JP6155699B2 - Heat treatment equipment - Google Patents

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本発明は、熱処理装置に関する。   The present invention relates to a heat treatment apparatus.

従来、電子部品やセラミック品などの被処理物の熱処理を行う技術として、例えば、特許文献１に示すものがある。この特許文献１には、リフロー炉（１）本体内に、電子部品が搭載され半田ペーストが塗布された基板（１７）を搬送するチェーンコンベア（２）と、このチェーンコンベア（２）に沿って順次設けられた加熱炉（３）と、チェーンコンベア（２）の上方に設けられるヒータ（１４）及びファン（１３）とを備えたリフロー炉（１）が記載されている。そして、このリフロー炉（１）では、ヒータ（１４）の熱を、ファン（１３）によって、下方にある基板（１７）の半田処理面である上側のみに照射することで、リフロー面（半田処理面）の半田が溶融し、電子部品が基板（１７）に半田付けされるようになっている。   Conventionally, as a technique for performing a heat treatment of an object to be processed such as an electronic component or a ceramic product, for example, there is one disclosed in Patent Document 1. In this Patent Document 1, a chain conveyor (2) for transporting a substrate (17) on which electronic components are mounted and solder paste is applied in the body of a reflow furnace (1), and along this chain conveyor (2) A reflow furnace (1) including a heating furnace (3) sequentially provided, a heater (14) and a fan (13) provided above the chain conveyor (2) is described. In the reflow furnace (1), the heat of the heater (14) is irradiated by the fan (13) only to the upper side, which is the solder processing surface of the substrate (17) below, so that the reflow surface (solder processing) The surface solder is melted, and the electronic component is soldered to the substrate (17).

特許第４０８２４６２号公報Japanese Patent No. 4082462

ところで、このような被処理物の熱処理を行う構成において、複数の被処理物を棚状に形成されたマガジンに所定の間隔を空けて収容し、このマガジン全体を加熱炉で熱処理することで、一度に多くの被処理物の熱処理を行う場合がある。そして、このように複数の被処理物がマガジンに収容されている構成では、これら複数の被処理物を効率よく均一に昇温させる構成が求められている。   By the way, in the configuration for performing the heat treatment of such an object to be processed, a plurality of objects to be processed are accommodated at a predetermined interval in a magazine formed in a shelf shape, and the entire magazine is heat-treated in a heating furnace, There are cases where a large number of objects to be processed are subjected to heat treatment at a time. In such a configuration in which a plurality of objects to be processed are accommodated in a magazine, a structure for efficiently and uniformly raising the temperature of the plurality of objects to be processed is required.

しかしながら、上記特許文献１のように、基板（１７）（被処理物）の上方に設けられるヒータからの熱風を基板表面に単に吹き付けるだけの構成では、マガジンに搭載される複数の被処理物全体に熱風を行き渡らせることは難しく、マガジン内で昇温度合いにバラツキが発生しやすくなり、昇温効率が低下するといった問題があった。   However, as in Patent Document 1, in the configuration in which hot air from a heater provided above the substrate (17) (object to be processed) is simply blown onto the substrate surface, the entire plurality of objects to be processed mounted in the magazine It is difficult to spread hot air over the magazine, and there is a problem in that the temperature rise degree tends to vary in the magazine and the temperature rise efficiency is lowered.

本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、複数のワークにおいて昇温のばらつきが生じにくく、昇温効率を効果的に高めることが可能な熱処理装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus that is unlikely to cause a variation in temperature rise among a plurality of workpieces and that can effectively increase the temperature raising efficiency. And

上記目的を達成するため、本発明は、複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、前記保持部材（３０，２３０，３３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置する配置部（７０）と、を備え、前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向し、前記保持部材（２３０）は、前記前後方向の一方側及び他方側にそれぞれ支持壁（３３ｂ，３３ｄ）が対をなして設けられ、前記配置部（７０）により前記保持部材（２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたときに、前記吹き出し口（２４）から吹き出される前記加熱気体が一対の前記支持壁（３３ｂ，３３ｄ）の間を流れる構成となっており、更に、一対の前記支持壁（３３ｂ，３３ｄ）の少なくともいずれかに、前記保持部材（２３０）の内部から外部へと前記加熱気体を導出可能な導出口が形成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at intervals, and the holding member ( 30, 230, 330) and heat-treating the workpiece (50) held by the holding member (30, 230), and a heat treatment chamber (10) in the heat treatment chamber (10) A heating unit (4) for heating the internal gas, and a heating gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4) are configured to be blown, and the heating gas is circulated in the heat treatment chamber (10). A blower (6) for generating a flow, a gas inlet (22) through which the heated gas can be introduced, and an outlet (24) for discharging the heated gas introduced from the gas inlet (22), A guide channel (20) with The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), and the arrangement portion (70) has a predetermined perpendicular to the height direction of the holding member (30, 230) in the heat treatment chamber (10). The holding members (30, 230) are configured to hold a plurality of objects (50) at intervals in the height direction, and the front and rear directions and At least one side in the lateral direction orthogonal to the height direction has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other, and the holding member (30, 230) is arranged by the arrangement portion (70). 230) is the heat treatment When arranged at a predetermined position in the chamber (10), the outlet (24) faces the open side of the holding member (30, 230), and the holding member (230) Support walls (33b, 33d) are provided in pairs on one side and the other side in the front-rear direction, and the holding member (230) is placed in a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the placement portion (70). The heated gas blown out from the blow-out port (24) is arranged between the pair of support walls (33b, 33d), and the pair of support walls (33b). 33d) is formed with a lead-out port through which the heated gas can be led out from the inside of the holding member (230) to the outside .

請求項１の発明では、熱処理室（１０）内に存在する内部気体が加熱部（４）により加熱され、その加熱気体が送風部（６）によって送風されることで、熱処理室（１０）内において加熱気体を循環させる流れが発生する。更に、加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、気体導入口（２２）から導入された加熱気体を放出する吹き出し口（２４）とを備えた誘導流路（２０）が設けられ、少なくとも所定時間の間、保持部材（３０，２３０）に保持された複数の被処理物と、誘導流路（２０）の吹き出し口（２４）とが対向するように、保持部材（３０，２３０）が配置されるようになっている。つまり、誘導流路（２０）は、取り込んだ加熱気体を保持部材（３０，２３０）に保持された複数の被処理物に向けて放出するように加熱気体の流れを生じさせるため、複数の被処理物間に構成される隙間に向けて加熱気体を積極的に流すことができる。従って、複数の被処理物に対し、より満遍なく効果的に加熱気体を行き渡らせることができ、ひいては、複数の被処理物をより均一に且つより効率的に昇温させることが可能となる。   In invention of Claim 1, the internal gas which exists in the heat processing chamber (10) is heated by the heating part (4), and the heating gas is ventilated by the ventilation part (6), Therefore In the heat processing chamber (10) A flow that circulates the heated gas is generated. Furthermore, the induction flow path (20) provided with the gas inlet (22) which can introduce | transduce heated gas, and the blower outlet (24) which discharge | releases the heated gas introduced from the gas inlet (22) is provided, The holding member (30, 230) so that the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. Is arranged. That is, the induction flow path (20) generates a flow of heated gas so as to discharge the captured heated gas toward a plurality of objects to be processed held by the holding members (30, 230). The heated gas can be actively flowed toward the gap formed between the processed objects. Therefore, the heated gas can be distributed more uniformly and effectively to the plurality of objects to be processed, and as a result, the temperatures of the plurality of objects to be processed can be more uniformly and more efficiently increased.

図１は、第１実施形態に係る熱処理装置の構成を概念的に例示する斜視図である。FIG. 1 is a perspective view conceptually illustrating the configuration of the heat treatment apparatus according to the first embodiment. 図２は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる熱処理室の内部を平面視した構成を概念的に説明する説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram conceptually illustrating a configuration in plan view of the inside of the heat treatment chamber used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図３は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる熱処理室の構成に関し、図２とは異なる別例を説明する説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining another example different from FIG. 2 regarding the configuration of the heat treatment chamber used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図４は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる誘導流路及び保持部材等の構成を概略的に例示する斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically illustrating the configuration of the guide channel and the holding member used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図５は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる吹き出し口の形状を説明する説明図である。FIG. 5 is an explanatory view for explaining the shape of the outlet used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図６は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる吹き出し口の形状と配置位置を説明する説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the shape and arrangement position of the outlet used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図７は、第１実施形態の熱処理装置に関し、吹き出し口から吹き出された加熱気体と保持部材に保持された複数の被処理物との位置関係を説明する説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the positional relationship between the heated gas blown from the blowout port and a plurality of objects to be processed held by the holding member in the heat treatment apparatus according to the first embodiment. 図８は、第１実施形態の熱処理装置で用いられる熱処理室の内部での加熱気体の流れを説明する説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating the flow of the heated gas inside the heat treatment chamber used in the heat treatment apparatus of the first embodiment. 図９は、図８のＡ−Ａ位置での誘導流路及び保持部材等の断面を拡大して示す概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing an enlarged cross section of the guide channel and the holding member at the position AA in FIG. 図１０は、第１実施形態に係る熱処理装置の熱処理室内で測定した被処理物の昇温特性の測定結果を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing the measurement results of the temperature rise characteristics of the workpiece measured in the heat treatment chamber of the heat treatment apparatus according to the first embodiment. 図１１は、誘導流路を備えていない熱処理装置の熱処理室内で測定した被処理物の昇温特性の測定結果を比較例として示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing, as a comparative example, the measurement result of the temperature rise characteristic of the workpiece measured in the heat treatment chamber of the heat treatment apparatus not provided with the induction channel. 図１２（Ａ）は、第１実施形態の第１変形例に係る熱処理装置で用いる保持部材及びそれに保持される被処理物を概略的に示す斜視図であり、図１２（Ｂ）は、その保持部材を前方から見た概略図であり、図１２（Ｃ）は、その保持部材を側方からみた概略図である。FIG. 12A is a perspective view schematically showing a holding member used in the heat treatment apparatus according to the first modification of the first embodiment and an object to be processed that is held by the holding member, and FIG. It is the schematic which looked at the holding member from the front, and Drawing 12 (C) is the schematic which looked at the holding member from the side. 図１３は、第１実施形態の第２変形例に係る熱処理装置で処理対象となる被処理物の構成を説明する説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating the configuration of an object to be processed in the heat treatment apparatus according to the second modification of the first embodiment. 図１４は、第２実施形態に係る熱処理装置で用いる保持部材の構成を概略的に例示する斜視図である。FIG. 14 is a perspective view schematically illustrating the configuration of the holding member used in the heat treatment apparatus according to the second embodiment. 図１５は、第２実施形態に係る熱処理装置での加熱気体の流れを説明する説明図である。FIG. 15 is an explanatory view for explaining the flow of the heated gas in the heat treatment apparatus according to the second embodiment. 図１６は、第２実施形態の変形例に係る熱処理装置で用いる保持部材等の構成を概略的に例示する斜視図である。FIG. 16 is a perspective view schematically illustrating the configuration of a holding member and the like used in a heat treatment apparatus according to a modification of the second embodiment.

