JP6157629B2 - 反射するテラヘルツ放射と外部基準構造とを用いて材料特性を計算するためのシステム - Google Patents
反射するテラヘルツ放射と外部基準構造とを用いて材料特性を計算するためのシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6157629B2 JP6157629B2 JP2015538058A JP2015538058A JP6157629B2 JP 6157629 B2 JP6157629 B2 JP 6157629B2 JP 2015538058 A JP2015538058 A JP 2015538058A JP 2015538058 A JP2015538058 A JP 2015538058A JP 6157629 B2 JP6157629 B2 JP 6157629B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terahertz
- optical interface
- pulse
- receiver
- radiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 52
- 239000000463 material Substances 0.000 title description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 113
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000013305 flexible fiber Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241000270295 Serpentes Species 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- -1 extruded insulation Substances 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
- G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04J—MULTIPLEX COMMUNICATION
- H04J14/00—Optical multiplex systems
- H04J14/02—Wavelength-division multiplex systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
L=c×t/(2×n)
の式によってTD−THz波形から導出することができる。あるいは、厚さLが既知の値に保持されているならば、層の有効屈折率を導出することができる。
TERS=2×D/C
である。
L=D−c×([t1−t0]+[tj+1−tj])/2
である。
N平均=(t1−tj)/(TERS−([t1−t0]+[tj+1−tj]))
という比率となる。
温度
Claims (18)
- テラヘルツ放射を解釈するためのシステムであって、
第1のポートを通してテラヘルツ放射のパルスを出力するように構成されたテラヘルツ送信器と、
前記第1のポートを通して前記テラヘルツ放射のパルスの少なくとも一部を受信するように構成されたテラヘルツ受信器であって、該テラヘルツ受信器によって受信された前記放射に基づいて信号を出力するように構成されたテラヘルツ受信器と、
前記テラヘルツ放射のパルスに対して光学干渉を与える第1の光学的界面であって、前記テラヘルツ放射のパルスの第1の光学的界面反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射する第1の光学的界面と、
前記テラヘルツ放射のパルスに対して光学干渉を与える第2の光学的界面であって、前記テラヘルツ放射のパルスの第2の光学的界面反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射する第2の光学的界面と、
前記第1の光学的界面と前記第2の光学的界面との間で規定される間隔であって、前記テラヘルツ放射のパルスの少なくとも一部が照射される試料を受け入れるように構成されている間隔とを備え、
前記試料は、前記テラヘルツ放射のパルスの第1の試料反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射し、前記テラヘルツ放射のパルスの第2の試料反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射し、
前記テラヘルツ送信器と前記テラヘルツ受信器とが、ハウジング内に実質的に互いに隣接して配置されており、
該システムはさらに、前記テラヘルツ受信器と通信するプロセッサであって、前記テラヘルツ受信器から前記信号を受信するように構成され、前記信号に基づいて前記試料のキャリパー厚さ、密度、屈折率、または質量を求めるように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサと通信する位置センサであって、前記第1の光学的界面と前記第2の光学的界面との間の前記間隔の距離を決定し、距離信号を前記プロセッサに出力するように構成されている位置センサと
を備えるシステム。 - ガントリをさらに備え、
前記ハウジングが、前記ガントリに連結されており、
前記ガントリが、前記試料にわたって前記ハウジングを移動させるように構成されている、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の光学的界面が、前記ハウジングに取り付けられている、請求項2に記載のシステム。
- 前記第2の光学的界面が、前記ガントリに取り付けられており、
前記第2の光学的界面が、前記ハウジングが前記ガントリに沿って移動するのに伴って移動し、
前記第1の光学的界面と第2の光学的界面とが、概ね、互いに対向する、請求項3に記載のシステム。 - 前記位置センサが、渦電流センサである、請求項1に記載のシステム。
- 前記渦電流センサが、前記第1の光学的界面に取り付けられている、請求項5に記載のシステム。
- 前記渦電流センサが、前記ハウジングに取り付けられている、請求項5に記載のシステム。
- 前記位置センサが、前記試料の温度を測定するように構成されている温度センサである、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の光学的界面が、前記テラヘルツ送信器と前記試料との間に配置されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の光学的界面が、前記ハウジングに連結されている、請求項9に記載のシステム。
- 前記第1のポートが、レンズを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記試料が、少なくとも1つの層を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の光学的界面が透過性のある反射面であり、前記第2の光学的界面が完全に反射性の光学的界面である、請求項1に記載のシステム。
- 第2のポートをさらに備え、前記テラヘルツ送信器が、前記第2のポートを通してテラヘルツ放射のパルスを出力するように構成されており、
前記テラヘルツ受信器が、前記第2のポートを通して前記テラヘルツ放射のパルスの少なくとも一部を受信するように構成されており、
前記第1の光学的界面が、完全に反射性の光学的界面である、
請求項1に記載のシステム。 - 光パルスを出力するように構成された光源をさらに備え、
前記光源が、前記テラヘルツ送信器および前記テラヘルツ受信器と光通信し、
