JP6134063B2 - マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器 - Google Patents
マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6134063B2 JP6134063B2 JP2016522227A JP2016522227A JP6134063B2 JP 6134063 B2 JP6134063 B2 JP 6134063B2 JP 2016522227 A JP2016522227 A JP 2016522227A JP 2016522227 A JP2016522227 A JP 2016522227A JP 6134063 B2 JP6134063 B2 JP 6134063B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- lens
- unit
- scattering
- aerosol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 title claims description 134
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 title claims description 72
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 86
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 38
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 16
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 15
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims description 15
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 98
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 34
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 27
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- 239000005427 atmospheric aerosol Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004867 photoacoustic spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
- G01N29/2425—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics optoacoustic fluid cells therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N2001/222—Other features
- G01N2001/2223—Other features aerosol sampling devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
- G01N2021/052—Tubular type; cavity type; multireflective
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4704—Angular selective
- G01N2021/4711—Multiangle measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/0332—Cuvette constructions with temperature control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4785—Standardising light scatter apparatus; Standards therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
- G01N2201/06113—Coherent sources; lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
(1)電源スイッチ2及び4をONにして、全システムに給電し、自己検査システムを起動すると、レーザー発生装置6から基本周波数レーザーが出力され、周波数倍増システム及び周波数分離システムを経過した後、三つのレーザーに変換される。
(2)また、第一三方弁48と第二三方弁49の制御の下で、ゼロエアジェネレーター45のゼロエアが第一三方弁48及び第二三方弁49を経過して検測チャンバ(即ち、光音響セル、以下も同じ)に入り、第一ステッピング電極22の連結、第二ステッピングモーター23及び第四ステッピングモーターの切断を制御し、第一光チョッパー19を利用して波長355nmのレーザーを検測チャンバに入射させ、当該波長の背景信号を検出して、較正用として使用する。この時、測定パラメータには、温度・圧力・湿度、質量流量、散乱光子数、出射光強度の検測及び吸収係数(音声コンバータ:マイクロホンやマイク)の検測が含まれる。(i)その中で、温度圧力湿度センサー6個で温度、圧力、湿度をそれぞれ検測する。(ii)第二質量流量計89及び第一質量流量計90が順番通り関連質量流量検測を行う。(iii)第一光電検出器から第五光電検出器(PMT、即ち、光電子増倍管)が各自位置上の散乱光子数を検測する。(iv)第六光電検出器73が出射強度を検測する。(v)音声コンバータ69が背景チャンバの吸収係数を検測する。