［第１実施形態］
以下、本発明の熱処理装置を具現化した第１実施形態について、図面を参照して説明する。
本第１実施形態に係る熱処理装置１は、例えば、エポキシ樹脂やポリアミドイミドなどの硬化やＡｇペーストなど熱処理、セラミック基板の加熱、セラミックの焼成、ウエハの酸化工程等に用いることが可能な加熱炉（乾燥炉、硬化炉、リフロー炉等）として構成されている。この熱処理装置１は、図１に示すように、熱処理を行う熱処理室１０と、熱処理室１０内の内部気体を加熱するヒータ４と、ヒータ４により加熱された加熱気体Ｈを誘導流路２０へ送風するファン６を備えている。このうち、熱処理室１０は、図２又は図３のように、複数のマガジン３０を収容可能に構成され、室内ではヒータ４によって加熱された加熱空気が、例えば図８のようにファン６によって所定の経路に送り出されて循環するようになっており、その循環する経路の途中に各マガジン３０が配置される構成となっている。そして、複数のマガジン３０に保持された被処理物５０が加熱空気を受けて加熱され、熱処理が行われるようになっている。熱処理室１０内に収容されるマガジン３０には、複数の被処理物５０が高さ方向に並び且つ被処理物間に隙間を構成するように所定の間隔を空けて保持されている。そして、熱処理装置１の昇温領域１２では、後述するファン６及び誘導流路２０により、マガジン３０に保持される被処理物５０間の隙間位置（特に上下の隙間位置）に対して加熱気体Ｈを誘導し、当該加熱気体Ｈによって被処理物５０の昇温を促進している。なお、図１では、熱処理室１０の外殻をなす周壁や循環路８、９（図８）などを省略して示している。 [First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of a heat treatment apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
The heat treatment apparatus 1 according to the first embodiment is, for example, a heating furnace that can be used for hardening of epoxy resin or polyamideimide, heat treatment of Ag paste, heating of a ceramic substrate, firing of a ceramic, oxidation process of a wafer, etc. (Drying furnace, curing furnace, reflow furnace, etc.) As shown in FIG. 1, the heat treatment apparatus 1 includes a heat treatment chamber 10 that performs heat treatment, a heater 4 that heats an internal gas in the heat treatment chamber 10, and a heating gas H that is heated by the heater 4 to an induction channel 20. A fan 6 for blowing air is provided. Among these, the heat treatment chamber 10 is configured to accommodate a plurality of magazines 30 as shown in FIG. 2 or FIG. 3, and the heated air heated by the heater 4 is predetermined by the fan 6 as shown in FIG. The magazine 30 is circulated by being sent to the path, and each magazine 30 is arranged in the middle of the circulated path. And the to-be-processed object 50 hold | maintained in the some magazine 30 receives heated air, is heated, and heat processing is performed. In the magazine 30 accommodated in the heat treatment chamber 10, a plurality of objects to be processed 50 are held at predetermined intervals so as to be arranged in the height direction and to form a gap between the objects to be processed. In the temperature rising region 12 of the heat treatment apparatus 1, the heated gas H is applied to the gap position (particularly, the upper and lower gap positions) between the workpieces 50 held by the magazine 30 by the fan 6 and the guide channel 20 described later. And the temperature of the workpiece 50 is increased by the heated gas H. In FIG. 1, the peripheral wall forming the outer shell of the heat treatment chamber 10 and the circulation paths 8 and 9 (FIG. 8) are omitted.

ヒータ４は、「加熱部」の一例に相当し、熱処理室１０内の内部気体を加熱する機能を有する。また、ファン６は、「送風部」の一例に相当し、内部気体がヒータ４により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、熱処理室１０内において加熱気体を循環させる流れを発生させるように機能する。また、マガジン３０は、「保持部材」の一例に相当し、複数の被処理物５０を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持するように機能する。なお、マガジン３０は、複数の被処理物５０を、間隔をあけて並べて保持する構成であれば良く、複数の被処理物５０の並べ方は図７のように高さ方向に１列であってもよく、図１２のように高さ方向に複数列（図１２では２列）であってもよい。また、本明細書では、マガジン３０の搬送方向（マガジン搬送部７０の動作によってマガジン３０が移動する方向）が前後方向であり、この搬送方向と直交する所定の方向（図１の例では、マガジン３０内で被処理物５０が並ぶ方向）が高さ方向である。また、これら前後方向及び高さ方向と直交する方向が横方向（左右方向）である。   The heater 4 corresponds to an example of a “heating unit” and has a function of heating the internal gas in the heat treatment chamber 10. The fan 6 corresponds to an example of a “blower” and is configured to be able to blow a heated gas in which the internal gas is heated by the heater 4 so as to generate a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber 10. To work. The magazine 30 corresponds to an example of a “holding member”, and functions to arrange a plurality of objects to be processed 50 side by side in a predetermined height direction and hold them at intervals. Note that the magazine 30 may be configured to hold a plurality of objects to be processed 50 at intervals, and the plurality of objects 50 are arranged in a single row in the height direction as shown in FIG. Alternatively, there may be a plurality of rows (two rows in FIG. 12) in the height direction as shown in FIG. Further, in this specification, the conveyance direction of the magazine 30 (the direction in which the magazine 30 is moved by the operation of the magazine conveyance unit 70) is the front-rear direction, and a predetermined direction (in the example of FIG. The direction in which the objects to be processed 50 are arranged within 30) is the height direction. Moreover, the direction orthogonal to these front-back direction and height direction is a horizontal direction (left-right direction).

熱処理室１０は、図２、図３、図８等に示すように、周囲を取り囲む外壁によって内部が閉鎖された空間として構成されており、ヒータ４によって加熱された加熱空気がファン６によって送られることで室内を循環するようになっている。この熱処理室１０は、予備加熱を行う昇温領域１２と、所定温度で熱処理を行う均熱領域１４とを備えている（なお、図１では、均熱領域１４を省略して示している）。そして、昇温領域１２では、マガジン３０に保持された被処理物５０を、常温程度から所定温度（例えば、１８０℃）まで昇温させるようになっている。なお、図１〜図３等に示す本構成では、昇温領域１２内に誘導流路２０が設けられており、この誘導流路２０によって加熱空気を複数の被処理物５０の間に積極的に送り出す流れを作り、昇温効率を高めるようになっている（図１、図８参照：詳細は後述）。一方、均熱領域１４には、誘導流路２０が設けられておらず、この領域では、昇温領域１２内で所定温度まで昇温された被処理物５０を所定温度（例えば、１８０℃）付近で一定時間維持するように熱処理を行っている。   As shown in FIGS. 2, 3, 8, etc., the heat treatment chamber 10 is configured as a space whose interior is closed by an outer wall surrounding the periphery, and heated air heated by the heater 4 is sent by the fan 6. It is designed to circulate in the room. The heat treatment chamber 10 includes a temperature raising region 12 for performing preheating and a soaking region 14 for performing heat treatment at a predetermined temperature (in FIG. 1, the soaking region 14 is omitted). . In the temperature raising region 12, the object to be processed 50 held in the magazine 30 is heated from about room temperature to a predetermined temperature (for example, 180 ° C.). In addition, in this structure shown in FIGS. 1-3, etc., the induction | guidance | derivation flow path 20 is provided in the temperature rising area | region 12, and heated air is actively sent between the some to-be-processed objects 50 by this induction flow path 20. FIG. The temperature is increased to increase the temperature raising efficiency (see FIGS. 1 and 8: details will be described later). On the other hand, the soaking area 20 is not provided in the soaking area 14, and in this area, the workpiece 50 heated to a predetermined temperature in the temperature raising area 12 is heated to a predetermined temperature (for example, 180 ° C.). Heat treatment is performed so as to maintain a certain time in the vicinity.

本構成では、図１に示すように、熱処理室１０内においてマガジン３０の移動経路及び各誘導流路２０よりも上方側にヒータ４及びファン６が設けられており、ヒータ４は熱処理室１０内の上方側所定領域付近の内部空気を加熱するようになっている。また、ファン６は、熱処理室１０内において、例えばヒータ４と同程度の高さでヒータ４の近傍に配置されており、ヒータ４で加熱された加熱気体を下方側に向けて送り出すように機能している。例えば、図８の例では、ヒータ４が配置された空間（加熱空間）の空気がファン６側に流れ、この加熱空気がこのファン６によって循環路８に向けて送り出されるようになっている。そして、この循環路８は、ファン６が設けられた空間から、複数の誘導流路２０の各気体導入口２２に続いており、ファン６からの加熱空気が各誘導流路２０内に導かれるようになっている。そして、各誘導流路２０に設けられた対向壁部２１の吹き出し口２４（後述）からマガジン３０の側方に向けて加熱空気が吹き出され、この加熱空気は、マガジン３０内を通り抜けるようになっている。そして、マガジン３０を通り抜けた加熱空気は、その誘導流路２０とは反対側（マガジン３０を挟んで誘導流路２０とは反対側）に設けられた仕切り板８０側に向かい、この仕切り板８０に設けられた取り込み口８１を通って循環路９内に導かれるようになっている。そして、各取り込み口８１に連通する循環路９は、ヒータ４が設けられた空間に続いており、マガジン３０を通り抜けて循環路９内に導かれた加熱気体はヒータ４側に戻されるようになっている。なお、図８は、ヒータ４で加熱され、ファン６で送り出された加熱空気を各誘導流路２０に導き、マガジン３０から排出された排出空気を再びヒータ４側に戻す循環構成のあくまで一例であり、ファン６からの加熱空気を誘導流路２０内に導くことが可能であり、且つマガジン３０からの排出空気をヒータ４側に戻すことが可能な構成であれば他の構成を用いてもよい。   In this configuration, as shown in FIG. 1, the heater 4 and the fan 6 are provided in the heat treatment chamber 10 above the movement path of the magazine 30 and the induction flow paths 20. The internal air in the vicinity of a predetermined region on the upper side is heated. In addition, the fan 6 is disposed in the vicinity of the heater 4 in the heat treatment chamber 10 at a height similar to that of the heater 4, for example, and functions to send the heated gas heated by the heater 4 downward. doing. For example, in the example of FIG. 8, air in a space (heating space) in which the heater 4 is disposed flows toward the fan 6, and the heated air is sent out toward the circulation path 8 by the fan 6. The circulation path 8 continues from the space where the fans 6 are provided to the gas introduction ports 22 of the plurality of induction channels 20, and the heated air from the fans 6 is guided into the induction channels 20. It is like that. Then, heated air is blown out toward the side of the magazine 30 from a blowing port 24 (described later) of the opposing wall portion 21 provided in each guide channel 20, and this heated air passes through the inside of the magazine 30. ing. The heated air passing through the magazine 30 is directed to the partition plate 80 provided on the side opposite to the guide channel 20 (the side opposite to the guide channel 20 across the magazine 30). It is guided into the circulation path 9 through the intake port 81 provided in the circulator. The circulation path 9 communicating with each intake port 81 continues to the space in which the heater 4 is provided, so that the heated gas that has passed through the magazine 30 and is introduced into the circulation path 9 is returned to the heater 4 side. It has become. FIG. 8 is merely an example of a circulation configuration in which the heated air heated by the heater 4 and sent out by the fan 6 is guided to each induction flow path 20 and the exhaust air discharged from the magazine 30 is returned to the heater 4 side again. Yes, other configurations can be used as long as the heated air from the fan 6 can be guided into the induction flow path 20 and the exhausted air from the magazine 30 can be returned to the heater 4 side. Good.

