JP6177930B2 - Pin transfer device and substrate processing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、基板を支持するバックアップピンを搬送するピン搬送装置、および当該ピン搬送装置を備える基板処理装置に関する。 The present invention relates to a pin transport device that transports a backup pin that supports a substrate, and a substrate processing apparatus including the pin transport device.
スクリーン印刷機は、ベースと、基板搬送装置と、基板昇降装置と、スクリーンマスクと、ピン搬送装置(例えば、特許文献1参照)と、ピンストッカと、を備えている。スクリーンマスクは、基板搬送装置、基板昇降装置の上側に配置されている。基板搬送装置、基板昇降装置は、昇降可能なベースに配置されている。基板昇降装置のバックアップテーブルには、バックアップピンが配置されている。 The screen printing machine includes a base, a substrate transfer device, a substrate lifting device, a screen mask, a pin transfer device (see, for example, Patent Document 1), and a pin stocker. The screen mask is disposed above the substrate transfer device and the substrate lifting device. The substrate transfer device and the substrate lifting device are arranged on a base that can be lifted and lowered. Backup pins are arranged on the backup table of the substrate lifting apparatus.
基板にはんだを印刷する場合は、まず、ピン搬送装置が、ピンストッカからバックアップテーブルに、バックアップピンを搬入する。この際、ピン搬送装置は、垂直方向(上下方向)幅が小さい狭小部を通過する。当該狭小部は、基板搬送装置の壁部上端と、スクリーンマスク下端と、の間に存在している。続いて、バックアップテーブル上のバックアップピンが、基板を下側から支持する。それから、ベースつまり基板を上昇させ、基板をスクリーンマスクに当接させる。最後に、スクリーンマスクの通孔を介して、基板の上面にはんだを印刷する。 When printing solder on the board, first, the pin transport device carries the backup pins from the pin stocker to the backup table. At this time, the pin conveying device passes through a narrow portion having a small width in the vertical direction (vertical direction). The narrow portion exists between the upper end of the wall portion of the substrate transfer apparatus and the lower end of the screen mask. Subsequently, backup pins on the backup table support the substrate from below. Then, the base, that is, the substrate is raised, and the substrate is brought into contact with the screen mask. Finally, solder is printed on the upper surface of the substrate through the through hole of the screen mask.
ここで、搬送経路の狭小部の高さが大きい場合、その分、基板をスクリーンマスクに当接させる際の、基板の上昇量が大きくなる。同様に、基板をスクリーンマスクから離間させる際の、基板の下降量が大きくなる。このため、基板生産のサイクルタイム短縮化の観点からは、当該狭小部の高さは小さい方が好ましい。 Here, when the height of the narrow portion of the transport path is large, the amount of increase in the substrate when the substrate is brought into contact with the screen mask is increased accordingly. Similarly, the amount by which the substrate is lowered when the substrate is separated from the screen mask increases. For this reason, from the viewpoint of shortening the cycle time of substrate production, it is preferable that the height of the narrow portion is small.
しかしながら、ピン搬送装置は、バックアップピンを、垂直姿勢(バックアップピンの軸方向が垂直方向を向いた姿勢)のまま、搬送している。このため、基板搬送装置とスクリーンマスクとの間の狭小部の高さは、バックアップピンの軸方向全長よりも、大きい必要がある。 However, the pin transport device transports the backup pin in a vertical posture (a posture in which the axial direction of the backup pin faces the vertical direction). For this reason, the height of the narrow portion between the substrate transfer device and the screen mask needs to be larger than the entire axial length of the backup pin.
このように、当該狭小部の高さは、バックアップピンの軸方向全長により、規制されている。このため、狭小部の高さを小さくするためには、バックアップピンの軸方向全長を小さくすればよい。 Thus, the height of the narrow portion is regulated by the overall axial length of the backup pin. For this reason, in order to reduce the height of the narrow portion, the axial length of the backup pin may be reduced.
ところが、バックアップピンの軸方向全長は、電子部品の垂直方向全長により、規制されている。すなわち、基板の上面にはんだを印刷する際には、既に、基板の下面に別の電子部品が装着されている場合がある。このため、バックアップピンで基板を支持するためには、言い換えると基板下面の電子部品がバックアップテーブルに干渉するのを防ぐためには、バックアップピンの軸方向全長が、電子部品の垂直方向全長よりも、大きい必要がある。 However, the total length in the axial direction of the backup pin is regulated by the total length in the vertical direction of the electronic component. That is, when printing solder on the upper surface of the substrate, another electronic component may already be mounted on the lower surface of the substrate. Therefore, in order to support the substrate with the backup pin, in other words, to prevent the electronic component on the lower surface of the substrate from interfering with the backup table, the axial length of the backup pin is larger than the vertical length of the electronic component. Need to be big.
以上説明したように、搬送経路の狭小部の高さは、バックアップピンの軸方向全長よりも、大きい必要がある。並びに、バックアップピンの軸方向全長は、電子部品の垂直方向全長よりも、大きい必要がある。このため、従来は、当該狭小部の高さを小さくすることは困難だった。すなわち、従来は、はんだ印刷前後の基板の昇降ストローク(またはスクリーンマスクの昇降ストローク)を小さくし、サイクルタイムを短縮するのは困難だった。そこで、本発明は、サイクルタイムを短縮することが可能なピン搬送装置および基板処理装置を提供することを目的とする。 As described above, the height of the narrow portion of the transport path needs to be larger than the total length in the axial direction of the backup pin. In addition, the total length in the axial direction of the backup pin needs to be larger than the total length in the vertical direction of the electronic component. For this reason, conventionally, it has been difficult to reduce the height of the narrow portion. That is, conventionally, it has been difficult to shorten the cycle time by reducing the substrate lifting stroke (or screen mask lifting stroke) before and after solder printing. Therefore, an object of the present invention is to provide a pin transport device and a substrate processing apparatus that can shorten the cycle time.
(1)上記課題を解決するため、本発明のピン搬送装置は、基板を支持するバックアップピンを搬送するピン搬送装置であって、第一姿勢と、該第一姿勢に対して垂直方向全長が小さくなるように前記バックアップピンを傾斜させた第二姿勢と、に該バックアップピンの姿勢を切り換える姿勢切換部を備え、該第二姿勢で該バックアップピンを搬送することを特徴とする。本発明のピン搬送装置によると、第一姿勢よりも垂直方向全長が小さい第二姿勢で、バックアップピンを搬送することができる。このため、搬送経路の高さを小さくすることができる。 (1) In order to solve the above-described problem, a pin transport device of the present invention is a pin transport device for transporting a backup pin that supports a substrate, and has a first posture and a total length in a direction perpendicular to the first posture. And a second posture in which the backup pin is inclined so as to be small, and a posture switching section for switching the posture of the backup pin, and the backup pin is conveyed in the second posture. According to the pin transport device of the present invention, the backup pin can be transported in the second posture whose vertical length is smaller than that in the first posture. For this reason, the height of the conveyance path can be reduced.