(3)システム制御回路の制御の下で第二三方弁49及び第四三方弁54を開き、第一定標準気体源50及び第二定標準気体源52を順番通りONにし、ポンプ80の駆動により355nmレーザーに対して較正測定を行う。この時、測定パラメータには、温度・圧力・湿度、質量流量、散乱光子数、出射光強度の検測及び吸収係数(音声コンバータ:マイクロホンやマイク)の検測が含まれる。(i)その中で、温度圧力湿度センサー6個で温度、圧力、湿度をそれぞれ検測する。(ii)第二質量流量計89及び第一質量流量計90が順番通り関連質量流量検測を行い、第一光電検出器から第五光電検出器(PMT、即ち、光電子増倍管)が各自位置上の散乱光子数を検測する。(iv)第六光電検出器73が出射光強度を検測する。(v)音声コンバータ69が較正気体チャンバの吸収係数を検測する。
(4)第一三方弁48及び第二三方弁49をエアロゾル注入気流口に転向した後、ポンプ80に駆動されて、エアロゾル粒子がエアロゾル切断ヘッド43を経過し、エアロゾルサンプル流が検測チャンバに入り、この時の測定パラメータには、温度・圧力・湿度、質量流量、散乱光子数、出射光強度の検測及び吸収係数(音声コンバータ:マイクロホンやマイク)の検測が含まれる。(i)その中で、温度圧力湿度センサー6個で温度、圧力、湿度をそれぞれ検測する。(ii)第二質量流量計89及び第一質量流量計90で順番通り関連質量流量検測を行う。(iii)第一光電検出器から第五光電検出器(PMT、即ち、光電子増倍管)が各自位置上の散乱光子数を検測する。(iv)第六光電検出器73が出射光強度を検測する。(v)音声コンバータ69が吸収係を検測する。
(5)上記過程を定期的に行って、正確な測定を保証する。波長532nmのレーザーを測定する時、第二ステッピングモーター23をONにし、第一ステッピングモーター22及び第三ステッピングモーター24を切断し、第二光チョッパー20を利用して波長532nmのレーザーを検測チャンバに入らせ、検測手順は波長355nmのレーザーと同じである。これと同様に、波長1064nmのレーザーを測定する時、第三ステッピングモーター24をONにし、第一ステッピングモーター22及び第二ステッピングモーター23を切断し、第三光チョッパー21を利用して波長1064nmのレーザーを検測チャンバに入射させる。その中で、背景と較正用気体の関連パラメータの測定は、二日一回行う。その後、一日24時間に渡るサンプリング測定を行う。すべての測定は、採集と処理を全部自動で制御する。
(6)上記過程を重複する。但し、測定を検証する際、エアロゾル発生装置から標準形状のエアロゾル粒子が検測チャンバに入って、半径0.44μmのエアロゾル粒子などに対して関連パラメータの測定を行う。
(一)散乱係数
放射伝送理論に基づいて、分子及び粒子の散乱強度に適合する普遍的な数式を得られる。
上式の中で、I0は入射光強度、
上式の中で、Kscaは散乱較正時の傾斜度であり、Cは光電検出器で検測した光子数であり、Bは背景信号である。
上式の中で、
音響信号は、以下の数式で表す。
ここでSは、光音響信号強度(mV)、Pはレーザー仕事率(W)、Mは音声コンバータの感度(mV・Pa−1)、Cは光音響セル常数であり、チャンバの幾何学パラメータ、測定条件などの要因と関係があり(Pa・cm・W−1)、aiはチャンバに入る各光吸収成分が波長λの入射波長の作用より発生するモル吸光係数(cm−1・mol−1・dm3)であり、ciは各光吸収成分の濃度(mol・dm−3)、ηiは各成分の吸収光を熱エネルギーに転化する効率、Abは背景信号の発生効率(Pa・W−1)、nは各光吸収成分の種類数を代表する。
上式の中で、Υは等圧及び同じ容器で測定した比熱比常数、Lは光音響セルの長さ(cm)、Qは品質要因、即ち、共振周波数と共振曲線のハーフピークの全幅(the Full Width at Half Maximum)の比率、Gは幾何学的因子、f0は変調周波数(Hz)である。
大気可視度の数式は、以下の通りである。
上式の中で、Visは可視度、
エアロゾル吸収係数
分子散乱係数
エアロゾルの吸光係数を
エアロゾル散乱係数と吸収係数を正確に獲得した上で、エアロゾル粒子の単一散乱アルベド
図7は、本発明に係るマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器が波長355nm、532nm及び1064nmの三つのチャンネルで発生したエアロゾル単一散乱アルベドが相対湿度に従って変化することを示す図であり、単一散乱アルベドは消光全体で占める散乱部分の比重であり、異なる波長、異なる相対湿度及び異なる粒子半径は、異なる単一散乱アルベドに対応する。
異なる散乱角に分布された測定値をσsca(λ,θi)(ここでλは、それぞれ、355 nm、532 nm及び1064 nmであり、散乱角θiは、3°と177°、33°と147°、55°と125°、90°及び1から179°までである)とし、Lorenz-MieとT-matrix理論に基づいて各散乱角の散乱値σsimulated(λ,θi)を計算すると、両者の差は次の通りである。
e(λ,θi)=σsca(λ,θi)−σsimulated(λ,θi) (8)
透過率は、以下の数式で表すことができる。
上式の中で、I(in)(λ)とI(out)(λ)はそれぞれ入射及び出射光強度であり、ξcalibration(λ)は較正係数、F(λ)は伝達関数であり、これはゼロエア較正及び標準気体較正と言う二つの過程を通じて計算したものである。透過率を計算する際は、チャンバ伝達関数の影響を重点的に考慮し、較正を通じてエアロゾル透過率の測定を実現できる。
Claims (11)
- 光路装置、検測装置及び気体回路装置を備え、前記光路装置は光源提供に用いられ、前記検測装置は制御ユニットと検測ユニットを備え、前記検測ユニットは光音響セル、第一ロングレンジ多重反射鏡、第二ロングレンジ多重反射鏡、4〜10個の光電検出器、温度圧力湿度センサー及び音声コンバータを備え、その中の前記第一ロングレンジ多重反射鏡と第二ロングレンジ多重反射鏡がそれぞれ光音響セルの両端に位置し、前記光電検出器の中の一つの光電検出器が検測装置の外部に設けられて検測ユニットから発射された光源の光強度の検測に用いられ、その他の光電検出器は光音響セルの内表面に設けられて異なる角度のエアロゾルの散乱強度の検測に用いられ、前記温度圧力湿度センサーと音声コンバータはそれぞれ前記光音響セルの内表面に設けられ、前記音声コンバータは光音響セルの中間位置に設けられて光音響セルの長軸と垂直となり、前記光電検出器、温度圧力湿度センサーと音声コンバータがそれぞれ前記制御ユニットと連結され、前記気体回路装置は試料注入ユニット、較正ユニット及び試料搬出ユニットを備え、前記試料注入ユニットと試料搬出ユニットは前記光音響セルの両端とそれぞれ通じており、光路装置から発生した光源と気体回路装置から出た気流がそれぞれ検測装置の光音響セルに入り、制御ユニットが検測を行い、