なお、前後方向（搬送方向）におけるヒータ４及びファン６の配置は、図２に示すように、ヒータ４及びファン６の一部が昇温領域１２と均熱領域１４とで共用されるようになっていてもよい。この図２の例では、いずれかのヒータ４が、昇温領域１２（搬送方向の全領域のうち、誘導流路２０が設けられた領域）の上方位置と均熱領域１４（昇温領域１２よりも搬送方向後側の領域であって誘導流路２０が設けられていない領域）の上方位置とに跨って配置されており、このヒータ４は、昇温領域１２の上方空間及び均熱領域１４の上方空間のいずれの内部気体をも加熱しうるように構成されている。また、昇温領域１２と均熱領域１４とに跨って配置されるファン６は、昇温領域１２及び均熱領域１４のいずれにおいても加熱気体を下方側に送風するように構成されている。或いは、前後方向（搬送方向）におけるヒータ４及びファン６の配置は、図３に示すように、ヒータ４及びファン６が、昇温領域１２と均熱領域１４とでそれぞれ設けられていてもよい。この図３の例では、昇温領域１２（搬送方向の全領域のうち、誘導流路２０が設けられた領域）の上方位置に、当該昇温領域１２において専用で用いられるヒータ４及びファン６が設けられており、このヒータ４は、昇温領域１２の上方空間の内部気体を選択的に加熱しうるように構成されている。そして、昇温領域１２に設けられたファン６は、主に昇温領域１２内の加熱気体を下方側に送風するように構成されている。なお、図１、図８の構成は、図３のように昇温領域１２に専用のヒータ４及びファン６が設けられた構成を例示するものである。   The arrangement of the heater 4 and the fan 6 in the front-rear direction (conveyance direction) is such that a part of the heater 4 and the fan 6 is shared by the temperature raising region 12 and the soaking region 14 as shown in FIG. It may be. In the example of FIG. 2, any one of the heaters 4 is positioned above the temperature rising region 12 (the region in which the guide flow path 20 is provided among all the regions in the transport direction) and the soaking region 14 (the temperature rising region 12. The heater 4 is disposed over the upper position of a region in the rear side of the transport direction and in which the guide channel 20 is not provided). It is comprised so that any internal gas of 14 upper space can be heated. The fan 6 disposed across the temperature rising region 12 and the soaking region 14 is configured to blow the heated gas downward in both the temperature rising region 12 and the soaking region 14. Or as for arrangement | positioning of the heater 4 and the fan 6 in the front-back direction (conveyance direction), as shown in FIG. 3, the heater 4 and the fan 6 may be provided in the temperature rising area | region 12 and the soaking | uniform-heating area | region 14, respectively. . In the example of FIG. 3, the heater 4 and the fan 6 that are used exclusively in the temperature rising region 12 above the temperature rising region 12 (the region in which the guide flow path 20 is provided among all the regions in the transport direction). The heater 4 is configured to selectively heat the internal gas in the space above the temperature raising region 12. And the fan 6 provided in the temperature rising area | region 12 is comprised so that the heating gas in the temperature rising area | region 12 may mainly be ventilated below. 1 and 8 exemplify a configuration in which the dedicated heater 4 and the fan 6 are provided in the temperature rising region 12 as shown in FIG.

更に、熱処理室１０内には、マガジン３０を搬送するマガジン搬送部７０が設けられている。このマガジン搬送部７０は、例えばコンベアなどから構成され、所定の搬送方向（前後方向）にマガジン３０を直線的に搬送するように構成されている。なお、図１〜図３等に示す例では、マガジン３０内において被処理物５０が並ぶ高さ方向（例えば鉛直方向）と直交する方向が搬送方向（前後方向）であり、図２、図３では、マガジン３０の搬送方向を、白抜き矢印α（以下、「搬送方向α」ともいう）で示している。図１〜図３に示す例では、熱処理室１０内において、４列のマガジン搬送部７０が設けられ、複数のマガジン３０が４列の搬送経路で並列に搬送されるようになっている。このように横方向に４列に広がった各搬送経路では、いずれもマガジン搬送部７０によって各マガジン３０が搬送方向αへ所定の時間間隔（例えば１０分）で順次移動され、その移動過程で各マガジン３０に保持される被処理物５０が加熱気体に晒されるように熱処理がなされる。具体的には、例えば、図２のような位置関係で一定時間（例えば１０分）保持され、その後、Ａ１の位置のマガジン３０がＡ２の位置に移動し、Ａ２の位置のマガジン３０がＡ３の位置に移動するように各マガジン３０の位置が一つずつ前側の位置にずれる。そして、そのずれた位置で一定時間（例えば１０分）保持され、その一定時間経過後には更に各マガジン３０の位置が一つずつ前側にずれるように１ステップずつの移動が繰り返される。なお、図３の場合でも同様に移動動作がなされる。   Further, in the heat treatment chamber 10, a magazine transport unit 70 that transports the magazine 30 is provided. The magazine transport unit 70 is composed of, for example, a conveyor, and is configured to linearly transport the magazine 30 in a predetermined transport direction (front-rear direction). In the example shown in FIGS. 1 to 3 and the like, the direction perpendicular to the height direction (for example, the vertical direction) in which the workpieces 50 are arranged in the magazine 30 is the transport direction (front-rear direction), and FIGS. Here, the conveyance direction of the magazine 30 is indicated by a hollow arrow α (hereinafter also referred to as “conveyance direction α”). In the example shown in FIGS. 1 to 3, four rows of magazine transport sections 70 are provided in the heat treatment chamber 10, and a plurality of magazines 30 are transported in parallel through four rows of transport paths. As described above, in each of the transport paths spread in four rows in the lateral direction, each magazine 30 is sequentially moved by the magazine transport unit 70 in the transport direction α at a predetermined time interval (for example, 10 minutes). Heat treatment is performed so that the workpiece 50 held in the magazine 30 is exposed to the heated gas. Specifically, for example, the magazine 30 at the position A1 is moved to the position A2 and the magazine 30 at the position A2 is moved to the position A3. The position of each magazine 30 is shifted to the front position one by one so as to move to the position. Then, the position is held at the shifted position for a certain time (for example, 10 minutes), and after the certain time has elapsed, the movement of each magazine 30 is repeated step by step so that the position of each magazine 30 is further shifted forward by one. In the case of FIG. 3, the moving operation is performed in the same manner.

図２、図３のいずれの構成でも、熱処理室１０は、マガジン搬送部７０がマガジン３０を搬送する搬送経路において前後方向の前半側に誘導流路２０が設けられた昇温領域１２が構成され、誘導流路２０よりも後に搬送される側に、誘導流路２０が設けられない均熱領域１４が構成されている。この構成では、熱処理室１０内の各搬送経路に投入された各マガジン３０は、一定時間（例えば３回の移動ステップに相当する一定時間）の間、昇温領域１２で維持されることで各マガジン３０に保持される被処理物５０の昇温が促進され、その後、均熱領域１４へ搬送されて一定時間（例えば９回の移動ステップに相当する一定時間）の間、熱処理されるようになっている。   2 and 3, the heat treatment chamber 10 includes the temperature raising region 12 in which the guide channel 20 is provided on the front half in the front-rear direction in the transport path in which the magazine transport unit 70 transports the magazine 30. The soaking area 14 where the guide channel 20 is not provided is formed on the side conveyed after the guide channel 20. In this configuration, each magazine 30 put in each conveyance path in the heat treatment chamber 10 is maintained in the temperature rising region 12 for a certain period of time (for example, a certain period corresponding to three movement steps). The temperature rise of the workpiece 50 held in the magazine 30 is promoted, and thereafter, the workpiece 50 is transported to the soaking area 14 and heat-treated for a certain time (for example, a certain time corresponding to nine moving steps). It has become.

なお、本構成では、マガジン搬送部７０が「配置部」の一例に相当し、少なくとも所定時間の間、マガジン３０に保持された複数の被処理物５０と、誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向した状態でマガジン３０を配置するように機能する。   In this configuration, the magazine transport unit 70 corresponds to an example of an “arrangement unit”, and a plurality of workpieces 50 held in the magazine 30 for at least a predetermined time, and the outlet 24 of the guide channel 20 Functions so as to arrange the magazines 30 in a state of facing each other.

図１に示すように、昇温領域１２内には、マガジン３０の開口部３４ａ、３４ｂと対向する位置に、誘導流路２０（詳細は後述）と、仕切り板８０によって外壁が構成された循環路９とが交互に設けられている。誘導流路２０は、ヒータ４によって加熱されるととともにファン６により誘導された加熱気体Ｈを、被処理物５０間の隙間位置へ導くように流路が構成されている。なお、図１、図４、図８等では、ファン６によって誘導流路２０に送られ、この誘導流路２０を通って吹き出し口から吹き出される気体の流れを矢印Ｆにて概念的に示している。   As shown in FIG. 1, in the temperature rising region 12, a circulation in which an outer wall is configured by a guide channel 20 (details will be described later) and a partition plate 80 at positions facing the openings 34 a and 34 b of the magazine 30. The paths 9 are provided alternately. The induction flow path 20 is configured to guide the heated gas H induced by the fan 6 to the gap position between the workpieces 50 while being heated by the heater 4. 1, 4, 8, and the like, the flow of gas that is sent to the guide channel 20 by the fan 6 and blown from the outlet through the guide channel 20 is conceptually indicated by an arrow F. ing.

図１、図４等に示すように、誘導流路２０は、加熱気体を導入可能な気体導入口２２と、気体導入口２２から導入された加熱気体を放出する複数の吹き出し口２４とを備えており、複数の壁部によって囲まれた形態でその内部において加熱気体を導く流路が構成されたものである。この誘導流路２０は、図４に示すように、前後方向両側に一対の壁部が設けられ、左右方向両側には、吹き出し口２４が形成されてなる一対の対向壁部２１が設けられている。そして、このように前後方向両側の壁部と左右方向両側の対向壁部２１とによって四方が囲まれた構成で内部が空洞形態の角筒状の流路（より具体的には、高さ方向に延びる流路）として構成されている。そして、この誘導流路２０の上端部に、ファン６によって送風された加熱気体Ｈを当該誘導流路２０の内部へ導入する気体導入口２２が形成されている。この気体導入口２２の形状は、特に限定されず、例えば、図１、図４等に示すように、箱形形状の上端部の開口として構成されていてもよく、後述する吹き出し口２４と同様に、複数の貫通孔などによって構成されていてもよい。   As shown in FIG. 1, FIG. 4, and the like, the induction flow path 20 includes a gas inlet 22 through which heated gas can be introduced, and a plurality of outlets 24 through which the heated gas introduced from the gas inlet 22 is released. In addition, a flow path that guides the heated gas is formed in a form surrounded by a plurality of wall portions. As shown in FIG. 4, the guide channel 20 is provided with a pair of wall portions on both sides in the front-rear direction, and on both sides in the left-right direction is provided with a pair of opposing wall portions 21 formed with blowout ports 24. Yes. In this way, the rectangular tube-shaped flow path (more specifically, in the height direction) is configured such that the four sides are surrounded by the wall portions on both sides in the front-rear direction and the opposing wall portions 21 on both sides in the left-right direction. It is configured as a flow path extending to A gas inlet 22 for introducing the heated gas H blown by the fan 6 into the inside of the induction channel 20 is formed at the upper end of the induction channel 20. The shape of the gas inlet 22 is not particularly limited, and may be configured as an opening at the upper end of a box shape, for example, as shown in FIGS. In addition, it may be configured by a plurality of through holes.

誘導流路２０を構成する複数の壁部の一部は、マガジン搬送部７０によってマガジン３０が熱処理室１０内の所定位置（当該誘導流路２０の側方の位置）に配置されたときにマガジン３０に保持された複数の被処理物５０と対向する対向壁部２１として構成されている。そして、この対向壁部２１には、複数の吹き出し口２４が当該対向壁部２１を貫通する貫通孔として形成されている。具体的には、箱状に構成される誘導流路２０の横方向（左右方向）両側に対向壁部２１がそれぞれ設けられており、各対向壁部２１に複数の吹き出し口２４が形成されている。   Some of the plurality of wall portions constituting the guide channel 20 are magazines when the magazine 30 is placed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 (position on the side of the guide channel 20) by the magazine transport unit 70. It is configured as an opposing wall portion 21 that faces a plurality of workpieces 50 held by 30. A plurality of outlets 24 are formed in the opposing wall portion 21 as through holes that penetrate the opposing wall portion 21. Specifically, opposing wall portions 21 are respectively provided on both sides in the lateral direction (left-right direction) of the guide channel 20 configured in a box shape, and a plurality of outlets 24 are formed in each opposing wall portion 21. Yes.