(2)上記(1)の構成において、前記バックアップピンを着脱可能に保持するピン保持部を備え、前記姿勢切換部は、該ピン保持部を揺動させる構成とする方がよい。本構成によると、ピン保持部を揺動させることにより、バックアップピンの姿勢を第一姿勢と第二姿勢とに切り換えることができる。 (2) In the configuration of (1) above, it is preferable that a configuration is provided that includes a pin holding unit that detachably holds the backup pin, and the posture switching unit swings the pin holding unit. According to this configuration, the posture of the backup pin can be switched between the first posture and the second posture by swinging the pin holding portion.
(3)上記(1)または(2)の構成において、前記第一姿勢は、前記バックアップピンの軸方向が垂直方向を向く垂直姿勢であり、前記第二姿勢は、該バックアップピンの軸方向が水平方向を向く水平姿勢である構成とする方がよい。本構成によると、第一姿勢(垂直姿勢)から第二姿勢(水平姿勢)に切り換えることにより、バックアップピンの垂直方向全長を、大幅に短縮することができる。 (3) In the configuration of (1) or (2), the first posture is a vertical posture in which the axial direction of the backup pin faces a vertical direction, and the second posture is the axial direction of the backup pin. It is better to have a configuration in which the horizontal posture is oriented in the horizontal direction. According to this configuration, by switching from the first posture (vertical posture) to the second posture (horizontal posture), the overall length of the backup pin in the vertical direction can be significantly shortened.
(4)上記課題を解決するため、本発明の基板処理装置は、上記(1)ないし(3)のいずれかのピン搬送装置を備えることを特徴とする。本発明の基板処理装置によると、上記(1)に記載したように、搬送経路の高さを小さくすることができる。 (4) In order to solve the above-mentioned problems, a substrate processing apparatus of the present invention is characterized by including the pin transport device according to any one of the above (1) to (3). According to the substrate processing apparatus of the present invention, as described in (1) above, the height of the transport path can be reduced.
(5)上記(4)の構成において、前記基板を支持しない、待機中の前記バックアップピンが収容されるピンストッカと、該基板を支持する該バックアップピンが配置されるバックアップテーブルと、を備え、前記ピン搬送装置は、該ピンストッカと該バックアップテーブルとの間の搬送経路に沿って、該バックアップピンを搬送し、該搬送経路の垂直方向最小幅は、前記第一姿勢の該バックアップピンを保持している該ピン搬送装置の垂直方向全長よりも小さく、前記第二姿勢の該バックアップピンを保持している該ピン搬送装置の垂直方向全長よりも大きい構成とする方がよい。本構成によると、バックアップピンの姿勢を第一姿勢から第二姿勢に切り換えることにより、ピン搬送装置が搬送経路を通過することができる。 (5) In the configuration of the above (4), comprising: a pin stocker that does not support the substrate and that accommodates the standby backup pin; and a backup table on which the backup pin that supports the substrate is disposed, The pin conveyance device conveys the backup pin along a conveyance path between the pin stocker and the backup table, and the vertical minimum width of the conveyance path holds the backup pin in the first posture. It is better to have a configuration that is smaller than the total length in the vertical direction of the pin conveyance device and larger than the total length in the vertical direction of the pin conveyance device that holds the backup pin in the second posture. According to this configuration, the pin transport device can pass through the transport path by switching the posture of the backup pin from the first posture to the second posture.
(6)上記(5)の構成において、前記基板を搬送する基板搬送装置を備え、上側から見て、該基板搬送装置における該基板の搬送方向と、前記第一姿勢から前記第二姿勢に移行する際の前記バックアップピンの姿勢切換方向と、は互いに平行である構成とする方がよい。本構成によると、バックアップピンが、基板の搬送方向に沿って、第一姿勢から第二姿勢に、姿勢を切り換える。このため、基板処理装置の奥行き(上側から見て、基板の搬送方向に直交する方向の全長)を、小さくすることができる。 (6) In the configuration of (5), the apparatus includes a substrate transfer device that transfers the substrate, and when viewed from above, the substrate transfer direction of the substrate transfer device and the transition from the first posture to the second posture. In this case, it is preferable that the backup pin posture switching direction is parallel to each other. According to this configuration, the backup pin switches the posture from the first posture to the second posture along the substrate transport direction. For this reason, the depth of the substrate processing apparatus (the total length in the direction orthogonal to the substrate transport direction when viewed from above) can be reduced.
本発明によると、サイクルタイムを短縮することが可能なピン搬送装置および基板処理装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the pin conveyance apparatus and substrate processing apparatus which can shorten cycle time can be provided.
以下、本発明の基板処理装置をスクリーン印刷機として具現化した実施の形態について説明する。なお、以下の説明は、本発明のピン搬送装置の実施の形態の説明を含むものである。 Hereinafter, embodiments in which the substrate processing apparatus of the present invention is embodied as a screen printer will be described. In addition, the following description includes description of embodiment of the pin conveying apparatus of this invention.
<スクリーン印刷機の構成>
まず、本実施形態のスクリーン印刷機の構成について説明する。図1に、本実施形態のスクリーン印刷機の上面図を示す。図2に、図1のII−II方向断面図を示す。図3に、バックアップピンが垂直姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図を示す。図4に、バックアップピンが水平姿勢の場合のピン搬送装置の透過前面図を示す。図5に、図1のV−V方向断面図を示す。なお、図1においては、スクリーンマスク2を省略して示す。<Configuration of screen printer>
First, the configuration of the screen printing machine of this embodiment will be described. FIG. 1 shows a top view of the screen printing machine of the present embodiment. FIG. 2 shows a cross-sectional view in the II-II direction of FIG. FIG. 3 shows a transparent front view of the pin transport device when the backup pin is in a vertical posture. FIG. 4 shows a transparent front view of the pin transport device when the backup pin is in a horizontal posture. FIG. 5 shows a cross-sectional view in the VV direction of FIG. In FIG. 1, the screen mask 2 is omitted.