前記光路装置はレーザー発射ユニットと、前記レーザー発射ユニットが発射したレーザーを複数の周波数のレーザーに変換する周波数倍増ユニットと、前記複数の周波数のレーザーを周波数ごとに分離する周波数分離ユニットと、前記周波数分離ユニットで分離された複数のレーザーを結合する光結合ユニットと、を備え、
前記周波数分離ユニットは分離された前記複数の周波数のレーザーのそれぞれを変調する複数のチョッパーを備え、前記複数のチョッパーは、前記複数の周波数のレーザーのうち一つの周波数のレーザーを前記光音響セルに入るように、又は前記複数の周波数のレーザーのうち一つの周波数のレーザーが前記光音響セルに入らないように、間欠段階的遮断を行う、
ことを特徴とするマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記光路装置は順番通り連結された前記レーザー発射ユニットとレーザー変調ユニットを備え、前記レーザー発射ユニットはレーザー発生装置とレーザーコントローラを備え、前記レーザー発射ユニットは基本周波数波長1064nmのレーザーを発射し、前記レーザー変調ユニットは順番通り連結された前記周波数倍増ユニット、前記周波数分離ユニット及び前記光結合ユニットを備え、前記レーザー変調ユニットが波長1064nmの基本周波数レーザーを波長1064nm、532nm及び355nmのレーザーにそれぞれ変調する、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記周波数倍増ユニットは順番通り設けられたチョッパー、第一レンズ、第一THG LBO結晶、第二レンズ及び第二THG LBO結晶を備え、レーザー発射ユニットから発生した波長1064nmのレーザーがチョッパーを経過して変調した後、第一レンズと第一THG LBO結晶を順番通り経過して波長1064nm及び532nmのレーザーになり、前記1064nm及び532nmのレーザーが第二レンズと第二THG LBO結晶を順番通り経過して波長1064nm、532nm及び355nmレーザーになる、
ことを特徴とする請求項2に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記周波数分離ユニットは第三レンズ、第四レンズ、第五レンズ、第一分光器、第二分光器、第一光チョッパー、第二光チョッパー及び第三光チョッパーを備え、周波数倍増ユニットから発生したレーザーが第三レンズと第一分光器を順番通り経過して第一ビームと第二ビームに分離され、第一ビームが第一光チョッパーを経過して波長355nmのレーザーになり、第二ビームが第四レンズと第二分光器を経過してレーザーを第三ビームと第四ビームに分離し、前記第三ビームが第二光チョッパーを経過して波長532nmのレーザーになり、第四ビームが第五レンズと第三光チョッパーを経過して波長1064nmのレーザーになる、
ことを特徴とする請求項2に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記光結合ユニットは第六レンズ、第七レンズ、第八レンズ、第九レンズ、第十レンズ、第十一レンズ、第十二レンズ、第十三レンズ、第一折りたたみミラー、第二折りたたみミラー、第三折りたたみミラー、光結合器及び光コリメータを備え、光路装置から発生した波長355nmのレーザーが第六レンズ、第一折りたたみミラー及び第七レンズを順番通り経過して光結合器に入り、光路装置から発生した波長532nmのレーザーが第八レンズ、第二折りたたみミラー及び第九レンズを順番通り経過して光結合器に入り、光路装置から発生した波長1064nmのレーザーが第十レンズ、第三折りたたみミラー、第十一レンズを順番通り経過して光結合器に入り、三つの異なる波長のレーザーが順番通り光結合器に入り、その後、第十二レンズを経過して順番通り光コリメータに入り、最後に第十三レンズを経過して検測装置に入る、
ことを特徴とする請求項2に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 光音響セル表面に位置した光電検出器は5個あり、それぞれ第一光電検出器、第二光電検出器、第三光電検出器、第四光電検出器及び第五光電検出器であり、第一光電検出器の探知角度は3°と177°であり、第二光電検出器の探知角度は33°と147°であり、第三光電検出器の探知角度は90°であり、第四光電検出器の探知角度は1°から179°までであり、第五光電検出器の探知角度は55°と125°であり、光電検出器5個が探知角度に従って光音響セルの内表面に取り付けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記試料注入ユニットは、順番通り連結されたエアロゾル切断ヘッド、流量計、三方弁及び質量流量計を備え、前記エアロゾル注入気流は、まずエアロゾル切断ヘッドと流量計を経過した後、三方弁及び質量流量計を経過して検測装置に入り、前記三方弁と前記質量流量計の間には温度圧力湿度センサーが設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記較正ユニットは、ゼロエアジェネレーター、第一標準気体源及び第二標準気体源を備え、ゼロエアジェネレーターから発生したゼロエア、第一標準気体源から発生した第一標準気体及び第二標準気体源から発生した第二標準気体がそれぞれ質量流量計を経過した後、検測ユニットに入る、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記試料搬出ユニットは、順番通り連結された質量流量計、流量計及びポンプを備え、検測ユニットを経過した気流が質量流量計及び流量計を順番通り経過した後、ポンプのドラッグ作用の下で検測ユニットに排出され、前記質量流量計と流量計の間には温度圧力湿度センサーが設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器に温度制御ユニットを設け、前記温度制御ユニットは、二重ステンレス鋼ボックス、半導体冷却器、熱交換ファンと温度圧力湿度センサーを備え、前記二重ステンレス鋼ボックスが前記検測装置の外面に覆設され、前記半導体冷却器、熱交換ファン及び温度圧力湿度センサーが前記二重ステンレス鋼ボックスの表面に設けられ、前記二重ステンレス鋼ボックスの一側に窓を設けて、光路装置から発生した光源を前記検測装置に入らせ、前記温度圧力湿度センサーにより検測されたデータが制御装置に伝送され、制御装置が伝送されたデータに基づいて半導体冷却器と熱交換ファンの稼働可能性を決めて、二重ステンレス鋼ボックス内温度を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。 - 前記マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器には、吸気防音装置と排気防音装置が設けられ、前記吸気防音装置は順番通り連結された第一緩衝装置、第一音声濾波器及び第二緩衝装置を備え、前記第一緩衝装置は試料注入ユニットの出口に設けられて第一受信器と連結され、前記第二緩衝装置が前記光音響セルの一端を構成し、前記排気防音装置は、一回連結の第三緩衝装置、第二音声濾波器と第四緩衝装置を備え、前記第三緩衝装置は試料搬出ユニットの入口に設けられて第二受信器と連結され、前記第四緩衝装置が前記光音響セルの他の一端を構成する、
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410232392.4A CN103983544B (zh) | 2014-05-28 | 2014-05-28 | 多通道气溶胶散射吸收测量仪 |
CN201410232392.4 | 2014-05-28 | ||
PCT/CN2014/080854 WO2015180227A1 (zh) | 2014-05-28 | 2014-06-26 | 多通道气溶胶散射吸收测量仪 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016526172A JP2016526172A (ja) | 2016-09-01 |
JP6134063B2 true JP6134063B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=51275603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016522227A Expired - Fee Related JP6134063B2 (ja) | 2014-05-28 | 2014-06-26 | マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9772278B2 (ja) |
EP (1) | EP2977743B1 (ja) |
JP (1) | JP6134063B2 (ja) |
KR (1) | KR101689367B1 (ja) |
CN (1) | CN103983544B (ja) |
AU (1) | AU2014364346B2 (ja) |
WO (1) | WO2015180227A1 (ja) |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10345216B2 (en) | 2014-08-20 | 2019-07-09 | Research Triangle Institute | Systems, devices, and methods for flow control and sample monitoring control |
US9915600B2 (en) | 2016-02-19 | 2018-03-13 | Research Triangle Institute | Devices, systems and methods for detecting particles |
CN105241792A (zh) * | 2015-07-30 | 2016-01-13 | 黑龙江科技大学 | 一种便携式大气颗粒物种类测定装置 |
JP6494009B1 (ja) * | 2016-03-10 | 2019-04-03 | シグニファイ ホールディング ビー ヴィ | 汚染推定システム |
CN106018346A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-10-12 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 气溶胶散射相函数观测装置及观测方法 |
CN106124410A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-11-16 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 单光声池同时测量气溶胶多波长吸收系数的新方法 |
CN106323826B (zh) * | 2016-11-15 | 2023-11-10 | 上海理工大学 | 一种超低排放烟尘监测装置及监测方法 |
DE102016124068A1 (de) * | 2016-12-12 | 2018-06-14 | HELLA GmbH & Co. KGaA | Messeinrichtung und Verfahren zur Feinstaubmessung für ein Kraftfahrzeug |
CN106644942A (zh) * | 2017-02-22 | 2017-05-10 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 光声吸收池及大气颗粒物多光学参数在线测量装置 |
FR3066600A1 (fr) * | 2017-05-17 | 2018-11-23 | Eco Logic Sense Sas | Capteur pour la mesure de la concentration de particules dans l'air |
