関する。
光通信において、光コネクタは各種ネットワーク装置や光ファイバ間を接続するために必要不可欠な部品であり、光コネクタでの損失を低減することは良好な光通信を実現する上で非常に重要である。光コネクタにおける損失要因は主に、コネクタ端面におけるゴミ、異物の付着や汚れである。そのため光コネクタの接続時にはコネクタ端面の清掃や観察が重要な作業になっている。
具体的に、光コネクタは、雄コネクタであるプラグと、雌コネクタでありネットワーク装置などでプラグの差し込み口となるレセプタクルとから構成されている。従来から、上記プラグと上記レセプタクルの夫々について、清掃や観察を行うためのクリーナや端面観察装置が提案されている。
例えば、特許文献1には、レセプタクル内のコネクタ端面用のクリーナテープを備えたクリーナが開示されている。また、特許文献2には、レセプタクル内のコネクタ端面の観察装置が開示されている。コネクタ接続等を行う際には、このような装置を使用して光コネクタの清掃作業と観察作業が行われている。
特開2004−219602号公報 特開平10−19728号公報
しかしながら、上述したような従来の清掃装置と観察装置とは別装置で提供されることが一般的であったため、夫々の装置を別箇に用意し、それらを適宜交換しながら使い分けて清掃作業と観察作業を行っていた。そのため作業の繁雑さが避けられないという課題があった。
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、光コネクタ等における端面の清掃前後の状態を容易に確認できるようにすることにある。
本発明に係る端面観察システムは、観察対象物の端面を観察し、観察結果に基づいて光学的な情報を含むデータを生成する端面観察装置と、前記端面観察装置によって生成された前記光学的な情報を含むデータを処理する処理装置とを備え、前記端面観察装置は、光学系と、前記光学系を介して前記観察対象物の端面の像を受像し、前記光学的な情報を含むデータを生成するデータ生成部と、観察対象物の端面を清掃するためのクリーニング機構とを有し、前記光学系は、光軸方向に貫通する貫通孔が設けられて前記クリーニング機構を前記貫通孔内に配置したレンズを有し、前記クリーニング機構は、前記観察対象物に向かって突出可能とされていることを特徴とする。
上記端面観察システムにおいて、前記処理装置は、前記光学的な情報を通知する通知部を更に有してもよい。
上記端面観察システムにおいて、入力された前記光学的な情報を含むデータを記憶するデータ記憶部を更に有してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記データ生成部によって生成された前記光学的な情報を含むデータを送信するデータ送信部を更に有してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記処理装置は、入力された前記光学的な情報を含むデータに基づいて、前記観察対象物の端面の汚れの有無を判定する判定部を更に有し、前記通知部は、前記判定部による判定結果を表示してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記処理装置は、前記判定部による判定結果を記憶する判定結果記憶部を更に有してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記判定部による判定結果を送信する判定結果送信部を更に有してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記処理装置は、入力された前記光学的な情報を含むデータに基づいて、前記観察対象物の状態の検査を行う検査部を更に有し、前記通知部は、前記検査部による検査結果を表示してもよい。
上記端面観察システムにおいて、前記検査部は、前記検査として、前記観察対象物の端面における汚れの有無の判定、前記観察対象物の活線判定、および前記観察対象物の信号特性の測定の少なくとも一つを行ってもよい。
本発明によれば、端面観察装置に清掃機構と観察機構とが一体化されているので、光コネクタ等における端面の清掃前後の状態を容易に確認することができる。
本発明の実施形態1に係る端面観察システムの構成を示す図である。 実施の形態1に係る端面観察装置の構成を示す図である。 実施の形態1に係るクリーニング機構の具体的な構成を示す図である。 実施の形態1に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態2に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態3に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態4に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態5に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態6に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。 実施の形態7に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す図である。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