前記テラヘルツ受信器が前記光パルスによって前記テラヘルツ送信器と同期させられるように、前記テラヘルツ送信器と前記テラヘルツ受信器とが、前記光源から光パルスを受信するように同期させられている、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の光学的界面、第2の光学的界面、または試料によって反射される放射を、前記テラヘルツ受信器に向けるように構成されたビームスプリッタをさらに備える、請求項15に記載のシステム。
- 前記光源が、光ファイバーを介して前記テラヘルツ送信器または前記テラヘルツ受信器と光通信する、請求項15に記載のシステム。
- テラヘルツ放射を解釈するためのシステムであって、
第1のポートと第2のポートとを通してテラヘルツ放射のパルスを出力するように構成されたテラヘルツ送信器と、
前記第1のポートと前記第2のポートとを通して前記テラヘルツ放射のパルスの少なくとも一部を受信するように構成されたテラヘルツ受信器であって、該テラヘルツ受信器によって受信された前記放射に基づいて信号を出力するように構成されたテラヘルツ受信器と、
前記テラヘルツ放射のパルスに対して光学干渉を与える第1の光学的界面であって、前記テラヘルツ放射のパルスの第1の光学的界面反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射する、完全に反射性の光学的界面である第1の光学的界面と、
前記テラヘルツ放射のパルスに対して光学干渉を与える第2の光学的界面であって、前記テラヘルツ放射のパルスの第2の光学的界面反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射する第2の光学的界面と、
前記第1の光学的界面と前記第2の光学的界面との間で規定される間隔であって、前記テラヘルツ放射のパルスの少なくとも一部が照射される試料を受け入れるように構成されている間隔とを備え、
前記試料は、前記テラヘルツ放射のパルスの第1の試料反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射し、前記テラヘルツ放射のパルスの第2の試料反射部分を前記テラヘルツ受信器へと反射し、
前記テラヘルツ送信器と前記テラヘルツ受信器とが、ハウジング内に実質的に互いに隣接して配置されており、
該システムはさらに、前記テラヘルツ受信器と通信するプロセッサであって、前記テラヘルツ受信器から前記信号を受信するように構成され、前記信号に基づいて前記試料のキャリパー厚さ、密度、屈折率、または質量を求めるように構成されたプロセッサ
を備えるシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261716255P | 2012-10-19 | 2012-10-19 | |
US61/716,255 | 2012-10-19 | ||
PCT/US2013/065671 WO2014063044A2 (en) | 2012-10-19 | 2013-10-18 | System for calculation of material properties using reflection terahertz radiation and an external reference structure |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015536451A JP2015536451A (ja) | 2015-12-21 |
JP6157629B2 true JP6157629B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=50488902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015538058A Active JP6157629B2 (ja) | 2012-10-19 | 2013-10-18 | 反射するテラヘルツ放射と外部基準構造とを用いて材料特性を計算するためのシステム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9360296B2 (ja) |
EP (1) | EP2909573B1 (ja) |
JP (1) | JP6157629B2 (ja) |
KR (1) | KR102143540B1 (ja) |
CN (1) | CN104870931B (ja) |
CA (1) | CA2888631C (ja) |
ES (1) | ES2647469T3 (ja) |
WO (1) | WO2014063044A2 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013223945A1 (de) * | 2013-11-22 | 2015-05-28 | Inoex Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Prüfobjekten |
US9417181B2 (en) * | 2014-05-08 | 2016-08-16 | Advantest Corporation | Dynamic measurement of density using terahertz radiation with real-time thickness measurement for process control |
JP6459249B2 (ja) * | 2014-07-01 | 2019-01-30 | 大日本印刷株式会社 | 積層体の検査方法、積層体の製造方法および積層体の検査装置 |
US10684119B2 (en) * | 2015-03-03 | 2020-06-16 | Sikora Ag | Device and method for measuring the diameter and/or the wall thickness of a strand |
JP2017020837A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
JP6589239B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2019-10-16 | 株式会社Screenホールディングス | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
US20190078873A1 (en) * | 2016-04-04 | 2019-03-14 | Tetechs Inc. | Methods and systems for thickness measurement of multi-layer structures |
US11060859B2 (en) | 2016-04-04 | 2021-07-13 | Tetechs Inc. | Methods and systems for thickness measurement of multi-layer structures |
CN106290227B (zh) * | 2016-08-25 | 2020-06-02 | 成都曙光光纤网络有限责任公司 | 一种太赫兹波反射成像装置及方法 |
EP3516373B1 (en) * | 2016-09-20 | 2023-11-08 | Das-Nano Tech, S.L. | Method for characterising a material with layered structure and a measuring system |
