JP2008172154A - Reflow furnace - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To blow atmosphere within a carrier section at a reflow furnace onto a substrate in a turbulent flow state to improve the heat exchange efficiency to the substrate, while controlling the atmosphere temperature within the carrier section under a predetermined temperature condition. <P>SOLUTION: In a reflow furnace 10, a hot air generator section 60, where a heater 62 and a fan 64 are arranged, and a carrier section 30 for carriage of a substrate 22 are segmented by a hood 40 and a partition plate 50. Heated atmosphere is fed into the carrier section 30 from many hot air blowout sections attached to the partition plate 50, and atmosphere within the carrier section 30 is sucked from many suction sections 56 attached to the partition plate 50 into the hot air generator section 60 for atmosphere circulation. The hot air blowout sections and the suction sections 56 are provided in pairs, and the hot air blowout section is arranged adjacent to the outside of the suction section 56 in each pair of the hot air blowout section and the suction section 56. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明はリフロー炉に関し、より詳細には、基板への加熱が効率的に行うことができると共に、リフロー炉の搬送部における雰囲気を均一の温度にすることが可能なリフロー炉に関する。   The present invention relates to a reflow furnace, and more particularly to a reflow furnace that can efficiently heat a substrate and can make the atmosphere in a transfer part of the reflow furnace uniform.

基板上に熱風を吹き付け、はんだをリフローさせて電子部品を基板にはんだ付けする装置として、リフロー炉が広く用いられている。このようなリフロー炉としては、例えば、特許文献1記載のものがある。特許文献1記載のリフロー炉は、基板に向けてヒータが設けられていて、ヒータの輻射熱によりリフローさせる熱を得ていた。   A reflow furnace has been widely used as an apparatus for soldering an electronic component to a substrate by blowing hot air onto the substrate to reflow the solder. As such a reflow furnace, there exists a thing of patent document 1, for example. The reflow furnace described in Patent Document 1 is provided with a heater toward the substrate, and obtains heat to be reflowed by the radiant heat of the heater.

特開平1−305554号公報JP-A-1-305554

特許文献1記載の発明においては、輻射熱を基板への加熱熱源および、搬送部内の雰囲気の加熱熱源としている。基板を加熱する熱源に輻射熱を用いると、リフロー処理に時間がかかってしまうという課題がある。また、輻射熱によりリフロー炉内の雰囲気を加熱した場合には温度の維持管理が難しいという課題がある。このようなリフロー炉においてリフロー処理を行うと、想定していた品質を満足できない製品が製造されてしまうことがあるという課題があった。   In the invention described in Patent Document 1, radiant heat is used as a heating heat source for the substrate and a heating heat source for the atmosphere in the transport unit. When radiant heat is used as a heat source for heating the substrate, there is a problem that reflow processing takes time. Moreover, when the atmosphere in a reflow furnace is heated by radiant heat, there exists a subject that maintenance of temperature is difficult. When the reflow process is performed in such a reflow furnace, there is a problem that a product that does not satisfy the expected quality may be manufactured.

また近年は、従来のはんだに替えて鉛フリーはんだが用いられるようになっている。鉛フリーはんだにおけるリフロー温度は、従来のはんだに比べてリフロー温度が高く、基板に搭載する電子部品の耐熱温度との温度差がわずかになっている。このように、鉛フリーはんだを用いて基板に電子部品を取り付けする場合においては、従来以上に搬送部内における雰囲気の温度管理を厳密に行わなければならないといった課題もある。   In recent years, lead-free solder has been used in place of conventional solder. The reflow temperature of lead-free solder is higher than that of conventional solder, and the temperature difference from the heat resistance temperature of electronic components mounted on the board is small. As described above, when an electronic component is attached to a substrate using lead-free solder, there is a problem that the temperature control of the atmosphere in the transport unit must be strictly performed more than ever.

本発明は、基板への加熱効率を高めると共に、リフロー炉の搬送部における雰囲気の温度を常に均一にし、リフロー炉の搬送部内における雰囲気を確実に所定の温度条件に制御することが可能なリフロー炉の提供を目的としている。   The present invention provides a reflow furnace capable of improving the heating efficiency of the substrate, making the temperature of the atmosphere in the transfer part of the reflow furnace always uniform, and reliably controlling the atmosphere in the transfer part of the reflow furnace to a predetermined temperature condition. The purpose is to provide.

本発明は、フードと仕切板により、ヒータとファンが配設された熱風発生部と基板を搬送する搬送部とが区画され、該仕切板に多数設けられた熱風噴出部から加熱された雰囲気を前記搬送部内に送り込み、前記仕切板に多数設けた吸引部から前記搬送部内の雰囲気を前記熱風発生部内に吸引して循環するリフロー炉であって、前記熱風噴出部と前記吸引部とが対をなして設けられ、各対の前記熱風噴出部と前記吸引部とにおいて、前記熱風噴出部が前記吸引部の外側に隣接した状態に配設されていることを特徴とするリフロー炉である。   In the present invention, a hood and a partition plate divide a hot air generation unit in which a heater and a fan are arranged and a transport unit that transports a substrate, and an atmosphere heated from a large number of hot air ejection units provided in the partition plate is provided. A reflow furnace that feeds into the transport unit and sucks and circulates the atmosphere in the transport unit into the hot air generating unit from a plurality of suction units provided on the partition plate, and the hot air jet unit and the suction unit are paired. A reflow furnace characterized in that, in each pair of the hot air ejection part and the suction part, the hot air ejection part is disposed adjacent to the outside of the suction part.