≪実施の形態1≫
図1に、本発明の実施形態1に係る端面観察システムの構成を示す。
同図に示される端面観察システム100は、観察対象物としての光コネクタ10の端面10Aを観察し光学的な情報を含むデータを生成する端面観察装置20と、処理装置30とを備える。端面観察装置20と処理装置30とは、電気信号を伝達するための信号ケーブル40によって接続される。
端面観察装置20は、光コネクタ10の接続端面(コネクタ中央の光ファイバの端面)10Aを観察するための観察機構と光コネクタ10の接続端面10Aを操作するための構造体とが一体化した構造を有する。以下では、上記構造体が、光コネクタ10の接続端面10Aを清掃するためのクリーニング機構13である場合を一例として説明する。
図2に、端面観察装置20の構成例を示す。図2に示されるように、端面観察装置20は、例えば、対物レンズ12、結像用レンズ14、光源16、およびハーフミラー17から成る光学系と、データ生成部15と、クリーニング機構13とを備える。特に制限されないが、端面観察装置20は、例えば筒状の筐体11内に、上述の対物レンズ12やデータ生成部15等の機能素子が配置された構造を有する。
対物レンズ12は、中央部に光軸方向に貫通する孔が設けられたリング形状を有する。クリーニング機構13は、対物レンズ12の上記の貫通孔から光コネクタ10に向かって突き出るように配置される。
図3は、クリーニング機構13の具体的な構成例を示す図である。図3の(A)には、端面観察装置20におけるクリーニング機構13が設けられた先端部の断面が模式的に示されており、図3の(B)には、端面観察装置20におけるクリーニング機構13が設けられた先端部を正面(接続端面10A側)から見た図が模式的に示されている。
クリーニング機構13は、例えば、対物レンズ12の貫通孔120内に設けられるクリーナチップ202と、クリーナチップ202の面の一部を覆うように配置されたクリーニングテープ201とから構成される。クリーニングテープ201は、例えば、図示されない摺動機構によって、クリーニングチップ202の端面の所定の方向(例えば図2の(B)の矢印の方向)に摺動する。なお、図2には、クリーニングテープ201とクリーナチップ202の一部のみが図示されており、詳細は図示されていない。光コネクタ10の接続端面10Aをクリーニングする際には、クリーナチップ202を対物レンズ12の貫通孔120から光コネクタ10に向かって突出させ、クリーニングテープ201をクリーナチップ202と共に接続端面10Aに押し付けて摺動させることで、接続端面10Aに付着した異物を除去する。
ハーフミラー17は、入射した光の一部を反射し、一部を透過させる光学素子である。ハーフミラー17による反射光と透過光との割合は、例えば1対1である。データ生成部15は、対物レンズ12、結像用レンズ14、およびハーフミラー17を介して光コネクタ10の接続端面10Aの像を撮像し、光学的な情報を含むデータDVを生成するものである。上記光学的な情報を含むデータとしては、例えば、接続端面10Aの画像の情報を含む画像データを例示することができる。データ生成部15は、PD(Photodiode)やCCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary metal−oxide−semiconductor)などの光を電気信号に変換するデバイスを用いて構成することができる。光源16は、対物レンズ12を介して接続端面10Aに照射する光を発生させる。光源16としては、例えばLEDや半導体レーザを例示することができる。
端面観察装置20において、データ生成部15は、結像用レンズ14の光軸上に配置され、光源16は、例えばハーフミラー17から、結像用レンズ14の光軸に直交する方向に離間して配置される。これにより、光源16から発生した光は、ハーフミラー17により光コネクタ10に導かれ、光コネクタ10からの光はハーフミラー17により撮像素子15に導かれる。