DE102016118905A1 (de) * | 2016-10-05 | 2018-04-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum zeitaufgelösten Erfassen gepulster elektromagnetischer Hochfrequenzstrahlung |
DE102016119728A1 (de) * | 2016-10-17 | 2018-04-19 | Inoex Gmbh Lnnovationen Und Ausrüstungen Für Die Extrusionstechnik | Terahertz-Messgerät |
GB2567585B (en) * | 2016-10-24 | 2022-04-06 | Halliburton Energy Services Inc | Remote field eddy current tools |
US20180229437A1 (en) * | 2017-02-16 | 2018-08-16 | Ford Global Technologies, Llc | Windshield bond strength assessment by terahertz spectroscopy |
KR102508528B1 (ko) | 2017-09-12 | 2023-03-09 | 삼성전자주식회사 | 측정 장치 및 이를 포함하는 반도체 패키지 제조 시스템 |
US10323931B2 (en) * | 2017-10-27 | 2019-06-18 | Ford Motor Company | Method and system for aligning a terahertz sensor system |
US10773458B2 (en) * | 2018-02-02 | 2020-09-15 | The Boeing Company | Terahertz inspection for additively manufactured materials |
US10935368B2 (en) * | 2018-03-14 | 2021-03-02 | Honeywell Limited | Scanning caliper and basis weight sensor for sheet products using terahertz |
CN111886473B (zh) * | 2018-03-22 | 2022-04-12 | 3M创新有限公司 | 具有单个基准表面的时域太赫兹测量系统 |
CN109883337A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-06-14 | 北京航天计量测试技术研究所 | 基于太赫兹光谱技术的热障涂层厚度测量系统和测量方法 |
EP3742191A1 (en) * | 2019-05-24 | 2020-11-25 | Helmut Fischer GmbH | Terahertz measuring device and method of operating a terahertz measuring device |
CN110230987A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-09-13 | 四川省派瑞克斯光电科技有限公司 | 一种基于太赫兹时域光谱成像对橡胶复合材料的无损检测方法 |
EP3767224A1 (en) * | 2019-07-19 | 2021-01-20 | Helmut Fischer GmbH | Apparatus comprising at least one thz device and method of operating such apparatus |
US11555792B2 (en) | 2019-08-08 | 2023-01-17 | Apple Inc. | Terahertz spectroscopy and imaging in dynamic environments with performance enhancements using ambient sensors |
US11513004B2 (en) | 2019-08-08 | 2022-11-29 | Apple Inc. | Terahertz spectroscopy and imaging in dynamic environments |
US20220412723A1 (en) | 2019-10-10 | 2022-12-29 | 3M Innovative Properties Company | Methods and systems for blown film thickness measurement |
KR20210073380A (ko) * | 2019-12-10 | 2021-06-18 | 현대자동차주식회사 | 테라헤르츠파를 이용한 슬러리 도포량 측정 장치, 도포 시스템 및 이를 이용한 슬러리 도포량 측정 방법 |
WO2021118315A1 (ko) * | 2019-12-11 | 2021-06-17 | (주)미래컴퍼니 | 테라헤르츠파를 이용한 검사 시스템 |
DE102019135487A1 (de) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Vorrichtung zum Senden und/oder Empfangen von Terahertz-Strahlung und Verwendung hiervon |
JP2021012214A (ja) * | 2020-10-30 | 2021-02-04 | パイオニア株式会社 | 異物検出装置及び方法 |
CN114354444A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-04-15 | 中交天和机械设备制造有限公司 | 一种用于盾构机出土密度的实时检测仪器及方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IE54249B1 (en) * | 1982-05-17 | 1989-08-02 | Measurex Corp | Gauge for measuring a sheet of material |
AU777135B2 (en) | 1999-02-23 | 2004-10-07 | Teraview Limited | Method and apparatus for terahertz imaging |
CA2567967C (en) * | 2004-05-26 | 2016-08-02 | Picometrix, Llc | Terahertz imaging in reflection and transmission mode for luggage and personnel inspection |
US7345279B2 (en) * | 2005-09-20 | 2008-03-18 | Coherent, Inc. | Identification of hidden objects by terahertz heterodyne laser imaging |
WO2008147575A2 (en) | 2007-01-11 | 2008-12-04 | Rensselaer Polytechnic Institute | Systems, methods, and devices for handling terahertz radiation |
CN101802551A (zh) * | 2007-07-12 | 2010-08-11 | 派克米瑞斯有限责任公司 | 测量时域数据中脉冲的渡越时间位置的系统和方法 |
