JP6163303B2 - Particle supply apparatus and particle charge amount measuring apparatus having the same - Google Patents
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Description
本発明は、トナーなどの微細な粒子を連続供給する装置、及び、これを備えた粒子帯電量測定装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for continuously supplying fine particles such as toner and a particle charge amount measuring apparatus having the apparatus.
粒子供給装置及びこれを備えた粒子帯電量測定装置としては、例えば特許文献1に示されているように、複写機用のトナーなどの微細な粒子が付着された磁性体からなるキャリアを、ロート状のキャリア供給容器を介してキャリア支持体の外周に向けて供給し、キャリア支持体の外周に備えられたキャリア吸着保持部にキャリアを磁力によって吸着保持させ、キャリア支持体の回転に伴って移動するキャリアに向けてノズルから噴出したガスを吹き付けることで、キャリアから粒子を吹き飛ばして分離し、分離した粒子を帯電量測定部に落下供給するように構成したものが知られている。
As a particle supply device and a particle charge amount measuring device including the particle supply device, for example, as disclosed in
上記構成の粒子帯電量測定装置においては、ノズルからのガス噴出角度が変わるとキャリアから分離される粒子の量が変化して帯電量測定部への粒子供給量が変ることになる。測定者によって、ノズルの位置と傾斜角度が変わることになり、測定値の調整セットにばらつきが生じ、測定精度に影響を及ぼすという課題がある。 In the particle charge amount measuring apparatus having the above configuration, when the gas ejection angle from the nozzle changes, the amount of particles separated from the carrier changes and the amount of particles supplied to the charge amount measuring unit changes. Depending on the measurer, the position of the nozzle and the inclination angle change, and there is a problem that the adjustment set of measurement values varies and affects the measurement accuracy.
また、この粒子帯電量測定装置においては、キャリアをキャリア支持体に供給するためのキャリア供給容器は、ノズルが配備された粒子分離箇所からキャリア回転方向上手側に設定されたキャリア供給箇所に脱着可能に配備されており、試料が代わる度に取り外して清掃し、再度装着する。このキャリア供給容器を再装着する際の装着位置の再現性が悪いものとなっており、キャリア供給容器のキャリア出口とキャリア支持体との間隔が一定せず、キャリアの供給量にばらつきが生じて、測定精度に影響を及ぼすという課題もあった。 Further, in this particle charge amount measuring apparatus, the carrier supply container for supplying the carrier to the carrier support can be detached from the particle separation position where the nozzle is provided to the carrier supply position set on the upper side in the carrier rotation direction. The sample is removed and cleaned each time the sample is changed. The reproducibility of the mounting position when re-mounting the carrier supply container is poor, the distance between the carrier outlet of the carrier supply container and the carrier support is not constant, and the carrier supply amount varies. There was also a problem of affecting measurement accuracy.
本発明は、このような実情に着目してなされたものであって、測定者および目測による調節のばらつきを低減して再現性を高いものにし、キャリアからの粒子の分離供給を的確に行うことができる粒子供給装置及びこれを備えた粒子帯電量測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made paying attention to such a situation, and reduces variation in adjustment by the measurer and the eye measurement to improve reproducibility, and accurately perform the separation and supply of particles from the carrier. It is an object of the present invention to provide a particle supply device capable of performing the above and a particle charge amount measuring device including the same.