ここで、ハーフミラー17とデータ生成部15との間の距離D1と、ハーフミラー17と光源16との間の距離D2とが光学的に等しい。また、対物レンズ12を一端(前端部)とし、結像用レンズ14を他端(後端部)とする光学系において、データ生成部15は上記後端部の焦点位置に配置され、光源16は、ハーフミラー17を介した上記後端部の焦点位置に配置される。すなわち、光源16およびハーフミラー17は、データ生成部15の近傍において、光源16とデータ生成部15とが対物レンズ12に対して光学的に共役の位置関係となるように配置される。
したがって、上記光学系の前端部の焦点位置に光コネクタ10の接続端面10Aを配置すれば、光コネクタ10の端面10A、データ生成部15、および光源16が光学的に共役な位置関係となり、端面観察装置20は共焦点光学系を実現する。
上記の光学系によれば、光は以下のように伝搬する。例えば、光源16から発生した光は、ハーフミラー17で反射し、結像用レンズ14および対物レンズ12を透過して光コネクタ10の接続端面10Aに照射される。一方、光コネクタ10の接続端面10Aからの光は、対物レンズ12、結像用レンズ14、ハーフミラー17の順に透過し、データ生成部15の撮像面に結像する。
処理装置30は、端面観察装置20によって生成された光学的な情報を含むデータDVを入力する。処理装置30としては、ディスプレイを備えたPC(パーソナルコンピュータ)等を例示することができる。
図4に、処理装置30の内部構成を例示する。同図に示されるように、処理装置30は、表示部301を備える。表示部301は、端面観察装置20から入力された光学的な情報を含むデータDVに基づいて、上記光学的な情報を表示する。例えば、本実施の形態では、表示部301は光コネクタ10の接続端面10Aの画像を表示する。表示部301としては、例えば液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等を例示することができる。
端面観察装置20を用いた光コネクタ10の接続端面10Aの清掃および観察作業は、例えば以下のように行うことができる。先ず、光コネクタ10の接続端面10Aを端面観察装置20によって撮像し、その画像を処理装置30の表示部301を表示させる。これにより、作業者は接続端面10Aの状態を知ることができる。作業者は、その結果を見て、接続端面10Aの清掃が必要であると判断した場合には、端面観察装置20を接続した状態でクリーニング機構13によって光コネクタ10の接続端面10Aを清掃する。その後、端面観察装置20を接続した状態で再度、接続端面10Aを撮像し、表示部301の画像を確認することで、接続端面10Aの状態が改善されたか否かを判断することができる。
以上、本実施の形態に係る端面観察システム100によれば、光コネクタ10における接続端面10Aの清掃前後の状態を容易に確認することができるので、操作性の向上と作業時間の短縮を図ることが可能となる。
≪実施の形態2≫
図5に、実施の形態2に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置31は、データ記憶部302を備える点で、実施の形態1に係る処理装置30と相違し、その他の構成は処理装置30と同様である。以下の説明においては、実施の形態1に係る処理装置30と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
データ記憶部302は、端面観察装置20から入力された光学的な情報を含むデータDVを記憶する。例えば、データ記憶部302は、光コネクタ10の接続端面10Aの画像データを記憶する。データ記憶部302は、例えば、書き換え可能な不揮発性の記憶領域を有する記憶装置である。上記記憶装置としては、フラッシュメモリやハードディスク等を例示することができる。
実施の形態2に係る端面観察システムによれば、実施の形態1に係る端面観察システムと同様に、操作性の向上と作業時間の短縮を図ることが可能となる。また、データ記憶部302を設けることにより画像データ等を保存することができるので、作業の確認や、不具合の解析、統計データによる判定等を行うことが容易となる。
≪実施の形態3≫
図6に、実施の形態3に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置32は、データ送信部303を備える点で、実施の形態1に係る処理装置30と相違し、その他の構成は処理装置30と同様である。以下の説明においては、実施の形態1に係る処理装置30と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
データ送信部303は、端面観察装置20から入力された光学的な情報を含むデータDVをサーバ等の外部装置に送信するものである。例えば、データ送信部303は、光コネクタ10の接続端面10Aの画像データを送信する。データ送信部303によるデータの送信方法は特に制限されない。例えば、無線によるデータ通信であっても良いし、有線によるデータ通信であってもよい。また、通信規格等についても、外部装置にデータを送信することができるものであれば、特に制限はない。
