JP6169923B2 - 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置 - Google Patents

搬送アームおよびこれを備えた搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6169923B2
JP6169923B2 JP2013176226A JP2013176226A JP6169923B2 JP 6169923 B2 JP6169923 B2 JP 6169923B2 JP 2013176226 A JP2013176226 A JP 2013176226A JP 2013176226 A JP2013176226 A JP 2013176226A JP 6169923 B2 JP6169923 B2 JP 6169923B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer arm
convex portion
main body
mounting surface
arm according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013176226A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015046452A (ja
Inventor
作人 堀尾
作人 堀尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2013176226A priority Critical patent/JP6169923B2/ja
Publication of JP2015046452A publication Critical patent/JP2015046452A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6169923B2 publication Critical patent/JP6169923B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、半導体ウェハまたはガラス基板等の対象物を搬送する搬送アームおよびこれを備えた搬送装置に関する。
従来、例えば半導体集積回路または液晶表示装置等の製造工程には、半導体ウェハまたはガラス基板等の対象物を搬送することを目的として、搬送アームを備えた搬送装置が使用されている。
例えば特許文献1には、駆動装置(搬送ロボット)に取り付けられた、対象物(ウェハ)を吸着保持する搬送アーム(ウェハ搬送アーム)が開示されている。
ところで、対象物を温度調節した後に対象物を搬送アームで搬送し、搬送した対象物に露光等の処理を行なうことがある。対象物を搬送する際に搬送アームを介して対象物と駆動装置との間で熱が伝導して対象物の温度が変化すると、対象物の処理精度が低下しやすくなる。その結果、製造工程の歩留まりが低下しやすくなる。
したがって、搬送する対象物の温度をより一定に保つことができる搬送アームおよびこれを備えた搬送装置が要求されている。
特開平10−310242号公報
本発明は、搬送する対象物の温度をより一定に保つ要求に応える搬送アームおよびこれを備えた搬送装置を提供するものである。
本発明の一形態における搬送アームは、対象物が載置される載置面と、駆動装置に取り付けられる取付け面と、該取付け面から突出した複数の凸部とを有する、セラミックスからなる板状の本体を備え、複数の前記凸部は、平面視にて環状である第1凸部と、平面視にて環状であるとともに、前記第1凸部を取り囲む第2凸部とを含む
また、本発明の一形態における搬送装置は、前述した搬送アームと、該搬送アームの前記取付け面が取り付けられた駆動装置とを備える。
本発明の一形態における搬送アームによれば、本体が取付け面から突出した凸部を有するため、取付け面と駆動装置との接触面積を低減し、搬送アームと駆動装置との間の熱伝導を低減することができる。したがって、搬送する対象物の温度をより一定に保つことができる。
本発明の一形態における搬送装置によれば、前述した搬送アームを備えるため、搬送する対象物の温度をより一定に保つことができる。
(a)は、本発明の第1実施形態における搬送アームの平面図であり、(b)は、(a)に示した取付け面の拡大図であり、(c)は、(b)のA−A線にて厚み方向に沿った断面図であり、(d)は、(c)に示した凸部の拡大図である。 (a)は、本発明の第2実施形態における搬送アームの取付け面の平面図であり、(b)は、本発明の第3実施形態における搬送アームの取付け面の平面図であり、(c)は、(b)に示した凸部の厚み方向に沿った断面図であり、(d)は、本発明の第4実施形態における搬送アームの凸部の厚み方向に沿った断面図である。 (a)は、本発明の第5実施形態における搬送アームの平面図であり、(b)は、(a)に示した取付け面の拡大図であり、(c)は、(b)のB−B線にて厚み方向に沿った断面図である。
(第1実施形態)
以下に、本発明の第1実施形態における搬送アームを、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1(a)ないし(d)に示した搬送アーム1は、例えば半導体集積回路または液晶表示装置等の製造工程において、例えば半導体ウェハまたはガラス基板等の対象物(図示せず)を搬送するものである。搬送アーム1は、搬送アーム1が取り付けられた駆動装置(図示せず)とともに搬送装置を構成する。
搬送装置は、以下のようにして対象物を搬送する。まず、搬送アーム1に対象物を載置する。次に、駆動装置によって搬送アーム1を移動させることによって、載置面3に載置された対象物を所望の場所に搬送する。このように搬送された対象物には、露光等の処理が行なわれる。
搬送アーム1は、板状の本体2を備える。本体2は、対象物が載置される載置面3と、駆動装置に取り付けられた取付け面4と、取付け面に開口した複数の取付け孔5と、取付け面4から突出した凸部6とを有する。本体2は、例えばアルミナ/炭化チタン複合材料、炭化珪素質焼結体またはアルミナ質焼結体等のセラミックスからなる。この本体2の厚みは、例えば2mm以上5mm以下である。この本体2は、平面視にてY字状である。なお、本体2は、平面視にてY字状でなくてもよく、例えば平面視にて直線状でもよい。
載置面3は、対象物を保持するものである。本実施形態の載置面3は、対象物が載置されるが対象物を吸着しない。なお、載置面3は、真空吸着または静電吸着等によって対象物を吸着しても構わない。
取付け面4は、駆動装置の固定部に接しつつ固定されるものである。本実施形態の取付け面4は、ねじによる締結で駆動装置に固定されるものである。なお、取付け面4は、締結以外の方法で駆動装置に固定されてもよい。例えば駆動装置の固定部が取付け面4を挟み込むことによって、取付け面4は、駆動装置に固定されても構わない。この場合に、本体2は取付け孔5を有していなくても構わない。