また、前記熱風噴出部は、前記吸引部の周りを囲むようにして複数箇所に配設されていることが好ましい。ここで、吸引部の周りを囲んだ複数の熱風噴出部どうしを接続し、熱風噴出部を前記吸引部と同心のリング状に形成してもよい。これにより、熱風噴出部から噴出される熱風と吸引部から吸引される搬送部の雰囲気の流れの関係により、基板への熱交換が効率的になると共に、搬送部内の雰囲気の温度が好適に均一化される。   Moreover, it is preferable that the said hot-air ejection part is arrange | positioned in multiple places so that the circumference | surroundings of the said suction part may be enclosed. Here, a plurality of hot air ejection portions surrounding the suction portion may be connected to form a hot air ejection portion in a ring shape concentric with the suction portion. As a result, the heat exchange to the substrate becomes efficient and the temperature of the atmosphere in the transport unit is suitably uniform due to the relationship between the hot air jetted from the hot air jet unit and the flow of the atmosphere of the transport unit sucked from the suction unit. It becomes.

また、前記吸引部は管体により形成され、前記熱風噴出部は仕切板の板厚方向に貫通する貫通孔に形成されていて、前記貫通孔が、前記管体の外周面の一部に接した状態で配設されていることが好ましい。一方、前記熱風噴出部は管体により形成され、前記吸引部は仕切板の板厚方向に貫通する貫通孔に形成されていて、前記管体が、前記貫通孔の外周面の一部に接した状態で配設されていてもよい。これらの構成を採用することで、より好適に基板を加熱することができ、また、搬送部内の雰囲気温度を均一化することができる。   Further, the suction part is formed by a tube, and the hot air jet part is formed in a through hole that penetrates in the plate thickness direction of the partition plate, and the through hole is in contact with a part of the outer peripheral surface of the tube. It is preferable that they are arranged in the above state. On the other hand, the hot air ejection part is formed of a tube, and the suction part is formed in a through hole penetrating in the plate thickness direction of the partition plate, and the tube is in contact with a part of the outer peripheral surface of the through hole. It may be arranged in the state. By adopting these configurations, the substrate can be more suitably heated, and the atmospheric temperature in the transport unit can be made uniform.

また、前記吸引部の流路断面積と、前記熱風噴出部の流路断面積の比は2:1〜4:1の範囲であることが好ましい。さらには、前記吸引部の流路断面積と、前記熱風噴出部の流路断面積の比は3:1であればより好ましい。これにより、熱風噴出部から噴出する加熱された雰囲気と、吸引部を介して搬送部から吸引される雰囲気の流入流出のバランスが良好になり、より好適に基板に熱を加えることができると共に、搬送部内の雰囲気温度を均一に維持することができる。   Moreover, it is preferable that ratio of the flow-path cross-sectional area of the said suction part and the flow-path cross-sectional area of the said hot-air ejection part is the range of 2: 1-4: 1. Furthermore, it is more preferable that the ratio of the channel cross-sectional area of the suction part to the channel cross-sectional area of the hot air ejection part is 3: 1. Thereby, the balance between inflow and outflow of the heated atmosphere ejected from the hot air ejection section and the atmosphere sucked from the transport section via the suction section can be improved, and heat can be applied to the substrate more suitably. The atmospheric temperature in the transport unit can be maintained uniformly.

また、前記熱風噴出部から噴出した加熱された雰囲気の一部が前記吸引部に吸引されることにより、前記搬送部内において乱流が形成されることで、前記基板への加熱効率を向上させると共に、前記搬送部内の雰囲気温度が可及的に均一化されることを特徴とする。これにより、搬送部内に噴出された雰囲気が搬送部内で広がり、基板への加熱性能が向上し、搬送部内の雰囲気温度を均一にすることができる。   In addition, a part of the heated atmosphere ejected from the hot air ejection section is sucked into the suction section, thereby forming a turbulent flow in the transport section, thereby improving the heating efficiency of the substrate. The atmospheric temperature in the transfer unit is made as uniform as possible. Thereby, the atmosphere sprayed in the conveyance part spreads in the conveyance part, the heating performance to a board | substrate improves, and the atmospheric temperature in a conveyance part can be made uniform.

本発明にかかるリフロー炉によれば、基板にふきつける雰囲気を乱流状態にすることができるので、基板を効率的に加熱することができ、リフロー処理を短時間で行うことができる。このようなリフロー炉によれば、鉛フリーはんだを用いた場合であっても、基板に搭載した電子部品への熱負荷を最小限にすることができる。
また、搬送部内の雰囲気温度を可及的に均一化することができるので、はんだを用いて電子部品を搭載する基板のはんだリフローのムラをなくすことができる。すなわち、均一な品質で電子部品を搭載した基板を提供することができ、電子部品搭載製品の歩留まりを向上させることができる。
According to the reflow furnace of the present invention, the atmosphere to be wiped on the substrate can be in a turbulent state, so that the substrate can be efficiently heated and the reflow process can be performed in a short time. According to such a reflow furnace, even when lead-free solder is used, the thermal load on the electronic component mounted on the board can be minimized.
In addition, since the ambient temperature in the transport unit can be made as uniform as possible, it is possible to eliminate unevenness in solder reflow of a substrate on which electronic components are mounted using solder. That is, a substrate on which electronic components are mounted with uniform quality can be provided, and the yield of electronic component mounted products can be improved.

