JP6135445B2 - Semiconductor integrated circuit and operation control method of semiconductor integrated circuit - Google Patents

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Description

本願開示は、半導体集積回路及び半導体集積回路の動作制御方法に関する。   The present disclosure relates to a semiconductor integrated circuit and an operation control method of the semiconductor integrated circuit.

近年、集積回路のデッドコピーによる模造品が流通している。例えば、正規の半導体装置を入手し、半導体装置の各層の配線や回路素子構造等を電子顕微鏡写真により解析して回路情報を抽出し、その回路情報に基づいて模造品の半導体装置を製造することができる。このような模造品は、開発コストがかからないために価格競争において有利であり、正規品のシェアを奪ってしまう。   In recent years, counterfeit goods by dead copy of integrated circuits have been distributed. For example, obtaining a regular semiconductor device, extracting circuit information by analyzing the wiring and circuit element structure of each layer of the semiconductor device with an electron micrograph, and manufacturing a counterfeit semiconductor device based on the circuit information Can do. Such a counterfeit product is advantageous in price competition because it does not require development costs, and it takes away the share of the regular product.

特開2006−5486号公報JP 2006-5486 A 特開2009−284428号公報JP 2009-284428 A

以上を鑑みると、構造を解析して模造品を製造しても当該模造品が動作しない半導体集積回路が望まれる。   In view of the above, there is a demand for a semiconductor integrated circuit in which a counterfeit product does not operate even if a counterfeit product is manufactured by analyzing the structure.

半導体集積回路は、内部回路と、強誘電体容量素子を含み、電源電圧で動作し、前記強誘電体容量素子の容量値と前記電源電圧とに応じた発振周波数で発振する発振器と、前記発振周波数の値を判定して得られる判定結果を出力する周波数センサと、前記電源電圧が所定の電圧値である場合における前記判定結果に応じて前記内部回路の動作の可否を制御する動作制御回路とを含む。   A semiconductor integrated circuit includes an internal circuit and a ferroelectric capacitor, operates with a power supply voltage, and oscillates at an oscillation frequency according to a capacitance value of the ferroelectric capacitor and the power supply voltage, and the oscillation A frequency sensor that outputs a determination result obtained by determining a frequency value, and an operation control circuit that controls whether the internal circuit is operable according to the determination result when the power supply voltage is a predetermined voltage value; including.

少なくとも1つの実施例によれば、構造を解析して模造品を製造しても当該模造品が動作しない半導体集積回路が提供される。   According to at least one embodiment, there is provided a semiconductor integrated circuit in which a counterfeit product does not operate even if a counterfeit product is manufactured by analyzing the structure.

容量素子の容量値の電圧依存性を示す図である。It is a figure which shows the voltage dependence of the capacitance value of a capacitive element. 常誘電体容量素子を含む発振器の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the oscillator containing a paraelectric capacitor. 図2に示す発振器の発振周波数の電圧依存性の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the voltage dependence of the oscillation frequency of the oscillator shown in FIG. 強誘電体容量素子を含む発振器の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the oscillator containing a ferroelectric capacitive element. 図4に示す発振器の発振周波数の電圧依存性の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of voltage dependency of an oscillation frequency of the oscillator illustrated in FIG. 4. 半導体集積回路の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of a semiconductor integrated circuit. 強誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。It is a figure which shows the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a ferroelectric capacitor element, and the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a paraelectric capacitor element. 半導体集積回路の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation | movement sequence at the time of power activation of a semiconductor integrated circuit. 電圧センサの回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of a voltage sensor. 周波数センサの回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of a frequency sensor. スイッチドキャパシタ回路の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of a switched capacitor circuit. 半導体集積回路の構成の別の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of a structure of a semiconductor integrated circuit. 強誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。It is a figure which shows the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a ferroelectric capacitor element, and the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a paraelectric capacitor element. 強誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。It is a figure which shows the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a ferroelectric capacitor element, and the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator which oscillates based on a paraelectric capacitor element. 半導体集積回路の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation | movement sequence at the time of power activation of a semiconductor integrated circuit. 半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of a structure of a semiconductor integrated circuit. 半導体集積回路の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation | movement sequence at the time of power activation of a semiconductor integrated circuit. 昇圧回路の構成及び動作の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure and operation | movement of a booster circuit. 半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of a structure of a semiconductor integrated circuit. 半導体集積回路の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation | movement sequence at the time of power activation of a semiconductor integrated circuit. 半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of a structure of a semiconductor integrated circuit. 半導体集積回路の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation | movement sequence at the time of power activation of a semiconductor integrated circuit. 昇圧回路の構成及び動作の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure and operation | movement of a booster circuit. 電圧センサの回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of a voltage sensor. 周波数センサの回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of a frequency sensor.

以下に、本発明の実施例を添付の図面を用いて詳細に説明する。なお本願において用いられる図において、同一又は対応する構成要素は同一又は対応する番号で参照し、その説明は適宜省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings used in the present application, the same or corresponding components are referred to by the same or corresponding numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate.

図1は、容量素子の容量値の電圧依存性を示す図である。図1において、横軸は容量素子の2つの電極間に印加する電圧を示し、縦軸は相対的容量値を示す。特性曲線501は、常誘電体容量素子の容量値の電圧依存特性を示し、特性曲線502は、強誘電体容量素子の容量値の電圧依存特性を示す。何れの特性曲線も、電圧が1.0Vのときの容量値を基準容量値として、各電圧での容量値を基準容量値で除算した値をプロットしてある。   FIG. 1 is a diagram illustrating the voltage dependence of the capacitance value of the capacitive element. In FIG. 1, the horizontal axis indicates the voltage applied between the two electrodes of the capacitive element, and the vertical axis indicates the relative capacitance value. A characteristic curve 501 indicates the voltage dependency characteristic of the capacitance value of the paraelectric capacitor, and a characteristic curve 502 indicates the voltage dependency characteristic of the capacitance value of the ferroelectric capacitor. Each characteristic curve plots a value obtained by dividing the capacitance value at each voltage by the reference capacitance value, with the capacitance value at a voltage of 1.0 V as the reference capacitance value.

図1から分かるように、常誘電体容量素子の容量値は、0.8Vから3.3Vの電圧範囲において電圧値に関わらず略一定となっている。それに対し、強誘電体容量素子の容量値は、0.8Vから3.3Vの電圧範囲において、電圧値が高くなるにつれて容量値が小さくなるように変化している。   As can be seen from FIG. 1, the capacitance value of the paraelectric capacitor is substantially constant regardless of the voltage value in the voltage range of 0.8V to 3.3V. On the other hand, the capacitance value of the ferroelectric capacitor element changes so that the capacitance value decreases as the voltage value increases in the voltage range of 0.8V to 3.3V.

図2は、常誘電体容量素子を含む発振器の構成の一例を示す図である。図2に示す発振器10は、インバータ11乃至13、常誘電体容量素子14、常誘電体容量素子15、及び抵抗素子16を含む。インバータ11乃至13が縦続接続され、最終段のインバータ13の出力が抵抗素子16を介して初段のインバータ11の入力に接続される。インバータ12の出力は常誘電体容量素子15の一端に接続される。常誘電体容量素子15の他端は、常誘電体容量素子14を介してグランドに接続される。インバータ11乃至13は電源電圧VDDで動作する。即ち、インバータ11乃至13が出力する信号の振幅は、電源電圧VDDに応じた振幅となる。   FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a configuration of an oscillator including a paraelectric capacitor. The oscillator 10 shown in FIG. 2 includes inverters 11 to 13, a paraelectric capacitor 14, a paraelectric capacitor 15, and a resistor 16. The inverters 11 to 13 are connected in cascade, and the output of the last stage inverter 13 is connected to the input of the first stage inverter 11 via the resistance element 16. The output of the inverter 12 is connected to one end of the paraelectric capacitor 15. The other end of the paraelectric capacitor 15 is connected to the ground via the paraelectric capacitor 14. The inverters 11 to 13 operate with the power supply voltage VDD. That is, the amplitude of the signal output from the inverters 11 to 13 is an amplitude corresponding to the power supply voltage VDD.

インバータ12の出力電圧が、上昇又は下降して、次段のインバータ13の入力閾値より高く又は低くなるために要する時間は、常誘電体容量素子15(及び常誘電体容量素子14)の容量値及び電源電圧VDDに依存する。従って、発振器10は、常誘電体容量素子15の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。   The time required for the output voltage of the inverter 12 to rise or fall and become higher or lower than the input threshold value of the inverter 13 at the next stage is the capacitance value of the paraelectric capacitor 15 (and the paraelectric capacitor 14). And depends on the power supply voltage VDD. Accordingly, the oscillator 10 oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the paraelectric capacitor 15 and the power supply voltage VDD.

図3は、図2に示す発振器の発振周波数の電圧依存性の一例を示す図である。図3において、横軸は電源電圧VDDを示し、縦軸は発振器10の発振周波数を示す。図3に示される例では、特性曲線17に示されるように、0.5Vから2.5Vの電圧範囲において電圧が高くなるほど発振周波数が上昇するが、電圧が高くなるほど発振周波数の上昇率は小さくなり、1.5V以上の電圧において発振周波数は略一定となっている。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of voltage dependency of the oscillation frequency of the oscillator illustrated in FIG. In FIG. 3, the horizontal axis represents the power supply voltage VDD, and the vertical axis represents the oscillation frequency of the oscillator 10. In the example shown in FIG. 3, as indicated by the characteristic curve 17, the oscillation frequency increases as the voltage increases in the voltage range of 0.5V to 2.5V, but the increase rate of the oscillation frequency decreases as the voltage increases. Thus, the oscillation frequency is substantially constant at a voltage of 1.5 V or more.

図4は、強誘電体容量素子を含む発振器の構成の一例を示す図である。図4に示す発振器20は、インバータ21乃至23、常誘電体容量素子24、強誘電体容量素子25、及び抵抗素子26を含む。インバータ21乃至23が縦続接続され、最終段のインバータ23の出力が抵抗素子26を介して初段のインバータ21の入力に接続される。インバータ22の出力は強誘電体容量素子25の一端に接続される。強誘電体容量素子25の他端は、常誘電体容量素子24を介してグランドに接続される。インバータ21乃至23は電源電圧VDDで動作する。即ち、インバータ21乃至23が出力する信号の振幅は、電源電圧VDDに応じた振幅となる。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the configuration of an oscillator including a ferroelectric capacitor. The oscillator 20 shown in FIG. 4 includes inverters 21 to 23, a paraelectric capacitor 24, a ferroelectric capacitor 25, and a resistor 26. The inverters 21 to 23 are connected in cascade, and the output of the last stage inverter 23 is connected to the input of the first stage inverter 21 via the resistance element 26. The output of the inverter 22 is connected to one end of the ferroelectric capacitor 25. The other end of the ferroelectric capacitor 25 is connected to the ground via the paraelectric capacitor 24. The inverters 21 to 23 operate with the power supply voltage VDD. That is, the amplitude of the signal output from the inverters 21 to 23 is an amplitude corresponding to the power supply voltage VDD.

インバータ22の出力電圧が、上昇又は下降して、次段のインバータ23の入力閾値より高く又は低くなるために要する時間は、強誘電体容量素子25(及び常誘電体容量素子24)の容量値及び電源電圧VDDに依存する。従って、発振器20は、強誘電体容量素子25の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。   The time required for the output voltage of the inverter 22 to rise or fall and become higher or lower than the input threshold value of the inverter 23 in the next stage is the capacitance value of the ferroelectric capacitor 25 (and the paraelectric capacitor 24). And depends on the power supply voltage VDD. Therefore, the oscillator 20 oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the ferroelectric capacitor 25 and the power supply voltage VDD.

図5は、図3に示す発振器の発振周波数の電圧依存性の一例を示す図である。図5において、横軸は電源電圧VDDを示し、縦軸は発振器20の発振周波数を示す。図5に示される例では、特性曲線27に示されるように、発振器20の発振周波数は、0.5から1.0V程度の電圧範囲において電圧が高くなると上昇し、1.0V程度から1.7V程度の電圧範囲においては電圧が高くなると下降する。更に、1.7V程度から2.5Vの電圧範囲においては、電圧が高くなると発振周波数が上昇する。強誘電体容量素子25の容量値は容量素子に印加される電圧に依存して変化するので、図5に示す発振周波数の電圧依存性は、図3に示す常誘電体容量素子15を用いた発振器の発振周波数の電圧依存性とは全く異なる特性を有するものとなる。   FIG. 5 is a diagram showing an example of the voltage dependence of the oscillation frequency of the oscillator shown in FIG. In FIG. 5, the horizontal axis indicates the power supply voltage VDD, and the vertical axis indicates the oscillation frequency of the oscillator 20. In the example shown in FIG. 5, as indicated by the characteristic curve 27, the oscillation frequency of the oscillator 20 increases as the voltage increases in a voltage range of about 0.5 to 1.0 V, and from about 1.0 V to 1.V. In the voltage range of about 7V, the voltage drops as the voltage increases. Further, in the voltage range of about 1.7 V to 2.5 V, the oscillation frequency increases as the voltage increases. Since the capacitance value of the ferroelectric capacitive element 25 changes depending on the voltage applied to the capacitive element, the voltage dependence of the oscillation frequency shown in FIG. 5 uses the paraelectric capacitive element 15 shown in FIG. The oscillation frequency of the oscillator has completely different characteristics from the voltage dependency.