上記目的を達成するために、本発明では次のように構成している。 In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
(1)本発明は、粒子が付着されたキャリアをキャリア支持体の表面に吸着保持して移動させ、前記キャリアに向けてガスを噴出することで、キャリアから粒子を分離して供給する粒子供給装置であって、
前記キャリア支持体に吸着保持された前記キャリアに向けて粒子分離用の前記ガスを噴出するノズルを、キャリア支持体のキャリア吸着部に対して接近及び離間させるノズル位置調節手段と、ノズル先端を中心として前記ノズルを傾斜させてガス噴出角度を変更可能にするノズル角調節手段とを備えるとともに、各調節手段に調節状態を示す表示用の目盛りを備え、
前記キャリア支持体は、鉛直の軸心周りに回動可能な円筒状であって、その外周に沿って環状に備えられたキャリア吸着部に前記キャリアを吸着保持するものであり、
前記キャリア支持体の鉛直方向の長さは、前記キャリア吸着部よりも鉛直下方の部分が、前記キャリア吸着部よりも鉛直上方の部分に比べて長い。
(1) The present invention provides a particle supply that separates and supplies particles from the carrier by adsorbing and holding the carrier with the particles attached thereto on the surface of the carrier support, moving the carrier, and ejecting gas toward the carrier. A device,
A nozzle position adjusting means for causing the nozzle for ejecting the gas for particle separation toward the carrier held by adsorption on the carrier support to approach and separate from the carrier adsorption portion of the carrier support; And a nozzle angle adjusting means that makes it possible to change the gas ejection angle by inclining the nozzle, and each adjusting means is provided with a scale for display indicating an adjustment state ,
The carrier support is a cylindrical shape that is rotatable around a vertical axis, and holds the carrier by suction on a carrier suction portion provided in an annular shape along the outer periphery thereof,
The length of the carrier support in the vertical direction is longer at the part vertically below the carrier adsorption part than at the part vertically above the carrier adsorption part.
本発明によると、表示用の目盛りを見て調節状態を確認してノズルの位置調節および角度調節を行うことができるので、ノズルの設定を高い再現精度で行うことができ、測定者が代わっても所定のノズルの位置および角度に設定してキャリアからの粒子の分離を的確に行うことができる。 According to the present invention, it is possible to adjust the position and angle of the nozzle by checking the adjustment state by looking at the display scale, so that the setting of the nozzle can be performed with high reproducibility. In addition, it is possible to accurately separate the particles from the carrier by setting the position and angle of the nozzle.
特に、ノズル角度の調節を行ってもノズル先端位置が変化しないので、角度設定を速やかに行うことができる。 Particularly, since the nozzle tip position does not change even when the nozzle angle is adjusted, the angle can be set quickly.
(2)本発明の好ましい実施態様では、前記ノズル角調節手段は、下方に向けてガスを噴出する姿勢に前記ノズルを支持するノズルホルダと、該ノズルホルダを、ノズル先端を中心として傾斜調節および固定可能に支持するホルダ支持部材とを有し、前記ノズル位置調節手段は、前記ホルダ支持部材を、前記キャリア支持体に対して、水平方向と上下方向とに個別に調節及び固定可能に支持する。 (2) In a preferred embodiment of the present invention, prior Symbol nozzle angle adjusting means includes a nozzle holder supporting said nozzle position for ejecting the gas downward, the nozzle holder, adjusting the inclination around the nozzle tip The nozzle position adjusting means supports the holder support member so that the holder support member can be individually adjusted and fixed in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the carrier support body. To do.
この実施態様によると、ノズルの水平方向の位置調節、ノズルの上下方向の位置調節、および、ノズルの先端周りでの角度調節を各別に行うことで、キャリアに対して所望のガス噴出状態を得ることが容易となる。 According to this embodiment, a desired gas ejection state is obtained with respect to the carrier by separately adjusting the horizontal position of the nozzle, the vertical position of the nozzle, and the angle adjustment around the tip of the nozzle. It becomes easy.
(3)本発明の他の実施態様では、前記ホルダ支持部材は、前記ノズルホルダを、ノズル先端を中心として傾斜可能に案内する円弧状ガイドを有する。 (3) In another embodiment of the present invention, the holder support member has an arcuate guide that guides the nozzle holder so that the nozzle holder can be tilted about the nozzle tip.
この実施態様によると、ノズル先端を通る支点上に支点軸などの支点構造を設けなくても、ノズルホルダを任意に傾斜させることができ、ノズルの装着などに邪魔になることのない任意の箇所に円弧状ガイドを設置して、ノズル先端回りで所望の角度に傾斜させることができる。 According to this embodiment, it is possible to arbitrarily tilt the nozzle holder without providing a fulcrum structure such as a fulcrum shaft on a fulcrum passing through the nozzle tip, and any location that does not interfere with nozzle mounting or the like. An arc-shaped guide can be installed on the nozzle and inclined at a desired angle around the nozzle tip.
