JP6171179B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、各種電子機器、電気機器、産業機器、自動車用機器等に使用される電子部品の製造方法に関するものである。
昨今、電子機器等のデジタル化の進展に伴い、電子部品に対しても、より小型、薄型のものが求められるようになってきている。例えば、平滑回路や制御回路に使用される電子部品であるコンデンサに対して、小型、大容量で高周波領域における等価直列抵抗(以下、ESRと略す)の小さいものが要望されている。代表的なコンデンサとして、電解質として駆動用電解液を用いた電解コンデンサがある。この種の電解コンデンサは、駆動用電解液の液量が少ないとESRが高くなり、また、寿命も短くなるため、小型化していけばいくほど、駆動用電解液の液量管理が非常に重要となる。特に高信頼性が必要となる自動車電装用途では、コンデンサ一品一品における液量管理が大変重要となってくる。
ここで、図6は、従来の電子部品の一例である、巻回形アルミ電解コンデンサの構成を示した断面図である。
この従来の巻回形アルミ電解コンデンサは、図6に示すように、機能素子であるコンデンサ素子52と、このコンデンサ素子52にそれぞれ一方の端部を接続した一対のリード線51a、51bと、これらリード線51a、51bの他方の端部を外部に導出するようにして、コンデンサ素子52を駆動用電解液(図示せず)と共に封じた外装体55とからなっている。
また、前記外装体55は、駆動用電解液を含浸したコンデンサ素子52を収納した有底筒状の外装ケース53と、前記リード線51a、51bをそれぞれ挿通させる貫通孔54a、54bを有する封口体54とを備える。封口体54は、外装ケース53の開口部に配置され、外装ケース53の外周面に設けた絞り加工部53aで圧縮変形させることによって外装ケース53の開口部を封止する。なお、封口体54には、ゴムパッキングが用いられている。
また、前記コンデンサ素子52は、図7に示すように、アルミニウム等の弁金属からなる陽極箔52aと、アルミニウム等の弁金属からなる陰極箔52bとを、セパレータ52cを介して積層して巻回することにより構成されている。陽極箔52aは、弁金属からなる箔をエッチング処理により粗面化し、その表面には化成処理によって陽極酸化皮膜の誘電体層が形成されている。そして、前記リード線51a、51bは、それらの一方の端部が陽極箔52aと陰極箔52bにそれぞれ接続されており、それらの他方の端部はコンデンサ素子52の同一端面より引出されている。
次に、以上のように構成した従来のコンデンサの製造方法について説明する。
まず、図7に示すように、陽極酸化皮膜の誘電体層を表面に有するアルミニウム等の弁金属からなる陽極箔52aと、陰極箔52bと、セパレータ52cとを準備する。一対のリード線51a、51bの一方の端部は、それぞれ陽極箔52aと陰極箔52bに接続される。陽極箔52aと陰極箔52bは、セパレータ52cを介在させてロール状に捲回され、その外周側面を絶縁テープ52dで捲き止めて固定されることで、コンデンサ素子52が形成される。
その後、コンデンサ素子52は、所定量の駆動用電解液を注入しておいたアルミニウム製の外装ケース53に収納され、駆動用電解液が含浸される。
なお、従来の駆動用電解液を外装ケース53に注入する方法として、駆動用電解液を液タンクからポンプで吸い上げてホース等の配管で搬送し、配管の先端に取り付けたノズルから吐出して外装ケース53内に注入する方法がある。
次に、この外装ケース53の開口部にゴムパッキングの封口体54が配置される。
その後、外装ケース53の開口部を外周側面から巻き締めて絞り加工部53aが形成され、外装ケース53が密封される。
次に、リード線51a、51bの間に電圧を印加して再化成(エージング)を行い、コンデンサが作製される。