図1〜図5に示すように、本実施形態のスクリーン印刷機1は、スクリーンマスク2と、基板搬送装置3と、XYロボット4と、ピン搬送装置5と、ピンストッカ6と、ストッカ昇降装置7と、基板昇降装置8と、ベース9と、搬送装置用昇降装置90と、を備えている。
As shown in FIGS. 1 to 5, the
[ベース9、搬送装置用昇降装置90、基板搬送装置3]
図1、図2に示すように、搬送装置用昇降装置90は、いわゆるボールねじ機構である。搬送装置用昇降装置90は、シャフト900と、ナット901と、モータ902と、を備えている。モータ902は、ベース9の下側に配置されている。モータ902は、後述する基板搬送装置3駆動用(昇降用)のアクチュエータである。シャフト900は、上下方向に延在している。シャフト900は、モータ902の駆動力により、自身の軸周りに回転可能である。ナット901は、多数のボール(図略)を介して、シャフト900に螺合されている。ナット901は、基板搬送装置3の昇降テーブル32に取り付けられている。モータ902がシャフト900を回転させることにより、ナット901つまり昇降テーブル32を、ベース9に対して、昇降させることができる。[
As shown in FIGS. 1 and 2, the transporting
基板搬送装置3は、前後一対の壁部30と、ベルトコンベア31と、昇降テーブル32と、を備えている。基板搬送装置3は、ベース9の上側に配置されている。前後一対の壁部30は、昇降テーブル32の上面に立設されている。壁部30は、前側から見て、下側に開口するC字枠状を呈している。ベルトコンベア31は、前後一対のベルトを備えている。前後一対のベルトは、前後一対の壁部30の内面(前側の壁部30の後面、後側の壁部30の前面)に、対向して配置されている。ベルトコンベア31は、基板Bを左右方向に搬送する。すなわち、ベルトコンベア31は、基板搬送体である。
The
[基板昇降装置8]
基板昇降装置8は、バックアップテーブル80と、複数のバックアップピン81と、テーブル昇降装置82と、を備えている。バックアップテーブル80は、前後一対の壁部30間に配置されている。バックアップピン81は、バックアップテーブル80の上面に配置されている。バックアップピン81は、基板Bの下面を支持可能な、基板支持部材である。図2に示すように、基板Bの下面には、既に電子部品Pが配置されている場合がある。複数のバックアップピン81は、電子部品Pに干渉しない位置(水平方向座標)に、配置されている。[Substrate lifting device 8]
The
図5に示すように、バックアップピン81は、ピンベース部810と、被係合部811と、フランジ部812と、頂部813と、を備えている。ピンベース部810は、バックアップピン81の軸方向一端部(図3、図5に示す垂直姿勢における下部)に設定されている。ピンベース部810の下部は、後述するピン収容開口部60に収容される、被収容部である。ピンベース部810の外径は、バックアップピン81の他の部分と比較して、大径である。頂部813は、バックアップピン81の軸方向他端部(図3、図5に示す垂直姿勢における上端部)に設定されている。頂部813は、基板Bの下面を支持する、基板支持部である。フランジ部812は、バックアップピン81の軸方向中間部に設定されている。被係合部811は、フランジ部812の下側に設定されている。被係合部811は、フランジ部812よりも、小径である。すなわち、被係合部811は括れている。
As shown in FIG. 5, the
図2に示すように、テーブル昇降装置82は、いわゆるボールねじ機構である。テーブル昇降装置82の構成は、前述の搬送装置用昇降装置90と同様である。すなわち、テーブル昇降装置82は、シャフト820と、ナット821と、モータ822と、を備えている。モータ822は、バックアップテーブル80駆動用のアクチュエータである。モータ822がシャフト820を回転させることにより、ナット821つまりバックアップテーブル80を、昇降テーブル32に対して、昇降させることができる。
As shown in FIG. 2, the
[スクリーンマスク2、ピンストッカ6、ストッカ昇降装置7]
図2に示すように、スクリーンマスク2は、基板搬送装置3、基板昇降装置8の上側に配置されている。ピンストッカ6は、基板搬送装置3の後側に配置されている。ピンストッカ6は、基板Bを支持していないバックアップピン81の、待機スペースである。図5に示すように、ピンストッカ6の上面には、複数のピン収容開口部60が凹設されている。ピン収容開口部60は、バックアップピン81のピンベース部810の下部を、収容可能である。[Screen mask 2,
As shown in FIG. 2, the screen mask 2 is disposed above the
図2に示すように、ストッカ昇降装置7は、いわゆる流体(例えば気体(例えばエア)、液体(例えばオイル)など)シリンダである。ストッカ昇降装置7は、シリンダ本体70と、ロッド71と、を備えている。ストッカ昇降装置7は、ベース9とピンストッカ6との間に、介装されている。ロッド71は、シリンダ本体70に対して、上下方向に出入り可能である。ロッド71を上下方向に移動させることにより、ピンストッカ6を、ベース9に対して、昇降させることができる。なお、昇降時のピンストッカ6の移動方向は、ガイド機構(図略)により、上下方向に配向されている。
As shown in FIG. 2, the stocker elevating device 7 is a so-called fluid (for example, gas (for example, air), liquid (for example, oil)) cylinder. The stocker lifting / lowering device 7 includes a
[XYロボット4]
図1、図2に示すように、XYロボット4は、Xスライド40と、Yスライド41と、Xガイド部42と、左右一対のYガイド部43と、撮像装置44と、を備えている。左右一対のYガイド部43は、ベース9の上面の左右両縁に沿って配置されている。Yガイド部43は、前後方向に延在している。Yガイド部43は、後述するピン搬送装置5が壁部30に干渉しない高度に、配置されている。Yスライド41は、左右一対のYガイド部43間に架設されている。Yスライド41は、左右一対のYガイド部43に沿って、前後方向に移動可能である。Xガイド部42は、Yスライド41の上面に配置されている。Xガイド部42は、左右方向に延在している。Xスライド40は、Xガイド部42に沿って、左右方向に移動可能である。[XY robot 4]
As shown in FIGS. 1 and 2, the
撮像装置44は、Xスライド40の後部に配置されている。撮像装置44は、Xスライド40と共に、水平方向(前後左右方向)に移動可能である。撮像装置44は、上下両方向に視野を有している。撮像装置44から取得される画像を用いて、制御装置(図略)は、スクリーンマスク2と、基板Bと、の上下方向位置合わせを行っている。
The
[ピン搬送装置5]
図1、図2に示すように、ピン搬送装置5は、Xスライド40の前部に配置されている。ピン搬送装置5は、Xスライド40、撮像装置44と共に、水平方向に移動可能である。図1〜図4に示すように、ピン搬送装置5は、ブラケット50と、ピン保持部51と、係合部52と、姿勢切換部53と、ピン検知センサ54と、を備えている。[Pin conveying device 5]
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図1に示すように、ブラケット50(図3、図4においては点線で示す)は、Xスライド40の前端に取り付けられている。ブラケット50は、Xスライド40の前面および右面の一部を覆っている。ピン検知センサ54は、ブラケット50の右面に配置されている。ピン検知センサ54は、自身の後側に検知エリアを有している。ピン検知センサ54は、図4に示す水平姿勢のバックアップピン81を検知することができる。ピン検知センサ54は、図3に示す垂直姿勢のバックアップピン81を検知することはできない。
As shown in FIG. 1, the bracket 50 (shown by a dotted line in FIGS. 3 and 4) is attached to the front end of the
ピン保持部51は、円柱状を呈している。図3に示す垂直姿勢において、ピン保持部51は、上下方向に配向している。図4に示す水平姿勢において、ピン保持部51は、左右方向(基板Bの搬送方向)に配向している。ピン保持部51の軸方向一端(図3に示す垂直姿勢の場合は上端、図4に示す水平姿勢の場合は左端)には、揺動軸510が配置されている。揺動軸510は、ブラケット50に、自身の軸周りに回転可能に支持されている。ピン保持部51は、揺動軸510を中心に、図3に示す垂直姿勢と図4に示す水平姿勢との間で、揺動可能である。ピン保持部51の軸方向他端(図3に示す垂直姿勢の場合は下端、図4に示す水平姿勢の場合は右端)には、保持凹部511が配置されている。図3に示すように、保持凹部511は、バックアップピン81のフランジ部812よりも上側(頂部813側)の部分を、収容可能である。
The
係合部52は、保持凹部511の隣りに配置されている。具体的には、係合部52は、図3に示す垂直姿勢から図4に示す水平姿勢に切り換える際の、ピン保持部51の揺動方向後側に配置されている。図3に一点鎖線で示すように、係合部52は、揺動可能である。係合部52は、バックアップピン81の被係合部811に対して、係脱可能である。このため、係合部52は、バックアップピン81を着脱可能に保持することができる。
The engaging