(4)本発明の更に他の実施態様では、前記ノズル位置調節手段は、前記ホルダ支持部材を、前記キャリア支持体に対して、前記水平方向および上下方向に移動調節するネジ送り手段を有する。 (4) In still another embodiment of the present invention, the nozzle position adjusting means has screw feeding means for moving and adjusting the holder support member in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the carrier support .
この実施態様によると、目盛りの視認と相まって、ノズルの位置調節を微細かつ容易に行うことができる。 According to this embodiment, the position adjustment of the nozzle can be finely and easily performed in combination with the visual recognition of the scale.
(5)本発明の他の実施態様では、前記ノズルによる粒子分離箇所よりキャリア支持体の移動方向上手側の箇所に、粒子付きのキャリアをキャリア支持体のキャリア吸着部に向けて流下供給するキャリア供給容器を、一定の位置及び姿勢で着脱可能に支持する容器ホルダと、該容器ホルダのキャリア支持体に対する位置を変更調節可能な容器位置調節手段とを備え、該容器位置調節手段は、調節状態を示す表示用の目盛りを有する。 (5) In another embodiment of the present invention, a carrier with particles flows down toward a carrier adsorbing portion of the carrier support from a position where particles are separated by the nozzle to a position on the upper side in the moving direction of the carrier support. A container holder for removably supporting the supply container at a fixed position and posture; and a container position adjusting means capable of changing and adjusting the position of the container holder with respect to the carrier support. Has a scale for display.
この実施態様によると、キャリア供給容器を清掃等のために取り外して再装着する際に、容易に元の位置及び姿勢に装着することができる。また、キャリアの変更等に対応してキャリア供給容器の位置を変更調節する際も、目盛りを視認することで所定の容器位置に設定することができる。 According to this embodiment, when removing and remounting the carrier supply container for cleaning or the like, it can be easily mounted in the original position and posture. Further, when changing and adjusting the position of the carrier supply container in response to the change of the carrier or the like, the predetermined container position can be set by visually observing the scale.
(6)本発明の更に他の実施態様では、前記ノズルによる粒子分離箇所よりキャリア支持体の移動方向下手側の箇所に、キャリア支持体外周のキャリア吸着部に摺接するフェルト状のスクレーパを備える。 (6) In still another embodiment of the present invention, a felt-shaped scraper that is in sliding contact with the carrier adsorbing portion on the outer periphery of the carrier support is provided at a position on the lower side in the moving direction of the carrier support from the particle separation position by the nozzle.
この実施態様によると、粒子分離部を通過したキャリアは、キャリア回収部においてスクレーパで確実に掻取り除去され、キャリアの無い状態のキャリア吸着部が再びキャリア供給部に移動して、後続のキャリアの吸着保持を好適に行うことができる。 According to this embodiment, the carrier that has passed through the particle separation unit is surely scraped and removed by the scraper in the carrier recovery unit, and the carrier adsorbing unit without the carrier moves to the carrier supply unit again, so that the subsequent carrier Adsorption holding can be performed suitably.
(7)本発明の他の実施態様では、前記ノズルからガスを断続して噴出するための電磁弁を前記ノズルホルダに備える。 (7) In another embodiment of the present invention, the nozzle holder is provided with an electromagnetic valve for intermittently ejecting gas from the nozzle.
この実施態様によると、電磁弁からノズル先端までの距離が短いものとなり、電磁弁の作動に対して応答良くガスの噴出制御を行うことができるとともに、電磁弁からノズル先端までのガス流通における圧力損失がほとんど無く、所望の噴出圧でガスを吹き付けて粒子の分離を好適に行うことができる。 According to this embodiment, the distance from the solenoid valve to the nozzle tip is short, and it is possible to perform the gas ejection control with good response to the operation of the solenoid valve, and the pressure in the gas flow from the solenoid valve to the nozzle tip. There is almost no loss, and the particles can be suitably separated by blowing the gas at a desired jet pressure.
(8)本発明の他の実施態様では、前記電磁弁に加圧ガスを供給するバッファータンクを備える。 (8) In another embodiment of the present invention, a buffer tank that supplies pressurized gas to the electromagnetic valve is provided.