ここで、上記従来のコンデンサの製造過程において、駆動用電解液の液量計測方法として、いくつかの方法が考えられる。一般的な方法としては、次のような方法である。先ず、空の外装ケース53の重量と、外装ケース53に駆動用電解液を注入した総重量とを測定する。そして、総重量から空の外装ケース53の重量を差し引いて、駆動用電解液の重量を算出する。
しかし、重量測定にmgオーダーでの測定精度が必要となるような場合、高精度な電子天秤により重量を測定しなければならない。このため、この従来の方法は、昨今求められている小型の電子部品に対しては、量産設備の振動を受け易く、また、設備タクトの高速化に追従することが困難であり、オンライン化ができない。
一方、別の液重量計測方法として、ノズルから滴状に複数個の滴下を行い、液滴による遮光時間を計測することにより、滴下したトータルの液量を測定する方法がある。
また、その他の液重量計測方法として、ノズルから滴下を行い、規定のサンプリングタイムで液幅データをサンプリングし、遮光時間により、吐出したトータルの液量を測定する方法がある。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1、2が知られている。
特開2005−140514号公報 特開平5−248899号公報
しかし、上記従来のコンデンサのように、駆動用電解液に代表される液を内蔵する電子部品においては、上記従来の液量計測方法では課題がある。
まず、特許文献1に示された液量測定の方法では、次のような不具合がある。(1)図5に示されるように液体積と遮光時間の関係式が、直線関係に無いため、遮光時間を液量に変換するための換算式が複雑となる。(2)温度変化や液種により液の粘度や表面張力が変わると、一滴の体積が変化して換算式が変わるため、都度実験的に求める必要がある。(3)滴下するため、規定量吐出するのに時間がかかり生産性を上げられない。
また、特許文献2に示された液量管理方法では、次のような不具合がある。(1)液幅データを計測するための1次元(ライン)センサーが必要となる。(2)時間データと液幅データにより液量を算出するため高度な演算機能が必要となる。(3)パイプやホースに累積形成された気泡が吐出液内に含まれていても液量として計測され、正確な液量が測定できない。さらに、ポンプを用いて連続的に液吐出を行った場合、液中の小さな気泡がパイプやホース壁面やポンプ内に累積されて直径が1〜3mm程度の大きな気泡となる。この大きな気泡が液と一緒に排出された場合、繰返し吐出精度の高いポンプを用いても、吐出液量が1〜9μL少なくなる、という不具合がある。その結果、電子部品の寿命が短くなるという課題が生じる。
そこで本発明は、このような従来の課題を解決し、簡単な構成で、液の粘度や液中の気泡に関係なく、mgまたはmLオーダーの正確な液量をオンラインで測定できる吐出液の液量計測方法を提供する。さらに、この方法を用いることにより、高信頼性を有すると共に生産性を向上させることができる電子部品の製造方法を提供する。
上記目的を達成するために本発明は、電子部品素子に液剤を含浸して保持または乾燥させた電子部品本体を備える電子部品の製造方法であって、タンクに貯留された液剤を、該タンクに繋がる配管の一端に設けられたノズルから断続的に吐出させる工程と、前記ノズルから吐出された液剤を容器に注入し、該容器内に溜まった液剤に前記電子部品素子を浸漬することにより、前記電子部品素子に前記液剤を含浸する工程とを備え、前記ノズルから吐出された液剤が前記容器に到着するまでの経路内の1点に光を連続的または周期的に照射し、前記液剤が前記経路内の前記1点を通過することによる前記光の反射または遮断を光センサーで検出し、該光センサーが前記光の反射または遮断を検出した時間の長さを積算することにより、前記容器に注入された液剤の量を計測する工程をさらに備える電子部品の製造方法である。