吹き出し口２４は、誘導流路２０内部へ導入された加熱気体Ｈを、マガジン３０に保持される複数の被処理物５０側に向けて吹き出すように構成されており、図１に示すように、昇温領域１２内において複数の被処理物５０と対面する位置に配置されている。この吹き出し口２４は、複数の貫通孔２４ａから構成されている。吹き出し口２４の形状は、例えば、図５（Ａ）に示すように円状であってもよく、図５（Ｂ）に示すように矩形状であってもよく、図５（Ｃ）に示すように被処理物５０の積層方向（所定方向）に対して直交する方向に延びるように形成された縦スリット形状であってもよい。   The blowout port 24 is configured to blow out the heated gas H introduced into the induction flow path 20 toward the plurality of workpieces 50 held in the magazine 30, as shown in FIG. It arrange | positions in the position which faces the some to-be-processed object 50 in the temperature rising area | region 12. FIG. The outlet 24 is composed of a plurality of through holes 24a. The shape of the outlet 24 may be, for example, a circle as shown in FIG. 5 (A), a rectangle as shown in FIG. 5 (B), or the shape shown in FIG. 5 (C). Thus, it may be a vertical slit shape formed so as to extend in a direction orthogonal to the stacking direction (predetermined direction) of the workpieces 50.

また、吹き出し口２４は、図６に示すように、被処理物５０の積層方向（所定方向）に対して平行する方向に延びるように形成された横スリット形状に構成されていてもよい。そして、図６に示すように、吹き出し口２４は、被処理物５０間の隙間位置と重なる位置に配置されているとよい。即ち、図６の構成では、マガジン搬送部７０の搬送により、マガジン３０と誘導流路２０とが横方向に並ぶように対向配置されたとき（即ち、複数の被処理物５０と誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向するようにマガジン３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき）、そのマガジン３０に保持される複数の被処理物５０における隣り合う被処理物間の隙間の高さに、各吹き出し口２４がそれぞれ配置されるようになっている。このように吹き出し口２４を配置することで、図７に示すように、加熱気体Ｈを被処理物５０間の隙間位置へより流れやすくすることができる。なお、図６左図は、マガジン３０を横方向一方側から見たときのマガジン３０内の構成を概略的に示すものであり、図６右図は、マガジン３０を横方向一方側から見たときの当該マガジン３０の奥側に配置される対向壁部２１の構成を概略的に示すものである。また、図６の構成に限らず、いずれの構成でも、マガジン３０と誘導流路２０とが横方向に並ぶように対向配置されたとき（即ち、複数の被処理物５０と誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向するようにマガジン３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき）、そのマガジン３０に保持される複数の被処理物５０における隣り合う被処理物間の隙間の高さに、各吹き出し口２４がそれぞれ配置されるようになっていてもよい。   Further, as shown in FIG. 6, the air outlet 24 may be configured in a horizontal slit shape formed so as to extend in a direction parallel to the stacking direction (predetermined direction) of the workpieces 50. And as shown in FIG. 6, the blower outlet 24 is good to be arrange | positioned in the position which overlaps with the clearance gap position between the to-be-processed objects 50. FIG. That is, in the configuration of FIG. 6, when the magazine 30 and the guide channel 20 are opposed to each other so as to be aligned in the horizontal direction by the transport of the magazine transport unit 70 (that is, a plurality of objects to be processed 50 and the guide channels 20. When the magazine 30 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 so as to face the blowout port 24), gaps between adjacent workpieces in the plurality of workpieces 50 held in the magazine 30 are determined. Each outlet 24 is arranged at a height. By arranging the outlet 24 in this manner, the heated gas H can be more easily flown into the gap position between the workpieces 50 as shown in FIG. The left figure in FIG. 6 schematically shows the configuration of the magazine 30 when the magazine 30 is viewed from one side in the horizontal direction, and the right figure in FIG. 6 is a diagram when the magazine 30 is viewed from one side in the horizontal direction. The structure of the opposing wall part 21 arrange | positioned in the back | inner side of the said magazine 30 at the time is shown roughly. In addition to the configuration of FIG. 6, in any configuration, when the magazine 30 and the guide channel 20 are arranged to face each other in a lateral direction (that is, a plurality of objects to be processed 50 and the guide channels 20 are arranged). When the magazine 30 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 so as to face the blowing port 24), the height of the gap between the adjacent workpieces in the plurality of workpieces 50 held in the magazine 30 is high. In addition, each outlet 24 may be arranged.

マガジン３０は、図１、図４、図６、図７等に示すように、板状部材３２を矩形状に組み合わせて形成された枠体３６から構成されている。この枠体３６は、壁部３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄと開口部３４ａ、３４ｂとから構成されている。そして、壁部３３ｂと３３ｄの内面側には、それぞれ被処理物５０を両端から挟み込むように支持する支持部（図示略）が所定の間隔毎に形成されており、この支持部によって、複数の被処理物５０を所定方向に互いに所定の間隔をあけて並んだ状態で保持するようになっている。このマガジン３０は、複数の被処理物５０を高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ横方向（前後方向及び高さ方向と直交する方向）の少なくとも一方側は当該マガジン３０の内部と外部とが連通する開放形態となっており、マガジン搬送部７０によりマガジン３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき、当該マガジン３０における開放形態となっている側に吹き出し口２４が対向するようになっている。なお、図１、図４等に示す例では、マガジン３０の横方向両側が開放しており、吹き出し口２４から横方向に吹き出された加熱空気がマガジン３０内を横方向に抜けるようになっている。ここで、被処理物５０間の距離は、小さくしすぎると、被処理物５０間へ流れる加熱気体Ｈの流量も小さくなって昇温効率が低下してしまうため、昇温効率の低下が抑えられる程度の大きさにすることが好ましい。そして、加熱気体Ｈは、例えば図４に示すように、開口部３４ａ側から被処理物５０間の隙間位置へ流れて、開口部３４ｂ側から排出されるようになっている。   As shown in FIGS. 1, 4, 6, 7, and the like, the magazine 30 includes a frame body 36 formed by combining plate members 32 into a rectangular shape. The frame body 36 includes wall portions 33a, 33b, 33c, and 33d and openings 34a and 34b. Further, on the inner surface side of the wall portions 33b and 33d, support portions (not shown) for supporting the workpiece 50 so as to be sandwiched from both ends are formed at predetermined intervals. The workpieces 50 are held in a state in which they are arranged in a predetermined direction at a predetermined interval. The magazine 30 is configured to hold a plurality of workpieces 50 at intervals in the height direction, and at least one side in the lateral direction (the front-rear direction and the direction perpendicular to the height direction) is the magazine 30. When the magazine 30 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70, the blowout port 24 is formed on the side of the magazine 30 that is open. Are designed to face each other. In the example shown in FIGS. 1, 4, etc., both sides of the magazine 30 are open in the lateral direction, so that the heated air blown laterally from the outlets 24 can pass through the magazine 30 in the lateral direction. Yes. Here, if the distance between the objects to be processed 50 is too small, the flow rate of the heated gas H flowing between the objects to be processed 50 is also decreased and the temperature raising efficiency is lowered. It is preferable to make it as large as possible. Then, for example, as shown in FIG. 4, the heated gas H flows from the opening 34 a side to the gap position between the workpieces 50 and is discharged from the opening 34 b side.

また、仕切り板８０は、各対向壁部２１と向かい合う位置にそれぞれ配置されている。本構成では、対向壁部２１の板面及び仕切り板８０の板面のいずれも横方向（左右方向）と直交する板面として構成されており、対向壁部２１と仕切り板８０とが、マガジン３０の搬送経路を挟んで左右に向かい合っている。そして、これら対向壁部２１と仕切り板８０との間にマガジン３０が配置されたときには、対向壁部２１から仕切り板８０に向かって流れる加熱空気がマガジン３０内（より具体的にはマガジン３０内の被処理物間）を通り抜けるようになっている。この仕切り板８０は、マガジン３０に隣接する循環路の一部（具体的には、マガジン３０から排出された加熱空気をヒータ４側に戻すための循環路９の一部）として構成されている。図８、図９に示すように、仕切り板８０には、貫通孔として構成される孔部８１が形成されており、対向壁部２１の吹き出し口２４から吹き出されてマガジン３０内を通り抜けた加熱空気は、その対向壁部２１に向かい合う仕切り板８０の孔部を通って循環路９に入り込むようになっている。そして、このように循環路９に送りこまれた空気は循環路９によってヒータ４が設けられた空間に送られるようになっている。なお、図１、図８では、仕切り板８０に形成された孔部８１を省略して示しているが、孔部８１の数、大きさ、形状などは様々に変更できる。例えば、マガジン搬送部７０の搬送により、マガジン３０、対向壁部２１、仕切り板８０が横方向に並ぶように対向配置されたとき（即ち、複数の被処理物５０と誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向するようにマガジン３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき）、そのマガジン３０に保持される複数の被処理物５０における隣り合う被処理物間の隙間の高さに、各孔部８１がそれぞれ配置されるようになっていてもよい。   Moreover, the partition plate 80 is arrange | positioned in the position facing each opposing wall part 21, respectively. In this configuration, both the plate surface of the opposing wall portion 21 and the plate surface of the partition plate 80 are configured as plate surfaces orthogonal to the horizontal direction (left-right direction), and the counter wall portion 21 and the partition plate 80 are configured as a magazine. It faces to the left and right across 30 transport paths. When the magazine 30 is disposed between the facing wall 21 and the partition plate 80, heated air flowing from the facing wall 21 toward the partition plate 80 is generated in the magazine 30 (more specifically, in the magazine 30. Between the objects to be processed). The partition plate 80 is configured as a part of the circulation path adjacent to the magazine 30 (specifically, a part of the circulation path 9 for returning the heated air discharged from the magazine 30 to the heater 4 side). . As shown in FIGS. 8 and 9, the partition plate 80 is formed with a hole portion 81 configured as a through hole, and is heated through the magazine 30 by being blown out from the outlet 24 of the opposing wall portion 21. The air enters the circulation path 9 through the hole of the partition plate 80 facing the facing wall portion 21. The air thus sent into the circulation path 9 is sent to the space where the heater 4 is provided by the circulation path 9. 1 and 8, the hole 81 formed in the partition plate 80 is omitted, but the number, size, shape, and the like of the hole 81 can be variously changed. For example, when the magazine 30, the opposing wall portion 21, and the partition plate 80 are arranged to face each other in the horizontal direction by the conveyance of the magazine conveyance unit 70 (that is, the outlets of the plurality of objects to be processed 50 and the guide channel 20. 24 when the magazine 30 is disposed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10), the height of the gap between the adjacent objects to be processed in the plurality of objects 50 to be held in the magazine 30. Each hole 81 may be arranged respectively.

次に、上述のように構成される熱処理装置１の昇温領域１２内における加熱気体Ｈの流れについて図８、図９等を参照して説明する。
図８、図９では、図１に示す熱処理室１０の昇温領域１２を前後方向と直交する平面方向に切断した切断面を概略的に示すものである。これら図８、図９では、加熱気体の流れＦは、実線矢印及び破線矢印で表されており、実線矢印は、ヒータ４により加熱された加熱気体Ｈがマガジン３０内へ誘導される様子を示しており、破線矢印は、マガジン３０から排出された加熱気体Ｈがヒータ４へ誘導される様子を示している。 Next, the flow of the heated gas H in the temperature rising region 12 of the heat treatment apparatus 1 configured as described above will be described with reference to FIGS.
8 and FIG. 9 schematically show a cut surface obtained by cutting the temperature rising region 12 of the heat treatment chamber 10 shown in FIG. 1 in a plane direction orthogonal to the front-rear direction. In FIGS. 8 and 9, the flow F of the heated gas is represented by solid line arrows and broken line arrows, and the solid line arrows indicate how the heated gas H heated by the heater 4 is guided into the magazine 30. The broken-line arrows indicate how the heated gas H discharged from the magazine 30 is guided to the heater 4.