図6は、半導体集積回路の構成の一例を示す図である。図6に示す半導体集積回路30は、発振器20、電圧センサ31、周波数センサ32、ICリセット生成回路33、及び内部回路(ロジックユニット)34を含む。図6及び以降の同様の図において、各ボックスで示される各回路又は機能ブロックと他の回路又は機能ブロックとの境界は、基本的には機能的な境界を示すものであり、物理的な位置の分離、電気的な信号の分離、制御論理的な分離等に対応するとは限らない。各回路又は機能ブロックは、他のブロックと物理的にある程度分離された1つのハードウェアモジュールであってもよいし、或いは他のブロックと物理的に一体となったハードウェアモジュール中の1つの機能を示したものであってもよい。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a configuration of a semiconductor integrated circuit. A semiconductor integrated circuit 30 shown in FIG. 6 includes an oscillator 20, a voltage sensor 31, a frequency sensor 32, an IC reset generation circuit 33, and an internal circuit (logic unit). In FIG. 6 and subsequent figures, the boundary between each circuit or functional block shown in each box and another circuit or functional block basically indicates a functional boundary, and is a physical location. Separation, electrical signal separation, control logic separation, and the like. Each circuit or functional block may be one hardware module physically separated to some extent from another block, or one function in a hardware module physically integrated with another block May be shown.

発振器20は、図4に示される回路構成を有し、例えば図5に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。発振器20は、強誘電体容量素子25を含み、電源電圧VDDで動作し、強誘電体容量素子25の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。周波数センサ32は、発振器20の発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET1を出力する。ICリセット生成回路33は、電源電圧VDDが所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDET1に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   The oscillator 20 has the circuit configuration shown in FIG. 4, and may have, for example, voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. The oscillator 20 includes a ferroelectric capacitor 25, operates at the power supply voltage VDD, and oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the ferroelectric capacitor 25 and the power supply voltage VDD. The frequency sensor 32 outputs a frequency determination result FDET1 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20. The IC reset generation circuit 33 controls the operation of the internal circuit 34 according to the frequency determination result FDET1 when the power supply voltage VDD is a predetermined voltage value.

内部回路34は、半導体集積回路30の主要な機能を実行するための回路部分である。例えば半導体集積回路30が所定のデータ処理を主要な機能として提供する回路であれば、内部回路34は当該データ処理を実行する回路部分である。なお内部回路34の動作の可否を制御するために、リセット信号を用いることは必須ではない。例えば、内部回路34に供給する電源のオン及びオフを制御することにより、内部回路34の動作の可否を制御してもよい。   The internal circuit 34 is a circuit portion for executing main functions of the semiconductor integrated circuit 30. For example, if the semiconductor integrated circuit 30 is a circuit that provides predetermined data processing as a main function, the internal circuit 34 is a circuit portion that executes the data processing. In order to control whether the internal circuit 34 can operate, it is not essential to use a reset signal. For example, whether to operate the internal circuit 34 may be controlled by controlling on and off of the power supplied to the internal circuit 34.

より具体的には、周波数センサ32は、電圧センサ31の電圧検出結果VDET1を受け取り、電圧検出結果VDET1がアサート状態であるときに、発振器20の発振周波数が所定の閾値以上であるか否かを判定してよい。これにより、周波数センサ32は、電源電圧VDDが所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDET1を出力する。周波数判定結果FDET1は、例えば発振器20の発振周波数が所定の閾値以上である場合にアサート状態となり、それ以外の場合にネゲート状態となってよい。なお周波数センサ32は、電圧センサ31の電圧検出結果VDET1を受け取らなくともよく、電圧検出結果VDET1の状態に関わらずに、発振器20の発振周波数が所定の閾値以上であるか否かを判定してよい。   More specifically, the frequency sensor 32 receives the voltage detection result VDET1 of the voltage sensor 31, and determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is equal to or higher than a predetermined threshold when the voltage detection result VDET1 is asserted. You may judge. Thereby, the frequency sensor 32 outputs the frequency determination result FDET1 when the power supply voltage VDD has a predetermined voltage value. For example, the frequency determination result FDET1 may be asserted when the oscillation frequency of the oscillator 20 is equal to or higher than a predetermined threshold, and may be negated in other cases. The frequency sensor 32 does not need to receive the voltage detection result VDET1 of the voltage sensor 31, and determines whether the oscillation frequency of the oscillator 20 is equal to or higher than a predetermined threshold regardless of the state of the voltage detection result VDET1. Good.

電圧センサ31は、電源電圧VDDを受け取り、電源電圧VDDが所定の電圧値である場合に電圧検出結果VDET1をアサート状態にし、電源電圧VDDが所定の電圧値以外の場合に電圧検出結果VDET1をネゲート状態にしてよい。ここで所定の電圧値とは、特定の電圧値(例えば1.8V)であってよいし、或いはある程度の変動範囲(例えば±0.2V)を許容した特定の電圧値(例えば1.8V)であってよい。後者の場合、特定の電圧値の近傍の範囲(例えば1.6V〜2.0Vの範囲)内に電源電圧VDDが存在する場合のみにおいて、電圧検出結果VDET1がアサート状態になる。   The voltage sensor 31 receives the power supply voltage VDD, asserts the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is a predetermined voltage value, and negates the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is other than the predetermined voltage value. It may be in a state. Here, the predetermined voltage value may be a specific voltage value (for example, 1.8 V), or a specific voltage value that allows a certain variation range (for example, ± 0.2 V) (for example, 1.8 V). It may be. In the latter case, the voltage detection result VDET1 is asserted only when the power supply voltage VDD exists within a range near a specific voltage value (for example, a range of 1.6 V to 2.0 V).

ICリセット生成回路33は、電圧検出結果VDET1がアサート状態における周波数判定結果FDET1の値に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。例えば、ICリセット生成回路33は、電源電圧VDDが所定の電圧値である条件で発振器20が強誘電体容量素子25を含む場合に得られる筈の周波数判定結果FDET1が供給された場合、リセット信号RESETをネゲートしてリセットを解除してよい。このリセット信号RESETのアサート状態の解除(リセット状態の解除)に応じて、内部回路34は動作を開始してよい。ICリセット生成回路33は、電源電圧VDDが所定の電圧値である条件で発振器20が強誘電体容量素子25を含む場合に得られる筈の周波数判定結果FDET1が供給されない場合、リセット信号RESETのアサート状態を維持(リセット状態を維持)してよい。リセット信号RESETのアサート状態が維持されている場合、内部回路34は動作を開始することができない。   The IC reset generation circuit 33 controls the operation of the internal circuit 34 according to the value of the frequency determination result FDET1 when the voltage detection result VDET1 is asserted. For example, the IC reset generation circuit 33 receives the frequency determination result FDET1 that is obtained when the oscillator 20 includes the ferroelectric capacitor 25 under the condition that the power supply voltage VDD is a predetermined voltage value. RESET may be negated to release the reset. In response to the release of the asserted state of the reset signal RESET (release of the reset state), the internal circuit 34 may start operation. The IC reset generation circuit 33 asserts the reset signal RESET when the frequency determination result FDET1 that is obtained when the oscillator 20 includes the ferroelectric capacitor 25 is not supplied under the condition that the power supply voltage VDD is a predetermined voltage value. The state may be maintained (reset state is maintained). When the asserted state of the reset signal RESET is maintained, the internal circuit 34 cannot start operation.

図7は、強誘電体容量素子25に基づき発振する発振器20の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。図7において、特性曲線37は、半導体集積回路30に設けられた発振器20の発振周波数の電圧依存特性を示す曲線である。特性曲線36は、発振器20と同じ回路構成であるが、強誘電体容量素子25が同一のサイズの常誘電体容量素子15により置き換えられた発振器について、その発振周波数の電圧依存特性を示した曲線である。即ち、半導体集積回路30をリバースエンジニアリングして同一の回路を製造する際に、強誘電体容量素子を常誘電体容量素子で置き換えて製造した半導体集積回路において、発振器20に相当する発振器の発振周波数は、図7の特性曲線36に示す特性を有する。図7に示す例において、特性曲線37は、図5に示す特性曲線27と同一である。   FIG. 7 is a diagram showing a voltage dependency characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 that oscillates based on the ferroelectric capacitor element 25 and a voltage dependency characteristic of the oscillation frequency of the oscillator that oscillates based on the paraelectric capacitor element. In FIG. 7, a characteristic curve 37 is a curve showing the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 provided in the semiconductor integrated circuit 30. A characteristic curve 36 has the same circuit configuration as that of the oscillator 20, but shows a voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of an oscillator in which the ferroelectric capacitor 25 is replaced by a paraelectric capacitor 15 having the same size. It is. That is, when the semiconductor integrated circuit 30 is reverse-engineered to manufacture the same circuit, the oscillation frequency of the oscillator corresponding to the oscillator 20 in the semiconductor integrated circuit manufactured by replacing the ferroelectric capacitor with a paraelectric capacitor. Has the characteristic shown in the characteristic curve 36 of FIG. In the example shown in FIG. 7, the characteristic curve 37 is the same as the characteristic curve 27 shown in FIG.

図7の特性曲線36と特性曲線37とを比較すれば分かるように、例えば電源電圧VDDが1.8Vの点において、その発振周波数は全く異なる。常誘電体容量素子に基づいて発振する発振器の場合、特性曲線36に示されるように、電源電圧1.8Vの近傍において発振周波数は170MHz以上である。一方、強誘電体容量素子25に基づいて発振する発振器20の場合、特性曲線36(或いは図5の特性曲線27)に示されるように、電源電圧1.8Vの近傍において発振周波数は5.0MHz以下である。   As can be seen by comparing the characteristic curve 36 and the characteristic curve 37 in FIG. 7, for example, the oscillation frequency is completely different at a point where the power supply voltage VDD is 1.8V. In the case of an oscillator that oscillates based on a paraelectric capacitor, the oscillation frequency is 170 MHz or more in the vicinity of the power supply voltage 1.8 V, as shown by the characteristic curve 36. On the other hand, in the case of the oscillator 20 that oscillates based on the ferroelectric capacitor 25, the oscillation frequency is 5.0 MHz in the vicinity of the power supply voltage 1.8V, as shown by the characteristic curve 36 (or the characteristic curve 27 in FIG. 5). It is as follows.

従って、電源電圧1.8Vの近傍(例えば電源電圧VDDが1.7V〜1.9Vの範囲)において、発振周波数が5.0MHz以下であるか否かを判定することにより、半導体集積回路30が模造品であるか否かを判定できる。発振周波数が5.0MHz以上である場合には、模造品であると判定して、ICリセット生成回路33がリセット信号RESETを維持する(リセット状態を維持する)。これにより、模造品の回路が動作することを防止できる。なお、通常の半導体プロセスにより半導体を製造する工場では、強誘電体容量素子を含む半導体装置を製造することはできない。強誘電体容量素子を含む半導体装置を製造するためには、多額の投資をして必要な設備を備える必要があり、容易にそのような半導体装置を製造することはできない。   Therefore, by determining whether or not the oscillation frequency is 5.0 MHz or less in the vicinity of the power supply voltage 1.8V (for example, the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V), the semiconductor integrated circuit 30 It can be determined whether or not it is a counterfeit product. When the oscillation frequency is 5.0 MHz or higher, it is determined that the product is a counterfeit product, and the IC reset generation circuit 33 maintains the reset signal RESET (maintains the reset state). Thereby, it is possible to prevent the circuit of the imitation product from operating. Note that a semiconductor device including a ferroelectric capacitor cannot be manufactured in a factory that manufactures a semiconductor by a normal semiconductor process. In order to manufacture a semiconductor device including a ferroelectric capacitor element, it is necessary to make a large investment and to provide necessary facilities, and such a semiconductor device cannot be easily manufactured.

図8は、半導体集積回路30の電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。なお図8及び以降の図において、フローチャートに記載された各ステップの実行順序は一例にすぎず、本願の意図する技術範囲が、記載された実行順番に限定されるものではない。例えば、Aステップの次にBステップが実行されるように本願に説明されていたとしても、Aステップの次にBステップを実行することが可能なだけでなく、Bステップの次にAステップを実行することが、物理的且つ論理的に可能である場合がある。この場合、どちらの順番でステップを実行しても、当該フローチャートの処理に影響する全ての結果が同一であるならば、本願に開示の技術の目的のためには、Bステップの次にAステップが実行されてもよいことは自明である。Aステップの次にBステップが実行されるように本願に説明されていたとしても、上記のような自明な場合を本願の意図する技術範囲から除外することを意図するものではなく、そのような自明な場合は、当然に本願の意図する技術範囲内に属する。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of an operation sequence when the semiconductor integrated circuit 30 is turned on. 8 and the subsequent drawings, the execution order of each step described in the flowchart is merely an example, and the technical scope intended by the present application is not limited to the described execution order. For example, even if it is described in the present application that the B step is executed after the A step, it is not only possible to execute the B step after the A step, but also the A step after the B step. It may be physically and logically possible to perform. In this case, if all the results affecting the processing of the flowchart are the same regardless of the order in which the steps are executed, for the purpose of the technique disclosed in the present application, the A step is followed by the B step. It is obvious that may be executed. Even if it is described in the present application that the B step is executed after the A step, it is not intended to exclude the obvious case as described above from the technical scope intended by the present application. The obvious case naturally falls within the technical scope intended by the present application.