この実施態様によると、電磁弁に供給されるガスの圧力が安定するので、ガスを断続して噴出させても、安定した噴出圧でのガス噴出が可能となり、粒子の分離を確実かつ安定して行うことができる。 According to this embodiment, since the pressure of the gas supplied to the solenoid valve is stabilized, even if the gas is intermittently ejected, the gas can be ejected at a stable ejection pressure, and the separation of the particles is reliably and stably performed. Can be done.
(9)本発明に係る粒子帯電量測定装置は、上記(1)ないし(8)のいずれかに記載の粒子供給装置を備え、キャリアから分離した粒子を帯電量測定部に落下供給する。 (9) A particle charge amount measuring apparatus according to the present invention includes the particle supply device according to any one of (1) to (8), and drops and supplies particles separated from a carrier to a charge amount measuring unit.
本発明によると、測定者および目測による調節のばらつきを低減して再現性を高いものにし、キャリアからの粒子の分離供給を的確に行って、帯電量測定部への粒子供給を安定して行い、精度の高い帯電量測定を行うことができる。 According to the present invention, the variation in adjustment by the measurer and the eye measurement is reduced to improve the reproducibility, the particles are separated and supplied from the carrier accurately, and the particle supply to the charge amount measuring unit is stably performed. Highly accurate charge amount measurement can be performed.
このように、本発明によれば、測定者および目測による調節のばらつきを低減して再現性を高いものにし、キャリアからの粒子の分離供給を的確に行うことができる粒子供給装置及びこれを備えた粒子帯電量測定装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, a particle supply device capable of reducing the variation in adjustment by the measurer and the eye measurement to improve the reproducibility and accurately performing the separation and supply of the particles from the carrier, and the same are provided. In addition, a particle charge amount measuring apparatus can be provided.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施形態に係る粒子供給装置の概略平面図である。この粒子供給装置1は、鉛直軸心x周りに回転自在なキャリア支持体6の周囲に、その回転方向に沿ってキャリア供給部11、粒子分離部12、および、キャリア回収部13をこの順に固定配備して構成されている。キャリア供給部11は、キャリアcをキャリア支持体6に供給する。粒子分離部12は、キャリア支持体6に吸着保持されたキャリアcに対して窒素ガスなどの不活性ガスをノズル41を介して吹き付けて、キャリアcに付着されている測定対象であるトナーなどの粒子を分離して帯電量測定部3へ供給する。キャリア回収部13は、粒子が分離されたキャリアcを、キャリア支持体6から取り除いて回収する。
FIG. 1 is a schematic plan view of a particle supply apparatus according to an embodiment of the present invention. This
ここで、粒子帯電量測定装置は、図3に示すように、箱状に組上げられた粒子供給装置の下に配置されている部材(一点鎖線にて表している)を基台の天板2とし、その天板2の上に粒子供給装置1を搭載配備するとともに、天板2の下方に帯電量測定部3を配備した構造となっている。
Here, as shown in FIG. 3, the particle charge amount measuring device has a member (represented by an alternate long and short dash line) arranged under a particle supply device assembled in a box shape as a
図6に示すように、粒子供給装置1は、天板2上に支柱10を介して固定配備したフレーム4に電磁コイル5を装着支持するとともに、この電磁コイル5の下方に、キャリア支持体6を鉛直軸心x周りに回転自在に装着し、天板2上に台座7を介して縦向き姿勢で配備した減速機付きのモータ8とキャリア支持体6とをベルト9を介して巻き掛け連動して、キャリア支持体6を一定の速度で一定方向に駆動回転するよう構成し、かつ、キャリア支持体6の周囲に、その回転方向に沿って、上述のようにキャリア供給部11、粒子分離部12、および、キャリア回収部13をこの順に固定配備して構成されている。
As shown in FIG. 6, the
キャリア支持体6は、キャリア吸着部15となる磁性金属からなるリング状部材を、硬質樹脂材からなる非磁性体16で上下から挟持連結して中空の筒状に構成され、その内部に、図1に示すように、電磁コイル5によって励磁される扇形の電磁石17が固定配備されている。電磁石17の円弧状外周は、キャリア供給部11から粒子分離部12に至る範囲でリング部材15の内周に近接対向され、この範囲においてリング部材15が励磁されて、鉄粉などの磁性体からなるキャリアcをリング部材15の外周面で電磁吸着して保持するように構成されている。