まず、ヒータ４により加熱された加熱気体Ｈは、ヒータ４とファン６の間に構成された流路を通ってファン６側へ流れるようになっている。ファン６へ流れた加熱気体Ｈは、ファン６によって循環路８に送り出され、この循環路８によって誘導流路２０へと誘導される。ここで、熱処理装置１は、搬送方向α（図８において紙面に対して垂直方向）に対して直交する方向（横方向）にマガジンが４列、並列に配置された構造であり、誘導流路２０と循環路９の一部（仕切り板８０が設けられた部分）によってそれぞれ区画されている。そして、循環路８を通って各気体導入口２２に導かれた加熱気体Ｈは、各誘導流路２０の吹き出し口からマガジン３０の開口部３４ａ側へ吹き出され、被処理物５０間の隙間位置へ導かれる。隙間位置へ導かれた加熱気体Ｈは、マガジン３０の開口部３４ｂ側から排出されて、反対側（マガジン３０を挟んで吹き出し口２４とは反対側）に設けられた仕切り板８０の取り込み口８１を通り、循環路９を通ってヒータ４側に戻される。そして、再びヒータ４へ流れ加熱されるようになっている。   First, the heated gas H heated by the heater 4 flows to the fan 6 side through a flow path formed between the heater 4 and the fan 6. The heated gas H that has flowed to the fan 6 is sent out to the circulation path 8 by the fan 6, and is guided to the induction flow path 20 by the circulation path 8. Here, the heat treatment apparatus 1 has a structure in which four rows of magazines are arranged in parallel in a direction (lateral direction) orthogonal to the transport direction α (perpendicular to the paper surface in FIG. 8). 20 and a part of the circulation path 9 (part where the partition plate 80 is provided). Then, the heated gas H guided to each gas inlet 22 through the circulation path 8 is blown out from the outlet of each induction channel 20 toward the opening 34 a of the magazine 30, and the gap position between the workpieces 50. Led to. The heated gas H guided to the gap position is discharged from the opening 34b side of the magazine 30, and the intake port 81 of the partition plate 80 provided on the opposite side (the side opposite to the outlet port 24 across the magazine 30). Through the circulation path 9 and returned to the heater 4 side. And it flows again to the heater 4 and is heated.

このように、ファン６から送風される加熱気体Ｈを直接被処理物５０に対して吹き付けるのではなく、誘導流路２０及び仕切り板８０とによって、整流するとともに均等に分流し、被処理物５０間の隙間位置へ誘導するようにしている。そして、加熱気体Ｈを被処理物５０に対して包み込むように流した後、再びヒータ４へ流し、昇温領域１２内で循環させる構成となっている。   In this way, the heated gas H blown from the fan 6 is not directly blown against the workpiece 50, but is rectified and evenly divided by the guide channel 20 and the partition plate 80, and the workpiece 50 is processed. It guides to the gap position between. And after flowing the heating gas H so that it may wrap with respect to the to-be-processed object 50, it is made to flow through the heater 4 again and circulate in the temperature rising area 12.

次に、上述のように構成された熱処理装置１の昇温効率について評価した結果を図１０に示す。また、比較のために、誘導流路２０を備えていない従来構成の熱処理装置１のデータを図１１に示す。なお、被処理物５０としてモールドされたパワー半導体を搭載した基板を用い、複数の被処理物５０の基板表裏面それぞれの温度を、熱電対を用いて大気中で測定し、各測定データの中で最も昇温速度の遅いものをプロットした。また、均熱領域１４での熱処理温度は１８０℃とした。   Next, FIG. 10 shows the results of evaluating the heating efficiency of the heat treatment apparatus 1 configured as described above. For comparison, FIG. 11 shows data of a heat treatment apparatus 1 having a conventional configuration that does not include the guide channel 20. In addition, using the board | substrate which mounted the power semiconductor molded as the to-be-processed object 50, the temperature of each board | substrate front and back surface of several to-be-processed object 50 is measured in air | atmosphere using a thermocouple, The one with the slowest heating rate was plotted. The heat treatment temperature in the soaking area 14 was 180 ° C.

図１０に示すように、本実施形態の構成を用いた場合は、昇温時間（被処理物５０の温度が１８０℃に達するまでの時間）が２０分であった。一方、従来構成の場合は、図１１に示すように、昇温時間が６０分であった。すなわち、本実施形態の構成では、従来構成と比較すると、昇温時間を３分の１程度まで短くできることがわかった。この結果からも、本実施形態の構成を採用することで、昇温効率を大幅に高めることができることが確認できる。   As shown in FIG. 10, when the configuration of the present embodiment was used, the temperature raising time (time until the temperature of the workpiece 50 reached 180 ° C.) was 20 minutes. On the other hand, in the case of the conventional configuration, as shown in FIG. 11, the temperature rising time was 60 minutes. That is, in the configuration of the present embodiment, it was found that the temperature raising time can be shortened to about one third as compared with the conventional configuration. Also from this result, it can be confirmed that the temperature raising efficiency can be significantly increased by adopting the configuration of the present embodiment.

以上説明したように、本第１実施形態に係る熱処理装置１では、熱処理室１０内に存在する内部気体がヒータ４により加熱され、その加熱気体がファン６によって送風されることで、熱処理室１０内において加熱気体を循環させる流れが発生する。更に、加熱気体を導入可能な気体導入口２２と、気体導入口２２から導入された加熱気体を放出する吹き出し口２４とを備えた誘導流路２０が設けられ、少なくとも所定時間の間、保持部材３０に保持された複数の被処理物５０と、誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向するように、保持部材３０が配置されるようになっている。つまり、誘導流路２０は、取り込んだ加熱気体を保持部材３０に保持された複数の被処理物５０に向けて放出するように加熱気体の流れを生じさせるため、複数の被処理物間に構成される隙間に向けて加熱気体を積極的に流すことができる。従って、複数の被処理物５０（ワーク）に対し、より満遍なく効果的に加熱気体を行き渡らせることができ、ひいては、複数の被処理物５０をより均一に且つより効率的に昇温させることが可能となる。   As described above, in the heat treatment apparatus 1 according to the first embodiment, the internal gas existing in the heat treatment chamber 10 is heated by the heater 4, and the heated gas is blown by the fan 6. A flow for circulating the heated gas is generated inside. Furthermore, a guide channel 20 having a gas introduction port 22 through which heated gas can be introduced and a blowout port 24 for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port 22 is provided, and the holding member is provided for at least a predetermined time. The holding member 30 is arranged so that the plurality of objects to be processed 50 held by 30 and the outlet 24 of the guide channel 20 face each other. That is, the induction flow path 20 is configured between the plurality of objects to be processed in order to cause the flow of the heating gas so as to release the captured heated gas toward the plurality of objects 50 to be processed held by the holding member 30. The heated gas can be actively flowed toward the gap. Therefore, the heated gas can be distributed more uniformly and effectively to the plurality of workpieces 50 (workpieces), and as a result, the temperature of the plurality of workpieces 50 can be increased more uniformly and more efficiently. It becomes possible.

また、誘導流路２０は、複数の壁部によって囲まれた形態で加熱気体を導く流路が構成され、複数の壁部の一部は、配置部７０によって保持部材３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに保持部材３０に保持された複数の被処理物と対向する対向壁部２１として構成されている。そして、対向壁部２１には、複数の吹き出し口２４が、当該対向壁部２１を貫通する貫通孔として形成されている。この構成では、保持部材３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、複数の吹き出し口２４によって加熱気体をより効率よく被処理物側へ誘導することができる。また、対向壁部２１に貫通孔を設けることで吹き出し口２４を形成することができるため、より簡易な構成とすることができる。   In addition, the guide channel 20 is configured to guide the heated gas in a form surrounded by a plurality of walls, and a part of the plurality of walls is disposed in the heat treatment chamber 10 by the arrangement unit 70. It is comprised as the opposing wall part 21 which opposes the some to-be-processed object hold | maintained at the holding member 30 when arrange | positioning in a predetermined position. A plurality of outlets 24 are formed in the opposing wall 21 as through holes that penetrate the opposing wall 21. In this configuration, when the holding member 30 is disposed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10, the heated gas can be more efficiently guided to the workpiece by the plurality of outlets 24. Moreover, since the blowout port 24 can be formed by providing a through-hole in the opposing wall part 21, it can be set as a simpler structure.

また、配置部７０は、熱処理室１０内において保持部材３０を高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成となっている。また、保持部材３０は、複数の被処理物５０を高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前後方向及び高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材３０の内部と外部とが連通する開放形態となっている。そして、配置部７０により保持部材３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材３０における開放形態となっている側に吹き出し口２４が対向するようになっている。このように、配置部７０によって、保持部材３０が所定の前後方向に移動される構成においても、保持部材３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき、保持部材３０における開放形態となっている側に吹き出し口２４が対向するようになっているので、複数の被処理物５０において昇温のばらつきが生じにくく、昇温効率を効果的に高めることが可能となる。   Moreover, the arrangement | positioning part 70 becomes a structure which moves the holding member 30 in the predetermined front-back direction orthogonal to a height direction in the heat processing chamber 10. FIG. The holding member 30 is configured to hold a plurality of objects to be processed 50 at intervals in the height direction, and at least one side in the lateral direction perpendicular to the front-rear direction and the height direction is the holding member 30. It is an open configuration in which the inside and outside communicate. And when the holding member 30 is arrange | positioned in the predetermined position in the heat processing chamber 10 by the arrangement | positioning part 70, the blower outlet 24 opposes the side which becomes the open form in the said holding member 30. FIG. Thus, even in the configuration in which the holding member 30 is moved in the predetermined front-rear direction by the arrangement unit 70, when the holding member 30 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10, the holding member 30 is in the open form. Since the blowout port 24 is opposed to the side where the heat treatment is performed, variations in temperature rise are unlikely to occur in the plurality of workpieces 50, and the temperature rise efficiency can be effectively increased.

また、誘導流路２０には複数の吹き出し口２４が設けられている。そして、配置部７０により、複数の被処理物５０と誘導流路２０の吹き出し口２４とが対向するように保持部材３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたとき、複数の被処理物５０における隣り合う被処理物間の隙間の高さに、吹き出し口２４がそれぞれ配置されるようになっている。このように、誘導流路２０に複数の吹き出し口２４が設けられており、各吹き出し口２４が、複数の被処理物５０における隣り合う被処理物間の隙間の高さに配置されるようになっているので、加熱気体を各被処理物５０に対して包み込むように流すことができ、複数の被処理物５０をより均一に且つより効率的に昇温させることが可能となる。   The guide channel 20 is provided with a plurality of outlets 24. When the holding member 30 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the arrangement unit 70 so that the plurality of objects to be processed 50 and the outlets 24 of the guide channel 20 face each other, the plurality of objects to be processed The outlets 24 are arranged at the heights of the gaps between adjacent workpieces 50. In this way, the plurality of outlets 24 are provided in the guide flow path 20, and each outlet 24 is arranged at the height of the gap between adjacent workpieces in the plurality of workpieces 50. Therefore, the heated gas can be flown so as to be wrapped around each workpiece 50, and the temperature of the plurality of workpieces 50 can be increased more uniformly and efficiently.

また、熱処理室１０は、配置部７０が保持部材３０を搬送する搬送経路において前後方向の前半側に誘導流路２０が設けられた昇温領域１２が構成され、誘導流路２０よりも後に搬送される側には、誘導流路２０が設けられない均熱領域１４が構成されている。このように、誘導流路２０を昇温領域１２のみに設けることで、より簡易な構成とすることができる。   Further, the heat treatment chamber 10 is configured with a temperature rising region 12 in which the guide channel 20 is provided on the front half side in the front-rear direction in the transport path in which the placement unit 70 transports the holding member 30, and transports after the guide channel 20 The soaking area 14 in which the guide channel 20 is not provided is configured on the side where the guide channel 20 is provided. Thus, by providing the guide channel 20 only in the temperature rising region 12, a simpler configuration can be achieved.