(第1実施形態)
以下、本実施形態におけるリフロー炉について、図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本実施形態におけるリフロー炉の概略構成を示す基板搬送方向から臨んだ説明図である。図2は、搬送部側から仕切板の方向を臨んだ説明図である。図3は、図2中のZ部分の拡大図である。図4は搬送部と熱風噴出部および吸引部における雰囲気の流れを示す説明図である。
(First embodiment)
Hereinafter, the reflow furnace in this embodiment is demonstrated in detail based on drawing.
FIG. 1 is an explanatory view of the schematic configuration of the reflow furnace in the present embodiment as viewed from the substrate transport direction. FIG. 2 is an explanatory view of the direction of the partition plate from the transport unit side. FIG. 3 is an enlarged view of a portion Z in FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the flow of the atmosphere in the transport section, hot air ejection section, and suction section.

本実施形態におけるリフロー炉10は、断面形状が下に開口するコ字状に形成された断熱材からなるフード40が仕切板50により仕切られることにより、電子部品20が載置された基板22を水平方向に搬送する搬送部30と、ヒータ62とファン(送風ファン)64とが配設された熱風発生部60とに区画されている。12は台座である。台座12の内部空間は、リフロー炉10を窒素炉として使用する場合に必要な窒素ガスの収納庫として利用することができる。   In the reflow furnace 10 according to the present embodiment, the substrate 22 on which the electronic component 20 is placed is partitioned by a hood 40 made of a heat insulating material formed in a U shape whose cross-sectional shape opens downward. It is divided into a conveyance unit 30 that conveys in the horizontal direction, and a hot air generation unit 60 in which a heater 62 and a fan (blower fan) 64 are arranged. Reference numeral 12 denotes a pedestal. The internal space of the pedestal 12 can be used as a storage for nitrogen gas required when the reflow furnace 10 is used as a nitrogen furnace.

搬送部30内には、耐熱性部材により形成されたメッシュコンベア等に例えられる無端の循環式の基板搬送装置31が配設される。基板搬送装置31は、リフロー炉10の入口側から出口側に向けて(図1において紙面に垂直な方向に向けて)基板22を搬送する。図1においては、基板搬送装置31の基板搬送部分を図示しており、基板搬送装置31は紙面と直交する方向に循環している。   An endless circulation type substrate transport device 31 such as a mesh conveyor formed of a heat resistant member is disposed in the transport unit 30. The substrate transport device 31 transports the substrate 22 from the inlet side to the outlet side of the reflow furnace 10 (in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1). In FIG. 1, a substrate transfer portion of the substrate transfer device 31 is illustrated, and the substrate transfer device 31 circulates in a direction orthogonal to the paper surface.

仕切板50の上方側の空間はヒータ62と送風ファン64が配設された熱風発生部60に形成されている。ヒータ62と触媒体66は直方体に形成されたヒータボックス68に内蔵されている。ヒータボックス68は取付板69により仕切板50に取り付けられている。ヒータボックス68の底面と取付板69と仕切板50により、搬送部30の上方に搬送方向と直交する方向に伸びるトンネル部が形成される。   The space above the partition plate 50 is formed in a hot air generating unit 60 in which a heater 62 and a blower fan 64 are disposed. The heater 62 and the catalyst body 66 are built in a heater box 68 formed in a rectangular parallelepiped. The heater box 68 is attached to the partition plate 50 by an attachment plate 69. A tunnel portion extending in a direction orthogonal to the transport direction is formed above the transport portion 30 by the bottom surface of the heater box 68, the mounting plate 69, and the partition plate 50.

ヒータボックス68の上面には開口部68Aが形成されていて、この開口部68Aに対向して送風ファン64が配設されている。ヒータボックス68の底面板には円形の貫通孔68Bが複数形成されていて、吸引部(吸引管)56を介して搬送部30に連通している。貫通孔68Bは、ヒータボックス68の底面板に千鳥配列をなすように形成されている。   An opening 68A is formed on the upper surface of the heater box 68, and a blower fan 64 is disposed opposite to the opening 68A. A plurality of circular through holes 68 </ b> B are formed in the bottom plate of the heater box 68 and communicated with the transport unit 30 via a suction unit (suction tube) 56. The through holes 68B are formed in a staggered arrangement on the bottom plate of the heater box 68.

熱風発生部60内には、ヒータボックス68とフード40および仕切板50により、熱風循環路80が形成されている。熱風循環路80は、送風ファン64により送られる熱風を、基板搬送方向と直交する方向の両側(図1中の矢印Aの方向)に向けて分配すると共に、両側部から搬送部30の方向に向けて下方側(図1中の矢印Bの方向)に案内し、さらには搬送部30と平行に、リフロー炉10の両側からトンネル部によりリフロー炉10の中央部分に向かって互いに対向する逆向き方向(図1中の矢印Cの方向)に案内した後、熱風噴出部54から搬送部30の上に搬送されてくる基板22に向けて噴出することができるように形成されている。   A hot air circulation path 80 is formed in the hot air generator 60 by the heater box 68, the hood 40, and the partition plate 50. The hot air circulation path 80 distributes the hot air sent by the blower fan 64 toward both sides (in the direction of arrow A in FIG. 1) in the direction orthogonal to the substrate carrying direction, and from both sides to the carrying unit 30. Are directed downward (in the direction of arrow B in FIG. 1), and in parallel to the transport unit 30, opposite to each other from both sides of the reflow furnace 10 toward the central portion of the reflow furnace 10 by the tunnel part. After guiding in the direction (the direction of arrow C in FIG. 1), it is formed so that it can be ejected from the hot air ejection part 54 toward the substrate 22 conveyed onto the conveyance part 30.