また、本発明は、電子部品素子に液剤を含浸して保持または乾燥させた電子部品本体を備える電子部品の製造方法であって、タンクに貯留された液剤を、該タンクに繋がる配管の先端に設けられたノズルから吐出させる工程と、前記ノズルから吐出された液剤を前記電子部品素子に注入することにより、前記電子部品素子に前記液剤を含浸する工程とを備え、前記ノズルから吐出された液剤が前記電子部品素子に到着するまでの経路内の1点に光を連続的または周期的に照射し、前記液剤が前記経路内の前記1点を通過することによる前記光の反射または遮断を光センサーで検出し、該光センサーが前記光の反射または遮断を検出した時間の長さを積算することにより、前記電子部品素子に注入された液剤の量を計測する工程をさらに備える電子部品の製造方法である。
本発明によれば、吐出液の量を高精度で計測することにより、電気特性を安定させるとともに、生産性を向上させる電子部品の製造方法を提供する。
本発明の実施の形態1による吐出液の液量計測装置の構成図である。 (A)吐出液中に気泡を含まない場合の吐出状態図、(B)吐出液中に気泡を含んだ場合の吐出状態図である。 (A)吐出液中に気泡を含まない場合の吐出液を光センサーで検出するタイミングチャート、(B)吐出液中に気泡を含んだ場合の吐出液を光センサーで検出するタイミングチャートである。 本発明の実施の形態2における電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの構成を示した断面図である。 同巻回形アルミ電解コンデンサのコンデンサ素子の展開斜視図である。 従来の電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの構成を示した断面図である。 同従来の巻回形アルミ電解コンデンサのコンデンサ素子の展開斜視図である。
(実施の形態1)
本実施の形態1の吐出液の液量計測装置および液量計測方法を説明する。
図1は、本発明の実施の形態1による吐出液の液量計測装置の構成図である。
図2(A)は、吐出液中に気泡を含まない場合の吐出状態図、図2(B)は、吐出液中に気泡を含んだ場合の吐出状態図である。
図3(A)は、吐出液中に気泡を含まない場合の吐出液を光センサーで検出するタイミングチャート図、図3(B)は、吐出液中に気泡を含んだ場合の吐出液を光センサーで検出するタイミングチャート図である。
まず、図1において、吐出液の液量計測装置は、液を貯留する液タンク1と、前記液タンク1に貯留された液2を1サイクルで所定量を吸い上げるポンプ3と、前記ポンプ3で吸い上げた液2を送る配管4と、前記配管4の先端に取り付けられ、前記ポンプ3で吸い上げられた所定量の液2を略円柱形状で吐出させるノズル5とを備えている。また、吐出液の液量計測装置は、前記ノズル5から吐出された吐出液6が通過する経路に光を照射し、この光の照射範囲を通過した前記吐出液6の反射光を検出する光センサー9とを備えている。さらに、吐出液の液量計測装置は、所定クロックパルス10と同期し、その1周期を1カウントとして、前記反射光の検出時のみカウントを行うカウンター11と、前記カウントの総数と、1カウント当たりの液体積と、液の比重情報とに基づき、吐出液6の重量を算出する演算部13と、前記演算部13で算出した吐出液6の重量値を表示する表示部14と、算出した吐出液6の重量値により良否選別を行う選別装置15とを備えている。
なお、演算部13は、演算に必要な情報、例えば、1サイクルで吐出される液の所定体積値(気泡を含まない場合)や液の比重値等を、入力部12より、予め設定入力できる。このように設定入力しておくと、液種を変更する場合に容易に対応でき、生産性を向上できる。
上記装置を用いた吐出液の液量計測方法として、まず、液タンク1に貯留された液2が、ポンプ3により所定量を吸い上げて配管4へ送られる。そして、液2は、この配管4の先端に取り付けたノズル5から所定量を吐出液6として押し出され、ケース7(電子部品の外装ケース等)へ注入される。吐出液6は、液滴のように非連続的に吐出されるのではなく、略円柱状、すなわち断続的に吐出されることが好ましい。
なお、吐出液6を断続的に吐出するにするには、配管4の径、ノズル5の径、吐出速度等を調整することにより行うことができる。