実施の形態3に係る端面観察システムによれば、画像データ送信部303を設けることにより画像データ等をサーバ等の外部装置に保存することができるので、作業の確認や、不具合の解析、統計データによる判定等を行うことが容易となる。
≪実施の形態4≫
図7に、実施の形態4に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置33は、判定部304を備え、判定部304による判定結果を表示部301に表示させる点で、実施の形態1に係る処理装置30と相違し、その他の構成は処理装置30と同様である。以下の説明においては、実施の形態1に係る処理装置30と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
判定部304は、端面観察装置20から入力された光学的な情報を含むデータDVに基づいて、光コネクタ10の接続端面10Aの汚れの有無を判定する。例えば、判定部304は光コネクタ10の接続端面10Aの画像データに基づいて、接続端面10Aの画像中の汚れの位置や汚れの大きさ等を解析し、その解析結果に基づいて汚れの有無を判定する。判別部304は、例えばプロセッサ等のデータ処理装置がROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)等の記憶装置に格納されたプログラムにしたがって各種の演算を実行することによって実現される。
表示部301は、判定部304による判定結果を表示する。
実施の形態4に係る端面観察システムによれば、判定部304を設けることにより、光コネクタ10における接続端面10Aの汚れの有無が自動的に判定されるので、作業の再現性が向上し、作業時間を更に短縮することが可能となる。また、判定部301による判定結果を表示部301に表示させることにより、作業者に対して、接続端面10Aの汚れの有無を通知することできる。
なお、表示部301に画像を表示させず、判定結果のみを表示しても良い。また、この場合の表示部301としては、例えばLEDランプ等を例示することもできる。これによれば、表示部301を小さくすることができるので、装置の小型化を図ることができる。
≪実施の形態5≫
図8に、実施の形態5に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置34は、判定部304による判定結果を判定結果記憶部305に記憶させる点で、実施の形態4に係る処理装置33と相違し、その他の構成は処理装置33と同様である。以下の説明においては、実施の形態4に係る処理装置33と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
判定結果記憶部305は、判定部304による判定結果を記憶する。判定結果記憶部305は、前述のデータ記憶部302と同様に、フラッシュメモリやハードディスク等の書き換え可能な不揮発性の記憶領域を有する記憶装置である。
実施の形態5に係る端面観察システムによれば、判定結果記憶部305を設けることにより、判定部304による判定結果を保存することができるので、作業の確認や、不具合の解析、統計データによる判定等を行うことが容易となる。なお、上記判定結果に加えて、画像データDVも判定結果記憶部305に保存してもよい。
≪実施の形態6≫
図9に、実施の形態6に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置35は、判定結果送信部306を備える点で、実施の形態4に係る処理装置33と相違し、その他の構成は処理装置33と同様である。以下の説明においては、実施の形態4に係る処理装置33と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
判定結果送信部306は、判定部304による判定結果をサーバ等の外部装置に送信するものである。前述のデータ送信部303と同様に、判定結果送信部306によるデータの送信方法等は、特に制限されない。
実施の形態6に係る端面観察システムによれば、判定結果送信部306を設けることにより判定部304による判定結果をサーバ等の外部装置に保存することができるので、作業の確認や、不具合の解析、統計データによる判定等を行うことが容易となる。なお、上記判定結果に加えて、画像データDVも判定結果送信部306によって送信してもよい。
≪実施の形態7≫
図10に、実施の形態7に係る端面観察システムにおける処理装置の構成を示す。
同図に示される処理装置36は、検査部307を備える点で、実施の形態1に係る処理装置30と相違し、その他の構成は処理装置30と同様である。以下の説明においては、実施の形態1に係る処理装置30と共通する構成要素については同一の符号を用いて表し、その詳細な説明は省略する。