搬送部30と熱風循環路80とは、仕切板50に形成された熱風噴出部54により連通している。また搬送部30と熱風発生部60(ヒータ62)とは、仕切板50の貫通孔52とヒータボックス68の底面板に形成された貫通孔68Bとを渡すようにして両孔に両端が嵌着された吸引部(吸引管)56により連通している。したがって、吸引管56は上記トンネル部内を上下方向に通過する状態に伸びて、搬送部30とヒータボックス68とを連通している。   The conveyance unit 30 and the hot air circulation path 80 are communicated with each other by a hot air jet unit 54 formed in the partition plate 50. Further, both ends of the conveying unit 30 and the hot air generating unit 60 (heater 62) are fitted in both holes so as to pass the through hole 52 of the partition plate 50 and the through hole 68B formed in the bottom plate of the heater box 68. The suction section (suction tube) 56 communicates with each other. Therefore, the suction pipe 56 extends in a state of passing through the tunnel portion in the vertical direction, and communicates the transport unit 30 and the heater box 68.

仕切板50に形成された貫通孔52は、ヒータボックス68に形成された貫通孔68Bと同一配列の千鳥配列となるようにプレス加工等により形成されている。貫通孔52の形状は、図2、図3に示すように吸引部56として用いられる管体からなる吸引管56の一端が圧入される内孔53と、内孔53の周上にさらに半円状をなす外孔(熱風噴出部)54とを有する形状に形成されている。内孔53の内径寸法は、吸引管56の外径寸法に等しく形成されている。   The through holes 52 formed in the partition plate 50 are formed by pressing or the like so as to form a staggered arrangement having the same arrangement as the through holes 68B formed in the heater box 68. As shown in FIGS. 2 and 3, the shape of the through hole 52 includes an inner hole 53 into which one end of a suction pipe 56 made of a tube used as the suction portion 56 is press-fitted, and a semicircle on the periphery of the inner hole 53. It is formed in a shape having an outer hole (hot air ejection portion) 54 that forms a shape. The inner diameter of the inner hole 53 is equal to the outer diameter of the suction pipe 56.

仕切板50に形成された貫通孔52の外孔54は仕切板50に吸引管56を装着した後においても仕切板50を板厚方向に貫通した状態を維持する。本実施形態においてはこの外孔54が熱風噴出部54となる。すなわち、各熱風噴出部54は各吸引管56と対をなして設けられ、吸引管56の吸引部分を外側から囲むようにして、吸引管56の外周面の一部に接した状態で複数箇所に配設された状態となる。   The outer hole 54 of the through hole 52 formed in the partition plate 50 maintains the state of penetrating the partition plate 50 in the plate thickness direction even after the suction pipe 56 is attached to the partition plate 50. In the present embodiment, the outer hole 54 serves as a hot air ejection portion 54. That is, each hot-air ejection part 54 is provided in pairs with each suction pipe 56, and is arranged at a plurality of locations in such a manner that it surrounds the suction part of the suction pipe 56 from the outside and is in contact with a part of the outer peripheral surface of the suction pipe 56. It will be in the installed state.

また、吸引管56の流路面積と熱風噴出部54の流路面積の比は4:1〜2:1の範囲であることが好適であるが、より好ましくは吸引管56の流路面積と熱風噴出部54の流路面積が3:1の比となる場合である。このように吸引管56の流路面積に対し、熱風噴出部54の流路面積が1/4〜1/2の範囲となるように設けられているので、熱風噴出部54から搬送部30内に噴出される雰囲気の流速は吸引管56に吸引される雰囲気の流速の2〜4倍になる。   Further, the ratio of the flow path area of the suction pipe 56 and the flow path area of the hot-air ejection part 54 is preferably in the range of 4: 1 to 2: 1. This is a case where the flow area of the hot-air ejection portion 54 is a ratio of 3: 1. As described above, the flow area of the hot air ejection part 54 is set to be in a range of ¼ to 1/2 with respect to the flow area of the suction pipe 56. The flow rate of the atmosphere ejected into the air is 2 to 4 times the flow rate of the atmosphere sucked into the suction pipe 56.

リフロー炉10内には、図示しない供給口から窒素ガスが導入され、極力空気がパージされた状態ではんだのリフローがなされることがある。
熱風噴出部54から加熱された雰囲気が搬送部30内に噴出され、搬送部30内の雰囲気は吸引管56により吸引されてヒータボックス68に導入される。このようにしてリフロー炉10内を雰囲気が循環する。もちろん、リフロー炉10内に導入された雰囲気の一部は、リフロー炉10の入口側と出口側から外部に流出する。
In the reflow furnace 10, solder may be reflowed while nitrogen gas is introduced from a supply port (not shown) and air is purged as much as possible.
The atmosphere heated from the hot-air ejection unit 54 is ejected into the transport unit 30, and the atmosphere in the transport unit 30 is sucked by the suction pipe 56 and introduced into the heater box 68. In this way, the atmosphere circulates in the reflow furnace 10. Of course, part of the atmosphere introduced into the reflow furnace 10 flows out from the inlet side and the outlet side of the reflow furnace 10.