次に、前記吐出液6がケース7へ向かう際に通過する経路内の1点に光が連続的または周期的に照射される。この光が前記経路の1点を通過した吐出液6に反射し、この反射光は光センサー9で検出される。なお、反射光を光センサー9で検出する代わりに、前記経路内の1点を通過する光を検出する光センサーにより、吐出液6が前記経路の1点を通過することによる光の遮断を、光センサーで検出してもよい。
そして、光センサー9が光の反射または遮断の検出とともに、検出した時間の長さを積算する。たとえば、所定クロックパルス10と同期し、その1周期を1カウントとするカウンター11を用いて、光センサー9が検出した時のカウント数を積算してもよい。
なお、前記吐出液6の直径とほぼ同じ範囲に検出部を絞ったレンズ8と光センサー9を組み合わせて吐出液6を検出するとよい。光センサー9としては、反射型光センサーが好ましい。
その後、光センサー9が検出した積算時間に基づいて、吐出液6の量を算出する。例えば、前記カウントの総数と、1カウント当たりの吐出液の体積と、液の比重情報とに基づいて、演算部13で演算して吐出液6の重量を算出してもよい。
なお、演算部13での演算に必要な液の体積や重量の情報は、入力部12から入力できるようにするとよい。
次に、算出した吐出液6の量は表示部14で表示される。そして、算出した吐出液6の量が規格内に入っているか良否判定され、選別装置15によって、吐出液6が注入されたケース7をOKまたはNG選別する。
上記構成において、入力された(1サイクルで吐出された)液量値をカウント数で割り算することにより、1カウント当たりの液量を算出できる。この液量に、カウンターのカウント数を掛け算することにより、吐出した液量をその都度計算で算出できる。カウントアップするためのパルスは、周期が短いほど高精度に液量を測定することができる。1サイクルの吐出において1000パルスカウントすることにより、吐出量の0.1%の精度でまで検出することが可能となる。この場合、例えば1サイクルで100μLを吐出するポンプでは、0.1μLの精度まで測定することが可能となる。
本発明によれば、液量や液の粘度を変更しても、光センサー9による検出情報を用いて液の重量へ換算するため、換算式を単純化できる。
なお、入力部12より、液の比重情報を予め設定入力しておくことにより、必要に応じて液量を重量から体積へ変換し、表示部14に表示させることもできる。
また、液は断続的に所定量だけ吐出され、吐出液6に照射した光の反射または遮断が光センサー9で検出される。それと同時に、所定クロックパルス10と同期し、その1周期を1カウントとして前記光の反射または遮断が検出された時のみカウントを行う。そのため、温度変化や液種により液の粘度や表面張力が変わっても、同一の換算式を適用することができ合理的である。
また、滴下でなく、ポンプ3で強制的に吐出させることができるため、生産タクトを上げることができる。
また、液を断続的に吐出するため、光センサー9が検出した積算時間と、単位時間当たりに吐出される液量とがあれば高精度に吐出液の液量を計測することができる。その結果、液滴のような非連続的な吐出液の液量を計測するのに用いていた高度な演算機能は必要なくなる。
次に、吐出液中の気泡有無による液量吐出計測装置の動作について説明する。
まず、図2(A)に示すように、液タンク1より液2をポンプ3により、パイプやホース等の配管4を介してノズル5から吐出液6を吐出する。この吐出液6はA〜D間まで連続した略円柱状、すなわち断続的な吐出液6である。吐出液6が吐出された場合、レンズ8で吐出形状の直径とほぼ同じ範囲に絞った光と光センサー9とにより吐出液が検出される。
この場合のカウンターは、光センサー9が吐出液6を検出しているときのみクロックパルスをカウントするため、図3(A)のように、例えば、A〜D間に10カウントされる。