また、ヒータ４及びファン６は、昇温領域１２と均熱領域１４とで共用されるようになっていてもよく、このように構成することで、設備コストを抑えることができる。   Moreover, the heater 4 and the fan 6 may be shared by the temperature raising region 12 and the soaking region 14, and the construction cost can be suppressed by configuring in this way.

［第１実施形態の第１変形例］
次に、本発明の第１実施形態における第１変形例に係る熱処理装置１について、図１２を参照して説明する。図１２に示すように、第１実施形態における第１変形例では、被処理物５０の配置が異なる以外は、上記第１実施形態と同様である。以下、これ以外の上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。なお、上記第１実施形態と実質的に同一の構成部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。 [First Modification of First Embodiment]
Next, the heat processing apparatus 1 which concerns on the 1st modification in 1st Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG. As shown in FIG. 12, the first modification of the first embodiment is the same as the first embodiment except that the arrangement of the workpieces 50 is different. Hereinafter, other points different from the first embodiment will be mainly described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component substantially the same as the said 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

上記第１実施形態では、マガジン３０によって、複数の被処理物５０が所定方向（被処理物５０の積層方向）に互いに所定の間隔をあけて並んだ状態で保持されている様子を説明したが、本第１変形例では、図１２に示すように、さらに、これら被処理物５０は、所定方向に対して直交する方向であって、加熱気体の流れＦの方向に、互い違いに配置された状態でマガジン３０に保持されている。具体的には、マガジン３０は、複数の被処理物５０の一部をなす複数の第１被処理物１５０を横方向の第１位置において高さ方向に並べて配置し、複数の被処理物５０の一部をなす複数の第２被処理物２５０を、横方向における複数の第１被処理物１５０とは異なる第２位置において高さ方向に並べて配置している。そして、第１位置に並んで配置される複数の第１被処理物１５０の被処理物間の高さに、複数の第２被処理物２５０がそれぞれ配置されている。このように、被処理物５０を加熱気体の流れＦの方向に、互い違いに配置することで、被処理物５０間の隙間位置へ加熱気体Ｈをより効率よく行き渡らせることができ、昇温効率をより高めることができる。   Although the said 1st Embodiment demonstrated the mode that the several processed material 50 was hold | maintained by the magazine 30 in the predetermined direction (stacking direction of the processed material 50) with the predetermined space | interval mutually arranged. In the first modified example, as shown in FIG. 12, the workpieces 50 are arranged alternately in the direction perpendicular to the predetermined direction and in the direction of the heated gas flow F. The magazine 30 is held in a state. Specifically, the magazine 30 arranges the plurality of first objects to be processed 150 that form a part of the plurality of objects to be processed 50 in the height direction at the first position in the horizontal direction. Are arranged side by side in the height direction at a second position different from the plurality of first objects to be processed 150 in the lateral direction. Then, the plurality of second objects to be processed 250 are respectively arranged at the heights between the objects to be processed of the plurality of first objects to be processed 150 arranged side by side at the first position. In this way, by arranging the objects to be processed 50 alternately in the direction of the flow F of the heated gas, the heating gas H can be more efficiently distributed to the gap positions between the objects to be processed 50, and the temperature raising efficiency Can be further enhanced.

［第１実施形態の第２変形例］
次に、本発明の第１実施形態における第２変形例について、図１３を用いて説明する。図１３に示すように、本第２変形例では、被処理物５０は、ボンディングワイヤが接続された配線基板であって、誘導流路Ｆに対して特定の向きに配置される点が異なる以外は、上記第１実施形態と同様である。以下、これ以外の上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。なお、上記第１実施形態と実質的に同一の構成部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。 [Second Modification of First Embodiment]
Next, a second modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 13, in the second modification, the workpiece 50 is a wiring board to which bonding wires are connected, except that the workpiece 50 is arranged in a specific direction with respect to the guide channel F. Is the same as in the first embodiment. Hereinafter, other points different from the first embodiment will be mainly described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component substantially the same as the said 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

本第２変形例では、図１３に示すように、被処理物５０は、表面側にボンディングワイヤ５２が接続された配線基板から構成されている。そして、被処理物５０は、ボンディングワイヤ５２が当該被処理物５０間の隙間位置を流れる誘導流路Ｆの方向に沿うように（ボンディングワイヤ５２の一方の接続位置Ｐ１（素子５４側）と他方の接続位置Ｐ２（リード５６側）を結ぶ線が誘導流路Ｆの方向と略平行となるように）配置されるように、マガジン３０に保持されている。即ち、マガジン３０は、一部又は全部のボンディングワイヤの向きを横方向に沿った向きとするように被処理物５０を保持するようになっている。このように、ボンディングワイヤ５２が表面側に接続された被処理物５０では、熱処理時に加熱気体Ｈの吹き出しによってワイヤ倒れが発生しやすいが、配置位置を工夫することで、ワイヤ倒れの発生を抑えることができる。   In the second modified example, as shown in FIG. 13, the workpiece 50 is constituted by a wiring substrate having a bonding wire 52 connected to the surface side. Then, the workpiece 50 is arranged so that the bonding wire 52 is along the direction of the guide flow path F in which the bonding wire 52 flows through the gap position between the workpieces 50 (one connection position P1 (element 54 side) of the bonding wire 52 and the other. Are connected to the magazine 30 so that the line connecting the connection positions P2 (on the lead 56 side) is arranged substantially parallel to the direction of the guide channel F). That is, the magazine 30 is configured to hold the workpiece 50 such that some or all of the bonding wires are oriented along the lateral direction. As described above, in the workpiece 50 in which the bonding wire 52 is connected to the surface side, the wire collapse is likely to occur due to the blowing of the heated gas H during the heat treatment, but the occurrence of the wire collapse is suppressed by devising the arrangement position. be able to.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る熱処理装置１について、図１４〜１６を参照して説明する。図１４に示すように、本第２実施形態では、マガジン３０の構成が第１実施形態と異なる以外は、上記第１実施形態と同様である。以下、これ以外の上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。なお、上記第１実施形態と実質的に同一の構成部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, the heat processing apparatus 1 which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIGS. As shown in FIG. 14, the second embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the magazine 30 is different from that of the first embodiment. Hereinafter, other points different from the first embodiment will be mainly described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component substantially the same as the said 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

本第２実施形態では、図１４に示すように、マガジン２３０を構成する板状部材３２の前面部（支持壁３３ｂ）に複数の開口部３８が形成されている。この開口部３８は、具体的には、複数の被処理物５０が積層される方向（所定方向）に沿って、被処理物５０が配置されている位置と対応する位置（重なる位置）に形成されており、開口部３４ａ、３４ｂと共に加熱気体の流路の一部として構成されている。このマガジン２３０も、前後方向の一方側及び他方側にそれぞれ支持壁３３ｂ，３３ｄが対をなして設けられ、マガジン搬送部７０によりマガジン２３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、吹き出し口２４から吹き出される加熱気体が一対の支持壁３３ｂ，３３ｄの間を流れる構成となっている。そして、一対の支持壁３３ｂ，３３ｄの少なくともいずれか（図１４の例では、支持壁３３ｂ）に、マガジン２３０の内部から外部へと加熱気体を導出可能な導出口（開口部３８）が形成されている。このように、マガジン２３０の前面部（支持壁３３ｂ）に開口部３８を設けることにより、加熱気体Ｈの被処理物５０間への流入量を多くすることができる。そして、この構成のマガジン２３０では、図１４に示すように、開口部３４ａ、３４ｂの両側から加熱気体Ｈを導入し、この開口部３８から排出する構成を取ることでより、昇温効率を高めることができる。   In the second embodiment, as shown in FIG. 14, a plurality of openings 38 are formed in the front surface portion (support wall 33 b) of the plate-like member 32 constituting the magazine 230. Specifically, the opening 38 is formed at a position (overlapping position) corresponding to a position where the object to be processed 50 is disposed along a direction (predetermined direction) in which the plurality of objects to be processed 50 are stacked. It is configured as a part of the flow path of the heated gas together with the openings 34a and 34b. The magazine 230 is also provided with a pair of support walls 33b and 33d on one side and the other side in the front-rear direction, and when the magazine 230 is placed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70, The heated gas blown out from the blowout port 24 flows between the pair of support walls 33b and 33d. Then, at least one of the pair of support walls 33b and 33d (support wall 33b in the example of FIG. 14) is formed with a lead-out port (opening 38) through which the heated gas can be led out from the inside of the magazine 230. ing. As described above, by providing the opening 38 in the front surface portion (support wall 33b) of the magazine 230, the amount of the heated gas H flowing into the workpiece 50 can be increased. And in the magazine 230 of this structure, as shown in FIG. 14, the heating gas H is introduce | transduced from both sides of opening part 34a, 34b, and temperature rising efficiency is improved by taking the structure discharged | emitted from this opening part 38. be able to.

図１５は、このマガジン２３０を熱処理装置１の昇温領域１２内に配置し、開口部３４ａ、３４ｂの両側から加熱気体Ｈを導入する場合の加熱気体Ｈの流れの様子を示している。なお、図１５においても、上述した第１実施形態と同様に、誘導流路Ｆは、図１５中、実線矢印及び破線矢印で表されており、実線矢印は、ヒータ４により加熱された加熱気体Ｈがマガジン３０内へ誘導される様子を示しており、破線矢印は、マガジン３０から排出された加熱気体Ｈがヒータ４へ誘導される様子を示している。また、図８に示した構成よりも、誘導流路２０の気体導入口２２の数が増えた構成となっている。   FIG. 15 shows the flow of the heating gas H when the magazine 230 is arranged in the temperature rising region 12 of the heat treatment apparatus 1 and the heating gas H is introduced from both sides of the openings 34a and 34b. Also in FIG. 15, as in the first embodiment described above, the guide channel F is represented by solid line arrows and broken line arrows in FIG. 15, and the solid line arrows indicate the heated gas heated by the heater 4. A state in which H is guided into the magazine 30 is illustrated, and a broken-line arrow indicates a state in which the heated gas H discharged from the magazine 30 is guided to the heater 4. Further, the number of gas introduction ports 22 of the guide channel 20 is increased from the configuration shown in FIG.

この構成では、マガジン搬送部７０によるマガジン２３０の移動経路の両側にそれぞれ誘導流路２０が設けられ、マガジン搬送部７０によりマガジン２３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、一方の誘導流路２０に設けられた吹き出し口２４からマガジン２３０の横方向一方側に向けて加熱気体が吹き出され、他方の誘導流路２０に設けられた吹き出し口２４からマガジン２３０の横方向他方側に向けて加熱気体が吹き出されるようになっている。   In this configuration, the guide flow paths 20 are provided on both sides of the movement path of the magazine 230 by the magazine transport unit 70, and when the magazine 230 is placed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70, Heated gas is blown out from the outlet 24 provided in the guide channel 20 toward one side in the lateral direction of the magazine 230, and from the outlet 24 provided in the other guide channel 20 to the other side in the lateral direction in the magazine 230. Heated gas is blown out toward the head.