AT520428B1 (de) * | 2017-11-23 | 2019-04-15 | Avl List Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines in einem Rohgas |
CN107831099A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-03-23 | 北京是卓科技有限公司 | 空气颗粒物的检测装置及检测方法 |
CN107941665B (zh) * | 2017-12-21 | 2024-03-15 | 北京厚力德仪器设备有限公司 | 一种高分辨率气溶胶粒径探测仪 |
KR102448715B1 (ko) * | 2017-12-22 | 2022-09-29 | 주식회사 히타치엘지 데이터 스토리지 코리아 | 먼지 센서와 가스 센서를 결합한 센서 |
PL3521810T3 (pl) * | 2018-01-31 | 2020-05-18 | Sick Engineering Gmbh | Analizator do oznaczania pyłu drobnego |
CN108267388B (zh) * | 2018-02-02 | 2023-09-26 | 中国气象局广州热带海洋气象研究所 | 一种气溶胶散射系数吸湿增长测量仪及测量方法 |
CN108375562A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-08-07 | 北京普立泰科仪器有限公司 | 一种高检测精度的汞检测仪 |
CN108287126B (zh) * | 2018-03-23 | 2021-07-09 | 中国计量科学研究院 | 纳米颗粒粒径测量系统 |
CN108562546A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-21 | 大连理工大学 | 一种小型化多次反射式光声池增强型激光光声光谱的检测仪器及方法 |
CN108693142B (zh) * | 2018-06-11 | 2020-10-30 | 重庆大学 | 一种基于光学散射原理的pm2.5检测方法 |
WO2020010026A1 (en) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | Overcast Innovations Llc | Method and system for providing a centralized appliance hub |
JP2020008530A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | 東亜ディーケーケー株式会社 | 粒子状物質測定装置とゼロエア供給装置 |
EP3598103B1 (de) * | 2018-07-20 | 2022-03-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Gasanalysator und gasanalyseverfahren |
CN108931464B (zh) * | 2018-07-24 | 2020-09-11 | 苏州水木康桥环境工程技术有限公司 | 一种高精度自动pm2.5成分分析装置及其工作方法 |
CN108709836B (zh) * | 2018-07-26 | 2024-03-19 | 宁夏大学 | 气溶胶检测方法及系统 |
CN109238975A (zh) * | 2018-09-04 | 2019-01-18 | 深圳市卡普瑞环境科技有限公司 | 一种大气分子检测系统中兼容倒灌零气的气路结构 |
KR102222298B1 (ko) * | 2019-01-03 | 2021-03-04 | 주식회사 리트코 | 미립자 측정이 가능한 시스템 |
CN109827906B (zh) * | 2019-01-31 | 2021-05-25 | 西安理工大学 | 一种激光雷达斜程能见度的反演方法 |
US11047787B2 (en) | 2019-04-29 | 2021-06-29 | Research Triangle Institute | And method for optical bench for detecting particles |
CN110132802B (zh) * | 2019-05-07 | 2024-01-12 | 张家港谱析传感科技有限公司 | 一种粒径及粒子浓度在线检测装置及在线检测方法 |
CN110132874B (zh) * | 2019-05-27 | 2021-11-19 | 哈尔滨工业大学 | 基于多角度测量的弥散介质光学参数场探测装置及方法 |
CN110346296A (zh) * | 2019-07-20 | 2019-10-18 | 大连理工大学 | 一种多腔式半开腔共振光声池及多种气体同时测量系统 |
US10950108B2 (en) * | 2019-08-09 | 2021-03-16 | Rosemount Aerospace Inc. | Characterization of aerosols |
CN111474090B (zh) * | 2020-04-26 | 2024-10-15 | 张家港谱析传感科技有限公司 | 粉尘粒径及浓度无损在线检测装置及无损在线检测方法 |
CN111474097A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-07-31 | 杭州绰美科技有限公司 | 一种抽取式超低浓度粉尘检测装置及其方法 |
US11506586B2 (en) | 2020-08-17 | 2022-11-22 | Carrier Corporation | Photoelectric smoke sensor tube |
CN112098351B (zh) * | 2020-09-07 | 2024-07-30 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种适用于气溶胶吸收及消光系数同步测量的光声光谱仪 |
CN112345497B (zh) * | 2020-11-24 | 2024-03-15 | 河南省计量测试科学研究院 | 大气能见度仪校准系统及其校准方法 |