本実施形態の載置面3および取付け面4は、本体2の一主面に位置する。また、載置面3は本体2の枝分かれした一端部に位置し、取付け面4は本体2の根元の他端部に位置する。また、本体2の載置面3および取付け面4は、露出しており、被膜に覆われていない。なお、載置面3および取付け面4は、本体2の他の部分に位置してもよい。取付け面4は、本体2の両主面それぞれに位置してもよい。この場合に、凸部6は、本体2の両主面の少なくとも一方の取付け面4に位置していればよい。
取付け孔5は、駆動装置に固定するためのねじが挿入される孔である。本実施形態の取付け孔5は、めねじを構成しており、取付け孔5におねじが締め付けられることによって、取付け面4は駆動装置に固定される。取付け孔5は、例えば円柱状であり、内面にらせん状の溝が形成されている。本実施形態の本体2は、4つの取付け孔5を有している。なお、取付け孔5は、めねじを構成していなくても構わない。また、本体2は、取付け孔5をいくつ有していても構わない。
本実施形態において、図1(a)ないし(d)に示すように、本体2は、取付け面4から突出した凸部6を有する。その結果、取付け面4が平坦である場合と比較して、取付け面4と駆動装置との接触面積を低減し、搬送アーム1と駆動装置との間の熱伝導を低減することができる。したがって、搬送アーム1を介した対象物と駆動装置との間の熱伝導を低減することができるため、搬送する対象物の温度をより一定に保つことができる。それ故、搬送した対象物の処理精度を高め、ひいては製造工程の歩留まりを向上させることができる。
また、凸部6がセラミックスからなる本体2の一部であるため、別部材である凸部6と本体2とを接着剤で接着した場合と比較して、凸部6と本体2との接続部における変形を抑制できるため、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のたわみを低減することができる。その結果、載置面3の位置精度を高めることができ、搬送した対象物の処理精度を高めることができる。
本実施形態において、凸部6は、図1(b)に示すように、平面視(XY平面)にて環状である。すなわち、凸部6は、本体2の取付け面4の面方向(XY平面)に沿って環状である。その結果、取付け面4と駆動装置との接触面積を低減しつつ、取付け面4に加わる荷重の偏りを低減できる。したがって、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のぐらつきを低減し、対象物の処理精度を高めることができる。本実施形態の凸部6は、平面視にて四角環状である。なお、凸部6は、平面視にて環状であればよく、例えば円環状であっても構わない。
本実施形態において、凸部6は、平面視にて、複数の取付け孔5に取り囲まれた領域の図心を取り囲んでいる。その結果、複数の取付け孔5に取り囲まれた領域の図心に対して凸部6がより対称な形状となるため、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。
本実施形態において、凸部6は、平面視にて、取付け面4の図心を取り囲んでいる。その結果、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。
本実施形態において、凸部6の平面視における図心は、複数の取付け孔5に取り囲まれた領域の図心と同じである。その結果、複数の取付け孔5に取り囲まれた領域の図心に対して凸部6がより対称な形状となるため、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。
本実施形態において、凸部6の平面視における図心は、取付け面4の図心と同じである。その結果、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。
本実施形態において、本体2は、複数の凸部6を有しており、複数の凸部6は、平面視にて環状である第1凸部7と、平面視にて環状であるとともに第1凸部7を取り囲む第2凸部8とを含む。その結果、本体2が1つの凸部6を有する場合と比較して、凸部6に加わる荷重をより分散させることができるため、搬送アーム1を駆動装置に取り付けた際の取付け面4の破壊を抑制できる。また、第2凸部8が第1凸部7を取り囲むため、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。
本実施形態において、第1凸部7および第2凸部8は、平面視にて、複数の取付け孔5に取り囲まれた領域の図心を取り囲んでいる。その結果、取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。また、第1凸部7は、複数の凸部6のうち最も内側に位置しており、第2凸部8は、第1凸部7に隣接している。なお、本体2は、凸部6を1つ以上有していればよく、凸部6をいくつ有していても構わない。また、第1凸部7は、複数の凸部6のうち最も内側でなくてもよい。
本実施形態において、複数の凸部6は、複数の取付け孔5を取り囲む第3凸部9を含む。その結果、複数の取付け孔5を取り囲む第3凸部9によって取付け面4に加わる荷重の偏りをより低減できる。また、第3凸部9は、全ての取付け孔5を取り囲んでいる。また、第3凸部9は、複数の凸部6のうち最も外側に位置しており、第1凸部7、第2凸部8および後述する複数の第4凸部10を取り囲んでいる。
本実施形態において、複数の凸部6は、平面視にて環状であるとともに1つの取付け孔5をそれぞれ取り囲む複数の第4凸部10を含む。1つの第4凸部10は、1つの取付け孔5に対応している。その結果、取付け孔5の近傍に位置する第4凸部10が駆動装置に接するため、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のぐらつきを低減できる。
本実施形態において、凸部6は、図1(d)に示すように、取付け面4から先端部11に向かって幅が小さくなるテーパー状である。その結果、凸部6と駆動装置との接触面積を低減しつつ、凸部6と取付け面4との接続強度を高め、搬送アーム1を駆動装置に取り付けた際の取付け面4の破壊を抑制できる。
本実施形態において、凸部6の先端部11は、平面状である。その結果、凸部6と駆動装置とを面接触させることによって、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のぐらつきを低減できる。
本実施形態において、凸部6は、本体2の厚み方向(Z方向)に突出しており、凸部6の高さ(Z方向)は、例えば0.1mm以上0.5mm以下である。また、凸部6の先端部の幅は、例えば0.1mm以上1mm以下である。
本実施形態において、本体2は、アルミナ/炭化チタン複合材料からなることが望ましい。アルミナ/炭化チタン複合材料は、他のセラミックスと比較して導電性が高いため、搬送アーム1の帯電を低減し、搬送アーム1へのパーティクルの吸着を低減できる。また、搬送アーム1の帯電に起因した対象物の帯電を低減し、対象物の絶縁破壊を抑制するとともに、対象物へのパーティクルの吸着を低減できる。また、アルミナ/炭化チタン複合材料は、他のセラミックスと比較して熱伝導率が低いため、搬送アーム1と駆動装置との間の熱伝導を低減することができる。
次に、前述した搬送アーム1の製造方法を説明する。