一方、図2(B)は、吐出液中に気泡を含んだ場合を示している。この場合に吐出液が気泡の部位で途切れるように、前記配管4またはノズル5には、その内径を予め小さく調整した小径部を設けるようにする。例えば、γ−ブチロラクトン、スルホラン、エチレングリコール等の有機溶剤を主溶媒とする駆動用電解液を用いた場合、液タンク1から吸い上げられた液2は、配管4に送られた際に、体積が1〜3mmの気泡16を含む場合がある。ここで、ノズル5の吐出孔の面積を0.2mm〜1.5mmに絞ると、吐出液は、A〜B間の吐出液26とC〜D間の吐出液36の二つに途切れて吐出する。なお、B〜C間は、気泡吐出により液剤は吐出されない。
この場合のカウンターは、図3(B)のように、A〜B間に4パルス、C〜D間4パルスの合計8カウントされる。
上記の例では、吐出液中に気泡が含まれない場合は10カウントされ、気泡が含まれる場合は8カウントされる。そのため、気泡が含まれていた場合、気泡分を取り除いて液量を計測できるため、高精度な液量の測定ができる。
なお、余分な液がノズルに付着した状態で液を吐出した場合、A〜Dよりも略円柱状の液柱が長くなるため、カウント数が増える。
気泡の検出力は、液が水の場合、気泡が1mmで1μLに相当し、重量法では1mgに相当する。本発明の構成上、ノズルの先端が細いほど細かい気泡を検出することができ、例えば、吐出量の1/100を検出できるノズル径が好ましい。
例えば、吐出液の液量が100μLの場合、ノズル開口径を1.0mmにすると、吐出液は1mmの間隔が開く。カウンターのパルスはこの間隔を検出できる周期に設定すればよい。
このように、本実施の形態1の吐出液の液量計測装置および液量計測方法によって、μLレベルを正確に測定することができる効果を有する。
以上のことから、本実施の形態1の吐出液の液量計測方法を用いて電子部品を製造することにより、液量を高精度で計測することができ、電気特性を安定させて高信頼化できる。さらに、生産性を向上させることができる。
(実施の形態2)
本発明の実施の形態の電子部品の製造方法について説明する。
図4は、本発明の実施の形態2における電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの構成を示した断面図である。図5は、巻回形アルミ電解コンデンサのコンデンサ素子の展開斜視図である。
まず、本発明の実施の形態における電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの構成について、図4、5を用いて説明する。
図4に示すように、本発明の巻回形アルミ電解コンデンサは、電子部品素子であるコンデンサ素子42と、このコンデンサ素子42にそれぞれ一方の端部を接続した一対のリード線41a、41bと、これらリード線41a、41bの他方の端部を外部に導出するようにして、コンデンサ素子42を駆動用電解液(図示せず)と共に封じた外装体45とからなっている。
また、前記外装体45は、駆動用電解液を含浸したコンデンサ素子42を収納した容器である有底筒状の外装ケース43と、前記リード線41a、41bをそれぞれ挿通させる貫通孔44a、44bを有する封口体44とを備える。封口体44は、外装ケース43の開口部に配置され、外装ケース43の外周面に設けた絞り加工部43aで絞ることによって外装ケース43の開口部を密封する。
また、封口体44は、EPTやIIR等のゴム材料、エポキシ樹脂などの樹脂材料などを用いることができる。
また、図5に示すように、前記コンデンサ素子42は、アルミニウム等の弁金属からなる陽極箔42aと、アルミニウム等の弁金属からなる陰極箔42bとを、セパレータ42cを介して巻回して形成されている。陽極箔42aは、弁金属からなる白をエッチング処理により粗面化し、その表面には化成処理によって陽極酸化皮膜の誘電体層が形成されている。そして、前記リード線41a、41bは、それらの一方の端部が陽極箔42aと陰極箔42bにそれぞれ接続されており、それらの他方の端部はコンデンサ素子42の同一端面より引出されている。
なお、コンデンサ素子42を構成する電極は、電極箔を巻回する以外に複数枚の電極箔を積層する構成であってもよい。
また、コンデンサ素子42の構成要素の一つであるセパレータ42cは、その材質としては、セルロース、クラフト、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ナイロン、芳香族ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、レーヨン、ガラス質等を含有する不織布を用いることができる。
また、駆動用電解液は、溶媒に溶質を溶解する形で構成されている。溶媒材料としては、γ−ブチロラクトン、エチレングリコール、スルホラン等が挙げられる。そして、溶質材料としては、無機酸アンモニウム塩、無機酸アミン塩、無機酸アルキル置換アミジン塩またはその4級化物、有機酸アンモニウム塩、有機酸アミン塩、有機酸アルキル置換アミジン塩またはその4級化物等が挙げられる。
なお、駆動用電解液には、ガス吸収、耐電圧の安定化、pH調整、酸化防止等を目的とした添加剤を適宜含むことができる。
次に、以上のように構成した実施の形態における電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの製造方法について図4、5を用いて説明する。
まず、陽極酸化皮膜の誘電体層を表面に有するアルミニウム等の弁金属からなる陽極箔42aと、陰極箔42bと、セパレータ42cとを一定の幅と長さに切断する。そして、一対のリード線41a、41bの一方の端部が、それぞれ陽極箔42aと陰極箔42bにカシメ、超音波などの方法によって接続される。その後、陽極箔42aと陰極箔42bとの間にセパレータ42cを介在させて捲回する。そして、その外周側面を絶縁テープ42dで捲き止めて固定し、コンデンサ素子42が形成される。
なお、陽極箔42aの表面は、エッチングや金属粒子の蒸着等によって表面積を適宜拡大する。また、誘電体層は、電極材であるアルミニウム等の弁金属を陽極酸化することにより陽極体酸化皮膜として形成される。また、電極材に蒸着や塗布によって誘電体層を形成してもよい。
その後、コンデンサ素子42は化成液に浸漬され、リード線41a、41bの間に電圧が印加されることにより、陽極箔42aの表面の酸化皮膜を修復化成してもよい。
次に、封口体44に設けた一対の貫通孔44a、44bに、コンデンサ素子42から引出された一対のリード線41a、41bをそれぞれ挿通させ、コンデンサ素子42に封口体44を装着する。
なお、封口体44は、コンデンサ素子42を化成液に浸漬する前に装着しておいてもよい。
次に、コンデンサ素子42を駆動用電解液と共に外装ケース43に収納し、封口体44を外装ケース43の開口部に配置する。
コンデンサ素子42への駆動用電解液の含浸方法としては、外装ケース43内に予め一定量の駆動用電解液を注入しておき、コンデンサ素子42を外装ケース43に収納するようにする。
ここで、外装ケース43内に一定量の駆動用電解液を注入する方法として、実施の形態1の吐出液の液量計測方法を適用する。
次に、外装ケース43の外周側面から巻き締めて絞り加工部43aを形成することによって、外装ケース43の開口部を密封する。
なお、外装体45として、エポキシ樹脂等からなる絶縁性の外装樹脂を用い、コンデンサ素子42を被覆すると共に、その外装材の外部にリード線41a、41bの他方の端部を導出するようにしてもよい。
なお、絶縁端子板(図示せず)を、外装ケース43の開口部に接するように配置し、外装ケース43の開口部を封止した封口体44の外面より導出した一対のリード線41a、41bの他方の端部を、その絶縁端子板に設けた一対の貫通孔(図示せず)に挿通した後、リード線41a、41bを、互いに相反する方向へ略直角に折り曲げて、絶縁端子板の外表面に設けた溝部(図示せず)に収納するようにし、面実装タイプの電解コンデンサとしてもよい。
なお、外装ケース43の開口部を封止した後、もしくは絶縁端子板を取り付けた後に、適宜、リード線41a、41bの間に電圧を印加し、再化成を行う。