姿勢切換部53は、流体シリンダ530と、ラック531と、第一ピニオン532と、第二ピニオン533と、を備えている。図1に示すように、流体シリンダ530は、ブラケット50の後側に配置されている。図3、図4に示すように、流体シリンダ530は、シリンダ本体530aと、ロッド530bと、を備えている。シリンダ本体530aは、ブラケット50の後面に取り付けられている。ロッド530bは、シリンダ本体530aに対して、左右方向に出入り可能である。
The
ラック531は、ロッド530bの右端(先端)に取り付けられている。第一ピニオン532は、ブラケット50の後面に、回転可能に取り付けられている。第一ピニオン532は、ラック531に噛合している。第二ピニオン533は、ブラケット50の後面に、回転可能に取り付けられている。第二ピニオン533は、第一ピニオン532に噛合している。第二ピニオン533の回転軸とピン保持部51の揺動軸510とは、互いに固定されている。
The
図3、図4に示すように、流体シリンダ530の駆動力は、ロッド530b、ラック531、第一ピニオン532、第二ピニオン533を介して、ピン保持部51に伝達される。ロッド530bを右側に動かすことにより、ピン保持部51を、図3に示す垂直姿勢から図4に示す水平姿勢に切り換えることができる。反対に、ロッド530bを左側に動かすことにより、ピン保持部51を、図4に示す水平姿勢から図3に示す垂直姿勢に切り換えることができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the driving force of the
<バックアップピン配置方法>
次に、本実施形態のスクリーン印刷機のピン搬送装置によるバックアップピン配置方法について説明する。バックアップピン配置方法は、ピン取得工程と、ピン搬送工程と、ピン解放工程と、を有している。<Backup pin placement method>
Next, a backup pin arrangement method by the pin conveyance device of the screen printing machine of this embodiment will be described. The backup pin arrangement method includes a pin acquisition process, a pin transport process, and a pin release process.
図6に、バックアップピン配置方法のピン取得工程の第一段階における、本実施形態のスクリーン印刷機の右側面図を示す。図7に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図8に、同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図9に、バックアップピン配置方法のピン搬送工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図10に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図11に、同工程の第三段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図12に、バックアップピン配置方法のピン解放工程の第一段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。図13に、同工程の第二段階における、同スクリーン印刷機の右側面図を示す。なお、図6〜図13は、図2(図1のII−II方向断面図)に対応している。 FIG. 6 is a right side view of the screen printing machine of the present embodiment in the first stage of the pin acquisition process of the backup pin arrangement method. FIG. 7 is a right side view of the screen printing machine in the second stage of the process. FIG. 8 is a right side view of the screen printing machine in the third stage of the process. FIG. 9 is a right side view of the screen printing machine in the first stage of the pin conveying process of the backup pin arrangement method. FIG. 10 is a right side view of the screen printing machine in the second stage of the process. FIG. 11 is a right side view of the screen printing machine in the third stage of the process. FIG. 12 is a right side view of the screen printing machine in the first stage of the pin releasing process of the backup pin arrangement method. FIG. 13 is a right side view of the screen printing machine in the second stage of the process. 6 to 13 correspond to FIG. 2 (a cross-sectional view in the II-II direction in FIG. 1).
[ピン取得工程]
本工程においては、ピンストッカ6からピン搬送装置5に、バックアップピン81を移動させる。まず、図6に示すように、スクリーンマスク2の下面と、後側の壁部30の上端と、の間に、高さL1の隙間を確保する。隙間は、バックアップピン81の搬送経路の最小幅部に相当する。すなわち、高さL1は、バックアップピン81の搬送経路の垂直方向最小幅に相当する。高さL1は、図3に示す垂直姿勢の際の垂直方向全長L2よりも小さい。高さL1は、図4に示す水平姿勢の際の垂直方向全長L3よりも大きい。このため、ピン搬送装置5は、図4に示す水平姿勢の際に限って、当該隙間を通過することができる。[Pin acquisition process]
In this step, the
次に、本工程においては、図6に示すように、制御装置がXYロボット4を駆動し、垂直姿勢のピン保持部51を、搬送対象のバックアップピン81の真上に配置する。続いて、図7に示すように、制御装置がストッカ昇降装置7を駆動し、ピンストッカ6を上昇させる。ピンストッカ6の上昇により、図3に示すように、バックアップピン81のフランジ部812よりも上側(頂部813側)の部分が、ピン保持部51の保持凹部511に、下側から挿入される。それから、図3に示すように、係合部52をバックアップピン81の被係合部811に係合させる。
Next, in this step, as shown in FIG. 6, the control device drives the
続いて、本工程においては、図8に示すように、制御装置がストッカ昇降装置7を駆動し、ピンストッカ6を下降させる。ピンストッカ6の下降により、図5に示すピン保持部51に保持されたバックアップピン81のピンベース部810は、ピンストッカ6のピン収容開口部60から、相対的に抜き出される。
Subsequently, in this step, as shown in FIG. 8, the control device drives the stocker lifting device 7 to lower the
[ピン搬送工程]
本工程においては、ピン搬送装置5が、バックアップテーブル80の所望の水平方向座標の真上まで、水平にバックアップピン81を搬送する。まず、図9に示すように、制御装置が姿勢切換部53を駆動し、ピン保持部51を略90°だけ揺動させる。すなわち、バックアップピン81を、図3に示す垂直姿勢から図4に示す水平姿勢に切り換える。姿勢の切換により、ピン搬送装置5の垂直方向全長は、L2(図3参照)からL3(図4参照)に、短縮される。すなわち、姿勢の切換により、ピン搬送装置5は、隙間(高さL1)を、通過可能な状態になる。制御装置は、ピン検知センサ54からの信号により、バックアップピン81が水平姿勢であることを確認する。[Pin transport process]
In this step, the
次に、図10に示すように、制御装置がXYロボット4を駆動し、水平姿勢のバックアップピン81を、バックアップテーブル80の所望の水平方向座標の真上に配置する。すなわち、制御装置は、ピン搬送装置5により、バックアップピン81を、隙間(高さL1)を経由して、搬送経路Aに沿って、水平方向(前後方向、必要な場合は左右方向)に搬送する。
Next, as shown in FIG. 10, the control device drives the
続いて、図11に示すように、制御装置が姿勢切換部53を駆動し、ピン保持部51を略90°だけ再び揺動させる。すなわち、バックアップピン81を、図4に示す水平姿勢から図3に示す垂直姿勢に切り換える。
Subsequently, as shown in FIG. 11, the control device drives the
[ピン解放工程]