熱風噴出部54は吸引管(吸引部)56の外側に隣接した状態で配設されているので、熱風噴出部54から搬送部30内に噴出される雰囲気の一部が、吸引管56によって図4に示すように、熱風噴出部54から搬送部30内に噴出される雰囲気に乱流が生じ、基板22に均一にふきつけられる。また雰囲気が乱流状態となるので、基板22への加熱が効率的に行われるので、リフロー処理を短時間で行うことができる。さらには、搬送部30内の雰囲気の温度が均一化され、良好なリフローが行われる。   Since the hot air jetting part 54 is arranged in a state adjacent to the outside of the suction pipe (suction part) 56, a part of the atmosphere jetted from the hot air jetting part 54 into the transport unit 30 is illustrated by the suction pipe 56. As shown in FIG. 4, turbulent flow is generated in the atmosphere ejected from the hot air ejection section 54 into the transport section 30, and the substrate 22 is uniformly wiped. Further, since the atmosphere is in a turbulent state, the substrate 22 is efficiently heated, so that the reflow process can be performed in a short time. Furthermore, the temperature of the atmosphere in the transport unit 30 is made uniform, and good reflow is performed.

また、先にも説明したとおり、仕切板50の貫通孔52が平面視において千鳥配列になっているため、搬送部30内の基板22の搬送方向と直交する方向における熱風噴出部54と吸引管56の配設密度を高めることができる。熱風噴出部54と吸引管56の配設密度が高まると、搬送部30内の雰囲気の攪拌がより高度に行われるので、搬送部30における雰囲気温度がより均一にすることができるため好都合である。   Further, as described above, since the through holes 52 of the partition plate 50 are arranged in a staggered arrangement in a plan view, the hot air ejection part 54 and the suction pipe in the direction orthogonal to the transport direction of the substrate 22 in the transport part 30 are used. The arrangement density of 56 can be increased. Increasing the arrangement density of the hot-air jets 54 and the suction pipes 56 is advantageous because the atmosphere in the transport unit 30 is stirred more highly, and the ambient temperature in the transport unit 30 can be made more uniform. .

図5は、リフロー炉10内における雰囲気の流速分布を示すものである。基板22に流速計を取り付け、リフロー炉10内を搬送することによって基板22にふきつけられる雰囲気の風速を計測した。図5内のA区は、本実施の形態におけるリフロー炉10内における風速を、B区は、図の下部に示すように、各吸引管56から離れた位置に、吸引管56間の中間位置に熱風噴出部54を配置した場合(従来技術)の比較例を示す。
図5のA区では、風速の最大値Amaxと最小値Aminとの差が小さくなっているのに対し、B区ではその差(風速の最大値Bmaxと最小値Bminとの差)が極めて大きくなっている。これは、本実施形態の場合は、前記のように、熱風噴出部54から噴出される雰囲気の一部が、吸引管56から吸引される雰囲気に巻き付くようにして吸引されて乱流状態が生じるのに対し、比較例の場合は、熱風噴出部54からストレートに雰囲気が噴出され、雰囲気の攪拌が少ないためと考えられる。
FIG. 5 shows the flow velocity distribution of the atmosphere in the reflow furnace 10. An anemometer was attached to the substrate 22, and the wind velocity of the atmosphere wiped against the substrate 22 was measured by carrying the inside of the reflow furnace 10. The section A in FIG. 5 shows the wind speed in the reflow furnace 10 in the present embodiment, and the section B shows an intermediate position between the suction pipes 56 at positions away from the suction pipes 56 as shown in the lower part of the figure. A comparative example in the case where the hot-air ejection part 54 is arranged (prior art) is shown.
In section A in FIG. 5, the difference between the maximum value Amax and the minimum value Amin of the wind speed is small, whereas in section B, the difference (the difference between the maximum value Bmax and the minimum value Bmin of the wind speed) is extremely large. It has become. In the case of the present embodiment, as described above, a part of the atmosphere ejected from the hot air ejection part 54 is sucked so as to wrap around the atmosphere sucked from the suction pipe 56, and the turbulent flow state is obtained. In contrast, in the case of the comparative example, it is considered that the atmosphere is ejected straight from the hot air ejection portion 54 and the atmosphere is less agitated.

この実験結果から、本実施形態にかかるリフロー炉10によれば、搬送部30内において基板22にふきつけられる雰囲気の流速のばらつきが少なく、雰囲気が均一の状態で基板22にふきつけられていることが分かる。このように搬送部30内において均一の雰囲気が流れていることによっても、基板22への加熱が効率的に行えると共に、搬送部30内における雰囲気の温度ムラ発生が好適に防止できる。
また、均一な条件下ではんだリフロー処理をすることが可能になり、リフロー処理後における製品の歩留まりを向上させることができる。
From this experimental result, according to the reflow furnace 10 according to the present embodiment, there is little variation in the flow velocity of the atmosphere that is wiped to the substrate 22 in the transport unit 30, and the substrate 22 is wiped in a uniform atmosphere. I understand. Thus, even when a uniform atmosphere flows in the transport unit 30, the substrate 22 can be efficiently heated, and the occurrence of temperature unevenness in the transport unit 30 can be suitably prevented.
Moreover, it becomes possible to perform the solder reflow process under uniform conditions, and the yield of products after the reflow process can be improved.