図8のステップS1で、半導体集積回路30の電源がオンされる。このとき半導体集積回路30に印加される電源電圧VDDは例えば1.8Vである。ステップS2で、電圧センサ31が電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31は、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をネゲート状態にする。電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になるまでステップS2を繰り返す。   In step S1 of FIG. 8, the power supply of the semiconductor integrated circuit 30 is turned on. At this time, the power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30 is, for example, 1.8V. In step S2, the voltage sensor 31 determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31 asserts the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, and negates the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 1.7V to 1.9V, step S2 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V.

電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になると、ステップS3に進み、周波数センサ32が、発振器20の発振周波数を判定する。周波数センサ32は、発振器20の発振周波数が例えば5.0MHz以下であるとき、周波数判定結果FDET1をアサート状態にし、発振器20の発振周波数が5.0MHzより高いとき、周波数判定結果FDET1をネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, the process proceeds to step S3, and the frequency sensor 32 determines the oscillation frequency of the oscillator 20. The frequency sensor 32 asserts the frequency determination result FDET1 when the oscillation frequency of the oscillator 20 is, for example, 5.0 MHz or less, and sets the frequency determination result FDET1 to the negated state when the oscillation frequency of the oscillator 20 is higher than 5.0 MHz. To do.

周波数判定結果FDET1がネゲート状態の時、ステップS4に進み、ICリセット生成回路33はリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDET1がアサート状態の時、ステップS5に進み、ICリセット生成回路33はリセット信号をネゲートすることにより、リセット状態を解除する。   When the frequency determination result FDET1 is in the negated state, the process proceeds to step S4, and the IC reset generation circuit 33 does not release the reset state by maintaining the reset signal asserted state. When the frequency determination result FDET1 is in the asserted state, the process proceeds to step S5, where the IC reset generation circuit 33 negates the reset signal to cancel the reset state.

図9は、電圧センサの回路構成の一例を示す図である。図9に示す電圧センサは、バイアス回路40、分圧回路41、BGR(Band Gap Reference)回路42、及びコンパレータ回路43を含む。バイアス回路40は、PMOSトランジスタ44及び抵抗素子45を含む。分圧回路41は、抵抗素子46及び47を含む。   FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of the voltage sensor. The voltage sensor shown in FIG. 9 includes a bias circuit 40, a voltage dividing circuit 41, a BGR (Band Gap Reference) circuit 42, and a comparator circuit 43. The bias circuit 40 includes a PMOS transistor 44 and a resistance element 45. The voltage dividing circuit 41 includes resistance elements 46 and 47.

バイアス回路40は、所定のバイアス電圧を生成して、コンパレータ回路43にバイアス電圧を印加する。分圧回路41は、抵抗素子46及び47の抵抗値に応じて電源電圧VDDを分圧して、分圧後の電圧をコンパレータ回路43の反転入力に印加する。BGR回路42は、電源電圧VDDに関わらず一定電圧(例えば1.21V)の基準電位を生成し、生成した基準電位をコンパレータ回路43の非反転入力に印加する。コンパレータ回路43は、基準電位よりも上記分圧後の電圧が低いとHIGH出力を生成し、基準電位よりも上記分圧後の電圧が高いとLOW出力を生成する。コンパレータ回路43の出力が、電圧判定結果VDETとして使用可能である。   The bias circuit 40 generates a predetermined bias voltage and applies the bias voltage to the comparator circuit 43. The voltage dividing circuit 41 divides the power supply voltage VDD according to the resistance values of the resistance elements 46 and 47 and applies the divided voltage to the inverting input of the comparator circuit 43. The BGR circuit 42 generates a reference potential having a constant voltage (for example, 1.21 V) regardless of the power supply voltage VDD, and applies the generated reference potential to the non-inverting input of the comparator circuit 43. The comparator circuit 43 generates a HIGH output when the divided voltage is lower than the reference potential, and generates a LOW output when the divided voltage is higher than the reference potential. The output of the comparator circuit 43 can be used as the voltage determination result VDET.

図9の電圧センサ回路は、電源電圧が所定の電圧値よりも上昇すると、電圧判定結果VDETがHIGHからLOWに変化する回路である。図9に示される構成と同様の構成の電圧センサをもう一つ設け、図9に示す電圧センサとは分圧回路41の抵抗素子46及び47の抵抗値が異なる構成とすれば、図9に示す電圧センサとは異なる電源電圧を検出できる。   The voltage sensor circuit of FIG. 9 is a circuit in which the voltage determination result VDET changes from HIGH to LOW when the power supply voltage rises above a predetermined voltage value. If another voltage sensor having the same configuration as that shown in FIG. 9 is provided and the resistance values of the resistance elements 46 and 47 of the voltage dividing circuit 41 are different from those of the voltage sensor shown in FIG. A power supply voltage different from the voltage sensor shown can be detected.

例えば、図9に示す電圧センサにより、電圧電圧VDDが第1の電圧(例えば1.7V)以下であるとHIGHであり、電圧電圧VDDが第1の電圧よりも高くなるとLOWになる第1の電圧判定結果VDETを生成する。またもう一つの電圧センサにより、電圧電圧VDDが第2の電圧(例えば1.9V)以下であるとHIGHであり、電圧電圧VDDが第2の電圧よりも高くなるとLOWになる第2の電圧判定結果VDETを生成する。こうして生成された第1の電圧判定結果VDETの反転値と第2の電圧判定結果VDETとのAND論理を求めれば、AND論理の出力は、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲においてのみHIGHになる信号となる。このようにして生成した信号を、図6に示す電圧センサ31の出力である電圧判定結果VDET1として用いることができる。   For example, the voltage sensor shown in FIG. 9 is HIGH when the voltage voltage VDD is equal to or lower than the first voltage (eg, 1.7 V), and becomes LOW when the voltage voltage VDD is higher than the first voltage. A voltage determination result VDET is generated. Further, the second voltage determination is performed by another voltage sensor, which is HIGH when the voltage voltage VDD is equal to or lower than the second voltage (for example, 1.9 V) and becomes LOW when the voltage voltage VDD is higher than the second voltage. Result VDET is generated. If the AND logic of the inverted value of the first voltage determination result VDET generated in this way and the second voltage determination result VDET is obtained, the output of the AND logic is that the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V. Only the signal becomes HIGH. The signal thus generated can be used as the voltage determination result VDET1 that is the output of the voltage sensor 31 shown in FIG.

図10は、周波数センサの回路構成の一例を示す図である。図10に示す周波数センサ32は、バイアス回路50、ローパスフィルタ51、分圧回路52、スイッチドキャパシタ回路(SW_CAP)53、及びコンパレータ回路54を含む。バイアス回路50は、PMOSトランジスタ55及び抵抗素子56を含む。ローパスフィルタ51は、抵抗素子57及び容量素子58を含む。分圧回路52は、抵抗素子59及び60を含む。   FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of the frequency sensor. The frequency sensor 32 illustrated in FIG. 10 includes a bias circuit 50, a low-pass filter 51, a voltage dividing circuit 52, a switched capacitor circuit (SW_CAP) 53, and a comparator circuit 54. The bias circuit 50 includes a PMOS transistor 55 and a resistance element 56. The low pass filter 51 includes a resistance element 57 and a capacitance element 58. Voltage dividing circuit 52 includes resistance elements 59 and 60.

図11は、スイッチドキャパシタ回路53の構成の一例を示す図である。スイッチドキャパシタ回路53は、PMOSトランジスタ61及び62、NMOSトランジスタ63及び64、インバータ65、容量素子66、及び抵抗素子67を含む。PMOSトランジスタ61及びNMOSトランジスタ63からなるトランスファーゲートと、PMOSトランジスタ62及びNMOSトランジスタ64からなるトランスファーゲートとが、クロック信号CLKに応じて交互に導通する。これにより容量素子66が充放電を繰り返し、クロック信号CLKの周波数に応じた電圧が出力SOとして生成される。クロック信号CLKとして、図6に示す発振器20の発振信号が印加される。   FIG. 11 is a diagram illustrating an example of the configuration of the switched capacitor circuit 53. The switched capacitor circuit 53 includes PMOS transistors 61 and 62, NMOS transistors 63 and 64, an inverter 65, a capacitive element 66, and a resistive element 67. The transfer gate composed of the PMOS transistor 61 and the NMOS transistor 63 and the transfer gate composed of the PMOS transistor 62 and the NMOS transistor 64 are alternately conducted according to the clock signal CLK. As a result, the capacitive element 66 is repeatedly charged and discharged, and a voltage corresponding to the frequency of the clock signal CLK is generated as the output SO. An oscillation signal of the oscillator 20 shown in FIG. 6 is applied as the clock signal CLK.

バイアス回路50は、所定のバイアス電圧を生成して、コンパレータ回路54にバイアス電圧を印加する。ローパスフィルタ51は、スイッチドキャパシタ回路53の出力SOの高周波成分を除去することにより、発振器20の発振周波数に応じた略一定の電圧値の信号を生成し、生成した信号をコンパレータ回路54の非反転入力に印加する。分圧回路52は、抵抗素子59及び60の抵抗値に応じて電源電圧VDDを分圧して、分圧後の電圧をコンパレータ回路54の反転入力に印加する。コンパレータ回路54は、電圧判定結果VDET(図6の例ではVDET1)をイネーブル信号として受け取り、電圧判定結果VDETがアサート状態(例えばHIGH)のときにのみ動作してよい。コンパレータ回路54は、発振器20の発振周波数に応じた電圧値の信号が上記分圧後の電圧より高いとHIGH出力を生成し、発振器20の発振周波数に応じた電圧値の信号が上記分圧後の電圧以下であるとLOW出力を生成する。コンパレータ回路43の出力が、周波数判定結果FDETとして使用可能である。   The bias circuit 50 generates a predetermined bias voltage and applies the bias voltage to the comparator circuit 54. The low-pass filter 51 removes a high-frequency component of the output SO of the switched capacitor circuit 53 to generate a signal having a substantially constant voltage value corresponding to the oscillation frequency of the oscillator 20. Apply to inverting input. The voltage dividing circuit 52 divides the power supply voltage VDD according to the resistance values of the resistance elements 59 and 60, and applies the divided voltage to the inverting input of the comparator circuit 54. The comparator circuit 54 receives the voltage determination result VDET (VDET1 in the example of FIG. 6) as an enable signal, and may operate only when the voltage determination result VDET is in an asserted state (for example, HIGH). The comparator circuit 54 generates a HIGH output when a signal having a voltage value corresponding to the oscillation frequency of the oscillator 20 is higher than the divided voltage, and a signal having a voltage value corresponding to the oscillation frequency of the oscillator 20 is generated after the voltage division. A LOW output is generated when the voltage is equal to or lower than the voltage of the first voltage. The output of the comparator circuit 43 can be used as the frequency determination result FDET.

図10の周波数センサは、発振器20の発振周波数が所定の周波数(例えば5.0MHz)以下であるとLOWであり、発振器20の発振周波数が前記所定の周波数よりも高くなるとHIGHになる周波数判定結果FDETを生成する。この周波数判定結果FDETを、図6に示される周波数判定結果FDET1として用いてよい。   The frequency sensor shown in FIG. 10 is LOW when the oscillation frequency of the oscillator 20 is equal to or lower than a predetermined frequency (for example, 5.0 MHz), and becomes HIGH when the oscillation frequency of the oscillator 20 becomes higher than the predetermined frequency. Generate FDET. This frequency determination result FDET may be used as the frequency determination result FDET1 shown in FIG.

図12は、半導体集積回路の構成の別の一例を示す図である。図12に示す半導体集積回路30Aは、発振器20、電圧センサ31A及び31B、周波数センサ32A及び32B、ICリセット生成回路33A、及び内部回路(ロジックユニット)34を含む。   FIG. 12 is a diagram illustrating another example of the configuration of the semiconductor integrated circuit. A semiconductor integrated circuit 30A shown in FIG. 12 includes an oscillator 20, voltage sensors 31A and 31B, frequency sensors 32A and 32B, an IC reset generation circuit 33A, and an internal circuit (logic unit) 34.

発振器20は、図4に示される回路構成を有し、例えば図5に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。発振器20は、強誘電体容量素子25を含み、電源電圧VDDで動作し、強誘電体容量素子25の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。周波数センサ32A及び32Bは、発振器20の発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET1及びFDET2を出力する。ICリセット生成回路33Aは、電源電圧VDDが所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDET1及びFDET2に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   The oscillator 20 has the circuit configuration shown in FIG. 4, and may have, for example, voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. The oscillator 20 includes a ferroelectric capacitor 25, operates at the power supply voltage VDD, and oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the ferroelectric capacitor 25 and the power supply voltage VDD. The frequency sensors 32A and 32B output frequency determination results FDET1 and FDET2 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20. The IC reset generation circuit 33A controls the operation of the internal circuit 34 according to the frequency determination results FDET1 and FDET2 when the power supply voltage VDD is a predetermined voltage value.