The
図2〜図4に示すように、キャリア供給部11は、ロート状に形成されたキャリア供給容器21に収容したトナーなどの粒子が付着したキャリアcを、キャリア支持体6におけるリング部材15の外周面に形成されたキャリア吸着部15に向けて自重で流下供給するものであり、キャリア供給容器21から延出された流下管21aに外嵌固着した支持ブロック22が、容器ホルダ23の下部に固定した保持部23aに一定の位置および姿勢で脱着自在に嵌合支持され、セットネジ24によって固定されるようになっている。
As shown in FIG. 2 to FIG. 4, the
従って、清掃等のためにセットネジト24を緩めてキャリア供給容器21を保持部23aから取り外した後、再度、支持ブロック22を保持部23aに嵌め込むだけで、キャリア供給容器21を正しく元の位置および姿勢に装着することができる。
Therefore, after the
容器ホルダ23は、前記フレーム4に連結されたブラケット25に支持された縦長の水平移動金具26に上下スライド移動可能に嵌合支持され、キャリア支持体6に接近および離間できるように水平方向および上下方向に位置調節可能となっている。
The
詳述すると、水平移動金具26は、その上端部がブラケット25に対して水平移動可能に嵌合案内されるとともに、ブラケット25に装着した調節ネジ27によって水平にネジ送り移動可能に支持されている。また、この水平移動金具26に上下スライド可能に嵌合された容器ホルダ23は、調節ネジ28によって上下にネジ送り移動可能、かつ、セットネジ29の締め込みによって固定可能に支持されており、これら2方向のネジ送り移動によって容器ホルダ23の位置を調節し、キャリア供給容器21における流下管21aの下端とキャリア支持体6におけるキャリ吸着部15との間隔、及び、キャリア吸着部15に対する流下管21a下端の上下方向への位置調節を行うように構成されている。
More specifically, the upper end of the horizontal moving metal fitting 26 is fitted and guided so as to be horizontally movable with respect to the
また、各調節箇所には、水平方向および上下方向の調節位置を目視確認する目盛り30,31が備えられており、測定者が代わっても流下管21aの下端を正しく所定位置に設定することができるものとなっている。
Each adjustment location is provided with
図2および図5〜図7に示すように、粒子分離部12には、キャリア支持体6に吸着保持されて回動してくるキャリアcに窒素ガスなどの不活性ガスをノズル41を介して吹き付けて、キャリアcに付着されている測定対象であるトナーなどの粒子を分離して落下供給するものであり、ノズルホルダ42の下部にノズル41が所定の角度位置に下向き姿勢で装着されるとともに、このノズル41からのガス噴出を断続制御する電磁弁43もノズルホルダ42に装備支持されている。
As shown in FIGS. 2 and 5 to 7, in the
ノズルホルダ42は、前記フレーム4に連結されたブラケット44に水平移動金具45と上下移動金具46を介して、ノズル41の先端をキャリア支持体6に接近および離間できるように水平方向と上下方向とに位置調節可能、かつ、傾斜調節可能に支持されている。
The
すなわち、水平移動金具45は、ブラケット44に対してガイド軸47を介して水平移動可能に支持され、調節ネジ48によって水平方向にネジ送り移動可能にされるとともに、セットネジ49の締め込みによって固定可能に支持されている。また、上下移動金具46は、水平移動金具45に対してガイド軸50を介して上下移動可能に案内支持され、調節ネジ51によって上下方向にネジ送り移動可能にされるとともに、セットネジ52の締め込みによって固定可能に支持されている。これら2方向のネジ送り移動によってノズルホルダ42を移動させて、ノズル41の先端とキャリア支持体6におけるキャリア吸着部15との間隔、および、キャリア吸着部15に対するノズル41の先端の上下方向への位置調節を行うように構成されている。
That is, the horizontal movement metal fitting 45 is supported so as to be horizontally movable with respect to the
また、上下移動金具46にはホルダ支持部材53が一体連結され、このホルダ支持部材53に円弧溝として形成した円弧状ガイド54に、ノズルホルダ42の背面上部に突設した円弧状の突起55が嵌合されており、円弧状ガイド54に沿って突起55が案内移動されることで、ノズルホルダ42を介してノズル41を任意の位置角度に設定できるようになっている。また、セットネジ56を締め込むことで、任意の傾斜位置でノズルホルダ42を固定することができるようになっている。
In addition, a
ここで、円弧状ガイド54は、その曲率中心yが、ノズルホルダ42に装着固定されたノズル41の先端位置に相当するよう設定されており、従って、ノズル41の先端を中心としてノズルホルダ42を円弧状ガイド54に沿って移動させることで、ノズル41をその先端を中心として任意の角度に変更することが可能となっている。
Here, the
また、各調節箇所には、図2、図6および図7に示すように、水平方向および上下方向の調節位置を目視確認する目盛り57,58、ならびに、ノズル角度を目視確認する目盛り59が備えられており、測定者が代わってもノズル41の下端位置、および、ノズル角度を所定の位置および角度に正しく設定することができるものとなっている。
Further, as shown in FIGS. 2, 6 and 7, each adjustment location is provided with
図1、図2および図3に示されるキャリア回収部13は、粒子分離処理を経た後に、キャリア支持体6に付着残留しているキャリアcをキャリア吸着部15から取り除いて回収するものであり、フレーム4に調節軸61を介して高さ調節可能に装着したホルダ62にフェルトからなるスクレーパ63を挟持装着し、このスクレーパ63をキャリア支持体6の外周全体に押し付けるよう構成されている。このスクレーパ63によって、測定値に影響を及ぼす残留キャリアcを略完全に回収することができる。