まず、原料粉末に純水と有機バインダーとを加えた後、ボールミルで湿式混合してスラリーを作製する。次に、スラリーをスプレードライにて造粒して粒子を形成する。次に、粒子を種々の成形方法を用いて成形して成形体を形成する。次に、成形体を1500〜1700℃で焼成して焼結体を形成する。次に、焼結体を研削加工で所望の形状に加工して、載置面3、取付け面4および取付け孔5を有する本体2を形成する。次に、本体2の取付け面4をブラスト加工で加工して所望の形状の凸部6を形成する。
以上のようにして、搬送アーム1を作製することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態における搬送アームを、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1実施形態と同様の構成に関しては、記載を省略する。
第2実施形態は、凸部6の形状が第1実施形態と異なる。具体的には、本実施形態の凸部6は、図2(a)に示すように、平面視にて直線状である。その結果、取付け面4と駆動装置との接触面積を低減しつつ、取付け面4に加わる荷重の偏りを低減できる。
本実施形態において、本体2は、平面視にて直線状である複数の凸部6を有し、複数の凸部6は、長手方向(Y方向)が互いに同じである。その結果、取付け面4に加わる荷重の偏りを容易に低減できる。
本実施形態において、複数の凸部6は、幅方向(X方向)に沿って並んでいる。その結果、取付け面4に加わる荷重の偏りを容易に低減できる。また、凸部6同士の個々の間隔を等しくすることで、取付け面4に加わる荷重の偏りを容易に低減できる。この場合に、凸部6同士の個々の間隔のばらつきは、例えば0.1mm以下である。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態における搬送アームを、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1および第2実施形態と同様の構成に関しては、記載を省略する。
第3実施形態は、凸部6の形状が第1および第2実施形態と異なる。具体的には、本実施形態の凸部6は、図2(b)および(c)に示すように、円錐台状である。その結果、複数の凸部6が取付け面4に形成されることによって、取付け面4に加わる荷重の偏りを低減できる。また、凸部6同士の個々の間隔をより等しくすることで、取付け面4に加わる荷重の偏りを容易に低減できる。この場合に、凸部6同士の個々の間隔のばらつきは、例えば0.1mm以下である。
この凸部6は、錐台状であるため、先端部11が平面状であり、取付け面4から先端部11に向かって幅が小さくなるテーパー状である。さらに、凸部6は、円錐台状であるため、先端部11が平面視にて円形状である。なお、凸部6は、例えば四角錘台状などの錐台状であってもよいし、例えば円柱状などの柱状であってもよい。
本実施形態において、凸部6の先端部11の幅(直径)は、取付け孔5の開口の幅(直径)よりも小さい。その結果、凸部6の先端部11の面積を低減して取付け面4と駆動装置との接触面積を低減しつつ、凸部6の数を増やして取付け面4に加わる荷重の偏りを容易に低減できる。
本実施形態において、複数の凸部6は、取付け孔5を取り囲むように配列している。その結果、その結果、取付け孔5の近傍に位置する凸部6が駆動装置に接するため、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のぐらつきを低減できる。
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態における搬送アームを、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1ないし第3実施形態と同様の構成に関しては、記載を省略する。
第4実施形態は、搬送アーム1が被膜12を備える点が第1ないし第3実施形態と異なる。具体的には、本実施形態の搬送アーム1は、図2(d)に示すように、本体2の取付け面4を被覆した被膜12をさらに備え、被膜12の一部は、凸部6の表面を被覆してお
り、凸部6とともに突出部13を構成している。その結果、取付け面4を被覆した被膜12によって搬送アーム1の表面に容易に導電性を付与し、搬送アーム1の帯電を容易に低減できる。また、突出部13によって取付け面4と駆動装置との接触面積を低減することができる。
被膜12は、例えば導電性を有しており、例えば導電性フッ素樹脂等の導電材料からなる。被膜12の厚みは、例えば0.01mm以上0.05mm以下である。また、被膜12は、本体2の取付け面4以外の領域を被覆していてもよく、例えば載置面3を被覆していてもよい。
被膜12は、例えば、第1実施形態の製造方法において凸部6を形成した後、被膜12の原料を取付け面4に吹き付けて加熱処理を行なうことによって形成することができる。
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態における搬送アームを、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1ないし第4実施形態と同様の構成に関しては、記載を省略する。
第5実施形態は、搬送アーム1が流路14およびライナー15を有する点が異なる。具体的には、本実施形態の搬送アーム1は、図3(a)ないし(c)に示すように、本体2の一主面に配された溝状の流路14と、流路14を覆いつつ本体2の一主面に接着したライナー15とをさらに備える。この流路14によって対象物を真空吸着することができる。さらに、ライナー15の一端部は、取付け面4に配されており、凸部6は、ライナーの一端部を取り囲んでいる。その結果、駆動装置に取り付けられた搬送アーム1のぐらつきを低減できる。本時実施形態の凸部6は、取付け面4のライナー15以外の領域に形成されている。
流路14は、載置面3に開口するとともにこの開口から空気を吸引することによって対象物を真空吸着するものであり、載置面3から取付け面4に渡って形成されている。また、流路14は、本体2の一主面に形成された溝の内面とライナー15とによって取り囲まれた空間である。なお、流路14は、本体2の内部に形成された本体2の中空構造であっても構わない。この場合に、流路14は、本体2の内面によって取り囲まれた空間である。
ライナー15は、例えば板状であり、例えばSUSなどの金属材料からなる。また、ライナー15は、例えばエポキシ樹脂等の接着剤によって本体2の一主面に接着されている。なお、ライナー15は、本体2の他主面に接着していても構わない。
本実施形態の搬送アーム1は、以下のようにして作製することができる。
まず、第1実施形態と同様に載置面3、取付け面4および取付け孔5を有する本体2を形成する。この際に、本体2の一主面に溝状の流路14を形成する。次に、第1実施形態と同様に凸部6を形成する。次に、ライナー15で流路14を覆いつつ、ライナー15を接着剤で本体2の一主面に接着する。以上のようにして、本実施形態の搬送アーム1を作製することができる。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良、組み合わせ等が可能である。
1 搬送アーム
2 本体
3 載置面
4 取付け面
5 取付け孔
6 凸部
7 第1凸部
8 第2凸部
9 第3凸部
10 第4凸部
11 凸部の先端部
12 被膜
13 突出部
14 流路
15 ライナー