検査部307は、端面観察装置20から入力された光学的な情報を含むデータDVに基づいて、光コネクタ10の接続端面10Aの状態の検査を行う。具体的に、検査部307は、光コネクタ10の接続端面10Aにおける汚れの有無の判定、光コネクタ10の活線判定、および光コネクタ10の信号特性の測定の少なくとも一つを行う。
上記の活線判定としては、例えば、端面観察装置20から入力された画像データからファイバコアから出力される光量を解析し、あらかじめ決めておいた閾値以上の光量を検知した場合に活線だと判定する。または、端面観察装置20から入力された光パワーに対して、あらかじめ決めておいた閾値以上の光量を検知した場合に活線だと判定する。 上記の信号特性としては、光パワーや、光の波長、偏波依存損失(PDL)、波長分散(CD)、群遅延リップル(GDR)、偏波モード分散(PMD)、光信号雑音比(OSNR)等を例示することができる。例えば、光の波長や偏波依存損失を測定する場合には、検査部307は、ケーブル40を介して制御信号CNTを出力することにより、端面観察装置20の光源15を制御して光源15から発生する光の波長、偏波等を変化させ、そのときの光学的な情報を含むデータDVを取得することにより、光の波長や偏波依存損失を測定する。この場合のデータDVに含まれる光学的な情報としては、データ生成部15で受光した光の光学特性データである。また、検査部307は、例えば、端面観察装置20から入力された光パワーからアイパターンや非同期遅延サンプリング等を生成し、パターンリコグニションを用いてOSNR、PMDなどを推定してもよい。
検査部307は、例えばプロセッサ等のデータ処理装置がROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)等の記憶装置に格納されたプログラムにしたがって各種の演算を実行することによって実現される。検査部307による検査結果は、例えば表示部301に表示される。
実施の形態7に係る端面観察システムによれば、検査部307を設けることにより、光コネクタ10における接続端面10Aの状態の検査を自動で行うことができるので、作業時間を短縮することが可能となる。
以上、本発明者らによってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、実施の形態1乃至7において、端面観察装置20と処理装置30〜36とを別個に設ける場合を例示したが、これに限られず、表示部301、画像データ記憶部302、画像データ送信部303、判定部304、判定結果記憶部305、判定結果記憶部306、および検査部307の少なくとも一つを端面観察装置20と同じ筐体11内に設けることも可能である。例えば、表示部301および判定部304を端面観察装置20に設けることにより、端面観察装置20のみによって端面10Aの汚れの有無を判断することができ、作業効率の向上に資する。この場合、判定部304による判定結果の通知手段として例えば音声出力装置を設け、判定結果を音で通知することも可能である。
実施の形態4において、判定部304による判定結果を表示部301に表示させる場合を例示したが、判定結果を作業者に通知することができる構成であれば、これに限定されない。例えば、上述のように音声出力装置によって判定結果を音で通知してもよい。また、判定結果を表示部301に表示させない構成であってもよい。更に、表示部301に画像と判定結果を表示する場合を例示したが、画像を表示するための表示部と判定結果を表示するための表示部を別個に設けることも可能である。また、実施の形態5および6において、判定部304による判定結果を表示部301に表示させる構成を例示したが、表示部301に表示させなくてもよい。
また、画像データ送信部303と判定結果送信部306を別個に設ける場合を例示したが、一つの送信部によって、画像データと判定結果の双方を送信するようにしてもよい。
実施の形態7において、検査部307による検査結果を表示部301に表示させることを例示したが、作業者等が検査結果を確認することができる構成であれば、これに限定されない。例えば、記憶部を設けてそこに保存しても良いし、判定結果送信部306のような送信部を設けて外部装置に送信することも可能である。
端面観察装置20が備える光学系が、光コネクタ10の接続端面10Aに対して共焦点光学系を実現する場合を例示したが、接続端面10Aの像をデータ生成部15に導くことができれば、別の光学系であってもよい。
クリーニング機構13として、クリーニングテープを所定の方向に摺動させるものを例示したが、光コネクタ10の接続端面10Aを清掃することができるものであれば、特に制限されない。