The
帯電量測定部3は、粒子分離部12の直下方で行われるものであり、図6に示すように、キャリアcから分離されて落下供給される粒子を円筒状のフード65の内部に回収するとともに、フード内に縦向きに配備されたフィルタ付き吸引管66に粒子を吸引導入して周知構造の帯電量測定部3に送り込むよう構成されている。
The charge
なお、ノズル41からのガス噴出制御を行う電磁弁43は、図5に示すように、加圧したガスを貯留したバッファータンク66にホース67を介して接続されており、断続的にガス噴出制御を行う際に、噴出開始時点でのガス噴出圧が低下することが未然に回避されるようになっている。
As shown in FIG. 5, the
この実施形態の粒子帯電量測定装置は以上のように構成されており、キャリア支持体6を一定低速で一定方向に回転させながら、キャリア供給部11においてキャリア支持体6のキャリア吸着部15にキャリアcを所定量ずつ吸着保持させ、吸着保持されたキャリアcが粒子分離部12に至ると、ノズル41からのガス吹き付けによってキャリアcに付着していた粒子は分離されて落下し、吸引管66を介して帯電量測定部3に送り込まれて粒子径および帯電量分布が測定される。キャリア支持体6の非磁性体16の上下方向の長さは、図6に示すように、キャリア吸着部15の上方の非磁性体16に比べて、下方の非磁性体16を長くしており、吹き飛ばされた粒子が、再びキャリア支持体6の底面などに再付着しないようにしている。
The particle charge measuring device of this embodiment is configured as described above, and the
粒子分離部12を通過したキャリアcは、キャリア回収部13においてスクレーパ63で掻取り除去され、キャリアcの無い状態のキャリア吸着部15が再びキャリア供給部11に移動してゆく。
The carrier c that has passed through the
(他の実施形態)
上記実施形態とは逆に、円弧状ガイド54をホルダ支持部材53の前面に突設するとともに、この円弧状ガイド54に係合する円弧状の溝をノズルホルダ42の背面に形成して、ノズルホルダ42を、ノズル先端を通る支点y周りに角度調節することもできる。
(Other embodiments)
Contrary to the above-described embodiment, the arc-shaped
キャリア支持体6を停止させた状態で、粒子分離部12のノズル41からガスを吹き付けてキャリアcから粒子を分離して帯電量測定部3へ供給してもよい。
In a state where the
3 帯電量測定部
6 キャリア支持体
41 ノズル
42 ノズルホルダ
53 ホルダ支持部材
54 円弧状ガイド
57 目盛り
58 目盛り
59 目盛り
63 スクレーパ
66 バッファータンク
c キャリア
x 軸心
y 支点
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記キャリア支持体に吸着保持された前記キャリアに向けて粒子分離用の前記ガスを噴出するノズルを、キャリア支持体のキャリア吸着部に対して接近及び離間させるノズル位置調節手段と、ノズル先端を中心として前記ノズルを傾斜させてガス噴出角度を変更可能にするノズル角調節手段とを備えるとともに、各調節手段に調節状態を示す表示用の目盛りを備え、
前記キャリア支持体は、鉛直の軸心周りに回動可能な円筒状であって、その外周に沿って環状に備えられたキャリア吸着部に前記キャリアを吸着保持するものであり、
前記キャリア支持体の鉛直方向の長さは、前記キャリア吸着部よりも鉛直下方の部分が、前記キャリア吸着部よりも鉛直上方の部分に比べて長い、
ことを特徴とする粒子供給装置。 A particle supply device that separates and supplies particles from a carrier by adsorbing and moving the carrier to which the particles are attached to the surface of a carrier support, moving the carrier, and ejecting a gas toward the carrier,
A nozzle position adjusting means for causing the nozzle for ejecting the gas for particle separation toward the carrier held by adsorption on the carrier support to approach and separate from the carrier adsorption portion of the carrier support; And a nozzle angle adjusting means that makes it possible to change the gas ejection angle by inclining the nozzle, and each adjusting means is provided with a scale for display indicating an adjustment state ,
The carrier support is a cylindrical shape that is rotatable around a vertical axis, and holds the carrier by suction on a carrier suction portion provided in an annular shape along the outer periphery thereof,
The vertical length of the carrier support is such that the part vertically below the carrier adsorption part is longer than the part vertically above the carrier adsorption part,
The particle supply apparatus characterized by the above-mentioned.
前記ノズル位置調節手段は、前記ホルダ支持部材を、前記キャリア支持体に対して、水平方向と上下方向とに個別に調節及び固定可能に支持する、