JP2009210421A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Sony Corp | テラヘルツ分光装置 |
JP5360741B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2013-12-04 | グローリー株式会社 | テラヘルツ光を用いた紙葉類の検査方法および検査装置 |
DE102009017845B4 (de) * | 2009-04-17 | 2011-07-21 | Pyreos Ltd. | Infrarotlichtsensor mit hoher Signalspannung und hohem Signal-Rausch-Verhältnis, sowie Infrarotlichtdetektor mit dem Infrarotlichtsensor |
CA2759983C (en) | 2009-04-27 | 2017-06-06 | Picometrix, Llc | System and method reducing fiber stretch induced timing errors in fiber optic coupled time domain terahertz systems |
-
2013
- 2013-10-18 EP EP13846546.3A patent/EP2909573B1/en active Active
- 2013-10-18 KR KR1020157012742A patent/KR102143540B1/ko active IP Right Grant
- 2013-10-18 CN CN201380062304.4A patent/CN104870931B/zh active Active
- 2013-10-18 WO PCT/US2013/065671 patent/WO2014063044A2/en active Application Filing
- 2013-10-18 ES ES13846546.3T patent/ES2647469T3/es active Active
- 2013-10-18 US US14/436,073 patent/US9360296B2/en active Active
- 2013-10-18 CA CA2888631A patent/CA2888631C/en active Active
- 2013-10-18 JP JP2015538058A patent/JP6157629B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2888631C (en) | 2021-01-26 |
JP2015536451A (ja) | 2015-12-21 |
CA2888631A1 (en) | 2014-04-24 |
CN104870931B (zh) | 2017-08-29 |
CN104870931A (zh) | 2015-08-26 |
EP2909573A4 (en) | 2016-06-08 |
US20150268030A1 (en) | 2015-09-24 |
ES2647469T3 (es) | 2017-12-21 |
EP2909573A2 (en) | 2015-08-26 |
WO2014063044A2 (en) | 2014-04-24 |
US9360296B2 (en) | 2016-06-07 |
KR102143540B1 (ko) | 2020-08-11 |
EP2909573B1 (en) | 2017-09-06 |
KR20150082318A (ko) | 2015-07-15 |
WO2014063044A3 (en) | 2014-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6157629B2 (ja) | 反射するテラヘルツ放射と外部基準構造とを用いて材料特性を計算するためのシステム | |
Yu et al. | Fiber Fabry-Perot sensors for detection of partial discharges in power transformers | |
EP1853952B1 (en) | Compact fiber optic geometry for a counter-chirp fmcw coherent laser radar | |
Morris et al. | A Fabry–Pérot fiber-optic ultrasonic hydrophone for the simultaneous measurement of temperature and acoustic pressure | |
JP6167117B2 (ja) | 光センサ | |
EP2329218B1 (en) | Compact fiber-optic geometry for a counter chirp fmcw coherent laser radar | |
US20050185189A1 (en) | Fiber Optic Sensor | |
WO2021024614A1 (ja) | 距離計測システム、及び距離計測方法 | |
US20180180557A1 (en) | Sensor for non-destructive characterization of objects | |
CN109724648A (zh) | 基于正交偏振双波长激光多纵模自混合效应同步测量温度和应变的装置和方法 | |
US8797541B2 (en) | Optical network configuration with intrinsic delay for swept-wavelength interferometry systems | |
US20200025592A1 (en) | Methods and apparatus for interferometric interrogation of an optical sensor | |
WO2015179946A1 (en) | Robust terahertz spectrometer configuration against scanner heads misalignment | |
CN109520428A (zh) | 一种位移测量光学系统 | |
CA2825272C (en) | Use of digital transport delay to improve measurement fidelity in swept-wavelength systems | |
JP2014228444A (ja) | 光軸調整用の距離測定装置及び方法 | |
CN117723142A (zh) | 光纤振动传感器 | |
Kissinger et al. | Characterisation of a cryostat using simultaneous, single-beam multiple-surface laser vibrometry | |
Yost et al. | 3PA3. Optical fiber sensors for absolute calibration of ultrasound. J. Jarzynski (School of Mech. Eng., Georgia Inst. of Technol., Atlanta, GA 30332), JA Bucaro, N. Lagakos (Naval Res. Lab., Washington |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6157629 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |