JP6170762B2 - Clean room and fan filter unit - Google Patents
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Description
本発明は、天井レス方式のクリーンルームにおける、空気清浄装置であるファンフィルタユニット（以下、単に、ＦＦＵと略記する場合もある）と、そのファンフィルタユニットを使用してなるクリーンルームに関するものである。 The present invention relates to a fan filter unit (hereinafter sometimes simply referred to as FFU), which is an air purifier, in a ceiling-less clean room, and a clean room using the fan filter unit.
従来、クリーンルームにおいては、常時、クリーンルーム内全域に亘って清浄度を確保するように設計されていた。しかしながら、近年において景気の低迷が長引くなか、製造業においても限られた設備投資の中で、厳しい価格競争、新技術への対応や品質の確保への対応が迫られている。 Conventionally, a clean room is always designed to ensure cleanliness over the entire area of the clean room. However, with the prolonged economic downturn in recent years, the manufacturing industry has faced severe price competition, support for new technologies, and quality assurance.
そこで、ローコスト化に対応すべく、建設費の縮減とランニングコストの低減を達成するために、図５（Ａ）に示すように、必要な時（生産時）に、必要域の清浄化を行い、塵埃が多少あっても製品に影響なければ良いという流れになって来ている。かかることから、特許文献１に開示されているように、クリーンルーム用の天井を無くし（天井レス方式）、ＦＦＵをスラブ天井から直接吊って、局所的に作業域の清浄度を確保することが知られている。 Therefore, in order to reduce the construction cost and reduce the running cost in order to cope with the low cost, as shown in Fig. 5 (A), the necessary area is cleaned when necessary (during production). There is a trend that even if there is some dust, it should be good if it does not affect the product. Therefore, as disclosed in Patent Document 1, it is known that the clean room ceiling is eliminated (ceiling-less method), and the FFU is directly suspended from the slab ceiling to locally ensure the cleanliness of the work area. It has been.
しかし、クリーンルームのファンフィルタユニットは、図５（Ｂ）、図６に示すように、上面吸込み、若しくは、横吸込みの２種類である。例えば、図５（Ｂ）に示すように、上面吸込みの場合、仮想天井上部の滞留域の空気を循環してしまい、天井をなくすことにより、循環回数が増えて、ファン能力アップが必要となる。 However, as shown in FIGS. 5B and 6, there are two types of clean room fan filter units: top side suction or side suction. For example, as shown in FIG. 5B, in the case of suction from the upper surface, the air in the retention area at the upper part of the virtual ceiling is circulated, and by eliminating the ceiling, the number of circulations is increased and the fan capacity needs to be increased. .
また、図６に示すように、天井レス方式に横吸込みを採用した場合、１方向からのみの吸込みとなり、ファンフィルタユニット機器の間に空気の滞留域が発生するという課題がある。
そこで、本発明に係るクリーンルームとそのファンフィルタユニットは、このような課題を解決するために提案されたものである。
Further, as shown in FIG. 6, when the horizontal suction is adopted in the ceiling-less method, there is a problem that the suction is performed from only one direction, and an air retention area is generated between the fan filter unit devices.
Therefore, the clean room and its fan filter unit according to the present invention have been proposed in order to solve such problems.
本発明に係るクリーンルームのファンフィルタユニットの上記課題を解決して目的を達成するための要旨は、クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、水平方向の吸込み口は、メインの吸込み口と、それ以外に、スラブ天井から直接吊って設置した前記ファンフィルタユニットの設置位置を仮想天井の位置としてその仮想天井の位置よりも下位置に存する空気の滞留域、または、前記ファンフィルタユニット機器の間に存する空気の滞留域、を無くすための補助的吸込み口とが設けられてなることである。 The gist for solving the above-mentioned problems of the fan filter unit of the clean room according to the present invention is to achieve the purpose in the fan filter unit in the ceiling rescreen room without the ceiling for the clean room. In addition to the suction port and the fan filter unit suspended directly from the slab ceiling as the virtual ceiling position, the air retention area below the virtual ceiling position , or the fan filter An auxiliary suction port for eliminating the air retention area existing between the unit devices is provided.
前記水平方向の吸込み口においては、補助的吸込み口の開口面積が、メインの吸込み口の開口面積よりも小さく形成されていることである。 In the horizontal suction port, the opening area of the auxiliary suction port is formed smaller than the opening area of the main suction port.