本工程においては、ピン搬送装置5からバックアップテーブル80に、バックアップピン81を移動させる。まず、図12に示すように、制御装置がテーブル昇降装置82を駆動し、バックアップテーブル80を上昇させる。バックアップテーブル80の上昇により、図5に示すように、ピン保持部51に保持されたバックアップピン81のピンベース部810が、バックアップテーブル80に載置される。[Pin release process]
In this step, the
次に、図3に一点鎖線で示すように、係合部52をバックアップピン81の被係合部811から離脱させる。続いて、図13に示すように、制御装置がテーブル昇降装置82を駆動し、バックアップテーブル80を下降させる。バックアップテーブル80の下降により、図3に示すように、バックアップピン81のフランジ部812よりも上側(頂部813側)の部分が、ピン保持部51の保持凹部511から、相対的に抜き出される。バックアップピン81は、バックアップテーブル80に残留する。
Next, as shown by a one-dot chain line in FIG. 3, the engaging
このようにして、本実施形態のバックアップピン配置方法においては、バックアップテーブル80の所望の位置に、所望の本数だけ、バックアップピン81を配置する。その後、図2に示すように、バックアップピン81は、基板搬送装置3に搬入された基板Bの下面を、支持する。それから、制御装置が搬送装置用昇降装置90を用いて基板搬送装置3を上昇させ、隙間(高さL1)を消費して、基板Bの上面をスクリーンマスク2の下面に当接させる。続いて、制御装置が、スキージ装置(図略)を用いて基板Bにはんだを印刷する。その後、制御装置が搬送装置用昇降装置90を用いて基板搬送装置3を下降させ、スクリーンマスク2から基板Bを離間させる。
Thus, in the backup pin arrangement method of the present embodiment, the desired number of
<ピン配置機構による誤配置抑制方法>
次に、本実施形態のスクリーン印刷機のピン配置機構による、ピンストッカ6に対するバックアップピン81の誤配置抑制方法について説明する。バックアップピン81の種類は一種類ではない。バックアップピン81は、スクリーン印刷機1のみならず、基板Bに電子部品Pを装着する電子部品実装機においても、用いられる。このため、双方の機械において、各々専用のバックアップピン81が用いられる場合がある。また、スクリーン印刷機1の機種や、基板Bの種類などにより、使用するバックアップピン81が異なる場合がある。このため、バックアップピン81をピンストッカ6に配置する際に、正規のバックアップピン81(当該ピンストッカ6用のバックアップピン81)に混じって、非正規のバックアップピン81(当該ピンストッカ6用ではないバックアップピン81)が、誤配置されてしまう場合がある。<Incorrect placement suppression method using pin placement mechanism>
Next, a method for suppressing erroneous placement of the backup pins 81 with respect to the
例えば、電子部品実装機用のバックアップピン81を、スクリーン印刷機1のピンストッカ6に、誤って配置してしまうと、スクリーン印刷機1のピンストッカ6に、スクリーン印刷機1用のバックアップピン81と、電子部品実装機用のバックアップピン81と、が混在することになる。また、これらのバックアップピン81が、ピン搬送装置5により、バックアップテーブル80に搬送されてしまうと、バックアップテーブル80に、スクリーン印刷機1用のバックアップピン81と、電子部品実装機用のバックアップピン81と、が混在することになる。この場合、基板Bを、所定の高度に、かつ水平に、支持することが困難になる。
For example, if the
この点、本実施形態のスクリーン印刷機1は、ピン配置機構を備えている。図14に、三種類のバックアップピンの右側面図を示す。ピン配置機構10は、図14に示すバックアップピン81、81a、81bと、図1、図2、図5に示すピンストッカ6と、を備えている。三種類のバックアップピン81、81a、81bのうち、バックアップピン81は、本実施形態のスクリーン印刷機1用である。残りの二種類のバックアップピン81a、81bは、電子部品実装機用である。
In this regard, the
三種類のバックアップピン81、81a、81bのピンベース部810、810a、810bの径方向断面は、真円状を呈している。また、図1に示すように、ピンベース部810用のピン収容開口部60は、上側から見て真円状を呈している。同様に、ピンベース部810a、810b用のピン収容開口部は、上側から見て真円状を呈している。
The radial direction cross sections of the
三種類のバックアップピン81、81a、81bの軸方向全長C、Ca、Cbと、ピンベース部810、810a、810bの外径(直径)D、Da、Dbと、は対応している。すなわち、軸方向全長C、Ca、Cbが大きいほど、外径D、Da、Dbは大径である。図5に示すように、バックアップピン81用のピン収容開口部60の内径は、軸方向全長Cのバックアップピン81の外径Dと略等しい。同様に、バックアップピン81a、81b用のピン収容開口部の内径は、バックアップピン81a、81bの外径Da、Dbと略等しい。
The axial lengths C, Ca, Cb of the three types of backup pins 81, 81a, 81b correspond to the outer diameters (diameters) D, Da, Db of the
ここで、図14に示すように、バックアップピン81bのピンベース部810bの外径Dbは、バックアップピン81のピンベース部810の外径Dよりも小径である。このため、バックアップピン81bのピンベース部810bは、図5に示すピンストッカ6のピン収容開口部60に、収容可能である。すなわち、誤配置可能である。
Here, as shown in FIG. 14, the outer diameter Db of the
しかしながら、非正規のバックアップピン81bは、正規のバックアップピン81よりも、軸方向全長が小さい。一方、図6〜図8に示すピンストッカ6の昇降ストロークは一定である。このため、ピン搬送装置5でバックアップピン81bを搬送しようとしても、被係合部811に係合部52が届かない(図3、図7参照)。したがって、ピン搬送装置5でバックアップピン81bを搬送することはできない。
However, the
ここで、仮に、バックアップピン81、81a、81bの軸方向全長C、Ca、Cbに応じて、ピンストッカ6の昇降ストロークを調整可能である場合、図2に示すように、バックアップテーブル80にバックアップピン81bが誤配置されることが想定される。しかしながら、この場合、バックアップピン81bは基板Bの下面に届かない。基板Bは、正規のバックアップピン81だけにより、支持される。よって、基板Bを、所定の高度に、かつ水平に、支持することができる。
Here, if the up / down stroke of the
また、図14に示すように、バックアップピン81aのピンベース部810aの外径Daは、バックアップピン81のピンベース部810の外径Dよりも大径である。このため、バックアップピン81aのピンベース部810aは、図5に示すピンストッカ6のピン収容開口部60に、収容不可能である。このため、正規のバックアップピン81よりも軸方向全長が大きいバックアップピン81aが、バックアップテーブル80に誤配置されるのを、未然に防止することができる。よって、基板Bを、所定の高度に、かつ水平に、支持することができる。
Further, as shown in FIG. 14, the outer diameter Da of the pin base portion 810 a of the
<作用効果>
次に、本実施形態のスクリーン印刷機の作用効果について説明する。本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図3、図4に示すように、垂直姿勢よりも垂直方向全長が小さい水平姿勢で、バックアップピン81を搬送することができる。このため、図10に示すように、搬送経路Aの高さL1を小さくすることができる。<Effect>
Next, the effect of the screen printing machine of this embodiment is demonstrated. According to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図3、図4に示すように、ピン保持部51を揺動させることにより、バックアップピン81の姿勢を垂直姿勢と水平姿勢とに切り換えることができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図3、図4に示すように、バックアップピン81を、垂直姿勢から水平姿勢に、略90°揺動させることができる。このため、バックアップピン81、延いてはピン搬送装置5の垂直方向全長を、大幅に短縮することができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1によると、図1〜図4に示すように、上側から見て、基板搬送装置3における基板Bの搬送方向(左右方向)と、垂直姿勢から水平姿勢に移行する際のバックアップピン81の姿勢切換方向(左右方向)と、は互いに平行である。このため、スクリーン印刷機1の奥行き(前後方向全長)を、小さくすることができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5には、図4に示すように、ピン検知センサ54が配置されている。このため、バックアップピン81を水平方向に搬送する前に、バックアップピン81の姿勢が水平姿勢であることを、制御装置が確認することができる。