次に、リフロー炉10内における雰囲気の流れについて説明する。
送風ファン64によってヒータボックス68に吸引された搬送部30内の雰囲気は、ヒータ62により加熱された後、ヒータボックス68の開口部68Aを通過し、再び送風ファン64により熱風循環路80に送り出される。送風ファン64により送り出された加熱された雰囲気は、熱風循環路80内を搬送部30の延長方向と直交する方向の両側に向けて(図1の矢印A方向)離反するように誘導され、さらにその両側部から搬送部30方向に向けて下方(図1中の矢印B方向)に、さらには搬送部30とヒータボックス68の間のトンネル部を側方から互いに接近するように逆方向(図1中の矢印C方向)に進入した後、仕切板50に設けられた熱風噴出部54から搬送部30内に搬送されている基板22に向けて(図1中の矢印D方向)噴出される。搬送部30に噴出された雰囲気は、基板22に搭載されたはんだをリフローさせる。搬送部30内の雰囲気は、送風ファン62により、仕切板50の貫通孔52に取り付けられた吸引管56を経由してヒータボックス68(熱風発生部60側)に吸引される(図1中の矢印E方向)。
ヒータボックス68(熱風発生部60の内部空間)に吸引された雰囲気は、再びヒータ62により加熱された後に、ヒータボックス68の上面の開口部68Aを通過して送風ファン62に吸引される(図1中のF方向)。このようにして搬送部30の雰囲気はリフロー炉10内部を循環する。
Next, the flow of the atmosphere in the reflow furnace 10 will be described.
The atmosphere in the conveyance unit 30 sucked into the heater box 68 by the blower fan 64 is heated by the heater 62, passes through the opening 68 </ b> A of the heater box 68, and is sent out again to the hot air circulation path 80 by the blower fan 64. . The heated atmosphere sent out by the blower fan 64 is guided so as to be separated in the hot air circulation path 80 toward both sides in the direction orthogonal to the extending direction of the transport unit 30 (in the direction of arrow A in FIG. 1). Downward from the both sides toward the transport unit 30 (in the direction of arrow B in FIG. 1), and further in the reverse direction so that the tunnel part between the transport unit 30 and the heater box 68 approaches each other from the side. 1 (in the direction of arrow C in FIG. 1), and then ejected from the hot air ejection section 54 provided on the partition plate 50 toward the substrate 22 transported into the transport section 30 (in the direction of arrow D in FIG. 1). . The atmosphere ejected to the transport unit 30 reflows the solder mounted on the substrate 22. The atmosphere in the transport unit 30 is sucked into the heater box 68 (on the hot air generating unit 60 side) by the blower fan 62 via the suction pipe 56 attached to the through hole 52 of the partition plate 50 (in FIG. 1). Arrow E direction).
The atmosphere sucked into the heater box 68 (the internal space of the hot air generator 60) is heated again by the heater 62, and then passes through the opening 68A on the upper surface of the heater box 68 and sucked into the blower fan 62 (see FIG. F direction in 1). In this way, the atmosphere of the transport unit 30 circulates inside the reflow furnace 10.

(第2実施形態)
次に他の実施形態について説明する。第1実施形態においては、単体のリフロー炉10について説明したが、本実施形態においては図5に示すように搬送部30の上下に熱風発生部60,60を配設し、上下にヒータ60および送風ファン62をそれぞれ配設したリフロー炉10について説明をする。
(Second Embodiment)
Next, another embodiment will be described. In the first embodiment, the single reflow furnace 10 has been described. In this embodiment, as shown in FIG. 5, hot air generators 60 and 60 are disposed above and below the transport unit 30, and the heater 60 and The reflow furnace 10 provided with the blower fans 62 will be described.

本実施形態における基板搬送装置31の構成は特に限定されるものではないが、図6の紙面に対して垂直方向に回転する無端状チエーン31Aを2基平行に設け、各チエーン片に内方に向けて突出する支持ピンPを設けた形態のものを採用している。基板搬送装置31により搬送される基板22は、この支持ピンP間に橋渡し状に載置して搬送するようにすることができる。
本実施形態においては、搬送部30の上下にそれぞれヒータ62および送風ファン64を有しているので、搬送部30内の雰囲気をより均一な温度条件に設定することができるため好都合である。
The configuration of the substrate transfer device 31 in this embodiment is not particularly limited, but two endless chains 31A that rotate in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 6 are provided in parallel, and each chain piece is inwardly provided. The thing of the form which provided the support pin P which protrudes toward is employ | adopted. The substrate 22 conveyed by the substrate conveying device 31 can be placed between the support pins P in a bridging manner and conveyed.
In the present embodiment, since the heater 62 and the blower fan 64 are respectively provided above and below the transport unit 30, the atmosphere in the transport unit 30 can be set to a more uniform temperature condition.

以上に説明した実施形態においては、それぞれ、基板22の搬送方向において一基のリフロー炉10が配設された形態を示しているが、実際には、基板22の搬送方向に複数基のリフロー炉10を連結した連続式リフロー炉に構成する。この場合、フード40を長手方向に複数に仕切ってそれぞれのリフロー炉10の区切板として用いるとよい。また、雰囲気に含まれるフラックスを除去する触媒体(図示せず)を必要なセクションにおけるリフロー炉10に配設することもできる。   In the embodiment described above, a configuration in which one reflow furnace 10 is disposed in the transport direction of the substrate 22 is shown, but actually, a plurality of reflow furnaces are disposed in the transport direction of the substrate 22. 10 is connected to a continuous reflow furnace. In this case, the hood 40 may be divided into a plurality of pieces in the longitudinal direction and used as a partition plate for each reflow furnace 10. Further, a catalyst body (not shown) for removing the flux contained in the atmosphere can be disposed in the reflow furnace 10 in a necessary section.