以上のように、本発明の実施の形態2における電子部品の一例である巻回形アルミ電解コンデンサの製造方法によれば、液量を高精度で計測することができ、電気特性を安定させて高信頼化できる。さらに、生産性を向上させることができる。
本発明の吐出液の液量計測装置および液量計測方法、その液量計測方法を用いた電子部品の製造方法は、液量を高精度で計測することができるという特徴を有し、長期にわたる高信頼性が要求されるAV機器や自動車電装機器の電源出力側の平滑回路や制御回路に適用される電子部品の製造方法に有用である。
1 液タンク
2 液
3 ポンプ
4 配管
5 ノズル
6 吐出液
7 ケース
8 レンズ
9 光センサー
10 クロックパルス
11 カウンター
12 入力部
13 演算部
14 表示部
15 選別装置
16 気泡
26、36 吐出液
41a、41b リード線
42 コンデンサ素子
42a 陽極箔
42b 陰極箔
42c セパレータ
42d 絶縁テープ
43 外装ケース
43a 絞り加工部
44 封口体
44a、44b 貫通孔
45 外装体

Claims (5)

  1. 電子部品素子に液剤を含浸して保持または乾燥させた電子部品本体を備える電子部品の製造方法であって、
    タンクに貯留された液剤を、該タンクに繋がる配管の一端に設けられたノズルから断続的に吐出させる工程と、
    前記ノズルから吐出された液剤を容器に注入し、該容器内に溜まった液剤に前記電子部品素子を浸漬することにより、前記電子部品素子に前記液剤を含浸する工程とを備え、
    前記ノズルは、単一の液剤吐出口を有し、
    前記液剤吐出口から吐出された液剤が前記容器に到着するまでの経路内の1点に光を連続的または周期的に照射し、前記液剤が前記経路内の前記1点を通過することによる前記光の反射または遮断を光センサーで検出し、該光センサーが前記光の反射または遮断を検出した時間の長さを積算することにより、前記容器に注入された液剤の量を計測する工程をさらに備える電子部品の製造方法。
  2. 電子部品素子に液剤を含浸して保持または乾燥させた電子部品本体を備える電子部品の製造方法であって、
    タンクに貯留された液剤を、該タンクに繋がる配管の先端に設けられたノズルから吐出させる工程と、
    前記ノズルから吐出された液剤を前記電子部品素子に注入することにより、前記電子部品素子に前記液剤を含浸する工程とを備え、
    前記ノズルから吐出された液剤が前記電子部品素子に到着するまでの経路内の1点に光を連続的または周期的に照射し、前記液剤が前記経路内の前記1点を通過することによる前記光の反射または遮断を光センサーで検出し、該光センサーが前記光の反射または遮断を検出した時間の長さを積算することにより、前記電子部品素子に注入された液剤の量を計測する工程をさらに備える電子部品の製造方法。
  3. 前記配管または前記ノズルには、前記液剤中の気泡を前記液剤の吐出の途切れに変換する小径部が設けられ
    前記小径部を通過した液剤は、分流することなく前記液剤吐出口に導かれている請求項1または2記載の電子部品の製造方法。
  4. 前記電子部品素子は、誘電体皮膜を有する陽極箔と対向陰極箔とをセパレータを介して巻回したコンデンサ素子からなり、
    前記液剤は、γブチロラクトン、スルホランまたはエチレングリコールを含む溶媒と、該溶媒中でイオン化する溶質とを含む溶液からなり、
    前記配管または前記ノズルに設けられた小径部は、0.2mm2〜1.5mm2の液剤通過断面積を有する請求項3記載の電子部品の製造方法。
  5. 前記光センサーが前記光の反射または遮断を検出した時間の長さの積算を、前記光センサーが前記反射光を検出しているときにクロックパルスの数をカウントすることにより行う請求項1,2、3または4記載の電子部品の製造方法。
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