請求項1に記載の粒子供給装置。 Before SL nozzle angle adjusting means includes a nozzle holder supporting said nozzle position for ejecting the gas downward, the nozzle holder, and a holder supporting member for adjusting the inclination and fixably supported around the nozzle tip Have
The nozzle position adjusting means supports the holder support member such that the holder support member can be individually adjusted and fixed in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the carrier support .
The particle supply apparatus according to claim 1.
請求項2に記載の粒子供給装置。 The holder support member has an arcuate guide that guides the nozzle holder so that the nozzle holder can be tilted about the nozzle tip.
The particle supply apparatus according to claim 2.
請求項2または3に記載の粒子供給装置。 The nozzle position adjusting means includes screw feeding means for moving and adjusting the holder support member in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the carrier support .
The particle supply apparatus according to claim 2 or 3.
請求項1ないし4のいずれかに記載の粒子供給装置。 A carrier supply container for supplying a carrier with particles to the carrier adsorbing part of the carrier support can be attached and detached at a certain position and posture from the particle separation position by the nozzle to the position on the upper side in the moving direction of the carrier support. And a container position adjusting means capable of changing and adjusting the position of the container holder with respect to the carrier support, and the container position adjusting means has a scale for display indicating an adjustment state.
The particle supply apparatus according to any one of claims 1 to 4.
請求項1ないし5のいずれかに記載の粒子供給装置。 A felt-shaped scraper that is in sliding contact with the carrier adsorbing portion on the outer periphery of the carrier support is provided at a location on the lower side in the moving direction of the carrier support from the particle separation location by the nozzle.
The particle supply apparatus according to any one of claims 1 to 5.
請求項2ないし4のいずれかに記載の粒子供給装置。 The nozzle holder is equipped with a solenoid valve for intermittently ejecting gas from the nozzle.
The particle supply apparatus according to any one of claims 2 to 4 .
請求項7に記載の粒子供給装置。 A buffer tank for supplying pressurized gas to the solenoid valve;
The particle supply apparatus according to claim 7.
ことを特徴とする粒子帯電量測定装置。 The particle supply device having the structure according to any one of claims 1 to 8, wherein the particles separated from the carrier are dropped and supplied to the charge amount measuring unit.
An apparatus for measuring the amount of charged particles.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012285186A JP6163303B2 (en) | 2012-12-27 | 2012-12-27 | Particle supply apparatus and particle charge amount measuring apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
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