CN112461799B (zh) * | 2020-11-25 | 2023-08-18 | 北京心中有数科技有限公司 | 一种获取高速公路团雾能见度的方法及装置 |
CN112763588A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-05-07 | 复旦大学 | 一种大气细颗粒物浓度富集与化学组分毒性检测联用装置和方法 |
CN112730185B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-01-24 | 安徽理工大学环境友好材料与职业健康研究院(芜湖) | 一种光声光谱检测粉尘浓度装置 |
CN112924388B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-08-25 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 正交双通道声学谐振装置 |
CN113155683B (zh) * | 2021-05-17 | 2024-03-15 | 北京市人工影响天气中心 | 一种云粒子散射函数的探测系统、方法和装置 |
CN113155692B (zh) * | 2021-05-27 | 2024-02-23 | 中国科学院大气物理研究所 | 基于连续可调小角散射光谱的大气综合探测系统及方法 |
CN113504166B (zh) * | 2021-06-25 | 2023-08-08 | 青岛众瑞智能仪器股份有限公司 | 气溶胶浓度检测方法、装置及系统 |
CN114199734B (zh) * | 2021-11-11 | 2024-05-24 | 华中科技大学 | 一种在线污染性颗粒物的质量浓度测量方法和系统 |
CN114203263B (zh) * | 2021-11-19 | 2024-08-09 | 西安理工大学 | 一种海洋中混合悬浮颗粒对蓝绿激光散射特性的计算方法 |
CN114199913B (zh) * | 2021-12-06 | 2023-10-20 | 散裂中子源科学中心 | 一种中子散射实验用超导磁体结构 |
CN114002158A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-02-01 | 国网江苏省电力有限公司检修分公司 | 基于光声光谱法的sf6分解组分气体检测方法及装置 |
CN114486769A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-05-13 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 基于光腔衰减相移技术的二氧化氮检测方法 |
CN114371149B (zh) * | 2022-01-20 | 2024-02-23 | 池州市农产品质量安全监测中心 | 一种农产品质量安全检测系统 |
US11662301B1 (en) * | 2022-03-29 | 2023-05-30 | Anhui University of Science and Technology | Mine dust real-time detection system based on double-photo acoustic spectrometry and detection method |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4200399A (en) * | 1978-11-20 | 1980-04-29 | General Motors Corporation | Resonant optoacoustic spectroscopy apparatus |
CH641584A5 (de) * | 1979-02-26 | 1984-02-29 | Cerberus Ag | Brandmelder. |
JPS57161517A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Toshiba Corp | Optoacoustic spectrum measuring device |
EP0088760A1 (en) * | 1981-04-13 | 1983-09-21 | AUSTRALIAN NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGY ORGANISATION | Measuring the concentration of gaseous hydrogen fluoride |
JPS59145957A (ja) * | 1983-01-08 | 1984-08-21 | Horiba Ltd | 光音響型濃度測定装置 |
US4616927A (en) * | 1984-11-15 | 1986-10-14 | Wyatt Technology Corporation | Sample cell for light scattering measurements |
DE3811475A1 (de) * | 1988-04-06 | 1989-10-19 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Messeinrichtung zur bestimmung des streu- und absorptionskoeffizienten der atmosphaere |
US5265031A (en) * | 1990-11-26 | 1993-11-23 | Praxair Technology, Inc. | Diagnostic gas monitoring process utilizing an expert system |
JP3392586B2 (ja) * | 1995-05-31 | 2003-03-31 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光音響濃度計 |
US5793478A (en) * | 1996-11-19 | 1998-08-11 | Sandia Corporation | Apparatus for measuring particle properties |