図１５の構成では、ヒータ４で加熱された加熱気体がファン６により、各誘導流路２０に向けて送り出されるようになっており、このように送り出された加熱気体Ｈは、各誘導流路２０の各気体導入口２２へそれぞれ導入される。そして、各誘導流路２０の吹き出し口２４から加熱気体Ｈが、マガジン３０の開口部３４ａ、３４ｂの両側へ吹き出され、被処理物５０間の隙間位置へ導かれる。図１５の構成では、マガジン搬送部７０による各移動経路の両側にそれぞれ誘導流路２０が設けられており、それら誘導流路２０の対向壁部２１が互いに向かい合っている。そして、マガジン搬送部７０によりマガジン２３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、一方の誘導流路２０の対向壁部２１に設けられた吹き出し口２４からマガジン２３０の横方向一方側（例えば、開口部３４ａ側）に向けて加熱気体が吹き出され、他方の誘導流路２０に設けられた対向壁部２１の吹き出し口２４からマガジン２３０の横方向他方側（例えば開口部３４ｂ側）に向けて加熱気体が吹き出されるようになっている。そして、マガジン２３０の横方向両側から送り込まれた加熱気体は、マガジン２３０の前面部（支持壁３３ｂ）に形成された複数の開口部３８から前方側に排出され、マガジン搬送部７０（例えば搬送コンベア）の下方に形成された隙間を通って循環路９に導かれるようになっている。そしてこのように循環路９に導かれた気体は、再びヒータ４側に戻されてヒータ４によって加熱されるようになっている。   In the configuration of FIG. 15, the heated gas heated by the heater 4 is sent out by the fan 6 toward each induction channel 20, and the heated gas H thus sent out is sent to each induction channel. 20 gas introduction ports 22 are respectively introduced. Then, the heated gas H is blown out to both sides of the openings 34 a and 34 b of the magazine 30 from the blow-out port 24 of each induction channel 20 and is led to a gap position between the workpieces 50. In the configuration of FIG. 15, the guide channels 20 are provided on both sides of each movement path by the magazine transport unit 70, and the opposing wall portions 21 of the guide channels 20 face each other. Then, when the magazine 230 is placed at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70, one side in the lateral direction of the magazine 230 from the blowout port 24 provided in the opposing wall portion 21 of the one guide channel 20. The heated gas is blown out (for example, the opening 34 a side), and the other side in the lateral direction of the magazine 230 (for example, the opening 34 b side) from the blowout port 24 of the opposing wall portion 21 provided in the other induction flow path 20. Heated gas is blown out toward the head. Then, the heated gas sent from both sides of the magazine 230 is discharged to the front side from a plurality of openings 38 formed in the front surface portion (support wall 33b) of the magazine 230, and the magazine transport portion 70 (for example, a transport conveyor). ) Is guided to the circulation path 9 through a gap formed below. The gas thus led to the circulation path 9 is again returned to the heater 4 side and heated by the heater 4.

このように、本第２実施形態に係る熱処理装置１では、マガジン２３０の板状部材３２の前面部（支持壁３３ｂ）には、複数の開口部３８が形成されており、枠体３６の開口部３４ａ、３４ｂと開口部３８は、加熱気体の流れを生じさせる一部分として構成されている。そして、誘導流路２０は、加熱気体Ｈを、開口部３４ａ、３４ｂの両側から隙間位置へ誘導するとともに、複数の開口部３８から排出するように構成されている。このように、マガジン２３０に複数の開口部３８を設け、開口部３４ａ、３４ｂの両側から加熱気体Ｈを導入して開口部３８から排出することで、より効率的に被処理物５０の昇温効率を高めることができる。   As described above, in the heat treatment apparatus 1 according to the second embodiment, a plurality of openings 38 are formed in the front surface portion (support wall 33 b) of the plate-like member 32 of the magazine 230, and the opening of the frame body 36 is formed. The parts 34a and 34b and the opening 38 are configured as a part that generates a flow of heated gas. And the induction | guidance | derivation flow path 20 is comprised so that the heated gas H may be discharged | emitted from the some opening part 38 while it guides to the clearance gap position from the both sides of opening part 34a, 34b. As described above, the magazine 230 is provided with a plurality of openings 38, and the heated gas H is introduced from both sides of the openings 34 a and 34 b and discharged from the openings 38, so that the temperature of the workpiece 50 can be increased more efficiently. Efficiency can be increased.

［他の実施形態]
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。 [Other Embodiments]
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

上記第２実施形態において、さらに図１６に示すように、被処理物５０を、所定方向に対して直交する方向であって、誘導流路Ｆの流入方向に、互い違いに配置された状態でマガジン３３０に保持されていてもよい。この構成でも、図１５のように、マガジン搬送部７０によるマガジン３３０の移動経路の両側に２つの誘導流路２０が設けられ、マガジン搬送部７０によりマガジン３３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、一方の誘導流路２０に設けられた吹き出し口２４からマガジン３３０の横方向一方側に向けて加熱気体が吹き出され、他方の誘導流路２０に設けられた吹き出し口２４からマガジン３３０の横方向他方側に向けて加熱気体が吹き出されるようになっている。そして、マガジン３３０は、複数の被処理物５０の一部をなす複数の第１被処理物１５０を横方向の第１位置において高さ方向に並べて配置し、複数の被処理物５０の一部をなす複数の第２被処理物２５０を、横方向における複数の第１被処理物１５０とは異なる第２位置において高さ方向に並べて配置する構成となっている。そして、第１位置に並んで配置される複数の第１被処理物１５０の被処理物間の高さに、複数の第２被処理物２５０がそれぞれ配置されている。また、この構成でも、マガジン３３０は、前後方向の一方側及び他方側にそれぞれ支持壁３３ｂ，３３ｄが対をなして設けられ、マガジン搬送部７０によりマガジン３３０が熱処理室１０内の所定位置に配置されたときに、吹き出し口２４から吹き出される加熱気体が一対の支持壁３３ｂ，３３ｄの間を流れる構成となっている。そして、一対の支持壁３３ｂ，３３ｄの少なくともいずれかに、マガジン３３０の内部から外部へと加熱気体を導出可能な導出口が形成されている。このように構成することで、被処理物５０間により多くの加熱気体Ｈを流すことができるため、より昇温効率を高めることが可能となる。   In the second embodiment, as further shown in FIG. 16, the magazines 50 are alternately arranged in a direction orthogonal to a predetermined direction and in an inflow direction of the guide channel F. 330 may be held. Also in this configuration, as shown in FIG. 15, two guide channels 20 are provided on both sides of the movement path of the magazine 330 by the magazine transport unit 70, and the magazine 330 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70. When this is done, the heated gas is blown out from the outlet 24 provided in one of the induction passages 20 toward one side in the lateral direction of the magazine 330, and the magazine is output from the outlet 24 provided in the other induction passage 20. The heated gas is blown out toward the other lateral side of 330. The magazine 330 arranges a plurality of first objects to be processed 150 that form a part of the plurality of objects to be processed 50 side by side in the height direction at the first position in the horizontal direction, and a part of the plurality of objects to be processed 50. Are arranged side by side in the height direction at a second position different from the plurality of first objects to be processed 150 in the lateral direction. Then, the plurality of second objects to be processed 250 are respectively arranged at the heights between the objects to be processed of the plurality of first objects to be processed 150 arranged side by side at the first position. Also in this configuration, the magazine 330 is provided with a pair of support walls 33 b and 33 d on one side and the other side in the front-rear direction, and the magazine 330 is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber 10 by the magazine transport unit 70. When this is done, the heated gas blown out from the outlet 24 flows between the pair of support walls 33b and 33d. In addition, at least one of the pair of support walls 33b and 33d is formed with a lead-out port through which the heated gas can be led out from the inside of the magazine 330. By comprising in this way, since more heating gas H can be flowed between the to-be-processed objects 50, it becomes possible to raise temperature rising efficiency more.

上記実施形態では、「配置部」に相当するマガジン搬送部７０は、図１、図８、図１５等に示すように、マガジン３０を載置して所定の前後方向に搬送する構成であったが、いずれの実施形態の構成でも、マガジン搬送部７０を、マガジン３０を吊り下げて所定の前後方向に搬送する構成に変更してもよい。   In the above embodiment, the magazine transport unit 70 corresponding to the “arrangement unit” is configured to place the magazine 30 and transport it in a predetermined front-rear direction as shown in FIGS. However, in any configuration of the embodiment, the magazine transport unit 70 may be changed to a configuration in which the magazine 30 is suspended and transported in a predetermined front-rear direction.

１…熱処理装置
４…ヒータ（加熱部）
６…ファン（送風部）
１０…熱処理室
２０…誘導流路
２２…気体導入口
２４…吹き出し口
３０，２３０…マガジン（保持部材）
５０…配線基板（被処理物）
７０…マガジン搬送部（配置部） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Heat processing apparatus 4 ... Heater (heating part)
6 ... Fan (fan part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Heat processing chamber 20 ... Induction flow path 22 ... Gas introduction port 24 ... Outlet port 30,230 ... Magazine (holding member)
50 ... Wiring board (object to be processed)
70 ... Magazine transport section (placement section)

Claims (10)