より詳細には、上記所定の電圧値は少なくとも2つの異なる電圧値であり、上記周波数判定結果は少なくとも2つの異なる周波数判定結果FDET1及びFDET2である。ICリセット生成回路33Aは、電源電圧VDDが前記少なくとも2つの異なる電圧値である場合のそれぞれにおける少なくとも2つの異なる周波数判定結果FDET1及びFDET2に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   More specifically, the predetermined voltage value is at least two different voltage values, and the frequency determination results are at least two different frequency determination results FDET1 and FDET2. The IC reset generation circuit 33A controls the operation of the internal circuit 34 according to at least two different frequency determination results FDET1 and FDET2 in the case where the power supply voltage VDD has the at least two different voltage values.

図12の半導体集積回路30Aにおいて、上記少なくとも2つの異なる電圧値は、電源電圧VDDを時間的に変化させることにより得られる。具体的には、半導体集積回路30Aに対して、外部から印加する電源電圧VDDを時間的に変化させる。   In the semiconductor integrated circuit 30A of FIG. 12, the at least two different voltage values are obtained by changing the power supply voltage VDD with time. Specifically, the externally applied power supply voltage VDD is temporally changed for the semiconductor integrated circuit 30A.

電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET1をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET1をネゲートする。電圧センサ31Bは、電源電圧VDDが例えば1.7V〜1.9Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET2をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET2をネゲートする。電圧センサ31A及び31Bは、図6に示す半導体集積回路30における電圧センサ31と同様の回路構成であってよい。   The voltage sensor 31A asserts the voltage determination result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of, for example, 0.9V to 1.1V, and negates the voltage determination result VDET1 otherwise. The voltage sensor 31B asserts the voltage determination result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7 V to 1.9 V, for example, and negates the voltage determination result VDET2 otherwise. The voltage sensors 31A and 31B may have a circuit configuration similar to that of the voltage sensor 31 in the semiconductor integrated circuit 30 illustrated in FIG.

周波数センサ32Aは、例えば、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合において発振器20の発振周波数が5MHz以上であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET1を出力する。周波数センサ32Bは、例えば、電源電圧VDDが例えば1.7V〜1.9Vの範囲にある場合において発振器20の発振周波数が4.5MHz以下であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET2を出力する。周波数センサ32A及び32Bは、図6に示す半導体集積回路30における周波数センサ32と同様の回路構成であってよい。   For example, the frequency sensor 32A determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is 5 MHz or higher when the power supply voltage VDD is in a range of 0.9 V to 1.1 V, for example, and a frequency determination indicating a result of the determination. The result FDET1 is output. For example, the frequency sensor 32B determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is 4.5 MHz or less when the power supply voltage VDD is in a range of 1.7 V to 1.9 V, for example, and indicates the result of the determination. The frequency determination result FDET2 is output. The frequency sensors 32A and 32B may have the same circuit configuration as the frequency sensor 32 in the semiconductor integrated circuit 30 shown in FIG.

図13は、強誘電体容量素子25に基づき発振する発振器20の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。図13において、特性曲線71は、半導体集積回路30Aに設けられた発振器20の発振周波数の電圧依存特性を示す曲線である。特性曲線72は、発振器20と同じ回路構成であるが、強誘電体容量素子25が常誘電体容量素子により置き換えられた発振器について、その発振周波数の電圧依存特性を示した曲線である。この常誘電体容量素子を用いた発振器は、電源電圧VDDが1.8Vの近傍において、強誘電体容量素子25を用いた発振器20の発振周波数と略同一の発振周波数で発振するように設計されている。しかしながら、電源電圧VDDが1.0Vの近傍においては、特性曲線71の示す発振周波数と特性曲線72の示す発振周波数とは大きく異なっている。従って、電源電圧VDDが1.8Vの近傍において正規品と模造品との間に発振周波数の差がなくとも、電源電圧VDDが1.0Vの近傍において発振周波数を判定すれば、正規品と模造品とを区別することが可能である。   FIG. 13 is a diagram showing a voltage dependency characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 that oscillates based on the ferroelectric capacitor 25 and a voltage dependency characteristic of the oscillation frequency of the oscillator that oscillates based on the paraelectric capacitor element. In FIG. 13, a characteristic curve 71 is a curve showing the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 provided in the semiconductor integrated circuit 30A. The characteristic curve 72 has the same circuit configuration as that of the oscillator 20, but is a curve showing the voltage dependence characteristics of the oscillation frequency of the oscillator in which the ferroelectric capacitor 25 is replaced by a paraelectric capacitor. This oscillator using a paraelectric capacitor is designed to oscillate at substantially the same oscillation frequency as that of the oscillator 20 using the ferroelectric capacitor 25 when the power supply voltage VDD is in the vicinity of 1.8V. ing. However, when the power supply voltage VDD is in the vicinity of 1.0 V, the oscillation frequency indicated by the characteristic curve 71 and the oscillation frequency indicated by the characteristic curve 72 are greatly different. Therefore, even if there is no difference in the oscillation frequency between the genuine product and the imitation product when the power supply voltage VDD is in the vicinity of 1.8V, if the oscillation frequency is determined in the vicinity of the power supply voltage VDD of 1.0V, the imitation product is imitated. The product can be distinguished from the product.

図14は、強誘電体容量素子25に基づき発振する発振器20の発振周波数の電圧依存特性、及び、常誘電体容量素子に基づき発振する発振器の発振周波数の電圧依存特性とを示す図である。図14において、特性曲線71は、半導体集積回路30Aに設けられた発振器20の発振周波数の電圧依存特性を示す曲線である。特性曲線73は、発振器20と同じ回路構成であるが、強誘電体容量素子25が常誘電体容量素子により置き換えられた発振器について、その発振周波数の電圧依存特性を示した曲線である。この常誘電体容量素子を用いた発振器は、電源電圧VDDが1.0Vの近傍において、強誘電体容量素子25を用いた発振器20の発振周波数と略同一の発振周波数で発振するように設計されている。しかしながら、電源電圧VDDが1.8Vの近傍においては、特性曲線71の示す発振周波数と特性曲線73の示す発振周波数とは大きく異なっている。従って、電源電圧VDDが1.0Vの近傍において正規品と模造品との間に発振周波数の差がなくとも、電源電圧VDDが1.8Vの近傍において発振周波数を判定すれば、正規品と模造品とを区別することが可能である。   FIG. 14 is a diagram illustrating a voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 that oscillates based on the ferroelectric capacitor 25 and a voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator that oscillates based on the paraelectric capacitor. In FIG. 14, a characteristic curve 71 is a curve showing the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency of the oscillator 20 provided in the semiconductor integrated circuit 30A. The characteristic curve 73 has the same circuit configuration as that of the oscillator 20, but is a curve showing the voltage dependence characteristics of the oscillation frequency of an oscillator in which the ferroelectric capacitor 25 is replaced by a paraelectric capacitor. This oscillator using a paraelectric capacitor is designed to oscillate at substantially the same oscillation frequency as that of the oscillator 20 using the ferroelectric capacitor 25 when the power supply voltage VDD is in the vicinity of 1.0V. ing. However, when the power supply voltage VDD is in the vicinity of 1.8 V, the oscillation frequency indicated by the characteristic curve 71 and the oscillation frequency indicated by the characteristic curve 73 are greatly different. Therefore, even if there is no difference in oscillation frequency between the regular product and the imitation product when the power supply voltage VDD is near 1.0 V, if the oscillation frequency is determined in the vicinity of the power supply voltage VDD of 1.8 V, the imitation product is imitated. The product can be distinguished from the product.

図15は、半導体集積回路30Aの電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。ステップS10で、半導体集積回路30Aの電源がオンされる。このとき半導体集積回路30Aに印加される電源電圧VDDは例えば1.0Vである。ステップS11で、電圧センサ31Aが電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をネゲート状態にする。電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になるまでステップS11を繰り返す。   FIG. 15 is a diagram illustrating an example of an operation sequence when the semiconductor integrated circuit 30A is powered on. In step S10, the power supply of the semiconductor integrated circuit 30A is turned on. At this time, the power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30A is, for example, 1.0V. In step S11, the voltage sensor 31A determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31A asserts the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, and negates the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 0.9V to 1.1V, step S11 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V.

電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になると、ステップS12に進み、周波数センサ32Aが、発振器20の発振周波数を判定する。周波数センサ32Aは、発振器20の発振周波数が例えば5.0MHz以上であるとき、周波数判定結果FDET1をアサート状態にし、発振器20の発振周波数が5.0MHzより低いとき、周波数判定結果FDET1をネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, the process proceeds to step S12, and the frequency sensor 32A determines the oscillation frequency of the oscillator 20. The frequency sensor 32A asserts the frequency determination result FDET1 when the oscillation frequency of the oscillator 20 is, for example, 5.0 MHz or more, and sets the frequency determination result FDET1 to the negated state when the oscillation frequency of the oscillator 20 is lower than 5.0 MHz. To do.

周波数判定結果FDET1がネゲート状態の時、ステップS13に進み、ICリセット生成回路33Aはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDET1がアサート状態の時、ステップS14に進む。   When the frequency determination result FDET1 is in the negated state, the process proceeds to step S13, and the IC reset generation circuit 33A does not cancel the reset state by maintaining the asserted state of the reset signal. When the frequency determination result FDET1 is asserted, the process proceeds to step S14.

ステップS14で、半導体集積回路30Aに外部から印加する電源電圧VDDの電圧を上昇させる。上昇後において半導体集積回路30Aに印加される電源電圧VDDは例えば1.8Vである。ステップS15で、電圧センサ31Bが電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31Bは、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をネゲート状態にする。電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になるまでステップS15を繰り返す。   In step S14, the power supply voltage VDD applied from the outside to the semiconductor integrated circuit 30A is increased. The power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30A after the rise is, for example, 1.8V. In step S15, the voltage sensor 31B determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31B asserts the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, and negates the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 1.7V to 1.9V, step S15 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V.

電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になると、ステップS16に進み、周波数センサ32Bが、発振器20の発振周波数を判定する。周波数センサ32Bは、発振器20の発振周波数が例えば4.5MHz以下であるとき、周波数判定結果FDET2をアサート状態にし、発振器20の発振周波数が4.5MHzより高いとき、周波数判定結果FDET2をネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, the process proceeds to step S16, and the frequency sensor 32B determines the oscillation frequency of the oscillator 20. The frequency sensor 32B asserts the frequency determination result FDET2 when the oscillation frequency of the oscillator 20 is 4.5 MHz or less, for example, and sets the frequency determination result FDET2 to the negated state when the oscillation frequency of the oscillator 20 is higher than 4.5 MHz. To do.

周波数判定結果FDET2がネゲート状態の時、ステップS17に進み、ICリセット生成回路33Aはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDET2がアサート状態の時、ステップS18に進み、ICリセット生成回路33Aはリセット信号をネゲートすることにより、リセット状態を解除する。   When the frequency determination result FDET2 is in the negated state, the process proceeds to step S17, and the IC reset generation circuit 33A does not release the reset state by maintaining the asserted state of the reset signal. When the frequency determination result FDET2 is in the asserted state, the process proceeds to step S18, and the IC reset generating circuit 33A negates the reset signal to cancel the reset state.

図16は、半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。図16において、図12と同一又は対応する構成要素は同一又は対応する番号で参照し、その説明は適宜省略する。図16に示す半導体集積回路30Bは、発振器20A及び20B、電圧センサ31A及び31B、周波数センサ32A及び32B、ICリセット生成回路33B、内部回路(ロジックユニット)34、及び昇圧回路81を含む。   FIG. 16 is a diagram illustrating still another example of the configuration of the semiconductor integrated circuit. In FIG. 16, the same or corresponding elements as those of FIG. 12 are referred to by the same or corresponding numerals, and a description thereof will be omitted as appropriate. A semiconductor integrated circuit 30B shown in FIG. 16 includes oscillators 20A and 20B, voltage sensors 31A and 31B, frequency sensors 32A and 32B, an IC reset generation circuit 33B, an internal circuit (logic unit) 34, and a booster circuit 81.

発振器20A及び20Bの各々は、図4に示される回路構成を有し、例えば図5に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。昇圧回路81は、第1の電源電圧VDDに基づいて第1の電源電圧VDDとは異なる電圧値の第2の電源電圧VDCを生成する電圧生成回路として機能する。発振器20Aは、第1の電源電圧VDDで動作する。発振器20Bは、第2の電源電圧VDCで動作する。周波数センサ32Aは、発振器20Aの発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET1を出力する。周波数センサ32Bは、発振器20Bの発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET2を出力する。またICリセット生成回路33Bは、電源電圧が所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDET1及びFDET2に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   Each of the oscillators 20A and 20B has the circuit configuration shown in FIG. 4, and may have, for example, voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. The booster circuit 81 functions as a voltage generation circuit that generates a second power supply voltage VDC having a voltage value different from that of the first power supply voltage VDD based on the first power supply voltage VDD. The oscillator 20A operates with the first power supply voltage VDD. The oscillator 20B operates with the second power supply voltage VDC. The frequency sensor 32A outputs a frequency determination result FDET1 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20A. The frequency sensor 32B outputs a frequency determination result FDET2 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20B. Further, the IC reset generation circuit 33B controls whether the internal circuit 34 can operate according to the frequency determination results FDET1 and FDET2 when the power supply voltage is a predetermined voltage value.