連続式リフロー炉を採用することにより、基板22を搬送部30上に順次並べて連続式リフロー炉内に順次搬入、搬送することによって、基板22への電子部品20のはんだ付けを連続的に行うことができる。搬送部30の温度設定を変更したリフロー炉10,10,10,・・・を基板搬送方向に複数基連結することによって、搬送方向に適宜温度勾配をもたせる(プリヒート部、加熱部、本加熱部、冷却部などといった構成となる)こともできる。これにより、きめ細かなリフロー条件(リフロー温度、および時間)を設定することが可能となる。   By adopting the continuous reflow furnace, the electronic components 20 are continuously soldered to the substrate 22 by sequentially arranging the substrates 22 on the transport unit 30 and sequentially carrying them into the continuous reflow furnace. Can do. A plurality of reflow furnaces 10, 10, 10,... That have changed the temperature setting of the transport unit 30 are connected in the substrate transport direction so that a temperature gradient is appropriately provided in the transport direction (preheating unit, heating unit, main heating unit). , And a configuration such as a cooling unit). Thereby, fine reflow conditions (reflow temperature and time) can be set.

単体のリフロー炉および連続式リフロー炉のいずれにおいても、リフロー炉10と外界との境界となる搬送部30の出入り口部分に、ラビリンスやエアカーテン装置を配設すれば、搬送部30の雰囲気の温度管理を容易に行うことができるため好適である。   In both a single reflow furnace and a continuous reflow furnace, if a labyrinth or an air curtain device is provided at the entrance / exit part of the transfer unit 30 which is a boundary between the reflow furnace 10 and the outside, the temperature of the atmosphere of the transfer unit 30 This is preferable because it can be easily managed.

以上に説明した実施形態におけるリフロー炉10は、搬送部30の延長方向と直交する水平方向にリフロー炉10内の雰囲気を一旦二分割して流通させた後、分割させた雰囲気を再び合流させ、リフロー炉10内に窒素を導入した所謂窒素炉について説明しているが、雰囲気の流通形態は特に限定されるものではなく、いかなる雰囲気の流通形態および窒素を導入しない、いわゆる大気炉であっても本願発明を適用することができるのはもちろんである。   The reflow furnace 10 in the embodiment described above circulates the atmosphere in the reflow furnace 10 once in a horizontal direction perpendicular to the extending direction of the transport unit 30, and then merges the divided atmosphere again. Although a so-called nitrogen furnace in which nitrogen is introduced into the reflow furnace 10 is described, the circulation mode of the atmosphere is not particularly limited, and any atmospheric circulation form and so-called atmospheric furnace in which nitrogen is not introduced may be used. Of course, the present invention can be applied.

また、熱風噴出部54は必ずしも吸引部(吸引管)56の外周縁上の複数箇所に形成された形態である必要はない。熱風噴出部54の他の形態としては、例えば吸引部56と同心のリング状に形成してもよいのはもちろんである。熱風噴出部54を吸引部56と同心のリング状に形成する場合には、図7に示すような二重構造管58を仕切板50の貫通孔52とヒータボックス68の底面に設けた貫通孔68Bに連通させて配設し、外側管58Aと内側管58Bの間の空間を熱風噴出部54として用い、内側管58Bの内部空間を吸引部56として用いればよい。
この場合においても、吸引部56の流路面積と熱風噴出部54の流路面積の比は先に説明した比率であることが好ましいのは同様である。
Further, the hot air ejection part 54 does not necessarily have to be formed at a plurality of locations on the outer peripheral edge of the suction part (suction pipe) 56. Of course, as another form of the hot air ejection portion 54, for example, it may be formed in a ring shape concentric with the suction portion 56. When the hot-air ejection part 54 is formed in a ring shape concentric with the suction part 56, a double-structured tube 58 as shown in FIG. 7 is provided in a through-hole provided in the through-hole 52 of the partition plate 50 and the bottom of the heater box 68. 68B, the space between the outer tube 58A and the inner tube 58B may be used as the hot air blowing portion 54, and the inner space of the inner tube 58B may be used as the suction portion 56.
In this case as well, the ratio of the channel area of the suction portion 56 and the channel area of the hot air ejection portion 54 is preferably the ratio described above.

本実施形態においては、熱風噴出部54を仕切板50に形成した貫通孔52の外孔54により構成し、吸引管56により吸引部を構成する形態について説明したが、吸引部56の外周を囲むように熱風噴出部54を配設する形態であれば、熱風噴出部54を管状体により形成し、吸引部56を仕切板に形成した貫通孔により構成する形態を採用しても本実施形態と同様の作用効果を得ることができる。   In the present embodiment, the hot air ejection part 54 is configured by the outer hole 54 of the through hole 52 formed in the partition plate 50 and the suction part is configured by the suction pipe 56, but the outer periphery of the suction part 56 is surrounded. Thus, even if the configuration in which the hot air ejection portion 54 is arranged as described above, the configuration in which the hot air ejection portion 54 is formed by a tubular body and the suction portion 56 is configured by a through hole formed in the partition plate is adopted. Similar effects can be obtained.

第1実施形態におけるリフロー炉の概略構成を示す基板搬送方向から臨んだ説明図である。It is explanatory drawing which faced from the board | substrate conveyance direction which shows schematic structure of the reflow furnace in 1st Embodiment. 搬送部側から仕切板の方向を臨んだ説明図である。It is explanatory drawing which faced the direction of the partition plate from the conveyance part side. 図2中のZ部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a Z portion in FIG. 2. 搬送部と熱風噴出部および吸引部における雰囲気の流れを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the flow of the atmosphere in a conveyance part, a hot-air ejection part, and a suction part. 第1実施形態にかかる仕切板を用いたリフロー炉と、従来技術にかかる仕切板を用いたリフロー炉により、搬送部内において基板にふき付けられる雰囲気の風速を計測した実験の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of the experiment which measured the wind speed of the atmosphere wiped off to a board | substrate in a conveyance part by the reflow furnace using the partition plate concerning 1st Embodiment, and the reflow furnace using the partition plate concerning a prior art. . 第2実施形態のリフロー炉の概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the reflow furnace of 2nd Embodiment. 熱風噴出部の他の実施形態の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of other embodiment of a hot-air ejection part.