対物レンズ12の貫通孔120が円形状である場合を例示したが、クリーニング機構13を光コネクタ10に向かって突出させることができる構成であれば、その形状に特に制限はない。例えば、U字形状であってもよい。
また、実施の形態1乃至7において、対物レンズ12の貫通孔内に設けられた光コネクタ10の端面を操作するための構造体としてクリーニング機構13を例示したが、これに限られず、プローバや触針装置、加工装置等を上記貫通孔内に光コネクタ10に対して突出させるように配置することも可能である。これによれば、クリーニング機構13の場合と同様に、夫々の上記構造体の操作前後の像を観察することができるので、操作性の向上と操作時間の短縮を図ることができる。
100…端面観察システム、10…光コネクタ、10A…接続端面、11…筐体、12…対物レンズ、120…貫通孔、9…光路、13…クリーニング機構、201…クリーニングテープ、202…クリーナチップ、14…結像用レンズ、15…データ生成部、16…光源、17…ハーフミラー、20…端面観察装置、30〜36…処理装置、40…ケーブル、DV…光学的な情報を含むデータ、301…表示部、302…データ記憶部、303…データ送信部、304…判定部、305…判定結果記憶部、306…判定結果送信部、307…検査部、CNT…制御信号。

Claims (9)

  1. 観察対象物の端面を観察し、観察結果に基づいて光学的な情報を含むデータを生成する端面観察装置と、
    前記端面観察装置によって生成された前記光学的な情報を含むデータを処理する処理装置と、を備え、
    前記端面観察装置は、
    光学系と、
    前記光学系を介して前記観察対象物の端面の像を受像し、前記光学的な情報を含むデータを生成するデータ生成部と、
    観察対象物の端面を清掃するためのクリーニング機構と
    を有し、
    前記光学系は、光軸方向に貫通する貫通孔が設けられて前記クリーニング機構を前記貫通孔内に配置したレンズを有し、
    前記クリーニング機構は、前記観察対象物に向かって突出可能とされている
    ことを特徴とする端面観察システム。
  2. 請求項1に記載の端面観察システムにおいて、
    前記処理装置は、
    前記光学的な情報を通知する通知部を更に有する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  3. 請求項1または2に記載の端面観察システムにおいて、
    前記処理装置は、
    入力された前記光学的な情報を含むデータを記憶するデータ記憶部を更に有する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の端面観察システムにおいて、
    前記データ生成部によって生成された前記光学的な情報を含むデータを送信するデータ送信部を更に有する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  5. 請求項2乃至4のいずれか一項に記載の端面観察システムにおいて、
    前記処理装置は、入力された前記光学的な情報を含むデータに基づいて、前記観察対象物の端面の汚れの有無を判定する判定部を更に有し、
    前記通知部は、前記判定部による判定結果を表示する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  6. 請求項5に記載の端面観察システムにおいて、
    前記処理装置は、前記判定部による判定結果を記憶する判定結果記憶部を更に有する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  7. 請求項5または6に記載の端面観察システムにおいて、
    前記判定部による判定結果を送信する判定結果送信部を更に有する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  8. 請求項2乃至4のいずれか一項に記載の端面観察システムにおいて、
    前記処理装置は、
    入力された前記光学的な情報を含むデータに基づいて、前記観察対象物の状態の検査を行う検査部を更に有し、
    前記通知部は、前記検査部による検査結果を表示する
    ことを特徴とする端面観察システム。
  9. 請求項8に記載の端面観察システムにおいて、
    前記検査部は、前記検査として、前記観察対象物の端面における汚れの有無の判定、前記観察対象物の活線判定、および前記観察対象物の信号特性の測定の少なくとも一つを行う
    ことを特徴とする端面観察システム。
JP2014046117A 2014-03-10 2014-03-10 端面観察システム Active JP6199775B2 (ja)

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