Further, as shown in FIG. 4, a
また、仮に、バックアップピン81自体ではなく、姿勢切換部53やピン保持部51などバックアップピン81以外の部位を基に、制御装置が、バックアップピン81の姿勢の確認を、行う場合を想定する。例えば、ロッド530b、第一ピニオン532、第二ピニオン533などの移動量を基に、制御装置がバックアップピン81の姿勢の確認を行う場合を想定する。この場合、実際にはピン保持部51にバックアップピン81が保持されていない場合であっても、バックアップピン81の姿勢が水平姿勢であると、制御装置が誤認識するおそれがある。
Further, it is assumed that the control device checks the posture of the
この点、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図4に示すように、ピン検知センサ54は、バックアップピン81自体を検知している。このため、制御装置は、バックアップピン81自体の有無を基に、バックアップピン81の姿勢を確認することができる。したがって、バックアップピン81の姿勢を、制御装置が誤認識するおそれが小さい。
In this regard, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1によると、図1に示すように、ピン搬送装置5の移動用として、撮像装置44用のXスライド40を、転用している。このため、ピン搬送装置5専用のスライドを配置する場合と比較して、スクリーン印刷機1の部品点数が少なくなる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図4に示す水平姿勢において、ピン搬送装置5の垂直方向全長L3内に、バックアップピン81が収まっている。このため、水平姿勢におけるピン搬送装置5(バックアップピン81を含む)の垂直方向全長L3を、小さくすることができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図3、図4に示すように、バックアップピン81が揺動する際、係合部52がバックアップピン81の下側に配置される。このため、係合部52が被係合部811から外れにくい。すなわち、バックアップピン81がピン保持部51から脱落しにくい。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン搬送装置5によると、図3に示す垂直姿勢の際のロッド530bの位置は、ロッド530bの往復動ストロークの左端よりも右側(ストローク限界の内側)に、設定されている。また、図4に示す水平姿勢の際のロッド530bの位置は、ロッド530bの往復動ストロークの右端よりも左側(ストローク限界の内側)に、設定されている。すなわち、図3に示す垂直姿勢、図4に示す水平姿勢は、ロッド530bの往復動ストローク全域を使用しないように、設定されている。このため、水平姿勢、垂直姿勢が、姿勢切換部53のバックラッシの影響を受けにくい。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン配置機構10によると、図14に示すピンベース部810aは、図5に示すピンベース部810用のピン収容開口部60に、干渉してしまう。このため、バックアップピン81aをピンストッカ6に配置することができない。一方、図14に示すピンベース部810、810bは、図5に示すピンベース部810用のピン収容開口部60に、干渉しない。このため、バックアップピン81、81bをピンストッカ6に配置することができる。したがって、任意のピンストッカ6に対して、別のピンストッカ6用のバックアップピン81aが配置されるのを、抑制することができる。すなわち、ピンストッカ6に対するバックアップピン81aの誤配置を抑制することができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン配置機構10によると、図14に示すピンベース部810、810a、810bと、図5に示すピン収容開口部60と、の物理的な干渉の有無を基に、ピンストッカ6に対するバックアップピン81、81a、81bの誤配置を抑制している。このため、電気的な手段によりバックアップピン81、81a、81bの誤配置を抑制する場合と比較して、制御回路の電気的な構成を簡単にすることができる。
Further, according to the
また、本実施形態のスクリーン印刷機1のピン配置機構10によると、図14に示すように、三種類のバックアップピン81、81a、81bの軸方向全長C、Ca、Cbと、ピンベース部810、810a、810bの外径(直径)D、Da、Dbと、は対応している。すなわち、軸方向全長C、Ca、Cbが大きいほど、外径D、Da、Dbは大径である。図14に示す大径のピンベース部810aは、図5に示す小径のピン収容開口部60に入らない。このため、軸方向全長Cが小さい(背が低い)バックアップピン81と共に、軸方向全長Caが大きい(背が高い)バックアップピン81aが、基板Bを支持してしまうおそれが小さい。すなわち、基板Bが傾いて支持されるおそれが小さい。
Further, according to the
一方、図14に示す小径のピンベース部810bは、図5に示す大径のピン収容開口部60に入る。しかしながら、ピンストッカ6の昇降ストロークは一定である。このため、ピン搬送装置5でバックアップピン81bを搬送しようとしても、被係合部811に係合部52が届かない(図3、図7参照)。したがって、ピン搬送装置5でバックアップピン81bを搬送することはできない。仮に、ピン搬送装置5でバックアップピン81bを搬送することができたとしても、図2に示すように、バックアップテーブル80にバックアップピン81bが誤配置されることも考えられる。しかしながら、軸方向全長Cbが小さいバックアップピン81bは、基板Bまで届かない。このため、軸方向全長Cが大きいバックアップピン81だけで、基板Bを支持することができる。したがって、基板Bが傾いて支持されるおそれが小さい。
On the other hand, the small-diameter
<ピン配置機構による誤配置抑制方法のバリエーション>
ピン配置部(ピンストッカ6、ピン搬送装置5)に対する、バックアップピン81の誤配置抑制方法は特に限定しない。以下、誤配置抑制方法を例示する。<Variation of misplacement suppression method by pin placement mechanism>
The method for suppressing the erroneous placement of the backup pins 81 with respect to the pin placement portion (
図15に、ピンストッカのピン収容開口部の上面図を示す。なお、図1と対応する部位については、同じ符号で示す。図15に示すように、バックアップピン81(図1参照)用のピン収容開口部60は、上側から見て真円状を呈している。
FIG. 15 shows a top view of the pin receiving opening of the pin stocker. In addition, about the site | part corresponding to FIG. 1, it shows with the same code | symbol. As shown in FIG. 15, the
一方、図15に点線で示すように、非正規のバックアップピン(その1)のピンベース部810cは三角形状を呈している。当該三角形の外接円の直径は、ピン収容開口部60の内径よりも、大径である。このため、ピンベース部810cは、ピン収容開口部60に干渉する。
On the other hand, as shown by a dotted line in FIG. 15, the pin base portion 810c of the non-regular backup pin (No. 1) has a triangular shape. The diameter of the circumscribed circle of the triangle is larger than the inner diameter of the
また、非正規のバックアップピン(その2)のピンベース部810dは四角形状を呈している。当該四角形の外接円の直径は、ピン収容開口部60の内径よりも、大径である。このため、ピンベース部810cは、ピン収容開口部60に干渉する。
Further, the
このように、ピンベース部810c、810dとピン収容開口部60との形状の異同に基づいて、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制してもよい。この場合であっても、ピンストッカに対するバックアップピンの誤配置を抑制することができる。また、作業者は、ピンベース部810c、810dがピン収容開口部60に干渉する以前に、視覚や触覚を通じて、ピンベース部810c、810dとピン収容開口部60との形状の異同を、容易に認識することができる。
As described above, based on the difference in shape between the