Claims (9)

  1. 対象物が載置される載置面と、駆動装置に取り付けられる取付け面と、該取付け面から突出した複数の凸部とを有するセラミックスからなる板状の本体を備え、複数の前記凸部は、平面視にて環状である第1凸部と、平面視にて環状であるとともに、前記第1凸部を取り囲む第2凸部とを含むことを特徴とする搬送アーム。
  2. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記本体は、前記取付け面に開口した複数の取付け孔をさらに有しており、
    前記凸部は、前記複数の取付け孔を取り囲んでいることを特徴とする搬送アーム。
  3. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記凸部は、前記取付け面から先端部に向かって幅が小さくなるテーパー状であることを特徴とする搬送アーム。
  4. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記凸部の先端部は、平面状であることを特徴とする搬送アーム。
  5. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記凸部は、錐台状または柱状であることを特徴とする搬送アーム。
  6. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記本体の取付け面を被覆した被膜をさらに備え、
    該被膜の一部は、前記凸部の表面を被覆していることを特徴とする搬送アーム。
  7. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記本体の一主面に配された溝状の流路と、該流路を覆いつつ前記本体の前記一主面に接着したライナーとをさらに備え、
    該ライナーの一端部は、前記取付け面に配されており、
    前記凸部は、前記ライナーの前記一端部を取り囲んでいることを特徴とする搬送アーム。
  8. 請求項1に記載の搬送アームにおいて、
    前記セラミックスは、アルミナ/炭化チタン複合材料からなることを特徴とする搬送アーム。
  9. 請求項1に記載の搬送アームと、該搬送アームの前記取付け面が取り付けられた駆動装置とを備えた搬送装置。
JP2013176226A 2013-08-28 2013-08-28 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置 Active JP6169923B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013176226A JP6169923B2 (ja) 2013-08-28 2013-08-28 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013176226A JP6169923B2 (ja) 2013-08-28 2013-08-28 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015046452A JP2015046452A (ja) 2015-03-12
JP6169923B2 true JP6169923B2 (ja) 2017-07-26