符号の説明Explanation of symbols

10 リフロー炉
12 台座
20 電子部品
22 基板
30 搬送部
31 基板搬送装置
40 フード
50 仕切板
52 貫通孔
54 熱風噴出部(外孔)
56 吸引部(吸引管)
58 二重構造管
58A 外側管
58B 内側管
60 熱風発生部
62 ヒータ
64 送風ファン
68 ヒータボックス
69 取付板
80 熱風循環路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Reflow furnace 12 Base 20 Electronic component 22 Board | substrate 30 Conveyance part 31 Substrate conveyance apparatus 40 Hood 50 Partition plate 52 Through-hole 54 Hot-air ejection part (outer hole)
56 Suction unit (suction tube)
58 Double structure pipe 58A Outer pipe 58B Inner pipe 60 Hot air generating part 62 Heater 64 Blower fan 68 Heater box 69 Mounting plate 80 Hot air circulation path

Claims (8)

フードと仕切板により、ヒータとファンが配設された熱風発生部と基板を搬送する搬送部とが区画され、該仕切板に多数設けられた熱風噴出部から加熱された雰囲気を前記搬送部内に送り込み、前記仕切板に多数設けた吸引部から前記搬送部内の雰囲気を前記熱風発生部内に吸引して循環するリフロー炉であって、
前記熱風噴出部と前記吸引部とが対をなして設けられ、各対の前記熱風噴出部と前記吸引部とにおいて、前記熱風噴出部が前記吸引部の外側に隣接した状態に配設されていることを特徴とするリフロー炉。
The hood and the partition plate divide the hot air generating unit in which the heater and the fan are disposed and the transport unit for transporting the substrate, and the atmosphere heated from the hot air jetting portions provided on the partition plate is contained in the transport unit. A reflow furnace that draws in and circulates the atmosphere in the transport unit into the hot air generation unit from a plurality of suction units provided in the partition plate;
The hot air ejection part and the suction part are provided in pairs, and in each pair of the hot air ejection part and the suction part, the hot air ejection part is disposed adjacent to the outside of the suction part. A reflow furnace characterized by having
前記熱風噴出部は、前記吸引部の周りを囲むようにして複数箇所に配設されていることを特徴とする請求項1記載のリフロー炉。   The reflow furnace according to claim 1, wherein the hot air ejection part is arranged at a plurality of locations so as to surround the suction part. 前記熱風噴出部は、前記吸引部と同心のリング状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のリフロー炉。   The reflow furnace according to claim 1, wherein the hot air ejection part is formed in a ring shape concentric with the suction part. 前記吸引部は管体により形成され、前記熱風噴出部は仕切板の板厚方向に貫通する貫通孔に形成されていて、
前記貫通孔が、前記管体の外周面の一部に接した状態で配設されていることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載のリフロー炉。
The suction part is formed by a tube, and the hot air ejection part is formed in a through-hole penetrating in the plate thickness direction of the partition plate,
The reflow furnace according to any one of claims 1 to 3, wherein the through-hole is disposed in contact with a part of the outer peripheral surface of the tubular body.
前記熱風噴出部は管体により形成され、前記吸引部は仕切板の板厚方向に貫通する貫通孔に形成されていて、
前記管体が、前記貫通孔の外周面の一部に接した状態で配設されていることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載のリフロー炉。
The hot air ejection part is formed by a tube, and the suction part is formed in a through-hole penetrating in the plate thickness direction of the partition plate,
The reflow furnace according to any one of claims 1 to 3, wherein the tubular body is disposed in contact with a part of an outer peripheral surface of the through hole.
前記吸引部の流路断面積と、前記熱風噴出部の流路断面積の比は2:1〜4:1の範囲であることを特徴とする請求項1〜5のうちのいずれか一項に記載のリフロー炉。   The ratio of the channel cross-sectional area of the suction part and the channel cross-sectional area of the hot air ejection part is in a range of 2: 1 to 4: 1. The reflow furnace described in 1. 前記吸引部の流路断面積と、前記熱風噴出部の流路断面積の比は3:1であることを特徴とする請求項1〜6のうちのいずれか一項に記載のリフロー炉。   The reflow furnace according to any one of claims 1 to 6, wherein a ratio of a flow passage cross-sectional area of the suction portion and a flow passage cross-sectional area of the hot air ejection portion is 3: 1. 前記熱風噴出部から噴出した加熱された雰囲気の一部が前記吸引部に吸引されることにより、前記搬送部内において乱流が形成されることで、前記基板への加熱効率を向上させると共に、前記搬送部内の雰囲気温度が可及的に均一化されることを特徴とする請求項1〜7のうちのいずれか一項に記載のリフロー炉。   While a part of the heated atmosphere ejected from the hot air ejection part is sucked into the suction part, a turbulent flow is formed in the transport part, thereby improving the heating efficiency to the substrate, and The reflow furnace according to any one of claims 1 to 7, wherein the atmospheric temperature in the transport unit is made as uniform as possible.
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