図16に、垂直姿勢におけるバックアップピンの被係合部の径方向断面図を示す。なお、図3と対応する部位については、同じ符号で示す。図16に示すように、係合部52の右縁には、C字状の係合凹部520が形成されている。図16に点線で示すように、係合凹部520の内径(直径)は、正規のバックアップピン81の被係合部811の外径(直径)と、略一致している。ここで、バックアップピン81用のピンストッカ6には、バックアップピン81eが誤配置されている。しかしながら、バックアップピン81eの被係合部811eの外径は、係合凹部520の内径(直径)よりも、大径である。このため、係合凹部520は、被係合部811eに係合することができない。すなわち、係合凹部520は、被係合部811eに干渉してしまう。このように、係合部52と被係合部811、811eとの径の異同に基づいて、ピン搬送装置5(図3参照)に対するバックアップピン81eの誤配置を抑制してもよい。
FIG. 16 shows a radial cross-sectional view of the engaged portion of the backup pin in the vertical posture. In addition, about the site | part corresponding to FIG. 3, it shows with the same code | symbol. As shown in FIG. 16, a C-shaped
図17に、垂直姿勢におけるバックアップピンの前面図を示す。なお、図3と対応する部位については、同じ符号で示す。図17に示すように、非正規のバックアップピン81fの被係合部811fの上下方向位置(軸方向位置)は、正規のバックアップピン(点線で示す)の被係合部811の上下方向位置よりも、下側に設定されている。このため、係合部52は、被係合部811fに係合することができない。このように、係合部52と被係合部811、811fとの軸方向位置の異同に基づいて、ピン搬送装置5(図3参照)に対するバックアップピン81eの誤配置を抑制してもよい。
FIG. 17 shows a front view of the backup pin in the vertical posture. In addition, about the site | part corresponding to FIG. 3, it shows with the same code | symbol. As shown in FIG. 17, the vertical position (axial position) of the engaged
また、図5に示すバックアップピン81の頂部813の形状の異同に基づいて、ピンストッカ6やピン搬送装置5(図3参照)に対するバックアップピン81eの誤配置を抑制してもよい。
Moreover, based on the difference in the shape of the
また、図2に示すように、ピンストッカ6に配置されたバックアップピン81の頂部813を、撮像装置44を用いて撮像してもよい。すなわち、頂部813を、撮像用識別部として利用してもよい。こうすると、撮像装置44が取得した画像を基に、制御装置が、ピン搬送装置5に対するバックアップピン81の配置の可否を、自動的に判別することができる。このため、被係合部811と係合部52とが物理的に干渉する以前に、ピン搬送装置5に対するバックアップピン81の誤配置を抑制することができる。つまり、バックアップピン81の誤配置に対して、ダブルチェックを行うことができる。
In addition, as shown in FIG. 2, the top 813 of the
例えば、画像に頂部813が含まれている場合は、頂部813の形状や大きさなどを基に、制御装置が、ピン搬送装置5に対するバックアップピン81の配置の可否を、自動的に判別することができる。
For example, when the
一方、画像に頂部813が含まれていない場合は、頂部813が撮像されていないという事実を基に、制御装置が、ピン搬送装置5に対するバックアップピン81の配置の可否を、自動的に判別することができる。
On the other hand, when the
なお、画像を利用したバックアップピン81の誤配置抑制方法は、被係合部811と係合部52との物理的干渉を利用したバックアップピン81の誤配置抑制方法から、独立して実行してもよい。こうすると、被係合部811と係合部52との物理的干渉を回避することができる。このため、当該物理的干渉による不具合が被係合部811や係合部52に発生しにくくなる。
It should be noted that the
<その他>
以上、本発明の基板処理装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。<Others>
The embodiment of the substrate processing apparatus of the present invention has been described above. However, the embodiment is not particularly limited to the above embodiment. Various modifications and improvements that can be made by those skilled in the art are also possible.
上記実施形態においては、図2に示すように、スクリーン印刷機1に基板搬送装置3を一つだけ配置した。しかしながら、スクリーン印刷機1に、基板搬送装置3を、前後方向に複数並置してもよい。
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, only one
ピンストッカ6の配置場所は特に限定しない。基板搬送装置3の前側に配置してもよい。スクリーン印刷機1が複数の基板搬送装置3を備えている場合は、最後方の基板搬送装置3の後側にピンストッカ6を配置してもよい。また、前後方向に隣り合う一対の基板搬送装置3の間にピンストッカ6を配置してもよい。ピンストッカ6の配置数は特に限定しない。単一のスクリーン印刷機1に、複数のピンストッカ6を配置してもよい。
The location of the
ストッカ昇降装置7と基板昇降装置8とは、共用であってもよい。すなわち、ピンストッカ6とバックアップテーブル80とを、共通の流体シリンダやボールねじ機構により、昇降してもよい。
The stocker lifting device 7 and the
また、上記実施形態においては、基板Bをスクリーンマスク2に当接させる際、基板Bを上昇させた。しかしながら、スクリーンマスク2を下降させてもよい。ピン検知センサ54の種類は特に限定しない。誘導型、静電容量型、超音波型、光電型、磁気型などの非接触式センサであってもよい。また、リミットスイッチなどの接触式センサであってもよい。
Moreover, in the said embodiment, when making the board | substrate B contact | abut to the screen mask 2, the board | substrate B was raised. However, the screen mask 2 may be lowered. The type of the
姿勢切換部53の構成は特に限定しない。バックアップピン81の姿勢を、第一姿勢と第二姿勢とに切換可能であればよい。例えば、図3、図4に示すブラケット50に、ガイド部を配置してもよい。また、ピン保持部51に被ガイド部を配置してもよい。そして、ピン保持部51つまりバックアップピン81が第一姿勢になるように、ガイド部の一端を形成すればよい。同様に、ピン保持部51つまりバックアップピン81が第二姿勢になるように、ガイド部の他端を形成すればよい。ピン保持部51におけるバックアップピン81の着脱機構は特に限定しない。例えば、係合機構、螺合機構(ねじ留め機構)、吸着機構などを用いてもよい。
The configuration of the
第一姿勢は、図3に示す垂直姿勢でなくてもよい。第二姿勢は、図4に示す水平姿勢でなくてもよい。第一姿勢から第二姿勢に切り換わる際のバックアップピン81の揺動方向は特に限定しない。揺動方向は、図3に示す下側から右側に回る方向の他、下側から左側に回る方向、下側から前側に回る方向、下側から後側に回る方向であってもよい。
The first posture may not be the vertical posture shown in FIG. The second posture may not be the horizontal posture shown in FIG. The swing direction of the
ピン側識別部(ピンベース部810、被係合部811)、配置部側識別部(ピン収容開口部60、係合部52)、撮像用識別部(頂部813)の形状、大きさ、配置場所、配置数は特に限定しない。例えば、これらの識別部の形状は、真円状、楕円状、多角形(三角形、四角形、五角形、六角形など)状などであってもよい。また、本発明の基板処理装置は、電子部品実装機、基板外観検査機などとして具現化してもよい。
Shape, size, and arrangement of pin-side identification portion (