前記吸込み口は、上下方向において下から上に横方向に突出するテーパ形に形成されていることを含む。
また、前記吸込み口は、吸込み風量と吸込み風向とを調節する機能が付加されていることである。
The suction port includes a tapered shape that protrudes laterally from below to above in the vertical direction.
Further, the suction port is provided with a function of adjusting the suction air amount and the suction air direction.
本発明に係るクリーンルームの上記課題を解決して目的を達成するための要旨は、クリーンルームにおいて、クリーンルーム用の天井を無くすとともに、上記ファンフィルタユニットをスラブ天井から直接吊ることで、前記ファンフィルタユニットの上下方向の設置位置を仮想天井の位置とするとともに、クリーンルーム内において局所的に作業域の清浄度を確保するため前記ファンフィルタユニットを発熱する機器の上位置でその発熱する機器を左右若しくは前後から挟むようにして配設してなることである。また、前記隣り合うファンフィルタユニットは、そのメインの吸込み口を背向させて設置されていることである。 The gist for solving the above-mentioned problems of the clean room according to the present invention and achieving the object is to eliminate the ceiling for the clean room in the clean room and to hang the fan filter unit directly from the slab ceiling. The vertical installation position is the virtual ceiling position, and in order to ensure the cleanliness of the work area locally in the clean room, the fan filter unit is heated above the device that generates heat from the left or right or front and rear. It is arranged to be sandwiched. Further, the adjacent fan filter units are installed with their main suction ports facing away.
本発明のクリーンルームとそのファンフィルタユニットによれば、天井を無くしたクリーンルームにおいて、ＦＦＵを多方向からの吸込みを可能にすることにより、仮想天井の下部のみ効率的に空気を循環させて、仮想天井下部の空気の滞留域をなくし、必要域を局所的に清浄化することが可能となる。 According to the clean room and the fan filter unit of the present invention, in a clean room without a ceiling, the FFU can be sucked from multiple directions, thereby efficiently circulating air only in the lower part of the virtual ceiling. It is possible to eliminate the area where the lower air stays and to locally clean the necessary area.
クリーンルーム用の吊り天井を設置せず、ＦＦＵを必要な機器の上部に設置することが可能となり、高い清浄度が必要なエリアの上に、ＦＦＵを設置することができる。そして、前記吊り天井が無いのでクリーンルームの改修時に、レイアウト変更が容易である。 Without installing a suspended ceiling for a clean room, it is possible to install the FFU on top of the necessary equipment, and the FFU can be installed on an area that requires high cleanliness. And since there is no said suspended ceiling, a layout change is easy at the time of repair of a clean room.
クリーンルーム用の吊り天井が無いことで、室内の熱気が仮想天井より上の部分に上がり、必要域の冷房負荷が下がるなどのメリットもある。更に、ファンフィルタユニットと熱処理を行うクリーンエアコンとを別の装置とすることで、清浄度と温度との要求に合わせ、別々に制御可能となる。また、負荷の少ない夜間には、風量を減らし、消費電力量を削減することも可能である。 Since there is no suspended ceiling for clean rooms, there is a merit that the indoor hot air rises above the virtual ceiling and the cooling load in the necessary area is reduced. Furthermore, the fan filter unit and the clean air conditioner that performs the heat treatment are provided as separate devices, so that they can be controlled separately according to the requirements of cleanliness and temperature. Also, at night when the load is low, it is possible to reduce the air volume and reduce the power consumption.
ＦＦＵの吸込み口を下向きにしたテーパ形にすることで、仮想天井の位置より下の空気のみを吸い込むようになり、仮想天井の位置より上の滞留域の空気を無駄に吸い込むことが無く、効率的にＦＦＵを稼働させることができると言う数々の優れた効果を奏するものである。 By adopting a taper shape with the FFU suction port facing downward, only the air below the virtual ceiling position is sucked, and the air in the staying area above the virtual ceiling position is not sucked in vainly. In particular, the FFU can be operated and has many excellent effects.
本発明に係るクリーンルームのファンフィルタユニット１は、図１に示すように、空気の滞留域を無くすべく、吸込み口を多方向から吸い込むように形成されたものである。 As shown in FIG. 1, the fan filter unit 1 of the clean room according to the present invention is formed so that the suction port is sucked from multiple directions so as to eliminate the air retention area.
本発明に係るファンフィルタユニット１は、図１乃至図３−Ａに示すように、クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、水平方向の吸込み口２を、前後左右の４方向に設けるとともに、そのうちの３箇所の吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄを、吸込み用の開口面積が残り1箇所のメインの吸込み口２ａの吸込み用の開口面積よりも小さく形成されている。 As shown in FIGS. 1 to 3A, the fan filter unit 1 according to the present invention is a fan filter unit in a ceiling rescreen room without a ceiling for a clean room. The three suction ports 2b, 2c, and 2d are formed so that the remaining suction opening area is smaller than the remaining suction opening area of the main suction port 2a.
前記ファンフィルタユニット１は、図１（Ａ）に示すように、全体の大きさが、一例として、１３００（横）×１０００（縦）×５４０（厚さ）ｍｍ程度の大きさである。上部４箇所に吊りボルト用の孔が設けられている。 As shown in FIG. 1A, the fan filter unit 1 has an overall size of about 1300 (horizontal) × 1000 (vertical) × 540 (thickness) mm as an example. Holes for suspension bolts are provided in the upper four places.
また、水平状態で、ファンフィルタユニット１の前後左右（１箇所がメインの吸込み口２ａで、他の３箇所が補助的な吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄ）から空気を吸い込み、下に向かって吹き出すものである。ファンフィルタユニット１の内部に、送風機６が設けられ、各吸込み口２には、スライドシャッター３，４が設けられている。 Further, in the horizontal state, the air is sucked from the front, rear, left and right of the fan filter unit 1 (one is the main suction port 2a and the other three are the auxiliary suction ports 2b, 2c, 2d) and blows downward. Is. A fan 6 is provided inside the fan filter unit 1, and slide shutters 3, 4 are provided in each suction port 2.
前記スライドシャッター３は、メインの吸込み口２ａ用であり、その大きさは、例えば、幅２０×高さ２４０ｍｍ程度である。吸込み用の開口部の孔は、例えば、複数個の楕円孔である、同様に、補助的吸込み口（２ｂ，２ｃ，２ｄ）用のスライドシャッター４は、幅２０×高さ５０ｍｍ程度である。また、吸込み用の開口部の孔は、例えば複数個の楕円孔である。このスライドシャッターにおいて、前記開口部の孔の開口面積をスライド板などで可変させることで、吸込み風量を調整する。 The slide shutter 3 is for the main suction port 2a, and its size is, for example, about width 20 × height 240 mm. The holes in the suction opening are, for example, a plurality of elliptical holes. Similarly, the slide shutter 4 for the auxiliary suction ports (2b, 2c, 2d) has a width of about 20 × height of about 50 mm. Moreover, the hole of the opening part for suction is a some elliptical hole, for example. In this slide shutter, the suction air volume is adjusted by varying the opening area of the hole of the opening with a slide plate or the like.
前記スライドシャッター３，４の前（外側）には、吸込みの風向を調整する可変ルーバー等が設けられている。なお、この吸込み風量や風向の調整は、他の公知の手段で行うことができるものである。 In front (outside) of the slide shutters 3 and 4, a variable louver or the like for adjusting the air direction of suction is provided. It should be noted that the adjustment of the suction air volume and the wind direction can be performed by other known means.
こうして、前記吸込み口２においては、吸込み風量と吸込み風向とを調節する機能が付加されている。この調整装置の駆動には、例えば、手動若しくは自動で行い、遠隔操作用としては、電動モータや油圧若しくはエアー駆動などの駆動装置で行うものである。 Thus, the suction port 2 has a function of adjusting the suction air amount and the suction air direction. The adjustment device is driven, for example, manually or automatically. For remote operation, the adjustment device is driven by a drive device such as an electric motor, hydraulic pressure, or air drive.
また、図１（Ａ），（Ｂ）、図２（Ａ）に示すように、下方向の吹出し１４口には、メインフィルタ５が設けられている。これは、図１（Ｂ）に示すように、クリーンルーム１２の清浄度に対応させたＨＥＰＡ（ヘパ）フィルタ１０である。また、図１（Ｂ）に示すように、吹き出し口のグリル９は、図示した羽根に限らず可動羽根若しくはパンチングなどと取り替えが可能であり、風向調整ができるものである。 As shown in FIGS. 1A, 1B, and 2A, a main filter 5 is provided at the outlet 14 in the downward direction. This is a HEPA filter 10 corresponding to the cleanliness of the clean room 12, as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 1B, the grill 9 at the outlet is not limited to the illustrated blade, and can be replaced with a movable blade or punching, and the wind direction can be adjusted.
こうして、吸込み口２として、前記メインの吸込み口２ａが１箇所、空気の滞留域を無くすための補助的吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄが３箇所に設けられて、ファンフィルタユニット１が構成されているのである。図１（Ａ）に、各吸込み口から吸い込まれた空気の流れを矢印で示す。 Thus, as the suction port 2, the main suction port 2a is provided in one place, and the auxiliary suction ports 2b, 2c, 2d for eliminating the air retention area are provided in three places, and the fan filter unit 1 is configured. It is. In FIG. 1A, the flow of air sucked from each suction port is indicated by arrows.
また、前記ファンフィルタユニット１の他の実施例として、吸込み口２は、図３−Ｂに示すように、上下方向において下から上に横方向に突出するテーパ形に形成する。このように、吸込み口２の形状を、下向きに斜めに開口にしたテーパ形にすることで、このファンフィルタユニット１の設置位置（仮想天井の位置）より上位置の、滞留域にある空気を吸い込まないようにしてそれを乱さず、仮想天井の位置より下位置にある大型コンピュータ等の機器１１の発熱による上昇流分を吸い込むようになって、効率的である。また、同様に、このファンフィルタユニット１には、上向きの吸込み口を設けていないのである。 As another embodiment of the fan filter unit 1, the suction port 2 is formed in a taper shape protruding laterally from the bottom to the top in the vertical direction as shown in FIG. In this way, by making the shape of the suction port 2 into a tapered shape that opens obliquely downward, the air in the staying area above the installation position of the fan filter unit 1 (the position of the virtual ceiling) is changed. It is efficient because the upward flow caused by the heat generated by the equipment 11 such as a large computer located below the position of the virtual ceiling is sucked in without being disturbed. Similarly, the fan filter unit 1 is not provided with an upward suction port.
本発明に係るクリーンルーム１２は、クリーンルーム用の吊り天井を無くすとともに、上記ファンフィルタユニット１を仮想天井の位置に、発熱量の大きな機器１１や通路などの配置に対応させて最も効率的になるように、適宜位置に配設してなるものである。 The clean room 12 according to the present invention eliminates the suspended ceiling for the clean room and makes the fan filter unit 1 at the position of the virtual ceiling corresponding to the arrangement of the equipment 11 having a large heat generation amount, the passage, and the like so as to be most efficient. Further, they are arranged at appropriate positions.
このクリーンルーム１２では、図４に示すように、前記機器１１の位置に対して、その上位置で、その機器１１を左右若しくは前後から挟むようにして、ファンフィルタユニット１，１を配設する。なお、ファンフィルタユニット１を機器１１の真上に配置することもある。 In the clean room 12, as shown in FIG. 4, the fan filter units 1 and 1 are disposed so that the device 11 is sandwiched from the left and right or front and rear at a position above the position of the device 11. Note that the fan filter unit 1 may be disposed directly above the device 11.
更に、前記ファンフィルタユニット１，１のそれぞれのメインの吸込み口２ａ同士を背向させて、仮想天井の位置に吊りボルトなどで吊り下げる。こうして、背向したファンフィルタユニット１，１のユニットごとに配設する。 Further, the main suction ports 2a of the fan filter units 1 and 1 are made to face each other, and are suspended from a virtual ceiling by a suspension bolt or the like. In this way, the fan filter units 1 and 1 that are turned back are arranged for each unit.
上記のようにしてファンフィルタユニット１，１を配設することで、機器１１の発熱による上昇流分のみ、図４中の矢印で示すように、左右の補助的吸込み口２ｃ，２ｃ（２ｂ，２ｄ）によって吸込まれる。そして、ファンフィルタユニット１，１の吹出し口１４から空気が吹き出され、メインの吸込み口２ａに吸い込まれることで、仮想天井より下位置において空気が循環する。 By disposing the fan filter units 1 and 1 as described above, as shown by arrows in FIG. 4, only the upward flow due to the heat generated by the device 11, the left and right auxiliary suction ports 2c and 2c (2b, 2d). And air blows off from the blower outlet 14 of the fan filter units 1 and 1, and is sucked into the main inlet 2a, whereby air circulates at a position below the virtual ceiling.
こうして、ファンフィルタユニット１のメインの吸込み口２ａと吹出し口１４とで、仮想天井位置より下の空気が循環するとともに、前記補助的吸込み口２ｃ（２ｂ、２ｄ）によって、機器１１の発熱による上昇流分が仮想天井位置より上で滞留することなく、ファンフィルタユニット１，１に吸い込まれて循環するものである。 Thus, air below the virtual ceiling position circulates through the main suction port 2a and the blowout port 14 of the fan filter unit 1, and the auxiliary suction port 2c (2b, 2d) raises due to heat generated by the device 11. The flow is sucked into the fan filter units 1 and 1 and circulated without staying above the virtual ceiling position.
前記ファンフィルタユニット１，１の配置により、機器１１に対応して必要な箇所に、局所的に清浄して、クリーンルーム１２における、局所毎に異なる清浄度の要求に応えることができるようになる。 With the arrangement of the fan filter units 1, 1, it is possible to locally clean a necessary portion corresponding to the device 11, and meet the different cleanliness requirements in the clean room 12 for each region.
更に、ファンフィルタユニット１の吸込み口２において、下向きのテーパ形にすることで、仮想天井の位置より上の空気を乱すことなく、仮想天井の位置より下の空気を効率的に循環させることができる。 Furthermore, by making the suction port 2 of the fan filter unit 1 downwardly tapered, the air below the virtual ceiling position can be efficiently circulated without disturbing the air above the virtual ceiling position. it can.
本発明に係るファンフィルタユニットによれば、クリーンルーム内で全部均一に清浄度を高くして維持する必要が無く、必要な箇所にだけ清浄度を確保して、機器の発熱による滞留域を解消する場合に広く適用できるものである。 According to the fan filter unit according to the present invention, it is not necessary to maintain the cleanliness uniformly high in the clean room, and the cleanliness is ensured only in the necessary portions to eliminate the staying area due to the heat generation of the equipment. It can be widely applied to cases.
１ ファンフィルタユニット、 １ａ 本体、
２ 吸込み口、 ２ａ メインの吸込み口、
２ｂ，２ｃ，２ｄ 補助的吸込み口、
３ スライドシャッター、 ４ スライドシャッター、
５ メインフィルタ、 ６ 送風機、
７ 送風点検蓋、
８ メディアガード、
９ グリル、
１０ ＨＥＰＡフィルタ、
１１ 機器、 １２ クリーンルーム、
１３ パンチングメタル、
１４ 吹出し口、
１５ 従来のファンフィルタユニット。
1 fan filter unit, 1a body,
2 Suction port, 2a Main suction port,
2b, 2c, 2d auxiliary inlet,
3 Slide shutter, 4 Slide shutter,
5 Main filter, 6 Blower,
7 Air blow inspection lid,
8 Media guard,
9 Grill,
10 HEPA filter,
11 equipment, 12 clean room,
13 punching metal,
14 Outlet,
15 Conventional fan filter unit.
Claims (6)
水平方向の吸込み口は、メインの吸込み口と、それ以外に、スラブ天井から直接吊って設置した前記ファンフィルタユニットの設置位置を仮想天井の位置としてその仮想天井の位置よりも下位置に存する空気の滞留域、または、前記ファンフィルタユニット機器の間に存する空気の滞留域、を無くすための補助的吸込み口とが設けられてなること、
を特徴とするクリーンルームのファンフィルタユニット。 In the fan filter unit in the ceiling rescreen room without the ceiling for the clean room,
The horizontal suction port is the main suction port, and the air that exists below the position of the virtual ceiling with the installation position of the fan filter unit installed directly suspended from the slab ceiling as the virtual ceiling position. An auxiliary suction port for eliminating the retention area of the air or the air retention area existing between the fan filter unit devices ,
A clean room fan filter unit.
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。 In the horizontal suction port, the opening area of the auxiliary suction port is formed smaller than the opening area of the main suction port,
The fan filter unit for a clean room according to claim 1.
を特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。 The suction port is formed in a tapered shape that protrudes laterally from the bottom to the top in the vertical direction,
The fan filter unit for a clean room according to claim 1 or 2.
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。 The suction port has a function to adjust the suction air volume and direction,
The fan filter unit of the clean room of any one of Claims 1 thru | or 3 characterized by these.
を特徴とするクリーンルーム。 In the clean room, the ceiling for the clean room is eliminated, and the fan filter unit according to any one of claims 1 to 4 is directly hung from the slab ceiling, whereby the vertical installation position of the fan filter unit is set on the virtual ceiling. In addition to the position, in order to ensure the cleanliness of the work area locally in the clean room, the fan filter unit is disposed on the upper position of the device that generates heat so as to sandwich the device that generates heat from the left and right or front and rear,
A clean room.
を特徴とする請求項５に記載のクリーンルーム。 Adjacent fan filter units are installed with their main suction ports facing away,
The clean room according to claim 5.
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