US5933245A (en) * | 1996-12-31 | 1999-08-03 | Honeywell Inc. | Photoacoustic device and process for multi-gas sensing |
JPH11183322A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Nikon Corp | 光吸収量測定装置及びその測定方法 |
NL1007970C2 (nl) * | 1998-01-07 | 1999-07-08 | Stichting Tech Wetenschapp | Werkwijze voor het spectroscopisch bepalen van een vluchtige organische verbinding in een door een zoogdier afgegeven gas. |
JP2003021597A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Hitachi Ltd | 浮遊異物検出方法およびその装置並びに半導体デバイスの製造装置 |
US6363772B1 (en) * | 1999-12-10 | 2002-04-02 | Quadrivium, L.L.C. | System and method for detection of a biological condition |
DE10004816A1 (de) * | 2000-02-04 | 2001-08-09 | Hte Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur kombinatorischen Herstellung und Testung von Materialbibliotheken durch photoakustische Analysemethoden |
CN1151369C (zh) | 2001-02-07 | 2004-05-26 | 中国科学院大气物理研究所 | 亚微米气溶胶粒子谱分布自动采集系统 |
AT6894U3 (de) * | 2004-01-28 | 2005-01-25 | Avl List Gmbh | Messkammer für photoakustische sensoren |
JP4035582B2 (ja) * | 2004-11-11 | 2008-01-23 | 国立大学法人京都大学 | 粒子分析装置 |
CN2786619Y (zh) | 2005-05-20 | 2006-06-07 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 单粒子气溶胶紫外荧光分析光学测量装置 |
US7710566B2 (en) * | 2005-05-27 | 2010-05-04 | Board Of Regents Of The Nevada System Of Higher Education On Behalf Of The Desert Research Institute | Method and apparatus for photoacoustic measurements |
EP1906169A1 (en) * | 2006-09-27 | 2008-04-02 | IR Microsystems S.A. | Gas detection method and gas detection device |
CN101173886B (zh) | 2006-11-03 | 2010-05-12 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 气溶胶粒子双通道激光探测仪及其探测方法 |
DE102007014517B3 (de) * | 2007-03-27 | 2008-08-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Zylindrischer photoakustischer Multipass-Detektor mit Anregung der zweiten azimutalen Resonanz |
CN101055241B (zh) * | 2007-05-10 | 2010-08-04 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 多通道散射反演微颗粒三维形状检测仪及检测方法 |
US20110072886A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Catherine Genevieve Caneau | Gas Sensor Based On Photoacoustic Detection |
US20120118042A1 (en) * | 2010-06-10 | 2012-05-17 | Gillis Keith A | Photoacoustic Spectrometer with Calculable Cell Constant for Quantitative Absorption Measurements of Pure Gases, Gaseous Mixtures, and Aerosols |
US20120055232A1 (en) * | 2010-09-07 | 2012-03-08 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic Gas Detector with Integrated Signal Processing |
WO2012136271A1 (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Abb Research Ltd | Analyzer instrument and methods for operating same |
US8689607B2 (en) * | 2011-05-04 | 2014-04-08 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method of photoacoustic sensor signal acquisition |