より詳細には、上記所定の電圧値は少なくとも2つの異なる電圧値であり、上記周波数判定結果は少なくとも2つの異なる周波数判定結果FDET1及びFDET2である。また上記少なくとも2つの異なる電圧値は、上記第1の電源電圧VDDの電圧値と上記第2の電源電圧VDCの電圧値とである。   More specifically, the predetermined voltage value is at least two different voltage values, and the frequency determination results are at least two different frequency determination results FDET1 and FDET2. The at least two different voltage values are a voltage value of the first power supply voltage VDD and a voltage value of the second power supply voltage VDC.

電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET1をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET1をネゲートする。電圧センサ31Bは、電源電圧VDDが例えば1.8V〜2.2Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET2をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET2をネゲートする。電圧センサ31A及び31Bは、図6に示す半導体集積回路30における電圧センサ31と同様の回路構成であってよい。   The voltage sensor 31A asserts the voltage determination result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of, for example, 0.9V to 1.1V, and negates the voltage determination result VDET1 otherwise. The voltage sensor 31B asserts the voltage determination result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the range of, for example, 1.8V to 2.2V, and negates the voltage determination result VDET2 otherwise. The voltage sensors 31A and 31B may have a circuit configuration similar to that of the voltage sensor 31 in the semiconductor integrated circuit 30 illustrated in FIG.

周波数センサ32Aは、例えば、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合において発振器20の発振周波数が5MHz以上であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET1を出力する。周波数センサ32Bは、例えば、電源電圧VDDが例えば1.8V〜2.2Vの範囲にある場合において発振器20の発振周波数が4.5MHz以下であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET2を出力する。周波数センサ32A及び32Bは、図6に示す半導体集積回路30における周波数センサ32と同様の回路構成であってよい。   For example, the frequency sensor 32A determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is 5 MHz or higher when the power supply voltage VDD is in a range of 0.9 V to 1.1 V, for example, and a frequency determination indicating a result of the determination. The result FDET1 is output. For example, the frequency sensor 32B determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is 4.5 MHz or less when the power supply voltage VDD is in the range of 1.8 V to 2.2 V, for example, and indicates the result of the determination. The frequency determination result FDET2 is output. The frequency sensors 32A and 32B may have the same circuit configuration as the frequency sensor 32 in the semiconductor integrated circuit 30 shown in FIG.

図17は、半導体集積回路30Bの電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。ステップS20で、半導体集積回路30Bの電源がオンされる。このとき半導体集積回路30Bに印加される電源電圧VDDは例えば1.0Vである。ステップS20において電源が投入されると、ステップS21の処理とステップS24の処理とが並行して実行される。   FIG. 17 is a diagram illustrating an example of an operation sequence at the time of power-on of the semiconductor integrated circuit 30B. In step S20, the power supply of the semiconductor integrated circuit 30B is turned on. At this time, the power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30B is, for example, 1.0V. When the power is turned on in step S20, the process of step S21 and the process of step S24 are executed in parallel.

ステップS21で、電圧センサ31Aが電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をネゲート状態にする。電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になるまでステップS21を繰り返す。   In step S21, the voltage sensor 31A determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31A asserts the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, and negates the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 0.9V to 1.1V, step S21 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V.

電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になると、ステップS22に進み、周波数センサ32Aが、発振器20Aの発振周波数を判定する。周波数センサ32Aは、発振器20Aの発振周波数が例えば5.0MHz以上であるとき、周波数判定結果FDET1をアサート状態にし、発振器20Aの発振周波数が5.0MHzより低いとき、周波数判定結果FDET1をネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDD falls within the range of 0.9V to 1.1V, the process proceeds to step S22, and the frequency sensor 32A determines the oscillation frequency of the oscillator 20A. The frequency sensor 32A asserts the frequency determination result FDET1 when the oscillation frequency of the oscillator 20A is, for example, 5.0 MHz or more, and sets the frequency determination result FDET1 to the negated state when the oscillation frequency of the oscillator 20A is lower than 5.0 MHz. To do.

周波数判定結果FDET1がネゲート状態の時、ステップS23に進み、ICリセット生成回路33Aはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDET1がアサート状態の時、ステップS28に進む。   When the frequency determination result FDET1 is in the negated state, the process proceeds to step S23, and the IC reset generation circuit 33A does not release the reset state by maintaining the reset signal asserted state. When the frequency determination result FDET1 is in the asserted state, the process proceeds to step S28.

ステップS21と並行して実行されるステップS24で、昇圧回路81が電源電圧VDDを2倍に昇圧することにより、電源電圧VDCを生成する。昇圧後において電源電圧VDCは例えば2.0Vである。ステップS25で、電圧センサ31Bが電源電圧VDCを判定する。電圧センサ31Bは、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をアサート状態にし、電源電圧VDCがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をネゲート状態にする。電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲にないとき、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲になるまでステップS25を繰り返す。   In step S24 executed in parallel with step S21, the booster circuit 81 boosts the power supply voltage VDD twice to generate the power supply voltage VDC. After boosting, the power supply voltage VDC is 2.0V, for example. In step S25, the voltage sensor 31B determines the power supply voltage VDC. The voltage sensor 31B asserts the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V, and negates the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDC is in the other range. To. When the power supply voltage VDC is not in the range of 1.8V to 2.2V, step S25 is repeated until the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V.

電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲になると、ステップS26に進み、周波数センサ32Bが、発振器20Bの発振周波数を判定する。周波数センサ32Bは、発振器20Bの発振周波数が例えば4.5MHz以下であるとき、周波数判定結果FDET2をアサート状態にし、発振器20Bの発振周波数が4.5MHzより高いとき、周波数判定結果FDET2をネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V, the process proceeds to step S26, and the frequency sensor 32B determines the oscillation frequency of the oscillator 20B. The frequency sensor 32B asserts the frequency determination result FDET2 when the oscillation frequency of the oscillator 20B is 4.5 MHz or less, for example, and sets the frequency determination result FDET2 to the negated state when the oscillation frequency of the oscillator 20B is higher than 4.5 MHz. To do.

周波数判定結果FDET2がネゲート状態の時、ステップS27に進み、ICリセット生成回路33Aはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDET2がアサート状態の時、ステップS28に進む。   When the frequency determination result FDET2 is in the negated state, the process proceeds to step S27, and the IC reset generation circuit 33A does not release the reset state by maintaining the reset signal asserted state. When the frequency determination result FDET2 is asserted, the process proceeds to step S28.

ステップS28で、ICリセット生成回路33Bはリセット信号をネゲートすることにより、リセット状態を解除する。即ち、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にあり、且つ、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲にあり、且つ、周波数判定結果FDET1及び周波数判定結果FDET2が両方共にアサート状態の時、リセット状態が解除される。   In step S28, the IC reset generation circuit 33B negates the reset signal to cancel the reset state. That is, the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V, and both the frequency determination result FDET1 and the frequency determination result FDET2 are both. When asserted, the reset state is released.

図18は、昇圧回路81の構成及び動作の一例を示す図である。図18(a)又は(b)に示されるように、昇圧回路81は、スイッチ回路S1乃至S3及び容量素子C1及びC2を含む。スイッチ回路S1乃至S3は、例えば図3に示される発振器10と同様の構成の発振器により生成したクロック信号により制御されてよい。図18(a)に示されるように、第1の期間では、スイッチ回路S1及びS3はそれぞれ導通及び非導通となり、スイッチ回路S2はグランド電位VSS側に接続される。また図18(b)に示されるように、第2の期間では、スイッチ回路S1及びS3はそれぞれ非導通及び導通となり、スイッチ回路S2は電源電位VDD側に接続される。これら第1の期間及び第2の期間が、上記クロック信号に同期して交互に現れる。   FIG. 18 is a diagram illustrating an example of the configuration and operation of the booster circuit 81. As illustrated in FIG. 18A or 18B, the booster circuit 81 includes switch circuits S1 to S3 and capacitive elements C1 and C2. The switch circuits S1 to S3 may be controlled by, for example, a clock signal generated by an oscillator having the same configuration as the oscillator 10 shown in FIG. As shown in FIG. 18A, in the first period, the switch circuits S1 and S3 are turned on and off, respectively, and the switch circuit S2 is connected to the ground potential VSS side. Further, as shown in FIG. 18B, in the second period, the switch circuits S1 and S3 are turned off and turned on, and the switch circuit S2 is connected to the power supply potential VDD side. The first period and the second period appear alternately in synchronization with the clock signal.

第1の期間において、容量素子C1が充電され、容量素子C1の端子間電圧が電圧VDDとなる。第2の期間において、第1の期間中にVSS(=0V)側に接続されていた容量素子C1の端子がVDDに接続される。その結果、第2の期間において、容量素子C1のもう一方の端子の電位は2×VDDとなる。従って、VDDの2倍の電圧が容量素子C2の両端子間に印加されることになり、容量素子C2が充電され、容量素子C2の端子間電圧が電圧VDDの2倍となる。これにより、昇圧回路81は、電源電圧VDDの2倍の電圧値を有する電圧VDCを生成する。   In the first period, the capacitive element C1 is charged, and the voltage between the terminals of the capacitive element C1 becomes the voltage VDD. In the second period, the terminal of the capacitor C1 connected to the VSS (= 0V) side during the first period is connected to VDD. As a result, in the second period, the potential of the other terminal of the capacitor C1 is 2 × VDD. Therefore, a voltage twice as high as VDD is applied between both terminals of the capacitive element C2, the capacitive element C2 is charged, and the voltage between the terminals of the capacitive element C2 becomes twice as high as the voltage VDD. Thereby, the booster circuit 81 generates a voltage VDC having a voltage value that is twice the power supply voltage VDD.

図19は、半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。図19において、図12と同一又は対応する構成要素は同一又は対応する番号で参照し、その説明は適宜省略する。図19に示す半導体集積回路30Cは、発振器10及び20、電圧センサ31A及び31B、周波数センサ32A及び32B、ICリセット生成回路33C、及び内部回路(ロジックユニット)34を含む。   FIG. 19 is a diagram showing still another example of the configuration of the semiconductor integrated circuit. 19, the same or corresponding elements as those of FIG. 12 are referred to by the same or corresponding numerals, and a description thereof will be omitted as appropriate. A semiconductor integrated circuit 30C shown in FIG. 19 includes oscillators 10 and 20, voltage sensors 31A and 31B, frequency sensors 32A and 32B, an IC reset generation circuit 33C, and an internal circuit (logic unit) 34.

発振器10は、図2に示される回路構成を有し、例えば図3に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。発振器10は、常誘電体容量素子15を含み、電源電圧VDDで動作し、常誘電体容量素子15の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。発振器20は、図4に示される回路構成を有し、例えば図5に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。発振器20は、強誘電体容量素子25を含み、電源電圧VDDで動作し、強誘電体容量素子25の容量値と電源電圧VDDとに応じた発振周波数で発振する。   The oscillator 10 has the circuit configuration shown in FIG. 2, and may have voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. 3, for example. The oscillator 10 includes a paraelectric capacitor 15, operates at the power supply voltage VDD, and oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the paraelectric capacitor 15 and the power supply voltage VDD. The oscillator 20 has the circuit configuration shown in FIG. 4, and may have, for example, voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. The oscillator 20 includes a ferroelectric capacitor 25, operates at the power supply voltage VDD, and oscillates at an oscillation frequency corresponding to the capacitance value of the ferroelectric capacitor 25 and the power supply voltage VDD.

周波数センサ32Aは、発振器20の発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET1を出力する。周波数センサ32Bは、発振器10の発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDET2を出力する。ICリセット生成回路33Cは、電源電圧が所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDET1及びFDET2に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   The frequency sensor 32A outputs a frequency determination result FDET1 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20. The frequency sensor 32B outputs a frequency determination result FDET2 obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 10. The IC reset generation circuit 33C controls the operation of the internal circuit 34 according to the frequency determination results FDET1 and FDET2 when the power supply voltage is a predetermined voltage value.

より詳細には、上記所定の電圧値は、電源電圧VDDを時間的に変化させることにより得られる少なくとも2つの異なる電圧値である。またICリセット生成回路33Cは、上記の少なくとも2つの異なる電圧値の各々における周波数判定結果FDET1と周波数判定結果FDET2とに応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   More specifically, the predetermined voltage value is at least two different voltage values obtained by temporally changing the power supply voltage VDD. Further, the IC reset generation circuit 33C controls whether the internal circuit 34 can operate according to the frequency determination result FDET1 and the frequency determination result FDET2 at each of the at least two different voltage values.

電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET1をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET1をネゲートする。電圧センサ31Bは、電源電圧VDDが例えば1.7V〜1.9Vの範囲にある場合に電圧判定結果VDET2をアサートし、それ以外の場合に電圧判定結果VDET2をネゲートする。電圧センサ31A及び31Bは、図6に示す半導体集積回路30における電圧センサ31と同様の回路構成であってよい。   The voltage sensor 31A asserts the voltage determination result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of, for example, 0.9V to 1.1V, and negates the voltage determination result VDET1 otherwise. The voltage sensor 31B asserts the voltage determination result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7 V to 1.9 V, for example, and negates the voltage determination result VDET2 otherwise. The voltage sensors 31A and 31B may have a circuit configuration similar to that of the voltage sensor 31 in the semiconductor integrated circuit 30 illustrated in FIG.

周波数センサ32Aは、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合において発振器20の発振周波数が5.7MHz近傍(例えば±0.2MHz以内)であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET1を出力する。周波数センサ32Aは、電源電圧VDDが0.9V〜1.1Vの範囲外にある場合において発振器20の発振周波数が4.0MHz近傍(例えば±0.2MHz以内)であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET1を出力する。何れの判定においても、判定結果が肯定的であるときには周波数判定結果を例えばHIGHにし、判定結果が否定的であるときには周波数判定結果をLOWにしてよい。   The frequency sensor 32A determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is in the vicinity of 5.7 MHz (for example, within ± 0.2 MHz) when the power supply voltage VDD is in the range of 0.9 V to 1.1 V, for example. A frequency determination result FDET1 indicating the determination result is output. The frequency sensor 32A determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 20 is in the vicinity of 4.0 MHz (for example, within ± 0.2 MHz) when the power supply voltage VDD is outside the range of 0.9V to 1.1V. A frequency determination result FDET1 indicating the determination result is output. In any determination, the frequency determination result may be HIGH, for example, when the determination result is affirmative, and the frequency determination result may be LOW, when the determination result is negative.

周波数センサ32Bは、電源電圧VDDが例えば1.7V〜1.9Vの範囲にある場合において発振器10の発振周波数が4.0MHz近傍(例えば±0.2MHz以内)であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET2を出力する。周波数センサ32Bは、電源電圧VDDが1.7V〜1.9Vの範囲外にある場合において発振器10の発振周波数が5.7MHz近傍(例えば±0.2MHz以内)であるか否かを判定し、その判定の結果を示す周波数判定結果FDET2を出力する。何れの判定においても、判定結果が肯定的であるときには周波数判定結果を例えばHIGHにし、判定結果が否定的であるときには周波数判定結果をLOWにしてよい。   The frequency sensor 32B determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 10 is in the vicinity of 4.0 MHz (for example, within ± 0.2 MHz) when the power supply voltage VDD is in a range of 1.7 V to 1.9 V, for example. The frequency determination result FDET2 indicating the determination result is output. The frequency sensor 32B determines whether or not the oscillation frequency of the oscillator 10 is in the vicinity of 5.7 MHz (for example, within ± 0.2 MHz) when the power supply voltage VDD is outside the range of 1.7 V to 1.9 V. The frequency determination result FDET2 indicating the determination result is output. In any determination, the frequency determination result may be HIGH, for example, when the determination result is affirmative, and the frequency determination result may be LOW, when the determination result is negative.

ICリセット生成回路33Cは、電源電圧VDDが例えば0.9V〜1.1Vの範囲にある場合において、発振器10の発振周波数と発振器20の発振周波数とを比較する。具体的には、ICリセット生成回路33Cは、発振周波数同士をそのまま比較するのではなく、周波数判定結果FDET1と周波数判定結果FDET2とを比較してよい。ICリセット生成回路33Cは更に、電源電圧VDDが例えば1.7V〜1.9Vの範囲にある場合において、発振器10の発振周波数と発振器20の発振周波数とを比較する。具体的には、ICリセット生成回路33Cは、発振周波数同士をそのまま比較するのではなく、周波数判定結果FDET1と周波数判定結果FDET2とを比較してよい。   The IC reset generation circuit 33C compares the oscillation frequency of the oscillator 10 with the oscillation frequency of the oscillator 20 when the power supply voltage VDD is in the range of 0.9 V to 1.1 V, for example. Specifically, the IC reset generation circuit 33C may compare the frequency determination result FDET1 and the frequency determination result FDET2 instead of comparing the oscillation frequencies as they are. The IC reset generation circuit 33C further compares the oscillation frequency of the oscillator 10 with the oscillation frequency of the oscillator 20 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7 V to 1.9 V, for example. Specifically, the IC reset generation circuit 33C may compare the frequency determination result FDET1 and the frequency determination result FDET2 instead of comparing the oscillation frequencies as they are.

発振器10が図3に示す発振周波数の電圧依存特性を有し、且つ、発振器20が図5に示す発振周波数の電圧依存特性を有する場合、電源電圧VDDが0.9V〜1.1Vの範囲では周波数判定結果FDET1及びFDET2がそれぞれHIGH及びLOWとなる。また電源電圧VDDが1.7V〜1.9Vの範囲では、周波数判定結果FDET1及びFDET2が両方共にHIGHとなる。このように、半導体集積回路30Cでは、2つの異なる電圧値(又は電圧範囲)のうちの一方において2つの発振周波数が互いに同一であり、他方において2つの発振周波数が互いに異なるように設計されている。   When the oscillator 10 has the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency shown in FIG. 3 and the oscillator 20 has the voltage dependence characteristic of the oscillation frequency shown in FIG. 5, the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V. The frequency determination results FDET1 and FDET2 are HIGH and LOW, respectively. In addition, when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, both the frequency determination results FDET1 and FDET2 are HIGH. As described above, the semiconductor integrated circuit 30C is designed such that one of two different voltage values (or voltage ranges) has the same two oscillation frequencies, and the other has the two oscillation frequencies different from each other. .

半導体集積回路30Cをリバースエンジニアリングして同一の回路を製造する際に、強誘電体容量素子を常誘電体容量素子で置き換えた場合、発振器10及び20に相当する2つの発振器は、その発振周波数の電圧依存特性が同様のものとなる。従って、2つの異なる電圧値(又は電圧範囲)のうちの一方において2つの発振周波数が互いに同一であれば、他方においても2つの発振周波数が互いに同一になる。例えば、電源電圧VDDが1.7V〜1.9Vの範囲において周波数判定結果FDET1及びFDET2が両方共にHIGHとなる場合、電源電圧VDDが0.9V〜1.1Vの範囲において周波数判定結果FDET1及びFDET2は両方共にLOWとなる筈である。   When the same circuit is manufactured by reverse engineering the semiconductor integrated circuit 30C, when the ferroelectric capacitor is replaced with a paraelectric capacitor, the two oscillators corresponding to the oscillators 10 and 20 have their oscillation frequencies. The voltage dependency characteristics are the same. Therefore, if two oscillation frequencies are the same in one of two different voltage values (or voltage ranges), the two oscillation frequencies are also the same in the other. For example, when the frequency determination results FDET1 and FDET2 are both HIGH in the range of the power supply voltage VDD of 1.7V to 1.9V, the frequency determination results FDET1 and FDET2 are in the range of the power supply voltage VDD of 0.9V to 1.1V. Both should be LOW.

図20は、半導体集積回路30Cの電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。ステップS30で、半導体集積回路30Cの電源がオンされる。このとき半導体集積回路30Cに印加される電源電圧VDDは例えば1.0Vである。   FIG. 20 is a diagram illustrating an example of an operation sequence when the semiconductor integrated circuit 30C is powered on. In step S30, the power supply of the semiconductor integrated circuit 30C is turned on. At this time, the power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30C is, for example, 1.0V.

ステップS31で、電圧センサ31Aが電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31Aは、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET1をネゲート状態にする。電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になるまでステップS31を繰り返す。   In step S31, the voltage sensor 31A determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31A asserts the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, and negates the voltage detection result VDET1 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 0.9V to 1.1V, step S31 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V.

電源電圧VDDが0.9Vから1.1Vの範囲になると、ステップS32に進み、周波数センサ32A及び32Bが、それぞれ発振器20及び10の発振周波数を判定する。周波数センサ32A及び32Bの出力する周波数判定結果FDET1及びFDET2に基づいて、ICリセット生成回路33Cが、2つの発振器の発振周波数が一致するか否かを判定する。   When the power supply voltage VDD is in the range of 0.9V to 1.1V, the process proceeds to step S32, and the frequency sensors 32A and 32B determine the oscillation frequencies of the oscillators 20 and 10, respectively. Based on the frequency determination results FDET1 and FDET2 output from the frequency sensors 32A and 32B, the IC reset generation circuit 33C determines whether or not the oscillation frequencies of the two oscillators match.

ステップS33で、半導体集積回路30Cに外部から印加する電源電圧VDDの電圧を上昇させる。上昇後において半導体集積回路30Cに印加される電源電圧VDDは例えば1.8Vである。ステップS34で、電圧センサ31Bが電源電圧VDDを判定する。電圧センサ31Bは、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をアサート状態にし、電源電圧VDDがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDET2をネゲート状態にする。電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲にないとき、電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になるまでステップS34を繰り返す。   In step S33, the power supply voltage VDD applied from the outside to the semiconductor integrated circuit 30C is increased. The power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30C after the rise is, for example, 1.8V. In step S34, the voltage sensor 31B determines the power supply voltage VDD. The voltage sensor 31B asserts the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, and negates the voltage detection result VDET2 when the power supply voltage VDD is in the other range. To. When the power supply voltage VDD is not in the range of 1.7V to 1.9V, step S34 is repeated until the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V.

電源電圧VDDが1.7Vから1.9Vの範囲になると、ステップS35に進み、周波数センサ32A及び32Bが、それぞれ発振器20及び10の発振周波数を判定する。周波数センサ32A及び32Bの出力する周波数判定結果FDET1及びFDET2に基づいて、ICリセット生成回路33Cが、2つの発振器の発振周波数が一致するか否かを判定する。   When the power supply voltage VDD is in the range of 1.7V to 1.9V, the process proceeds to step S35, and the frequency sensors 32A and 32B determine the oscillation frequencies of the oscillators 20 and 10, respectively. Based on the frequency determination results FDET1 and FDET2 output from the frequency sensors 32A and 32B, the IC reset generation circuit 33C determines whether or not the oscillation frequencies of the two oscillators match.

ステップS36で、ICリセット生成回路33Cは、2つの電圧範囲の一方において2つの発振周波数が一致し、且つ、2つの電圧範囲の他方において2つの発振周波数が互いに異なる、という条件が満たされているか否かを判定する。この条件が満たされていない場合、ステップS37で、ICリセット生成回路33Cはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。上記条件が満たされている場合、ステップS38に進む。   In step S36, whether the IC reset generation circuit 33C satisfies the condition that the two oscillation frequencies coincide in one of the two voltage ranges and the two oscillation frequencies differ in the other of the two voltage ranges. Determine whether or not. If this condition is not satisfied, the IC reset generation circuit 33C does not cancel the reset state by maintaining the reset signal asserted state in step S37. If the above condition is satisfied, the process proceeds to step S38.

ステップS38で、ICリセット生成回路33Cはリセット信号をネゲートすることにより、リセット状態を解除する。即ち、2つの電圧範囲の一方において2つの発振周波数が一致し、且つ、2つの電圧範囲の他方において2つの発振周波数が互いに異なる場合、リセット状態が解除される。   In step S38, the IC reset generation circuit 33C negates the reset signal to cancel the reset state. That is, when the two oscillation frequencies coincide with each other in one of the two voltage ranges and the two oscillation frequencies are different from each other in the other of the two voltage ranges, the reset state is released.

図21は、半導体集積回路の構成の更に別の一例を示す図である。図21に示す半導体集積回路30Dは、発振器20、ICリセット生成回路33D、内部回路(ロジックユニット)34、昇圧回路82、電圧センサ83、及び周波数センサ84を含む。   FIG. 21 is a diagram showing still another example of the configuration of the semiconductor integrated circuit. A semiconductor integrated circuit 30D shown in FIG. 21 includes an oscillator 20, an IC reset generation circuit 33D, an internal circuit (logic unit) 34, a booster circuit 82, a voltage sensor 83, and a frequency sensor 84.

発振器20は、図4に示される回路構成を有し、例えば図5に示される発振周波数の電圧依存性を有してよい。周波数センサ84は、発振器20の発振周波数の値を判定して得られる周波数判定結果FDETを出力する。ICリセット生成回路33Dは、電源電圧VDCが所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDETに応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。   The oscillator 20 has the circuit configuration shown in FIG. 4, and may have, for example, voltage dependency of the oscillation frequency shown in FIG. The frequency sensor 84 outputs a frequency determination result FDET obtained by determining the value of the oscillation frequency of the oscillator 20. The IC reset generation circuit 33D controls the operation of the internal circuit 34 according to the frequency determination result FDET when the power supply voltage VDC is a predetermined voltage value.

より具体的には、周波数センサ84は、電圧センサ83の電圧検出結果VDETを受け取り、電圧検出結果VDETがアサート状態であるときに、発振器20の発振周波数と所定の閾値との大小関係を判定してよい。これにより、周波数センサ84は、電源電圧VDCが所定の電圧値である場合における周波数判定結果FDETを出力する。   More specifically, the frequency sensor 84 receives the voltage detection result VDET of the voltage sensor 83, and determines the magnitude relationship between the oscillation frequency of the oscillator 20 and a predetermined threshold when the voltage detection result VDET is in an asserted state. It's okay. As a result, the frequency sensor 84 outputs the frequency determination result FDET when the power supply voltage VDC is a predetermined voltage value.

電圧センサ31は、電源電圧VDCを受け取り、電源電圧VDCが所定の電圧値である場合に電圧検出結果VDETをアサート状態にし、電源電圧VDCが所定の電圧値以外の場合に電圧検出結果VDETをネゲート状態にしてよい。ここで所定の電圧値とは、特定の電圧値(例えば1.8V)であってよいし、或いはある程度の変動範囲(例えば±0.2V)を許容した特定の電圧値(例えば1.8V)であってよい。   The voltage sensor 31 receives the power supply voltage VDC, asserts the voltage detection result VDET when the power supply voltage VDC is a predetermined voltage value, and negates the voltage detection result VDET when the power supply voltage VDC is other than the predetermined voltage value. It may be in a state. Here, the predetermined voltage value may be a specific voltage value (for example, 1.8 V), or a specific voltage value that allows a certain variation range (for example, ± 0.2 V) (for example, 1.8 V). It may be.

上記の所定の電圧値は、少なくとも2つの異なる電圧値であってよい。即ち電圧センサ31は、例えば、第1の電圧値の近傍の範囲(例えば0.9V〜1.1Vの範囲)又は第2の電圧値の近傍の範囲(例えば1.8V〜2.2Vの範囲)に電源電圧VDCが存在する場合にのみ、電圧検出結果VDETをアサート状態に設定してよい。第1の電圧値の近傍の範囲及び第2の電圧値の近傍の範囲の何れの範囲の電源電圧VDCを検出するかは、ICリセット生成回路33Dからの制御信号MD1により制御されてよい。また周波数センサ84は、ICリセット生成回路33Dからの制御信号MD1に基づいて、第1の電圧値の近傍の範囲と第2の電圧値の近傍の範囲とで、それぞれ異なる閾値を用いた周波数判定動作を行ってよい。   The predetermined voltage value may be at least two different voltage values. That is, the voltage sensor 31 is, for example, a range in the vicinity of the first voltage value (for example, a range of 0.9 V to 1.1 V) or a range in the vicinity of the second voltage value (for example, a range of 1.8 V to 2.2 V). The voltage detection result VDET may be set to the asserted state only when the power supply voltage VDC exists in (). Which range of the power supply voltage VDC in the range near the first voltage value and the range near the second voltage value is detected may be controlled by the control signal MD1 from the IC reset generation circuit 33D. Further, the frequency sensor 84 determines the frequency using different threshold values for the range in the vicinity of the first voltage value and the range in the vicinity of the second voltage value based on the control signal MD1 from the IC reset generation circuit 33D. Operation may be performed.

昇圧回路81は、外部からの入力電圧VDDに基づいて電源電圧VDCを生成する電圧生成回路として機能する。昇圧回路81は、電源電圧VDCを時間的に変化させることにより、少なくとも2つの異なる電圧値を、電源電圧VDCの所定の電圧値として生成してよい。   The booster circuit 81 functions as a voltage generation circuit that generates a power supply voltage VDC based on an external input voltage VDD. The booster circuit 81 may generate at least two different voltage values as predetermined voltage values of the power supply voltage VDC by temporally changing the power supply voltage VDC.

ICリセット生成回路33Dは、電圧検出結果VDETがアサート状態における周波数判定結果FDETの値に応じて、内部回路34の動作の可否を制御する。この周波数判定結果FDETは、少なくとも2つの異なる判定結果であってよい。ICリセット生成回路33Dは、電源電圧VDCが上記の少なくとも2つの異なる電圧値である場合のそれぞれにおける少なくとも2つの異なる判定結果に応じて、内部回路34の動作の可否を制御してよい。例えば、電源電圧VDCが0.9V〜1.1Vの範囲にある場合の第1の周波数判定結果と、電源電圧VDCが1.8V〜2.2Vの範囲にある場合の第2の周波数判定結果とに基づいて、ICリセット生成回路33Dが内部回路34の動作の可否を制御してよい。   The IC reset generation circuit 33D controls the operation of the internal circuit 34 according to the value of the frequency determination result FDET when the voltage detection result VDET is in the asserted state. This frequency determination result FDET may be at least two different determination results. The IC reset generation circuit 33D may control whether the internal circuit 34 can operate according to at least two different determination results in the case where the power supply voltage VDC has the above-described at least two different voltage values. For example, the first frequency determination result when the power supply voltage VDC is in the range of 0.9V to 1.1V, and the second frequency determination result when the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V. Based on the above, the IC reset generation circuit 33D may control whether the internal circuit 34 can operate.

図22は、半導体集積回路30Dの電源投入時の動作シーケンスの一例を示す図である。ステップS40で、半導体集積回路30Dの電源がオンされる。このとき半導体集積回路30Dに印加される電源電圧VDDは例えば1.0Vである。またこのとき、ICリセット生成回路33Dが出力する制御信号MD1はLOWである。   FIG. 22 is a diagram illustrating an example of an operation sequence when the semiconductor integrated circuit 30D is powered on. In step S40, the power supply of the semiconductor integrated circuit 30D is turned on. At this time, the power supply voltage VDD applied to the semiconductor integrated circuit 30D is, for example, 1.0V. At this time, the control signal MD1 output from the IC reset generation circuit 33D is LOW.

ステップS41で、昇圧回路82が電源電圧VDDに基づいて電源電圧VDCを生成する。この場合、昇圧回路82は、昇圧動作を実行することなく、1.0Vの入力電圧VDDをそのまま1.0Vの電源電圧VDCとして出力する。   In step S41, the booster circuit 82 generates the power supply voltage VDC based on the power supply voltage VDD. In this case, the booster circuit 82 outputs the input voltage VDD of 1.0 V as it is as the power supply voltage VDC of 1.0 V without executing the boosting operation.

ステップS42で、電圧センサ83が電源電圧VDCを判定する。制御信号MD1がLOWである場合、電圧センサ83は、電源電圧VDCが0.9Vから1.1Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDETをアサート状態にし、電源電圧VDCがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDETをネゲート状態にする。電源電圧VDCが0.9Vから1.1Vの範囲にないとき、電源電圧VDCが0.9Vから1.1Vの範囲になるまでステップS42を繰り返す。   In step S42, the voltage sensor 83 determines the power supply voltage VDC. When the control signal MD1 is LOW, the voltage sensor 83 asserts the voltage detection result VDET when the power supply voltage VDC is in the range of 0.9V to 1.1V, and the power supply voltage VDC is in the other range. The voltage detection result VDET is negated. When the power supply voltage VDC is not in the range of 0.9V to 1.1V, step S42 is repeated until the power supply voltage VDC is in the range of 0.9V to 1.1V.

電源電圧VDCが0.9Vから1.1Vの範囲になると、ステップS43に進み、周波数センサ84が、発振器20の発振周波数を判定する。制御信号MD1がLOWである場合、周波数センサ84は、発振器20の発振周波数が5.0MHz以上であるとき、周波数判定結果FDETをアサート状態にし、発振器20の発振周波数が5.0MHzより低いとき、周波数判定結果FDETをネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDC is in the range of 0.9 V to 1.1 V, the process proceeds to step S43, and the frequency sensor 84 determines the oscillation frequency of the oscillator 20. When the control signal MD1 is LOW, the frequency sensor 84 asserts the frequency determination result FDET when the oscillation frequency of the oscillator 20 is 5.0 MHz or more, and when the oscillation frequency of the oscillator 20 is lower than 5.0 MHz. The frequency determination result FDET is negated.

周波数判定結果FDETがネゲート状態の時、ステップS44に進み、ICリセット生成回路33Dはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDETがアサート状態の時、ステップS45に進む。   When the frequency determination result FDET is in the negated state, the process proceeds to step S44, and the IC reset generation circuit 33D does not release the reset state by maintaining the asserted state of the reset signal. When the frequency determination result FDET is in the asserted state, the process proceeds to step S45.

ステップS45で、ICリセット生成回路33Dが、制御信号MD1をLOWからHIGHに変更する。これにより電源電圧VDCの電圧値を変更すると共に、電圧センサ83の電圧検出範囲及び周波数センサ84の周波数判定レベルを変更する。   In step S45, the IC reset generation circuit 33D changes the control signal MD1 from LOW to HIGH. As a result, the voltage value of the power supply voltage VDC is changed, and the voltage detection range of the voltage sensor 83 and the frequency determination level of the frequency sensor 84 are changed.

ステップS46で、昇圧回路82が電源電圧VDDを2倍に昇圧することにより、電源電圧VDCを生成する。昇圧後において電源電圧VDCは例えば2.0Vである。ステップS47で、電圧センサ83が電源電圧VDCを判定する。制御信号MD1がHIGHである場合、電圧センサ83は、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲にあるとき、電圧検出結果VDETをアサート状態にし、電源電圧VDCがそれ以外の範囲にあるとき、電圧検出結果VDETをネゲート状態にする。電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲にないとき、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲になるまでステップS47を繰り返す。   In step S46, the booster circuit 82 boosts the power supply voltage VDD twice to generate the power supply voltage VDC. After boosting, the power supply voltage VDC is 2.0V, for example. In step S47, the voltage sensor 83 determines the power supply voltage VDC. When the control signal MD1 is HIGH, the voltage sensor 83 asserts the voltage detection result VDET when the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V, and the power supply voltage VDC is in the other range. The voltage detection result VDET is negated. When the power supply voltage VDC is not in the range of 1.8V to 2.2V, step S47 is repeated until the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V.

電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲になると、ステップS48に進み、周波数センサ84が、発振器20の発振周波数を判定する。制御信号MD1がHIGHである場合、周波数センサ84は、発振器20の発振周波数が4.5MHz以下であるとき、周波数判定結果FDETをアサート状態にし、発振器20の発振周波数が4.5MHzより高いとき、周波数判定結果FDETをネゲート状態にする。   When the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V, the process proceeds to step S48, and the frequency sensor 84 determines the oscillation frequency of the oscillator 20. When the control signal MD1 is HIGH, the frequency sensor 84 asserts the frequency determination result FDET when the oscillation frequency of the oscillator 20 is 4.5 MHz or less, and when the oscillation frequency of the oscillator 20 is higher than 4.5 MHz. The frequency determination result FDET is negated.

周波数判定結果FDETがネゲート状態の時、ステップS49に進み、ICリセット生成回路33Dはリセット信号のアサート状態を維持することにより、リセット状態を解除しない。周波数判定結果FDETがアサート状態の時、ステップS50に進む。   When the frequency determination result FDET is in the negated state, the process proceeds to step S49, and the IC reset generation circuit 33D does not release the reset state by maintaining the reset signal asserted state. When the frequency determination result FDET is in the asserted state, the process proceeds to step S50.

ステップS50で、ICリセット生成回路33Dはリセット信号をネゲートすることにより、リセット状態を解除する。即ち、電源電圧VDCが0.9Vから1.1Vの範囲において周波数判定結果FDETがアサート状態であり、且つ、電源電圧VDCが1.8Vから2.2Vの範囲において周波数判定結果FDETがアサート状態である時、リセット状態が解除される。   In step S50, the IC reset generation circuit 33D negates the reset signal to cancel the reset state. That is, the frequency determination result FDET is in the asserted state when the power supply voltage VDC is in the range of 0.9V to 1.1V, and the frequency determination result FDET is in the asserted state when the power supply voltage VDC is in the range of 1.8V to 2.2V. At some point, the reset state is released.

図23は、昇圧回路82の構成及び動作の一例を示す図である。昇圧回路82は、図18(a)及び(b)に示す昇圧回路81と同様に、スイッチ回路S1乃至S3及び容量素子C1及びC2を含む。昇圧回路82においても、昇圧回路81と同様に、スイッチ回路S1乃至S3は、例えば図3に示される発振器10と同様の構成の発振器により生成したクロック信号により制御されてよい。但し、昇圧回路82の場合、昇圧回路81と異なり、ICリセット生成回路33Dからの制御信号MD1によっても、スイッチ回路S1乃至S3の動作が制御される。   FIG. 23 is a diagram illustrating an example of the configuration and operation of the booster circuit 82. Similarly to the booster circuit 81 shown in FIGS. 18A and 18B, the booster circuit 82 includes switch circuits S1 to S3 and capacitive elements C1 and C2. In the booster circuit 82, as with the booster circuit 81, the switch circuits S1 to S3 may be controlled by a clock signal generated by an oscillator having the same configuration as that of the oscillator 10 shown in FIG. However, in the case of the booster circuit 82, unlike the booster circuit 81, the operations of the switch circuits S1 to S3 are also controlled by the control signal MD1 from the IC reset generation circuit 33D.

図23(a)には、制御信号MD1がLOWの場合のスイッチ回路S1乃至S3の動作が示される。制御信号MD1がLOWの場合、スイッチ回路S1及びS3は両方共に導通となり、スイッチ回路S2は電源電位VDD側に接続される。これにより、入力される電圧VDDがそのまま電源電圧VDCとして出力される。   FIG. 23A shows the operation of the switch circuits S1 to S3 when the control signal MD1 is LOW. When the control signal MD1 is LOW, both the switch circuits S1 and S3 are conductive, and the switch circuit S2 is connected to the power supply potential VDD side. As a result, the input voltage VDD is output as it is as the power supply voltage VDC.

図23(b)及び(c)には、制御信号MD1がHIGHの場合のスイッチ回路S1乃至S3の動作が示される。制御信号MD1がHIGHの場合には、クロック信号に同期してスイッチ回路S1乃至S3の接続状態が切替えられる。図23(b)及び(c)に示される昇圧回路82の昇圧動作は、図18(a)及び(b)に示される昇圧回路81と同様であり、その説明は省略する。   FIGS. 23B and 23C show the operation of the switch circuits S1 to S3 when the control signal MD1 is HIGH. When the control signal MD1 is HIGH, the connection states of the switch circuits S1 to S3 are switched in synchronization with the clock signal. The boosting operation of the booster circuit 82 shown in FIGS. 23B and 23C is the same as that of the booster circuit 81 shown in FIGS. 18A and 18B, and the description thereof is omitted.

図24は、電圧センサの回路構成の一例を示す図である。図24において、図9と同一又は対応する構成要素は同一又は対応する番号で参照し、その説明は適宜省略する。図24に示す電圧センサは、図9に示す電圧センサと比較して、抵抗素子91及びPMOSトランジスタ92が設けられている点が異なる。制御信号MD1がLOWの場合には、PMOSトランジスタ92が導通して、図9に示す電圧センサと同一の電圧値を検出する回路となる。制御信号MD1がHIGHの場合には、PMOSトランジスタ92が非導通となり、その結果、抵抗素子46及び47に対して抵抗素子91が直列に追加される。これにより、コンパレータ回路43の反転入力に印加される電圧値(分圧回路41の生成する電圧値)が変化し、図9に示す電圧センサとは異なる電圧値を検出する回路となる。同様の原理に基づいて、電圧センサ83においても、制御信号MD1に応じて分圧回路の生成する電圧を変化させることにより、検出対象の電圧範囲を変化させることができる。   FIG. 24 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of the voltage sensor. 24, the same or corresponding elements as those of FIG. 9 are referred to by the same or corresponding numerals, and a description thereof will be omitted as appropriate. The voltage sensor shown in FIG. 24 is different from the voltage sensor shown in FIG. 9 in that a resistance element 91 and a PMOS transistor 92 are provided. When the control signal MD1 is LOW, the PMOS transistor 92 is turned on, and the circuit detects the same voltage value as the voltage sensor shown in FIG. When the control signal MD1 is HIGH, the PMOS transistor 92 is turned off, and as a result, the resistance element 91 is added in series with the resistance elements 46 and 47. As a result, the voltage value applied to the inverting input of the comparator circuit 43 (the voltage value generated by the voltage dividing circuit 41) changes, and the circuit detects a voltage value different from that of the voltage sensor shown in FIG. Based on the same principle, the voltage sensor 83 can also change the voltage range to be detected by changing the voltage generated by the voltage dividing circuit in accordance with the control signal MD1.

図25は、周波数センサの回路構成の一例を示す図である。図25において、図10と同一又は対応する構成要素は同一又は対応する番号で参照し、その説明は適宜省略する。図25に示す周波数センサは、図10に示す周波数センサに比較して、抵抗素子93及びPMOSトランジスタ94が設けられている点が異なる。制御信号MD1がLOWの場合には、PMOSトランジスタ94が導通して、図10に示す周波数センサと同一の周波数を検出する回路となる。制御信号MD1がHIGHの場合には、PMOSトランジスタ94が非導通となり、その結果、抵抗素子59及び60に対して抵抗素子93が直列に追加される。これにより、コンパレータ回路54の反転入力に印加される電圧値(分圧回路52の生成する電圧値)が変化し、図10に示す周波数センサとは異なる周波数を検出する回路となる。このようにして、周波数センサ84においては、制御信号MD1に応じて分圧回路の生成する電圧を変化させることにより、検出対象の周波数を変化させることができる。   FIG. 25 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of the frequency sensor. 25, the same or corresponding elements as those of FIG. 10 are referred to by the same or corresponding numerals, and a description thereof will be omitted as appropriate. The frequency sensor shown in FIG. 25 is different from the frequency sensor shown in FIG. 10 in that a resistance element 93 and a PMOS transistor 94 are provided. When the control signal MD1 is LOW, the PMOS transistor 94 is turned on, and the circuit detects the same frequency as the frequency sensor shown in FIG. When the control signal MD1 is HIGH, the PMOS transistor 94 becomes non-conductive, and as a result, the resistance element 93 is added in series with the resistance elements 59 and 60. As a result, the voltage value applied to the inverting input of the comparator circuit 54 (the voltage value generated by the voltage dividing circuit 52) changes, and the circuit detects a frequency different from that of the frequency sensor shown in FIG. In this way, in the frequency sensor 84, the frequency to be detected can be changed by changing the voltage generated by the voltage dividing circuit in accordance with the control signal MD1.

以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the Example, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation is possible within the range as described in a claim.

10 発振器
20 発振器
31、31A、31B 電圧センサ
32、32A、32B 周波数センサ
33、33A、33B、33C、33D ICリセット生成回路
34 内部回路
81 昇圧回路
82 昇圧回路
83 電圧センサ
84 周波数センサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Oscillator 20 Oscillator 31, 31A, 31B Voltage sensor 32, 32A, 32B Frequency sensor 33, 33A, 33B, 33C, 33D IC reset generation circuit 34 Internal circuit 81 Boost circuit 82 Boost circuit 83 Voltage sensor 84 Frequency sensor

Claims (9)

内部回路と、
強誘電体容量素子を含み、電源電圧で動作し、前記強誘電体容量素子の容量値と前記電源電圧とに応じた発振周波数で発振する発振器と、
前記発振周波数の値を判定して得られる判定結果を出力する周波数センサと、
前記電源電圧が所定の電圧値である場合における前記判定結果に応じて前記内部回路の動作の可否を制御する動作制御回路と
を含む半導体集積回路。
Internal circuitry,
An oscillator that includes a ferroelectric capacitor, operates at a power supply voltage, and oscillates at an oscillation frequency according to a capacitance value of the ferroelectric capacitor and the power supply voltage;
A frequency sensor that outputs a determination result obtained by determining the value of the oscillation frequency;
A semiconductor integrated circuit including an operation control circuit that controls whether or not the internal circuit operates according to the determination result when the power supply voltage is a predetermined voltage value;
前記所定の電圧値は少なくとも2つの異なる電圧値であり、前記判定結果は少なくとも2つの異なる判定結果であり、前記動作制御回路は、前記電源電圧が前記少なくとも2つの異なる電圧値である場合のそれぞれにおける前記少なくとも2つの異なる判定結果に応じて、前記内部回路の動作の可否を制御する請求項1記載の半導体集積回路。   The predetermined voltage value is at least two different voltage values, the determination result is at least two different determination results, and the operation control circuit has each of the case where the power supply voltage is the at least two different voltage values. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein whether or not the internal circuit is operable is controlled according to the at least two different determination results. 前記少なくとも2つの異なる電圧値は、前記電源電圧を時間的に変化させることにより得られる請求項2記載の半導体集積回路。   The semiconductor integrated circuit according to claim 2, wherein the at least two different voltage values are obtained by temporally changing the power supply voltage. 第1の電源電圧に基づいて前記第1の電源電圧とは異なる電圧値の第2の電源電圧を生成する電圧生成回路を更に含み、
前記発振器は、
前記第1の電源電圧で動作する第1の発振器と、
前記第2の電源電圧で動作する第2の発振器と
を含み、
前記周波数センサは、
前記第1の発振器の発振周波数の値を判定して得られる第1の判定結果を出力する第1の周波数センサと、
前記第2の発振器の発振周波数の値を判定して得られる第2の判定結果を出力する第2の周波数センサと
を含み、
前記少なくとも2つの異なる電圧値は前記第1の電源電圧と前記第2の電源電圧とであり、前記少なくとも2つの異なる判定結果は前記第1の判定結果と前記第2の判定結果とである請求項2記載の半導体集積回路。
A voltage generation circuit for generating a second power supply voltage having a voltage value different from the first power supply voltage based on the first power supply voltage;
The oscillator is
A first oscillator operating at the first power supply voltage;
A second oscillator operating at the second power supply voltage,
The frequency sensor is
A first frequency sensor for outputting a first determination result obtained by determining a value of an oscillation frequency of the first oscillator;
A second frequency sensor that outputs a second determination result obtained by determining a value of an oscillation frequency of the second oscillator,
The at least two different voltage values are the first power supply voltage and the second power supply voltage, and the at least two different determination results are the first determination result and the second determination result. Item 3. A semiconductor integrated circuit according to Item 2.
常誘電体容量素子を含み、前記電源電圧で動作し、前記常誘電体容量素子の容量値と前記電源電圧とに応じた発振周波数で発振する発振器を更に含み、
前記周波数センサは、
前記強誘電体容量素子を含む前記発振器の発振周波数の値を判定して得られる第1の判定結果を出力する第1の周波数センサと、
前記常誘電体容量素子を含む前記発振器の発振周波数の値を判定して得られる第2の判定結果を出力する第2の周波数センサと
を含み、
前記所定の電圧値は、前記電源電圧を時間的に変化させることにより得られる少なくとも2つの異なる電圧値であり、前記動作制御回路は、前記少なくとも2つの異なる電圧値の各々における前記第1の判定結果と前記第2の判定結果とに応じて、前記内部回路の動作の可否を制御する請求項1記載の半導体集積回路。
A paraelectric capacitor, further including an oscillator that operates at the power supply voltage and oscillates at an oscillation frequency according to a capacitance value of the paraelectric capacitor and the power supply voltage;
The frequency sensor is
A first frequency sensor that outputs a first determination result obtained by determining a value of an oscillation frequency of the oscillator including the ferroelectric capacitor;
A second frequency sensor that outputs a second determination result obtained by determining a value of an oscillation frequency of the oscillator including the paraelectric capacitor,
The predetermined voltage value is at least two different voltage values obtained by temporally changing the power supply voltage, and the operation control circuit performs the first determination at each of the at least two different voltage values. 2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein whether or not the internal circuit is operable is controlled according to a result and the second determination result.
外部からの入力電圧に基づいて前記電源電圧を生成する電圧生成回路を更に含み、
前記電圧生成回路は、前記電源電圧を時間的に変化させることにより少なくとも2つの異なる電圧値を前記電源電圧の前記所定の電圧値として生成し、
前記判定結果は少なくとも2つの異なる判定結果であり、前記動作制御回路は、前記電源電圧が前記少なくとも2つの異なる電圧値である場合のそれぞれにおける前記少なくとも2つの異なる判定結果に応じて、前記内部回路の動作の可否を制御する請求項1記載の半導体集積回路。
A voltage generation circuit for generating the power supply voltage based on an external input voltage;
The voltage generation circuit generates at least two different voltage values as the predetermined voltage value of the power supply voltage by temporally changing the power supply voltage,
The determination result is at least two different determination results, and the operation control circuit is configured to change the internal circuit according to the at least two different determination results in the case where the power supply voltage is the at least two different voltage values. 2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, which controls whether or not the operation is possible.
強誘電体容量素子の容量値と電源電圧とに応じた発振周波数で発振する発振器を発振させ、
前記発振周波数の値を判定して得られる判定結果を求め、
前記電源電圧が所定の電圧値である場合における前記判定結果に応じて内部回路の動作の可否を制御する
各段階を含む半導体集積回路の動作制御方法。
Oscillate an oscillator that oscillates at an oscillation frequency according to the capacitance value of the ferroelectric capacitor and the power supply voltage,
Obtain a determination result obtained by determining the value of the oscillation frequency,
A method of controlling an operation of a semiconductor integrated circuit, comprising the steps of controlling whether or not an internal circuit can operate according to the determination result when the power supply voltage is a predetermined voltage value.
前記所定の電圧値は少なくとも2つの異なる電圧値であり、前記判定結果は少なくとも2つの異なる判定結果であり、
前記動作の可否を制御する段階は、前記電源電圧が前記少なくとも2つの異なる電圧値である場合のそれぞれにおける前記少なくとも2つの異なる判定結果に応じて、前記内部回路の動作の可否を制御する請求項7記載の半導体集積回路の動作制御方法。
The predetermined voltage value is at least two different voltage values, and the determination result is at least two different determination results;
The step of controlling whether or not the operation can be performed controls whether or not the internal circuit can operate according to the at least two different determination results in the case where the power supply voltage has the at least two different voltage values, respectively. 8. An operation control method for a semiconductor integrated circuit according to item 7.
前記電源電圧を時間的に変化させることにより、前記少なくとも2つの異なる電圧値を生成する段階を更に含み、
前記発振器を発振させる段階は、前記少なくとも2つの異なる電圧値に基づいて少なくとも2つの異なる発振周波数で前記発振器を発振させ、
前記判定結果を求める段階は、前記少なくとも2つの異なる発振周波数の値を判定して前記少なくとも2つの異なる判定結果を生成する
請求項8記載の半導体集積回路の動作制御方法。
Generating the at least two different voltage values by varying the power supply voltage over time;
Oscillating the oscillator comprises oscillating the oscillator at at least two different oscillation frequencies based on the at least two different voltage values;
9. The operation control method for a semiconductor integrated circuit according to claim 8, wherein the step of obtaining the determination result determines values of the at least two different oscillation frequencies to generate the at least two different determination results.
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