1:スクリーン印刷機(基板処理装置)、2:スクリーンマスク、3:基板搬送装置、30:壁部、31:ベルトコンベア、32:昇降テーブル、4:XYロボット、40:Xスライド、41:Yスライド、42:Xガイド部、43:Yガイド部、44:撮像装置、5:ピン搬送装置、50:ブラケット、51:ピン保持部、510:揺動軸、511:保持凹部、52:係合部、520:係合凹部、53:姿勢切換部、530:流体シリンダ、530a:シリンダ本体、530b:ロッド、531:ラック、532:第一ピニオン、533:第二ピニオン、54:ピン検知センサ、6:ピンストッカ、60:ピン収容開口部、7:ストッカ昇降装置、70:シリンダ本体、71:ロッド、8:基板昇降装置、80:バックアップテーブル、81:バックアップピン、81a:バックアップピン、81b:バックアップピン、81e:バックアップピン、81f:バックアップピン、810:ピンベース部、810a:ピンベース部、810b:ピンベース部、810c:ピンベース部、810d:ピンベース部、811:被係合部、811e:被係合部、811f:被係合部、812:フランジ部、813:頂部、82:テーブル昇降装置、820:シャフト、821:ナット、822:モータ、9:ベース、90:搬送装置用昇降装置、900:シャフト、901:ナット、902:モータ、10:ピン配置機構、A:搬送経路、B:基板、C:軸方向全長、Ca:軸方向全長、Cb:軸方向全長、D:外径、Da:外径、Db:外径、L1:高さ、L2:垂直方向全長、L3:垂直方向全長、P:電子部品。 1: screen printer (substrate processing apparatus), 2: screen mask, 3: substrate transfer apparatus, 30: wall, 31: belt conveyor, 32: lifting table, 4: XY robot, 40: X slide, 41: Y Slide: 42: X guide portion, 43: Y guide portion, 44: Imaging device, 5: Pin transport device, 50: Bracket, 51: Pin holding portion, 510: Oscillating shaft, 511: Holding recess, 52: Engagement , 520: engagement recess, 53: posture switching unit, 530: fluid cylinder, 530a: cylinder body, 530b: rod, 531: rack, 532: first pinion, 533: second pinion, 54: pin detection sensor, 6: Pin stocker, 60: Pin housing opening, 7: Stocker lifting device, 70: Cylinder body, 71: Rod, 8: Substrate lifting device, 80: Backup table, 8 : Backup pin, 81a: Backup pin, 81b: Backup pin, 81e: Backup pin, 81f: Backup pin, 810: Pin base part, 810a: Pin base part, 810b: Pin base part, 810c: Pin base part, 810d: Pin base portion, 811: engaged portion, 811e: engaged portion, 811f: engaged portion, 812: flange portion, 813: top portion, 82: table lifting device, 820: shaft, 821: nut, 822: Motor: 9: Base, 90: Lifting device for transfer device, 900: Shaft, 901: Nut, 902: Motor, 10: Pin arrangement mechanism, A: Transfer path, B: Substrate, C: Full axial length, Ca: Shaft Total length in direction, Cb: Total length in axial direction, D: Outer diameter, Da: Outer diameter, Db: Outer diameter, L1: Height, L2: Full length in the vertical direction, L3: The direction perpendicular to the overall length, P: electronic parts.
Claims (6)
第一姿勢と、該第一姿勢に対して垂直方向全長が小さくなるように前記バックアップピンを傾斜させた第二姿勢と、に該バックアップピンの姿勢を切り換える姿勢切換部を備え、該第二姿勢で該バックアップピンを搬送することを特徴とするピン搬送装置。A pin transport device for transporting a backup pin that supports a substrate,
A posture switching unit that switches the posture of the backup pin between a first posture and a second posture in which the backup pin is inclined so that a total length in a direction perpendicular to the first posture is small; A pin transport device for transporting the backup pin.
前記姿勢切換部は、該ピン保持部を揺動させる請求項1に記載のピン搬送装置。A pin holding part for holding the backup pin in a removable manner;
The pin conveyance device according to claim 1, wherein the posture switching unit swings the pin holding unit.
前記第二姿勢は、該バックアップピンの軸方向が水平方向を向く水平姿勢である請求項1または請求項2に記載のピン搬送装置。The first posture is a vertical posture in which the axial direction of the backup pin faces the vertical direction,
3. The pin transport device according to claim 1, wherein the second posture is a horizontal posture in which an axial direction of the backup pin faces a horizontal direction.
該基板を支持する該バックアップピンが配置されるバックアップテーブルと、
を備え、
前記ピン搬送装置は、該ピンストッカと該バックアップテーブルとの間の搬送経路に沿って、該バックアップピンを搬送し、
該搬送経路の垂直方向最小幅は、前記第一姿勢の該バックアップピンを保持している該ピン搬送装置の垂直方向全長よりも小さく、前記第二姿勢の該バックアップピンを保持している該ピン搬送装置の垂直方向全長よりも大きい請求項4に記載の基板処理装置。A pin stocker that does not support the substrate and accommodates the standby backup pin;
A backup table on which the backup pins for supporting the substrate are disposed;
With
The pin transport device transports the backup pin along a transport path between the pin stocker and the backup table,
The vertical minimum width of the transfer path is smaller than the total length in the vertical direction of the pin transfer device holding the backup pin in the first position, and the pin holding the backup pin in the second position The substrate processing apparatus according to claim 4, wherein the substrate processing apparatus is larger than a total vertical length of the transfer apparatus.
上側から見て、該基板搬送装置における該基板の搬送方向と、前記第一姿勢から前記第二姿勢に移行する際の前記バックアップピンの姿勢切換方向と、は互いに平行である請求項5に記載の基板処理装置。A substrate transfer device for transferring the substrate;
6. The substrate transport direction of the substrate transport apparatus and the orientation switching direction of the backup pin when shifting from the first orientation to the second orientation are parallel to each other when viewed from above. Substrate processing equipment.
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