Family

ID=52671757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013176226A Active JP6169923B2 (ja) 2013-08-28 2013-08-28 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6169923B2 (ja)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0661331A (ja) * 1992-08-06 1994-03-04 Tokyo Electron Tohoku Ltd 基板搬送装置
JP2928196B2 (ja) * 1997-05-15 1999-08-03 九州日本電気株式会社 ウエハ搬送アーム
JP3974850B2 (ja) * 2002-12-25 2007-09-12 三基エンジニアリング株式会社 薄板材料の把持装置
JP2012245597A (ja) * 2011-05-31 2012-12-13 Kyocera Corp 搬送アームおよびそれを用いた吸着装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015046452A (ja) 2015-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10964560B2 (en) Substrate chuck and substrate bonding system including the same
JP6338555B2 (ja) 吸着機構及び吸着方法並びに製造装置及び製造方法
JP6141879B2 (ja) 吸着部材およびそれを用いた吸着装置
US8336866B2 (en) Stage for substrate
US20170040205A1 (en) High-hardness-material-powder infused elastomer for high friction and compliance for silicon wafer transfer
JP2008211098A (ja) 真空吸着装置、その製造方法および被吸着物の吸着方法
JP5261057B2 (ja) 吸着盤および真空吸着装置
US20100144147A1 (en) Sample holding tool, sample suction device using the same and sample processing method using the same
JP2011009424A (ja) 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法
JP2011009423A (ja) 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法
JP6169923B2 (ja) 搬送アームおよびこれを備えた搬送装置
JP2008227125A (ja) 真空吸着装置及びそれを用いた吸着方法
US20180311796A1 (en) Substrate holding device, substrate holding member, and substrate holding method
JP2014165405A (ja) 流路部材、これを用いた真空吸着装置および冷却装置ならびに流路部材の製造方法
JP6148084B2 (ja) 吸着部材
KR102002553B1 (ko) 반도체 웨이퍼의 정밀이송을 위한 경량 진공척
JP6224330B2 (ja) 吸着部材、これを用いた真空吸着装置および冷却装置
WO2018190220A1 (ja) シャワーヘッド
JP2009055017A (ja) 保持用治具およびそれを用いた吸着装置
US10068783B2 (en) Sample holder
JP2012245597A (ja) 搬送アームおよびそれを用いた吸着装置
WO2008038415A1 (fr) Élément de buse d'aspiration pour un composant électronique
JP6640764B2 (ja) 搬送アーム、基板搬送装置ならびに基板処理装置
CN102751225A (zh) 用于较薄管芯处理的方法和装置
KR102632768B1 (ko) 웨이퍼 배치대

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170113

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170207

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170530

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6169923

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150