複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、
前記保持部材（３０，２３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、
前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、
前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、
前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、
少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置する配置部（７０）と、
を備え、
前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向し、
前記保持部材（２３０）は、前記前後方向の一方側及び他方側にそれぞれ支持壁（３３ｂ，３３ｄ）が対をなして設けられ、前記配置部（７０）により前記保持部材（２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたときに、前記吹き出し口（２４）から吹き出される前記加熱気体が一対の前記支持壁（３３ｂ，３３ｄ）の間を流れる構成となっており、
更に、一対の前記支持壁（３３ｂ，３３ｄ）の少なくともいずれかに、前記保持部材（２３０）の内部から外部へと前記加熱気体を導出可能な導出口が形成されていることを特徴とする熱処理装置（１）。 A holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at an interval;
A heat treatment chamber (10) for accommodating the holding member (30, 230) and performing a heat treatment on the workpiece (50) held by the holding member (30, 230);
A heating section (4) for heating the internal gas in the heat treatment chamber (10);
A blower unit (6) configured to blow a heated gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4), and generating a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber (10);
An induction flow path (20) including a gas introduction port (22) capable of introducing the heated gas, and a blowout port (24) for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port (22);
The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), an arrangement part (70) for arranging,
Equipped with a,
The arrangement part (70) is configured to move the holding member (30, 230) in a predetermined front-rear direction perpendicular to the height direction in the heat treatment chamber (10),
The holding member (30, 230) is configured to hold a plurality of the workpieces (50) at intervals in the height direction, and in the lateral direction orthogonal to the front-rear direction and the height direction. At least one side has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other,
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the holding member (30, 230) is on the side in the open form. The outlet (24) is opposite,
The holding member (230) is provided with a pair of support walls (33b, 33d) on one side and the other side in the front-rear direction, and the holding member (230) is formed by the arrangement portion (70). When arranged at a predetermined position in the chamber (10), the heated gas blown from the blowing port (24) flows between the pair of support walls (33b, 33d),
The heat treatment is characterized in that at least one of the pair of support walls (33b, 33d) is formed with a lead-out port through which the heated gas can be led out from the inside of the holding member (230). Device (1). 複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、
前記保持部材（３０，２３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、
前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、
前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、
前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、
少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置する配置部（７０）と、
を備え、
前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向し、
前記配置部（７０）による前記保持部材（３０，２３０）の移動経路の両側に少なくとも２つの前記誘導流路（２０）が設けられ、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたときに、一方の前記誘導流路（２０）に設けられた前記吹き出し口（２４）から前記保持部材（３０，２３０）の前記横方向一方側に向けて前記加熱気体が吹き出され、他方の前記誘導流路（２０）に設けられた前記吹き出し口（２４）から前記保持部材（３０，２３０）の前記横方向他方側に向けて前記加熱気体が吹き出されることを特徴とする熱処理装置（１）。 A holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at an interval;
A heat treatment chamber (10) for accommodating the holding member (30, 230) and performing a heat treatment on the workpiece (50) held by the holding member (30, 230);
A heating section (4) for heating the internal gas in the heat treatment chamber (10);
A blower unit (6) configured to blow a heated gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4), and generating a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber (10);
An induction flow path (20) including a gas introduction port (22) capable of introducing the heated gas, and a blowout port (24) for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port (22);
The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), an arrangement part (70) for arranging,
With
The arrangement part (70) is configured to move the holding member (30, 230) in a predetermined front-rear direction perpendicular to the height direction in the heat treatment chamber (10),
The holding member (30, 230) is configured to hold a plurality of the workpieces (50) at intervals in the height direction, and in the lateral direction orthogonal to the front-rear direction and the height direction. At least one side has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other,
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the holding member (30, 230) is on the side in the open form. The outlet (24) is opposite,
At least two of the guide channels (20) are provided on both sides of the movement path of the holding member (30, 230) by the arrangement part (70),
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the blowing port (20) provided in one of the induction flow paths (20) 24), the heated gas is blown out toward the one side in the lateral direction of the holding member (30, 230), and the holding member is provided from the blowing port (24) provided in the other induction channel (20). thermal processing apparatus you wherein said that the lateral other side the heated gas toward the is blown out of (30, 230) (1). 複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、
前記保持部材（３０，２３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、
前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、
前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、
前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、
少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置する配置部（７０）と、
を備え、
前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向し、
前記被処理物（５０）は、ボンディングワイヤが接続された配線基板であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、一部又は全部の前記ボンディングワイヤの向きを前記横方向に沿った向きとするように前記被処理物（５０）を保持することを特徴とする熱処理装置（１）。 A holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at an interval;
A heat treatment chamber (10) for accommodating the holding member (30, 230) and performing a heat treatment on the workpiece (50) held by the holding member (30, 230);
A heating section (4) for heating the internal gas in the heat treatment chamber (10);
A blower unit (6) configured to blow a heated gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4), and generating a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber (10);
An induction flow path (20) including a gas introduction port (22) capable of introducing the heated gas, and a blowout port (24) for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port (22);
The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), an arrangement part (70) for arranging,
With
The arrangement part (70) is configured to move the holding member (30, 230) in a predetermined front-rear direction perpendicular to the height direction in the heat treatment chamber (10),
The holding member (30, 230) is configured to hold a plurality of the workpieces (50) at intervals in the height direction, and in the lateral direction orthogonal to the front-rear direction and the height direction. At least one side has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other,
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the holding member (30, 230) is on the side in the open form. The outlet (24) is opposite,
The object to be processed (50) is a wiring board to which bonding wires are connected,
The retaining member (30, 230) is partially or heat treatment you characterized in that for holding the object to be treated (50) so that all of the orientation of the bonding wire and the transverse direction along the direction Device (1). 複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、
前記保持部材（３０，２３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、
前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、
前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、
前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、
少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置する配置部（７０）と、
を備え、
前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向し、
前記熱処理室（１０）は、前記配置部（７０）が前記保持部材（３０，２３０）を搬送する搬送経路において前記前後方向の前半側に前記誘導流路（２０）が設けられた昇温領域が構成され、前記誘導流路（２０）よりも後に搬送される側には、前記誘導流路（２０）が設けられない均熱領域が構成されていることを特徴とする熱処理装置（１）。 A holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at an interval;
A heat treatment chamber (10) for accommodating the holding member (30, 230) and performing a heat treatment on the workpiece (50) held by the holding member (30, 230);
A heating section (4) for heating the internal gas in the heat treatment chamber (10);
A blower unit (6) configured to blow a heated gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4), and generating a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber (10);
An induction flow path (20) including a gas introduction port (22) capable of introducing the heated gas, and a blowout port (24) for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port (22);
The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), an arrangement part (70) for arranging,
With
The arrangement part (70) is configured to move the holding member (30, 230) in a predetermined front-rear direction perpendicular to the height direction in the heat treatment chamber (10),
The holding member (30, 230) is configured to hold a plurality of the workpieces (50) at intervals in the height direction, and in the lateral direction orthogonal to the front-rear direction and the height direction. At least one side has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other,
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the holding member (30, 230) is on the side in the open form. The outlet (24) is opposite,
The heat treatment chamber (10) is a temperature increasing region in which the guide channel (20) is provided on the front half side in the front-rear direction in the transport path in which the placement unit (70) transports the holding member (30, 230). There is configured, on the side to be conveyed later than the induction passage (20), the thermal processing apparatus soaking section where the guide passage (20) is not provided you characterized by being composed ( 1). 前記加熱部（４）と前記送風部（６）は、前記昇温領域と前記均熱領域とで共用されることを特徴とする請求項４に記載の熱処理装置（１）。 The heat treatment apparatus (1) according to claim 4 , wherein the heating section (4) and the blower section (6) are shared by the temperature raising area and the soaking area . 複数の被処理物（５０）を所定の高さ方向に並べて配置し且つ互いに間隔をあけて保持する保持部材（３０，２３０）と、
前記保持部材（３０，２３０）を収容し、前記保持部材（３０，２３０）に保持された前記被処理物（５０）に対して熱処理を行う熱処理室（１０）と、
前記熱処理室（１０）内の内部気体を加熱する加熱部（４）と、
前記内部気体が前記加熱部（４）により加熱されてなる加熱気体を送風可能に構成され、前記熱処理室（１０）内において前記加熱気体を循環させる流れを発生させる送風部（６）と、
前記加熱気体を導入可能な気体導入口（２２）と、前記気体導入口（２２）から導入された前記加熱気体を放出する吹き出し口（２４）と、を備えた誘導流路（２０）と、
少なくとも所定時間の間、前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物と、前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向した状態で前記保持部材（３０，２３０）を配置するように前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる配置部（７０）と、
を備え、
前記誘導流路（２０）は、複数の壁部によって囲まれた形態で前記加熱気体を導く流路が構成され、前記複数の壁部の一部は、前記配置部（７０）によって前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたときに前記保持部材（３０，２３０）に保持された複数の前記被処理物（５０）と対向する対向壁部（２１）として構成されており、
前記対向壁部（２１）には、複数の前記吹き出し口（２４）が当該対向壁部（２１）を貫通する貫通孔として形成され、
前記誘導流路（２０）は、前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の両側に面する一対の前記対向壁部（２１）を備え、それぞれの前記対向壁部（２１）は、前記配置部（７０）によって前記熱処理室（１０）内の異なる位置に配置される複数の前記保持部材（３０，２３０）のそれぞれに対して、保持された複数の前記被処理物（５０）と対向することを特徴とする熱処理装置（１）。
A holding member (30, 230) for arranging a plurality of objects to be processed (50) arranged in a predetermined height direction and holding them at an interval;
A heat treatment chamber (10) for accommodating the holding member (30, 230) and performing a heat treatment on the workpiece (50) held by the holding member (30, 230);
A heating section (4) for heating the internal gas in the heat treatment chamber (10);
A blower unit (6) configured to blow a heated gas formed by heating the internal gas by the heating unit (4), and generating a flow for circulating the heated gas in the heat treatment chamber (10);
An induction flow path (20) including a gas introduction port (22) capable of introducing the heated gas, and a blowout port (24) for discharging the heated gas introduced from the gas introduction port (22);
The holding member (30) in a state where the plurality of objects to be processed held by the holding member (30, 230) and the outlet (24) of the guide channel (20) face each other for at least a predetermined time. 30 and 230), and an arrangement part (70) that moves in a predetermined front-rear direction orthogonal to the height direction ,
With
The guide channel (20) is configured to guide the heated gas in a form surrounded by a plurality of wall portions, and a part of the plurality of wall portions is configured to be the holding member by the arrangement portion (70). When the (30, 230) is disposed at a predetermined position in the heat treatment chamber (10), opposing wall portions (a) facing the plurality of workpieces (50) held by the holding member (30, 230) ( 21),
A plurality of outlets (24) are formed in the opposing wall (21) as through-holes that penetrate the opposing wall (21).
The guide channel (20) includes a pair of opposing wall portions (21) facing both sides in the lateral direction perpendicular to the front-rear direction and the height direction, and each of the opposing wall portions (21) A plurality of workpieces (50) held by each of a plurality of holding members (30, 230) arranged at different positions in the heat treatment chamber (10) by the arrangement section (70) A heat treatment apparatus (1) characterized by facing each other.
複数の前記誘導流路（２０）を備え、
それぞれの前記誘導流路（２０）は、１つの前記送風部（６）により発生される前記加熱気体を循環させる流れによって前記加熱気体が導入される気体導入口（２２）を備えることを特徴とする請求項６に記載の熱処理装置（１）。 Comprising a plurality of said guiding channels (20),
Each said induction | guidance | derivation flow path (20) is provided with the gas inlet (22) into which the said heating gas is introduce | transduced by the flow which circulates the said heating gas generated by the one said ventilation part (6), It is characterized by the above-mentioned. The heat treatment apparatus (1) according to claim 6 . 前記配置部（７０）は、前記熱処理室（１０）内において前記保持部材（３０，２３０）を前記高さ方向と直交する所定の前後方向に移動させる構成であり、
前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）を前記高さ方向に間隔をあけて保持する構成をなし、且つ前記前後方向及び前記高さ方向と直交する横方向の少なくとも一方側は当該保持部材（３０，２３０）の内部と外部とが連通する開放形態となっており、
前記配置部（７０）により前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、当該保持部材（３０，２３０）における前記開放形態となっている側に前記吹き出し口（２４）が対向することを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の熱処理装置（１）。 The arrangement part (70) is configured to move the holding member (30, 230) in a predetermined front-rear direction perpendicular to the height direction in the heat treatment chamber (10),
The holding member (30, 230) is configured to hold a plurality of the workpieces (50) at intervals in the height direction, and in the lateral direction orthogonal to the front-rear direction and the height direction. At least one side has an open configuration in which the inside and the outside of the holding member (30, 230) communicate with each other,
When the holding member (30, 230) is arranged at a predetermined position in the heat treatment chamber (10) by the arrangement portion (70), the holding member (30, 230) is on the side in the open form. The heat treatment apparatus (1) according to claim 6 or 7 , characterized in that the blowing ports (24) face each other. 前記誘導流路（２０）には複数の前記吹き出し口（２４）が設けられ、
前記配置部（７０）により、複数の前記被処理物と前記誘導流路（２０）の前記吹き出し口（２４）とが対向するように前記保持部材（３０，２３０）が前記熱処理室（１０）内の所定位置に配置されたとき、複数の前記被処理物における隣り合う被処理物間の隙間の高さに、前記吹き出し口（２４）がそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１〜５，８のいずれか一項に記載の熱処理装置（１）。 The guide channel (20) is provided with a plurality of the outlets (24),
By the arrangement part (70), the holding member (30, 230) is placed in the heat treatment chamber (10) so that a plurality of the objects to be processed and the blowing port (24) of the guide channel (20) face each other. The said blower outlet (24) is each arrange | positioned at the height of the clearance gap between the adjacent to-be-processed objects in a plurality of said to-be-processed objects when arrange | positioning in the predetermined position in the inside . The heat processing apparatus (1) as described in any one of 5 and 8 . 前記保持部材（３０，２３０）は、複数の前記被処理物（５０）の一部をなす複数の第１被処理物（１５０）を前記横方向の第１位置において前記高さ方向に並べて配置し、複数の前記被処理物（５０）の一部をなす複数の第２被処理物（２５０）を、前記横方向における複数の前記第１被処理物（１５０）とは異なる第２位置において前記高さ方向に並べて配置し、且つ前記第１位置に並んで配置される複数の前記第１被処理物（１５０）の被処理物間の高さに、複数の前記第２被処理物（２５０）がそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１〜５，８，９のいずれか一項に記載の熱処理装置（１）。 The holding members (30, 230) are arranged by arranging a plurality of first objects (150) forming a part of the plurality of objects (50) in the height direction at a first position in the lateral direction. And a plurality of second objects to be processed (250) forming a part of the plurality of objects to be processed (50) at a second position different from the plurality of first objects to be processed (150) in the lateral direction. The plurality of second objects to be processed (at the height between the objects to be processed of the plurality of first objects to be processed (150) arranged side by side in the height direction and arranged at the first position) 250) are arranged, respectively , The heat processing apparatus (1) as described in any one of Claims 1-5,8,9 characterized by the above-mentioned.
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