CN102262071B (zh) * | 2011-07-26 | 2013-02-13 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 大气气溶胶散射系数谱原位测量装置及测量方法 |
CN103728229A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-04-16 | 太原科技大学 | 测量大气颗粒物的平均粒径和浓度的测量装置及测量方法 |
CN203858183U (zh) * | 2014-05-28 | 2014-10-01 | 南京大学 | 多通道气溶胶散射吸收测量仪 |
-
2014
- 2014-05-28 CN CN201410232392.4A patent/CN103983544B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-26 EP EP14870655.9A patent/EP2977743B1/en not_active Not-in-force
- 2014-06-26 KR KR1020157018379A patent/KR101689367B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-26 JP JP2016522227A patent/JP6134063B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-26 US US14/760,984 patent/US9772278B2/en active Active
- 2014-06-26 WO PCT/CN2014/080854 patent/WO2015180227A1/zh active Application Filing
- 2014-06-26 AU AU2014364346A patent/AU2014364346B2/en not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103983544A (zh) | 2014-08-13 |
AU2014364346B2 (en) | 2016-11-03 |
EP2977743B1 (en) | 2016-11-02 |
WO2015180227A1 (zh) | 2015-12-03 |
AU2014364346A1 (en) | 2015-12-17 |
CN103983544B (zh) | 2015-12-30 |
KR101689367B1 (ko) | 2016-12-26 |
EP2977743A4 (en) | 2016-05-04 |
US9772278B2 (en) | 2017-09-26 |
EP2977743A1 (en) | 2016-01-27 |
JP2016526172A (ja) | 2016-09-01 |
US20160274024A1 (en) | 2016-09-22 |
KR20160006155A (ko) | 2016-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6134063B2 (ja) | マルチチャンネル・エアロゾル散乱吸収測定器 | |
CN105424631B (zh) | 一种基于紫外可见波段吸收光谱的超高灵敏度氮氧化物测量系统 | |
CN106596437B (zh) | 大气no3自由基浓度在线测量系统和在线测量方法 | |
Tuzson et al. | A compact QCL spectrometer for mobile, high-precision methane sensing aboard drones | |
CN204086105U (zh) | 一种气体传感器系统 | |
US9709491B1 (en) | System and method for measuring aerosol or trace species | |
CN110146460A (zh) | 一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法 | |
US20100103425A1 (en) | Photoacoustic detector for measuring fine dust | |
CN105445195A (zh) | 样品测量池 | |
CN107024699A (zh) | 基于紫外准单支纯转动拉曼谱提取的全天时测温激光雷达 | |
CN103616334A (zh) | 光腔衰荡气溶胶消光仪 | |
CN109283550B (zh) | 全固态全天时水汽扫描探测激光雷达系统及探测方法 | |
CN106018346A (zh) | 气溶胶散射相函数观测装置及观测方法 | |
WO2022267963A1 (zh) | 一种用于复合气体的综合检测装置 | |
CN204314209U (zh) | 样品测量池 | |
CN206505011U (zh) | 大气no3自由基浓度在线测量系统 | |
CN203858183U (zh) | 多通道气溶胶散射吸收测量仪 | |
CN108680527B (zh) | 一种测量放射性碳14c的光腔衰荡光谱仪 | |
CN204439539U (zh) | 一种烟气监测仪的光学系统及检测装置 | |
CN108872100A (zh) | 一种多次增强光谱高精度氨气检测装置及检测方法 | |
CN204314210U (zh) | 样品测量池 | |
CN206772801U (zh) | 一种串联式气体光谱分析双气室 | |
CN206862869U (zh) | 一种针对复杂气体光谱分析的多气室结构 | |
CN206740638U (zh) | 一种并联式气体光谱分析双气室 | |
CN209485975U (zh) | 一种气体浓度分析装置及其测量设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170420 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6134063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |